CN110079196A - 光固化性组合物及电子部件的制造方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种光固化性组合物,其可以提高固化物膜相对于涂布对象部件的密合性,且由于为白色,从而可以提高固化物膜的光反射率,且可以提高固化物膜的耐热性。本发明的光固化性组合物用于在涂布对象部件的表面上部分地且在多个部位进行涂布,所述光固化性组合物包含:环氧(甲基)丙烯酸酯,其具有2000以上的重均分子量且不具有羧基;光固化性化合物,其具有至少一个烯属不饱和键且不具有2000以上的重均分子量,所述光固化性化合物不是具有2000以上的重均分子量的环氧(甲基)丙烯酸酯;白色颜料;光聚合引发剂,所述环氧(甲基)丙烯酸酯的含量为5重量%以上且30重量%以下。
Description
本申请是中国申请号为201580003223.6、发明名称为“光固化性组合物及电子部件的制造方法”且申请日为2015年7月3日的专利申请的分案申请。
技术领域
本发明涉及在涂布对象部件的表面上部分地且在多个部位涂布使用的光固化性组合物。另外,本发明涉及使用上述光固化性组合物的电子部件的制造方法。
背景技术
作为用于保护印刷布线板不受高温焊锡影响的保护膜,广泛使用焊接抗蚀剂膜。
另外,各种电子部件中,在印刷布线板的上表面搭载有发光二极管(以下简称为LED)芯片。为了利用从LED发出的光中到达上述印刷布线板的上表面侧的光,有时在印刷布线板的上表面形成有白色焊接抗蚀剂膜。白色焊接抗蚀剂膜含有白色颜料。在形成这种白色焊接抗蚀剂膜的情况下,不仅利用从LED芯片的表面向印刷布线板的相反侧直接照射的光,而且还可以利用到达印刷布线板的上表面侧并由白色抗蚀剂膜反射的反射光。因此,能够提高由LED产生的光的利用效率。
另外,除抗蚀剂膜用途以外,在光反射用途中有时使用含有白色颜料的固化物膜。
作为用于形成上述白色抗蚀剂膜的材料的一个例子,下述专利文献1中公开有一种抗蚀剂材料,其含有通过环氧树脂与水解性烷氧基硅烷的脱醇反应获得的含烷氧基的硅烷改性环氧树脂,且还含有含不饱和基团的多羧酸树脂、稀释剂、光聚合引发剂、固化密合性赋予剂。
下述专利文献2中公开有一种白色阻焊剂材料,其含有不具有芳香环的含羧基的树脂、光聚合引发剂、环氧化合物、金红石型氧化钛、稀释剂。
下述专利文献3中公开有一种用于形成含有白色油墨层和底涂层的两层LED用焊接抗蚀剂膜的组合物。用于形成上述白色油墨层的组合物含有:(A1)聚氨酯丙烯酸酯树脂或聚氨酯丙烯酸酯树脂与环氧丙烯酸酯树脂的混合物即光聚合反应性聚合物、(A2)相对于上述光聚合反应性聚合物(A1)100质量份为100~170质量份的白色颜料、及(A3)相对于上述光聚合反应性聚合物(A1)100质量份为10~50质量份的光聚合引发剂。用于形成上述底涂层的组合物含有:(B1)作为环氧丙烯酸酯树脂的光聚合反应性聚合物、(B2)相对于上述光聚合反应性聚合物(B1)100质量份为200~300质量份的充填材料、及(B3)相对于上述光聚合反应性聚合物(B1)100质量份为10~50质量份的光聚合引发剂。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:(日本)特开2007-249148号公报
专利文献2:(日本)特开2007-322546号公报
专利文献3:(日本)特开2013-194057号公报
发明内容
发明要解决的技术问题
专利文献1、2记载的材料中,为了形成抗蚀剂膜,需要光刻中的曝光工序及显影工序等多个工序。因此,工序数增多,电子部件等的制造效率差。
而且,专利文献1、2记载的材料中,由于使用酸或碱等药液进行显影,所以环境负荷大。而且,为了形成通过显影除去的抗蚀剂层部分,必须使用多余的抗蚀剂材料。另外,通过显影除去的抗蚀剂层部分成为废弃物。因此,废弃物的量多,环境负荷大。
专利文献3中,形成有含有白色油墨层和底涂层的2层的LED用焊接抗蚀剂膜。该抗蚀剂膜虽然不进行显影即可形成,但需要分别准备用于形成白色油墨层的组合物和用于形成底涂层的组合物,并且,需要分别涂布这两种组合物的作业。因此,电子部件等的制造效率差,电子部件的制造成本也增高。
因此,发明者对环境负荷小且制造效率好的材料进行了探讨,发现如下技术问题:在涂布对象部件上涂布材料而形成固化物膜时,固化物膜相对于涂布对象部件的密合性降低,或者固化物膜的耐热性降低。
本发明的目的在于,提供一种固化物膜相对于涂布对象部件的密合性能够得到提高,且由于为白色从而固化物膜的光反射率能够得到提高,且固化物膜的耐热性能够得到提高的光固化性组合物。另外,本发明的目的还在于,提供一种使用上述光固化性组合物的电子部件的制造方法。
用于解决技术问题的技术方案
根据本发明的宽泛方面,提供一种光固化性组合物,其用于在涂布对象部件的表面上部分地且在多个部位进行涂布,所述光固化性组合物包含:环氧(甲基)丙烯酸酯,其具有2000以上的重均分子量且不具有羧基;光固化性化合物,其具有至少一个烯属不饱和键且不具有2000以上的重均分子量,所述光固化性化合物不是具有2000以上的重均分子量的环氧(甲基)丙烯酸酯;白色颜料;光聚合引发剂,所述环氧(甲基)丙烯酸酯的含量为5重量%以上、30重量%以下。
在本发明的光固化性组合物的某一特定方面,所述白色颜料的含量为20重量%以上且70重量%以下。
在本发明的光固化性组合物的某一特定方面,所述光固化性组合物具有至少一个(甲基)丙烯酰基且不具有2000以上的重均分子量,所述光固化性化合物不是具有2000以上的重均分子量的环氧(甲基)丙烯酸酯。
在本发明的光固化性组合物的某一特定方面,所述环氧(甲基)丙烯酸酯的含量为10重量%以上且30重量%以下。
在本发明的光固化性组合物的某一特定方面,所述光固化性组合物含有具有至少一个硫醇基的含硫醇基化合物。
在本发明的光固化性组合物的某一特定方面,光固化性组合物中所含的具有2000以上的重均分子量的光固化性成分的总含量与所述光固化性化合物的含量之比为1.25以下。
在本发明的光固化性组合物的某一特定方面,所述光固化性组合物通过照射光并发生固化后使用,且用于形成抗蚀剂膜而不进行显影。
本发明的光固化性组合物在25℃及1rpm下的粘度η1与其在25℃及10rpm下的粘度η2之比为1.1以上且2.2以下。
本发明的光固化性组合物中,优选不通过热固化剂的作用进行热固化而使用。
在本发明的光固化性组合物的某一特定方面,所述光固化性组合物不含热固化性化合物,或者含有5重量%以下的热固化性化合物。
在本发明的光固化性组合物的某一特定方面,所述光固化性组合物不用于与其它光固化性组合物一起形成多层的抗蚀剂膜。
根据本发明的宽泛方面,提供一种电子部件的制造方法,其包括:在电子部件主体的表面上部分地且在多个部位涂布所述的光固化性组合物,从而形成组合物层的工序;对所述组合物层照射光,形成固化物膜的工序所述制造方法不进行为形成所述固化物膜而使所述组合物层显影的操作。
在本发明的电子部件的制造方法的某一特定方面,不进行为形成所述固化物膜而通过热固化剂的作用使所述组合物层热固化的操作。
在本发明的电子部件的制造方法的某一特定方面,所述组合物层是抗蚀剂层,所述固化物膜是抗蚀剂膜。
发明的效果
本发明的光固化性组合物包含:环氧(甲基)丙烯酸酯,其具有2000以上的重均分子量且不具有羧基;光固化性化合物,其具有至少一个烯属不饱和键且不具有2000以上的重均分子量,所述光固化性化合物不是具有2000以上的重均分子量的环氧(甲基)丙烯酸酯;白色颜料;光聚合引发剂,所述环氧(甲基)丙烯酸酯的含量为5重量%以上且30重量%以下,因此,在涂布对象部件的表面上部分地且在多个部位涂布本发明的光固化性组合物并使其固化时,可以提高固化物膜相对于涂布对象部件的密合性,且由于为白色,从而能够提高固化物膜的光反射率,且可以提高固化物膜的耐热性。
附图说明
图1(a)~(c)是用于说明使用本发明一个实施方式的光固化性组合物制造电子部件的方法的一个例子的剖面图;
图2(a)~(e)是用于说明使用现有的显影型抗蚀剂组合物制造电子部件的方法的一个例子的剖面图。
标记说明
1…电子部件
2…抗蚀剂膜(固化物膜)
11…涂布对象部件(电子部件主体)
11A…基板
11B…电极
12…抗蚀剂层(组合物层)
具体实施方式
以下,说明本发明的详情。
[光固化性组合物]
本发明的光固化性化合物在涂布对象部件的表面上部分地且在多个部位涂布使用。本发明的光固化性组合物优选通过照射光固化而使用,且用于形成抗蚀剂膜而不进行显影。本发明的光固化性组合物优选为非显影型抗蚀剂光固化性组合物。本发明的光固化性组合物在不进行为形成抗蚀剂膜而进行显影的情况下,与进行为形成抗蚀剂膜而进行显影的显影型抗蚀剂组合物不同。本发明的光固化性组合物中,采用即使不进行显影也能够获得良好的抗蚀剂膜的组成。
本发明的光固化性组合物包含:(A)环氧(甲基)丙烯酸酯,其具有2000以上的重均分子量且不具有羧基;(B)光固化性化合物,其具有至少一个烯属不饱和键且不具有2000以上的重均分子量,所述光固化性化合物不是具有2000以上的重均分子量的环氧(甲基)丙烯酸酯;(C)白色颜料;(D)光聚合引发剂。
本发明中,由于采用上述构成,所以能够提高固化物膜(抗蚀剂膜等)相对于涂布对象部件的密合性。本发明中,即使不进行显影,固化物膜相对于涂布对象部件的密合性也高。例如,可以提高基板等电子部件主体和固化物膜(抗蚀剂膜等)的密合性,可以抑制固化物膜(抗蚀剂膜等)的剥离。而且,本发明的光固化性组合物由于含有(C)白色颜料,因此可以形成白色的固化物膜(抗蚀剂膜等)。由于固化物膜(抗蚀剂膜等)为白色,从而能够提高固化物膜(抗蚀剂膜等)的光反射率。而且,本发明中,采用上述的构成,因此,能够提高固化物膜(抗蚀剂膜等)的耐热性。例如,能够抑制固化物膜(抗蚀剂膜等)的变色。
而且,本发明的光固化性组合物100重量%中,(A)环氧(甲基)丙烯酸酯的含量为5重量%以上且30重量%以下。因此,能够有效提高固化物膜相对于涂布对象部件的密合性。而且,如果(A)环氧(甲基)丙烯酸酯的含量在上述范围内,则在印刷本发明的光固化性组合物时,外观良好。本发明中,(A)环氧(甲基)丙烯酸酯的含量在上述范围内对用于以高的水平获得本发明的效果是重要的构成。
而且,本发明中,即使不进行光刻中的曝光工序及显影工序等许多工序,也能够形成良好的固化物膜(抗蚀剂膜等)。在未进行曝光工序及显影工序的情况下,可以减少废弃物的量,可以降低环境负荷。而且,可以降低电子部件等的制造成本。
就上述光固化性组合物而言,25℃及1rpm下的粘度η1与25℃及10rpm下的粘度η2之比(η1/η2)优选为0.5以上,更优选为1.1以上,进一步优选为1.4以上,且优选为2.2以下,更优选为2.0以下。上述光固化性组合物适用于形成抗蚀剂膜而不进行显影,因此,上述光固化性组合物有时在电子部件主体等涂布对象部件的表面上部分地且在多个部位涂布使用。例如,上述光固化性组合物有时涂布成图案状。如果上述比值(η1/η2)为上述下限以上及上述上限以下,则可以将抗蚀剂膜更高精度地形成于指定的区域。例如,即使以例如宽度150μm以下涂布成图案状,也能够高精度地形成固化物膜(抗蚀剂膜等)。上述光固化性组合物适用于利用图案印刷形成固化物膜。
上述粘度可以使用E型粘度计进行测定。
使用上述光固化性组合物,照射波长365nm的光,并使累积光量为2000mJ/cm2,从而获得固化物,将获得的固化物在270℃下放置5分钟。放置前后的L*a*b*表色系的色差ΔE优选为5.0以下,更优选为4.0以下,进一步优选为3.5以下,特别优选为3.0以下。如果上述ΔE为上述上限以下,则固化物膜的耐热性非常优异,能够对长期使用导致的固化物膜的光反射率的降低进行抑制。作为用于照射波长365nm的光的灯,可举出金属卤化灯、水银灯及LED灯等。
上述光固化性组合物优选用于形成单层的抗蚀剂膜。本发明中,即使为单层的抗蚀剂膜,也能够形成发现上述效果的抗蚀剂膜。上述光固化性组合物优选用于与其它光固化性组合物一起形成多层的抗蚀剂膜。使用上述光固化性组合物形成的单层的抗蚀剂膜优选不与其它抗蚀剂膜进行叠层。在使用2种以上的光固化性组合物形成多层的抗蚀剂膜的情况下,抗蚀剂膜的制造效率降低。
上述光固化性组合物由于通过光的照射而固化,因此,可以不含热固化性化合物,也可以不含热固化剂。上述光固化性组合物优选不通过热固化剂的作用进行热固化而使用。可以不进行为形成上述固化物膜(抗蚀剂膜等)而使配置于涂布对象部件表面上的组合物层(抗蚀剂层等)进行热固化。由于形成上述固化物膜,因此可以不对配置于涂布对象部件的表面上的组合物层进行加热。但是,上述组合物层可以进行低温下的加热。为形成上述固化物膜,优选不将上述组合物层加热至280℃以上,更优选不加热至180℃以上,更优选不加热至60℃以上。加热上述组合物层的温度越低,越能够抑制电子部件主体等涂布对象部件的热劣化。
上述光固化性组合物含有具有2000以上的重均分子量的光固化性成分。上述光固化性组合物作为上述光固化性成分,至少含有(A)环氧(甲基)丙烯酸酯,其具有2000以上的重均分子量且不具有羧基。上述光固化性组合物可以含有(A)环氧(甲基)丙烯酸酯以外的具有2000以上的重均分子量的光固化性成分作为上述光固化性成分。
从更进一步提高固化物膜的密合性的观点出发,上述光固化性组合物中,以重量基准计,上述光固化性组合物中所含的上述光固化性成分的总含量与(B)光固化性化合物的含量之比优选为0.1以上,更优选为0.2以上,进一步优选为0.3以上,所述(B)光固化性化合物具有至少一个烯属不饱和键。另外,从更进一步提高固化物膜的密合性的观点出发,在上述光固化性组合物中,以重量基准计,上述光固化性组合物中所含的上述光固化性成分的总含量与(B)光固化性化合物的含量之比优选为1.5以下,更优选为1.25以下,进一步优选为0.95以下,特别优选为0.7以下,所述(B)光固化性化合物具有至少一个乙烯性不饱和键。
就上述光固化性组合物中所含的上述光固化性成分的总含量而言,在上述光固化性组合物作为具有2000以上的重均分子量的光固化性成分仅含有(A)环氧(甲基)丙烯酸酯时,表示(A)环氧(甲基)丙烯酸酯的含量;在上述光固化性组合物作为具有2000以上的重均分子量的光固化性成分含有(A)环氧(甲基)丙烯酸酯和(A)环氧(甲基)丙烯酸酯以外的具有2000以上的重均分子量的光固化性成分时,表示(A)环氧(甲基)丙烯酸酯和(A)环氧(甲基)丙烯酸酯以外的具有2000以上的重均分子量的光固化性成分的总计含量。
以下,说明上述光固化性组合物中所含的各成分。
((A)环氧(甲基)丙烯酸酯)
上述光固化性组合物中所含的(A)环氧(甲基)丙烯酸酯不具有羧基。上述光固化性组合物中所含的(A)环氧(甲基)丙烯酸酯的重均分子量为2000以上。通过使用(A)环氧(甲基)丙烯酸酯,固化物膜相对于涂布对象部件的密合性更有效地提高。特别是在(C)白色颜料含量多时,如果不使用(A)环氧(甲基)丙烯酸酯,则固化物膜的密合性存在容易降低的倾向。通过使用(A)环氧(甲基)丙烯酸酯,即使(C)白色颜料的含量多,也能够提高固化物膜的密合性。(A)环氧(甲基)丙烯酸酯可以单独使用1种,也可以组合使用2种以上。
从提高固化物膜的硬度的观点出发,(A)环氧(甲基)丙烯酸酯优选含有2官能的环氧(甲基)丙烯酸酯和3官能以上的环氧(甲基)丙烯酸酯。2官能的环氧(甲基)丙烯酸酯优选具有2个(甲基)丙烯酰基。3官能以上的环氧(甲基)丙烯酸酯优选具有3个(甲基)丙烯酰基。
(A)环氧(甲基)丙烯酸酯通过使(甲基)丙烯酸和环氧化合物反应而得到。(A)环氧(甲基)丙烯酸酯通过将环氧基变换为(甲基)丙烯酰基而得到。上述光固化性组合物通过照射光而固化,因此,(A)环氧(甲基)丙烯酸酯优选不具有环氧基。
作为(A)环氧(甲基)丙烯酸酯,可举出双酚型环氧(甲基)丙烯酸酯(例如双酚A型环氧(甲基)丙烯酸酯、双酚F型环氧(甲基)丙烯酸酯、双酚S型环氧(甲基)丙烯酸酯)、甲酚酚醛清漆型环氧(甲基)丙烯酸酯、胺改性双酚型环氧(甲基)丙烯酸酯、己内酯改性双酚型环氧(甲基)丙烯酸酯、羧酸酐改性环氧(甲基)丙烯酸酯、及酚醛清漆型环氧(甲基)丙烯酸酯等.
作为2官能的环氧(甲基)丙烯酸酯的市售品,可举出KAYARADR-381(日本化药株式会社制造、双酚A型环氧丙烯酸酯)、PE2100P(MIWON株式会社制造、双酚A型环氧丙烯酸酯)、Ripoxy PC-3F(昭和电工株式会社制造、双酚A型环氧丙烯酸酯)及EBECRYL3708(Daicel-allnex株式会社制造、改性双酚A型环氧丙烯酸酯)等。另外,作为3官能以上的环氧(甲基)丙烯酸酯的市售品,可举出EBECRYL3603(Daicel-allnex株式会社制造、酚醛环氧丙烯酸酯)等。另外,也可以通过使2官能的环氧(甲基)丙烯酸酯的羟基改性并导入(甲基)丙烯酰基,获得3官能以上的环氧(甲基)丙烯酸酯。
“(甲基)丙烯酰基”表示丙烯酰基和甲基丙烯酰基。“(甲基)丙烯酸”表示丙烯酸和甲基丙烯酸。“(甲基)丙烯酸酯”表示丙烯酸酯和甲基丙烯酸酯。
(A)环氧(甲基)丙烯酸酯的重均分子量为2000以上。(A)环氧(甲基)丙烯酸酯的重均分子量低于2000时,存在固化物膜的密合性变差的倾向。(A)环氧(甲基)丙烯酸酯的重均分子量优选为20000以下。但是,可以使用重均分子量为2000以上的(A)环氧(甲基)丙烯酸酯,并且使用重均分子量低于2000的环氧(甲基)丙烯酸酯。(A)环氧(甲基)丙烯酸酯的重均分子量优选为3000以上,更优选为5000以上。
重均分子量是通过凝胶渗透色谱(GPC)测定以聚苯乙烯计的重均分子量,可通过下述的测定装置及测定条件来测定。
测定装置:日本Waters株式会社制造的“Waters GPC System(Waters2690+Waters2414(RI))”
测定条件柱:Shodex GPCLF-G×1根、Shodex GPCLF-804×2根
移动相:THF 1.0mL/分钟
样品浓度:5mg/mL
检测器:差示折射率检测器(RID)
标准物质:聚苯乙烯(TOSOH株式会社制造、分子量:620~590000)
(A)环氧(甲基)丙烯酸酯可以是具有羟基的环氧(甲基)丙烯酸酯的羟基经过改性而成的环氧(甲基)丙烯酸酯。该情况下,可以提高交联度,且可以提高硬度。作为可用于改性的化合物,可举出硅烷偶联剂及具有异氰酸酯基的单体等。作为上述硅烷偶联剂,可举出具有乙烯基、(甲基)丙烯酰基、苯乙烯基、巯基、环氧基、氨基、硫醚基、脲基、及异氰酸酯基等官能团的化合物等。由于有光反应性,所以优选具有乙烯基、(甲基)丙烯酰基、苯乙烯基、或巯基的化合物。作为具有异氰酸酯基的单体,可举出具有乙烯基、(甲基)丙烯酰基、苯乙烯基、或巯基的化合物等。
(A)环氧(甲基)丙烯酸酯不具有羧基。通过使用不具有羧基的环氧(甲基)丙烯酸酯,能够防止固化物膜中的羧基带来的恶劣影响,例如能够抑制固化物膜的变色。
上述光固化性组合物100重量%中,(A)环氧(甲基)丙烯酸酯的含量为5重量%以上且30重量%以下。上述光固化性组合物100重量%中,(A)环氧(甲基)丙烯酸酯的含量优选为10重量%以上。(A)环氧(甲基)丙烯酸酯的含量为上述下限以上时,固化物的密合性有效地提高。(A)环氧(甲基)丙烯酸酯的含量为上述上限以下时,固化物膜的铅笔硬度有效地提高,在印刷时更容易得到均匀的涂膜。另外,从有效提高固化物膜的密合性的观点出发,上述光固化性组合物100重量%中,重均分子量为2000以上的2官能的环氧(甲基)丙烯酸酯和重均分子量为2000以上的3官能以上的环氧(甲基)丙烯酸酯的总计含量优选为5重量%以上,更优选为10重量%以上,且优选为30重量%以下。
((B)具有至少一个烯属不饱和键的光固化性化合物)
通过将(B)具有至少一个烯属不饱和键的光固化性化合物与(A)环氧(甲基)丙烯酸酯一起使用,即使(C)白色颜料的含量多,也能够有效地提高固化物膜的密合性,而且,容易将光固化性组合物的粘度比值(η1/η2)控制在最佳的范围。(B)具有至少一个烯属不饱和键的光固化性化合物中不含具有2000以上的重均分子量的环氧(甲基)丙烯酸酯。(B)具有至少一个烯属不饱和键的光固化性化合物可以单独使用1种,也可以组合2种以上。
(B)具有至少一个烯属不饱和键的光固化性化合物不具有2000以上的重均分子量。因此,(B)具有至少一个烯属不饱和键的光固化性化合物优选具有低于2000的分子量。(B)光固化性化合物的分子量优选为1000以下,更优选为800以下,进一步优选为600以下。需要说明的是,本发明中,分子量是指:在可根据分子结构算出的情况下为算出的值,在不能根据分子结构算出的情况下为重均分子量。
从更进一步提高固化物膜的密合性的观点出发,(B)具有至少一个烯属不饱和键的光固化性化合物优选为具有至少一个(甲基)丙烯酰基的光固化性化合物。(B)具有至少一个烯属不饱和键的光固化性化合物优选具有至少一个(甲基)丙烯酰基作为含有烯属不饱和键的基团。
作为(B)具有至少一个烯属不饱和键的光固化性化合物,没有特别限定,可举出:多元醇的(甲基)丙烯酸加成物、多元醇的环氧烷烃改性物的(甲基)丙烯酸加成物、聚氨酯(甲基)丙烯酸酯、及聚酯(甲基)丙烯酸酯等。作为上述多元醇,可以举出:二乙二醇、三乙二醇、聚乙二醇、二丙二醇、三丙二醇、聚丙二醇、三羟甲基丙烷、环己烷二甲醇、三环癸烷二甲醇、双酚A的环氧烷烃加成物、及季戊四醇等。(B)光固化性化合物中,可以残留一部分羟基。
从更进一步提高固化物膜的密合性的观点出发,光固化性组合物可以含有聚氨酯(甲基)丙烯酸酯或聚酯(甲基)丙烯酸酯。
从更进一步提高固化物膜的密合性的观点出发,优选(B)具有至少一个烯属不饱和键的光固化性化合物含有(B1)具有一个烯属不饱和键的光固化性化合物。
(B)具有至少一个烯属不饱和键的光固化性化合物可以含有(B2)具有2个以上的烯属不饱和键的光固化性化合物,也可以含有(B3)具有3个以上的烯属不饱和键的光固化性化合物。从更进一步提高固化物膜的密合性的观点出发,(B)具有至少一个烯属不饱和键的光固化性化合物优选含有(B1)具有一个烯属不饱和键的光固化性化合物和(B2)具有2个以上的烯属不饱和键的光固化性化合物。
从更进一步提高固化物膜的密合性的观点出发,(B)具有至少一个烯属不饱和键的光固化性化合物优选含有脂环式化合物,或者,含有芳香环或羟基。虽然优选单官能的成分,但可以含有二官能等多官能的多种成分。
(B)具有至少一个子阿虎不饱和键的光固化性化合物优选不具有羧基。通过使用不具有羧基的光固化性化合物,能够防止固化物膜中的羧基带来的恶劣影响,能够抑制例如固化物膜的变色。
(B)具有至少一个烯属不饱和键的光固化性化合物在25℃下的粘度优选为1mPa·s以上,更优选为3mPa·s以上。从更进一步通过固化物膜的密合性的观点出发,(B)具有至少一个烯属不饱和键的光固化性化合物在25℃下的粘度优选为200mPa·s以下,更优选为100mPa·s以下。
上述粘度可以使用E型粘度计在25℃及10rpm的条件下测定。
上述光固化性组合物100重量%中,(B)具有至少一个烯属不饱和键的光固化性化合物的含量优选为5重量%以上,更优选为10重量%以上,且优选为50重量%以下,更优选为40重量%以下。如果(B)具有至少一个烯属不饱和键的光固化性化合物的含量为上述下限以上及上述上限以下,则固化物膜的物性有效地提高。
上述光固化性组合物100重量%中,(B1)具有一个烯属不饱和键的光固化性化合物的含量优选为10重量%以上,更优选为20重量%以上,且优选为50重量%以下,更优选为40重量%以下。如果(B1)具有至少一个烯属不饱和键的光固化性化合物的含量为上述下限以上及上述上限以下,则固化物膜的密合性有效地提高。
上述光固化性组合物100重量%中,(B3)具有至少3个以上的烯属不饱和键的光固化性化合物的含量优选为5重量%以上,且优选为20重量%以下。如果(B3)具有3个以上的烯属不饱和键的光固化性化合物的含量为上述下限以上及上述上限以下,则固化物膜的密合性有效地提高。
((C)白色颜料)
由于上述光固化性组合物含有(C)白色颜料,从而能够形成光反射率高的固化物膜。通过使用(C)白色颜料,与仅使用(C)白色颜料以外的充填材料的情况相比,能够获得光反射率高的固化物膜。(C)白色颜料可以单独使用1种,也可以组合2种以上。
作为(C)白色颜料,可举出氧化铝、氧化钛、氧化锌、氧化锆、氧化锑及氧化镁等。
从更进一步提高固化物膜的光反射率的观点出发,(C)白色颜料优选为氧化钛、氧化锌、硫酸钡、碳酸钙、滑石或氧化锆。在使用该优选的白色颜料的情况下,氧化钛、氧化锌、硫酸钡、碳酸钙、滑石及氧化锆中,可以使用1种或2种以上的白色颜料。(C)白色颜料优选为氧化钛或氧化锌,优选为氧化钛,且优选为氧化锌。(C)白色颜料可以是氧化锆。
上述氧化钛优选为金红石型氧化钛。通过使用金红石型氧化钛,固化物膜的耐热性更进一步提高,可更进一步抑制固化物膜的变色。
上述氧化钛优选为利用铝氧化钨、锆氧化钨、或硅氧化物等进行了表面处理的金红石型氧化钛。通过使用上述经表面处理的金红石型氧化钛,固化物膜的耐热性更进一步提高。
作为上述经表面处理的金红石型氧化钛,例如可举出:作为金红石氯法氧化钛的石原产业株式会社制造的“CR-90-2”、作为金红石氯法氧化钛的石原产业株式会社制造的“CR-58”、作为金红石硫酸法氧化钛的Dupont株式会社制造的“R-900”、以及作为金红石硫酸法氧化钛的石原产业株式会社制造的“R-630”等。金红石型氧化钛以外的白色颜料可以同样地进行表面处理。
从更进一步提高固化物膜的密合性及强度的观点出发,(C)白色颜料可以含有氧化钛、和与氧化钛不同的白色颜料。
上述表面处理的方法没有特别限定。作为表面处理的方法,可使用干式法、湿式法、整体掺混法、以及其它众所周知惯用的表面处理方法。
(C)白色颜料的平均粒径优选为0.1μm以上,且优选为40μm以下。如果上述平均粒径为上述下限以上及上述上限以下,则能够更进一步提高固化物膜的光反射率。
上述光固化性组合物100重量%中,(C)白色颜料的含量优选为20重量%以上,更优选为30重量%以上,进一步优选为40重量%以上,且优选为70重量%以下,更优选为60重量%以下。如果(C)白色颜料的含量为上述下限以上及上述上限以下,则固化物膜的光反射率更进一步提高,上述固化物膜的密合性更进一步提高。上述光固化性组合物100重量%中,(C)白色颜料的含量可以为50重量%以上。
本发明中,采用特定的组成,因此,即使(C)白色颜料的含量增多,也能够提高固化物膜的密合性。例如,上述光固化性组合物100重量%中,即使(C)白色颜料的含量为50重量%以上,也能够充分提高固化物膜的密合性。
从更进一步提高固化物膜的密合性,且更进一步提高固化物膜的光反射率的观点出发,上述光固化性组合物中,以重量基准计,(C)白色颜料的含量与(A)环氧(甲基)丙烯酸酯的含量之比优选为0.5以上,更优选为1.0以上,进一步优选为1.5以上。从更进一步提高固化物膜的密合性的观点出发,上述光固化性组合物中,以重量基准计,(C)白色颜料的含量与(A)环氧(甲基)丙烯酸酯的含量之比优选为10以下,更优选为5.0以下,进一步优选为4.0以下。
在上述(C)白色颜料含有氧化钛的情况下,从更进一步提高固化物膜的密合性,且更进一步提高固化物膜的光反射率的观点出发,上述光固化性组合物中,以重量基准计,氧化钛的含量相对于(C)白色颜料的含量之比优选为0.4以上,更优选为0.6以上,进一步优选为0.8以上。从更进一步提高固化物膜的密合性的观点出发,上述光固化性组合物中,以重量基准计,氧化钛的含量与(C)白色颜料的含量之比优选为1.0以下。
((D)光聚合引发剂)
上述光固化性组合物含有(D)光聚合引发剂,因此,可通过照射光而使光固化性组合物固化。(D)光聚合引发剂可以单独使用1种,也可以组合2种以上。
作为(D)光聚合引发剂,可举出:酰基膦氧化物、卤代甲基化三嗪、卤甲基化噁二唑、咪唑、苯偶姻、苯偶姻烷基醚、蒽醌、苯并蒽酮、二苯甲酮、烷基苯酮、噻吨酮、苯甲酸酯、吖啶、吩嗪、茂钛、α-氨基烷基苯酮、肟、及它们的衍生物。
作为二苯甲酮类光聚合引发剂,可举出邻苯甲酰基苯甲酸甲酯及米希勒氏酮蚩等。作为二苯甲酮类光聚合引发剂的市售品,可举出EAB(保土谷化学工业株式会社制造)等。
作为烷基苯酮系光聚合引发剂的市售品,可举出:Darocur1173、Darocur2959、Irgacure184、Irgacure907、Irgacure369、Irgacure651(BASF株式会社制造)、及Esacure1001M(Lamberti株式会社制造)等。
作为酰基膦氧化物光聚合引发剂的市售品,可举出Lucirin TPO(BASF株式会社制造)、及Irgacure819(BASF株式会社制造)等。
作为噻吨酮类光聚合引发剂的市售品,可举出异丙基噻吨酮、及二乙基噻吨酮等。
作为肟酯类光聚合引发剂的市售品,可举出IrgacureOXE-01、及IrgacureOXE-02(BASF株式会社制造)等。
从更进一步提高固化物膜的密合性的观点出发,(D)光聚合引发剂优选含有酰基膦类光聚合引发剂、和烷基苯酮类光聚合引发剂这两种。
从更进一步抑制发泡、剥离及变色的观点出发,(D)光聚合引发剂优选含有烷基苯酮类光聚合引发剂和酰基膦氧化物类光聚合引发剂这两种,还优选含有酰基膦氧化物类光聚合引发剂和双酰基氧化膦氧化物类光聚合引发剂这两种。
相对于(A)环氧(甲基)丙烯酸酯和(B)具有至少一个烯属不饱和键的光固化性化合物总计100重量份,(D)光聚合引发剂的含量优选为1重量份以上,更优选为3重量份以上,且优选为20重量份以下,更优选为15重量份以下。如果(D)光聚合引发剂的含量为上述下限以上及上述上限以下,则可以使光固化性组合物良好地进行光固化。
从进一步提高固化物的内部和外表面这两者的固化性的观点出发,(D)光聚合引发剂优选组合是员工2种以上。光固化性组合物优选含有2种以上的光聚合引发剂。具体而言,更优选Irgacure819(双(2,4,6-三甲基苯甲酰基)-苯基膦氧化物、BASF株式会社制造)、TPO(2,4,6-三甲基苯甲酰基-二苯基-膦氧化物、BASF株式会社制造)、Esacure1001M(1-[4-(4-苯甲酰基)苯基]-2-甲基-2-(4-甲基苯基磺酰基)丙烷-1-酮、Lamberti株式会社制造)、Darocur1173、Darocur2959、Irgacure907、Irgacure369、Irgacure651或Irgacure184的组合。该情况下,Irgacure819的含量在(D)光聚合引发剂总量的100重量%中,优选为1重量%以上,更优选为15重量%以上,且优选为99重量%以下,更优选为85重量%以下。另外,可以使用Irgacure819作为必须成分,并组合使用3种以上的光聚合引发剂。该情况下,Irgacure819的优选的含量的下限及上限与上述值相同。
((E)具有至少一个硫醇基的含硫醇基化合物)
通过对(E)具有至少一个硫醇基的含硫醇基化合物与其它化合物进行组合使用,能够获得耐湿性优异的固化物膜,且能够获得耐热性高的固化物膜。而且,通过对(E)含硫醇基化合物与通过氯法制造的金红石型氧化钛进行组合使用,能够兼具固化物膜的密合性和光固化性组合物的保存稳定性。(E)含硫醇基化合物可以单独使用1种,也可以组合使用2种以上。
作为(E)含硫醇基化合物的具体例,可举出:SC有机化学株式会社制造的三羟甲基丙烷三(3-巯基丙酸酯)(TMMP)、季戊四醇四(3-巯基丙酸酯)(PEMP)、三[(3-巯基丙酰氧基)-乙基]异氰脲酸酯(TEMPIC)、四乙二醇双(3-巯基丙酸酯)(EGMP-4)、二季戊四醇六(3-巯基丙酸酯)(DPMP)等伯多官能硫醇、昭和电工株式会社制造的季戊四醇四(3-巯基丁酸酯)(Karenz MTPE1)、1,3,5-三(3-巯基丁酰基氧基乙基)-1,3,5-三嗪-2,4,6(1H,3H,5H)-三酮(Karenz MTNR1)、1,4-双(3-巯基丁酰基氧基)丁烷(Karenz MTBD1)等仲多官能硫醇、SC有机化学株式会社制造的(β-巯基丙酸(BMPA)、3-巯基丙酸甲酯(MPM)、3-巯基丙酸2-乙基己酯(EHMP)、3-巯基丙酸正辛酯(NOMP)、甲氧基丁基-3-巯基丙酸酯(MBMP)、3-巯基丙酸十八烷基酯(STMP)等单官能硫醇等。
从更进一步提高固化物膜的耐湿性,提高固化物膜的密合性的观点出发,(E)具有至少一个硫醇基的含硫醇基化合物优选含有(E1)具有2个以上的硫醇基的硫醇化合物。
上述光固化性组合物100重量%中,(E)含硫醇基化合物及(E1)硫醇化合物的含量分别优选为0.1重量%以上,更优选为0.5重量%以上,且优选为10重量%以下,更优选为5重量%以下。相对于(A)环氧(甲基)丙烯酸酯100重量份,(E)含硫醇基化合物及(E1)硫醇化合物的含量分别优选为1.0重量份以上,更优选为3.0重量份以上,且优选为35重量份以下,更优选为25重量份以下,进一步优选为20重量份以下。相对于(A)环氧(甲基)丙烯酸酯和(B)光反应性化合物总计的100重量份,(E)含硫醇基化合物及(E1)硫醇化合物的含量分别优选为0.2重量份以上,更优选为1重量份以上,且优选为20重量份以下,更优选为10重量份以下,进一步优选为6重量份以下。如果(E)含硫醇基化合物及(E1)硫醇化合物的含量为上述下限以上及上述上限以下,则固化物膜的耐湿性提高,可更进一步抑制固化物膜的剥离,而且,可以以高水平兼具固化物膜的密合性和光固化性组合物的保存稳定性。另外,如果(E)含硫醇基化合物及(E1)硫醇化合物的含量为上述上限以下,则在保存中不易进行凝胶化。如果(E)含硫醇基化合物及(E1)硫醇化合物的含量为上述下限以上,则固化性更进一步提高。从提高保存稳定性的观点出发,优选使用仲硫醇化合物。从提高保存稳定性的观点出发,可以使用聚合抑制剂。
((F)热固化性化合物)
上述光固化性组合物优选不含(F)热固化性化合物,或者含有5重量%以下的(F)热固化性化合物。本发明中,在使用(F)热固化性化合物时,优选减少(F)热固化性化合物的使用量。就(F)热固化性化合物的含量为5重量%以下的组合物、和(F)热固化性化合物的含量例如为10重量%以上的组合物而言,固化物的基本物性通常是不同的。(F)热固化性化合物可以单独使用1种,也可以组合使用2种以上。
作为(F)热固化性化合物,可举出环氧化合物等。
上述光固化性组合物优选不含环氧化合物,或者含有5重量%以下的环氧化合物。
从更进一步抑制发泡、剥离及变色的观点出发,光固化性组合物100重量%中,(F)热固化性化合物的含量越少越好。光固化性组合物100重量%中,(F)热固化性化合物的含量优选为3重量%以下,更优选为1重量%以下,进一步优选为0.5重量%以下,特别优选为0重量%(未使用)。光固化性组合物100重量%中,环氧化合物的含量优选为3重量%以下,更优选为1重量%以下,进一步优选为0.5重量%以下,特别优选为0重量%(未使用)。
((G)有机溶剂)
上述光固化性组合物可以含有(G)有机溶剂,也可以不含(G)有机溶剂。
上述光固化性组合物可以不含(G)有机溶剂,或者含有10重量%以下的(G)有机溶剂。
从更进一步提高固化物膜的密合性的观点出发,光固化性组合物100重量%中,(G)有机溶剂的含量越少越好。光固化性组合物100重量%中,(G)有机溶剂的含量优选为3重量%以下,更优选为1重量%以下,进一步优选为0.5重量%以下,特别优选为0重量%(未使用)。
(其它成分)
上述光固化性组合物可以含有有机溶剂,也可以不含有机溶剂。
上述光固化性组合物除上述的成分以外,还可以含有白色颜料以外的无机填料、有机填料、着色剂、聚合抑制剂、链转移剂剂、固化助剂、抗氧化剂、紫外线吸收剂、消泡剂、流平剂、表面活性剂、滑爽剂、防粘连剂、石蜡、掩蔽剂、除臭剂、芳香剂、防腐剂、抗菌剂、抗静电剂及密合性赋予剂等。作为上述密合性赋予剂,可举出硅烷偶联剂等。
从更进一步提高固化物膜的密合性及强度的观点出发,光固化性化合物也可以含有与氧化钛不同且不是白色颜料的无机填料。
[电子部件及电子部件的制造方法]
电子部件的制造方法包括:在电子部件主体的表面上涂布上述光固化性组合物而形成组合物层的工序;对上述组合物层照射光而形成固化物膜的工序。电子部件的制造方法中,优选不进行为形成上述固化物膜而使上述组合物层显影。优选上述组合物层为抗蚀剂层,且优选上述固化物膜为抗蚀剂膜。
上述光固化性组合物适用于不进行显影而形成固化物膜,因此,可以在电子部件主体的表面上部分地且在多个部位涂布上述光固化性组合物。
从防止电子部件主体的热劣化的观点出发,为形成上述固化物膜,优选不使上述组合物层通过热固化剂的作用热固化。
以下,参照附图说明本发明的具体的电子部件的制造方法。在以下说明的实施方式中,上述组合物层为抗蚀剂层,上述固化物膜为抗蚀剂膜。为形成抗蚀剂膜,使用非显影型抗蚀剂光固化性组合物。
首先,如图1(a)所示,准备涂布对象部件11。涂布对象部件11是电子部件主体。作为涂布对象部件11,使用基板11A,在基板11A的表面上配置有多个电极11B。
其次,如图1(b)所示,在涂布对象部件11的表面上涂布非显影型抗蚀剂光固化性组合物,形成抗蚀剂层12(组合物层)。图1(b)中,在涂布对象部件11的表面上部分地且在多个部位涂布上述非显影型抗蚀剂光固化性组合物,形成多个抗蚀剂层12。具体而言,在基板11A的表面上的多个电极11B之间形成有多个抗蚀剂层12。抗蚀剂层12例如是抗蚀剂图案。例如,抗蚀剂层12在假定使用现有的显影型抗蚀剂组合物时,仅在与显影后残留形成的抗蚀剂层部分相对应的位置形成。使用现有的显影型抗蚀剂组合物,不在通过显影除去的与抗蚀剂层部分相对应的位置形成抗蚀剂层12。
非显影型抗蚀剂光固化性组合物的涂布方法例如可举出利用分配器的涂布方法、丝网印刷的涂布方法、及利用喷墨装置的涂布方法等。从制造效率优异的观点出发,优选丝网印刷。优选对非显影型抗蚀剂光固化性组合物进行图案印刷。
其次,对抗蚀剂层12照射光。例如,从与抗蚀剂层12的涂布对象部件11侧相反的一侧向抗蚀剂层12照射光。其结果,如图1(c)所示,抗蚀剂层12进行光固化,形成抗蚀剂膜2(固化物膜)。其结果,获得在涂布对象部件11(电子部件主体)的表面上形成有抗蚀剂膜2的电子部件1。
此外,使用图1(a)~(c)说明的具备抗蚀剂膜的电子部件的制造方法是一个例子,电子部件的制造方法可适宜变更。在制造电子部件时,优选形成抗蚀剂膜而不进行显影。
在使用本发明的非显影型抗蚀剂光固化性组合物并制造电子部件时,可以在涂布对象部件的表面上形成2层以上的抗蚀剂层,该2层以上的抗蚀剂层可以部分地且在多个部位形成。此时,可以在涂布对象部件的表面上每涂布一层非显影型抗蚀剂光固化性组合物时照射光,形成抗蚀剂层,另外,也可以在进行了2层以上涂布之后照射光而形成抗蚀剂层。
此外,目前,多使用显影型抗蚀剂组合物。在使用负型的显影型抗蚀剂组合物的情况下,如图2(a)所示,例如准备涂布对象部件111,其具有基板111A和配置于基板111A的表面上的电极111B。其次,如图2(b)所示,在涂布对象部件111的表面上整体地形成抗蚀剂层112。接着,如图2(c)所示,隔着掩模113仅对电极111B上的抗蚀剂层112照射光。然后,如图2(d)所示,进行显影,将位于电极111B间的抗蚀剂层112部分地除去。部分地除去了抗蚀剂层112之后,使残留的抗蚀剂层112热固化。其结果,如图2(e)所示,获得在涂布对象部件111(电子部件主体)的表面上,形成有抗蚀剂膜102的电子部件101。
如上所示,在使用显影型抗蚀剂组合物的情况下,抗蚀剂膜的形成效率及电子部件的制造效率差。而且需要进行显影。
与之相对,通过使用本发明的光固化性组合物,能够提高固化物膜(抗蚀剂膜等)的形成效率及电子部件的制造效率。另外不需要进行显影。
另外,本发明中,作为电子部件,也可以制作具备上述固化物膜作为光反射膜的反射板。电子部件中,上述固化物膜可以作为光反射膜,也可以配置在用于反射光的位置。电子部件也可以具备光照射部。在利用上述固化物膜反射光时,上述固化物膜可以露出,或者也可以叠层透明部件。
以下,举出实施例及比较例具体地说明本发明。本发明不限于以下的实施例。
(实施例1~17及比较例1~7)
(1)非显影型抗蚀剂光固化性组合物的制备
按以下的表1~3所示的配合量配合以下的表1~3所示的配合成分,制备非显影型抗蚀剂光固化性组合物。
(2)电子部件的制备
准备100mm×100mm×厚度0.8mm的FR-4上叠层有铜箔的基板。在该基板上,利用丝网印刷法并使用255网眼的涤纶斜纹制(ポリエステルバイアス製)的版,以掩模对非显影型抗蚀剂光固化性组合物进行图案印刷,形成抗蚀剂层。印刷后,使用设置有高压水银灯的紫外线照射装置,对抗蚀剂层照射波长365nm的紫外线,使累积光量为2000mJ/cm2,并使其在皮带输送式曝光器通过一次,由此获得作为测定试样的抗蚀剂膜。获得的抗蚀剂膜的厚度为20μm。
(评价)
(1)涂布精度(粘度(比值(η1/η2)))
对于获得的光固化性组合物,使用E型粘度计对光固化性组合物在25℃及1rpm下的粘度η1、和25℃及10rpm下的粘度η2进行测定。求出比值(η1/η2)。
(2)涂布精度(L/S(μm))
使用构图有500μm、300μm、200μm、150uμm、100μm的各线宽的L/S的掩模进行丝网印刷及曝光,确认了L/S的印刷精度。按下述进行判定。
将如果线和线之间未流入树脂,则线是能够确认的状态,且宽和宽之间未流入树脂从而间隔能够确认的状态的线宽设为合格,且记载线宽数值。
(3)密合性(棋盘格试验)
对于获得的电子部件,通过划格胶带试验(JIS 5600)确认,且基于下述判定基准确认。以1mm间隔棋盘格状地对固化物以20块量切割切痕而制作,接着,在具有切痕部分的固化物充分贴合透明胶带(JIS Z1522),将胶带的一端以60度的角度强力剥离,确认剥离状态。根据JIS对剥离状态进行分类。在分类0,1、2的情况下,剥离的方格的数量为0。
(4)密合性(PCT试验96h)
将测定样品在121℃、2atm的条件下放置96小时后,确认评价样品有无剥离。
[PCT试验96h的判定基准]
○:不存在抗蚀剂的膜剥离
×:存在抗蚀剂膜的剥离
(5)涂膜的均匀性
将获得的光固化性组合物以厚度20μm涂布于支持部件上。对涂布后的光固化性组合物照射波长365nm的紫外线,使累积光量为2000mJ/cm2,获得固化物。确认获得的固化物的外观。
[涂膜均匀性的判定基准]
○:符合×的判定基准以外的
×:表面确认到多个凹凸或筋
(6)反射率(Y(%))
对于获得的电子部件,使用色彩/色差计(KONICA MINOLTA株式会社制造的“CR-400”)测定评价样品的反射率Y值。
(7)耐热性(反射率(ΔE))
将获得的光固化性组合物涂布于支持部件上,使其厚度20μm。对于涂布后的光固化性组合物,照射波长365nm的紫外线使累积光量为2000mJ/cm2,从而获得固化物,将获得的固化物在270℃下放置5分钟。使用色彩色度计求得放置前后的L*a*b*表色系中的色差ΔE。
(8)铅笔硬度
将获得的光固化性组合物涂布于支持部件上,使其厚度20μm。对于涂布后的光固化性组合物照射波长365nm的紫外线,使累积光量为2000mJ/cm2,获得固化物。对于获得的固化物,以JIS K5600-5-4为基准求铅笔硬度。
下述表1~3中示出组成及结果。
Claims (14)
1.一种光固化性组合物,其用于在涂布对象部件的表面上部分地且在多个部位进行涂布,
所述光固化性组合物包含:
环氧(甲基)丙烯酸酯,其具有2000以上的重均分子量且不具有羧基;
光固化性化合物,其具有至少一个烯属不饱和键且不具有2000以上的重均分子量,所述光固化性化合物不是具有2000以上的重均分子量的环氧(甲基)丙烯酸酯;
白色颜料;
光聚合引发剂,
所述环氧(甲基)丙烯酸酯的含量为5重量%以上且30重量%以下。
2.如权利要求1所述的光固化性组合物,其中,
所述白色颜料的含量为20重量%以上且70重量%以下。
3.如权利要求1或2所述的光固化性组合物,其具有至少一个(甲基)丙烯酰基且不具有2000以上的重均分子量,所述光固化性化合物不是具有2000以上的重均分子量的环氧(甲基)丙烯酸酯。
4.如权利要求1~3中任一项所述的光固化性组合物,其中,
所述环氧(甲基)丙烯酸酯的含量为10重量%以上且30重量%以下。
5.如权利要求1~4中任一项所述的光固化性组合物,其含有具有至少一个硫醇基的含硫醇基化合物。
6.如权利要求1~5中任一项所述的光固化性组合物,其中,
光固化性组合物中所含的具有2000以上的重均分子量的光固化性成分的总含量与所述光固化性化合物的含量之比为1.25以下。
7.如权利要求1~6中任一项所述的光固化性组合物,其是非显影型抗蚀剂光固化性组合物,
所述光固化性组合物通过照射光并发生固化后使用,且用于形成抗蚀剂膜而不进行显影。
8.如权利要求1~7中任一项所述的光固化性组合物,其在25℃及1rpm下的粘度η1与其在25℃及10rpm下的粘度η2之比为1.1以上且2.2以下。
9.如权利要求1~8中任一项所述的光固化性组合物,其不通过热固化剂的作用进行热固化而使用。
10.如权利要求1~9中任一项所述的光固化性组合物,其不含热固化性化合物,或者含有5重量%以下的热固化性化合物。
11.如权利要求1~10中任一项所述的光固化性组合物,其不用于与其它光固化性组合物一起形成多层的抗蚀剂膜。
12.一种电子部件的制造方法,其包括:
在电子部件主体的表面上部分地且在多个部位涂布权利要求1~11中任一项所述的光固化性组合物,从而形成组合物层的工序;
对所述组合物层照射光,形成固化物膜的工序,
所述制造方法不进行为形成所述固化物膜而使所述组合物层显影的操作。
13.如权利要求12所述的电子部件的制造方法,其中,
不进行为形成所述固化物膜而通过热固化剂的作用使所述组合物层热固化的操作。
14.如权利要求12或13所述的电子部件的制造方法,其中,
所述组合物层是抗蚀剂层,
所述固化物膜是抗蚀剂膜。
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