JP6174776B1 - 塗布液供給装置 - Google Patents
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Abstract
Description
塗布液が収容される収容容器と、
前記収容容器内で軸方向に移動し、前記収容容器に収容された塗布液を前記収容容器から吐出させるロッドと、
前記収容容器に収容された塗布液と前記ロッドとを隔離し、前記ロッドとの間で閉空間である封入空間を形成するよう前記ロッドに取り付けられ、前記ロッドの軸方向の移動に対して伸縮するベローズ部材と、を備えており、
前記封入空間には、液体が封入されていることを特徴とする。
(1)前記封入空間は、前記ロッドの外周面と前記ベローズ部材の内面との間に形成される第1空間を有しており、
前記ベローズ部材の伸縮によって、前記第1空間の体積が増減するとき、前記封入空間は、前記封入空間に封入されている液体が移動可能な調整空間を有している。
(2)前記構成(1)において、前記ロッドの先端部には、前記ロッドの先端に対して軸方向に移動可能の突出部材が取り付けられており、
前記ベローズ部材の先端は、前記突出部材に取り付けられており、
前記調整空間の一部は、前記ロッドの先端と前記突出部材とによって形成される。
(3)前記構成(1)において、前記ベローズ部材の軸方向中間部は、前記ロッドの先端に取り付けられており、
前記ベローズ部材の先端部は、閉止されており、
前記調整空間は、前記ロッドの先端と前記ベローズ部材の先端部とによって形成される。
(4)前記構成(1)〜(3)のいずれかにおいて、前記調整空間の一部は、前記ロッドの内部に形成された空間を介して前記第1空間と連通している。
(5)前記構成(1)〜(4)のいずれかにおいて、前記液体は、前記第1空間の体積が最大となる状態で、前記封入空間に封入される。
(6)前記ベローズ部材は、基端が前記収容容器に取り付けられ、先端は自身で閉止されている。
図1は、本発明の第1実施形態に係る塗布装置10の概略図である。図1に示されるように、塗布装置10は、塗布液を貯留する貯留タンク1と、塗布液を支持台11上の基材12に塗布するスリットノズル2と、貯留タンク1からスリットノズル2へ塗布液を供給する塗布液供給装置3と、塗布装置10を制御する制御装置4と、を備えている。スリットノズル2は、ノズル自体に塗布液を吐出するための所定幅のスリットが形成され、スリットノズル2を移動させることによって、基材12に塗布液を塗布する、テーブルコーター(登録商標)用のスリットノズルである。スリットノズル2の移動は、制御装置4によって制御される。
図8及び図9は、本発明に係る別の実施形態であって、ロッド6に突出部材61が取り付けられない塗布液供給装置の概略図である。別の実施形態は、突出部材61を有していない点で上記実施形態と異なっており、その他の構成は上記実施形態と同じである。このため、別の実施形態の説明においては、上記実施形態と同じ部分には同じ符号を付し、それらの内容については詳しい説明を省略する。
上記各実施形態では、駆動部材7は、モータ71の駆動により、モータ71の回転軸に一体的に形成されたボールネジ72を回転させ、ボールネジ72に螺合した支持部73を介して、ロッド6を軸方向に往復移動させるようになっている。しかし、図11に示されるように、ロッド6をシャフトモータ74で軸方向に往復移動させるようになっていてもよい。
10 塗布装置
11 支持台 12 基材
13 塗布液供給管 13a 供給弁
14 塗布液吐出管 14a 吐出弁
15 エア排出管 15a 排出弁
16 液体封入管 16a 封入弁
2 スリットノズル
3 塗布液供給装置
4 制御装置
5 収容容器
51 封止部材 51a 挿通孔 52 シール部材
6 ロッド
6a ガイド穴 6b 外周穴 6c 連通孔
61 突出部材
61a 円板部 61b ピン部
7 駆動部材
71 モータ 72 ボールネジ 73 支持部 74 シャフトモータ
75 ボールブッシュ
8 ベローズ部材
8a リング部材
81 第1ベローズ部材 82 第2ベローズ部材
9 封入空間
91 第1空間 92 第2空間 93 第3空間 94 第4空間 95 第5空間
96 第6空間
C1 隙間 C2 隙間
T 距離
P 塗布液
W 封入液
Claims (5)
- 塗布液が収容される収容容器と、
前記収容容器内で軸方向に移動し、前記収容容器に収容された塗布液を前記収容容器から吐出させるロッドと、
前記収容容器に収容された塗布液と前記ロッドとを隔離し、前記ロッドとの間で閉空間である封入空間を形成するよう前記ロッドに取り付けられ、前記ロッドの軸方向の移動に対して伸縮するベローズ部材と、を備えており、
前記封入空間には、液体が封入されており、
前記封入空間は、前記ロッドの外周面と前記ベローズ部材の内面との間に形成される第1空間を有しており、
前記ベローズ部材の伸縮によって、前記第1空間の体積が増減するとき、前記封入空間は、前記封入空間に封入されている液体が移動可能な調整空間を有していることを特徴とする、塗布液供給装置。
- 前記ロッドの先端部には、前記ロッドの先端に対して軸方向に移動可能の突出部材が取り付けられており、
前記ベローズ部材の先端は、前記突出部材に取り付けられており、
前記調整空間の一部は、前記ロッドの先端と前記突出部材とによって形成される、請求項1記載の塗布液供給装置。
- 前記ベローズ部材の軸方向中間部は、前記ロッドの先端に取り付けられており、
前記ベローズ部材の先端部は、閉止されており、
前記調整空間は、前記ロッドの先端と前記ベローズ部材の先端部とによって形成される、請求項1記載の塗布液供給装置。
- 前記調整空間の一部は、前記ロッドの内部に形成された空間を介して前記第1空間と連通している、請求項1〜3のいずれか1つに記載の塗布液供給装置。
- 前記液体は、前記第1空間の体積が最大となる状態で、前記封入空間に封入される、請求項1〜4のいずれか1つに記載の塗布液供給装置。
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