JP3887641B2 - 誘電体バリア放電エキシマ光源 - Google Patents
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Description
図1及び図2を参照してこの発明の第1の誘電体バリア放電エキシマ光源の構造及びその動作原理を説明する。図1は、この発明の第1の誘電体バリア放電エキシマ光源を、アノードの長尺方向と直交する方向に沿って切断した概略的横断面図である。図2は、この発明の誘電体バリア放電エキシマ光源を、アノードの長尺方向と平行な向きに沿って切断した概略的縦断面図である。
図3を参照してこの発明の第2の誘電体バリア放電エキシマ光源の構造を説明する。図3は、この発明の第2の誘電体バリア放電エキシマ光源を、アノードの長尺方向と直交する方向に沿って切断した概略的横断面図である。また、アノードの長尺方向と平行な面内での概略的縦断面図は、図2と同様であるので、省略する。また以下の説明において、原則として、光源の横断面図のみを示し、図2と同様の縦断面図は、特に必要である場合を除き省略する。
図4を参照してこの発明の第3の誘電体バリア放電エキシマ光源の構造を説明する。図4は、この発明の第3の誘電体バリア放電エキシマ光源を、アノードの長尺方向と直交する方向に沿って切断した概略的横断面図である。また、アノードの長尺方向と平行な概略的縦断面図は、図2と同様であるので、省略する。
図5を参照してこの発明の第4の誘電体バリア放電エキシマ光源の構造を説明する。この発明の第4の誘電体バリア放電エキシマ光源が、上述の実施例1〜3と異なる点は、単体のアノードに代えて、誘電体で被覆された、真っ直ぐな長尺の筒状体からなる複数のアノードが、真っ直ぐな長尺の管状体に平行であるように並列をなして配置されて構成されるアノード群を具える点である。
図6を参照して、この発明の第5の誘電体バリア放電エキシマ光源の構造を説明する。図6は、この発明の第5の誘電体バリア放電エキシマ光源を、アノードの長尺方向と直交する方向に沿って切断した概略的横断面図である。また、図面が煩瑣になることを避けるために、上述の図1〜5において示されている、高電圧パルス電圧電源18、導入導線14、22、及び被照射物体24を省略して示してある。以後において説明する、実施例6から実施例8の誘電体バリア放電エキシマ光源の説明のために参照する図7から図9においても、同様に高電圧パルス電圧電源18、導入導線14、22、及び被照射物体24を図示することを省略してある。
図7を参照して、この発明の第6の誘電体バリア放電エキシマ光源の構造を説明する。図7は、この発明の第6の誘電体バリア放電エキシマ光源を、アノードの長尺方向と直交する方向に沿って切断した概略的横断面図である。
図8を参照して、この発明の第7の誘電体バリア放電エキシマ光源の構造を説明する。図8は、この発明の第7の誘電体バリア放電エキシマ光源を、アノードの長尺方向と直交する方向に沿って切断した概略的横断面図である。
図9を参照して、この発明の第8の誘電体バリア放電エキシマ光源の構造を説明する。図9は、この発明の第8の誘電体バリア放電エキシマ光源を、アノードの長尺方向と直交する方向に沿って切断した概略的横断面図である。
図10を参照してこの発明の第9の誘電体バリア放電エキシマ光源の構造を説明する。この発明の第9の誘電体バリア放電エキシマ光源が、上述の実施例4と異なる点は、真っ直ぐな半管状体の長尺方向に沿って平行に付加的な棒状の導体102及び104をカソードワイヤー群16と平行な同一平面上に並べて配置した構成としてあることである。棒状の導体102及び104はカソードと同電位に設定される。
図11(A)を参照してこの発明の第10の誘電体バリア放電エキシマ光源のアノード115の構造につき説明する。アノード115は、アノード電極110及びそれを被覆する誘電体112とから構成されている。図11(A)は、アノード電極110及びそれを被覆する誘電体112をそれらの長尺方向に垂直な平面で切断して示した概略的横断面図である。アノード電極110は、半円筒形部分110aとこの半円筒形部分110aの長尺方向に沿った両端から、それぞれこの半円筒形部分110aの内側の方向に向かって丸め込まれている丸め込み部分110bとを有し、2つの丸め込み部分110bは、互いに平行、かつ離間した先端縁110D-1及び110D-2を有している。この半円筒形部分110aの凸面110Sはカソードワイヤー群が配置されている方向に向けられて配置され、かつ筒状の誘電体112の内面に接触して設けられている。半円筒部分110aの横断面形状は、半筒形状であり、丸め込み部分110bの横断面形状は、誘電体112の内壁面から離間するような、湾曲形状とするのがよい。
図11(B)を参照してこの発明の第11の誘電体バリア放電エキシマ光源のアノード145につき説明する。アノード145は、アノード電極140及びそれを被覆する誘電体142とから構成されている。図11(B)は、アノード電極140及びそれを被覆する誘電体142をそれらの長尺方向に垂直な平面で切断して示したがい略的横断面図である。アノード電極140は、半矩形管形部分140aとこの半矩形管形部分140aの長尺方向に沿った両端から、それぞれこの半矩形管形部分140aの内側の方向に向かって丸め込まれている丸め込み部分140bとを有し、2つの丸め込み部分140bは、互いに平行、かつ離間した先端縁140D-1及び140D-2を有している。この半矩形管形部分140aの凸面(底面)140Sはカソードワイヤー群が配置されている方向に向けられて配置され、かつ矩形管形状の誘電体142の内面に接触して設けられている。半矩形管部分140aの横断面形状は、半管形状であり、丸め込み部分140bの横断面形状は、誘電体142の内壁面から離間するような、湾曲形状とするのがよい。
図12(A)及び(B)を参照して、第1参考例の誘電体バリア放電エキシマ光源の構造につき説明する。図12(A)は、アノード155を長尺方向に垂直な平面で切断して示した誘電体バリア放電エキシマ光源の概略的な横断面図である。アノード155はアノード電極150とアノード電極150を被覆する誘電体152とを具えて構成されている。図12(B)は、アノード155の長尺方向に沿って取って示した概略図的縦断面図であり、特に断面の切り口を示している。
図13を参照して、第2参考例の誘電体バリア放電エキシマ光源の構造につき説明する。第2参考例の誘電体バリア放電エキシマ光源が、上述の第1参考例の誘電体バリア放電エキシマ光源との相違点は、アノード155と螺旋形状体のカソードワイヤー160とが、反射体170の内部に配置されている点である。反射体170は、真っ直ぐな長尺の半筒状体であって、この半筒状体の長尺方向と、アノード155を構成する筒状体の中心軸及び螺旋形状体の金属性のカソードワイヤー160の中心軸とが平行に配置されている。
図14を参照して、第3参考例の誘電体バリア放電エキシマ光源の構造につき説明する。第3参考例の誘電体バリア放電エキシマ光源は、第2参考例の、誘電体バリア放電エキシマ光源に用いた、誘電体152で被覆されたアノード155とカソードワイヤー160とから構成される同軸形放電電極ユニット182、184及び186を複数具えて構成される点である。この同軸形放電電極ユニット182、184及び186は、中心軸が互いに平行となるように、並列をなして、一つの反射体180の内部に複数個配置されている。
図15(A)及び(B)を参照して、この発明の第12の誘電体バリア放電エキシマ光源の構造につき説明する。図15(A)は、この発明の第12の誘電体バリア放電エキシマ光源の概略的な横断面図であり、図15(B)は、縦断面図であって、特に断面の切り口を示している。この発明の第12の誘電体バリア放電エキシマ光源の電極の構造の特徴は、第10の誘電体バリア放電エキシマ光源のアノード115及びそれを被覆する誘電体112の構造と同一の電極を具えている点と、第1参考例の誘電体バリア放電エキシマ光源の螺旋形状体の金属性のカソードワイヤー160とを具えて構成される点である。この筒状体の中心軸と螺旋形状体の中心軸とが一致した状態で、アノード115をカソードワイヤー160が、取り囲むように配置して構成される。
図16を参照して、第4参考例の誘電体バリア放電エキシマ光源の構造につき説明する。図16は、第4参考例の誘電体バリア放電エキシマ光源の概略的な縦断面図であって、特に、断面の切り口を示している。第4参考例の誘電体バリア放電エキシマ光源は、真っ直ぐな長尺の筒状体からなるアノード電極190と、このアノード電極を被覆する誘電体192で構成されている、真っ直ぐな長尺の筒状体からなるアノード195と、螺旋形状体の金属性のカソードワイヤー194とを具える。そして、筒状体の中心軸と螺旋形状体の中心軸とが一致した状態で、アノード195をカソードワイヤー194が、取り囲むように配置して構成される。また、カソードワイヤー194及びアノード195は、発光波長に対して透明である誘電体材料で作製された管200の内部に設置されており、発光波長に対して透明である誘電体材料で作製された管200によって、カソードワイヤー194及びアノード195が封止されている。
(1)誘電体カバーを具えたアノードを取り囲むカソードを有し、取り出し窓のない放射器構造のVUVでの放射を得るための破壊電圧を低下させた高圧誘電体バリア放電エキシマ光源であって、前記カソードの少なくとも一方の側は2 mmを最大でも越えない太さのワイヤーで製造されており、前記カソードは前記アノード軸と直交して、または前記アノード軸と直交する方向と小さな角度(15°以下)で並列をなす数個のワイヤピースセットで構成され、前記アノード電極には正の単極性高電圧パルスが印加され、前記カソードは接地されており、照射される物体での放射強度を増加するためにカソード表面部が反射器として使用される誘電体バリア放電エキシマ光源。
(2)前記誘電体カバーを具えた前記アノードが並列をなす数個のアノードのセットとして製造され、1つのカソードで取り囲まれている、前記(1)に記載の誘電体バリア放電エキシマ光源。
(3)前記カソードおよび前記誘電体カバーを具えたアノードが互いに近接して並列をなす数個のセクションセットとして製造されている、前記(1)に記載の誘電体バリア放電エキシマ光源。
(4)前記カソードが矩形または正方形の断面を有する、前記(1)〜(3)のいずれか一項に記載の誘電体バリア放電エキシマ光源。
(5)前記カソードが半分のセグメントで構成されている、前記(1)又は(3)に記載の誘電体バリア放電エキシマ光源。
(7)前記アノードが矩形または正方形の断面の誘電体管中に設定されている、前記(1)、(2)、(3)又は(4)に記載の誘電体バリア放電エキシマ光源。
(8)前記アノードが円筒形誘電体管中に設定されている、前記(1)、(2)、(3)、(4)、(5)又は(6)に記載の誘電体バリア放電エキシマ光源。
(9)前記カソードがアノードを取り囲む誘電体管の間の平面内に設置された追加の伝導を有する、前記(1)、(2)又は(8)に記載の誘電体バリア放電エキシマ光源。
(10)前記アノードがその凸側がカソードワイヤーの方向を向いた円形エッジを有する半分のセグメントとして製造されている、前記(1)〜(9)のいずれかに記載の誘電体バリア放電エキシマ光源。
前記カソードは、太さが2 mm以下の金属ワイヤーで螺旋状に作られており、正の単極性パルスがアノードの内部電極に印加され、前記カソードが接地されている誘電体バリア放電エキシマ光源。
(12)前記カソードおよびアノードが反射器の中に配置されている、前記(11)に記載の誘電体バリア放電エキシマ光源。
(13)前記カソードおよびアノードが1つの反射器の中に配置された数個の平列なセクションで構成されている、前記(11)〜(12)のいずれかに記載の誘電体バリア放電エキシマ光源。
(14)前記アノードが、半円筒形部分とこの半円筒形部分の長尺方向に沿った両端からそれぞれこの半円筒形部の内側の方向に向かって丸め込まれている丸め込み部分とを有する形状に作られている、前記(11)、(12)又は(13)のいずれか記載されている誘電体バリア放電エキシマ光源。
(15)前記カソードが動作波長で透過性を有する誘電体管の中に挿入され、かつ封止不要型光源として作られている、紫外光、真空紫外光及び可視光域用の前記(11)に記載の誘電体バリア放電エキシマ光源。
(16)前記誘電体バリア放電エキシマ光源を冷却するために、冷却液またはガスがアノードの内側空洞中に注入される、前記(1)〜(15)のいずれかに記載の誘電体バリア放電エキシマ光源。
12、42、62、68、112、142、152、192、312:誘電体
15、45、115、145、155、195、315:アノード
14、22:導入導線
16、316:カソードワイヤー群
18、300、330:高電圧パルス電源
20、30、50:カソード部分
24:被照射物体
25、35、55:カソード
64、70:アノード群
80、82、84、86、88、90、92、94、96:放電電極ユニット
102、104:棒状の導体
160、194:カソードワイヤー
170:反射体
182、184、186:同軸形放電電極ユニット
200:誘電体材料で作製された管
320:誘電体バリア放電エキシマ光源
322:静電容量がCdであるコンデンサー
324:抵抗値がRgapである可変抵抗
326:静電容量がCgであるコンデンサー
Claims (26)
- 誘電体と、該誘電体で被覆されていて真っ直ぐな長尺の中空の筒状体からなるアノード電極とを有するアノードと、
該アノードを取り囲む長尺のカソードであって、真っ直ぐな半筒状体と、該半筒状体に、互いに平行に固定された複数のワイヤーからなるカソードワイヤー群とを有する当該カソードとを具え、
前記アノードと前記カソードとは長尺方向に沿って互いに平行に配置されており、
該アノードと対向する側の該カソードの表面は真空紫外スペクトル領域の輻射を反射する反射面が形成されている
ことを特徴とする誘電体バリア放電エキシマ光源。 - 請求項1に記載の誘電体バリア放電エキシマ光源であって、
前記カソードワイヤー群を構成する複数の前記ワイヤーは、真っ直ぐな前記半筒状体の長尺方向に沿った両端間に張られており、
前記カソードワイヤー群を構成する複数の前記ワイヤーの直径は2 mmを越えない太さであり、
真っ直ぐな前記半筒状体の長尺方向と、該ワイヤーの長さ方向とのなす角度は、直交もしくは直交する位置からの角度ずれが15°を越えない範囲内の角度に設定されている
ことを特徴とする誘電体バリア放電エキシマ光源。 - 誘電体と、該誘電体で被覆されていて真っ直ぐな長尺の中空の筒状体からなるアノード電極とを有するアノードと、
該アノードを取り囲む長尺のカソードであって、真っ直ぐな長尺方向に垂直な断面の形状がコの字形状である三面からなる半管状体と、該半管状体に互いに平行に固定された複数のワイヤーからなるカソードワイヤー群とを有する当該カソードとを具え、
前記アノードと前記カソードとは長尺方向に沿って互いに平行に配置されており、
該アノードと対向する側の該カソードの表面は真空紫外スペクトル領域の輻射を反射する反射面が形成されている
ことを特徴とする誘電体バリア放電エキシマ光源。 - 請求項3に記載の誘電体バリア放電エキシマ光源であって、
前記カソードワイヤー群を構成する複数の前記ワイヤーは、真っ直ぐな前記半管状体の長尺方向に沿った両端間に張られており、
前記カソードワイヤー群を構成する複数の前記ワイヤーの直径は2 mmを越えない太さであり、
真っ直ぐな前記半管状体の長尺方向と、該ワイヤーの長さ方向とのなす角度は、直交もしくは直交する位置からの角度ずれが15°を越えない範囲内の角度に設定されている
ことを特徴とする誘電体バリア放電エキシマ光源。 - 誘電体と、該誘電体で被覆されていて真っ直ぐな長尺方向に垂直な断面の形状が矩形である四面からなる中空の管状体からなるアノード電極とを有するアノードと、
該アノードを取り囲む長尺のカソードであって、真っ直ぐな長尺方向に垂直な断面の形状がコの字形状である三面からなる半管状体と、該半管状体に互いに平行に固定された複数のワイヤーからなるカソードワイヤー群とを有する当該カソードとを具え、
前記アノードと前記カソードとは長尺方向に沿って互いに平行に配置されており、
該アノードと対向する側の該カソードの表面は真空紫外スペクトル領域の輻射を反射する反射面が形成されている
ことを特徴とする誘電体バリア放電エキシマ光源。 - 請求項5に記載の誘電体バリア放電エキシマ光源であって、
前記カソードワイヤー群を構成する複数の前記ワイヤーは、真っ直ぐな前記半管状体の長尺方向に沿った両端間に張られており、
前記カソードワイヤー群を構成する複数の前記ワイヤーの直径は2 mmを越えない太さであり、
真っ直ぐな前記半管状体の長尺方向と、該ワイヤーの長さ方向とのなす角度は、直交もしくは直交する位置からの角度ずれが15°を越えない範囲内の角度に設定されている
ことを特徴とする誘電体バリア放電エキシマ光源。 - 誘電体と、該誘電体で被覆されていて真っ直ぐな長尺の中空の筒状体からなるアノード電極とを有するアノードが、
該真っ直ぐな長尺の筒状体に平行であるように複数並列をなして配置されて構成されるアノード群と、
該アノード群を取り囲む長尺のカソードであって、真っ直ぐな長尺方向に垂直な断面の形状がコの字形状である三面からなる半管状体に、互いに平行に固定された複数のワイヤーからなるカソードワイヤー群とを有するカソードとを具え、
前記アノードと前記カソードとは長尺方向に沿って互いに平行に配置されており、
前記アノード群と対向する側の該カソードの表面は真空紫外スペクトル領域の輻射を反射する反射面が形成されている
ことを特徴とする誘電体バリア放電エキシマ光源。 - 請求項7に記載の誘電体バリア放電エキシマ光源であって、
前記カソードワイヤー群を構成する複数の前記ワイヤーは、真っ直ぐな前記半管状体の長尺方向に沿った両端間に張られており、
前記カソードワイヤー群を構成する複数の前記ワイヤーの直径は2 mmを越えない太さであり、
真っ直ぐな前記半管状体の長尺方向と、該ワイヤーの長さ方向とのなす角度は、直交もしくは直交する位置からの角度ずれが15°を越えない範囲内の角度に設定されている
ことを特徴とする誘電体バリア放電エキシマ光源。 - 誘電体と、該誘電体で被覆されていて真っ直ぐな長尺方向に垂直な断面の形状が矩形である四面からなる中空の管状体からなるアノード電極とを有するアノードが、
該真っ直ぐな長尺の管状体に平行であるように複数並列をなして配置されて構成されるアノード群と、
該アノード群を取り囲む長尺のカソードであって、真っ直ぐな長尺方向に垂直な断面の形状がコの字形状である三面からなる半管状体に、互いに平行に固定された複数のワイヤーからなるカソードワイヤー群とを有する当該カソードとを具え、
前記アノードと前記カソードとは長尺方向に沿って互いに平行に配置されており、
前記アノード群と対向する側の該カソードの表面は真空紫外スペクトル領域の輻射を反射する反射面が形成されている
ことを特徴とする誘電体バリア放電エキシマ光源。 - 請求項9に記載の誘電体バリア放電エキシマ光源であって、
前記カソードワイヤー群を構成する複数の前記ワイヤーは、真っ直ぐな前記半管状体の長尺方向に沿った両端間に張られており、
前記カソードワイヤー群を構成する複数の前記ワイヤーの直径は2 mmを越えない太さであり、
真っ直ぐな前記半管状体の長尺方向と、該ワイヤーの長さ方向とのなす角度は、直交もしくは直交する位置からの角度ずれが15°を越えない範囲内の角度に設定されている
ことを特徴とする誘電体バリア放電エキシマ光源。 - 誘電体と、該誘電体で被覆されていて真っ直ぐな長尺の中空の筒状体からなるアノード電極とを有するアノードと、該アノードを取り囲む長尺のカソードであって、真っ直ぐな半筒状体と該半筒状体に、互いに平行に固定された複数のワイヤーからなるカソードワイヤー群とを有する当該カソードとを具える放電電極ユニットが、長尺の方向に平行に並列をなして配置されて構成される放電電極ユニット群を具え、
前記アノードと対向する側の前記カソードの表面は真空紫外スペクトル領域の輻射を反射する反射面が形成されている
ことを特徴とする誘電体バリア放電エキシマ光源。 - 請求項11に記載の誘電体バリア放電エキシマ光源であって、
前記カソードワイヤー群を構成する複数の前記ワイヤーは、真っ直ぐな前記半筒状体の長尺方向に沿った両端間に張られており、
前記カソードワイヤー群を構成する複数の前記ワイヤーの直径は2 mmを越えない太さであり、
真っ直ぐな前記半筒状体の長尺方向と、該ワイヤーの長さ方向とのなす角度は、直交もしくは直交する位置からの角度ずれが15°を越えない範囲内の角度に設定されている
ことを特徴とする誘電体バリア放電エキシマ光源。 - 誘電体と、該誘電体で被覆されていて真っ直ぐな長尺の中空の筒状体からなるアノード電極とを有するアノードと、該アノードを取り囲む長尺のカソードであって、真っ直ぐな長尺方向に垂直な断面の形状がコの字形状である三面からなる半管状体と該半管状体に、互いに平行に固定された複数のワイヤーからなるカソードワイヤー群を有する当該カソードとを具える放電電極ユニットが長尺の方向に平行に並列をなして配置されて構成される放電電極ユニット群を具え、
前記アノードと対向する側の前記カソードの表面は真空紫外スペクトル領域の輻射を反射する反射面が形成されている
ことを特徴とする誘電体バリア放電エキシマ光源。 - 請求項13に記載の誘電体バリア放電エキシマ光源であって、
前記カソードワイヤー群を構成する複数の前記ワイヤーは、真っ直ぐな前記半管状体の長尺方向に沿った両端間に張られており、
前記カソードワイヤー群を構成する複数の前記ワイヤーの直径は2 mmを越えない太さであり、
真っ直ぐな前記半管状体の長尺方向と、該ワイヤーの長さ方向とのなす角度は、直交もしくは直交する位置からの角度ずれが15°を越えない範囲内の角度に設定されている
ことを特徴とする誘電体バリア放電エキシマ光源。 - 誘電体と、該誘電体で被覆されていて真っ直ぐな長尺方向に垂直な断面の形状が矩形である四面からなる中空の管状体からなるアノード電極とを有するアノードと、該アノードを取り囲む長尺のカソードであって、真っ直ぐな長尺方向に垂直な断面の形状がコの字形状である三面からなる半管状体と該半管状体に、互いに平行に固定された複数のワイヤーからなるカソードワイヤー群とを有する当該カソードとを具える放電電極ユニットが、長尺の方向に平行に並列をなして配置されて構成される放電電極ユニット群を具え、
前記アノードと対向する側の前記カソードの表面は真空紫外スペクトル領域の輻射を反射する反射面が形成されている
ことを特徴とする誘電体バリア放電エキシマ光源。 - 請求項15に記載の誘電体バリア放電エキシマ光源であって、
前記カソードワイヤー群を構成する複数の前記ワイヤーは、真っ直ぐな前記半管状体の長尺方向に沿った両端間に張られており、
前記カソードワイヤー群を構成する複数の前記ワイヤーの直径は2 mmを越えない太さであり、
真っ直ぐな前記半管状体の長尺方向と、該ワイヤーの長さ方向とのなす角度は、直交もしくは直交する位置からの角度ずれが15°を越えない範囲内の角度に設定されている
ことを特徴とする誘電体バリア放電エキシマ光源。 - 請求項7〜10のいずれか一項に記載の誘電体バリア放電エキシマ光源であって、
前記カソードは、前記アノード群と前記カソードワイヤー群との間に、真っ直ぐな前記半管状体の長尺方向に平行な複数の棒状の付加的な導体が一平面上に並べて配置されている
ことを特徴とする誘電体バリア放電エキシマ光源。 - 請求項1〜4、7、8、11〜14のいずれか一項に記載の誘電体バリア放電エキシマ光源であって、
前記アノード電極が半円筒形であって、該半円筒形の凸面が、前記カソードワイヤー群が配置されている方向に向けられて設置され、かつ該半円筒形の長尺方向に沿った端の形状が、該半円筒形の内側の方向に向かって丸め込まれる形状に構成されている
ことを特徴とする誘電体バリア放電エキシマ光源。 - 請求項5、6、9、10、15、16のいずれか一項に記載の誘電体バリア放電エキシマ光源であって、
前記アノード電極が矩形の半管形であって、該矩形の半管形の底面が、前記カソードワイヤー群が配置されている方向に向けられて設置され、かつ該矩形の半管形の長尺方向に沿った端の形状が、該矩形の半管形の内側の方向に向かって丸め込まれる形状に構成されている
ことを特徴とする誘電体バリア放電エキシマ光源。 - 誘電体と、該誘電体で被覆されていて真っ直ぐな長尺の中空の筒状体からなるアノード電極とを有するアノードと、
螺旋形状体の金属性のカソードワイヤーとを具え、
前記筒状体の中心軸と前記螺旋形状体の中心軸とが一致した状態で、該アノードを該カソードワイヤーが、取り囲むように配置して構成される誘電体バリア放電エキシマ光源であって、
前記アノード電極が半円筒形であって、該半円筒形の長尺方向に沿った端の形状が、該半円筒形の内側の方向に向かって丸め込まれる形状に構成されている
ことを特徴とする誘電体バリア放電エキシマ光源。 - 誘電体と、該誘電体で被覆されていて真っ直ぐな長尺の中空の筒状体からなるアノード電極とを有するアノードと、
螺旋形状体の金属性のカソードワイヤーとを具え、
前記筒状体の中心軸と前記螺旋形状体の中心軸とが一致した状態で、該アノードを該カソードワイヤーが、取り囲むように配置して構成される同軸形放電電極ユニットが、反射体の内部に配置されており、
該反射体は、真っ直ぐな長尺の半筒状体であって、該半筒状体の長尺方向と、前記筒状体の中心軸及び前記螺旋形状体の中心軸とが平行に配置されている誘電体バリア放電エキシマ光源であって、
前記アノード電極が半円筒形であって、該半円筒形の長尺方向に沿った端の形状が、該半円筒形の内側の方向に向かって丸め込まれる形状に構成されている
ことを特徴とする誘電体バリア放電エキシマ光源。 - 誘電体と、該誘電体で被覆されていて真っ直ぐな長尺の中空の筒状体からなるアノード電極とを有するアノードと、
螺旋形状体の金属性のカソードワイヤーとを具え、
前記筒状体の中心軸と前記螺旋形状体の中心軸とが一致した状態で、該アノードを該カソードワイヤーが、取り囲むように配置して構成される同軸形放電電極ユニットが、互いの中心軸が平行であるように複数個が並列をなして、一つの反射体の内部に配置されており、
該反射体は、長尺方向に垂直な断面の形状がコの字形状である三面からなる半管状体である誘電体バリア放電エキシマ光源であって、
前記アノード電極が半円筒形であって、該半円筒形の長尺方向に沿った端の形状が、該半円筒形の内側の方向に向かって丸め込まれる形状に構成されている
ことを特徴とする誘電体バリア放電エキシマ光源。 - 請求項1〜22のいずれか一項に記載の誘電体バリア放電エキシマ光源であって、
冷却用の液体または気体がアノードの筐体内部を循環することが可能である構造として構成されている
ことを特徴とする誘電体バリア放電エキシマ光源。 - 請求項20〜23のいずれか一項に記載の誘電体バリア放電エキシマ光源であって、
前記螺旋形状のカソードワイヤーの直径は2 mmを越えない太さである
ことを特徴とする誘電体バリア放電エキシマ光源。 - 請求項1〜24のいずれか一項に記載の誘電体バリア放電エキシマ光源であって、
前記アノードと前記カソードとの間隔が2 mmであることを特徴とする誘電体バリア放電エキシマ光源。 - 請求項1〜24のいずれか一項に記載の誘電体バリア放電エキシマ光源であって、
前記アノードと前記カソードとが接触していることを特徴とする誘電体バリア放電エキシマ光源。
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