JP6244111B2 - 反転装置 - Google Patents
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Description
図1に示すように、反転装置1は、基板Wを表裏反転させるための装置であって、回転部材2と、第1及び第2保持部材3a、3bと、を主に備えている。以下、各部材の詳細について説明する。
回転部材2は、第1及び第2保持部材3a、3bをスライド可能に支持するとともに、基板Wを表裏反転させるために回転するように構成されている。具体的には、回転部材2は、第1及び第2支持部材4a、4bによって回転可能に支持されている。なお、第1及び第2支持部材4a、4bは、互いに間隔をおいて配置されており、この間に回転部材2が配置されている。第1及び第2支持部材4a、4bは、軸受凹部41を有している。
第1保持部材3aは、基板Wを保持するための部材であって、回転部材2によってスライド可能に支持されている。この第1保持部材3aは、図2に示す第1前進位置と、図3に示す第1後退位置との間でスライドする。なお、図2及び図3は反転装置1の側面図であり、説明の便宜上、一部の部材の記載を省略している。
次に、上述したように構成された反転装置1の動作について図面を参照しつつ説明する。
本実施形態に係る反転装置1は、次の特徴を有する。
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない限りにおいて種々の変更が可能である。
第1保持部材3a及び第2保持部材3bが昇降するような構成とすることができる。具体的には、図6に示すように、第1及び第2支持部材4a、4bが各ベース部材6に対して昇降可能に取り付けられている。第1及び第2支持部材4a、4bは、例えばリニアモータを駆動源として昇降する。この構成によれば、第1保持部材3aが昇降して上流工程又は下流工程の装置との高さを調整することによって、上流工程から基板Wをスムーズに受け取ることができ、また、第1保持部材3aが下流工程に基板をスムーズに置くことができる。
上記実施形態では、反転装置1は、第1保持部材3aと第2保持部材3bとの2つの保持部材を有しているが、特にこれに限定されない。例えば、反転装置1は、図7に示すように、第1保持部材3aのみを有しており、第2保持部材3bを有していなくてもよい。この場合、第1及び第3ガイドレール24a、24c、第1及び第3ラックギア25a、25c、並びに第2スライド駆動部23は不要となるため、これら各部材を省略することができる。
上記実施形態では、第1保持部材3aは、複数の棒状部31aからなる櫛状に形成されているが、特にこれに限定されない。例えば、図8に示すように、第1保持部材3aは、複数の棒状部31aの代わりに1枚のプレート30aを用いることができる。各吸引部34aはプレート30aの第1面(上面)に設置されている。第2保持部材3bも同様に、複数の棒状部31bの代わりに1枚のプレート30bを用いることができる。
2 回転部材
3a 第1保持部材
3b 第2保持部材
4a 第1支持部材
4b 第2支持部材
W 基板
Claims (5)
- 基板を反転させるための反転装置であって、
前記基板を保持する第1保持面を有する第1保持部材と、
前記第1保持部材を第1軸に沿ってスライド可能に支持するとともに、前記第1保持部材の第1保持面の表裏を反転させるように回転する回転部材と、を備え
前記第1保持部材は、第1前進位置と、前記第1前進位置よりも前記第1保持面が前記回転部材の回転軸側となる第1後退位置との間をスライドし、
前記基板を保持する第2保持面を有する第2保持部材をさらに備え、
前記回転部材は、前記第2保持部材を、前記第1軸と平行に延びる第2軸に沿ってスライド可能に支持し、
前記第2保持部材は、第2前進位置と、前記第2前進位置よりも前記第2保持面が前記回転軸側となる第2後退位置との間をスライドするとともに、前記回転部材の回転により前記第2保持面が表裏反転し、
前記第1前進位置と、前記第2前進位置とは、前記回転軸を中心に反対方向に位置する、反転装置。 - 前記第1保持部材が昇降する、請求項1に記載の反転装置。
- 前記回転部材を回転可能に支持するとともに、昇降可能な支持部材をさらに備える、請求項1又は2に記載の反転装置。
- 前記回転部材は、前記第1保持部材が前記第1後退位置にあるときに回転する、請求項1から3のいずれかに記載の反転装置。
- 前記第1保持部材は、前記基板を吸引する吸引部を有する、請求項1から4のいずれかに記載の反転装置。
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