CN103267628A - 发光特性测定装置以及方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种测定发光元件的发光特性的发光特性测定装置，其具有：光学积分器，其具有能够对从排列的多个发光元件输出的光进行受光的入射口，从所述入射口对从所述多个发光元件输出的所述光进行受光，将受光的所述光均一化；受光装置，其对由所述光学积分器均一化后的所述光进行受光；以及控制处理装置，其使所述多个发光元件择一地依次发光，并且与所述发光元件相对于所述光学积分器的所述入射口的位置相对应，对从所述受光装置依次获得的受光结果进行校正。

Description

发光特性测定装置以及方法

技术领域

本发明涉及一种测定发光元件的发光特性的发光特性测定装置以及方法。

本申请基于2012年1月27日申请的日本国专利申请第2012—015707号并主张优先权，其内容在这里进行引用。

背景技术

以下引用的专利、专利申请、专利公报、科学文献等，其内容是清楚明确的，但为了更加充分地说明本发明的现有技术，其内容在这里进行引用。

发光二极管（LED：Light Emitting Diode）和激光二极管（LD：Laser Diode）等发光元件具有寿命长、发光效率高、消耗电力少、小型等优点，因此在各个领域中广泛使用。例如，发光二极管由于具有消耗电力较少这样的优点，因此代替白炽灯作为照明装置使用的机会大幅度增多。另外，激光二极管作为小型的相干光源，在光学驱动器的光拾取器、印刷机和激光打印机等各种设备中广泛使用。

上述光源元件，如现有技术所示，在经由包含用于在半导体基板上形成pn结的成膜工序、将形成有pn结的半导体基板加工为芯片状的加工工序等一系列的制造工序而制造后，在最终检测工序中测定发光特性。在这里，所谓发光元件的发光特性，例如是指从发光元件射出的光的光量、波长特性和光谱等特性。在以下的专利文献1、2中公开了测定发光元件的发光特性的现有测定方法。

具体地说，在日本国特开2008-76126号公报中公开了一种测定方法，在该方法中，通过在积分球的内部配置发光元件，使发光元件发光，从而对从发光元件射出的光的光量进行测定。在日本国特开2011－226869号公报中公开了一种检测方法，其通过在反射筒部内配置发光元件，对从发光元件射出的光进行反射，并且，来自反射筒部的光在扩散板处扩散后，由受光元件进行受光，从而对发光元件的发光量进行检测。

近年来，如上所述，由于发光二极管和激光二极管等发光元件的需求急速增加，因此期望可以高效地进行发光元件的最终检测。另外，由于如果最终检测所需时间变长，则相应地导致发光元件的成本提高，因此，从降低成本方面出发，也期望可以高效地进行发光元件的最终检测。

在上述的日本国特开2008－76126号公报以及日本国特开2011－226869号公报中公开的测定方法，基本上是对在积分球或者反射筒部的内部配置的发光元件的发光特性一个一个地进行测定的方法。由此，如果利用上述的测定方法，对多个发光元件的发光特性进行测定，则必须反复进行如下动作，即，在积分球等内部配置一个发光元件并测定出发光特性后，将测定结束的发光元件从积分球等中取出，并且将下一个进行测定的新的发光元件配置在积分球等内部的动作，测定需要时间。在这里，即使可以缩短测定时间，但测定精度也会下降，检测的意义减弱，因此，必须在维持测定精度的同时缩短测定时间。

发明内容

本发明的一个实施方式所涉及的发光特性测定装置的特征在于，在测定发光元件的发光特性的发光特性测定装置中，具有：光学积分器，其具有能够对从排列的多个发光元件输出的光进行受光的入射口，从所述入射口对从所述多个发光元件输出的所述光进行受光，使受光的所述光均一化；受光装置，其对由所述光学积分器均一化后的所述光进行受光；以及控制处理装置，其使所述多个发光元件择一地依次发光，并且与所述发光元件相对于所述光学积分器的入射口的位置相对应，对从所述受光装置依次获得的受光结果进行校正。

所述发光特性测定装置还可以具有载物台装置，其能够使所述多个发光元件向排列方向移动。所述控制处理装置，对所述载物台装置进行控制，以可由所述光学积分器的所述入射口获取光的发光元件的数量为单位，使所述多个发光元件沿所述排列方向移动。

所述控制处理装置也可以对从所述受光元件依次获得的受光结果进行校正，以使得与在所述光学积分器的所述入射口的中心位置配置的所述发光元件发光的情况下，从所述受光装置获得的受光结果相同。

所述受光装置也可以具有：分光器，其对由所述光学积分器均一化后的所述光进行分光；以及受光器，其对由所述分光器分光后的所述光进行受光。

所述控制处理装置，也可以利用预先求出的高次校正函数或者校正表，对从所述受光元件依次获得的受光结果进行校正。

本发明的一个实施方式所涉及的发光特性测定方法的特征在于，在测定发光元件的发光特性的发光特性测定方法中，具有以下步骤：配置步骤，在该步骤中，与具有能够对从排列的多个发光元件输出的光进行受光的入射口的光学积分器相对应，配置所述多个发光元件，以使得射出的光向所述光学积分器的所述入射***入；校正步骤，在该步骤中，使所述多个发光元件择一地依次发光，并且与所述发光元件相对于所述光学积分器的所述入射口的位置相对应，对由所述光学积分器均一化后的所述光依次受光而得到的受光结果进行校正。

所述发光特性测定方法还可以具有移动步骤，在该步骤中，对可以使所述多个发光元件沿排列方向移动的载物台装置进行控制，以可由所述光学积分器的所述入射口获取光的发光元件的数量为单位，使所述多个发光元件沿所述排列方向移动。

所述发光特性测定方法还可以具有校正步骤，在该步骤中，对从所述受光元件依次获得的受光结果进行校正，以使得其与在所述光学积分器的所述入射口的中心位置配置的所述发光元件发光的情况下由所述光学积分器均一化后的光相同。

所述发光特性测定方法还可以具有校正步骤，在该步骤中，利用预先求出的高次校正函数或者校正表，对从所述受光元件依次获得的受光结果进行校正。

附图说明

图1是表示本发明的一个实施方式所涉及的发光特性测定装置的要部结构的图。

图2A以及图2B是示意地表示本发明的一个实施方式所涉及的发光特性测定装置所具有的电源连接部的斜视图。

图3A、图3B以及图3C是表示本发明的一个实施方式所涉及的发光特性测定装置所具有的积分球的外观的图。

图4是表示本发明的一个实施方式所涉及的发光特性测定方法的流程图。

图5A以及图5B是表示本发明的一个实施方式所涉及的发光特性测定装置测定时，发光元件与管脚的接触状态的图。

图6A以及图6B是表示本发明的一个实施方式所涉及的发光特性测定装置的测定结果的一个例子的图。

图7是表示本发明的一个实施方式所涉及的发光特性测定装置的测定时间的一个例子的图。

具体实施方式

下面，参照附图，说明本发明的实施方式。本发明的实施方式的以下说明，仅是具体地说明在附加的权利要求中限定的发明及其等价内容，目的不是对其进行限定，这基于本公开内容，对于本领域技术人员来说是显而易见的。

图1是表示本发明的一个实施方式所涉及的发光特性测定装置的要部结构的图。如图1所示，本实施方式所涉及的发光特性测定装置1具有载物台装置11、电源装置12、电源连接部13、积分球14、受光装置15、以及控制处理装置16。载物台装置11具有载物台11a。在载物台11a上载置有多个发光元件L。发光特性测定装置1对在载物台11a上排列的多个发光元件L的发光特性进行测定。积分球14是光学积分器的1种形态。

在这里，作为测定对象的发光元件L为发光二极管（LED）或激光二极管（LD）等。发光元件L以使光的射出面朝向载物台11a上方的状态排列在载物台11a上。并且，在本实施方式中，为了简化说明，发光元件L在载物台11a上，沿载物台11a的移动方向D1隔着一定间隔以直线状排列（一维排列）。另外，上述发光元件L的发光特性，例如是指从发光元件L射出的光的光量和波长特性（光谱）等特性。

载物台装置11具有载物台11a，该载物台11a构成为，可以沿移动方向D1以及升降方向D2移动。载物台装置11基于从控制处理装置16输出的控制信号C1，使载物台11a沿移动方向D1或者升降方向D2移动。载物台装置11具有编码器（省略图示），其检测载物台11a的移动方向D1以及升降方向D2的位置，并将该检测结果Q1向控制处理装置16输出。

电源装置12基于从控制处理装置16输出的控制信号C2，将用于使载置在载物台11a上的发光元件L发光的电流或者电压（以下，简称为电流）向电源连接部13供给。具体地说，电源装置12具有多个可以分别供给电流的输出端子（通道），通过基于来自控制处理装置16的控制信号C2，依次切换供给电流的通道，从而将用于使发光元件L择一地依次发光的电流向电流连接部13供给。

电源连接部13配置在载物台装置11的上方，将来自电源装置12的电流，向载物台11a上载置的发光元件L供给。图2A以及图2B是示意地表示本发明的一个实施方式所涉及的发光特性测定装置所具有的电源连接部的斜视图。图2A是电源连接部13的上面斜视图，图2B是电源连接部13的背面斜视图。如图2A以及图2B所示，电源连接部13具有支撑板13a、以及在支撑板13a的背面设置的多对（在图1、图2A以及图2B所示的例子中为5对）管脚P，管脚P配置在在载物台11a升起的情况下能够与载物台11a上的发光元件L接触的位置。

支撑板13a是对在背面设置的管脚P的根部进行支撑的平板部件，在其中央部形成矩形的开口部OP，该开口部OP用于使从发光元件L射出的光透过。并且，该开口部OP形成为，形状及大小与积分球14的入射口14a的形状以及大小大致相同，支撑板13a配置为，使开口部OP的长边沿着载物台11a的移动方向D1。管脚P是例如由铝（Al）或铜（Cu）等金属形成的针状部件，通过与发光元件L接触，从而将来自电源装置12的电流向发光元件L供给。

具体地说，管脚P在支撑板13a的背面侧，以成对且前端部彼此接近的方式，沿着开口部OP的边长设置多对。并且，在图1、图2A以及图2B中，示出5对管脚P，但管脚P的数量是任意的（例如，几十对左右）。在载物台11a上升的情况下，通过使成对的管脚P的前端部分别与在发光元件L上形成的一对电极焊盘（省略图示）接触，从而成为可以将来自电源装置12的电流向发光元件L供给的状态。

积分球14是将入射的光在空间上积分并均一化的装置，在电源连接部13的上方，在相对于电源连接部13定位的状态下配置。图3A、图3B以及图3C表示本发明的一个实施方式所涉及的发光特性测定装置所具有的积分球的外观图。图3A是主视图，图3B是右侧视图，图3C是仰视图。如图3A、图3B以及图3C所示，积分球14由光入射的入射口14a、将从入射口14a入射的光在空间上积分并均一化的主体部14b、以及将由主体部14b均一化的光射出的射出口14c构成。

入射口14a是底面形状为矩形的开口，具有可以使来自载物台11a上的多个发光元件L的光进入主体部14b的大小，通过四边环形状的部件从主体部14b的底部向下方突出而形成。并且，在本实施方式中，为了简化说明，入射口14a的大小形成为，可以使来自与在电源连接部13上设置的管脚P的对数相同的5个发光元件L的光进入主体部14b。

主体部14b是具有内壁的球形状的部件，该内壁由对于从发光元件L射出的光具有较高反射率、并且扩散性优良的材料而形成，通过从入射口14a入射的光反复被内壁扩散以及反射，从而在空间上积分而均一化。射出口14c设置在主体部14b的背面侧，将由主体部14b均一化的光向外部射出。可以在该射出口14c上安装光纤F（参照图1），该光纤F用于将由主体部14b均一化的光向外部导出。

该积分球14相对于电源连接部13进行定位，使入射口14a配置于在电源连接部13的支撑板13a上形成的开口部OP的上方。并且，在图1所示的例子中，示出积分球14和电源连接部13分离配置的状态，但积分球14的入射口14a也可以以不与电源连接部13的管脚P接触的方式，***在电源连接部13的支撑板13a上形成的开口部OP中。

如下举出积分球14的具体大小的一个例子。积分球14的入射口14a的大小为，短边长度为10mm左右，长边长度为20mm左右。另外，积分球14的主体部14b的大小为，直径为50mm左右。在使用所述大小的积分球14的情况下，如果发光元件L的大小为0.5mm程度的大小，则积分球14的入射口14可以使30至40个左右的发光元件L发出的光进入主体部14b。

受光装置15经由光纤F与积分球14的射出口14c连接，对由积分球14均一化的光进行受光，并输出受光信号R1（受光结果）。具体地说，受光装置15具有分光器15a以及受光器15b，由积分球14均一化的光被分光器15a分光，被分光的光由受光器15b受光，从而输出上述受光信号R1。并且，由分光器15a分光的波长和开始分光的定时，通过控制处理装置16进行控制。另外，作为受光器15b可以使用光电二极管（PD：PhotoDiode）等受光元件。

控制处理装置16输出控制信号C1、C2，对载物台装置11以及电源装置12进行控制，并且基于从受光装置15输出的受光信号R1，对发光元件L的发光特性进行测定。具体地说，控制处理装置16输出控制信号C1，对载物台装置11进行控制，以可由积分球14的入射口14a获取光的发光元件L的数量（在这里，为5个发光元件L）为单位，使载物台11a上的发光元件L向移动方向D1移动。另外，输出控制信号C1，对载物台装置11进行控制，使载物台11a升降。

另外，控制处理装置16向电源装置12输出控制信号C2，使在载物台11a上排列的发光元件L中的与电源连接部13的管脚P接触的发光元件L择一地依次发光。并且，对应于与积分球14的入射口14a相对的发光元件L的位置，对从发光装置15依次输出的受光信号R1进行校正。如上所述进行校正的原因在于，与发光元件L的位置相对应，积分球14的入射口14a中的晕影量变化，因此在该状态下无法进行高精度的测定。

具体地说，控制处理装置16对从受光元件L依次获得的受光结果进行校正，以使得其与在积分球14的入射口14a的中心位置的下方配置的发光元件L发光的情况下从受光装置15获得的受光结果一致。即，在入射口14a的中心位置的下方配置受光元件L的情况下，从受光元件L射出的光全部从入射口14a射入主体部14b，认为晕影量最小，因此进行上述的校正。

控制处理装置16利用预先求出的高次校正函数（例如，4次校正函数）或者校正表，对从发光装置15依次输出的受光信号R1进行校正。并且，校正函数或校正表，例如通过以下步骤求出。首先，将发光特性已知的基准发光元件载置在载物台11a上，改变发光元件的位置，同时依次取得来自发光装置15的受光信号R1。并且，通过求出校正系数或校正值，从而生成校正函数或校正表，该校正系数或校正值使在各个位置上取得的受光信号R1，与在积分球14的入射口14a的中心位置下方配置发光元件L时从受光装置15得到的受光信号R1相等。

下面，说明上述结构中的发光特性测定装置1的动作。图4是表示本发明的一个实施方式所涉及的发光特性测定方法的流程图。在测定之前，进行将作为测定对象的多个发光元件L载置于载物台11a上的作业。具体地说，以沿着移动方向D1间隔一定距离直线状配置的方式，进行载置多个发光元件L的作业。

如果以上作业结束，进行测定开始的指示，则从控制处理装置16向载物台装置11输出控制信号C1，进行将最初应测定的多个发光元件L（5个发光元件L）向预先规定的测定准备位置上配置的处理。具体地说，进行以下处理，即，使载物台11a沿移动方向D1移动，以使最初应测定的5个发光元件L分别位于在电源连接部13上设置的5对管脚P的下方（测定准备位置）（步骤S11：第1步）

如果载物台11a的移动结束，则再次从控制处理装置16向载物台装置11输出控制信号C1，进行使载物台11a上升的处理。如果进行该处理，则在测定准备位置上配置的5个发光元件L与载物台11a的上升一起上升，如图5A、5B所示，最初应测定的5个发光元件L处于分别与在电源连接部13上设置的5对管脚P接触的状态（步骤S12：第1步）。图5A、图5B是表示本发明的一个实施方式所涉及的发光特性装置测定时，发光元件与管脚的接触状态的图。图5A是主视图，图5B是右侧视图。

如果以上的处理结束，则从控制处理装置16向电源装置12输出控制信号C2，进行使最初应测定的5个发光元件L择一地依次发光的处理（步骤S13：第2步）。例如，进行下述处理，即，使图5A所示的与管脚P接触的5个发光元件，以从位于最右侧的发光元件L至位于左侧的发光元件L的顺序，择一地依次发光。

通过发光元件L的发光而从发光元件L射出的光，经由积分球14的入射口14a向主体部14b射入，在空间上积分并均一化后，从射出口14c射出。从积分球14的射出口14c射出的光，通过光纤F导入受光装置15，由分光器15a分光后，由受光器15b受光。由此，从受光装置15输出受光信号R1。

来自受光装置15的受光信号R1，在每次使发光元件L发光时输出，依次向控制处理装置16输入。向控制处理装置16依次输入的受光信号R1，利用预先求出的校正函数或校正表进行校正。具体地说，向控制装置16依次输入的受光信号R1，利用校正函数或校正表进行校正，以使得其与在积分球14的入射口14a的中心位置下方配置的发光元件L发光的情况下从受光装置15得到的受光结果相同（步骤S14：第2步）。

如果以上校正结束，则控制处理装置16对单位数量的发光元件L（最初应测定的5个发光元件L）的发光是否结束进行判断（步骤S15）。在判断为单位数量的发光元件L的发光没有结束的情况（判断结果为“否”的情况）下，控制处理装置16反复进行步骤S13、S14的处理。与此相对应，在判断为单位数量的发光元件L的发光结束的情况（判断结果为“是”的情况）下，控制处理装置16对在载物台11a上载置的全部发光元件L的发光是否结束进行判断（步骤S16）。

在判断为在载物台11a上载置的全部发光元件L的发光没有结束的情况（步骤S16的判断结果为“否”的情况）下，控制处理装置16向载物台装置11输出控制信号C1，使载物台11a下降，使发光元件L离开管脚P（步骤S17）。并且，控制处理装置16向载物台装置11输出控制信号C1，将接下来应测定的多个发光元件L（5个发光元件L）配置在测定准备位置上，进行所述发光元件L的发光特性的测定（步骤S11至S14）。与之相对，在判断为在载物台11a上载置的全部发光元件L的发光结束的情况（步骤S16的判断结果为“是”的情况）下，结束图4所示的一系列的处理。

图6A以及图6B是表示本发明的一个实施方式所涉及的发光特性测定装置的测定结果的一个例子的图。图6A是表示没有进行校正的情况下的测定结果的图，图6B是进行了校正的情况下的测定结果的图。并且，图6A以及图6B所示的坐标图中，将移动方向D1的位置取为横轴，将受光信号R1的相对强度取为纵轴。在这里，横轴的原点为积分球14的入射口14a的中心位置，纵轴是与在积分球14的入射口14a的中心位置的下方配置的发光元件L发光的情况下从受光装置15得到的受光信号R1相对的相对强度。

参照图6A可知，从受光装置15输出的受光信号R1（没有进行校正的情况下的测定结果）的强度，在配置在原点上的发光元件L发光的情况下最高，随着发光的发光元件L的位置偏离原点而逐渐变小。其原因在于，随着偏离原点，积分球14的入射口14a中的晕影量变大，向积分球14的主体部14b入射的光量减少。

与之相对，如果对从受光装置15输出的受光信号R1进行所述校正，则如图6B所示，可知测定结果的强度与位置无关，大致一定。具体地说，可以使在偏离原点的位置上配置的发光元件L发光的情况下得到的受光信号R1，与在原点上配置的发光元件L发光的情况下得到的受光信号R1大致相同。

如上所述，在本实施方式中，利用具有大小能够使从排列的多个发光元件L发出的光射入的入射口14a的积分球14，使多个发光元件L择一地依次发光，并且与发光元件L相对于积分球14的入射口14a的位置相对应，对从受光装置15依次得到的受光信号R1进行校正。由此，可以高精度地测定多个发光元件L的发光特性。

另外，在本实施方式中，以可由积分球14的入射口14a获取光的发光元件L的数量（在本实施方式中，为5个发光元件L）为单位，进行发光特性的测定和载物台11a的移动。由此，与现有技术相比，可以减少载物台11a的移动次数，可以高效地测定多个发光元件L的发光特性。

具体地说，将为了使发光元件L移动而与电源连接部13的管脚P接触所需的时间（输送时间）设为T1，将为了使1个发光元件L发光而测定发光特性所需的时间（测定时间）设为T2。如果将在载物台11a的一次移动中进行测定的发光元件L的数量（单位数量）设为n（n为大于或等于1的整数），则用于测定n个发光元件L的发光特性所必要的时间（单位数量测定时间）Ta由以下公式（1）表示。

Ta＝T1＋n·T2……（1）

如果将在载物台11a上载置的发光元件L的总数设为N个，则用于测定N个发光元件L所必要的时间Tb由以下公式（2）表示。

Tb＝N·Ta/n……（2）

图7是表示本发明的一个实施方式所涉及的发光特性测定装置的测定时间的一个例子的图。并且，在图7中，表示输送时间T1为100[msec]、测定时间T2为10[msec]，单位数量n为1、5、10的情况下的测定时间。如图7所示，输送时间T1与单位数量n无关，为100[msec]。另外，由于测定时间T2为10[msec]，因此单位数量n为1、5、10的情况下的测定所需要的时间分别为10、50、100[msec]。

由此，单位数量n为1、5、10的情况下的单位数量测定时间Ta，根据上述公式（1）分别为110、150、200[msec]，每1个的平均测定时间由单位数量测定时间Ta除以单位数量n而得出，分为为110、30、20[msec]。由于输送时间T1与测定时间T2相比较长，因此在单位数量n较小的情况（例如，单位数量n为1的情况）下，每1个的平均测定时间的大部分被输送时间T1占据。与此相对，如果单位数量n变大，则输送时间T1被分配给n个发光元件L，输送时间T1在每1个的平均测定时间中所占的比例变小，因此可以缩短测定时间。

在上述实施方式中，为了简化说明，对以一维排列的发光元件L进行测定的例子进行了说明，但本发明也可以测定二维排列的发光元件L。

另外，在上述的实施方式中，积分球14是开口部14a从主体部14b的底部向下方突出的状态，但开口部14a不一定必须从主体部14b的底部向下方突出。例如，也可以通过在主体部14b的底面上形成切口，从而设置开口部14a。另外，积分球14的入射口14a的底面形状不限于矩形，也可以是椭圆形状。

另外，在上述的实施方式中，以受光装置15具有分光器15a以及受光器15b，可以测定从受光元件L射出的光的光谱的发光特性测定装置为例进行了说明，但在不需要测定光谱的情况下，可以省略分光器15a。另外，在该情况下，也可以构成为将受光装置15或受光器15b直接安装在积分球14的射出口14c上。

本发明提供一种可以精确且高效地测定多个发光元件的发光特性的发光特性测定装置以及方法。

根据本发明的实施方式，相对于具有大小可以使从排列的多个发光元件发出的光射入的入射口的光学积分器，以射出的光向光学积分器的入射***入的方式配置多个发光元件，使多个发光元件择一地依次发光，并且，与发光元件相对于光学积分器的入射口的位置相对应，对由光学积分器均一化后的光依次受光而得到的受光结果进行校正，因此，可以精确且高效地测定多个发光元件的发光特性。

在本说明书中，表示“前、后、上、下、右、左、垂直、水平、下、横、行以及列”等方向的词语，是针对本发明的装置中的上述方向而言的。由此，本发明的说明书中的这些词语，应在本发明的装置中相对应地进行解释。

“构成”这一词语是为了用于实行本发明的功能而构成的，或者为了表示装置的结构、要素、部分而使用。

并且，在技术方案中表现为“方法加功能”的词语，应包含为了实现本发明所包含的功能而利用的所有构造。

用语“部（单元）”，是为了叙述装置的组成部件、零件以及部分而使用的，包含为了实行期望的功能而构成或者被编程的硬件和/或软件。作为该硬件的典型例子，包含设备以及回路，但不限定于此。

以上，说明并例证了本发明的优选实施方式，但这些是本发明的示例，不应该限定性地考虑，在不脱离本发明的精神或范围的情况下，可以进行追加、删除、置换以及其它变更。即，本发明不由所述的实施方式进行限定，而由权利要求书的范围进行限定。

Claims (16)

1.一种发光特性测定装置，其测定发光元件的发光特性，其特征在于，具有：

光学积分器，其具有能够对从排列的多个发光元件输出的光进行受光的入射口，从所述入射口对从所述多个发光元件输出的所述光进行受光，将受光的所述光均一化；

受光装置，其对由所述光学积分器均一化后的所述光进行受光；以及

控制处理装置，其使所述多个发光元件择一地依次发光，并且与所述发光元件相对于所述光学积分器的所述入射口的位置相对应，对从所述受光装置依次获得的受光结果进行校正。

2.根据权利要求1所述的发光特性测定装置，其特征在于，

还具有载物台装置，其能够使所述多个发光元件沿所述多个发光元件的排列方向移动，

所述控制处理装置对所述载物台装置进行控制，以可由所述光学积分器的所述入射口获取光的发光元件的数量为单位，使所述多个发光元件沿所述排列方向移动。

3.根据权利要求1所述的发光特性测定装置，其特征在于，

所述控制处理装置对从所述受光元件依次获得的受光结果进行校正，以使得其与在所述光学积分器的所述入射口的中心位置配置的所述发光元件发光的情况下从所述受光装置获得的受光结果相同。

4.根据权利要求1所述的发光特性测定装置，其特征在于，

所述受光装置具有：

分光器，其对由所述光学积分器均一化后的所述光进行分光；以及

受光器，其对由所述分光器分光后的所述光进行受光。

5.根据权利要求2所述的发光特性测定装置，其特征在于，

所述控制处理装置，对从所述受光元件依次获得的受光结果进行校正，以使得其与在所述光学积分器的所述入射口的中心位置上配置的所述发光元件发光的情况下从所述受光装置获得的受光结果相同。

6.根据权利要求2所述的发光特性测定装置，其特征在于，

所述受光装置具有：

分光器，其对由所述光学积分器均一化后的所述光进行分光；以及

受光器，其对由所述分光器分光后的所述光进行受光。

7.根据权利要求3所述的发光特性测定装置，其特征在于，

所述控制处理装置，利用预先求出的高次校正函数或者校正表，对从所述受光元件依次获得的受光结果进行校正。

8.根据权利要求3所述的发光特性测定装置，其特征在于，

所述受光装置具有：

分光器，其对由所述光学积分器均一化后的所述光进行分光；以及

受光器，其对由所述分光器分光后的所述光进行受光。

9.根据权利要求5所述的发光特性测定装置，其特征在于，

所述控制处理装置，利用预先求出的高次校正函数或者校正表，对从所述受光元件依次获得的受光结果进行校正。

10.根据权利要求5所述的发光特性测定装置，其特征在于，

所述受光装置具有：

分光器，其对由所述光学积分器均一化后的所述光进行分光；以及

受光器，其对由所述分光器分光后的所述光进行受光。

11.根据权利要求7所述的发光特性测定装置，其特征在于，

所述受光装置具有：

分光器，其对由所述光学积分器均一化后的所述光进行分光；以及

受光器，其对由所述分光器分光后的所述光进行受光。

12.根据权利要求9所述的发光特性测定装置，其特征在于，

所述受光装置具有：

分光器，其对由所述光学积分器均一化后的所述光进行分光；以及

受光器，其对由所述分光器分光后的所述光进行受光。

13.一种发光特性测定方法，其测定发光元件的发光特性，其特征在于，具有：

配置步骤，在该步骤中，相对于具有能够对从排列的多个发光元件输出的光进行受光的入射口的光学积分器，配置所述多个发光元件，以使所述射出的光射入所述光学积分器的所述入射口；以及

校正步骤，在该步骤中，使所述多个发光元件择一地依次发光，并且与所述发光元件相对于所述光学积分器的入射口的位置相对应，对由所述光学积分器均一化后的光依次受光而获得的受光结果进行校正。

14.根据权利要求13所述的发光特性测定方法，其特征在于，

还具有移动步骤，在该步骤中，对可使所述多个发光元件沿排列方向移动的载物台装置进行控制，以可由所述光学积分器的入射口获取光的发光元件的数量为单位，使所述多个发光元件沿所述排列方向移动。

15.根据权利要求13所述的发光特性测定方法，其特征在于，

还具有校正步骤，在该步骤中，对从所述受光元件依次获得的受光结果进行校正，以使得其与在所述光学积分器的入射口的中心位置上配置的所述发光元件发光的情况下由所述光学积分器均一化后的光相同。

16.根据权利要求13所述的发光特性测定方法，其特征在于，

还具有校正步骤，在该步骤中，利用预先求出的高次校正函数或者校正表，对从所述受光元件依次获得的受光结果进行校正。

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