WO2019239795A1 - シリンダ - Google Patents

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WO2019239795A1
WO2019239795A1 PCT/JP2019/019828 JP2019019828W WO2019239795A1 WO 2019239795 A1 WO2019239795 A1 WO 2019239795A1 JP 2019019828 W JP2019019828 W JP 2019019828W WO 2019239795 A1 WO2019239795 A1 WO 2019239795A1
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valve chamber
valve
chamber
region
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昌宏 吉見
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株式会社コスメック
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    • F16H25/00—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms
    • F16H25/08—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms for interconverting rotary motion and reciprocating motion
    • F16H25/12—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms for interconverting rotary motion and reciprocating motion with reciprocation along the axis of rotation, e.g. gearings with helical grooves and automatic reversal or cams

Definitions

  • This invention relates to a cylinder, and more particularly to a cylinder applied to a clamp or the like for fixing a clamp object.
  • Patent Literature 1 and Patent Literature 2 describe a pivoting clamp that pivots and lowers a clamp arm to fix a clamp object.
  • a clamp rod output member
  • the swivel clamp is provided with a motion detection device that detects the motion of the clamp rod.
  • the operation unit is integrally attached to one end of the clamp rod, and the operation unit opens and closes the inlet holes for pressure fluid supply provided at different positions in the vertical direction. Detect the position of the clamp rod.
  • Patent Document 2 discloses a structure in which the vertical movement of the clamp rod is once converted into a radial movement by an engagement ball, and further, the radial movement of the engagement ball is converted into a vertical movement of the valve body.
  • the valve element Provided at one end of the clamp rod. The valve element opens and closes the opening of the pressurized air passage provided in the vertical direction.
  • JP 2003-305626 A Japanese Patent Laying-Open No. 2015-20221
  • the operation portion slides on the periphery of the opening portion of the inlet hole when the operation portion opens and closes the inlet hole, it affects the performance of closing the inlet hole when used for a long time. There is a fear.
  • the opening of the pressurized air passage can be opened and closed by the vertical movement of the valve body without sliding as in Patent Document 1.
  • the valve element is not integrated with the clamp rod, and a mechanical element that transmits the movement of the clamp rod is interposed in the middle, so that the movement of the clamp rod itself is not necessarily detected. is there.
  • An object of the present invention is to directly and accurately detect the operation of the output member of the pivoting clamp.
  • a first valve chamber provided between the lower wall of the housing and the output member
  • a second valve chamber that is hollowed out toward the first valve chamber, and a valve rod that protrudes from the lower wall and is inserted into the second valve chamber.
  • a compressed air flow path formed between the first valve chamber and the second valve chamber is: Shielding area sealed by the seal part and released from the seal It is configured such areas release is present, the compressed air from one end of the compressed air flow path is supplied, the other end of the compressed air flow path, characterized in that it is open to the outside air.
  • the motion detection device used in the present invention is the same in that an operation portion is provided integrally with one end portion of the output member or the clamp rod, but it slides with respect to the inlet hole.
  • the configuration is to avoid as much as possible. For this reason, when the motion detection device is used for a long period of time, wear on the outer peripheral wall of the operating portion or the inner peripheral wall of the inlet hole can be reduced, and the size of the sliding gap formed between the operating portion and the inlet hole can be increased. You can maintain the period. Therefore, the operation of the clamp rod can be accurately detected. Further, since the operation unit directly opens and closes the valve, the movement of the output member itself can be detected without interposing a mechanical element that transmits the operation of the clamp rod as in Patent Document 2.
  • FIG. 1 is a cross-sectional view (unclamped state) of a swivel clamp according to a first embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a partial cross-sectional view of the swivel clamp shown in FIG. 1 (an intermediate state between the unclamped state and the clamped state).
  • FIG. 3 is a partial sectional view (clamped state) of the swivel clamp shown in FIG. 4 shows a second embodiment of the present invention, FIG. 4A shows an unclamped state, FIG. 4B shows a halfway state, and FIG. 4C shows a sectional view of the clamp device in a clamped state.
  • 5 shows a third embodiment of the present invention, FIG. 5A shows an unclamped state, FIG.
  • FIG. 5B shows an intermediate state
  • FIG. 5C shows a sectional view of the clamp device in a clamped state
  • 6 shows a fourth embodiment of the present invention
  • FIG. 6A shows an unclamped state
  • FIG. 6B shows a halfway state
  • FIG. 6C shows a sectional view of the clamp device in a clamped state
  • 7 shows Embodiment 5 of the present invention
  • FIG. 7A shows an unclamped state
  • FIG. 7B shows an intermediate state
  • FIG. 7C shows a sectional view of the clamp device in a clamped state
  • 8 shows a sixth embodiment of the present invention
  • FIG. 8A shows an unclamped state
  • FIG. 8B shows a halfway state
  • FIG. 8C shows a sectional view of the clamp device in a clamped state.
  • FIG. 9 is an exploded view of the cylinder device according to the seventh embodiment of the present invention.
  • FIG. 10 shows a seventh embodiment of the present invention
  • FIG. 10A shows a sectional view of the cylinder device in the ascending advance state
  • FIG. 10B shows the intermediate state
  • FIG. 10C shows the descending and retracting state.
  • 11 shows an eighth embodiment of the present invention, FIG. 11A shows an unclamped state, and FIG. 11B shows a sectional view of the clamp device in a clamped state.
  • the first valve chamber is provided below the output member, the second valve chamber is opened in the first valve chamber along the axis, and the first valve chamber projects from the lower wall of the first valve chamber. And a valve rod inserted into the second valve chamber.
  • the valve rod is provided with a valve rod passage having one end opened in the second valve chamber.
  • the output member moves up and down, the valve rod and the second valve chamber move relative to each other.
  • a compressed air passage through which compressed air passes is formed between the first valve chamber and the valve rod passage.
  • the compressed air is supplied to one end side (first valve chamber or valve rod passage) of the compressed air passage, and is exhausted to the outside air from the other end side (valve rod passage or first valve chamber) of the compressed air passage.
  • a seal portion is provided between the valve rod and the second valve chamber to shield the movement of compressed air.
  • the valve rod and the second valve chamber move relative to each other, there is a shielding region sealed by the seal portion and an open region released from the seal.
  • a gap is formed.
  • a compressed air flow path is constituted by the gap.
  • a bypass path that communicates from the first valve chamber to the valve rod passage is provided for the shielded area to be sealed, and a predetermined pressure loss due to the bypass path is provided for the areas above and below the position where the bypass path is provided. May be generated.
  • the housing 1 is fixed to a table T as a fixing base by a plurality of bolts (not shown).
  • the housing 1 includes an upper wall (front end wall) 1a, a lower wall (base end wall) 1b, a body wall 1c extending in the vertical direction, and a cylinder hole 2 formed inside the body wall 1c.
  • a part of the output member 5 penetrates the outside of the housing 1 through a cylindrical hole 3 formed in the upper wall 1 a of the housing 1.
  • the output member 5 is inserted into the cylindrical hole 3 in a tightly-sealed manner so as to be able to turn around the axis C and to be movable in the vertical direction (the direction of the axis C).
  • the arm 6 is fixed to the upper end portion of the output member 5.
  • the output member 5 includes a rod body 5a formed in order from the upper side, a piston portion 5b having a larger diameter than the rod body 5a, and a lower rod 5c.
  • the lower rod 5c is slidably inserted into a cylindrical hole (a bottomed insertion hole) 10a of the support cylinder 10 constituting a part of the lower wall 1b of the housing 1.
  • a turning mechanism 11 is provided across the lower rod 5c of the output member 5 and the upper part of the inner wall of the cylindrical hole 10a of the support cylinder 10.
  • the turning mechanism 11 includes a guide groove 12 and a ball (engagement tool) 15.
  • the guide groove 12 includes a spiral turning groove 13 and a rectilinear groove 14 connected upward.
  • the ball 15 is inserted into the guide groove 12.
  • the ball 15 is rotatably supported by a support hole 16 provided in the inner wall of the support cylinder 10.
  • the sleeve 17 is externally fitted so as to be rotatable around an axis.
  • a V-shaped groove 18 is formed on the inner peripheral surface of the sleeve 17, and the ball 15 can roll at two points above and below the V-shaped groove 18.
  • the support cylinder 10 is prevented from rotating on the body wall 1c of the housing 1 via a positioning pin 19 extending in the vertical direction, and the circumferential position (phase) of the output member 5 with respect to the housing 1 is adjusted.
  • a clamp chamber 30 is provided between the piston portion 5 b and the upper wall 1 a of the housing 1.
  • an unclamping chamber 31 is provided between the piston portion 5 b and the lower wall 1 b of the housing 1.
  • Clamping pressure fluid pressure oil, compressed air, etc.
  • the clamp chamber 30 is supplied to and discharged from the clamp chamber 30 through a supply / discharge passage 32 formed in the upper wall 1 a of the housing 1.
  • the unclamping pressure fluid is supplied / discharged to / from the unclamping chamber 31 via another supply / discharge passage 33 formed in the body wall 1 c of the housing 1.
  • the swivel clamp shown in FIG. 1 is in an unclamped state.
  • the pressure fluid is discharged from the clamp chamber 30, and the pressure fluid is supplied to the unclamp chamber 31 via the supply / discharge path 33.
  • the output member 5 is the upper limit position.
  • the pressure fluid is discharged from the unclamp chamber 31 via the supply / discharge passage 33, and the pressure fluid is supplied to the clamp chamber 30 via the supply / discharge passage 32.
  • the piston part 5b moves downward, the output member 5 is lowered while being swung in the clockwise direction along the swivel groove 13 in plan view. Subsequently, the output member 5 is lowered straight along the rectilinear groove 14 to be in a clamped state.
  • the swiveling clamp is switched from the clamped state to the unclamped state, if the pressure fluid in the clamp chamber 30 is discharged and the pressure fluid is supplied to the unclamp chamber 31, the output member 5 rises straight and then turns.
  • the lower wall 1b is provided with a cylindrical hole 10a into which a lower rod 5c constituting the lower side of the output member 5 is inserted.
  • the cylindrical hole 10a is a bottomed hole having a bottom portion 10b.
  • the motion detection device 20 includes a first valve chamber 21 provided between the bottom 10b of the cylindrical hole 10a and the lower surface 5d of the lower rod 5c, and a housing that is provided on the lower wall 1b and supplies compressed air to the first valve chamber 21.
  • the opening position of the housing passage 22 that opens to the first valve chamber 21 is preferably a position that does not interfere with the operation of the lower rod 5c.
  • one end side of the compressed air flow path formed between the first valve chamber 21 and the valve rod passage 10d is the first valve chamber 21 side.
  • the second valve chamber 23 can be divided into a first region 24, a second region 25, and a third region 26 in order from the bottom to the top depending on the inner diameter of the inner peripheral wall 23a.
  • the diameter of the second area 25 is the smallest, and the diameter of the third area 26 is the largest.
  • the first region 24 has an intermediate diameter.
  • a seal portion (O-ring) 27 is provided around the top of the valve rod 10c.
  • the gap (the sectional area of the gap around the axis C, hereinafter simply referred to as “gap”) changes.
  • the outer peripheral side of the seal portion 27 with respect to the axis C slightly protrudes outward in the radial direction from the outer peripheral wall 10e of the valve rod 10c.
  • the seal portion 27 is slightly separated from the inner peripheral wall 23 a of the second valve chamber 23.
  • the seal portion 27 is in contact with the inner peripheral wall 23a of the second valve chamber 23, and the effect of sealing the compressed air is exhibited (validated).
  • the seal portion 27 is separated from the inner peripheral wall 23 a of the second valve chamber 23.
  • the seal portion 27 has an effect of sealing the compressed air.
  • a throttle path (referred to as “throttle path 28”) is formed between the seal portion 27 and the second valve chamber 23 in the first region 24, and compression of the first valve chamber 21 is performed. Air is guided to the valve rod passage 10d through the throttle passage 28.
  • Fig. 2 shows the swivel clamp during the transition from the unclamped state to the clamped state.
  • the lower rod 5 c is further lowered, and the seal portion 27 reaches the third region 26.
  • a flow path 29 is formed between the seal portion 27 and the second valve chamber 23, and the compressed air in the housing flow path 22 is discharged to the outside through the flow path 29 and the valve rod passage 10d.
  • the throttle path 28 and the flow path 29 have different cross-sectional areas through which compressed air passes, and the flow path 29 is larger. For this reason, the pressure loss from the housing passage 22 to the valve rod passage 10d differs between the case through the throttle passage 28 and the case through the passage 29.
  • the pressure sensor (not shown) is provided for the housing passage 22 and detected, if the detected pressure when the seal portion 27 exists in the second region 25 is 0.2 MPa, In the unclamped state of the first region 24, the pressure is 0.15 MPa, and in the clamped state of the third region 26, the pressure is 0.0 MPa (back pressure is atmospheric pressure).
  • the position of the output member 5 can be detected by detecting the pressure with the pressure sensor.
  • the second valve chamber 23 is provided in the middle with the second region 25 in contact with the seal portion 27, so that the first region 24 is changed to the second region 25 or the second region 25 is changed to the third region 26.
  • the detection value of the pressure sensor when the seal part 27 moves can be greatly changed.
  • the second valve chamber 23 has no opening in the middle of the height, and the seal portion 27 does not slide through such an opening, so that the seal portion 27 has little influence on the sealing performance.
  • the seal portion 27 is in contact with the inner peripheral wall 23a of the second valve chamber 23 only when the clamp state is changed, and is present in the first region 24 or the third region 26 in most of the normal time. However, since it is not in a compressed and deformed state, the deterioration of the sealing performance is small.
  • the output member 5 turns around the axis C. At this time, since the seal portion 27 is separated from the valve rod 10c, the seal portion 27 is worn or damaged by the turning operation. Is prevented.
  • the second valve chamber 23 is divided into the first region 24, the second region 25, and the third region 26 in order from the bottom to the top depending on the inner diameter, but the order of the inner diameters is different. May be. For example, if the diameter is made smaller from bottom to top, there is an advantage that the second valve chamber 23 can be easily processed.
  • FIG. 4 shows another configuration example of the motion detection device 120. Similar to the second valve chamber 23 of the first embodiment, the second valve chamber 123 of the motion detection device 120 is divided into a first region 124, a second region 125, and a third region 126 in order from the bottom to the top depending on the inner diameter thereof. The second region 125 has the largest diameter, the third region 126 has the smallest diameter, and the first region 124 has an intermediate diameter. Other configurations are the same as those of the first embodiment.
  • the seal portion 127 has reached the third region 126, but the gap between the seal portion 127 and the second valve chamber 123 is closed.
  • the pressure detected by a pressure sensor (not shown) provided for the housing passage 22 when the position of the seal portion 127 is in the third region 126 is the highest, and next, the seal portion 127 is in the first region. This is when it exists at 124.
  • the seal portion 127 is in the second region 125, the pressure detected by the pressure sensor is the lowest.
  • since the seal portion 127 does not contact the inner peripheral wall 123a of the second valve chamber 123 in the second region 125, avoiding the seal portion 127 from sliding while the output member 5 is lowered. it can.
  • FIG. 5 shows a configuration example of the motion detection apparatus 220 according to the third embodiment.
  • the second valve chamber 223 of the motion detection device 220 is divided into a first region 224, a second region 225, and a third region 226 in order from the bottom according to the inner diameter thereof.
  • the second region 225 has the largest diameter
  • the third region 226 has the smallest diameter
  • the first region 224 has an intermediate diameter.
  • the valve rod 210c is made of an elastic body.
  • the valve rod 210c has a seal portion 227 with a large diameter over the entire circumference of the top of the head, and is different from the embodiments described so far in that the seal portion 227 is not a separate member by an O-ring.
  • the seal portion 227 reaches the third region 226, but the gap between the seal portion 227 and the second valve chamber 223 is closed.
  • the pressure detected by the pressure sensor is highest when the position of the seal portion 227 is in the third region 226, and is the next highest when the seal portion 227 is present in the first region 224.
  • the pressure detected by the pressure sensor is the lowest.
  • the first region 24, the second region 25, the third region 26, etc. are sequentially divided from the bottom to the top by the inner diameter on the second valve chamber 23 side, and the seal portion 27 of the valve rod 10c is located at any position.
  • the pressure loss is changed or the communication with the valve rod passage 10d is closed depending on the presence of the pressure loss.
  • the outer diameter on the valve rod 310 c side is changed in three steps from the bottom, and each of them is defined as a first region 324, a second region 325, and a third region 326
  • the second region 325 has the smallest outer diameter
  • the third region 326 has the largest outer diameter
  • the first region 324 has an intermediate outer diameter.
  • the seal portion 327 is provided on the inner peripheral wall 323a near the outlet on the second valve chamber 323 side.
  • the first valve chamber 321 and the second valve chamber 323 are closed by the third region 326 and the seal portion 327.
  • FIG. 6B when the lower rod 5c is lowered and the seal portion 327 reaches the second region 325, a gap is formed between the second valve chamber 323 and the valve rod 310c.
  • the seal portion 327 reaches the first region 324.
  • a gap between the seal portion 327 and the valve rod 310 c is narrower than the second region 325.
  • the gap with the seal portion 327 may be referred to as a simple flow path in relation to other paths, and the first area 324 is referred to as the throttle path.
  • the cross-sectional areas of the gaps are different, and the pressure loss is smaller in the flow path than in the throttle path.
  • the outer diameter of the shape of the inner peripheral wall 323a of the second valve chamber 323 and the shape of the outer peripheral wall 310e of the valve rod 310c are designed so that the pressure loss varies depending on the position of the lower rod 5c, or the first valve chamber 321 and the valve You may provide the seal part 327 which interrupts
  • FIG. 7 shows a configuration example of the motion detection apparatus according to the fifth embodiment.
  • the first valve chamber is provided for the region where the shielding by the seal portion 427 is effective, in order to generate different pressure losses when passing through the region.
  • a bypass passage 40 communicating from the valve rod passage 410d to the valve rod passage 410d is provided so that a predetermined pressure loss is caused by the bypass passage 40 in regions above and below the position where the bypass passage 40 is provided.
  • the valve rod 410c is divided into a first region 424 and a second region 425 by the outer diameter.
  • the first region 424 has an outer diameter smaller than that of the second region 425, and a gap is generated between the seal portion provided on the inner peripheral wall 423a side on the second valve chamber 423 side and the outer periphery of the valve rod.
  • the seal portion 427 provided on the inner peripheral wall of the second valve chamber 423 is located above the bypass path 40 in the second region 425 in the unclamped state of FIG. 7A.
  • the compressed air in the first valve chamber 421 is prevented from entering the second valve chamber 423 by the seal portion 427, but is guided to the valve rod passage 410d through the bypass passage 40.
  • FIG. 7B when the lower rod 5c is lowered and the seal portion 427 reaches the second region 425 below the bypass passage 40, the bypass passage 40 is formed between the first valve chamber 421 and the valve rod passage 410d. The communication between the first valve chamber 421 and the valve rod passage 410d is closed.
  • the seal portion 427 reaches the first region 424.
  • the valve rod 410c is not in contact with the seal portion 427, the sealing performance of the seal portion 427 is invalidated, and the first valve chamber 421 and the second valve chamber 423 are separated from the outer peripheral wall 410e. It communicates through a gap between the peripheral walls 423a.
  • the outer diameter of the valve rod 410c in the second region 425 is smaller than the inner diameter of the second valve chamber 423, the compressed air in the first valve chamber 421 reaches the valve rod passage 410d opened at the top of the valve rod 410c. .
  • FIG. 7 by setting the hole diameter of the bypass passage 40 so that the pressure loss from the first valve chamber 421 to the valve rod passage 410d is smaller than the pressure loss when passing through the bypass passage 40, FIG.
  • the unclamped state in FIG. 7 can be distinguished from the clamped state in FIG. 7C by the detection value of a pressure sensor (not shown).
  • the seal portion 427 slides on the bypass passage 40.
  • the hole diameter of the bypass passage 40 may be smaller than the opening for supplying compressed air
  • the performance of the seal portion 427 is improved. There is little impact.
  • the seal portion 427 has a double structure of an elastic body 427a and a spacer 427b having a small friction coefficient. By inserting the spacer 427b on the side in contact with the valve rod 410c, the performance as the seal portion 427 is improved. The influence can be further reduced.
  • FIG. 8 shows a configuration example of the motion detection apparatus 520 according to the sixth embodiment.
  • the sheath chamber 523 in which the lower rod 5c is opened in a hollow shape along the axis C downward does not have a function as a valve chamber through which compressed air flows.
  • the sheath chamber 523 provides a bag-like space in which a simple valve rod 510c is inserted and compressed air does not leak.
  • bypass passages 40a and 40b communicating from the first valve chamber 521 to the valve rod passage 510d are provided.
  • bypass passages 40a and 40b are provided vertically, and the lower rod 5c is moved up and down to block all or one of the bypass passages 40a and 40b from communicating with the first valve chamber 521 at the position of the seal portion 527. In this example, a predetermined pressure loss occurs.
  • the valve rod 510c is divided into a first region 524, a second region 525, and a third region 526 from the bottom to the top according to the positions of the bypass passages 40a and 40b.
  • the first area 524 is below the bypass path 40b
  • the second area 525 is between the bypass path 40a and the bypass path 40b
  • the second area 526 is above the bypass path 40a.
  • the bypass passages 40a and 40b penetrate the valve rod passage 510d from the outer peripheral wall of the valve rod 510c.
  • a seal portion 527 provided at the entrance of the sheath chamber 523 blocks direct communication between the first valve chamber 521 and the sheath chamber 523.
  • the seal portion 527 has a double structure of an elastic body 527a and a spacer 527b having a small friction coefficient.
  • the seal portion 527 is located in the third region 526 above the bypass path 40a.
  • the compressed air in the first valve chamber 521 is guided to the valve rod passage 510d through the bypass passages 40a and 40b.
  • FIG. 8B when the lower rod 5c is lowered and the seal portion 527 reaches the second region 525, it becomes impossible to communicate between the first valve chamber 521 and the valve rod passage 510d by the bypass passage 40a.
  • a communication state is established only by the bypass path 40b.
  • the seal portion 527 reaches the first region 524.
  • neither of the bypass passages 40a and 40b can communicate with the first valve chamber 521 and the valve rod passage 510d.
  • the pressure loss is changed by changing the number of bypass passages 40a and 40b communicating the first valve chamber 521 and the valve rod passage 510d. This pressure change can be distinguished by a detection value of a pressure sensor (not shown).
  • valve rod passage 510d provided in the length direction of the valve rod 510c is open toward the sheath chamber 523, but there is another passage for communicating the air in the sheath chamber 523 to the outside air.
  • the valve rod passage 510d does not have to play the role, so that it is not necessary to open toward the sheath chamber 523.
  • the cross-sectional area of the bypass path 40a and the cross-sectional area of the bypass path 40b may be the same or different.
  • FIGS. 9 and 10 show a configuration example of the motion detection device 620 according to the seventh embodiment.
  • the cylinder device shown in the seventh embodiment can be applied to both a push-type cylinder and a pull-type cylinder.
  • the first valve chamber 421 is used as a compressed air path.
  • the compressed air is a space provided between the bottom 10b of the lower wall 1b and the lower surface 5d of the lower rod 5c. 621 (corresponding to the first valve chamber of the previous embodiment) is not passed.
  • two systems of a first valve rod passage 53 and a second valve rod passage 54 are provided in the valve rod 50, one of which is on the compressed air supply side and the other on the discharge side.
  • FIG. 9 shows an exploded view in which the lower wall 1b of the housing 1 is disassembled from the upper wall 1a and the body wall 1c for ease of explanation.
  • the housing passage 22a is connected to the housing passage 22b.
  • a second valve chamber 623 is formed in the piston portion 5b and the rod body 5a constituting the output member 5.
  • the second valve chamber 623 can be divided into a first region 624, a second region 625, and a third region 626 in order from the bottom to the top depending on the inner diameter.
  • the diameter of the second region 625 is large, and the diameters of the first region 624 and the third region 626 are small.
  • the valve rod 50 protruding from the lower wall 1b is provided with a first valve rod passage 53 and a second valve rod passage 54 that are open toward the second valve chamber 623 in a coaxial manner.
  • the first valve rod passage 53 opens toward the bottom surface 623b of the second valve chamber 623, and the second valve rod passage 54 opens toward the inner peripheral wall 623a of the second valve chamber 623.
  • the valve rod 50 has a double structure in which the outer rod 52 is inserted into the inner rod 51, and the gap between the outer rod 52 and the inner rod 51 constitutes a second valve rod passage 54.
  • the tip of the inner rod 51 is out of the surrounding of the outer rod 52 and is exposed in an enormous shape to form the top 51a of the valve rod 50.
  • a pair of seal portions (O-rings) 55 and 56 are provided at different heights around the top 51a of the valve rod 50. Between the seal portion 55 and the seal portion 56, a bypass passage 40c is provided that penetrates from the first valve rod passage 53 toward the inner peripheral wall 623a of the second valve chamber. The seal portion 57 provided around the inlet of the second valve chamber 623 contacts the outer peripheral wall 610e of the outer rod 52 to seal the second valve chamber 623 from the space 621.
  • FIG. 10 shows an operation when the valve rod 50 and the second valve chamber 623 move relative to each other along the axis C.
  • the seal portion 55 is present at the position of the first region 624, and the second valve rod passage 54 is blocked by the seal portion 55 in the second valve chamber 623. And the communication to the 1st valve rod channel
  • the second valve rod passage 54 is not blocked by the seal portions 55 and 56, and the second valve rod passage 54 is second. It communicates with the valve chamber 623 side. Since the first valve rod passage 53 is open to the second valve chamber 623, the first valve rod passage 53 and the second valve rod passage 54 are in communication with each other.
  • the seal portion 56 reaches the third region 626 in the descending and retracting state of the output member 5 shown in FIG.
  • the second valve rod passage 54 is prevented from communicating with the second valve chamber 623 due to the blocking of the seal portion 56.
  • the bypass passage 40c is located between the seal portions 55 and 56 and is not shielded by the seal portion 55. Therefore, the first valve rod passage 53 and the second valve rod passage 54 are connected to the bypass passage 40c. It communicates with the passage narrowed by.
  • the restriction of the bypass passage 40c causes a predetermined pressure loss. In this way, the first region 624 is shielded, the second region 625 is in communication, the third region 626 is in a throttle state, and this pressure change can be distinguished by the detection value of a pressure sensor (not shown). it can.
  • the seal members 55 and 56 need not be a pair, but only one of the seal members 55 and 56 may be provided.
  • FIG. 11 shows a configuration example of the motion detection device 720 according to the eighth embodiment.
  • the outer diameter on the valve rod 710c side is changed in two steps from the bottom, and the first area 724 and the second area 725 are respectively set, the outer diameter of the first area 724 is the smallest, and the second area 725 Has the largest outer diameter.
  • the seal portion 727 is provided on the inner peripheral wall 723a near the outlet on the second valve chamber 723 side.
  • the seal portion 727 has a double structure of an elastic body and a spacer having a small friction coefficient.
  • the first valve chamber 721 and the second valve chamber 723 are closed by the second region 725 and the seal portion 727.
  • FIG. 11B when the lower rod 5c is lowered and the seal portion 727 reaches the first region 724, a gap is formed between the second valve chamber 723 and the valve rod 710c.
  • the second region 725 of the valve rod 710c has a gap with the second valve chamber 723 (it is difficult to see in the figure, but the gap is open), and the first valve chamber 721 and the second valve chamber 723 have a gap. There is communication between them.
  • each embodiment and each modification can be further modified as follows.
  • the one end side is the first valve chamber 21, 121, 221, 321, 421, 521 side, but the opposite is also possible.
  • one of the first valve rod passage 53 and the second valve rod passage 54 may be one end side of the compressed air flow path, and the other may be the other end side.
  • the first valve rod passage 53 and the second valve rod passage 54 are provided coaxially, but may not be coaxial.
  • the first valve rod passage 53 and the second valve rod passage 54 may be long holes drilled in the longitudinal direction inside the valve rod 50, and these long holes may not be parallel.
  • the output member 5 may be swung in a counterclockwise direction in a plan view when the clamp is driven, instead of being swung in a clockwise direction in the plan view.
  • the turning angle of the output member 5 can be set to a desired angle such as 90 degrees.
  • the output member 5 has the piston portion 5b as an integral unit.
  • the piston portion 5b is separated and the piston portion 5b is swiveled only in the up-and-down motion. You may make it not follow operation
  • the guide groove 12 includes the illustrated spiral turning groove 13 and linear rectilinear groove 14, but the rectilinear groove 14 may be omitted.
  • the double action type which supplies a pressure fluid to an unclamp chamber and a clamp chamber was shown, it may replace with this and a single action type may be sufficient.
  • the drive of the output member by pressure fluid was shown, an electric actuator may be sufficient.
  • various modifications can be made within a range that can be assumed by those skilled in the art.
  • a pressure sensor may be provided instead of providing a pressure sensor for measuring the pressure in the passage on the side where compressed air enters (for example, the housing passage 22 side), the side from which compressed air exits (for example, the valve rod passage 10d side) A pressure sensor may be provided.

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Abstract

旋回式クランプの出力部材自体の動作を直接的に検出することができる旋回動作を円滑にする。クランプは、シリンダ孔２に出力部材５が収容されている。ハウジング１の下壁１ｂと出力部材５の間には圧縮エアが供給される第１弁室２１が設けられている。第２弁室２３は、出力部材５をくりぬき状に第１弁室２１側に開放して設けられる。弁ロッド１０ｃは、下壁１ｂから第２弁室２３に挿入されている。弁ロッド１０ｃには、第２弁室２３を外気に連通する弁ロッド通路１０ｄが設けられ、弁ロッド１０ｃと第２弁室２３とが相対移動する周囲の隙間には、シール部２７が設けられている。弁ロッド１０ｃと第２弁室２３とが相対移動するときの移動の過程で、両者の隙間を圧縮エアが移動することに対してシール部２７によりシールされる領域と、シールから開放される領域が存在するように、前記隙間が形成されている。

Description

シリンダ
　この発明は、シリンダに関し、特に、クランプ対象物を固定するクランプ等に適用されるシリンダに関する。
　クランプアームを旋回させると共に下降させてクランプ対象物を固定する旋回式クランプが、例えば特許文献１や特許文献２に記載されている。この旋回式クランプにおいては、クランプアームを備えたクランプロッド（出力部材）が、ハウジング内に上下方向に移動可能に、かつ、軸心回りに旋回可能に挿入される。旋回式クランプには、クランプロッドの動作を検出する動作検出装置が設けられている。特許文献１の旋回式クランプにおいては、クランプロッドの一端部に対して一体的に操作部を取り付けて、上下に異なる位置に設けられた圧力流体供給用の入口孔を操作部が開閉することにより、クランプロッドの位置を検出する。また、特許文献２には、クランプロッドの上下動を係合ボールによって半径方向の動きに一旦変換させ、さらに、その係合ボールの半径方向への動きを弁体の上下動に変換させる構造をクランプロッドの一端部に設ける。その弁体が、上下方向に向けて設けられた加圧エア通路の開口部を開閉させている。
特開２００３－３０５６２６号公報 特開２０１５－２０２２１号公報
　特許文献１の動作検出装置では、入口孔を操作部が開閉する際に操作部が入口孔の開口部周縁で摺動するため、長時間使用した場合に入口孔を閉止する性能に影響をもたらす恐れがある。一方、特許文献２の動作検出装置では、特許文献１のように摺動することはせずに、弁体の上下動により加圧エア通路の開口部を開閉することができる。しかし、弁体はクランプロッドと一体化されておらず、クランプロッドの動作を伝達する機械要素が途中に介在しているため、必ずしもクランプロッドの動きそのものを検出しているのでは無いという問題がある。例えば、特許文献２では、弁体の破損等により弁体が作動不良を起こすと、クランプロッドが正常に動作していても、動作異常であると誤検出する。
  本発明の目的は、旋回式クランプの出力部材自体の動作を直接的かつ正確に検出することにある。
　本発明では、ハウジング内に設けられたシリンダ孔に収容され、圧力流体により上下に可動される出力部材を有するシリンダにおいて、前記ハウジングの下壁と前記出力部材の間に設けられた第１弁室と、前記出力部材をくりぬき状に前記第１弁室側に開放した第２弁室と、前記下壁から突出して第２弁室に挿入される弁ロッドと、を有し、前記弁ロッドには、前記第２弁室に向けて開口した弁ロッド通路が設けられ、前記弁ロッドと前記第２弁室との間であって、前記弁ロッドの外周壁側若しくは前記第２弁室の内周壁側にシール部が設けられ、前記弁ロッドと前記第２弁室とが相対移動するときに、前記第１弁室と前記第２弁室との間に形成される圧縮エア流路が、前記シール部によりシールされる遮蔽領域と、シールから開放される開放領域が存在するように構成され、前記圧縮エア流路の一端から圧縮エアが供給され、当該圧縮エア流路の他端が外気に開放されていることを特徴とする。
　本発明に用いられる動作検出装置は、特許文献１に示されるように、出力部材若しくはクランプロッドの一端部に対して一体的に操作部を設ける点は同じであるが、入口孔に対する摺動をできるだけ回避する構成とする。このため、動作検出装置を長期使用する場合において、操作部の外周壁もしくは入口孔の内周壁の摩耗を軽減でき、当該操作部と入口孔との間に形成された摺動隙間の寸法を長期間維持できる。従って、クランプロッドの動作を正確に検出できる。また、操作部が直接的に弁を開閉する点で、特許文献２のようなクランプロッドの動作を伝達する機械要素が途中に介在させずに、出力部材の動き自体が検出できるようにした。
図１は本発明の実施例１の旋回式クランプの断面図（アンクランプ状態）である。 図２は図１に示した旋回式クランプの部分断面図（アンクランプ状態とクランプ状態との間の途中状態）である。 図３は図１に示した旋回式クランプの部分断面図（クランプ状態）である。 図４は本発明の実施例２を示し、図４Ａはアンクランプ状態、図４Ｂは途中状態、図４Ｃはクランプ状態のクランプ装置の断面図を夫々示している。 図５は本発明の実施例３を示し、図５Ａはアンクランプ状態、図５Ｂは途中状態、図５Ｃはクランプ状態のクランプ装置の断面図を夫々示している。 図６は本発明の実施例４を示し、図６Ａはアンクランプ状態、図６Ｂは途中状態、図６Ｃはクランプ状態のクランプ装置の断面図を夫々示している。 図７は本発明の実施例５を示し、図７Ａはアンクランプ状態、図７Ｂは途中状態、図７Ｃはクランプ状態のクランプ装置の断面図を夫々示している。 図８は本発明の実施例６を示し、図８Ａはアンクランプ状態、図８Ｂは途中状態、図８Ｃはクランプ状態のクランプ装置の断面図を夫々示している。 図９は本発明の実施例７のシリンダ装置の分解図である。 図１０は本発明の実施例７を示し、図１０Ａは上昇進出状態、図１０Ｂは途中状態、図１０Ｃは下降退入状態のシリンダ装置の断面図を夫々示している。 図１１は本発明の実施例８を示し、図１１Ａはアンクランプ状態、図１１Ｂはクランプ状態のクランプ装置の断面図を夫々示している。
　本発明においては、出力部材の下側に第１弁室を設け、軸線に沿って第１弁室に出力部材をくりぬき状に開放した第２弁室と、第１弁室の下壁から突出して第２弁室に挿入される弁ロッドが設けられている。弁ロッドには、第２弁室に一端が開放された弁ロッド通路が設けられている。出力部材の上下動により、弁ロッドと第２弁室は相対移動する。このようにして、第１弁室と弁ロッド通路との間に圧縮エアが通過する圧縮エア流路が形成されている。圧縮エアは、圧縮エア流路の一端側（第１弁室若しくは弁ロッド通路）に供給され、圧縮エア流路の他端側（弁ロッド通路若しくは第１弁室）から外気に排気される。弁ロッドと第２弁室との間には、圧縮エアの移動を遮蔽するシール部が設けられている。弁ロッドと第２弁室とが相対移動するときに、このシール部によりシールされる遮蔽領域と、シールから開放される開放領域が存在するように、弁ロッドと第２弁室との間の隙間が形成されている。なお、本実施形態において、前記隙間によって圧縮エア流路が構成されている。
　シールから開放される開放領域においては、弁ロッドと第２弁室とが相対移動するときの移動の過程で、圧縮エアが弁ロッドと第２弁室の間を通過する際に異なる圧力損失を生じるように、隙間の断面積が異なる領域を設けても良い。
　また、シールされる遮蔽領域に対して、第１弁室から弁ロッド通路に連通するバイパス路を設けて、バイパス路が設けられた位置の上下の領域に対して、バイパス路による所定の圧力損失が生じるようにしても良い。
　尚、本明細書により「上」若しくは「下」と言う場合には、重力の方向を示すものでは無く、出力部材をハウジングに引き込む方向を「下」と呼び、ハウジングから繰り出す方向を「上」と呼ぶことにする。
　実施例１を図１～図３によって説明する。
　まず、図１に基づいて、まず、旋回式クランプの全体構造を説明する。固定台としてのテーブルＴにハウジング１が複数のボルト(図示せず)によって固定される。ハウジング１は、上壁（先端壁）１ａと下壁（基端壁）１ｂと上下方向へ延びる胴壁１ｃとその胴壁１ｃの内側に形成されたシリンダ孔２とを備える。
　ハウジング１の上壁１ａに形成された筒孔３を介して出力部材５の一部がハウジング１の外側に貫通している。出力部材５は、軸線Ｃ回りに旋回可能なように、かつ、上下方向（軸線Ｃの方向）に移動可能なように、筒孔３に保密状に挿入される。その出力部材５の上端部分にアーム６が固定される。
　出力部材５は、上側から順に形成されたロッド本体５ａとそのロッド本体５ａよりも大径となっているピストン部５ｂと下ロッド５ｃとを有する。その下ロッド５ｃが、ハウジング１の下壁１ｂの一部を構成する支持筒１０の筒孔（有底の挿入孔）１０ａに摺動可能に挿入される。
　出力部材５の下ロッド５ｃと支持筒１０の筒孔１０ａの内壁の上部とにわたって旋回機構１１が設けられる。その旋回機構１１は、ガイド溝１２とボール（係合具）１５とを備えている。ガイド溝１２は、螺旋状の旋回溝１３と直進溝１４とを上向きに連ねて構成される。ボール１５はガイド溝１２に挿入される。ボール１５は、支持筒１０の内壁に設けられた支持孔１６に回転可能に支持されている。スリーブ１７は軸心回りに回転自在に外嵌される。スリーブ１７の内周面にＶ字状の溝１８が形成され、そのＶ字状の溝１８の上下の二点でボール１５が転動可能である。
　支持筒１０が、上下方向へ延びる位置決めピン１９を介してハウジング１の胴壁１ｃに回り止めされ、ハウジング１に対する出力部材５の周方向の位置（位相）を合わせている。
　ピストン部５ｂとハウジング１の上壁１ａとの間にクランプ室３０が設けられる。また、ピストン部５ｂとハウジング１の下壁１ｂとの間にアンクランプ室３１が設けられる。クランプ用の圧力流体（圧油、圧縮エア等）が、ハウジング１の上壁１ａに形成された給排路３２を介してクランプ室３０に給排される。また、アンクランプ用の圧力流体が、ハウジング１の胴壁１ｃに形成された別の給排路３３を介してアンクランプ室３１に給排される。
　図１に図示された旋回式クランプは、アンクランプ状態である。クランプ室３０から圧力流体が排出されており、アンクランプ室３１へ給排路３３を介して圧力流体が供給されている。出力部材５は上限位置である。クランプ状態へ切換えるときには、アンクランプ室３１から給排路３３を介して圧力流体を排出し、クランプ室３０に給排路３２を介して圧力流体を供給する。ピストン部５ｂが下方へ移動すると、出力部材５が旋回溝１３に沿って平面視で時計回りの方向へ旋回されながら下降される。引き続いて、出力部材５は直進溝１４に沿って真っすぐに下降してクランプ状態となる。旋回式クランプをクランプ状態からアンクランプ状態へ切り換えるときには、クランプ室３０の圧力流体を排出すると共に、アンクランプ室３１へ圧力流体を供給すれば、出力部材５は真っすぐに上昇し、その後旋回する。
　下壁１ｂには、出力部材５の下側を構成する下ロッド５ｃが挿入される筒孔１０ａが設けられている。筒孔１０ａは底部１０ｂを有する有底の孔である。動作検出装置２０は、筒孔１０ａの底部１０ｂと下ロッド５ｃの下面５ｄとの間に設けられる第１弁室２１と、下壁１ｂに設けられ第１弁室２１に圧縮エアを供給するハウジング通路２２と、軸線Ｃに沿って下に向けて下ロッド５ｃをくりぬき状に開放した第２弁室２３と、底部１０ｂから突出して第２弁室２３に挿入される弁ロッド１０ｃと、弁ロッド１０ｃの頭頂部を第２弁室２３へ貫通して第２弁室２３を外気に連通する弁ロッド通路１０ｄとを具備している。第１弁室２１に開口するハウジング通路２２の開口設置位置は、下ロッド５ｃの動作に干渉されない位置が望ましい。このように本実施例においては、第１弁室２１と弁ロッド通路１０ｄとの間に形成される圧縮エア流路の一端側は、第１弁室２１側としている。
　第２弁室２３は、その内周壁２３ａの内径によって下から上に順に第１領域２４、第２領域２５、第３領域２６に分割することができる。第２領域２５の径が最も小さく、第３領域２６は最も径が大きい。第１領域２４は、両者中間の径を有している。弁ロッド１０ｃの頭頂部の周囲には、シール部（Ｏリング）２７が設けられている。弁ロッド１０ｃと第２弁室２３とが軸線Ｃに沿って相対的に移動するとき、シール部２７の位置における弁ロッド１０ｃの外周壁１０ｅと第２弁室２３の内周壁２３ａとの間の隙間（軸線Ｃ回りの隙間の断面積、以降単に「隙間」と称する）が変化する。軸線Ｃに対するシール部２７の外周側は、弁ロッド１０ｃの外周壁１０ｅよりも半径方向の外方に若干突出している。第１領域２４においては、シール部２７は第２弁室２３の内周壁２３ａとは若干離れている。第２領域２５においては、シール部２７は第２弁室２３の内周壁２３ａと接しており、圧縮エアをシールする作用が発揮（有効化）される。第３領域２６においては、シール部２７は第２弁室２３の内周壁２３ａとは離れている。これに対して、第１領域２４と第３領域２６においては、シール部２７は圧縮エアをシールする作用が無効化される。
　次に動作検出装置２０の動作について説明する。ハウジング通路２２から供給された圧縮エアは、第１弁室２１内に案内される。図１のアンクランプ状態のときにおいては、第１領域２４におけるシール部２７と第２弁室２３の間に絞り路（「絞り路２８」と称する）が形成され、第１弁室２１の圧縮エアは絞り路２８を介して弁ロッド通路１０ｄに案内される。
　アンクランプ状態からクランプ状態の移行の際の旋回式クランプを、図２に示す。下ロッド５ｃが下降することにより、シール部２７が第２領域２５に到達すると、第１弁室２１と弁ロッド通路１０ｄとの間の流路が遮断される。
　図３に示すクランプ状態においては、下ロッド５ｃがさらに下降し、シール部２７が第３領域２６に到達する。このとき、シール部２７と第２弁室２３との間に流路２９が形成され、ハウジング流路２２の圧縮エアが流路２９と弁ロッド通路１０ｄとを通って外部に排出される。絞り路２８と流路２９とでは、圧縮エアが通過する隙間の断面積が違っており、流路２９の方が大きい。このため、絞り路２８を介する場合と、流路２９を介する場合とでは、ハウジング通路２２から弁ロッド通路１０ｄに到る圧力損失が異なる。本実施例においては、ハウジング通路２２に対して圧力センサ（図示せず）を設けて検出した場合において、シール部２７が第２領域２５に存在するときの検出圧力を０．２ＭＰａとすると、第１領域２４のアンクランプ状態においては０．１５ＭＰａ、第３領域２６のクランプ状態においては０．０ＭＰａとなる（背圧は大気圧）。圧力センサにより、圧力を検出することにより、出力部材５の位置が検出できる。
　本実施例では、第２弁室２３がシール部２７と接触する第２領域２５を中間に設けたことにより、第１領域２４から第２領域２５へ、又は第２領域２５から第３領域２６へシール部２７が移動する際における圧力センサの検出値を大きく変化させることができる。また、第２弁室２３には高さ途中に開口が無く、シール部２７はそのような開口を摺動することが無いため、シール部２７のシール性能に与える影響は少ない。また、シール部２７は、クランプ状態が遷移するときのみしか第２弁室２３の内周壁２３ａに接することがなく、通常の大部分の時間において、第１領域２４若しくは第３領域２６に存在するものであって、圧縮変形した状態にないためシール性能の劣化は小さい。また、第１領域２４においては、出力部材５は、軸線Ｃ回りに旋回するが、その際にシール部２７は、弁ロッド１０ｃから離れているため、旋回動作によるシール部２７の摩耗や破損が防止される。
　上記実施例においては、第２弁室２３は、その内径によって下から上に順に第１領域２４、第２領域２５、第３領域２６に分割したが、内径の大きさは違う順番を採用しても良い。例えば、下から上に順に径が小さくなるようにすれば、第２弁室２３の加工がしやすいという利点がある。
　図４に、動作検出装置１２０の他の構成例を示す。
　動作検出装置１２０の第２弁室１２３は、実施例１の第２弁室２３と同様にその内径によって下から上に順に第１領域１２４、第２領域１２５、第３領域１２６に分割されており、第２領域１２５の径が最も大きく、第３領域１２６が最も径が小さく、第１領域１２４は、両者中間の径を有している点が異なる。他の構成は実施例１と同様である。
　次に動作検出装置１２０の動作について説明する。図４Ａのアンクランプ状態のときにおいては、第１弁室１２１の圧縮エアは、第１領域１２４におけるシール部１２７と第２弁室１２３の間の隙間を介して弁ロッド通路１１０ｄに案内される。図４Ｂに示すように下ロッド５ｃが下降し、シール部１２７が第２領域１２５に到達すると、第１弁室１２１と弁ロッド通路１１０ｄとの間の隙間が大きくなり、第１領域１２４のときよりも圧力損失が低減する。
　図４Ｃのクランプ状態においては、シール部１２７が第３領域１２６に到達しているが、シール部１２７と第２弁室１２３の間の隙間は閉塞される。本実施例においては、シール部１２７の位置が第３領域１２６であるときのハウジング通路２２に対して設ける圧力センサ（図示せず）の検出圧力が最も高く、次はシール部１２７が第１領域１２４に存在するときである。シール部１２７が第２領域１２５にあるときは、圧力センサの検出圧力が最も低くなる。本実施例においては、第２領域１２５において、シール部１２７が第２弁室１２３の内周壁１２３ａと接触しないので、出力部材５が下降中にシール部１２７が摺動を受けることを避けることができる。
　図５に、実施例３による動作検出装置２２０の構成例を示す。
　動作検出装置２２０の第２弁室２２３は、実施例２の第２弁室１２３と同様にその内径によって下から上に順に第１領域２２４、第２領域２２５、第３領域２２６に分割されており、第２領域２２５の径が最も大きく、第３領域２２６が最も径が小さく、第１領域２２４は、両者中間の径を有している。一方、弁ロッド２１０ｃは、弾性体で構成されている。弁ロッド２１０ｃは、頭頂部の周囲一周にわたって、径が膨大したシール部２２７を有しており、今まで述べた実施例とは、シール部２２７がＯリングによる別部材では無い点で相違する。図５Ａのアンクランプ状態のときにおいては、第１弁室２２１の圧縮エアは、第１領域２２４におけるシール部２２７と第２弁室２２３の間の隙間を介して弁ロッド通路２１０ｄに案内される。図５Ｂに示すように下ロッド５ｃが下降し、シール部２２７が第２領域２２５に到達すると、第２弁室２２３の内周壁２２３ａと弁ロッド２１０ｃとの間の隙間が大きくなり、第１領域２２４のときよりも圧力損失が低減する。
　図５Ｃのクランプ状態においては、シール部２２７が第３領域２２６に到達しているが、シール部２２７と第２弁室２２３の間の隙間は閉塞される。本実施例においては、シール部２２７の位置が第３領域２２６であるときの圧力センサの検出圧力が最も高く、シール部２２７が第１領域２２４に存在するときにその次に高くなる。シール部２２７が第２領域２２５にあるときは、圧力センサの検出圧力が最も低くなる。
　実施例１においては、第２弁室２３側の内径によって下から上に順に第１領域２４、第２領域２５、第３領域２６等と分割し、弁ロッド１０ｃのシール部２７がどの位置に存在するかにより、圧力損失を変化若しくは、弁ロッド通路１０ｄへの連通を閉塞するものであった。本実施例では、図６に示すように、弁ロッド３１０ｃ側の外径を下から３段階に変化させ、夫々を第１領域３２４、第２領域３２５、第３領域３２６とすると、第２領域３２５の外径が最も小さく、第３領域３２６が最も外径が大きく、第１領域３２４は、両者中間の外径を有している。シール部３２７は、第２弁室３２３側の出口近くの内周壁３２３ａに設けられている。
　図６Ａのアンクランプ状態のときにおいては、第３領域３２６とシール部３２７により第１弁室３２１と第２弁室３２３との間が閉鎖されている。図６Ｂに示すように下ロッド５ｃが下降し、シール部３２７が第２領域３２５に到達すると、第２弁室３２３と弁ロッド３１０ｃとの間の隙間が生じる。
　図６Ｃのクランプ状態においては、シール部３２７が第１領域３２４に到達している。シール部３２７と弁ロッド３１０ｃとの間の隙間は、第２領域３２５よりも狭くなっている。第２領域３２５の位置においてはシール部３２７との隙間は他の経路との関係で単なる流路と称しても良く、絞り路と称するのは第１領域３２４の方である。これらは、隙間の断面積が違っており、流路の方が絞り路よりも圧力損失は小さい。
　第２弁室３２３の内周壁３２３ａの形状及び弁ロッド３１０ｃの外周壁３１０ｅの形状を、下ロッド５ｃの位置によって圧力損失が異なるように外径を設計し、若しくは、第１弁室３２１と弁ロッド通路３１０ｄとの間を遮断するシール部３２７を第２弁室３２３側或いは弁ロッド３１０ｃ側に設けても良い。
　図７に、実施例５による動作検出装置の構成例を示す。
　上記実施例１は、シール部２７による遮蔽が無効になる領域においては、弁ロッド１０ｃと第２弁室２３とが相対移動するときに、圧縮エアが弁ロッド１０ｃと第２弁室２３の間を通過する際の異なる圧力損失を生じるように、隙間の断面積が異なる領域を設けた例であるが、本実施例ではシール部４２７による遮蔽が有効になる領域に対して、第１弁室４２１から弁ロッド通路４１０ｄに連通するバイパス路４０を設けて、バイパス路４０が設けられた位置の上下の領域に対して、バイパス路４０による所定の圧力損失が生じるようにした例である。
　本実施例においては、弁ロッド４１０ｃはその外径によって第１領域４２４、第２領域４２５に分割されている。第１領域４２４は、第２領域４２５よりも外径が小さく、第２弁室４２３側の内周壁４２３ａ側に設けられたシール部と弁ロッドの外周との間には隙間が生じている。
　第２領域においては、第２弁室４２３の内周壁４２３ａ側に設けられたシール部４２７に弁ロッド４１０ｃの外周壁が当接する。第２領域の高さ途中において弁ロッド４１０ｃの外周壁から弁ロッド通路４１０ｄに貫通するバイパス路４０を有している。
　図７Ａのアンクランプ状態のときにおいては、第２弁室４２３の内周壁に設けられたシール部４２７は、第２領域４２５のバイパス路４０よりも上側に位置している。第１弁室４２１の圧縮エアは、シール部４２７により第２弁室４２３側への進入を妨げられているが、バイパス路４０を通って弁ロッド通路４１０ｄに案内されている。図７Ｂに示すように下ロッド５ｃが下降し、シール部４２７がバイパス路４０よりも下側の第２領域４２５に到達すると、第１弁室４２１と弁ロッド通路４１０ｄとの間でバイパス路４０を介して連通することができなくなり、第１弁室４２１と弁ロッド通路４１０ｄとの間は閉塞する。
　図７Ｃのクランプ状態においては、シール部４２７が第１領域４２４に到達する。第１領域４２４では、弁ロッド４１０ｃはシール部４２７に接触しておらず、シール部４２７のシール性能は無効化され、第１弁室４２１と第２弁室４２３とは、外周壁４１０ｅと内周壁４２３ａの間の隙間を介して連通する。さらに、第２領域４２５における弁ロッド４１０ｃの外径は第２弁室４２３の内径よりも小さいため、第１弁室４２１の圧縮エアは弁ロッド４１０ｃの頭頂に開口した弁ロッド通路４１０ｄに到る。このとき第１弁室４２１から弁ロッド通路４１０ｄに到る圧力損失を、バイパス路４０を通した際の圧力損失よりも小さくなるようにバイパス路４０の孔径を設定しておくことにより、図７Ａにおけるアンクランプ状態と図７Ｃにおけるクランプ状態を圧力センサ（図示せず）の検出値により区別することができる。
　本実施例においては、バイパス路４０をシール部４２７が摺動することになるが、バイパス路４０の孔径は、圧縮エアを供給する開口よりも小さいもので良いため、シール部４２７の性能への影響を与えることは少ない。また、シール部４２７は、弾性体４２７ａと摩擦係数の小さいスペーサ４２７ｂとの２重構造として、弁ロッド４１０ｃと接触する側にスペーサ４２７ｂを挿入しておくことにより、シール部４２７としての性能への影響をさらに低減することができる。
　図８に、実施例６による動作検出装置５２０の構成例を示す。
　実施例６では、軸線Ｃに沿って下に向けて下ロッド５ｃをくりぬき状に開放した鞘室５２３は、圧縮エアが流通する弁室としての機能は有していない。鞘室５２３は、単なる弁ロッド５１０ｃが挿入され、圧縮エアが漏れないような袋状の空間を提供するものである。一方で、第１弁室５２１から弁ロッド通路５１０ｄに連通するバイパス路４０ａ、４０ｂを設けた。バイパス路４０ａ、４０ｂは上下に設けられており、下ロッド５ｃの上下動によりシール部５２７の位置を境にバイパス路４０ａ、４０ｂの全部、若しくは一方を第１弁室５２１との連通から遮断して、所定の圧力損失が生じるようにした例である。
　本実施例においては、弁ロッド５１０ｃはバイパス路４０ａ、４０ｂの位置によって下から上に第１領域５２４、第２領域５２５、第３領域５２６に分割されている。第１領域５２４はバイパス路４０ｂよりも下側で、第２領域５２５はバイパス路４０ａとバイパス路４０ｂの間で、第２領域５２６はバイパス路４０ａよりも上側である。バイパス路４０ａ、４０ｂは、弁ロッド５１０ｃの外周壁から弁ロッド通路５１０ｄに貫通している。鞘室５２３の入口に設けられるシール部５２７は、第１弁室５２１と鞘室５２３との直接の連通を遮断するものである。尚シール部５２７は、弾性体５２７ａと摩擦係数の小さいスペーサ５２７ｂとの２重構造である。
　図８Ａのアンクランプ状態のときにおいては、シール部５２７は、バイパス路４０ａよりも上側の第３領域５２６に位置している。第１弁室５２１の圧縮エアは、バイパス路４０ａ、４０ｂを通って弁ロッド通路５１０ｄに案内されている。図８Ｂに示すように下ロッド５ｃが下降し、シール部５２７が第２領域５２５に到達すると、バイパス路４０ａによる第１弁室５２１と弁ロッド通路５１０ｄとの間で連通することができなくなり、バイパス路４０ｂのみによる連通状態になる。
　図８Ｃのクランプ状態においては、シール部５２７が第１領域５２４に到達する。第１領域５２４では、バイパス路４０ａ、４０ｂのいずれも第１弁室５２１と弁ロッド通路５１０ｄとの間で連通させることができない。弁ロッド５１０ｃの上下にバイパス路４０ａ、４０ｂを設けることにより、第１弁室５２１と弁ロッド通路５１０ｄを連通させるバイパス路４０ａ、４０ｂの数を変化させることにより、圧力損失を変化させている。この圧力変化を圧力センサ（図示せず）の検出値により区別することができる。本実施例においては、バイパス路４０ａ、４０ｂは２つであったが複数個設けても良い。本実施例においては、弁ロッド５１０ｃの長さ方向に設けられた弁ロッド通路５１０ｄは、鞘室５２３に向けて開口しているが、鞘室５２３の空気を外気に連通する通路が他にあれば、弁ロッド通路５１０ｄがその役目をせずとも良いため、鞘室５２３に向けて開口する必要はない。本実施例において、バイパス路４０ａの断面積とバイパス路４０ｂの断面積とは、同程度でもよいし、異なる断面積でもよい。
　図９、図１０に、実施例７による動作検出装置６２０の構成例を示す。この実施例７に示すシリンダ装置は、プッシュ型シリンダおよびプル型シリンダの双方に適用可能となっている。実施例５においては、第１弁室４２１を圧縮エアの経路として使用していたが、本実施例では圧縮エアは下壁１ｂの底部１０ｂと下ロッド５ｃの下面５ｄとの間に設けられる空間６２１（先の実施例の第１弁室に相当）を経由しない。本実施例においては、弁ロッド５０内に第１の弁ロッド通路５３及び第２の弁ロッド通路５４の２系統を設けて、一方を圧縮エアの供給側、他方を排出側にしている。
　図９において、説明の容易化の為にハウジング１の下壁１ｂを、上壁１ａと胴壁１ｃから分解した分解図を示している。下壁１ｂを、上壁１ａと胴壁１ｃに連結したとき、ハウジング通路２２ａは、ハウジング通路２２ｂにつながる。出力部材５を構成するピストン部５ｂとロッド本体５ａとに、第２弁室６２３が形成される。その第２弁室６２３は、その内径によって下から上に順に第１領域６２４、第２領域６２５、第３領域６２６に分割することができる。第２領域６２５の径が大きく、第１領域６２４と第３領域６２６の径は小さい。
　下壁１ｂから突出した弁ロッド５０には、第２弁室６２３に向けて開口した第１の弁ロッド通路５３と第２の弁ロッド通路５４が同軸に設けられている。第１の弁ロッド通路５３は第２弁室６２３の底面６２３ｂに向けて開口し、第２の弁ロッド通路５４は第２弁室６２３の内周壁６２３ａに向けて開口している。弁ロッド５０は、外側ロッド５２が内側ロッド５１を内挿する２重構造であり、外側ロッド５２と内側ロッド５１との間隙が第２の弁ロッド通路５４を構成している。内側ロッド５１の先端が外側ロッド５２の包囲から外れて、膨大状に露出して弁ロッド５０の頭頂部５１ａを形成している。
　弁ロッド５０の頭頂部５１ａの周囲には、一対のシール部（Ｏリング）５５、５６が互いに違う高さに設けられている。シール部５５とシール部５６との間に、第１の弁ロッド通路５３から前記第２弁室の内周壁６２３ａに向けて貫通するバイパス路４０ｃが設けられている。第２弁室６２３の入口周囲に設けられたシール部５７は、外側ロッド５２の外周壁６１０ｅと当接して、第２弁室６２３を空間６２１からシールする。
　図１０は、弁ロッド５０と第２弁室６２３とが軸線Ｃに沿って相対的に移動するときの動作を示している。図１０Ａに示す出力部材５の上昇進出状態においては、シール部５５は、第１領域６２４の位置に存在しており、第２の弁ロッド通路５４はシール部５５の遮断により第２弁室６２３及び第１の弁ロッド通路５３側への連通が妨げられている。図１０Ｂに示す出力部材５の下降途中状態において、シール部５５およびシール部５６が第２領域６２５に到達すると、シール部５５、５６により遮断されることなく第２の弁ロッド通路５４は第２弁室６２３側へ連通する。第１の弁ロッド通路５３は、第２弁室６２３に開放されているから、第１の弁ロッド通路５３と第２の弁ロッド通路５４とが連通した状態である。
　図１０Ｃに示す出力部材５の下降退入状態においては、シール部５６が第３領域６２６に到達する。第３領域６２６では、第２の弁ロッド通路５４はシール部５６の遮断により第２弁室６２３側への連通が妨げられている。一方、バイパス路４０ｃは、シール部５５と５６の間にあり、シール部５５による遮蔽がされていないことから、第１の弁ロッド通路５３と第２の弁ロッド通路５４とは、バイパス路４０ｃにより通路を絞られた状態で連通する。バイパス路４０ｃの絞りは、所定の圧力損失を生じさせる。このようして、第１領域６２４では遮蔽状態、第２領域６２５では連通状態、第３領域６２６では絞り状態を作り、この圧力変化を圧力センサ（図示せず）の検出値により区別することができる。
　本実施例において、バイパス路を設けない場合は、上記の上昇進出状態若しくは下降退入状態の時に圧縮エア通路は遮断され、その途中においては開放状態になる。この場合、シール部材５５、５６は１対ではなく、シール部材５５、５６のいずれか１つのみ備えれば良い。
　図１１に、実施例８による動作検出装置７２０の構成例を示す。
　本実施例では、弁ロッド７１０ｃ側の外径を下から２段階に変化させ、夫々を第１領域７２４、第２領域７２５とすると、第１領域７２４の外径が最も小さく、第２領域７２５が最も外径が大きい。シール部７２７は、第２弁室７２３側の出口近くの内周壁７２３ａに設けられている。シール部７２７は、弾性体と摩擦係数の小さいスペーサとの２重構造である。
　図１１Ａの伸張状態のときにおいては、第２領域７２５とシール部７２７により第１弁室７２１と第２弁室７２３との間が閉鎖されている。図１１Ｂに示すように下ロッド５ｃが下降し、シール部７２７が第１領域７２４に到達すると、第２弁室７２３と弁ロッド７１０ｃとの間の隙間が生じる。弁ロッド７１０ｃの第２領域７２５は第２弁室７２３との間に隙間を有しており（図では見にくいが隙間が開いている。）、第１弁室７２１と第２弁室７２３との間が連通状態である。
　各実施形態や各変形例は、さらに次のように変更可能である。
　上記実施例においては、第１弁室２１、１２１、２２１、３２１、４２１、５２１と弁ロッド通路１０ｄ、１１０ｄ、２１０ｄ、３１０ｄ、４１０ｄ、５１０ｄ側との間に夫々形成される圧縮エア流路の一端側は、第１弁室２１、１２１、２２１、３２１、４２１、５２１側としているが、その逆でも良い。又、実施例７において、第１の弁ロッド通路５３、第２の弁ロッド通路５４のいずれかを圧縮エア流路の一端側とし、他方を他端側としてもよい。実施例７においては第１の弁ロッド通路５３及び第２の弁ロッド通路５４とが同軸に設けられていたが、同軸でなくても良い。例えば、第１の弁ロッド通路５３及び第２の弁ロッド通路５４とが弁ロッド５０の内部に縦方向に穿孔された長孔でもよく、またこれらの長孔が平行でなくてもよい。
　上記実施例においては、出力部材５は、クランプ駆動時に平面視で時計回りの方向へ旋回されることに代えて、そのクランプ駆動時に平面視で反時計回りの方向へ旋回されてもよい。また、上記出力部材５の旋回角度は、例えば９０度などの所望の角度に設定できることは勿論である。
また、出力部材５は、ピストン部５ｂを一体として有していたが、特許文献１に開示されたように、ピストン部５ｂを別体として、ピストン部５ｂは上下動作のみとして出力部材５の旋回動作に追従しないようにしても良い。
　また、ガイド溝１２は、例示した螺旋状の旋回溝１３と直線状の直進溝１４とによって構成されるが、直進溝１４を省略してもよい。さらに、アンクランプ室及びクランプ室に圧力流体を供給する複動式を示したが、これに代えて単動式であってもよい。また、圧力流体による出力部材の駆動を示したが、電動アクチュエータであってもよい。その他に、当業者が想定できる範囲で種々の変更を行えることは勿論である。
　各実施例において、圧縮エアが入る側（例えばハウジング通路２２側）に、経路中の圧力を測定する圧力センサを設けることに代えて、圧縮エアが出て行く側（例えば弁ロッド通路１０ｄ側）に圧力センサを設けるようにしてもよい。
　　１     ハウジング
　　１ａ     上壁
　　１ｂ     下壁
　　１ｃ     胴壁
　　２     シリンダ孔
　　３     筒孔
　　５     出力部材
　　５ａ     ロッド本体
　　５ｂ     ピストン部
　　５ｃ     下ロッド
　　５ｄ     下面
　　６     アーム
　１０     支持筒
　１０ａ     筒孔
　１０ｂ     底部
　１０ｃ、１１０ｃ、２１０ｃ、３１０ｃ、４１０ｃ、５１０ｃ、７１０ｃ     弁ロッド
　１０ｄ、１１０ｄ、２１０ｄ、３１０ｄ、４１０ｄ、５１０ｄ     弁ロッド通路
　１０ｅ、１１０ｅ、２１０ｅ、３１０ｅ、４１０ｅ、５１０ｅ、６１０ｅ     外周壁
　１１     旋回機構
　１２     ガイド溝
　１３     旋回溝
　１４     直進溝
　１５     ボール
　１６     支持孔
　１７     スリーブ
　１８     Ｖ字状の溝
　１９     ピン
　２０、１２０、２２０、３２０、４２０、５２０、６２０、７２０     動作検出装置
　２１、１２１、２２１、３２１、４２１、５２１、７２１　　 第１弁室
　２２、２２ａ、２２ｂ     ハウジング通路
　２３、１２３、２２３、３２３、４２３、６２３、７２３     第２弁室
　２３ａ、１２３ａ、２２３ａ、３２３ａ、４２３ａ、５２３ａ、６２３ａ、７２３ａ  内周壁
　２４、１２４、２２４、３２４、４２４、５２４、６２４、７２４     第１領域
　２５、１２５、２２５、３２５、４２５、５２５、６２５、７２５    第２領域
　２６、１２６、２２６、３２６、５２６、６２６     第３領域
　２７、１２７、２２７、３２７、４２７、５２７、７２７     シール部
　２８     絞り路
　２９     流路
　３０     クランプ室
　３１     アンクランプ室
　３２、３３     給排路
　４０、４０ａ、４０ｂ、４０ｃ     バイパス路
　５０     弁ロッド
　５１     内側ロッド
　５１ａ     頭頂部
　５２     外側ロッド
　５３     第１の弁ロッド通路
　５４     第２の弁ロッド通路
　５５、５６、５７     シール部
４２７ａ、５２７ａ     弾性体
４２７ｂ、５２７ｂ     スペーサ
５２３　　　鞘室
６２１　　　空間
６２３ａ　　内周壁
６２３ｂ　　底面
Ｃ     軸線
Ｔ     テーブル

Claims (6)

  1. ハウジング内に設けられたシリンダ孔に収容され、圧力流体により上下に可動される出力部材を有するシリンダにおいて、
    前記ハウジングの下壁と前記出力部材の間に設けられた第１弁室と、
    前記出力部材をくりぬき状に前記第１弁室側に開放した第２弁室と、
    前記下壁から突出して第２弁室に挿入される弁ロッドと、を有し、
    前記弁ロッドには、前記第２弁室に向けて開口した弁ロッド通路が設けられ、
    前記弁ロッドと前記第２弁室との間であって、前記弁ロッドの外周壁側若しくは前記第２弁室の内周壁側にシール部が設けられ、
    前記弁ロッドと前記第２弁室とが相対移動するときに、前記第１弁室と前記第２弁室との間に形成される圧縮エア流路が、前記シール部によりシールされる遮蔽領域と、シールから開放される開放領域が存在するように構成され、
    前記圧縮エア流路の一端から圧縮エアが供給され、当該圧縮エア流路の他端が外気に開放されていることを特徴とするシリンダ。
  2. 請求項１のシリンダにおいて、
    前記シールから開放される領域においては、前記弁ロッドと前記第２弁室とが相対移動するときの移動の過程で、圧縮エアが前記弁ロッドと前記第２弁室の間を通過する際に異なる圧力損失を生じるように、前記隙間の断面積が異なる領域が設けられることを特徴とするシリンダ。
  3. 請求項１のシリンダにおいて、
    前記シールされる領域に対して、前記第１弁室と前記弁ロッド通路とを連通するバイパス路を設けて、前記バイパス路が設けられた位置の上下の領域に対して、バイパス路による所定の圧力損失が生じるようにされていることを特徴とするシリンダ。
  4. ハウジング内に設けられたシリンダ孔に収容され、圧力流体により上下に可動される出力部材を有するシリンダにおいて、
    前記ハウジングの下壁と前記出力部材の間に設けられた第１弁室と、
    前記出力部材をくりぬき状に前記第１弁室側に開放した鞘室と、
    前記下壁から突出して鞘室に挿入される弁ロッドと、を有し、
    前記弁ロッドには、その長さ方向に弁ロッド通路が設けられ、
    前記弁ロッドの外周壁側若しくは前記第２弁室の内周壁側にシール部が設けられ、
    前記第１弁室と前記弁ロッド通路とを連通するバイパス路を上下に複数設けて、前記弁ロッドと前記第２弁室とが相対移動するときに、バイパス路による所定の圧力損失が生じるようにされていることを特徴とするシリンダ。
  5. ハウジング内に設けられたシリンダ孔に収容され、圧力流体により上下に可動される出力部材を有するシリンダにおいて、
    前記ハウジングの下壁から突出した弁ロッドと、
    前記出力部材をくりぬき状にして前記弁ロッドが挿入される第２弁室と、を有し、
    前記弁ロッドには、前記第２弁室に向けて開口した第１、第２の弁ロッド通路が設けられ、
    前記弁ロッドと前記第２弁室に一対のシール部が設けられ、
    前記弁ロッドと前記第２弁室とが相対移動するときに、前記第１、第２の弁ロッド通路との間に形成される圧縮エア流路が、前記シール部によりシールされる遮蔽領域と、シールから開放される開放領域とが存在するように構成され、
    前記圧縮エア流路の一端から圧縮エアが供給され、当該圧縮エア流路の他端が外気に開放されていることを特徴とするシリンダ。
  6. 請求項５のシリンダにおいて、
    前記弁ロッドにはさらに前記第１の弁ロッド通路から前記第２弁室の内周壁に向けて貫通するバイパス路が設けられ、
    前記シール部は、前記バイパス路の上下に設けられた一対のシール部であって、
    前記弁ロッドと前記第２弁室とが相対移動するときに、さらに前記バイパス路による所定の圧力損失が生じる領域が存在するように構成されていることを特徴とするシリンダ。
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114734277B (zh) * 2022-04-29 2022-12-30 江苏腾通包装机械有限公司 一种用于立式加工中心的工件固定装置

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0173169A1 (de) * 1984-08-22 1986-03-05 Applied Power Inc. Schwenkspanner
JPH09280211A (ja) * 1996-04-16 1997-10-28 Kosmek Ltd 流体圧シリンダ装置
JP2003305626A (ja) 2002-02-13 2003-10-28 Kosmek Ltd クランプの動作検出装置
JP2007268625A (ja) * 2006-03-30 2007-10-18 Aisin Aw Co Ltd クランプ装置およびこれを備えるマシニング装置
JP2012166276A (ja) * 2011-02-10 2012-09-06 Pascal Engineering Corp クランプ装置のロッド位置検出装置
JP2014108490A (ja) * 2012-12-03 2014-06-12 Pascal Engineering Corp 流体圧シリンダ及び旋回式クランプ装置
JP2015020221A (ja) 2013-07-16 2015-02-02 パスカルエンジニアリング株式会社 クランプ装置

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3572216A (en) * 1969-04-23 1971-03-23 Applied Power Ind Inc Fluid force applying device
SE430531B (sv) * 1980-07-10 1983-11-21 Atlas Copco Ab Tryckfluidumdriven cylinderanordning med endlegesindikering
US6427992B1 (en) * 1999-10-13 2002-08-06 Howa Machinery, Ltd. Clamping cylinder actuator
JP2003089027A (ja) * 2001-09-14 2003-03-25 Pascal Corp ツイスト式クランプ装置
JP4094339B2 (ja) * 2002-02-13 2008-06-04 株式会社コスメック 旋回式クランプ
JP5557630B2 (ja) * 2010-07-13 2014-07-23 パスカルエンジニアリング株式会社 クランプ装置
JP6017898B2 (ja) * 2012-09-10 2016-11-02 パスカルエンジニアリング株式会社 クランプ装置
CN203335517U (zh) * 2013-05-16 2013-12-11 宁波亚德客自动化工业有限公司 一种零回转行程的回转夹紧气缸
JP6298294B2 (ja) * 2013-12-12 2018-03-20 株式会社コスメック シリンダ装置
JP5989264B1 (ja) 2015-02-04 2016-09-07 三菱電機株式会社 半導体装置
CN206286843U (zh) * 2016-12-21 2017-06-30 宝钢特钢长材有限公司 一种适用于剪切机的夹紧缸
CN108044379A (zh) * 2018-01-16 2018-05-18 宁波丰州机械有限公司 旋转缸及工件加工***

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0173169A1 (de) * 1984-08-22 1986-03-05 Applied Power Inc. Schwenkspanner
JPH09280211A (ja) * 1996-04-16 1997-10-28 Kosmek Ltd 流体圧シリンダ装置
JP2003305626A (ja) 2002-02-13 2003-10-28 Kosmek Ltd クランプの動作検出装置
JP2007268625A (ja) * 2006-03-30 2007-10-18 Aisin Aw Co Ltd クランプ装置およびこれを備えるマシニング装置
JP2012166276A (ja) * 2011-02-10 2012-09-06 Pascal Engineering Corp クランプ装置のロッド位置検出装置
JP2014108490A (ja) * 2012-12-03 2014-06-12 Pascal Engineering Corp 流体圧シリンダ及び旋回式クランプ装置
JP2015020221A (ja) 2013-07-16 2015-02-02 パスカルエンジニアリング株式会社 クランプ装置

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