CN103959431B - 准分子灯 - Google Patents

准分子灯 Download PDF

Info

Publication number
CN103959431B
CN103959431B CN201280059471.9A CN201280059471A CN103959431B CN 103959431 B CN103959431 B CN 103959431B CN 201280059471 A CN201280059471 A CN 201280059471A CN 103959431 B CN103959431 B CN 103959431B
Authority
CN
China
Prior art keywords
electrode
luminous tube
excimer lamp
bobbin
tube
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN201280059471.9A
Other languages
English (en)
Other versions
CN103959431A (zh
Inventor
菱沼宣是
田川幸治
朝山淳哉
竹越巧一
山田浩辅
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ushio Denki KK
Original Assignee
Ushio Denki KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP2011264384A external-priority patent/JP2013118072A/ja
Priority claimed from JP2011275476A external-priority patent/JP5640966B2/ja
Priority claimed from JP2012018151A external-priority patent/JP5640998B2/ja
Application filed by Ushio Denki KK filed Critical Ushio Denki KK
Publication of CN103959431A publication Critical patent/CN103959431A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN103959431B publication Critical patent/CN103959431B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
    • H01J61/02—Details
    • H01J61/04—Electrodes; Screens; Shields
    • H01J61/06—Main electrodes
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
    • C02F1/30—Treatment of water, waste water, or sewage by irradiation
    • C02F1/32—Treatment of water, waste water, or sewage by irradiation with ultraviolet light
    • C02F1/325—Irradiation devices or lamp constructions
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09K—MATERIALS FOR MISCELLANEOUS APPLICATIONS, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
    • C09K11/00—Luminescent, e.g. electroluminescent, chemiluminescent materials
    • C09K11/08—Luminescent, e.g. electroluminescent, chemiluminescent materials containing inorganic luminescent materials
    • C09K11/77—Luminescent, e.g. electroluminescent, chemiluminescent materials containing inorganic luminescent materials containing rare earth metals
    • C09K11/7766—Luminescent, e.g. electroluminescent, chemiluminescent materials containing inorganic luminescent materials containing rare earth metals containing two or more rare earth metals
    • C09K11/7777—Phosphates
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09K—MATERIALS FOR MISCELLANEOUS APPLICATIONS, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
    • C09K11/00—Luminescent, e.g. electroluminescent, chemiluminescent materials
    • C09K11/08—Luminescent, e.g. electroluminescent, chemiluminescent materials containing inorganic luminescent materials
    • C09K11/77—Luminescent, e.g. electroluminescent, chemiluminescent materials containing inorganic luminescent materials containing rare earth metals
    • C09K11/7766—Luminescent, e.g. electroluminescent, chemiluminescent materials containing inorganic luminescent materials containing rare earth metals containing two or more rare earth metals
    • C09K11/778—Borates
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J5/00—Details relating to vessels or to leading-in conductors common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
    • H01J5/50—Means forming part of the tube or lamps for the purpose of providing electrical connection to it
    • H01J5/54—Means forming part of the tube or lamps for the purpose of providing electrical connection to it supported by a separate part, e.g. base
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
    • H01J61/02—Details
    • H01J61/24—Means for obtaining or maintaining the desired pressure within the vessel
    • H01J61/26—Means for absorbing or adsorbing gas, e.g. by gettering; Means for preventing blackening of the envelope
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
    • H01J61/02—Details
    • H01J61/30—Vessels; Containers
    • H01J61/34—Double-wall vessels or containers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
    • H01J61/02—Details
    • H01J61/38—Devices for influencing the colour or wavelength of the light
    • H01J61/42—Devices for influencing the colour or wavelength of the light by transforming the wavelength of the light by luminescence
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
    • H01J61/02—Details
    • H01J61/38—Devices for influencing the colour or wavelength of the light
    • H01J61/42—Devices for influencing the colour or wavelength of the light by transforming the wavelength of the light by luminescence
    • H01J61/44—Devices characterised by the luminescent material
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
    • H01J61/92—Lamps with more than one main discharge path
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J65/00—Lamps without any electrode inside the vessel; Lamps with at least one main electrode outside the vessel
    • H01J65/04—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J65/00—Lamps without any electrode inside the vessel; Lamps with at least one main electrode outside the vessel
    • H01J65/04—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels
    • H01J65/042—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels by an external electromagnetic field
    • H01J65/046—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels by an external electromagnetic field the field being produced by using capacitive means around the vessel
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J7/00—Details not provided for in the preceding groups and common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
    • H01J7/14—Means for obtaining or maintaining the desired pressure within the vessel
    • H01J7/18—Means for absorbing or adsorbing gas, e.g. by gettering
    • H01J7/183—Composition or manufacture of getters
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F2201/00—Apparatus for treatment of water, waste water or sewage
    • C02F2201/32—Details relating to UV-irradiation devices
    • C02F2201/322—Lamp arrangement
    • C02F2201/3223—Single elongated lamp located on the central axis of a turbular reactor

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Water Supply & Treatment (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Hydrology & Water Resources (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Vessels And Coating Films For Discharge Lamps (AREA)
  • Discharge Lamp (AREA)

Abstract

本发明第一目的在于提供一种准分子灯，其在任何的使用环境中电极均不会产生腐蚀，能够得到高的安全性，并且通过对在形成有气密密封构造的发光管的端部产生破损进行抑制而能够得到较长的使用寿命。本发明的第一准分子灯具有封入有准分子发光用气体的石英玻璃制的发光管、和用于产生介质阻挡放电的一对电极，其特征在于，所述一对电极的一方的电极在所述发光管的内部空间以沿着发光管的管轴方向延伸的方式配置，所述一对电极的另一方的电极在所述发光管的管壁的内部以沿着发光管的管轴方向延伸的方式埋设，所述一方的电极与气密地埋设在发光管的端部的导电箔电连接。

Description

准分子灯
技术领域
本发明关于准分子灯。
背景技术
以往，作为例如在进行水中所包含的有机物的分解处理或用于将水中所包含的菌类消灭的所谓的杀菌处理等的水处理装置的光源，广泛使用低压水银灯(例如，参照专利文献1以及专利文献2)。
然而，将低压水银灯作为水处理装置的光源而使用的情况下，将该低压水银灯配置在作为处理对象的水的中的情况较多，在这种使用条件下，存在低压水银灯的发光特性较大地受到水的温度影响的问题。
产生这种问题的理由是因为缘故：低压水银灯作为发光物质含有水银，为了得到良好的点灯状态而在动作时需要使得水银达到预定的蒸气压。并且，特别是存在如下问题：在水的温度是极其低温的情况下因为水银不充分蒸发而使得不能够得到充分的发光。
根据这种情形，近年来，作为构成水处理装置的光源的光源灯，作为发光物质不使用水银的所谓的无水银灯受到关注，例如提案了作为发光物质使用氙气的灯(例如，参照专利文献3)。
具体来说，在专利文献3作为水处理装置的光源灯公开了一种放电灯(以下，称作“外部电极型放电灯”)，该放电灯具备由石英玻璃等具有透光性的电介质材料构成的发光管且在该发光管的外表面配置电极(外部电极)而成。
然而，在外部电极型放电灯中，施加了高电压的电极位于外部，作成被露出的状态，因此因使用环境条件而存在各种的问题。
具体来说，在将外部电极型放电灯作为水处理装置的光源而使用，并在作为处理对象的水的中配置的情况下，外部电极和水接触，因此有可能在电极产生腐蚀。在外部电极产生腐蚀的情况下，由于外部电极自身产生损耗不仅对放电产生负面影响，而且也会产生从腐蚀的外部电极的表面脱落的腐蚀生成物会混入到作为处理对象的水中的问题。此外，也存在如下问题：由于外部电极露出到发光管的外部因此有可能产生漏电或触电等，不能够得到充分的安全性。
这些问题并非限于在将外部电极型放电灯作为水处理装置的光源而使用的情况下产生，例如在作为空气杀菌装置等的光源而使用的情况下，由于空气中存在水蒸气，因此也同样产生。
另外，在外部电极型放电灯的某种灯中，在外表面配置了电极(外部电极)的发光管配置在外套管内。这种结构的外部电极型放电灯中，即使在配置于水中的情况下外部电极也不与水接触，但是在外套管内存在空气的情况下，由于发光管和外部电极之间的间隙产生微小放电而使得有可能产生臭氧，因而存在因此而使得产生电极的腐蚀等的弊端的问题。
为了解决这种问题，可以考虑将一对电极配置在发光管的内侧。
作为无水银灯的某种灯，提案了在发光管的内侧配置一对电极而成的结构的准分子灯(例如，参照专利文献4以及专利文献5)。
具体来说，在专利文献4公开了一种以如下方式配置而成的准分子灯：在两端具有密封部的筒状的发光管内，构成一对电极的金属棒以其一端部位于发光管的内部，另一端部从密封部向外侧凸出而延伸。在构成该准分子灯的至少一方的电极的金属棒，在位于发光管的内部并作为电极而发挥功能的一端部的表面，覆盖由电介质材料构成的电介质层。
另外，在专利文献5公开了一种具备发光管的准分子灯，所述发光管具有由电介质材料构成且两端被塞闭而形成的筒状的外侧管、和由电介质材料构成且两端开口的两根的筒状的内侧管。该准分子灯的发光管中，两根内侧管沿着外侧管的管轴而延伸，并以该内侧管的开口从外侧管的端部向外侧凸出的方式配置，由外侧管的内表面和位于该外侧管内的内侧管的外表面形成发光空间。另外，该准分子灯中，在发光管中的一方的内侧管内配置构成一方的电极的金属棒，在另一方的内侧管内配置构成另一方的电极的金属棒。
然而，专利文献4所公开的那样的电极的表面由电介质层覆盖而成的结构的准分子灯中，特别是作为电介质材料使用玻璃，在发光管的密封部中构成电极的金属棒和发光管之间介设有电介质层的情况下，存在如下问题：因为金属棒材料和电介质材料的热膨胀率差而使得在密封部中发光管有可能产生破损。这种问题在如下情况下产生：发光管的密封部中构成电极的金属棒和发光管直接接触，该发光管由与电介质材料(电介质层的构成材料)相同的材料形成。
另一方面，在如专利文献5所公开的那样的、在两端具有与外部连通的开口的内侧管内配置电极而成的结构的准分子灯中，在电极(金属棒)从内侧管的内表面分离而设置的情况下，存在该内侧管上的电容器容量变小的问题。
另外，为了防止配置于内侧管内的电极(金属棒)被氧化，需要使该内侧管内为减压状态或非活性气体气氛气，因此可以考虑，例如作成如专利文献5所公开的那样在灯点灯中成为在内侧管内流通非活性气体的状态，或作成通过将内侧管的两端密封而在内侧管内形成密闭空间并使该密闭空间内为减压状态或填充了非活性气体后状态，但是在这种情况下，存在下述那样的问题。
即，为了在内侧管内流通非活性气体，必须单独地设定用于使非活性气体流通的机构。另一方面，为了将内侧管的两端密封，必须将构成电极的金属棒和内侧管的端部紧贴而形成气密密封构造。因此，特别是在作为构成内侧管的电介质材料使用玻璃的情况下，存在因为金属棒材料和内侧管材料(电介质材料)的热膨胀率差而使得密封部有可能产生破损的问题。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开2008－260017号公报
专利文献2:日本特开平2－222765号公报
专利文献3:日本特开2001－15078号公报
专利文献4:日本特开2006－024564号公报
专利文献5:日本特开2006－202603号公报
发明内容
发明所要解决的课题
本发明基于以上那样的情形而提出，第一目的为提供一种准分子灯，其在任何的使用环境中电极均不会产生腐蚀，能够得到高的安全性，并且通过对在形成气密密封构造而成的发光管的端部产生破损进行抑制而能够得到较长的使用寿命。
本发明的第二目的在于提供一种准分子灯，其具有在发光管内配置一对电极而成的结构，在发光空间能够供给较大的电力，并且通过对在形成了气密密封构造的发光管的端部产生破损进行抑制而能够得到较长的使用寿命，并且能够容易地制造。
本发明的第三目的在于提供一种准分子灯，其具有在发光管内配置一对电极而成的结构，并且通过对形成气密密封构造的发光管的端部产生破损进行抑制而能够得到较长的使用寿命，并且具有优良的起动性。
用于解决课题的技术方案
本发明的第一准分子灯具有封入有准分子发光用气体的石英玻璃制的发光管、和用于产生介质阻挡放电的一对电极，其特征为，所述一对电极的一方的电极在所述发光管的内部空间以沿着发光管的管轴方向延伸的方式配置，所述一对电极的另一方的电极在所述发光管的管壁的内部以沿着发光管的管轴方向延伸的方式埋设，所述一方的电极与气密地埋设在发光管的端部的导电箔电连接。
本发明的第一准分子灯中，优选为，在所述发光管的内表面形成包含荧光体的荧光体层，所述荧光体接受作为激励光的准分子光而放射紫外线，所述准分子光是通过从准分子发光用气体产生准分子而产生的。
本发明的第一准分子灯中，优选为，所述荧光体放射波长300nm以下的光。
本发明的第一准分子灯中，优选为，所述另一方的电极通过与配置在所述发光管的外部的供电用电极的电感耦合而被供电。
本发明的第二准分子灯中在发光管内封入准分子发光用气体，其特征为，在所述发光管的内部设置沿发光管的管轴方向延伸的一对电极，所述一对电极的一方的电极以在筒管内形成的气密空间中与该筒管的管壁的内表面接触的状态配置，所述筒管在所述发光管的内部以沿发光管的管轴方向延伸的方式配置且由电介质材料构成，所述一对电极的另一方的电极被配置为，在夹着形成于所述发光管和筒管之间的发光空间的状态下与所述一方的电极相对，所述一对电极分别与气密地埋设在发光管的端部的导电箔电连接。
本发明的第二准分子灯中，优选为，所述筒管的一端与所述发光管一体地被箔密封。
本发明的第二准分子灯中，优选为，所述一方的电极是线圈状。
本发明的第二准分子灯中，优选为，所述筒管内的气密空间是减压状态或填充了非活性气体后的状态。
本发明的第二准分子灯中，优选为，所述另一方的电极是以包围所述筒管的方式环绕的线圈状。
本发明的第二准分子灯中，优选为，在所述发光管的管壁的内表面形成含有荧光体的荧光体层，所述荧光体接受作为激励光的准分子光而放射紫外线，所述准分子光是通过从准分子发光气体生成准分子而产生的。
本发明的第三准分子灯在封入有准分子发光用气体的发光管的内部设置一对电极而成，其特征在于，具备在所述发光管的内部以沿该发光管的管轴方向延伸的方式配置的由电介质材料构成的筒管，所述一对电极的一方的电极在所述筒管的内部以沿该筒管的管轴方向延伸的方式配置，所述一对电极的另一方的电极以沿所述筒管的管轴延伸的方式配置，所述另一方的电极的至少一部分与筒管的外表面紧贴，在该紧贴区域中，使所述一方的电极和该另一方的电极隔着筒管的管壁在至少一个部位相对，所述一方的电极以及另一方的电极分别与被气密地埋设在发光管的端部的导电箔电连接。
本发明的第三准分子灯中，优选为，所述一方的电极在所述紧贴区域中以与所述筒管的内表面接触的状态设置。
本发明的第三准分子灯中，优选为，所述另一方的电极在所述紧贴区域以外的区域中与所述筒管的外表面分离，该紧贴区域以外的区域中利用夹在该另一方的电极和该筒管的外表面之间的空间而形成准分子放电空间。
本发明的第三准分子灯中，优选为，所述另一方的电极在所述紧贴区域以外的区域的至少一部分中与所述发光管的内表面接触。
发明效果
本发明的第一准分子灯中，将一方的电极配置在发光管内，将另一方的电极配置在发光管的管壁内，因此能够在一对电极间产生介质阻挡放电，从而能够利用介质阻挡放电而得到放射光。另外，由于一对电极中的任何一个不处于露出到发光管的外部的状态，因此电极不会对应于使用环境而与存在于发光管的外部的气体或液体等接触，不会产生因为电极处于露出到发光管的外部的状态而引起的弊端。另外，与发光管的管壁的内部中的另一方的电极的埋设位置无关，该另一方的电极和一方的电极切实地成为相对的状态，因此能够在发光管的内部空间内中得到稳定的放电。
并且，在发光管的端部形成气密密封部，所述气密密封部具有将与一方的电极电连接的导电箔埋设而成的箔密封构造，并做成在该气密密封部中一方的电极和发光管不直接紧贴的结构。因此，在灯处于点灯状态的情况下，虽然在一方的电极以及导电箔中产生热膨胀，但是能够利用导电箔的塑性变形对一方的电极以及导电箔中产生的热膨胀进行吸收并缓和，并能够对因为电极材料和导电箔材料与发光管材料的热膨胀率差而使得在该气密密封部产生破损进行抑制。
因此，根据本发明的第一准分子灯，任何的使用环境中，也不会在电极产生腐蚀，能够得到较高的安全性，并且能够通过对在形成气密密封构造而成的发光管的端部产生破损进行抑制而得到较长的使用寿命。
本发明的第二准分子灯中，一方的电极在由电介质材料构成的筒管内的气密空间以与筒管的管壁的内表面接触的状态配置，并且另一方的电极以与该一方的电极隔着筒管的管壁以及发光空间而相对的方式配置，因此能够在一对电极间中产生介质阻挡放电，从而能够利用介质阻挡放电而得到放射光。另外，一对电极配置在发光管内，并不处于露出到该发光管的外部的状态，因此电极不会对应于使用环境而与存在于发光管的外部的气体或液体等接触，从而不会产生因电极处于露出到发光管的外部的状态而引起的弊端。
并且，在发光管的端部形成气密密封部，所述气密密封部具有将与一对电极的每个电连接的导电箔埋设而成的箔密封构造，并做成在该气密密封部中电极和发光管不直接紧贴的结构。因此，在灯处于点灯状态的情况下，虽然电极以及导电箔中产生热膨胀，但是能够利用导电箔的塑性变形对电极以及导电箔中产生的热膨胀吸收并缓和，从而能够对因为电极材料和导电箔材料与发光管材料的热膨胀率差而使得在该气密密封部中产生破损进行抑制。另外，由于在以一方的电极接触的状态中设置的筒管上能够得到较大的电容器容量，因此能够针对一对电极供给较大的电力，因而能够在发光空间投入较大的电力。此外，由于发光管的端部中的气密密封部具有箔密封构造，因此能够压紧密封或收缩密封容易地形成该气密密封部。
因此，根据本发明的第二准分子灯，能够对发光空间供给较大的电力，并通过对在形成气密密封构造而成的发光管的端部产生破损进行抑制而能够得到较长的使用寿命，且能够容易地进行制造。
另外，即使在任何的使用环境中，电极也不会产生腐蚀，能够得到较高的安全性。
本发明的第二准分子灯中，通过将筒管的一端与发光管一体地箔密封，从而能够使用于对一方的电极供电电力的部件不处于露出到发光管内的发光空间的状态，因此能够在发光空间中防止产生不希望的放电。另外，能够将筒管保持在发光管的内部中的预期的配置位置。
本发明的第二准分子灯中，通过使一方的电极为线圈状，即使在为了增大筒管上的电容器容量而增大一方的电极和筒管的接触面积的情况下，也能够利用该一方的电极自身具体来说是线圈状的方式对灯的点灯状态中一方的电极中产生的热膨胀的至少一部分进行吸收。因此，能够对因为电极材料与筒管材料的热膨胀率差而使得在筒管产生破损进行抑制。
本发明的第三准分子灯中，由于将一对电极配置于发光管内，且处于不露出到该发光管的外部的状态，因此电极不会对应于使用环境而与存在于发光管的外部的气体或液体等接触，因此不会产生因电极处于露出到发光管的外部的状态而引起的弊端。
并且，由于设为另一方的电极的至少一部分与筒管的外表面紧贴的状态，因此能够在另一方的电极与筒管的外表面紧贴的状态的紧贴区域中使一方的电极和另一方的电极几乎不夹着绝缘空间而相对，从而能够减小为了在该紧贴区域中产生绝缘破坏而需要的绝缘破坏电压。因此，能够在紧贴区域中通过使得产生绝缘破坏而在一对电极之间开始放电，此外，为了在一对电极之间产生放电不需要较大的起动电压。
另外，在发光管的端部形成气密密封部，所述气密密封部具有将与一对电极分别电连接的导电箔埋设而成的箔密封构造，并设为该气密密封部中电极和发光管不直接紧贴的结构。因此，在灯处于点灯状态的情况下，虽然在电极以及导电箔产生热膨胀，但是能够利用导电箔的塑性变形对电极以及导电箔中产生的热膨胀进行吸收并缓和，从而能够对因为电极材料和导电箔材料与发光管材料的热膨胀率差而使得在该气密密封部产生破损进行抑制。
因此，根据本发明的第三准分子灯通过对形成气密密封构造而成的发光管的端部产生破损进行抑制能够得到较长的使用寿命，并能够得到优良的起动性。
另外，即使在任何的使用环境中，电极中也不产生腐蚀，能够得到较高的安全性。
本发明的第三准分子灯中，使另一方的电极在紧贴区域以外的区域中与筒管的外表面分离，并利用在该另一方的电极和筒管的外表面之间夹着的空间形成准分子放电空间，从而能够在该紧贴区域以外的区域中做成使一对电极较大地分离的状态，能够增大准分子放电空间的厚度。因此，能够在不损失良好的起动性的情况下得到较大的放射强度。
本发明的第三准分子灯中，通过使另一方的电极中的紧贴区域以外的区域的一部分与发光管的内表面接触，能够在该另一方的电极中的与发光管的内表面接触的部分中得到定位和保持作用，因此能够将另一方的电极以预期的状态保持在发光管内的发光空间中的预期的配置位置。
附图说明
图1是将本发明的第一准分子灯的结构的一例以在该准分子灯的一端侧安装灯座后的状态进行表示的说明用剖视图。
图2是表示图1的A－A线剖面的放大剖视图。
图3是表示图1的B－B线剖面的放大剖视图。
图4是对在准分子灯中将一对电极配置在发光管的管壁的内部后的状态进行表示的说明用剖视图。
图5是表示本发明的第一准分子灯的结构的其他例的说明用剖视图。
图6是表示图5的A－A线剖面的放大剖视图。
图7是表示图5的B－B线剖面的放大剖视图。
图8是对图5的构成本发明的第一准分子灯的由带状电极形成的周边电极的多个配置位置的其他例进行表示的说明用剖视图。
图9是将本发明的第二准分子灯的结构的一例以在该准分子灯的一端侧安装灯座后的状态进行表示的说明用剖视图。
图10是表示图9的准分子灯的结构的概要的说明图。
图11是表示本发明的第二准分子灯的结构的其他例的概要的说明图。
图12是表示本发明的第二准分子灯的结构的又一其他例的概要的说明图。
图13是表示本发明的第二准分子灯的结构的另外又一其他例的概要的说明图。
图14是表示本发明的第三准分子灯的结构的一例的概要的说明图。
图15是表示图14的准分子灯中的紧贴区域的说明用剖视图。
图16是表示图14的准分子灯中的紧贴区域以外的区域的说明用剖视图。
图17是表示本发明的第三准分子灯的结构的其他例的概要的说明图。
图18是表示本发明的第三准分子灯的结构的又一其他例的概要的说明图。
图19是表示本发明的第三准分子灯的结构的另外又一其他例的概要的说明图。
图20是表示本发明的第三准分子灯的结构的另外又一其他例的概要的说明图。
图21是对具备作为光源的本发明的第一准分子灯的水处理装置的结构的一例进行表示的说明用剖视图。
具体实施方式
以下，针对本发明的实施方式进行说明。
本发明的第一准分子灯、第二准分子灯以及第三准分子灯是能够利用因放电而从准分子发光用气体产生准分子从而得到放射光的结构的器件。具体来说，是将通过从准分子发光用气体生成准分子而产生的准分子光放射的结构，或者是将准分子光作为激励光照射到荧光体并将通过由该荧光体进行激励而得到的光(以下，称作“荧光体变换光”)放射的结构的放电灯。
并且，本发明的第一准分子灯、第二准分子灯以及第三准分子灯中的任何一个均具有如下特征：一对电极的任何一个均不处于露出到发光管的外部的状态，并且一对电极的至少一方配置在发光管内，配置在该发光管内的电极与气密地埋设在发光管的端部的导电箔电连接。
以下，针对本发明的第一准分子灯、第二准分子灯以及第三准分子灯的各个，详细地进行说明。
＜第一准分子灯＞
图1是将本发明的第一准分子灯的结构的一例以在该准分子灯的一端侧安装灯座后的状态进行表示的说明用剖视图，图2是表示图1的A－A线剖面的放大剖视图，图3是表示图1的B－B线剖面的放大剖视图。
该第一准分子灯10由作为具有光透过性的电介质材料的石英玻璃形成，在一端(图1中的右端)形成密封部11A，将另一端(图1中的左端)塞闭，在该气密的内部空间内具备具有发光空间S的大致圆管状的发光管11。该发光管11中的密封部11A具有箔密封构造，该箔密封构造通过气密地埋设有由钼构成的导电箔16而成。
在发光管11的发光空间S，封入准分子发光用气体，并且第一电极13以沿发光管11的中心轴(管轴)延伸的方式配置。另外，在发光管11的管壁的内部，第二电极17以沿发光管11的中心轴(管轴)延伸的方式埋设。由此，构成第一准分子灯10的一对电极，具体来说第一电极13和第二电极17以隔着发光管11的管壁以及发光空间S而相互相对的方式配置。
该图的例中，密封部11A中的箔密封构造由压紧密封或收缩密封所形成。
另外，在第一准分子灯10，在形成有密封部11A的一端侧安装陶瓷制的灯座30，在该灯座30设置构成后述的供电机构的供电用线圈(以下，称作“灯座侧端子”)33。另外，在安装有灯座30的第一准分子灯10的一端侧部分，设置与灯座侧端子33一起构成供电机构的供电用线圈(以下，称作“灯侧端子”)22。
在该图的例中，灯侧端子22是将例如钼裸线以螺旋状缠绕在发光管11中的一端侧部分的外表面而形成的器件。另外，该灯侧端子22不限于如图1所示那样配置在第一准分子灯10的一端侧部分所涉及的发光管11的外表面，也可以是埋设在第一准分子灯10的一端侧部分所涉及的发光管11的管壁的内部。
第一电极13是由将例如金属裸线以螺旋状缠绕形成而成的线圈状电极构成的器件。
该线圈状电极由例如钨等的具有导电性以及耐热性的金属材料构成，在发光空间S中，配置在发光管11的中心轴(管轴)上。即，第一电极13以其中心轴与发光管11的中心轴(管轴)一致，且沿该发光管11的中心轴延伸的方式配置。
在第一电极13，在其一端13A连接由钼构成的内部引线棒14，该内部引线棒14的一端(图1中的右端)在密封部11A内延伸而与导电箔16连接。另外，在导电箔16上连接一端(图1中的右端)从密封部11A凸出到外侧而延伸的由钼构成的外部引线棒15，该外部引线棒15经由由镍裸线构成的连接部件23而与灯侧端子22电连接。
该图的例中，在第一电极13的另一端13B安装环形状的支撑体29。该支撑体29将第一电极13保持在发光空间S中的预期的配置位置，具有定位和保持功能，并且也在第一准分子灯10的点灯起动时作为辅助电极而发挥功能。具体来说，在设有支撑体29的情况下，在第一准分子灯10的起动时支撑体29成为起动的火种，首先，支撑体29的周围中产生放电，其后，发光管11的发光空间S中的发光管11的管轴方向的全域中发生放电。
第二电极17由线圈状电极形成，所述线圈状电极由例如金属裸线以围着发光空间S的方式螺旋状地缠绕形成而成。
该线圈状电极在发光管11的管壁的内部中的安装有该发光管11的灯座30的区域以外的区域，以包围发光空间S的方式环绕，并且以沿着发光管11的中心轴(管轴)延伸的方式配置。并且，在发光管11的管壁的内部完全地埋设，即，将其整体埋设在发光管11的管壁的内部。
作为第二电极17的材质，能够使用例如钼或钨，优选为使用钼。
在第二电极17，在其一端17A连接由镍裸线构成的连接部件18，将该连接部件18的前端(图1中的右端)从发光管11的管壁的内部向外部导出，并与灯侧端子22电连接。
这里，作为在发光管11的管壁的内部埋入第二电极17的方法的一例，例如，准备：第二电极17、具有与第二电极17的内径(线圈内径)大致相同的外径的发光管形成用玻璃管(以下，称作“内侧玻璃管”)、和具有比第二电极17的外径(线圈直径)稍大径的内径的发光管形成用玻璃管(以下，称作“外侧玻璃管”)。并且，在内侧玻璃管的外表面卷绕第二电极17后，将卷绕了第二电极17后的状态的内侧玻璃管***到外侧玻璃管内而制作筒状组装体。将如此得到的筒状组装体的一方的端部塞闭后，通过进行排气而使内部的压力为10-1Pa以下的减压状态，通过使用氧氢燃烧器对将该一方的端部塞闭后的筒状组装体从外部进行加热，从而使外侧玻璃管加热收缩，将该外侧玻璃管经由第二电极17与内侧玻璃管紧贴。因而，能够在因内侧玻璃管和外侧玻璃管成为一体而形成的发光管材料的管壁内埋入第二电极17。
作为构成发光管11的石英玻璃能够使用熔融石英玻璃或合成石英玻璃。
作为准分子发光用气体，能够使用例如氙气气体(Xe)、氩气体(Ar)，氪气体(Kr)等、具有作为利用介质阻挡放电(DielectricBarrierDischarg)而形成准分子的放电介质的作用的稀有气体。另外，能够与稀有气体一起根据需要，使用氟气体(F)、氯气体(Cl)、碘气体(I)以及溴气体(Br)等的卤素气体。
这里，根据在第一准分子灯10中所需要放射的光的波长，而对作为准分子发光用气体被封入发光空间S的稀有气体、以及根据需要而被封入的卤素气体的种类适宜地进行选择。
例如，在作为准分子发光用气体使用氙气气体的情况下能够得到波长172nm的准分子光，在作为准分子发光用气体而使用氩气体和氯气体的混合气体的情况下能够得到波长175nm的准分子光，在作为准分子发光用气体使用氪气体和碘气体的混合气体的情况下能够得到波长191nm的准分子光，在作为准分子发光用气体使用氩气体和氟气体的混合气体的情况下能够得到波长193nm的准分子光，在作为准分子发光用气体使用氪气体和溴气体的混合气体的情况下，能够得到波长207nm的准分子光，在作为准分子发光用气体使用氪气体和氯气体的混合气体的情况下，能够得到波长222nm的准分子光。
第一准分子灯10中，在发光管11如图1以及图2所示的那样，在其内表面中的至少配置有第一电极13或第二电极17的区域全域，优选为设置荧光体层21，所述荧光体层21含有通过接收作为激励光的准分子光而放射紫外线的荧光体。
通过在在发光管11的内表面设置荧光体层21，能够将从由介质阻挡放电所生成的准分子发出的比较短波长的光变换为长波长的光。
即，在发光管11的内表面形成荧光体层21而成的结构的第一准分子灯10中，得到了用于利用介质阻挡放电对构成荧光体层21的荧光体进行激励的比较短波长的准分子光(以下，称作“短波长侧准分子光”)。并且，通过将所得到的短波长侧准分子光照射到构成荧光体层21的荧光体而对荧光体进行激励，得到预期的波长区域的光，具体来说比短波长侧准分子光更长波长侧的光(荧光变换光)。使如此得到的荧光变换光透过荧光体层21以及发光管11而进行放射。
作为构成荧光体层21的荧光体，优选为通过受到作为激励光的准分子光而放射波长300nm以下的光(紫外线)。
作为荧光体的具体例，能够使用例如镨活化磷酸镧、钕活化磷酸镧、钕活化磷酸钇以及镨活化钇铝硼酸盐等。
这里，镨活化磷酸镧是通过激励而放射波长230nm左右的区域的光的物质，钕活化磷酸镧是通过激励而放射波长184nm左右的区域的光的物质，钕活化磷酸钇是通过激励而放射波长190nm左右的光的物质，镨活化钇铝硼酸盐是通过激励而放射波长250nm左右的光的物质。
在荧光体层21中，由于荧光体与构成发光管11的石英玻璃(熔融石英玻璃)粘接性较小，因此为了在荧光体层12得到相对于发光管11较高的粘接性，优选为在荧光体层21和发光管11之间使用粘合剂。
作为粘合剂，例如能够列举出软质玻璃粉末以及硬质玻璃粉末等。
另外，也可以如图1所示的那样，在发光管11的内部空间设置吸气剂24。
吸气剂24是至少能够对因发光空间S中紫外线的作用等而从发光管11等产生的氧进行吸收的材质的物质。作为吸气剂24的材质的具体例，例如能够列举出锆(Zr)－铝(Al)合金、锆(Zr)－铁(Fe)合金、锆(Zr)－铝(Al)－铁(Fe)合金等。
该图的例中，将吸气剂24容纳在设置于发光管11的另一端侧部分(图1中的左端侧部分)的吸气剂容纳空间25，该吸气剂容纳空间25经由连通路径25A与发光空间S连通。连通路径25A具有比吸气剂24的外径(最小外径)更小的内径，因此即使不设置特别的保持机构，也能够将吸气剂24保持在吸气剂容纳空间25中，而不在发光空间S中移动。
灯座30具备整体形状为凹状的灯座本体，以使得能够将第一准分子灯10的一端侧部分***。该灯座本体由灯容纳部31A和端子容纳部31B形成，所述灯容纳部31A在一方(图1中的左方)开口，并具有用于将第一准分子灯10的一端侧部分***的圆柱状的灯容纳空间，所述端子容纳部31B以包围该灯容纳部31A的方式而设置，并具有用于容纳灯座侧端子33的端子容纳空间。在该灯座本体中的端子容纳部31B配置灯座侧端子33。
灯座30中，灯座侧端子33是在对端子容纳空间和端子容纳空间进行区划的隔壁32的面对着端子容纳空间的外表面上螺旋状地缠绕例如铜裸线而形成的器件，在灯容纳部31A中***第一准分子灯10的状态中，以与该第一准分子灯10中的灯侧端子22相对的方式配置。
在灯座侧端子33，在其一端33A连接由铜裸线构成的连接部件34A，另外，在另一端33B连接由铜裸线构成的连接部件34B，将这些连接部件34A、34B与高频交流电源(未图示)相连接。
通过安装这种结构的灯座30，在第一准分子灯10中如图3所示的那样，以发光管11的管轴为中心将与第一电极13以及第二电极17连接的灯侧端子22、和与高频交流电源连接的灯座侧端子33定位成大致同心圆状，从而形成针对第一准分子灯10利用电感耦合供给电力的供电机构。即，在第一准分子灯10的第二电极17，利用该第二电极17与设置于发光管11的外部的由灯座侧端子33形成的供电用电极的电感耦合，具体来说，利用和第二电极17电连接的灯侧端子22与灯座侧端子33的电感耦合而进行供电。
利用这种电感耦合进行供电的结构的供电机构不被作成具有通电部件(具体来说灯侧端子22以及灯座侧端子33)露出到外部的状态，因此在安全性方面具有优点。
作为这种结构的第一准分子灯10的方法的一例，发光管11是外径16mm、内径14mm以及全长140mm，构成第一电极13的线圈状电极是裸线直径0.3mm，外径(线圈直径)2mm，线圈间距1mm，另外，构成第二电极17的线圈状电极是裸线直径0.1mm，相互相邻的裸线间距离8mm。
另外，在发光管11的发光空间S作为放电介质以13kPa的压力封入氙气气体，在第一电极13和第二电极17之间，以额定频率70kHz、额定电压1.7kVp-p、额定消耗电力18W的条件供给交流电力。
在这种第一准分子灯10中，从高频交流电源经由连接部件34A、34B而向灯座侧端子33供给高频交流电力，从而在该灯座侧端子33和设置于第一准分子灯10的灯侧端子22之间产生电感耦合，由此能够相对于第一准分子灯10供给电力。并且，在第一准分子灯10中，在发光空间S中产生介质阻挡放电而形成准分子，利用从该准分子发出的光(短波长侧准分子光)而对构成荧光体层21的荧光体进行激励从而透过荧光体层21以及发光管11而放射比该短波长侧准分子光更长波长侧的光(荧光变换光)。
这里，在第一准分子灯10中，介质阻挡放电在第一电极13的延伸的方向(图1中的左右方向)上一致，且以第一电极13为中心形成为辐射状。
在以上的第一准分子灯10中，将第一电极13配置在发光管11的发光空间S，将第二电极17埋设在发光管11的管壁的内部，这些的第一电极13以及第二电极17中的任何一个均不被做成露出到发光管11的外部的状态。因此，该第一电极13以及第二电极17不会对应于使用环境而与存在于发光管11的外部的气体或液体等接触，因此不会产生如下那样的因用于得到介质阻挡放电的电极被做成露出到发光管11的外部的状态而引起的弊端：例如因为产生触电或漏电、在电极产生腐蚀、或存在空气的情况下发光管和电极之间的间隙中产生微小放电而产生臭氧等。
另外，在发光管11的端部形成具有箔密封构造的密封部11A，该密封部11A中做成第一电极13以及内部引线棒14与发光管11不直接紧贴的结构。因此，在灯处于点灯状态的情况下，虽然在第一电极13、内部引线棒14以及导电箔16产生热膨胀，但是能够利用导电箔16的塑性变形将该热膨胀吸收并缓和，因此能够抑制由于电极材料、内部引线棒材料和导电箔材料与发光管材料的热膨胀率差而使得在密封部11A产生破损。
此外，在第一准分子灯10中，第一电极13配置于发光管11的发光空间S，因此即使第二电极17被埋设在发光管11的管壁的内部中的任何的位置的情况，均成为第一电极13和第二电极17切实地相对的状态。因此，从第一电极13向发光管11的外侧以辐射状产生放电，因此能够得到发光空间S中均匀的放电，从而能够得到较大的设计的自由度。因此，即使在第二电极17的配置位置产生错位的情况下，即第二电极17被配置在从预期的配置位置稍微偏离的位置的情况，也能够得到良好的点灯状态。
这里，利用介质阻挡放电而得到放射光的结构的准分子灯中，为了得到用于得到介质阻挡放电的一对电极不露出到发光管11的外部的状态，而可以如图4所示的那样将一对电极19A、19B中的任何一个埋设在发光管11的管壁的内部。然而，这种构成的准分子灯中，不容易将电极19A、19B埋设在发光管11的管壁的内部中的预期的配置位置。此外，在电极19A、19B的配置位置产生错位的情况下，即使该位置错位极小，也产生发光空间S内不能够得到均匀的放电等的弊端，有可能无法得到良好的点灯状态。
本发明的第一准分子灯中，不限于上述实施方式，也可以添加各种的变更。
例如，本发明的第一准分子灯中，若第一电极在发光管的内部空间中沿该发光管的管轴配置，第二电极在发光管的管壁的内部沿该发光管的管轴埋设，则第一电极以及第二电极可以是任何的形状，另外，第一电极和第二电极的形状的组合也可以是任何的组合。
这里，作为第一电极的具体例，除了图1所涉及的线圈状电极之外，能够列举出由金属棒形成的棒状电极(参照图5)等。另外，作为第二电极的具体例，除了图1所涉及的线圈状电极之外，能够列举出由金属箔形成的带状电极(参照图5)、将金属裸线沿发光管的管轴直线状地配置而成的结构的线状电极、网状电极、无缝的网状电极(参照专利第2775697号公报)等。此外，作为第一电极和第二电极的组合的具体例，除了将图1所示那样的线圈状电极作为第一电极并将线圈状电极作为第二电极的组合之外，还可以列举出将线圈状电极作为第一电极并将带状电极作为第二电极的组合、将棒状电极作为第一电极并将线圈状电极作为第二电极的组合、将棒状电极作为第一电极并将带状电极作为第二电极的组合(参照图5)等。
另外，第一电极不限于以做成在发光管的发光空间中露出的方式配置的状态，也能够利用由例如石英玻璃等的电介质材料构成的部件进行覆盖，而做成将一方的电极不露出到发光空间那样的方式。
另外，在发光管的内部，可以如图1所示的那样设置吸气剂，也可以如图5所示的那样不设置吸气剂。另外，可以设置支撑体，也可以不设置支撑体。
这里，特别是第一电极是小径的情况下，或长条形物的情况等中，优选为如图1所示的那样设置支撑体。
另外，供电机构也可以如后述的那样(参照图5)是对与第一电极电连接的外部引线棒、和与第二电极电连接的外部引线棒直接通电的结构，另外，也可以是通过使第二电极与高频交流电源连接并且将第一电极接地而相对于第一准分子灯利用电容耦合而供给电力的结构。
这里，在供电机构利用电容耦合而供给电力的结构的情况下，与利用电感耦合供给电力的结构的供电机构相比能够在第一准分子灯得到较高的发光效率。
具体来说，针对本发明的第一准分子灯的气体的实施方式，使用图进行说明。
图5是表示本发明的第一准分子灯的结构的其他例的说明用剖视图，图6是表示图5的A－A线剖面的放大剖视图，图7是表示图5的B－B线剖面的放大剖视图。
该第一准分子灯，在图1所涉及的第一准分子灯10中，设置不同的形状的第一电极以及第二电极，并且设置不同的结构的供电机构，另外，在发光管11的内部除了不设置支撑体、吸气剂以及吸气剂容纳空间以外，具有与该图1所涉及的第一准分子灯10同样的结构。
图5所涉及的第一准分子灯中，第一电极35由棒状电极构成，所述棒状电极由例如钨形成的金属棒构成而形成。
在构成该第一电极35的棒状电极，在其一端(图5中的右端)连接由钼构成的内部引线棒14，该内部引线棒14的一端(图1中的右端)在发光管11的密封部11A内延伸，与埋设在该密封部11A内的由钼构成的导电箔16连接。另外，在导电箔16连接一端(图5中的右端)从密封部11A向外侧凸出而延伸的由钼构成的外部引线棒15。
另一方面，第二电极36由多个(图5中为4片)带状电极36A而形成，所述带状电极36A由例如由钼形成的金属箔构成而形成。该多个带状电极36A分别在发光管11的管壁的内部中的围绕发光空间S的区域中以沿发光管11的中心轴(管轴)而延伸的方式埋设。另外，多个带状电极36A在发光管11的周向以预定的间隔相互分离而埋设。
在带状电极36A，在其一端(图5中的右端)连接由钼构成的连接用导电箔36B，利用该连接用导电箔36B将多个带状电极36A电连接。连接用导电箔36B在发光管11的管壁的内部中的将发光空间S围绕的区域的一端部分(图5中的右端部分)以沿周向延伸的方式而埋设。另外，在连接用导电箔36B连接在密封部11A内埋设的由钼构成的内部引线棒37，该内部引线棒37的一端(图5中的右端)，与在密封部11A内埋设的由钼构成的导电箔39连接。另外，在导电箔39，连接一端(图5中的右端)从密封部11A向外侧凸出而延伸的由钼构成的外部引线棒38。
该图的例中，构成第二电极36的带状电极36A是4片，但是其数目并不限于是4片。另外，构成第二电极36的多个带状电极36A，在发光管11的管壁的内部中，沿发光管11的周向等间隔而埋设，但是该多个带状电极36A的埋设间隔不限于等间隔，也可以例如按照图8所示的那样是不规则的。使多个带状电极36A偏向特定的方向而埋设，在将带状电极36A也作为反射部件而发挥功能的情况下是有效。
另外，供电机构通过将与第一电极35电连接的外部引线棒15、和与第二电极36电连接的外部引线棒38连接在高频交流电源(未图示)而形成。
作为这种结构的图5所涉及的第一准分子灯的方法的一例，发光管11是外径18mm、内径16mm以及全长200mm，构成第一电极35的棒状电极是外径1mm以及全长170mm，另外，构成第二电极36的带状电极36A是厚度0.03mm，宽2mm以及全长170mm。
另外，在发光管11的发光空间S中作为放电介质将氙气气体以27kPa的压力封入，在第一电极35和第二电极36之间，以额定频率80kHz、额定电压1.7kVp-p、额定消耗电力22W的条件供给交流电力。
以上的图5所涉及的第一准分子灯中，与图1所涉及的第一准分子灯10同样，在任何的使用环境中，电极也不产生腐蚀，能够得到较高的安全性，并且能够通过对形成有气密密封构造而成的发光管的端部产生破损进行抑制而得到较长的使用寿命。
＜第二准分子灯＞
图9是将本发明的第二准分子灯的结构的一例，以在该准分子灯的一端侧安装灯座后的状态进行表示的说明用剖视图，图10是表示图9的准分子灯的结构的概要的说明图。
该第二准分子灯40具备大致圆管状的发光管41而形成，所述发光管41在两端分别具有通过将由钼构成的导电箔51A、51B气密地埋设而形成箔密封构造而成的密封部41A、41B，并在该气密的内部具有发光空间S。
在该发光管41的气密的内部，由电介质材料构成的筒管42，以沿发光管41的管轴方向(图1中的左右方向)延伸的方式配置，在该筒管42的内部第一电极43以沿筒管42的管轴方向延伸的方式而配置。另外，在发光管41的内部中，在由发光管41的内表面和筒管42的外表面围绕而成的发光空间S中封入准分子发光用气体。在该发光空间S，第二电极46以与筒管42分离的状态并以沿发光管41的中心轴(管轴)延伸的方式配置，由此，构成第二准分子灯40的一对电极，具体来说，第一电极43和第二电极46隔着筒管42的管壁以及发光空间S以相互相对的方式配置。
该图的例中，密封部41A、41B中的箔密封构造由压紧密封形成，但是该密封部41A、41B中的箔密封构造也可以是由收缩密封形成。
另外，在第二准分子灯40，在形成有密封部41A的一端侧安装陶瓷制的灯座60，在该灯座60设置构成后述的供电机构的供电用线圈(灯座侧端子)63。另外，在安装有灯座60的第二准分子灯40的一端侧部分，设置与灯座60中的灯座侧端子63一起构成供电机构的供电用线圈(灯侧端子)54。
该图的例中，灯侧端子54是将例如钼裸线在发光管41中的一端侧部分的外表面具体来说密封部41A的外表面以螺旋状缠绕形成而成的器件。
筒管42是一端(图9以及图10中的右端)被塞闭，另一端(图9以及图10中的左端)与发光管41中的密封部41B的内端(图9以及图10中的右端)连接为一体并被气密密封且在其内部具有用于配置第一电极43的气密空间的大致圆管状的器件。
并且，在将筒管42的另一端连接为一体的密封部41B中，在导电箔51B连接将第一电极43电连接的内部引线棒44，由此将筒管42的另一端与发光管41一体地箔密封。
这里，作为用于将筒管42的另一端与发光管41一体地箔密封的方法，能够列举出如下方法：例如将一端塞闭，在另一端利用压紧密封形成具有箔密封构造的气密密封部而形成，制作在其内部配置第一电极43而成的结构的筒管电极组装体。接下来，将所得到的筒管电极组装体***到发光管形成用管材内，一边对该发光管形成用管材中的筒管电极组装体的气密密封部所处的部分进行加热一边从外部施加压力从而进行压紧。该形成过程中得到的筒管电极组装体的气密密封部是气密地埋设有经由内部引线棒44而与第一电极43电连接的导电箔51B并且将与该导电箔51B连接的外部引线棒45以从该气密密封部向外侧凸出的方式设置而形成的结构的器件。
如此，导电箔51B是在灯的制造上用于将发光管41的另一端密封，并且将筒管42的另一端密封的器件。即，密封部41B具有以如下方式而形成构造：把具有将导电箔51B气密地埋设而成的箔密封构造的筒管42的另一端气密地埋设在发光管41的另一端中。
第一电极43由例如钨等的具有导电性以及耐热性的金属材料形成，是由将金属裸线以螺旋状缠绕形成而成的线圈状电极所形成的器件。
该线圈状电极在筒管42内的气密空间中配置于筒管42的中心轴(管轴)上。即，第一电极43以其中心轴与筒管42的中心轴(管轴)一致，并沿该筒管42的中心轴延伸的方式配置。
另外，第一电极43在与筒管42的管壁的内表面接触的状态中被配置。具体来说，构成第一电极43的以螺旋状缠绕的金属裸线在筒管42的管壁的内表面上一边以包围该筒管42内的气密空间的方式环绕，一边沿筒管42的中心轴(管轴)而延伸，紧贴在筒管42的内表面而配置。
在第一电极43，在其另一端(图9以及图10中的左端)连接由钼构成的内部引线棒44，该内部引线棒44的另一端(图9以及图10中的左端)在密封部41B内延伸，并通过点焊接与导电箔51B连接。另外，在导电箔51B的另一端(图9中的左端)通过点焊接而连接从密封部41B向外侧凸出而延伸的外部引线棒45。该外部引线棒45由钼构成，并经由沿发光管41的外表面而配线的连接部件55A与灯侧端子54电连接。
如此，第一电极43经由内部引线棒44而与导电箔51B电连接。
另外，筒管42中优选为是其内部的气密空间为减压状态或填充有非活性气体后的状态。
通过使筒管42内的气密空间为减压状态或填充有非活性气体后的状态，能够防止配置在该筒管42内的气密空间的第一电极43发生氧化。
在使筒管42内的气密空间为减压状态的情况下，优选为内部压力(真空度)是10- 2Torr以下。
通过使筒管42内的内部压力为10-2Torr以下，能够抑制在筒管42的内部中发生放电，由此能够抑制因筒管42的内部中产生放电而引起的多余的电力消耗的发生。
另一方面，在使筒管42内的气密空间为填充了非活性气体后的状态的情况下，作为非活性气体，优选为使用与准分子发光用气体(放电介质)相比难于产生电力的气体。具体来说，作为准分子发光用气体使用氙气气体的情况，优选为作为在筒管42中填充的非活性气体使用氮气。
作为非活性气体使用与准分子发光用气体相比难于产生电离的气体，从而能够对筒管42的内部中发生放电进行抑制，由此能够抑制由筒管42的内部中发生放电而引起的多余的电力消耗的发生。
另外，在筒管42内的气密空间中填充非活性气体的状态中，筒管42的内部压力(气压)优选为与发光空间S中的内部压力(气压)相比较小，更优选为是大气压程度。
构成筒管42的电介质材料也可以是相对于在发光管41内的发光空间S中产生的光不具有光透过性的器件。
另外，如图9以及图10所示的那样，在筒管42的端部(图9以及图10中筒管42的另一端)与发光管41一体地被箔密封的情况下，优选为构成筒管42的电介质材料具有与构成发光管41的材料同等的热膨胀率。其理由是出于如下原因：能够对因为构成筒管42的电介质材料和构成发光管41的材料的热膨胀率差而引起的在将筒管42的端部与发光管41一体地箔密封而成的结构的气密密封部(图9以及图10中为密封部41B)产生破损进行防止。
该图的例中，筒管42由与构成发光管41的材料相同的材料构成。
第二电极46由例如钨等的具有导电性以及耐热性的金属材料形成，由将金属裸线以螺旋状缠绕形成而成的线圈状电极形成。
该线圈状电极在发光管41的发光空间S中配置在发光管41的中心轴(管轴)上。即，第二电极46以其中心轴与发光管41的中心轴(管轴)一致，并沿该发光管41的中心轴而延伸的方式配置。
另外，第二电极46具有比筒管42的外径更大径的外径(线圈直径)。
并且，第二电极46中，以螺旋状缠绕的金属裸线在筒管42的周边区域中一边以包围该筒管42的方式环绕一边沿发光管41的中心轴(管轴)延伸，并以与该筒管42的外表面隔着发光空间S而分离状态即在第一电极43之间夹着筒管42的管壁和发光空间S的状态配置。
这里，第二电极46若是在发光管41内中与筒管42的外表面隔着发光空间S而分离的状态，则也可以是与发光管41的管壁的内表面接触的状态。不过，如图9以及图10所示的那样，在发光管41的管壁的内表面设置荧光体层53而成的情况下，需要是从发光管41的管壁的内表面分离的状态。
在图的例中，第二电极46以与形成于发光管41的管壁的内表面的荧光体层53接触的方式而设置。
另外，优选为，构成第二电极46的线圈状电极的线圈间距比构成第一电极43的线圈状电极的线圈间距大，即优选为第一电极43中的线圈间距比第二电极46中的线圈间距小。
其理由为，通过尽可能增大第二电极46中的线圈间距能够抑制由发光管41内产生的光被该第二电极46所遮蔽，同时能够通过减小第一电极43中的线圈间距而增大第一电极43和第二电极46之间的电容，并能够增大发光空间S中投入的电力。
这里，作为第一电极43以及第二电极46中的线圈间距的具体的一例，第一电极43中的线圈间距是2mm，第二电极46中的线圈间距是10mm。
在该第二电极46，在其一端(图9以及图10中的右端)上连接以螺旋状缠绕在筒管42中的一端侧部分(图9以及图10中的右端侧部分)的外表面的由钨裸线构成的连接部件49，在该连接部件49的一端(图9以及图10中的右端)连接由钼构成的内部引线棒47。该内部引线棒47的一端(图9以及图10中的右端)在密封部41A内延伸并通过点焊接与导电箔51A连接。另外，在导电箔51A通过点焊接连接一端(图9中的右端)从密封部41A向外侧凸出而延伸的由钼构成的外部引线棒48，该外部引线棒48经由以沿发光管41的外表面的方式而配线的由镍裸线构成的连接部件55B而与灯侧端子54电连接。
如此，第二电极46经由连接部件49以及内部引线棒47而与导电箔51A电连接。
该图的例中，第二电极46和连接部件49是一体的部件。另外，连接部件49和第一电极43隔着发光管41的管壁而不相对，由此在连接部件49和第一电极43之间不产生放电。
作为构成发光管41的材料，是使在发光管41内的发光空间S中产生的光具体来说准分子光或荧光变换光透过的光即可，能够采用各种的材料。
在发光空间S中产生的光是紫外线的情况下，作为构成发光管41的材料的具体例，例如能够列举出熔融石英玻璃以及合成石英玻璃等的石英玻璃。
作为准分子发光用气体，与第一准分子灯同样，能够使用具有作为利用介质阻挡放电而形成准分子的放电介质的作用的稀有气体，另外，能够与稀有气体一起根据需要使用卤素气体。
这里，可以根据第二准分子灯40中所需要放射的光的波长而对作为准分子发光用气体被封入发光空间S的稀有气体以及根据需要而被封入的卤素气体的种类适宜进行选择。
在第二准分子灯40中，在发光管41，也可以与第一准分子灯同样，如图9以及图10所示的那样，在其管壁的内表面中的配置有第一电极43以及第二电极46的区域设置荧光体层53，该荧光体层53含有通过将准分子光作为激励光而接受从而放射紫外线的荧光体。
作为构成荧光体层53的荧光体，能够根据第二准分子灯40的使用用途等而适宜地使用通过将准分子光作为激励光而接受从而放射紫外线的公知的材料。
在荧光体层53中，与第一准分子灯同样，在荧光体与构成发光管41的材料(例如熔融石英玻璃)的粘接性较小的情况下，为了在荧光体层53得到相对于发光管41的较高的粘接性，而优选为在荧光体层53和发光管41之间使用粘合剂。
灯座60具有与安装在第一准分子灯10的灯座30基本上同样的结构。
即，具备整体形状为凹状的灯座本体以使得能够***第二准分子灯40的一端侧部分。该灯座本体由灯容纳部61A和端子容纳部61B形成，所述灯容纳部61A在一方(图9中的左方)开口，并具有用于***第二准分子灯40的一端侧部分的圆柱状的灯容纳空间，所述端子容纳部61B具有以围着该灯容纳部61A方式而设置的用于容纳灯座侧端子63的端子容纳空间。在该灯座本体中的端子容纳部61B配置灯座侧端子63。
灯座60中，灯座侧端子63是将例如铜裸线在对端子容纳空间和端子容纳空间进行区划的隔壁62的面对着端子容纳空间的外表面以螺旋状缠绕形成而成的器件，并在将第二准分子灯40***在灯容纳部61A后的状态中，以与第二准分子灯40中的灯侧端子54相对的方式进行配置。
在灯座侧端子63在其一端63A连接由铜裸线构成的连接部件64A，另外，在另一端63B连接由铜裸线构成的连接部件64B，这些连接部件64A、64B与高频交流电源(未图示)连接。
该图的例中，灯座侧端子63与连接部件64A、64B是一体的部件。
如此，与构成第二准分子灯40的第一电极43和第二电极46连接的灯侧端子54、以及与高频交流电源连接的灯座侧端子63如图9所示那样以发光管41的管轴为中心而以大致同心圆状定位，从而形成对第二准分子灯40通过电感耦合供给电力的供电机构。
这种通过电感耦合进行供电的结构的供电机构由于以通电部件(具体来说是灯侧端子54以及灯座侧端子63)不被做成露出到外部的状态的方式配置，因此在安全性方面具有优点。
作为这种结构的第二准分子灯40的方法的一例，发光管41是外径15mm、内径13mm以及全长165mm，另外，筒管42是外径8mm、内径6mm以及全长146mm，导电箔51A、51B是钼箔。
构成第一电极43的线圈状电极由裸线直径0.36mm的钨裸线形成，且外径(线圈直径)6mm、线圈间距4.7mm以及全长116mm。
另外，构成第二电极46的线圈状电极由裸线直径0.36mm的钨裸线形成，且外径(线圈直径)10mm、线圈间距6.9mm、以及全长(线圈部全长)135mm。
另外，在发光管41的发光空间S作为准分子发光用气体以40kPa的压力封入氙气气体，在筒管42的气密空间以50kPa的压力封入氮气，在第一电极43和第二电极46之间以额定频率65kHz、额定电压3.5kVp-p的条件供给交流电力。
这种第二准分子灯40中，从高频交流电源经由连接部件64A、64B向灯座侧端子63供给高频交流电力，从而在设置于该灯座侧端子63和第二准分子灯40的灯侧端子54之间产生电感耦合，由此能够对第二准分子灯40供给电力。并且，第二准分子灯40中，发光空间S中发生介质阻挡放电而形成准分子，利用从该准分子发出的准分子光(例如真空紫外光)对构成荧光体层53的荧光体进行激励而使比该准分子光(例如真空紫外光)更长波长侧的光(例如波长190～400nm的光)透过荧光体层53以及发光管41而放射。
以上的第二准分子灯40中以一对电极均配置在发光管41的内部，该一对电极不会对应于使用环境而与存在于发光管41的外部的气体或液体等接触，因此不存在因为用于得到介质阻挡放电的电极处于被露出到发光管41的外部的状态而引起的弊端。
另外，在发光管41的端部形成有具有箔密封构造的密封部41A、41B，该密封部41A、41B的各自中，被做成电极和内部引线棒44、47与发光管41不直接紧贴的结构。因此，在灯处于点灯状态的情况下，一对电极、内部引线棒44、47以及导电箔51A、51B中产生热膨胀，但是能够通过导电箔51A、51B的塑性变形将该热膨胀吸收而缓和，因此能够对因为电极材料、内部引线棒材料以及导电箔材料与发光管材料的热膨胀率差而使得在密封部41A、41B产生破损进行抑制。
另外，由于第一电极43以与筒管42的管壁的内表面接触的状态设置，因此在筒管42上能够得到较大的电容器容量，因此能够针对一对电极供给较大的电力，由此能够在发光空间中投入较大的电力。并且，即使在一对电极供给较大的电力的情况下，由于一对电极中的任何一个均配置在发光管41的内部，并不处于施加高电压的电极露出到发光管41的外部的状态，因此与在发光管的外表面配置电极而成的结构的准分子灯相比，能够得到较大的安全性。
此外，由于密封部41A、41B具有箔密封构造，因此即使特别是密封部41B是与筒管52的另一端一体地连接的结构，也能够利用压紧密封或收缩密封容易地形成该任何一个的密封部41A、41B。
另外，第二准分子灯40中，由于筒管42的另一端与发光管41和一体地被箔密封，因此能够将筒管42保持在发光管41的内部中的预期的配置位置。另外，用于对第一电极43供电电力的部件具体来说导电箔51B、内部引线棒44以及外部引线棒45不处于露出到发光管41内的发光空间S的状态，因此能够防止发光空间S中产生不希望的放电。
另外，第二准分子灯40中，由于第一电极43是线圈状，因此即使在为了增大筒管42上的电容器容量而增大第一电极43和筒管42的接触面积的情况下，能够利用该第一电极43自身具体来说线圈状的形态对灯的点灯状态中第一电极43所产生的热膨胀的至少一部分进行吸收，因此能够对因为电极材料与筒管材料的热膨胀率差而使得在筒管42产生破损进行抑制。因此，能够利用一对电极供给更大的电力。
另外，第二准分子灯40中，第二电极46以对筒管42进行包围的方式环绕，因此介质阻挡放电在第一电极43的延伸的方向(图9以及图10中的左右方向)上一致，且以第一电极43为中心形成为辐射状。并且，能够将基于介质阻挡放电而在发光管41内产生的光，从构成发光管41的管壁的全周中第二电极46的金属裸线间向发光管41的外部有效地放射。因此，能够对发光管41的周边区域以较高的均匀性照射光。另外，由于能够增大第二电极46的电极面积，因此能够增大第二电极46的电容器容量，由此能够利用一对电极供给更大的电力。此外，即使在第二电极46以与发光管41的管壁的内表面接触的状态配置的情况下，也能够在将灯点灯的状态中利用该第二电极46自身即线圈状的形态对第二电极46中产生的热膨胀的至少一部分进行吸收，因此能够对因为电极材料和发光管材料的热膨胀率差而使得在发光管41产生破损进行抑制。
另外，第二准分子灯40中，通过使筒管42的内部为减压状态或填充了非活性气体后的状态，从而对配置在该筒管42的内部的第一电极43发生氧化进行防止。另外，通过对筒管42内的内部压力或所填充的非活性气体的种类适宜地进行选择，能够对筒管42的内部中发生放电进行抑制。因此，能够对因筒管42的内部中产生放电而引起的多余的电力消耗的发生进行抑制。
另外，第二准分子灯40中，由于将筒管42的内部做成气密空间，因此能够在不设置另外的装置的情况下，容易地使该筒管42的内部成为减压状态或填充了非活性气体后的状态。
本发明的第二准分子灯中，不限于上述实施方式，能够附加各种的变更。
例如，筒管也可以是将两端箔密封(参照图12以及图13)，另外，也可以将筒管的两端分别与发光管一体地箔密封(参照图12以及图13)。
在第二准分子灯中将筒管的两端分别与发光管一体地箔密封的情况下，即使筒管是极长条的部件，也能够将筒管切实地保持在发光管的内部的预期的配置位置，并且，能够即使在例如针对第二准分子灯从外部施加振动冲击的情况下，也能够抑制在筒管或发光管产生破损。
另外，在筒管的端部与发光管一体地被箔密封而成的结构的气密密封部中，经由内部引线棒而与第一电极电连接的导电箔(以下，称作“第一导电箔”)和将经由引线棒而与该第一导电箔电连接的导电箔(以下，称作“第二导电箔”)气密地进行埋设(参照图11～图13)。
这种结构的气密密封部中，在灯的制造上，第一导电箔为了对筒管的端部进行密封而使用，另一方面，第二导电箔为了对发光管的端部进行密封而使用。
这里，针对用于形成将第一导电箔和第二导电箔埋设而成的结构的气密密封部的方法，具体地列举形成图11所涉及的密封部41B的方法的一例而进行说明。
首先，将一端塞闭，在另一端通过压紧密封而形成具有箔密封构造的气密密封部，制作在其内部配置有第一电极43而成的结构的筒管电极组装体。该筒管电极组装体中，具有如下结构：在气密密封部气密地埋设经由内部引线棒44而与第一电极43电连接的第一导电箔51B，与该第一导电箔51B连接的由钼形成的引线棒72以从该气密密封部向外侧凸出的方式设置。并且，在所得到的筒管电极组装体中的引线棒72中连接第二导电箔71，并且在该第二导电箔71连接外部引线棒45从而制作导电箔连接体，其后，将导电箔连接体，以处于从外部引线棒45的端部(图11中的左端)凸出的状态的方式***到发光管形成用管材内，并一边对该导电箔连接体中的气密密封部以及第二导电箔71所处的部分进行加热一边从外部施加压力，由此进行压紧。如此，形成发光管41的密封部41B。
如此，密封部41B具有如下构造：具有将第一导电箔51B气密地进行埋设而成的箔密封构造的筒管42的另一端(图11中的左端)与从该筒管42的另一端向外侧凸出的引线棒72一起被埋设在发光管11的另一端(图11中的左端)，并且通过在被埋设在该发光管41的端部的引线棒72上连接第二导电箔71而形成箔密封构造而成。
另外，一对电极也可以是第一电极和第二电极并列而配置(参照图12以及图13)。
在第二准分子灯中并列配置一对电极而成的情况下，能够使第一电极和第二电极的分离距离在发光管的管轴方向上为一定，因此能够在发光管内的放电空间得到在发光管的管轴方向上没有斑点的均匀的放电。
另外，第二电极也可以与第一电极同样配置在筒管的内部(参照图13)。这种结构中，出于在内部配置第二电极后的筒管上的电容器容量的观点，优选为第二电极以与筒管的管壁的内表面接触的状态而配置，另外，出于第二电极的氧化防止的观点，配置第二电极而成的筒管内的气密空间是减压状态或填充了非活性气体后的状态。
第二准分子灯中第二电极与第一电极同样在筒管内的气密空间配置而成的情况下，由于一对电极的任何一个均不露出到发光空间，因此能够对因为被暴露到产生了放电的空间而引起的电极的劣化进行抑制。另外，使在筒管的内部配置第一电极而成的电极构造体和在筒管的内部配置第二电极而成的电极构造体为具有同样的结构的器件，从而能够提高灯的制造效率。
另外，从增大筒管上的电容器容量并且对因为电极材料和筒管材料的热膨胀率差而使得在筒管产生破损进行抑制的观点出发，优选为第一电极是线圈状，但是如果在筒管内的气密空间能够以与筒管的管壁的内表面接触的状态以沿着筒管的管轴延伸的方式配置，则能够使用各种形状的器件。
这里，作为构成第一电极的线圈状电极的具体例，除了图1所涉及的将金属裸线以线圈状缠绕形成而成的结构的线体线圈状电极之外，还可以列举出例如将金属带板状体以线圈状缠绕形成而成的结构的带体线圈状电极。
另外，作为具有构成第一电极的线圈状以外的形状的电极的具体例，能够列举出例如将金属箔以覆盖筒管的管壁的内表面的方式而设置而成的结构的带状电极、将蒸镀膜以覆盖筒管的管壁的内表面的方式设置而成的结构的膜状电极、将具有适合于筒管的内径的外径的金属棒***筒管内而成的结构的棒状电极等。
另外，供电机构也可以是对与第一电极电连接的外部引线棒以及与第二电极电连接的外部引线棒直接通电的结构，另外，也可以是通过将第一电极与高频交流电源连接并且将第二电极接地，从而针对第二准分子灯利用电容耦合供给电力的结构。
这里，在供电机构是利用电容耦合供给电力的结构的情况下，与利用电感耦合供给电力的结构的供电机构相比第二准分子灯能够得到较高的发光效率。
作为本发明的第二准分子灯的其他的实施方式的具体例，可以列举出图11～图13所示那样的准分子灯。
这些的图11～图13所涉及的第二准分子灯中，能够得到与图9以及图10所涉及的第二准分子灯40同样的效果。
即，图11～图13所涉及的第二准分子灯能够对发光空间供给较大的电力，并且通过对在形成有气密密封构造而成的发光管的端部产生破损进行抑制能够得到较长的使用寿命，并且能够容易地进行制造。另外，任何的使用环境中，均能够在电极不产生腐蚀的情况下，得到高的安全性。
这里，图11所涉及的第二准分子灯是如下结构：在将筒管42的另一端(图11中的左端)与发光管41一体地箔密封而成的结构的气密密封部(密封部41B)，将经由由钼形成的引线棒72而电连接的2片的导电箔(具体来说第一导电箔51B以及第二导电箔71)埋设而成的结构。
该第二准分子灯，除了在密封部41B埋设2片的导电箔并且第二电极46不经由连接部件49而与内部引线棒47直接连接之外，具有与图9以及图10所涉及的第二准分子灯40同样的结构。
另外，图12所涉及的第二准分子灯是第一电极43和第二电极46并列配置而成的结构。
该第二准分子灯除了如下情形之外具有与图9以及图10所涉及的第二准分子灯40同样的结构：第二电极46与第一电极43并列配置；筒管42的两端被气密密封；另外，第二电极46的两端分别经由内部引线棒47、75而与在密封部41A、41B气密地埋设的导电箔51A、74电连接；与第二电极46电连接的外部引线棒76与和第一电极53电连接的外部引线棒45一起从密封部41B向外侧凸出。
该图12中，77是内部引线棒，73是导电箔。
另外，图13所涉及的第二准分子灯是将第二电极46配置在筒管81内的气密空间并且将该筒管81与在内部配置有第一电极43后的筒管42并列配置而成的结构。
该第二准分子灯除了将第二电极46配置在筒管81内的气密空间之外，具有与图12所涉及的第二准分子灯同样的结构。另外，筒管81具有与筒管42同样的结构。
另外，图13中，82是用于将导电箔(第一导电箔)74和导电箔83(第二导电箔)电连接的引线棒。
＜第三准分子灯＞
图14是表示本发明的第三准分子灯的结构的一例的概要的说明图。
该第三准分子灯90具备在两端分别具有密封部91A、91B的大致圆管状的发光管91。该发光管91中的密封部91A、91B具有将由钼构成的导电箔93A、93B气密埋设而成的箔密封构造。
在发光管91的气密的内部，由电介质材料构成的筒管92以沿发光管91的管轴方向(图14中的左右方向)延伸的方式配置，在该筒管92的内部，以沿筒管92的管轴方向延伸的方式配置第一电极96。另外，发光管91的内部中，在由发光管91的内表面和筒管92的外表面围绕而成的发光空间S填充准分子发光用气体。在该发光空间S，第二电极97以沿筒管15的中心轴(管轴)延伸的方式配置，由此，构成第三准分子灯90的一对电极，具体来说第一电极96和第二电极97在发光管91内中以相互相对的方式配置。
该图的例中，密封部91A、91B中的箔密封构造分别由压紧密封或收缩密封形成。
筒管92是如下那样的大致管状的部件：将一端(图14中的右端)塞闭，将另一端(图14中的左端)与发光管91中的密封部91B的内端(图14中的右端)连接为一体并进行气密密封，在其内部具有用于配置第一电极96的气密空间。
并且，与筒管92的另一端连接为一体的密封部91B中，在导电箔93B连接将第一电极96电连接的内部引线棒94B，由此将筒管92的另一端与发光管91和一体地箔密封。
这里，作为用于将筒管92的另一端一体地箔密封的方法，例如能够列举出如下那样的方法：首先，将一端塞闭，在另一端利用压紧密封形成具有箔密封构造的气密密封部，制作在其内部配置有第一电极96而成的筒管电极组装体。接下来，将得到的筒管电极组装体***发光管形成用管材内，一边对该发光管形成用管材中的筒管电极组装体的气密密封部所处的部分进行加热一边从外部施加压力而进行压紧。
第一电极96是由例如将金属裸线以螺旋状缠绕形成而成的线圈状电极形成的。
该线圈状电极由例如钨等的具有导电性以及耐热性的金属材料形成，在筒管92内的气密空间中，配置在筒管92的中心轴(管轴)上。即，第一电极96以其中心轴与筒管92的中心轴(管轴)一致，并沿筒管92的中心轴延伸的方式而配置。
另外，第一电极96以与筒管92的内表面接触的状态进行配置。具体来说，构成第一电极96的以线圈状缠绕的金属裸线一边在筒管92的管壁的内表面上以对筒管92内的气密空间进行包围的方式进行环绕，一边沿筒管92的中心轴(管轴)延伸，并以紧贴在该内表面的状态配置。
在该第一电极96，在其另一端(图14中的左端)连接由钼构成的内部引线棒94B，该内部引线棒94B的另一端(图14中的左端)在发光管91中的另一方的密封部91B内延伸，并通过点焊接与埋设在该密封部91B内的导电箔93B连接。另外，在导电箔93B的另一端(图14中的左端)通过点焊接而连接从发光管91中的另一方的密封部91B向外侧凸出而延伸的、由钼构成的外部引线棒95B。
另外，筒管92中，优选为与第二准分子灯同样，其内部的气密空间为减压状态或填充了非活性气体后的状态。
在使筒管92内的气密空间为减压状态的情况下，优选为与第二准分子灯同样，内部压力(真空度)为10-3Torr以下。
另一方面，在使筒管92内的气密空间为填充了非活性气体后的状态的情况下，与第二准分子灯同样，作为非活性气体优选使用稀有气体或氮气(N2)。
另外，在筒管92内的气密空间填充了非活性气体后的状态中，优选为筒管92的内部压力(气压)与发光空间S中的内部压力(气压)相比等同或较高。
构成筒管92的电介质材料也可以与第二准分子灯同样相对于在发光管91内的发光空间S中产生的光不具有光透过性。
另外，如图14所示那样，在筒管92的端部(图14中筒管92的另一端)与发光管91一体地被箔密封的情况下，与第二准分子灯和同样，构成筒管92的电介质材料，优选为具有与构成发光管91的材料同等的热膨胀率。
该图的例中，筒管92由与构成发光管91的材料相同的材料构成。
第二电极97由例如金属裸线形成，是由具有小径部分97B和大径部分97A的线圈状电极形成的，所述小径部分97B以与筒管92中的另一端部分(图14中的左端部分)的外表面紧贴的方式以螺旋状缠绕，所述大径部分97A与该小径部分97B连续，并以从该筒管92中的另一端部分以外的部分的外表面分离的状态以螺旋状缠绕。
该线圈状电极由例如钨等的具有导电性以及耐热性的材料形成，在发光管91的发光空间S中配置在发光管91的中心轴(管轴)上。即，第二电极97以其中心轴与发光管91的中心轴(管轴)一致，并沿发光管11的中心轴而延伸的方式配置。
第二电极97中的小径部分97B具有与筒管92的外径适合的内径(线圈内径)。因此，小径部分97B中，以螺旋状缠绕的金属裸线一边在筒管92的外表面上以包围该筒管92的方式进行环绕，一边沿筒管92的中心轴(管轴)而延伸，并如图15所示那样以在筒管92的外表面紧贴的状态进行配置。
并且，利用小径部分97B，形成在第二电极97的长度方向(图14中的左右方向)延伸的紧贴区域，在该紧贴区域中，如图15所示那样，第一电极96和第二电极97隔着筒管92的管壁92A而在至少一部位中相对。
具体来说，在形成紧贴区域的筒管92的另一端部分，第一电极96的另一端部分(图14中的左端部分)位于其内部，并且，构成该第一电极96的另一端部分的金属裸线和构成第二电极97的小径部分97B的金属裸线至少在一部位中隔着筒管92的管壁92A而交叉。
另外，第二电极97中的大径部分97A具有比筒管92的外径更大径的内径(线圈内径)。因此，大径部分97A中，以螺旋状缠绕的金属裸线在筒管92的周边区域中以包围该筒管92的方式环绕，并如图16所示的那样在与筒管92的外表面隔着发光空间S而分离的状态即在与第一电极96之间夹着筒管92的管壁92A和发光空间S的状态中配置。
如此，在紧贴区域以外的区域，具体来说在由大径部分97A形成的区域中，由夹在第二电极97和筒管92的外表面之间的空间形成用于使介质阻挡放电产生的准分子放电空间。这里，第二电极97的大径部分97A和筒管92的外表面之间的分离距离优选为在结构方面允许的范围内尽可能大，并且能够通过使第二电极97与大径部分97A的分离距离变大而将来自介质阻挡放电的发光增加。
另外，优选为构成第二电极97的线圈状电极中的大径部分97A的线圈间距比构成第一电极96的线圈状电极的线圈间距大，即优选为第一电极96中的线圈间距比第二电极97的大径部分97A中的线圈间距小。
其理由为，通过尽可能增大第二电极97的大径部分97A中的线圈间距能够抑制发光管91内所产生的光被该第二电极97所遮蔽，并且通过减小第一电极96中的线圈间距能够增大第一电极96和第二电极97之间的电容，由此能够在第三准分子灯90得到较大的放射强度。
这里，作为第一电极96以及第二电极97的大径部分97A中的线圈间距的具体的一例，第一电极96中的线圈间距是2mm，第二电极97的大径部分97A中的线圈间距是10mm。
在该第二电极97，在其一端(图14中的右端)连接由钼构成的内部引线棒94A，该内部引线棒94A的一端(图14中的右端)在密封部91A内延伸，并通过点焊接与导电箔93A连接。另外，在导电箔93A的一端(图14中的右端)通过点焊接而连接从密封部91A向外侧凸出而延伸的由钼构成的外部引线棒95A。
作为构成发光管91的材料，与第二准分子灯同样，是使在发光管91内的发光空间S中产生的光透过的材料即可，能够使用各种的器件。
作为准分子发光用气体，与第一准分子灯以及第二准分子灯同样，能够使用具有作为利用介质阻挡放电而形成准分子的放电介质的作用的稀有气体，另外，能够与稀有气体一起根据需要而使用卤素气体。
这里，作为准分子发光用气体，可以根据在第三准分子灯90中所需要放射的光的波长，对封入到发光管91内的发光空间S的稀有气体以及根据需要被封入的卤素气体的种类适宜地进行选择。
第三准分子灯90中，在发光管91，与第一准分子灯以及第二准分子灯同样，如图14所示那样，在其管壁的内表面中的配置第一电极96以及第二电极97的区域设置荧光体层99，所述荧光体层99含有通过将准分子光作为激励光而接受从而放射紫外线的荧光体。
作为构成荧光体层99的荧光体，能够根据第三准分子灯90的使用用途等适宜地使用通过将准分子光作为激励光而接受受从而放射紫外线的公知的材料。
荧光体层99中，与第一准分子灯以及第二准分子灯同样，在荧光体是与构成发光管91的材料(例如熔融石英玻璃)的粘接性小的材料的情况，为了在荧光体层99得到相对于发光管91的高的粘接性，优选为在荧光体层99和发光管91之间使用粘合剂。
作为这种结构的第三准分子灯90的方法的一例，发光管91是外径16mm、内径14mm、以及全长180mm，另外，筒管92是外径4mm、内径2mm、以及全长150mm，导电箔93A、93B是钼箔。
构成第一电极96的线圈状电极由裸线直径0.36mm的钨裸线形成，是外径(线圈外径)2mm、线圈间距4.7mm、以及全长130mm。
另外，构成第二电极97的线圈状电极由裸线直径0.36mm的钨裸线形成，具有内径(线圈内径)12mm、线圈间距10mm、和全长(大径部分的全长)150mm的大径部分97A，以及内径(线圈内径)4mm、线圈间距0.5mm、和全长(小径部分的全长)5mm的小径部分97B。
另外，在发光管91的发光空间S作为准分子发光用气体将氙气气体以及氖气体以40kPa的压力封入，在筒管92的气密空间将氮气以50kPa的压力封入，在第一电极96和第二电极97之间以矩形波、额定频率65kHz、额定电压3.5kVp-p的条件供给交流电力。
这种第三准分子灯90中，在发光管91的内部中，将第一电极96配置在由电介质材料构成的筒管92内的气密空间，另外，将第二电极97以与第一电极96相对的方式配置在发光空间S，因此通过从高频交流电源供给高频交流电力，在发光空间S中的准分子放电空间中产生介质阻挡放电。并且，由介质阻挡放电形成准分子，并利用从该准分子发出的光(例如真空紫外光)对构成荧光体层99的荧光体进行激励而使比该光(例如真空紫外光)更长波长侧的光(例如波长190～400nm的光)透过荧光体层99以及发光管91而放射。
而且，第三准分子灯90的发光空间S中如图15所示的那样，在由第二电极97中的小径部分97B形成的紧贴区域中，在第一电极96和第二电极97隔着筒管92的管壁92A而相对的部位的附近形成几乎不夹着绝缘空间地相对的部分(以下，称为“相对部分”)。并且，该相对部分中，由于仅仅存在极其微小的绝缘空间，因此为了产生绝缘破坏而所需要的绝缘破坏电压较小，因此容易产生火种放电，并且能够利用所产生的火种放电遍及第一电极96和第二电极97之间的全域地开始放电。
因此，根据第三准分子灯90，能够利用较小的电压在紧贴区域中产生火种放电，并且，能够利用该火种放电遍及第一电极96和第二电极97之间的全域地产生介质阻挡放电，因此不需要较大的起动电压，由此能够得到优秀的起动性。
即，第三准分子灯90中，基于筒管92的管壁92A的厚度的电容器容量所需要的电压、和相对部分中基于在第二电极97和筒管92的外表面之间夹着的绝缘空间的厚度的根据帕邢曲线的绝缘破坏电压作为起动电压是必要的，因此仅利用电容器耦合和极小的间隙的绝缘破坏，能够开始介质阻挡放电。
具体来说，第三准分子灯90中，与替代第二电极97设置不具有用于形成紧贴区域的小径部分97B的结构的线圈状电极的结构的准分子灯相比，能够将起动电压降低约200～约500V。
另外，在发光管91的端部形成具有箔密封构造的密封部91A、91B，并做成该密封部91A、91B的每个中电极和内部引线棒94A、94B与发光管91不直接紧贴的结构。因此，在灯为点灯状态的情况下，虽然一对电极、内部引线棒94A、94B以及导电箔93A、93B中产生热膨胀，但是能够利用导电箔93A、93B的塑性变形将该热膨胀吸收而缓和，因此能够对因为电极材料、内部引线棒材料和导电箔材料与发光管材料的热膨胀率差而使得在密封部91A、91B产生破损进行抑制。
另外，第三准分子灯90中，第二电极97如图16所示的那样，在由大径部分97A形成的紧贴区域以外的区域中，与筒管92的外表面较大地分离，利用在第二电极97和筒管92的外表面之间夹着的空间而形成具有较大的厚度的准分子放电空间，因此能够在不损失良好的起动性的情况下得到较大的放射强度。
另外，第三准分子灯90中，构成一对电极的第一电极96以及第二电极97中的任何一个配置在发光管91的内部，施加高电压的电极不被做成露出到发光管91的外部的状态。因此，一对电极不会对应于使用环境而与存在于发光管91的外部的气体或液体等，因此不会产生由于用于得到介质阻挡放电的电极处于露出到发光管91的外部的状态而产生的弊端。
另外，第三准分子灯90中，在第二电极97的小径部分97B得到了该第二电极97的定位和保持作用，因此能够将第二电极97以预期的状态保持在发光管11内的发光空间S中的预期的配置位置，从而能够提高第一电极96和第二电极97之间的放电距离的均匀性。
另外，第三准分子灯90中，第二电极97的大径部分97A以包围筒管92的方式而进行环绕，因此介质阻挡放电在第一电极96延伸的方向(图14中的左右方向)上一致，且以第一电极96为中心形成为辐射状。并且，能够将基于介质阻挡放电而在发光管91内产生的光，从发光管11的管壁的全周中构成第二电极97的大径部分97A的金属裸线间向发光管11的外部有效地放射。因此，能够对发光管91的周边区域以较高均匀性照射光。
本发明的第三准分子灯中不限于上述实施方式，能够增加各种的变更。
例如，第二电极也可以是如下那样的器件：如图17以及图18所示那样具有多个小径部分97B，通过这些多个小径部分97B形成具有第一电极96和第二电极97隔着筒管92的管壁92A相对而成的部位的紧贴区域。
该图17以及图18所涉及的第三准分子灯除了是第二电极97具有多个小径部分97B并利用该多个小径部分97B形成紧贴区域而成的情况以外，具有与图14所涉及的第三准分子灯90同样的结构。
这种结构的第三准分子灯中，在第二电极97中小径部分97B中由于能够得到定位和保持作用，因此小径部分97B越多，越能够将第二电极97以预期的状态切实地保持在发光管91内的发光空间S中的预期的配置位置，因此能够提高第一电极96和第二电极97之间的放电距离的均匀性。
另外，第二电极也可以在紧贴区域以外的区域的至少一部分中与所述发光管的内表面接触。
具体来说，可以是紧贴区域以外的区域全域与发光管的内表面、或根据需要而设置的荧光体层99的表面接触，另外，也可以如图19所示的那样，在一部位或数部位(图19中为二部位)中，与发光管11的内表面或根据需要而设置的荧光体层99的表面接触。
该图19所涉及的第三准分子灯中，除了第二电极97是大径部分97A中形成的区域的一部分98与荧光体层99的表面接触的情况以外，具有与图14所涉及的第三准分子灯90同样的结构。
这种结构的第三准分子灯中，由于在与第二电极中发光管的内表面接触的部分能够得到定位和保持作用，因此能够将第二电极以预期的状态保持在发光管内的发光空间中的预期的配置位置。另外，特别是第二电极中的紧贴区域以外的区域全域与发光管的内表面接触的情况下，第一电极和第二电极成为较大地分离分离的状态而使得准分子放电空间的厚度变大，因此能够得到较大的放射强度。
此外，第二电极97也可以是如下那样：如图20所示那样，以遍及长度方向的全域而与筒管92的管壁的外表面紧贴的方式配置，并在其长度方向的全域中形成具有第一电极96和第二电极96隔着筒管92的管壁92A相对而成的相对部位的紧贴区域而成。
该图20所涉及的第三准分子灯，除了是在第二电极97的长度方向的全域形成紧贴区域的情况以外，具有与图14所涉及的第三准分子灯90同样的结构。
这里，具有这种结构的第二电极的第三准分子灯中，通过利用沿筒管92的外表面产生的放电能够得到准分子光。
这种结构的第三准分子灯中，遍及第一电极96和第二电极97之间的全域不会存在较大的绝缘空间，因此能够得到极高的起动性，另外，由于能够将第二电极97以预期的状态切实地保持在发光管91内的发光空间S中的预期的配置位置，因此能够提高第一电极96和第二电极97之间的放电距离的均匀性。
另外，出于增大筒管上的电容器容量，并且对因为电极材料与筒管材料的热膨胀率差而引起的在筒管产生破损进行抑制的观点，第一电极优选为为线圈状，但是能够使用各种的形状。
这里，作为线圈状的电极的具体例，除了将图14所涉及的将金属裸线以螺旋旋状缠绕形成而成的结构的线体线圈状电极之外，例如能够列举出将金属带板状体以螺旋状缠绕形成而成的结构的带体线圈状电极。
另外，作为配置于筒管内的具有线圈状以外的形状的电极的具体例，例如能够列举出：将金属箔设置成覆盖筒管的管壁的内表面而成的结构的带状电极、将蒸镀膜设置成覆盖筒管的管壁的内表面而成的结构的膜状电极、将具有适合于筒管的内径的外径的金属棒***筒管内而成的结构的棒状电极等。
另外，供电机构也可以是利用电感耦合或电容耦合对第三准分子灯供给电力的结构的部件。
这里，在供电机构是利用电感耦合供给电力的结构的部件的情况，能够将通电部件以不成为露出到外部的状态的方式进行配置，因此在安全性方面具有优点。另外，在供电机构是利用电容耦合而供给电力的结构的器件的情况下，与利用电感耦合供给电力的结构的供电机构相比，能够在准分子灯得到较高的发光效率。
以下，针对为了确认本发明的第三准分子灯的作用效果而进行的实验例进行进行说明。
〔实验例1〕
首先，制作具有图14的结构的第三准分子灯(以下，称作“准分子灯(1)”)。
在所制作的准分子灯(1)中，发光管91是外径18mm、内径16mm以及全长200mm，另外，筒管92是外径4mm、内径2mm以及全长170mm，导电箔93A、93B是钼箔。
另外，构成第一电极96的线圈状电极由裸线直径0.36mm的钨裸线形成，是外径(线圈外径)2mm、线圈间距4.7mm以及全长150mm。
另外，构成第二电极97的线圈状电极由裸线直径0.36mm的钨裸线形成，具有内径(线圈内径)14mm、线圈间距10mm、和全长(大径部分的全长)170mm的大径部分97A，以及内径(线圈内径)4mm、线圈间距0.5mm和全长(小径部分的全长)5mm的小径部分97B。
另外，在发光管91的发光空间S，作为准分子发光用气体以40kPa的压力封入氙气气体以及氖气体，在筒管92的气密空间以50kPa的压力将氮气封入，第一电极96和第二电极97之间，以矩形波、额定频率65kHz、额定电压3.5kVp-p的条件供给交流电力。
接下来，准分子灯(1)中，除了替代第二电极97，使用不具有用于形成紧贴区域的小径部分的线圈状电极以外，制作具有与该准分子灯(1)同样的结构的第三准分子灯(以下，称作“比较用准分子灯(1)”)。
针对所制作的准分子灯(1)以及比较用准分子灯(1)，在确认了起动电压后，准分子灯(1)的起动电压是1200V，比较用准分子灯(1)的起动电压是1600V。
以上的本发明的第一准分子灯、第二准分子灯以及第三准分子灯均是利用通过放电从准分子发光用气体生成准分子而得到放射光的放电灯，因此作为发光物质不会像使用水银的放电灯那样发光特性因使用环境的温度而较大地变化，因此能够不依赖于使用环境而得到稳定的点灯状态。并且，由于一对电极不处于露出到发光管的外部的状态，因此一对电极不会对应于使用环境而与存在于发光管的外部的气体或液体等接触，能够得到较高的安全性。因此，能够作为以下各种装置的光源而合适地使用：例如用于进行水中包含的有机物的分解处理、或旨在将水中包含的菌类消灭的所谓的杀菌处理等的水处理装置的光源；另外，用于进行例如空气杀菌处理等的空气处理装置、液晶基板用光洗净装置、以及光硬化装置等。
具体来说，针对将本发明的准分子灯作为水处理装置的光源而使用的情况，使用图进行说明。
图21是表示具备作为光源的本发明的第一准分子灯的水处理装置的结构的一例的说明用剖视图。
作为该水处理装置100的光源而使用的第一准分子灯120，除了在图1所涉及的第一准分子灯10中在发光管11的内部不设置支撑体、吸气剂以及吸气剂容纳空间外，具有与该图1所涉及的第一准分子灯10同样的结构，并在其一端侧(图21中的上端侧)安装有灯座30。
另外，第一准分子灯120中所需要放射的光(紫外线)的波长因水处理装置100的使用用途等而不同，但是例如在为了进行水中所包含的有机物的分解而使用水处理装置100的情况下，优选为，第一准分子灯120是以在波长190nm具有中心波长的波长180～200nm的光作为放射光的器件。另外，在用于将水中所包含的菌类消灭的所谓的杀菌用的情况下，优选为是将在波长250nm具有中心波长的波长240～280nm的光作为放射光的器件。
这里，为了在进行水中所包含的有机物的分解而将第一准分子灯120作为合适的光源，作为准分子发光用气体封入氙气气体，并且作为构成荧光体层21的荧光体使用钕活化磷酸镧或钕活化磷酸钇。另外，为了将第一准分子灯120作为在将水中所包含的菌类消灭的所谓的杀菌用的光源，作为准分子发光用气体将氙气气体封入，并且作为构成荧光体层21的荧光体优选为使用镨活化钇铝硼酸盐或镨活化磷酸镧。
水处理装置100具备：处理槽101，其具有针对作为处理对象的水进行紫外线照射处理的处理空间；以及灯支撑部件111，其以对该处理槽101的开口进行堵塞的方式设置，所述水处理装置100的整体形状是圆柱形状。并且，在处理槽101的处理空间，由第一准分子灯120形成的光源以如下方式设置：发光管11的中心轴(管轴)成为垂直，在该处理槽101内充满了水的状态中将该第一准分子灯120的至少一部分浸渍而成为与水接触的状态。
利用由例如不锈钢形成的圆筒状的侧壁部102和由例如不锈钢形成的圆板状的底壁部103构成处理槽101，利用螺钉部件108A将它们固定，并利用O形环109A形成气密构造。
在该处理槽101，在侧壁部102形成有流入口102A和流出口102B，所述流入口102A用于将作为处理对象的水流入到处理槽101内，所述流出口102B用于使在处理槽101内被紫外线照射处理后的水从该处理槽101流出，在该流入口102A以及流出口102B分别连接用于使水流通的流通管(未图示)。
在图的例中，流出口102B以位于比流入口102A更靠上方的方式设置。
灯支撑部件111具备树脂制的有底圆筒状的基体112和以塞闭该基体112的开口的方式安装的盖部件113，在该灯支撑部件111的内部空间，一并容纳第一准分子灯120的供电电路(未图示)以及该第一准分子灯120中的安装灯座30的一端侧部分与该灯座30。
由螺钉部件108B将该灯支撑部件111固定在处理槽101，另外由O形环109B形成处理槽101和灯支撑部件111的气密构造。
另外，灯支撑部件111中，第一准分子灯120以成为安装灯座30的一端侧部分凸出到该灯支撑部件111的内部空间的状态的方式，利用螺钉部件108C固定在设置于基体112的底部112A的密封部114，在该密封部114由O形环109C形成气密构造。
图的例中，116是针对配置于基体112的内部空间的供电电路的缓冲垫。
这种结构的水处理装置100中，使第一准分子灯120处于点灯状态，并且在处理槽101的处理空间，从流通路经由流入口102A而供给作为处理对象的水，从而能够在该处理槽101的处理空间中对水照射来自第一准分子灯120的光(紫外线)而进行紫外线照射处理，被紫外线照射处理后的水从流出口102B经由流通路径而被排出到处理槽101的外部。
而且，水处理装置100中，作为光源而使用的第一准分子灯120具有利用介质阻挡放电而得到放射光的结构，不会像以往作为水处理装置的光源使用的低压水银灯那样作为发光物质需要使用水银，因此发光特性不会因使用环境的温度而较大地发生变化。因此，能够不依赖于作为处理对象的水的温度而进行稳定的紫外线照射处理。
另外，第一准分子灯120中，第一电极13配置在发光管11的发光空间S，第二电极17埋设在发光管11的管壁的内部，这些的一对电极的任何一个均不被设为露出到发光管11的外部的状态，因此该一对电极不与作为处理对象的水接触。因此，能够在不产生漏电或触电等的情况下得到充分的安全性，并且由于在一对电极未产生腐蚀，因此不会使得在作为处理对象的水中混入腐蚀生成物而引起水的纯度降低或因为一对电极自身的损耗变形而使得放电变得不稳定，因此能够跨度长期间地进行良好的紫外线照射处理。
此外，第一准分子灯120中，第一电极13配置在发光管11的发光空间S的中心，并且第二电极17以螺旋状埋设在发光管11的管壁的内部，因此发光空间S中从发光管11的中心向外侧以辐射状产生放电，因此能够针对发光管11的外部以较高的均匀性进行紫外线照射处理。
如此，将本发明的准分子灯作为水处理装置的光源而使用的情况下，不限于如图21所示那样将本发明的准分子灯配置为与处理对象接触的状态，也能够通过由透光性材料构成的保护封罩(外套管)对例如本发明的准分子灯进行覆盖等，从而以该准分子灯不与处理对象接触那样的方式使用。
标号说明
10第一准分子灯
11发光管
11A密封部
13第一电极
13A一端
13B另一端
14内部引线棒
15外部引线棒
16导电箔
17第二电极
17A一端
18连接部件
19A、19B电极
21荧光体层
22供电用线圈(灯侧端子)
23连接部件
24吸气剂
25吸气剂容纳空间
25A连通路径
29支撑体
30灯座
31A灯容纳部
31B端子容纳部
32隔壁
33供电用线圈(灯座侧端子)
33A一端
33B另一端
34A、34B连接部件
35第一电极
36第二电极
36A带状电极
36B连接用金属箔
37内部引线棒
38外部引线棒
39导电箔
40第二准分子灯
41发光管
41A、41B密封部
42筒管
43第一电极
44内部引线棒
45外部引线棒
46第二电极
47内部引线棒
48外部引线棒
49连接部件
51A、51B导电箔
53荧光体层
54供电用线圈(灯侧端子)
55A、55B连接部件
60灯座
61A灯容纳部
61B端子容纳部
62隔壁
63供电用线圈(灯座侧端子)
63A一端
63B另一端
64A、64B连接部件
71导电箔(第二导电箔)
72引线棒
73导电箔
74导电箔
75内部引线棒
76外部引线棒
77内部引线棒
81筒管
82引线棒
83导电箔(第二导电箔)
90第三准分子灯
91发光管
91A、91B密封部
92筒管
92A管壁
93A、93B导电箔
94A、94B内部引线棒
95A、95B外部引线棒
96第一电极
97第二电极
97A大径部分
97B小径部分
98大径部分中形成的区域的一部分
99荧光体层
S发光空间
100水处理装置
101处理槽
102侧壁部
102A流入口
102B流出口
103底壁部
108A、108B、108C螺钉部件
109A、109B、109CO形环
111灯支撑部件
112基体
112A底部
113盖部件
114密封部
116缓冲垫
120第一准分子灯

Claims (14)

1.一种准分子灯，在发光管内封入有准分子发光用气体，所述准分子灯的特征在于，
在所述发光管的内部设置沿发光管的管轴方向延伸的一对电极，
所述一对电极的一方的电极配置在形成于筒管内的气密空间中，所述筒管在所述发光管的内部以沿发光管的管轴方向延伸的方式配置且由电介质材料构成，所述气密空间形成为与所述发光管内的所述准分子发光用气体隔离，
所述一对电极的另一方的电极以在夹着形成于所述发光管和筒管之间的发光空间的状态下与所述一方的电极相对的方式而配置，
所述一对电极分别与气密地埋设在发光管的端部的导电箔电连接。
2.根据权利要求1所记载的准分子灯，其特征在于，
所述筒管的一端与所述发光管一体地被箔密封。
3.根据权利要求1所记载的准分子灯，其特征在于，
所述一方的电极是线圈状。
4.根据权利要求1所记载的准分子灯，其特征在于，
所述筒管内的气密空间是减压状态或填充了非活性气体后的状态。
5.根据权利要求1所记载的准分子灯，其特征在于，
所述另一方的电极是以包围所述筒管的方式环绕的线圈状。
6.根据权利要求1所记载的准分子灯，其特征在于，
在所述发光管的管壁的内表面形成含有荧光体的荧光体层，所述荧光体接受作为激励光的准分子光而放射紫外线，所述准分子光是通过从准分子发光气体生成准分子而产生的。
7.根据权利要求1所记载的准分子灯，其特征在于，
所述另一方的电极以沿所述筒管的管轴延伸的方式配置，
所述另一方的电极的至少一部分与筒管的外表面紧贴，在该紧贴区域中，使所述一方的电极和该另一方的电极隔着筒管的管壁在至少一个部位相对。
8.根据权利要求7所记载的准分子灯，其特征在于，
所述一方的电极在所述紧贴区域中以与所述筒管的内表面接触的状态设置。
9.根据权利要求7所记载的准分子灯，其特征在于，
所述另一方的电极在所述紧贴区域以外的区域中与所述筒管的外表面分离，在该紧贴区域以外的区域中通过夹在该另一方的电极和该筒管的外表面之间的空间而形成准分子放电空间。
10.根据权利要求7所记载的准分子灯，其特征在于，
所述另一方的电极在所述紧贴区域以外的区域的至少一部分中与所述发光管的内表面接触。
11.一种准分子灯，具有封入有准分子发光用气体的石英玻璃制的发光管、和用于产生介质阻挡放电的一对电极，所述准分子灯的特征在于，
所述一对电极的一方的电极在形成于所述发光管的内部空间中的发光空间以沿着发光管的管轴方向延伸的方式配置，
所述一对电极的另一方的电极在所述发光管的管壁的内部以沿着发光管的管轴方向延伸的方式埋设，
所述一方的电极与气密地埋设在发光管的端部的导电箔电连接。
12.根据权利要求11所记载的准分子灯，其特征在于，
在所述发光管的内表面形成包含荧光体的荧光体层，所述荧光体接受作为激励光的准分子光而放射紫外线，所述准分子光是通过从准分子发光气体生成准分子而产生的。
13.根据权利要求12所记载的准分子灯，其特征在于，
所述荧光体放射波长300nm以下的光。
14.根据权利要求11所记载的准分子灯，其特征在于，
所述另一方的电极通过与配置在所述发光管的外部的供电用电极的电感耦合而被供电。
CN201280059471.9A 2011-12-02 2012-11-29 准分子灯 Expired - Fee Related CN103959431B (zh)

Applications Claiming Priority (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011-264384 2011-12-02
JP2011264384A JP2013118072A (ja) 2011-12-02 2011-12-02 紫外線放電ランプ
JP2011-275476 2011-12-16
JP2011275476A JP5640966B2 (ja) 2011-12-16 2011-12-16 エキシマランプ
JP2012-018151 2012-01-31
JP2012018151A JP5640998B2 (ja) 2012-01-31 2012-01-31 エキシマランプ
PCT/JP2012/080938 WO2013081054A1 (ja) 2011-12-02 2012-11-29 エキシマランプ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN103959431A CN103959431A (zh) 2014-07-30
CN103959431B true CN103959431B (zh) 2016-06-29

Family

ID=48535503

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201280059471.9A Expired - Fee Related CN103959431B (zh) 2011-12-02 2012-11-29 准分子灯

Country Status (3)

Country Link
US (1) US9159545B2 (zh)
CN (1) CN103959431B (zh)
WO (1) WO2013081054A1 (zh)

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5741603B2 (ja) * 2013-01-30 2015-07-01 ウシオ電機株式会社 エキシマランプ
JP6428196B2 (ja) * 2014-11-25 2018-11-28 ウシオ電機株式会社 エキシマ放電ランプ装置
JP5828364B1 (ja) * 2015-02-04 2015-12-02 ウシオ電機株式会社 エキシマ放電ランプ
ITUB20159319A1 (it) * 2015-12-29 2017-06-29 Carlo Rupnik Concentratore tubolare per irraggiamento concentrico di onde elettromagnetiche
CN106783526A (zh) * 2016-12-26 2017-05-31 上海开若纳科技有限公司 一种大尺寸准分子灯
CN110832313B (zh) * 2017-06-21 2023-08-15 株式会社岛津制作所 水质测定装置和水质测定方法
JP7206810B2 (ja) * 2018-10-30 2023-01-18 ウシオ電機株式会社 気体処理装置
EP3648143B1 (en) * 2018-11-05 2021-05-19 Xylem Europe GmbH Vacuum ultraviolet excimer lamp with a thin wire inner electrode
JP7386074B2 (ja) * 2019-12-25 2023-11-24 株式会社オーク製作所 エキシマランプおよびエキシマランプの管内設置方法
JP2021118066A (ja) * 2020-01-24 2021-08-10 ウシオ電機株式会社 エキシマランプ、光照射装置
JP6948606B1 (ja) * 2020-08-28 2021-10-13 ウシオ電機株式会社 エキシマランプ及び光照射装置

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1822312A (zh) * 2005-02-17 2006-08-23 优志旺电机株式会社 准分子灯
CN1947219A (zh) * 2004-04-08 2007-04-11 千工程股份有限公司 电介质阻挡放电准分子光源
CN101170045A (zh) * 2006-10-23 2008-04-30 财团法人工业技术研究院 电介质屏障放电灯
CN101874285A (zh) * 2007-11-26 2010-10-27 奥斯兰姆有限公司 双管配置的介电阻挡放电灯
CN101878518A (zh) * 2007-11-28 2010-11-03 皇家飞利浦电子股份有限公司 电介质阻挡放电灯

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2775699B2 (ja) * 1994-09-20 1998-07-16 ウシオ電機株式会社 誘電体バリア放電ランプ
JP3025414B2 (ja) * 1994-09-20 2000-03-27 ウシオ電機株式会社 誘電体バリア放電ランプ装置
US6194821B1 (en) * 1997-02-12 2001-02-27 Quark Systems Co., Ltd. Decomposition apparatus of organic compound, decomposition method thereof, excimer UV lamp and excimer emission apparatus
CA2224699A1 (en) 1997-12-12 1999-06-12 Resonance Ltd. Hollow electrode electrodeless lamp
JP3458757B2 (ja) * 1999-03-30 2003-10-20 ウシオ電機株式会社 誘電体バリア放電ランプ装置
DE19919169A1 (de) 1999-04-28 2000-11-02 Philips Corp Intellectual Pty Vorrichtung zur Desinfektion von Wasser mit einer UV-C-Gasentladungslampe
US6825620B2 (en) 1999-06-21 2004-11-30 Access Business Group International Llc Inductively coupled ballast circuit
CA2375336C (en) * 1999-06-21 2008-04-01 Amway Corporation Fluid treatment system
JP2003112179A (ja) * 2001-10-04 2003-04-15 Photoscience Japan Corp 紫外線照射装置及び紫外線光源
JP4146666B2 (ja) * 2002-04-30 2008-09-10 浜松ホトニクス株式会社 誘電体バリア放電ランプおよび光照射装置
JP2003337432A (ja) * 2002-05-20 2003-11-28 Tsukuba Semi Technology:Kk 機能水を使ったレジスト除去方法、およびその装置
JP2004227820A (ja) * 2003-01-21 2004-08-12 Iwasaki Electric Co Ltd 放電ランプ
WO2005098903A1 (ja) 2004-04-08 2005-10-20 Sen Engineering Co., Ltd. 誘電体バリア放電エキシマ光源
JP3887641B2 (ja) * 2004-04-08 2007-02-28 センエンジニアリング株式会社 誘電体バリア放電エキシマ光源
JP2006202603A (ja) * 2005-01-20 2006-08-03 Quark Systems Co Ltd エキシマランプ
JP2008529235A (ja) * 2005-01-28 2008-07-31 コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ 誘電バリア放電ランプを備えた処理装置
EP2143132B1 (en) * 2007-04-18 2016-10-19 Philips Lighting Holding B.V. Dielectric barrier discharge lamp
JP4952394B2 (ja) * 2007-06-21 2012-06-13 ウシオ電機株式会社 エキシマ光照射装置
JP5074248B2 (ja) 2008-03-14 2012-11-14 株式会社オーク製作所 エキシマランプ
KR101949075B1 (ko) * 2010-06-04 2019-02-15 액세스 비지니스 그룹 인터내셔날 엘엘씨 사용 현장의 물 처리 시스템, 유체 처리 시스템, 및 램프 조립체를 작동시키는 방법

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1947219A (zh) * 2004-04-08 2007-04-11 千工程股份有限公司 电介质阻挡放电准分子光源
CN1822312A (zh) * 2005-02-17 2006-08-23 优志旺电机株式会社 准分子灯
CN101170045A (zh) * 2006-10-23 2008-04-30 财团法人工业技术研究院 电介质屏障放电灯
CN101874285A (zh) * 2007-11-26 2010-10-27 奥斯兰姆有限公司 双管配置的介电阻挡放电灯
CN101878518A (zh) * 2007-11-28 2010-11-03 皇家飞利浦电子股份有限公司 电介质阻挡放电灯

Also Published As

Publication number Publication date
US9159545B2 (en) 2015-10-13
WO2013081054A1 (ja) 2013-06-06
US20150035429A1 (en) 2015-02-05
CN103959431A (zh) 2014-07-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN103959431B (zh) 准分子灯
EP1596420B1 (en) Dielectric barrier discharge lamp
US7224111B2 (en) Dielectric barrier discharge lamp with a base
CA2392373C (en) Dielectric-barrier discharge lamp
EP1615257B1 (en) Dielectric barrier discharge lamp
JP2013118072A (ja) 紫外線放電ランプ
KR101174989B1 (ko) 이중 튜브로서 구성된 유전체 장벽 방전 램프
KR20190056838A (ko) 자외선 살균 램프 및 자외선 살균 모듈
TWI264037B (en) Dielectric barrier discharge lamp, and ultraviolet-ray irradiation device
US20080224614A1 (en) Looped Frame Arc Tube Mounting Assembly for Metal Halide Lamp
JP5271762B2 (ja) 放電ランプ
JP5640998B2 (ja) エキシマランプ
KR20190115410A (ko) 엑시머 램프, 광조사 장치, 및, 오존 발생 장치
US7863816B2 (en) Dielectric barrier discharge lamp
JP2022506922A (ja) 細ワイヤ内部電極を有する真空紫外エキシマランプ
TW543074B (en) Discharge lamp and ultra-violet light irradiation apparatus
KR20190056845A (ko) 자외선 살균 램프 및 자외선 살균 모듈
JP5640966B2 (ja) エキシマランプ
JP3121696B2 (ja) 放電ランプ
CN103858206A (zh) 具有盘绕电线点火辅助设备的高强度放电灯
JP2000149867A (ja) 放電ランプ
JP2007095550A (ja) 低圧放電灯および照明器具

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20160629

Termination date: 20201129