CN103443003A - 板状构件翻转***及板状构件翻转***的翻转移送方法 - Google Patents

Abstract

本发明的将多个板状构件依次翻转并移送的板状构件翻转***具备第二三角式机械手（60）、翻转装置（61）、和第二移送装置（62）。第二三角式机械手（60）能够依次保持板状构件（12）并向翻转装置（61）移载。翻转装置（61）形成为通过第二三角式机械手（60）使所述板状构件以水平姿势被移载，以开放所述板状构件（12）的上表面的状态吸附保持被移载的所述板状构件（12）并翻转板状构件（12）的上下表面的结构。又，第二移送装置（62）从翻转装置（61）接收被翻转的板状构件（12），并将该板状构件（12）以翻转的状态且水平状态移送。

Description

板状构件翻转***及板状构件翻转***的翻转移送方法

技术领域

本发明涉及用于翻转薄膜和玻璃板等的板状构件的板状构件移送***及板状构件翻转***的翻转移送方法。

背景技术

在加工处理中，存在要求对薄膜和玻璃板等的板状构件的两面实施加工处理的情况。此时，应用对板状构件的表面实施加工处理后翻转板状构件的翻转装置。作为该翻转装置的一个示例，例如有专利文献1记载的移载机械手。

专利文献1中记载的翻转装置具有板材保持框体，在板材保持框体上形成有支持移送过来的板材的一面侧的缘部和相反面侧的缘部的固定片和可动片。翻转装置通过该固定片和可动片分别支持板材的两面，并且通过转动板材保持框体从而翻转板材。

现有技术文献：

专利文献1：日本特开2011-1174号公报。

发明内容

发明要解决的问题：

然而，在专利文献1中记载的翻转装置中，仅仅抵接支持板材，因此板材在板状保持框体内移动。因此，当高速进行通过板状保持框体的翻转动作时，板材被此时的离心力在板状保持框体内向外侧被按压，有发生损伤的情况。又，在翻转装置中，由于保持板材的两个表面并翻转，因此存在实施了加工处理的表面受损的情况，从而不能应用于加工处理设备中。

因此，本发明的目的是提供能够高速翻转板状构件，并且能够不损伤上表面地翻转板状构件的板状构件翻转***及板状构件翻转***的翻转移送方法。

解决问题的手段：

本发明的翻转***是将多个板状构件依次翻转并移送的板状构件翻转***，其中，具备：执行将所述多个板状构件依次保持并移载的上游侧移载动作的上游侧移载机械手；由所述上游侧移载机械手保持的所述板状构件以水平姿势被移载，以所述板状构件的上表面开放的状态保持被移载的所述板状构件并执行翻转所述板状构件的上下表面的翻转动作的翻转装置；和从所述翻转装置接收被翻转的所述板状构件，将该板状构件以被翻转的状态且水平状态移送的移送装置。

根据本发明，通过保持板状构件，以此可以提高翻转速度，与此同时可以提高转移至移送装置时的板状构件的传递位置的精度。又，由于上表面开放，因此能够不损伤被移载的板状构件的上表面地翻转上下表面并传递给移送装置。

在上述发明中，优选的是具备为了使所述上游侧移载机械手、所述翻转装置及所述移送装置间歇性地工作而进行控制的控制装置；所述控制装置形成为在停止所述翻转装置的所述翻转动作并使所述上游侧移载机械手执行所述上游侧移载动作的期间内使所述移送装置执行移送动作的结构。

根据上述结构，通过使上游侧移载动作和移送动作重叠，以此可以缩短翻转装置的停止时间。借助于此可以缩短翻转并移送板状构件的时间。

在上述发明中，优选的是所述控制装置形成为在使所述上游侧移载机械手执行所述上游侧移载动作后，使所述上游侧移载机械手执行从所述翻转装置退避的退避动作，与此同时使所述翻转装置执行所述翻转动作的结构。

根据上述结构，通过控制翻转装置的动作，以此可以同时进行翻转动作和退避动作。借助于此，可以降低翻转装置的停止时间，可以缩短翻并移送转板状构件的时间。

在上述发明中，优选的是所述翻转装置具备将被载置的所述板状构件的下表面吸附并保持的吸附垫、和转动所述吸附垫而使所述板状构件翻转的翻转轴。

根据上述结构，通过吸附垫进行吸附以此保持板状构件，进一步使吸附垫转动而使板状构件翻转，因此可以对板状构件不施加不必要的力地进行保持并使其翻转。借助于此，在翻转各种形状和材质等的板状构件、例如厚度薄的薄膜那样的板状构件时也可以适用。

在上述发明中，优选的是所述控制装置形成为使所述翻转装置在执行所述翻转动作的同时通过所述吸附垫执行吸附动作的结构。

根据上述结构，尽管同时开始翻转动作和吸附动作，但是在翻转动作刚开始后不久板状构件被载置在吸附垫上，因此即使是像吸附动作开始后不久的吸附力那样的小的吸附力也可以吸附并保持板状构件。因此，可以同时开始翻转动作和吸附动作，可以减少翻转装置的停止时间。借助于此，可以缩短翻转并移送板状构件的时间。

在上述发明中，优选的是具备由所述控制装置控制其动作，保持并移载通过所述移送装置移送至移载结束位置的所述板状构件的下游侧移载机械手；所述控制装置形成为在停止所述移送装置的所述移送动作并使所述翻转装置执行所述翻转动作时，控制所述下游侧移载机械手而执行将由所述移送装置移送至所述移送结束位置的所述板状构件移载至规定位置的下游移载动作的结构。

根据上述结构，为了执行翻转动作而在移送装置停止时执行下游移载动作，因此可以有效利用移送装置停止的时间。借助于此，可以缩短移送装置的停止时间，可以缩短板状构件的移送时间。

在上述发明中，优选的是所述移送装置具有吸附移送的板状构件的下表面的吸附机构；所述吸附机构形成为在从所述翻转装置接收所述板状构件后开始吸附并在所述移送结束位置上解除吸附的结构。

根据上述结构，可以防止移送时在移送装置上的板状构件的偏移，可以保持规定的姿势的同时快速移动。借助于此，可以在更短时间内向移送结束位置移送，且可以提高板状构件在到达移送结束位置时的位置精度。

本发明的板状构件翻转***的翻转移送方法是具备如下结构的板状构件翻转***的板状构件翻转移送方法，包括：将所述多个板状构件依次保持并移载的上游侧移载机械手；由所述上游侧移载机械手保持的所述板状构件以水平姿势被移载，并以所述板状构件的上表面开放的状态保持被移载的所述板状构件并翻转所述板状构件的上下表面的翻转装置；和从所述翻转装置接收被翻转的所述板状构件，将该板状构件以被翻转的状态且水平状态移送的移送装置；其中，所述方法包括：通过所述第二移载机械手依次保持所述多个板状构件并向所述翻转装置移载的移载工序；通过所述翻转装置保持并翻转在所述移载工序中被移载的所述板状构件并传递给所述移送装置的翻转工序；通过移送装置移送在所述翻转工序中被翻转并传递的所述板状构件的移送工序。

根据上述结构，通过保持板状构件，可以提高翻转速度，与此同时可以提高传递给移送装置时的板状构件的传递位置的精度。又，由于上表面开放，因此可以不损伤被移载的板状构件的上表面地翻转上下表面并传递给移送装置。

发明效果：

根据本发明的翻转***及其翻转方法，可以高速翻转板状构件，与此同时可以不损伤上表面地翻转板状构件。

本发明的上述目的、其他目的、特征及优点在参照附图的基础上从以下的优选的实施形态的详细说明中得以明确。

附图说明

图1是示出具备本发明的翻转***的加工处理设备的俯视图；

图2是放大示出图1所示的移送***的放大俯视图；

图3是从右侧方观察图2所示的移送***的右视图；

图4是放大示出图2所示的升降装置的放大俯视图；

图5是从右侧方观察图4所示的升降装置的右视图；

图6A是放大示出图2所示的第一移送装置移送板状构件的状态的放大俯视图；

图6B是示出从图6A所示的第一移送装置去掉板状构件的状态；

图7是从右侧方观察图6B所示的第一移送装置的右视图；

图8是放大示出图1所示的翻转***的放大俯视图；

图9是从后方观察图8所示的翻转***的后视图；

图10是放大示出图8所示的翻转装置的放大俯视图；

图11是从后方观察图10所示的翻转装置的后视图；

图12是放大示出图8所示的第二移送装置的放大俯视图；

图13是从后方观察图12所示的第二移送装置的后视图；

图14是示出通过处理设备执行的设备处理的步骤的流程图；

图15是示出通过移送***执行的移送处理的步骤的流程图；

图16是示出移送处理中的升降装置、第一移送装置及第一三角式机械手（delta robot）的周期的图表；

图17示出通过翻转***执行的翻转处理的步骤的流程图；

图18A是图示在翻转处理中的工作中的翻转装置的后视图；

图18B是图示在翻转处理中的工作中的翻转装置的后视图；

图18C是图示在翻转处理中的工作中的翻转装置的后视图；

图18D是图示在翻转处理中的工作中的翻转装置的后视图；

图18E是图示在翻转处理中的工作中的翻转装置的后视图；

图18F是图示在翻转处理中的工作中的翻转装置的后视图；

图19是示出在翻转处理中的翻转装置及第二移送装置的周期的图表；

图20是示出通过收纳***执行的收纳处理的步骤的流程图。

具体实施方式

以下，参照上述附图说明具备根据本发明的实施形态的板状构件移送***1（以下，也可以简单称为“移送***1”）、板状构件翻转***2（以下，简单称为“翻转***2”）及板状构件收纳***3（以下，简单称为“收纳***3”）的加工处理设备4（以下，简单称为“处理设备4”）。以下说明中的上下、左右及前后等的方向的概念是为了方便说明而使用的，并不是用于启示将关于处理设备4的这些结构的配置及朝向等限定在该方向上。又，以下说明的处理设备4只是本发明的一个实施形态，本发明并不限于实施形态，在不脱离发明的主旨的范围内可以增加、删除、变更。

＜加工处理设备＞

处理设备4是用于对薄膜、玻璃基板及半导体晶圆等的板状构件实施加工处理的设备。处理设备4如图1所示具备移送***1、第一加工装置5、翻转***2、第二加工装置6、收纳***3。移送***1形成为将容纳于收纳卡匣11A（参照图2等）内的多个板状构件12（参照图2等）一张一张地移送并移载到第一托盘13（参照图2）上的结构。第一加工装置5形成为具备带式输送机等的第一搬运机构14（参照图2），并且在通过第一搬运机构14搬运通过移送***1移载板状构件12的第一托盘13的同时对第一托盘13上的板状构件12的表面实施加工处理的结构。

翻转***2形成为将在第一加工装置5中实施了表面处理的板状构件12从第一托盘13中取出后一张一张地翻转而使背面朝向上方，然后向第二托盘15（参照图8）转移的结构。第二加工装置6形成为具备带式输送机等的第二搬运机构16（参照图8），并且在通过第二搬运机构16搬运通过翻转***2移载板状构件12的第二托盘15的同时对第二托盘15上的板状构件12的背面实施加工处理的结构。收纳***13形成为将通过第二加工装置6在背面实施了加工处理的多个板状构件12一张一张地移送并容纳于收纳卡匣11B（参照图6A及图6B）内的结构。

具有像这样构成的装置及***的处理设备4可以将容纳于收纳卡匣11A内的多个板状构件12从该处一张一张地取出并对两个表面实施加工处理，并且可以将处理后的板状构件12再次一张一张地容纳于收纳卡匣11B内。以下详细说明移送***1、翻转***2及收纳***3的结构。

[移送***]

移送***1如图2及图3所示具有搬运机械手20。搬运机械手20为六轴机械手，在其手的梢端部上安装有手部21。该手部21可保持收纳卡匣11地构成。搬运机械手20形成为使保持的收纳卡匣11移动而安装于送出侧升降装置22上的结构。收纳卡匣11为大致长方体状的箱体，在安装于送出侧升降装置22的状态下在上下方向上延伸。

更具体地说，收纳卡匣11具有如图4及图5所示彼此相对，且在上下方向上延伸的一对侧壁11a。在一对侧壁11a上，在其相对的面（即，内周面）上设置有多个支持部11g。支持部11g以与设置于另一方的侧壁11a的支持部11g分别相对的方式配置。借助于此，相对的两个支持部11g使板状构件12处于水平的状态下保持其两端部。又，在一对侧壁11a上，多个支持部11g在上下方向上隔着规定间隔分别设置，借助于此可以在收纳卡匣11内使多个板状构件12以水平姿势在上下方向上排列收纳。

又，在一对侧壁11a的上端部及下端部上设置有顶部11b及底部11c。底部11c形成为大致U字状，在其中央部分具有开口槽11d。此外，在一对侧壁11a的背面部、即收纳卡匣11的背面侧上设置有堵住此处的背面板11e。另一方面，收纳卡匣11的前表面侧是开放的，底部11c的开口槽11d在前表面侧上敞开。这样构成的收纳卡匣11如上所述安装于送出侧升降装置22上。

送出侧升降装置22形成为使被安装的收纳卡匣11在上下方向上升降。在本实施形态中送出侧升降装置22只设置有一个，但是也可以并列设置多个送出侧升降装置22。送出侧升降装置22如图4及图5所示在上下方向上延伸，并且具有升降用马达23、滚珠丝杆机构24、和升降台25。升降用马达23为所谓的伺服马达，并且形成为可控制其角位移量（即，可控制位置）的结构。在升降用马达23的输出轴上设置有驱动滑轮26，通过转动该驱动滑轮26，使在其上张设的传动带27驱动滚珠丝杆机构24。

滚珠丝杆机构24具有从动滑轮28、滚珠丝杆29、和滑动部30。从动滑轮28形成为张设有传动带27，通过转动驱动滑轮26而转动的结构。该从动滑轮28安装于可转动地被支持的滚珠丝杆29上，与滚珠丝杆29一起旋转。在滚珠丝杆29上安装有滑动部30，通过滚珠丝杆29的转动以此升降。此外，在该滑动部30上安装有升降台25。

升降台25安装于所述滑动部30上，具有分叉为二股状并向前方延伸的基体部25a、和设置于基体部25a的基端部分（后端部分）并向上方延伸的靠背部25b。基体部25a的上表面大致平坦，并且在其上可以载置并安装收纳卡匣11的底部11c。此时，收纳卡匣11的背面板11e沿着靠背部25b配置。又，背面板11e在其两侧面上具有在左右方向上分别延伸的锁定片（未图示）。该锁定片在背面板11e上位于底部11c侧，与靠背部25b对置。又，在靠背部25b上设置有锁定机构31。

锁定机构31具有一对锁定构件32和辊33。锁定构件32分别设置在靠背部25b的左右两侧，其中间部分可摇动地安装于靠背部25b上。锁定构件32在位于锁定状态时，其前端部形成从上方覆盖锁定片的姿势。因此，当锁定构件32位于锁定状态时，载置在升降台25上的收纳卡匣11被锁定以防止向上提升。另一方面，锁定构件32在位于解除锁定状态时，后端部下降并摇动，前端部从锁定片的上方退出。借助于此，可以脱卸载置在升降台25上的收纳卡匣11。

又，在锁定构件32的后端部上安装有辊33，在与该辊33相对的位置上设置有凸轮板34。凸轮板34是位于送出侧升降装置22的上侧部分，并且在上下方向上延伸的板状构件。凸轮板34其下侧部分34a向后方侧倾斜，而通过辊33爬上该下侧部分34a，锁定构件32的后端部逐渐向下方被按压。而且，当辊33爬上凸轮板34的上侧部分34b时前端部完全被提升而收纳卡匣11的锁定被解除。像这样，送出侧升降装置22可以使升降台25移动至其上侧部分，以此可以解除收纳卡匣11的锁定。另一方面，当从其上侧部分使升降台25下降时，锁定构件32的后端部上升而收纳卡匣11被锁定。而且，在升降台25的下方设置有第一移送装置35。

作为送出侧移送装置的第一移送装置35是所谓的带式输送机，可以吸附板状构件12的同时向前方移送。第一移送装置35如图6A、图6B及图7所示在前后方向上延伸，并且具备基体36、送出用马达37、滑轮38、输送机用输送带39、和多个辊40。基体36在前后方向上延伸，并且设置于以上下方向竖立设置的基台41上。基体36具有四个箱状部36a～36d，并且将这些在前后方向上排列设置而构成。

作为四个箱状部36a～36d中的一个的主体部36a设置于基台41上，并且其后方与升降装置侧转移部36b连接。升降装置侧转移部36b在俯视下位于基体部25a的分叉为二股的梢端侧部分之间。又，升降装置侧转移部36b在俯视下位于安装在升降台25上的收纳卡匣11的一对侧壁11a之间，且位于底部11c的开口槽11d内。

又，主体部36a其前方与延伸部36c连接，进一步在其延伸部36c的前方安装有机械手侧转移部36d。该机械手侧转移部36d通过气缸机构42安装于延伸部36c上，并且通过该气缸机构42在前后方向上能够微调其位置。

又，在基台41上设置有送出用马达37。作为第二伺服马达的送出用马达37是所谓的伺服马达，可控制角位移量（即可控制位置）地构成。送出用马达37通过传动带37a与滑轮38连接。在滑轮38上架设有输送机用输送带39。输送机用输送带39形成为环状，沿着基体36的上表面设置，并且从基体36的上表面的前端延伸至后端。输送机用输送带39通过驱动送出用马达37以此在基体36上滑动。借助于此，在驱动送出用马达37时输送机用输送带39上的板状构件12沿着基体36向前方移送。又，在基体36的前后端部及中间部分上分别设置有辊40，通过该辊40向输送机用输送带39给与张力。

像这样被给与张力的输送机用输送带39的背面与基体36的上表面接触，并且由低摩擦材料构成。借助于此，减少输送机用输送带39和基体36之间的摩擦。另一方面，滑轮38在架设有输送机用输送带39的外周部上形成齿部以增大摩擦阻力，从而抑制与输送机用输送带29之间的滑动。借助于此，可以确实地将送出用马达37的驱动传递至输送机用输送带39上，提高由输送机用输送带39移送的板状构件12的位置控制的精度。

又，在输送机用输送带39的背面的宽度方向中央部分，在输送机用输送带的全周的范围内形成突起片。又，在四个箱状部36a～36d上，在与输送机用输送带29的突起片对应的位置（即，箱状部36a～36d的中央部分）上形成有槽，在该槽中嵌入突起片。借助于此，可以使输送机用输送带39不会较大地错位或者折皱地在基体36上滑动。又，该槽与突起片相比宽幅地形成，通过该槽箱状部36a～36d内外相连接。

此外，在箱状部36a～36d上分别设置有吸入口43a～43e，该吸入口43a～43e与未图示的泵等的吸引装置连接。另外，在主体部36a内设置有隔离壁44，将其内部划分为前后两个区域44a、44b。而且，这两个区域分别与吸入口43a、43b连接。又，在输送机用输送带39上形成有多个吸气孔39a。输送机用输送带39通过基体36、和未图示的吸引装置构成吸附机构45，吸附机构45可以吸附输送机用输送带39上的板状构件12。吸气孔39a在输送机用输送带39的宽度方向上排列成两列并在整个周方向全周上形成。另外，在移送时，优选的是以通过位于输送机用输送带39上的板状构件12隐藏所有的吸气孔39a的方式配置吸气孔39a。

又，各吸入口43a～43e分别能够切换吸引及解除，从而能够分别切换四个箱状部36a～36d内部及各区域44a、44b的压力状态。输送机用输送带39在基体36上划分为与四个箱状部36a～36d及两个区域44a、44b相对应的区域（具体的是五个区域），该各区域的每个区域可切换吸附及解除。借助于此，第一移送装置35能够维持基体36的机械手侧转移部36d以外的部分的吸附，并解除机械手侧转移部36d的吸附。像这样，在解除吸附的机械手侧转移部36d上的第一移送结束位置上设置有第一三角式机械手50。

作为移载机械手的第一三角式机械手50如图2及图3所示设置于框体51的顶部部分，具有主体52、三个臂机构53、安装部54、和吸附手部55。主体52的上部紧固于框体51的顶部部分，在其下部在周方向上隔着等间隔安装有三个臂机构53。该三个臂机构53具有相同的结构，以下仅说明一个臂机构53而省略其他的说明。

臂机构53具有第一臂部53a及第二臂部53b。第一臂部53a可摇动地安装于主体52的下部，远离主体52地在大致水平方向上延伸。在第一臂部53a的梢端部可摇动地安装有第二臂部53b，第二臂部53b由平行连杆构成，向下方延伸。而且，各臂机构53的第二臂部53b的下端部与一个安装部54连接。臂机构53形成为使可摇动地安装的关节部分通过未图示的驱动马达（伺服马达）工作，以此可以使安装部54保持水平状态下在上下方向、左右方向及前后方向上移动（例如参照图3的双点划线）的结构。又，在该安装部54上安装有吸附手部55。

吸附手部55是伯努利方式的吸附手部，其底面可以吸附板状构件12。吸附手部55具有手部主体和未图示的四个引导件。手部主体形成为大致长方体状，在俯视下其外径尺寸稍微小于板状构件。手部主体形成为上侧部分安装于安装部54并在底面上吸附板状构件12的结构。又，在手部主体的四个侧面部上分别设置有引导件。引导件与手部主体的底面相比向下方突出地延伸，并且相对于手部主体在水平的方向上可进退地形成。引导件使所有这些向手部主体侧靠近，以此可以使板状构件12向吸附手部55的中央附近靠近而定位。

在像这样构成的第一三角式机械手50的下方放置有第一托盘13，从而将通过第一移送装置35移送的板状构件12载置在第一托盘13上。第一托盘13具有与板状构件12的形状匹配地区划且排列的多个区域，并且在各区域能够一张一张地载置板状构件12。该第一托盘13放置在第一搬运机构14上，第一搬运机构14使该第一托盘13通过第一加工装置5的处理室（未图示）后向翻转***2搬运。

＜翻转***＞

翻转***2在与前后方向上延伸的第一加工装置5正交的方向上、即在左右方向上延伸，如图8及图9所示具备第二三角式机械手60、翻转装置61、第二移送装置62、和第三三角式机械手63。作为上游侧移载机械手的第二三角式机械手60具有与移送***1的第一三角式机械手50相同的结构，关于其结构参照第一三角式机械手50的说明，并且省略关于结构等的说明的一部分。第二三角式机械手60通过位于其下端部的吸附手部64吸附并保持板状构件12。第二三角式机械手60位于从第一加工装置5的处理室搬出的位置上，并吸附保持第一搬运机构14上的第一托盘13上的板状构件12。又，在第二三角式机械手60上与其相邻地设置有翻转装置61。

翻转装置61在第一移载区域65中翻转被移载的板状构件12的上下面并使其向第二移载区域66移动。该翻转装置61设置于基台67上。又，翻转装置61位于设置有第二三角式机械手60的框体68内，并且从第二三角式机械手60接收被吸附保持的板状构件12。

翻转装置61如图10及图11所示具备翻转用马达69、翻转轴70、一对翻转台71、72、和多个吸附垫73。翻转用马达69是所谓的伺服马达，并且安装于基台67上。翻转用马达69具有作为其输出轴的翻转轴70，并转动翻转轴70。翻转轴70为在前后方向上延伸的轴构件，其梢端部可转动地由轴承构件70a支持。又，在翻转轴70的中间部分安装有一对翻转台71、72。

一对翻转台71、72固定于翻转轴70的外周部上，并且分别配置在相对于翻转轴70的轴线轴对称的位置上。翻转台71、72从翻转轴70彼此向相反的方向分别延伸。即，一方的翻转台71从翻转轴70向第二三角式机械手60的方向延伸，并且另一方的翻转台72向其反方向延伸。又，翻转台71、72与安装于翻转轴70的基端部相比梢端侧分叉为二股状而形成为大致U字状，并且在其中央部分分别具有空间71a、72a。又，在翻转台71、72的梢端侧部分安装有多个吸附垫73（在本实施形态中为四个吸附垫）。

吸附垫73通过管73a与吸引装置（未图示）连接，通过驱动吸引装置以此吸附保持吸附垫73上的板状构件12的背面。在以翻转轴70为中心的周方向上朝着与翻转台72相同的方向安装吸附垫73。即，吸附垫73在一方的翻转台71上安装于上表面，在另一方的翻转台72上安装于下表面。即，在翻转台71、72处于接收姿势时，吸附垫73总是朝向上方，又，在翻转台71、72处于转移姿势时，吸附垫73总是朝向下方。

在这里接收姿势是指翻转台71处于水平姿势，且向第二三角式机械手60侧延伸的姿势（参照图10及图11的翻转台71）。又，转移姿势是指翻转台72处于水平姿势，且通过第二三角式机械手60和翻转轴70向相反侧延伸的姿势（参照图10及图11的翻转台72）。而且，在处于接收姿势时的翻转台71的上方为第一移载区域65，在处于转移姿势时的翻转台72的下方为第二移载区域65。而且，第二移送装置62位于该第二移载区域66上。

第二移送装置62具有与移送***1的第一移送装置35相同的结构，并且关于该结构，主要说明与第一移送装置35的不同点，对于相同的结构参照第一移送装置35并省略说明。第二移送装置62在第二移载区域66中接收被翻转装置61翻转的板状构件12，并且吸附保持该板状构件12的同时向第三三角式机械手63移送。

第二移送装置62如图11及图12所示设置于基台67上，并且以架设在第二三角式机械手60和第三三角式机械手63之间的方式在左右方向上延伸。第二移送装置62在其一端部（第二三角式机械手60侧的端部）62a上从翻转装置61接收板状构件12。另外，第二移送装置62的一端部62a在俯视下容纳于翻转装置61的翻转台71、72的空间71a、72a内。借助于此，翻转装置61能够不接触到第二移送装置62地360度旋转。又，第二移送装置62具有基体74，在基体74上设置有沿着其滑动的输送机用输送带75。通过使该输送机用输送带75工作，以此可以将板状构件12搬运至另一端部（第三三角式机械手63侧的端部）62b的第二移送结束位置。又，翻转装置61通过基体74和输送机用输送带75及未图示的吸引装置构成吸附机构77，并吸附位于输送机用输送带75上的板状构件12的下表面。又，第三三角式机械手63位于第二移送结束位置上。

作为下游侧移载机械手的第三三角式机械手63具有与移送***1的第一三角式机械手50相同的结构，关于其结构，参照第一三角式机械手50的说明，并省略关于结构等的说明的一部分。第三三角式机械手63通过位于其下端部的吸附手部76吸附并保持位于第二移送结束位置上的板状构件12。又，在第三三角式机械手63的下方有第二搬运机构16，在其上载置第二托盘15。而且，第三三角式机械手63将吸附保持的板状构件12一张一张地放置在位于第二搬运机构16上的第二托盘15上。第二搬运机构16使该第二托盘15通过第二加工装置6的处理室（未图示）并搬运至收纳***3中。

＜收纳***＞

收纳***3具有与移送***1相同的结构，关于其结构参照移送***1的说明，并省略关于结构等的说明的一部分。收纳***3将由第二加工装置6加工处理的板状构件12一张一张地在上下方向上排列并收纳于收纳卡匣11内。以下，关于收纳***3的具体的结构，参照图2至图7进行说明。收纳***3与移送***1共有搬运机械手20，此外还具备第四三角式机械手81、第三移送装置82、和收纳侧升降装置83。

作为移载机械手的第四三角式机械手81具有与第一三角式机械手50相同的结构。第四三角式机械手81位于第二搬运机构16的终点位置的上方，并且通过安装于其下端部的吸附手部84吸附保持第二托盘15上的板状构件12。而且，第四三角式机械手81将吸附保持的板状构件12移载至第三移送装置82。

作为收纳侧移送装置的第三移送装置82具有与第一移送装置35相同的结构。第三移送装置82如图6A、图6B和图7所示在作为第四三角式机械手81侧的端部的一端部（基体85的机械手侧转移部85a）上从第四三角式机械手81接收板状构件12。又，第三移送装置82设置于其基体85上，并且将通过沿着其滑动的输送机用输送带86所接收的板状构件12通过输送机用输送带86移动至位于另一端部（基体85的升降装置侧转移部85b）的移送结束位置。另外，第三移送装置82在移送时从输送机用输送带86侧吸附保持板状构件12，防止板状构件12从输送机用输送带86上落下。又，在移送结束位置上配置有收纳侧升降装置83。

收纳侧升降装置83具有与送出侧升降装置22相同的结构。收纳侧升降装置83如图4及图5所示通过升降用马达87和滚珠丝杆88可以使升降台89升降。升降台89以其基体部89a的梢端侧部分分叉为二股状，并且升降装置侧转移部85b位于其梢端侧部分之间的方式配置。又，在基体部89a上能够载置并安装收纳卡匣11，被安装的收纳卡匣11在俯视下升降装置侧转移部85b位于其开口槽11d。

该收纳卡匣11形成为通过升降台89上升而解除锁定，以此能够通过搬运机械手20从升降台89处安装及卸下的结构。搬运机械手20将从升降台89卸下的收纳卡匣11搬运至搬运台90。又，搬运机械手20将通过移送***1搬出所有的板状构件12的收纳卡匣11从移送***1的送出侧升降装置22卸下并移动至待机台91。移动至待机台91的收纳卡匣11通过搬运机械手20载置在升降台89上。另外，以下可以将容纳未处理板状构件12的收纳卡匣11称为收纳卡匣11A，将未容纳未处理的板状构件12的收纳卡匣11及容纳处理过的板状构件12的收纳卡匣11称为收纳卡匣11B。

这样构成的处理设备4如图1所示具备控制装置92。控制装置92控制各***1、2、3所具备的各装置的动作，通过控制各装置的动作以此对板状构件12的表面及背面实施加工处理。以下，关于由控制装置92控制的各装置的动作，参照图14至图20进行说明。

[处理设备的动作]

在处理设备4中，移送***1、第一加工装置5、翻转***2、第二加工装置6及收纳***3同时工作，并且多个板状构件12依次被输送并连续地进行处理。以下，参照图14的流程图说明按照板状构件12的处理过程的流程的处理设备4中的各***1、2、3及装置5、6的动作。另外，在处理设备4中，以下所有的动作由控制装置92控制，并且载置多个收纳卡匣11A的搬入台93被搬入时，开始加工处理。当开始加工处理时，转移到步骤S1。

＜移送处理＞

在作为移送处理的步骤S1中，控制装置92控制移送***1的各装置，并且一张一张地取出容纳于收纳卡匣11A内的多个板状构件12，并且排列放置在第一托盘3上。以下，参照图15及图16进一步详细说明移送处理。

在开始移送处理时，首先转移到步骤S11。在作为安装工序的步骤S11中，控制装置92使搬运机械手20工作，并用手部21保持载置于搬入台93的任意一个收纳卡匣11A。之后，控制装置92将由搬运机械手20保持的收纳卡匣11A移动至解除锁定且空出的升降台25并放置在其上。像这样，收纳卡匣11A安装于升降台25上。之后，控制装置92解除手部21的保持。当解除手部21的保持时，转移至步骤S12。

在作为下降工序的步骤S12中，控制装置92使送出侧升降装置22工作并使安装有收纳卡匣11A的升降台25下降。具体而言，控制装置92驱动升降用马达23，以此滚珠丝杆机构24通过驱动滑轮26、传动带27及从动滑轮28向规定方向转动。借助于此，滑动部30下降从而升降台25下降。当升降台25下降时，随后锁定机构31的辊33脱离凸轮板34，锁定构件32摇动并位于锁定状态。借助于此，收纳卡匣11A锁定在升降台25上。

当使升降台25进一步下降时，升降装置侧转移部36b进入升降台25的分叉为二股的梢端侧部分之间，随后升降装置侧转移部36b也进入收纳卡匣11A的开口槽11d内。借助于此容纳于收纳卡匣11A的最下侧的板状构件12被载置在升降装置侧转移部36b上，即第一移送装置35的载置位置上。在被载置时转移至步骤S13。

在作为第一移送工序的步骤S13中，控制装置92使第一移送装置35工作从而将载置至载置位置上的板状构件12向第一三角式机械手50侧、即第一移送结束位置侧移送。具体而言，控制装置92驱动送出用马达37，以此通过传动带37a转动滑轮38，使输送机用输送带39旋转。位于载置位置的板状构件12位于输送机用输送带39上，并且通过使输送机用输送带39旋转以此向第一移送结束位置侧移送。

又，在移送时，控制装置92驱动吸引装置，从吸入口43a～43e吸引箱状部36a～36d内的空气。借助于此，吸气孔39a成为负压，通过该吸气孔39a将板状构件12吸附在输送机用输送带39上。吸附机构45将板状构件12载置在载置位置上的同时吸附板状构件12，并且当板状构件12移送至第一移送结束位置时解除吸附。像这样边吸附边移送，以此可以保持载置时的板状构件12的姿势的同时高速移送。借助于此可以提高移送速度，可以在更短时间内从载置位置向移送结束位置移送，且可以提高板状构件12在移载结束位置上的到达位置的精度。像这样将板状构件12以吸附的状态向第一移送结束位置侧移动规定时间而移送，而使载置位置空出时，向步骤S14转移。另外，控制装置92在向步骤S14转移后也驱动送出用马达37，当板状构件12从载置位置移动规定距离（例如，与板状构件12的长度相应的量）时停止送出用马达37。即，步骤S14与第一移送装置35的移送动作部分重叠地（即重复地）执行。

在作为载置工序的步骤S14中，控制装置92使送出侧升降装置22工作，并且使升降台25仅下降与支持部11g上下地远离的规定间隔相同的高度。通过使升降台89下降，以此使下一个板状构件12载置在载置位置上，然后板状构件12远离支持部11g。之后，尽管控制装置92停止送出侧升降装置22的工作，但是在停止工作之前返回至步骤S13而使第一移送装置35工作，从而将板状构件12再次向第一移送结束位置侧移送规定距离（参照图16）。

像这样，控制装置92在下降动作结束之前使第一移送装置35工作，又在第一移送装置35的移送动作结束之前使送出侧下降装置22工作。通过使送出侧升降装置22的动作和第一移送装置35的动作部分重叠，以此可以缩短第一移送装置35的驱动停止时间，可以缩短移送***1的移送时间。又，在载置板状构件12后使第一移送装置35工作，即在载置时停止第一移送装置35。因此，与使第一移送装置35工作而载置板状构件12的情况相比控制简单，又，可以将板状构件12确实地且无损伤地载置于第一移送装置35上。另外，没有必要必须将升降装置的动作和第一移送装置35的动作重叠，也可以在停止升降装置的动作后使第一移送装置35工作。

又，控制装置92在通过送出侧升降装置22使收纳卡匣11升降时，控制升降用马达23从而控制此时的加速度及减速度以在从停止状态加速至规定的第一速度后减速并停止。又，控制装置92在通过第一移送装置35送出板状构件12时，控制送出用马达37从而控制此时的加速度及减速度以在从停止状态加速至规定的第二速度后减速并停止。借助于此可以将板状构件12匹配时间地从收纳卡匣11向第一移送装置35载置，可以提高板状构件121的载置速度且提高载置位置的精度。

控制装置92交替地重复执行送出侧升降装置22的下降动作（步骤S14）和第一移送装置35的移送动作（步骤S13），并且间歇性地执行下降动作和移送动作。借助于此，从收纳卡匣11A将板状构件12连续地送出并向第一移送结束位置侧移送。而且，控制装置92在由步骤S14返回至步骤13之前，确认板状构件12通过下一个步骤S13的移送动作是否到达至第一移送结束位置（步骤S15）。在确认到由第一移送装置35送出的板状构件12被移送至第一移送结束位置时，与步骤S14同步地开始步骤S16。

在作为第一移载工序的步骤S16中，控制装置92驱动第一三角式机械手50而使其通过吸附手部55吸附保持位于第一移送结束位置的板状构件12，并且向第一托盘13的任意一个区域移载。具体地说，控制装置92在板状构件12被移送到第一移送结束位置时，使吸附手部55移动至第一移送结束位置上，之后，使吸附手部55下降以使板状构件12进入至比四个引导件（未图示）更内侧。在进入后，使引导件靠近内侧并定位，之后，使板状构件12吸附在手部主体的底面。另外，第一移送装置35在第一移载结束位置上的到达位置的精度较高，因此防止吸附手部55的错误吸附。

在步骤S16中的移载动作与步骤S14的下降动作同步进行，因此在步骤S13的移送动作结束之前开始（参照图16）。另一方面，控制装置92在通过第一三角式机械手50吸附保持第一移送装置35上的板状构件12之前停止第一移送装置35的动作。因此，第一三角式机械手50吸附保持停止的板状构件12，因此与吸附保持移动的板状构件12的情况相比控制简单。又，通过重叠可以缩短第一移送装置35的停止时间。借助于此，可以缩短移送***1的移送时间。另外，没有必要必须使第一三角式机械手50的动作和第一移送装置35的动作重叠，也可以在第一三角式机械手50的动作停止后使第一移送装置35工作。

在被吸附手部55吸附后，控制装置92使吸附手部55移动至想要放入板状构件12的第一托盘13的区域之上，于是解除手部主体的吸附后使板状构件12载置在所述区域上。另外，控制装置92在由吸附手部55吸附板状构件12时，预先解除机械手侧转移部36d的吸引，从而解除移送至第一移送结束位置的板状构件12的吸附。因此，板状构件12可以不受损伤地通过吸附手部55吸附保持。

步骤S13、S14及S16的各动作重复进行直至板状构件移载至第一托盘13的所有区域（参照步骤S17）。即，在板状构件12未移载到第一托盘13的所有区域时，步骤S16结束，与此同时步骤S14结束，此时再次返回至S13进行移送动作。而且，在步骤S13的移送动作的即将结束之前同步进行步骤S14的下降动作和步骤S16的移载动作。借助于此，仅在执行移载动作和载置动作时停止第一移送装置35的移送动作，除此以外的时候可以继续进行移送动作，从而进一步缩短移送装置的停止时间。借助于此，可以缩短移送时间，可以提高移送效率。另外，在步骤S16的移载动作中，控制装置92按规定的顺序将板状构件12一张一张地放置于第一托盘13的各区域，并且防止各区域上放置多个板状构件12。

像这样在通过交替地重复下降动作和移送动作以此从收纳卡匣11A连续地送出板状构件12，最终将收纳卡匣11A内的板状构件12全部送出。这样一来，控制装置92提升升降台25而解除收纳卡匣11B的锁定。在解除后，控制装置92使搬运机械手20工作而使其通过手部21把持收纳卡匣11A，然后使机械手20从升降台25卸下收纳卡匣11B。之后，控制装置92将通过搬运机械手20卸下的收纳卡匣11B载置在待机台91上，使手部21解除对收纳卡匣11B的保持。在使其解除后，转移到步骤S11，在空出的升降台25上再次安装收纳卡匣11A。

另外，关于判定从收纳卡匣11A内是否送出所有的板状构件12是，例如通过容纳于收纳卡匣11A的最上层的板状构件12载置于载置位置时升降台25所在的规定位置（具体的是，升降用马达的驱动量）进行判定。又，也可以设置传感器并判定板状构件12是否支持于最上层。

又，通过重复进行步骤S13、S14及S16的各动作，最终在第一托盘13的所有区域移载板状构件12（步骤S17）。这样一来，关于该第一托盘13，作为移送处理的步骤S1暂时结束，而向步骤S2转移。

像这样，在移送***1中，仅通过根据送出侧升降装置22的收纳卡匣11A的下降动作和根据第一移送装置35的板状构件12的移送动作这两个动作，就可以将容纳于收纳卡匣11A内的多个板状构件12以水平状态移送至第一移送结束位置侧。换言之，可以将容纳于收纳卡匣11A内的多个板状构件12直接移载至第一移送装置35并向第一移送结束位置侧送出。像这样可以将移载所需的动作抑制在最小限度，因此可以将板状构件12以高速依次送出。

又，在移送***1中，控制装置92通过第一移送装置35移动板状构件12并空出载置位置后将下一个板状构件载置于载置位置上，因此可以使板状构件12不相互重叠地从收纳卡匣11A依次送出。又，通过伺服马达构成升降用马达23及移送用马达37，以此可以使送出侧升降装置22及第一移送装置35发挥作为可进行板状构件12的位置控制的送出装置的功能。借助于此，移送至移载机械手时的板状构件的移送位置及到达时刻（正时）的精度会提高。借助于此，可以使通过移载机械手进行的移载高速化。

＜第一加工处理＞

在作为第一加工处理的步骤S2中，移载板状构件12的第一托盘13通过第一搬运机构14向第一加工装置5的处理室搬运。通过第一加工装置5的处理室，板状构件12的表面被实施加工处理。实施了加工处理的板状构件12通过第一搬运机构14向第二三角式机械手60的下方搬运。当搬运至第二三角式机械手60的下方时，第一搬运机构14会停止，转移到步骤S3。

＜翻转处理＞

在作为翻转处理的步骤S3中，控制装置92控制翻转***1的各装置的动作，使放置在第一托盘13上并搬运过来的板状构件12的上下表面翻转，并进一步排列并放置在第二托盘15上。以下参照图17至图19详细说明翻转处理。

当翻转处理开始时，首先转移至步骤S31。在作为第二移载工序的步骤S31中，控制装置92使第二三角式机械手60工作，并且通过吸附手部64吸附保持位于第二三角式机械手60的下方的第一托盘13上的任意一个板状构件12。然后，使该吸附手部64移动而将保持的板状构件12移动至第一移载区域65。借助于此，板状构件12以水平姿势且其表面朝向上侧的状态移动至翻转台71的吸附垫73上（参照图18A）。之后，控制装置92解除通过吸附手部64进行的对板状构件12的保持而使其落下，从而使板状构件12载置在翻转台71的吸附垫73上。在保持被解除后载置板状构件12时，转移至步骤S32。

在作为退避工序的步骤S32中，控制装置92使第二三角式机械手60工作，使吸附手部64从第一移载区域65开始移动从而使吸附手部64从翻转台71的可动范围（图18B的双点划线内的区域95）内退避。在退避后，控制装置92为了移载下一个板状构件12而使吸附手部64返回至规定的位置并停止。又，通过退避，转移至步骤S33。

在作为翻转工序的步骤S33中，控制装置92驱动翻转用马达69从而转动翻转装置61的翻转轴70。在转动时，翻转台71向第二移载区域66侧移动，相反地翻转台72向第一移载区域67移动（参照图18C）。又，控制装置92在驱动翻转用马达69的同时驱动吸附机构77并通过吸附垫73吸附板状构件12的下表面。借助于此，防止在翻转台71移动时板状构件12脱落。又，通过吸附垫73只吸附板状构件12的下表面（即，背面），因此可以不会接触到板状构件12的上表面（即，实施了加工处理的表面）地进行翻转。

而且，控制装置92在翻转台71、72一同处于接收姿势及转移姿势时，停止翻转用马达69的驱动从而停止翻转装置61的运转。这样，位于第二移载区域66侧的翻转台71的吸附垫73朝向下方，使由该吸附垫73吸附的板状构件12位于第二移载区域66（参照图18D）。即，通过翻转装置61可翻转板状构件12的上下表面后使板状构件12向第二移载区域66移动。又，位于第一移载区域66侧的翻转台72的吸附垫73朝向上方，并且吸附垫73位于第一移载区域65。

控制装置92在停止翻转装置61的运转后，解除通过吸附垫73进行的板状构件12的吸附，使板状构件12载置在第二移送装置62的一端部62a上（参照图18E）。在将板状构件12载置在第二移送装置62的一端部62a上时，返回至步骤S31，而将板状构件12载置在移动至第一移载区域65侧的翻转台72的吸附垫73上（参照图18F）。然后，控制装置92与该步骤S31同步地开始步骤S34。在作为第二移送工序的步骤S34中，控制装置92使第二移送装置62运转，而将载置在第二移送装置62的一端部62a上的板状构件12向第二移送结束位置侧移送。在开始移送时，控制装置92如图19所示在完全停止翻转装置61的翻转轴70的转动之前使第二移送装置62的输送机用输送带75运转。即，控制装置92以补偿第二移送装置62的起动所需的无用时间、即在载置后立刻能够移送板状构件12的方式进行控制。借助于此，缩短移送时间。在图19中，在上侧示出有关翻转轴70的速度的图表，下侧示出有关输送机用输送带75的速度的图表。在上侧及下侧图表中，纵轴上示出速度，横轴上示出周期。另外，上述的翻转动作和移送动作没有必要必须使它们部分重叠。

又，在移送时，控制装置92驱动吸引机构77而使板状构件12吸附在输送机用输送带75上。将板状构件12以被吸附的状态向第二移送结束位置侧移送。而且，在规定时间移送后第二移动载区域66空出且步骤S32的退避动作结束时，控制装置92开始步骤S33的翻转动作而使板状构件12移动至空出的第二移载区域66。然后，控制装置92在将刚刚被载置在输送机用输送带75上的板状构件12移送规定距离（板状构件的长度相当的距离）时，停止输送机用输送带75的运转。控制装置92在进一步使输送机用输送带75的运转停止后，将已翻转的板状构件12载置在第二移送装置62的一端部62a上。

像这样通过重复翻转装置的翻转动作61和第二移送装置62的移送动作，以此由第二三角式机械手60依次移载的板状构件12通过翻转装置61翻转并移载至第二移送装置62，进一步通过第二移送装置62向第二移送结束位置侧移送。而且，当板状构件62被移送至第二移送结束位置时（步骤S35），开始步骤S36。

在作为第三移载工序的步骤S36中，控制装置92驱动第三三角机械手63，并且通过吸附手部76吸附保持位于第二移送结束位置上的板状构件12，并移载至第二托盘13的任意一个区域。此时，控制装置92在通过吸附手部76吸附板状构件12之前解除被移送至第二移送结束位置的板状构件12的吸附。

另外，控制装置92同步执行该步骤S36中的第三三角式机械手63的移载动作和步骤S33的翻转装置61的翻转动作。该移载动作及翻转动作与相互同步的根据第二三角式机械手60的移载动作（步骤S31）和根据第二移载装置62的移送动作（步骤S34）部分重叠，但是基本上在第二三角式机械手60的移载动作及第二移送装置62的移送动作停止时将板状构件12转移至第二三角式机械手60及第二移送装置62上。另一方面，第二三角式机械手60的移载动作及第二移送装置62的移送动作也在步骤S32中翻转动作结束之前、以及在步骤S36中第三三角式机械手63的移载动作结束之前，且从翻转动作及第三三角式机械手63的移载动作开始后经过规定时间后，控制装置92开始步骤S31及步骤S34。即，步骤S31及步骤S34的动作开始是在步骤S32及步骤S36的动作结束之前部分重叠地执行，使吸附手部64及输送机用输送带75加速。借助于此，可以缩短第二三角式机械手60及第二移送装置62的停止时间，可以缩短翻转装置61的翻转时间。另外，也可以不重叠地在各步骤S31及步骤S34的动作完全结束之后，开始步骤S32及步骤S36。

又，重复进行步骤S36的移载动作直至板状构件12移载到第二托盘15的所有区域（步骤S37）。当重复进行时，控制装置92如上所述在步骤S34的移送动作即将结束之前开始步骤S36。然后，在步骤34的动作结束从而输送机用输送带75停止后，通过第三三角式机械手63吸附保持移送至第二移送结束位置的下一个板状构件12，之后移载至第二托盘15上。在移载时，控制装置92使板状构件12一张一张地按规定的顺序放置在第二托盘15的各区域上，并且防止各区域上放置多个板状构件12。当重复进行步骤S36的移载动作并在第二托盘15的所有区域上移载板状构件12时，与该第二托盘15相关的作为翻转处理的步骤S3暂时结束，并且向步骤S4转移。

像这样在翻转处理中，控制装置92使第二三角式机械手60、翻转装置61、第二移送装置62及第三三角式机械手63间歇性地工作，并且在第三三角式机械手63进行移载动作（下游侧移载动作）而翻转装置61进行翻转动作时，部分地停止根据第二三角式机械手60的移载动作（步骤S31）和根据第二移送装置62的移送动作（步骤S34）。另一方面，在第三三角式机械手63的移载动作（下游侧移载动作）和翻转装置61的翻转动作处于停止状态时，控制装置92使根据第二三角式机械手60的移载动作（上游侧移载动作）及根据第二移送装置62的移送动作同步地执行。

像这样，使在装置之间没有板状构件12的转移的装置同步运行，以此可以缩短翻转***2中的各装置的停止时间，并且可以缩短翻转并移送板状构件12的时间。又，为了将板状构件12从翻转装置61转移至第二移送装置62而在第二移送装置62停止的时间内第三三角式机械手63从第二移送装置62拿走板状构件12，因此可以有效利用第二移送装置62的停止时间，可以缩短翻转***2中的移送时间。

又，在翻转***2中，在翻转时通过吸附垫73吸附保持板状构件12，以此可以提高翻转速度，与此同时可以提高传递至第二移送装置62时的板状构件12的传递位置的精度。又，在翻转时上表面为开放，因此可以不损伤被移载的板状构件12的上表面地翻转上下表面并传递给第二移送装置62。又，通过吸附垫73吸附保持，因此与把持的情况相比可以不对板状构件12施加不必要的力地进行翻转。借助于此，在翻转各种形状和材质等的板状构件、例如厚度薄的薄膜等的板状构件的情况下也可以适用。

又，在翻转***2中，同时开始翻转动作和吸附动作，但是在翻转动作开始之后不久板状构件12被载置在吸附垫73上，因此即使是像吸附动作开始之后不久的那样的小的吸附力也可以吸附保持板状构件12。因此，可以同时开始翻转动作和吸附动作，并且可以减少翻转装置的停止时间。借助于此，可以缩短翻转并移送板状构件的时间。

＜第二加工处理＞

在作为第二加工处理的步骤S4中，移载有板状构件12的第二托盘15通过第二搬运机构16向第二加工装置6的处理室搬运。通过第二加工装置6的处理室，板状构件12的背面被实施加工处理。被实施加工处理的板状构件12通过第二搬运机构16搬运至第四三角式机械手81的下方。当搬运至第四三角式机械手81的下方时，第二搬运机构16会停止，向步骤S5转移。

＜收纳处理＞

在作为收纳处理的步骤S5中，控制装置92控制收纳***3的各装置的动作，而将载置在第二托盘15上并搬运过来的板状构件12一张一张地收纳于收纳卡匣11B内。以下，关于收纳处理，参照图20详细说明。

控制装置92首先在执行收纳处理之前使搬运机械手20运转，并且通过手部21把持位于待机台91的收纳卡匣11B。然后，将把持的收纳卡匣11B安装于收纳侧升降装置83上的空的升降台89上。之后，使升降台89下降直至位于收纳卡匣11B内的最上层的支持部11g位于第三移送装置82的升降装置侧转移部85b上的移送结束位置。然后，收纳***3在使升降台89下降的状态下等待执行收纳处理。

当开始收纳处理时，首先转移至步骤S51。在作为第三移载工序的步骤S51中，控制装置92使第四三角式机械手81工作，并通过吸附手部84吸附保持位于第四三角式机械手81的下方的第二托盘15上的任意一个板状构件12。然后，使该吸附手部64移动而将保持的板状构件12移动至第三移送装置82的机械手侧转移部85a上的移载位置。借助于此，板状构件12在第三移送装置82上处于水平姿势。之后，控制装置92解除通过吸附手部64的板状构件12的保持。当解除保持时，转移至步骤S52。

在作为第三移送工序的步骤S52中，控制装置92使第三移送装置82运转而将载置在移载位置上的板状构件12向移送结束位置侧移送。此时，控制装置92使吸附机构94吸附板状构件12。将板状构件12以吸附的状态向移送结束位置侧移送。之后，控制装置92在规定距离移送板状构件12时停止输送机用输送带86的运转。又，控制装置92在停止运转之前从开始移送后经过规定时间后移载位置空出时，返回至步骤S51并开始移载动作，在空出的移载位置上通过第四三角式机械手81移载另一板状构件12。当重复进行该移载动作和移送动作时，板状构件12最终移动至移送结束位置。通过移送至移送结束位置，以此将板状构件12***于收纳卡匣11B内。又，控制装置92在使板状构件12移动至移送结束位置（步骤S53）之前与步骤S52的移载动作同步地开始步骤S54。

在作为收纳工序的步骤S54中，控制装置92使收纳侧升降装置83运转而使升降台89上升。使升降台89上升，之后在步骤S53中到达移送结束位置并停止的板状构件12的两端部由支持部11g支持并保持该状态向上方提升。借助于此板状构件12远离第三移送装置82而收纳于收纳卡匣11B内。控制装置92在使升降台89仅上升与支持部11g相隔开的规定间隔相同的高度时，停止收纳侧升降装置83的运转。又，控制装置92在停止之前返回至步骤S52并开始第三移送装置82的动作，并且在停止收纳侧升降装置83的运转后，使下一个板状构件12移动至移送结束位置并***于收纳卡匣11B内。通过重复这些，板状构件12以在上下方向上排列的方式收纳于收纳卡匣11B内。像这样通过同步进行步骤S54的收纳动作和步骤S51的移载动作，以此可以缩短收纳***3的收纳时间。

重复进行步骤S54的收纳动作直至板状构件12收纳于收纳卡匣11B的所有的层上（步骤S55），当板状构件12收纳至最下层的支持部11g时，向步骤S56转移。在作为拆卸工序的步骤S56中，控制装置92停止第四三角式机械手81及第三移送装置82的运转。然后，控制装置92使收纳侧升降装置83运转，使升降台89上升而解除收纳卡匣11B的锁定。在解除锁定后，控制装置92使搬运机械手20运转，使其通过手部21保持载置于升降台89的收纳卡匣11B并载置在搬出台90上。由此，收纳处理结束，并且处理设备4中的处理结束。另外，在从升降台89去掉收纳卡匣11B时，控制装置92使搬运机械手20运转而将载置在待机台91上的另一收纳卡匣11B载置在空出的升降台89上。

[其他实施形态]

在本实施形态中，在第一三角式机械手至第四三角式机械手50、60、63、81中通过吸附手部55、64、76、84吸附保持板状构件12，但是也可以使用单纯地可把持的手部。又，移载板状构件的机械手并不限于第一三角式机械手至第四三角式机械手50、60、63、81，也可以是六轴机械手和水平三轴机械手等的机械手。

又，在本实施形态中，翻转装置61通过吸附垫73吸附保持板状构件12，但是也可以通过手部等从侧方把持板状构件12，只要板状构件12的上表面开放并能够保持即可。

又，在本实施形态的移送处理（收纳处理）中，使送出侧升降装置22（收纳侧升降装置83）和第一三角式机械手50（第四三角式机械手81）同步，但是没有必要必须使它们同步。例如，也可以首先进行根据送出侧升降装置22的下降动作，并依次进行根据第一移送装置35的移送动作及根据第一三角式机械手50的移载动作。关于本实施形态的翻转处理，没有必要必须使第二三角式机械手60和第二移送装置62同步，也没有必要必须使翻转装置61和第三三角式机械手63同步。也可以与移送处理相同地例如依次进行各个装置的动作。

由上述说明，本领域技术人员明了本发明的较多的改良和其他实施形态等。因此，上述说明仅作为例示解释，是以向本领域技术人员教导实施本发明的最优选的形态为目的提供的。在不脱离本发明的精神的范围内，可以实质上变更其结构和/或功能的具体内容。

符号说明：

2        翻转***；

60       第二三角式机械手；

61       翻转装置；

62       第二移送装置；

63       第三三角式机械手；

65       第一移载区域；

66       第二移载区域；

70       翻转轴；

73       吸附垫；

77       吸引机构；

92       控制装置。

Claims (8)

1.一种板状构件翻转***，是将多个板状构件依次翻转并移送的板状构件翻转***，具备：

执行将所述多个板状构件依次保持并移载的上游侧移载动作的上游侧移载机械手；

由所述上游侧移载机械手保持的所述板状构件以水平姿势被移载，并执行以所述板状构件的上表面开放的状态保持被移载的所述板状构件并翻转所述板状构件的上下表面的翻转动作的翻转装置；和

从所述翻转装置接收被翻转的所述板状构件，将该板状构件以被翻转的状态且水平状态移送的移送装置。

2.根据权利要求1所述的板状构件翻转***，其特征在于，

具备为了使所述上游侧移载机械手、所述翻转装置及所述移送装置间歇性地工作而进行控制的控制装置；

所述控制装置形成为在停止所述翻转装置的所述翻转动作并使所述上游侧移载机械手执行所述上游侧移载动作的期间内使所述移送装置执行移送动作的结构。

3.根据权利要求2所述的板状构件翻转***，其特征在于，所述控制装置形成为在使所述上游侧移载机械手执行所述上游侧移载动作后，使所述上游侧移载机械手执行从所述翻转装置退避的退避动作，与此同时使所述翻转装置执行所述翻转动作的结构。

4.根据权利要求1至3中任意一项所述的板状构件翻转***，其特征在于，所述翻转装置具备将被载置的所述板状构件的下表面吸附并保持的吸附垫、和转动所述吸附垫从而使所述板状构件翻转的翻转轴。

5.根据权利要求4所述的板状构件翻转***，其特征在于，所述控制装置形成为使所述翻转装置在执行所述翻转动作的同时通过所述吸附垫执行吸附动作的结构。

6.根据权利要求3至5中任意一项所述的板状构件翻转***，其特征在于，

具备由所述控制装置控制动作，保持并移载通过所述移送装置移送至移载结束位置的所述板状构件的下游侧移载机械手；

所述控制装置形成为在停止所述移送装置的所述移送动作并使所述翻转装置执行所述翻转动作时，控制所述下游侧移载机械手从而执行将由所述移送装置移送至所述移送结束位置的所述板状构件移载至规定位置的下游移载动作的结构。

7.根据权利要求6所述的板状构件翻转***，其特征在于，

所述移送装置具有吸附移送的板状构件的下表面的吸附机构；

所述吸附机构形成为在从所述翻转装置接收所述板状构件后开始吸附并在所述移送结束位置上解除吸附的结构。

8.一种板状构件翻转***的翻转移送方法，是具备如下结构的板状构件翻转***的板状构件翻转移送方法，包括：将所述多个板状构件依次保持并移载的上游侧移载机械手；由所述上游侧移载机械手保持的所述板状构件以水平姿势移载，并以所述板状构件的上表面开放的状态保持被移载的所述板状构件并翻转所述板状构件的上下表面的翻转装置；和从所述翻转装置接收被翻转的所述板状构件，将该板状构件以被翻转的状态且水平状态移送的移送装置；

所述方法包括：

通过所述第二移载机械手依次保持所述多个板状构件并移载至所述翻转装置的移载工序；

通过所述翻转装置保持并翻转在所述移载工序中被移载的所述板状构件并传递给所述移送装置的翻转工序；

通过移送装置移送在所述翻转工序中被翻转并传递的所述板状构件的移送工序。

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