WO2019107079A1 - プローバ - Google Patents

プローバ Download PDF

Info

Publication number
WO2019107079A1
WO2019107079A1 PCT/JP2018/041002 JP2018041002W WO2019107079A1 WO 2019107079 A1 WO2019107079 A1 WO 2019107079A1 JP 2018041002 W JP2018041002 W JP 2018041002W WO 2019107079 A1 WO2019107079 A1 WO 2019107079A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
unit
inspected
led
chip
units
Prior art date
Application number
PCT/JP2018/041002
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
河西　繁
Original Assignee
東京エレクトロン株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 東京エレクトロン株式会社 filed Critical 東京エレクトロン株式会社
Priority to US16/767,226 priority Critical patent/US11125813B2/en
Priority to CN201880075345.XA priority patent/CN111373518B/zh
Priority to KR1020207017615A priority patent/KR102363777B1/ko
Publication of WO2019107079A1 publication Critical patent/WO2019107079A1/ja

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B45/00—Circuit arrangements for operating light-emitting diodes [LED]
    • H05B45/30—Driver circuits
    • H05B45/37—Converter circuits
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/26—Testing of individual semiconductor devices
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2855—Environmental, reliability or burn-in testing
    • G01R31/286—External aspects, e.g. related to chambers, contacting devices or handlers
    • G01R31/2863—Contacting devices, e.g. sockets, burn-in boards or mounting fixtures
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2855—Environmental, reliability or burn-in testing
    • G01R31/2872—Environmental, reliability or burn-in testing related to electrical or environmental aspects, e.g. temperature, humidity, vibration, nuclear radiation
    • G01R31/2874—Environmental, reliability or burn-in testing related to electrical or environmental aspects, e.g. temperature, humidity, vibration, nuclear radiation related to temperature
    • G01R31/2875—Environmental, reliability or burn-in testing related to electrical or environmental aspects, e.g. temperature, humidity, vibration, nuclear radiation related to temperature related to heating
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2855—Environmental, reliability or burn-in testing
    • G01R31/2872—Environmental, reliability or burn-in testing related to electrical or environmental aspects, e.g. temperature, humidity, vibration, nuclear radiation
    • G01R31/2874—Environmental, reliability or burn-in testing related to electrical or environmental aspects, e.g. temperature, humidity, vibration, nuclear radiation related to temperature
    • G01R31/2877—Environmental, reliability or burn-in testing related to electrical or environmental aspects, e.g. temperature, humidity, vibration, nuclear radiation related to temperature related to cooling
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2886—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
    • H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
    • H01L21/26—Bombardment with radiation
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67098—Apparatus for thermal treatment
    • H01L21/67115—Apparatus for thermal treatment mainly by radiation
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B45/00—Circuit arrangements for operating light-emitting diodes [LED]
    • H05B45/40—Details of LED load circuits

Definitions

  • the present invention relates to a prober that inspects the electrical characteristics of a device under test arranged in a matrix.
  • IC chips such as ICs (integrated circuits) are formed in a matrix on the surface of a semiconductor wafer (hereinafter referred to as "wafer") which is a substrate. Thereafter, with the state of the wafer before the IC chip is separated, a probe test is performed to apply a voltage to the chip to be inspected and check the electrical characteristics.
  • wafer semiconductor wafer
  • the temperature control of the wafer on which the chip to be inspected is formed is performed by the coolant channel or heater provided inside the mounting table, but it is difficult to miniaturize the coolant channel or heater, and the surface of the mounting table The entire temperature is adjusted, and the temperature of a plurality of IC chips formed on the wafer on the mounting table is uniformly adjusted.
  • the calorific value at the time of operation is increased. Therefore, in the probe test, when a voltage at mounting is applied to the chip to be inspected, the amount of heat generated from the chip to be inspected also becomes large. Thus, for example, when a probe test is performed in a high temperature environment, IC chips not inspected around the chip to be inspected are also exposed to heat loads of temperature rise by the heater and heat generated by inspection of the chip to be inspected. May cause a malfunction. Therefore, in the probe test, by applying a voltage lower than the voltage at the time of mounting to the chip to be inspected for inspection, the amount of heat generated from the chip to be inspected has to be suppressed. There was a problem that could not be found enough.
  • the present invention has been made under the circumstances described above, and an object of the present invention is to test a chip to be inspected in order to sequentially perform a probe test on a chip to be inspected arranged in a matrix on a substrate on a mounting table. Another object of the present invention is to provide a technology for reducing the heat load on the other test chip.
  • the prober of the present invention is a prober for sequentially testing the electrical characteristics of a plurality of test chips provided in a matrix on a substrate by a tester, A mounting table on which the substrate is mounted; A contactor sequentially contacting the electrode pads of the plurality of chips to be inspected; On the side opposite to the mounting surface of the mounting table described above, a plurality of LED units, each provided with one or more LEDs, provided to heat a plurality of areas where a plurality of chips to be inspected are located independently of each other When, At the time of inspection of the chip to be inspected, of the plurality of LED units, among the region of the chip to be inspected that is to be inspected and the peripheral region of the region, a region corresponding to at least the region of the chip to be inspected And a control unit for outputting a control signal to drive the LED unit.
  • the side opposite to the mounting surface of the mounting table on which the substrate on which the chips to be inspected are arranged is mounted.
  • a plurality of LED units are provided to individually heat the chips to be inspected. Then, at the time of the inspection of the chip to be inspected, at least a region corresponding to the chip to be inspected to be subjected to the inspection among the chips to be inspected to be inspected and the peripheral region of the region is heated. For this reason, it is possible to reduce the heat load on the chips to be inspected other than the chip to be inspected where the inspection is performed.
  • the prober according to the first embodiment will be described, but first, the wafer W on which a chip to be inspected is formed will be described.
  • the wafer W is formed, for example, in a disk shape having a diameter of 300 mm.
  • the area inside the peripheral edge 5 mm cut line on the surface of the wafer W is partitioned in a grid shape, for example, in which square areas D of 30 mm square are spread, as shown in FIG.
  • a rectangular IC chip 100 in which an IC or the like is configured is formed on the surface.
  • Each IC chip 100 is provided with an electrode pad 101 for supplying current to elements constituting the IC chip 100.
  • a voltage at mounting is applied to the electrode pad 101 to electrically Inspect the characteristics.
  • a part of the electrode pads 101 a in the IC chip 100 is connected to a temperature measurement element 102 such as a diode, which is used for temperature measurement. And when measuring the temperature of the to-be-tested chip
  • the inspection chip 100 the IC chip to be inspected and the IC chip not to be inspected are referred to as the inspection chip 100 without distinction.
  • the prober is provided with a housing 1 that constitutes an apparatus main body.
  • a Y stage 21 configured to be movable along a Y rail 211 extending in the Y direction (direction intersecting with FIG. 2).
  • an X stage 22 configured to be movable along an X rail 221 extending in the X direction (left and right direction in FIG. 2) is provided.
  • a ball screw mechanism (not shown) is juxtaposed to the Y stage 21 and the X stage 22, and the amount of rotation of the ball screw can be adjusted using a motor combined with an encoder. With this configuration, it is possible to accurately adjust the stop position of the Y stage 21 in the Y direction and the stop position of the X stage 22 in the X direction.
  • a Z moving unit 23 supported by a telescopic shaft 231 configured to be extensible and retractable in the Z direction (vertical direction) is provided on the X stage 22 . Furthermore, on the upper surface side of the Z moving unit 23, a mounting table 2 configured to be rotatable (movable in the ⁇ direction) around the Z axis on the Z moving unit 23 is provided.
  • the above-described Y stage 21, X stage 22, and Z moving unit 23 supported by the telescopic shaft 231 constitute the moving mechanism of this embodiment, and move the mounting table 2 in the X, Y, Z, and ⁇ directions. It can be done.
  • the area on which the mounting table 2 (the wafer W mounted on the mounting surface) is moved by the Y stage 21, the X stage 22, and the Z moving unit 23 is called a moving area.
  • the probe card 13 is located above the moving area. It is provided.
  • the probe card 13 is detachably attached to the top plate 12 of the housing 1.
  • the probe card 13 is configured as a printed circuit board (PCB), and an electrode group is formed on the upper surface side thereof. Further, an interface 41 for establishing electrical conduction between a terminal on the side of the tester 14 and the electrode group described above is interposed between the tester 14 and the probe card 13 disposed above the top plate 12. ing.
  • the interface 41 is configured as a pogo pin unit in which a large number of pogo pins 411 which are electrode portions are arranged so as to correspond to the arrangement position of the electrode group of the probe card 13.
  • the interface 41 is fixed to the tester 14 side, for example.
  • the tester 14 stores a data storage unit that stores, as inspection data, an electrical signal indicating the electrical characteristic of the chip to be inspected acquired through the probe card 13, or an electrical defect of the inspection chip 100 based on the inspection data.
  • a determination unit (not shown) for determining the presence or absence is provided.
  • the mounting table 2 will be described.
  • the area D covering the area on which the wafer W is to be mounted is divided in a grid shape, and 97 columns 11 (rows C1 to C11) and 11 rows (rows R1 to R11) It is divided into a plurality of 30 mm square rectangular regions D.
  • each area D will be described with the number attached to each area D in FIG.
  • the LED unit 3 is configured, for example, by arranging a plurality of LED light sources 31 and is configured to be capable of emitting light to the entire area of the area D on the lower surface of the wafer W mounted on the corresponding area D.
  • the LED unit 3 may be configured by one LED light source 31.
  • a cooling unit 32 is provided above the group of the LED units 3 in the mounting table 2.
  • the cooling unit 32 is made of, for example, a member such as quartz that transmits the light of the LED with little attenuation.
  • the refrigerant flow path 33 common to all the regions D is formed.
  • the refrigerant flow path 34 is connected to a refrigerant flow mechanism 34 provided with a cooling mechanism including a pump, a flow rate adjustment unit, a Peltier element, and the like.
  • the wafer W mounted on the mounting surface can be cooled by flowing a refrigerant such as water or Galden (registered trademark) at a predetermined flow rate through the refrigerant channel 33, for example.
  • a mounting plate 35 constituting a mounting surface is provided above the cooling unit 32 via an O-ring 36.
  • the mounting plate 35 is formed in a disk shape larger than the wafer W, for example, 310 mm in diameter as shown in FIG. 3, and is made of a material that transmits LED light such as quartz, for example.
  • the prober also includes a control unit 9 for controlling the operation of the prober. As shown in FIG. 5, the control unit 9 controls the lighting of the LED unit 3, the movement of the mounting table 2, the operation of pressing the probe needle against the chip 100 to be inspected, etc.
  • a main control unit 90 is provided to control. As a result, the main control unit 90 transmits, to the LED control unit 91, for example, information indicating the area where the test chip 100 to be inspected is placed.
  • this control circuit includes, for example, a diode matrix circuit 5 including LED units 3 arranged in vertical and horizontal directions, and a power supply unit 7 for supplying power to the diode matrix circuit 5. Furthermore, a column control unit 74 and a row control unit 75 for selecting the LED unit 3 to be lit in the diode matrix circuit 5 are provided.
  • Reference numeral 73 in FIG. 6 denotes a data processing unit (controller) including a one-chip CPU that outputs control signals for controlling the power supply unit 7, the column control unit 74, and the row control unit 75.
  • the portion of the drive circuit in the data processing unit 73, the column control unit 74, the row control unit 75, and the diode matrix circuit 5 corresponds to the LED control unit 91.
  • the power supply unit 7 includes an AC power supply 71, a power factor improvement circuit 721 for improving the power factor of high frequency power supplied to the load side, and a rectification smoothing circuit 722 for obtaining DC power from AC power. And a step-down chopper circuit 723 for adjusting the voltage of the DC power.
  • the AC power supply 71 supplies 50/60 Hz and 200 V AC power using, for example, a commercial AC power supply.
  • a commercial AC power supply for example, from the rectifying and smoothing circuit 722 provided in combination with the power factor improvement circuit 721 of the known interleave current continuous mode system, for example, DC power of 400 V is output.
  • the step-down chopper circuit 723 adjusts the DC current supplied from the rectifying and smoothing circuit 722 to DC power having a voltage in the range of 10 V to 400 V, for example.
  • the data processing unit 73 controls the duty control of the active filter in the power factor correction circuit 721 and the PMW control of the step-down chopper circuit 723.
  • the diode matrix circuit 5 will now be described.
  • the chip 100 to be inspected provided on the substrate is provided in each of the array regions in which four corners are missing in a so-called step-like manner among the matrix-like array regions of 11 rows and 11 columns.
  • Each LED unit 3 is provided in a matrix of 11 rows and 11 columns corresponding to the arrangement of the chips 100 to be inspected.
  • Each of the LED units 3 is also provided so that four corner portions are similarly dropped out of the matrix-like array region of 11 rows and 11 columns.
  • the diode matrix circuit 5 is composed of the LED units 3 arranged in this manner and drive circuits (drivers) for driving the respective LED units 3.
  • the drive circuit includes a transistor as a row switching unit provided for each row (row) and a transistor as a column switching unit provided for each column.
  • the transistors TrR1, TrR2... TrRn are assigned to the transistors in each row corresponding to the first row, the second row,..., The n-th row, and the transistors in each column have the first column, the second column
  • the symbols TrC1, TrC2... TrCn are assigned corresponding to the n th column, respectively.
  • the sign (numerical value) at the end of the transistor is described, but in the general description of the transistor, it is described as TrR or TrC without a sign at the end of the transistor. It shall be.
  • the cathode side of the LED unit 3 in each row is connected to the collector of the corresponding transistor TrR, and the emitter of each transistor TrR is grounded.
  • the base of each transistor TrR is supplied with a drive voltage by the row control unit 75, and each transistor TrR to be turned on is selected by the row control unit 75.
  • the anode side of the LED units in each row is connected to the collector of the corresponding transistor TrC, and the emitter of each transistor TrC is connected to the power supply unit 7.
  • the base of each transistor TrC is supplied with a drive voltage by the column control unit 74, and each transistor TrC to be turned on is selected by the column control unit 74.
  • a memory (not shown) is provided in the data processing unit 73 shown in FIG.
  • the number of the inspected chip 100 (area) to be inspected and the digital code corresponding to the transistors TrR and TrC for driving the LED unit 3 to be driven (lit) are stored in association with each other. It is done. Accordingly, when the main control unit 90 designates the number of the inspection target chip 100 to be inspected, the data processing unit 73 reads out the above-mentioned digital code corresponding to the inspection target chip 100 from the memory and executes the row control unit 75. And output to the column control unit 74. As a result, a selection signal (drive signal) is output from the row control unit 75 and the column control unit 74 to the transistors TrR and TrC, and the LED unit 3 corresponding to the chip 100 to be inspected is driven.
  • the prober also includes a temperature detection unit for measuring the temperature of the chip 100 to be inspected.
  • a temperature detection unit for measuring the temperature of the chip 100 to be inspected.
  • an intermediate connection unit electrically connected to two probe needles 131 in contact with an electrode pad 101 a connected to an element 102 for temperature measurement in a chip 100 to be inspected as shown in FIG.
  • the relay 81 is provided in the pogo pin 411 which is each.
  • Each relay 81 is configured to switch and transmit the potential of the electrode pad 101 a to the tester 14 side and to the temperature detection unit 8 side.
  • the potential of each electrode pad 101a is transmitted to the temperature detection unit 8 at a predetermined timing.
  • the element 102 for temperature measurement such as a diode generates a potential difference in accordance with a predetermined voltage applied to each electrode pad 101, but the potential difference differs depending on the temperature. Therefore, the temperature of the temperature measuring element 102 can be measured based on the potential difference between the electrode pads 101 a corresponding to the electrodes of the temperature measuring element 102. Further, since the temperature of the element 102 for temperature measurement is substantially the temperature of the chip 100 to be inspected, it can be said that the potential difference corresponds to the temperature of the chip 100 to be inspected. Then, in the prober, feedback is performed based on the temperature detected by the temperature detection unit 8, and PMW control of the step-down chopper circuit 723 is performed. Thus, the output of the power supply unit 7 is adjusted, and the light emission intensity of the LED unit 3 is controlled.
  • FIG. 9 shows a control circuit that performs feedback according to the detected temperature, performs PMW control of the step-down chopper circuit 723, and controls the output of the power supply unit 7.
  • the temperature detection unit 8 described above calibrates the constant current source so that a constant continuous flow flows, and the diode voltage at that time corresponds to the temperature.
  • the voltage is acquired by, for example, a voltage sensor.
  • the voltage value corresponding to the temperature information value passes through the filter 82, and then the adding unit 85 obtains a deviation from the set current value corresponding to the set temperature.
  • the deviation is input to the PID control unit 83, PID control is performed according to the deviation, and the duty ratio of the chopper operation in the step-down chopper circuit 723 via the duty ratio setting unit 84 according to the operation amount to be output. Is adjusted. Thereby, the voltage input to the diode matrix circuit 5 from the step-down chopper circuit 723 is adjusted, and the light emission intensity of the LED unit 3 in the area D selected by the diode matrix circuit 5 is adjusted to heat the corresponding area D The temperature is adjusted.
  • the filter 82, the adding unit 85, the PID control unit 83, and the duty ratio setting unit 84 are provided, for example, in the data control unit 73.
  • the main control unit 90 shown in FIG. 5 includes a program, a memory, and a data processing unit including a CPU, and the control unit 90 sends a control signal to each unit of the probe apparatus to perform a program inspection operation on the wafer W. Steps are incorporated.
  • the program is stored in a storage unit (not shown) such as a computer storage medium, such as a flexible disk, a compact disk, or an MO (magneto-optical disk), and installed in the control unit 91.
  • the wafer W is loaded into the housing 1 by an external transfer arm (not shown) and placed on the mounting table 2.
  • the areas D on the wafer W on which the chips to be inspected 100 are formed are mounted so as to be aligned with the areas D on the mounting table 2 side.
  • the mounting table 2 is raised, and the probe needle 131 is brought into contact with the electrode pad 101 of the chip 100 to be inspected which is on the wafer D, for example, over the area D49.
  • the refrigerant flows through the refrigerant channel 33.
  • driving power corresponding to the temperature setting value is supplied from the power supply unit 7 to the diode matrix circuit 5.
  • position information of the area on which the chip 100 is placed is transmitted from the main control unit 90 to the data processing unit 73.
  • a control signal for lighting the LED unit 3 at the position corresponding to the chip to be inspected first to the column control unit 74 and the row control unit 75 from the data processing unit 73 is output.
  • a voltage of 1 V is applied from the column control unit 74 to the transistor TrC6 for 10 milliseconds, as shown in FIG.
  • a voltage of 1 V is applied, for example, for 10 milliseconds from the low control unit 75 to the transistor TrR6.
  • the LED unit 3 corresponding to the area D49 is turned on, and the area D49 has a set temperature, For example, it is heated to 85 ° C. At this time, in the area D other than the area D49, the refrigerant is cooled.
  • an electric signal is supplied from the tester 14 to the chip under test 100 at the position of the area D49 through the intermediate ring 41, the probe card 13 and the probe needle 131. Conduct an inspection of electrical characteristics.
  • a voltage at mounting is applied to the chip 100 to be inspected at the position of the region D49 and heat is generated.
  • feedback control is performed based on the temperature detected by the temperature detection unit 8, the drive power supplied from the power supply unit 7 is adjusted, and the temperature of the region D49 is, for example, 85.degree. It is controlled to become
  • the heat load due to the heat generation of the inspected chip 100 is applied also to the area D other than the area D49, the temperature does not rise in these areas D because the LED unit 3 is not turned on, and the cooling is further performed by the refrigerant. Because it is done, it will be cooled quickly. Therefore, no heat load corresponding to the temperature of the area D49 is applied to the test chip 100 placed in the area D other than the area D49.
  • the mounting table 2 (wafer W) is sequentially moved with respect to the probe card 13 using the movement mechanism, and then the inspection target chip 100 to be inspected, for example, the probe needle 131 above the inspection target chip 100 at the position of the area D50.
  • the probe needle 131 is brought into contact with the electrode pad 101 of the chip 100 to be inspected at the position of the region D50.
  • a drive current is applied from the column control unit 74 and the row control unit 75 to the transistors TrR7 and TrC6, that is, the transistors TrR7 and TrC6 are selected, and the LED unit 3 corresponding to the area D50 is lit. .
  • the region D50 is heated to the set temperature.
  • the LED unit 3 corresponding to the area D49 is turned off, and the area D49 is cooled by the refrigerant. Then, while the region D50 is heated, an electrical signal is supplied from the tester 14 to the test chip 100 at the position of the region D50 via the probe needle 131, and the electrical characteristics are inspected.
  • the same operation is repeated on the electrode pads 101 of each of the test chips 100 formed in large numbers on the wafer W to perform inspections in order, and to change the LED units 3 for emitting light in order.
  • the temperature control of the target chip 100 to be inspected is sequentially performed.
  • each chip to be inspected 100 is set on the opposite side to the mounting surface of the chip to be inspected 100 of the mounting table 2
  • the LED units 3 are provided so as to heat each of the areas D separately. Then, at the time of the inspection of the chip to be inspected 100, only the region D corresponding to the chip to be inspected 100 to be inspected is heated. For this reason, it is possible to reduce the heat load on the tested chip 100 other than the tested chip 100 being tested.
  • the diode matrix circuit 5 as shown in FIG. 6 is configured, and the transistor is selected by each column unit and row unit to select the LED unit 3 to be lit. ing. Therefore, since it is not necessary to provide an individual circuit such as a driver circuit for lighting the LED unit 3 for each LED unit 3, the circuit can be miniaturized, and the apparatus can be miniaturized.
  • the inspection of a plurality of chips to be inspected 100 is simultaneously performed, at least the chips to be inspected in which the inspection is performed among the area D on which the inspection chip 100 is mounted and the area D around the area D. Control may be performed to drive the LED unit 3 in the area corresponding to the area D of 100.
  • the regular hexagonal area D may be arranged in a honeycomb shape.
  • Such a regular hexagonal area D is also included in the form of a matrix even in the case of a configuration in which the areas D are arranged in a honeycomb shape.
  • the directions of arrows C1 to C5 in FIG. 12 may be columns, and the directions of arrows R1 to R5 may be rows.
  • the present invention may be applied to a prober which performs inspection by, for example, placing the inspection target chips 100 subjected to cutting (dicing) in a matrix on a substrate such as a glass substrate.
  • tip 100 was mounted may form a temperature gradient with the temperature of the area
  • the area on which the chip 100 to be inspected is mounted is most affected by the heat generation of the chip 100 to be inspected, and a thermal load is applied.
  • the heat load decreases with the distance (the distance from the center of the region D). Therefore, for example, when the chip 100 to be inspected is located in the area D49, the area D49 is subjected to a large heat load next to the area D49, the area D48, the area D48, the area D50 and the area D60 adjacent to the area D49 in the row and column directions.
  • the regions D37, D39, D59, and D61 are farther from the region D49 than the regions D38, D48, D50, and D60. Therefore, the heat load received by the heat generation of the test chip 100 in the area D37, the area D39, the area D59, and the area D61 is lower than that of the area D38, the area D48, the area D50, and the area D60.
  • the heating temperature of the area D49 is lowered and then the heating temperatures of the area D38, the area D48, the area D50 and the area D60 are set. Set low. Furthermore, the temperatures of these nine regions D can be made uniform by setting the region D37, the region D39, the region D59, and the region D61 to the highest setting temperature.
  • the temperature of each region there is a method of adjusting the duty ratio by turning on and off the LED unit 3.
  • the ratio of the time during which the LED unit 3 is driven in the time zone of time T1 LED unit Adjustment of the driving rate of The time required for one measurement of the chip 100 to be inspected is the inspection time when the chips 100 to be inspected are inspected one by one or when a plurality of chips 100 to be inspected are inspected simultaneously.
  • FIG. 13 shows that the LED unit 3 corresponding to the area D 40 and the surrounding areas D 37 to 39, 48 to 50, 59 to 61 surrounding the area 40 is turned on when the chip to be inspected in the area 40 is to be inspected.
  • 15 is a time chart in which the on / off state and the on / off state of the transistors TrC5 to TrC7 and TrR5 to TrR7 for driving the LED unit 3 are described in association with each other.
  • the driving rate of the LED unit 3 can be set, for example, as 30% for the region D49, 50% for the regions D48, D38, D50, and D60, and 60% for the regions D37, D39, D59, and D61.
  • the transistors TrR5, TrR6, and TrR7 are sequentially turned on one by one during the continuous time T1 between t0 and t3.
  • the transistors TrC5, TrC6, and TrC7 are turned on at every unit time T1 at a ratio of time corresponding to the drive ratio of the LED unit 3 in the region to be turned on.
  • the transistor TrR5 is kept on in the time zone of unit time T1 and the transistor TrC5 is turned on at a rate of 65%.
  • the numerical value of the ratio is just an example, and the numerical value in the present invention is not restricted.
  • the combination of on and off of each of the transistors TrR and TrC is determined by code data which is a digital signal sent from the data processing unit 73 to the row control unit 75 and the column control unit 74. Therefore, the time series data of the code data is written in the memory of the data processing unit 73 so that the combination of ON and OFF of each of the transistors TrR and TrC becomes, for example, a time chart defined in FIG. An approach can be achieved.
  • FIG. 14 Another example of a time chart showing on / off of each transistor in the second embodiment is shown.
  • the transistors TrR5 and TrR7 when the transistors TrR5 and TrR7 are turned on in the time zone of unit time T2, the transistors TrC5, TrC6, and TrC7 correspond to the drive ratio of the LED unit 3 in the region to be turned on. It is turned on at a rate of time. Thereafter, when the transistor TrR6 is turned on, the transistors TrC5, TrC6, and TrC7 are turned on at a rate corresponding to the driving ratio of the LED unit 3 in the region to be turned on. Also in such a case, the same temperature distribution as that of the example shown in FIG. 13 can be formed.
  • the process of lighting the LED units 3 in the three areas D of the row R5 and the three areas D of the row R7 and the process of lighting the LED units of the three areas D in R6 are alternately repeated. It will be.
  • light can be emitted from the LED unit 3 simultaneously in the area D37 and the area D39, the area D48 and the area D50, and the area D59 and the area D61, respectively. Therefore, the temperature of many regions D can be raised at the same time, so that the time to reach the target temperature can be shortened.
  • the mode in which the LED units 3 are sequentially driven among the three transistor TrR units and the mode in which the LED units 3 are sequentially driven among the three transistor TrC units may be alternately performed. For example, as shown in the time chart of FIG. 15, it is executed at time t0 to t3 in the same manner as the example of the time chart shown in FIG. Next, from time t4 to t7, the transistor TrC5 is turned on and the transistors TrR5, 6, 7 are turned on. Further, the transistor TrC6 is turned on from time t5, the transistors TrR5, 6, 7 are turned on, and then the transistor TrC7 is turned on from time t6, and the transistors TrR5, 6, 7 are turned on.
  • the LED unit 3 in the third region D of the transistor TrR5, the LED unit 3 in the third region D of the transistor TrR6, and the LED unit 3 in the third region D of the transistor TrR7 are lighted sequentially from time t0 to t3. Do. Further, from time t4 to t7, the LED unit 3 in the third region D of the transistor TrC5, the LED unit 3 in the third region D of the transistor TrC6, and the LED unit 3 in the third region D of the transistor TrC7 are lighted in this order.
  • the LED units 3 in the respective areas D can be lighted for a predetermined time, and the respective areas D can be heated to a predetermined temperature, respectively, to obtain the same effect.
  • the present invention may be applied to the case where regions D of four rows by four columns or more are heated.
  • the LED units 3 corresponding to the nine areas D including the area D 49 are driven, and the LED units 3 in the areas D other than the nine areas D are turned off.
  • the present invention is also included in the technical scope of the present invention when driving the LED units 3 in other areas D with a light emission amount low enough not to affect the inspection of the inspected chip being inspected. Such implementation shall be a wording infringement of the claims.
  • the mounting surface is divided into several sections Z formed of a plurality of areas D, and the diode matrix circuit 5 is configured for each section Z, and the LED control unit 91 for each section Z It may be controlled.
  • the area D of the mounting table 2 shown in FIG. 3 is divided into nine zones Z1 to Z9.
  • a diode matrix circuit 5 corresponding to a plurality of regions D arranged in a lattice form aligned in the row and column directions in the zones Z1 to Z9 is configured for each of the zones Z1 to Z9.
  • the LED control units 91A to 91I driving the respective diode matrix circuits 5 are configured.
  • step-down chopper circuits 723A to 723I corresponding to the zones Z1 to Z9 are provided for each of the zones Z1 to Z9.
  • portions of the drive circuit in the data processing unit 73, the column control unit 74, the row control unit 75, and the diode matrix circuit 5 correspond to the LED control units 91A to 91, but in FIG.
  • the diode matrix circuit 5 shown in FIG. With such a configuration, the driving power of diode matrix circuit 5 can be adjusted for each zone Z1 to Z9 by means of step-down chopper circuits 723A to I provided, and the output is adjusted for each zone Z1 to Z9. can do.
  • the output temperature can be adjusted for each of the zones Z1 to Z9 to adjust the heating temperature. Since diode matrix circuit 5 and LED control units 91A to 91I are provided for each of zones Z1 to Z9, area D allocated to each of zones Z1 to Z9 is controlled independently for each of zones Z1 to Z9. be able to.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • High Energy & Nuclear Physics (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)
  • Glass Compositions (AREA)
  • Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)

Abstract

【課題】載置台上の基板にマトリクス状に配列された被検査チップに順番にプローブテストを行うにあたって、検査対象の被検査チップ以外の被検査チップへの熱負荷を軽減すること。 【解決手段】　被検査チップ１００を配列する載置台２の載置面とは反対側に被検査チップ１００毎に設定された領域を各々独立して加熱するように複数のＬＥＤユニット３を設けている。そして被検査チップ１００の検査時において、前記複数のＬＥＤユニット３の内、当該検査が行われる被検査チップ１００の領域及び当該領域の周辺領域のうち、少なくとも当該検査が行われる被検査チップ１００の領域に対応する領域のＬＥＤユニット３を駆動するようにしている。このため検査が行われる被検査チップ１００以外の被検査チップ１００への熱負荷を軽減することができる。

Description

プローバ
　本発明は、マトリクス状に配列された被検査デバイスの電気的特性の検査を行うプローバに関する。
　半導体装置の製造工程においては、例えば特許文献１に示すように、基板である半導体ウエハ（以下、「ウエハ」という）の表面にＩＣ（集積回路）などのＩＣチップをマトリクス状に形成する。その後、ＩＣチップが切り離される前のウエハの状態のまま、被検査チップに電圧を印加して電気的特性を調べるプローブテストが行われる。
　プローブ検査を通過したＩＣチップは、パッケージングがなされた後、個々のパッケージに対して最終的な検査が行われるが、パッケージングには、コストが嵩む。そのためプローブテストにて、できるだけ精度の高い検査を行い、パッケージングを行う前の段階にて、不具合を含んだＩＣチップをできるだけ発見する要請がある。近年では、被検査チップを実装環境の温度に曝した状態で、プローブテストにて、実装時の電圧を印加して、電気的特性の検査が行われている。この時被検査チップが形成されたウエハの温度制御は、載置台の内部に設けた、冷媒流路やヒータによって行われるが、冷媒流路やヒータの小型化は困難であり、載置台の表面全体の温度調整を行い、載置台上のウエハに形成された複数のＩＣチップを一律に温度調整している。
　ところで近年ＩＣは高速化や微細化が進み集積度が高まっているため、動作時の発熱量が増大している。そのためプローブテストにおいて、被検査チップに実装時の電圧を印加したときに、被検査チップから発生する熱量も大きくなる。これにより例えば高温環境におけるプローブテストを行った時に、被検査チップの周囲の、検査を行っていないＩＣチップも、ヒータによる昇温と被検査チップの検査により発生する熱との熱負荷に曝されてしまい不具合の要因おそれがある。従ってプローブテストにおいて、被検査チップに実装時の電圧よりも低い電圧を印加して検査をすることで、被検査チップから発生する熱量を抑制せざるを得ず、パッケージング前にＩＣチップの不具合を十分に発見しきれない問題があった。
特開平７－２９７２４２号公報
　本発明はこのような事情の下になされたものであり、その目的は、載置台上の基板にマトリクス状に配列された被検査チップに順番にプローブテストを行うにあたって、検査対象の被検査チップ以外の被検査チップへの熱負荷を軽減する技術を提供することにある。
　本発明のプローバは、基板にマトリクス状に設けられた複数の被検査チップの電気的特性をテスタにより順番に検査するためのプローバにおいて、
　前記基板を載置する載置台と、
　前記複数の被検査チップの電極パッドに順番に接触させる接触子と、
　前記載置台の載置面とは反対側において、複数の被検査チップが夫々位置する複数の領域を互いに独立して加熱するように設けられ、各々１個または複数のＬＥＤからなる複数のＬＥＤユニットと、
　被検査チップの検査時において、前記複数のＬＥＤユニットの内、当該検査が行われる被検査チップの領域及び当該領域の周辺領域のうち、少なくとも当該検査が行われる被検査チップの領域に対応する領域のＬＥＤユニットを駆動するように制御信号を出力する制御部と、を備えたことを特徴とする。
　本発明は、マトリクス状に配列された複数の被検査チップの電気的特性をテスタにより順番に検査するにあたって、被検査チップが配列された基板を載置する載置台における載置面とは反対側に被検査チップを各々独立して加熱するように複数のＬＥＤユニットを設けている。そして被検査チップの検査時において、検査が行われる被検査チップ及び当該領域の周辺領域の内、少なくとも当該検査が行われる被検査チップに対応する領域を加熱するようにしている。このため検査が行われる被検査チップ以外の被検査チップへの熱負荷を軽減することができる。
ウエハに形成された検査対象となるＩＣチップを示す平面図である。 第１の実施の形態に係るプローバの縦断側面図である。 前記プローバに用いられる載置台の平面図である。 前記載置台の表面部における縦断面図である。 プローバの制御部を示す構成図である。 ＬＥＤユニットを個別に点灯させるための回路を示す回路図である。 ダイオードマトリクス回路を示す回路図である。 温度検出部を示す概略構成図である。 温度制御回路を示す説明図である。 第１の実施の形態の作用を示す説明図である。 第１の実施の形態の作用を示す説明図である。 前記載置台の他の例を示す平面図である。 第２の実施の形態において各トランジスタのオン／オフの切り替えを示すタイムチャートタイムチャートである。 各トランジスタのオン／オフの切り替えの他の例を示すタイムチャートである。 各トランジスタのオン／オフの切り替えの更に他の例を示すタイムチャートである。 本発明の実施の形態の他の例に係る載置台の平面図である。 ＬＥＤユニットを個別に点灯させるための回路を示す回路図である。
［第１の実施の形態］
　第１の実施の形態に係るプローバについて説明するが、先ず被検査チップが形成されたウエハＷについて説明する。ウエハＷは例えば直径３００ｍｍの円板状に構成されている。ウエハＷの表面における周縁部５ｍｍのカットラインよりも内側の領域は、図１に示すように、例えば３０ｍｍ角の正方形の領域Ｄを敷き詰めた格子状に区画されており、各領域Ｄには、表面にＩＣなどが構成された矩形のＩＣチップ１００が形成されている。各ＩＣチップ１００には、ＩＣチップ１００を構成する素子に電流を供給するための電極パッド１０１が形成されており、プローバにおいては、当該電極パッド１０１に実装時の電圧を印加して、電気的特性を検査する。またＩＣチップ１００における一部の電極パッド１０１ａは、例えばダイオードなどの温度測定に用いるための温度測定用の素子１０２に接続されている。そして後述する被検査チップ１００の温度を測定するときには、温度測定用の素子１０２に接続された電極パッド１０１ａが用いられる。なお以下明細書中では、被検査対象のＩＣチップと検査対象ではないＩＣチップとを区別せず被検査チップ１００と示す。
　続いてプローバの全体構成について説明する。図２に示すように、プローバは、装置本体を構成する筐体１を備えている。この筐体１の底部の基台１１上には、Ｙ方向（図２と交差する方向）に伸びるＹレール２１１に沿って移動自在に構成されたＹステージ２１が設けられている。さらにＹステージ２１上には、Ｘ方向（図２に向かって左右方向）に伸びるＸレール２２１に沿って移動自在に構成されたＸステージ２２が設けられている。
　例えばＹステージ２１やＸステージ２２には、不図示のボールネジ機構が併設され、エンコーダが組み合わされたモーターを用いてボールネジの回転量を調節することができる。この構成によりＹステージ２１のＹ方向の停止位置、及びＸステージ２２のＸ方向の停止位置を正確に調整することができる。
　Ｘステージ２２の上には、伸縮自在に構成された伸縮軸２３１に支持され、Ｚ方向（上下方向）に昇降自在に構成されたＺ移動部２３が設けられている。さらにこのＺ移動部２３の上面側には、Ｚ移動部２３上でＺ軸のまわりに回転自在（θ方向に移動自在）に構成された載置台２が設けられている。上述のＹステージ２１、Ｘステージ２２、伸縮軸２３１に支持されたＺ移動部２３は、本実施の形態の移動機構を構成し、載置台２をＸ、Ｙ、Ｚ、θの各方向に移動させることができる。
　Ｙステージ２１、Ｘステージ２２、Ｚ移動部２３によって載置台２（載置面に載置されたウエハＷ）が移動する領域を移動領域と呼ぶと、当該移動領域の上方にはプローブカード１３が設けられている。プローブカード１３は、筐体１の天板１２に着脱自在に取り付けられている。　
　プローブカード１３はＰＣＢ（Printed circuit board）として構成され、その上面側には、電極群が形成されている。また天板１２の上方に配置されたテスタ１４とプローブカード１３との間には、テスタ１４側の端子と既述の電極群との間の電気的導通を取るためのインターフェイス４１が介設されている。
　インターフェイス４１は、プローブカード１３の電極群の配置位置に対応するように、電極部であるポゴピン４１１が多数配置されたポゴピンユニットとして構成され、インターフェイス４１は、例えばテスタ１４側に固定されている。
　また、テスタ１４はプローブカード１３を介して取得した被検査チップの電気的特性を示す電気信号を検査データとして記憶するデータ記憶部や、検査データに基づいて被検査チップ１００の電気的な欠陥の有無を判定する判定部（いずれも不図示）を備えている。プローブカード１３の下面側には、上面側の電極群に対して各々、電気的に接続されたプローブである、多数のプローブ針１３１が設けられている。
　続いて載置台２について説明する。図３に示すように載置台２は、ウエハＷの載置される領域に亘る領域Ｄが、格子状に区画され、１１列（カラムＣ１～Ｃ１１）、１１行（ローＲ１～Ｒ１１）の９７個の３０ｍｍ角の矩形の領域Ｄに分割されている。以後明細書中では、各領域Ｄについて、図３中の各領域Ｄに付した番号を付して説明する。
　載置台２は、図４に示すようにウエハＷが載置される面とは反対側から、載置面に載置されたウエハＷの下面に向けて光を照射するＬＥＤユニット３が、各領域Ｄごとに個別に設けられている。ＬＥＤユニット３は、例えば複数のＬＥＤ光源３１を並べて構成され、対応する領域Ｄに載置されたウエハＷの下面における当該領域Ｄの全域に光を照射できるように構成されている。なおＬＥＤユニット３は一つのＬＥＤ光源３１で構成されていてもよい。
　載置台２におけるＬＥＤユニット３の群の上方には、冷却ユニット３２が設けられている、冷却ユニット３２は、例えばＬＥＤの光を殆ど減衰させずに透過させる石英などの部材で構成され、内部にすべての領域Ｄに共通する冷媒流路３３が形成されている。冷媒流路３３には、ポンプ、流量調整部、ペルチェ素子などで構成された冷却機構を備えた冷媒通流機構３４が接続されている。そして冷媒流路３３に例えば水やガルデン（登録商標）などの冷媒を所定の流量で通流させることにより、載置面に載置されたウエハＷを冷却できるように構成されている。
　冷却ユニット３２の上方には、Ｏリング３６を介して、載置面を構成する載置板３５が設けられている。載置板３５は、図３に示すようにウエハＷよりも大きい、例えば直径３１０ｍｍの円板状に構成され、例えば石英などのＬＥＤ光を透過させる材質で構成されている。
　またプローバは、プローバの動作を制御するための制御部９を備えている。図５に示すように制御部９は、ＬＥＤユニット３の点灯を制御するＬＥＤ制御部９１と、載置台２の移動や、プローブ針を被検査チップ１００に押し当てて検査を実行する動作などを制御する主制御部９０を備えている。これにより主制御部９０からＬＥＤ制御部９１に、例えば検査を行う被検査チップ１００の載置されている領域を示す情報が送信される。
　続いて各領域ＤのＬＥＤユニット３を個別に点灯させるための回路について説明する。図６に示すようにこの制御回路は、例えば縦横に配列されたＬＥＤユニット３を含むダイオードマトリクス回路５と、ダイオードマトリクス回路５に電力を供給する電力供給部７と、を備えている。さらにダイオードマトリクス回路５における、点灯させるＬＥＤユニット３を選択するための、カラム（列）制御部７４と、ロー（行）制御部７５と、を備えている。また図６中の７３は、電力供給部７と、カラム制御部７４及びロー制御部７５と、を制御するための制御信号を出力するワンチップＣＰＵからなるデータ処理部（コントローラ）である。この例では、データ処理部７３、カラム制御部７４、ロー制御部７５及びダイオードマトリクス回路５における駆動回路の部位がＬＥＤ制御部９１に相当する。
　図６に示すように、電力供給部７は、交流電源７１と、負荷側に供給される高周波電力の力率を改善する力率改善回路７２１と、交流電力から直流電力を得る整流平滑回路７２２と、直流電力の電圧調整を行う降圧チョッパ回路７２３と、を備えている。
　交流電源７１は、例えば商用交流電源を用い、５０／６０Ｈｚ、２００Ｖの交流電力を供給する。例えば公知のインターリーブ電流連続モード方式の力率改善回路７２１と組み合わせて設けられた整流平滑回路７２２からは、例えば４００Ｖの直流電力が出力される。
　降圧チョッパ回路７２３は、整流平滑回路７２２から供給された直流電流を、例えば１０Ｖ～４００Ｖの範囲の電圧を有する直流電力に調整する。力率改善回路７２１内のアクティブフィルターのデューティー制御、降圧チョッパ回路７２３のＰＭＷ制御は、データ処理部７３により制御される。
　次いでダイオードマトリクス回路５について説明する。基板に設けられた被検査チップ１００は、１１行、１１列のマトリクス状の配列領域のうち、四隅部位がいわば階段状に欠落した配列領域の各々に設けられている。各ＬＥＤユニット３は、被検査チップ１００の配列に対応して１１行、１１列のマトリクス状に設けられている。なお各ＬＥＤユニット３も１１行、１１列のマトリクス状の配列領域のうち、四隅部位が同様に欠落するように設けられている。　
　ダイオードマトリクス回路５は、このように配列されたＬＥＤユニット３と各ＬＥＤユニット３を駆動する駆動回路（ドライバ）とから構成されている。図７に示したダイオードマトリクス回路５においては、回路図の作図の便宜上、マトリクス状の配列領域において上記の欠落した配列部位についてもＬＥＤユニット３を記載しているが、実際には当該領域にはＬＥＤユニット設けられていない。
　駆動回路は各行（ロー）毎に設けられたロー用のスイッチング部であるトランジスタと各列（カラム）毎に設けられたカラム用のスイッチング部であるトランジスタとを備えている。
　各行のトランジスタには、第１行目、第２行目、…第ｎ行目に夫々対応して符号ＴｒＲ１、ＴｒＲ２…ＴｒＲｎを割り当て、各列のトランジスタには、第１列目、第２列目、…第ｎ列目に夫々対応して符号ＴｒＣ１、ＴｒＣ２…ＴｒＣｎを割り当てている。以下においては、個別的なトランジスタの説明では、トランジスタの末尾の符号（数値）を記載するが、総括的なトランジスタの説明では、トランジスタの末尾には符号を付さずに、ＴｒＲあるいはＴｒＣと記載するものとする。　
　各行のＬＥＤユニット３のカソード側は、対応するトランジスタＴｒＲのコレクタに接続されて各トランジスタＴｒＲのエミッタは接地されている。各トランジスタＴｒＲのベースは、ロー制御部７５により駆動電圧が供給されるようになっており、オンとなる各トランジスタＴｒＲがロー制御部７５により選択される。
　各列のＬＥＤユニットのアノード側は、対応するトランジスタＴｒＣのコレクタに接続されて各トランジスタＴｒＣのエミッタは電力供給部７に接続されている。各トランジスタＴｒＣのベースは、カラム制御部７４により駆動電圧が供給されるようになっており、オンとなる各トランジスタＴｒＣがカラム制御部７４により選択される。
　図６に示すデータ処理部７３に図示しないメモリが設けられている。当該メモリには、検査を行う被検査チップ１００（領域）の番号と、駆動（点灯）すべきＬＥＤユニット３を駆動するためのトランジスタＴｒＲ、ＴｒＣに対応するディジタルコードと、が対応付けられて記憶されている。従ってデータ処理部７３は、主制御部９０から検査対象となる被検査チップ１００の番号を指定されると、その被検査チップ１００に対応する既述のディジタルコードをメモリから読み出してロー制御部７５及びカラム制御部７４に出力する。これによりロー制御部７５及びカラム制御部７４から夫々トランジスタＴｒＲ、ＴｒＣに選択信号（駆動信号）が出力され、前記被検査チップ１００に対応するＬＥＤユニット３が駆動される。
　またプローバは、被検査チップ１００の温度を測定するための温度検出部を備えている。例えば図８に示すようにプローブ針１３１の内、被検査チップ１００における温度測定用の素子１０２と接続された電極パッド１０１ａに接触する２本のプローブ針１３１に電気的に接続された中間接続ユニットであるポゴピン４１１には、各々リレー８１が設けられている。各リレー８１は、電極パッド１０１ａの電位をテスタ１４側と、温度検出部８側とに切り替えて伝達するように構成されている。これにより例えば被検査チップ１００の電気的特性の検査を行うときに、所定のタイミングで各電極パッド１０１ａの電位を温度検出部８に伝達する。
　この時ダイオードなど温度測定用の素子１０２は、各電極パッド１０１に印加された所定の電圧に応じて電位差を生じさせるが、当該電位差は、温度によって異なる。従って温度測定用の素１０２子の各電極に対応する電極パッド１０１ａ間の電位差に基づいて温度測定用の素子１０２の温度を測定することができる。また温度測定用の素子１０２の温度は略被検査チップ１００の温度になるため、当該電位差は、被検査チップ１００の温度に対応した値であると言える。そしてプローバにおいては、温度検出部８にて検出された温度に基づいてフィードバックを行い、降圧チョッパ回路７２３のＰＭＷ制御を行う。これにより電力供給部７の出力を調整し、ＬＥＤユニット３の発光強度を制御する。
　図９は、検出した温度に従ってフィードバックを行い、降圧チョッパ回路７２３のＰＭＷ制御を行い、電力供給部７の出力を制御する制御回路を示す。上述の温度検出部８においては、一定連流が流れるように定電流源を校正し、その時のダイオード電圧が温度に相当する。その電圧を、例えば電圧センサにより取得する。この温度情報値に相当する電圧値は、フィルタ８２を通過した後、加算部８５にて設定温度に相当する設定電流値との偏差分が求められる。そして偏差分は、ＰＩＤ制御部８３に入力され、当該偏差分に従ってＰＩＤ制御が行われ、出力される操作量に応じてデューティー比設定部８４を介して、降圧チョッパ回路７２３におけるチョッパ動作のデューティー比が調整される。これにより降圧チョッパ回路７２３から、ダイオードマトリクス回路５に入力される電圧が調整され、ダイオードマトリクス回路５により選択されている領域ＤにおけるＬＥＤユニット３の発光強度が調整されて、対応する領域Ｄの加熱温度が調整される。フィルタ８２、加算部８５、ＰＩＤ制御部８３及びデューティー比設定部８４は、例えばデータ制御部７３に設けられる。
　また図５に示した主制御部９０はプログラム、メモリ、ＣＰＵからなるデータ処理部などを備え、プログラムには制御部９０からプローブ装置の各部に制御信号を送り、ウエハＷの検査動作するためのステップ群が組み込まれている。このプログラムは、コンピュータ記憶媒体、例えばフレキシブルディスク、コンパクトディスク、ＭＯ（光磁気ディスク）などの図示しない記憶部に格納されて制御部９１にインストールされる。　
　続いて上述のプローバの作用について説明する。まず図示しない外部の搬送アームにより筐体１内にウエハＷを搬入し、載置台２上に載置する。この時ウエハＷにおける各被検査チップ１００を形成した各領域Ｄが、載置台２側の各領域Ｄに位置に揃うように載置される。
　しかる後、載置台２を上昇させて、ウエハＷ上の例えば領域Ｄ４９の上にある被検査チップ１００の電極パッド１０１にプローブ針１３１を接触させる。この時載置台２においては、冷媒流路３３に冷媒が通流される。さらに電力供給部７からダイオードマトリクス回路５に温度設定値に対応した駆動電力が供給される。また主制御部９０から被検査チップ１００の載置された領域の位置情報がデータ処理部７３に送信される。さらにデータ処理部７３からカラム制御部７４及びロー制御部７５に最初に検査対象となる被検査チップに対応した位置にあるＬＥＤユニット３を点灯するための制御信号が出力される。
　例えば領域Ｄ４９におけるＬＥＤユニット３をまず点灯させるとすると、図１０にしめすようにカラム制御部７４からトランジスタＴｒＣ６に１Ｖの電圧が例えば１０ミリ秒間印加される。さらに同時にロー制御部７５からトランジスタＴｒＲ６に向けて１Ｖの電圧が例えば１０ミリ秒間印加される。これにより、トランジスタＴｒＣ６及びトランジスタＴｒＲ６がオンになり、カラムＣ６、ローＲ６に対応した領域Ｄ４９のＬＥＤユニット３が点灯される。
　ＬＥＤユニット３の駆動電流は、既述のようにデータ処理部７３によるＰＷＭ制御を介して、電圧が制御されているため、領域Ｄ４９に対応したＬＥＤユニット３が点灯し、領域Ｄ４９が設定温度、例えば８５℃になるように加熱される。この時領域Ｄ４９以外の領域Ｄにおいては、冷媒により冷却された状態になる。
　また領域Ｄ４９の位置の被検査チップを加熱している間に、例えばテスタ１４から中間リング４１、プローブカード１３及びプローブ針１３１を介して領域Ｄ４９の位置の被検査チップ１００に電気信号を供給し、電気的特性の検査を行う。この時領域Ｄ４９の位置の被検査チップ１００に実装時の電圧が印加され、発熱する。このとき温度検出部８により検出される温度に基づいてフィードバック制御が行われ、電力供給部７から供給される駆動電力が調整され、領域Ｄ４９の温度が発熱による熱負荷も含めて、例えば８５℃になるように制御される。
　また領域Ｄ４９以外の領域Ｄにも被検査チップ１００の発熱による熱負荷がかかるが、これらの領域Ｄは、ＬＥＤユニット３が点灯していないため、温度が上昇しておらず、さらに冷媒により冷却されているため、速やかに冷却される。従って領域Ｄ４９以外の領域Ｄに載置されている被検査チップ１００には、領域Ｄ４９の温度に相当する熱負荷はかからないことになる。
　次いで移動機構を用いてプローブカード１３に対して載置台２（ウエハＷ）を順次移動させ、続いて検査を行う被検査チップ１００、例えば領域Ｄ５０の位置の被検査チップ１００の上方にプローブ針１３１を移動させる。さらに領域Ｄ５０の位置の被検査チップ１００の電極パッド１０１にプローブ針１３１を接触させる。
　この時図１１に示すようにカラム制御部７４及びロー制御部７５からトランジスタＴｒＲ７、ＴｒＣ６に夫々駆動電流が印加され、即ちトランジスタＴｒＲ７、ＴｒＣ６が選択され、領域Ｄ５０に対応するＬＥＤユニット３が点灯する。これにより領域Ｄ５０が設定温度に加熱される。一方領域Ｄ４９に対応するＬＥＤユニット３が消灯し、領域Ｄ４９は、冷媒により冷却される。そして領域Ｄ５０を加熱している間に、テスタ１４からプローブ針１３１を介して領域Ｄ５０の位置の被検査チップ１００に電気信号を供給し、電気的特性の検査を行う。
　このようにウエハＷ上に多数形成された各被検査チップ１００の電極パッド１０１に対して同様の動作を繰り返して順番に検査を行うと共に、光を照射するＬＥＤユニット３を順番に代えて、検査対象となっている被検査チップ１００を順番に温度制御する。
　上述の実施の形態によれば、マトリクス状に配列された複数の被検査チップ１００を検査するにあたって、載置台２の被検査チップ１００の載置面とは反対側に被検査チップ１００毎に設定された領域Ｄを各々独立して加熱するようにＬＥＤユニット３を設けている。そして被検査チップ１００の検査時において、検査が行われる被検査チップ１００に対応する領域Ｄのみを加熱するようにしている。このため検査が行われている被検査チップ１００以外の被検査チップ１００への熱負荷を軽減することができる。
　また各ＬＥＤユニット３を個別に点灯させるにあたって、図６に示すようなダイオードマトリクス回路５を構成し、カラム単位及びロー単位ごとトランジスタを夫々選択することにより、点灯させるＬＥＤユニット３を選択するようにしている。そのため各ＬＥＤユニット３ごとに当該ＬＥＤユニット３を点灯させるためのドライバ回路等の個別の回路を設ける必要がないため回路を小型化することができ、装置を小型化することができる。
　また同時に複数の被検査チップ１００の検査を行う場合には、被検査チップ１００が夫々載置された領域Ｄ、及び当該領域Ｄの周辺の領域Ｄのうち、少なくとも当該検査が行われる被検査チップ１００の領域Ｄに対応する領域のＬＥＤユニット３を駆動するように制御すればよい。
　また載置台２に設けるＬＥＤユニット３の群の他の例について説明する。例えば図１２に示すよう正六角形状の領域Ｄをハニカム状に配置した構成でも良い。このような正六角形状の領域Ｄをハニカム状に配置した構成の場合にもマトリクス状に含むものとする。この例の場合には、図１２中のＣ１～Ｃ５の示す矢印の方向を列、Ｒ１～Ｒ５の示す矢印の方向を行とすればよい。
　また本発明は、例えば切り出し（ダイシング）を行った被検査チップ１００を、例えばガラス基板などの基板にマトリクス状に載置して、検査を行うプローバに適用してもよい。
　［第２の実施の形態］
　また被検査チップ１００が載置された領域Ｄの温度は、当該領域の周囲の領域Ｄの温度により、温度勾配が形成されてしまうことがある。そのため検査対象の被検査チップ１００が載置された個所を加熱するＬＥＤユニット３のみならず、当該領域Ｄの周囲を囲むように配置された領域Ｄを加熱することにより被検査チップ１００が載置された領域Ｄの周囲も加熱するようにしてもよい。さらには、検査対象の被検査チップ１００に実装時の電圧を印加したときに、検査対象の被検査チップ１００が載置された領域Ｄの温度と、その周囲の領域Ｄの温度と、が揃うように調整してもよい。
　被検査チップ１００に実装時の電圧を印加したときに、被検査チップ１００が載置されている領域が最も被検査チップ１００の発熱の影響を受けて熱負荷がかかり、被検査チップ１００からの距離（当該領域Ｄの中心部からの離間距離）に従って熱負荷が小さくなる。従って例えば領域Ｄ４９に被検査チップ１００が位置する場合には、領域Ｄ４９と行及び列方向に隣り合う領域Ｄ３８、領域Ｄ４８、領域Ｄ５０及び領域Ｄ６０には、領域Ｄ４９に次いで大きな熱負荷がかかる。さらに領域Ｄ３７、領域Ｄ３９、領域Ｄ５９及び領域Ｄ６１は、領域Ｄ３８、領域Ｄ４８、領域Ｄ５０及び領域Ｄ６０よりも領域Ｄ４９からの距離が遠い。そのため領域Ｄ３７、領域Ｄ３９、領域Ｄ５９及び領域Ｄ６１において被検査チップ１００の発熱により受ける熱負荷は、領域Ｄ３８、領域Ｄ４８、領域Ｄ５０及び領域Ｄ６０よりも低くなる。
　従って、被検査チップ１００が載置された領域Ｄとその周囲を囲む領域Ｄを加熱するにあたって、領域Ｄ４９の加熱温度を低くし、次いで領域Ｄ３８、領域Ｄ４８、領域Ｄ５０及び領域Ｄ６０の加熱温度を低く設定する。さらに領域Ｄ３７、領域Ｄ３９、領域Ｄ５９及び領域Ｄ６１を最も高い設定温度にすることで、これら９個の領域Ｄの温度を揃えることができる。
　各領域の温度を調整する手法として、ＬＥＤユニット３をオン、オフさせてデューティー比を調整する手法が挙げられる。この手法は、被検査チップ１００の一回の測定に要する時間に対して十分に短い時間の単位をＴ１とすると、時間Ｔ１の時間帯においてＬＥＤユニット３が駆動されている時間の割合（ＬＥＤユニットの駆動率）を調整することにより行われる。被検査チップ１００の一回の測定に要する時間とは、被検査チップ１００を１個ずつ検査する場合あるいは複数の被検査チップ１００を同時に検査する場合におけるその検査時間である。
　図１３は、領域４０の被検査チップが検査対象である場合において、当該領域Ｄ４０及び当該領域４０を取り囲む周辺の領域Ｄ３７～３９、４８～５０、５９～６１に夫々対応するＬＥＤユニット３のオン／オフの状態と当該ＬＥＤユニット３を駆動するためのトランジスタＴｒＣ５～ＴｒＣ７及びＴｒＲ５～ＴｒＲ７のオン／オフの状態とを対応付けて記載したタイムチャートである。前記ＬＥＤユニット３の駆動率としては、例えば領域Ｄ４９については３０％、領域Ｄ４８、Ｄ３８，Ｄ５０、Ｄ６０については５０％、領域Ｄ３７、Ｄ３９、Ｄ５９、Ｄ６１については６０％として設定することができる。
　この場合、トランジスタＴｒＲ５、ＴｒＲ６、ＴｒＲ７については、ｔ０からｔ３までの間に、連続する時間Ｔ１の時間帯づつ順番にオンにされる。またトランジスタＴｒＣ５、ＴｒＣ６、ＴｒＣ７については、単位時間Ｔ１毎に、オンにすべき領域のＬＥＤユニット３の駆動率に対応する時間の割合でオンにされる。例えば領域Ｄ３７のＬＥＤユニット３７については、単位時間Ｔ１の時間帯においてトランジスタＴｒＲ５をオンしたままにすると共にトランジスタＴｒＣ５を６５％の割合でオンにする。なお前記割合の数値は一例を示したまでであり、本発明における数値を拘束するものではない。
　各トランジスタＴｒＲ、ＴｒＣのオン、オフの組合せは、データ処理部７３からロー制御部７５及びカラム制御部７４に送られるディジタル信号であるコードデータにより決まる。このため各トランジスタＴｒＲ、ＴｒＣのオン、オフの組合せが例えば図１３に規定されるタイムチャートとなるようにコードデータの時系列データをデータ処理部７３のメモリ内に書き込んでおくことにより、上述の手法を達成することができる。
　また第２の実施の形態における各トランジスタのオン／オフを示すタイムチャートの他の例を示す。図１４に示すようにこの例では、単位時間Ｔ２の時間帯においてトランジスタＴｒＲ５及びＴｒＲ７をオンにしているときに、トランジスタＴｒＣ５、ＴｒＣ６、ＴｒＣ７オンにすべき領域のＬＥＤユニット３の駆動率に対応する時間の割合でオンにしている。その後トランジスタＴｒＲ６をオンにしているときに、トランジスタＴｒＣ５、ＴｒＣ６、ＴｒＣ７オンにすべき領域のＬＥＤユニット３の駆動率に対応する時間の割合でオンにしている。このような場合にも、図１３に示した例と同様の温度分布を形成することができる。
　この例では、ローＲ５の３つの領域ＤとローＲ７の３つの領域ＤとにおけるＬＥＤユニット３が点灯する工程と、Ｒ６における３つの領域ＤのＬＥＤユニットが点灯する工程と、が交互に繰り返されることになる。この例においては、領域Ｄ３７及び領域Ｄ３９、領域Ｄ４８及び領域Ｄ５０、領域Ｄ５９及び領域Ｄ６１において、夫々同時にＬＥＤユニット３から光を照射することができる。従って同時に多くの領域Ｄの温度を上げることができるため、目標温度に到達するまでの時間を短くすることができる効果がある。
　また３つのトランジスタＴｒＲ単位の間で順番にＬＥＤユニット３を駆動するモードと、３つのトランジスタＴｒＣ単位の間でＬＥＤユニット３を順番に駆動するモードと、を交互に実行するようにしてもよい。
　例えば図１５のタイムチャートに示すように時刻ｔ０からｔ３において、図１３に示したタイムチャートの例と同様に実行する。次いで時刻ｔ４からｔ７においては、トランジスタＴｒＣ５をオンにすると共に、トランジスタＴｒＲ５、６、７オンにする。さらに時刻ｔ５からトランジスタＴｒＣ６をオンにすると共に、トランジスタＴｒＲ５、６、７オンにし、次いで時刻ｔ６からトランジスタＴｒＣ７をオンにすると共に、トランジスタＴｒＲ５、６、７オンにする。
　このように構成することで、時刻ｔ０からｔ３までにトランジスタＴｒＲ５の３領域ＤのＬＥＤユニット３、トランジスタＴｒＲ６の３領域ＤのＬＥＤユニット３、トランジスタＴｒＲ７の３領域ＤのＬＥＤユニット３の順番に点灯する。さらに時刻ｔ４からｔ７においては、トランジスタＴｒＣ５の３領域ＤのＬＥＤユニット３、トランジスタＴｒＣ６の３領域ＤのＬＥＤユニット３、トランジスタＴｒＣ７の３領域ＤのＬＥＤユニット３の順番で点灯する。
　このように構成した場合にも、各領域ＤのＬＥＤユニット３を各々所定の時間点灯させることができ、各領域Ｄを各々所定の温度に加熱することができるため同様の効果が得られる。
　また第２の実施の形態においては、９個の領域Ｄを加熱する例について説明しているが、例えば、４行×４列以上の領域Ｄを加熱する場合に適用してもよい。
　また上述の実施の形態では、領域Ｄ４９を含む９個の領域Ｄに対応するＬＥＤユニット３を駆動し、当該９個の領域Ｄ以外の他の領域ＤのＬＥＤユニット３はオフにしている。しかし本発明は、検査している被検査チップの検査に影響を及ぼさない程度の低い発光量でほかの領域ＤのＬＥＤユニット３を駆動する場合も、本発明の技術的範囲に含まれ、このような実施は特許請求の範囲の文言侵害であるものとする。
　また本発明は、載置面を複数の領域Ｄで構成されるいくつかの区画Ｚに分割し、各区画Ｚごとにダイオードマトリクス回路５を構成すると共に、各区画ＺごとにＬＥＤ制御部９１により制御するようにしてもよい。例えば図１６に示すように図３に示した載置台２の領域Ｄを縦横９つのゾーンＺ１～Ｚ９に分割する。さらに図１７に示すように各ゾーンＺ１～Ｚ９毎に、当該ゾーンＺ１～Ｚ９に行及び列方向に並ぶ格子状に配置された複数の領域Ｄに対応させたダイオードマトリクス回路５を構成して、各ダイオードマトリクス回路５を夫々駆動するＬＥＤ制御部９１Ａ～Ｉを構成する。また各ゾーンＺ１～Ｚ９毎に当該ゾーンＺ１～Ｚ９に対応する降圧チョッパ回路７２３Ａ～７２３Ｉを夫々設ける。既述のようにデータ処理部７３、カラム制御部７４、ロー制御部７５及びダイオードマトリクス回路５における駆動回路の部位がＬＥＤ制御部９１Ａ～Ｉに相当するが、図１７では、便宜上ＬＥＤユニット３を含むダイオードマトリクス回路５で示している。
　このように構成することで、各ゾーンＺ１～Ｚ９毎にダイオードマトリクス回路５の駆動電力を各々設けられた降圧チョッパ回路７２３Ａ～Ｉにより調整することができ、各ゾーンＺ１～Ｚ９毎に出力を調整することができる。このような構成とすることで、例えばウエハＷを全面加熱するときにおいてもゾーンＺ１～Ｚ９毎に出力値を調整して加熱温度を調整することができる。
　また各ゾーンＺ１～Ｚ９毎にダイオードマトリクス回路５と、ＬＥＤ制御部９１Ａ～９１Ｉを設けているため、各ゾーンＺ１～Ｚ９に割り当てられた領域Ｄを、ゾーンＺ１～Ｚ９毎に独立して制御することができる。
２　　　　　　　　載置台
３　　　　　　　　ＬＥＤユニット
５　　　　　　　　ダイオードマトリクス回路
７　　　　　　　　電力供給部
８　　　　　　　　温度検出部
９　　　　　　　　制御部
３２　　　　　　　冷却ユニット
７３　　　　　　　データ処理部
７４　　　　　　　カラム制御部
７５　　　　　　　ロー制御部
１００　　　　　　被検査チップ（ＩＣチップ）
１０１　　　　　　電極パッド
Ｗ　　　　　　　　ウエハ

 

Claims (8)

  1. 　基板にマトリクス状に設けられた複数の被検査チップの電気的特性をテスタにより順番に検査するためのプローバにおいて、
    　前記基板を載置する載置台と、
    　前記複数の被検査チップの電極パッドに順番に接触させる接触子と、
    　前記載置台の載置面とは反対側において、複数の被検査チップが夫々位置する複数の領域を互いに独立して加熱するように設けられ、各々１個または複数のＬＥＤからなる複数のＬＥＤユニットと、
    　被検査チップの検査時において、前記複数のＬＥＤユニットの内、当該検査が行われる被検査チップの領域及び当該領域の周辺領域のうち、少なくとも当該検査が行われる被検査チップの領域に対応する領域のＬＥＤユニットを駆動するように制御信号を出力する制御部と、を備えたことを特徴とするプローバ。
  2. 　前記複数のＬＥＤユニットによりダイオードマトリクス回路が構成されていることを特徴とする請求項１記載のプローバ。
  3. 　前記制御部は、前記検査が行われる被検査チップの領域及び当該領域の周辺領域に対応するＬＥＤユニットを駆動すると共に、前記周辺領域に対応するＬＥＤユニットの発光強度を、前記検査が行われる被検査チップの領域に対応するＬＥＤユニットの発光強度よりも大きくするように制御信号を出力することを特徴とする請求項１に記載のプローバ。
  4. 　被検査チップの検査時にオンにするＬＥＤユニットを、ＬＥＤユニットの行単位及び列単位の少なくとも一方の単位でグループ化し、
    　前記制御部は、グループ化されたＬＥＤユニットの単位の間で時分割で駆動するように制御信号を出力することを特徴とする請求項１に記載のプローバ。
  5. 　前記制御部は、被検査チップの検査時に、前記行単位と列単位とを入れ替えながらＬＥＤユニットを駆動するように制御信号を出力することを特徴とする請求項４に記載のプローバ。
  6. 　前記制御部は、被検査チップの検査時にオンにするＬＥＤユニット、及び当該ＬＥＤユニットに隣接して当該ＬＥＤユニットを取り囲むＬＥＤユニット群について、行単位の間で順番にＬＥＤユニットを駆動するか、または列単位の間で順番にＬＥＤユニットを駆動するように制御信号を出力することを特徴とする請求項４に記載のプローバ。
  7. 　前記制御部は、被検査チップの検査時にオンにするＬＥＤユニット、及び当該ＬＥＤユニットに隣接して当該ＬＥＤユニットを取り囲むＬＥＤユニット群について、
    　検査対象である被検査チップを含む行単位を駆動するモードと、当該行単位の両側の行単位を同時に駆動するモードと、を交互に行うか、または検査対象である被検査チップを含む列単位を駆動するモードと、当該列単位の両側の列単位を同時に駆動するモードと、を交互に行うように制御信号を出力することを特徴とする請求項４に記載のプローバ。
  8. 　前記制御部は、被検査チップの検査時にオンにするＬＥＤユニット、及び当該ＬＥＤユニットに隣接して当該ＬＥＤユニットを取り囲むＬＥＤユニット群について、
    　行単位の間で順番にＬＥＤユニットを駆動するモードと、列単位の間で順番にＬＥＤユニットを駆動するモードと、を交互に行うように制御信号を出力することを特徴とする請求項５に記載のプローバ。

     
PCT/JP2018/041002 2017-12-01 2018-11-05 プローバ WO2019107079A1 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US16/767,226 US11125813B2 (en) 2017-12-01 2018-11-05 Prober
CN201880075345.XA CN111373518B (zh) 2017-12-01 2018-11-05 探针装置
KR1020207017615A KR102363777B1 (ko) 2017-12-01 2018-11-05 프로버

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017232009A JP7078838B2 (ja) 2017-12-01 2017-12-01 プローバ
JP2017-232009 2017-12-01

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2019107079A1 true WO2019107079A1 (ja) 2019-06-06

Family

ID=66664645

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2018/041002 WO2019107079A1 (ja) 2017-12-01 2018-11-05 プローバ

Country Status (6)

Country Link
US (1) US11125813B2 (ja)
JP (1) JP7078838B2 (ja)
KR (1) KR102363777B1 (ja)
CN (1) CN111373518B (ja)
TW (1) TWI786227B (ja)
WO (1) WO2019107079A1 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3940403A1 (en) * 2020-07-16 2022-01-19 Tokyo Electron Limited Inspection apparatus and control method for inspection apparatus
US20220104326A1 (en) * 2020-09-25 2022-03-31 Tokyo Electron Limited Control method of inspection apparatus and inspection apparatus

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2018147959A (ja) * 2017-03-02 2018-09-20 東京エレクトロン株式会社 検査システム、ならびに検査システムの故障解析・予知方法
US20220227555A1 (en) 2019-05-31 2022-07-21 Mitsui Chemicals Tohcello, Inc. Packaging film, package, and method of manufacturing laminated film
JP7345284B2 (ja) * 2019-06-05 2023-09-15 東京エレクトロン株式会社 載置台、検査装置および温度校正方法
JP7266481B2 (ja) * 2019-07-19 2023-04-28 東京エレクトロン株式会社 温度制御装置、温度制御方法、および検査装置
US11378619B2 (en) * 2019-12-18 2022-07-05 Formfactor, Inc. Double-sided probe systems with thermal control systems and related methods
JP7449799B2 (ja) 2020-07-09 2024-03-14 東京エレクトロン株式会社 載置台の温度調整方法及び検査装置
JP7455015B2 (ja) * 2020-07-14 2024-03-25 東京エレクトロン株式会社 検査装置
JP2022030909A (ja) 2020-08-07 2022-02-18 東京エレクトロン株式会社 検査装置の制御方法及び検査装置
JP7449814B2 (ja) 2020-08-12 2024-03-14 東京エレクトロン株式会社 検査方法及び検査装置
JP2022090538A (ja) 2020-12-07 2022-06-17 東京エレクトロン株式会社 検査装置の制御方法及び検査装置
JP2022092972A (ja) 2020-12-11 2022-06-23 東京エレクトロン株式会社 加熱装置及びｌｅｄの制御方法
WO2023170737A1 (ja) * 2022-03-07 2023-09-14 株式会社アドバンテスト 温度制御装置、試験装置、温度制御方法、および温度制御プログラム
US12013432B1 (en) 2023-08-23 2024-06-18 Aem Singapore Pte. Ltd. Thermal control wafer with integrated heating-sensing elements
US12000885B1 (en) * 2023-12-20 2024-06-04 Aem Singapore Pte. Ltd. Multiplexed thermal control wafer and coldplate

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004140296A (ja) * 2002-10-21 2004-05-13 Tokyo Electron Ltd 被検査体を温度制御するプローブ装置及びプローブ検査方法
JP2008066646A (ja) * 2006-09-11 2008-03-21 Nec Electronics Corp アニール装置、アニール方法及び半導体装置の製造方法
JP2013065823A (ja) * 2011-08-26 2013-04-11 Tokyo Electron Ltd 液処理装置及び液処理方法
JP2014209556A (ja) * 2013-02-28 2014-11-06 ウルトラテック インク 発光ダイオードを利用した材料の製造システムおよび製造方法
JP2015056624A (ja) * 2013-09-13 2015-03-23 東京エレクトロン株式会社 基板温調装置およびそれを用いた基板処理装置
JP2017188238A (ja) * 2016-04-04 2017-10-12 住友電気工業株式会社 マトリックスヒータ

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3156192B2 (ja) 1994-04-19 2001-04-16 東京エレクトロン株式会社 プローブ方法及びその装置
US7043391B2 (en) * 2001-02-16 2006-05-09 Shuji Miyazaki User interface for semiconductor evaluation device
KR100615086B1 (ko) * 2004-05-04 2006-08-22 삼성전자주식회사 반도체 웨이퍼 칩 검사장치 및 이를 이용한 검사방법
DE102005001163B3 (de) * 2005-01-10 2006-05-18 Erich Reitinger Verfahren und Vorrichtung zum Testen von Halbleiterwafern mittels einer temperierbaren Aufspanneinrichtung
US7741837B2 (en) * 2007-05-15 2010-06-22 Tokyo Electron Limited Probe apparatus
JP4932618B2 (ja) * 2007-06-29 2012-05-16 東京エレクトロン株式会社 検査方法及びこの方法を記録したプログラム記録媒体
JP2013137224A (ja) * 2011-12-28 2013-07-11 Sharp Corp マルチチッププローバ、そのコンタクト位置補正方法、制御プログラムおよび可読記録媒体

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004140296A (ja) * 2002-10-21 2004-05-13 Tokyo Electron Ltd 被検査体を温度制御するプローブ装置及びプローブ検査方法
JP2008066646A (ja) * 2006-09-11 2008-03-21 Nec Electronics Corp アニール装置、アニール方法及び半導体装置の製造方法
JP2013065823A (ja) * 2011-08-26 2013-04-11 Tokyo Electron Ltd 液処理装置及び液処理方法
JP2014209556A (ja) * 2013-02-28 2014-11-06 ウルトラテック インク 発光ダイオードを利用した材料の製造システムおよび製造方法
JP2015056624A (ja) * 2013-09-13 2015-03-23 東京エレクトロン株式会社 基板温調装置およびそれを用いた基板処理装置
JP2017188238A (ja) * 2016-04-04 2017-10-12 住友電気工業株式会社 マトリックスヒータ

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3940403A1 (en) * 2020-07-16 2022-01-19 Tokyo Electron Limited Inspection apparatus and control method for inspection apparatus
US20220018889A1 (en) * 2020-07-16 2022-01-20 Tokyo Electron Limited Inspection apparatus and control method for inspection apparatus
US11874319B2 (en) 2020-07-16 2024-01-16 Tokyo Electron Limited Inspection apparatus and control method for inspection apparatus
JP7500312B2 (ja) 2020-07-16 2024-06-17 東京エレクトロン株式会社 検査装置及び検査装置の制御方法
US20220104326A1 (en) * 2020-09-25 2022-03-31 Tokyo Electron Limited Control method of inspection apparatus and inspection apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
US11125813B2 (en) 2021-09-21
TWI786227B (zh) 2022-12-11
JP7078838B2 (ja) 2022-06-01
TW201935023A (zh) 2019-09-01
US20210033666A1 (en) 2021-02-04
CN111373518B (zh) 2023-10-27
KR20200089714A (ko) 2020-07-27
JP2019102645A (ja) 2019-06-24
CN111373518A (zh) 2020-07-03
KR102363777B1 (ko) 2022-02-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2019107079A1 (ja) プローバ
EP3550313B1 (en) Electronic device inspecting apparatus
WO2019116911A1 (ja) 検査装置
US11927539B2 (en) Inspection apparatus and inspection method
US11557494B2 (en) Substrate support and inspection apparatus
TWI802164B (zh) 試驗裝置、試驗方法及電腦可讀取記憶媒體
KR20220018920A (ko) 검사 장치 제어 방법 및 검사 장치
EP3940403B1 (en) Inspection apparatus and control method for inspection apparatus
EP3940402B1 (en) Inspection apparatus
KR102626167B1 (ko) 검사 장치 제어 방법 및 검사 장치
JP7449814B2 (ja) 検査方法及び検査装置
KR102660269B1 (ko) 가열 장치 및 led의 제어 방법
US11810800B2 (en) Substrate support, test device, and method of adjusting temperature of substrate support
JP2007129091A (ja) プローバ
JP2022094068A (ja) プロービング装置
JP2008175789A (ja) ドライバ回路およびそれを用いた表示装置

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 18882962

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 20207017615

Country of ref document: KR

Kind code of ref document: A

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 18882962

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1