CN102576660B - 药液供给装置以及药液供给方法 - Google Patents

Abstract

药液供给装置具有通过自由弹性变形的波纹管(14)进行膨胀收缩的泵室(15)被设置的泵(12)，药液容器(10)内的药液经由吸入流道(21)而被导向泵室(15)。泵室(15)内的药液经由喷出流道(22)被喷出至喷出喷嘴(11)。在泵(12)环状地连接有将从泵室(15)提供的药液回流至泵室(15)并具有膨胀收缩部的循环流道(23)。在循环流道(23)设置有将回流至泵室的药液进行过滤的过滤器(30)。当从喷出喷嘴(11)喷出药液时，由于没有对泵(12)附加过滤器的通过阻力，因此能够以高精度将一定量的药液从喷出喷嘴(11)喷出。

Description

药液供给装置以及药液供给方法

技术领域

本发明涉及用于将光致抗蚀剂液等药液涂覆于半导体晶片等被涂覆物的药液供给装置以及药液供给方法。

背景技术

在半导体晶片的制造处理中，使用光致抗蚀剂液、纯水、有机溶剂等的药液，这些药液通过药液供给装置被涂覆于半导体晶片。例如，在将光致抗蚀剂液涂覆于半导体晶片的情况下，通过泵将药液容器内的药液吸引并从喷出喷嘴喷出药液。作为喷出药液的泵的方式，存在如专利文献1中记载的、将沿径向膨胀收缩的树脂制的管作为泵部件并在其内侧划分形成泵室这样的类型、以及如专利文献2中记载的、将沿轴向膨胀收缩的树脂制的波纹管作为泵部件并在收容波纹管的壳体和波纹管之间划分形成泵室这样的类型。此外，作为泵的方式，还存在将隔膜作为泵部件的类型等。

在这样的药液供给装置中，为了将药液中含有的颗粒和气泡去除，而通过过滤器过滤药液。

作为过滤器的设置方式，存在设置于泵的一次侧的方式、以及如专利文献2中记载的设置于泵的二次侧的方式。在将过滤器设置于泵的二次侧的方式中，过滤器设置在泵和喷出喷嘴之间，通过利用泵的喷出动作将药液供应至过滤器，从而过滤药液。另一方面，在将过滤器设置于泵的一次侧的方式中，过滤器设置在药液容器和泵之间，利用泵的吸入动作将药液吸引供应至过滤器以进行过滤。

在将过滤器设置于泵的二次侧的方式中，虽然能够将药液可靠地进行过滤，但由于同时进行喷出动作和过滤动作，因此由于过滤器的通过阻力导致喷出量发生变化。因此，当在过滤器中产生堵塞、或者在过滤器内积存气泡时，过滤器的通过阻力增加，由于在泵的喷出压力变高的同时喷出量减少，因此导致长期间不能够以相同精度将药液从喷出喷嘴持续喷出。这样，当由于过滤器中的次要原因引起药液的流量、喷出量发生变化时，在该方式中，不能发挥泵本来的喷出性能。

另一方面，在将过滤器设置于泵的一次侧的方式中，由于过滤器未被配置于泵的二次侧，因此虽然过滤器的堵塞对喷出精度的影响较小，但当利用吸入动作使药液通过过滤器时，由于药液成为负压状态，因此溶解在药液中的气体变为气泡而混入药液。结果，在半导体晶片上产生电路图案的缺陷，次品增加。为了改善该情况，必须在药液供给装置中附加用于去除气泡的***，从而导致装置的复杂化、高成本化不可避免。

为了解决这样的问题，如专利文献3、4所记载，存在如下的药液供给装置：在两台泵之间配置过滤器，并利用第一泵将药液从药液容器提供给过滤器，同时将药液吸入第二泵内。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平10-61558号公报

专利文献2：日本特开2002-113406号公报

专利文献3：日本专利第3286687号公报

专利文献4：日本特开2007-117787号公报

但是，如果在一个药液供应线中设置两台泵，存在不但装置价格昂贵且大型化，而且存在装置整体的配管类、控制程序等也变复杂的问题。并且，如专利文献4所记载，当在过滤器和第二泵之间使用缓冲罐时，由于收容在缓冲罐内的药液的表面与空气接触，因此与空气接触的药液凝胶化，导致在药液中混入颗粒。

发明内容

本发明的目的在于提供能够在将药液中含有的气泡、灰尘等异物去除的同时，将一定量的药液从喷出喷嘴以高精度喷出的药液供给装置以及药液供给方法。

本发明的药液供给装置包括：吸入流道，所述吸入流道与泵连接，所述泵设置有通过泵部件而膨胀收缩的泵室，所述吸入流道将药液容器内的药液导向所述泵室；喷出流道，所述喷出流道连接在所述泵和喷出喷嘴之间，将所述泵室内的药液喷出至所述喷出喷嘴；以及循环流道，在所述循环流道设置有将从所述泵室提供的药液临时储存的膨胀收缩部，且所述循环流道的流入部和流出部分别连接于所述泵，将从所述泵室提供的药液回流至所述泵室，其中，在所述循环流道设置有对经由所述循环流道回流至所述泵室的药液进行过滤的过滤器，通过所述泵进行所述药液容器内的药液在所述循环流道中的循环动作、和所述循环流道内被过滤的药液向所述喷出喷嘴喷出的喷出动作。

在本发明的药液供给装置中，所述膨胀收缩部是通过自由弹性变形的罐部件形成膨胀收缩室的罐。本发明的药液供给装置包括：喷出阀单元，当使所述泵室收缩而将所述泵室内的药液喷出至所述喷出喷嘴时打开所述喷出流道；吸入阀单元，当使所述泵室膨胀而将所述药液容器内的药液导向所述泵室内时打开所述吸入流道；循环阀单元，当将所述泵室内的药液提供给所述循环流道时打开所述循环流道的所述流入部；以及回流阀单元，当将被所述过滤器过滤的药液回流至所述泵室时打开所述循环流道的所述流出部。

本发明的药液供给方法是药液供给装置的药液供给方法，所述药液供给装置包括：吸入流道，将通过装在泵内的泵部件划分且膨胀收缩的泵室和药液容器连接；循环流道，设置有将从所述泵室提供的药液临时储存的膨胀收缩部，且将从所述泵室提供的药液回流至所述泵室；以及喷出流道，将所述泵室和喷出喷嘴连接，在所述药液供给方法中，将所述药液容器内的药液喷出至所述喷出喷嘴，所述药液供给方法包括：吸入工序，在将所述吸入流道打开的状态下，使所述泵室膨胀，将所述药液容器内的药液导向所述泵室；过滤工序，在将所述循环流道的流入部打开的状态下，使所述泵室收缩，将从所述泵室提供的药液通过过滤器进行过滤；回流工序，在将所述循环流道的流出部打开的状态下，使所述泵室膨胀，将从所述循环流道回流的被过滤的药液吸入至所述泵室；以及喷出工序，在将所述喷出流道打开的状态下，使所述泵室收缩，将所述泵室内的被过滤的药液喷出至所述喷出喷嘴，其中，通过所述泵进行所述药液容器内的药液在所述循环流道中的循环动作、和所述循环流道内的过滤后的药液向所述喷出喷嘴喷出的喷出动作。在本发明的药液供给方法中，所述膨胀收缩部是通过自由弹性变形的罐部件形成膨胀收缩室的罐。

发明效果

根据本发明，由于在将从泵室供应的药液回流至泵室的循环流道设置有过滤药液的过滤器，并且将过滤后的药液从泵室喷出至喷出喷嘴的喷出流道形成为与循环流道分离的***，因此当从喷出喷嘴喷出药液时，没有对泵施加过滤器的通过阻力。由此，当将药液从泵喷出至喷出喷嘴时，能够高精度地设定药液的喷出量、流量。

由于当将药液通过设置于循环流道的过滤器而过滤药液时，药液通过泵室被加压后将药液供应至过滤器，因此当过滤时药液未成为负压状态，从而防止了来自药液的气泡的产生。由此，不需要在药液供给装置中附加用于去除气泡的***。并且，能够在与喷出流速不同的过滤中以适当的流速进行过滤。

附图说明

图1是示出作为本发明的一实施方式的药液供给装置的药液线路图。

图2是示出成为吸入工序的状态的药液线路图。

图3是示出成为过滤工序的状态的药液线路图。

图4是示出在回流工序中动作的状态的药液线路图。

图5是示出在喷出工序中动作的状态的药液线路图。

图6是示出泵的其他具体例的剖视图。

图7是示出泵的另一其他具体例的剖视图。

图8是示出泵的另一其他具体例的剖视图。

图9是示出作为本发明的其他实施方式的药液供给装置的药液线路图。

图10是示出作为本发明的另一其他实施方式的药液供给装置的药液线路图。

具体实施方式

以下，基于附图对本发明的实施方式进行详细说明。如图1所示，该药液供给装置用于将收容于药液容器10的药液从喷射喷嘴11喷出并涂覆于未图示的被涂覆物。例如，用于将被涂覆物作为半导体晶片，并对其涂覆作为药液的光致抗蚀剂液。

用于将药液供应至被涂覆物的泵12具有泵壳13和安装在泵壳13中的自由弹性变形的波纹管14，通过该波纹管14和泵壳13划分泵室15。在泵壳13上安装有将驱动轴16沿轴向进行往复运动的驱动机构17，该驱动机构17具有将电动电机和电机主轴的旋转运动变换为轴向运动的变换部。通过对驱动机构17进行驱动，从而当使波纹管14沿轴向弹性变形时，泵室15进行膨胀收缩。作为用于对作为泵部件的波纹管14进行驱动的驱动单元，也可以使用气压缸、液压缸等流压缸，以代替具有电动电机的驱动机构。

在泵12的一次侧端口20a连接有吸入流道21，该吸入流道21与泵室15连通。吸入流道21的端部配置在收容药液的药液容器10内，通过吸入流道21，药液容器10内的药液被导向泵室15。在泵12的二次侧端口20b，喷出流道22与泵室15连通并连接，在该喷出流道22的前端部设置有喷出喷嘴11，通过喷出流道22，泵室15内的药液被喷出至喷出喷嘴11。一次侧端口20a设置在泵壳13的下侧部分，二次侧端口20b设置在泵壳13的上侧部分。

在泵12中，环状地设置有将从泵室15提供的药液再次回流至泵室15的循环流道23，循环流道23的流入部24连接于泵12的二次侧端口20b并与泵室15连通，循环流道23的流出部25连接于泵12的一次侧端口20a并与泵室15连通。如图1所示，吸入流道21和流出部25经由将他们合流而成的共通流道而与一次侧端口20a连通，喷出流道22和流入部24经由将他们合流的共通流道而与二次侧端口20b连通。但是，也可以使各个流道分别与泵室连通。

在循环流道23上设置有膨胀收缩部26，该膨胀收缩部26具有由刚性材料制成的管部件26a，在该管部件26a的内部，作为弹性变形部件而安装有沿径向自由弹性变形的可挠性管27。可挠性管27的内部具有引导药液的连通孔28，当药液从泵12被供应至循环流道23时，通过所供应的药液，可挠性管27膨胀，药液被临时储存在膨胀后的连通孔28内。另一方面，当药液从循环流道23回流到泵室15内时，可挠性管27收缩。当可挠性管27沿径向弹性变形时，在管部件26a上形成有使管部件26a和可挠性管27之间的空间连通于外部的呼吸孔(息付け孔)29。这样，随着供应至循环流道23的药液的量，作为弹性变形部件的可挠性管27构成沿径向膨胀收缩的罐部件，连通孔28构成膨胀收缩室。

在循环流道23设置有位于膨胀收缩部26的上游侧并过滤循环流道23内流动的药液的过滤器30。由此，从泵室15供应至循环流道23的药液被过滤器30过滤后提供给可挠性管27，被过滤且被净化的药液回流至泵室15。

在吸入流道21，作为吸入阀单元而设置有流道开闭阀31，该流道开闭阀31在通过使波纹管14沿轴向收缩而使泵室15膨胀、并将药液容器10内的药液导向泵室15内时，打开吸入流道21。在喷出流道22，作为喷出阀单元而设置有流道开闭阀32，该流道开闭阀32在使泵室15收缩并将泵室15内的药液喷出至喷出喷嘴11时，打开喷出流道22。在循环流道23的流入部24，作为循环阀单元而设置有流道开闭阀33，该流道开闭阀33在将泵室15内的药液供应至循环流道23时，打开流入部24。在循环流道23的流出部25，作为回流阀单元而设置有流道开闭阀34，该流道开闭阀34在将被过滤器30过滤后的药液回流至泵室15时，打开流出部25。

在通过流道开闭阀31打开吸入流道21以将药液容器10内的药液导向至泵室15内时，其他流道被流道开闭阀32、33、34关闭。在通过流道开闭阀32打开喷出流道22以将泵室15内的药液喷出至喷出喷嘴11时，其他流道被流道开闭阀31、33、34关闭。在通过流道开闭阀33打开流入部24以将泵室15内的药液供应至循环流道23时，其他流道被流道开闭阀31、32、34关闭。此外，在通过流道开闭阀34打开流出部25以将过滤后的药液回流至泵室15时，其他流道被流道开闭阀31、32、33关闭。

各个流道开闭阀31～34是通过螺线管在将各个流道打开的位置和遮断的位置进行动作的二位切换阀，各个流道开闭阀31～34通过将驱动信号发送至螺线管而进行流道开闭动作。但是，作为各个流道的开闭阀，也可以是通过流压驱动滑阀进行的流体操作式，而不使用电磁阀。

为了将通过过滤器30捕捉到的气体排出至外部，在过滤器30上连接有排气流道35，在该排气流道35上，设置有开闭流道的流道开闭阀36。并且，为了将循环流道23内的气体排出至外部，在循环流道23的下游侧部连接有排气流道37，在该排气流道37设置有开闭流道的流道开闭阀38。在过滤器30和膨胀收缩部26之间的循环流道23设置有开闭流道的流道开闭阀39。

上述的波纹管14以及可挠性管27这样的药液所接触的部分由不会与作为药液的光致抗蚀剂液反应的氟树脂形成。但是，根据药液的种类，也可以使用橡胶或其他树脂、或者金属来代替氟树脂。

接着，参照图2～图5对通过上述药液供给装置对被涂覆物涂覆药液的工序进行说明。

当涂覆药液时，通过预先将药液容器10内的药液供应至循环流道23内并通过过滤器过滤药液，从而使在循环流道23循环且被过滤器30过滤后的药液涂覆于被涂覆物。为了过滤药液，如图1中实线所示，在使波纹管14膨胀且泵室15收缩的状态下，如图2所示，实行吸入工序。在该吸入工序中，在通过使流道开闭阀31动作而使吸入流道21打开的状态下，通过对泵12的驱动机构17进行驱动而使螺纹管14收缩，从而使泵室15膨胀。由此，药液容器10内的药液被导向泵室15。

接着，如图3所示，实行过滤工序。在过滤工序中，在通过流道开闭阀33打开循环流道23的流入部24、同时通过流道开闭阀39使过滤器30和膨胀收缩部26的连通孔28连通的状态下，通过使泵12的驱动机构17的电动电机反转而使波纹管14膨胀，从而使泵室15收缩。由此，泵室15内的药液通过循环流道23被输送至过滤器30并被过滤，同时被过滤后的药液向设置于膨胀收缩部26的可挠性管27内流动，从而可挠性管27由于供应至循环流道23内的药液而膨胀。进入膨胀后的连通孔28内的药液由于作为罐的可挠性管27的膨胀而被临时储存，因此能够防止药液与外部空气接触。在该过滤工序中，由于通过波纹管14使泵室15收缩并对药液加压后将药液供应至过滤器30，从而药液没有成为负压状态，防止了在过滤药液时溶解在药液内的气体变为气泡后生成混入药液内。如图所示，由于二次侧端口20b被设置在一次侧端口20a的上侧，因此，即使混入到药液容器10内的气泡流入到泵室15内，气泡也被导向过滤器30而不会停留泵室15内。

通过过滤器30被过滤的药液通过如图4所示的回流工序而回流至泵室15。在该回流工序中，在通过流道开闭阀34将循环流道23的流出部25打开、同时通过流道开闭阀39使过滤器30和膨胀收缩部26的连通孔28的连通遮断的状态下，通过使泵室15膨胀，从而循环流道23内的药液被回流到泵室15内。此时，随着泵室15的膨胀，膨胀收缩部26内的膨胀后的可挠性管27沿径向收缩。这样，药液容器10内的药液在从喷出喷嘴11被涂覆之前，通过预先在循环流道23内流动而被过滤器30过滤，在药液内含有的气泡或灰尘等异物被去除，从而药液容器10内的药液被净化。

为了提高清洁度，多次重复进行图3中进行的过滤工序、和图4中示出的回流工序，以进行增加循环次数的处理。

在回流工序完成的时刻，过滤完毕的药液进入通过泵室15膨胀而扩大的泵室15内。在该状态下，当通过流道开闭阀34关闭流出部25时，如图1所示，药液供给装置成为待机状态，此时，波纹管14如点划线所示成为收缩的状态。

为了将药液涂覆于被涂覆物，而实行图5中示出的喷出工序。在该喷出工序中，在通过流道开闭阀32将喷出流道22打开的状态下，使泵室15收缩，而将泵室15内的过滤的药液向喷出喷嘴11喷出。在将泵室15的容量设定得比从喷出喷嘴11向被涂覆物一次喷出的药液量大的情况下，能够连续地进行多次的喷出工序。

在将药液涂覆于被涂覆物之后，为了防止残留在喷出喷嘴11的前端部内的药液成为液滴而从喷出喷嘴11滴下到被涂覆物，也可以实行吸回工序。此时，如图5所示，在将喷出流道22打开的状态下，使泵室15略微膨胀。由此，残留在喷出喷嘴11的前端部内的药液略微回流以防止液垂(液だれ)，从而防止药液滴下到被涂覆物。在该吸回动作中，在喷出流道22未设置过滤器，由于未对喷出流道22内的药液施加通过阻力，因此，能够通过泵室15的膨胀量高精度地设定药液的吸回量。

当泵室15成为收缩极限且涂覆于被涂覆物的药液从泵室15内被消耗时，重复进行图2中示出的吸入工序、图3中示出的过滤工序、以及图4中示出的回流工序。

如图1～图5所示，在本发明的药液供给装置中，分别经由其他***的流道进行在循环流道23内药液流动而通过过滤器30进行净化的药液的过滤动作、和从喷出喷嘴11使药液喷出的喷出动作。并且，在各个其他***的流道中，通过一台泵12供应药液。这样，如果通过其他流道进行药液的过滤动作和喷出动作，则当通过驱动机构17对波纹管14进行驱动以将药液从喷出喷嘴11喷出时，由于未受到过滤器30的通过阻力，因此，能够高精度地保持从喷出喷嘴11的喷出量、流量。并且，由于在循环流道23设置有过滤器30，并且通过泵12将药液加压供应至过滤器30，因此，当通过过滤器30对药液进行过滤时，药液未成为负压状态。由此，能够防止溶解在药液中的气体成为气泡。并且，由于能够通过一台泵12将药液供应至双***的流道，因此，能够避免药液供给装置的复杂化。此外，由于过滤***和喷出***为单独的***，因此，能够使喷出动作时的药液的流速和过滤动作时的药液的流速相互不同。

在包括循环流道23的全部的流道内填充有药液的状态下进行图2～图5中示出的各工序。因此，当启动药液供给装置并使其工作时，预先使药液填充到全部的流道内以将流道内的空气排出到外部。此时，使用排气流道35、37将过滤器30内和循环流道23内的空气排出到外部。例如，当将药液供应到过滤器30内时，在将流道开闭阀31、33、36打开并将其他的流道开闭阀关闭的状态下，通过泵12将药液供应到过滤器30内。由此，在药液从吸入流道21被填充到过滤器30内的同时，过滤器30内的空气从排气流道35被排出到外部。通过将药液从泵12供应至循环流道23，从而循环流道23内的空气从排气流道37被排出到外部。这样，在将气泡从全部的流道内去除的状态下，通过药液供给装置进行对被涂覆物的药液涂覆。

图6是示出泵的其他具体例的剖视图。相对于图1中示出的泵12是将具有波纹部的波纹管14作为泵部件的类型，图6示出将隔膜14a作为泵部件的类型的泵12。隔膜14a成为被泵壳13和盖41夹装的状态，通过隔膜14a和泵壳13形成泵室15。通过盖41和隔膜14a形成加压室42，当通过从外部对加压室42供应排出加压流体而使隔膜14a弹性变形时，泵室15膨胀收缩。但是，也可以与图1中示出的情况相同，通过电动电机或流压缸使隔膜14a弹性变形。

在与该泵室15连通并形成于泵壳13的一次侧端口20a连接有吸入流道21和流出部25，在形成于泵壳13的二次侧端口20b连接有喷出流道22和流入部24。通过将二次侧端口20b配置在一次侧端口20a的上侧，从而能够将进入泵室15内的气泡向泵外排出。

图7是示出泵的另一其他具体例的剖视图，图7示出将专利文献1中记载的管作为泵部件的方式的泵12。作为泵部件的管14b沿上下方向配置，在其下端部设置有形成了一次侧端口20a的一次侧接合器51，在该一次侧接合器51连接有吸入流道21和流出部25。在管14b的上端部设置有形成了二次侧端口20b的二次侧接合器52，在该二次侧接合器52连接有喷出流道22和流入部24。在管14b的外侧安装有波纹管53，该波纹管53具有经由管14b的一端部而固定于接合器(adapter)51的固定圆盘部54、和经由管14b的另一端部而固定于接合器52的固定圆盘部55。各个固定圆盘部54、55被固定于支撑台56。

在固定圆盘部54上一体设置有大型波纹管部57，在固定圆盘部55上一体设置有与大型波纹管部57相比轴向的每单位位移量的容积变化较小的小型波纹管部58。在大型波纹管部57和小型波纹管部58之间，与这些波纹管部一体地设置有动作圆盘部59。在管14b和波纹管53之间，形成有封入非压缩性介质的驱动室60。在支撑台56上，沿波纹管53自由旋转地安装有滚珠丝杠轴61，螺纹结合于滚珠丝杠轴61的滚珠螺母62沿轴向自由往复运动地安装于设置在支撑台56上的导轨63。滚珠丝杠轴61经由滑轮64通过电动电机65被旋转驱动，当通过使滚珠丝杠轴61旋转而使动作圆盘部59沿轴向位移时，驱动室60的容积发生变化，管14b经由驱动室60内的非压缩性介质而沿径向膨胀收缩。

图8是示出泵的另一其他具体例的剖视图。该泵的泵壳13通过底面附有圆筒形状的汽缸而形成，由活塞14c形成的泵部件沿轴向自由往复移动地安装在泵壳13内，通过该活塞14c，在泵壳13内形成有泵室15。活塞14c安装于驱动杆44的前端，驱动杆44通过气压缸、电动电机等驱动单元而被驱动，从而活塞14进行往复移动。

如上所述，作为使泵室15膨胀收缩的泵部件，存在如图1所示的使用波纹管14的方式、如图6所示的使用隔膜14a的方式，如图7所示的使用管14b的方式、以及如图8所示的使用活塞14c的方式，只要是通过驱动单元使泵室15膨胀收缩的类型的泵，则可以使用任意方式的泵。

另一方面，虽然已经对在循环流道23，为了将过滤器30过滤后的药液临时储存，通过自由弹性变形的管、即可挠性管27而构成循环流道23的一部分作为罐部件的情况进行了说明，但是也可以通过沿径向弹性变形的部件构成循环流道23整体。并且，也可以将隔膜、波纹管作为自由弹性变形并形成膨胀收缩室的罐部件，并且使具有罐部件的罐在循环流道23分岔连接。

图9是示出作为本发明的其他实施方式的药液供给装置的药液线路图。在图9中示出的药液供给装置中，吸入流道21和循环流道23的流出部25分别经由由三位切换阀构成的流道切换阀71而连接于泵12的一次侧端口20a。该流道切换阀71被切换为遮断吸入流道21和流出部25中的任一个相对于一次侧端口20a连通的位置、使一次侧端口20a连通于吸入流道21的位置、使一次侧端口20a连通于流出部25的位置这三个位置。

同样，喷出流道22和循环流道23的流入部24分别经由由三位切换阀构成的流道切换阀72而连接于泵12的二次侧端口20b。该流道切换阀72被切换为遮断喷出流道22和流入部24的任一个相对于二次侧端口20b连通的位置、使二次侧端口20b连通于喷出流道22的位置、以及使二次侧端口20b连通于流入部24的位置这三个位置。

在图9中示出的药液供给装置中，流道切换阀71由当使泵室15膨胀而将药液容器10内的药液导向泵室15内时打开吸入流道21的吸入阀单元、以及当将通过过滤器30过滤后的药液回流至泵室15时打开循环流道23的流出部25的回流阀单元构成。另一方面，流道切换阀72由当使泵室15收缩而使泵室15内的药液喷出至喷出喷嘴11时打开喷出流道22的喷出阀单元、以及当将泵室15内的药液供应至循环流道23时打开循环流道23的流入部24的循环阀单元构成。

图10是示出作为本发明的另一其他实施方式的药液供给装置的药液线路图。在图10中示出的药液供给装置中，在一次侧端口20a连接有允许朝向泵室15的方向的药液的流动并阻止反方向的流动的止回阀73，在二次侧端口20b连接有允许从泵室15喷出方向的药液的流动并阻止反方向的流动的止回阀74。吸入流道21和循环流道23的流出部25分别经由由二位切换阀构成的流道切换阀75而连接于止回阀73。该流道切换阀75被切换为使吸入流道21和止回阀73连通的位置、以及使流出部25连通于止回阀73的位置这二个位置。另一方面，流道切换阀76被切换为使喷出流道22和止回阀74连通的位置、以及使流入部24和止回阀74连通的位置这二个位置。

在图10中示出的药液供给装置中，止回阀73和流道切换阀75构成吸入阀单元和回流阀单元。另一方面，止回阀74和流道切换阀76构成喷出阀单元和循环阀单元。在图9以及图10示出的药液供给装置中，作为泵12的方式，不仅是将波纹管14作为泵部件的方式，也可以是将隔膜14a作为泵部件的方式、将管14b作为泵部件的方式、以及将活塞14c作为泵部件的方式中的任一种。并且，虽然图9以及图10中示出的流道切换阀71、72、75、76由通过螺线管进行动作的电磁阀形成，但是与流道开闭阀31～34相同，也可以通过流压来驱动滑阀体的流体操作式，以代替电磁阀。

本发明不限定于上述实施方式，在不脱离其要旨的范围内能够进行各种变更。例如，图示的药液供给装置用于将光致抗蚀剂液涂覆于半导体晶片，但是在液晶基板制造处理、磁盘制造处理中，能够用于将有机溶剂、纯水涂覆于被涂覆物。

产业上的可利用性

本发明的药液供应技术适用于将光致抗蚀剂液等药液涂覆于被涂覆物。

Claims (3)

1.一种药液供给装置，其特征在于，包括：

吸入流道，所述吸入流道与泵连接，所述泵设置有通过泵部件而膨胀收缩的泵室，所述吸入流道将药液容器内的药液导向所述泵室；

喷出流道，所述喷出流道连接在所述泵和喷出喷嘴之间，将所述泵室内的药液喷出至所述喷出喷嘴；以及

循环流道，在所述循环流道设置有将从所述泵室提供的药液临时储存的膨胀收缩部，且所述循环流道的流入部和流出部分别连接于所述泵，将从所述泵室提供的药液回流至所述泵室，

其中，在所述循环流道的所述膨胀收缩部的上游侧设置有对经由所述循环流道回流至所述泵室的药液进行过滤的过滤器，

当使药液通过设置于所述循环流道的所述过滤器并过滤药液时，通过所述泵室对药液进行加压并提供给所述过滤器，

通过所述泵进行所述药液容器内的药液在所述循环流道中的循环动作、和所述循环流道内被过滤的药液向所述喷出喷嘴喷出的喷出动作。

2.根据权利要求1所述的药液供给装置，其特征在于，

所述膨胀收缩部是通过自由弹性变形的罐部件形成膨胀收缩室的罐。

3.根据权利要求1或2所述的药液供给装置，其特征在于，

所述药液供给装置包括：

喷出阀单元，当使所述泵室收缩而将所述泵室内的药液喷出至所述喷出喷嘴时打开所述喷出流道；

吸入阀单元，当使所述泵室膨胀而将所述药液容器内的药液导向所述泵室内时打开所述吸入流道；

循环阀单元，当将所述泵室内的药液提供给所述循环流道时打开所述循环流道的所述流入部；以及

回流阀单元，当将被所述过滤器过滤的药液回流至所述泵室时打开所述循环流道的所述流出部。

4．一种药液供给方法，所述药液供给方法是药液供给装置的药液供给方法，所述药液供给装置包括：吸入流道，将通过装在泵内的泵部件划分且膨胀收缩的泵室和药液容器连接；循环流道，设置有将从所述泵室提供的药液临时储存的膨胀收缩部、以及所述膨胀收缩部的上游侧的过滤器，且将从所述泵室提供的药液回流至所述泵室；以及喷出流道，将所述泵室和喷出喷嘴连接，在所述药液供给方法中，将所述药液容器内的药液喷出至所述喷出喷嘴，所述药液供给方法的特征在于，包括：

吸入工序，在将所述吸入流道打开的状态下，使所述泵室膨胀，将所述药液容器内的药液导向所述泵室；

过滤工序，在将所述循环流道的流入部打开的状态下，使所述泵室收缩，将从所述泵室提供的药液通过所述过滤器进行过滤并临时储存在所述膨胀收缩部；

回流工序，在将所述循环流道的流出部打开的状态下，使所述泵室膨胀，将从所述循环流道回流的被过滤的药液吸入至所述泵室；以及

喷出工序，在将所述喷出流道打开的状态下，使所述泵室收缩，将所述泵室内的被过滤的药液喷出至所述喷出喷嘴，

其中，通过所述泵进行所述药液容器内的药液在所述循环流道中的循环动作、和所述循环流道内的过滤后的药液向所述喷出喷嘴喷出的喷出动作。

5．根据权利要求4所述的药液供给方法，其特征在于，

所述膨胀收缩部是通过自由弹性变形的罐部件形成膨胀收缩室的罐。