CN105649953A

CN105649953A - 一种用于多级干式真空泵的气路***

Info

Publication number: CN105649953A
Application number: CN201410629667.8A
Authority: CN
Inventors: 王光玉; 孔祥玲; 陈雪童; 张振厚
Original assignee: SHENYANG SCIENTIFIC APPARATUS CO Ltd OF CHINESE ACADEMY OF SCIENCES
Current assignee: SHENYANG SCIENTIFIC APPARATUS CO Ltd OF CHINESE ACADEMY OF SCIENCES
Priority date: 2014-11-11
Filing date: 2014-11-11
Publication date: 2016-06-08

Abstract

本发明涉及真空技术领域，具体地说是一种用于多级干式真空泵的气路***。包括气路压力调节组件、气路流量计组件及进气气路，其中气路压力调节组件、气路流量计组件及进气气路依次连接、并气路压力调节组件与气源端总接口连接，所述进气气路包括气路分支I和气路分支II，所述气路分支I与干式真空泵的一端封板腔室连通，所述气路分支II与干式真空泵的另一端封板腔室、二级腔室及二级腔室至另一端封板腔室之间的各级腔室连通，所述气路分支I和气路分支II上均设有电磁阀、并通过各自连接的电磁阀控制开关。本发明通过气路结构拓扑分布，同时可满足多路配气方式下真空泵多个腔室的气镇需求，提升泵的整体抽气性能，占用空间较小。

Description

一种用于多级干式真空泵的气路***

技术领域

本发明涉及真空技术领域，具体地说是一种用于多级干式真空泵的气路***。

背景技术

向多级干式真空泵内通入干燥气体，可以借助低温气流带走泵体内各高速回转部件表面热量，降低其与泵壳间的温差；同时混入气体，达到泵温时的饱和蒸气压之前，压缩气体达到排气压力，有利于将大部分蒸汽一起排除泵外，同样也适用于泵内残留和堆积的粉尘介质的清理工作。

目前多级干式真空泵的气路***，配气方式多数为从泵入口流经各个腔室，由质量流量计或浮子流量计测量入口处流量，排气侧气体状态未知，气路***占用空间大。对于抽取恶劣环境下，如粉尘含量较高或工作温度下易凝结性工艺气体时，各级腔室容易发生过热卡死，或者整机极限真空度不够的情况。

发明内容

针对上述问题，本发明的目的在于提供一种用于多级干式真空泵的气路***。

为实现上述目的，本发明采用以下技术方案：

一种用于多级干式真空泵的气路***，包括气路压力调节组件、气路流量计组件及进气气路，其中气路压力调节组件、气路流量计组件及进气气路依次连接、并气路压力调节组件与气源端总接口连接，所述进气气路包括气路分支I和气路分支II，所述气路分支I与干式真空泵的一端封板腔室连通，所述气路分支II与干式真空泵的另一端封板腔室、二级腔室及二级腔室至另一端封板腔室之间的各级腔室连通，所述气路分支I和气路分支II上均设有电磁阀、并通过各自连接的电磁阀控制开关。

所述进气气路包括气路焊件、支路单向阀组件及焊接方头组件，其中气路焊件包括气路主管及在气路主管上沿长度方向依次设置的多个气路支管，所述气路主管的两端设有气路管堵，所述气路主管内部通过管路接头分成所述气路分支I和气路分支II，所述气路分支I和气路分支II上均设有进气孔，其中气路分支I的端部设有用于与干式真空泵的一端封板腔室连通的一支气路支管，所述气路分支II上设有分别与干式真空泵的另一端封板腔室、二级腔室及二级腔室至另一端封板腔室之间的各级腔室连通的多支气路支管，各气路支管上均设有支路单向阀组件、并端部设有用于与干式真空泵连接的焊接方头组件。

所述气路分支II的末端气路支管的端部设有压力传感器管路，所述压力传感器管路的一端设有焊接方头组件，另一端与压力检测装置连接。所述压力传感器管路的另一端通过接头螺母及压力检测装置连接。

所述支路单向阀组件包括单向阀体和限流螺丝，所述限流螺丝螺纹连接于单向阀体的内部、并限流螺丝上沿轴向设有通孔，所述单向阀体的一端与气路支管连接，另一端与焊接方头组件连接。所述限流螺丝与气路支管相对应的一端端面开有方型槽。所述单向阀体的另一端通过接管与焊接方头组件连接。

所述焊接方头组件包括焊接方头和通孔螺钉，其中焊接方头上设有中心通孔，所述焊接方头的侧壁上设有与该中心通孔连通的侧孔，所述通孔螺钉的一端插设于焊接方头的中心孔内、并螺纹连接，所述通孔螺钉的一端设有轴向通孔，通孔螺钉的侧壁上设有与该轴向通孔连通的径向通孔，所述单向阀体与焊接方头的侧壁上侧孔连接；气流由支路单向阀组件的出气口流入通孔螺钉的径向通孔、并沿轴向通孔流出。

所述通孔螺钉的两端比中间粗、并通过两端较粗部分与焊接方头的中心通孔螺纹连接，所述通孔螺钉的中间较细部分与焊接方头的中心通孔内壁之间留有间隙。

本发明的优点与有益效果为：

1.本发明通过气路结构拓扑分布，同时可满足多路配气方式下真空泵多个腔室的气镇需求，提升泵的整体抽气性能，占用空间较小。

2.本发明气路上游连接气体流量控制装置、压力调节装置，气路分支尾端设有压力检测装置，可实时监测及采集泵内气体参数，直观可靠。

3.本发明采用更加灵活多样的配气方式、提升真空泵整体的抽气性能。

附图说明

图1为本发明的结构框图；

图2为本发明应用于干式真空泵的布局示意图；

图3为本发明气路组件整体示意图；

图4为本发明气路焊件各分支组成外形图；

图5为本发明单向阀与气路头组件结构示意图。

其中：1为气路焊件，101为气路管堵，102为管路接头，103为气路接管I，104为气路接管II，105为气路接管III，106为气路接管IV，107为气路接管V，2为90°弯头，3为支路单向阀组件，301为单向阀体，302为限流螺丝，303为接管，4为焊接方头组件，401为焊接方头，402为通孔螺钉，5为压力传感器管路，6为接头螺母，7为进气孔I，8为进气孔II，A为干式真空泵，B为气路分支I，C为气路分支II。

具体实施方式

下面结合附图对本发明作进一步描述。

如图1、图2所示，本发明包括气路压力调节组件、气路流量计组件及进气气路，其中气路压力调节组件、气路流量计组件及进气气路依次连接、并气路压力调节组件与气源端总接口连接。所述气路流量计组件，其由质量流量计进、出气侧分别与直通、三通接头联接构成，出气端设有双重气路通道。所述进气气路包括气路分支IB和气路分支IIC，所述气路分支IB与干式真空泵A的一端封板腔室连通，所述气路分支IIC与干式真空泵A的另一端封板腔室、二级腔室及二级腔室至另一端封板腔室之间的各级腔室连通，所述气路分支IB和气路分支IIC上均设有电磁阀、并通过各自连接的电磁阀控制开关。

如图3、图4所示，所述进气气路包括气路焊件1、支路单向阀组件3及焊接方头组件4，其中气路焊件1包括气路主管及在气路主管上沿长度方向依次设置的多个气路支管，所述气路主管的两端设有气路管堵101，所述气路主管内部通过管路接头102分成所述气路分支IB和气路分支IIC，所述气路分支IB和气路分支IIC上均设有进气孔，其中气路分支IB的端部设有用于与干式真空泵A的一端封板腔室连通一支气路支管，所述气路分支IIC上设有分别与干式真空泵A的另一端封板腔室、二级腔室及二级腔室至另一端封板腔室之间的各级腔室连通的多支气路支管，各气路支管上均设有支路单向阀组件3、并端部设有用于与干式真空泵A连接的焊接方头组件4。各气路支管均可根据不同配气方式实时控制进气通断。所述气路分支IIC的末端气路支管的端部设有压力传感器管路5，所述压力传感器管路5的一端设有焊接方头组件4，另一端通过接头螺母6与压力检测装置连接。

如图5所示，所述支路单向阀组件3包括单向阀体301和限流螺丝302，所述限流螺丝302螺纹连接于单向阀体301的内部、并限流螺丝302上沿轴向设有通孔，所述单向阀体301的一端与气路支管连接，另一端与焊接方头组件4连接。所述限流螺丝302与气路支管相对应的一端端面开有方型槽，增大与气流的接触面积，在阀出口处防止泵腔室内压力过高出现的气体返流作用。所述单向阀体301的一端与气路支管连接，另一端通过接管303与焊接方头组件4连接。所述焊接方头组件4包括焊接方头401和通孔螺钉402，其中焊接方头401上设有中心通孔，所述焊接方头401的侧壁上设有与该中心通孔连通的侧孔。所述通孔螺钉402的一端插设于焊接方头401的中心孔内，所述通孔螺钉402的两端比中间粗、并通过两端较粗部分与焊接方头401的中心通孔螺纹连接，所述通孔螺钉402的中间较细部分与焊接方头401的中心通孔内壁之间留有间隙。所述通孔螺钉402的一端设有轴向通孔，通孔螺钉402的侧壁上设有与该轴向通孔连通的径向通孔。所述单向阀体301通过接管303与焊接方头401的侧孔连接，气流由支路单向阀组件3的出气口流入通孔螺钉402的径向通孔、并沿轴向通孔流出。焊接方头401端面两侧分别与泵壳体、通孔螺钉402端面处设有O形胶圈，采取平面挤压密封方式，将通孔螺钉402锁紧在各腔室下端内螺纹处，保证各个密封面紧密贴合。

本发明的工作原理为：

气源气体先后通过流量计、减压阀单元实现对气体流量的检测、及气体压力的调整，并将总气路划分为两个进气支路。气体分流后，每个进气支路均受相应的电磁阀控制开关，气流沿气路焊件主管来到出气孔，其中出气孔一、出气孔二分别对应气路分支IB和气路分支IIC，各进气支路均可根据不同配气方式实时控制进气通断。气路分支IB气体流向泵体封板腔室，气路分支IIC将气体流向多个泵体压缩腔室、及泵体另一封板腔室中。为防止返流，在整个进气气路的各气路支管上分别设有支路单向阀组件3。在各支路单向阀组件3的阀出口处气流涌入焊接方头组件4，沿焊接方头组件4内通孔螺钉402的径向孔流入、轴向通孔流出，从而实现气体输送入泵腔的流动过程。气路分支IIC的压力传感器管路5一端连通泵腔室，另一端设有过渡用的接头螺母6，用于配合压力检测装置使用。本发明可以实现真空泵体排气测压力的检测功能，避免各腔室及关键部件工作过热等问题，同时也可满足泵体的气镇需求。

本实施例采用五级干式真空泵，所述两气路分支由同一气路焊件上引出，该焊件两侧设有柱形管堵封闭气体通道，焊件中间布置有圆柱形接头，将管路分割成两个气体流向。气路焊件进气侧与两90°弯头处、出气侧开孔与五气管管路采用间隙配合，后焊接制成。所述的进气分支，进气时气体沿五个分支尾部管流向支路单向阀组件3，随后气体涌入焊接方头组件4。所述气路分支IB气流导向泵体封板腔室中，气路分支IIC气流导向三个泵体压缩腔室、及泵体另一封板腔室中。

Claims

1.一种用于多级干式真空泵的气路***，其特征在于：包括气路压力调节组件、气路流量计组件及进气气路，其中气路压力调节组件、气路流量计组件及进气气路依次连接、并气路压力调节组件与气源端总接口连接，所述进气气路包括气路分支I(B)和气路分支II(C)，所述气路分支I(B)与干式真空泵(A)的一端封板腔室连通，所述气路分支II(C)与干式真空泵(A)的另一端封板腔室、二级腔室及二级腔室至另一端封板腔室之间的各级腔室连通，所述气路分支I(B)和气路分支II(C)上均设有电磁阀、并通过各自连接的电磁阀控制开关。

2.按权利要求1所述的用于多级干式真空泵的气路***，其特征在于：所述进气气路包括气路焊件(1)、支路单向阀组件(3)及焊接方头组件(4)，其中气路焊件(1)包括气路主管及在气路主管上沿长度方向依次设置的多个气路支管，所述气路主管的两端设有气路管堵(101)，所述气路主管内部通过管路接头(102)分成所述气路分支I(B)和气路分支II(C)，所述气路分支I(B)和气路分支II(C)上均设有进气孔，其中气路分支I(B)的端部设有用于与干式真空泵(A)的一端封板腔室连通的一支气路支管，所述气路分支II(C)上设有分别与干式真空泵(A)的另一端封板腔室、二级腔室及二级腔室至另一端封板腔室之间的各级腔室连通的多支气路支管，各气路支管上均设有支路单向阀组件(3)、并端部设有用于与干式真空泵(A)连接的焊接方头组件(4)。

3.按权利要求2所述的用于多级干式真空泵的气路***，其特征在于：所述气路分支II(C)的末端气路支管的端部设有压力传感器管路(5)，所述压力传感器管路(5)的一端设有焊接方头组件(4)，另一端与压力检测装置连接。

4.按权利要求3所述的用于多级干式真空泵的气路***，其特征在于：所述压力传感器管路(5)的另一端通过接头螺母(6)及压力检测装置连接。

5.按权利要求2所述的用于多级干式真空泵的气路***，其特征在于：所述支路单向阀组件(3)包括单向阀体(301)和限流螺丝(302)，所述限流螺丝(302)螺纹连接于单向阀体(301)的内部、并限流螺丝(302)上沿轴向设有通孔，所述单向阀体(301)的一端与气路支管连接，另一端与焊接方头组件(4)连接。

6.按权利要求5所述的用于多级干式真空泵的气路***，其特征在于：所述限流螺丝(302)与气路支管相对应的一端端面开有方型槽。

7.按权利要求5所述的用于多级干式真空泵的气路***，其特征在于：所述单向阀体(301)的另一端通过接管(303)与焊接方头组件(4)连接。

8.按权利要求2-7任一项所述的用于多级干式真空泵的气路***，其特征在于：所述焊接方头组件(4)包括焊接方头(401)和通孔螺钉(402)，其中焊接方头(401)上设有中心通孔，所述焊接方头(401)的侧壁上设有与该中心通孔连通的侧孔，所述通孔螺钉(402)的一端插设于焊接方头(401)的中心孔内、并螺纹连接，所述通孔螺钉(402)的一端设有轴向通孔，通孔螺钉(402)的侧壁上设有与该轴向通孔连通的径向通孔，所述单向阀体(301)与焊接方头(401)的侧壁上侧孔连接；气流由支路单向阀组件(3)的出气口流入通孔螺钉(402)的径向通孔、并沿轴向通孔流出。

9.按权利要求8所述的用于多级干式真空泵的气路***，其特征在于：所述通孔螺钉(402)的两端比中间粗、并通过两端较粗部分与焊接方头(401)的中心通孔螺纹连接，所述通孔螺钉(402)的中间较细部分与焊接方头(401)的中心通孔内壁之间留有间隙。