KR100596054B1 - 유리기판의 검사시스템 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (19)
- 유리기판의 이송라인에 인라인으로 설치되는 베이스프레임과;상기 베이스프레임의 상부에 상기 유리기판의 이송라인과 정렬되는 상기 유리기판의 이송위치와 검사위치 사이를 운동할 수 있도록 설치되는 모션프레임과;상기 유리기판의 이송위치와 검사위치 사이에서 상기 모션프레임을 운동시키는 작동수단과;상기 모션프레임의 전방에 상기 모션프레임의 운동에 의하여 상기 유리기판의 이송위치와 검사위치 각각에 정렬될 수 있도록 설치되며, 상기 유리기판의 이송위치에서 상기 유리기판의 이송라인으로부터 상기 유리기판을 인수하여 이송시키는 메인이송수단과;상기 모션프레임의 후방에 상기 모션프레임의 운동에 의하여 상기 메인이송수단이 상기 유리기판의 검사위치에 정렬될 때 상기 유리기판의 이송위치에 정렬될 수 있도록 설치되고, 상기 유리기판의 이송위치에서 상기 유리기판의 이송라인으로부터 상기 유리기판을 인수하여 이송시키는 서브이송수단과;상기 메인이송수단의 후방에 상기 유리기판을 조명할 수 있도록 설치되는 복수의 형광램프와, 상기 메인이송수단과 형광램프 사이에 암흑의 배경시야를 형성할 수 있도록 설치되며 상기 형광램프와 정렬되는 복수의 투광창이 형성되어 있는 백스크린과, 상기 백스크린의 투광창을 통한 상기 형광램프의 빛을 선택적으로 차단하는 복수의 셔터수단으로 구성되는 제1 조명수단을 포함하는 유리기판의 검사시스템.
- 제 1 항에 있어서, 상기 작동수단은 상기 모션프레임을 직선왕복운동시키는 Y축리니어모션액츄에이터로 구성되고, 상기 Y축리니어모션액츄에이터는 상기 베이스프레임에 장착되어 구동력을 제공하는 서보모터와, 상기 서보모터의 구동에 의하 여 회전할 수 있도록 장착되는 리드스크루와, 상기 모션프레임에 상기 리드스크루를 따라 나사운동할 수 있도록 장착되는 볼부시와, 상기 베이스프레임에 대하여 상기 모션프레임의 직선왕복운동을 가이드하는 리니어모션가이드로 구성되는 유리기판의 검사시스템.
- 제 1 항에 있어서, 상기 메인이송수단은,상기 모션프레임의 전방에 경사지게 설치되는 프론트슬랜트림과;상기 프론트슬랜트림의 하부에 상기 유리기판의 하단을 지지하여 이송할 수 있도록 설치되는 프론트컨베이어와;상기 프론트슬랜트림으로부터 상기 유리기판을 공기의 블로잉에 의하여 부양시키는 에어플로팅수단으로 구성되는 유리기판의 검사시스템.
- 제 3 항에 있어서, 상기 에어플로팅수단은,상기 프론트슬랜트림의 전방에 상기 유리기판의 이송방향을 따라 수평으로 설치되며, 상기 유리기판의 후면에 공기를 분출하는 다수의 노즐구멍이 길이방향을 따라 형성되어 있는 복수의 에어블로잉파이프와;상기 프론트슬랜트림에 대하여 상기 복수의 에어블로잉파이프 각각을 상하로 승강운동시키는 복수의 에어슬라이드실린더로 구성되는 유리기판의 검사시스템.
- 제 3 항에 있어서, 상기 메인이송수단의 프론트슬랜트림에 상기 유리기판의 이송을 감지하여 상기 프론트컨베이어의 작동을 제어할 수 있도록 상기 유리기판의 이송방향을 따라 설치되는 제1 센서와 제2 센서를 더 구비하는 유리기판의 검사시스템.
- 제 3 항 또는 제 4 항에 있어서, 상기 프론트슬랜트림의 상부에 상기 유리기판의 상단을 지지하여 안내할 수 있도록 설치되는 가이드수단을 더 구비하는 유리기판의 검사시스템.
- 제 6 항에 있어서, 상기 가이드수단은,상기 프론트슬랜트림의 상부에 승강운동할 수 있도록 상기 유리기판의 이송방향을 따라 수평으로 장착되는 서포트바와;상기 서포트바의 하부에 샤프트를 중심으로 회전하여 상기 유리기판의 상단을 지지할 수 있도록 장착되는 다수의 테이퍼롤러와;상기 프론트슬랜트림에 대하여 상기 서포트바를 승강운동시키는 복수의 에어슬라이드실린더로 구성되는 유리기판의 검사시스템.
- 제 3 항 또는 제 4 항에 있어서, 상기 프론트슬랜트림의 한쪽에 상기 유리기판의 일측단을 클램핑할 수 있도록 설치되는 클램핑수단을 더 구비하는 유리기판의 검사시스템.
- 제 8 항에 있어서, 상기 클램핑수단은,상기 프론트슬랜트림의 한쪽에 피봇을 중심으로 회전하여 상기 유리기판의 일측단을 클램핑할 수 있도록 장착되어 있는 캐처핑거와;상기 프론트슬랜트림에 장착되고, 상기 유리기판을 클램핑할 수 있도록 상기 피봇을 중심으로 상기 캐처핑거를 회전시키는 실린더로드를 갖는 에어실린더로 구성되는 유리기판의 검사시스템.
- 제 1 항에 있어서, 상기 서브이송장치는,상기 모션프레임의 후방에 경사지게 설치되는 리어슬랜트림과;상기 리어슬랜트림의 하부에 상기 유리기판의 하단을 지지하여 이송할 수 있도록 설치되는 리어컨베이어와;상기 리어슬랜트림의 전방에 상기 유리기판의 이송방향을 따라 수평으로 설치되며, 상기 유리기판의 후면에 공기를 분출하는 다수의 노즐구멍이 길이방향을 따라 형성되어 있는 복수의 에어블로잉파이프와;상기 리어슬랜트림에 상기 유리기판을 감지하여 상기 리어컨베이어의 작동을 제어할 수 있도록 상기 유리기판의 이송방향을 따라 설치되는 제1 센서와 제2 센서로 구성되는 유리기판의 검사시스템.
- 삭제
- 제 1 항에 있어서, 상기 셔터수단은,상기 형광램프와 백스크린 사이에 상기 백스크린의 투광창을 열고 닫을 수 있도록 장착되는 셔터와;상기 백스크린의 투광창을 차단하는 폐쇄위치와 개방하는 개방위치 사이에서 상기 셔터를 운동시키는 에어실린더로 구성되는 유리기판의 검사시스템.
- 제 1 항에 있어서, 상기 메인이송수단의 전방에 설치되어 상기 유리기판에 대하여 순광을 투사하는 제2 조명수단을 더 포함하는 유리기판의 검사시스템.
- 제 13 항에 있어서, 상기 제2 조명수단은,상기 메인이송수단의 전방에 배치되는 복수의 할로겐램프와;상기 메인이송수단에 상기 할로겐램프를 X축방향으로 운동시킬 수 있도록 설치되는 X축리니어모션가이드와, 상기 X축리니어모션가이드에 상기 할로겐램프를 Y축방향으로 운동시킬 수 있도록 설치되는 Z축리니어모션가이드를 갖는 직교좌표운동수단으로 구성되는 유리기판의 검사시스템.
- 제 14 항에 있어서, 상기 X축리니어모션가이드는,상기 메인이송수단의 하부에 X축방향으로 장착되는 가이드바와;상기 가이드바를 따라 슬라이딩운동할 수 있도록 장착되는 로워슬라이드와;상기 메인이송수단의 상부에 상기 가이드바와 평행하도록 X축방향으로 장착되는 가이드레일과;상기 가이드레일을 따라 슬라이딩운동할 수 있도록 장착되는 어퍼슬라이드와;상기 로워슬라이드와 어퍼슬라이드에 연결되는 모션포스트로 구성되는 유리기판의 검사시스템.
- 제 14 항에 있어서, 상기 Z축리니어모션가이드는,상기 X축리니어모션가이드를 구성하는 모션포스트를 따라 장착되는 가이드레일과;상기 가이드레일을 따라 승강운동할 수 있도록 장착되어 있는 슬라이드와;상기 슬라이드에 고정되고, 상기 복수의 할로겐램프가 탑재되는 캐리지로 구성되는 유리기판의 검사시스템.
- 제 14 항 또는 제 16 항에 있어서, 상기 복수의 할로겐램프는 상기 캐리지에 다자유도운동할 수 있도록 장착되는 선형의 할로겐램프와 원형의 할로겐램프로 이 루어지는 유리기판의 검사시스템.
- 제 16 항에 있어서, 상기 복수의 할로겐램프가 탑재되어 있는 상기 캐리지가 견인력의 제거시 그 자리에 고정될 수 있도록 붙잡는 홀딩수단을 더 포함하는 유리기판의 검사시스템.
- 제 18 항에 있어서, 상기 홀딩수단은,상기 캐리지의 상부에 일단이 연결되는 와이어와;상기 X축리니어모션가이드를 구성하는 모션포스트의 상부에 상기 와이어를 감아걸어 가이드할 수 있도록 장착되는 풀리와;상기 모션포스트의 하부에 상기 모션포스트와 평행하도록 장착되며, 상기 와이어의 타단이 연결되는 실린더로드를 갖는 에어실린더와;상기 에어실린더의 실린더로드가 전진 또는 후퇴되는 것에 따라 상기 에어실린더의 공기압력을 제어하는 레귤레이터로 구성되는 유리기판의 검사시스템.
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020020067196A KR100596054B1 (ko) | 2002-10-31 | 2002-10-31 | 유리기판의 검사시스템 |
TW092130249A TWI250277B (en) | 2002-10-31 | 2003-10-30 | Glass substrate inspecting system |
CNB2003101156678A CN1237341C (zh) | 2002-10-31 | 2003-10-31 | 玻璃基板的检查*** |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020020067196A KR100596054B1 (ko) | 2002-10-31 | 2002-10-31 | 유리기판의 검사시스템 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20040038300A KR20040038300A (ko) | 2004-05-08 |
KR100596054B1 true KR100596054B1 (ko) | 2006-07-03 |
Family
ID=34270520
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020020067196A KR100596054B1 (ko) | 2002-10-31 | 2002-10-31 | 유리기판의 검사시스템 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100596054B1 (ko) |
CN (1) | CN1237341C (ko) |
TW (1) | TWI250277B (ko) |
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