CN101290329A - 探针单元以及检查装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种探针单元以及检查装置，可以安全且由一人进行更换探针单元的操作。该探针单元具备：固定在主体侧的探针台、具有直接与液晶面板等检查对象板的电极相接触的探针的探针组合体、在被上述探针台支承的状态下支承上述探针组合体的探针基座，上述探针基座具备：一个基准板部、一个或两个以上的调整板部、设于上述基准板部和调整板部之间以及各调整板部之间用于调整各调整板部位置的位置调整机构。上述基准板部不能错动地安装在上述探针台的特定位置上，上述调整板部以可错动的状态安装于上述探针台上。

Description

探针单元以及检查装置

技术领域

本发明涉及一种检查液晶面板等检查对象板所使用的探针单元以及检查装置。

背景技术

例如，在液晶面板的制造工序中，要对封装了液晶的液晶面板是否具有说明书所述的性能进行检查(试验)。通常，在该检查中使用具备具有多个探针的探针单元的检查装置。此时，将检查装置的各探针按压在液晶面板的电极上，在该状态下，通过向规定电极供给规定的电信号来进行检查。

图2表示这样的检查装置的一个例子。图示的检查装置1主要由面板安置部2和测定部3构成。

面板安置部2向测定部3输送从外部***的液晶面板等检查对象板5，并将完成检查后的检查对象板5输送到外部。面板安置部2在其开口部6内具有面板载放台7，用该面板载放台7支承检查对象板5，而将其输送到测定部3。另外，面板安置部7接收由测定部3完成检查后的检查对象板5，而将其输送到外部。

测定部3用于支承从面板安置部2输送来的检查对象板5并进行试验。测定部3具备夹具8和探针9等。

夹具8是用于支承检查对象板5的构件。该夹具8由XYZθ台(未图示)支承，从而使夹具8的沿XYZ轴向移动以及转动受到控制，从而调整检查对象板5的位置。探针9主要具备基座板10、探针单元11。探针单元11以面对基座板10的开口10A的状态被基座板10支承。

专利文献1公开了探针单元11的一个例子。该例子示于图3。该探针单元11主要具备探针基座12、由该探针基座12支承的探针组合体13。

上述探针基座12是一体地支承多个探针组合体13的板材。多个探针组合体13以面对液晶面板等检查对象板5的状态被该探针基座12支承。

在框架14上设有使探针单元11移动来调整位置的移动机构15。该移动机构15由丝杠螺母16、移动体(未图示)、丝杠17、电动机18和托架19构成。丝杠螺母16安装在移动体上，并与丝杠17螺合。利用电动机18使丝杠17旋转，从而使移动体沿X边方向移动。利用托架19将电动机18安装到框架14上。

专利文献1：日本特开2001-74778号公报

但是，在上述检查装置1中，伴随更换检查对象板5品种，也要更换探针单元11。例如，对液晶面板进行检测时，要将探针单元11更换为适合新品种液晶面板尺寸的探针单元。

在液晶面板尺寸小时，更换该探针单元11没什么问题。在液晶面板的尺寸小时，探针单元11的尺寸也小且重量轻，因此，不会给更换探针单元11的操作带来困难。安装上探针单元11，然后驱动移动机构15的电动机18，使丝杠17转动而使丝杠螺母16移动，从而通过移动体调整探针单元11的位置。由此，便可以容易地更换探针单元11。

但是，当液晶面板的尺寸变大时，探针单元11的尺寸也变大且重量变重，因此，会给更换探针单元11的操作带来难度。

例如，对于52英寸级的液晶面板，数据侧的探针单元11的长度为1650mm，重量约为35kg，仅由一名操作人员就不能更换探针单元11了。即，存在下述问题：更换作业危险且需要两人操作，效率低。

发明内容

本发明是为了解决上述问题而作出的，其目的在于，提供一种更换操作安全且可由一人操作的探针单元以及检查装置。

为了解决上述课题，本发明的探针单元的特征在于，其具备：固定在主体侧的探针台、具有直接与检查对象板电极相接触的探针的探针组合体、在被上述探针台支承的状态下支承上述探针组合体的探针基座，上述探针基座具备：一个基准板部、一个或两个以上的调整板部、设于这些基准板部和调整板部之间以及各调整板部之间用于调整各调整板部位置的位置调整机构。

这样一来，首先安装上述探针基座的基准板部，再一边用位置调整机构调整一个或两个以上的调整板部的位置，一边安装这些调整板部。

优选是，上述探针基座的基准板部安装在上述探针台的特定位置上不会错动，上述调整板部在可容许错动的状态下安装在上述探针台上。优选是，上述探针基座的基准板部具有直径与固定于上述探针台上的固定用螺栓的直径大致相同的圆孔，上述调整板部具有容许该调整板部相对于上述固定用螺栓错动的长孔。优选是，上述位置调整机构由调整螺栓、调整螺栓保持架和调整块构成，上述调整螺栓用于调整上述探针基座的基准板部和调整板部之间的间隔或者各调整板部之间的间隔；上述调整螺栓保持架设于上述基准板部和调整板部上，或设于各调整板中的一调整板上，该调整螺栓保持架用于支承可相对于其转动的上述调整螺栓；上述调整块设于上述基准板部和调整板部上，或设于各调整板中的另一调整板上，且具有用于旋入上述调整螺栓的螺孔。

另外，优选是，具备面板安置部和测定部，上述面板安置部将检查对象板从外部搬入，并在完成检查后将检查对象板搬送到外部，上述测定部支承从上述面板安置部输送来的检查对象板并进行试验；使用上述探针单元作为上述测定部的探针单元。

如上所述，由于将上述探针基座分割成一个基准板部和一个或两个以上的调整板部，个别地进行更换，因此，可以安全且由一人容易地进行更换品种的操作。

附图说明

图1为表示本发明实施方式的探针单元主要部分的分解立体图。

图2为表示以往的检查装置的主视图。

图3为表示以往的检查装置的探针单元的俯视图。

图4为表示本发明实施方式的检查装置的探针单元的立体图。

图5为表示本发明实施方式的检查装置的探针单元的俯视图。

图6为表示本发明实施方式的检查装置的位置调整机构的立体图。

具体实施方式

下面，参照附图对本发明实施方式的探针单元以及检查装置进行说明。

本实施方式的检查装置整体上与上述以往的检查装置大致相同，因此，在此对相同构件标注相同的附图标记，从而省略其说明。

如图4、图5所示，在本实施方式的检查装置中，沿着载放于工件台21上的液晶面板22周边设置探针单元23。

探针单元23主要具备探针台25、探针组合体26、探针基座27。

探针台25固定在检查装置1的装置主体侧，用于支承探针基座27。探针台25被分割成4部分，分别固定在主体侧、即检查装置的框架14上。在探针台25的工件台21(液晶面板22)侧设有探针组合体26。各探针台25形成为大致长方形板状。在各探针台25的上侧面上设有用于安装探针基座27的嵌合凹部28。该嵌合凹部28的长度方向尺寸被设定为稍少长于探针基座27，而使探针基座27可在其长度方向上错动。在嵌合凹部28上相隔设定间隔地设有多个用于固定探针基座27的螺孔28A(参照图1)。

4个探针台25的尺寸配合液晶面板22的纵横尺寸来设定。具体地说，探针台25由两个短探针台25A和两个长探针台25B构成。在两个短探针台25A和两个长探针台25B中的一个短探针台25A以及一个长探针台25B上安装探针组合体26。

探针组合体26直接与作为检查对象板的液晶面板22的电极相接触，用于向液晶面板22上的电路发送检查信号。探针组合体26是组合悬架块、滑块等而构成的，在其顶端设有探针(未图示)。该探针直接与液晶面板22的电极相接触，向液晶面板22上的电路输送检查信号。

探针基座27用于在被上述探针台25支承的状态下支承上述探针组合体26。安装于短探针台25A上的探针基座27A的全长短，重量也不那么重，因此，作为单一构件而构成。安装于长探针台25B上的探针基座27B的全长长，重量也重，因此，被分割开。即，探针基座27B具备基准板部31、调整板部32和位置调整机构33。

基准板部31是作为探针基座27的对位基准的构件。如图1、图5所示，基准板部31准确地安装在探针台25的特定位置上不能错动。具体地说，基准板部31不能错动地准确地安装在长探针台25B的嵌合凹部28的一端部(图1中的右侧端部)。基准板部31具有直径与固定于探针台25上的固定用螺栓35的直径大致相同的圆孔31A。由此，通过将固定用螺栓35穿过圆孔31A旋入嵌合凹部28的螺孔28A中，而将基准板部31安装在准确位置。在基准板部31上安装有探针组合体26、对位用摄像机36。

调整板部32通过调整自身位置而与基准板部31相连接，构成探针基座27。根据长探针台25B的嵌合凹部28的长度配设一个或两个以上该调整板部32。在本实施方式中，配设了一个调整板部32。该调整板部32通过位置调整机构33而与基准板部31相连接。

调整板部32在容许错动的状态下安装到探针台25B上。在调整板部32上设有可容许该调整板部32相对于固定用螺栓35错动的长孔37。通过将固定用螺栓35***长孔37并旋入嵌合凹部28的螺孔28A中，在该状态下，利用长孔37使调整板部32可以错动，再利用位置调整机构33调整调整板部32的位置。

位置调整机构33设于基准板部31和调整板部32之间以及各调整板部32之间，用于调整各调整板部32的位置。如图1、图6所示，位置调整机构33由调整螺栓40、调整螺栓保持架41和调整块42构成。

调整螺栓40用于调整探针基座27的基准板部31和调整板部32之间的间隔或者各调整板部32之间的间隔。在此，由于基准板部31和调整板部32各设有一张，因此，调整螺栓40调整的是基准板部31和调整板部32之间的间隔。调整螺栓40由转动容许部44、螺纹部45构成。转动容许部44由头部44A、缩颈部44B和支承盘部44C构成。在头部44A上设有六方孔44D。将六角扳手***到该六方孔44D中可转动调整螺栓40。缩颈部44B可以转动地嵌合到下述调整螺栓保持架41的嵌合槽49中。缩颈部44B形成为圆柱状，通过嵌合到嵌合槽49中，而只容许调整螺栓40在固定位置转动而不会在轴向上错动地支承调整螺栓40。

调整螺栓保持架41用于支承可相对于其转动的调整螺栓40。调整螺栓保持架41由基座板47、从该基座板47垂直竖起地设置的保持架板48构成。基座板47直接固定在基准板部31或者调整板部32的端部。保持架板48的上端部设有嵌合槽49，从而能支承可相对于保持架板48转动的调整螺栓40。嵌合槽49用于嵌合可相对于保持架板48转动的调整螺栓40的缩颈部44B。该嵌合槽49里侧部的宽度与缩颈部44B的外径尺寸大致相同。由此，调整螺栓40的缩颈部44B在嵌合槽49内可以转动地、且不摇晃地正确嵌合。另外，嵌合槽49呈锥状稍稍扩开，从而可以容易地嵌合调整螺栓40的缩颈部44B。

调整块42通过旋入调整螺栓40来调整其与调整螺栓保持架41之间的间隔。调整块42由基座板50、从该基座板50垂直竖起地设置的螺纹板51构成。基座板50直接固定在调整板部32或者基准板部31的端部。螺纹板51具有用来旋入调整螺栓40的螺孔51A，螺孔板51与调整螺栓保持架41的保持板48面对面地设置。

如下所这样更换上述结构的探针单元23。

在拆卸探针单元23时，首先卸下调整板部32的固定用螺栓35。然后，旋松位置调整机构33的调整螺栓40。

接着，从调整螺栓保持架41的嵌合槽49中卸下调整螺栓40的转动容许部44，并从探针台25上卸下调整板部32。

接着，卸下基准板部31的固定用螺栓35，从探针台25上卸下基准板部31。

然后，安装与新品种液晶面板22相匹配的探针单元23。具体地说，根据液晶面板22的电极在探针基座27上配置探针组合体26的位置，然后将该配置好了探针组合体26位置的探针基座27安装在探针台25的嵌合凹部28中。

在该情况下，首先安装探针基座27的基准板部31。对合基准板部31的圆孔31A和探针台25的嵌合凹部28的螺孔28A，旋入固定用螺栓35。在所有圆孔31A中旋入固定用螺栓35并将螺栓拧紧，从而将基准板部31固定在正确位置。

接着，安装调整板部32。对合调整板部32的长孔37和探针台25的嵌合凹部28的螺孔28A，并且，将位置调整机构33的调整螺栓40旋入调整块42的螺孔51A中并将其嵌合在调整螺栓保持架41的嵌合槽49中。接着，在所有长孔37中旋入固定用螺栓35，用六角扳手转动位置调整机构33的调整螺栓40，调整调整螺栓保持架41和调整块42之间的间隔，从而调整基准板部31和调整板部32的位置。

接着，旋紧各固定用螺栓35，固定调整板部32。

由于短探针台25A的探针基座27短且轻，因此，直接进行更换。

如上所述，可以安全且容易地进行更换探针单元23的操作。而且，长探针台25B侧的探针单元23的探针基座27B被分割成基准板部31和调整板部32，因此，结合位置调整机构33的构造，可以安全且容易地进行更换操作。

这样一来，便可由一名作业人员进行更换探针单元23的操作从而提高了作业效率。

实施例

说明了在上述实施方式的探针单元23中，将探针基座27分割成基准板部31和调整板部32两部分的例子，但是，在探针基座27的尺寸大时，也可以将调整板部32分割成两部分以上或三部分以上。

上述实施方式的组装了探针单元23的检查装置不限定于以往例子所记载的检查装置，也可以是其他检查装置，这一点是不言而喻的。

在上述实施方式中，位置调整机构33的调整螺栓保持架41的嵌合槽49呈锥状稍稍扩开，但嵌合槽49只要是能够使调整螺栓40的缩颈部44B易于进入的形状即可。例如，也可以不在整个嵌合槽49上设置倾斜度，仅将入口开大。嵌合槽49的里侧部形成为半圆形状，以便易于使调整螺栓40稳定地转动。

在上述实施方式中，短探针台25A的探针基座27未被分割，是单独构件的结构，但是，在整体尺寸变大时，该短探针台25A的探针基座27也分割成两或三部分以上。

位置调整机构33是利用调整螺栓40的螺纹间距来调整基准板部31和调整板部32之间的间隔的，但是，也可以利用其它构造来调整该间隔。

Claims (8)

1.一种探针单元，其特征在于，该探针单元具备：

固定在主体侧的探针台、具有直接与检查对象板电极相接触的探针的探针组合体、在被上述探针台支承的状态下支承上述探针组合体的探针基座；

上述探针基座具备：一个基准板部、一个或两个以上的调整板部、设于上述基准板部和调整板部之间以及各调整板部之间用于调整各调整板部位置的位置调整机构。

2.根据权利要求1所述的探针单元，其特征在于，

上述探针基座的基准板部不能错动地安装于上探针台的特定位置上，上述调整板部以可错动的状态安装于上述探针台上。

3.根据权利要求2所述的探针单元，其特征在于，

上述探针基座的基准板部具有直径与固定于上述探针台上的固定用螺栓的直径大致相同的圆孔，上述调整板部具有容许该调整板部相对于上述固定用螺栓错动的长孔。

4.根据权利要求1所述的探针单元，其特征在于，

上述位置调整机构由调整螺栓、调整螺栓保持架和调整块构成，上述调整螺栓用于调整上述探针基座的基准板部和调整板部之间的间隔或者各调整板部之间的间隔；上述调整螺栓保持架设于上述基准板部和调整板部上，或设于各调整板中的一调整板上，该调整螺栓保持架用于支承可相对于其转动的上述调整螺栓；上述调整块设于上述基准板部和调整板部上，或设于各调整板中的另一调整板上，且具有用于旋入上述调整螺栓的螺孔。

5.一种用于检查检查对象板的检查装置，其特征在于，

该检查装置具备面板安置部和测定部，上述面板安置部将检查对象板从外部搬入，并在完成检查后将检查对象板搬送到外部，上述测定部支承从上述面板安置部输送来的检查对象板并进行试验；

上述测定部具有探针单元；

该探针单元具备：固定在主体侧的探针台、具有直接与检查对象板电极相接触的探针的探针组合体、在被上述探针台支承的状态下支承上述探针组合体的探针基座；

上述探针基座具备：一个基准板部、一个或两个以上的调整板部、设于上述基准板部和调整板部之间以及各调整板部之间用于调整各调整板部位置的位置调整机构。

6.根据权利要求5所述的检查装置，其特征在于，

上述探针基座的基准板部不能错动地安装于上探针台的特定位置上，上述调整板部以可错动的状态安装于上述探针台上。

7.根据权利要求6所述的检查装置，其特征在于，

上述探针基座的基准板部具有直径与固定于上述探针台上的固定用螺栓的直径大致相同的圆孔，上述调整板部具有容许该调整板部相对于上述固定用螺栓错动的长孔。

8.根据权利要求5所述的检查装置，其特征在于，

上述位置调整机构由调整螺栓、调整螺栓保持架和调整块构成，上述调整螺栓用于调整上述探针基座的基准板部和调整板部之间的间隔或者各调整板部之间的间隔；上述调整螺栓保持架设于上述基准板部和调整板部上，或设于各调整板中的一调整板上，该调整螺栓保持架用于支承可相对于其转动的上述调整螺栓；上述调整块设于上述基准板部和调整板部上，或设于各调整板中的另一调整板上，且具有用于旋入上述调整螺栓的螺孔。

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