CN101134528A - 传送物体存放*** - Google Patents
传送物体存放*** Download PDFInfo
- Publication number
- CN101134528A CN101134528A CNA2007101469596A CN200710146959A CN101134528A CN 101134528 A CN101134528 A CN 101134528A CN A2007101469596 A CNA2007101469596 A CN A2007101469596A CN 200710146959 A CN200710146959 A CN 200710146959A CN 101134528 A CN101134528 A CN 101134528A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- object storage
- transmission object
- transmission
- code
- track
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Programme-control systems
- G05B19/02—Programme-control systems electric
- G05B19/04—Programme control other than numerical control, i.e. in sequence controllers or logic controllers
- G05B19/12—Programme control other than numerical control, i.e. in sequence controllers or logic controllers using record carriers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
- B65G1/02—Storage devices
- B65G1/04—Storage devices mechanical
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
- B65G1/02—Storage devices
- B65G1/04—Storage devices mechanical
- B65G1/0457—Storage devices mechanical with suspended load carriers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
- B65G1/02—Storage devices
- B65G1/04—Storage devices mechanical
- B65G1/06—Storage devices mechanical with means for presenting articles for removal at predetermined position or level
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
- B65G1/02—Storage devices
- B65G1/04—Storage devices mechanical
- B65G1/10—Storage devices mechanical with relatively movable racks to facilitate insertion or removal of articles
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G37/00—Combinations of mechanical conveyors of the same kind, or of different kinds, of interest apart from their application in particular machines or use in particular manufacturing processes
- B65G37/02—Flow-sheets for conveyor combinations in warehouses, magazines or workshops
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
- B65G2201/02—Articles
- B65G2201/0297—Wafer cassette
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G2203/00—Indexing code relating to control or detection of the articles or the load carriers during conveying
- B65G2203/02—Control or detection
- B65G2203/0208—Control or detection relating to the transported articles
- B65G2203/0216—Codes or marks on the article
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/31—From computer integrated manufacturing till monitoring
- G05B2219/31006—Monitoring of vehicle
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Forklifts And Lifting Vehicles (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
一种传送物体存放***,其具有沿轨道(520)移动且传送一个或多个物体(400)的传送台车(300),每个物体都具有夹持部分(420);具有架板(250)的传送物体存放架(200);布置在该架板上且在其上能够放置传送物体的具有多个凸出组(261)的定位板(260),每组凸出通过与形成在相应的一个传送物体的底面上的一组凹部相接合而支承放置于定位板上的相应一个传送物体;和在轨道上以预定间隔粘合的多个代码信息(530)。该传送台车具有(i)用于读取多个代码信息的代码信息读取装置(360),(ii)用于夹持该夹持部分的夹具(340)和(iii)用于校正传送台车沿轨道的停止位置的校正装置(350、351)。
Description
技术领域
本发明涉及一种用于暂时存放或储存被传送物体的传送物体存放***,该物体在工厂等中通过传送台车来进行传送。这里,“传送物体”是指产品、中间产品、元件、物品、工件、部分完工的货品、货品等等,或者是指用于容纳这种产品等的盒子或容器,其通过传送台车进行传送或将被传送。
背景技术
通常,在半导体制造工厂中,为了降低产品的成本和增加产品的数量,非常需要提高生产效率。作为其中的一部分,对工厂中的传送设备或者工具需要进行如下改善:(i)洁净室空间的有效利用,(ii)建设成本的降低,(iii)建设期限的缩短,和(iv)在传送设备工作之后传送时间周期的缩短。
在半导体制造工厂中,例如OHT(高架提升传送)、OHS(高架往复传送)等的传送台车***在安装在工厂顶棚上的轨道上运行并且传送物体。
就该传送台车***来说,已经进行了各种研究与开发。在日本专利申请公开No.Hei 10-109887中公开了一种工件传送***(也就是物体传送***)。这里,“工件”是指传送物体。
该工件传送***具有顶棚运行车,其沿着安装在工厂顶棚附近的导轨运行,且通过适当地正向或反向旋转卷筒,以将皮带卷起至卷筒上或者从该卷筒上松开该皮带,来上下移动夹具装置。在这个***中,其上放置工件的存放架部件安装在地板以上和导轨以下。
因此,因为该存放架部件安装在地板之上和导轨之下,所以这样能够获得节约工艺位置、地板等的效果,并且通过顶棚运行车能够缩短用于传递和接收该工件所需要的时间周期。
发明内容
通常,在建设时用于***构建运转需要很长时间和大量的步骤。建设时的这些步骤中的一个步骤是为存放架上的传送台车的停止位置教导校正(也就是校正值)。
该传送台车通过通常粘合在运行轨道上的条形码来检测该停止位置。在传送台车处于教导停止位置的校正的步骤之前的情况中,传送物体的停止位置和放置位置彼此不一致。因为存在(i)在移动方向中的误差,(ii)在垂直于移动方向的方向中的误差,(iii)台车旋转方向上的误差等,并且因为传送台车之间的这种误差的幅度是不同的,所以传送台车之间的这种不一致的程度是不同的。此外,对于一个传送台车,因为存放架之间的存放架至导轨的安装条件是不同的,所以存放架之间的这种不一致的程度是不同的。在上述的日本专利申请公开出版所公开的常规技术中,对于相应的一个存放架人工地输入(也就是教导)在存放架之间不同的校正值。因为对于所有的存放架和对于所有的传送台车进行该教导工作,所以该教导工作所需要的时间周期和步骤数是庞大的。
因此本发明的一个目的是提供一种传送物体存放***,其能够减小相对于存放架的传送台车位置的教导校正的步骤数。
本发明的上述目的能够通过一种传送物体存放***来获得,其包括:沿导轨移动和传送每个均具有夹持部分的一个或多个物体的传送台车;具有架板的传送物体存放架;定位板,该定位板布置在架板上,在其上能够放置传送物体,该定位板具有多个凸出组,每个凸出组通过与形成在传送物体的相应的底面上的凹部组相接合而支承放置在该定位板上的相应一个传送物体;和在轨道上以预定间隔粘合的多个代码信息,所述传送台车包括(i)用于读取多个代码信息的代码信息读取装置,(ii)用于夹持该夹持部分的夹具和(iii)用于校正所述传送台车沿轨道的停止位置的校正装置,该定位板预先以预定位置布置在架板上,使得分别确定多个代码信息中的每个代码信息和凸出组中的相应的每个凸出之间的相对坐标,该传送台车根据多个代码信息中的一个而停止,使得(i)放置在一个凸出组上的传送物体的夹持部分的位置和(ii)该停止的传送台车的夹具的位置之间的误差值可以记录为所述校正装置中的校正信息,相对于该多个代码信息中的其他信息根据该记录的校正信息,所述校正装置校正该停止位置。
根据本发明的传送物体存放***,该传送台车沿着安装在顶棚上的轨道移动,同时以例如悬吊的状态来夹持该物体。在该轨道的下面安装有传送物体可放置在其上的传送物体存放架,该传送物体存放架例如处于从顶棚悬吊的状态。多个代码信息以预定间隔粘合或者粘接在传送物体存放架上方的轨道区域上。根据粘合的代码信息,该传送台车自动移动,同时自身判断移动或者停止。
在安装该传送物体存放架的时候,安装一个或多个均具有凸出组的定位板。相对于以预定间隔粘合的相应的一个代码信息来布置每个定位板。(i)一个定位板的坐标和(ii)该传送台车的夹具的坐标之间的误差值通过该校正装置来记录,该传送台车根据相关的代码信息而停止。
在这种情况下,在安装该传送物体存放架的时候,通过该校正装置来记录基于一个代码信息的该校正信息。因为包括一个信息的这些标记信息以预定间隔布置,因此,该记录的校正信息能够扩展或应用至其他的代码信息或多个信息。
采用这样的方式,根据本发明的传送物体存放***,能够提供如下的传送物体存放架,即传送物体放置在其上的架板的凸出组相对于粘合在轨道上的条形码的误差实际上可认为是零。因此,能够减少或最小化关于该传送物体存放***的传送台车的教导位置校正的步骤数。
在本发明的一方面中,该轨道安装在顶棚上,该夹具以悬吊该夹持部分的状态而夹持该夹持部分,该传送物体存放架从轨道悬吊,和多个代码信息粘合在轨道的下部上。
根据这个方面,该轨道安装在顶棚上。该传送物体存放架从该轨道悬吊。通过该夹具能够夹持和悬吊该传送物体,并且该传送物体能够放置在该架板上。代码信息读取装置从下面能够容易地读取粘合在轨道下部上的代码信息。因此,能够实现安装在顶棚上的传送物体存放***。
在本发明的另一方面,所述校正装置具有用于从外部输入误差值的外部输入装置,该误差值记录为所述校正装置中的校正信息。
根据这个方面,因为该校正装置具有外部输入装置,可响应于从该外部输入装置输入的误差值进行微调,且该微调的结果可记录为校正信息。因此,能够更容易和更确切地建立该传送物体存放***。
在本发明的另一方面,该相对坐标将如下部分设置在垂直轴线上,即(i)以传送物体放置在其上的凸出中的一组凸出为顶点的形状的形心,和(ii)该多个代码信息中相应的一个。
根据这个方面,形心和以预定间隔布置的相应的一个代码信息布置在该垂直轴线上。因此,通过执行校正以使得该垂直轴线可与该传送台车的夹具的垂直轴线一致,从而可以容易地对其他代码信息进行校正。
在本发明的另一方面中,多个代码信息包括控制条形码,所述代码信息读取装置包括条形码读取器。
根据这个方面,易于设立该控制条形码,及通过条形码读取器易于读出该控制条形码。因此,传送台车能够容易地自动移动和停止。
在本发明的另一个方面中,安装一个或多个定位板,其每个均包括所述定位板且能够分别地固定在架板上。
根据这种方面,该定位板或多个定位板能够彼此单独地固定在架板上。因此,与直接在传送物体存放架上形成凸出组的情况相比,在装配传送物体存放架之后能够更容易地执行凸出组的位置调整。
在本发明的另一个方面中,包括所述传送物体存放架的多个传送物体存放架每个均沿着轨道安装,并且所述校正装置通过使用关于一个传送物体存放架上的传送物体的校正信息,作为其他所述传送物体存放架上的校正信息,来校正停止位置。
根据这个方面,通过在装配所有传送物体存放架时校正(i)轨道和每个代码信息和(ii)相应的每个传送物体存放架之间的相对位置关系,能够将一个传送物体存放架的校正信息扩展或者应用至其他传送物体存放架。因此,没有必要分别地进行校正或调整,能够减少装配传送物体存放架的步骤数。因此,对于整个传送物体存放***,能够提高装配效率。能够减少装配的步骤数和时间周期。
在这个方面,该轨道可以包括多个环形轨道和连接多个环形轨道的轨道,所述校正装置通过使用关于安装在环形轨道内的一个所述传送物体存放架上的传送物体的校正信息来校正一个环形轨道内的其他所述传送物体存放架的停止位置。
在这种情况下,相同环形轨道内的一个传送物体存放架的校正信息能够扩展或应用至相同环形轨道内的其他传送物体存放架。因此,不必校正关于相同环形轨道内的各个传送物体存放架的传送台车的停止位置。因此,能够减少装配传送物体存放架的步骤数。因此,对于整个传送物体存放***,能够提高装配效率。
替代地,在这个方面,该导轨可包括多个环形轨道和连接多个环形轨道的轨道,所述校正装置可通过使用关于安装在一个环形轨道内的一个所述传送物体存放架上的传送物体的校正信息校正其他环形轨道内的其他所述传送物体存放架的停止位置。
在这种情况下,通过使相同环形轨道和不在相同环形轨道内的所有传送物体存放架的配置状态一致,使相同环形轨道内的一个传送物体存放架的校正信息能够扩展或应用至不在相同环形轨道内(也就是在其他环形轨道内)的其他传送物体存放架。因此,不管任何环形轨道,不必校正关于所有各个传送物体存放架的传送台车的停止位置。因此,能够减少配置传送物体存放架的步骤数。因此,对于整个传送物体存放***,能够提高装配效率。
当结合如下所述的附图,通过关于本发明的优选实施例的下述详细说明,本发明的本质、应用和其他特征将变得更加清楚明显。
附图说明
图1是作为本发明实施例的传送物体存放***的平面示意图;
图2是在图1的传送物体存放***中具有OHT和传送物体的传送物体存放架的侧视图;
图3是示出将图2的传送物体存放架安装至导轨的步骤的侧视图;
图4A是图3导轨的仰视图,其示出导轨上粘合有控制条形码的状态;
图4B是图4A导轨的截面图;
图5是说明实施例中架板上布置定位板的状态的透视图;
图6A是示出固定定位板的一个实例的平面图;
图6B是图6A的侧视图;
图7是传送物体存放架的侧视图,说明本实施例在建设中在***构建时执行的传送台车相对于传送物体存放架的位置校正教导方法;
图8是传送物体存放架的另一个侧视图,说明位置校正教导方法的实例;
图9是传送物体存放架的另一个侧视图,说明在位置校正教导方法的实例中如何向该传送台车教导校正值。
具体实施方式
现在将参考附图描述本发明的实施例。
图1示出作为本发明实施例的传送物体存放***100的整体结构。
如图1所示,该传送物体存放***100具有多个环形导轨(也就是工序内轨道)520a、520b、520c和520d。该传送物体存放***100还具有跨越环形导轨520a到520d的环形导轨(也就是工序间轨道)520e。此外,在该传送物体存放***100中,环形导轨520a到520d和环形导轨520e通过连接导轨520f彼此连接。
由此,能够在不回退的情况下以如下顺序沿一个方向驱动下文将详细描述的OHT型传送台车(在下文中简单地称为“OHT”)300,该顺序例如导轨520a、520f、520e、520f、520b、520f、520e、520f、520d、520f、520e、520f、520c、520f、520e、520a、...的顺序。
如图1所示,在环形导轨520a到520d的外周,布置多个半导体处理设备900。在环形导轨520e的旁侧布置多个半导体处理设备910。沿着多个环形导轨520a到520d还布置多个传送物体存放架200(200a、200b、200c、200d、...),其中一个例如图2所示。
OHT 300将FOUP 400布置在传送物体存放架200上,并且在导轨520a到520d上移动的同时传送该FOUP 400,该FOUP 400是“传送物体”的一实例并稍后将详细描述。由此,包含于FOUP 400中的基底通过操作半导体处理设备900的手取出,并通过预定工艺进行处理,再包含到FOUP 400中。随后,FOUP 400通过OHT 300进行传送,使得预定工艺顺序地施加于FOUP 400中的基底上。
图2示出了传送物体存放架200的详细结构。
在图2中,传送物体存放***100主要安装在顶棚500上。通过悬吊部件510从顶棚500上建立导轨520。环形地建立该导轨520。该导轨520在轨迹中央向着多个目标岔开。在岔开点附近,布置传送物体存放架200。以预定间隔粘合多个代码信息(在下文中称为“控制条形码”)530a到530e。稍后将详细地描述控制条码530a到530e。
传送物体存放架200布置为处于悬吊在导轨520下方的状态。更具体地,每个悬挂部件240和241的一端沿垂直向下的方向通过各自的一个支承部件230布置在导轨520上。悬挂部件240的另一端通过螺母251固定在架板250的一端。悬挂部件241的另一端通过螺母252固定在架板250的另一端。由此,将架板250设置为平行于水平面。
在朝向导轨520的架板250的表面上,布置一个或多个定位板260。该定位板260包括板状部件,在其上布置多个运动销261,如稍后将详细描述的。因此,在架板250的表面上,放置一个或多个定位板260。
接下来,下面将描述OHT 300,其以悬吊至导轨520的状态移动。
该OHT 300具有主体部分310、提升装置320、悬吊带330和夹具340。该OHT 300能够沿着导轨520移动,和利用悬吊带330上下移动提升机320。在提升装置320的下部,布置有夹具340。该夹具340具有为了夹持FOUP 400的边缘420(本发明“夹持部分”的一实例)的形状,稍后将对其进行详细描述。例如,该夹具340包括用于从左右方向夹紧该边缘420的一对夹紧部件。
该OHT 300包括控制装置350、校正装置351和数据读取装置(以下简称为“条形码读取器”)360(如图8中说明的)。该控制装置350根据条形码读取器的读取数据控制驱动装置370的运行和停止操作。此外,该控制装置350控制悬吊带330的卷绕和展开操作,且同时指示夹具340的操作。该校正装置351为控制装置350提供校正信息。校正装置351的细节将稍后描述。OHT 300还具有用于从外部输入操作部660接收信号的接收装置(参考图9)。控制装置350将来自外部输入操作部660的指令提供给校正装置351。该校正装置351将所给出的指令记录为校正信息。根据该指令,该控制装置350校正传动装置370的运行和停止控制。这里,外部输入操作部660是便携遥控器、正反向开关等。
接下来,将描述作为传送物体的一实例的FOUP(前开口一体盒)400。这里,FOUP是由SEMI标准E47.1规定的。FOUP是在小环境方式的半导体工厂中用来传送和存放300mm(毫米)晶片的载体,并且是用于前开口盒式传送的存储箱或容器。
FOUP 400具有主体部分410和边缘420。该主体部分410具有能够容纳传送物体的盒子形状。晶片或多个晶片包含于该盒子形状的内部空间。该主体部分410在下表面上具有凹部,该凹部与定位板260的运动销261的凸部的突起相接合。
接下来,下面将说明在设置传送物体存放***100时的工艺。图3示出了在导轨520上安装传送物体存放架200的工艺。图4A和4B示出了在导轨520上粘合控制条形码530a到530e的状态。图4A示出了从导轨520底面之下观察的状态,同时图4B示出了导轨520的截面。
如图3所示,安装悬挂部件240和241以及架板250。随后,如图4A所示,控制条形码530a到530e以预定间隔L粘合在导轨520上。在这种情况下,如图4B所示,导轨520为C字形,其中该导轨520的内部空间为空的。该控制条形码530a到530e沿垂直向下方向粘合在导轨520的表面上。
接下来,图5示出了在架板250上布置定位板260的状态。图6A和6B示出了固定定位板260的一实例。图6A示出了定位板260的平面图,而图6B是其侧视图。
如图5所示,在架板250的表面上布置该定位板260。该定位板260具有矩形形状,并具有多套运动销261,使得三个运动销261作为用于一个板的一套。例如,在图5中,两套运动销261(其中这两套中的每一套均包括三个运动销261)布置在定位板260的一个板上。
随后,如图6A和6B所示,相对于形成在定位板260中的纵向开口262夹紧洗涤器630,并通过螺母610和穿透该螺母610的螺钉620而形成暂时的连接。
接下来,如图5所示,使用位置指示件600以使从位置指示件600照射的垂直光与每一条形码530a到530e的端部P相匹配。由此,沿垂直向下方向从位置指示件600照射的光在定位板260的上部呈现为光点。在这种情况下,通过沿图6A中的水平箭头和旋转箭头移动定位板260的位置而进行调整,使得三个运动销261的重心位置G(也就是“形心”或″质心″)与位置指示件600的光点相一致。换句话说,根据这种定位板260的联接方法,能够以如下精度进行定位,即(i)FOUP 400放置在其上的多套凸出的每套凸出和(ii)分别与这些凸出相对地粘合在导轨上的相应的每个条形码530a到530e之间的相对位置的误差实际上可认为是零。
在完成定位板260位置调整之后,预先暂时固定的螺母610以预定旋转扭矩拧紧,使得定位板260固定在架板250上。
顺便提及,虽然在本实施例中采用照射激光束的位置指示件600,但是不局限于此。例如,该位置指示件可以是在绳索末端的吊锤等等。此外,在该实施例中定位板260具有矩形形状,但是不局限于此。例如,定位板260可以具有其它任意形状。
接下来,下面将说明在设置传送物体存放***100之后的OHT 300的位置调整。
图7和图8示出了本实施例在建设中在***构建时执行的传送台车相对于存放架的位置校正教导方法的一实例。
如图7所示,人工地将FOUP 400放置在运动销261上。这里,因为FOUP 400的底面具有能够接合三个运动销261的凹部,所以运动销261与这些凹部接合。
如图8所示,OHT 300以箭头A的方向沿导轨520移动。随后,结合在OHT 300中的条形码读取器360读取控制条形码530a,使得通过控制装置350的动作来停止OHT 300。
如图8所示,假设(i)在OHT 300停止位置的夹具340的垂直方向上的中心轴线和(ii)FOUP 400边缘420的垂直方向上的中心轴线之间出现误差L1。在这种情况下,为了稳定地放置和/或传送FOUP 400,需要通过OHT 300的传动装置来调整或校正误差L1。
换句话说,在图8的OHT 300中,误差L1变为校正值。这种调整不仅对于箭头A的方向,而且通常还对于移动方向、垂直于移动方向的方向、旋转方向和高度方向的综合。
接下来,下面将参考图9说明向OHT 300教导校正值的方法。图9示出了如何向OHT 300教导校正值。
如图9所示,使用外部输入操作部660以进行教导。在教导中,首先,通过操作外部输入操作部660,操作员(也就是操作的人)使校正装置351记忆OHT 300当前停止的现在位置的坐标值(X0、Y0、Z0、θ0)。
接下来,操作员操作该外部输入操作部660,使得OHT 300移动到正确位置,在该位置处夹具340能够正确地夹持FOUP 340的边缘420。
在图9中,误差L1表示移动操作中需要的移动量。通常地,对于误差L1,在垂直方向、上下方向和旋转方向中的运动同样需要。在OHT 300移动到正确位置之后,操作外部输入操作部660,使得通过校正装置351可以记忆移动之后OHT 300停止位置的坐标值(X1、Y1、Z1、θ1)。预先记忆的坐标值(X0、Y0、Z0、θ0)和此时记忆的坐标值(X1、Y1、Z1、θ1)之间的差值变成校正值。因此,操作该外部输入操作部660,使得通过校正装置351计算该校正值,以及通过校正装置351记忆(也就是记录)该校正值。校正装置351用这样的方式记忆校正值的这种操作是教导操作。
OHT 300通过将误差L1用作坐标值而控制OHT 300的驱动,该误差L1记录在校正装置351中。这里,因为以等间隔布置控制条形码530a到530e以及因为控制条形码530a到530e与定位板260的位置彼此精确地相匹配,所以控制条形码530b到530e的误差变为校正值(即误差L1),其与控制条形码530a的情况相同。因此,不需要多次执行误差的调整或校正。能够通过OHT 300在短时间内稳定地放置和/或传送FOUP 400。
如上详细所述,在传送物体存放***100中,基于一个控制条形码,即基于控制条形码530a的校正信息(即误差L1)记录在校正装置351中。随后,该控制装置350能够产生或施加该校正信息给等距间隔的控制条形码530b到530e。另一方面,因为多套运动销261与一个定位板,即定位板260整体形成,故不需要分别对每个FOUP 400设置运动销261。因此,能够减少设置传送物体存放***100的步骤数(特别是减少用于教导的时间周期)。
通过使用外部输入操作部660(例如便携遥控器等等)能够执行该教导,以及能够记录校正信息。因此,能够更容易和更确切地建立传送物体存放***100。
在这种情况下,控制条形码530a到530e布置在垂直轴线上,该控制条形码中的一个布置在由一套凸出的顶部形成的形状的形心上(也就是图形形式的质心),该凸出上放置有FOUP 400,且该凸出等距间隔。随后,校正该垂直轴线,使得OHT 300的夹具30能够适当地夹持FOUP 400。因此,能够容易地对其他的控制条形码530b到530e进行校正。
在这种情况下,包括多个板或片的定位板260可彼此独立地固定到传送物体存放架200。因此,与运动销261直接形成在传送物体存放架200上的情况比较,在传送物体存放架200建立之后能够容易地调整运动销261的位置。
在传送物体存放***100中,因为基于控制条形码530a的校正信息(误差L1)记录在校正装置351中,故对于相同导轨内(也就是沿着相同导轨520a)的每个其它传送物体存放架200而言,该控制装置350能够产生用于OHT 300停止位置的校正的校正信息。因此,对于相同导轨内的每个传送物体存放架200,不需要分别教导OHT 300的停止位置。能够减少设置传送物体存放***100的步骤数(特别是减少教导步骤和教导时间周期)。
此外,在传送物体存放***100中,因为基于一个控制条形码530a的校正信息(误差L1)记录在校正装置351中,故对于不在相同导轨的每个其他传送物体存放架200,通过统一传送物体存放***100中的所有传送物体存放架200的设置条件,该控制装置350能够产生或施加该校正信息用于校正OHT 300的停止位置。因此,对于不在相同导轨的每个传送物体存放架200,不需要分别地教导OHT 300的停止位置。能够减少设置传送物体存放***100的步骤数(特别是减少教导步骤和教导时间周期)。
顺便提及,在本实施例中,每个定位板260具有统一的矩形形状。然而,它不局限于此。作为替代,它可以是其它的任意形状。此外,可以使用其它部件或凸部以代替运动销261。
此外,在传送物体存放***100中,使用控制条形码作为代码信息,和使用条形码读取器作为代码信息读取装置。然而,它不局限于此。作为替代,可以使用任何其它的代码信息,例如IC标记(也就是REID)、二维条形码等等。
在本实施例中,导轨520相当于“轨道”。FOUP 400相当于“传送物体”。OHT300相当于“传送台车”。多个运动销260相当于“凸出组”。控制条形码530a到530e相当于“多个代码信息”。条形码读取器360和数据读取装置相当于“代码信息读取装置”。边缘420相当于“夹持部分”。误差L1相当于“误差值”。外部输入操作部660(例如便携遥控器)相当于“外部输入装置”。三个运动销261的重心G相当于本发明的“形心(质心)”。
在不脱离本发明的精神和必要特征的情况下可以以其他具体形式实现本发明。因此,本实施例在所有方面都被认为是说明性的,而不是限制性的,本发明的范围由权利要求表示而不是由前述说明所表示,因此本发明意图包括属于权利要求的等同物的意义和范围内的所有改变。
Claims (9)
1.一种传送物体存放***,包括:
传送台车,其用于沿着轨道运动,并传送均具有夹持部分的一个或多个物体;
具有架板的传送物体存放架;
定位板,其布置在所述架板上,且在其上能够放置所述传送物体,其具有多个凸出组,每个组通过与形成在相应的一个传送物体的底面上的一组凹部相接合而支承放置在所述定位板上的相应的一个传送物体;和
以预定间隔粘合在所述轨道上的多个代码信息,
所述传送台车包括(i)用于读取所述多个代码信息的代码信息读取装置,(ii)用于夹持所述夹持部分的夹具,和(iii)用于校正所述传送台车沿所述轨道的停止位置的校正装置,
所述定位板以预定的位置预先布置在所述架板上,使得可分别确定所述多个代码信息中的每个代码信息和凸出组中的相应每个凸出之间的相对坐标,
所述传送台车根据所述多个代码信息中的一个代码信息而停止,使得(i)放置在所述一个凸出组上的传送物体的夹持部分的位置和(ii)停止的传送台车的夹具的位置之间的误差值可以记录为所述校正装置中的校正信息,
所述校正装置根据记录的校正信息,相对于所述多个代码信息的其他信息,校正所述停止位置。
2.根据权利要求1所述的传送物体存放***,其中
所述轨道安装在顶棚上,
所述夹具以悬吊所述夹持部分的状态夹持所述夹持部分,
从所述轨道悬吊所述传送物体存放架,和
在所述轨道的下部粘合所述多个代码信息。
3.根据权利要求1或2所述的传送物体存放***,其中,所述校正装置具有用于从外部输入所述误差值的外部输入装置,该误差值记录为所述校正装置中的校正信息。
4.根据权利要求1或2所述的传送物体存放***,其中,所述相对坐标将如下部分放置在垂直轴线上:(i)以在其上放置所述传送物体的凸出中的一组凸出作为顶点的形状的形心,和(ii)所述多个代码信息中相应的一个。
5.根据权利要求1或2所述的传送物体存放***,其中,
所述多个代码信息包括控制条形码,和
所述代码信息读取装置包括条形码读取器。
6.根据权利要求1或2所述的传送物体存放***,其中安装有一个或多个定位板,其每个包括所述定位板且能够分别固定在所述架板上。
7.根据权利要求1或2所述的传送物体存放***,其中
包括所述传送物体存放架的多个传送物体存放架每个均沿所述轨道安装,和
所述校正装置通过使用关于在一个所述传送物体存放架上的传送物体的校正信息,作为其他所述传送物体存放架上的校正信息,来校正停止位置。
8.根据权利要求7所述的传送物体存放***,其中
所述轨道包括多个环形轨道和连接所述多个环形轨道的轨道,和
通过使用关于安装在一个所述环形轨道内的一个所述传送物体存放架上的传送物体的校正信息,所述校正装置校正在一个所述环形轨道内的其他所述传送物体存放架上的停止位置。
9.根据权利要求7所述的传送物体存放***,其中
所述轨道包括多个环形轨道和连接所述多个环形轨道的轨道,和
通过使用关于安装在一个所述环形轨道内的一个所述传送物体存放架上的传送物体的校正信息,所述校正装置校正在其他环形轨道内的其他所述传送物体存放架上的停止位置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006237198 | 2006-09-01 | ||
JP2006237198A JP4858018B2 (ja) | 2006-09-01 | 2006-09-01 | 被搬送物保管システム |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN101134528A true CN101134528A (zh) | 2008-03-05 |
Family
ID=39151773
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CNA2007101469596A Pending CN101134528A (zh) | 2006-09-01 | 2007-09-03 | 传送物体存放*** |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20080056864A1 (zh) |
JP (1) | JP4858018B2 (zh) |
KR (1) | KR20080020965A (zh) |
CN (1) | CN101134528A (zh) |
SG (1) | SG140576A1 (zh) |
TW (1) | TW200821241A (zh) |
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101751617B (zh) * | 2009-12-21 | 2012-08-29 | 王敏良 | 一种精确定位及位址确认方法 |
CN102826316A (zh) * | 2012-08-31 | 2012-12-19 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种玻璃基板的仓储***以及玻璃基板仓储方法 |
CN103153497A (zh) * | 2010-10-22 | 2013-06-12 | 西门子Vai金属科技有限责任公司 | 用于运输金属带卷的运输***、运输车和方法 |
CN108803603A (zh) * | 2018-06-05 | 2018-11-13 | 广州市远能物流自动化设备科技有限公司 | 基于编码图像的agv小车对接定位方法及agv小车 |
CN109677860A (zh) * | 2019-02-23 | 2019-04-26 | 谢力 | 空中轨道列车轨道对接装置 |
CN109911557A (zh) * | 2017-12-12 | 2019-06-21 | 罗伯特·博世有限公司 | 运送***、用于控制运送***的方法以及运送***组件 |
CN110248878A (zh) * | 2017-02-07 | 2019-09-17 | 村田机械株式会社 | 输送***和输送方法 |
CN110406910A (zh) * | 2019-07-10 | 2019-11-05 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 高空环形台车*** |
CN111409984A (zh) * | 2020-03-23 | 2020-07-14 | 浙江衣拿智能科技股份有限公司 | 一种智能仓储***及其调度控制方法 |
CN112351946A (zh) * | 2018-06-21 | 2021-02-09 | Tgw物流集团有限公司 | 货仓及拣选***和用于从悬挂袋和其他装载辅助器具中拣选订单货物的方法 |
CN113682751A (zh) * | 2021-08-11 | 2021-11-23 | 弥费实业(上海)有限公司 | 一种空中搬运装置及搬运*** |
US11453555B2 (en) | 2018-07-23 | 2022-09-27 | Tgw Logistics Group Gmbh | Storage and order-picking system with a reduced processing time and method for operating same |
US11993459B2 (en) | 2018-06-21 | 2024-05-28 | Tgw Logistics Group Gmbh | Storage and picking system and picking method with improved goods transfer between two storage locations |
Families Citing this family (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7992734B2 (en) * | 2008-01-11 | 2011-08-09 | International Business Machines Corporation | Semiconductor automation buffer storage identification system and method |
US8626329B2 (en) | 2009-11-20 | 2014-01-07 | Agr Automation Ltd. | Product assembly system and control software |
JP5590420B2 (ja) * | 2011-12-21 | 2014-09-17 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
JP6331291B2 (ja) * | 2013-08-29 | 2018-05-30 | 村田機械株式会社 | 搬送車システム |
TWI560125B (en) * | 2013-10-15 | 2016-12-01 | Inotera Memories Inc | Overhead hoist transport system |
US10780576B2 (en) * | 2014-11-22 | 2020-09-22 | Kenneth C. Miller | Suspended automation system |
US12023801B2 (en) | 2014-11-22 | 2024-07-02 | Kenneth C. Miller | Suspended automation system |
KR102172064B1 (ko) * | 2014-12-02 | 2020-10-30 | 세메스 주식회사 | 캐리어 버퍼 유닛 및 이를 갖는 캐리어 이송 장치 |
TWI595338B (zh) * | 2016-03-30 | 2017-08-11 | 高瞻資訊股份有限公司 | 移動載具至預定實體位置的方法 |
KR101787274B1 (ko) * | 2016-07-21 | 2017-11-15 | 이형규 | 고정밀 반송 대차 및 이를 구비한 반송 시스템 |
CN108455214B (zh) * | 2017-04-27 | 2020-09-22 | 中国国际海运集装箱(集团)股份有限公司 | 控制车辆的方法、装置、***、运输设备及电子设备 |
WO2018211898A1 (ja) * | 2017-05-19 | 2018-11-22 | 村田機械株式会社 | 保管システム |
US11658053B2 (en) | 2019-10-21 | 2023-05-23 | Globalfoundries U.S. Inc. | Conversion plate for reticle pod storage and a reticle pod storage system |
KR102264861B1 (ko) * | 2019-10-31 | 2021-06-14 | 세메스 주식회사 | 부호 인쇄 장치 및 이를 이용한 부호 인쇄 방법 |
US11569108B2 (en) | 2020-06-15 | 2023-01-31 | Globalfoundries U.S. Inc. | Reticle pod conversion plate for interfacing with a tool |
CN114162536A (zh) * | 2021-10-19 | 2022-03-11 | 北京旷视机器人技术有限公司 | 供料方法、控制装置及分拣设备 |
CN115448207B (zh) * | 2022-10-14 | 2024-05-07 | 河南陆润工程咨询有限公司 | 一种城市交通施工用机电模块吊装设备 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3067656B2 (ja) * | 1996-09-30 | 2000-07-17 | 村田機械株式会社 | ワーク搬送システム |
JP2003202923A (ja) * | 2002-01-09 | 2003-07-18 | Asyst Shinko Inc | 搬送装置 |
JP3991229B2 (ja) * | 2004-01-13 | 2007-10-17 | 村田機械株式会社 | 搬送台車システム |
JP4148194B2 (ja) * | 2004-07-22 | 2008-09-10 | 村田機械株式会社 | 搬送台車システム |
JP2006051886A (ja) * | 2004-08-12 | 2006-02-23 | Murata Mach Ltd | 天井走行車システム |
JP4543833B2 (ja) * | 2004-08-31 | 2010-09-15 | ムラテックオートメーション株式会社 | 懸垂式昇降搬送装置における搬送台車の教示装置 |
JP4221603B2 (ja) * | 2005-03-31 | 2009-02-12 | 村田機械株式会社 | 天井走行車システム |
JP4394027B2 (ja) * | 2005-04-05 | 2010-01-06 | 村田機械株式会社 | 天井走行車システム |
JP4720267B2 (ja) * | 2005-04-14 | 2011-07-13 | 村田機械株式会社 | 天井走行車システム |
JP2007041687A (ja) * | 2005-08-01 | 2007-02-15 | Murata Mach Ltd | 搬送台車システム |
JP2007191235A (ja) * | 2006-01-17 | 2007-08-02 | Murata Mach Ltd | 天井走行車システム |
-
2006
- 2006-09-01 JP JP2006237198A patent/JP4858018B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2007
- 2007-08-30 SG SG200706367-0A patent/SG140576A1/en unknown
- 2007-08-31 US US11/848,270 patent/US20080056864A1/en not_active Abandoned
- 2007-08-31 TW TW096132397A patent/TW200821241A/zh unknown
- 2007-08-31 KR KR1020070088320A patent/KR20080020965A/ko not_active Application Discontinuation
- 2007-09-03 CN CNA2007101469596A patent/CN101134528A/zh active Pending
Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101751617B (zh) * | 2009-12-21 | 2012-08-29 | 王敏良 | 一种精确定位及位址确认方法 |
CN103153497A (zh) * | 2010-10-22 | 2013-06-12 | 西门子Vai金属科技有限责任公司 | 用于运输金属带卷的运输***、运输车和方法 |
CN102826316A (zh) * | 2012-08-31 | 2012-12-19 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种玻璃基板的仓储***以及玻璃基板仓储方法 |
CN110248878A (zh) * | 2017-02-07 | 2019-09-17 | 村田机械株式会社 | 输送***和输送方法 |
CN109911557A (zh) * | 2017-12-12 | 2019-06-21 | 罗伯特·博世有限公司 | 运送***、用于控制运送***的方法以及运送***组件 |
CN108803603A (zh) * | 2018-06-05 | 2018-11-13 | 广州市远能物流自动化设备科技有限公司 | 基于编码图像的agv小车对接定位方法及agv小车 |
CN112351946B (zh) * | 2018-06-21 | 2022-07-08 | Tgw物流集团有限公司 | 货仓及拣选***和用于从悬挂袋和其他装载辅助器具中拣选订单货物的方法 |
US12030721B2 (en) | 2018-06-21 | 2024-07-09 | Tgw Logistics Group Gmbh | Storage and order picking system and method for picking ordered articles from a hanging bag and another load aid |
US11993459B2 (en) | 2018-06-21 | 2024-05-28 | Tgw Logistics Group Gmbh | Storage and picking system and picking method with improved goods transfer between two storage locations |
CN112351946A (zh) * | 2018-06-21 | 2021-02-09 | Tgw物流集团有限公司 | 货仓及拣选***和用于从悬挂袋和其他装载辅助器具中拣选订单货物的方法 |
US11453555B2 (en) | 2018-07-23 | 2022-09-27 | Tgw Logistics Group Gmbh | Storage and order-picking system with a reduced processing time and method for operating same |
CN109677860A (zh) * | 2019-02-23 | 2019-04-26 | 谢力 | 空中轨道列车轨道对接装置 |
CN110406910A (zh) * | 2019-07-10 | 2019-11-05 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 高空环形台车*** |
CN111409984A (zh) * | 2020-03-23 | 2020-07-14 | 浙江衣拿智能科技股份有限公司 | 一种智能仓储***及其调度控制方法 |
CN113682751A (zh) * | 2021-08-11 | 2021-11-23 | 弥费实业(上海)有限公司 | 一种空中搬运装置及搬运*** |
CN113682751B (zh) * | 2021-08-11 | 2023-12-15 | 弥费实业(上海)有限公司 | 一种空中搬运装置及搬运*** |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20080020965A (ko) | 2008-03-06 |
JP4858018B2 (ja) | 2012-01-18 |
SG140576A1 (en) | 2008-03-28 |
JP2008056450A (ja) | 2008-03-13 |
US20080056864A1 (en) | 2008-03-06 |
TW200821241A (en) | 2008-05-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN101134528A (zh) | 传送物体存放*** | |
JP4068160B2 (ja) | 一貫生産型のベイ内バッファ・デリベリ・ストッカシステム | |
CN101151197B (zh) | 自动材料处理*** | |
CN100524681C (zh) | 用于带到带传输模组的方法和装置 | |
WO2012043110A1 (ja) | 移載システム | |
US20060230975A1 (en) | Overhead traveling vehicle system | |
US20080156760A1 (en) | Storage apparatus for transported object | |
CN103518137A (zh) | 包括实验室产品传送元件的***和方法 | |
TWI816833B (zh) | 搬送系統 | |
JP2000286318A (ja) | 搬送システム | |
US20030077153A1 (en) | Identification code reader integrated with substrate carrier robot | |
KR20120032020A (ko) | 반송 시스템 및 그 설정방법 | |
US20080106414A1 (en) | Overhead traveling vehicle having id reader | |
WO2017186166A1 (zh) | 一种片盒运输装置 | |
TW202022968A (zh) | 搬送系統 | |
CN215220679U (zh) | 基于滑台机器人的12寸半导体晶圆倒片机 | |
JP2000236009A (ja) | 基板処理装置 | |
JP2015026148A (ja) | 無人搬送車および無人搬送車群 | |
US20230406631A1 (en) | Article transfer apparatus and article transfer method | |
JPH0665904U (ja) | 無人搬送車 | |
CN220934023U (zh) | 一种应用于半导体传输***的晶圆盒读取装置 | |
JP2527658B2 (ja) | 溶接鉄骨仕口の製造方法 | |
US20230257198A1 (en) | Storage shelf and transport vehicle system | |
CN101807007B (zh) | 液晶曝光装置 | |
KR0119136Y1 (ko) | 웨이퍼 반송 시스템의 레일 장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication |