KR102396650B1 - 3절 링크 대기형 로봇 - Google Patents

3절 링크 대기형 로봇 Download PDF

Info

Publication number
KR102396650B1
KR102396650B1 KR1020210095635A KR20210095635A KR102396650B1 KR 102396650 B1 KR102396650 B1 KR 102396650B1 KR 1020210095635 A KR1020210095635 A KR 1020210095635A KR 20210095635 A KR20210095635 A KR 20210095635A KR 102396650 B1 KR102396650 B1 KR 102396650B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
link
module
foup
center point
driving
Prior art date
Application number
KR1020210095635A
Other languages
English (en)
Other versions
KR102396650B9 (ko
Inventor
전인택
배현기
김동현
조선형
Original Assignee
주식회사 싸이맥스
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 싸이맥스 filed Critical 주식회사 싸이맥스
Priority to KR1020210095635A priority Critical patent/KR102396650B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102396650B1 publication Critical patent/KR102396650B1/ko
Publication of KR102396650B9 publication Critical patent/KR102396650B9/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/02—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type
    • B25J9/04—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type by rotating at least one arm, excluding the head movement itself, e.g. cylindrical coordinate type or polar coordinate type
    • B25J9/041—Cylindrical coordinate type
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J11/00—Manipulators not otherwise provided for
    • B25J11/0095—Manipulators transporting wafers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/02—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type
    • B25J9/04—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type by rotating at least one arm, excluding the head movement itself, e.g. cylindrical coordinate type or polar coordinate type
    • B25J9/046—Revolute coordinate type
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/06—Programme-controlled manipulators characterised by multi-articulated arms
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/10—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements
    • B25J9/106—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements with articulated links
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

본 발명은 5개 이상의 카세트가 등간격으로 설치된 EFEM에 설치되어, 5개 이상의 카세트에 기판을 원활하게 로드 또는 언 로드 할 수 있도록 하는 3절 링크 대기형 로봇에 관한 것이다. 이러한 3절 링크 대기형 로봇은 복수 개의 구동모듈과 구동모듈과 연결되어 위 아래로 승강 및 시계 방향 또는 반 시계 방향으로 회전 가능한 승강회전모듈을 포함하는 몸체부, 구동모듈과 연결되는 제1회전축을 포함하고, 일면이 승강회전모듈의 상측면에 연결되어 승강회전모듈의 회전에 대응해 시계 방향 또는 반 시계 방향으로 회전하는 오프셋링크부, 제1회전축과 연결되는 제1링크회전축을 포함하고, 일면이 오프셋링크부의 상측면에 연결되는 제1링크모듈과, 일단부에 제2링크구동모듈이 설치되고, 타단부가 제1링크회전축에 연결되며 제1링크모듈의 상측면에 위치하는 제2링크모듈과, 일단부에 제3링크구동모듈이 설치되고, 타단부가 제2링크구동모듈에 연결되며 제2링크모듈의 상측면에 위치하는 제3링크모듈과, 일단부에 엔드이펙터가 설치되고, 타단부가 제3링크구동모듈에 연결되며 제3링크모듈의 상측면에 위치하는 제4링크모듈을 포함하는 링크암부를 포함한다.

Description

3절 링크 대기형 로봇{3 Link Atmospheric Type Robot}
본 발명은 웨이퍼를 이송하는 로봇에 관한 것으로써, 이러한 본 발명은 반도체 제조용 장비의 기술분야에 속한다.
반도체 웨이퍼를 카세트에 로드 또는 언 로드 할 때 웨이퍼 이송 로봇이 이용되고 있다. 웨이퍼 이송 로봇은 카세트의 각 선반 단에 얹어 둔 워크를 반출 반입한다. 웨이퍼를 가지고 있는 카세트는 EFEM에 설치된 FOUP에 등간격으로 거치될 수 있다.
종래의 많은 EFEM에는 2개, 3개, 4개의 FOUP에 설치되어 2~4개의 카세트가 설치될 수 있다. 또한, 2~4개의 FOUP이 설치된 EFEM에 통상적으로 많이 쓰이는 웨이퍼 이송 로봇이 설치되고 있다. 여기서, 웨이퍼 이송로봇은 암부, 암부측 링크부, 기대측 링크부 등을 포함하는 로봇으로 형성되어 있다.
그러나, 이러한 웨이퍼 이송로봇은 5개 이상의 FOUP이 설치된 EFEM에는 유용하게 작동되지 못하는 문제가 있다. 이에, 5개 이상의 FOUP이 설치된 EFEM에는 새로운 구조의 웨이퍼 이송로봇이 설치되고 있다.
현재에는 반도체 생산성을 높이기 위해, 2~4개의 FOUP이 설치된 EFEM 보다는 5개 이상의 FOUP이 설치된 EFEM 사용이 늘어나고 있다.
따라서, 5개 이상의 FOUP이 설치된 EFEM에 사용되는 웨이퍼 이송로봇 또한 개발이 필요로 하게 되었다.
대한민국 공개특허 제10-2019-0117591호 (공개일: 2019년 10월 16일)
본 발명은 5개 이상의 카세트가 등간격으로 설치된 EFEM에 설치되어, 5개 이상의 카세트에 기판을 원활하게 로드 또는 언 로드 할 수 있도록 한다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 해결하고자 하는 과제를 달성하기 위한 본 발명의 3절 링크 대기형 로봇은, 일면에 제1FOUP 내지 제5FOUP이 설치되고, 타면에 로드락이 설치된 EFEM의 내부의 타면에 설치되어 기판을 이송하는 3절 링크 대기형 로봇에 관한 것이다. 이러한 3절 링크 대기형 로봇은 복수 개의 구동모듈과 구동모듈과 연결되어 위 아래로 승강 및 시계 방향 또는 반 시계 방향으로 회전 가능한 승강회전모듈을 포함하는 몸체부; 구동모듈과 연결되는 제1회전축을 포함하고, 일면이 승강회전모듈의 상측면에 연결되어 승강회전모듈의 회전에 대응해 시계 방향 또는 반 시계 방향으로 회전하는 오프셋링크부; 제1회전축과 연결되는 제1링크회전축을 포함하고, 일면이 오프셋링크부의 상측면에 연결되며 제1연결중심점을 형성하는 제1링크모듈과, 일단부에 제2링크구동모듈이 설치되고, 타단부가 제1링크회전축에 연결되며 제1링크모듈의 상측면에 위치하는 제2링크모듈과, 일단부에 제3링크구동모듈이 설치되고, 타단부가 제2링크구동모듈에 연결되며 제2링크모듈의 상측면에 연결되며 제3연결중심점을 형성하는 제3링크모듈과, 일단부에 엔드이펙터가 설치되고, 타단부가 제3링크구동모듈에 연결되며 제3링크모듈의 상측면에 위치하여, 제1FOUP과 제5FOUP의 내부로 들어갈 때 또는 제4링크모듈이 제1FOUP과 제5FOUP에서 나올 때, 가상의 직선을 따라 이동하는 제4링크모듈을 포함하는 링크암부를 포함하고, 오프셋링크부 및 링크암부는 중첩되고 폭의 가운데 지점이 제1가상직선에 위치하고, 오프셋링크부는, 폭의 가운데 지점이 제1가상직선에 위치한 후, 반 시계 방향으로 설정 각도로 회전되어, 폭의 가운데 지점이 제2가상직선에 위치하고, 링크암부의 제4링크모듈은, 제1FOUP에 진입하기 전, 시계 방향으로 기 설정된 제1각도로 회전하고, 제5FOUP에 진입하기 전, 반 시계 방향으로 기 설정된 제1각도로 회전하고, 링크암부는, 제4링크모듈이 제1FOUP에 들어갈 때 또는 제1FOUP에서 나올 때, 제1연결중심점과 제3연결중심점이 가상의 제1사선을 따라 이동하고, 제4링크모듈이 제5FOUP에 들어갈 때 또는 제5FOUP에서 나올 때, 제1연결중심점과 제3연결중심점이 가상의 제2사선을 따라 이동하고, 제4링크모듈은 제1FOUP 또는 제5FOUP의 내부로 들어갈 때 그리고 제1FOUP 또는 제5FOUP에서 나올 때 가상의 직선을 따라 이동할 수 있다.
승강회전모듈은 복수 개의 구동모듈 가운데 하나 인 제1구동모듈에 연결되어 시계 방향 또는 반 시계 방향으로 회전 운동하는 회전하우징과 복수 개의 구동모듈 가운데 하나 인 제2구동모듈에 연결되어 회전하우징의 내부에 위치하는 직선 운동하는 승강하우징을 포함할 수 있다.
삭제
삭제
삭제
본 발명에 따른 3절 링크 대기형 로봇은 5개 이상의 FOUP이 설치된 EFEM에 설치되어 기판을 신속하게 이송하며 반도체 수율을 높일 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 3절 링크 대기형 로봇의 사시도이다.
도 2는 도 1의 3절 링크 대기형 로봇이 5 포트 EFEM에 설치된 상태를 나타낸 도면이다.
도 3은 도 1의 3절 링크 대기형 로봇의 측면도이다.
도 4는 도 1의 3절 링크 대기형 로봇을 I-I' 선으로 절단한 단면도이다.
도 5는 본 발명의 3절 링크 대기형 로봇의 승강회전모듈이 작동되는 상태를 나타낸 도면이다.
도 6 내지 도 9는 3절 링크 대기형 로봇의 작동 상태를 나타낸 도면이다.
도 10 및 도 11은 3절 링크 대기형 로봇이 5 포트 EFEM에 설치되어 작동되는 사용 상태를 나타낸 도면이다.
본 발명의 이점 및 특징 그리고 그것들을 달성하기 위한 장치는 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시 예를 참조하면 명확해질 것이다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예들에 한정되지는 않는다. 본 발명은 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며 단지 본 실시 예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하고 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다.
본 발명의 청구범위는 청구항에 의해 정의될 수 있다. 아울러, 본 명세서 전체에 걸쳐 기재된 동일 참조부호는 동일 구성요소를 지칭한다.
이하, 본 발명에 대한 설명이 간결하고 명확해질 수 있도록 도 1 및 도 2를 참조하여, 본 발명의 3절 링크 대기형 로봇에 대해 개괄적으로 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 3절 링크 대기형 로봇의 사시도이고, 도 2는 도 1의 3절 링크 대기형 로봇이 5 포트 EFEM에 설치된 상태를 나타낸 도면이다.
3절 링크 대기형 로봇(1)은 5개 이상의 FOUP(C)이 설치된 EFEM()에 설치되어 제1FOUP(C1) 내지 제5FOUP(C5)에 적재 또는 제1FOUP(C1) 내지 제5FOUP(C5)로 기판을 신속하게 이송하는 로봇이다. 이때, EFEM은 도 2에 도시된 바와 같이, 일면에 제1LPM(B1) 내지 제5LPM(B5)이 등 간격으로 설치되고, 타면에 로드락(Load lock, D)이 설치된 EFEM이 될 수 있다. 이와 같은 EFEM에는 제1FOUP(C1) 내지 제5FOUP(C5)이 제1LPM(B1) 내지 제5LPM(B5)에 설치될 수 있다.
3절 링크 대기형 로봇(1)은 전술한 바와 같은 5port EFEM에서 복수 개의 FOUP에 적재된 기판을 로드락 그리고 로드락에서 복수 개의 FOUP(C1~C5)으로 기판을 신속하게 이송하며 반도체 수율(yield)을 향상시킬 수 있다. 이와 같은, 3절 링크 대기형 로봇(1)은 바닥면에 놓이는 몸체부(10), 몸체부(10)의 상단부에 놓이는 오프셋링크부(20) 및 오프셋링크부(20)의 상단부에 놓이는 링크암부(30) 그리고 링크암부(30)를 포함한다.
3절 링크 대기형 로봇(1)은 전술한 구성요소에 기반하여 링크암부(30)의 엔드이펙터(350)가 제1FOUP(C1) 및 제5FOUP(C5)로 접근할 때, 오프셋링크부(20)가 먼저 접근하려는 FOUP으로 먼저 회동하여, 링크암부(30)의 신장거리를 줄여 링크암부의 높은 구동 자유도를 나타낼 수 있다. 또한, 3절 링크 대기형 로봇(1)은 제1FOUP(C1) 및 제5FOUP(C1)로 엔드이펙터(350)가 접근할 때, 서로 다른 가상의 가선을 따라 제3연결중심점(CP3)이 이동하며 링크모듈의 높은 작동 효율을 나타낼 수 있다.
이하, 도 3 및 도 4를 참조하여, 본 발명의 3절 링크 대기형 로봇의 구성요소에 대해 구체적으로 설명한다.
몸체부(10)는 바닥면과 접하도록 하는 개체이다. 이러한 몸체부(10)에는 복수 개의 구동모듈(110)과 구동모듈(110)과 연결되어 위 아래로 승강하고, 시계 방향 또는 반 시계 방향으로 회전 가능하는 승강회전모듈(120)이 포함된다. 여기서, 복수 개의 구동모듈(110)은 제1구동모듈(1101)과 제2구동모듈(1102)을 포함하며 제1구동모듈(1101)과 제2구동모듈(1102)은 전기가 인가되면 구동하는 모터, 모터에 연결되는 풀리 등을 포함하여 승강회전모듈(120) 및 오프셋링크부(20) 및 링크암부(30)를 구동 시킨다. 아울러, 승강회전모듈(120)은 시계 방향 또는 반 시계 방향으로 회전 운동하는 회전하우징(1201)과 직선 운동하는 승강하우징(1202)을 포함한다. 이러한 승강회전모듈(120)의 직선 운동 및 회전 운동에 대해서는 후술하도록 한다.
오프셋링크부(20)는 몸체부(10)의 상단부에 설치되어, 링크암부(30)에 포함되는 복수 개의 링크모듈 전체를 회전시키는 장치이다. 이러한 오프셋링크부(20)는 제1FOUP(C1) 또는 제5FOUP(C5)로 링크암부(30)가 신장하기 전, 먼저 링크암부(30)를 제1FOUP(C1) 또는 제5FOUP(C5)가 위치한 방향으로 옮겨 링크암부(30)의 신장거리가 줄어들도록 한다.
이와 같은 특징을 갖는 오프셋링크부(20)는 하우징모듈(210)과 하우징(210)의 내부에 설치되어 구동모듈(110)과 연결되는 제1회전축(201)을 포함한다. 이를 통해, 오프셋링크부(20)는 일면이 승강회전모듈(120)의 상측면에 연결되어 승강회전모듈(120)의 회전에 대응해 시계 방향 또는 반 시계 방향으로 회전하며 링크암부(30)를 제1FOUP(C1) 또는 제5FOUP(C5)가 위치한 방향으로 옮길 수 있다.
링크암부(30)는 제1FOUP(C1) 내지 제5FOUP(C5)에 적재 넣어 있는 기판을 로드락(Load lock, D) 또는 로드락에서 제1FOUP(C1) 내지 제5FOUP(C5)로 기판을 이송시키는 장치가 된다. 이와 같은 링크암부(30)는 오프셋링크부(20)의 상단에 설치되며 제1링크모듈(310), 제2링크모듈(320), 제3링크모듈(330), 제4링크모듈(340) 및 엔드이펙터(350)를 포함한다.
이때, 제1링크모듈(310)은 제1회전축(201)과 연결되는 제1링크회전축(3101)을 포함하여 오프셋링크부(20)의 상측면에 연결된다. 그리고 제2링크모듈(320)은 일단부에 설치된 제2링크구동모듈(3201)을 포함하여 제1링크회전축(3101)에 타단부가 연결되며 제1링크모듈(310)의 상측면에 위치한다. 그리고 제3링크모듈(330)은 일단부에 설치된 제3링크구동모듈(3301)을 포함하여 제2링크구동모듈(3201)에 타단부가 연결되며 제2링크모듈(320)의 상측면에 위치한다. 그리고 제4링크모듈(340)은 일단부에 엔드이펙터(350)가 설치되고, 타단부가 제3링크구동모듈(3301)에 연결되며 제3링크모듈(330)의 상측면에 위치한다.
이와 같은 연결방식으로 제1링크모듈(310) 내지 제4링크모듈(340)은 오프셋링크부(20)의 상측으로 적재되고, 적재된 상태에서 신장 및 수축될 수 있다.
이하, 도 5 내지 도 11을 참조하여, 본 발명의 3절 링크 대기형 로봇의 구동에 대해 구체적으로 설명한다.
도 5는 본 발명의 3절 링크 대기형 로봇의 승강회전모듈이 작동되는 상태를 나타낸 도면이고, 도 6 내지 도 9는 3절 링크 대기형 로봇의 작동 상태를 나타낸 도면이다. 그리고 도 10 및 도 11은 3절 링크 대기형 로봇이 5 포트 EFEM에 설치되어 작동되는 사용 상태를 나타낸 도면이다.
3절 링크 대기형 로봇(1)은 회전하우징(1201)이 몸체부의 하단부에 설치된 회전베어링(140)과 일부가 연결되고 제1구동모듈(1101)과 연결되어 제1구동모듈(1101)의 구동력에 대응해 회전하우징(1201), 오프셋링크부(20) 및 링크암부(30)를 시계 방향 또는 반 시계 방향으로 회전시킨다. 또한 3절 링크 대기형 로봇(1)은 승강하우징(1202)이 회전하우징(1201)의 내부에 위치하고 제2구동모듈(1102) 그리고 승강가이드바(130)와 연결되어, 제2구동모듈(1102)의 구동력에 대응해 회전하우징(1201), 오프셋링크부(20) 및 링크암부(30)를 위 그리고 아래로 이동시킨다.
아울러, 3절 링크 대기형 로봇(1)은 도 6에 도시된 바와 같이 제1가상직선(L1)에 오프셋링크부(20) 및 링크암부(30)의 폭의 가운데 지점이 위치하도록 오프셋링크부(20) 및 링크암부(30)가 중첩되도록 위치할 수 있다. 아울러, 오프셋링크부(20)는 어느 하나의 FOUP로 링크암부(30)가 신장될 때, 도 7에 도시된 바와 같이, 제2가상직선(L2)에 오프셋링크부(20) 및 링크암부(30)의 폭이 가운데 지점이 위치하도록 반 시계 방향으로 회전한다. 이때, 오프셋링크부(20)와 제1링크모듈(310)이 연결되며 형성된 제1연결중심점(CP1) 또한 반 시계 방향으로 회전하게 된다. 또한, 3절 링크 대기형 로봇(1)의 링크암부(30)는 오프셋링크부(20)에서 시계방향으로 회전할 수 있다. 이때, 제4링크모듈(340)은 제1FOUP(C1)에 진입하기 전, 시계 방향으로 기 설정된 제1각도로 회전하고, 제4링크모듈(340)은 제5FOUP(C5)에 진입하기 전, 반 시계 방향으로 기 설정된 제1각도로 회전할 수 있다. 보다 구체적으로, 3절 링크 대기형 로봇(1)의 링크암부(30)는 도 8에 도시된 바와 같이 제2링크모듈(320)이 제1링크모듈(310)에서 반 시계 방향으로 회전하고, 제1링크모듈(310)이 오프셋링크부(20)에서 설정 각도 회전하고, 제2링크모듈(320)이 제1링크모듈(310)에서 설정 각도 회전하면, 제3링크모듈(330)이 제2링크모듈(320)에서 그리고 제4링크모듈(340)이 제3링크모듈(330)에서 시계 방향으로 회전 하며 펼쳐질 수 있다. 이때, 링크암부(30)는 도 9에 도시된 바와 같이 오프셋링크부(20)와 제1링크모듈(310)이 연결되며 형성된 제1연결중심점(CP1)과 제2링크모듈(320)과 제3링크모듈(330)이 연결되며 형성된 제3연결중심점(CP3)은 가상의 사선(OL)을 따라 이동하며 펼쳐질 수 있다. 그리고 이렇게 펼쳐진 제4링크모듈(340)은 제1가상직선(L1)과 평행하게 위치하고, 제1FOUP(C1)과 제5FOUP(C5)의 내부로 들어갈 때 가상의 직선을 따라 이동할 수 있다.
3절 링크 대기형 로봇(1)은 도 10에 도시된 바와 같이, 링크암부(30)가 제1FOUP(C1)로 접근할 때, 오프셋링크부(20)는 시계 방향으로 설정 각도 회전한 후, 제1링크모듈(310) 내지 제4링크모듈(340)이 회전하며 신장된다. 이때, 제1연결중심점(CP1)과 제3연결중심점(CP3)은 가상의 사선(OL1)을 따라 제1링크모듈(310) 내지 제4링크모듈(340)이 펼쳐질 수 있다. 이때, 제4링크모듈(340)은 핑크색으로 표시된 상태에서 연두색으로 표시된 상태로 직선을 따라 이동하며 제1FOUP(C1)로 들어갈 수 있다. 아울러, 제4링크모듈(340)은 연두색으로 표시된 상태에서 핑크색으로 표시된 상태로 직선을 따라 이동하며 제1FOUP(C1)에서 나올 수 있다.
또한, 3절 링크 대기형 로봇(1)은 도 11에 도시된 바와 같이, 링크암부(30)가 제5FOUP(C5)로 접근할 때, 오프셋링크부(20)는 반 시계 방향으로 설정 각도 회전한 후, 제1링크모듈(310) 내지 제4링크모듈(340)이 회전하며 신장된다. 그리고 제4링크모듈(340)은 제5FOUP(C5)에 진입하기 전, 시계 방향으로 기 설정된 제1각도로 회전할 수 있다. 이때, 제1연결중심점(CP1)과 제3연결중심점(CP3)은 가상의 사선(OL2)을 따라 제1링크모듈(310) 내지 제4링크모듈(340)이 펼쳐질 수 있다. 이때, 제4링크모듈(340)은 핑크색으로 표시된 상태에서 연두색으로 표시된 상태로 직선을 따라 이동하며 제5FOUP(C5)로 들어갈 수 있다.
아울러, 제4링크모듈(340)은 연두색으로 표시된 상태에서 핑크색으로 표시된 상태로 직선을 따라 이동하며 제5FOUP(C5)에서 나올 수 있다.
3절 링크 대기형 로봇(1)은 5port EFEM에 설치된 각각의 FOUP에 들어 있는 기판을 로드락 그리고 로드락에서 복수 개의 FOUP으로 기판을 원활하게 이송한다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야 한다.
1: 3절 링크 대기형 로봇
10: 몸체부
110: 구동모듈
1101: 제1구동모듈 1102: 제2구동모듈
1103: 제3구동모듈 1104: 제4구동모듈
120: 승강회전모듈
1201: 회전하우징 1202: 승강하우징
130: 승강가이드바 140: 회전베어링
20: 오프셋링크부 210: 하우징
201: 제1회전축
30: 링크암부
310: 제1링크모듈 3101: 제1링크회전축
320: 제2링크모듈 3201: 제2링크구동모듈
330: 제3링크모듈 3301: 제3링크구동모듈
340: 제4링크모듈 350: 엔드이펙터
A: EFEM (Equipment Front End Module)
B: LPM (Load Port Module)
B1: 제1LPM B2: 제2LPM
B3: 제3LPM B4: 제4LPM
B5: 제5LPM
C: FOUP (Front Opening Unified Pod)
C1: 제1FOUP C2: 제2FOUP
C3: 제3FOUP C4: 제4FOUP
C5: 제5FOUP
D: Load lock

Claims (6)

  1. 일면에 제1FOUP(C1) 내지 제5FOUP(C5)이 설치되고, 타면에 로드락(D)이 설치된 EFEM(A)의 내부의 타면에 설치되어 기판을 이송하는 3절 링크 대기형 로봇에 있어서,
    복수 개의 구동모듈(110)과 구동모듈(110)과 연결되어 위 아래로 승강 및 시계 방향 또는 반 시계 방향으로 회전 가능한 승강회전모듈(120)을 포함하는 몸체부(10);
    구동모듈(110)과 연결되는 제1회전축(201)을 포함하고, 일면이 승강회전모듈(120)의 상측면에 연결되어 승강회전모듈(120)의 회전에 대응해 시계 방향 또는 반 시계 방향으로 회전하는 오프셋링크부(20);
    제1회전축(201)과 연결되는 제1링크회전축(3101)을 포함하고, 일면이 오프셋링크부(20)의 상측면에 연결되며 제1연결중심점(CP1)을 형성하는 제1링크모듈(310)과, 일단부에 제2링크구동모듈(3201)이 설치되고, 타단부가 제1링크회전축(3101)에 연결되며 제1링크모듈(310)의 상측면에 위치하는 제2링크모듈(320)과, 일단부에 제3링크구동모듈(3301)이 설치되고, 타단부가 제2링크구동모듈(3201)에 연결되며 제2링크모듈(320)의 상측면에 연결되며 제3연결중심점(CP3)을 형성하는 제3링크모듈(330)과, 일단부에 엔드이펙터(350)가 설치되고, 타단부가 제3링크구동모듈(3301)에 연결되며 제3링크모듈(330)의 상측면에 위치하여, 제1FOUP(C1)과 제5FOUP(C5)의 내부로 들어갈 때 또는 제1FOUP(C1)과 제5FOUP(C5)에서 나올 때, 가상의 직선을 따라 이동하는 제4링크모듈(340)을 포함하는 링크암부(30)를 포함하고,
    오프셋링크부(20) 및 링크암부(30)는,
    중첩되고, 폭의 가운데 지점이 제1가상직선(L1)에 위치하고,
    오프셋링크부(20)는,
    폭의 가운데 지점이 제1가상직선(L1)에 위치한 후,
    반 시계 방향으로 설정 각도로 회전되어, 폭의 가운데 지점이 제2가상직선(L2)에 위치하고,
    링크암부(30)의 제4링크모듈(340)은,
    제1FOUP(C1)에 진입하기 전, 시계 방향으로 기 설정된 제1각도로 회전하고, 제5FOUP(C5)에 진입하기 전, 반 시계 방향으로 기 설정된 제1각도로 회전하고,
    링크암부(30)는,
    제4링크모듈(340)이 제1FOUP(C1)에 들어갈 때 또는 제1FOUP(C1)에서 나올 때, 제1연결중심점(CP1)과 제3연결중심점(CP3)이 가상의 제1사선(OL1)을 따라 이동하고,
    제4링크모듈(340)이 제5FOUP(C5)에 들어갈 때 또는 제5FOUP(C5)에서 나올 때, 제1연결중심점(CP1)과 제3연결중심점(CP3)이 가상의 제2사선(OL2)을 따라 이동하고,
    제4링크모듈(340)은,
    제1FOUP(C1) 또는 제5FOUP(C5)의 내부로 들어갈 때 그리고 제1FOUP(C1) 또는 제5FOUP(C5)에서 나올 때 가상의 직선을 따라 이동하는, 3절 링크 대기형 로봇.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 제1항에 있어서, 승강회전모듈(120)은,
    복수 개의 구동모듈(110) 가운데 하나 인 제1구동모듈(1101)에 연결되어 시계 방향 또는 반 시계 방향으로 회전 운동하는 회전하우징(1201)과 복수 개의 구동모듈(110) 가운데 하나 인 제2구동모듈(1102)에 연결되어 회전하우징(1201)의 내부에 위치하는 직선 운동하는 승강하우징(1202)을 포함하는, 3절 링크 대기형 로봇.
KR1020210095635A 2021-07-21 2021-07-21 3절 링크 대기형 로봇 KR102396650B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020210095635A KR102396650B1 (ko) 2021-07-21 2021-07-21 3절 링크 대기형 로봇

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020210095635A KR102396650B1 (ko) 2021-07-21 2021-07-21 3절 링크 대기형 로봇

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR102396650B1 true KR102396650B1 (ko) 2022-05-12
KR102396650B9 KR102396650B9 (ko) 2024-02-08

Family

ID=81590497

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020210095635A KR102396650B1 (ko) 2021-07-21 2021-07-21 3절 링크 대기형 로봇

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102396650B1 (ko)

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20140044278A (ko) * 2012-10-04 2014-04-14 히라따기꼬오 가부시키가이샤 반입출 로봇
KR20190117591A (ko) 2017-02-07 2019-10-16 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드 기판 이송을 위한 방법 및 장치

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20140044278A (ko) * 2012-10-04 2014-04-14 히라따기꼬오 가부시키가이샤 반입출 로봇
KR20190117591A (ko) 2017-02-07 2019-10-16 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드 기판 이송을 위한 방법 및 장치

Also Published As

Publication number Publication date
KR102396650B9 (ko) 2024-02-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP7292249B2 (ja) 基板処理装置
TWI614102B (zh) 基板沉積系統、機械手臂運輸設備及用於電子裝置製造之方法
US9472432B1 (en) Dedicated hot and cold end effectors for improved throughput
KR100814238B1 (ko) 기판 반송 장치 및 이를 이용한 기판 처리 시스템
KR101406623B1 (ko) 워크 반송 시스템
JP2008016815A (ja) 基板搬送装置及びこの基板搬送装置を用いた基板処理設備
TWI431708B (zh) 基板支撐台、基板傳輸設備、和使用該設備的基板處理系統
KR100578134B1 (ko) 멀티 챔버 시스템
KR100991609B1 (ko) 컨테이너 반송 시스템
JP2005197752A (ja) 基板製造装置及びそれに使用される基板移送モジュール
JP2004182475A (ja) Ｆｐｄ製造装置
US20240042595A1 (en) Dual robot including splayed end effectors and systems and methods including same
KR20190130965A (ko) 기판 처리 장치
KR100583724B1 (ko) 기판 이송 장치
KR102396650B1 (ko) 3절 링크 대기형 로봇
KR100916141B1 (ko) 얼라이너 챔버 및 그것을 구비한 멀티 챔버형 기판 처리 설비
TWI828299B (zh) 用於使基板傳送機器人在傳送室內行走的行走機器人
KR20110131837A (ko) 선형 기판이송장치를 갖는 기판처리시스템
KR101364583B1 (ko) 기판 처리 시스템
JP2022523156A (ja) ２リンクアームを有するリニアロボット
KR20210043227A (ko) 대상물 이송 장치
KR20090128291A (ko) 기판 반송 장치 및 그것을 갖는 기판 처리 시스템
KR20030039146A (ko) 반도체 제조장치용 웨이퍼 이송장치 및 웨이퍼 이송방법

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
G170 Re-publication after modification of scope of protection [patent]