WO2020003554A1 - 熱電変換素子及び熱電変換モジュール - Google Patents

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WO2020003554A1
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thermoelectric conversion
electrode
intermediate layer
layer
conversion element
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美穂 上原
金子 由利子
小野 敦
正重 川部
勉 菅野
洋正 玉置
佐藤 弘樹
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パナソニックIpマネジメント株式会社
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    • H10N10/851Thermoelectric active materials comprising inorganic compositions
    • H10N10/852Thermoelectric active materials comprising inorganic compositions comprising tellurium, selenium or sulfur

Definitions

  • the present disclosure relates to a thermoelectric conversion element and a thermoelectric conversion module.
  • thermoelectric conversion element including a thermoelectric conversion material and a pair of electrodes bonded to the thermoelectric conversion material is known.
  • an n-type thermoelectric conversion element can be constructed.
  • a p-type thermoelectric conversion element can be constructed.
  • the thermoelectric conversion module in which the n-type thermoelectric conversion element and the p-type thermoelectric conversion element are combined enables power generation based on the temperature difference caused by the inflow of thermal energy.
  • Non-Patent Document 1 discloses a thermoelectric conversion element composed of a MgAgSb-based thermoelectric conversion material and a pair of Ag electrodes bonded to the material.
  • Patent Document 1 discloses an MgSbBiTe-based thermoelectric conversion material.
  • thermoelectric conversion module including the element.
  • the present disclosure provides a novel technology that more reliably brings reduced electric resistance to a thermoelectric conversion element using an MgSbBiTe-based thermoelectric conversion material.
  • thermoelectric conversion elements The present disclosure provides the following thermoelectric conversion elements.
  • thermoelectric conversion element comprising: A first electrode; A second electrode; A first intermediate layer; A second intermediate layer; and Thermoelectric conversion layer, here,
  • the first intermediate layer is provided between the thermoelectric conversion layer and the first electrode, The first intermediate layer is in contact with the thermoelectric conversion layer, The first electrode is in contact with the first intermediate layer,
  • the second intermediate layer is provided between the thermoelectric conversion layer and the second electrode, The second intermediate layer is in contact with the thermoelectric conversion layer, The second electrode is in contact with the second intermediate layer,
  • the first electrode and the second electrode are made of a CuZn alloy
  • the thermoelectric conversion layer is made of a thermoelectric conversion material containing Mg,
  • the thermoelectric conversion material contains at least one element selected from the group consisting of Sb and Bi,
  • the thermoelectric conversion material contains at least one element selected from the group consisting of Se and Te,
  • the thermoelectric conversion material has a La 2 O 3 type crystal structure,
  • the composition of the first intermediate layer is different from the composition of the first electrode and the composition of the thermo
  • thermoelectric conversion element using an MgSbBiTe-based thermoelectric conversion material.
  • FIG. 1 is a schematic diagram illustrating an example of the thermoelectric conversion element of the present disclosure.
  • FIG. 2 is a schematic diagram illustrating an example of the thermoelectric conversion module of the present disclosure.
  • FIG. 3 is a graph showing an X-ray diffraction profile of the thermoelectric conversion material manufactured in Example 1.
  • FIG. 4 is a graph showing an energy dispersive X-ray analysis (hereinafter, referred to as “EDX”) spectrum of the thermoelectric conversion material manufactured in Example 1.
  • FIG. 5A is an image observed by a scanning electron microscope (hereinafter, referred to as “SEM”) on a cut surface of the thermoelectric conversion element manufactured in Example 1.
  • FIG. 5B is a graph showing the results of line analysis by EDX on the cut surface shown in FIG. 5A.
  • SEM scanning electron microscope
  • FIG. 6A is an SEM observation image of a cut surface of the thermoelectric conversion element manufactured in Example 2.
  • FIG. 6B is a graph showing a result of a line analysis by EDX on the cut surface shown in FIG. 6A.
  • FIG. 7A is an SEM observation image of a cut surface of the thermoelectric conversion element manufactured in Comparative Example 1.
  • FIG. 7B is a graph showing the results of line analysis by EDX on the cut surface shown in FIG. 7A.
  • the bondability of the MgSbBiTe-based thermoelectric conversion material to an electrode is greatly affected by Mg contained in the material. More specifically, in a MgSbBiTe-based thermoelectric conversion material, bondability with an electrode may be reduced due to the high diffusivity of Mg contained in the material. In the MgAgSb-based thermoelectric conversion material shown in Non-Patent Document 1, there is no report on the effect of Mg on the bondability with an electrode.
  • the first electrode and the second electrode made of a CuZn alloy, and the first intermediate layer and the second intermediate layer improve the bonding property with the electrode in the MgSbBiTe-based thermoelectric conversion material. improves. Due to the improvement of the bonding property, the reduced electric resistance is more reliably provided to the thermoelectric conversion element using the MgSbBiTe-based thermoelectric conversion material.
  • thermoelectric conversion element 1 of FIG. 1 includes a thermoelectric conversion layer 2, a first intermediate layer 3a, a second intermediate layer 3b, a first electrode 4a, and a second electrode 4b.
  • the thermoelectric conversion layer 2 has a first surface 5a and a second surface 5b.
  • the second surface 5b is a surface opposite to the first surface 5a.
  • the first intermediate layer 3a is provided between the thermoelectric conversion layer 2 and the first electrode 4a.
  • the first intermediate layer 3a is in contact with the thermoelectric conversion layer 2.
  • the first electrode 4a is in contact with the first intermediate layer 3a.
  • the second intermediate layer 3b is provided between the thermoelectric conversion layer 2 and the second electrode 4b.
  • the second intermediate layer 3b is in contact with the thermoelectric conversion layer 2.
  • the second electrode 4b is in contact with the second intermediate layer 3b.
  • the shape of the thermoelectric conversion layer 2 is a rectangular parallelepiped.
  • the shape of the thermoelectric conversion layer 2 is not limited to a rectangular parallelepiped.
  • the first surface 5a and the second surface 5b of the thermoelectric conversion layer 2 are parallel to each other. However, they may not be parallel to each other as long as the first surface 5a is not in contact with the second surface 5b.
  • the thermoelectric conversion layer 2 is composed of a thermoelectric conversion material A containing Mg.
  • the thermoelectric conversion material A contains at least one element selected from the group consisting of Sb, Bi, and Te. Further, the thermoelectric conversion material A contains at least one element selected from the group consisting of Se and Te.
  • the thermoelectric conversion material A has a La 2 O 3 type crystal structure.
  • Thermoelectric conversion material A is of formula (I): having a composition represented by Mg 3 + m A a B b D 2-e E e, and may be an n-type.
  • the element 1 including the thermoelectric conversion layer 2 made of the n-type thermoelectric conversion material A is an n-type thermoelectric conversion element.
  • a in the formula (I) is at least one element selected from the group consisting of Ca, Sr, Ba and Yb.
  • B is at least one element selected from the group consisting of Mn and Zn.
  • D is at least one element selected from the group consisting of Sb and Bi.
  • E is at least one element selected from the group consisting of Se and Te.
  • the value of m in the formula (I) is in the range from ⁇ 0.39 to 0.42.
  • the value of a is in the range of 0 to 0.12.
  • the value of b is in the range of 0 to 0.48.
  • the value of e is in the range from 0.001 to 0.06.
  • EThe value of e in the formula (I) may be in the range of 0.004 to 0.020. In this case, the thermoelectric conversion performance of the element 1 and the thermoelectric conversion module including the element 1 can be improved.
  • the value of m 'in the formula (II) is in the range of 0 or more and 0.21 or less. At least one value selected from the group consisting of the value of a and the value of b in the formula (II) is larger than 0 (zero). In this case, the thermoelectric conversion performance of the element 1 and the thermoelectric conversion module including the element 1 can be improved.
  • thermoelectric conversion performance of the element 1 and the thermoelectric conversion module including the element 1 can be improved.
  • DD in the formula (I) may be Sb and Bi, and E may be Te.
  • the thermoelectric conversion performance of the element 1 and the thermoelectric conversion module including the element 1 can be improved.
  • thermoelectric conversion material A is described in Japanese Patent No. 6127281 or the corresponding US Patent Publication No. 2017/0117453, and can have any composition within the range of the formula (I).
  • the first electrode 4a is made of a CuZn alloy.
  • the second electrode 4b is made of a CuZn alloy.
  • the composition of the first electrode 4a and the composition of the second electrode 4b may be the same or different.
  • the CuZn alloy may contain a metal element other than Cu and Zn, for example, in a range of 11% by weight or less.
  • the CuZn alloy may be an alloy classified as brass. Note that, as with other general alloys, the presence of impurities in the CuZn alloy is allowed.
  • the first electrode 4a is joined to the first surface 5a so as to cover at least a part of the first surface 5a.
  • the first electrode 4a may be joined to the first surface 5a so as to cover the entire first surface 5a.
  • the second electrode 4b is joined to the second surface 5b so as to cover at least a part of the second surface 5b.
  • the second electrode 4b may be joined to the second surface 5b so as to cover the entire second surface 5b.
  • the thickness and shape of the first electrode 4a and the second electrode 4b are not limited.
  • the composition of the first intermediate layer 3a is different from the composition of the first electrode 4a and the composition of the thermoelectric conversion layer 2 (that is, the composition of the thermoelectric conversion material A).
  • the composition of the second intermediate layer 3b is different from both the composition of the second electrode 4b and the composition of the thermoelectric conversion layer 2.
  • the composition of the first intermediate layer 3a and the composition of the second intermediate layer 3b may be the same or different.
  • the first intermediate layer 3a and the second intermediate layer 3b contain, for example, Cu, Zn and Mg.
  • the Cu content is, for example, not less than 50% by weight and not more than 70% by weight.
  • the Zn content is, for example, not less than 25% by weight and not more than 35% by weight.
  • the Mg content is, for example, 0.1% by weight or more and 25% by weight or less.
  • the content of Mg is smaller than the content of at least one element selected from the group consisting of Cu and Zn. Good.
  • the first intermediate layer 3a and the second intermediate layer 3b may further contain an element (excluding Mg) constituting the thermoelectric conversion material A.
  • the content of these elements in the first intermediate layer 3a and the second intermediate layer 3b is usually smaller than the content of Mg.
  • the first intermediate layer 3a and the second intermediate layer 3b do not need to contain the elements (except Mg) constituting the thermoelectric conversion material A.
  • the first intermediate layer 3a is arranged between the first surface 5a and the first electrode 4a so as to cover at least a part of the first surface 5a.
  • the first intermediate layer 3a may be disposed between the first surface 5a and the first electrode 4a so as to cover the entire first surface 5a.
  • the second intermediate layer 3b is disposed between the second surface 5b and the second electrode 4b so as to cover at least a part of the second surface 5b.
  • the second intermediate layer 3b may be disposed between the second surface 5b and the second electrode 4b so as to cover the entire second surface 5b.
  • the thickness of the first intermediate layer 3a and the second intermediate layer 3b is, for example, 0.1 ⁇ m or more and 300 ⁇ m or less, and may be 3 ⁇ m or more and 30 ⁇ m or less.
  • the thickness of the first intermediate layer 3a and the thickness of the second intermediate layer 3b may be the same or different.
  • the shapes of the first intermediate layer 3a and the second intermediate layer 3b are not limited.
  • thermoelectric conversion element of the present disclosure may include at least one selected from the group consisting of other layers and members other than those described above.
  • thermoelectric conversion element of the present disclosure is not limited.
  • the application is, for example, a thermoelectric conversion module.
  • thermoelectric conversion element of the present disclosure An example of a method for manufacturing the thermoelectric conversion element of the present disclosure will be described below. However, the method for manufacturing the thermoelectric conversion element of the present disclosure is not limited to the following example.
  • thermoelectric conversion layer 2 made of the thermoelectric conversion material A is manufactured.
  • the method for producing the thermoelectric conversion layer 2 is, for example, the method described in Japanese Patent No. 6127281 or the corresponding US Patent Publication No. 2017/0117453.
  • a CuZn alloy layer is formed on the first surface 5a and the second surface 5b of the manufactured thermoelectric conversion layer 2.
  • a spark plasma sintering method (hereinafter, referred to as “SPS method”) can be used.
  • the method for forming the CuZn alloy layer is not limited to the SPS method.
  • a first intermediate layer 3a, a second intermediate layer 3b, a first electrode 4a, and a second electrode 4b are formed. It is presumed that the diffusion of Mg from the thermoelectric conversion layer 2 is involved in the formation of these layers and members.
  • a temperature of, for example, about 400 to 800 degrees Celsius is used in forming the CuZn alloy layer based on various methods including the SPS method.
  • thermoelectric conversion module An example of the thermoelectric conversion module of the present disclosure is shown in FIG. 2 includes an n-type thermoelectric conversion element 1 and a p-type thermoelectric conversion element 21.
  • the n-type thermoelectric conversion element 1 includes a first electrode 4a, a second electrode 4b, a first intermediate layer 3a, a second intermediate layer 3b, and a thermoelectric conversion layer 2 that is an n-type thermoelectric conversion unit. .
  • the n-type thermoelectric converter has a first surface 5a and a second surface 5b.
  • the second surface 5b is a surface opposite to the first surface 5a.
  • the first intermediate layer 3a is provided between the n-type thermoelectric converter and the first electrode 4a.
  • the first intermediate layer 3a is in contact with the n-type thermoelectric converter.
  • the first electrode 4a is in contact with the first intermediate layer 3a.
  • the second intermediate layer 3b is provided between the n-type thermoelectric converter and the second electrode 4b.
  • the second intermediate layer 3b is in contact with the n-type thermoelectric converter.
  • the second electrode 4b is in contact with the second intermediate layer 3b.
  • the p-type thermoelectric conversion element 21 includes a third electrode 23a, a fourth electrode 23b, and a p-type thermoelectric conversion unit 22.
  • the p-type thermoelectric converter 22 has a third surface 24a and a fourth surface 24b.
  • the fourth surface 24b is a surface opposite to the third surface 24a.
  • the p-type thermoelectric converter 22 is provided between the third electrode 23a and the fourth electrode 23b.
  • the third electrode 23a and the fourth electrode 23b are in contact with the p-type thermoelectric converter 22.
  • One electrode of the n-type thermoelectric conversion element 1 and one electrode of the p-type thermoelectric conversion element 21 are electrically connected to each other.
  • the first electrode 4a of the n-type thermoelectric conversion element 1 and the third electrode 23a of the p-type thermoelectric conversion element 21 are electrically connected to each other via the first external electrode 13a.
  • a conductive bonding material layer 12a is disposed between the first electrode 4a and the first external electrode 13a.
  • a conductive bonding material layer 12c is disposed between the third electrode 23a and the first external electrode 13a.
  • the second electrode 4b which is the other electrode of the n-type thermoelectric conversion element 1, is electrically connected to the second external electrode 13b via a conductive bonding material layer 12b.
  • the fourth electrode 23b which is the other electrode of the p-type thermoelectric conversion element 21, is electrically connected to the third external electrode 13c via a conductive bonding material layer 12d.
  • electric power can be extracted to the outside via the second external electrode 13b and the third external electrode 13c.
  • thermoelectric conversion element 21 A known element can be used for the p-type thermoelectric conversion element 21.
  • the configuration of the bonding material layers 12a, 12b, 12c, 12d is not limited as long as it has conductivity.
  • Known external electrodes can be used for the first external electrode 13a, the second external electrode 13b, and the third external electrode 13c.
  • thermoelectric conversion module 11 can be manufactured by a known method.
  • thermoelectric conversion module of the present disclosure can be used for various applications including, for example, the use of a conventional thermoelectric conversion module.
  • thermoelectric conversion element of the present disclosure will be described in more detail with reference to examples.
  • thermoelectric conversion element of the present disclosure is not limited to each mode shown in the following examples.
  • thermoelectric conversion material A (Preparation of sintered body) A sintered body composed of the thermoelectric conversion material A was manufactured as follows. The composition of the thermoelectric conversion material A was Mg 3.08 Sb 1.49 Bi 0.49 Te 0.02 .
  • particulate antimony (5.48 grams, 0.045 mole), and particulate bismuth (3.01 grams, 0.0144 mole) are produced by arc melting at a temperature in the range of 1000 to 1500 degrees Celsius. Was melted. Thus, an alloy of antimony (Sb) and bismuth (Bi) was obtained. Next, the obtained alloy was ground in a mortar to form SbBi powder.
  • magnesium powder (2.33 grams, 0.096 mole) and tellurium powder (0.0474 grams, 0.0006 mole) were added to the SbBi powder. Thereafter, the powders were mixed well.
  • the mixed powder was subjected to a tableting machine to form tablets.
  • the tablet was put into the carbon crucible.
  • the carbon crucible was filled with argon gas.
  • the tablet was heated at a temperature in the range of 800 to 1000 degrees Celsius for 10 seconds. The tablet melted upon heating to form an ingot.
  • the ingot was put into a mortar placed in a glove box filled with argon gas.
  • the ingot was ground in a mortar to form a powder of MgSbBiTe.
  • the formed powder had a particle size of 100 ⁇ m or less.
  • MgSbBiTe powder was sintered by the SPS method to form a sintered body.
  • Sintering by the SPS method was performed as follows. First, MgSbBiTe powder was filled into a cylindrical die made of graphite (ie, a sintered mold). The die had a 50 mm outer diameter and a 10 mm inner diameter. Filling was performed in a glove box filled with argon gas. Next, the die was housed in the chamber of the spark plasma sintering apparatus. The chamber was controlled in an argon atmosphere. Next, a pulse current was applied to the die by a sintering device while a pressure of 50 MPa was applied to the powder filled in the die.
  • thermoelectric conversion material A constituting the sintered body had a La 2 O 3 type crystal structure.
  • FIG. 3 shows an X-ray diffraction profile of the thermoelectric conversion material A obtained by the X-ray diffraction measurement.
  • CuK ⁇ rays were used for the X-ray diffraction measurement.
  • thermoelectric conversion material A constituting the sintered body was Mg 3.08 Sb 1.49 Bi 0.49 Te 0.02 .
  • the EDX spectrum of the thermoelectric conversion material A is shown in FIG.
  • an energy dispersive X-ray spectrometer for SEM (XFlash6
  • a field emission SEM (FE-SEM; SU8220, manufactured by Hitachi High-Technologies Corporation) was used as the SEM to be combined with the spectroscope.
  • CuZn alloy layers were formed on the upper surface (first surface) and the lower surface (second surface) of the sintered body by the SPS method.
  • the formation of the CuZn alloy layer by the SPS method was performed as follows.
  • the sintered body after polishing was housed in the cylindrical die used for producing the sintered body.
  • 0.336 g of CuZn powder was filled into the die from above.
  • CuZn powder was deposited on the first surface of the sintered body contained in the die.
  • the deposited CuZn powder was lightly pressed.
  • the die was turned over and the top and bottom surfaces of the die were swapped.
  • 0.336 g of CuZn powder was filled into the die from the top surface after replacement.
  • CuZn powder was deposited on the second surface of the sintered body contained in the die.
  • the deposited CuZn powder was lightly pressed.
  • the die was housed in the chamber of the spark plasma sintering apparatus.
  • the chamber was controlled in an argon atmosphere.
  • a pulse current was applied to the die by a sintering device while a pressure of 90 MPa was applied to the sintered body and the CuZn powder filled in the die.
  • a heating rate of 60 ° C./min was achieved.
  • the temperature was maintained for 15 minutes.
  • the heating of the die was then stopped by stopping the current.
  • a cylindrical sintered body having a CuZn alloy layer on the upper surface and the lower surface was taken out from the die.
  • the surface of the CuZn alloy layer in the taken out sintered body was polished with # 400 sandpaper. Polishing was performed in a glove box filled with argon gas. The height of the sintered body after polishing was 4.0 mm. Next, the sintered body after polishing was cut by a dicer to form a rectangular parallelepiped thermoelectric conversion element having a size of 3.5 mm in width, 3.5 mm in depth, and 4.0 mm in height.
  • FIG. 5A shows an SEM observation image of a portion of the cut surface located near the interface.
  • the result of the line analysis by EDX for the above part is shown in FIG. 5B.
  • the line analysis by EDX was performed along the line segment OX of the observed image shown in FIG. 5A.
  • FIG. 5B shows a change in composition based on the distance from point O in line segment OX.
  • the above-mentioned apparatus was used for SEM and EDX.
  • the portion located between the boundary M1 and the boundary M2 was a layer composed of Cu, Zn, and Mg and having a composition different from that of the electrode 4 and the sintered body 2. That is, formation of the intermediate layer 3 containing Cu, Zn, and Mg between the electrode 4 and the thermoelectric conversion layer 2 was confirmed. As shown in FIG. 5A, the electrode 4, the intermediate layer 3, and the thermoelectric conversion layer 2 were all dense layers.
  • thermoelectric conversion element the electric resistance between a pair of CuZn alloy layers in the formed thermoelectric conversion element was measured by a four-terminal method.
  • a Keithley 2400 source meter manufactured by Toyo Technica Co., Ltd. was used.
  • the measured electric resistance value was 16.4 m ⁇ .
  • the electrical resistivity ⁇ calculated from the measured electrical resistance value by the following equation was 50.2 ⁇ ⁇ m.
  • R is the electric resistance value between the CuZn alloy layers
  • A is the cross-sectional area of the thermoelectric conversion element (3.5 mm ⁇ 3.5 mm)
  • L is the height (4.0 mm) of the thermoelectric conversion element.
  • thermoelectric conversion element was manufactured in the same manner as in Example 1, except that the sintering temperature for forming the sintered body was changed to 500 degrees Celsius and the sintering time was changed to 15 minutes.
  • the evaluation based on the X-ray diffraction measurement confirmed that the thermoelectric conversion material A constituting the sintered body had a La 2 O 3 type crystal structure.
  • the evaluation based on EDX confirmed that the composition of the thermoelectric conversion material A constituting the sintered body was Mg 3.08 Sb 1.49 Bi 0.49 Te 0.02 , which was the same as in Example 1.
  • FIG. 6A shows an SEM observation image of a portion of the cut surface located near the interface.
  • the result of the line analysis by EDX for the above part is shown in FIG. 6B.
  • the line analysis by EDX was performed along the line segment OX of the observed image shown in FIG. 6A.
  • FIG. 6B shows a change in composition based on the distance from point O in line segment OX.
  • the portion located between the boundary M1 and the boundary M2 was a layer composed of Cu, Zn, and Mg and having a composition different from that of the electrode 4 and the thermoelectric conversion layer 2. That is, formation of the intermediate layer 3 containing Cu, Zn, and Mg between the electrode 4 and the thermoelectric conversion layer 2 was confirmed. As shown in FIG. 6A, the electrode 4, the intermediate layer 3, and the thermoelectric conversion layer 2 were all dense layers.
  • Example 1 The upper and lower surfaces of the columnar sintered body manufactured in the same manner as in Example 1 were polished with # 400 sandpaper. Polishing was performed in air. The height of the sintered body after polishing was 0.7 mm. Next, Ni layers were respectively formed on the upper surface (first surface) and the lower surface (second surface) of the sintered body by electrolytic plating. The thickness of each of the formed Ni layers was about 5 ⁇ m. Next, the sintered body having the Ni layer was cut by a dicer to form a rectangular parallelepiped thermoelectric conversion element having dimensions of 1.0 mm in width, 1.0 mm in depth, and 0.71 mm in height.
  • FIG. 7A shows an SEM observation image of a portion of the cut surface located near the interface.
  • the result of the line analysis by EDX for the above part is shown in FIG. 7B.
  • the line analysis by EDX was performed along the line segment OX of the observed image shown in FIG. 7A.
  • FIG. 7B shows a change in composition based on the distance from point O in line segment OX.
  • the portion located between the boundary M1 and the boundary M2 is composed of Mg, Sb, Bi, and Te, similarly to the thermoelectric conversion layer 51, but has an altered layer 52 having a completely different composition from the thermoelectric conversion layer 51. Met. More specifically, in the altered layer 52, the content of Mg was drastically reduced as compared with the thermoelectric conversion layer 51. Further, as shown in FIG. 7A, a large number of voids were confirmed in the altered layer 52. Judging from the composition and the formation of voids, it is estimated that the altered layer 52 was formed due to the diffusion and outflow of Mg from the thermoelectric conversion layer 51 near the interface.
  • thermoelectric conversion element the electric resistance between the pair of Ni layers and the electric resistivity ⁇ of the formed thermoelectric conversion element were measured in the same manner as in Example 1.
  • R in the above equation is the electrical resistance between the Ni layers
  • A is the cross-sectional area of the thermoelectric conversion element (1.0 mm ⁇ 1.0 mm)
  • L is the height of the thermoelectric conversion element ( 0.71 mm).
  • the measured electric resistance was 841 m ⁇ .
  • the obtained electric resistivity ⁇ was 1185 ⁇ ⁇ m.
  • thermoelectric conversion elements ⁇ ⁇ ⁇ The electrical resistance values between the electrodes and the electrical resistivity ⁇ in the thermoelectric conversion elements of Examples 1 and 2 and Comparative Example 1 are summarized in Table 1 below.
  • thermoelectric conversion elements of Examples 1 and 2 had a significantly lower electric resistance than the thermoelectric conversion element of Comparative Example 1.
  • thermoelectric conversion element of the present disclosure can be used for various uses including the use of a conventional thermoelectric conversion element.
  • thermoelectric conversion element 2 thermoelectric conversion layer 3 intermediate layer 3a first intermediate layer 3b second intermediate layer 4 electrode 4a first electrode 4b second electrode 5a first surface 5b second surface 11 thermoelectric conversion modules 12a, 12b , 12c, 12d bonding material layer 13a first external electrode 13b second external electrode 13c third external electrode 21 p-type thermoelectric conversion element 22 p-type thermoelectric conversion part 23a third electrode 23b fourth electrode 24a third surface 24b fourth surface 51 thermoelectric conversion layer 52 altered layer 53 Ni layer

Abstract

MgSbBiTe系熱電変換材料を用いた熱電変換素子に対して、低減された電気抵抗をより確実にもたらす新規な技術を提供する。本開示の熱電変換素子は、第1電極、第2電極、第1中間層、第2中間層、及び熱電変換層を備える。第1中間層は、熱電変換層及び第1電極の間に設けられており、第1中間層は、熱電変換層に接しており、第1電極は、第1中間層に接しており、第2中間層は、熱電変換層及び第2電極の間に設けられており、第2中間層は、熱電変換層に接しており、第2電極は、第2中間層に接しており、第1電極及び第2電極はCuZn合金により構成され、熱電変換層はMgSbBiTe系熱電変換材料により構成され、第1中間層の組成は、第1電極の組成及び熱電変換層の組成のいずれとも異なり、第2中間層の組成は、第2電極の組成及び熱電変換層の組成のいずれとも異なる。

Description

熱電変換素子及び熱電変換モジュール
 本開示は、熱電変換素子、及び熱電変換モジュールに関する。
 熱電変換材料と、熱電変換材料に接合した一対の電極とにより構成される熱電変換素子が知られている。n型の熱電変換材料により、n型の熱電変換素子が構築可能である。p型の熱電変換材料により、p型の熱電変換素子が構築可能である。n型の熱電変換素子とp型の熱電変換素子とを組み合わせた熱電変換モジュールにより、熱エネルギーの流入により生じた温度差に基づく発電が可能となる。
 非特許文献1は、MgAgSb系熱電変換材料と、当該材料に接合した一対のAg電極とにより構成される熱電変換素子を開示する。
 特許文献1は、MgSbBiTe系熱電変換材料を開示する。
特許第6127281号公報
D. Kraemer et.al., "High thermoelectric conversion efficiency of MgAgSb-based material with hot-pressed contacts", Energy Environ. Sci., 2015, 8, 1299-1308
 熱電変換素子における一対の電極間の電気抵抗が低いほど、当該素子を備える熱電変換モジュールの熱電変換性能が向上する。
 本開示は、MgSbBiTe系熱電変換材料を用いた熱電変換素子に対して、低減された電気抵抗をより確実にもたらす新規な技術を提供する。
 本開示は、以下の熱電変換素子を提供する。
 熱電変換素子であって、以下を具備する:
  第1電極;
  第2電極;
  第1中間層;
  第2中間層;及び、
  熱電変換層、
 ここで、
  前記第1中間層は、前記熱電変換層及び前記第1電極の間に設けられており、
  前記第1中間層は、前記熱電変換層に接しており、
  前記第1電極は、前記第1中間層に接しており、
  前記第2中間層は、前記熱電変換層及び前記第2電極の間に設けられており、
  前記第2中間層は、前記熱電変換層に接しており、
  前記第2電極は、前記第2中間層に接しており、
  前記第1電極及び前記第2電極は、CuZn合金により構成され、
  前記熱電変換層は、Mgを含有する熱電変換材料により構成され、
  前記熱電変換材料は、Sb及びBiからなる群より選ばれる少なくとも1種の元素を含有し、
  前記熱電変換材料は、Se及びTeからなる群より選ばれる少なくとも1種の元素を含有し、
  前記熱電変換材料は、La23型の結晶構造を有し、
  前記第1中間層の組成は、前記第1電極の組成、及び前記熱電変換層の組成のいずれとも異なり、かつ
  前記第2中間層の組成は、前記第2電極の組成、及び前記熱電変換層の組成のいずれとも異なる。
 本開示によれば、MgSbBiTe系熱電変換材料を用いた熱電変換素子に対して、低減された電気抵抗がより確実にもたらされる。
図1は、本開示の熱電変換素子の一例を示す模式図である。 図2は、本開示の熱電変換モジュールの一例を示す模式図である。 図3は、実施例1で作製された熱電変換材料のX線回折プロファイルを示すグラフである。 図4は、実施例1で作製された熱電変換材料のエネルギー分散型X線分析(以下、「EDX」と記載される)スペクトルを示すグラフである。 図5Aは、実施例1で作製された熱電変換素子の切断面に対する走査型電子顕微鏡(以下、「SEM」と記載される)による観察像である。 図5Bは、図5Aに示される切断面に対するEDXによる線分析の結果を示すグラフである。 図6Aは、実施例2で作製された熱電変換素子の切断面に対するSEMによる観察像である。 図6Bは、図6Aに示される切断面に対するEDXによる線分析の結果を示すグラフである。 図7Aは、比較例1で作製された熱電変換素子の切断面に対するSEMによる観察像である。 図7Bは、図7Aに示される切断面に対するEDXによる線分析の結果を示すグラフである。
 (参照による援用)
 特許第6127281号公報、及びこれに対応する米国公開特許第2017/0117453号は、本願に参照により援用される。
 (本開示の基礎となった知見)
 本発明者らの検討によれば、MgSbBiTe系熱電変換材料における電極との接合性は、当該材料に含有されるMgに大きな影響を受ける。より具体的には、MgSbBiTe系熱電変換材料では、当該材料に含有されるMgの拡散性の高さによって電極との接合性が低下しうる。非特許文献1に示されるMgAgSb系熱電変換材料では、電極との接合性に対するMgの影響について、何ら報告がない。本発明者らの更なる検討によれば、CuZn合金により構成される第1電極及び第2電極、並びに第1中間層及び第2中間層によって、MgSbBiTe系熱電変換材料における電極との接合性が向上する。この接合性の向上により、MgSbBiTe系熱電変換材料を用いた熱電変換素子に対して、低減された電気抵抗がより確実にもたらされる。
 (本開示の実施形態)
 以下、本開示の実施形態が、図面を参照しながら説明される。
 [熱電変換素子]
 本開示の熱電変換素子の一例が図1に示される。図1の熱電変換素子1は、熱電変換層2、第1中間層3a、第2中間層3b、第1電極4a、及び第2電極4bを備える。熱電変換層2は、第1面5a及び第2面5bを有する。第2面5bは、第1面5aと反対側の面である。第1中間層3aは、熱電変換層2及び第1電極4aの間に設けられている。第1中間層3aは、熱電変換層2に接している。第1電極4aは、第1中間層3aに接している。第2中間層3bは、熱電変換層2及び第2電極4bの間に設けられている。第2中間層3bは、熱電変換層2に接している。第2電極4bは、第2中間層3bに接している。
 図1の素子1において、熱電変換層2の形状は直方体である。ただし、熱電変換層2の形状は直方体に限定されない。図1の素子1において、熱電変換層2の第1面5aと第2面5bとは互いに平行である。ただし、第1面5aが第2面5bと接していない限り、互いに平行でなくてもよい。
 熱電変換層2は、Mgを含有する熱電変換材料Aにより構成される。熱電変換材料Aは、Sb、Bi、及びTeからなる群より選ばれる少なくとも1種類の元素を含有する。また、熱電変換材料Aは、Se及びTeからなる群より選ばれる少なくとも1種の元素を含有する。熱電変換材料Aは、La23型の結晶構造を有する。
 熱電変換材料Aは、式(I):Mg3+mab2-eeにより表される組成を有し、かつ、n型であってもよい。n型の熱電変換材料Aにより構成される熱電変換層2を備える素子1は、n型熱電変換素子である。
 式(I)におけるAは、Ca、Sr、Ba及びYbからなる群より選ばれる少なくとも1種の元素である。Bは、Mn及びZnからなる群より選ばれる少なくとも1種の元素である。Dは、Sb及びBiからなる群より選ばれる少なくとも1種の元素である。Eは、Se及びTeからなる群より選ばれる少なくとも1種の元素である。式(I)におけるmの値は、-0.39以上0.42以下の範囲にある。aの値は、0以上0.12以下の範囲にある。bの値は、0以上0.48以下の範囲にある。eの値は、0.001以上0.06以下の範囲にある。
 式(I)におけるeの値は、0.004以上0.020以下の範囲にあってもよい。この場合、素子1、及び素子1を備える熱電変換モジュールの熱電変換性能が向上可能である。
 式(I)のm、a及びbは、式(II):m=m’-a-bを満たしてもよい。式(II)におけるm’の値は、0以上0.21以下の範囲にある。式(II)におけるaの値、及びbの値からなる群より選ばれる少なくとも一方の値は、0(ゼロ)よりも大きい。この場合、素子1、及び素子1を備える熱電変換モジュールの熱電変換性能が向上可能である。
 式(I)におけるaの値、及びbの値は0(ゼロ)であってもよい。この場合、素子1、及び素子1を備える熱電変換モジュールの熱電変換性能が向上可能である。
 式(I)におけるDがSb及びBiであり、かつ、EがTeであってもよい。この場合、素子1、及び素子1を備える熱電変換モジュールの熱電変換性能が向上可能である。
 熱電変換材料Aは、特許第6127281号公報、又はこれに対応する米国公開特許第2017/0117453号に記載されており、かつ、式(I)の範囲内にある任意の組成をとりうる。
 第1電極4aは、CuZn合金により構成される。第2電極4bは、CuZn合金により構成される。第1電極4aの組成と、第2電極4bの組成とは、同一であっても異なっていてもよい。CuZn合金の組成は、例えば、重量比により表示して、Cu:Zn=99:1から57:43の範囲であり、68:32から63:37の範囲であってもよい。CuZn合金は、例えば11重量%以下の範囲で、Cu及びZn以外の他の金属元素を含んでいてもよい。CuZn合金は、黄銅に分類される合金であってもよい。なお、他の一般的な合金と同様に、CuZn合金における不純物の存在は許容される。
 第1電極4aは、第1面5aの少なくとも一部を覆うように、第1面5aに接合されている。第1電極4aは、第1面5aの全体を覆うように、第1面5aに接合されていてもよい。第2電極4bは、第2面5bの少なくとも一部を覆うように、第2面5bに接合されている。第2電極4bは、第2面5bの全体を覆うように、第2面5bに接合されていてもよい。
 第1電極4a及び第2電極4bの厚さ、及び形状は限定されない。
 第1中間層3aの組成は、第1電極4aの組成、及び熱電変換層2の組成(即ち、熱電変換材料Aの組成)のいずれとも異なっている。第2中間層3bの組成は、第2電極4bの組成、及び熱電変換層2の組成のいずれとも異なっている。第1中間層3aの組成と第2中間層3bの組成とは、同一であっても異なっていてもよい。
 第1中間層3a及び第2中間層3bは、例えば、Cu、Zn及びMgを含有する。この場合、Cuの含有率は、例えば、50重量%以上70重量%以下である。Znの含有率は、例えば、25重量%以上35重量%以下である。Mgの含有率は、例えば、0.1重量%以上25重量%以下である。第1中間層3a及び第2中間層3bがCu、Zn及びMgを含有する場合、Cu及びZnからなる群より選ばれる少なくとも1種の元素の含有率に比べてMgの含有率は小さくてもよい。第1中間層3a及び第2中間層3bは、熱電変換材料Aを構成する元素(Mgを除く)をさらに含有することがある。ただし、この場合において、第1中間層3a及び第2中間層3bにおけるこれらの元素の含有率は、通常、Mgの含有率に比べて小さい。第1中間層3a及び第2中間層3bは、熱電変換材料Aを構成する元素(Mgを除く)を含有しなくてもよい。
 第1中間層3aは、第1面5aの少なくとも一部を覆うように、第1面5aと第1電極4aとの間に配置されている。第1中間層3aは、第1面5aの全体を覆うように、第1面5aと第1電極4aとの間に配置されていてもよい。第2中間層3bは、第2面5bの少なくとも一部を覆うように、第2面5bと第2電極4bとの間に配置されている。第2中間層3bは、第2面5bの全体を覆うように、第2面5bと第2電極4bとの間に配置されていてもよい。
 第1中間層3a及び第2中間層3bの厚さは、例えば、0.1μm以上300μm以下であり、3μm以上30μm以下であってもよい。第1中間層3aの厚さと第2中間層3bの厚さとは、同一であっても異なっていてもよい。
 第1中間層3a及び第2中間層3bの形状は限定されない。
 本開示の熱電変換素子は、上述した以外の他の層、及び部材からなる群より選ばれる少なくとも一方を備えていてもよい。
 本開示の熱電変換素子の用途は限定されない。用途は、例えば、熱電変換モジュールである。
 (製造方法)
 本開示の熱電変換素子を製造する方法の一例が、以下に示される。ただし、本開示の熱電変換素子を製造する方法は、以下の例に限定されない。
 最初に、熱電変換材料Aにより構成される熱電変換層2が作製される。熱電変換層2の作製方法は、例えば、特許第6127281号公報、又はこれに対応する米国公開特許第2017/0117453号に記載されている方法である。
 次に、作製された熱電変換層2における第1面5a及び第2面5b上に、CuZn合金層が形成される。CuZn合金層の形成には、例えば、スパークプラズマ焼結法(以下、「SPS法」と記載される)が利用可能である。ただし、CuZn合金層を形成する方法は、SPS法に限定されない。CuZn合金層の形成過程において、第1中間層3a、第2中間層3b、第1電極4a、及び第2電極4bが形成される。これらの層、及び部材の形成には、熱電変換層2からのMgの拡散が関与していると推定される。Mgの拡散を考慮すると、SPS法をはじめとする各種の方法に基づくCuZn合金層の形成において、例えば、摂氏400から800度程度の温度が利用される。
 [熱電変換モジュール]
 本開示の熱電変換モジュールの一例が、図2に示される。図2の熱電変換モジュール11は、n型熱電変換素子1、及びp型熱電変換素子21を備える。
 n型熱電変換素子1は、第1電極4aと、第2電極4bと、第1中間層3aと、第2中間層3bと、n型熱電変換部である熱電変換層2とを備えている。n型熱電変換部は、第1面5aと、第2面5bとを有する。第2面5bは、第1面5aと反対側の面である。第1中間層3aは、n型熱電変換部及び第1電極4aの間に設けられている。第1中間層3aは、n型熱電変換部に接している。第1電極4aは、第1中間層3aに接している。第2中間層3bは、n型熱電変換部及び第2電極4bの間に設けられている。第2中間層3bは、n型熱電変換部に接している。第2電極4bは、第2中間層3bに接している。
 p型熱電変換素子21は、第3電極23aと、第4電極23bと、p型熱電変換部22とを備えている。p型熱電変換部22は、第3面24aと、第4面24bとを有する。第4面24bは、第3面24aと反対側の面である。p型熱電変換部22は、第3電極23a及び第4電極23bの間に設けられている。第3電極23a及び第4電極23bは、p型熱電変換部22に接している。
 n型熱電変換素子1における一方の電極と、p型熱電変換素子21における一方の電極とは、互いに電気的に接続されている。図2の例では、n型熱電変換素子1の第1電極4aと、p型熱電変換素子21の第3電極23aとが、第1外部電極13aを介して、互いに電気的に接続されている。第1電極4aと第1外部電極13aとの間には、導電性を有する接合材層12aが配置されている。第3電極23aと第1外部電極13aとの間には、導電性を有する接合材層12cが配置されている。また、n型熱電変換素子1の他方の電極である第2電極4bは、導電性を有する接合材層12bを介して、第2外部電極13bに電気的に接続されている。p型熱電変換素子21の他方の電極である第4電極23bは、導電性を有する接合材層12dを介して、第3外部電極13cに電気的に接続されている。熱電変換モジュール11では、第2外部電極13b及び第3外部電極13cを介して、外部への電力の取り出しが可能である。
 p型熱電変換素子21には、公知の素子が使用可能である。
 接合材層12a,12b,12c,12dの構成は、導電性を有する限り、限定されない。
 第1外部電極13a、第2外部電極13b、及び第3外部電極13cには、公知の外部電極が使用可能である。
 熱電変換モジュール11は、公知の方法により製造できる。
 本開示の熱電変換モジュールの用途は限定されない。本開示の熱電変換モジュールは、例えば、従来の熱電変換モジュールの用途を含む種々の用途に使用できる。
 以下、実施例を参照しながら、本開示の熱電変換素子がより詳細に説明される。ただし、本開示の熱電変換素子は、以下の実施例に示される各態様に限定されない。
 (実施例1)
  (焼結体の作製)
 熱電変換材料Aにより構成される焼結体が、以下のように製造された。熱電変換材料Aの組成は、Mg3.08Sb1.49Bi0.49Te0.02であった。
 最初に、粒状のアンチモン(5.48グラム、0.045モル)、及び粒状のビスマス(3.01グラム、0.0144モル)が、アーク熔解法により、摂氏1000から1500度の範囲の温度で熔解された。これにより、アンチモン(Sb)及びビスマス(Bi)の合金が得られた。次に、得られた合金が乳鉢中で粉砕されて、SbBiの粉末を形成した。
 次に、マグネシウム粉末(2.33グラム、0.096モル)、及びテルル粉末(0.0474グラム、0.0006モル)が、SbBiの粉末に添加された。その後、これらの粉末は十分に混合された。出発物質としてのMg、Sb、Bi及びTeのモル比は、Mg:Sb:Bi:Te=0.096:0.045:0.0144:0.0006、即ち、3.20:1.50:0.48:0.02であった。
 次に、混合された粉末が打錠機に供されて、タブレットを形成した。次に、タブレットがカーボン坩堝に投入された。カーボン坩堝は、アルゴンガスにより満たされた。次に、タブレットは、摂氏800から1000度の範囲の温度で、10秒間、加熱された。加熱によりタブレットが溶融されて、インゴットを形成した。
 次に、アルゴンガスにより満たされたグローブボックス内に置かれた乳鉢に、インゴットが投入された。インゴットが乳鉢内で粉砕されて、MgSbBiTeの粉末を形成した。形成された粉末は、100μm以下の粒径を有していた。
 次に、SPS法によりMgSbBiTe粉末が焼結されて、焼結体を形成した。SPS法による焼結は、以下のように実施した。最初に、MgSbBiTe粉末が、グラファイト製の円筒形のダイ(即ち、焼結型)に充填された。ダイは、50mmの外形及び10mmの内径を有していた。充填は、アルゴンガスにより満たされたグローブボックス内で実施された。次に、スパークプラズマ焼結装置のチャンバーにダイが収容された。チャンバーはアルゴン雰囲気に制御されていた。次に、ダイに充填された粉末に50MPaの圧力が印加されながら、焼結装置によってパルス電流がダイに印加された。電流の印加により、摂氏20度/分の昇温速度が達成された。焼結温度である摂氏600度にダイの温度が到達した後、当該温度が30分間維持された。次に、電流の停止により、ダイの加熱が停止された。ダイの温度が室温にまで低下した後、円柱状の焼結体がダイから取り出された。
 X線回折測定に基づく評価により、焼結体を構成する熱電変換材料AがLa23型の結晶構造を有することが確認された。X線回折測定により得た、熱電変換材料AのX線回折プロファイルが図3に示される。なお、X線回折測定には、CuKα線が使用された。
 EDXに基づく評価により、焼結体を構成する熱電変換材料Aの組成がMg3.08Sb1.49Bi0.49Te0.02であることが確認された。熱電変換材料AのEDXスペクトルが図4に示される。EDXには、SEM用エネルギー分散型X線分光器(Bruker社製、XFlash6|10)が使用された。上記分光器と組み合わせるSEMには、電界放出型SEM(FE-SEM;日立ハイテクノロジーズ社製、SU8220)が使用された。
  (CuZn合金層の形成)
 円柱状の焼結体の上面及び下面が、#400番のサンドペーパーにより研磨された。研磨は、アルゴンガスにより満たされたグローブボックス内で実施された。研磨後の焼結体の高さは3.5mmであった。
 次に、SPS法により、焼結体の上面(第1面)及び下面(第2面)に、それぞれCuZn合金層が形成された。SPS法によるCuZn合金層の形成は、以下のように実施した。
 最初に、研磨後の焼結体が、焼結体の作製に使用された円筒形のダイに収容された。次に、ダイを立てた状態で、0.336gのCuZn粉末が上面からダイに充填された。CuZn粉末は、ダイ内に収容された焼結体の第1面に堆積した。次に、堆積したCuZn粉末が軽く加圧された。次に、ダイがひっくり返されて、ダイの上面と下面とを入れ換えた。次に、ダイを立てた状態で、0.336gのCuZn粉末が入れ換え後の上面からダイに充填された。CuZn粉末は、ダイ内に収容された焼結体の第2面に堆積した。次に、堆積したCuZn粉末が軽く加圧された。CuZn粉末を構成する合金の組成は、Cu:Zn=65:35(重量比)であった。焼結体のダイへの収容、及びCuZn粉末のダイへの充填は、アルゴンガスにより満たされたグローブボックス内で実施された。
 次に、スパークプラズマ焼結装置のチャンバーにダイが収容された。チャンバーはアルゴン雰囲気に制御されていた。次に、ダイに充填された焼結体及びCuZn粉末に90MPaの圧力が印加されながら、焼結装置によってパルス電流がダイに印加された。電流の印加により、摂氏60度/分の昇温速度が達成された。焼結温度である摂氏600度にダイの温度が到達した後、当該温度が15分間維持された。次に、電流の停止により、ダイの加熱が停止された。ダイの温度が室温にまで低下した後、上面及び下面にCuZn合金層を有する円柱状の焼結体がダイから取り出された。
 次に、取り出された焼結体におけるCuZn合金層の表面が、#400番のサンドペーパーにより研磨された。研磨は、アルゴンガスにより満たされたグローブボックス内で実施された。研磨後の焼結体の高さは4.0mmであった。次に、研磨後の焼結体がダイサーにより切断されて、幅3.5mm、奥行3.5mm、及び高さ4.0mmの寸法を有する直方体状の熱電変換素子を形成した。
 形成された熱電変換素子の切断面における、焼結体とCuZn合金層との界面の近傍に位置する部分の状態がSEMにより評価された。また、焼結体とCuZn合金層との界面の近傍に位置する部分の組成が、EDXを用いた上記切断面の線分析により評価された。切断面における上記界面の近傍に位置する部分に対するSEMによる観察像が図5Aに示される。上記部分に対するEDXによる線分析の結果が図5Bに示される。EDXによる線分析は、図5Aに示される観察像の線分OXに沿って実施された。図5Bには、線分OXにおける点Oからの距離に基づく組成の変化が示される。SEM及びEDXには、上述の装置が使用された。
 図5A及び図5Bに示されるように、焼結体とCuZn合金層との界面の近傍において、組成が大きく変化する2つの境界M1及びM2が確認された。点Oと境界M1との間に位置する部分はCu及びZnにより構成され、即ち、電極4として機能するCuZn合金層であった。境界M2と点Xとの間に位置する部分は、Mg、Sb、Bi及びTeにより構成され、即ち、熱電変換部として機能する熱電変換層2であった。なお、小さな含有率に起因して、Teに対応するプロットは図5Bには明確に表現されていない。一方、境界M1と境界M2との間に位置する部分は、Cu、Zn及びMgにより構成されるとともに、電極4及び焼結体2とは異なる組成を有する層であった。即ち、電極4と熱電変換層2との間に、Cu、Zn及びMgを含有する中間層3の形成が確認された。図5Aに示されるように、電極4、中間層3及び熱電変換層2は、いずれも緻密な層であった。
 次に、形成された熱電変換素子における一対のCuZn合金層間の電気抵抗値が、四端子法により測定された。測定には、東陽テクニカ社製、ケースレー2400ソースメーターが使用された。測定された電気抵抗値は16.4mΩであった。また、測定された電気抵抗値から以下の式により求められた電気抵抗率ρは50.2μΩ・mであった。
 式:ρ=R×A/L
 上記式のRは、CuZn合金層間の電気抵抗値、Aは、熱電変換素子の断面積(3.5mm×3.5mm)、Lは、熱電変換素子の高さ(4.0mm)である。
 (実施例2)
 焼結体を形成する焼結温度が摂氏500度に変更されるとともに、焼結時間が15分間に変更された以外は、実施例1と同様にして、熱電変換素子が作製された。X線回折測定に基づく評価により、焼結体を構成する熱電変換材料AがLa23型の結晶構造を有することが確認された。また、EDXに基づく評価により、焼結体を構成する熱電変換材料Aの組成が、実施例1と同じMg3.08Sb1.49Bi0.49Te0.02であることが確認された。
 実施例1と同様に、形成された熱電変換素子の切断面における、焼結体とCuZn合金層との界面の近傍に位置する部分の状態がSEMにより評価された。また、焼結体とCuZn合金層との界面の近傍に位置する部分の組成が、EDXを用いた上記切断面の線分析により評価された。切断面における上記界面の近傍に位置する部分に対するSEMによる観察像が図6Aに示される。上記部分に対するEDXによる線分析の結果が図6Bに示される。EDXによる線分析は、図6Aに示される観察像の線分OXに沿って実施された。図6Bには、線分OXにおける点Oからの距離に基づく組成の変化が示される。
 図6A及び図6Bに示されるように、焼結体とCuZn合金層との界面の近傍において、組成が大きく変化する2つの境界M1及びM2が確認された。点Oと境界M1との間に位置する部分はCu及びZnにより構成され、即ち、電極4として機能するCuZn合金層であった。境界M2と点Xとの間に位置する部分は、Mg、Sb、Bi及びTeにより構成され、即ち、熱電変換部として機能する熱電変換層2であった。なお、小さな含有率に起因して、Teに対応するプロットは図6Bには明確に表現されていない。一方、境界M1と境界M2との間に位置する部分は、Cu、Zn及びMgにより構成されるとともに、電極4及び熱電変換層2とは異なる組成を有する層であった。即ち、電極4と熱電変換層2との間に、Cu、Zn及びMgを含有する中間層3の形成が確認された。図6Aに示されるように、電極4、中間層3及び熱電変換層2は、いずれも緻密な層であった。
 次に形成された熱電変換素子における一対のCuZn合金層間の電気抵抗値及び電気抵抗率ρが、実施例1と同様に評価された。測定された電気抵抗値は7.05mΩであった。また、求められた電気抵抗率ρは21.6μΩ・mであった。
 (比較例1)
 実施例1と同様に作製された円柱状の焼結体の上面及び下面が、#400番のサンドペーパーにより研磨された。研磨は、大気中で実施された。研磨後の焼結体の高さは0.7mmであった。次に、電解メッキにより、焼結体の上面(第1面)及び下面(第2面)に、それぞれNi層が形成された。形成された各Ni層の厚さは約5μmであった。次に、Ni層を有する焼結体がダイサーにより切断されて、幅1.0mm、奥行1.0mm、及び高さ0.71mmの寸法を有する直方体状の熱電変換素子を形成した。
 形成された熱電変換素子の切断面における、焼結体とNi層との界面の近傍に位置する部分の状態がSEMにより評価された。また、焼結体とNi層との界面の近傍に位置する部分の組成が、EDXを用いた上記切断面の線分析により評価された。切断面における上記界面の近傍に位置する部分に対するSEMによる観察像が図7Aに示される。上記部分に対するEDXによる線分析の結果が図7Bに示される。EDXによる線分析は、図7Aに示される観察像の線分OXに沿って実施された。図7Bには、線分OXにおける点Oからの距離に基づく組成の変化が示される。
 図7A及び図7Bに示されるように、焼結体とNi層との界面の近傍において、組成が大きく変化する2つの境界M1及びM2が確認された。点Oと境界M1との間に位置する部分はNiにより構成され、即ち、電極53として機能するNi層であった。境界M2と点Xとの間に位置する部分は、Mg、Sb、Bi及びTeにより構成され、即ち、熱電変換部として機能する熱電変換層51であった。なお、小さな含有率に起因して、Teに対応するプロットは図7Bには明確に表現されていない。一方、境界M1と境界M2との間に位置する部分は、熱電変換層51と同様にMg、Sb、Bi及びTeにより構成されるものの、熱電変換層51とは全く異なる組成を有する変質層52であった。より具体的には、変質層52では、熱電変換層51に比べてMgの含有率が激減していた。また、図7Aに示されるように、変質層52には多数の空隙が確認された。組成及び空隙の形成から判断すると、界面近傍における熱電変換層51からのMgの拡散及び流出により、変質層52が形成されたと推定される。
 次に、形成された熱電変換素子における一対のNi層間の電気抵抗値、及び電気抵抗率ρが、実施例1と同様に測定された。電気抵抗率ρの算出にあたり、上記式におけるRは、Ni層間の電気抵抗値、Aは、熱電変換素子の断面積(1.0mm×1.0mm)、Lは、熱電変換素子の高さ(0.71mm)とした。測定された電気抵抗値は841mΩであった。また、求められた電気抵抗率ρは1185μΩ・mであった。
 実施例1,2及び比較例1の熱電変換素子における電極間の電気抵抗値、及び電気抵抗率ρが、以下の表1にまとめられる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
 表1に示されるように、実施例1,2の熱電変換素子では、比較例1の熱電変換素子に比べて電気抵抗が大きく低減した。
 本開示の熱電変換素子は、従来の熱電変換素子の用途を含む種々の用途に使用できる。
 1 (n型)熱電変換素子
 2 熱電変換層
 3 中間層
 3a 第1中間層
 3b 第2中間層
 4 電極
 4a 第1電極
 4b 第2電極
 5a 第1面
 5b 第2面
 11 熱電変換モジュール
 12a,12b,12c,12d 接合材層
 13a 第1外部電極
 13b 第2外部電極
 13c 第3外部電極
 21 p型熱電変換素子
 22 p型熱電変換部
 23a 第3電極
 23b 第4電極
 24a 第3面
 24b 第4面
 51 熱電変換層
 52 変質層
 53 Ni層
 

Claims (8)

  1.  熱電変換素子であって、以下を具備する:
      第1電極;
      第2電極;
      第1中間層;
      第2中間層;及び、
      熱電変換層、
     ここで、
      前記第1中間層は、前記熱電変換層及び前記第1電極の間に設けられており、
      前記第1中間層は、前記熱電変換層に接しており、
      前記第1電極は、前記第1中間層に接しており、
      前記第2中間層は、前記熱電変換層及び前記第2電極の間に設けられており、
      前記第2中間層は、前記熱電変換層に接しており、
      前記第2電極は、前記第2中間層に接しており、
      前記第1電極及び前記第2電極は、CuZn合金により構成され、
      前記熱電変換層は、Mgを含有する熱電変換材料により構成され、
      前記熱電変換材料は、Sb及びBiからなる群より選ばれる少なくとも1種の元素を含有し、
      前記熱電変換材料は、Se及びTeからなる群より選ばれる少なくとも1種の元素を含有し、
      前記熱電変換材料は、La23型の結晶構造を有し、
      前記第1中間層の組成は、前記第1電極の組成、及び前記熱電変換層の組成のいずれとも異なり、かつ、
      前記第2中間層の組成は、前記第2電極の組成、及び前記熱電変換層の組成のいずれとも異なる。
  2.  請求項1に記載の熱電変換素子であって、
     前記熱電変換材料は、式(I):Mg3+mab2-eeにより表される組成を有し、かつ、n型である。
     ここで、
     前記式(I)におけるAは、Ca、Sr、Ba及びYbからなる群より選ばれる少なくとも1種の元素であり、
     Bは、Mn及びZnからなる群より選ばれる少なくとも1種の元素であり、
     Dは、Sb及びBiからなる群より選ばれる少なくとも1種の元素であり、
     Eは、Se及びTeからなる群より選ばれる少なくとも1種の元素であり、
     前記式(I)におけるmの値は、-0.39以上0.42以下の範囲にあり、
     aの値は、0以上0.12以下の範囲にあり、
     bの値は、0以上0.48以下の範囲にあり、かつ、
     eの値は、0.001以上0.06以下の範囲にある。
  3.  請求項2に記載の熱電変換素子であって、
     前記第1中間層及び前記第2中間層が、Cu、Zn及びMgを含有する。
  4.  請求項2又は3に記載の熱電変換素子であって、
     前記式(I)におけるeの値が、0.004以上0.020以下の範囲にある。
  5.  請求項2から4のいずれか1項に記載の熱電変換素子であって、
     前記式(I)のm、a及びbが、式(II):m=m’-a-bを満たす。
     ここで、
      前記式(II)におけるm’の値は、0以上0.21以下の範囲にあり、かつ、
      aの値及びbの値からなる群より選ばれる少なくとも一方の値は、0よりも大きい。
  6.  請求項2から4のいずれか1項に記載の熱電変換素子であって、
     前記式(I)におけるaの値及びbの値が0である。
  7.  請求項2から6のいずれか1項に記載の熱電変換素子であって、
     前記式(I)におけるDがSb及びBiであり、かつ、
     EがTeである。
  8.  熱電変換モジュールであって、以下を具備する:
      n型熱電変換素子;及び、
      p型熱電変換素子、
     ここで、
      前記n型熱電変換素子は、
       第1電極、
       第2電極、
       第1中間層、
       第2中間層、及び
       n型熱電変換部、を備え、
       前記第1中間層は、前記n型熱電変換部及び前記第1電極の間に設けられており、
       前記第1中間層は、前記n型熱電変換部に接しており、
       前記第1電極は、前記第1中間層に接しており、
       前記第2中間層は、前記n型熱電変換部及び前記第2電極の間に設けられており、
       前記第2中間層は、前記n型熱電変換部に接しており、
       前記第2電極は、前記第2中間層に接しており、
      前記p型熱電変換素子は、
       第3電極、
       第4電極、及び
       p型熱電変換部、を備え、
       前記p型熱電変換部は、前記第3電極及び前記第4電極の間に設けられており、
       前記第3電極及び前記第4電極は、前記p型熱電変換部に接しており、
      前記n型熱電変換素子における前記第1電極、又は前記第2電極と、前記p型熱電変換素子における前記第3電極、又は前記第4電極とは、互いに電気的に接続されており、かつ、
      前記n型熱電変換素子が、請求項1から6のいずれか1項に記載の熱電変換素子である。
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