JP2000512082A - マルチレベル基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1. 搬送チャンバと、基板を前記搬送チャンバに対して出し入れする搬送機構 とを有する基板搬送部と、 前記搬送チャンバに固定接続されて、第1の処理チャンバは第2の処理チャン バよりも上方の面内に鉛直方向に配置され、前記第1及び第2の処理チャンバは 前記搬送チャンバに対して別々且つ独立に接続されて互いに隔離された基板処理 領域を別々且つ独立に形成する複数の基板処理チャンバと、 を有し、 前記搬送機構は、前記第1および第2の処理チャンバに対して基板を別々に搬 送することを特徴とする基板処理装置。 2. 前記搬送機構は、回転自在ドライバと、前記ドライバに回動自在に接続さ れたアームとからなり、 前記アームは、鉛直方向に回動するように配列された2つの直列に接続された アーム領域からなることを特徴とする請求の範囲第1項に記載の装置。 3. 前記搬送機構は、関節を有する手首によって前記アームの端部に接続され た基板ホルダを有することを特徴とする請求の範囲第2項に記載の装置。 4. 前記手首は、少なくとも2つの異なる方向にアームに対して回動可能であ ることを特徴とする請求の範囲第3 項に記載の装置。 5. 前記搬送機構は、アームの端部に基板ホルダを有する鉛直方向に回動自在 なアームから成ることを特徴とする請求の範囲第1項に記載の装置。 6. アームが鉛直方向に回動するにつれて、基板ホルダを水平状態に維持する 手段をさらに有することを特徴とする請求の範囲第5項に記載の装置。 7. 前記処理チャンバは、第1の水平面に位置する少なくとも2つの処理チャ ンバと、鉛直方向にずれている第2の水平面に位置する少なくとも一つの他の処 理チャンバとを含むことを特徴とする請求の範囲第1項に記載の装置。 8. 基板を基板処理チャンバに対して搬送する基板搬送機構であって、 回転自在ドライバと、 前記ドライバに回動自在に接続されて、第1のアーム領域が第2のアーム領域 に回動自在に接続している第1のアームと、 前記第2のアーム領域に回動自在に接続され、2つのチャンバの間の搬送機構 の運動によって平板基板を上面に水平状態に保持するような大きさ及び形状を有 する第1の基板ホルダと、 を有し、 アーム領域の少なくとも一つは、回動されると、鉛直方向に回動可能に移動さ れることを特徴とする基板搬送機構。 9. 前記基板ホルダは、2つの異なる方向に回動する関節を有する手首によっ て、前記第2のアーム領域に接続されていることを特徴とする請求の範囲第8項 に記載の搬送機構。 10. アームが移動するときに、基板ホルダを実質的に水平状態に維持する手 段をさらに有することを特徴とする請求の範囲第8項に記載の搬送機構。 11. 第1および第2のアーム領域は、互いに平行な回動移動に制限され、第 1のアームは、回転自在ドライバに対して鉛直方向の回動移動に制限されている ことを特徴とする請求の範囲第8項に記載の搬送機構。 12. アームは、ドライバに対して異なる鉛直方向の位置に基板ホルダを移動 させるようになっていることを特徴とする請求の範囲第8項に記載の搬送機構。 13. 第1のアームと類似した第2のアームと、第2のアームの端部に接続さ れた第2の基板ホルダとをさらに有することを特徴とする請求の範囲第8項に記 載の搬送機構。 14. ドライバは、2つの回転自在ドライバ領域を含み、各ドライバ領域はア ームの一方に接続されていることを特徴とする請求の範囲第13項に記載の搬送 機構。 15. ドライバとアームと基板ホルダとの相対移動を制御する手段をさらに有 することを特徴とする請求の範囲第8項に記載の搬送機構。 16. 制御手段は、ドライバとアームとの間のジョイン トに位置する位置センサを含むことを特徴とする請求の範囲第15項記載の搬送 機構。 17. 制御手段は、ドライバとアームとの間のジョイントに位置するジョイン トドライバを含むことを特徴とする請求の範囲第15項記載の搬送機構。 18. アーム領域は、内部にチャネルを有して、制御手段の一部をチャネル内 部に通過せしめることを特徴とする請求の範囲第15項に記載の搬送機構。 19. ドライバ領域およびアーム領域の間のジョイントに位置するシールを有 し、チャネルをジョイントで密封された状態に維持することを特徴とする請求の 範囲第18項に記載の搬送機構。 20. 基板処理チャンバに対して基板を搬送する基板搬送機構であって、 互いに回動自在に接続されて相対的に回動されるとき平行に且つ鉛直方向に移 動する2つのアーム領域を有する第1のアームと、 関節を有する手首によってアーム領域の一方に移動自在に取り付けられた基板 ホルダと、 を有し、前記手首は少なくとも1方向に回動して基板ホルダを水平状態に維持し 、第1の基板ホルダは、2つのチャンバの間で搬送機構の全運動に亘って上面に 平坦な基板を水平状態に保持するように大きさ及び形状が決められていることを 特徴とする搬送機構。 21. 前記手首は、回動が2つの方向のみに制限されていることを特徴とする 請求の範囲第20項に記載の搬送機構。 22. アーム領域の一方は、水平面内で回転自在なドライバに回動可能に接続 されていることを特徴とする請求の範囲第20項に記載の搬送機構。 23. 前記アーム領域は、相対的に回動するとき基板ホルダを別々の鉛直方向 の位置へ移動させることを特徴とする請求の範囲第20項に記載の搬送機構。 24. 第1のアームと類似した第2のアームと、前記第2のアームの端部に接 続された第2の基板ホルダとから成っていることを特徴とする請求の範囲第20 項に記載の搬送機構。 25. 2つの回転自在ドライバ領域を更に有し、前記ドライバ領域の各々はア ームの一方に接続されていることを特徴とする請求の範囲第24項に記載の搬送 機構。 26. アーム領域と基板ホルダとの相対移動を制御する手段をさらに有するこ とを特徴とする請求の範囲第20項に記載の搬送機構。 27. 制御手段は、アーム領域と基板ホルダとの間でジョイントに位置する位 置領域(position sections)を含むことを特徴とする請求の範囲第26項記載 の搬送機構。 28. 制御手段は、アーム領域と基板ホルダとの間でジョイントに位置するジ ョイントドライバを含むことを特徴 とする請求の範囲第26項記載の搬送機構。 29. 搬送チャンバと基板搬送機構とを有する基板搬送部と、 前記搬送チャンバに固定接続し、少なくとも2つの鉛直方向に異なる水平面内 配置されて、前記水平面のうちの少なくとも1つは少なくとも2つの処理チャン バを有し、前記少なくとも2つの鉛直方向に異なる処理チャンバは搬送チャンバ に別々に且つ独立して接続されて、内部に別々に且つ独立に隔離された基板処理 領域を形成する基板処理チャンバと、 基板搬送機構を移動させて鉛直方向において高さが異なる水平面内にある処理 チャンバに対して基板を出し入れするコントローラと、 を含むことを特徴とする基板処理装置。 30. 基板搬送機構は、基板ホルダを備えたアームを有し、アームは、2つの 水平面内にある搬送チャンバに対して基板ホルダを移動させることを特徴とする 請求の範囲第29項に記載の装置。 31. アームは、水平面内にて回転自在なドライバに接続され、前記ドライバ は、ドライバを中心としてアームおよび基板ホルダを回転させることを特徴とす る請求の範囲第30項に記載の装置。 32. コントローラは、アームおよび基板ホルダの間の手首、ドライバ、アー ムの間のジョイントに位置するジョ イントドライバに接続していることを特徴とする請求の範囲第31項に記載の装 置。 33. 前記コントローラは、基板ホルダを実質的に水平状態に維持することを 特徴とする請求の範囲第32項に記載の装置。 34. コントローラは、ドライバ、アーム、手首の移動を制御して、基板ホル ダを基板処理チャンバに対して実質的に直線的に移動させることを特徴とする請 求の範囲第33項に記載の装置。 35. アームは、互いに回動可能に接続されるとともにドライバに回動可能に 接続されて、ドライバに対して回動するとともに鉛直方向にのみ移動する2つの アーム領域を有することを特徴とする請求の範囲第34項に記載の装置。 36. ドライバ、アーム領域、基板ホルダの相対位置を知らせるセンサがコン トローラに接続されていることを特徴とする請求の範囲第35項に記載の装置。 37. ドライバと、 ドライバに回動自在に接続されて鉛直方向に回動し、各々が少なくとも2つの アーム領域を有する2本のアームと、 各々が対応するアームに接続されている2つの基板ホルダと、 を含むことを特徴とする基板処理装置の基板搬送機構。 38. ドライバは2つのドライバ領域を含み、各ドライバ領域はアームの一端 部に回動可能に接続されていること を特徴とする請求の範囲第37項に記載の基板搬送機構。 39. ドライバ領域は、アームを互いに独立に回転させることを特徴とする請 求の範囲第38項に記載の基板搬送機構。 40. ドライバは、ドライバの中心軸を中心に二つのドライバ領域を回転させ て、アームをドライバの一側から反対側へ移動させることを特徴とする請求の範 囲第38項に記載の基板搬送機構。 41. 2本のアームは、ドライバに回動可能に接続されて鉛直方向にのみ回動 することを特徴とする請求の範囲第37項に記載の基板搬送機構。 42. 基板ホルダを水平状態に維持する手段をさらに有することを特徴とする 請求の範囲第37項に記載の基板搬送機構。 43. 基板処理装置において基板を移動させる方法であって、 互いに回動自在に接続された直列接続部材の一方は、搬送機構の端部に接続さ れている基板ホルダからなり、前記直列接続部材を基板搬送機構に設ける行程と 、 部材の相対的な回動運動を制御して、基板ホルダを基板処理チャンバ対して直 線的に移動させながらも、平らな基板を基板ホルダの上面にて水平状態に保持す る位置に基板ホルダを維持する行程と、 を含むことを特徴とする方法。 44. 前記部材を相対的に動かして基板ホルダを鉛直方向に移動させる行程を さらに有することを特徴とする請求の範囲第43項に記載の方法。 45. 基板ホルダが移動するにつれて、基板ホルダを実質的に水平方向に維持 する行程をさらに有することを特徴とする請求の範囲第44項に記載の方法。 46. 前記部材は回転装置に回動可能に接続されているアームを含み、前記回 転装置は第1の水平面内の回転方向に回転し、アームは回転装置に対して鉛直方 向に回動することを特徴とする請求の範囲第43項に記載の方法。 47. 基板ホルダは手首によって前記アームに接続され、前記手首は前記第1 の水平面内の回転方向とは反対の第2の水平面内の回転方向にアームに対して回 動することを特徴とする請求の範囲第46項に記載の方法。 48. 前記アームが鉛直方向に移動して前記基板ホルダを水平状態に維持する につれて、前記手首はアームに対して回動して、基板ホルダを鉛直方向に移動さ せることを特徴とする請求の範囲第47項に記載の方法。 49. 基板処理装置において基板を移動させる方法であって、 ドライバを基板ホルダに接続しているアームを基板搬送機構に設ける行程を有 し、前記アームは中間のジョイントで互いに回動自在に接続されるとともに内側 のジョイントでドライバに回動可能に接続している2つの直列接続アー ム領域を有し、前記基板ホルダは端部のジョイントで少なくとも2本の直交する 回転軸に沿って移動するためにアームに回動可能に接続され、 さらに、アーム領域、基板ホルダ、ドライバの回転移動を制御して、異なる鉛 直方向の位置および異なる水平面内の位置にある基板処理チャンバに対して基板 ホルダを移動させながらも、平らな基板を基板ホルダの上面に水平方向に保持す るように基板ホルダを維持する行程と、 を有することを特徴とする方法。 50. 基板搬送チャンバおよび前記基板搬送チャンバに位置する基板搬送機構 を有する基板搬送部において、互いに可動に接続された2つのアーム領域と、ア ーム領域の一方に接続された基板ホルダとを有する基板搬送機構であって、 2つのアーム領域は、内部にほぼ実質的に包囲されたチャネルを有し、電気制 御ケーブルは、チャネルを挿通して基板ホルダと接続することを特徴とする基板 搬送機構。
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