CN101048253B

CN101048253B - 放电加工用电源装置和小孔放电加工装置

Info

Publication number: CN101048253B
Application number: CN2005800367490A
Authority: CN
Inventors: 小田清仁; 铃木智; 中村和司; 后藤昭弘
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 2004-10-27
Filing date: 2005-10-26
Publication date: 2010-07-14
Anticipated expiration: 2025-10-26
Also published as: JPWO2006046599A1; EP1806197B1; US7645958B2; WO2006046599A1; JP5045104B2; EP1806197A1; EP1806197A4; CN101048253A; US20080017614A1

Abstract

获得一种放电加工用电源装置，其能够使放电电流脉冲均匀并高效地流过加工间隙，并且能够减少交流脉冲式加工中的电极消耗量，为此，在向加工用电极(8)和被加工物(9)之间的加工间隙施加放电加工用脉冲电压的放电加工机的电源装置(2)中，在从放电加工脉冲发生部(6)至加工间隙的配线线路中，串联***将整流元件(24)和电阻元件(23)并联连接的电路(22)，同时上述整流元件(24)的连接方式为，使放电发生时的加工脉冲电流与所希望的流动方向一致。

Description

放电加工用电源装置和小孔放电加工装置

技术领域

本发明涉及一种放电加工用电源装置，涉及一种能够提高加工面粗糙度和加工速度、以及降低电极消耗量的放电加工用电源装置。

背景技术

例如在特开平3-55117号公报中，公开了一种放电加工用电源装置，其使用向被加工物和加工用电极的间隙施加正负两个极性的电压的交流脉冲方式。

专利文献1：特开平3-55117号公报

发明内容

在这里，对上述专利文献中公开的放电加工用电源装置施加正极性的电压时，例如在图12的A、B、C这3个位置发生放电的情况进行说明。

如果在A部分发生放电，向加工间隙供给在下述的放电电流的基础上加上与来自正极性侧电源的充电电流而成的放电电流值，上述放电电流是通过释放向电容器的静电电容或者馈电配线等的杂散静电电容充电的电荷而成的。

如果观察该放电电流脉冲波形则可以看出，在前面说明的由电容器的放电和来自电源的充电电流而形成的大的放电电流降低以后，由于配线的电感和电路中的静电电容的影响，振荡电流将持续一段时间。

此外，在这里，由于放电电流的脉冲宽度越小，加工面的放电痕迹越小，加工面越光洁，因此对于来自正极性侧电源的充电电流，将脉冲列中的导通时间设定得充分短，设定为不会影响放电电流的脉冲宽度。

但是，在B部分发生放电，并立即在C部分连续发生放电的情况下，由于产生上述振荡电流，所以放电电流脉冲会相连。这种放电是在加工间隙的1个位置上集中流过脉冲宽度宽的大放电电流的状态，会在被加工物的加工面形成较大的放电痕迹，存在使加工面粗糙的问题。

此外，在放电电流脉冲是3个脉冲或者4个脉冲被连续相连的情况下，其影响将进一步增大。

此外，如图13所示，作为上述问题的对策，可以延长脉冲截止时间，以使得即使在连续放电的情况下，放电电流脉冲也不会相连，但是在这种情况下，由于在脉冲导通时间中上升的电压大部分会在脉冲截止时间中下降，因此即使脉冲列中的脉冲连续，也不会上升至电源的电压V1附近，并且如果脉冲截止时间长，则单位时间内产生的脉冲数减少，存在加工效率显著降低，加工速度变慢的问题。

此外，在使用交流脉冲方式的小孔加工中，伴随负极性侧的放电电流脉冲产生的电极消耗显著，特别是对于直径小于或者等于φ0.2mm的细电极，由负极性侧的放电电流引起的电极消耗巨大。

即，由于小孔加工用的电极直径越细价格越高，因此电极消耗增加，对加工成本的增加产生较大影响，同时由于电极更换频率的增加，会引起准备时间的增加。

此外，在加工液是水的情况下，为了抑制电解腐蚀，向加工间隙中施加交流脉冲方式的交流电压，但同样地，由于产生负极性侧的放电电流，因此成为电极消耗量增大的原因。

本发明就是为了解决上述问题而提出的，目的在于获得一种放电加工用电源装置，其可以使向加工间隙的放电电流脉冲均匀并高效率地流过，并且可以实现交流脉冲式加工中的电极消耗量的降低。

本发明所涉及的放电加工用电源装置，其特征在于，在从放电加工脉冲发生部至加工间隙的配线线路中，串联***将整流元件和电阻元件并联连接的电路，同时上述整流元件的连接方式为，使放电发生时的加工脉冲电流与所希望的流动方向一致。

发明的效果

根据本发明，通过在从放电加工脉冲发生部至加工间隙的配线线路中，串联***将由二极管等构成的整流元件和电阻并联连接的电路，由于能够抑制正极性侧放电的放电电流脉冲下降以后的电流振荡，因此即使在以小间隔连续进行放电的情况下，放电电流脉冲也不会相连，能够获得脉冲宽度小的均匀的放电脉冲电流，在加工面上实现表面粗糙度高且均匀的加工。此外，由于能够将脉冲截止时间设定得较短，因此能够提高加工效率，加快加工速度。

此外，根据本发明，通过以与加工间隙串联的方式，***将由二极管等构成的整流元件与电阻并联连接的电路，由于即使在交流脉冲式加工中，负极性侧发生放电时的放电电流也基本无法流过，因此能够显著降低电极消耗量。

附图说明

图1是表示实施方式1的放电加工装置的结构图。

图2是表示实施方式1的放电加工装置的波形图。

图3是表示正极性侧放电时的放电加工电流值的图。

图4是表示正极性侧连续放电时的放电加工电流值的图。

图5是表示负极性侧放电时的放电加工电流值的图。

图6是表示实施方式2的放电加工装置的结构图。

图7是表示实施方式3的放电加工装置的结构图。

图8是表示实施方式4的放电加工装置的结构图。

图9是表示实施方式4的放电加工装置的波形图。

图10是实施方式4中的放电加工装置的替换结构图。

图11是实施方式4中的放电加工装置的替换结构图。

图12是表示现有技术中的放电发生时的极间波形的图。

图13是表示现有技术中的放电发生时的极间波形的图。

具体实施方式

实施方式1

图1表示本发明的放电加工装置的结构。

在图中，放电加工装置的机械主体1具有加工头3，该加工头3保持加工用电极8，该加工用电极8与设置在储存加工液的加工槽4中的被加工物9相对。此外，机械主体1经由馈电配线10，与加工用电源装置2相连接。加工用电源装置2具有众所周知的放电加工脉冲发生部6，同时具有作为本实施方式中的特征部分的、将二极管24和电阻23并联连接而成的逆电流阻止电路22。

放电加工脉冲发生部6具有输出驱动脉冲信号7a、7b的脉冲控制部，该驱动脉冲信号7a、7b用于对开关元件16、17进行接通/断开控制，该开关元件16、17由MOS-FET等构成，分别连接在电压V1、V2可变的直流电源14、15上，利用该驱动脉冲信号7a、7b，使直流电源14、15中的某一个的电压，经由限流用电阻18、19和二极管20、21，向加工用电极8和被加工物9之间的间隙施加。

此外，12是与加工用电极8和被加工物9并联连接的电容器，13是用于使电容器12以较大的时间常数进行放电的电阻器。

逆电流阻止电路22串联***从脉冲发生部6向加工间隙供给脉冲电力的配线线路中，二极管24的连接极性为，使加工脉冲电流与希望流过的方向一致。

即，在放电加工装置中，根据所使用的电极及被加工物的材料、加工面积、加工间隙中填充的加工液的种类等，考虑加工速度和电极消耗特性等，改变在电极和被加工物之间施加的极性。

由于如果放电电流仅向不希望的方向流动，则会成为电极急剧消耗但加工基本没有进展的状态，因此要根据使用目的变更二极管24的连接极性。

例如，在用于形成小孔的小孔放电加工机或者线切割放电加工机中，如图1所示，以使电流从被加工物9向加工用电极8方向流动的方式连接二极管。

此外，在形雕放电加工机中，通常以使电流从电极8向被加工物9方向流动的极性连接二极管，但在提高表面粗糙度的精加工的情况下，以及使用石墨作为电极进行加工的情况下，也存在以相反极性进行连接的情况。

此外，二极管24用于在被加工物是正极性时使放电电流流过，而在负极性时不使电流流过，由于需要其能够迅速地阻止相反极性的电流，因此选用快速恢复二极管或者肖特基势垒二极管等恢复时间短的元件，在额定电压低的情况下多个串联使用，在额定电流小的情况下多个并联使用。

下面，对连接电阻23的必要性进行说明。

电阻23用于在利用来自脉冲控制部7的驱动脉冲信号7b使开关元件17闭合的情况下，使直流电源15的电压V2经由开关元件17、二极管21、限流电阻19以及电阻23施加于加工间隙中，以使被加工物9相对于电极8成为负极性。

在这里，作为电阻23的电阻值的选择条件，以下为其必要条件：在施加电压以使被加工物9相对于电极8成为负极性的情况下，能够使加工间隙中微量存在的杂散静电电容在短时间内充电；与被加工物为正极性时流过的放电电流相比，在被加工物侧为负极性时，使由电容器12的静电电容、馈电配线10及其它的杂散静电电容中充电的电荷的放电电流，和由直流电源15供给的电流共同形成的向电极间隙的放电电流充分小；以及，同未图示的与脉冲发生部6并联的各种检测电路的输入电阻相比，其电阻值充分小，以能够正确地进行电极间状态的检测。

作为实际的电阻值，在100Ω～数kΩ程度之间选择具有实用性。

首先，使用图1、图2对放电加工的基本动作进行说明。

直流电源14、15以相对于加工用电极8和被加工物9之间的加工间隙彼此相反的极性连接。

此外，如果从脉冲控制部7以规定的开闭时间产生规定脉冲数的开关元件16的驱动脉冲信号7a，则经过规定的间歇时间，产生与7a相同脉冲数的开关元件17的驱动脉冲信号7b。

因此，驱动脉冲信号7a和驱动脉冲信号7b经过规定的间歇时间交替地重复，在驱动脉冲信号7a为H时，开关元件16闭合，利用直流电源14的电压V1，经由开关元件16、二极管20以及限流电阻18，对电容器12充电，同时经由逆电流阻止电路22的二极管24，向电极8和被加工物之间施加电压，使被加工物9为正极性。

在该情况下，以由限流电阻18的电阻值和电容器12的静电电容大致确定的时间常数对电容器12进行充电，以使被加工物9相对于电极8为正极性。

并且，由于在驱动脉冲信号7a为L时，开关元件16断开，因此不施加直流电源14的电压V1，以大致由放电用电阻13的电阻值和电容器12的静电电容确定的时间常数，经由放电用电阻13逐渐释放电容器12中的电荷。

在这里，由于与充电用限流电阻18的电阻值相比，放电用电阻13的电阻值被设定为充分大，即使开关元件16断开，电容器12的电荷也不会立刻消失，因此加工用电极8和被加工物9之间的加工间隙的电压随着脉冲列中的第1脉冲、第2脉冲，逐渐上升至直流电源14的电压V1附近。

如果脉冲列结束而成为脉冲间歇时间，则极间电压逐渐下降至0V附近。

随后，经过规定的脉冲间歇时间，产生负极性侧的脉冲列。

负极性侧的动作与上述说明的正极性侧的动作相同，在开关元件驱动脉冲信号7b为H时，开关元件17闭合，利用直流电源15的电压V2，经由开关元件17、二极管21以及限流电阻19，使电容器12充电，同时经由逆电流阻止电路22的电阻23，向电极8和被加工物之间施加电压。

在该情况下，以大致由限流电阻19的电阻值和电容器12的静电电容确定的时间常数，对电容器12进行充电，以使被加工物9相对于电极8变为负极性。

加工间隙中，除了在电极8和被加工物9之间微量存在的杂散静电电容之外，在供电馈线10中也存在静电电容，通过经由电阻23向它们供给电荷，可以向加工间隙中施加电压。

此时，由于逆电流阻止电路22的二极管24向反方向偏压，因此电流不流过，不用于向加工间隙间施加电压。

此外，由于在驱动脉冲信号7b为L时，开关元件17断开，因此不施加直流电源15的电压V2，以大致由放电用电阻13的电阻值和电容器12的静电电容确定的时间常数，经由放电用电阻13逐渐释放电容器12中的电荷。

在这里，由于与充电用限流电阻19的电阻值相比，放电用电阻13的电阻值被设定为充分大，即使开关元件17断开，电容器12的电荷也不会立刻消失，因此加工用电极8和被加工物9之间的间隙的电压随着脉冲列的第1脉冲、第2脉冲，逐渐上升至直流电源15的电压V2附近。

下面，使用图1中的结构图和图3、图4、图5中的电流波形，对放电发生时的动作进行说明。

在利用来自脉冲控制部7的驱动脉冲信号7a，以使被加工物9相对于电极8成为正极性的方式向加工间隙中施加电压，结果发生放电的情况下，由于二极管24向正方向偏压，因此电容器12的电荷的释放电流和由直流电源14供给的充电电流，作为放电电流脉冲，在从供电馈线10至被加工物9、电极8、供电馈线10、二极管24的线路中流过。

在峰值高的放电电流之后要以负极性流过放电电流，但在本实施方式的电路中，如果电流要以负极性流动，则由于二极管24成为反向偏压，因此电流无法在二极管24中流过。

在实际的结构中，由于二极管24存在反向恢复时间，因此在该期间会流过微弱的电流，但不会持续流过作为现有技术进行说明的如图12所示的振荡电流，而是在极短时间内切断电流。

图3是表示该关系的图。

并且，由于越选择反向恢复时间短的二极管，电流以负极性流动的时间越短，因此抑制振荡电流的效果越好。

此外，由于与二极管24并联连接的电阻23以电阻值较大的方式构成，因此电阻23中仅流过微弱的电流。

这样，根据本结构，如图3所示，由于在峰值高的电流之后，基本不会产生振荡电流，因此能够使加工间隙中流过窄脉冲的放电电流。

此外，如作为现有技术进行说明的图12所示，在连续发生放电的情况下，存在由于在峰值高的电流之后流过振荡电流，使脉冲电流相连的问题，但根据本发明的结构，由于如上所述在极短的时间内切断振荡电流，因此如图4的电流波形所示，即使在连续发生放电的情况下，电流也不会相连，能够可靠地流过窄脉冲电流脉冲。

并且，在以正极性施加电压时，由于向正方向偏压的二极管24与电阻23并联连接，所以电阻23上基本不施加电压，因此电流也基本不流过。

下面，对在负极性侧发生放电的情况下的动作进行说明。

如图5所示，在现有技术的电流波形中，通过使开关元件17闭合，电容器12中积蓄的电荷及来自直流电源V2的电流，在峰值高的放电脉冲之后，将伴随振荡持续一段时间。

但是，根据本发明实施方式的结构，因开关元件17闭合电容器12中积蓄的电荷不会流过二极管24，而仅经由电阻23流过极少量。

另一方面，在相对于逆电流阻止电路22更靠近加工间隙侧的供电馈线10和加工间隙的杂散静电电容中积蓄的电荷，因发生放电而作为放电电流在加工间隙中流过，但由于与储存在电容器12中的电荷相比，储存在它们中的电荷较少，因此成为图5所示的本实施方式的放电电流波形，其结果，将放电电流抑制为极小。

根据本实施方式，由于能够可靠地获得在正极性侧放电时，放电电流脉冲下降时的振荡较少的窄脉冲的放电电流脉冲，所以即使在连续发生放电的情况下，放电电流脉冲也不会相连，因此能够获得加工面粗糙度高且均匀的放电加工面，同时由于能够将开关元件的断开时间设定得较短，因此能够提高加工速度。

此外，由于负极性侧的放电电流基本不流过，因此在交流脉冲方式的电源装置中，能够大幅降低由放电加工消耗的电极消耗量。

此外，通过将本实施方式中说明的放电加工用电源装置，用于利用管状电极或者棒状电极进行打孔的小孔放电加工装置中，能够抑制电极消耗，使每根电极能够加工的孔数增加，因此在降低电极费用之外，还可以起到减少电极更换动作的工时的作用。对于小于或等于

0.2mm的小孔放电加工装置特别有效。

此外，通过在线切割放电加工机中使用，由于能够减少对线状电极造成的损害，因此能够将线进给速度设定得较慢，能够起到减少线状电极使用量的效果。

实施方式2

下面，使用图6中的结构图对实施方式2进行说明。

本实施方式相对于实施方式1中说明的图1中的结构，在机械主体侧安装二极管24和电阻23的并联电路即逆电流阻止电路22，即安装位置不同，其他结构与实施方式1相同。

并且，在本实施方式中，逆电流阻止电路22安装在例如供电馈线10的末端，使其与放电加工机主体1的电极8安装部之间的配线尽量短。

根据本结构，在被加工物9相对于电极8为负极性施加电压的情况下，在相对电路22更靠近加工间隙侧存在的电荷，仅是在加工间隙中微量存在的杂散静电电容中积蓄的电荷，发生放电的情况下的放电电流，由于仅是该微量电荷的放电电流和经由电路22的电阻23流过的微弱电流，因此与实施方式1中说明的图5中的放电电流相比，能够进一步减小放电电流。

此外，由于放电加工装置机械主体1是大型装置等原因，如果电极8和被加工物9之间的加工间隙与加工用电源装置2之间的距离较远，则馈电配线10会变长，因而在馈电配线的静电电容中充电的电荷也会变多，但仍然能够可靠地抑制该电荷向加工间隙的释放电流。

实施方式3

下面，使用图7对实施方式3进行说明。

本实施方式是将在实施方式2中说明的二极管24和电阻23的并联电路即逆电流阻止电路22的安装位置，从电极8安装部变更至被加工物安装部。

并且，由于使二极管24的安装方向成为希望电流流过的极性，因此二极管24的安装极性与实施例2的图6中的安装方向相反。

并且，动作以及作用都与在实施方式2中说明的完全相同。

实施方式4

下面，对上述二极管24和电阻23的并联电路即逆电流阻止电路22的替换例进行说明。

图8是将图1中的逆电流阻止电路22替换为内置了寄生二极管26的MOS-FET 27的例子。

MOS-FET 27串联***从脉冲发生部6向加工间隙供给脉冲电力的配线线路中，连接方式为，使MOS-FET 27的内置寄生二极管26中电流的流动方向，与希望的加工脉冲电流的流动方向一致，从而使在MOS-FET 27为接通时，反方向的电流也能够流过。

例如，在用于形成小孔的小孔放电加工机或者线切割放电加工机中，如图8所示，由于连接方式为，使MOS-FET 27的内置寄生二极管26的方向，与电流从被加工物9向加工用电极8方向流动的极性一致，所以在使用例如P通道MOS-FET的情况下，按照图示的方向连接。

并且，MOS-FET 27的内置寄生二极管26，用于在被加工物为正极性时使放电电流流过，在负极性时不使电流流过，以能够进行与实施方式1～3中说明的二极管24完全相同的动作。

MOS-FET 27在被加工物为负极性时，通过以使源极和漏极间成为接通与断开之间的中间状态的方式产生驱动信号7c的电压，从而能够进行与实施方式1～3中说明的电阻23相同的动作。

图9表示FET的驱动信号7c的产生时机。

在图8的结构图中的放电发生时的动作中，也与实施方式1相同地，在利用来自脉冲控制部7的驱动脉冲信号7a，以被加工物9相对于电极8为正极性的方式向加工间隙间施加电压，结果发生放电的情汉下，电容器12的电荷的释放电流和由直流电源14供给的充电电流，作为放电电流脉冲，在从供电馈线10至被加工物9、电极8、供电馈线10、MOS-FET 27的内置寄生二极管26的线路中流动。

在峰值高的放电电流后要流过负极性方向的放电电流，但在本实施方式的电路中，由于如果要向负极性方向流过电流，则MOS-FET27的内置寄生二极管26成为反向偏压，因此在二极管26中不会流过电流。

在实际结构中，由于MOS-FET 27的内置寄生二极管26存在反向恢复时间，因此该期间会流过微弱的电流，但不会持续流过作为现有技术进行说明的图6所示的振荡电流，而是在极短时间内切断电流，即使在连续发生放电的情况下，电流也不会相连，能够可靠地使窄脉冲电流脉冲流过。

负极性侧的动作与上述说明的正极性侧的动作相同地，在利用开关元件驱动脉冲7b，以使被加工物9相对于电极8成为负极性的方式施加电压，结果发生放电的情况下，电容器12中积蓄的电荷不会在MOS-FET 27的内置寄生二极管26中流过，而是只有极少量经由处于接通与断开之间的中间状态的MOS-FET 27主体而流过。

另一方面，由于在相对于MOS-FET 27存在于加工间隙侧的供电馈线10和加工间隙的杂散静电电容中积蓄的电荷，因发生放电而作为放电电流在加工间隙中流动，但由于积蓄在它们中的电荷比储存在电容器12中的电荷少，因此会形成如图5b所示的与实施方式1相同的放电电流波形，其结果能够将放电电流限制为极小。

根据本实施方式，通过利用来自脉冲控制部7的控制信号7c，使MOS-FET 27在接通与断开之间的中间状态动作，能够获得与实施方式1相同的效果。

此外，如图10、11所示，还可以将实施方式2、3中的逆电流阻止电路22，替换为本实施方式中说明的MOS-FET 27。

此外，作为其他实施例，由于只要利用来自脉冲控制部7的控制信号7c，使MOS-FET 27总是处于接通状态，就可以使负极性方向的放电电流也流过，因此例如在对于雕形放电加工机等中以电流从电极8向被加工物9方向流过的方式进行的加工，无需改变连接方式就可以进行。

实施方式5

下面，对上述二极管24和电阻23的并联电路即逆电流阻止电路22的其他替换例进行说明。

MOSFET在不施加选通信号的断开状态时，可以利用内置的寄生二极管，只起到作为整流元件的作用。

因此，在本实施例中，将上述二极管24替换为断开状态的MOSFET。

MOSFET的连接方向为，使得内置的二极管的极性与二极管24的极性相同。并且，如果MOSFET选择使内置二极管的恢复时间尽可能小的，则可以提高逆电流阻止的效果，所以优选，这与实施方式1中说明的相同。

工业实用性

本发明适用于使用小孔电极进行规定的孔加工的小孔放电加工装置。

Claims

1.一种放电加工用电源装置，其作为放电加工机的电源装置，向加工用电极和被加工物之间的加工间隙中施加放电加工用脉冲电压，

其特征在于，

在从放电加工脉冲发生部至加工间隙的配线线路中，串联***将整流元件和电阻元件并联连接的电路，同时上述整流元件的连接方式为，使放电发生时的加工脉冲电流与所希望的流动方向一致。

2.根据权利要求1所述的放电加工用电源装置，其特征在于，

在从放电加工脉冲发生部至加工间隙的配线线路中，在配线的加工间隙侧，串联***将整流元件和电阻元件并联连接的电路。

3.根据权利要求1或2所述的放电加工用电源装置，其特征在于，

整流元件是恢复时间短的二极管元件或者MOSFET的内置二极管。

4.根据权利要求1或2所述的放电加工用电源装置，其特征在于，

电阻元件选择以下的电阻值：在以使被加工物相对于电极成为负极性的方式施加电压的情况下，能够使在加工间隙中微量存在的杂散静电电容在短时间内充电。

5.根据权利要求1或2所述的放电加工用电源装置，其特征在于，

电阻元件选择以下的电阻值：与被加工物为正极性时流过的放电电流相比，在被加工物侧为负极性时，使由在电容器的静电电容、包括馈电配线及检测用配线在内的线路的杂散静电电容中充电的电荷的放电电流和由直流电源供给的电流共同形成的向电极间隙的放电电流充分小。

6.根据权利要求1或2所述的放电加工用电源装置，其特征在于，

电阻元件选择以下的电阻值：与和放电加工脉冲发生部并联连接的各种检测电路的输入电阻相比电阻值充分小，以能够正确地进行加工用电极和被加工物之间的加工间隙状态的检测。

7.一种小孔放电加工装置，其使用水溶性的加工液，向小孔电极和被加工物之间施加正负两种极性的电压，由此对上述被加工物进行加工，

其特征在于，

在从放电加工脉冲发生部至加工间隙的配线线路中，串联***将整流元件和电阻元件并联连接的电路，同时上述电路的配置方式为，在以使被加工物相对于上述小孔电极成为正极性的方式施加电压而发生放电时，在上述整流元件中流过放电电流。

8.根据权利要求7所述的小孔放电加工装置，其特征在于，

9.根据权利要求7所述的小孔放电加工装置，其特征在于，整流元件是恢复时间短的二极管元件。

10.根据权利要求7至9中任意一项所述的小孔放电加工装置，其特征在于，

11.根据权利要求7至9中任意一项所述的小孔放电加工装置，其特征在于，

电阻元件选择以下的电阻值：与被加工物为正极性时流过的放电电流相比，在被加工物侧为负极性时，使由在电容器的静电电容和包括馈电配线及检测用配线在内的线路的杂散静电电容中充电的电荷的放电电流和由直流电源供给的电流共同形成的向电极间隙的放电电流充分小。

12.根据权利要求7至9中任意一项所述的小孔放电加工装置，其特征在于，

13.一种放电加工用电源装置，其作为放电加工机的电源装置，向加工用电极和被加工物之间的加工间隙中施加放电加工用脉冲电压，

其特征在于，

在从放电加工脉冲发生部至加工间隙的配线线路中，串联***由内置了二极管的MOSFET构成的开关元件，同时上述MOSFET的内置二极管的连接方式为，使放电发生时的加工脉冲电流与所希望的流动方向一致。

14.根据权利要求13所述的放电加工用电源装置，其特征在于，

在从放电加工脉冲发生部至加工间隙的配线线路中，在配线的加工间隙侧，串联***MOSFET。

15.根据权利要求13或者14所述的放电加工用电源装置，其特征在于，

MOSFET的内置二极管是恢复时间短的二极管元件。

16.根据权利要求13或14所述的放电加工用电源装置，其特征在于，

MOSFET的栅电压的设定方式为，使MOSFET的源极和漏极之间的电阻值成为，在以使被加工物相对于电极成为负极性的方式施加电压的情况下，能够使在加工间隙中微量存在的杂散静电电容在短时间内充电。

17.据权利要求13或14所述的放电加工用电源装置，其特征在于，

MOSFET的栅电压的设定方式为，使MOSFET的源极和漏极之间的电阻值成为，与被加工物为正极性时流过的放电电流相比，在被加工物侧为负极性时，使由在电容器的静电电容和包括馈电配线及检测用配线在内的线路的杂散静电电容中充电的电荷的放电电流和由直流电源供给的电流共同形成的向电极间隙的放电电流充分小。

18.据权利要求13或14所述的放电加工用电源装置，其特征在于，

MOSFET的栅电压的设定方式为，使得与和放电加工脉冲发生部并联连接的各种检测电路的输入电阻相比，MOSFET的源极和漏极之间的电阻值充分小，以能够正确地进行加工用电极和被加工物之间的加工间隙状态的检测。