WO2019058989A1 - 吸引装置 - Google Patents
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- H01L21/6838—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping with gripping and holding devices using a vacuum; Bernoulli devices
Definitions
- the present invention relates to an apparatus for suctioning material utilizing the Bernoulli effect.
- Patent Document 1 describes an apparatus for non-contact conveyance of a plate-like member by using the Bernoulli effect.
- This device generates a swirling flow in a cylindrical chamber opened in the lower surface of the device, and suctions the plate-like member by the negative pressure at the central portion of the swirling flow, while the device and the plate-like member flow by the fluid flowing out of the cylindrical chamber.
- the non-contact conveyance of the plate-like member is made possible by keeping a constant distance between them.
- the present invention is made in view of the above-mentioned art, and an object of the present invention is to provide a suction device which suctions a suction thing more stably.
- the suction device comprises a columnar main body, an end face formed on the main body, a recess formed on the end face, and a swirl flow by discharging a fluid into the recess.
- the fluid flow forming means is a fluid passage which discharges a fluid into the recess to form a swirling flow, and the guide groove is substantially in a direction in which the fluid passage extends when viewed toward the end face. It may be formed on the end face along a direction forming an angle of 45 degrees.
- the fluid flow forming means is a fluid passage which discharges a fluid into the recess to form a radial flow, and the guide groove is substantially in a direction in which the fluid passage extends when viewed toward the end face. It may be formed on the end face along a parallel direction.
- the guide groove may be formed to expand as its cross-sectional area moves away from the recess.
- the guide groove may be formed such that its cross-sectional area decreases with distance from the recess.
- the semiconductor device may further include movement restricting means provided on the end face and restricting movement of the aspirated substance sucked by the negative pressure along the end face.
- the movement restricting means may be a horn-like protrusion, and the movement of the aspirated material may be restricted by piercing the aspirated material.
- another suction device comprises a columnar main body, an end face formed in the main body, a recess formed in the end face, and a fluid discharged into the recess to make a swirl flow or a radial flow.
- a fluid flow forming unit configured to generate a negative pressure to form a negative pressure to suction a suction target, and a guide groove formed on the end surface along a direction in which the fluid discharged into the concave portion flows out from the concave portion. And a guide groove having a curvature smaller than the arc of the opening of the recess when viewed toward the end face.
- another suction device is negative by discharging a fluid into a columnar main body, a recess formed on one surface of the main body, and the recess to form a swirling flow or a radial flow.
- Fluid flow forming means for generating a pressure to suck the aspirated object, an annular wall provided so as to surround the recess and inhibiting entry of the aspirated object into the recess, and discharging into the recess And a linear guide groove formed on the inner wall surface of the annular wall along the direction in which the fluid flows out of the recess.
- another suction device is negative by discharging a fluid into a columnar main body, a recess formed on one surface of the main body, and the recess to form a swirling flow or a radial flow.
- a guide groove formed on the inner wall surface of the annular wall along a direction in which the fluid flows out of the recess, the guide having a curvature smaller than the arc of the opening of the recess when viewed toward the opening of the recess And a groove.
- the suction device of the present invention it is possible to suction the object to be sucked more stably, as compared with the case where the guide groove is not provided.
- FIG. 2 is a perspective view of an example of a swirl flow former 1;
- FIG. 2 is a bottom view of an example of a swirl flow former 1;
- FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line AA of FIG.
- FIG. 4 is a cross-sectional view taken along the line BB of FIG. 3; It is a figure which shows the example of arrangement
- FIG. 6 is a perspective view of an example of a swirling flow forming body 2;
- FIG. 6 is a bottom view of an example of a swirl flow former 2; It is a figure which shows the example of arrangement
- 5 is a perspective view of an example of a radial flow former 3;
- FIG. 5 is a bottom view of an example of a radial flow former 3;
- FIG. 11 is a cross-sectional view taken along the line CC of FIG. It is a figure which shows the example of arrangement
- 5 is a perspective view of an example of a radial flow former 4;
- FIG. 6 is a bottom view of an example of a radial flow former 4; It is a figure which shows the example of arrangement
- FIG. It is a perspective view which shows the modification of the guide groove 16.
- FIG. is a bottom view which shows the modification of the guide groove 16.
- FIG. It is a perspective view which shows the modification of the guide groove 16.
- FIG. 11 is a cross-sectional view taken along the line CC of FIG. It is a figure which shows the example of arrangement
- 5 is a perspective view of an example of a radial flow former 4
- 6 is a bottom view of an example
- FIG. It is a bottom view which shows the modification of the guide groove 16. As shown in FIG. It is a perspective view which shows the modification of the guide groove 16. As shown in FIG. It is a bottom view which shows the modification of the guide groove 16. As shown in FIG. It is a perspective view which shows the modification of the guide groove. It is a bottom view which shows the modification of the guide groove 36. As shown in FIG. It is a perspective view which shows the modification of the guide groove. It is a bottom view which shows the modification of the guide groove 36. As shown in FIG. It is a perspective view which shows the modification of the guide groove. It is a bottom view which shows the modification of the guide groove 36. As shown in FIG. It is a side view which shows the modification of a guide groove.
- FIG. 1A It is a perspective view of an example of swirl flow formation object 1A. It is a bottom view of an example of swirling flow formation object 1A. It is a side view of an example of swirling flow formation object 1B. It is a side view of an example of swirling flow formation object 1C.
- FIG. 1 is a perspective view of an example of a swirl flow-forming body 1 (an example of a “suction apparatus” according to the present invention) according to a first embodiment.
- FIG. 2 is a bottom view of an example of the swirl flow former 1.
- FIG. 3 is a cross-sectional view taken along line AA of FIG.
- FIG. 4 is a cross-sectional view taken along the line BB in FIG.
- a swirling flow forming body 1 shown in these figures is a device that forms a swirling flow and sucks a suctioned object by the Bernoulli effect.
- the aspirated object is, for example, a food such as croquettes and scraped fish.
- the suction device 10 is used, for example, attached to the tip of a robot arm.
- the swirl flow forming body 1 includes a main body 11, an end surface 12, a recess 13, two jets 14, an inclined surface 15, and eight guide grooves 16.
- the main body 11 is made of a material such as an aluminum alloy and has a cylindrical shape.
- the end surface 12 is formed flat on one surface of the main body 11 (specifically, the surface facing the object to be suctioned) (hereinafter, referred to as “bottom surface”).
- the recess 13 is a cylindrical bottomed hole formed on the end surface 12.
- the recess 13 is formed coaxially with the main body 11.
- the two spouts 14 are formed on the inner circumferential side surface 111 of the main body 11 facing the recess 13.
- These spouts 14 are disposed on the bottom side of the axial center of the inner peripheral side surface 111. Moreover, these jets 14 are arrange
- the fluid supplied to the swirl flow-forming body 1 is discharged into the recess 13 through the jets 14.
- the fluid is, for example, a gas such as compressed air or a liquid such as pure water or carbonated water.
- the inclined surface 15 is formed at the open end of the main body 11.
- the fluid discharged into the recess 13 flows out from the recess 13 from the inner peripheral edge to the outer peripheral edge of the end face 12 (specifically, it is discharged from one jet outlet 14, Is formed in a straight line along the direction represented by the composition of the vector of fluid molecules flowing out of the More specifically, these guide grooves 16 have an angle of approximately 36 degrees with respect to a tangent passing through the contact point between the guide groove 16 and the opening of the recess 13 as viewed toward the end face 12. It is formed. For example, in the example of the bottom shown in FIG.
- the guide groove 16A is formed along a direction forming an angle of 36 degrees with respect to a tangent L1 passing through the contact point P1 between the guide groove and the opening of the recess 13. Further, among the guide grooves 16, two guide grooves 16 are formed along a direction forming an angle of about 45 degrees with respect to the direction in which the supply path 20 described later extends when seen toward the end face 12. Ru. The remaining six guide grooves 16 are formed such that the direction in which the adjacent guide grooves 16 extend is at an angle of approximately 45 degrees. For example, in the example of the bottom shown in FIG. 5, the guide groove 16B is formed along a direction (arrow A2) forming an angle of 45 degrees with the direction (arrow A1) in which the supply path 20A extends. In addition, the guide groove 16C is formed along a direction (arrow A4) that forms an angle of 45 degrees with the direction (arrow A3) in which the supply path 20B extends. The cross-sectional shape of each guide groove 16 is semicircular.
- the guide groove 16 configured as described above guides the main fluid flowing out from the opening of the recess 13 in a direction away from the recess 13 while rectifying it.
- the fluid guided by the guide groove 16 avoids collision with the aspirated object as compared with the fluid flowing along the end face 12.
- the swirl flow forming body 1 includes a supply port 17, an annular passage 18, a communication passage 19, and two supply passages 20 (an example of the "fluid flow forming means" according to the present invention).
- the supply port 17 has a circular shape and is formed at the center of the upper surface (that is, the surface opposite to the bottom surface) of the main body 11.
- the supply port 17 is connected to a fluid supply pump (not shown) via, for example, a tube, and the fluid is supplied into the main body 11 through the supply port 17.
- the annular passage 18 has a cylindrical shape and is formed inside the main body 11 so as to surround the recess 13.
- the annular passage 18 is formed coaxially with the recess 13.
- the annular passage 18 supplies the fluid supplied from the communication passage 19 to the supply passage 20.
- the communication passage 19 is formed inside the main body 11 so as to extend linearly in the radial direction of the bottom surface or the upper surface of the main body 11.
- the communication passage 19 communicates with the annular passage 18 at both ends thereof.
- the communication passage 19 supplies the fluid supplied into the main body 11 via the supply port 17 to the annular passage 18.
- the two supply paths 20 are formed so as to extend substantially parallel to the end face 12 and tangential to the outer periphery of the recess 13. These feed channels 20 extend parallel to one another.
- Each supply passage 20 communicates with the annular passage 18 at one end and communicates with the jet 14 at the other end.
- Each supply passage 20 forms a swirling flow of fluid in the recess 13.
- the swirl flow forming body 1 described above the main fluid flowing out from the recess 13 is rectified by the guide groove 16 and discharged, so that the outflowing fluid collides with the object to be sucked and the object to be sucked is shaken.
- the phenomenon of rotating or rotating is suppressed.
- the noise caused by the collision of the outflow fluid and the aspirated object is reduced.
- the number of parts is reduced as compared with a conventional suction device (for example, JP-A-2016-159405) in which the flow path of the outflowing fluid is secured by inserting a spacer between the swirl flow forming body and the baffle plate. It becomes possible to manufacture cheaper. Also, compared to the conventional suction device in which the flow path is blocked by the baffle plate, the flow path can be easily cleaned.
- a swirling flow forming body 2 (an example of a “suction device” according to the present invention) according to a second embodiment includes an annular wall 21 instead of the end face 12 and the inclined surface 15. It differs from the swirl flow-forming body 1 according to the first embodiment in that the guide grooves 22 of the book are formed. Hereinafter, these differences will be described.
- FIG. 6 is a perspective view of an example of the swirling flow forming body 2 according to the present embodiment.
- FIG. 7 is a bottom view of an example of the swirl flow former 2.
- the annular wall 21 shown in these figures has a trapezoidal sectional shape, and is formed such that the outer diameter of one end face is equal to the diameter of the main body 11 and the inner diameter is equal to the diameter of the recess 13.
- the outer diameter of the other end surface is smaller than the outer diameter of the one end surface, and the inner diameter is larger than the inner diameter of the one end surface.
- the annular wall 21 is formed so that the thickness is continuously reduced from one end to the other end.
- the opening area is formed so as to continuously decrease from one end to the other end.
- the annular wall 21 thus formed is coaxially fixed to the main body 11 at one end surface so as to surround the recess 13.
- the annular wall 21 configured as described above blocks the entry of the aspirated material into the recess 13 by contacting the material to be attracted by the negative pressure generated in the recess 13. Further, the annular wall 21 restricts the radial movement of the object to be suctioned, a part of which is invaginated in the opening of the annular wall 21.
- the eight guide grooves 22 extend from one end of the annular wall 21 to the other end in the direction in which the fluid discharged into the recess 13 flows out from the recess 13 (specifically, it is discharged from one jet outlet 14. Is formed in a straight line along the direction represented by the composition of the vector of fluid molecules flowing out of the More specifically, these guide grooves 22 form an angle of about 20 degrees with respect to a tangent passing through the contact point between the guide groove 22 and the opening of the recess 13 when viewed toward the other end face of the annular wall 21. It is formed along the direction. For example, in the example of the bottom shown in FIG.
- the guide groove 22A is formed along a direction forming an angle of 20 degrees with respect to a tangent L2 passing through the contact point P2 between the guide groove and the opening of the recess 13. Further, among the guide grooves 22, the two guide grooves 22 are in a direction forming an angle of about 45 degrees with respect to the direction in which the supply passage 20 extends when viewed toward the other end face of the annular wall 21. It is formed. The remaining six guide grooves 22 are formed such that the directions in which the adjacent guide grooves 22 extend extend at an angle of approximately 45 degrees. For example, in the example of the bottom shown in FIG. 8, the guide groove 22B is formed along a direction (arrow A4) forming an angle of 45 degrees with the direction (arrow A1) in which the supply passage 20A extends. Further, the guide groove 22C is formed along a direction (arrow A5) which forms an angle of 45 degrees with the direction (arrow A3) in which the supply passage 20B extends. The cross-sectional shape of each guide groove 22 is semicircular.
- the guide groove 22 configured as described above guides the main fluid flowing out from the opening of the recess 13 in the direction away from the recess 13 while straightening the main fluid. As compared with the fluid flowing along the inner wall surface of the annular wall 21, the fluid guided by the guide groove 22 avoids collision with the aspirated object.
- the swirling flow forming body 2 described above the main fluid flowing out from the opening of the recess 13 is rectified by the guide groove 22 and discharged out of the swirling flow forming body 2 at the time of the suction operation. Therefore, even in this swirl flow forming body 2, the same effect as the swirl flow forming body 1 according to the first embodiment can be obtained.
- a radial flow forming body 3 (an example of the “suction apparatus” according to the present invention) according to the third embodiment is a first embodiment in that it forms a swirling flow and sucks a suctioned object by the Bernoulli effect. This is different from the swirl flow former 1 according to. Hereinafter, differences between these devices will be described.
- FIG. 9 is a perspective view of an example of the radial flow former 3.
- FIG. 10 is a bottom view of an example of the radial flow former 3.
- FIG. 11 is a cross-sectional view taken along the line CC of FIG.
- the radial flow former 3 shown in these figures comprises a main body 31, an annular recess 32, an end face 33, an opposing face 34, an inclined face 35, and eight guide grooves 36.
- the main body 31 is made of a material such as an aluminum alloy and has a cylindrical shape.
- the end surface 33 is formed flat on one surface of the main body 31 (specifically, the surface facing the object to be sucked) (hereinafter, referred to as “bottom surface”).
- the annular recess 32 is formed on the end surface 33 concentrically with the outer periphery of the main body 31.
- the opposing surface 34 is formed flat on the bottom surface of the main body 31. At that time, the opposing surface 34 is formed to be recessed with respect to the end surface 33 at the bottom surface of the main body 31.
- the facing surface 34 is surrounded by the annular recess 32 and faces the object to be sucked.
- the inclined surface 35 is formed at the open end of the annular recess 32.
- the eight guide grooves 36 extend from the inner peripheral edge to the outer peripheral edge of the end face 33 in the direction in which the fluid discharged in the annular recess 32 flows out from the annular recess 32 (specifically, from the one nozzle hole 37 described later Are formed in a straight line along the direction (represented by the composition of the vector of fluid molecules flowing out of the annular recess 32). More specifically, these guide grooves 36 extend in a direction forming an angle of approximately 90 degrees with respect to a tangent passing through the contact point between the guide groove 36 and the opening of the annular recess 32 when viewed toward the end face 33. It is formed. For example, in the example of the bottom shown in FIG.
- the guide groove 36A is formed along a direction forming an angle of 90 degrees with respect to the tangent L3 passing through the contact point P3 between the guide groove and the opening of the annular recess 32.
- the guide grooves 36 are formed (more specifically, on a straight line) substantially parallel to the direction in which the nozzle holes 37 described later extend, as viewed from the end face 33.
- the guide groove 36B is formed along the direction (arrow A6) in which the nozzle hole 37A extends.
- the guide groove 36 configured as described above guides the main fluid flowing out of the opening of the annular recess 32 in a direction away from the annular recess 32 while straightening the main fluid.
- the fluid guided by the guide groove 36 avoids collision with the aspirated object as compared with the fluid flowing along the end face 33.
- the radial flow forming member 3 includes eight nozzle holes 37 (an example of the “fluid flow forming means” according to the present invention), the inlet 38, the inlet 39, the annular passage 40, and the communicating passage 41.
- the inlet 38 has a circular shape and is provided at the center of the upper surface (that is, the surface opposite to the bottom surface) of the main body 31.
- the inlet 38 is connected to a fluid supply pump (not shown), for example, via a tube.
- the introduction path 39 is provided inside the main body 31 so as to extend linearly along the central axis of the main body 31.
- One end of the introduction passage 39 communicates with the introduction port 38, and the other end communicates with the communication passage 41.
- the introduction passage 39 supplies the fluid supplied into the main body 31 via the introduction port 38 to the communication passage 41.
- the communication passage 41 is provided inside the main body 31 so as to linearly extend in the radial direction of the annular passage 40.
- the communication passage 41 communicates with the introduction passage 39 at its axial center, and communicates with the annular passage 40 at both ends.
- the communication passage 41 supplies the fluid supplied from the introduction passage 39 to the annular passage 40.
- the annular passage 40 has a cylindrical shape and is provided inside the main body 31.
- the annular passage 40 is formed coaxially with the main body 31.
- the annular passage 40 supplies the fluid supplied from the communication passage 41 to the nozzle hole 37.
- Each of the eight nozzle holes 37 is formed substantially in parallel to the end face 33 or the opposing face 34 and linearly extends in the radial direction of the bottom or upper surface of the main body 31, and one end thereof communicates with the annular passage 40 The other end communicates with the annular recess 32.
- These nozzle holes 37 are arranged on the same plane so that adjacent nozzle holes 37 form an angle of about 45 degrees.
- Each nozzle hole 37 discharges a fluid into the annular recess 32 to form a radial flow.
- the main fluid flowing out of the annular recess 32 is rectified by the guide groove 36 and discharged, so that the outflowing fluid collides with the aspirated object and flutters the aspirated object.
- the phenomenon of squeezing and rotating is suppressed.
- the noise caused by the collision of the outflow fluid and the aspirated object is reduced.
- a number of parts is reduced and it becomes possible to manufacture more cheaply.
- the flow path can be easily cleaned.
- a radial flow forming body 4 (an example of the “suction apparatus” according to the present invention) according to the fourth embodiment includes an annular wall 42 instead of the end face 33, and eight guide grooves are formed in the annular wall 42. It differs from the radial flow former 3 according to the third embodiment in that 43 is formed. Hereinafter, these differences will be described.
- FIG. 13 is a perspective view of an example of the radial flow former 4 according to the present embodiment.
- FIG. 14 is a bottom view of an example of the radial flow former 4.
- the annular wall 42 shown in these figures has a trapezoidal cross-sectional shape, and is formed such that the outer diameter of one end face is equal to the diameter of the main body 31 and the inner diameter is equal to the outer diameter of the annular recess 32.
- the outer diameter of the other end surface is smaller than the outer diameter of the one end surface, and the inner diameter is larger than the inner diameter of the one end surface.
- the annular wall 42 is formed so that the thickness is continuously reduced from one end to the other end.
- the opening area is formed so as to continuously decrease from one end to the other end.
- the annular wall 42 thus formed is coaxially fixed to the main body 31 at one end face so as to surround the annular recess 32.
- the annular wall 42 configured as described above inhibits the entry of the aspirated material into the annular recess 32 by coming into contact with the aspirated material sucked by the negative pressure generated by the main body 31. Further, the annular wall 42 restricts the radial movement of the suctioned object, a part of which is invaginated in the opening of the annular wall 42.
- the eight guide grooves 43 extend from one end of the annular wall 42 to the other end in the direction in which the fluid discharged into the annular recess 32 flows out from the annular recess 32 (specifically, from one nozzle hole 37, It is formed in a straight line along the direction (represented by the composition of the vector of fluid molecules flowing out of the annular recess 32). More specifically, these guide grooves 43 have an angle of about 90 degrees with respect to a tangent passing through the contact point between the guide groove 43 and the opening of the annular recess 32 when viewed toward the other end face of the annular wall 42 It is formed along the direction of For example, in the example of the bottom shown in FIG.
- the guide groove 43A is formed along a direction forming an angle of 90 degrees with respect to a tangent L4 passing through the contact point P4 between the guide groove and the opening of the annular recess 32. Further, these guide grooves 43 are formed along a direction substantially parallel to the direction in which the nozzle holes 37 extend (more specifically, on a straight line) when viewed toward the other end face of the annular wall 42 Ru. For example, in the example of the bottom shown in FIG. 15, the guide groove 43B is formed along the direction (arrow A6) in which the nozzle hole 37A extends.
- the guide groove 43 configured as described above guides the main fluid flowing out of the opening of the annular recess 32 in the direction away from the annular recess 32 while straightening the main fluid. As compared with the fluid flowing along the inner wall surface of the guide groove 43, the fluid guided by the guide groove 43 avoids collision with the aspirated object.
- the main fluid flowing out from the opening of the annular recess 32 is rectified by the guide groove 43 and discharged out of the radial flow forming body 4 during the suction operation. Therefore, even with this radial flow former 4, the same effect as the radial flow former 3 according to the third embodiment can be obtained.
- the shape of the main body 11 and the recess 13 of the swirling flow forming body 1 according to the first embodiment is not limited to a cylinder, and may be, for example, a prism or an elliptic cylinder.
- a taper may be formed which is expanded in diameter toward the opening.
- a protrusion that forms a fluid flow path may be formed between the outer peripheral side surface and the inner peripheral side surface 111 of the main body 11 (for example, FIG. 13 of JP-A-2016-159405). reference).
- the number of the jet nozzle 14 and the supply path 20 provided in the swirl flow-forming body 1 is not limited to two, and may be one or three or more. Further, the arrangement of the jet nozzle 14 is not limited to the bottom side of the inner circumferential side surface 111 from the axial center, and may be the axial center or the end face 12 side. In addition, the formation of the inclined surface 15 may be omitted. Further, the shape of the supply port 17 is not limited to a circle, and may be, for example, a rectangle or an ellipse. Moreover, the supply port 17 may be formed not on the upper surface of the main body 11 but on the side surface. Also, the two supply paths 20 may not necessarily extend parallel to one another.
- an electric fan in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2011, for example, that forms a swirling flow instead of the fluid passage group formed in the main body 11 and sucks a suctioned object by Bernoulli effect. -138948
- This electric fan is an example of the "fluid flow forming means" according to the present invention.
- the shape of the main body 31 of the radial flow former 3 according to the third embodiment is not limited to a cylinder, and may be, for example, a prism or an elliptic cylinder. Further, the number of the nozzle holes 37 provided in the radial flow forming body 3 is not limited to eight, and may be seven or less or nine or more. Further, the shape of the inlet 38 is not limited to a circle, and may be, for example, a rectangle or an ellipse. Moreover, the inlet 38 may be formed not on the upper surface of the main body 31 but on the side surface.
- the cross-sectional shapes of the annular wall 21 according to the second embodiment and the annular wall 42 according to the fourth embodiment are not limited to the trapezoidal shape, and may be semicircular or triangular. Further, the annular wall 21 may be integrally formed with the main body 11 and the annular wall 42 may be integrally formed with the main body 31.
- Modification 2 16 to 21 are views showing a modification of the guide groove 16 according to the first embodiment.
- the guide groove 51 shown in FIGS. 16 and 17 differs from the guide groove 16 in that its cross-sectional shape is rectangular. In addition to the rectangular shape, it may be a V-shape or a semi-elliptic shape.
- the guide groove 52 shown in FIGS. 18 and 19 is different from the guide groove 16 in that the cross-sectional shape is rectangular and the cross-sectional area is formed so as to expand as being away from the recess 13.
- the guide groove 52 is expanded as the diameter leaves
- the guide groove 20 and 21 differs from the guide groove 16 in that the cross-sectional shape is rectangular and the cross-sectional area of the guide groove 53 is formed so as to decrease as it goes away from the recess 13.
- the guide groove 53 is reduced as its diameter is separated from the recess 13, it may be reduced in depth in addition to or instead of the diameter.
- Each modification to the above-mentioned guide groove 16 may be applied to the guide groove 22 concerning a 2nd embodiment.
- the guide groove 61 shown in FIGS. 22 and 23 differs from the guide groove 36 in that its cross-sectional shape is rectangular. In addition to the rectangular shape, it may be a V-shape or a semi-elliptic shape.
- the guide groove 62 shown in FIGS. 24 and 25 differs from the guide groove 36 in that the cross-sectional shape is rectangular and the cross-sectional area is formed so as to expand as being away from the annular recess 32.
- the guide groove 62 is expanded as the diameter leaves
- 26 and 27 differs from the guide groove 36 in that the cross-sectional shape is rectangular and the cross-sectional area is formed so as to decrease with distance from the annular recess 32.
- the guide groove 63 reduces in diameter as it goes away from the annular recess 32, the depth may be reduced in addition to or instead of the diameter.
- Each modification to the above-mentioned guide groove 36 may be applied to the guide groove 43 concerning a 4th embodiment.
- the number of guide grooves according to each of the above embodiments is not limited to eight, and may be seven or less or nine or more. Also, the width and depth of each guide groove may be larger than the illustrated example.
- the end surface 12 according to the first embodiment may be a corrugated surface in a side view.
- the arrangement method of a guide groove is not restricted to said example. The optimum number, size and arrangement of the guiding grooves depend on the flow rate of the fluid flowing out of the recess.
- the guide groove which concerns on said each embodiment is not necessarily restricted to a linear form, and may be curved a little.
- it may be a guide groove whose curvature is smaller than the arc of the opening of the recess or the outer periphery of the main body when viewed toward the end face or the concave portion of the main body.
- it may be a guide groove having a curvature of half an arc of the opening of the recess or the outer periphery of the main body.
- the main body may be a guide groove whose curvature is smaller than the arc of the circumscribed circle passing through the apexes on the outer side of the main body when viewed toward the end face or recess of the main body.
- FIG. 29 is a perspective view of an example of a swirling flow-forming body 1A (an example of the "suction apparatus” according to the present invention) to which four angular projections 71 are attached.
- FIG. 30 is a bottom view of an example of the swirl flow former 1A.
- the four projections 71 shown in these figures have a cylindrical shape with a pointed tip and are attached so as to extend substantially perpendicularly from the end face 12.
- each protrusion 71 is made to surround the periphery of the aspirated object sucked by the negative pressure. In the example of illustration, it arrange
- the projection 71 configured in this manner limits the movement of the suctioned object sucked by the negative pressure along the end face 12 during high speed conveyance.
- the shape of the protrusion 71 may be a prism with a pointed tip, a cone, or a pyramid. Further, the number of the protrusions 71 may be three or less or five or more. Also, the position of the protrusion 71 may be the radially outer edge or the inner edge of the end surface 12. Also, the arrangement of the projections 71 may be made to pierce the aspirated object sucked by negative pressure.
- the projections 71 may be attached to the end face 33 of the radial flow former 3 according to the third embodiment.
- FIG. 31 is a side view of an example of a swirl flow-forming body 1B which is a modification of the swirl flow-forming body 1A according to the third modification.
- the swirl flow forming body 1B shown in the same figure is different from the swirl flow forming body 1A in that it does not have eight guide grooves 16 and the projection 71 is attached to the end face 12 via a spacer 81.
- the four spacers 81 provided in the swirl flow forming body 1B have a cylindrical shape having a diameter larger than that of the protrusion 71, and are attached coaxially with the protrusion 71.
- the spacer 81 may have a prismatic shape.
- FIG. 32 is a side view of an example of a swirling flow-forming body 1C (an example of the "suction apparatus" according to the present invention) to which a cylindrical body 91 is attached.
- a cylindrical body 91 shown in the same figure is a bellows-like cylindrical body made of an elastic material such as rubber, and is a member for holding a suctioned object sucked by the swirling flow forming member 1C.
- One end of the cylindrical body 91 is fixed to the end face 12 so as to block the entry of the object to be sucked into the recess 13 while letting the fluid sucked by the negative pressure generated by the swirling flow forming body 1C. .
- it is fixed coaxially with the recess 13.
- the inner diameter of the constricted portion of the cylindrical body 91 is smaller than the inner diameter of the recess 13 and the maximum diameter of the object to be attracted, and the other end is expanded toward the object to be attracted.
- the height of the cylindrical body 91 is set according to the flow rate of the fluid supplied from the fluid supply pump to the swirl flow forming body 1C and the type of the aspirated object.
- the shape of the cylindrical body 91 is not limited to a cylinder, and may be a square cylinder, an oval cylinder, or the like.
- the cylindrical body 91 when the suctioned object is suctioned, the inflow of the surrounding fluid is limited by the cylindrical body 91, whereby the suctioned object present at a position separated from the negative pressure generation region Can be aspirated.
- the cylindrical body 91 since the cylindrical body 91 has an expandable bellows shape, the cylindrical body 91 is a substance to be sucked even if a misalignment occurs when the swirling flow forming body 1C sucks the suctioned substance. By deforming in accordance with the shape, the object to be sucked can be stably sucked and held.
- the cylindrical body 91 is in the shape of a bellows, it is possible to suppress damage to the aspirated substance caused by contact of the aspirated substance with the cylindrical body 91.
- the cylindrical body 91 is in the shape of a bellows, it is easy to secure the vertical clearance between the swirl flow forming body 1C and the object to be attracted. In other words, even if the objects to be suctioned have variations in height, the stretchability of the cylindrical body 91 absorbs the variations.
- a smaller object to be sucked may be suctioned by setting the inner diameter of the constricted portion of the cylindrical body 91 to 1/2 or less of the inner diameter of the recess 13 of the swirling flow forming member 1C.
- a plurality of notches may be formed at the end of the cylindrical body 91 on the side holding the object to be suctioned.
- the shape of the notch may be serrated, semicircular, semielliptical, rectangular or the like.
- a plurality of cylinders whose diameter is smaller than that of the cylinder 91 may be attached to the end surface 12 so that a plurality of objects to be sucked can be sucked at one time.
- the cylindrical body 91 may have a shape that does not have a bellows shape.
- the cylindrical body 91 may be gradually reduced in diameter from the end fixed to the end face 12 to the end holding the object to be suctioned.
- the cylindrical body 91 may be attached to the end face 33 of the radial flow forming body 3 according to the third embodiment.
- the swirl flow-forming body or the radial flow-forming body according to each of the above-described embodiments is not limited to food, and is used to suck and hold a plate-like or sheet-like member such as a semiconductor wafer or a glass substrate and convey it. May be At that time, depending on the size of the object to be sucked, a plurality of swirl flow forming members or radial flow forming members may be attached to a plate-like frame and used (see, for example, FIGS. 10 and 11 of JP-A-2016-159405). reference).
- SYMBOLS 1, 1A, 1B, 1C Swirling flow formation body, 2 ... Swirling flow formation body, 3 ... Radiation flow formation body, 4 ... Radiation flow formation body, 11 ... Main body, 12 ... End face, 13 ... Recess, 14 ...
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Abstract
被吸引物をより安定的に吸引する吸引装置を提供する。吸引装置は、柱状の本体(11)と、本体(11)に形成される平坦状の端面(12)と、端面(12)に形成される凹部(13)と、凹部(13)内に流体を吐出して旋回流を形成することにより負圧を発生させて被吸引物を吸引する流体流形成手段と、凹部(13)内に吐出された流体が凹部(13)から流出する方向に沿って端面(12)に形成された直線状の案内溝(16)とを備える。
Description
本発明は、ベルヌーイ効果を利用して材料を吸引する装置に関する。
近年、半導体ウェーハやガラス基板等の板状部材を非接触で搬送するための装置が利用されている。例えば、特許文献1には、ベルヌーイ効果を利用して板状部材を非接触で搬送する装置が記載されている。この装置は、装置下面に開口する円筒室内に旋回流を発生させて、旋回流中心部の負圧によって板状部材を吸引する一方で、当該円筒室から流出する流体によって当該装置と板状部材との間に一定の距離を保つことで板状部材の非接触での搬送を可能としている。
本発明は、上記の技術に鑑みてなされたものであり、被吸引物をより安定的に吸引する吸引装置を提供することを目的とする。
上記の課題を解決するため、本発明に係る吸引装置は、柱状の本体と、前記本体に形成される端面と、前記端面に形成される凹部と、前記凹部内に流体を吐出して旋回流又は放射流を形成することにより負圧を発生させて被吸引物を吸引する流体流形成手段と、前記凹部内に吐出された流体が前記凹部から流出する方向に沿って前記端面に形成された直線状の案内溝とを備える。
前記流体流形成手段は、前記凹部内に流体を吐出して旋回流を形成する流体通路であって、前記案内溝は、前記端面に向かって見て、前記流体通路が延びる方向に対して略45度の角度をなす方向に沿って前記端面に形成されてもよい。
前記流体流形成手段は、前記凹部内に流体を吐出して放射流を形成する流体通路であって、前記案内溝は、前記端面に向かって見て、前記流体通路が延びる方向に対して略平行な方向に沿って前記端面に形成されてもよい。
前記案内溝は、その断面積が前記凹部から離れるにつれて拡大するように形成されてもよい。
前記案内溝は、その断面積が前記凹部から離れるにつれて縮小するように形成されてもよい。
前記端面上に設けられ、前記負圧により吸引される前記被吸引物が前記端面に沿って移動するのを制限する移動制限手段をさらに備えてもよい。
前記移動制限手段は、角状の突起物であり、前記被吸引物に突き刺さることで前記被吸引物の移動を制限してもよい。
また、本発明に係る別の吸引装置は、柱状の本体と、前記本体に形成される端面と、前記端面に形成される凹部と、前記凹部内に流体を吐出して旋回流又は放射流を形成することにより負圧を発生させて被吸引物を吸引する流体流形成手段と、前記凹部内に吐出された流体が前記凹部から流出する方向に沿って前記端面に形成された案内溝であって、前記端面に向かって見て、前記凹部の開口の円弧よりも曲率が小さい案内溝とを備える。
また、本発明に係る別の吸引装置は、柱状の本体と、前記本体の一の面に形成される凹部と、前記凹部内に流体を吐出して旋回流又は放射流を形成することにより負圧を発生させて被吸引物を吸引する流体流形成手段と、前記凹部を囲むように設けられ、前記凹部内への前記被吸引物の侵入を阻害する環状壁と、前記凹部内に吐出された流体が前記凹部から流出する方向に沿って前記環状壁の内壁面に形成された直線状の案内溝とを備える。
また、本発明に係る別の吸引装置は、柱状の本体と、前記本体の一の面に形成される凹部と、前記凹部内に流体を吐出して旋回流又は放射流を形成することにより負圧を発生させて被吸引物を吸引する流体流形成手段と、前記凹部を囲むように設けられ、前記凹部内への前記被吸引物の侵入を阻害する環状壁と、前記凹部内に吐出された流体が前記凹部から流出する方向に沿って前記環状壁の内壁面に形成された案内溝であって、前記凹部の開口に向かって見て、前記凹部の開口の円弧よりも曲率が小さい案内溝とを備える。
本発明に係る吸引装置によれば、案内溝を備えない場合と比較して、被吸引物をより安定的に吸引することができる。
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
1.第1実施形態
図1は、第1実施形態に係る旋回流形成体1(本発明に係る「吸引装置」の一例)の一例の斜視図である。図2は、旋回流形成体1の一例の底面図である。図3は、図2のA-A線断面図である。図4は、図3のB-B線断面図である。これらの図に示す旋回流形成体1は、旋回流を形成してベルヌーイ効果により被吸引物を吸引する装置である。被吸引物とは、例えば、コロッケやかき揚げ等の食品である。この吸引装置10は、例えば、ロボットアームの先端に取り付けられて使用される。
1.第1実施形態
図1は、第1実施形態に係る旋回流形成体1(本発明に係る「吸引装置」の一例)の一例の斜視図である。図2は、旋回流形成体1の一例の底面図である。図3は、図2のA-A線断面図である。図4は、図3のB-B線断面図である。これらの図に示す旋回流形成体1は、旋回流を形成してベルヌーイ効果により被吸引物を吸引する装置である。被吸引物とは、例えば、コロッケやかき揚げ等の食品である。この吸引装置10は、例えば、ロボットアームの先端に取り付けられて使用される。
旋回流形成体1は、本体11と、端面12と、凹部13と、2個の噴出口14と、傾斜面15と、8本の案内溝16とを備える。本体11は、アルミニウム合金等の材料からなり、円柱形状を有する。端面12は、本体11の一の面(具体的には、被吸引物に臨む面)(以下、「底面」という。)に平坦状に形成される。凹部13は、端面12に形成される円柱形状の有底孔である。この凹部13は、本体11と同軸に形成される。2個の噴出口14は、凹部13に面する本体11の内周側面111に形成される。これらの噴出口14は、内周側面111の軸方向中央より底側に配置される。また、これらの噴出口14は、互いに対向するように配置される。具体的には、本体11又は凹部13の中心軸の軸心を中心に点対称に配置される。旋回流形成体1に供給された流体は、各噴出口14を介して凹部13内に吐出される。ここで流体とは、例えば、圧縮空気等の気体や、純水や炭酸水等の液体である。傾斜面15は、本体11の開口端に形成される。
8本の案内溝16は、端面12の内周縁から外周縁にかけて、凹部13内に吐出された流体が凹部13から流出する方向(具体的には、1つの噴出口14から吐出され、凹部13から流出する流体分子のベクトルの合成により表される方向)に沿って直線状に形成される。より具体的には、これらの案内溝16は、端面12に向かって見て、その案内溝16と凹部13の開口との接点を通る接線に対して略36度の角度をなす方向に沿って形成される。例えば、図5に示す底面の例において、案内溝16Aは、当該案内溝と凹部13の開口との接点P1を通る接線L1に対して36度の角度をなす方向に沿って形成される。また、これらの案内溝16のうち、2本の案内溝16は、端面12に向かって見て、後述する供給路20が延びる方向に対して略45度の角度をなす方向に沿って形成される。そして、残りの6本の案内溝16は、隣り合う案内溝16が延びる方向が略45度の角度をなすように形成される。例えば、図5に示す底面の例において、案内溝16Bは、供給路20Aが延びる方向(矢印A1)に対して45度の角度をなす方向(矢印A2)に沿って形成される。また、案内溝16Cは、供給路20Bが延びる方向(矢印A3)に対して45度の角度をなす方向(矢印A4)に沿って形成される。各案内溝16の断面形状は半円形である。
以上説明したように構成される案内溝16は、凹部13の開口から流出する主な流体を整流しつつ凹部13から離れる方向に案内する。案内溝16により案内される流体は、端面12に沿って流れる流体と比較して、被吸引物との衝突が避けられる。
また、旋回流形成体1は、供給口17と、環状通路18と、連通路19と、2本の供給路20(本発明に係る「流体流形成手段」の一例)とを備える。供給口17は、円形状を有し、本体11の上面(すなわち、底面と反対側の面)の中央に形成される。この供給口17は、例えばチューブを介して、図示せぬ流体供給ポンプに接続され、供給口17を介して本体11内に流体が供給される。環状通路18は、円筒形状を有し、凹部13を囲むように本体11の内部に形成される。この環状通路18は、凹部13と同軸に形成される。環状通路18は、連通路19から供給される流体を供給路20に供給する。連通路19は、本体11の底面又は上面の半径方向に直線状に延びるように本体11内部に形成される。この連通路19は、その両端部において環状通路18と連通する。連通路19は、供給口17を介して本体11内に供給される流体を環状通路18に供給する。2本の供給路20は、端面12に対して略平行、且つ凹部13の外周に対して接線方向に延びるように形成される。これらの供給路20は、互いに平行に延びる。各供給路20は、その一端が環状通路18と連通し、他端が噴出口14と連通する。各供給路20は、凹部13内に流体の旋回流を形成する。
次に、以上説明した旋回流形成体1の吸引動作について説明する。旋回流形成体1の供給口17に対して流体供給ポンプから流体が供給されると、その流体は、連通路19、環状通路18及び供給路20を通って噴出口14から凹部13内に吐出される。凹部13に吐出された流体は、凹部13内において旋回流となって整流され、その後、凹部13の開口から流出する。その際、凹部13の開口に対向する位置に被吸引物が存在した場合、凹部13への外部流体の流入が制限され、旋回流の遠心力とエントレインメント効果により、旋回流中心部の単位体積あたりの流体分子の密度が小さくなり、凹部13内に負圧が発生する。その結果、旋回流形成体1の周囲の流体は、凹部13内への流入を開始し、被吸引物は周囲の流体によって押圧されて旋回流形成体1側に引き寄せられる。一方、凹部13の開口から流出した主な流体は、案内溝16により整流されて、旋回流形成体1の外へ排出される。
以上説明した旋回流形成体1によれば、凹部13から流出する主な流体は案内溝16により整流されて排出されるため、流出流体が被吸引物と衝突して被吸引物をばたつかせたり回転させたりする現象が抑制される。また、流出流体と被吸引物の衝突に起因する騒音が軽減される。また、旋回流形成体と邪魔板の間にスペーサを挿入することで流出流体の流路を確保する従来の吸引装置(例えば、特開2016-159405号公報)と比較して、部品点数が削減され、より安価に製造することが可能になる。また、邪魔板により流路が遮蔽される従来の吸引装置と比較して、流路の清掃が容易になる。
また、上記の旋回流形成体1によれば、吸引した流体はすべて旋回流形成体1の外に排出され、凹部13や噴出口14に侵入することがないため、被吸引物により流体の供給路が汚染されることが防止される。
2.第2実施形態
第2実施形態に係る旋回流形成体2(本発明に係る「吸引装置」の一例)は、端面12と傾斜面15に代えて環状壁21を備え、この環状壁21に8本の案内溝22が形成されている点において第1実施形態に係る旋回流形成体1と相違する。以下、これらの相違点について説明する。
第2実施形態に係る旋回流形成体2(本発明に係る「吸引装置」の一例)は、端面12と傾斜面15に代えて環状壁21を備え、この環状壁21に8本の案内溝22が形成されている点において第1実施形態に係る旋回流形成体1と相違する。以下、これらの相違点について説明する。
図6は、本実施形態に係る旋回流形成体2の一例の斜視図である。図7は、旋回流形成体2の一例の底面図である。これらの図に示す環状壁21は、台形の断面形状を有し、一端面の外径が本体11の径と等しくなり、かつ内径が凹部13の径と等しくなるように形成される。また、他端面の外径が一端面の外径よりも小さく、かつ内径が一端面の内径よりも大きくなるように形成される。言い換えると、環状壁21は、一端から他端にかけて厚みが連続的に小さくなるように形成される。または、一端から他端にかけて開口面積が連続的に小さくなるように形成される。このように形成された環状壁21は、凹部13を囲むように、その一端面が本体11に同軸に固定される。
以上説明したように構成される環状壁21は、凹部13内で発生する負圧により吸引される被吸引物と接触することで、当該被吸引物の凹部13への進入を阻害する。また、環状壁21は、その一部が環状壁21の開口に陥入した被吸引物の径方向への移動を制限する。
8本の案内溝22は、環状壁21の一端から他端にかけて、凹部13内に吐出された流体が凹部13から流出する方向(具体的には、1つの噴出口14から吐出され、凹部13から流出する流体分子のベクトルの合成により表される方向)に沿って直線状に形成される。より具体的には、これらの案内溝22は、環状壁21の他端面に向かって見て、その案内溝22と凹部13の開口との接点を通る接線に対して略20度の角度をなす方向に沿って形成される。例えば、図8に示す底面の例において、案内溝22Aは、当該案内溝と凹部13の開口との接点P2を通る接線L2に対して20度の角度をなす方向に沿って形成される。また、これらの案内溝22のうち、2本の案内溝22は、環状壁21の他端面に向かって見て、供給路20が延びる方向に対して略45度の角度をなす方向に沿って形成される。そして、残りの6本の案内溝22は、隣り合う案内溝22が延びる方向が略45度の角度をなすように形成される。例えば、図8に示す底面の例において、案内溝22Bは、供給路20Aが延びる方向(矢印A1)に対して45度の角度をなす方向(矢印A4)に沿って形成される。また、案内溝22Cは、供給路20Bが延びる方向(矢印A3)に対して45度の角度をなす方向(矢印A5)に沿って形成される。各案内溝22の断面形状は半円形である。
以上説明したように構成される案内溝22は、凹部13の開口から流出する主な流体を整流しつつ凹部13から離れる方向に案内する。案内溝22により案内される流体は、環状壁21の内壁面に沿って流れる流体と比較して、被吸引物との衝突が避けられる。
以上説明した旋回流形成体2では、その吸引動作時において、凹部13の開口から流出した主な流体が案内溝22により整流されて、旋回流形成体2の外へ排出される。そのため、この旋回流形成体2であっても、第1実施形態に係る旋回流形成体1と同様の効果が得られる。
3.第3実施形態
第3実施形態に係る放射流形成体3(本発明に係る「吸引装置」の一例)は、旋回流を形成してベルヌーイ効果により被吸引物を吸引する点において第1実施形態に係る旋回流形成体1と相違する。以下、これら装置の相違点について説明する。
第3実施形態に係る放射流形成体3(本発明に係る「吸引装置」の一例)は、旋回流を形成してベルヌーイ効果により被吸引物を吸引する点において第1実施形態に係る旋回流形成体1と相違する。以下、これら装置の相違点について説明する。
図9は、放射流形成体3の一例の斜視図である。図10は、放射流形成体3の一例の底面図である。図11は、図10のC-C線断面図である。これらの図に示す放射流形成体3は、本体31と、環状凹部32と、端面33と、対向面34と、傾斜面35と、8本の案内溝36とを備える。本体31は、アルミニウム合金等の材料からなり、円柱形状を有する。端面33は、本体31の一の面(具体的には、被吸引物に臨む面)(以下、「底面」という。)に平坦状に形成される。環状凹部32は、本体31の外周と同心円状に、端面33に形成される。対向面34は、本体31の底面に平坦状に形成される。その際、対向面34は、本体31の底面において、端面33に対して窪むように形成される。この対向面34は、周囲を環状凹部32に囲まれ、被吸引物と対向する。傾斜面35は、環状凹部32の開口端に形成される。
8本の案内溝36は、端面33の内周縁から外周縁にかけて、環状凹部32内に吐出された流体が環状凹部32から流出する方向(具体的には、後述する1つのノズル孔37から吐出され、環状凹部32から流出する流体分子のベクトルの合成により表される方向)に沿って直線状に形成される。より具体的には、これらの案内溝36は、端面33に向かって見て、その案内溝36と環状凹部32の開口との接点を通る接線に対して略90度の角度をなす方向に沿って形成される。例えば、図12に示す底面の例において、案内溝36Aは、当該案内溝と環状凹部32の開口との接点P3を通る接線L3に対して90度の角度をなす方向に沿って形成される。また、これらの案内溝36は、端面33に向かって見て、後述するノズル孔37が延びる方向に対して略平行な方向に沿って(より具体的には、一直線上に)形成される。例えば、図12に示す底面の例において、案内溝36Bは、ノズル孔37Aが延びる方向(矢印A6)に沿って形成される。
以上説明したように構成される案内溝36は、環状凹部32の開口から流出する主な流体を整流しつつ環状凹部32から離れる方向に案内する。案内溝36により案内される流体は、端面33に沿って流れる流体と比較して、被吸引物との衝突が避けられる。
また、放射流形成体3は、8本のノズル孔37(本発明に係る「流体流形成手段」の一例)と、導入口38と、導入路39と、環状通路40と、連通路41とをさらに備える。導入口38は、円形状を有し、本体31の上面(すなわち、底面と反対の面)の中央に設けられる。この導入口38は、例えばチューブを介して、図示せぬ流体供給ポンプと接続される。導入路39は、本体31の中心軸に沿って直線状に延びるように本体31の内部に設けられる。この導入路39は、その一端が導入口38と連通し、他端が連通路41と連通する。導入路39は、導入口38を介して本体31内に供給される流体を連通路41に供給する。
連通路41は、環状通路40の半径方向に直線的に延びるように本体31の内部に設けられる。この連通路41は、その軸方向中央部において導入路39と連通し、その両端部において環状通路40と連通する。連通路41は、導入路39から供給される流体を環状通路40に供給する。環状通路40は、円筒形状を有し、本体31の内部に設けられる。この環状通路40は、本体31と同軸に形成される。環状通路40は、連通路41から供給される流体をノズル孔37に供給する。
8本のノズル孔37は、各々、端面33又は対向面34に対して略平行、且つ本体31の底面又は上面の半径方向に直線的に延びるように形成され、その一端は環状通路40と連通し、他端は環状凹部32と連通する。これらのノズル孔37は、隣り合うノズル孔37同士が略45度の角度をなすように同一平面上に配置される。各ノズル孔37は、環状凹部32内に流体を吐出して放射流を形成する。
次に、以上説明した放射流形成体3の吸引動作について説明する。放射流形成体3の導入口38に対して流体が供給されると、その流体は、導入路39、連通路41及び環状通路40を通ってノズル孔37から環状凹部32内に吐出される。環状凹部32に吐出された流体は、環状凹部32の開口から放射流として流出する。その際、環状凹部32の開口に対向する位置に被吸引物が存在した場合、放射流形成体3と被吸引物の間の空間への外部流体の流入が制限され、放射流のエントレインメント効果により、当該空間の単位体積あたりの流体分子の密度が小さくなり、負圧が発生する。その結果、被吸引物は周囲の流体によって押圧されて放射流形成体3側に引き寄せられる。一方、環状凹部32の開口から流出した主な流体は、案内溝36により整流されて、放射流形成体3の外へ排出される。
以上説明した放射流形成体3によれば、環状凹部32から流出する主な流体は案内溝36により整流されて排出されるため、流出流体が被吸引物と衝突して被吸引物をばたつかせたり回転させたりする現象が抑制される。また、流出流体と被吸引物の衝突に起因する騒音が軽減される。また、上述した従来の吸引装置と比較して、部品点数が削減され、より安価に製造することが可能になる。また、邪魔板により流路が遮蔽される従来の吸引装置と比較して、流路の清掃が容易になる。
また、上記の放射流形成体3によれば、吸引した流体はすべて放射流形成体3の外に排出され、環状凹部32やノズル孔37に侵入することがないため、被吸引物により流体の供給路が汚染されることが防止される。
4.第4実施形態
第4実施形態に係る放射流形成体4(本発明に係る「吸引装置」の一例)は、端面33に代えて環状壁42を備え、この環状壁42に8本の案内溝43が形成されている点において第3実施形態に係る放射流形成体3と相違する。以下、これらの相違点について説明する。
第4実施形態に係る放射流形成体4(本発明に係る「吸引装置」の一例)は、端面33に代えて環状壁42を備え、この環状壁42に8本の案内溝43が形成されている点において第3実施形態に係る放射流形成体3と相違する。以下、これらの相違点について説明する。
図13は、本実施形態に係る放射流形成体4の一例の斜視図である。図14は、放射流形成体4の一例の底面図である。これらの図に示す環状壁42は、台形の断面形状を有し、一端面の外径が本体31の径と等しくなり、かつ内径が環状凹部32の外径と等しくなるように形成される。また、他端面の外径が一端面の外径よりも小さく、かつ内径が一端面の内径よりも大きくなるように形成される。言い換えると、環状壁42は、一端から他端にかけて厚みが連続的に小さくなるように形成される。または、一端から他端にかけて開口面積が連続的に小さくなるように形成される。このように形成された環状壁42は、環状凹部32を囲むように、その一端面が本体31に同軸に固定される。
以上説明したように構成される環状壁42は、本体31が発生させる負圧により吸引される被吸引物と接触することで、当該被吸引物の環状凹部32への進入を阻害する。また、環状壁42は、その一部が環状壁42の開口に陥入した被吸引物の径方向への移動を制限する。
8本の案内溝43は、環状壁42の一端から他端にかけて、環状凹部32内に吐出された流体が環状凹部32から流出する方向(具体的には、1つのノズル孔37から吐出され、環状凹部32から流出する流体分子のベクトルの合成により表される方向)に沿って直線状に形成される。より具体的には、これらの案内溝43は、環状壁42の他端面に向かって見て、その案内溝43と環状凹部32の開口との接点を通る接線に対して略90度の角度をなす方向に沿って形成される。例えば、図15に示す底面の例において、案内溝43Aは、当該案内溝と環状凹部32の開口との接点P4を通る接線L4に対して90度の角度をなす方向に沿って形成される。また、これらの案内溝43は、環状壁42の他端面に向かって見て、ノズル孔37が延びる方向に対して略平行な方向に沿って(より具体的には、一直線上に)形成される。例えば、図15に示す底面の例において、案内溝43Bは、ノズル孔37Aが延びる方向(矢印A6)に沿って形成される。
以上説明したように構成される案内溝43は、環状凹部32の開口から流出する主な流体を整流しつつ環状凹部32から離れる方向に案内する。案内溝43により案内される流体は、案内溝43の内壁面に沿って流れる流体と比較して、被吸引物との衝突が避けられる。
以上説明した放射流形成体4では、その吸引動作時において、環状凹部32の開口から流出した主な流体が案内溝43により整流されて、放射流形成体4の外へ排出される。そのため、この放射流形成体4であっても、第3実施形態に係る放射流形成体3と同様の効果が得られる。
5.変形例
上記の各実施形態は、以下のように変形してもよい。なお、以下の変形例は互いに組み合わせてもよい。
上記の各実施形態は、以下のように変形してもよい。なお、以下の変形例は互いに組み合わせてもよい。
5-1.変形例1
第1実施形態に係る旋回流形成体1の本体11と凹部13の形状は、円柱に限られず、例えば角柱や楕円柱でもよい。また、凹部13に面する本体11の内周側面111には、開口に向かって拡径するテーパが形成されてもよい。また、凹部13内には、その外周側面と本体11の内周側面111との間に流体流路を形成する凸部が形成されてもよい(例えば、特開2016-159405号公報の図13参照)。また、旋回流形成体1に設けられる噴出口14及び供給路20の数は、2本に限られず、1本であっても3本以上であってもよい。また、噴出口14の配置は、内周側面111の軸方向中央よりも底側に限られず、軸方向中央や端面12側でもよい。また、傾斜面15の形成は省略されてもよい。また、供給口17の形状は、円形に限られず、例えば矩形や楕円でもよい。また、供給口17は、本体11上面ではなく側面に形成されてもよい。また、2本の供給路20は、必ずしも互いに平行に延びていなくてもよい。
第1実施形態に係る旋回流形成体1の本体11と凹部13の形状は、円柱に限られず、例えば角柱や楕円柱でもよい。また、凹部13に面する本体11の内周側面111には、開口に向かって拡径するテーパが形成されてもよい。また、凹部13内には、その外周側面と本体11の内周側面111との間に流体流路を形成する凸部が形成されてもよい(例えば、特開2016-159405号公報の図13参照)。また、旋回流形成体1に設けられる噴出口14及び供給路20の数は、2本に限られず、1本であっても3本以上であってもよい。また、噴出口14の配置は、内周側面111の軸方向中央よりも底側に限られず、軸方向中央や端面12側でもよい。また、傾斜面15の形成は省略されてもよい。また、供給口17の形状は、円形に限られず、例えば矩形や楕円でもよい。また、供給口17は、本体11上面ではなく側面に形成されてもよい。また、2本の供給路20は、必ずしも互いに平行に延びていなくてもよい。
第1実施形態に係る旋回流形成体1において、本体11内に形成される流体通路群に代えて、旋回流を形成してベルヌーイ効果により被吸引物を吸引する電動ファン(例えば、特開2011-138948号公報参照)を採用してもよい。この電動ファンは、本発明に係る「流体流形成手段」の一例である。
第3実施形態に係る放射流形成体3の本体31の形状は、円柱に限られず、例えば角柱や楕円柱でもよい。また、放射流形成体3に設けられるノズル孔37の数は、8本に限られず、7本以下であっても9本以上であってもよい。また、導入口38の形状は、円形に限られず、例えば矩形や楕円でもよい。また、導入口38は、本体31上面ではなく側面に形成されてもよい。
第2実施形態に係る環状壁21と上記の第4実施形態に係る環状壁42の断面形状は、台形に限られず、半円形や三角形であってもよい。また、環状壁21は本体11と、環状壁42は本体31と一体に成形されてもよい。
5-2.変形例2
図16~21は、第1実施形態に係る案内溝16の変形例を示す図である。図16及び17に示す案内溝51は、その断面形状が矩形である点において案内溝16と相違している。なお、矩形以外にも、V字や半楕円であってもよい。図18及び19に示す案内溝52は、その断面形状が矩形であり、かつその断面積が凹部13から離れるにつれて拡大するように形成されている点において案内溝16と相違している。なお、案内溝52は、その径が凹部13から離れるにつれて拡大しているが、径に加えて又は代えてその深さを拡大させてもよい。図20及び21に示す案内溝53は、その断面形状が矩形であり、かつその断面積が凹部13から離れるにつれて縮小するように形成されている点において案内溝16と相違している。なお、案内溝53は、その径が凹部13から離れるにつれて縮小しているが、径に加えて又は代えてその深さを縮小させてもよい。
図16~21は、第1実施形態に係る案内溝16の変形例を示す図である。図16及び17に示す案内溝51は、その断面形状が矩形である点において案内溝16と相違している。なお、矩形以外にも、V字や半楕円であってもよい。図18及び19に示す案内溝52は、その断面形状が矩形であり、かつその断面積が凹部13から離れるにつれて拡大するように形成されている点において案内溝16と相違している。なお、案内溝52は、その径が凹部13から離れるにつれて拡大しているが、径に加えて又は代えてその深さを拡大させてもよい。図20及び21に示す案内溝53は、その断面形状が矩形であり、かつその断面積が凹部13から離れるにつれて縮小するように形成されている点において案内溝16と相違している。なお、案内溝53は、その径が凹部13から離れるにつれて縮小しているが、径に加えて又は代えてその深さを縮小させてもよい。
なお、上記の案内溝16に対する各変形は、第2実施形態に係る案内溝22に適用してもよい。
図22~27は、第3実施形態に係る案内溝36の変形例を示す図である。図22及び23に示す案内溝61は、その断面形状が矩形である点において案内溝36と相違している。なお、矩形以外にも、V字や半楕円であってもよい。図24及び25に示す案内溝62は、その断面形状が矩形であり、かつその断面積が環状凹部32から離れるにつれて拡大するように形成されている点において案内溝36と相違している。なお、案内溝62は、その径が環状凹部32から離れるにつれて拡大しているが、径に加えて又は代えてその深さを拡大させてもよい。図26及び27に示す案内溝63は、その断面形状が矩形であり、かつその断面積が環状凹部32から離れるにつれて縮小するように形成されている点において案内溝36と相違している。なお、案内溝63は、その径が環状凹部32から離れるにつれて縮小しているが、径に加えて又は代えてその深さを縮小させてもよい。
なお、上記の案内溝36に対する各変形は、第4実施形態に係る案内溝43に適用してもよい。
上記の各実施形態に係る案内溝の本数は、8本に限られず、7本以下であっても9本以上であってもよい。また、各案内溝の幅と深さは、図示の例よりも大きくてもよい。例えば、第1実施形態に係る端面12を、図28に例示するように、側面視で波形状の面としてもよい。また、案内溝の配置方法は上記の例に限られない。案内溝の最適な本数、寸法及び配置は、凹部から流出する流体の流量に応じて決まる。
また、上記の各実施形態に係る案内溝は、必ずしも直線状に限られず、多少湾曲していてもよい。具体的には、本体の端面又は凹部に向かって見て、凹部の開口又は本体の外周の円弧よりも曲率が小さい案内溝としてもよい。例えば、凹部の開口又は本体の外周の円弧の半分の曲率の案内溝としてもよい。仮に本体が角柱形状を有する場合には、本体の端面又は凹部に向かって見て、本体の外側の頂点を通る外接円の円弧よりも曲率が小さい案内溝としてもよい。
5-3.変形例3
第1実施形態に係る旋回流形成体1の端面12に、被吸引物の横ずれを防止するための突起71(本発明に係る「移動制限手段」の一例)を取り付けてもよい。図29は、4本の角状の突起71が取り付けられた旋回流形成体1A(本発明に係る「吸引装置」の一例)の一例の斜視図である。図30は、旋回流形成体1Aの一例の底面図である。これらの図に示す4本の突起71は、先端の尖った円柱形状を有し、端面12から略垂直に延びるように取り付けられる。各突起71の配置は、負圧により吸引された被吸引物の周囲を取り囲むようになされる。図示の例では、端面12の径方向中央に、等間隔に配置されている。このように構成される突起71は、高速搬送時に、負圧によって吸引された被吸引物が端面12に沿って移動するのを制限する。
第1実施形態に係る旋回流形成体1の端面12に、被吸引物の横ずれを防止するための突起71(本発明に係る「移動制限手段」の一例)を取り付けてもよい。図29は、4本の角状の突起71が取り付けられた旋回流形成体1A(本発明に係る「吸引装置」の一例)の一例の斜視図である。図30は、旋回流形成体1Aの一例の底面図である。これらの図に示す4本の突起71は、先端の尖った円柱形状を有し、端面12から略垂直に延びるように取り付けられる。各突起71の配置は、負圧により吸引された被吸引物の周囲を取り囲むようになされる。図示の例では、端面12の径方向中央に、等間隔に配置されている。このように構成される突起71は、高速搬送時に、負圧によって吸引された被吸引物が端面12に沿って移動するのを制限する。
なお、突起71の形状は、先端の尖った角柱や円錐や角錐であってもよい。また、突起71の本数は、3本以下であっても5本以上であってもよい。また、突起71の位置は、端面12の径方向外縁又は内縁であってもよい。また、突起71の配置は、負圧により吸引された被吸引物に突き刺さるようになされてもよい。
突起71は、第3実施形態に係る放射流形成体3の端面33に取り付けてもよい。
5-4.変形例4
図31は、変形例3に係る旋回流形成体1Aの変形例である旋回流形成体1Bの一例の側面図である。同図に示す旋回流形成体1Bは、8本の案内溝16を有さず、また突起71がスペーサ81を介して端面12に取り付けられている点において旋回流形成体1Aと相違している。この旋回流形成体1Bが備える4本のスペーサ81は、突起71よりも大径の円柱形状を有し、突起71と同軸に取り付けられる。なお、変形例として、スペーサ81は角柱形状であってもよい。これらのスペーサ81は、旋回流形成体1Bが被吸引物を吸引する際に、突起71に突き刺さった被吸引物(例えば、かき揚げ)の表面と接触し、当該被吸引物が端面12と接触することを妨げることで、当該被吸引物と端面12との間に間隙を保持する。この保持された間隙を、凹部13の開口から流出した主な流体が流れることで、流出流体と被吸引物の衝突が軽減される。そのため、この旋回流形成体1Bによっても、第1実施形態に係る旋回流形成体1と同様の効果が得られる。
図31は、変形例3に係る旋回流形成体1Aの変形例である旋回流形成体1Bの一例の側面図である。同図に示す旋回流形成体1Bは、8本の案内溝16を有さず、また突起71がスペーサ81を介して端面12に取り付けられている点において旋回流形成体1Aと相違している。この旋回流形成体1Bが備える4本のスペーサ81は、突起71よりも大径の円柱形状を有し、突起71と同軸に取り付けられる。なお、変形例として、スペーサ81は角柱形状であってもよい。これらのスペーサ81は、旋回流形成体1Bが被吸引物を吸引する際に、突起71に突き刺さった被吸引物(例えば、かき揚げ)の表面と接触し、当該被吸引物が端面12と接触することを妨げることで、当該被吸引物と端面12との間に間隙を保持する。この保持された間隙を、凹部13の開口から流出した主な流体が流れることで、流出流体と被吸引物の衝突が軽減される。そのため、この旋回流形成体1Bによっても、第1実施形態に係る旋回流形成体1と同様の効果が得られる。
5-5.変形例5
第1実施形態に係る旋回流形成体1の端面12に、被吸引物を保持するための筒体91を取り付けてもよい。図32は、筒体91が取り付けられた旋回流形成体1C(本発明に係る「吸引装置」の一例)の一例の側面図である。同図に示す筒体91は、ゴム等の弾性材料からなる蛇腹状の円筒体であって、旋回流形成体1Cにより吸引された被吸引物を保持するための部材である。この筒体91は、旋回流形成体1Cが発生させる負圧により吸引される流体を通しつつ、凹部13内への被吸引物の進入を阻害するように、その一端が端面12に固定される。言い換えると、凹部13と同軸に固定される。この筒体91のくびれ部の内径は、凹部13の内径と被吸引物の最大径よりも小さく、その他端は、被吸引物に向かって拡径している。この筒体91の高さは、流体供給ポンプから旋回流形成体1Cに対して供給される流体の流量や、被吸引物の種類に応じて設定される。なお、筒体91の形状は、円筒に限られず、角筒や楕円筒等であってもよい。
第1実施形態に係る旋回流形成体1の端面12に、被吸引物を保持するための筒体91を取り付けてもよい。図32は、筒体91が取り付けられた旋回流形成体1C(本発明に係る「吸引装置」の一例)の一例の側面図である。同図に示す筒体91は、ゴム等の弾性材料からなる蛇腹状の円筒体であって、旋回流形成体1Cにより吸引された被吸引物を保持するための部材である。この筒体91は、旋回流形成体1Cが発生させる負圧により吸引される流体を通しつつ、凹部13内への被吸引物の進入を阻害するように、その一端が端面12に固定される。言い換えると、凹部13と同軸に固定される。この筒体91のくびれ部の内径は、凹部13の内径と被吸引物の最大径よりも小さく、その他端は、被吸引物に向かって拡径している。この筒体91の高さは、流体供給ポンプから旋回流形成体1Cに対して供給される流体の流量や、被吸引物の種類に応じて設定される。なお、筒体91の形状は、円筒に限られず、角筒や楕円筒等であってもよい。
以上説明した旋回流形成体1Cによれば、被吸引物を吸引する際に筒体91により周囲の流体の流入が限定されることで、負圧発生領域から離れた位置に存在する被吸引物を吸引することができる。また、筒体91が伸縮可能な蛇腹形状を有しているため、旋回流形成体1Cが被吸引物を吸引する際に芯ずれが発生していたとしても、筒体91が被吸引物の形状に合わせて変形することで、被吸引物を安定的に吸引保持することができる。また、筒体91が蛇腹状であるため、被吸引物が筒体91と接触することで生じる被吸引物の損傷を抑えることができる。また、筒体91が蛇腹状であるため、旋回流形成体1Cと被吸引物との間の上下方向のクリアランスの確保が容易となる。言い換えると、被吸引物の各々に高さのばらつきがあったとしても、筒体91の伸縮性が当該ばらつきを吸収してくれる。
なお、上記の筒体91のくびれ部の内径を、旋回流形成体1Cの凹部13の内径の1/2以下として、より小さい被吸引物を吸引可能としてもよい。また、筒体91の、被吸引物を保持する側の端部に複数の切り欠きを形成してもよい。切り欠きの形状は、鋸歯状や半円や半長円や矩形等であってよい。また、筒体91よりもくびれ部が小径の筒体を複数、端面12に取り付けて、一度に複数の被吸引物を吸引可能としてもよい。また、筒体91を、蛇腹形状を有しない形状としてもよい。また、筒体91を、端面12に固定される側の端部から、被吸引物を保持する側の端部にかけて漸次縮径させてもよい。
筒体91は、第3実施形態に係る放射流形成体3の端面33に取り付けてもよい。
5-6.変形例6
上記の各実施形態に係る旋回流形成体又は放射流形成体は、食品に限られず、半導体ウェーハやガラス基板等の板状又はシート状の部材を吸引して保持し、搬送するために使用されてもよい。その際、被吸引物のサイズによっては、板状のフレームに複数の旋回流形成体又は放射流形成体を取り付けて使用してもよい(例えば、特開2016-159405号公報の図10及び11参照)。
上記の各実施形態に係る旋回流形成体又は放射流形成体は、食品に限られず、半導体ウェーハやガラス基板等の板状又はシート状の部材を吸引して保持し、搬送するために使用されてもよい。その際、被吸引物のサイズによっては、板状のフレームに複数の旋回流形成体又は放射流形成体を取り付けて使用してもよい(例えば、特開2016-159405号公報の図10及び11参照)。
1、1A、1B、1C…旋回流形成体、2…旋回流形成体、3…放射流形成体、4…放射流形成体、11…本体、12…端面、13…凹部、14…噴出口、15…傾斜面、16…案内溝、17…供給口、18…環状通路、19…連通路、20…供給路、21…環状壁、22…案内溝、31…本体、32…環状凹部、33…端面、34…対向面、35…傾斜面、36…案内溝、37…ノズル孔、38…導入口、39…導入路、40…環状通路、41…連通路、42…環状壁、43…案内溝、51…案内溝、52…案内溝、53…案内溝、62…案内溝、63…案内溝、71…突起、81…スペーサ、91…筒体、111…内周側面
Claims (10)
- 柱状の本体と、
前記本体に形成される端面と、
前記端面に形成される凹部と、
前記凹部内に流体を吐出して旋回流又は放射流を形成することにより負圧を発生させて被吸引物を吸引する流体流形成手段と、
前記凹部内に吐出された流体が前記凹部から流出する方向に沿って前記端面に形成された直線状の案内溝と
を備える吸引装置。 - 前記流体流形成手段は、前記凹部内に流体を吐出して旋回流を形成する流体通路であって、
前記案内溝は、前記端面に向かって見て、前記流体通路が延びる方向に対して略45度の角度をなす方向に沿って前記端面に形成される
ことを特徴とする請求項1に記載の吸引装置。 - 前記流体流形成手段は、前記凹部内に流体を吐出して放射流を形成する流体通路であって、
前記案内溝は、前記端面に向かって見て、前記流体通路が延びる方向に対して略平行な方向に沿って前記端面に形成される
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の吸引装置。 - 前記案内溝は、その断面積が前記凹部から離れるにつれて拡大するように形成されることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の吸引装置。
- 前記案内溝は、その断面積が前記凹部から離れるにつれて縮小するように形成されることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の吸引装置。
- 前記端面上に設けられ、前記負圧により吸引される前記被吸引物が前記端面に沿って移動するのを制限する移動制限手段をさらに備えることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の吸引装置。
- 前記移動制限手段は、角状の突起物であり、前記被吸引物に突き刺さることで前記被吸引物の移動を制限することを特徴とする請求項6に記載の吸引装置。
- 柱状の本体と、
前記本体に形成される端面と、
前記端面に形成される凹部と、
前記凹部内に流体を吐出して旋回流又は放射流を形成することにより負圧を発生させて被吸引物を吸引する流体流形成手段と、
前記凹部内に吐出された流体が前記凹部から流出する方向に沿って前記端面に形成された案内溝であって、前記端面に向かって見て、前記凹部の開口の円弧よりも曲率が小さい案内溝と
を備える吸引装置。 - 柱状の本体と、
前記本体の一の面に形成される凹部と、
前記凹部内に流体を吐出して旋回流又は放射流を形成することにより負圧を発生させて被吸引物を吸引する流体流形成手段と、
前記凹部を囲むように設けられ、前記凹部内への前記被吸引物の侵入を阻害する環状壁と、
前記凹部内に吐出された流体が前記凹部から流出する方向に沿って前記環状壁の内壁面に形成された直線状の案内溝と
を備える吸引装置。 - 柱状の本体と、
前記本体の一の面に形成される凹部と、
前記凹部内に流体を吐出して旋回流又は放射流を形成することにより負圧を発生させて被吸引物を吸引する流体流形成手段と、
前記凹部を囲むように設けられ、前記凹部内への前記被吸引物の侵入を阻害する環状壁と、
前記凹部内に吐出された流体が前記凹部から流出する方向に沿って前記環状壁の内壁面に形成された案内溝であって、前記凹部の開口に向かって見て、前記凹部の開口の円弧よりも曲率が小さい案内溝と
を備える吸引装置。
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CN111775174B (zh) * | 2020-07-23 | 2021-09-14 | 天津工业大学 | 一种基于附壁效应的非接触吸盘 |
CN114524270B (zh) * | 2022-02-24 | 2024-06-14 | 南京理工大学 | 一种带针阀的单入口双涡旋非接触式真空吸盘 |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS50118147A (ja) * | 1974-03-01 | 1975-09-16 | ||
US20020130524A1 (en) * | 2001-03-19 | 2002-09-19 | Mcilwraith Lon | Contactless handling of objects |
JP2005051260A (ja) | 2000-06-09 | 2005-02-24 | Harmotec Corp | 非接触搬送装置 |
JP2005251948A (ja) * | 2004-03-03 | 2005-09-15 | Izumi Akiyama | 非接触保持装置および非接触保持搬送装置 |
JP2010016208A (ja) * | 2008-07-04 | 2010-01-21 | Seiko Epson Corp | チャック装置および吸引保持ハンド |
WO2011105596A1 (ja) * | 2010-02-23 | 2011-09-01 | 旭有機材工業株式会社 | インライン型流体混合装置 |
KR20120042507A (ko) * | 2010-10-25 | 2012-05-03 | 서울과학기술대학교 산학협력단 | 래디얼 플로우를 이용한 비접촉식 기판 척킹용 에어 패드 |
JP2013013992A (ja) * | 2011-07-06 | 2013-01-24 | Link Power Kk | 小物ワーク用保持・搬送装置 |
WO2015083615A1 (ja) * | 2013-12-03 | 2015-06-11 | 株式会社ハーモテック | 保持装置、保持システム、制御方法及び搬送装置 |
JP3199452U (ja) * | 2012-08-31 | 2015-08-27 | イョット. シュマルツ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 把持装置 |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0632916B2 (ja) * | 1985-07-15 | 1994-05-02 | 株式会社西部技研 | 流体によつて板状体を無接触状態で懸垂浮遊搬送させる方法 |
DE3686781D1 (de) * | 1985-05-04 | 1992-10-29 | Seibu Giken Kk | Vorrichtung zum halten und/oder foerdern einer platte mittels eines fluids ohne koerperliche beruehrung. |
US5169196A (en) * | 1991-06-17 | 1992-12-08 | Safabakhsh Ali R | Non-contact pick-up head |
EP1233442B1 (en) | 2001-02-20 | 2009-10-14 | Harmotec Corporation | Non-contacting conveyance equipment |
GB0522552D0 (en) * | 2005-11-04 | 2005-12-14 | Univ Salford The | Handling device |
JP4243766B2 (ja) * | 2006-10-02 | 2009-03-25 | Smc株式会社 | 非接触搬送装置 |
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JP2011161529A (ja) * | 2010-02-05 | 2011-08-25 | Seiko Epson Corp | 非接触保持装置 |
KR20110105635A (ko) * | 2010-03-19 | 2011-09-27 | 서울과학기술대학교 산학협력단 | 웨이퍼 이송용 핸드장치 및 웨이퍼 이송용 멀티핸드장치 |
JP5803670B2 (ja) * | 2010-06-07 | 2015-11-04 | 日本電気硝子株式会社 | 板状部材の移送装置及び吸着パッド |
US8904629B2 (en) * | 2012-03-09 | 2014-12-09 | LG CNS Co. Ltd. | Light-emitting diode (LED) wafer picker |
JP5921323B2 (ja) * | 2012-05-11 | 2016-05-24 | 株式会社妙徳 | 搬送保持具及び搬送保持装置 |
JP6292842B2 (ja) * | 2013-11-25 | 2018-03-14 | 株式会社ジェーイーエル | 基板保持装置 |
TWI526380B (zh) * | 2013-11-27 | 2016-03-21 | 財團法人工業技術研究院 | 接觸式渦流固持裝置 |
JP5908136B1 (ja) * | 2015-03-03 | 2016-04-26 | 株式会社ハーモテック | 吸引装置 |
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Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS50118147A (ja) * | 1974-03-01 | 1975-09-16 | ||
JP2005051260A (ja) | 2000-06-09 | 2005-02-24 | Harmotec Corp | 非接触搬送装置 |
US20020130524A1 (en) * | 2001-03-19 | 2002-09-19 | Mcilwraith Lon | Contactless handling of objects |
JP2005251948A (ja) * | 2004-03-03 | 2005-09-15 | Izumi Akiyama | 非接触保持装置および非接触保持搬送装置 |
JP2010016208A (ja) * | 2008-07-04 | 2010-01-21 | Seiko Epson Corp | チャック装置および吸引保持ハンド |
WO2011105596A1 (ja) * | 2010-02-23 | 2011-09-01 | 旭有機材工業株式会社 | インライン型流体混合装置 |
KR20120042507A (ko) * | 2010-10-25 | 2012-05-03 | 서울과학기술대학교 산학협력단 | 래디얼 플로우를 이용한 비접촉식 기판 척킹용 에어 패드 |
JP2013013992A (ja) * | 2011-07-06 | 2013-01-24 | Link Power Kk | 小物ワーク用保持・搬送装置 |
JP3199452U (ja) * | 2012-08-31 | 2015-08-27 | イョット. シュマルツ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 把持装置 |
WO2015083615A1 (ja) * | 2013-12-03 | 2015-06-11 | 株式会社ハーモテック | 保持装置、保持システム、制御方法及び搬送装置 |
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