TWI361895B - Probe unit and inspection apparatus - Google Patents
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- TWI361895B TWI361895B TW097110594A TW97110594A TWI361895B TW I361895 B TWI361895 B TW I361895B TW 097110594 A TW097110594 A TW 097110594A TW 97110594 A TW97110594 A TW 97110594A TW I361895 B TWI361895 B TW I361895B
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Description
1361895 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於使用於液晶面板等檢查對象板的檢查之 探針單元及檢査裝置。 【先前技術】 例如在液晶面板中,於其製造步驟中會針對密封有液 晶的液晶面板進行是否具有規格書所示之功能的檢査(實 驗)。進行該檢查時,一般是使用具備具有複數探針的探 針單元之檢查裝置。此時,係在將檢查裝置的各探針推壓 至液晶面板之電極的狀態下,藉由對特定電極供給特定的 電性信號來進行。 第2圖係表示此種檢查裝置的一例。圖示的檢查裝置 1主要是由面板安置部2和測定部3所構成。 面板安置部2係用以將從外部被***的液晶面板等檢 査對象板5搬送到測定部3,且將檢查結束後的檢查對象 板5搬送到外部的裝置。在面板安置部2之開口部6的內 測具有面板安置載置台7,以該面板安置載置台7支持檢 查對象板5並將其搬送到測定部3。又,面板安置載置台 7接承於測定部3檢查結束後的檢查對象板5並將其搬送 到外部。 測定部3係用以支持從面板安置部2搬送來的檢查對 象板5以進行實驗的裝置。測定部3係具備夾盤頂面( chuck top) 8或探針器(prover) 9等而構成。 [S1 -5- 1361895 夾盤頂面8係用以支持檢查對象板5的構件。該夾盤 頂面8係被支持於ΧΥΖΘ載置台(沒有顯示圖),以控制 朝XYZ軸方向的移動及旋轉,來調整檢查對象板5的位 置。探針器9主要係具有底板(base palte) 10、探針單 元11而構成。探針單元11係在面對底板10之開口 10A 的狀態下被支持於底板10。 專利文獻1中具有作爲探針單元1 1的一例。第3圖 係表示該例。該探針單元11主要係具備探針基座12和被 支持於該探針基座12的探針組合體13而構成。 上述探針基座12係將複數探針組合體13予以一體支 持的板材。複數探針組合體1 3係在面對液晶面板等檢查 對象板5的狀態下被支持於該探針基座12。 框架(frame ) 14上設有使探針單元11移動以調整位 置的移動機構15。該移動機構15係由導螺帽(lead nut) 16、移動體(沒有顯不圖)、導螺桿(lead screw) 17、 馬達1 8和托架(bracket ) 19所構成。導螺帽16被組裝 於移動體’且與導螺桿17螺合。移動體係藉由導螺桿17 透過馬達18旋轉,而朝X邊方向移動。馬達1 8係藉由托 架1 9組裝框架1 4上。 〔專利文獻1〕日本特開2001 — 74778號公報 【發明內容】 〔發明所欲解決之課題〕 上述檢查裝置1中’隨著檢查對象板5之款式的更換 -6- 1361895 ,探針11也會被更換。例如在液晶面板的情況下,探針 單元11會更換成適合新款式之液晶面板的尺寸。 該探針單元11的更換在液晶面板的尺寸較小時不會 特別產生問題。由於當液晶面板的尺寸較小時,探針單元 11的尺寸也較小且重量不重,故不會對探針單元11的更 換作業造成妨礙。安裝探針單元11,驅動移動機構15的 馬達18以使導螺桿17旋轉以使導螺帽16移動,經由移 動體調整探針單元11的位置。依此方式,可容易地更換 探針單元1 1。 然而,當液晶面板的尺寸變大時,探針單元11的尺 寸也會變大且重量變重,故會對探針單元11的更換作業 造成妨礙。 例如在5 2英吋等級的液晶面板中,於資料側的探針 單元11中,其長度變成l65〇mm、重量變成約35kg,無 法只藉由一位作業員來更換探針單元11。亦即,更換作業 變危險且需要兩人作業,會有效率變差的問題。 本發明係有鑑於上述問題點而開發者,其目的在於提 供一種可安全且可以一人作業來進行更換作業的探針單元 及檢査裝置。 〔用以解決課題之手段〕 爲了解決上述課題,本發明之探針單元的特徵爲:具 備:探針載置台,被固定於本體側;探針組合體,具有與 檢查對象板之電極直接接觸的探針;和探針基座,在被支 1361895 持於上述探針載置台的狀態下支持上述探針組合體,並且 上述探針基座具備:1個基準板部;1或2個以上的調整 板部:和位置調整機構,設置於此等基準板部與調整板部 之間及各調整板部之間且用來調整各調整板部的位置。 依此構成,先安裝上述探針基座的基準板部,再將1 或2個以上的調整板部,利用位置調整機構一邊調整其位 置一邊予以安裝。 以上述探針基座的基準板部在不會偏移於上述探針載 置台的特定位置下被安裝,且上述調整板部在可容許於上 述探針載置台上偏移的狀態下被安裝爲佳。以上述探針基 座的基準板部具有與固定於上述探針載置台之固定用螺栓 大致相同直徑的圓孔,且上述調整板部具有可容許相對於 上述固定用螺栓偏移的長孔爲佳。上述位置調整機構係以 由:調整螺栓,用來調整上述探針基座之基準板部與調整 板部的間隔或各調整板部的間隔;調整螺栓保持器,設置 於上述基準板部與調整板部或各調整板中之一者,且將上 述調整螺栓以可轉動的方式支持;和調整區塊,設置於上 述基準板部與調整板部或各調整板中的另一者,且具有可 供上述調整螺栓螺入的螺孔所構成爲佳。 又’具備:面板安置部,將檢査對象板從外部搬入, 於檢查結束後再將其搬送到外部;和測定部,支持從該當 面板安置部搬送到的檢查對象板以進行實驗,且以使用上 述探針單元作爲上述測定部的探針單元爲佳。
-8- 1361895 〔發明之功效〕 如上所述,由於係將上述探針基座分割成1個基準板 部與1或2個以上的調整板部以個別地進行更換,故可安 全且可以一人作業容易地進行款式更換作業。 【實施方式】 以下,參照附圖,說明本發明之實施型態的探針單元 及檢查裝置。 本實施型態的檢查裝置整體上係與上述習知的檢查裝 置大致相同,故在此相同構件係附註相同符號以省略其說 明。 本實施型態的檢査裝置係如第4圖、第5圖所示,以 沿著被載置於工作桌(worktable) 21上之液晶面板22周 緣的方式設有探針單元23。 探針單元23主要係具備探針載置台25、探針組合體 26、探針基座27而構成。 探針載置台25係被固定於檢查裝置1的裝置本體側 ’用來支持探針基座27的構件。探針載置台25被分割成 四部分’分別固定於作爲本體側之檢查裝置的框架( frame ) 14。在探針載置台25的工作桌21 (液晶面板22 )側設有探針組合體2 6。各探針載置台2 5係形成大致長 方向板狀。在各探針載置台25的上側面,設有用以安裝 探針基座27的嵌合凹部28。該嵌合凹部28係以可將探針 基座27挪移於其長度方向的方式,設定成較探針基座27 -9- 1361895 稍長的尺寸。在嵌合凹部28上,隔著設定間隔設有複數 個用以固定探針基座27的螺孔28A (參照第1圖)。 四個探針載置台25的尺寸係配合液晶面板22之縱橫 的尺寸而設定。具體而言係由兩個短探針載置台25 A和兩 個長探針載置台25B所構成。在兩者之中的一個短探針載 置台25A及長探針載置台25B上,安裝有探針組合體26 〇 探針組合體26係與作爲檢查對象板之液晶面板22的 電極直接接觸,用以將檢查信號傳送到液晶面板22上的 電路之構件。探針組合體 26係將懸置塊(suspension block)、滑塊(slide block)等組合而構成,在其前端設 有探針(沒有顯示圖)。該探針係與液晶面板22的電極 直接接觸以將檢查信號傳送到液晶面板22上的電路》 探針基座27係在被支持於上述探針載置台25的狀態 下用以支持上述探針組合體26的構件。安裝於短探針載 置台25A的探針基座2 7A,其全長較短且重量也不是很重 ,故構成爲單一構件。安裝於長探針載置台25B的探針基 座27B,其全長很長且重量也很重,故被分割。也就是說 ,探針基座2 7B係具備基準板部31、調整板部32和位置 調整機構33而構成。 基準板部31係成爲探針基座27之位置對準的基準之 構件。如第1圖、第5圖所示,基準板部31係在不會偏 移於探針載置台25的特定位置下正確地被安裝。具體而 言,以不會偏移至長探針載置台25B之嵌合凹部28之一 I S3 -10- 1361895 邊的端部(第1圖中的右側端部)的方式正確地被安裝。 基準板部31具有與固定於探針載置台25之固定用螺栓35 大致相同直徑的圓孔31A。依此,將固定用螺栓35經由 圓孔31A螺入嵌合凹部28的螺孔28A,可將基準板部31 安裝於正確的位置。在基準板部31上安裝有探針組合體 26、位置對準用相機36。 調整板部32係用來調整其位置而與基準板部31連結 以構成探針基座27的構件。該調整板部32係因應長探針 載置台2 5B之嵌合凹部28的長度而配設1個或2個以上 。本實施型態中,配設有一個調整板部32。該調整板部 32係與基準板部31在位置調整機構33連結。 調整板部32係在被容許於探針載置台25B上偏移的 狀態下被安裝。調整板部32上設有可容許相對於固定用 螺栓35偏移的長孔37。在固定用螺栓35被***長孔37 而被螺入嵌合凹部28之螺孔28A的狀態,調整板部32可 藉由長孔37容許偏移,且在位置調整機構33將調整板部 3 2進行位置調整。 位置調整機構33係設置於基準板部31與調整板部32 之間及各調整板部32之間,用以調整各調整板部32的位 置之機構。位置調整機構33係如第1圖、第6圖所示由 調整螺栓40'調整螺栓保持器41和調整區塊42所構成。 調整螺栓40係用來調整探針基座27之基準板部31 與調整板部32的間隔或各調整板部32的間隔之螺栓。在 此’由於基準板部31與調整板部32係各設置一片,故調 -11 - 1361895 整螺栓40係用來調整準板部31與調整板部32的間隔。 調整螺栓40係由旋轉容許部44和螺絲部45所構成。旋 轉容許部44係由頭部44A和縮徑部44B和支持盤部44C 所構成。在頭部44A設有六角孔44D。將六角板手( wretch )***該六角孔44D中可使之旋轉。縮徑部44B係 爲以可旋轉的方式嵌合於後述調整螺栓保持器41之嵌合 溝49的部分。縮徑部44B係形成圓柱狀,且以嵌合於嵌 合溝49,僅容許調整螺栓40於固定位置旋轉,而不會朝 向軸方向偏移的方式支持。 調整螺栓保持器41係用以將調整螺栓40以可轉動的 方式支持的構件。調整螺栓保持器41係由底板47和從該 底板47垂直立起而設置的保持板48所構成。底板47係被 直接固定於基準板部31或調整板部32的端部。保持板48 在其上端部設有嵌合溝49,將支持調整螺栓40以可旋轉 的方式支持。嵌合溝49係供調整螺栓40的縮徑部44B以 可旋轉的方式嵌合的部分。該嵌合溝49內部的寬度係形成 與縮徑部44B的外徑大致相同尺寸。依此構成,調整螺栓 40的縮徑部44B係在可旋轉且不會搖動下正確地被嵌合於 嵌合溝49。再者,嵌合溝49係以形成稍微斜狀開口的方 式構成,使調整螺栓40的縮徑部44B容易地嵌合。 調整區塊42係爲供調整螺栓40螺入以調整與調整螺 栓保持器41之間隔的構件。調整區塊42係由底板50和 從該底板50垂直立起而設置的螺絲板51所構成。底板50 係被直接固定於調整板部32或基準板部31的端部。螺絲 i S] -12- 1361895 板51具有可供調整螺栓4〇螺入的螺孔51A,且面對調整 螺栓保持器41的保持板48而配設。 以上述方式構成的探針單元23可利用如次的方式進 行更換。 拆除探針單元23時,先卸下調整板部32的固定用螺 栓35。接著’鬆弛位置調整機構33的調整螺栓40。 繼之’使調整螺栓40的旋轉容許部44從調整螺栓保 持器41的嵌合溝49脫離,並且將調整板部32從探針載 置台2 5拆除。 然後’將基準板部31的固定用螺栓35卸下,將基準 板部3 1從探針載置台25拆除。 其後,安裝符合新款式之液晶面板22的探針單元23 。具體而言,對準液晶面板22的電極而將配置有探針組 合體26之位置的探針基座27安裝於探針載置台25的嵌 合凹部28。 此時,先安裝探針基座27的基準板部31。將基準板 部31的圓孔31A與探針載置台25之嵌合凹部28的螺孔 28A對準,螺入固定用螺栓35。藉由在所有的圓孔31A 螺入固定用螺栓35加以鎖緊,可將基準板部31固定於正 確的位置。 繼之,安裝調整板部32。將調整板部32的長孔37與 探針載置台25之嵌合凹部28的螺孔28A對準,並且將位 置調整機構33的調整螺栓40螺入調整區塊42的螺孔 51A,使之嵌合於調整螺栓保持器41的嵌合溝49。然後 IS] -13- 1361895 · ,在全部的長孔37中螺入固定用螺栓35,利用六角板手 使位置調整機構33的調整螺栓40旋轉,藉以調整調整螺 栓保持器41與調整區塊42的間隔,以調整基準板部31 與調整板部32的位置。 接著’將各固定用螺栓35鎖緊以固定調整板部32。 由於短探針載置台25A的探針基座27較短且重量較 輕,故可直接更換。 利用上述方式’可安全且容易地進行探針單元23的 更換作業。而且,由於長探針載置台25B側之探針單元 23的探針基座27B被分割成基準板部31與調整板部32, 故在與位置調整機構33的構造結合下,可安全且容易地 進行更換作業。 因此’可以一位作業員進行探針單元2 3的更換作業 ,使作業效率提升。 〔變形例〕 上述實施型態的探針單元23中,係以將探針基座27 分割成基準板部31與調整板部32之兩部分爲例來說明, 但是當探針基座27的尺寸較大時,亦可將調整板部32分 割成兩部分或三部分以上。 作爲上述實施型態之組裝有探針單元23的檢查裝置 並不受限於作爲習知例所記載的檢查裝置,亦可爲其他的 檢查裝置乃毋庸贅述。 上述實施型態中,雖將位置調整機構33之調整螺栓 [S3 -14- 1361895 保持器41的嵌合溝49設成形成稍微斜狀開口的形狀,然 而只要嵌合溝49是調整螺栓40的縮徑部44B容易進入的 形狀即可。例如,亦可不在嵌合溝49的整體設置斜面( taper )’而僅將入口形成較大的開口。嵌合溝49的內部 係以可穩定且容易旋轉的方式形成半圓形。 上述實施型態中,短探針載置台25A的探針基座27 雖構成爲單體的構件而沒有被分割,但是當整體的尺寸變 大時,該短探針載置台25A的探針基座27也可分割成兩 部分或三部分以上。 位置調整機構3 3係利用調整螺栓4 0之螺絲的間距來 調整基準板部31與調整板部32的間隔,但是亦可利用其 他的構造來調整間隔。 【圖式簡單說明】 第1圖係表示本發明之實施型態之探針單元的主要部 分之分解斜視圖。 第2圖係表示習知之檢查裝置的正面圖^ 第3圖係表示習知之檢查裝置之探針單元的平面圖。 第4圖係表示本發明之實施型態之檢查裝置的探針單 元之斜視圖。 第5圖係表示本發明之實施型態之檢査裝置的探針單 元之平面圖。 第6圖係表示本發明之實施型態之檢查裝置的位置調 整機構之斜視圖。 [S] -15- 1361895 【主要元件符號說明】 21 :工作桌(work table) 2 2 :液晶面板 23 :探針單元 25 :探針載置台 2 6 :探針組合體 2 7 :探針基座 28 :嵌合凹部 31 :基準板部 3 2 :調整板部 3 3 :位置調整機構 3 5 :固定用螺栓 3 7 :長孔 40 :調整螺栓 41 :調整螺栓保持器 42 :調整區塊 44 :旋轉容許部 4 5 :螺絲部 47 :底板 4 8 :保持板 49 :嵌合溝 5 0 :底板 5 1 :螺絲板
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Claims (1)
1361895 十、申請專利範圍 1.—種探针單元,其特徵爲: 具備: 探針載置台,被固定於本體側; 探針組合體,具有與檢查對象板之電極直 針;和 探針基座,在被支持於上述探針載置台的 上述探針組合體, 上述探針基座具備:1個基準板部;1或 調整板部;和位置調整機構,設置於此等基準 板部之間及各調整板部之間且用來調整各調整 〇 2 .如申請專利範圍第1項之探針單元,其 針基座的基準板部係在不會偏移於上述探針載 位置下被安裝,且上述調整板部係在可容許於 置台上偏移的狀態下被安裝。 3 .如申請專利範圍第2項之探針單元,其 針基座的基準板部具有與固定於上述探針載置 螺栓大致相同直徑的圓孔,且上述調整板部具 對於上述固定用螺栓偏移的長孔。 4.如申請專利範圍第1項之探針單元,其 置調整機構係由:調整螺栓,用來調整上述探 準板部與調整板部的間隔或各調整板部的間隔 保持器,設置於上述基準板部與調整板部或各 接接觸的探 狀態下支持 2個以上的 板部與調整 板部的位置 中,上述探 置台的特定 上述探針載 中,上述探 台之固定用 有可容許相 中,上述位 針基座之基 :調整螺栓 調整板中之 -17- 1361895 —者’且將上述調整螺栓以可轉動的方式支持;和調整區 塊’設置於上述基準板部與調整板部或各調整板中的另一 者’且具有可供上述調整螺栓螺入的螺孔所構成。 5. —種檢查裝置,係使用於檢查對象板之檢査的檢查 裝置,其特徵爲: 具備:面板安置部,將檢查對象板從外部搬入,於檢 查結束後再將其搬送到外部;和測定部,支持從該當面板 安置部搬送到的檢查對象板以進行實驗, 上述測定部具有探針單元, 該當探針單元具備:探針載置台,被固定於本體側; 探針組合體,具有與檢查對象板之電極直接接觸的探針; 和探針基座,在被支持於上述探針載置台的狀態下支持上 述探針組合體, 上述探針基座具備:1個基準板部;1或2個以上的 調整板部;和位置調整機構,設置於此等基準板部與調整 板部之間及各調整板部之間且用來調整各調整板部的位置 〇 6. 如申請專利範圍第5項之檢査裝置,其中,上述探 針基座的基準板部係在不會偏移於上述探針載置台的特定 位置下被安裝,且上述調整板部係在可容許於上述探針載 置台上偏移的狀態下被安裝。 7. 如申請專利範圍第6項之檢查裝置,其中,上述探 針基座的基準板部具有與固定於上述探針載置台之固定用 螺栓大致相同直徑的圓孔,且上述調整板部具有可容許相 -18- 1361895 對於上述固定用螺栓偏移的長孔。 8.如申請專利範圍第5項之檢查裝置,其中,上述位 置調整機構係由:調整螺栓,用來調整上述探針基座之基 準板部與調整板部的間隔或各調整板部的間隔;調整螺栓 保持器’設置於上述基準板部與調整板部或各調整板中之 一者’且將上述調整螺栓以可轉動的方式支持;和調整區 塊,設置於上述基準板部與調整板部或各調整板中的另一 者’且具有可供上述調整螓栓螺入的螺孔所構成。
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