JP4543833B2 - 懸垂式昇降搬送装置における搬送台車の教示装置 - Google Patents

Description

本発明は、半導体クリーンルームで半導体ウエハを多数枚収納し、各種処理工程（洗浄、ＣＶＤ等）に搬送するカセットほか各種物品のキャリアの搬送を行う懸垂式昇降搬送装置（以下、ＯＨＴという）における搬送台車（以下、ＯＨＴ用台車という）の教示装置に係る。
より詳しくは、キャリアのフランジ部を把持する一対のフィンガ及びその接近・離隔機構を備えたハンド部を昇降可能に吊り下げたＯＨＴ用台車に対し、前記一対のフィンガを備えたハンド部の制御上における停止位置の空間座標位置の各要素と、所定の停止位置における空間座標の各要素とのズレを補正値としてマニュアル操作を基礎に与える教示装置に関するものである。

例えば、半導体製造工程における各種処理（洗浄、ＣＶＤほか）を順次行うために半導体ウエハを収納、搬出するためのカセットほか、液晶製造、ＦＡなどにおいて、板状体を各種処理部に移送させるためのキャリア搬送手段は、生産性向上の観点から、近年、ＯＨＴが主流となってきている。
このＯＨＴは、ＯＨＴ用台車が有する昇降機構によって所定の箇所においてキャリアを昇降させるとともに、当該ＯＨＴ用台車を、所定の軌道に沿って配設されたレールに懸垂状態で移送させる構成をなしている。

さて、本願各発明に係るＯＨＴ用台車の教示装置と関連する先行技術として下記特許文献１がある。この特許文献１を援用してＯＨＴ用台車の教示装置の従来技術を説明すると次の通りである。
先ず、ＯＨＴを適用した半導体クリーンルームの概要を、特許文献１の図５を基に説明する。図５において、半導体クリーンルーム内には、複数のプロセス処理装置５１とストッカ５２が並べられており、夫々のプロセス処理装置５１やストッカ５２には、ウエハキャリア（カセット）Ｗを載置するロードポート（キャリアの載置台）５３が設置されている。また、天井付近には、前記プロセス制御装置５１やストッカ５２の間でウエハキャリアＷを搬送するＯＨＴ６１が設置されている。前記ＯＨＴ６１は、前記プロセス処理装置５１やストッカ５２を接続するように天井付近に配設された軌道６２と、この軌道６２に沿って走行するＯＨＴ用台車６３と、前記ＯＨＴ用台車６３から懸垂材６４によって吊り下げられたハンド部６５等から構成されている。そして、このハンド部６５は、ＯＨＴ用台車６３内に設けられた巻き取り装置（図示せず）による前記懸垂材６４の巻き取り／繰り出しにより昇降する。

ところで、ストッカ５２及びロードポート５３の位置する所定の箇所に設けられたストップマークを検知したＯＨＴ用台車６３が停止したときのハンド部６５の空間座標位置（Ｘ_０，Ｙ_０，Ｚ_０，θ_０）のデータは予め教示装置に記憶されている。
ここにＸ、Ｙは水平面内の直交する２方向で、ＸがＯＨＴ用台車６３の走行方向の空間座標要素を、ＺはＸ、Ｙに対して直交する空間座標要素を、θは水平面内における回転方向の空間座標要素を夫々示している。

次に教示装置を操作することによってハンド部６５は、ロードポート５３上に正規の位置にセットされたウエハキャリアＷのフランジ部を所望の状態にて把持するように目視によりセッティングすることができる。
このときの空間座標位置（Ｘ_ｉ，Ｙ_ｉ，Ｚ_ｉ，θ_ｉ）のデータは教示装置に入力され、位置
補正データ（Ｘ_ｉ−Ｘ_０，Ｙ_ｉ−Ｙ_０，Ｚ_ｉ−Ｚ_０，θ_ｉ−θ_０）を得る。そして、この位置補正データ（Ｘ_ｉ−Ｘ_０，Ｙ_ｉ−Ｙ_０，Ｚ_ｉ−Ｚ_０，θ_ｉ−θ_０）はＯＨＴ用台車６３内のメモリーに記憶される。

そして、この位置補正データは、各ＯＨＴ用台車毎、各ロードポート毎に必要とされ、数百（具体例として半導体製造装置におけるプロセス処理装置が３０、各プロセス処理装置のロードポート数２、キャリアの昇降各１、ＯＨＴ用台車数３、とした場合、３６０データ）に及ぶテータの作成が必要となる。
このような作業はベイの数が１０あるとした場合、３６００データとなり、１回の作業に１０分要するとすると、教示時間はのべ６００時間に及び莫大な時間を要した。
そこで、特許文献１の発明は、このような長時間を要する教示時間の大幅な短縮、及びオペレータの個人差の生じない教示手段を得るための技術を開示している。

即ち、この特許文献１の発明はＯＨＴ用台車のハンド部側若しくはキャリアの載置台側に設けた所定の特徴部と、キャリアの載置台側若しくは前記ハンド部側に設けられ、前記所定の特徴部の位置を検出する位置検出手段と、この位置検出手段で得られた前記載置台に対する前記ハンド部の相対位置に基づいてハンド部の現在の停止位置と、所望の停止位置とのズレ量を自動的に検出して、このズレ量に基づきハンド部の空間座標位置を適正に定めることを要旨としている。
特開平１１−３４９２８０

前記特許文献１において、従来技術として述べられている事項、即ち、ＯＨＴ用台車におけるハンド部の制御上の停止位置と、ハンド部がキャリアのフランジを適正に把持する停止位置とのズレを補正値として得るマニュアル手法による教示技術は、次項（イ）（ロ）のような課題がある。
（イ）教示対象として用いるキャリアは、実際にウエハ等の搬送に供せられるカセットのように量産される汎用性の高いものを使用している。従って、仮に正確な教示作業が行われたとしても、ＯＨＴ用台車のハンド部における前記空間座標位置（Ｘ_ｉ，Ｙ_ｉ，Ｚ_ｉ，θ_ｉ）の教示内容は基本となる教示データがばらつき、精度的に十分とは云えず、教示データの誤差が大きいときは、教示後、ＯＨＴ台車のハンド部がキャリアのフランジを適正に把持できず、キャリアの落下事故を招く恐れがある。

（ロ）作業員によるマニュアル作業を基礎に行うＯＨＴ用台車のハンド部における駆動要素の制御量の教示手法は、従来からの慣用手段として多用されている。そして、ＯＨＴ用台車のハンド部における前記空間座標位置（Ｘ_ｉ，Ｙ_ｉ，Ｚ_ｉ，θ_ｉ）の前記補正データ（Ｘ_ｉ−Ｘ_０，Ｙ_ｉ−Ｙ_０，Ｚ_ｉ−Ｚ_０，θ_ｉ−θ_０）をＯＨＴ用台車の制御部に教示するに当り、ＯＨＴ用台車のハンド部の構成要素としての一対のフィンガ及びこれに対向する教示用キャリアの平面に位置決め認識用として所謂けがき線が用いられている。しかし、このけがき線のみを基に前記補正データ（Ｘ_ｉ−Ｘ_０，Ｙ_ｉ−Ｙ_０，Ｚ_ｉ−Ｚ_０，θ_ｉ−θ_０）の教示を行うにはかなりの時間を要し、熟練を要する作業となり、作業者によって教示作業の精度にばらつきを生じる傾向がある。

一方、特許文献１の発明のように、ＯＨＴ用台車のハンド部における一対のフィンガがキャリアのフランジ部を適正に把持できる制御量を教示するに際して、マニュアル教示手段を自動化することは、教示精度の向上に加えて教示時間の短縮を図ることができるとしても、この自動化に必要とされるコストはかなりのレベルに達し、必要に応じて手軽に実施できないなど、小回りがきかずきかず実用的には採用しにくい面がある。

そこで、本発明の目的は、ＯＨＴ用台車における一対のフィンガを有するハンド部の制御上における停止位置と、当該ＯＨＴ用台車のハンド部における一対のフィンガが、フランジ部とその周辺部の要部形状・高さ位置が実際に稼動するキャリアと外観上同じであって、高精度に形成された位置補正用基準治具のフランジ部を正規に把持した状態のハンド部の位置とを正確に把握し、これらの位置情報に基づいて、ＯＨＴ用台車の制御部に対し、高精度のハンド部の制御に必要とされる補正値を教示することにある。

課題を解決するための手段及び効果

上記の課題を解決するため、請求項１に記載のＯＨＴ用台車の教示装置は、キャリアのフ
ランジ部を把持し、或いは、当該フランジ部との係合を解くように互いに接近・離隔する
一対のフィンガーと、当該一対のフィンガー並びにその接近・離隔制御部材を昇降可能に
吊り下げる機構と、所定の軌道に沿って走行する機構と、走行方向と直交する方向、中心
部における垂直軸方向並びにその回転方向の変位機構と、を有する搬送台車、及び前記キ
ャリアが載置される載置台に対する搬送台車の制御上の位置と所定の位置との偏差値を予
め個別に求め、この偏差値を補正値として各搬送台車用のコントローラに記憶させ、各搬
送台車毎、各載置台毎に前記補正値を用い、各搬送台車の各載置台へのアクセスの制御手
段を具備してなる懸垂式昇降搬送装置において、前記補正値を計測するための搬送台車の
教示装置であって、底板と、上板と、フランジ部と、マーク部材と、を有する位置補正用
基準治具を備え、該位置補正用基準治具を、前記載置台上の正規の位置に載置し、前記フ
ランジ部を前記一対のフィンガーが所望の状態に把持させたときの搬送台車の空間座標位
置と、予め設定した制御上の空間座標位置との差異を補正値として計測し、前記空間座標
位置を決定する要素を、前記搬送台車の走行方向の位置、前記搬送台車の走行方向に直交
する方向の位置、前記搬送台車の中心部における垂直方向の位置、及び前記搬送台車の中
心部における垂直軸に対する回転角からなる４座標値とし、前記マーク部材を、前記一対
のフィンガーが前記位置補正用基準治具の前記フランジ部を正規に把持する位置にあると
き、前記上板の平面上にける前記一対のフィンガーの上方からの投影位置に固定したこと
を特徴とする。

この請求項１に係る発明によれば、ＯＨＴ用台車の制御用停止位置（この時のハンド部における中心部の空間座標位置をＸ_０，Ｙ_０，Ｚ_０，θ_０とする）から、一対のフィンガを含むハンド部が降下し、位置補正用基準治具のフランジ部を前記一対のフィンガが適正に把持したときのハンド部における中心部の空間座標位置（Ｘ_ｉ，Ｙ_ｉ，Ｚ_ｉ，θ_ｉ）は、位置補正用基準治具の形状精度が高いことに伴って、高精度のデータとなり、教示精度が従来の汎用キャリアにおける教示に比べて向上する。

また、ＯＨＴ用台車のハンド部における一対のフィンガーが位置補正用基準治具のフラ
ンジに対して適性に位置決めする操作を、効率よく行うことができる。

更に、一対のフィンガーと位置補正用基準治具のフランジ部との適正な相対位置関係を目
視にて容易に確認できるため、さほど熟練を要しなくとも、一対のフィンガーを有するハ
ンド部が効率良くＯＨＴ用台車の制御上の停止点から所望の位置へ移行するための教示作
業を行うことができる。

請求項２に記載のＯＨＴ用台車の教示装置は、請求項１に記載のＯＨＴ用台車の教示装置
において、前記一対のフィンガーと前記位置補正用基準治具とが相対向する面同士の相対
位置のズレ表示手段を備えたことを特徴とする。
この係る発明によれば、より大きなズレを一定値以下の小さなズレに短時間で調整し、
残る微調整を一対のフィンガーと位置補正用基準治具とが相対向する面同士の相対位置の
ズレ表示手段で実施する２段階による調整法に基づいて、大きなズレであっても短時間で
、かつ、精度よく一対のフィンガーと、位置補正用治具との位置合せ作業を終息させるこ
とができる。

請求項３に記載のＯＨＴ用台車の教示装置は、請求項２に記載のＯＨＴ用台車の教示装
置において、相対位置のズレ表示手段が搬送台車の走行方向及びこれと直交する方向の少
なくとも一方に沿って位置する適所において、一対のフィンガーと、位置補正用基準治具
とにおいて、一方にはけがき線を、他方には当該けがき線の位置を確認する目盛線を表示
してなることを特徴とする。
この発明によれば、前記一対のフィンガーと前記位置補正用基準治具とが相対向する面同
士の相対位置のズレの程度が目視でき、このズレの調整が短時間にできる。

以下、本発明の好適な実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
先ず、図面の概要を述べると、図１は本発明に係るＯＨＴ用台車と位置補正用基準治具との位置関係の要部構成を示す正面図、図２はハンド部の内部機構を示す斜視図、図３はハンド部における一対のフィンガの駆動機構を示す斜視図、図４は位置補正用基準治具の構成図で、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は正面図、（Ｃ）は側面図（Ｄ）は底面図、図５は一対のフィンガと位置補正用基準治具の相対向する相対位置のズレ表示手段の具体例を示す要部概略図で（Ａ）はＯＨＴ用台車の走行方向のズレ表示手段、（Ｂ）はＯＨＴ用台車の走行方向と直交する方向のズレ表示手段である。

さて、図１において、１はレールで、幾つかの半導体処理プロセス制御装置、及びストッカを結ぶ経路であって、クリーンルーム内の天井付近に沿って配設されている。２は、ＯＨＴ用台車で、この構成要素の詳細は後述するが、前記レール１に沿って走行するための走行部２１、当該走行部２１に対してＯＨＴ用台車２の走行方向に対して直交するＹ方向と中心部の垂直軸に対する回転角θを調整するための位置決め機構２２、当該位置決め機構２２から伸縮自在に制御される懸垂材２３によって吊り下げられたハンド部２４から構成されている。２４ｃａ、２４ｃｂは一対のフィンガで、ハンド部２４の機構（後述）によって互いに接近或いは隔離制御を受ける。３はプロセス制御装置又はストッカのキャリア等の載置台である。４はキネマティックピンで、前記載置台３に載置されるキャリア（半導体ウエハ収納用カセット等）を常に一定の状態にて位置決めする。

５は本発明の基本的構成要素としての位置補正用基準治具で、フランジ５ａの中心部の空間座標位置（Ｘ、Ｙ、Ｚ、θ各要素で決まる位置）を含め、全体の形状誤差が通常稼動する汎用キャリアに比べて著しく小さく高精度に製作されている。従って、ＯＨＴ用台車２の制御上の停止位置から、一対のフィンガ２４ｃａ、２４ｃｂが、位置補正用基準治具５のフランジ５ａを適正に把持するまでの空間座標の各要素の補正値（δＸ、δＹ、δＺ、δθ）は、教示値として高精度を得ることができる。

６はマニュアルコントローラで、ＯＨＴ用台車２の空間座標位置（Ｘ，Ｙ，Ｚ，θ）の各要素の移動及び、ハンド部２４の開閉動作などをマニュアルで操作できる。このマニュアルコントローラ６の教示作業では、まず、ＯＨＴ用台車２が軌道上のストップマーク（図示せず）を読取り、ストップマーク位置に停止する。この時、ＯＨＴ用台車２は停止した場所で、今まで記憶していた空間座標位置の各要素をリセットし、空間座標位置（Ｘ_０，Ｙ_０，Ｚ_０，θ_０）とし、ＯＨＴ用台車２が内蔵するコントローラに記憶する。
次にマニュアルコントローラ６を操作することによってハンド部２５は、載置台３上に正規の位置にセットされた位置補正用基準治具５のフランジ部５ａを所望の状態にて把持する位置に目視によりセッティングすることができる。
マニュアルコントローラ６の操作によりハンド部２４を所望の状態に位置合せが完了した時点で、マニュアルコントローラ６を操作して、ＯＨＴ用台車２のコントローラに位置決め完了信号を送信する。この信号を受けてＯＨＴ用台車２は位置合せ後の空間座標位置（Ｘ_ｉ，Ｙ_ｉ，Ｚ_ｉ，θ_ｉ）を内蔵するコントローラに読み込み、前記記憶した空間座標位置（Ｘ_０，Ｙ_０，Ｚ_０，θ_０）とから位置補正データ（Ｘ_ｉ−Ｘ_０，Ｙ_ｉ−Ｙ_０，Ｚ_ｉ−Ｚ_０，θ_ｉ−θ_０）を計算し、内蔵するコントローラに記憶する。

先ず、前記ＯＨＴ用台車におけるハンド部２４の中心部の空間座標を特定する要素（Ｘ、Ｙ、Ｚ、θ）のうち、ＯＨＴ用台車２の走行方向の要素Ｘについては走行制御装置によって得られ、垂直方向要素Ｚは周知の光学的距離センサにて得られる。
一方、ＯＨＴ用台車２の走行方向に対して直交するＹ方向と中心部の垂直軸に対する回転角θを調整するための位置決め機構２２の内部機構について図２を参照して説明する。図２において、２２ｃは歯車で、一対のフィンガ２４ｃａ、２４ｃｂを備えたハンド部２４とともに水平方向の回動が許容されるように設置される。２２ｄａ、２２ｄｂはロッドで、相対向する面に歯車２２ｃと同一ピッチの一連の歯部が形成され、互いに並行に配置されるとともに、各歯部が前記歯車２２ｃに噛合っている。２２ｅａ、２２ｅｂは、夫々前記ロッド２２ｄａ、２２ｄｂの長手方向の位置を変位制御するためのアクチュエータである。この際、各ロッド２２ｄａ、２２ｄｂが夫々矢印Ｄａ、Ｄｂの方向に変位すると。歯車２２ｃが矢印Ｄ方向に回転し、ハンド部２４の垂直軸方向の角度θを調整できる。また、各ロッド２２ｄａ、２２ｄｂを同一方向に同じ量移動させると、ハンド部２４をＯＨＴ台車２の走行方向に直交するＹ方向に移動させることができる。２２ｆは前記懸垂材２３の巻取り・繰出し機構である。

次に、ハンド部２４における一対のフィンガ２４ｃａ、２４ｃｂが位置補正用基準治具５のフランジ５ａの把持時及びこの把持状態からの開放時における相互の接近・離間駆動をなす機構について図３を参照して説明する。図３において、２４ｄａ、２４ｄｂはフレームで、夫々各フィンガ２４ｃａ、２４ｃｂに対応し、夫々の外方端が夫々フィンガ２４ｃａ、２４ｃｂの支持部内方面の所定位置に一体的に固定されている。

また、フレーム２４ｄａ、２４ｄｂは、図示しない案内機構により長手方向に移動可能に支持されている。２４ｅａ、２４ｅｂはストッパ部材で、夫々前記フレーム２４ｄａ、２４ｄｂの内方端に固定され、互いの当接によってフィンガ２４ｃａ、２４ｃｂの近接状態（フィンガ２４ｃａ、２４ｃｂによるキャリア５のフランジ５ａの適正な把持状態）を規制している。

２４ｆはボールねじで、長手方向の中央部を境に特定方向に対する螺旋方向が反対であって、等ピッチの雄ねじ２４ｆａ、２４ｆｂが両端の支持部に至るまで形成されている。２４ｇａ、２４ｇｂは動力受部材で、夫々ボールねじ２４ｆの雄ねじ２４ｆａ、２４ｆｂに螺合する雌ねじ（図示せず）が形成され、これらの雌ねじは、夫々ボールねじ２４ｆの長手方向の中心から等距離に位置する雄ねじ２４ｆａ、２４ｆｂに螺合するように初期設定されるものとする。そして、これら対をなす動力受部材２４ｇａ、２４ｇｂは、夫々前記ストッパ部材２４ｅａ、２４ｅｂに固定されている。

次に、ボールねじ２４ｆの支持・駆動機構について述べる。図３において、２４ｈａ、２４ｈｂは支持板で、前記ボールねじ２４ｆの両端部を回動自在に支持する。２４ｉは基板で、前記支持板２４ｈａ、２４ｈｂを所定位置に固定するとともに、前記ボールねじ２４ｆを駆動するモータ２４ｊを設置している。そして、前記モータ２４ｊの回転軸は、ユニバーサルジョイント２４ｋの入力側に連結される。このユニバーサルジョイント２４ｋの出力側にはギア２４ｍが設けられる。２４ｎは前記ギア２４ｍに噛合ってモータ２４ｊからの動力を受けるギアであって、前記ボールねじ２４ｆの一方端部に固定され、当該ボールねじ２４ｆと一体的に回転する。

次に本願各発明の必須構成要素としての位置補正用基準治具５の構成について図４を参照して説明する。図４において、５ｂは底板、５ｃ、５ｄは側板、５ｅは上板で、夫々高精度に形成されている。そして、これらの底板５ｂほかの板部材における連結箇所は、アングル部材５ｆによって直角に連結される。５ｇは溝で、これに対してキネマティックピン４（図１を参照）を係合させることによって位置補正用基準治具５は、所定の載置台３（図１を参照）に適正に位置決めされる。５ｈは一対の取っ手で、側板５ｃ、５ｄに固定され、位置補正用基準治具５の載置台３への設置あるいは教示作業終了後に載置台３から位置補正用基準治具５を載置台３から取り除くときに利用する。

５ｉ、５ｊは、マーク部材で、前記ハンド部２４に備えられている一対のフィンガ２４ｃａ、２４ｃｂが位置補正用基準治具５のフランジ５ａを正規に把持する位置にあるとき前記上板５ｅの平面上において、前記一対のフィンガ２４ｃａ、２４ｃｂの上方からの投影位置に固定される。
前記マーク部材５ｉ、５ｊによって、作業者による一対のフィンガ２４ｃａ、２４ｃｂを台車２のハンド部２４の制御上の空間座標位置から位置補正用基準治具５のフランジ５ａを適正に把持する空間座標位置までの補正値を台車２の制御部に教示することが的確に行える。

この際、さらにこの教示における効率、精度を向上させる手段について図５を参照して説明する。図５は一対のフィンガ２４ｃａ、２４ｃｂが位置補正用基準治具５のフランジ５ａに適正に把持させるための位置決めズレ検知手段で、位置補正用基準治具５の上板５ｅにおける平面の適所に表示したけがき線７とこのけがき線７に対応する目盛線８を一対のフィンガ２４ｃａ、２４ｃｂの適所に表示する。
これら、けがき線７と、目盛線８とは、一対のフィンガ２４ｃａ、２４ｃｂが位置補正用基準治具５のフランジ５ａを適正に把持する位置にあるとき、けがき線７が目盛線の中心位置に対向するように事前に設定されているものとする。

次に本願各発明の実施形態における作用を説明すると次の通りである。
（１） ＯＨＴ用台車２がプロセス制御装置又はストッカ等の何れかの載置台３において
軌道上のストップマークを読取り、ストップマーク位置に停止する。この時、ＯＨＴ用台車２は停止した場所で、今まで記憶していた空間座標位置を特定する各要素をリセットし制御上の空間座標位置（Ｘ_０，Ｙ_０，Ｚ_０，θ_０）とし、内蔵するコントローラに記憶する。
（２）作業者によるコントローラ６の操作によって、走行制御機能に基づく空間座標要素Ｘ、図示しない周知の距離検知手段に基づく空間座標要素Ｚ、図２に示す機構による空間座標要素Ｙ、θを目視による変化にて、一対のフィンガ２４ｃａ、２４ｃｂを互いに離隔状態を保った状態にて位置補正用基準治具５のフランジ５ａを挟む位置まで移行させる。
（３）一対のフィンガ２４ｃａ、２４ｃｂを近接させて行う把持動作を実施していないこの状態で、空間座標要素Ｘ、Ｙ、θを微動変位させる。

（４）この過程を経て、作業者は、マニュアルコントローラ６を操作し、目視により一対のフィンガ２４ｃａ、２４ｃｂの位置補正用基準治具５の上面板５ｅにおける投影位置をマーク部材５ｉ、５ｊに一致させる。
（５）更に図５に示すように、位置補正用基準治具５の上面板５ｅに表示したけがき線７と、一対のフィンガ２４ｃａ、２４ｃｂに表示した目盛線８の中心位置とが一致するように調整を行う。
（６）この調整後、マニュアルコントローラ６を操作して、ＯＨＴ用台車２のコントローラに位置合せ完了信号を送信する。この信号を受けてＯＨＴ用台車２は位置合せ後の空間座標位置（Ｘ_ｉ，Ｙ_ｉ，Ｚ_ｉ，θ_ｉ）をＯＨＴ用台車２が内蔵するコントローラに読み込む。
（７）前記制御上の空間座標位置（Ｘ_０，Ｙ_０，Ｚ_０，θ_０）と調整後の空間座標位置（Ｘ_ｉ，Ｙ_ｉ，Ｚ_ｉ，θ_ｉ）とから補正値（δＸ、δＹ、δＺ、δθ）を演算し、ＯＨＴ用台車が内蔵するコントローラに記憶させ教示を終了させる。

前記教示の一連の作用は、基本的に全ての載置台３毎、全てのＯＨＴ用台車毎に行われる。
ところで、位置補正用基準治具５の構成要素の精度が高く形成されていることに伴い当該位置補正用基準治具５の形状精度は高く、前記補正値（δＸ、δＹ、δＺ、δθ）は該当ＯＨＴ台車２、該当載置台３において基準となる精度を有しているため、位置補正用基準治具５に比べて形状精度の劣るウエハ等の搬送において稼動するキャリアであっても、教示データにて一対のフィンガ２４ｃａ、２４ｃｂがキャリアのフランジ部を的確に把持できる。

位置補正用基準治具５の上板５ｅの平面上に設けたマーク部材５ｉ、５ｊは、別途部材を用いることなく位置補正用基準治具５の上板５ｅにマーク表示を行うことに代替することができる。

けがき線７の表示をフィンガ２４ｃａ、２４ｃｂ側に、目盛線８の表示を位置補正用基準治具５の上板５ｅの表面に表示する構成とすることもできる。

本発明に係るＯＨＴ用台車と位置補正用基準治具との位置関係の要部構成を示す正面図ある。 ハンド部の昇降機構の内部機構を示す斜視図である。 ハンド部における一対のフィンガの駆動機構を示す斜視図である。 位置補正用基準治具の構成図で、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は正面図、（Ｃ）は側面図（Ｄ）は底面図である。 一対のフィンガと位置補正用基準治具の相対向する相対位置のズレ表示手段の具体例を示す要部概略図で（Ａ）はＯＨＴ用台車の走行方向のズレ表示手段を示す要部概略図、（Ｂ）はＯＨＴ用台車の走行方向と直交する方向のズレ表示手段を示す要部概略図である。

符号の説明

２．ＯＨＴ用台車
２４ｃａ、２４ｃｂ．フィンガ
５．位置補正用基準治具
２ａ．フランジ
５ｉ、５ｊ．マーク部材
７．けがき線
８．目盛線

Claims (3)

1. キャリアのフランジ部を把持し、或いは、当該フランジ部との係合を解くように互いに接
   近・離隔する一対のフィンガーと、当該一対のフィンガー並びにその接近・離隔制御部材
   を昇降可能に吊り下げる機構と、所定の軌道に沿って走行する機構と、走行方向と直交す
   る方向、中心部における垂直軸方向並びにその回転方向の変位機構と、を有する搬送台車
   、
   及び前記キャリアが載置される載置台に対する搬送台車の制御上の位置と所定の位置との
   偏差値を予め個別に求め、この偏差値を補正値として各搬送台車用のコントローラに記憶
   させ、各搬送台車毎、各載置台毎に前記補正値を用い、各搬送台車の各載置台へのアクセ
   スの制御手段
   を具備してなる懸垂式昇降搬送装置において、前記補正値を計測するための搬送台車の教
   示装置であって、
   底板と、上板と、フランジ部と、マーク部材と、を有する位置補正用基準治具を備え、
   該位置補正用基準治具を、前記載置台上の正規の位置に載置し、前記フランジ部を前記一
   対のフィンガーが所望の状態に把持させたときの搬送台車の空間座標位置と、予め設定し
   た制御上の空間座標位置との差異を補正値として計測し、
   前記空間座標位置を決定する要素を、前記搬送台車の走行方向の位置、前記搬送台車の走
   行方向に直交する方向の位置、前記搬送台車の中心部における垂直方向の位置、及び前記
   搬送台車の中心部における垂直軸に対する回転角からなる４座標値とし、
   前記マーク部材を、前記一対のフィンガーが前記位置補正用基準治具の前記フランジ部を
   正規に把持する位置にあるとき、前記上板の平面上にける前記一対のフィンガーの上方か
   らの投影位置に固定したことを特徴とする懸垂式昇降搬送装置における搬送台車の教示装
   置。
2. 前記一対のフィンガーと前記位置補正用基準治具とが相対向する面同士の相対位置のずれ
   表示手段を備えた請求項１に記載の懸垂式昇降搬送装置における搬送台車の教示装置。
3. 相対位置のずれ表示手段が搬送台車の走行方向及びこれと直交する方向の少なくとも一
   方に沿って位置する適所において、一対のフィンガーと、位置補正用基準治具とが一方に
   はけがき線を、他方には当該けがき線の位置を確認する目盛線を表示してなることを特徴
   とする請求項２に記載の懸垂式昇降搬送装置における搬送台車の教示装置。

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