CN100514707C - 密封装置及密封方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种使用紫外线固化树脂进行密封时，可在短时间使树脂固化以抑制热对密封对象部分造成影响的密封装置及密封方法。本发明的密封装置包括：可导入氮气的对准贴合室(3)；和具有UV照射灯(30)的UV照射室(4)。在对准贴合室(3)内，将密封用玻璃基板(7)和基板(9)载置于搬送机构(15)上，使用紫外线固化型密封用树脂(7a)进行加压贴合。然后，利用搬送机构(15)将有机电致发光面板(40)从对准贴合室(3)搬出，使之移动至UV照射室(4)进行密封用树脂(7a)的固化。
Description
技术领域
本发明涉及例如制造有机电致发光面板的技术，特别是涉及对有机电致发光面板进行密封的技术。
背景技术
一般来说，制造有机电致发光(EL)面板时，以最后工序来说，进行使形成有机电致发光元件部的基板和密封玻璃贴合来密封元件部的工序。
以往，在有机电致发光面板的密封工序中，在导入氮气的真空槽内，使用紫外线固化树脂使基板和密封玻璃贴合后，对紫外线固化树脂照射紫外线而使其固化。
然而，已知技术中经由较厚的石英玻璃从真空槽的外部照射紫外线，所以树脂的固化较花费时间，结果，会有热对于作为密封对象部分的有机电致元件部产生影响的问题。
[专利文献1]日本特开2001-319776公报
发明内容
本发明是为了解决现有技术的问题而提出的，其目的在于提供一种密封装置及密封方法，在使用紫外线固化树脂进行密封时可在短时间内使树脂固化，并可抑制热对密封对象部分造成影响。
为实现上述目的而作成的本发明是一种密封装置，包括：真空处理槽，能够导入密封用非活性气体；和搬送机构，将在上述真空处理槽内借助紫外线固化树脂贴合的一对密封对象物从该真空处理槽搬出并移动到紫外线照射位置；和紫外线照射机构，对从上述真空处理槽搬出的上述密封对象物的上述紫外线固化树脂照射紫外线。
本发明中，在上述发明中，也可构成为将上述密封对象物载置于上述搬送机构上进行加压贴合。
本发明中，在上述发明中，也可在上述搬送机构上设置紫外线透过用的窗部。
本发明中，在上述发明中，构成为具有配置了上述紫外线照射机构的UV照射室，将从上述真空处理槽搬出的上述密封对象物搬入到上述UV照射室内进行紫外线的照射。
本发明是一种密封方法，具有：在真空且密封用非活性气体气氛中，借助紫外线固化树脂使一对密封对象物贴合而对密封对象部分的周围进行密封的工序；和移动该密封结构的上述密封对象物并配置于大气压下，对上述密封对象物的上述紫外线固化树脂照射紫外线而使其固化的工序。
本发明中，在上述发明中，也可移动上述密封结构的上述密封对象物并配置于加压条件下，对上述密封对象物的上述紫外线固化树脂照射紫外线而使其固化。
本发明中，在上述发明中，上述密封对象部分为有机电致发光元件。
在本发明的情况下，紫外线固化树脂的固化工序是在与进行密封工序的场所不同的场所(例如：UV照射室)进行，所以不需如已知技术般经由石英玻璃来进行紫外线的照射，可直接且从近距离照射紫外线。
结果，根据本发明，可在短时间完成紫外线固化树脂的固化，所以尤其在有机电致发光面板的密封工序中，可大幅抑制热对有机电致发光元件部分的影响。
在本发明装置中，若构成为密封对象物载置于搬送机构上进行加压贴合，则不需设置搬送机器人，构成变简单，并且在贴合工序后可马上转移到紫外线照射工序，故可实现密封工序的迅速化。
在本发明装置中，若将紫外线透过用的窗部设置于搬送机构，则可经由该窗部从极近的距离对例如载置于搬送机构上的密封对象物照射紫外线。
根据本发明，可在短时间完成紫外线固化树脂的固化，且可在有机电致面板等的密封工序中大幅抑制热对密封部分的影响。
附图说明
图1是表示本发明的密封装置的实施方式的概略构成图。
图2是表示该实施方式的密封部的内部构成的概略图。
图3是表示本发明的密封方法的实施方式的概略构成图(其一)。
图4是表示本发明的密封方法的实施方式的概略构成图(其二)。
图5是表示本发明的密封方法的实施方式的概略构成图(其三)。
标号说明
1：密封装置
3：对准贴合室(真空处理槽)
4：UV照射室
6：密封玻璃装入室
7：密封用玻璃基板(密封对象物)
7a：密封用树脂(紫外线固化树脂)
9：基板(密封对象物)
9a：有机电致发光元件
10：密封部
15：搬送机构
16：载置部
17：窗部
18：加压机构
20：保持部
30：UV灯(紫外线照射机构)
40：有机电致发光面板
具体实施方式
以下，参照附图，详细说明本发明的优选实施方式。
图1是表示本发明的密封装置的实施方式的概略构成图。图2是表示该实施方式的密封部的内部构成的概略图。
图3至图5是表示本发明的密封方法的实施方式的概略构成图。
如图1所示，本实施方式的密封装置1具有：将已形成有机电致发光元件9a的基板(密封对象物)9搬入的基板搬入室2，且在该基板搬入室2的后段连结有对准贴合室3。
在该对准贴合室(真空处理槽)3的后段，设有后述的UV照射室4和密封基板取出室5。
又，对准贴合室3连结有用以搬入密封用玻璃基板7的密封玻璃装入室6。该密封用玻璃基板7涂布有密封用树脂(紫外线固化树脂)7a(例如参考图2)。
如图2所示，本实施方式的密封部10的上述对准贴合室3和UV照射室4构成为经由闸阀8连通。
对准贴合室3构成为连接于真空排气***11，并且导入密封用非活性气体的氮气(N2)。
进而，对准贴合室3连接有包括水分计12及氧气计13的氮气精制装置14。
在对准贴合室3内的下部，设有可移动于其与UV照射室4之间的搬送机构15。在该搬送机构15设有用以载置密封用玻璃基板7的平板状载置部16。
在此，密封用玻璃基板7借助未图示的定位机构而定位于既定位置。
在搬送机构15的载置部16上，在与密封用玻璃基板7上的密封用树脂7a对应的位置设有紫外线透过用的窗部17。
另一方面，在对准贴合室3的上部，设有用于相对于密封用玻璃基板7而对基板9加压的加压机构18。
该加压机构18具有连接于真空排气***19且可借助真空吸附来保持基板9的保持部20，该保持部20安装于可上下移动的升降机构21，构成为借助该升降机构21在搬送机构15的上方升降。
另一方面，在UV照射室4设有UV照射灯(紫外线照射机构)30。
本实施方式中，UV照射灯30构成为设置于UV照射室4内的下部，且从上述搬送机构15的载置部16的下方位置朝上方照射紫外线。
在具有该构成的本实施方式中进行密封时，如图3所示，将已形成有机电致发光元件9a的基板9经由基板搬入室2搬入对准贴合室3内，使该基板9吸附保持于加压机构18的保持部20。
又，将已涂布密封用树脂7a的密封用玻璃基板7经由密封玻璃装入室6搬入对准贴合室3内，进行既定的定位，载置于搬送机构15的载置部16上。
接着，将对准贴合室3内减压至既定的压力后，导入氮气，使对准贴合室3内变成既定压力的氮气气氛。
在该状态下，如图4所示，使加压机构18的保持部20下降，将基板9推抵于密封用玻璃基板7的密封用树脂7a后，以既定压力推压，由此使基板9与密封用玻璃基板7贴合，将有机电致发光元件9a的周围加以密封。
进而，如图5所示，在已载置有机电致发光面板40的状态下，移动搬送机构15而搬入UV照射室4内，并使搬送机构15的载置部16位于UV灯30的上方。
然后，使UV照射室4内的压力成为大气压，并使UV灯30动作，经由搬送机构15的载置部16的窗部17，对密封用树脂7a照射紫外线，使其固化。
如上所述，根据本实施方式，在不同的场所(对准贴合室3、UV照射室4)进行借助紫外线固化型的密封用树脂7a将基板9和密封用玻璃基板7贴合而将有机电致发光元件9a的周围密封的工序；和对密封用树脂7a照射紫外线而使其固化的工序，所以不需像已知技术那样要经由石英玻璃对紫外线固化树脂照射紫外线，可直接且可从近距离来照射紫外线。
结果，根据本实施方式，由于可在短时间完成紫外线固化树脂的固化，故在有机电致发光面板40的密封工序中，可大幅度抑制热对有机电致发光元件9a部分的影响。
特别是，在本实施方式中，将密封用玻璃基板7和基板9载置于搬送机构15上来进行加压贴合，所以不需设置搬送机器人，构成变得简单，并且在贴合工序后可马上转移至紫外线照射工序，因此可实现密封工序的迅速化。
又，本实施方式中，由于在搬送机构15上设有紫外线透过用的窗部17，故可经由该窗部17对载置于搬送机构15上的有机电致发光面板40从极近的距离照射紫外线。
此外，本发明并不限定于上述实施方式，可进行各种变更。
例如，上述实施方式中，在UV照射室4内于大气压中对密封用树脂7a照射紫外线，然而，本发明并不限定于此，也可在略微加压的情况下(例如100至120kPa)下进行紫外线的照射。这时，基板9和密封用玻璃基板7的紧贴力会增加，有不易偏离的优点。
再者，上述实施方式中，经由窗部17对载置于搬送机构15上的有机电致发光面板40从下方照射紫外线，但是，本发明并不限定于此，也可将基板9和密封用玻璃基板7的上下关系颠倒，并从密封用玻璃基板7的上方直接照射紫外线。
然而，从原样利用已形成有机电致发光膜的基板的观点来看，如上述实施方式所示，优选地构成为经由窗部17从下方对载置于搬送机构15上的有机电致发光面板40照射紫外线。
进而，虽然本发明可适用于各种平面面板(flat panel)等的密封，但从在清洁气氛下进行处理的观点来看，在有机电致发光面板的密封上是最有效的。
Claims (6)
1.一种密封装置，其特征在于，包括：
真空处理槽，能够导入密封用非活性气体；
搬送机构，将在上述真空处理槽内借助紫外线固化树脂贴合的一对密封对象物从该真空处理槽搬出并移动至紫外线照射位置；
紫外线照射机构，对从上述真空处理槽搬出的上述密封对象物的上述紫外线固化树脂照射紫外线；
该密封对象物在上述搬送机构上贴合；
在上述搬送机构上设有紫外线透过用的窗部，透过上述窗部的紫外线照射到设置在上述搬送机构上的上述密封对象物上。
2.如权利要求1所述的密封装置，其特征在于，具有配置了上述紫外线照射机构的UV照射室，将从上述真空处理槽搬出的上述密封对象物搬入到上述UV照射室内进行紫外线的照射。
3.一种密封方法，其特征在于，包括：
在减压且规定的密封用非活性气体气氛中，搬送机构上，借助紫外线固化树脂使一对密封对象物贴合而对密封对象部分的周围进行密封的工序；
以保持在上述搬送机构上的状态移动该密封结构的上述密封对象物并配置于大气压下的工序；和
将透过设置在上述搬送机构上的窗部的紫外线照射到上述紫外线固化树脂上而使其固化的工序。
4.如权利要求3所述的密封方法，其特征在于，上述密封对象部分是有机电致发光元件。
5.一种密封方法，其特征在于，包括：
在减压且规定的密封用非活性气体气氛中，搬送机构上，借助紫外线固化树脂使一对密封对象物贴合而对密封对象部分的周围进行密封的工序；
以保持在上述搬送机构上的状态移动该密封结构的上述密封对象物并配置于加压条件下的工序；和
将透过设置在上述搬送机构上的窗部的紫外线照射到上述紫外线固化树脂上而使其固化的工序。
6.如权利要求5所述的密封方法，其特征在于，上述密封对象部分是有机电致发光元件。
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20090715 Termination date: 20210612 |
|
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |