JPH11199007A - カセットの搬送方法及び処理設備 - Google Patents
カセットの搬送方法及び処理設備Info
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- JPH11199007A JPH11199007A JP284598A JP284598A JPH11199007A JP H11199007 A JPH11199007 A JP H11199007A JP 284598 A JP284598 A JP 284598A JP 284598 A JP284598 A JP 284598A JP H11199007 A JPH11199007 A JP H11199007A
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
- B65G49/068—Stacking or destacking devices; Means for preventing damage to stacked sheets, e.g. spaces
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G2249/00—Aspects relating to conveying systems for the manufacture of fragile sheets
- B65G2249/02—Controlled or contamination-free environments or clean space conditions
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- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Forklifts And Lifting Vehicles (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 カセットの搬送において、設備の初期投資額
を低く抑え、かつ、搬送時間も短くし、作業効率を向上
させる。 【解決手段】 ガラス基板カセットを保管するストッカ
４と、このストッカ４にカセットを出し入れするスタッ
カクレーン１と、このスタッカクレーン１の移動範囲内
に設置した処理装置８のローダー部９とが、箱状で囲ま
れたクリーンルーム本体５内に配置されており、カセッ
トをストッカ４からスタッカクレーン１によって取り出
し、同スタッカクレーン１が移動して処理装置８のロー
ダー部９に直接搬送するようにした。
を低く抑え、かつ、搬送時間も短くし、作業効率を向上
させる。 【解決手段】 ガラス基板カセットを保管するストッカ
４と、このストッカ４にカセットを出し入れするスタッ
カクレーン１と、このスタッカクレーン１の移動範囲内
に設置した処理装置８のローダー部９とが、箱状で囲ま
れたクリーンルーム本体５内に配置されており、カセッ
トをストッカ４からスタッカクレーン１によって取り出
し、同スタッカクレーン１が移動して処理装置８のロー
ダー部９に直接搬送するようにした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、液晶表示装置及
びプラズマ表示装置を製造する工程における、カセット
の搬送方法及び処理設備に関するものである。
びプラズマ表示装置を製造する工程における、カセット
の搬送方法及び処理設備に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】液晶表示装置等の製造工場においては、
各製造工程内に例えばガラス基板用カセットの搬送工程
があり、かつ各工程間にもガラス基板用カセットの搬送
工程があるのが一般的である。図８は従来のこの種の製
造工程内のカセット搬送方法の一例を示す概略の配置平
面図である。図において、１はレール２上を移動するス
タッカクレーンで、移載装置３を備えている。４はレー
ル２の両側に相対して配設されたストッカ、５はこれら
を囲むクリーンルーム本体である。６は搬送台車、７は
搬送台車６の通るルート、８はカセットからローダー９
でガラス基板を取り出して化学的処理を行う処理装置で
ある。なお、図中１０は移載場所を示している。
各製造工程内に例えばガラス基板用カセットの搬送工程
があり、かつ各工程間にもガラス基板用カセットの搬送
工程があるのが一般的である。図８は従来のこの種の製
造工程内のカセット搬送方法の一例を示す概略の配置平
面図である。図において、１はレール２上を移動するス
タッカクレーンで、移載装置３を備えている。４はレー
ル２の両側に相対して配設されたストッカ、５はこれら
を囲むクリーンルーム本体である。６は搬送台車、７は
搬送台車６の通るルート、８はカセットからローダー９
でガラス基板を取り出して化学的処理を行う処理装置で
ある。なお、図中１０は移載場所を示している。
【０００３】次に動作について説明する。ストッカ４に
収納されていたカセットを処理装置８に搬送する場合、
ストッカ４からスタッカクレーン１の移載装置３でカセ
ットを取り出し、搬送台車６への移載場所１０まで搬送
する。そして、搬送台車６にカセットを載せてルート７
に沿って搬送し、ローダー９によって処理装置８へ受け
渡しを実施している。なお、従来のこの種の搬送方法に
関連するものとして、特開平４−１８６６５２号公報の
ものがある。
収納されていたカセットを処理装置８に搬送する場合、
ストッカ４からスタッカクレーン１の移載装置３でカセ
ットを取り出し、搬送台車６への移載場所１０まで搬送
する。そして、搬送台車６にカセットを載せてルート７
に沿って搬送し、ローダー９によって処理装置８へ受け
渡しを実施している。なお、従来のこの種の搬送方法に
関連するものとして、特開平４−１８６６５２号公報の
ものがある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来のカセット搬送方
法は以上のような方法であるので、工程内で処理装置へ
カセットを搬送する場合に、ストッカ４からスタッカク
レーン１で取り出してのち、移載場所１０まで搬送して
から、搬送台車６に受け渡して搬送することになる。そ
のため、処理装置８まで搬送するのに、搬送台車６や移
載場所１０が必要になり、初期投資が高くなるととも
に、搬送時間も長くなり、作業効率が悪いという問題が
あった。
法は以上のような方法であるので、工程内で処理装置へ
カセットを搬送する場合に、ストッカ４からスタッカク
レーン１で取り出してのち、移載場所１０まで搬送して
から、搬送台車６に受け渡して搬送することになる。そ
のため、処理装置８まで搬送するのに、搬送台車６や移
載場所１０が必要になり、初期投資が高くなるととも
に、搬送時間も長くなり、作業効率が悪いという問題が
あった。
【０００５】この発明は上記のような課題を解決するた
めになされたものであり、初期投資を低く抑えてコスト
ダウンを図ることができるとともに、搬送時間も短くな
り、作業効率を向上できる、カセットの搬送方法及び処
理設備を得ることを目的とする。
めになされたものであり、初期投資を低く抑えてコスト
ダウンを図ることができるとともに、搬送時間も短くな
り、作業効率を向上できる、カセットの搬送方法及び処
理設備を得ることを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明の請求項１に係
るカセットの搬送方法は、カセットを保管するストッカ
と、このストッカに出し入れするスタッカクレーンと、
このスタッカクレーンの移動範囲内に設置した処理装置
のローダー部とを、箱状で囲まれたクリーンルーム本体
内に配置し、上記カセットを上記ストッカから上記スタ
ッカクレーンによって取り出し、同スタッカクレーンが
移動して上記処理装置のローダー部に直接搬送するもの
である。
るカセットの搬送方法は、カセットを保管するストッカ
と、このストッカに出し入れするスタッカクレーンと、
このスタッカクレーンの移動範囲内に設置した処理装置
のローダー部とを、箱状で囲まれたクリーンルーム本体
内に配置し、上記カセットを上記ストッカから上記スタ
ッカクレーンによって取り出し、同スタッカクレーンが
移動して上記処理装置のローダー部に直接搬送するもの
である。
【０００７】この発明の請求項２に係るカセットの処理
設備は、移載装置を備えたスタッカクレーンの移動を案
内するレールを挟んで、その両側に、カセットを保管す
るストッカと、ローダー部を有する処理装置とを対向し
て配備し、かつ、上記ストッカと、スタッカクレーン
と、処理装置のうちのローダー部のみとを、クリーンル
ーム本体内に配置したものである。
設備は、移載装置を備えたスタッカクレーンの移動を案
内するレールを挟んで、その両側に、カセットを保管す
るストッカと、ローダー部を有する処理装置とを対向し
て配備し、かつ、上記ストッカと、スタッカクレーン
と、処理装置のうちのローダー部のみとを、クリーンル
ーム本体内に配置したものである。
【０００８】この発明の請求項３に係るカセットの処理
設備は、移載装置を備えたスタッカクレーンの移動を案
内するレールを挟んで、その両側に、各々、カセットを
保管するストッカと、その延長線上にローダー部を有す
る処理装置をそれぞれ対向して配備し、かつ、上記スト
ッカと、スタッカクレーンと、処理装置のうちのローダ
ー部のみとを、クリーンルーム本体内に配置したもので
ある。
設備は、移載装置を備えたスタッカクレーンの移動を案
内するレールを挟んで、その両側に、各々、カセットを
保管するストッカと、その延長線上にローダー部を有す
る処理装置をそれぞれ対向して配備し、かつ、上記スト
ッカと、スタッカクレーンと、処理装置のうちのローダ
ー部のみとを、クリーンルーム本体内に配置したもので
ある。
【０００９】この発明の請求項４に係るカセットの搬送
方法は、製造工程間を循環搬送するように配置した天井
走行台車のレールを、カセットを保管するストッカに隣
接して配備し、かつ上記ストッカに天井走行台車との移
載装置を設け、上記レールに沿って移動してきた天井走
行台車と、ストッカとが、上記移載装置を介してカセッ
トの受け渡しを行ない、工程間を搬送するものである。
方法は、製造工程間を循環搬送するように配置した天井
走行台車のレールを、カセットを保管するストッカに隣
接して配備し、かつ上記ストッカに天井走行台車との移
載装置を設け、上記レールに沿って移動してきた天井走
行台車と、ストッカとが、上記移載装置を介してカセッ
トの受け渡しを行ない、工程間を搬送するものである。
【００１０】この発明の請求項５に係るカセットの処理
設備は、製造工程間を循環搬送するように配置した天井
走行台車のレールの両側に、移載装置を設けたストッカ
を隣接して配備し、さらに、このストッカの外側に対称
的に、スタッカクレーンを乗せたレールと、ローダー部
を有する処理装置を配置し、上記天井走行台車及びその
レールと、ストッカと、スタッカクレーン及びそのレー
ルと、処理装置のうちのローダー部のみとをクリーンル
ーム本体内に配置したものである。
設備は、製造工程間を循環搬送するように配置した天井
走行台車のレールの両側に、移載装置を設けたストッカ
を隣接して配備し、さらに、このストッカの外側に対称
的に、スタッカクレーンを乗せたレールと、ローダー部
を有する処理装置を配置し、上記天井走行台車及びその
レールと、ストッカと、スタッカクレーン及びそのレー
ルと、処理装置のうちのローダー部のみとをクリーンル
ーム本体内に配置したものである。
【００１１】この発明の請求項６に係るカセットの搬送
方法は、ストッカの端から、その隣りに離れて配置され
たストッカの端までを搬送装置でつなぎ、上記ストッカ
間の搬送装置とスタッカクレーンを用いて工程間搬送を
行なうものである。
方法は、ストッカの端から、その隣りに離れて配置され
たストッカの端までを搬送装置でつなぎ、上記ストッカ
間の搬送装置とスタッカクレーンを用いて工程間搬送を
行なうものである。
【００１２】この発明の請求項７に係るカセットの処理
設備は、ストッカ間を搬送装置を介して接続し、上記搬
送装置を含めてクリーンルーム本体内に配置したもので
ある。
設備は、ストッカ間を搬送装置を介して接続し、上記搬
送装置を含めてクリーンルーム本体内に配置したもので
ある。
【００１３】この発明の請求項８に係るカセットの処理
設備は、ストッカ間をつなぐ搬送装置としてコンベアを
用いたものである。
設備は、ストッカ間をつなぐ搬送装置としてコンベアを
用いたものである。
【００１４】この発明の請求項９に係るカセットの搬送
方法は、処理装置で処理した後に、該処理装置からさら
にスタッカクレーンで検査装置へ直接搬送するものであ
る。
方法は、処理装置で処理した後に、該処理装置からさら
にスタッカクレーンで検査装置へ直接搬送するものであ
る。
【００１５】この発明の請求項１０に係るカセットの処
理設備は、移載装置を備えたスタッカクレーンの移動を
案内するレールを挟んで、その両側にカセットを保管す
るストッカを配置するとともに、その延長線上の両側に
はローダー部を有する処理装置と検査装置を配備し、か
つ上記ストッカ、レール、及び処理装置と検査装置の各
ローダー部のみとを、クリーンルーム本体内に配置した
ものである。
理設備は、移載装置を備えたスタッカクレーンの移動を
案内するレールを挟んで、その両側にカセットを保管す
るストッカを配置するとともに、その延長線上の両側に
はローダー部を有する処理装置と検査装置を配備し、か
つ上記ストッカ、レール、及び処理装置と検査装置の各
ローダー部のみとを、クリーンルーム本体内に配置した
ものである。
【００１６】
【発明の実施の形態】実施の形態１．以下、この発明の
実施の形態１を図１及び図２に基づいて説明する。図に
おいて、１はレール２上を移動するスタッカクレーン
で、ガラス基板用カセットを移載するための移載装置３
を備えている。なお、この移載装置３は、例えばスカラ
ロボットなどの装置が用いられる。４はスタッカクレー
ン１の移載装置３によって出し入れされるカセットを収
納するストッカであり、レール２の片側に配設されてい
る。８はカセットからローダー９でガラス基板を取り出
し、化学的処理などを行う処理装置で、レール２を介し
て上記ストッカ４と相対して配設されている。即ち、ス
タッカクレーン１が移動してカセットを受け渡しするた
め、ストッカ４と処理装置８をスタッカクレーン１を挟
んで両側に配置している。５はスタッカクレーン１とス
トッカ４と処理装置８のローダー９部を囲むクリーンル
ーム本体である。なお、このクリーンルーム本体５内
は、該本体外よりもクリーン度の高いクリーンルームに
なっており、天井側からフィルターを介してクリーンエ
アを下吹きし、下降するクリーンエアをメッシュ状の床
を通して床下に吸引するようになされている。
実施の形態１を図１及び図２に基づいて説明する。図に
おいて、１はレール２上を移動するスタッカクレーン
で、ガラス基板用カセットを移載するための移載装置３
を備えている。なお、この移載装置３は、例えばスカラ
ロボットなどの装置が用いられる。４はスタッカクレー
ン１の移載装置３によって出し入れされるカセットを収
納するストッカであり、レール２の片側に配設されてい
る。８はカセットからローダー９でガラス基板を取り出
し、化学的処理などを行う処理装置で、レール２を介し
て上記ストッカ４と相対して配設されている。即ち、ス
タッカクレーン１が移動してカセットを受け渡しするた
め、ストッカ４と処理装置８をスタッカクレーン１を挟
んで両側に配置している。５はスタッカクレーン１とス
トッカ４と処理装置８のローダー９部を囲むクリーンル
ーム本体である。なお、このクリーンルーム本体５内
は、該本体外よりもクリーン度の高いクリーンルームに
なっており、天井側からフィルターを介してクリーンエ
アを下吹きし、下降するクリーンエアをメッシュ状の床
を通して床下に吸引するようになされている。
【００１７】次に動作について説明する。ストッカ４に
収納されているカセットを処理装置８に搬送するとき、
必要なカセットが収納されているストッカ４の棚の位置
にスタッカクレーン１が移動し、移載装置３によってカ
セットを取り出す。次に、スタッカクレーン１は移載装
置３にカセットを乗せたままレール２上を処理装置８の
所定個所まで移動する。そして、移載装置３によって直
接処理装置８のローダー９にカセットを受け渡すもので
ある。
収納されているカセットを処理装置８に搬送するとき、
必要なカセットが収納されているストッカ４の棚の位置
にスタッカクレーン１が移動し、移載装置３によってカ
セットを取り出す。次に、スタッカクレーン１は移載装
置３にカセットを乗せたままレール２上を処理装置８の
所定個所まで移動する。そして、移載装置３によって直
接処理装置８のローダー９にカセットを受け渡すもので
ある。
【００１８】従って、本実施形態によると、ストッカ４
からカセットを受け取って、スタッカクレーン１が直接
処理装置８まで搬送するので、スタッカクレーン１から
処理装置８までの搬送手段や、受け渡し装置が不要にな
り、このため、初期投資を低くすることができるととも
に、搬送時間が短くなって作業効率が向上する。また、
クリーンルーム本体５内のクリーンルーム内でカセット
の搬送や受け渡しをするため、カセット内のガラス基板
が汚染されることがない。さらに、処理装置８は装置内
でガラス基板を処理するため、処理装置８全体がカセッ
トを受け渡しする環境と同じクリーンレベルの環境であ
る必要はないことから、クリーンルーム本体５内に配置
するのは、ローダー９部だけにし、クリーン度の高いク
リーンルームのエリアを小さくして、クリーンルームの
初期投資費用、及び維持費用を削減することができると
いうメリットがある。
からカセットを受け取って、スタッカクレーン１が直接
処理装置８まで搬送するので、スタッカクレーン１から
処理装置８までの搬送手段や、受け渡し装置が不要にな
り、このため、初期投資を低くすることができるととも
に、搬送時間が短くなって作業効率が向上する。また、
クリーンルーム本体５内のクリーンルーム内でカセット
の搬送や受け渡しをするため、カセット内のガラス基板
が汚染されることがない。さらに、処理装置８は装置内
でガラス基板を処理するため、処理装置８全体がカセッ
トを受け渡しする環境と同じクリーンレベルの環境であ
る必要はないことから、クリーンルーム本体５内に配置
するのは、ローダー９部だけにし、クリーン度の高いク
リーンルームのエリアを小さくして、クリーンルームの
初期投資費用、及び維持費用を削減することができると
いうメリットがある。
【００１９】なお、本実施形態では、カセットをガラス
基板用としたが、半導体製造工程において、半導体ウエ
ハや半導体チップを搬送する薄板状のパレットなどを収
納するカセットの場合でも同様に適用し得るものであ
る。
基板用としたが、半導体製造工程において、半導体ウエ
ハや半導体チップを搬送する薄板状のパレットなどを収
納するカセットの場合でも同様に適用し得るものであ
る。
【００２０】実施の形態２．上記実施の形態１では、レ
ール２上のスタッカクレーン１を挟んでその両側にスト
ッカ４と処理装置８を配置した場合について述べたが、
図３に示すように、スタッカクレーン１の両側にストッ
カ４を配置し、スタッカクレーン１がストッカ４のある
範囲の外側に移動するようにレール２を延長して、処理
装置８を配置してもよい。このようにすると、ストッカ
４の棚数を設定する場合に、処理装置８の大きさや台数
に制約を受けずに配置することができるとともに、上記
実施の形態１と同様の効果を得ることができる。
ール２上のスタッカクレーン１を挟んでその両側にスト
ッカ４と処理装置８を配置した場合について述べたが、
図３に示すように、スタッカクレーン１の両側にストッ
カ４を配置し、スタッカクレーン１がストッカ４のある
範囲の外側に移動するようにレール２を延長して、処理
装置８を配置してもよい。このようにすると、ストッカ
４の棚数を設定する場合に、処理装置８の大きさや台数
に制約を受けずに配置することができるとともに、上記
実施の形態１と同様の効果を得ることができる。
【００２１】実施の形態３．また、上記実施の形態１で
は、ストッカ４から処理装置８へ搬送する工程内搬送の
場合について述べたが、本実施形態では、図４及び図５
に示すように、高速で各工程を循環搬送するように配置
した天井走行台車を用いて搬送するようにしたものであ
る。即ち、天井走行台車１１と、該台車を乗せるレール
１２とを、ストッカ４と隣接して設置し、工程間を天井
走行台車１１でつなぐようにする。また、１３はストッ
カの一部に設けた移載装置である。図中のその他の構成
部分である、１，２，３，５，８，９は図３のものと相
当部分を示しており、また、１４は天井、１５は床、矢
印は空気の流れを示している。なお、図４、図５はレー
ル１２を中心にして、その両側に対称的に、ストッカ
４、レール２とスタッカクレーン１、及び処理装置８を
配置した場合を示している。
は、ストッカ４から処理装置８へ搬送する工程内搬送の
場合について述べたが、本実施形態では、図４及び図５
に示すように、高速で各工程を循環搬送するように配置
した天井走行台車を用いて搬送するようにしたものであ
る。即ち、天井走行台車１１と、該台車を乗せるレール
１２とを、ストッカ４と隣接して設置し、工程間を天井
走行台車１１でつなぐようにする。また、１３はストッ
カの一部に設けた移載装置である。図中のその他の構成
部分である、１，２，３，５，８，９は図３のものと相
当部分を示しており、また、１４は天井、１５は床、矢
印は空気の流れを示している。なお、図４、図５はレー
ル１２を中心にして、その両側に対称的に、ストッカ
４、レール２とスタッカクレーン１、及び処理装置８を
配置した場合を示している。
【００２２】次にその動作について説明する。天井走行
台車１１によって前工程から搬送されてきたカセット
を、ストッカ４の一部に設けた移載装置１３（例えばス
カラロボットなど）で受け取る。そして、スタッカクレ
ーン１で搬送して、ストッカ４に保管する。そこから、
処理装置８への搬送は、前述の実施形態１と同様であ
り、実施の形態１と同様の効果を得ることができる。こ
の場合、レール１２の片側にストッカ４を配置してもよ
いが、図４，図５のように、レール１２を挟んでその両
側にストッカ４を対向して設けて、天井走行台車１１か
ら両側のストッカ４にカセットを搬送できるように配置
すると、図５に示すように、天井走行台車１１の下を作
業者が通ることができるので、レール１２を挟んで両側
に処理装置８を配置しても通路を確保することができ
る。
台車１１によって前工程から搬送されてきたカセット
を、ストッカ４の一部に設けた移載装置１３（例えばス
カラロボットなど）で受け取る。そして、スタッカクレ
ーン１で搬送して、ストッカ４に保管する。そこから、
処理装置８への搬送は、前述の実施形態１と同様であ
り、実施の形態１と同様の効果を得ることができる。こ
の場合、レール１２の片側にストッカ４を配置してもよ
いが、図４，図５のように、レール１２を挟んでその両
側にストッカ４を対向して設けて、天井走行台車１１か
ら両側のストッカ４にカセットを搬送できるように配置
すると、図５に示すように、天井走行台車１１の下を作
業者が通ることができるので、レール１２を挟んで両側
に処理装置８を配置しても通路を確保することができ
る。
【００２３】実施の形態４．上記実施の形態３では、工
程間を天井走行台車１１でつなぐ場合について述べた
が、本実施形態では、図６に示すように、１ブロックの
ストッカ４ａの両端に、例えばコンベア１６ａ，１６ｂ
などの搬送装置を接続して、隣接した工程のストッカ４
ｂとつなぎ、工程間をコンベア等の搬送装置でカセット
を搬送するようにしたものである。なお、図中、１，
３，５，９は図３と相当部分を示しており、２ａと８ａ
は上記片方のストッカ４ａの部分に配置されたレールと
処理装置、２ｂと８ｂは他方のストッカ４ｂの部分に配
置されたレールと処理装置である。
程間を天井走行台車１１でつなぐ場合について述べた
が、本実施形態では、図６に示すように、１ブロックの
ストッカ４ａの両端に、例えばコンベア１６ａ，１６ｂ
などの搬送装置を接続して、隣接した工程のストッカ４
ｂとつなぎ、工程間をコンベア等の搬送装置でカセット
を搬送するようにしたものである。なお、図中、１，
３，５，９は図３と相当部分を示しており、２ａと８ａ
は上記片方のストッカ４ａの部分に配置されたレールと
処理装置、２ｂと８ｂは他方のストッカ４ｂの部分に配
置されたレールと処理装置である。
【００２４】次にその動作について説明する。コンベア
１６ａ上を搬送されてきたカセットは、ストッカ４ａの
端でスタッカクレーン１が受け取り、処理装置８ａへ搬
送する。ここで処理の終わったカセットは、再び処理装
置８ａからスタッカクレーン１の移載装置３で受け取
り、ストッカ４ａの端のコンベア１６ｂに受け渡す。こ
のとき、処理装置８ａに搬送せずに、次の工程へ搬送す
るカセットは、コンベア１６ａからストッカ４ａの端で
受け取り、スタッカクレーン１でもう一方のストッカ４
ｂの端に搬送し、コンベア１６ｂで次の工程に搬送す
る。なお、コンベアの代わりに有軌道台車を用いても同
様である。このように安価なコンベアなどを用いた工程
間搬送方法のために、工程間搬送装置の初期投資を低く
抑えることができる。また、工程間搬送装置のコンベア
にトラブルが発生したとしても、工程間搬送装置全体で
はなく、工程間搬送の１箇所だけが止まるだけでよいた
め、他のコンベアはカセットを搬送することができ、搬
送の効率が極端に落ちることがない。また、工程間搬送
装置のコンベアをストッカの最上段で接続すると、コン
ベアの下を作業者が通過することができるため、通路を
確保することができ、コンベアの下面より高さの低い装
置の搬出入路となる。なおこの際、コンベアの下面より
高さの高い装置の場合は、コンベアの一部を取り外して
装置を搬出入させるが、この場合でも、工程間搬送の１
箇所だけが止まるだけでよいため、他のコンベアはカセ
ットを搬送することができ、搬送の効率が極端に落ちる
ことがない。
１６ａ上を搬送されてきたカセットは、ストッカ４ａの
端でスタッカクレーン１が受け取り、処理装置８ａへ搬
送する。ここで処理の終わったカセットは、再び処理装
置８ａからスタッカクレーン１の移載装置３で受け取
り、ストッカ４ａの端のコンベア１６ｂに受け渡す。こ
のとき、処理装置８ａに搬送せずに、次の工程へ搬送す
るカセットは、コンベア１６ａからストッカ４ａの端で
受け取り、スタッカクレーン１でもう一方のストッカ４
ｂの端に搬送し、コンベア１６ｂで次の工程に搬送す
る。なお、コンベアの代わりに有軌道台車を用いても同
様である。このように安価なコンベアなどを用いた工程
間搬送方法のために、工程間搬送装置の初期投資を低く
抑えることができる。また、工程間搬送装置のコンベア
にトラブルが発生したとしても、工程間搬送装置全体で
はなく、工程間搬送の１箇所だけが止まるだけでよいた
め、他のコンベアはカセットを搬送することができ、搬
送の効率が極端に落ちることがない。また、工程間搬送
装置のコンベアをストッカの最上段で接続すると、コン
ベアの下を作業者が通過することができるため、通路を
確保することができ、コンベアの下面より高さの低い装
置の搬出入路となる。なおこの際、コンベアの下面より
高さの高い装置の場合は、コンベアの一部を取り外して
装置を搬出入させるが、この場合でも、工程間搬送の１
箇所だけが止まるだけでよいため、他のコンベアはカセ
ットを搬送することができ、搬送の効率が極端に落ちる
ことがない。
【００２５】実施の形態５．上記実施の形態１から４で
は、処理装置８が同一の装置で、工程内を搬送する場合
について述べたが、本実施形態は、図７に示すように、
処理装置８の他に検査装置１７を配置する場合を示して
おり、上記図３において、片方の処理装置８の代わりに
検査装置１７を配置したものである。その他は図３と同
様である。
は、処理装置８が同一の装置で、工程内を搬送する場合
について述べたが、本実施形態は、図７に示すように、
処理装置８の他に検査装置１７を配置する場合を示して
おり、上記図３において、片方の処理装置８の代わりに
検査装置１７を配置したものである。その他は図３と同
様である。
【００２６】即ち、工程別に群を成している装置群の中
で、検査装置１７を、検査が必要な処理装置８の近くに
配置したものであり、このようにすると、工程間搬送装
置で検査工程まで搬送する必要がないため、処理装置８
で処理したガラス基板をすぐに検査することができる。
さらに、検査結果が不良で、再処理する場合にも、工程
間搬送装置で搬送する必要がない。よって、この搬送方
法によれば、工程間搬送装置の初期投資を低く抑えるこ
とができる上に、搬送時間が短くなり、作業効率が向上
する。
で、検査装置１７を、検査が必要な処理装置８の近くに
配置したものであり、このようにすると、工程間搬送装
置で検査工程まで搬送する必要がないため、処理装置８
で処理したガラス基板をすぐに検査することができる。
さらに、検査結果が不良で、再処理する場合にも、工程
間搬送装置で搬送する必要がない。よって、この搬送方
法によれば、工程間搬送装置の初期投資を低く抑えるこ
とができる上に、搬送時間が短くなり、作業効率が向上
する。
【００２７】
【発明の効果】請求項１，２の発明によれば、カセット
を保管するストッカと、ストッカにカセットを出し入れ
するスタッカクレーンと、スタッカクレーンの移動範囲
内に設置した処理装置のローダー部を、箱状で囲まれた
クリーンルーム本体内に配置し、カセットをストッカか
らスタッカクレーンによって取り出し、スタッカクレー
ンが移動して処理装置のローダー部に直接搬送して、工
程内搬送装置を設けずにカセットをストックするときに
必要であるスタッカクレーンを利用して搬送するので、
初期投資が低く抑えることができるとともに、搬送時間
も短くなり、作業効率が向上する。
を保管するストッカと、ストッカにカセットを出し入れ
するスタッカクレーンと、スタッカクレーンの移動範囲
内に設置した処理装置のローダー部を、箱状で囲まれた
クリーンルーム本体内に配置し、カセットをストッカか
らスタッカクレーンによって取り出し、スタッカクレー
ンが移動して処理装置のローダー部に直接搬送して、工
程内搬送装置を設けずにカセットをストックするときに
必要であるスタッカクレーンを利用して搬送するので、
初期投資が低く抑えることができるとともに、搬送時間
も短くなり、作業効率が向上する。
【００２８】請求項３の発明によれば、移載装置を備え
たスタッカクレーンの移動を案内するレールを挟んで、
その両側に、各々、カセットを保管するストッカ、並び
にローダー部を有する処理装置をそれぞれ対向して配備
し、かつ、上記ストッカと、スタッカクレーンと、処理
装置のうちのローダー部のみとを、クリーンルーム本体
内に配置したので、ストッカの棚数を設定する場合に、
処理装置の大きさや台数に制約されずに配置することが
できる。
たスタッカクレーンの移動を案内するレールを挟んで、
その両側に、各々、カセットを保管するストッカ、並び
にローダー部を有する処理装置をそれぞれ対向して配備
し、かつ、上記ストッカと、スタッカクレーンと、処理
装置のうちのローダー部のみとを、クリーンルーム本体
内に配置したので、ストッカの棚数を設定する場合に、
処理装置の大きさや台数に制約されずに配置することが
できる。
【００２９】請求項４の発明によれば、製造工程間を循
環搬送するように配置した天井走行台車のレールを、カ
セットを保管するストッカに隣接して配備し、かつ上記
ストッカに天井走行台車との移載装置を設け、上記レー
ルに沿って移動してきた天井走行台車と、ストッカと
が、上記移載装置を介してカセットの受け渡しを行な
い、工程間を搬送するようにしたので、各工程間のカセ
ット搬送が効率的に行なえる効果がある。
環搬送するように配置した天井走行台車のレールを、カ
セットを保管するストッカに隣接して配備し、かつ上記
ストッカに天井走行台車との移載装置を設け、上記レー
ルに沿って移動してきた天井走行台車と、ストッカと
が、上記移載装置を介してカセットの受け渡しを行な
い、工程間を搬送するようにしたので、各工程間のカセ
ット搬送が効率的に行なえる効果がある。
【００３０】請求項５の発明によれば、製造工程間を循
環搬送するように配置した天井走行台車のレールの両側
に、移載装置を設けたストッカを隣接して配備し、さら
に、このストッカの外側に対称的に、スタッカクレーン
を乗せたレールと、ローダー部を有する処理装置を配置
し、上記天井走行台車及びそのレールと、ストッカと、
スタッカクレーン及びそのレールと、処理装置のうちの
ローダー部のみとをクリーンルーム本体内に配置したの
で、各工程間のカセット搬送が効率的に行なえるととも
に、通路が確保できるなど、スペースの有効利用が可能
となる。
環搬送するように配置した天井走行台車のレールの両側
に、移載装置を設けたストッカを隣接して配備し、さら
に、このストッカの外側に対称的に、スタッカクレーン
を乗せたレールと、ローダー部を有する処理装置を配置
し、上記天井走行台車及びそのレールと、ストッカと、
スタッカクレーン及びそのレールと、処理装置のうちの
ローダー部のみとをクリーンルーム本体内に配置したの
で、各工程間のカセット搬送が効率的に行なえるととも
に、通路が確保できるなど、スペースの有効利用が可能
となる。
【００３１】請求項６，７，８の発明によれば、ストッ
カの端から、その隣りに離れて配置されたストッカの端
までを搬送装置でつなぎ、上記ストッカ間の搬送装置と
スタッカクレーンを用いて工程間搬送を行なうようにし
たので、カセットの工程間搬送が円滑に行なわれるとと
もに、工程間搬送装置の初期投資を低く抑えることがで
きる。
カの端から、その隣りに離れて配置されたストッカの端
までを搬送装置でつなぎ、上記ストッカ間の搬送装置と
スタッカクレーンを用いて工程間搬送を行なうようにし
たので、カセットの工程間搬送が円滑に行なわれるとと
もに、工程間搬送装置の初期投資を低く抑えることがで
きる。
【００３２】請求項９，１０の発明によれば、処理装置
で処理した後に、該処理装置からスタッカクレーンで検
査装置へ直接搬送するようにしたので、工程間搬送装置
で検査工程まで搬送する必要がないため、処理装置で処
理した基板をすぐに検査することができるとともに、検
査結果が不良で再処理する場合にも、工程間搬送装置で
搬送する必要がない。
で処理した後に、該処理装置からスタッカクレーンで検
査装置へ直接搬送するようにしたので、工程間搬送装置
で検査工程まで搬送する必要がないため、処理装置で処
理した基板をすぐに検査することができるとともに、検
査結果が不良で再処理する場合にも、工程間搬送装置で
搬送する必要がない。
【図１】 この発明の実施の形態１を示す概略平面図で
ある。
ある。
【図２】 この発明の実施の形態１を示す概略斜視図で
ある。
ある。
【図３】 この発明の実施の形態２を示す概略平面図で
ある。
ある。
【図４】 この発明の実施の形態３を示す概略平面図で
ある。
ある。
【図５】 この発明の実施の形態３を示す概略断面図で
ある。
ある。
【図６】 この発明の実施の形態４を示す概略平面図で
ある。
ある。
【図７】 この発明の実施の形態５を示す概略平面図で
ある。
ある。
【図８】 従来の液晶カセット搬送方法を示す概略平面
図である。
図である。
１ スタッカクレーン、２，１２ レール、３，１３
移載装置、４ ストッカ、５ クリーンルーム本体、８
処理装置、９ ローダー、１１ 天井走行台車、１６
ａ，１６ｂ コンベア、１７ 検査装置。
移載装置、４ ストッカ、５ クリーンルーム本体、８
処理装置、９ ローダー、１１ 天井走行台車、１６
ａ，１６ｂ コンベア、１７ 検査装置。
Claims (10)
- 【請求項１】 カセットを保管するストッカと、このス
トッカに出し入れするスタッカクレーンと、このスタッ
カクレーンの移動範囲内に設置した処理装置のローダー
部とを、箱状で囲まれたクリーンルーム本体内に配置
し、上記カセットを上記ストッカから上記スタッカクレ
ーンによって取り出し、同スタッカクレーンが移動して
上記処理装置のローダー部に直接搬送することを特徴と
するカセットの搬送方法。 - 【請求項２】 移載装置を備えたスタッカクレーンの移
動を案内するレールを挟んで、その両側に、カセットを
保管するストッカと、ローダー部を有する処理装置とを
対向して配備し、かつ、上記ストッカと、スタッカクレ
ーンと、処理装置のうちのローダー部のみとを、クリー
ンルーム本体内に配置したことを特徴とするカセットの
処理設備。 - 【請求項３】 移載装置を備えたスタッカクレーンの移
動を案内するレールを挟んで、その両側に、各々、カセ
ットを保管するストッカ、並びにローダー部を有する処
理装置をそれぞれ対向して配備し、かつ、上記ストッカ
と、スタッカクレーンと、処理装置のうちのローダー部
のみとを、クリーンルーム本体内に配置したことを特徴
とするカセットの処理設備。 - 【請求項４】 製造工程間を循環搬送するように配置し
た天井走行台車のレールを、カセットを保管するストッ
カに隣接して配備し、かつ上記ストッカに天井走行台車
との移載装置を設け、上記レールに沿って移動してきた
天井走行台車と、ストッカとが、上記移載装置を介して
カセットの受け渡しを行ない、工程間を搬送することを
特徴とするカセットの搬送方法。 - 【請求項５】 製造工程間を循環搬送するように配置し
た天井走行台車のレールの両側に、移載装置を設けたス
トッカを隣接して配備し、さらに、このストッカの外側
に対称的に、スタッカクレーンを乗せたレールと、ロー
ダー部を有する処理装置を配置し、上記天井走行台車及
びそのレールと、ストッカと、スタッカクレーン及びそ
のレールと、処理装置のうちのローダー部のみとをクリ
ーンルーム本体内に配置したことを特徴とするカセット
の処理設備。 - 【請求項６】 ストッカの端から、その隣りに離れて配
置されたストッカの端までを搬送装置でつなぎ、上記ス
トッカ間の搬送装置とスタッカクレーンを用いて工程間
搬送を行なうことを特徴とする請求項１記載のカセット
の搬送方法。 - 【請求項７】 ストッカ間を搬送装置を介して接続し、
上記搬送装置を含めてクリーンルーム本体内に配置した
ことを特徴とする請求項２記載のカセットの処理設備。 - 【請求項８】 搬送装置はコンベアであることを特徴と
する請求項７記載のカセットの処理設備。 - 【請求項９】 処理装置で処理した後に、該処理装置か
らスタッカクレーンで検査装置へ直接搬送することを特
徴とする請求項１記載のカセットの搬送方法。 - 【請求項１０】 移載装置を備えたスタッカクレーンの
移動を案内するレールを挟んで、その両側にカセットを
保管するストッカを配置するとともに、その延長線上の
両側にはローダー部を有する処理装置と検査装置を配備
し、かつ上記ストッカ、レール、及び処理装置と検査装
置の各ローダー部のみとを、クリーンルーム本体内に配
置したことを特徴とするカセットの処理設備。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP284598A JPH11199007A (ja) | 1998-01-09 | 1998-01-09 | カセットの搬送方法及び処理設備 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP284598A JPH11199007A (ja) | 1998-01-09 | 1998-01-09 | カセットの搬送方法及び処理設備 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11199007A true JPH11199007A (ja) | 1999-07-27 |
Family
ID=11540749
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP284598A Pending JPH11199007A (ja) | 1998-01-09 | 1998-01-09 | カセットの搬送方法及び処理設備 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11199007A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6682414B2 (en) | 2001-09-10 | 2004-01-27 | Daifuku Co., Ltd. | Article storage system for a clean room |
| WO2004080852A1 (ja) * | 2003-03-10 | 2004-09-23 | Hirata Corporation | 自動保管システム |
| JP2009113942A (ja) * | 2007-11-07 | 2009-05-28 | Hokusho Co Ltd | 垂直搬送機 |
| WO2009078209A1 (ja) | 2007-12-18 | 2009-06-25 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | 薄膜太陽電池製造システム及び共通基板保管ラック |
| WO2012003139A1 (en) * | 2010-06-30 | 2012-01-05 | First Solar, Inc. | High-temperature activation process |
| CN109533756A (zh) * | 2018-12-25 | 2019-03-29 | 惠科股份有限公司 | 一种基板的仓储方法、装置及仓储控制*** |
-
1998
- 1998-01-09 JP JP284598A patent/JPH11199007A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6682414B2 (en) | 2001-09-10 | 2004-01-27 | Daifuku Co., Ltd. | Article storage system for a clean room |
| WO2004080852A1 (ja) * | 2003-03-10 | 2004-09-23 | Hirata Corporation | 自動保管システム |
| JP2009113942A (ja) * | 2007-11-07 | 2009-05-28 | Hokusho Co Ltd | 垂直搬送機 |
| WO2009078209A1 (ja) | 2007-12-18 | 2009-06-25 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | 薄膜太陽電池製造システム及び共通基板保管ラック |
| WO2012003139A1 (en) * | 2010-06-30 | 2012-01-05 | First Solar, Inc. | High-temperature activation process |
| US8850852B2 (en) | 2010-06-30 | 2014-10-07 | First Solar, Inc | Edge processing of photovoltaic substrates |
| CN109533756A (zh) * | 2018-12-25 | 2019-03-29 | 惠科股份有限公司 | 一种基板的仓储方法、装置及仓储控制*** |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A711 | Notification of change in applicant |
Effective date: 20040315 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20040618 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040804 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20041221 |