JP4450589B2 - 成膜装置 - Google Patents
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Description
請求項2記載の発明は、請求項1記載の成膜装置であって、分離機構を有し、前記基板は前記分離機構によって前記移動終了位置まで移動された前記搬送体から分離されるように構成された成膜装置である。
請求項3記載の発明は、請求項2記載の成膜装置であって、前記有機成膜室の内部にはマスク搬送機構が配置され、前記基板が分離された後のマスクは前記マスク搬送機構によって、前記搬送体が移動する経路とは異なる経路を通って前記移動終了位置から前記移動開始位置まで戻されるように構成された成膜装置である。
請求項4記載の発明は、請求項1乃至請求項3のいずれか1項記載の成膜装置であって、前記搬出系統は電極成膜室を有し、前記有機成膜室から前記搬出系統に搬出された前記基板は前記電極成膜室へ搬入され、前記発光体上に電極膜が形成されるように構成された成膜装置である。
この成膜装置1は有機成膜室3を有しており、有機成膜室3には有機成膜室3内部に基板11を搬入する搬入系統2と、基板11を有機成膜室3から搬出する搬出系統7が接続されている。
搬送体が成膜区間53を通過するときの速度は一定であってもよいし、各単位有機蒸着源上でその移動速度を変えてもよい。
Claims (4)
- 有機成膜室と、基板を前記有機成膜室に搬入する搬入系統と、
前記基板とマスクとを有する搬送体を、前記有機成膜室内部の移動開始位置から移動終了位置まで移動させる搬送機構と、前記有機成膜室内部の前記移動開始位置と前記移動終了位置との間に位置し、前記基板が移動する移動方向に列設された複数の単位有機蒸着源と、前記基板を前記有機成膜室から搬出する搬出系統とを有し、
前記搬送体を前記搬送機構によって移動させると、前記移動開始位置から前記移動終了位置の間に、前記各単位有機蒸着源上を順番に通過させ、前記基板表面に発光体の膜を成膜する成膜装置であって、
前記移動開始位置に、前記基板と前記マスクとを位置合わせして密着させ、前記搬送体を形成する位置合わせ機構が設けられ、
前記移動開始位置と前記基板に前記膜が成膜される成膜区間との間に緩衝区間が設けられ、
前記搬送機構は、前記搬送体が前記緩衝区間を移動する移動速度を、前記単位有機蒸着源上を移動する速度に対して変更可能に構成され、
前記搬送機構は、前記搬送体が前記成膜区間を通過するときの移動速度を一定にし、前記位置合わせ機構の前記位置合わせが長くかかると、前記緩衝区間における前記搬送体の移動速度を前記成膜区間を移動するときの速度よりも早くするように構成された成膜装置。 - 分離機構を有し、前記基板は前記分離機構によって前記移動終了位置まで移動された前記搬送体から分離されるように構成された請求項1記載の成膜装置。
- 前記有機成膜室の内部にはマスク搬送機構が配置され、前記基板が分離された後のマスクは前記マスク搬送機構によって、前記搬送体が移動する経路とは異なる経路を通って前記移動終了位置から前記移動開始位置まで戻されるように構成された請求項2記載の成膜装置。
- 前記搬出系統は電極成膜室を有し、前記有機成膜室から前記搬出系統に搬出された前記基板は前記電極成膜室へ搬入され、前記発光体上に電極膜が形成されるように構成された請求項1乃至請求項3のいずれか1項記載の成膜装置。
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