CN101027547A - 基板检查装置的基板支架和基板检查装置 - Google Patents

基板检查装置的基板支架和基板检查装置 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种基板检查装置的基板支架和基板检查装置。基板检查装置具有保持基板(W)的基板支架(6)。在基板支架(6)中，从安装于多关节自动装置(8)的基部(7)使多个支撑臂部(10)平行且等间隔地延伸设置，从而整体成为梳齿状。在各支撑臂部(10)的上表面(10a)上配设有用于吸附保持基板(W)的吸附部(12)。另外，横档(15)分别安装于支撑臂部(10)的基端部(11a)侧和前端部(11b)侧，在外侧的支撑臂部(10)的外侧面上安装有支撑横档(17)，通过这些横档(15、17)能够保持基板(W)的侧缘。

Description

基板检查装置的基板支架和基板检查装置
技术领域
本发明涉及对制造平板显示设备(FPD)的透明基板进行目视检查的宏观检查装置和用于宏观检查装置的基板支架。
本申请对2004年9月27日申请的日本特愿2004-279989号要求优先权并在此援用其内容。
背景技术
作为在各个制造工序中制造的透明基板，例如有对主玻璃基板(以后简称为玻璃基板)的外观进行目视检查(宏观检查)的检查工序，在该检查工序中，使用这样的宏观检查装置：在使保持有玻璃基板的支架立起到预定角度的状态下，从上方照射宏观照明光，由此检查玻璃基板上的缺陷。
这种宏观检查装置构成为：基板支架包括矩形框状的支架主体，该支架主体具有比矩形的玻璃基板略小的开口部，通过支架主体的上表面来吸附保持玻璃基板背面的周缘部。这里，在基板较大的情况下，若仅保持基板的周缘部，则基板的中央部分容易变形，因此在开口部平行架设多个细长杆状的基板支撑部，在各个基板支撑部上设置与玻璃基板背面抵接的支撑销或吸附部，以多个点来支撑玻璃基板，从而能够抑制基板的变形和弯曲，这样的技术是已经公知的(例如参照专利文献1、专利文献2)。另外，基板支撑部只要具有防止玻璃基板翘曲等的程度的支撑强度即可，因此可以制作成与支架主体相比非常细且轻。
但是，在这种基板支架中，基板的重量主要由支架主体来支撑，并且为了进行转动/摆动到预定角度的操作，支架主体需要制造成比较厚以提高强度，而伴随着基板的大型化，基板越来越重。近年来，出现了超过2000mm的大型化的玻璃基板，这样当基板变得大型化时，对其周缘部进行支撑的基板支架也不得不大型化而且变得较重。为了使这样大型且较重的基板支架转动至预定角度以进行宏观检查，则需要较大的驱动机构，因而存在检查装置整体大型化的问题。
另外，当玻璃基板大型化时，还新产生了这样的问题：基板支撑部的长度与基板尺寸成比例地变长，由于基板支架的转动或摆动动作，支撑部本身容易在上下方向上振动，另外由于支撑部件本身的自重而容易发生弯曲。若为了避免上述情况而增加基板支撑部的刚性，则基板支架的重量进一步增加，这并不是乐于见到的。
专利文献1：日本特开平9-189641号公报
专利文献2：日本特开2003-232742号公报
发明内容
本发明是鉴于上述问题而完成的，其目的在于使基板支架小型化、轻量化，进而防止宏观检查装置大型化。
本发明第一方面为一种基板检查装置的基板支架，该基板支架安装于驱动部的前端部，并在保持有基板的状态下使所述基板移动，其特征在于，所述基板检查装置的基板支架包括：与所述驱动部连接的基部；从所述基部呈梳齿状平行地延伸设置的多个支撑部；以及在所述支撑部上吸附保持所述基板的吸附部，所述多个支撑部具有保持所述基板的强度。
本发明第二方面在所述基板检查装置的基板支架的基础上，其特征在于，所述支撑部的高度根据到安装于所述基部的部分即基端部的距离而变化。
本发明第三方面在所述基板检查装置的基板支架的基础上，其特征在于，在所述支撑部的安装于所述基部的部分即基端部、和所述支撑部的位于远离所述基部的位置的部分即前端部上，分别与所述支撑部垂直地设有对所述基板的周缘部进行吸附保持的支架框。
本发明第四方面在所述基板检查装置的基板支架的基础上，其特征在于，从所述多个支撑部中的设于最外侧的所述支撑部的外侧面，延伸设置有支撑所述基板的周缘部的梁。
本发明第五方面为一种基板检查装置，其特征在于，所述基板检查装置包括：所述基板支架；支撑所述基板支架并使所述基板支架可以自由摆动的所述驱动部，即多关节自动装置；以及发出预定的可见光的光源，所述基板检查装置构成为使来自所述光源的可见光照射到所述基板上，从而能够进行所述基板的外观检查。
根据本发明，支撑基板的支撑部设成梳齿状，因此与通过矩形的支架主体支撑基板的周缘部的情况相比，能够实现小型化、轻量化。并且由此能够降低进行基板支架的摆动和旋转等的多关节自动装置等的负荷，能够使基板检查装置小型化。
附图说明
图1是表示具有本发明实施方式的基板支架的基板检查装置的概略结构的图。
图2是基板支架和搬运用机械手的俯视图。
图3是沿着图2中的III-III线的剖面图。
图4是基板支架的侧视图。
图5是基板支架和搬运用机械手的俯视图。
图6是基板支架的侧视图。
标号说明
1：基板检查装置；3：光源；8：检查用多关节臂自动装置(robot)；6、30：基板支架；7：基部；10：支撑部；10a：上表面；10b：倾斜面；10c：侧面；10d：倾斜面；11a：基端部；11b：倾斜面；12：吸附部；13：杆；14：吸附盘；15：支架框；16：吸附盘；17：梁；18：支撑销；20：搬运用机械手；21：臂；22：机械手手部；23：指部；24：吸附部；30：基板支架；31：吸附部；32：梁；W：基板。
具体实施方式
下面参照附图对本发明的优选实施例进行说明。但是本发明并不限定于以下各个实施例，例如也可以对这些实施例的结构要素进行适当组合。
参照附图对用于实施发明的最佳方式进行详细说明。
图1表示基板检查装置的侧视图。
宏观检查装置1配置于无尘室内，具有上表面和下表面敞开的、由侧壁包围的装置主体2。在该装置主体2的上表面上安装有用于提高装置主体内的清洁度的过滤器。另外，在装置主体2的上部设置有例如金属卤化物灯或钠灯等宏观照明用的光源3，并且在从该光源3射出的照明光的光轴上设置有反射镜4。在反射镜4的下方配置有使来自光源3的照明光收敛并将其导向基板W的菲涅耳透镜5。菲涅耳透镜5用于使来自光源3的发散光变成会聚光。接近该菲涅耳透镜还配置有透射型液晶散射板，该透射型液晶散射板具有使来自光源的发散光变化成均匀的面光源的散射功能。宏观照明光学***可以是对液晶显示设备或者等离子显示设备等的透明基板整体进行统一照明，也可以是局部地进行照明使照明光沿着一维方向或者二维方向扫描。
基板W是由相对于照明光透明的平行平板构成的平板显示设备(FPD)用的透明基板，基板W通过基板搬运装置搬入到如图1中假想线所示的水平配置的基板支架6上。
如图2所示，基板支架6具有基部7，该基部7具有用于安装后述的支撑部的平坦的安装面7a，在该基部7的与安装面7a相反的一侧的侧面上，连接有至少朝宏观观察方向转动的驱动部。作为驱动部可以是在基部7的长度方向上具有旋转轴、并使电动机与该旋转轴连接而构成的驱动部。在本实施方式中，作为驱动部，使用朝多个方向(图示箭头A、B、C)自由驱动的检查用多关节臂自动装置(以后简称为检查用自动装置)8。基部7与该检查用自动装置8的多关节臂的前端臂9连接。
在基部7的安装面7a上沿其长度方向隔开充分的间隔地配置有多个支撑部10，从而，整体成为梳齿状。各个支撑部10如图3所示由相对于宽度尺寸、高度尺寸较大的金属制板材构成，在上端和下端中的至少上端形成有倾斜面10b、10d，以使透过了基板W的照明光朝向观察视野之外反射，而不会因在支撑部10的上端面反射而妨碍观察。
在支撑部10的上端沿其长度方向以预定间隔配设有吸附部12。如图3所示，吸附部12在从支撑部10立设的杆13的前端安装有与基板W背面抵接的吸附盘14，在吸附盘14和杆13中形成有上下贯通的空气流通孔(未图示)，该空气流通孔与抽吸泵连接。
杆13可如图4所示的那样调整杆13的高度，以便使后述的搬运用机械手20的指部23能够***到支撑部10的上端和基板W之间，而且能够确保上下移动所需的足够的空间。
这里，吸附部12安装在使支撑部10的上端侧顶部的一部分形成为平坦而构成的上表面10a上。在支撑部10a的上端在两侧连有朝下方敞开的倾斜面10b。倾斜面10b具有防止在宏观检查时透过了基板W的照射光朝向观察者反射的作用。另外，倾斜面10b的下端与相对于上表面10a垂直的侧面10c相连，在侧面10c的下端形成有向下关闭的倾斜面10d。该倾斜面10d在使基板支架6反转来进行基板W的背面的宏观检查时，防止照射光向观察者反射。
如图4所示，支撑部10的上表面10a相对于基板W水平，但支撑部10的下端即下侧的倾斜面10d形成的脊线则倾斜成：在将基部7侧作为支撑部10的基端部11a的情况下，随着从这里朝向前端部11b，支撑部10在上下方向上的高度减小。通过这样使支撑部10的高度根据到基部7的距离而变化，在确保支撑部10的支撑强度的同时，抑制了基板W的重量，实现了轻量化。
另外如图2所示，在支撑部10的基端部11a侧的上表面10a和前端部11b侧，与支撑部10垂直地固定有支架框15，该支架框15由吸附保持基板W的上下周缘部的薄金属制板材构成，实现了轻量化。支架框15的两端部15a向彼此接近的方向垂直地折弯。各个支架框15的长度和配置间隔设定为与假想线所示的基板W的横向尺寸和纵向尺寸适合，在各个支架框15的上表面以预定间隔配设有多个吸附盘16。吸附盘16与抽吸泵连接，并与吸附部12一起对基板W进行吸附保持。
另外，在各个支撑部10中位于最外侧的支撑部10的外侧面10c上以预定间隔配设有多个梁17，所述多个梁17对支撑基板W的两侧缘部的支撑销18进行支撑。如图3所示，梁17相对于支撑部10垂直地延伸设置，在其前端部上表面立设有支撑销18。在支撑销18的前端部上设有球体，该球体由テフロン等(テフロン为注册商标)比玻璃基板硬度低而耐磨性优良的减摩材料构成。另外，各个支撑销18配设成支撑基板W的两侧缘部。在本实施方式中，虽然在梁17上配置了支撑销18，但是也可以配置吸附部12来代替支撑销18。
如图1和图2所示，安装有基板支架6的基部7的检查用自动装置8通过未图示的控制装置，例如能够使基板支架6沿箭头A方向从图1中假想线所示的保持水平姿态的位置旋转或者摆动到图1中实线所示的以预定倾斜角度立起的位置；或者使基板支架6绕臂9的轴线沿箭头C方向旋转；或者使基板支架6沿箭头B方向上下移动；或者使基板支架6沿箭头D方向左右移动。通过使用该检查用自动装置8，通过在使基板支架6立起至适合在宏观照明下进行观察的角度的状态下，使基板支架6上下和左右移动，能够对基板W的整个面扫描宏观照明光。在将宏观照明光学***设成可沿XY方向移动的情况下，检查用自动装置只要能够沿箭头A方向旋转或者摆动、沿箭头C方向旋转、以及沿箭头B方向上下移动即可。
另外，在基板支架6立起时的位于基板支架6前侧的位置上，在装置主体2上形成有开口，从而观察者能够目视观察立起状态下的基板W的外观。
这里在图2中示出将基板W相对于基板支架6进行搬入和搬出时使用的搬运用机械手20。这样使用的搬运用机械手20例如为连接了多个臂21而构成的多关节臂机械手，在前端安装有机械手手部22。机械手手部22呈梳齿状配设有多个指部23。基板支架6侧的吸附部12如图4所示那样配置成不与指部23干涉。另外如图4所示，指部23的厚度与高度相比足够薄。在这样的指部23的上部配设有吸附部24，从而吸附保持图2中假想线所示的基板W。
对该实施方式的作用进行说明
首先如图1中的假想线所示，使基板支架6在适于基板W的搬入和搬出的水平位置待机。搬运用机械手20从盒子中吸附保持一块基板W并将其取出，然后将基板W输送至基板支架6的上方。此时，如图2和图4所示，搬运用机械手20的指部23是在水平状态下从俯视时与基板支架6的各支撑部10垂直的方向***。当通过搬运用机械手20使保持了基板W的机械手手部22在维持水平姿态的状态下下降时，指部23在吸附部12、支撑销18、梁17之间通过而下降到图4中假想线所示位置。这期间，吸附部12、支撑销18、吸附盘16与基板W的背面抵接，基板W由它们进行支撑，将基板W从搬运用机械手20移载至基板支架6。当基板W的移载结束后，使搬运用机械手20的臂21后退，从基板W和基板支架6之间抽出指部23。
基板检查装置1通过未图示的对准单元使基板W与基板支架6上的基准位置对准，并在该位置通过吸附部12和吸附盘16来吸附保持基板W。另外，检查用自动装置8使基板支架6从水平位置如图1实线所示立起，使基板W朝向观察者。在该状态下，一边用来自光源3的照明光从上方照射基板W，一边由观察者进行宏观检查。此时，可以一边通过检查用自动装置8使基板支架6以微小的角度沿上下方向或者左右方向摆动，相对于基板W使照明光的入射角度变化，一边进行宏观检查。另外，在对基板W的背面进行宏观检查时，可以通过检查用自动装置8使基板W反转，使基板W的背面朝向照明方向来进行宏观检查。另外也可以设置未图示的后照光装置，从而在从基板W的背面侧进行照射的同时进行观察。
当宏观检查结束而使基板支架6返回至水平位置后，解除通过吸附部12和吸附盘16进行的吸附保持。在进行基板W的搬出时，通过搬运用机械手20使机械手手部22水平移动，从而将指部23***到基板W和支撑部10之间。然后，使机械手手部22上升，将基板W移载至搬运用机械手20，然后使臂21后退以朝向盒子进行搬出。
根据本实施方式，使宏观检查用的基板支架6为梳齿状的框架结构，使相当于梳齿的各个支撑臂部10具有用于保持基板W的强度，因此与现有的具有矩形框架的基板支架相比，能够使基板支架6的外形小型化，从而能够使装置整体小型化。另外，基板支架6与以往相比重量变轻，因此能够使基板支架6的移动迅速，从而能够缩短检查时间。另外，基板支架6重量轻、因没有载荷分散而可以减小惯性矩，能够使作用在作为检查用自动装置8而使用的多关节臂自动装置上的负荷。因此，能够使用小型化的多关节臂自动装置。另外，在使用背光进行透射照明检查时，还能够使光的遮断为最小限度。
另外，当使基板支架6立起时，由于支撑部10沿纵向配设，即配设成从上侧到下侧支撑基板W的背面来吸附保持基板W的背面，因此能够在宏观观察时抑制基板W的弯曲和振动。通过在配置为梳齿状的支撑部10的基端部11a和顶端部11b上设置支架框16，以使基板W的搬入方向敞开，能够安全地进行基板W的搬入搬出，而不会使搬运用机械手20的指部23与基板支架6干涉。在基板W的没有通过支撑部10进行支撑的侧方，从配置于外侧的支撑部10伸出梁17来进行支撑，因此能够可靠地保持搬入搬出侧的基板W的周缘部，并且通过省略两侧的支架框，能够进一步实现轻量化。
下面参照附图对本发明第二实施方式进行说明。另外，对于与第一实施方式相同的结构要素赋予相同标号并省略重复说明。
如图5和图6所示，基板支架30具有安装于检查用自动装置(检查用多关节臂自动装置)8的臂9的前端部的基部7，在基部7的安装面7a上以预定的间隔平行地设置有与基部7垂直的多个支撑部10。基部7具有与支撑部10的基端部11a的高度尺寸大致相同的厚度尺寸，与第一实施方式的基部相比形成得较薄，实现了轻量化。支撑部10的上表面形成为平坦面，其配置在高于基部7的上表面的位置。基部7和支撑部10的各上表面也可以形成在同一平面上，并通过基部7来吸附保持基板W的一侧缘部。另外，在支撑臂部10的上表面上形成有开口部，在该各开口部中嵌入有吸附盘的吸附部31，隔开预定间隔地配置。该吸附部31经由形成于支撑部10的流通孔而与抽吸泵连接。在最外侧的支撑臂部10的外侧面上配设有梁32。梁32从支撑部10垂直地延伸设置，由于通过其上表面支撑基板W的背面，因此可以在梁32的上表面安装例如吸附部31。
对本实施方式的作用进行说明。
首先使基本支架30在适于基板W的搬入和搬出的水平位置待机。搬运用机械手20将基板W移送至基板支架6的上方。此时，搬运用机械手20的指部23以在俯视时与基板支架30的各个支撑部10平行的方式进行***，使得指部23位于相邻两支撑臂部10之间，即，使得基板支架30的支撑部10和搬运用机械手20的指部23啮合。在解除于基板W的吸附后，当通过搬运用机械手20使保持了基板W的机械手手部22在维持水平姿态的状态下降时，指部23由于在支撑部10之间下降，因此基板W的背面分别与支撑臂部10、梁32抵接，基板W被从搬运用机械手20移载到基板支架30上。当基板W的移载结束后，使搬运用机械手20的臂21水平后退，将指部23从基板W和基板支架之间抽出。当通过检查用自动装置8使基板支架30立起至预定角度、并沿上下方向或者左右方向摆动时，只要是不与该基板支架30干涉的位置，则可以使机械手手部22在基板W的交接位置或者比该交接位置向下方下降了的退避位置待机。
另外，通过未图示的对准单元使基板W对准到基板支架30上的基准位置，并在该位置通过吸附部31吸附保持基板W。另外，检查用自动装置8使基板支架30从水平位置立起以使基板W朝向观察者，然后从上方对基板W照射照明光以进行宏观检查。
当宏观检查结束而使基板支架30返回水平位置后，解除由吸附部3 1进行的吸附保持。使搬运用机械手20的指部23***到基板W和支撑部10之间然后使其上升，从而将基板W移载至搬运用机械手20，将基板W朝向盒子搬出。
根据该实施方式，使基板支架30为梳齿状的框架结构，并使其前端侧敞开，因此能够使搬运用机械手20平行***并啮合于各个支撑部10之间。通过在这样的啮合状态下交接基板W，能够在搬运用机械手20和基板支架30之间直接交接基板W，所以不需要在基板支架30侧设置用于接收基板W的升降机构，能够简化结构，并且能够缩短基板W的交接时间。另外，通过省略支架框而能够使基板支架30小型化、轻量化。基板支架30的小型化、轻量化以及由此而来的效果与第一实施方式相同。
另外，本发明不限于所述实施方式而可以广泛应用。
例如在图2所示的基板支架6中，也可以在支撑部10上设置与基板W的背面抵接的支撑销18。此时，可以将支撑销18和吸附部12交替地排列在支撑部10上，也可以在每个支撑部10上配置支撑销18或吸附部12。
另外，如图5所示在基板支架30中，可以通过板状的较长的横档来连接各个支撑部10的前端侧。该横档通过连接支撑部10的前端部11b能够抑制各个支撑部10的振动。为了使搬运用机械手20的指部23不与横档发生干涉，可以将该横档设置于支撑部10的下表面，或者在横档上设置与指部的形状对应的切口。
另外，可以如图2所示，在基板支架6中，使支架框15根据矩形的玻璃基板W的形状形成为一方敞开的コ字形，从一方敞开的一侧搬入和搬出基板W。也可以将图2所示的支架框15仅设置于支撑部10的前端侧，通过基部7来吸附保持基板W的一侧缘部。
根据本发明，支撑基板的支撑部设成梳齿状，因此与通过矩形的支架主体来支撑基板的周缘部的情况相比，能够实现小型化、轻量化。并且，由此能够使进行基板支架的摆动和旋转等的多关节自动装置等的负载降低，能够使基板检查装置小型化。
权利要求书(按照条约第19条的修改)
1、一种基板支架，其是基板检查装置的基板支架，所述基板支架安装于进行转动的驱动部的前端部，并在保持有基板的状态下使所述基板立起至适合在照明光学***的照明下进行目视观察的角度以进行检查，其特征在于，所述基板支架包括：
与所述驱动部连接的基部；
从所述基部平行地延伸设置的多个支撑部；以及
立设于所述多个支撑部上的、将所述基板保持为水平的多个支撑销或者吸附部，
所述支撑销或者吸附部可调整至这样的高度：在通过搬运所述基板的搬运用机械手的指部来将所述基板交接给所述支撑销或者吸附部时，能够确保可使所述指部上下移动的空间。
2、根据权利要求1所述的基板支架，其特征在于，
在所述多个支撑部中，在所述多个支撑部的基端部侧和前端部侧中的至少所述前端部侧，与所述多个支撑部垂直地设有对所述基板的周缘部进行吸附保持的支架框。
3、根据权利要求2所述的基板支架，其特征在于，
所述支架框设于所述多个支撑部的基端部侧和前端部侧，使所述搬运用机械手的指部从所述对置的支架框的一方端部之间***和抽出。
4、根据权利要求2所述的基板支架，其特征在于，
所述支架框与所述多个支撑部的基端部侧和前端部侧垂直，并且形成为一方敞开的コ字形，从所述一方敞开的一侧***和抽出所述搬运用机械手的指部。
5、根据权利要求2所述的基板支架，其特征在于，
所述支架框与所述多个支撑部的前端部垂直地设置，在与所述支架框对置的所述基部上设置有吸附保持所述基板的吸附部。
6、根据权利要求1所述的基板支架，其特征在于，
在所述多个支撑部中的设于最外侧的所述支撑部的外侧面上，伸出设置有对支撑销或者吸附部进行支撑的梁，所述支撑销或者吸附部对所述基板的周缘部进行支撑。
7、根据权利要求1所述的基板支架，其特征在于，
所述多个支撑部由高度尺寸相对于宽度尺寸较大的板材构成，在所述多个支撑部的各上端和下端中的至少上端，形成有倾斜面，以使透过了所述基板的所述照明光朝观察视野之外反射。
8、根据权利要求1、6和7中的任一项所述的基板支架，其特征在于，
所述多个支撑部由高度尺寸相对于宽度尺寸较大的板材构成，所述多个支撑部的各上端形成为相对于所述基板平行，而下端形成为从所述多个支撑部的基端部向前端部所述高度尺寸减小，并且在所述多个支撑部的各上端上立设有所述支撑销或者吸附部。
9、根据权利要求8所述的基板支架，其特征在于，
在所述吸附部中，在所述支撑部或者梁的上端立设着形成有空气流通孔的杆，在该杆的前端安装有吸附所述基板的背面的吸附盘。
10、一种基板支架，其是基板检查装置的基板支架，所述基板支架安装于进行转动的驱动部的前端部，并在保持有基板的状态下使所述基板立起至适合在照明光学***的照明下进行目视观察的角度以进行检查，其特征在于，所述基板支架包括：
与所述驱动部连接的基部；
多个支撑部，它们从所述基部平行地延伸设置，由高度尺寸相对于宽度尺寸较大的板材构成，并且所述多个支撑部的上表面形成为平坦面；
以及
吸附部，其在所述多个支撑部的所述各平坦面上以预定间隔形成，用于吸附保持所述基板，
所述多个支撑部以与所述搬运用机械手的指部啮合的方式平行地配置在所述基部上，使所述搬运用机械手的指部平行***所述多个支撑部之间并使其沿上下方向移动，从而进行所述基板的交接。
11、根据权利要求10所述的基板支架，其特征在于，
在所述吸附部中，在所述多个支撑部的各平坦面上以预定间隔形成与抽吸泵连接的开口部，在该开口部中嵌入有吸附盘。
12、根据权利要求10所述的基板支架，其特征在于，
所述多个支撑部在位于远离所述基部的位置的前端部的下表面，设置连接所述多个支撑部的横档，以避免所述横档与所述搬运用机械手的指部干涉。
13、根据权利要求10所述的基板支架，其特征在于，
所述多个支撑部通过横档而连接起来，所述横档将所述多个支撑部的位于远离所述基部的位置的前端部连接起来，并且在该横档上形成有切口以避免与所述搬运用机械手的指部干涉。
14、一种基板检查装置，其特征在于，所述基板检查装置包括：
宏观照明光学***，其配置于检查装置主体的上方，统一地对基板整体进行照射，或者局部地对基板进行照射；
基板支架，其通过将多个支撑部以预定间隔配置在基部上而构成，所述多个支撑部具有吸附保持所述基板的吸附部；
检查用多关节臂自动装置，其与所述基板支架的基部连接，并进行以下控制：使所述基板支架从水平状态转动到适于进行目视观察的角度的转动控制；使所述基板支架从表面反转到背面的反转控制；和使所述基板支架在立起至适于进行目视观察的角度的状态下沿上下方向移动的移动控制；以及
搬运用机械手，其将所述基板交接给通过所述检查用多关节臂自动装置而控制成了水平姿态的所述基板支架。
15、根据权利要求14所述的基板检查装置，其特征在于，
所述基板支架具有吸附部，所述吸附部构成为：在立设于所述多个支撑部的、形成有空气流通孔的杆的前端，安装有吸附所述基板的背面的吸附盘，
所述吸附部的从所述支撑部的上表面到所述吸附部的前端的高度可以调整至这样的高度：在通过所述搬运用机械手的指部将所述基板交接给所述吸附部时，能够确保可使所述指部上下移动的空间。
16、根据权利要求15所述的基板检查装置，其特征在于，
所述基板支架还在所述多个支撑部的基端部侧和前端部侧中的至少所述顶端部侧，与所述多个支撑部垂直地设有保持所述基板的周缘部的支架框，
所述搬运用机械手，在使保持有所述基板的指部从所述支架的上方下降、并移载到立设于所述支架框和所述多个支撑部的吸附部上之后，使所述搬运用机械手的指部从所述基板支架退避。
17、根据权利要求14所述的基板检查装置，其特征在于，
所述基板支架具有多个支撑部，所述多个支撑部由高度尺寸相对于宽度尺寸较大的板材构成，
所述多个支撑部以与所述搬运用机械手的指部啮合的方式平行设置在所述基部上，
所述搬运用机械手使保持所述基板的指部平行***到所述多个支撑部之间并使其下降，以将所述基板移载至所述多个支撑部上，然后使所述指部退避至不与所述支架干涉的位置。

Claims (5)

1、一种基板检查装置的基板支架，其安装于驱动部的前端部，并在保持有基板的状态下使所述基板移动，其特征在于，所述基板检查装置的基板支架包括：
与所述驱动部连接的基部；
从所述基部呈梳齿状平行地延伸设置的多个支撑部；以及
在所述支撑部上吸附保持所述基板的吸附部，
所述多个支撑部具有保持所述基板的强度。
2、根据权利要求1所述的基板检查装置的基板支架，其特征在于，
所述支撑部的高度根据到安装于所述基部的部分即基端部的距离而变化。
3、根据权利要求1所述的基板检查装置的基板支架，其特征在于，
在所述支撑部的安装于所述基部的部分即基端部、和所述支撑部的位于远离所述基部的位置的部分即前端部上，分别与所述支撑部垂直地设有对所述基板的周缘部进行吸附保持的支架框。
4、根据权利要求1所述的基板检查装置的基板支架，其特征在于，
从所述多个支撑部中的设于最外侧的所述支撑部的外侧面，延伸设置有支撑所述基板的周缘部的梁。
5、一种基板检查装置，其特征在于，所述基板检查装置包括：
权利要求1所述的基板支架；
支撑所述基板支架并使所述基板支架可以自由摆动的所述驱动部，即多关节自动装置；以及
发出预定的可见光的光源，
所述基板检查装置构成为使来自所述光源的可见光照射到所述基板上，从而能够进行所述基板的外观检查。
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