CN114593036A - 一种用于多级干式真空泵的气路分配*** - Google Patents

一种用于多级干式真空泵的气路分配*** Download PDF

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Abstract

本发明属于真空泵领域，具体地说是一种用于多级干式真空泵的气路分配***，包括集成模块、单向阀、调压阀、气路流量计、电磁阀、压力传感器、流量调节销与限流件。本发明通过调节调压阀、旋转流量调节销以及使不同孔径的限流孔的限流件与出气口连接，即可实现各输出管路间不同流量比例的气体输出，而无需更换气路；通过气路流量计的设置，可直接进行数据采集，并用于测量总进气量的大小；通过电磁阀的设置，方便控制分支通道的通断；通过单向阀的设置，保证配气的方向；通过将单向阀、调压阀、气路流量计、电磁阀、压力传感器、流量调节销与限流件安装在集成模块上，集成度高，减小占用空间，使用稳定可靠。

Description

一种用于多级干式真空泵的气路分配***
技术领域
本发明属于真空泵领域，具体地说是一种用于多级干式真空泵的气路分配***。
背景技术
向多级干式真空泵内通入干燥气体，有利于真空泵级间可凝性气体的排出，也有利于被抽取的粉尘介质的排出，不在泵内死角残留和堆积。向多级干式真空泵输入干燥气体时，一般通过专门的气路分配***分配干燥气体。而目前的气路分配***的气路的多路输出只能按唯一的流量比例，不能改变；需要按其他流量比例输出气体时，一般只能更换气路分配***。
发明内容
针对现有气路分配***的多路输出端不能以不同流量比例输出气体的问题，本发明的目的在于提供一种用于多级干式真空泵的气路分配***。
本发明的目的是通过以下技术方案来实现的：
一种用于多级干式真空泵的气路分配***，包括集成模块、单向阀、调压阀、气路流量计、电磁阀、压力传感器、流量调节销与限流件；
所述集成模块的内部分别设有进气通道和出气通道，其中所述出气通道中途分成多级分支通道，且最终每个分支通道分别各自与一个出气口连通，每个所述出气口均安装一个所述限流件，所述限流件上设有用于限制出气口流量的限流孔；
所述单向阀安装于所述进气通道的输入端，所述单向阀与外接气源连接，气体从所述单向阀输入至所述进气通道，所述单向阀用于保证配气的方向；
所述调压阀安装在所述集成模块上，且所述调压阀的阀体伸入至所述进气通道中，所述调压阀用于调节压力进而调节经过进气通道的总气量大小；
所述气路流量计的输入端与所述进气通道的输出端连通，所述气路流量计的输出端与所述出气通道的输入端连通，所述气路流量计用于测量经过进气通道的总气量大小；
所述电磁阀分别安装在所述集成模块上，且所述电磁阀的阀体分别伸入至所述分支通道中，所述电磁阀用于控制所述分支通道的通断；
所述流量调节销***至所述集成模块中，所述流量调节销的一端为旋动端，所述流量调节销的另一端为调节端；所述流量调节销的调节端延伸至所述分支通道的分岔处，所述调节端上设有与上级分支通道连通的连接孔道，所述连接孔道上设有分别与下级分支通道的输入口相对应的调节孔；旋动所述流量调节销的旋动端改变所述调节孔与所述分支通道的输入口之间的通透面积从而改变流入所述分支通道的流量；
所述压力传感器安装在所述集成模块上，且所述压力传感器的检测端设置于所述出气口处，所述压力传感器用于检测所述出气口的出气压力；
所述气路流量计、所述电磁阀与所述压力传感器分别通过电导体与外接控制器连接。
所述气路流量计安装于所述集成模块的外侧，所述气路流量计的输入端通过管道与所述进气通道的输出端连通，所述气路流量计的输出端通过管道与所述出气通道的输入端连通。
所述限流件通过螺纹旋入所述出气口。
所述限流件的外周设有密封圈A。
所述流量调节销的旋动端延伸出所述集成模块。
所述流量调节销旋动端的端面上设有旋动槽。
所述流量调节销的中部且位于所述集成模块内部的部分上设有密封圈B。
本发明的优点与积极效果为：
1.本发明通过调节调压阀、旋转流量调节销以及使不同孔径的限流孔的限流件与出气口连接，即可实现各输出管路间不同流量比例的气体输出，而无需更换气路；
2.通过气路流量计的设置，可直接进行数据采集，并用于测量总进气量的大小；
3.通过电磁阀的设置，方便控制分支通道的通断；
4.通过单向阀的设置，保证配气的方向；
5.通过将单向阀、调压阀、气路流量计、电磁阀、压力传感器、流量调节销与限流件安装在集成模块上，集成度高，减小占用空间，使用稳定可靠。
附图说明
图1为本发明具体实施例的整体结构示意图；
图2为本发明具体实施例的部分剖开后的整体结构示意图；
图3为本发明具体实施例的气路***图；
图4为本发明具体实施例的俯视结构示意图；
图5为本发明具体实施例的仰视结构示意图；
图6为本发明具体实施例的右视结构示意图；
图7为本发明具体实施例的部分剖面结构示意图；
图8为本发明流量调节销的结构示意图；
图9为本发明限流件的结构示意图；
图10为图7的A处放大图。
图中：1-集成模块、2-流量调节销、201-连接孔道、202-调节孔、203-旋动槽、3-气路流量计、4-电磁阀、5-调压阀、6-单向阀、7-压力传感器、8-限流件、801-限流孔、9-密封圈A、10-密封圈B。
具体实施方式
下面结合附图1-10对本发明作进一步详述。
一种用于多级干式真空泵的气路分配***，如图1-6所示，包括集成模块1、单向阀6、调压阀5、气路流量计3、电磁阀4、压力传感器7、流量调节销2与限流件8，本实施例中单向阀6、调压阀5、气路流量计3、电磁阀4与压力传感器7均为市购产品。
集成模块1的内部分别设有进气通道和出气通道，其中出气通道中途分成多级分支通道，且最终分支通道分别各自与一个出气口连通，集成模块1可采用现有技术的移动***的集成阀块结构；每个出气口均安装一个限流件8，限流件8上设有用于限制出气口流量的限流孔801，本实施例中限流件8通过螺纹旋入出气口；在不同出气口安装按需要安装不同孔径的限流孔801，可改变不同出气口的出气流量。本实施例中限流件8的外周设有密封圈A 9，可增强限流件8与出气口连接处的密封性。本实施例中集成模块1共设有六个出气口，分别用于连接真空泵的出口、上下泵连接口、3-4级腔、4-5级腔、排气腔与轴封处，以分别向真空泵各处输送清理气体。
单向阀6安装于进气通道的输入端，单向阀6与外接气源连接，气体从单向阀6输入至进气通道，单向阀6用于保证配气的方向。
调压阀5安装在集成模块1上，且调压阀5的阀体伸入至进气通道中，调节调压阀5的旋钮可调节压力进而调节经过进气通道的总气量大小。
气路流量计3安装于集成模块1的外侧，气路流量计3的输入端通过管道与进气通道的输出端连通，气路流量计3的输出端通过管道与出气通道的输入端连通，气路流量计3用于测量经过进气通道的总气量大小；本实施例中气路流量计3选用质量流量计，便于采集流量数据，并可将流量数据传给外接控制器，且占用空间小。
电磁阀4分别安装在集成模块1上，且电磁阀4的阀体分别伸入至分支通道中，电磁阀4用于控制分支通道的通断；本实施例中，如图3所示，连接真空泵的上下泵连接口的分支通道上设有一个电磁阀4，连接真空泵的出口、3-4级腔、4-5级腔、排气腔与轴封处的总的分支通道上设有另一个电磁阀4，分别控制两处位置的气路通断；电磁阀4可按需求设定在特定分支通道处。
如图7-10所示，流量调节销2***至集成模块1中，流量调节销2的一端为旋动端，流量调节销2的另一端为调节端；流量调节销2的调节端延伸至分支通道的分岔处，调节端上设有与上级分支通道连通的连接孔道201，连接孔道201上设有分别与下级分支通道的输入口相对应的调节孔202；旋动流量调节销2的旋动端改变调节孔202与分支通道的输入口之间的通透面积从而改变流入分支通道的流量；本实施例中在连接真空泵的3-4级腔与4-5级腔的分支通道的分岔处设置一个流量调节销2，以调节连接真空泵的3-4级腔与4-5级腔的出气口的出气流量；流量调节销2可按需求设置在分支通道的特定分岔处。本实施例中流量调节销2的旋动端延伸出集成模块1，流量调节销2旋动端的端面上设有旋动槽203，方便工作人员旋动流量调节销2；流量调节销2的中部且位于集成模块1内部的部分上设有密封圈B10，可增强流量调节销2与集成模块1连接处的密封性。
压力传感器7安装在集成模块1上，且压力传感器7的检测端设置于出气口处，压力传感器7用于检测出气口的出气压力；本实施例中在连接真空泵的出口的出气口处设置一个压力传感器7，以检测该出气口的出气压力，进而获得该出气口的流量数据；压力传感器7可按需求设置在特定出气口。
气路流量计3、电磁阀4与压力传感器7分别通过电导体与外接控制器连接，气路流量计3和压力传感器7采集的数据均可传至外接控制器，并可通过外接控制器控制电磁阀4动作。
工作原理：
气体经由单向阀6进入到集成模块1上的进气通道内，再经过调压阀5与气路流量计3进入出气通道以及分支通道，单向阀6保证了配气的方向，气路流量计3用于计算总进气量，通过调节调压阀5的旋钮调节经过进气通道的总气量大小，电磁阀4可控制分支通道的通断，旋动流量调节销2的旋动端改变调节孔202与分支通道的输入口之间的通透面积从而改变流入分支通道的流量，气体经过集成模块1内的分支通道到达各个出气口的限流件8处，限流件8的限流孔801的大小可根据要求设定，不同孔径的限流孔801会与各分支通道相接，实现各输出管路间不同流量比例的气体输出。

Claims (7)

1.一种用于多级干式真空泵的气路分配***，其特征在于：包括集成模块(1)、单向阀(6)、调压阀(5)、气路流量计(3)、电磁阀(4)、压力传感器(7)、流量调节销(2)与限流件(8)；
所述集成模块(1)的内部分别设有进气通道和出气通道，其中所述出气通道中途分成多级分支通道，且最终每个分支通道分别各自与一个出气口连通，每个所述出气口均安装一个所述限流件(8)，所述限流件(8)上设有用于限制出气口流量的限流孔(801)；
所述单向阀(6)安装于所述进气通道的输入端，所述单向阀(6)与外接气源连接，气体从所述单向阀(6)输入至所述进气通道，所述单向阀(6)用于保证配气的方向；
所述调压阀(5)安装在所述集成模块(1)上，且所述调压阀(5)的阀体伸入至所述进气通道中，所述调压阀(5)用于调节压力进而调节经过进气通道的总气量大小；
所述气路流量计(3)的输入端与所述进气通道的输出端连通，所述气路流量计(3)的输出端与所述出气通道的输入端连通，所述气路流量计(3)用于测量经过进气通道的总气量大小；
所述电磁阀(4)分别安装在所述集成模块(1)上，且所述电磁阀(4)的阀体分别伸入至所述分支通道中，所述电磁阀(4)用于控制所述分支通道的通断；
所述流量调节销(2)***至所述集成模块(1)中，所述流量调节销(2)的一端为旋动端，所述流量调节销(2)的另一端为调节端；所述流量调节销(2)的调节端延伸至所述分支通道的分岔处，所述调节端上设有与上级分支通道连通的连接孔道(201)，所述连接孔道(201)上设有分别与下级分支通道的输入口相对应的调节孔(202)；旋动所述流量调节销(2)的旋动端改变所述调节孔(202)与所述分支通道的输入口之间的通透面积从而改变流入所述分支通道的流量；
所述压力传感器(7)安装在所述集成模块(1)上，且所述压力传感器(7)的检测端设置于所述出气口处，所述压力传感器(7)用于检测所述出气口的出气压力；
所述气路流量计(3)、所述电磁阀(4)与所述压力传感器(7)分别通过电导体与外接控制器连接。
2.根据权利要求1所述的用于多级干式真空泵的气路分配***，其特征在于：所述气路流量计(3)安装于所述集成模块(1)的外侧，所述气路流量计(3)的输入端通过管道与所述进气通道的输出端连通，所述气路流量计(3)的输出端通过管道与所述出气通道的输入端连通。
3.根据权利要求1所述的用于多级干式真空泵的气路分配***，其特征在于：所述限流件(8)通过螺纹旋入所述出气口。
4.根据权利要求1所述的用于多级干式真空泵的气路分配***，其特征在于：所述限流件(8)的外周设有密封圈A(9)。
5.根据权利要求1所述的用于多级干式真空泵的气路分配***，其特征在于：所述流量调节销(2)的旋动端延伸出所述集成模块(1)。
6.根据权利要求1所述的用于多级干式真空泵的气路分配***，其特征在于：所述流量调节销(2)旋动端的端面上设有旋动槽(203)。
7.根据权利要求1所述的用于多级干式真空泵的气路分配***，其特征在于：所述流量调节销(2)的中部且位于所述集成模块(1)内部的部分上设有密封圈B(10)。
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