CN107878983B - 物品搬运设备 - Google Patents

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Abstract

具备搬入容器（2）的搬入用端口（7）、支承容纳有被第1洗涤机（CL1）洗涤前的物品（1）的容器（2）的第1洗涤用端口（11）、支承被第1洗涤机（CL1）洗涤后的物品（1）的第2洗涤用端口（12）、搬运物品（1）的第1搬运装置（5）、搬运容器（2）的第2搬运装置（6），第2搬运装置（6）进行容器（2）从搬入用端口（7）向第1洗涤用端口（11）的搬运、物品（1）被取出后的容器（2）从第1洗涤用端口（11）向第2搬运目的地的搬运，第1搬运装置（5）进行物品（1）从第2洗涤用端口（12）向第1搬运目的地的搬运。

Description

物品搬运设备
技术领域
本发明涉及具备搬运物品的第1搬运装置、搬运容器的第2搬运装置的物品搬运设备。
背景技术
该物品搬运设备的一例被记载于日本特开2000-091401号公报(专利文献1)。在专利文献1的物品搬运设备中，具备1个搬运装置(移载机器人76)、搬入容纳有物品(掩模)的容器(盒)的搬入用端口(出入库口81)、物品用的保管部(架72A)、容器用的保管部(盒架72B)。搬运装置具备盒用手77和掩模用手78，一个搬运装置兼用作作为搬运物品的搬运装置的第1搬运装置和作为搬运容器的搬运装置的第2搬运装置。并且，搬运装置使用盒用手77，将已被向搬入用端口搬入的容器向容器用的保管部搬运。此外，搬运装置使用掩模用手78，将物品从已被保管于容器用的保管部的保管中的容器内取出，向物品用的保管部搬运，并且将物品用的保管部的物品容纳于保管中的容器内。
考虑利用这样的物品搬运设备来洗涤物品、容器。即，代替物品用的保管部，设置物品洗涤用端口，代替容器用的保管部，设置容器洗涤用端口。物品洗涤用端口是被设置于与将物品洗涤的第1洗涤机对应的位置的端口，容器洗涤用端口是被设置于与将容器洗涤的第2洗涤机对应的位置的端口。
即，考虑以下方案：使用搬运装置的盒用手，将洗涤前的容器从搬入用端口向容器洗涤用端口搬运，使用搬运装置的掩模用手，从位于容器洗涤用端口的容器内取出洗涤前的物品，将该洗涤前的物品向物品洗涤用端口搬运，并且将已被第1洗涤机洗涤的洗涤后的物品从物品洗涤用端口容纳至位于容器洗涤用端口的容器内。
但是，如上所述，若借助搬运装置搬运容器、物品，则借助掩模用手，搬运洗涤前的物品和洗涤后的物品二者。因此，考虑到以下情况：在借助掩模用手搬运洗涤前的物品时，附着于洗涤前的物品的尘埃等污染物质附着于掩模用手，在借助掩模用手搬运洗涤后的物品时，附着于掩模用手的污染物质附着于洗涤后的物品，由此洗涤后的物品被污染。
发明内容
因此，希望实现能够避免洗涤后的物品被污染的物品搬运设备。
鉴于上述情况，物品搬运设备的特征在于，具备搬入用端口、第1洗涤用端口、第2洗涤用端口、第1搬运装置、第2搬运装置，前述搬入用端口搬入容纳有物品的容器，前述第1洗涤用端口被设置于与洗涤前述物品的第1洗涤机对应的位置，将容纳有被前述第1洗涤机洗涤前的前述物品的前述容器支承，前述第2洗涤用端口被设置于与前述第1洗涤机对应的位置，将被从前述容器取出而被前述第1洗涤机洗涤后的前述物品支承，前述第1搬运装置搬运前述物品，前述第2搬运装置搬运前述容器，前述第2洗涤用端口被与前述第1洗涤用端口分开设置，前述第2搬运装置进行前述容器从前述搬入用端口向前述第1洗涤用端口的搬运、前述物品被取出后的前述容器从前述第1洗涤用端口向第2搬运目的地的搬运，前述第1搬运装置进行前述物品从前述第2洗涤用端口向第1搬运目的地的搬运。
根据该方案，被向搬入用端口搬入的容器借助第2搬运装置被从搬入用端口向第1洗涤用端口搬运。此时在被第2搬运装置搬运的容器中，容纳有被第1洗涤机洗涤前的物品。并且，关于物品，从位于第1洗涤用端口的容器取出而被第1洗涤机洗涤后，被载置于第2洗涤用端口。并且，该洗涤后的物品借助第1搬运装置被从第2洗涤用端口向第1搬运目的地搬运。此外，物品被取出而变空的容器借助第2搬运装置，被从第1洗涤用端口向第2搬运目的地搬运。
被第1洗涤机洗涤前的物品在被容纳于容器的状态下被向搬入用端口搬入，在被容纳于容器的状态下借助第2搬运装置被从搬入用端口向第1洗涤用端口搬运。并且，被第1洗涤机洗涤后的物品借助第1搬运装置被从第2洗涤用端口向搬运目的地搬运。这样，第1搬运装置不搬运被第1洗涤机洗涤前的物品，仅进行被洗涤后的物品的搬运，所以能够避免，借助由于搬运被洗涤前的物品而被污染的第2搬运装置来搬运洗涤后的物品、从而使得洗涤后的物品被污染。
附图说明
图1是物品搬运设备的俯视图。
图2是物品搬运设备的侧视图。
图3是借助第2堆垛起重机的容器的搬运的说明图。
图4是借助第1堆垛起重机的板状体的搬运的说明图。
图5是借助第1堆垛起重机的板状体的搬运和借助第2堆垛起重机的容器的搬运的说明图。
图6是借助第1堆垛起重机的板状体的搬运和借助第2堆垛起重机的容器的搬运的说明图。
图7是借助第2堆垛起重机的容器的搬运的说明图。
图8是借助第1堆垛起重机的板状体的搬运的说明图。
具体实施方式
以下，基于附图，对本发明的物品搬运设备的实施方式进行说明。
如图1所示，在物品搬运设备上，具备保管板状体1及容器2的保管架4、搬运板状体1的第1堆垛起重机5、搬运容器2的第2堆垛起重机6、容器搬入用的搬入用端口7、容器搬出用的搬出用端口8。此外，在物品搬运设备上具备壁体W，保管架4、第1堆垛起重机5、第2堆垛起重机6被设置于被壁体W包围的内部。
在壁体W的外部在与该壁体W相邻的状态下设置有第1洗涤机CL1和第2洗涤机CL2。第1洗涤机CL1是用于洗涤板状体1的洗涤机，第2洗涤机CL2是用于洗涤板状体1被取出后的容器2的洗涤机。并且，在物品搬运设备上具备相对于第1洗涤机CL1设置的第1洗涤用端口11及第2洗涤用端口12、相对于第2洗涤机CL2被设置的第3洗涤用端口13及第4洗涤用端口14。第1洗涤用端口11被与第2洗涤用端口12分开设置，第4洗涤用端口14被与第3洗涤用端口13分开设置。
在本实施方式中，板状体1是光掩模，俯视时的形状形成为矩形。另外，板状体1相当于物品。容器2是能够容纳规定张数的板状体1的容器。作为容器2可以使用具备盖而需要盖的开闭的密闭的密闭式的容器、不具备盖而不需要盖的开闭的开放式的容器的某种容器。但是，使用密闭式的容器的情况下，在需要盖的开闭的位置(例如，后述的搬出用端口8等)上，需要具备将容器2的盖开闭的开闭装置。
以下，对物品搬运设备的各构成进行说明，在上下方向Z上观察，将第1洗涤机CL1和第2洗涤机CL2排列的方向设为排列方向Y，将相对于该排列方向Y正交的方向设为前后方向X来说明。此外，在前后方向X中，将第1堆垛起重机5、第2堆垛起重机6相对于保管架4存在的方向设为前方X1，将其相反方向设为后方X2来说明。此外，在排列方向Y上，将第1洗涤机CL1相对于第2洗涤机CL2存在的方向设为第1方向Y1，将其相反方向设为第2方向Y2来说明。
如图2所示，在物品搬运设备的顶棚部设置有第1风扇过滤器单元16。该第1风扇过滤器单元16被比保管架4、第1堆垛起重机5、第2堆垛起重机6靠上方地设置，抽吸上方的空气，向下方排出空气。由此，在壁体W的内部，形成有清净空气从顶棚侧朝向地面侧向下流动的下降流。
此外，在壁体W上设置有第2风扇过滤器单元17。第2风扇过滤器单元17被设置成相对于保管架4位于后方X2侧。并且，第2风扇过滤器单元17将后方X2的空气抽吸来向前方X1排出。由此，在保管架4内形成有清净空气从后方X2流向前方X1的清净空气的流动。
设置物品搬运设备的地面部F由下部地面F1和比下部地面F1靠上侧地配设的上部地面F2构成，在下部地面F1和上部地面F2之间形成有地面下空间，在上部地面F2和顶棚之间形成有作业空间。上部地面F2是格栅地面，形成有多个在上下方向Z上贯通的通气孔。下部地面F1是没有通气孔的地面，在本实施方式中，由无孔状的混凝土构成。
〔搬入出用输送机〕
如图1所示，在物品搬运设备上，搬入用输送机19和搬出用输送机20分别以贯通壁体W的状态被设置。搬入用输送机19、搬出用输送机20搬运容纳有板状体1的容器2。
搬入用输送机19从位于壁体W的外部的第1搬入位置向位于壁体W的内部的第2搬入位置搬运容器2。由搬入用输送机19的位于比壁体W靠内侧的位置的、搬入用输送机19的前方X1的端部构成搬入用端口7。换言之，搬入用端口7是用于支持位于第2搬入位置的容器2的端口。并且，借助搬入用输送机19将容器2从第1搬入位置搬运至第2搬入位置，由此容器2被搬运至搬入用端口7。这样，搬入用端口7是搬运容纳有板状体1的容器2的端口。
搬出用输送机20将容器2从位于壁体W的内部的第1搬出位置向位于壁体W的外部的第2搬出位置搬运。由搬出用输送机20的位于比壁体W靠内侧的位置的、搬出用输送机20的前方X1的端部构成搬出用端口8。换言之，搬出用端口8是用于支承位于第1搬出位置的容器2的端口。并且，借助搬出用输送机20将容器2从第1搬出位置搬运至第2搬出位置，由此容器2被从搬出用端口8搬出。这样，搬出用端口8是用于搬出容纳有板状体1的容器2的端口。
〔洗涤用输送机〕
此外，如图1所示，在物品搬运设备上，第1洗涤用输送机21、第2洗涤用输送机22、第3洗涤用输送机23、第4洗涤用输送机24分别被以贯通壁体W的状态设置。第1洗涤用输送机21及第2洗涤用输送机22被相对于第1洗涤机CL1设置，第3洗涤用输送机23及第4洗涤用输送机24被相对于第2洗涤机CL2设置。
第1洗涤用输送机21将容器2从位于壁体W的内部的第1位置P1向与第1洗涤机CL1紧靠的位置搬运，并且将容器2从与第1洗涤机CL1紧靠的位置向第1位置P1搬运。在第1洗涤机CL1上装备有从容器2将板状体1取出的机器人(图中未示出)。因此，借助第1洗涤用输送机21从第1位置P1向与第1洗涤机CL1紧靠的位置搬运的容器2容纳有板状体1，但借助机器人从该紧靠的位置的容器2取出板状体1，所以在借助第1洗涤用输送机21从与第1洗涤机CL1紧靠的位置向第1位置P1搬运的容器2处未容纳板状体1。这样，第1洗涤用输送机21搬运容纳有板状体1的容器2及未容纳板状体1的容器2二者。另外，被第1洗涤用输送机21搬运的容器2及容纳于其中的板状体1是被洗涤机洗涤前的容器2(洗涤前的容器2)及板状体1(洗涤前的板状体1)。由第1洗涤用输送机21的位于比壁体W靠内侧的位置的、第1洗涤用输送机21的前方X1的端部构成第1洗涤用端口11。换言之，第1洗涤用端口11是用于支承位于第1位置P1的容器2的端口。另外，该第1洗涤用端口11相当于，被设置于与洗涤板状体1的第1洗涤机CL1对应的位置来将容纳有被第1洗涤机CL1洗涤前的板状体1的容器2支承的端口。
第2洗涤用输送机22从第1洗涤机CL1内向位于壁体W的内部的位置的第2位置P2搬运板状体1。第1洗涤机CL1洗涤被机器人取出的板状体1，将该洗涤后的板状体1(洗涤后的板状体1)载置于第2洗涤用输送机22。因此，借助第2洗涤用输送机22被从第1洗涤机CL1内向第2位置P2搬运的板状体1是洗涤后的板状体1。由第2洗涤用输送机22的位于比壁体W靠内侧的位置的、第2洗涤用输送机22的前方X1的端部构成第2洗涤用端口12。换言之，第2洗涤用端口12是用于支承位于第2位置P2的板状体1的端口。另外，该第2洗涤用端口12相当于，被设置于与第1洗涤机CL1对应的位置来支承被从容器2取出而被第1洗涤机CL1洗涤后的板状体1端口。
第3洗涤用输送机23将容器2从位于壁体W的内部的第3位置P3向第2洗涤机CL2内搬运。被第3洗涤用输送机23搬运的容器2是被第2洗涤机CL2洗涤前的容器2(洗涤前的容器2)。由第3洗涤用输送机23的位于比壁体W靠内侧的位置的、第3洗涤用输送机23的前方X1的端部构成第3洗涤用端口13。换言之，第3洗涤用端口13是用于支持位于第3位置P3的容器2的端口。另外，该第3洗涤用端口13相当于，被设置于与第2洗涤机CL2对应的位置而将被第2洗涤机CL2洗涤前的容器2支承的端口。
第4洗涤用输送机24将容器2从第2洗涤机CL2内向位于壁体W的内部的第4位置P4搬运。被第4洗涤用输送机24搬运的容器2是被第2洗涤机CL2洗涤后的容器2(洗涤后的容器2)。由第4洗涤用输送机24的位于比壁体W靠内侧的位置的、第4洗涤用输送机24的前方X1的端部构成第4洗涤用端口14。换言之，第4洗涤用端口14是用于支承位于第4位置P4的容器2的端口。该第4洗涤用端口14相当于，被设置于与第2洗涤机CL2对应的位置而将被第2洗涤机CL2洗涤后的容器2支承的端口。
〔保管架〕
保管架4具备多个保管部26。保管架4以在上下方向Z及排列方向Y上排列多个的状态具备保管部26。在保管架4上，具备用于保管板状体1的第1保管部27和用于保管容器2的第2保管部28作为保管部26。保管架4在排列方向Y上，以第1保管部27相对于第2保管部28位于第1方向Y1的方式具备第1保管部27及第2保管部28。
此外，在保管架4上，还具备搬入用端口7(搬入用输送机19)、搬出用端口8(搬出用输送机20)、第1洗涤用端口11(第1洗涤用输送机21)、第2洗涤用端口12(第2洗涤用输送机22)、第3洗涤用端口13(第3洗涤用输送机23)、第4洗涤用端口14(第4洗涤用输送机24)、后述的检査部29。
在本实施方式中，以在前后方向X上排列的状态设置有一对保管架4，在前后方向X上，在一对保管架4之间设置有第1堆垛起重机5及第2堆垛起重机6。在一对保管架4中的一方的保管架4上，设置有搬入用端口7、搬出用端口8及检査部29，在一对保管架4中的另一方的保管架4上，具备第1洗涤用端口11、第2洗涤用端口12、第3洗涤用端口13及第4洗涤用端口14。第1保管部27及第2保管部28的每一个被一对保管架4这二者所具备。此外，在本实施方式中，作为检査部29，具备第1检査部30和第2检査部31这两个检査部29。第1检査部30检查颗粒、模式的缺陷等板状体1的外观。第2检査部31测量板状体1的长度、宽度及厚度等板状体1的大小(测量长度)。
如图2所示，存在用于保管洗涤后的容器2的洗涤后的第2保管部28A、用于保管洗涤前的容器2的洗涤前用的第2保管部28B作为第2保管部28。在比洗涤后的第2保管部28A靠下方处具备洗涤前用的第2保管部28B。在上下方向Z上相邻的洗涤后用的第2保管部28A和洗涤前用的第2保管部28B被间隔件32间隔。间隔件32以在上下方向Z上彼此相邻的洗涤后用的第2保管部28A和洗涤后用的第2保管部28B上空气不互相流动的方式，由无孔状的板状件构成。
〔堆垛起重机〕
如图1所示，第1堆垛起重机5及第2堆垛起重机6分别构成为在排列方向Y上能够移动。第1堆垛起重机5是搬运板状体1的堆垛起重机。第2堆垛起重机6是搬运容器2的堆垛起重机。第1堆垛起重机5相对于第2堆垛起重机6位于第1方向侧。第1堆垛起重机5的移动路径M1和第2堆垛起重机6的移动路径M2在排列方向Y具有重叠的部分。另外，第1堆垛起重机5相当于搬运板状体1的第1搬运装置，第2堆垛起重机6相当于搬运容器2的第2搬运装置。
如图2所示，第2堆垛起重机6具备行进台车33、杆34、升降体35、移载装置36，前述行进台车33在排列方向Y上行进，前述杆34被立起设置于行进台车33，前述升降体35沿杆34升降，前述移载装置36被支承于升降体35。虽省略详细的说明，但在移载装置36上具备支承容器2的支承体、使该支承体沿前后方向X移动的连杆机构。第2堆垛起重机6的移载装置36构成为，能够从第2搬运源S2向自身移载容器2，且能够从自身向第2搬运目的地G2移载容器2。第1堆垛起重机5除了用移载装置36的支承体支承板状体1这点以外，与第2堆垛起重机6同样地构成。第1堆垛起重机5的移载装置36构成为，能够从第1搬运源S1向自身移载板状体1，且能够从自身向第1搬运目的地G1移载板状体1。
〔端口的位置关系〕
第1洗涤用端口11、第2洗涤用端口12、第3洗涤用端口13、第4洗涤用端口14、搬入用端口7、搬出用端口8中的第2洗涤用端口12被设置成最靠第1方向Y1侧，并且第4洗涤用端口14被设置成最靠第2方向Y2侧。在本实施方式中，第1洗涤用端口11、第2洗涤用端口12、第3洗涤用端口13、第4洗涤用端口14朝向第2方向Y2，以第2洗涤用端口12、第1洗涤用端口11、第3洗涤用端口13、第4洗涤用端口14的顺序排列。这样，第1堆垛起重机5作为搬运源或搬运目的地的第2洗涤用端口12被设置成，与第2堆垛起重机6作为搬运源或搬运目的地的第1洗涤用端口11、第3洗涤用端口13及第4洗涤用端口14相比，位于第1方向Y1。
搬入用端口7和搬出用端口8朝向第2方向Y2，以搬入用端口7、搬出用端口8的顺序排列。搬入用端口7及搬出用端口8被设置成，在排列方向Y上位于第2洗涤用端口12的第1方向Y1侧的端部和第4洗涤用端口14的第2方向Y2侧的端部之间。并且，这些搬入用端口7及搬出用端口8被设置于在排列方向Y上第1堆垛起重机5的移动路径M1和第2堆垛起重机6的移动路径M2重叠的区域内。在与第2洗涤用端口12相比在第1方向Y1的位置，仅设置有第1保管部27和第2保管部28中的第1保管部27，在与第4洗涤用端口14相比在第2方向Y2的位置，仅设置有第1保管部27和第2保管部28中的第2保管部28。
〔搬运的方式〕
第1堆垛起重机5将板状体1从第1搬运源S1搬运至第1搬运目的地G1。第1堆垛起重机5将第2洗涤用端口12、第1检査部30、第2检査部31及第1保管部27作为第1搬运源S1，将第1检査部30、第2检査部31、第1保管部27及搬出用端口8作为第1搬运目的地G1。即，若举具体例子，则第1堆垛起重机5如下所述地将板状体1从第1搬运源S1搬运至第1搬运目的地G1。
如图4所示，第1堆垛起重机5将第2洗涤用端口12作为第1搬运源S1，将第1检査部30作为第1搬运目的地G1，进行板状体1从第2洗涤用端口12向第1检査部30的搬运。如图5所示，第1堆垛起重机5将第1检査部30作为第1搬运源S1，将第2检査部31作为第1搬运目的地G1，进行板状体1从第1检査部30向第2检査部31的搬运。如图6所示，第1堆垛起重机5将第2检査部31作为第1搬运源S1，将第1保管部27作为第1搬运目的地G1，进行板状体1从第2检査部31向第1保管部27的搬运。如图8所示，第1堆垛起重机5将第1保管部27作为第1搬运源S1，将搬出用端口8作为第1搬运目的地G1，进行板状体1从第1保管部27向搬出用端口8的搬运。具体地，第1堆垛起重机5将第1保管部27作为第1搬运源S1，将位于搬出用端口8的容器2作为第1搬运目的地G1，进行板状体1从第1保管部27向搬出用端口8的容器2的搬运。
此外，第1堆垛起重机5有时也将第2检査部31作为第1搬运源S1，将搬出用端口8作为第1搬运目的地G1，将板状体1从第2检査部31搬运至搬出用端口8，借助第1堆垛起重机5搬运板状体1的搬运源和搬运目的地的组合不限于图中所示的组合。
第2堆垛起重机6将容器2从第2搬运源S2搬运至第2搬运目的地G2。第2堆垛起重机6将搬入用端口7、第1洗涤用端口11、第4洗涤用端口14及第2保管部28作为第2搬运源S2，将搬出用端口8、第1洗涤用端口11、第3洗涤用端口13及第2保管部28作为第2搬运目的地G2。另外，第2堆垛起重机6在将搬出用端口8及第2保管部28作为第3搬运目的地，将第2搬运目的地G2中的第4洗涤用端口14作为第2搬运源S2的情况下，将作为搬运容器的目的地的端口、保管部26作为第3搬运目的地。
即，若举具体例子，则第2堆垛起重机6如下所述地将容器2从第2搬运源S2搬运至第2搬运目的地G2。如图3所示，第2堆垛起重机6将搬入用端口7作为第2搬运源S2，将第1洗涤用端口11作为第2搬运目的地G2，进行容器2从搬入用端口7向第1洗涤用端口11的搬运。如图5所示，第2堆垛起重机6将第1洗涤用端口11作为第2搬运源S2，将第3洗涤用端口13作为第2搬运目的地G2，将容器2从第1洗涤用端口11搬运至第3洗涤用端口13。如图6所示，第2堆垛起重机6将第4洗涤用端口14作为第2搬运源S2，将第2保管部28作为第2搬运目的地G2(第3搬运目的地)，进行容器2从第4洗涤用端口14向第2保管部28的搬运。如图7所示，第2堆垛起重机6将第2保管部28作为第2搬运源S2，将搬出用端口8作为第2搬运目的地G2，进行容器2从第2保管部28向搬出用端口8的搬运。
此外，在容器2被搬入至搬入用端口7但由于另外的容器2存在于第1洗涤用端口11等而不能将搬入用端口7的容器2搬运至第1洗涤用端口11的情况下，第2堆垛起重机6将搬入用端口7作为第2搬运源S2，将第2保管部28作为第2搬运目的地G2，将容器2从搬入用端口7搬运至第2保管部28。并且，在变为能够将该容器2搬运至第1洗涤用端口11的情况下，第2堆垛起重机6将第2保管部28作为第2搬运源S2，将第1洗涤用端口11作为第2搬运目的地G2，将容器2从第2保管部28搬运至第1洗涤用端口11。这样，借助第2堆垛起重机6搬运容器2的搬运源和搬运目的地的组合不限于图中所示的组合。
如图1所示，在物品搬运设备上，具备控制第1堆垛起重机5及第2堆垛起重机6的控制部H。如以下这样，为了搬运板状体1及容器2，借助控制部H控制第1堆垛起重机5及第2堆垛起重机6。
如图3中假想线(双点划线)所示，容器2被搬入用输送机19搬入至搬入用端口7。被搬入至该搬入用端口7的容器2是洗涤前的容器2，在该容器2上，容纳有洗涤前的板状体1。并且，控制部H以将被搬入至搬入用端口7的容器2从搬入用端口7搬运至第1洗涤用端口11(参照图3)的方式，执行控制第2堆垛起重机6的第1容器搬运控制。被搬运至第1洗涤用端口11的容器2借助第1洗涤用输送机21被搬运至紧靠第1洗涤机CL1的位置后，借助第1洗涤机CL1的机器人(图中未示出)从容器2取出板状体1，板状体1被第1洗涤机CL1洗涤。被第1洗涤机CL1洗涤后的板状体1借助第1洗涤机CL1的机器人载置于第2洗涤用输送机22上，如图3所示，借助第2洗涤用输送机22被搬运至第2洗涤用端口12。板状体1全部被取出的容器2被第1洗涤用输送机21从紧靠第1洗涤机CL1的位置搬运至第1洗涤用端口11。
控制部H以将第1洗涤用端口11的容器2从第1洗涤用端口11搬运至第3洗涤用端口13(参照图5)的方式，执行控制第2堆垛起重机6的第2容器搬运控制。通过该第2容器搬运控制被第2堆垛起重机6搬运的容器2是洗涤前的容器2，在该容器2上未容纳有板状体1。并且，如图5所示，被搬运至第3洗涤用端口13的洗涤前的容器2被第3洗涤用输送机23搬运至第2洗涤机CL2内，被第2洗涤机CL2洗涤。被第2洗涤机CL2洗涤后的洗涤后的容器2被第4洗涤用输送机24搬运至第4洗涤用端口14。
控制部H以将第4洗涤用端口14的容器2从第4洗涤用端口14搬运至第2保管部28(参照图6)的方式，执行控制第2堆垛起重机6的第3容器搬运控制。并且，在将板状体1容纳于容器2来搬出容器2的情况下，控制部H以从第2保管部28搬运至搬出用端口8(参照图7)的方式，执行控制第2堆垛起重机6的第4容器搬运控制。通过该第3容器搬运控制、第4容器搬运控制而被第2堆垛起重机6搬运的容器2是洗涤后的容器2，在该容器2上未容纳有板状体1。
控制部H以将第2洗涤用端口12的板状体1从第2洗涤用端口12搬运至第1检査部30(参照图4)的方式，执行控制第1堆垛起重机5的第1板状体搬运控制。控制部H以将第1检査部30的检査结束后的板状体1从第1检査部30搬运至第2检査部31(参照图5)的方式，执行控制第1堆垛起重机5的第2板状体搬运控制。控制部H以将第2检査部31的检査结束后的板状体1从第2检査部31搬运至第1保管部27(参照图6)的方式，执行控制第1堆垛起重机5的第3板状体搬运控制。并且，控制部H在将板状体1容纳于容器2来搬出容器2的情况下，以将第1保管部27的板状体1从第1保管部27搬运至搬出用端口8(参照图8)的方式，执行控制第1堆垛起重机5的第4板状体搬运控制。通过第1板状体搬运控制、第2板状体搬运控制、第3板状体搬运控制及第4板状体搬运控制，被第1堆垛起重机5搬运的板状体1是洗涤后的板状体1。并且，在第4板状体搬运控制中，在借助第1堆垛起重机5将板状体1搬运至搬出用端口的情况下，第1堆垛起重机5以使板状体1容纳于位于搬出用端口8的容器2的方式，将该板状体1搬运至搬出用端口8。
2.其他实施方式
接着，对物品搬运设备的其他实施方式进行说明。
(1)在上述实施方式中，将第1洗涤用端口11相对于第2洗涤用端口12设置于第1方向Y1侧，但也可以将第1洗涤用端口11及第2洗涤用端口12的设置位置适当改变。例如，也可以将第1洗涤用端口11相对于第2洗涤用端口12设置于第2方向Y2，此外，也可以是，以在上下方向Z上观察时第1洗涤用端口11和第2洗涤用端口12重叠的方式设置，将第1洗涤用端口11和第2洗涤用端口12在排列方向Y上设置于相同的位置。另外，关于第3洗涤用端口13及第4洗涤用端口14的设置位置、以及搬入用端口7及搬出用端口8的设置位置，与第1洗涤用端口11及第2洗涤用端口12同样地，也可以适当改变。
此外，在上述实施方式中，将第4洗涤用端口14与第3洗涤用端口13分开设置，但也可以使第3洗涤用端口13具备第4洗涤用端口14的功能，将第3洗涤用端口13与第4洗涤用端口14共用。此外，将搬出用端口8与搬入用端口7分开设置，但也可以使搬入用端口7具备搬出用端口8的功能，将搬入用端口7和搬出用端口8共用。
(2)在上述实施方式中，第2堆垛起重机6将被第2洗涤机CL2洗涤且未容纳有板状体1的容器2搬运至搬出用端口8，第1堆垛起重机5以使位于搬出用端口8的容器2容纳被第1洗涤机CL1洗涤后的板状体1的方式，将该板状体1搬运至搬出用端口8，将板状体1容纳于容器2，但也可以借助其他结构将板状体1容纳于容器2。具体地，例如，也可以是，除了搬出用端口8之外另外具备容器容纳用端口，第2堆垛起重机6将被第2洗涤机CL2洗涤且未容纳有板状体1的容器2搬运至容器容纳用端口，第1堆垛起重机5以使位于容器容纳用端口的容器2容纳被第1洗涤机CL1洗涤后的板状体1的方式，将该板状体1搬运至容器容纳用端口。该情况下，借助第2堆垛起重机6将容纳有板状体1的容器2从容器容纳用端口搬运至搬出用端口8。此外，例如，除了搬出用端口8之外另外具备板状体用端口，第2堆垛起重机6将被第2洗涤机CL2洗涤且未容纳有板状体1的容器2搬运至搬出用端口8，第1堆垛起重机5将被第1洗涤机CL1洗涤后的板状体1搬运至板状体用端口。并且，也可以是，借助另外具备的容纳机器人，以使位于搬出用端口8的容器2容纳板状体1的方式，将板状体1从板状体用端口搬运至搬出用端口8。
(3)在上述实施方式中，将第1堆垛起重机5构成为，将板状体1的底面从下方支承，但也可以适当改变支承第1堆垛起重机5的板状体1的结构，例如，也可以构成为，将第1堆垛起重机5通过吸附板状体1的上表面来将板状体1从上方支承。
将第2堆垛起重机6构成为，将容器2的底面从下方支承，但也可以将支承第2堆垛起重机6的支承容器2的结构适当改变，例如，也可以将第2堆垛起重机6以支承容器2的上部来悬挂容器2的方式支承。
(4)在上述实施方式中，与第1洗涤用端口11、第2洗涤用端口12、第3洗涤用端口13、第4洗涤用端口14、搬入用端口7、搬出用端口8中的位于最靠第1方向Y1侧的位置的端口相比，在第1方向Y1上仅设置有第1保管部27和第2保管部28中的第1保管部27，但也可以是，与位于最靠第1方向Y1侧的位置端口相比在第1方向Y1上，设置第1保管部27和第2保管部28这二者。此外，与第1洗涤用端口11、第2洗涤用端口12、第3洗涤用端口13、第4洗涤用端口14、搬入用端口7、搬出用端口8中的位置最靠第2方向Y2侧的端口相比，在第2方向Y2上仅设置有第1保管部27和第2保管部28中的第2保管部28，但也可以是，与位于最靠第2方向Y2侧的位置的端口相比在第2方向Y2上，设置第1保管部27和第2保管部28这二者。
(5)在上述实施方式中，将第3洗涤用端口13及第4洗涤用端口14设置于第2堆垛起重机6能够传递容器2的位置，但也可以适当改变设置第3洗涤用端口13及第4洗涤用端口14的位置。具体地，例如，也可以是，将第3洗涤用端口13及第4洗涤用端口14设置于壁体W的外部，将洗涤前且未容纳有板状体1的容器2从搬出用端口8搬出，将从该搬出用端口8搬出的容器2借助外部的搬运装置搬运至第3洗涤用端口13，并且将洗涤后且未容纳有板状体1的容器2借助外部的搬运装置从第4洗涤用端口14搬运，将该容器2从搬入用端口7搬入。此外，也可以不具备第2洗涤机CL2、第3洗涤用端口13及第4洗涤用端口14。
(6)在上述实施方式中，将物品设为光掩模，但也可以是晶片等其他板状体1，此外，作为物品的形状，除了板状以外也可以是立方体状、圆棒状等其他形状。
(7)上述的各实施方式所公开的结构只要不发生矛盾，就也能够与其他实施方式中所公开的结构适当组合来应用。关于其他结构，在本说明书所公开的实施方式在所有方面都是例示，能够在不脱离本公开的宗旨的范围内适当地进行各种改变。
3.上述实施方式的概要
以下，对在上述说明中已说明的物品搬运设备的概要进行说明。
物品搬运设备具备搬入用端口、第1洗涤用端口、第2洗涤用端口、第1搬运装置、第2搬运装置，前述搬入用端口搬入容纳有物品的容器，前述第1洗涤用端口被设置于与洗涤前述物品的第1洗涤机对应的位置，将容纳有被前述第1洗涤机洗涤前的前述物品的前述容器支承，前述第2洗涤用端口被设置于与前述第1洗涤机对应的位置，将被从前述容器取出而被前述第1洗涤机洗涤后的前述物品支承，前述第1搬运装置搬运前述物品，前述第2搬运装置搬运前述容器，前述第2洗涤用端口被与前述第1洗涤用端口分开设置，前述第2搬运装置进行前述容器从前述搬入用端口向前述第1洗涤用端口的搬运、前述物品被取出后的前述容器从前述第1洗涤用端口向第2搬运目的地的搬运，前述第1搬运装置进行前述物品从前述第2洗涤用端口向第1搬运目的地的搬运。
根据该方案，被向搬入用端口搬入的容器借助第2搬运装置被从搬入用端口向第1洗涤用端口搬运。此时在被第2搬运装置搬运的容器中，容纳有被第1洗涤机洗涤前的物品。并且，关于物品，从位于第1洗涤用端口的容器取出而被第1洗涤机洗涤后，被载置于第2洗涤用端口。并且，该洗涤后的物品借助第1搬运装置被从第2洗涤用端口向第1搬运目的地搬运。此外，物品被取出而变空的容器借助第2搬运装置，被从第1洗涤用端口向第2搬运目的地搬运。
被第1洗涤机洗涤前的物品在被容纳于容器的状态下被向搬入用端口搬入，在被容纳于容器的状态下借助第2搬运装置被从搬入用端口向第1洗涤用端口搬运。并且，被第1洗涤机洗涤后的物品借助第1搬运装置被从第2洗涤用端口向搬运目的地搬运。这样，第1搬运装置不搬运被第1洗涤机洗涤前的物品，仅进行被洗涤后的物品的搬运，所以能够避免，借助由于搬运被洗涤前的物品而被污染的第2搬运装置来搬运洗涤后的物品、从而导致洗涤后的物品被污染。
此外，优选的是，还具备第3洗涤用端口和第4洗涤用端口，前述第3洗涤用端口被设置于与洗涤前述物品被取出后的前述容器的第2洗涤机对应的位置，将被前述第2洗涤机洗涤前的前述容器支承，前述第4洗涤用端口被设置于与前述第2洗涤机对应的位置，将被前述第2洗涤机洗涤后的前述容器支承，前述第4洗涤用端口被与前述第3洗涤用端口分开设置，或前述第4洗涤用端口被与前述第3洗涤用端口共用，前述第2搬运装置进行取出前述物品后的前述容器从前述第1洗涤用端口向作为前述第2搬运目的地的前述第3洗涤用端口的搬运、及前述容器从前述第4洗涤用端口向第3搬运目的地的搬运。
根据该结构，被第2搬运装置从第1洗涤用端口搬运至第3洗涤用端口而被第2洗涤机洗涤的容器，被第2搬运装置从第4洗涤用端口向第3搬运目的地搬运。这样，能够借助第2洗涤机洗涤容器，并且将该容器借助第2搬运装置从第4洗涤用端口搬运至第3搬运目的地，由此与另外地具备搬运装置的情况相比，能够实现物品搬运设备的结构的简单化。
这里，优选的是，将前述第1洗涤机和前述第2洗涤机排列的方向设为排列方向，将前述排列方向上的前述第1洗涤机相对于前述第2洗涤机存在的方向设为第1方向，将其相反方向设为第2方向，前述第1搬运装置及前述第2搬运装置分别构成为能够在前述排列方向上移动，前述第1搬运装置相对于前述第2搬运装置位于前述第1方向侧，前述第1搬运装置的移动路径和前述第2搬运装置的移动路径在前述排列方向具有重叠的部分。
根据该结构，将搬运目的地配设于在第1搬运装置的移动路径和第2搬运装置的移动路径上在排列方向上重叠的部分，由此能够用第1搬运装置和第2搬运装置向相同的搬运目的地搬运物品、容器。因此，例如，能够借助第2搬运装置将洗涤后的容器搬运至搬运目的地，能够以将洗涤后的物品容纳于位于搬运目的地的容器的方式搬运至搬运目的地。这样，能够提供容易使用的物品搬运设备。
此外，优选的是，还具备用于保管前述物品的第1保管部、用于保管前述容器的第2保管部，前述第1搬运装置还进行前述物品从前述第2洗涤用端口向作为前述第1搬运目的地的前述第1保管部的搬运，前述第2搬运装置还进行前述容器从前述第4洗涤用端口向作为前述第3搬运目的地的前述第2保管部的搬运。
根据该结构，能够将洗涤后的物品保管于第1保管部，能够将洗涤后的容器保管于第2保管部。并且，在将洗涤后的物品容纳于洗涤后的容器的情况下，在物品的洗涤完成的时机和容器的洗涤完成的时机错开的情况等，能够将第1保管部、第2保管部作为将物品、容器暂时保管的缓冲区（buffer）。
此外，将前述第1洗涤机相对于前述第2洗涤机存在的方向设为第1方向，将其相反方向设为第2方向，前述第1洗涤用端口、前述第2洗涤用端口、前述第3洗涤用端口、前述第4洗涤用端口、前述搬入用端口中的前述第2洗涤用端口被设置成最靠前述第1方向侧，并且前述第4洗涤用端口被设置成最靠前述第2方向侧，与前述第2洗涤用端口相比在前述第1方向上，仅设置有前述第1保管部和前述第2保管部中的前述第1保管部，与前述第4洗涤用端口相比在前述第2方向上，仅设置有前述第1保管部和前述第2保管部中的前述第2保管部。
根据该结构，在排列方向上，在第1保管部和第2保管部之间设置第1洗涤用端口、第2洗涤用端口、第3洗涤用端口、第4洗涤用端口、搬入用端口，由此能够将这些端口密集地设置。因此，在从端口向另外的端口搬运物品、容器时，能够将物品、容器高效率地搬运。此外，与被最靠第1方向侧设置的第2洗涤用端口相比在第1方向上，仅设置有用于保管物品的第1保管部，所以使得用于搬运容器的第2搬运装置不会与第2洗涤用端口相比朝向第1方向移动，能够缩短第2搬运装置的移动路径。此外，与被最靠第2方向侧设置的第4洗涤用端口相比在第2方向上，仅设置有用于保管容器的第1保管部，所以使得用于搬运物品的第1搬运装置不会与第4洗涤用端口相比朝向第2方向移动，能够缩短第1搬运装置的移动路径。这样能够缩短第1搬运装置及第2搬运装置的移动路径，能够高效率地进行第1搬运装置进行的物品的搬运、第2搬运装置进行的容器的搬运。
此外，优选的是，还具备用于将容纳有前述物品的前述容器搬出的搬出用端口，前述第2搬运装置将未被前述第2洗涤机洗涤且未容纳有前述物品的前述容器向前述搬出用端口搬运，前述第1搬运装置以使位于前述搬出用端口的前述容器容纳被前述第1洗涤机洗涤的前述物品的方式，将该物品向前述搬出用端口搬运。
根据该结构，借助第2搬运装置，预先将未容纳有物品的容器向搬出用端口搬运，以使物品容纳于该容器的方式，借助第1搬运装置，将被洗涤后的物品向搬出用端口搬运。这样，利用搬出用端口来将物品容纳于容器，由此，无需例如在搬出用端口以外的场所将洗涤后的物品容纳于容器的情况那样，将容纳有物品的容器搬运至搬出用端口这样的搬运处理，能够将容器高效率地搬出。
产业上的可利用性
本发明涉及的技术能够利用于将物品、容器搬运至被设置于与洗涤机对应的位置的端口的物品搬运设备。
附图标记说明
1：板状体(物品)
2：容器
5：第1堆垛起重机(第1搬运装置)
6：第2堆垛起重机(第2搬运装置)
7：搬入用端口
8：搬出用端口
11：第1洗涤用端口
12：第2洗涤用端口
13：第3洗涤用端口
14：第4洗涤用端口
27：第1保管部
28：第2保管部
CL1：第1洗涤机
CL2：第2洗涤机
M1：移动路径
M2：移动路径
Y：排列方向
Y1：第1方向
Y2：第2方向。

Claims (8)

1.一种物品搬运设备，前述物品搬运设备具备搬入用端口、第1洗涤用端口、第2洗涤用端口、第1搬运装置、第2搬运装置，
前述搬入用端口搬入容纳有物品的容器，
前述第1洗涤用端口被设置于与洗涤前述物品的第1洗涤机对应的位置，将容纳有被前述第1洗涤机洗涤前的前述物品的前述容器支承，
前述第2洗涤用端口被设置于与前述第1洗涤机对应的位置，将被从前述容器取出而被前述第1洗涤机洗涤后的前述物品支承，
前述第1搬运装置搬运前述物品，
前述第2搬运装置搬运前述容器，
前述物品搬运设备的特征在于，
前述第2洗涤用端口被与前述第1洗涤用端口分开设置，
前述第2搬运装置进行前述容器从前述搬入用端口向前述第1洗涤用端口的搬运、前述物品被取出后的前述容器从前述第1洗涤用端口向第2搬运目的地的搬运，
前述第1搬运装置进行前述物品从前述第2洗涤用端口向第1搬运目的地的搬运。
2.如权利要求1所述的物品搬运设备，其特征在于，
还具备第3洗涤用端口和第4洗涤用端口，
前述第3洗涤用端口被设置于与第2洗涤机对应的位置，将被前述第2洗涤机洗涤前的前述容器支承，前述第2洗涤机洗涤前述物品被取出后的前述容器，
前述第4洗涤用端口被设置于与前述第2洗涤机对应的位置，将被前述第2洗涤机洗涤后的前述容器支承，
前述第4洗涤用端口被与前述第3洗涤用端口分开设置，或前述第4洗涤用端口被与前述第3洗涤用端口共用，
前述第2搬运装置进行取出前述物品后的前述容器从前述第1洗涤用端口向作为前述第2搬运目的地的前述第3洗涤用端口的搬运、及前述容器从前述第4洗涤用端口向第3搬运目的地的搬运。
3.如权利要求2所述的物品搬运设备，其特征在于，
将前述第1洗涤机和前述第2洗涤机排列的方向设为排列方向，将前述排列方向上的前述第1洗涤机相对于前述第2洗涤机存在的方向设为第1方向，将其相反方向设为第2方向，
前述第1搬运装置及前述第2搬运装置分别构成为能够在前述排列方向上移动，
前述第1搬运装置相对于前述第2搬运装置位于前述第1方向侧，
前述第1搬运装置的移动路径和前述第2搬运装置的移动路径在前述排列方向具有重叠的部分。
4.如权利要求2所述的物品搬运设备，其特征在于，
还具备用于保管前述物品的第1保管部、用于保管前述容器的第2保管部，
前述第1搬运装置还进行前述物品从前述第2洗涤用端口向作为前述第1搬运目的地的前述第1保管部的搬运，
前述第2搬运装置还进行前述容器从前述第4洗涤用端口向作为前述第3搬运目的地的前述第2保管部的搬运。
5.如权利要求3所述的物品搬运设备，其特征在于，
还具备用于保管前述物品的第1保管部、用于保管前述容器的第2保管部，
前述第1搬运装置还进行前述物品从前述第2洗涤用端口向作为前述第1搬运目的地的前述第1保管部的搬运，
前述第2搬运装置还进行前述容器从前述第4洗涤用端口向作为前述第3搬运目的地的前述第2保管部的搬运。
6.如权利要求4所述的物品搬运设备，其特征在于，
将前述第1洗涤机相对于前述第2洗涤机存在的方向设为第1方向，将其相反方向设为第2方向，
前述第1洗涤用端口、前述第2洗涤用端口、前述第3洗涤用端口、前述第4洗涤用端口、前述搬入用端口中的前述第2洗涤用端口被设置成最靠前述第1方向侧，并且前述第4洗涤用端口被设置成最靠前述第2方向侧，
与前述第2洗涤用端口相比在前述第1方向上，仅设置有前述第1保管部和前述第2保管部中的前述第1保管部，
与前述第4洗涤用端口相比在前述第2方向上，仅设置有前述第1保管部和前述第2保管部中的前述第2保管部。
7.如权利要求5所述的物品搬运设备，其特征在于，
将前述第1洗涤机相对于前述第2洗涤机存在的方向设为第1方向，将其相反方向设为第2方向，
前述第1洗涤用端口、前述第2洗涤用端口、前述第3洗涤用端口、前述第4洗涤用端口、前述搬入用端口中的前述第2洗涤用端口被设置成最靠前述第1方向侧，并且前述第4洗涤用端口被设置成最靠前述第2方向侧，
与前述第2洗涤用端口相比在前述第1方向上，仅设置有前述第1保管部和前述第2保管部中的前述第1保管部，
与前述第4洗涤用端口相比在前述第2方向上，仅设置有前述第1保管部和前述第2保管部中的前述第2保管部。
8.如权利要求1至7中任一项所述的物品搬运设备，其特征在于，
还具备用于将容纳有前述物品的前述容器搬出的搬出用端口，
前述第2搬运装置将未容纳有前述物品的前述容器向前述搬出用端口搬运，
前述第1搬运装置以使位于前述搬出用端口的前述容器容纳被前述第1洗涤机洗涤的前述物品的方式，将该物品向前述搬出用端口搬运。
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