KR20120079982A

KR20120079982A - 기판 수직 이송장치

Info

Publication number: KR20120079982A
Application number: KR1020110001374A
Authority: KR
Inventors: 박성갑
Original assignee: 주식회사 글로벌비유티에스
Priority date: 2011-01-06
Filing date: 2011-01-06
Publication date: 2012-07-16

Abstract

본 발명은 진공 흡입력에 의하여 기판을 흡입지지하는 기판 지지부가 2개의 진공 흡입 모듈을 구비하여 얇은 기판에 대하여 안정적으로 기판을 지지 및 수직 이송할 수 있는 기판 수직 이송장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 기판 수직 이송장치는, 일정 간격 이격되어 마주보도록 설치되며, 상하로 승강하는 한 쌍의 승강 플레이트; 상기 승강 플레이트 각각에 결합되어 상기 승강 플레이트를 상하 방향으로 승강시키는 플레이트 승강부; 상기 한 쌍의 승강 플레이트의 중앙측으로 돌출되도록 상기 승강 플레이트에 결합되어 설치되며, 진공 흡입력에 의하여 기판을 흡입지지하는 기판 지지부;를 포함한다.

Description

기판 수직 이송장치{APPARATUS FOR TRANSFERRING THE SUBSTARATE VERTICALLY}

본 발명은 기판 수직 이송장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 진공 흡입력에 의하여 기판을 흡입지지하는 기판 지지부가 2개의 진공 흡입 모듈을 구비하여 얇은 기판에 대하여 안정적으로 기판을 지지 및 수직 이송할 수 있는 기판 수직 이송장치에 관한 것이다.

일반적으로 평판 디스플레이(Flat Panel Display : FPD) 패널을 제조하기 위해서는 증착, 노광, 식각, 세정 등의 매우 복잡하고 다양한 공정을 거치게 된다. 이러한 복잡 다양한 공정이 수행되기 위해서는 필수적으로 공정이 수행되는 각 공정 위치마다 유리 기판을 옮기는 이송공정이 이루어진다.

특히, 액정표시장치(Liquid Crystal Display : LCD)나 유기발광다이오드(Organic Light Emitting Diode : OLED) 장치의 제조를 위해서는 두께가 0.7mm 이하의 매우 얇으면서도 대면적의 유리 기판을 여러 공정 위치로 이동하면서 공정이 진행된다. 이러한 유리 기판의 이송은 매우 정밀한 높이 및 수평 위치를 준수하면서 공정이 이루어져야 하며, 이것이 이루어지지 않는 경우에는 공정 중에 기판이 파손되는 등의 치명적인 문제가 발생할 수 있다.

종래에 이러한 기판의 이송을 위해서는 기판 이송 로봇이 많이 이용된다. 이러한 기판 이송 로봇은 일반적으로 다수개의 관절로 이루어져서 회전 운동을 수평 운동으로 변환하는 로봇암과, 상기 로봇암을 구동시키는 구동부, 상기 로봇암에 결합되는 리스트 플레이트(wrist plate), 상기 리스트 플레이트의 단부에 결합되어 기판을 적재하는 다수개의 엔드 이펙터(end effecter)로 구성된다.

상기 기판 이송 로봇을 이용하여 기판을 이송하는 경우, 기판 이송로봇은 카세트 또는 기판 수직 이송장치에 적재되어 있는 기판을 전달받아서 공정 위치로 보내거나 공정 위치에서 전달받은 기판을 카세트 또는 기판 수직 이송장치에 전달하게된다.

이때, 기판 수직 이송장치는 두께 0.7mm 이하의 매우 얇은 대면적 유리 기판의 양 측부만을 지지한 상태로 기판을 수직 이송하게 된다. 그런데 기판이 워낙 얇아서 양 측부만을 지지하는 경우 기판의 중앙 부분이 하측으로 과도하게 처지하는 현상이 발생하며, 과도하게 처지는 경우에는 기판 자체가 추락하는 현상도 발생한다. 이를 방지하기 위하여 종래의 기판 수직 이송장치는 진공 흡입력을 이용하여 기판의 하면을 강제로 흡착하여 기판의 하락을 방지하는 구조를 가진다.

그러나 이렇게 진공 흡입력으로 기판을 흡착 지지하는 경우에도, 기판의 과도한 휨 또는 처짐에 의하여 기판을 제대로 흡착하지 못하여 기판이 추락하는 현상이 계속하여 발생하고 있어서 문제이다.

본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는, 진공 흡입력에 의하여 기판을 흡입지지하는 기판 지지부가 2개의 진공 흡입 모듈을 구비하여 얇은 기판에 대하여 안정적으로 기판을 지지 및 수직 이송할 수 있는 기판 수직 이송장치를 제공하는 것이다.

전술한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 기판 수직 이송장치는, 일정 간격 이격되어 마주보도록 설치되며, 상하로 승강하는 한 쌍의 승강 플레이트; 상기 승강 플레이트 각각에 결합되어 상기 승강 플레이트를 상하 방향으로 승강시키는 플레이트 승강부; 상기 한 쌍의 승강 플레이트의 중앙측으로 돌출되도록 상기 승강 플레이트에 결합되어 설치되며, 진공 흡입력에 의하여 기판을 흡입지지하는 기판 지지부;를 포함한다.

본 발명에서 상기 기판 수직 이송장치는, 상기 승강 플레이트의 내측 측부에 결합되는 지지대; 상기 지지대의 상면에 일정 간격 이격되어 설치되는 제1, 2 진공흡입 모듈;을 포함하는 것이 바람직하다.

그리고 상기 제1 진공 흡입 모듈은 상기 지지대의 말단에 설치되고, 상기 제2 진공 흡입 모듈은 상기 제1 진공 흡입 모듈과 20 ~ 40mm 간격 이격되어 설치되는 것이 바람직하다.

또한 상기 제1 진공 흡입 모듈은 상기 지지대 말단에 고정되어 설치되고, 상기 제2 진공 흡입 모듈은 상기 지지대 상에서 이동 가능하게 설치될 수도 있다.

또한 본 발명에서는 상기 제2 진공 흡입 모듈의 진공 흡입력과 상기 제1 진공 흡입 모듈의 진공 흡입력을 별도로 제어하여, 서로 상이하게 제어하는 것이 바람직하다.

본 발명의 기판 수직 이송장치에 의하면 기판의 측부를 2개의 진공 흡입 모듈에 의하여 흡착함으로써, 기판의 추락을 방지하고, 기판 중앙부의 처짐 현상을 최소화할 수 있는 장점이 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 수직 이송장치의 구조를 도시하는 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 지지부의 구조를 도시하는 측면도이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 지지부의 구조를 도시하는 측면도이다.

이하에서는 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시예를 상세하게 설명한다.

본 실시예에 따른 기판 수직 이송장치(1)는, 도 1에 도시된 바와 같이, 승강 플레이트(10), 플레이트 승강부(20) 및 기판 지지부(30)를 포함하여 구성된다.

먼저 승강 플레이트(10)는 도 1에 도시된 바와 같이, 일정 간격 이격되어 마주보도록 설치되며, 상하로 승강하는 한 쌍의 플레이트 구조를 가진다. 이 한 쌍의 승강 플레이트 사이의 간격은 이송되는 기판(S)의 폭보다 크게 조정되는 것이 바람직하다.

다음으로 플레이트 승강부(20)는 상기 승강 플레이트(10) 각각에 결합되어 상기 승강 플레이트를 상하 방향으로 승강시키는 구성요소이다. 이 플레이트 승강부(20)는 상기 승강 플레이트(10)를 승강시킬 수 있는 다양한 구조를 가질 수 있으며, 예를 들어 실린더 또는 서보 모터 등으로 구성될 수 있으며, 상하 방향의 정확한 구동을 위한 가이드(24) 등이 더 구비될 수 있다.

한편 상기 플레이트 승강부(20)는 각 승강 플레이트(10)에 각각 설치되며 독립적으로 각 승강 플레이트를 승강시킨다. 이때, 한 쌍의 승강 플레이트(10)는 연동되어 동일한 속도 및 높이로 승하강하여야 하므로, 상기 플레이트 승강부(20)를 정확하게 제어할 필요가 있다.

다음으로 기판 지지부(30)는 상기 한 쌍의 승강 플레이트(10)의 중앙측으로 돌출되도록 상기 승강 플레이트(10)에 결합되어 설치되며, 진공 흡입력에 의하여 기판을 흡입지지하는 구성요소이다.

본 실시예에서는 도 1, 2에 도시된 바와 같이, 상기 기판 지지부(30)를 지지대(32)와 제1, 2 진공 흡입 모듈(34, 36)로 구성하는 것이 바람직하다.

먼저 상기 지지대(32)는 상기 승강 플레이트(10)의 내측 측부에 결합되되, 중앙 방향으로 돌출되어 설치되는 구성요소로서, 하나의 승강 플레이트(10)에 다수개의 지지대(32)가 일정 간격 이격되어 설치되는 것이 바람직하다. 이때 상기 지지대(32) 사이의 간격은 최대한 넓게 설치되는 것이 바람직하며, 상기 지지대(32)의 길이는 최소한으로 설정되는 것이 바람직하다.

다음으로 진공흡입모듈은 상기 지지대(32)의 상면에 일정 간격 이격되어 설치되며, 본 실시예에서는 이 진공흡입 모듈을 제1, 2 진공흡입 모듈(34, 36)의 2개 설치하는 것이 바람직하다. 이 진공 흡입 모듈은 별도로 마련되는 진공 흡입 라인(도면에 미도시)과 연결되어 기판(S) 하면을 진공 흡착하는 기능을 한다.

먼저 상기 제1 진공 흡입 모듈(34)은 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 지지대(32)의 말단에 최대한 접근하여 설치되는 것이 바람직하며, 상기 제2 진공 흡입 모듈(36)은 상기 제1 진공 흡입 모듈(34)과 일정 간격 이격되어 설치된다.

이때 상기 제1, 2 진공흡입 모듈 사이의 간격(d)은 20 ~ 40mm 인 것이 바람직하다. 상기 제1, 2 진공흡입 모듈 사이의 간격(d)이 20mm 미만인 경우에는 상기 진공 흡입 모듈이 하나 설치되는 경우와 마찬가지로 기판을 제대로 흡착 지지하지 못하여 기판이 추락하는 현상이 발생할 수 있다. 또한 상기 제1, 2 진공흡입 모듈 사이의 간격(d)이 40mm 를 넘는 경우에는 상기 기판 중 제 1, 2 진공흡입 모듈 사이의 부분도 휘는 현상이 발생하여 기판에 변형이 발생하는 문제점이 있다.

한편 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 제1 진공 흡입 모듈(34)은 상기 지지대(32) 말단에 고정되어 설치되고, 상기 제2 진공 흡입 모듈(36)은 상기 지지대(32) 상에서 이동 가능하게 설치될 수도 있다. 이 경우에는 이송되는 기판(S)의 크기 또는 두께에 따라 상기 제1, 2 진공흡입 모듈(34, 36) 사이의 간격을 조정할 수 있는 장점이 있다. 이 경우에도 상기 제1, 2 진공흡입(34, 36) 모듈 사이의 간격은 20 ~ 40mm 내의 범위에서 조정되는 것이 바람직하다.

마지막으로 본 실시예에 따른 기판 수직 이송장치(1)를 제어하는 제어부(도면에 미도시)는 상기 제2 진공 흡입 모듈(36)의 진공 흡입력과 상기 제1 진공 흡입 모듈(34)의 진공 흡입력을 별도로 제어하는 것이 바람직하다. 예를 들어 상기 제2 진공 흡입 모듈(36)의 진공 흡입력을 강하게 하여 기판의 말단을 강하게 흡착한 상태에서, 상기 제1 진공 흡입 모듈(34)의 진공 흡입력을 상기 제2 진공흡입 모듈(36)의 그것보다 약하게 하여 기판의 처짐이나 변형을 효과적을 방지할 수 있는 것이다.

1 : 기판 수직 이송장치 10 : 승강 플레이트
20 : 플레이트 승강부 30 : 기판 지지부
S : 기판

Claims

일정 간격 이격되어 마주보도록 설치되며, 상하로 승강하는 한 쌍의 승강 플레이트;
상기 승강 플레이트 각각에 결합되어 상기 승강 플레이트를 상하 방향으로 승강시키는 플레이트 승강부;
상기 한 쌍의 승강 플레이트의 중앙측으로 돌출되도록 상기 승강 플레이트에 결합되어 설치되며, 진공 흡입력에 의하여 기판을 흡입지지하는 기판 지지부;를 포함하는 기판 수직 이송장치.
제1항에 있어서, 상기 기판 수직 이송장치는,
상기 승강 플레이트의 내측 측부에 결합되는 지지대;
상기 지지대의 상면에 일정 간격 이격되어 설치되는 제1, 2 진공흡입 모듈;을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 수직 이송장치.
제1항에 있어서,
상기 제1 진공 흡입 모듈은 상기 지지대의 말단에 설치되고,
상기 제2 진공 흡입 모듈은 상기 제1 진공 흡입 모듈과 20 ~ 40mm 간격 이격되어 설치되는 것을 특징으로 하는 기판 수직 이송장치.
제2항에 있어서,
상기 제1 진공 흡입 모듈은 상기 지지대 말단에 고정되어 설치되고,
상기 제2 진공 흡입 모듈은 상기 지지대 상에서 이동 가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는 기판 수직 이송장치.
제2항에 있어서,
상기 제2 진공 흡입 모듈의 진공 흡입력과 상기 제1 진공 흡입 모듈의 진공 흡입력을 별도로 제어하는 것을 특징으로 하는 기판 수직 이송장치.