WO2019030864A1 - 部品装着機 - Google Patents

Abstract

部品装着機は、装着台に着脱可能に装着される着脱ツールの座りを安定化させるべく、部品装着機本体に少なくとも水平方向に移動可能に設けられた装着台と、装着台に着脱可能に装着され、部品を保持した状態で上下方向に移動し得る着脱ツールと、着脱ツールを上下方向に移動させるツール移動機構と、装着台を少なくとも水平方向に移動させる装着台移動機構と、着脱ツールが装着台に装着された後、着脱ツールが部品を保持する前に、装着台移動機構における着脱ツールに部品を保持させるための移動動作とは別の移動動作により、着脱ツールが装着された装着台に水平方向を含む所定方向へ力を加える座り改善処理を実行する制御装置と、を備える。

Description

部品装着機

　本明細書は、部品装着機に関する。

　従来、部品を吸着して基板に装着するための部品装着ヘッドを備える部品装着機が知られている（例えば、特許文献１参照）。この部品装着ヘッドは、部品装着機の基台に取り付けられたヘッド本体と、ヘッド本体に対して着脱可能に装着された吸着ノズルと、吸着ノズルをヘッド本体に対して上下方向に移動させるノズル昇降機構と、を有している。

　ヘッド本体は、吸着ノズルを保持した状態で基台に対して水平方向に移動可能である。ノズル昇降機構は、ヘッド本体に昇降可能に保持される昇降軸を有している。昇降軸の下端部の外周側には、コイルスプリング及び係止環が嵌入されている。係止環は、吸着ノズルが装着されていない状態では、昇降軸に対して自己の重力とコイルスプリングの付勢力との釣り合い位置に位置している。昇降軸の下端部の側壁には、軸心を挟んで互いに対向する一対のスロットが形成されている。各スロットは、昇降軸の下端の開口から上方へ延びて周方向に向いた後に僅かに下方へ延びるＪ字状に形成されたスロットである。

　吸着ノズルは、ヘッド本体に取り付けられた昇降軸の下端部に着脱可能に装着される。すなわち、吸着ノズルは、下端部に設けられ、部品吸着を行うノズル本体部と、上端部に設けられ、昇降軸に対して着脱可能に保持されるノズルホルダ部と、を有している。ノズルホルダ部は、昇降軸の下端部に空いた装着孔に挿入される円筒部と、円筒部の側壁から径方向外側へ突出する一対の係止ピンと、を有している。吸着ノズルは、円筒部が昇降軸の装着孔に挿入され、係止ピンが昇降軸のスロットに下方から挿入されて係合され、コイルスプリングの付勢力に抗して係止環を押し上げ、その後、スロットの最奥部にある座り部に達した後にコイルスプリングの付勢力により係止環の下面で下方へ押圧されることで、昇降軸に装着される。吸着ノズルは、Ｏリングなどを介して昇降軸に隙間嵌合される。

　上記の部品装着機において、吸着ノズルの交換後、その吸着ノズルが装着された昇降軸がヘッド本体に対して下降されることで、吸着ノズルの下端部が治具台の上面に押し当てられる。この場合、吸着ノズルが上方へ押圧されるので、吸着ノズルの、昇降軸に対する座り位置を安定化することができ、これにより、吸着ノズルの位置決め精度を向上させることができる。

特開２０１７－９２２００号公報

　しかしながら、上記の如く、吸着ノズルが交換後に下端部にて治具台に押し当てられると、昇降軸に対する吸着ノズルの上下方向の座りを改善することはできても、吸着ノズルの軸の角度ズレやオフセットズレを含む水平方向の座りを改善することは困難である。

　尚、この事象は、ダイ供給装置が備える突き上げポットがロボット側にテーパクランプなどでメカ的にクランプされる構造でも同様に生じる。一般的に、テーパクランプなどでは、僅かな成形ズレや組み付けズレなどに起因して軸ズレが生じることがある。このため、この突き上げポットが交換後に上端部にて治具台に押し当てられても、その突上げポットに対して下方向への押圧力が作用しただけでは、特に水平方向の座りを改善することは困難である。

　本明細書は、装着台に着脱可能に装着される着脱ツールの座りを安定化させることが可能な部品装着機を提供することを目的とする。

　本明細書は、部品装着機本体に少なくとも水平方向に移動可能に設けられた装着台と、前記装着台に着脱可能に装着され、部品を保持した状態で上下方向に移動し得る着脱ツールと、前記着脱ツールを上下方向に移動させるツール移動機構と、前記装着台を少なくとも水平方向に移動させる装着台移動機構と、前記着脱ツールが前記装着台に装着された後、前記着脱ツールが前記部品を保持する前に、前記装着台移動機構における前記着脱ツールに前記部品を保持させるための移動動作とは別の移動動作により、前記着脱ツールが装着された前記装着台に水平方向を含む所定方向へ力を加える座り改善処理を実行する制御装置と、を備える、部品装着機を開示する。

　本開示によれば、装着台への着脱ツールの装着後かつその着脱ツールの部品保持前に座り改善処理を実行して、装着台移動機構における部品保持移動動作とは別の移動動作により、その装着台に水平方向を含む所定方向へ力を加える。この力の作用により、装着台と着脱ツールとが相対移動し得るものとなる。このため、装着台と着脱ツールとの係合状態を両者の位置関係が安定する状態に改善することができる。従って、装着台に着脱可能に装着される着脱ツールの座りを安定化させることができる。

一実施形態に係る部品装着機の外観斜視図である。 実施形態の部品装着機が備える部品供給装置の外観斜視図である。 実施形態の部品供給装置の突上げユニット及びポットステーションの外観斜視を含む構成図である。 実施形態の突上げユニットの外観斜視図である。 実施形態の突上げユニットのうち突上げポットを取り外した状態での外観斜視図である。 実施形態の突上げユニットが有する突上げポットの外観斜視図である。 実施形態の突上げポットの突上げピンがダイを突き上げた状態を表す一部断面図である。 実施形態の部品装着機が備える部品移載装置の装着ヘッド周辺を水平方向から見た状態を含む構成図である。 実施形態の部品移載装置が有する装着ヘッドの吸着ノズル周辺を水平方向から見た際の一部断面図である。 実施形態の部品移載装置が有する装着ヘッドの吸着ノズル周辺を図９における水平方向とは周方向に９０°ずれた水平方向から見た際の一部断面図である。 第１変形形態に係る部品装着機において実行される制御ルーチンの一例のフローチャートである。 第２変形形態に係る部品装着機において実行される制御ルーチンの一例のフローチャートである。 別の変形形態に係る突上げユニットの一部断面図である。

　１．部品装着機の構成
　一実施形態に係る部品装着機１の構成について、図１～図１０を参照して説明する。
　部品装着機１は、回路基板などの基板に対して部品を装着する装置である。部品装着機１は、図１及び図２に示す如く、基板搬送装置２０と、部品供給装置３０と、部品移載装置７０と、を備えている。基板搬送装置２０、部品供給装置３０、及び部品移載装置７０はそれぞれ、部品装着機１の基台である本体部１０に取り付けられて装着される。

　基板搬送装置２０は、基板を搬送する装置である。基板搬送装置２０は、一対のガイドレール（図示せず）と、コンベアベルト２１と、クランプ装置（図示せず）と、を有している。一対のガイドレールは、間隔を空けて互いに平行に配置されている。ガイドレールは、搬送方向Ｘに向けて基板を案内する。コンベアベルト２１は、基板を載置可能なベルト部材であって、電動モータなどによって輪転可能に設けられている。基板は、一対のガイドレールにより案内されつつコンベアベルト２１により搬送方向Ｘに向けて搬送される。クランプ装置は、コンベアベルト２１上に配設されている。基板は、コンベアベルト２１により所定の部品装着位置まで搬送されると、クランプ装置によって位置決めされる。基板搬送装置２０のコンベアベルト２１、ガイドレール、及びクランプ装置は、基板の種類やサイズ，形状等に応じて適宜交換可能である。

　部品供給装置３０は、基板に装着する部品をピックアップ位置に供給する装置である。部品供給装置３０は、基板に装着する部品としてダイを供給するダイ供給装置３１を有している。ダイ供給装置３１は、図３及び図４に示す如く、マガジン保持部３２と、パレット引出テーブル３３と、突上げユニット３４と、駆動装置３５と、制御装置３６と、ポットステーション３７と、を有している。ダイ供給装置３１は、部品装着機１の本体部１０にパレット引出テーブル３３を差し込んだ状態にセットされる。

　マガジン保持部３２には、マガジンが上下動可能に収納されている。このマガジンには、ウェハパレット４０及びトレイパレット（図示せず）が混載されている。これらのパレットは、上下方向に多段に重ねられている。マガジンは、部品装着機１の稼働時にウェハパレット４０及びトレイパレットのうちの一段のパレットを選択してパレット引出テーブル３３上に引き出すように構成されている。パレットのパレット引出テーブル３３上への引き出しは、パレット引出機構（図示せず）により所定の引き出し位置まで引き出される。

　ウェハパレット４０は、図２に示す如く、パレット本体４１と、そのパレット本体４１にネジ止め等により取り付けられたウェハ装着板４２と、を有している。ウェハ装着板４２は、上下方向に貫通する円形の開口部を有している。ウェハ装着板４２には、伸縮可能なシート状のダイシングシート４３がエキスパンドされた状態でそのウェハ装着板４２の開口部を覆うように装着されている。ダイシングシート４３には、ウェハを基盤目状にダイシングして形成されたダイ４４が、基板に装着される部品として貼着されている。

　突上げユニット３４は、ウェハパレット４０の下方に形成された空間領域内に配置されている。突上げユニット３４は、その空間領域内でＸＹ方向に移動可能に構成されている。突上げユニット３４は、パレット引出テーブル３３上に引き出されたウェハパレット４０のダイシングシート４３のダイ４４をその下方から後述の突上げポット５０の突上げピン５２で局所的に突き上げることにより、そのダイ４４の貼着部分をダイシングシート４３から部分的に剥離させてそのダイ４４を浮き上がらせるためのユニットである。

　突上げユニット３４は、突上げポット５０を有している。突上げポット５０は、ポット本体５１と、突上げピン５２と、を有している。ポット本体５１は、略円柱状に形成された胴部材である。ポット本体５１には、ポット本体５１の軸方向に沿って延びて上面に開口するピン孔５３が形成されている。上記の突上げピン５２は、ポット本体５１のピン孔５３に挿入されるピン状に形成された部材である。突上げピン５２は、ピン孔５３内で上下動することが可能であり、ポット本体５１の上面から上方に突出することが可能である。

　ポット本体５１には、また、ポット本体５１の軸方向に沿って延びて上面に開口するバキューム孔５４が形成されている。バキューム孔５４は、ポット本体５１の上面に複数箇所設けられていてよい。バキューム孔５４には、バキュームポンプ（図示せず）が接続されている。バキューム孔５４には、バキュームポンプの作動により負圧が導かれる。バキューム孔５４に導かれた負圧は、ポット本体５１の上面に接するダイシングシート４３をその上面に吸引する。尚、ダイシングシート４３をポット本体５１の上面に吸引するうえでは、そのポット本体５１にバキューム孔５４を設けることに代えて、そのポット本体５１自体を多孔質材により構成することとしてもよい。

　ポット本体５１の下部には、円環状のフランジ部５５が設けられている。フランジ部５５には、Ｌ字状の引掛片５６が径方向外側に向けて突出するように設けられている。引掛片５６は、ポット本体５１の軸心を挟んで一対設けられている。ポット本体５１の下方中央には、係合部材５７が上下方向（Ｚ方向）に所定量だけ移動可能に設けられている。係合部材５７は、矩形ブロック状に形成されている。係合部材５７には、ロックピン５８が外向きにポット本体５１の軸心を挟んで一対設けられている。ポット本体５１の下面と係合部材５７の上面との間には、スプリング５９が装着されている。スプリング５９は、ポット本体５１に対してロックピン５８を含む係合部材５７を下方に付勢するバネ力を発生する。

　突上げユニット３４は、一つのポット保持部６０を有している。ポット保持部６０には、上記の突上げポット５０が一つ保持される。ポット保持部６０には、位置決めブロック６１が設けられている。位置決めブロック６１は、位置決め部材６２を有している。位置決め部材６２は、ポット本体５１の一対の引掛片５６に対応して二箇所設けられている。位置決め部材６２は、その下面側においてポット本体５１の引掛片５６に係合される。この係合が行われると、突上げポット５０の保持位置がＸＹＺ方向において位置決めされる。

　ポット保持部６０には、被係合ブロック６３が設けられている。被係合ブロック６３には、図５に示す如く、嵌合凹部６４が形成されている。嵌合凹部６４には、突上げポット５０の係合部材５７が上側から嵌合される。被係合ブロック６３の上面すなわち嵌合凹部６４の底面には、バキュームポンプに接続するバキューム配管の継手６３ａが設けられている。継手６３ａには、係合部材５７と嵌合凹部６４との嵌合によりポット本体５１のバキューム孔５４が連通する係合部材５７のバキューム配管５７ａ（図６参照）が接続される。

　係合部材５７の嵌合凹部６４への嵌合は、突上げポット５０の保持位置が位置決め部材６２で位置決めされかつその係合部材５７がスプリング５９のバネ力に抗してそのスプリング５９を圧縮してポット本体５１側へ押し上げた位置で保持される。この際、係合部材５７の２本のロックピン５８は、被係合ブロック６３の嵌合凹部６４の側壁部上端に当接し或いは近接した状態で外側へ突出する。

　被係合ブロック６３には、ロック部材６５が設けられている。ロック部材６５には、被係合ブロック６３の嵌合凹部６４に嵌合した係合部材５７のロックピン５８が係合する。係合部材５７は、ロックピン５８がロック部材６５に係合することでロックされる。ロック部材６５は、回動軸６６を支点にしてロック位置とロック解除位置との間に回動可能に支持されている。ロック部材６５は、バネ（図示せず）によってロック位置側へ付勢されている。ロック部材６５は、上縁部にて傾斜面が形成されたフック部６５ａを有している。

　ロック部材６５の下端部には、ロック解除操作用の突片部６７が下方へ突出するように形成されている。ロック部材６５のロック解除位置への回動は、突上げユニット３４がロック解除操作用の位置まで移動され、上記の突片部６７が本体部１０の引掛具１１に引っ掛けられ、その突上げユニット３４がロック解除方向（Ｙ方向）に移動されることで、実現される。このようにロック部材６５がロック解除位置に回動されると、ロック部材６５のフック部６５ａがロックピン５８から外れることで、そのロックピン５８のロックが解除される。ロックピン５８は、係合部材５７に対して１ｍｍ～数ｍｍだけ上下動可能に設けられると共に、バネ（図示せず）によって上方に付勢されている。ロック部材６５がロック解除位置に回動されると、ロックピン５８がバネ力によって押し上げられ、ロック部材６５のフック部６５ａの先端がロックピン５８の側面に当接するので、そのロック解除状態が保持される。

　突上げユニット３４のポット保持部６０は、駆動装置３５によって部品装着機１の本体部１０に対して上下方向（Ｚ方向）に移動可能に構成されている。ポット保持部６０が駆動装置３５により上昇されると、そのポット保持部６０に保持される突上げポット５０が上昇する。この上昇が、ポット本体５１の上面がウェハパレット４０のダイシングシート４３に接触する所定のシート吸着位置まで行われると、ストッパ機構（図示せず）が作動してそのポット本体５１の上昇が停止される。更に、ポット保持部６０の上昇が継続すると、図７に示す如く、突上げピン５２が、上昇停止したポット本体５１の上面から上方に突出して、ダイシングシート４３のうち吸着しようとするダイ４４の貼着部分を突き上げる。かかる突上げピン５２の突き上げが行われると、そのダイ４４の貼着部分がダイシングシート４３から部分的に剥離されてそのダイ４４が上方へ浮き上がる。突上げピン５２の突き上げ高さは、駆動装置３５の駆動量により調整される。

　突上げピン５２がダイシングシート４３のダイ４４を突き上げる際には、ポット本体５１のバキューム孔５４に負圧が導かれることで、そのポット本体５１の上面にダイシングシート４３が吸引される。このダイシングシート４３の吸引によれば、ダイシングシート４３がポット本体５１の上面に保たれ易くなるので、突上げピン５２の突き上げによってダイ４４をダイシングシート４３から剥離し易くすることが可能である。

　突上げポット５０は、ダイ４４のサイズや種類に合わせて複数種類設けられている。複数種類の突上げポット５０は、例えば突上げピン５２の外径が互いに異なるように構成されている。突上げポット５０は、ポット保持部６０に着脱可能に装着される。ポット保持部６０に装着される突上げポット５０は、パレット引出テーブル３３上に引き出されたウェハパレット４０のダイ４４のサイズ等に応じた種類のものである。

　ポットステーション３７は、パレット引出テーブル３３の下面側に設けられている。ポットステーション３７は、交換用の突上げポット５０を保管する。ポットステーション３７は、複数の突上げポット５０を保管可能に複数（図３では４つ）の保管場所を有している。この複数の保管場所のうち一つは、ポット保持部６０から取り外した突上げポット５０を保管できるように空けられている。

　ポットステーション３７の各保管場所には、凹状部６８及びロックピン嵌合部６９が形成されている。凹状部６８は、突上げポット５０のポット本体５１の胴部が嵌合する部位である。ロックピン嵌合部６９は、突上げポット５０の係合部材５７のロックピン５８が嵌合する部位である。ポットステーション３７への突上げポット５０の保管は、ポット本体５１のフランジ部５５の上面が凹状部６８の下面に係合されてポット本体５１の胴部が凹状部６８に嵌合すると共に、係合部材５７のロックピン５８がロックピン嵌合部６９に嵌合することで、突上げポットのポット本体５１が凹状部６８にスプリング５９のバネ力によって保持されることにより実現される。

　突上げユニット３４は、ポット保持部６０に装着される突上げポット５０を自動交換できるように構成されている。ポット保持部６０に装着される突上げポット５０の自動交換は、ダイシングシート４３上のダイ４４のサイズ等に合わせた突上げポット５０を選択して行われる。

　駆動装置３５は、第１のＺ軸モータ３５ｚ１と、第２のＺ軸モータと３５ｚ２、Ｘ軸モータ３５ｘと、Ｙ軸モータ３５ｙと、を有している。第１のＺ軸モータ３５ｚ１は、突上げピン５２の突き上げ動作時にポット保持部６０を上下方向（Ｚ方向）に移動させるモータである。第２のＺ軸モータ３５ｚ２は、ポット保持部６０に装着される突上げポット５０の自動交換時に被係合ブロック６３のみを上下方向に移動させることで、被係合ブロック６３と位置決めブロック６１との間隔を変化させるモータである。Ｘ軸モータ３５ｘは、ポット保持部６０を搬送方向Ｘに移動させるモータである。Ｙ軸モータ３５ｙは、ポット保持部６０をＹ方向に移動させるモータである。

　制御装置３６は、ＣＰＵやＲＯＭ，ＲＡＭなどが設けられたコンピュータを主体に構成されている。制御装置３６は、第１のＺ軸モータ３５ｚ１、第２のＺ軸モータ３５ｚ２、Ｘ軸モータ３５ｘ、及びＹ軸モータ３５ｙに接続されている。制御装置３６は、突上げポット５０が要求された位置（ＸＹＺ位置）に移動されるように、各モータ３５ｚ１，３５ｚ２，３５ｘ，３５ｙをそれぞれ駆動させる。各モータ３５ｚ１，３５ｚ２，３５ｘ，３５ｙはそれぞれ、制御装置３６からの駆動指令に従って駆動される。各モータ３５ｚ１，３５ｚ２，３５ｘ，３５ｙがそれぞれ駆動されると、ポット保持部６０や被係合ブロック６３が移動されることで、突上げポット５０が要求された位置まで移動されて保持される。

　制御装置３６は、部品装着機１の本機側制御装置や工場のサーバから、ポット保持部６０に装着される突上げポット５０の交換が要求されると、その突上げポット５０の自動交換を実行させる。この突上げポット５０の自動交換は、突上げユニット３４の駆動装置３５の制御により以下の如く実行される。まず、突上げユニット３４がロック解除操作用の位置まで移動された後、上述の如く突片部６７が引掛具１１に引っ掛けられてロック部材６５がロック解除位置に回動される。この場合、ロック部材６５のフック部６５ａがロックピン５８から外れてロックピン５８のロックが解除される。

　その後、ポット保持部６０の被係合ブロック６３が第２のＺ軸モータ３５ｚ２により上昇されてそのポット保持部６０の被係合ブロック６３と位置決めブロック６１との間隔が狭められてスプリング５９が圧縮される。この状態で、ポット保持部６０に装着された突上げポット５０が、ポットステーション３７の空いている保管場所の凹状部６８へ移動され、その突上げポット５０ポット本体５１の胴部が凹状部６８に嵌合されて、そのポット本体５１のフランジ部５５の上面が凹状部６８の下面に係合される。この状態で、ポット保持部６０の被係合ブロック６３が第２のＺ軸モータ３５ｚ２により下降されて係合部材５７のロックピン５８がロックピン嵌合部６９に嵌合される。これにより、突上げポット５０がポットステーション３７に保管された状態になり、その保管状態が突上げポット５０のスプリング５９のバネ力によって保持される。

　その後、ポットステーション３７に保管されている複数の突上げポット５０のうちから次に使用する突上げポット５０が選択される。そして、その突上げポット５０が保管されている位置までポット保持部６０が移動され、位置決めブロック６１の位置決め部材６２が突上げポット５０のポット本体５１の引掛片５６の上側に係合されると共に、被係合ブロック６３の嵌合凹部６４がその突上げポット５０の係合部材５７に嵌合される。尚、この嵌合時、一端がバキュームポンプに接続されかつ他端が被係合ブロック６３の嵌合凹部６４の底面に開口するバキューム配管が、突上げポット５０のバキューム孔５４に連通される。

　この状態で、ポット保持部６０の被係合ブロック６３が第２のＺ軸モータ３５ｚ２により突上げポット５０のスプリング５９のバネ力に抗して上昇される。この被係合ブロック６３の上昇過程では、まず、その被係合ブロック６３のロック部材６５がロック位置にあるので、そのロック部材６５のフック部６５ａの上端部がロックピン５８に突き当たる。このフック部６５ａの上縁部は傾斜面であるので、フック部６５ａの上端部がロックピン５８に突き当たると、そのロック部材６５は、そのフック部６５ａの上昇に応じてロック解除位置の方向に逃げるように回動する。ロック部材６５がロック解除位置へ回動すると、ロックピン５８がフック部６５ａの傾斜面から被係合ブロック６３の嵌合凹部６４の側壁部上端に滑り落ちる。ロックピン５８が嵌合凹部６４の側壁部上端に達すると、ロック部材６５がバネ力によりロック位置に戻り、ロック部材６５のフック部６５ａでロックピン５８がロックされる状態になる。

　そして、被係合ブロック６３の上昇が更に継続すると、その被係合ブロック６３の嵌合凹部６４の側壁部上端で突上げポット５０のロックピン５８が押し上げられる。かかる押し上げが行われると、そのロックピン５８がロックピン嵌合部６９から抜き出される。その後、ポット保持部６０がＹ方向に移動されることで、そのポット保持部６０に装着された突上げポット５０がポットステーション３７から取り外されると共に、そのポット保持部６０の被係合ブロック６３が元の高さ位置まで下降される。これにより、突上げポット５０の自動交換が完了する。

　部品移載装置７０は、部品供給装置３０によりピックアップ位置に供給されたダイ４４を、基板搬送装置２０により位置決めされた基板へ移載する装置である。具体的には、部品移載装置７０は、ピックアップ位置に供給されたダイ４４を部品装着ヘッドの吸着ノズルに吸着させ、その吸着ノズルを位置決めされた基板の上方に移動させた後に下降させ、その吸着ノズルの吸着を解除してダイ４４を基板上の装着位置に装着する。部品移載装置７０は、図２及び図８に示す如く、ＸＹロボット７１と、装着ヘッド７２と、制御装置７３と、ノズルステーション７４と、を有している。

　ＸＹロボット７１は、基板搬送装置２０の鉛直上方に配設されている。ＸＹロボット７１は、基板搬送装置２０による基板の搬送方向Ｘに延びるＸ軸ガイドレールにより支持されていると共に、その搬送方向Ｘに直交する直交方向Ｙに延びるＹ軸ガイドレールにより、Ｘ軸ガイドレールと一体的に支持されている。ＸＹロボット７１は、Ｘ軸サーボモータ７１ｘによりＸ軸ガイドレールに沿って搬送方向Ｘに向けて移動可能であると共に、Ｙ軸サーボモータ７１ｙによりＹ軸ガイドレールに沿って直交方向Ｙに向けて移動可能である。

　装着ヘッド７２は、ＸＹロボット７１に取り付けられている。装着ヘッド７２は、ＸＹロボット７１により搬送方向Ｘ及び直交方向Ｙの双方に移動可能である。装着ヘッド７２は、ヘッド本体７５と、吸着ノズル７６と、ノズル昇降機構７７と、を有している。

　ヘッド本体７５は、部品装着機１の本体部１０に取り付けられている。吸着ノズル７６は、負圧などの導入によりノズル先端である下端部にダイ４４を吸着するノズルである。吸着ノズル７６は、部品供給装置３０のピックアップ位置に供給されたダイ４４を負圧などを用いて吸着すると共に、その吸着したダイ４４を吸着解除により基板上の装着位置に載置する。尚、装着ヘッド７２は、複数の吸着ノズル７６を同時に保持可能であってもよい。

　ノズル昇降機構７７は、吸着ノズル７６をヘッド本体７５に対して上下方向に移動させる機構である。ノズル昇降機構７７は、昇降軸７８を有している。昇降軸７８は、ヘッド本体７５に昇降可能かつＺ軸線回りに回転可能に保持されるシリンジである。吸着ノズル７６は、昇降軸７８に昇降可能に装着されている。

　ノズル昇降機構７７は、第１昇降装置７９と、第２昇降装置８０と、回転装置８１と、を有している。第１昇降装置７９は、昇降軸７８をヘッド本体７５に対して昇降させる。第１昇降装置７９は、第１リニアモータ７９ａ及び第１昇降駆動部材７９ｂなどにより構成されている。第２昇降装置８０は、吸着ノズル７６を昇降軸７８に対して昇降させる。第２昇降装置８０は、第２リニアモータ８０ａ、第２昇降駆動部材８０ｂ、ローラ８０ｃ、ロードセル８０ｄ、及び付勢スプリング８０ｅなどにより構成されている。回転装置８１は、昇降軸７８をヘッド本体７５に対して回転させる。回転装置８１は、回転モータ８１ａなどにより構成されている。

　ヘッド本体７５は、軸保持部８２と、モータ保持部８３と、ガイド８４と、回転モータ８１ａと、を有している。軸保持部８２は、昇降軸７８を昇降可能かつ回転可能に保持する。モータ保持部８３は、第１リニアモータ７９ａを固定的に保持する。ガイド８４は、一対設けられており、第１昇降駆動部材７９ｂの昇降を案内する。

　吸着ノズル７６は、ノズル部８５と、フランジ部８６と、ホルダ部８７と、を有している。吸着ノズル７６は、昇降軸７８に対して着脱（交換）可能に装着される。ノズル部８５は、管状に形成されており、下端部にてダイ４４を吸着することが可能である。フランジ部８６は、図９及び図１０に示す如く、円板部８６ａと、軸部８６ｂと、バネ保持筒８６ｃと、を有している。軸部８６ｂは、円板部８６ａと一体的に形成されており、円板部８６ａの中心に貫通している。軸部８６ｂの下端部には、ノズル部８５が嵌入されている。バネ保持筒８６ｃは、円筒状に形成されており、円板部８６ａの上面に固定的に付設されている。

　ホルダ部８７は、中空の円筒状に形成されている。ホルダ部８７の下部内壁には、軸方向に沿って延びるベアリング溝８８が形成されている。また、軸部８６ｂの、円板部８６ａよりも上側の外壁には、軸方向に沿って延びるベアリング溝８９が形成されている。ホルダ部８７のベアリング溝８８と軸部８６ｂのベアリング溝８９との間には、ベアリング９０が嵌入されている。フランジ部８６は、ホルダ部８７に対して昇降可能に保持される。

　ホルダ部８７の上端には、蓋９１が付設されている。ホルダ部８７の上部は、昇降軸７８の下端部に下方に開口する装着孔７８ａに挿入される。ホルダ部８７は、その上部が装着孔７８ａに挿入された状態で昇降軸７８に着脱可能に装着される。ホルダ部８７は、Ｏリングなどを介して昇降軸７８に隙間嵌合される。吸着ノズル７６のホルダ部８７と昇降軸７８との間には、Ｏリングが介在するものであってもよい。ホルダ部８７の下部外周は、フランジ部８６のバネ保持筒８６ｃで覆われる。ホルダ部８７の下端部には、径方向外側へ突出する外鍔部９２が設けられている。バネ保持筒８６ｃの上端部には、径方向内側へ突出する内鍔部９３が設けられている。ホルダ部８７の外鍔部９２とバネ保持筒８６ｃの内鍔部９３との間には、付勢スプリング８０ｅが配設されている。付勢スプリング８０ｅは、外鍔部９２と内鍔部９３とに両端を支持される圧縮コイルスプリングである。

　フランジ部８６の軸部８６ｂの上部には、長孔９４が設けられている。長孔９４は、軸部８６ｂの側壁を貫通し、上下方向に長くなるように形成されている。ホルダ部８７には、軸部８６ｂの長孔９４に向かい合う位置に一対の孔９５が設けられている。長孔９４及び一対の孔９５には、係止ピン９６が挿通されている。係止ピン９６は、ホルダ部８７に固定されている。

　昇降軸７８の下端部の側壁には、一対のＪスロット９７が設けられている。一対のＪスロット９７は、昇降軸７８の軸心を挟んで互いに対向している。Ｊスロット９７は、昇降軸７８の下端に開口しており、その開口から上方へ延びて周方向に向いた後に僅かに下方へ延びるＪ字状に形成されている。上記の係止ピン９６の、ホルダ部８７から飛び出た両端部分は、一対のＪスロット９７に係合される。

　昇降軸７８の下端部の外周側には、係止環９８及びコイルスプリング９９が嵌入されている。昇降軸７８の中央部には、径方向外側へ突出する外鍔部７８ｂが設けられている。コイルスプリング９９は、係止環９８の上面と昇降軸７８の外鍔部７８ｂとの間に配設された圧縮コイルスプリングである。係止環９８は、吸着ノズル７６が昇降軸７８に対して装着されていない状態では、昇降軸７８に対して係止環９８の重力とコイルスプリング９９の付勢力との釣り合い位置に位置している。

　吸着ノズル７６の昇降軸７８に対する装着は、以下の手順で係止ピン９６のＪスロット９７への係合が固定されることにより実現される。まず、吸着ノズル７６のホルダ部８７の上部が昇降軸７８の装着孔７８ａに挿入され、係止ピン９６が昇降軸７８のＪスロット９７に下方から挿入されて係合され、そのＪスロット９７の延在方向に沿ってその最奥部まで移動される。この係止ピン９６の移動過程で、係止ピン９６が、係止環９８の下面に当接し、コイルスプリング９９のバネ力に抗してその係止環９８を押し上げる。その後、係止ピン９６が、Ｊスロット９７の最奥部にある座り部に達する。この係止ピン９６がＪスロット９７の座り部に達した状態では、その係止ピン９６がコイルスプリング９９のバネ力により係止環９８の下面で下方へ押圧される。このコイルスプリング９９のバネ力による押圧によって係止ピン９６のＪスロット９７への係合が固定されることで、吸着ノズル７６が昇降軸７８に装着される。

　また、吸着ノズル７６の昇降軸７８に対する取り外しは、以下の手順で係止ピン９６のＪスロット９７への係合が解除されることにより実現される。まず、吸着ノズル７６の係止ピン９６がＪスロット９７の座り部からコイルスプリング９９のバネ力に抗して係止環９８を上方へ押し上げ、Ｊスロット９７の延在方向に沿ってその開口まで移動される。この係止ピン９６の移動途中で、その係止ピン９６に作用するコイルスプリング９９のバネ力がゼロとなる。これにより、係止ピン９６のＪスロット９７への係合が解除されると共に、昇降軸７８の装着孔７８ａへのホルダ部８７の上部の挿入が解除されることで、吸着ノズル７６が昇降軸７８から取り外される。

　ホルダ部８７は、昇降軸７８に対して昇降規制されていると共に回転規制されている。一方、フランジ部８６は、長孔９４での係止ピン９６の可動範囲（すなわち、長孔９４の長さと係止ピン９６の直径との差分）だけ、ホルダ部８７ひいては昇降軸７８に対して昇降可能である。付勢スプリング８０ｅは、フランジ部８６をホルダ部８７ひいては昇降軸７８に対して上方へ付勢している。これにより、フランジ部８６は、上記の可動範囲において上昇端に位置決めされている。

　ノズル昇降機構７７において、第１リニアモータ７９ａには、第１昇降駆動部材７９ｂが取り付けられている。第１昇降駆動部材７９ｂは、ヘッド本体７５の軸保持部８２の外側において昇降軸７８の軸線に沿ってＺ方向に延在している。第１昇降駆動部材７９ｂの上下方向中央部には、係合部７９ｃが設けられている。係合部７９ｃは、昇降軸７８のフランジ部７８ｃに係合される。第１昇降駆動部材７９ｂの下端部には、第２リニアモータ８０ａが保持されている。第１リニアモータ７９ａは、第１昇降駆動部材７９ｂで昇降軸７８及び第２リニアモータ８０ａの双方を昇降させることが可能である。

　第２リニアモータ８０ａには、第２昇降駆動部材８０ｂが取り付けられている。第２昇降駆動部材８０ｂは、吸着ノズル７６の軸線に沿ってＺ軸方向に延在している。第２昇降駆動部材８０ｂの上下方向中央部には、ロードセル８０ｄが配置されている。第２昇降駆動部材８０ｂの下端部には、ローラ８０ｃが回転可能に保持されている。ローラ８０ｃは、フランジ部８６の円板部８６ａの上面に当接している。第２リニアモータ８０ａは、第２昇降駆動部材８０ｂでロードセル８０ｄ及びローラ８０ｃの双方を昇降させることが可能である。

　第２リニアモータ８０ａは、ローラ８０ｃで付勢スプリング８０ｅの付勢力に抗してフランジ部８６の円板部８６ａの上面を下方に押圧することが可能である。かかるローラ８０ｃでの押圧が生じると、フランジ部８６がホルダ部８７に対して下降される。ローラ８０ｃでの押圧力が小さくなると、付勢スプリング８０ｅの付勢力によりフランジ部８６がホルダ部８７に対して上昇される。すなわち、第２リニアモータ８０ａは、吸着ノズル７６を昇降軸７８に対して昇降させる。ロードセル８０ｄは、ローラ８０ｃで円板部８６ａを押圧したときのＺ方向の押圧力を検出する。ロードセル８０ｄの検出押圧力は、付勢スプリング８０ｅの付勢力により吸着ノズル７６に作用する上向きの力と、ダイ４４の基板への装着時にダイ４４を介して基板側から吸着ノズル７６に作用する上向きの力と、の和である。

　回転モータ８１ａの回転は、昇降軸７８の昇降を許容しつつ、その昇降軸７８に伝達される。昇降軸７８は、回転モータ８１ａの回転により回転する。昇降軸７８の回転は、係止ピン９６とＪスロット９７との係合及びベアリング９０によって吸着ノズル７６に伝達される。吸着ノズル７６は、昇降軸７８の回転により回転する。

　装着ヘッド７２は、吸着ノズル７６で吸着したダイ４４が基板に装着される際、ダイ４４に過大な力による衝撃が加わらないように以下の動作を行う。具体的には、まず、第１リニアモータ７９ａの駆動により第１昇降駆動部材７９ｂが下降されることにより、昇降軸７８及び第２リニアモータ８０ａが下降される。また、第２リニアモータ８０ａの駆動により第２昇降駆動部材８０ｂ及びローラ８０ｃが下降されることにより、吸着ノズル７６が押圧されて下降される。尚、この動作時には、必要に応じて回転モータ８１ａが昇降軸７８ひいては吸着ノズル７６を回転させることにより、吸着ノズル７６に吸着したダイ４４の回転姿勢が変更ないしは修正されることとしてもよい。

　吸着ノズル７６は、ダイ４４のサイズや種類に合わせて複数種類設けられている。複数種類の吸着ノズル７６は、例えば吸着ノズル７６の外径が互いに異なるように構成されている。吸着ノズル７６は、昇降軸７８に着脱可能に装着される。昇降軸７８に装着される吸着ノズル７６は、突上げポット５０の突上げピン５２により突き上げられたダイ４４のサイズ等に応じた種類のものである。

　ノズルステーション７４は、基板搬送装置２０と部品供給装置３０との間に設けられている。ノズルステーション７４は、交換用の吸着ノズル７６を保管する。ノズルステーション７４は、略直方体形状の収容容器７４ａを有している。収容容器７４ａは、複数の吸着ノズル７６を保管可能に複数のノズル収容孔を有している。この複数のノズル収容孔のうち一つは、昇降軸７８から取り外した吸着ノズル７６を保管できるように空けられている。

　装着ヘッド７２は、ヘッド本体７５に装着する吸着ノズル７６を自動交換できるように構成されている。ヘッド本体７５に装着する吸着ノズル７６の自動交換は、吸着するダイ４４のサイズ等に合わせた吸着ノズル７６を選択して行われる。

　制御装置７３は、ＣＰＵやＲＯＭ，ＲＡＭなどが設けられたコンピュータを主体に構成されている。制御装置７３は、Ｘ軸サーボモータ７１ｘ、Ｙ軸サーボモータ７１ｙ、第１リニアモータ７９ａ、第２リニアモータ８０ａ、ロードセル８０ｄ、及び回転モータ８１ａに接続されている。制御装置７３は、吸着ノズル７６が要求された位置（ＸＹＺ位置）に移動されるように、各モータ７１ｘ，７１ｙ，７９ａ，８０ａ，８１ａをそれぞれ駆動させる。各モータ７１ｘ，７１ｙ，７９ａ，８０ａ，８１ａはそれぞれ、制御装置７３からの駆動指令に従って駆動される。各モータ７１ｘ，７１ｙ，７９ａ，８０ａ，８１ａがそれぞれ駆動されると、ＸＹロボット７１やヘッド本体７５が移動されることで、吸着ノズル７６が要求された位置まで移動されて保持される。

　制御装置７３は、部品装着機１の本機側制御装置や工場のサーバから、装着ヘッド７２に装着する吸着ノズル７６の交換が要求されると、その吸着ノズル７６の自動交換を実行させる。この吸着ノズル７６の自動交換は、ＸＹロボット７１及びノズル昇降機構７７の制御により以下の如く実行される。

　まず、ＸＹロボット７１がＸＹ面内に移動されることで、装着ヘッド７２がノズルステーション７４の収容容器７４ａの空のノズル収容孔の上方に移動される。そして、ノズル昇降機構７７により昇降軸７８が下降されることで、装着ヘッド７２に現在装着されている吸着ノズル７６がその空のノズル収容孔へ受け渡される。次に、ノズル昇降機構７７により昇降軸７８が上昇されつつ、ＸＹロボット７１がＸＹ面内に移動されることで、装着ヘッド７２が装着すべき吸着ノズル７６が収容されているノズル収容孔の上方へ移動される。そして、ノズル昇降機構７７により昇降軸７８が下降されることで、そのノズル収容孔に収容されている吸着ノズル７６が装着ヘッド７２に装着される。その吸着ノズル７６の装着後、ノズル昇降機構７７により昇降軸７８が上昇される。これにより、吸着ノズル７６の自動交換が完了する。

　ＸＹロボット７１には、カメラＫ１が取り付けられている。カメラＫ１は、ダイシングシート４３上のダイ４４若しくは突上げポット５０が突き上げたダイ４４を上方から撮像して、そのダイ４４の位置情報を取得する。この位置情報は、部品供給装置３０によりピックアップ位置に供給されたダイ４４が装着ヘッド７２の吸着ノズル７６に吸着される時にその吸着ノズル７６の位置制御や姿勢制御に用いられる。

　部品装着機１の本体部１０には、カメラＫ２が取り付けられている。カメラＫ２は、吸着ノズル７６に吸着されているダイ４４を下方から撮像して、そのダイ４４の位置情報を取得することが可能である。この位置情報は、吸着ノズル７６に吸着されたダイ４４の基板への装着時にその吸着ノズル７６の位置制御や姿勢制御に用いられる。また、このカメラＫ２は、装着ヘッド７２の昇降軸７８に装着される吸着ノズル７６の交換後にその吸着ノズル７６を撮像して、昇降軸７８に対する吸着ノズル７６の装着位置の情報を取得することが可能である。この位置情報は、後に詳述する如く、昇降軸７８に対する吸着ノズル７６の座りを改善する動作の制御に用いられる。カメラＫ２の撮像情報は、制御装置７３に供給される。

　部品装着機１の本体部１０又は部品供給装置３０のマガジン保持部３２などには、カメラＫ３が取り付けられている。カメラＫ３は、ポット保持部６０に装着される突上げポット５０の交換後にその突上げポット５０を撮像して、ポット保持部６０に対する突上げポット５０の装着位置の情報を取得することが可能である。この位置情報は、後に詳述する如く、ポット保持部６０に対する突上げポット５０の座りを改善する動作の制御に用いられる。カメラＫ３の撮像情報は、制御装置３６に供給される。

　２．部品装着機における突上げポット及び吸着ノズルの交換後の動作
　ところで、上記構造を有する部品装着機１において、ポット保持部６０は、突上げユニット３４の突上げポット５０を装着した状態で駆動装置３５によりＸＹＺ方向に移動可能である。ポット保持部６０に装着される突上げポット５０は、ポットステーション３７に保管されている交換用の突上げポット５０と交換可能である。突上げポット５０は、その引掛片５６がポット保持部６０の位置決めブロック６１の位置決め部材６２に係合することにより位置決めされて保持される。この位置決め時、突上げポット５０の係合部材５７が被係合ブロック６３の嵌合凹部６４に嵌合される。

　また、装着ヘッド７２は、吸着ノズル７６を装着した状態でＸＹロボット７１によりＸＹ方向に移動可能であると共に、その吸着ノズル７６は、ノズル昇降機構７７の第１リニアモータ７９ａによりヘッド本体７５に昇降可能かつ回転モータ８１ａによりＺ軸線回りに回転可能な昇降軸７８に装着される。装着ヘッド７２に装着される吸着ノズル７６は、ノズルステーション７４に保管されている交換用の吸着ノズル７６と交換可能である。吸着ノズル７６は、ホルダ部８７に固定された係止ピン９６が昇降軸７８のＪスロット９７の最奥部にある座り部に係止されることにより位置決めされて保持される。

　上記の如く突上げポット５０又は吸着ノズル７６が交換されたとき、ポット保持部６０に対する突上げポット５０の座り又は昇降軸７８に対する吸着ノズル７６の座りが安定しないことがある。この座りが安定しないと、突上げポット５０又は吸着ノズル７６においてダイ４４を保持する位置がダイ４４の保持前後で変化するおそれがある。従って、上記の交換後、突上げポット５０や吸着ノズル７６によるダイ４４の保持前に、ポット保持部６０に対する突上げポット５０の座り又は昇降軸７８に対する吸着ノズル７６の座りを安定化させることは重要である。

　部品装着機１において、部品供給装置３０の制御装置３６は、ポット保持部６０に装着される突上げポット５０の交換が行われた後、その突上げポット５０の突上げピン５２がダイシングシート４３上のダイ４４を突き上げてダイ４４を保持する前に、ポット保持部６０に対する突上げポット５０の座りを改善させる座り改善処理を実行する。

　上記した突上げポット５０の座り改善処理は、その突上げポット５０が装着されたポット保持部６０に対するその突上げポット５０の座りを改善させるべく、ポット保持部６０に水平方向を含む所定方向へ力を加えるものである。この制御装置３６による座り改善処理は、駆動装置３５のＸ軸モータ３５ｘ及びＹ軸モータ３５ｙにより、ポット保持部６０に対する突上げポット５０の座りの改善のためにそのポット保持部６０を移動動作させることにより実現される。尚、上記の所定方向は、水平方向を少なくとも含めばよく、上下方向を含んでもよいが、この水平方向成分の力は支配的に大きいことが好ましい。この所定方向として上下方向が含まれる場合は、駆動装置３５の更に第１のＺ軸モータ３５ｚ１をも用いてポット保持部６０が移動動作される。

　上記した座り改善処理における座り改善のためのポット保持部６０の移動動作（以下、座り改善移動動作と称す。）は、突上げポット５０の突上げピン５２でダイシングシート４３上のダイ４４を突き上げるためにポット保持部６０を移動動作させること（以下、通常移動動作と称す。）とは別に実施されるものである。尚、この座り改善移動動作は、通常移動動作が開始される前に実施されることが好ましいが、通常移動動作が終了した後、ダイ４４を突き上げる前に実施されてもよい。

　ポット保持部６０の座り改善移動動作は、ポット保持部６０に水平方向を含む所定方向へ力が加わるように加減速を伴う移動動作であり、例えば、２点間の直線往復移動、水平方向３６０°に万遍なく力が加わるように行われる複数点間の順次移動、径方向の向きを変えることなく行われる円運動或いは螺旋運動などである。尚、座り改善効果を向上させるうえでは、座り改善移動動作は複数回繰り返し実行されることが好ましい。例えば、２点間の直線往復移動のときは一往復を一回としてその往復移動を複数回繰り返すことすなわち振動することが好ましい。また、円運動のときは一周を一回としてその円運動を複数回繰り返すことすなわち回転することが好ましい。また、座り改善移動動作が上記の如く複数回繰り返し実行されるときは、その繰り返し回数は多いほど好ましい。また、座り改善移動動作は、例えば、上記の如く一往復を一回とすることに代えて、所定複数回の往復を一回としてもよく、また、上記の如く一周を一回とすることに代えて、所定複数周を一回としてもよい。

　制御装置３６による座り改善処理により駆動装置３５のＸ軸モータ３５ｘ及びＹ軸モータ３５ｙが駆動されると、ポット保持部６０が加減速を伴った座り改善移動動作を行うことで、そのポット保持部６０に水平方向を含む所定方向へ力が加わる。ポット保持部６０に水平方向を含む所定方向へ力が加わると、そのポット保持部６０に加わる力の作用により、そのポット保持部６０とそのポット保持部６０に装着されている突上げポット５０とが相対移動し得るものとなる。このため、ポット保持部６０の嵌合凹部６４と突上げポット５０の係合部材５７との嵌合状態が両者の特に水平方向の位置関係が安定する状態に改善されると共に、ポット保持部６０の位置決め部材６２と突上げポット５０の引掛片５６との係合状態が両者の特に水平方向の位置関係が安定する状態に改善される。例えば、突上げポット５０がポット保持部６０に対して所望位置から角度ズレやオフセットズレして装着されていた場合でも、その角度ズレやオフセットズレが解消される。また、上記した力の加わる回数が多い或いは上記した力の加わる時間が長いほど、その改善が促進される。

　また、部品装着機１において、部品移載装置７０の制御装置７３は、装着ヘッド７２の昇降軸７８に装着される吸着ノズル７６の交換が行われた後、その吸着ノズル７６のノズル部８５が負圧などにより下端部にダイ４４を吸着して保持する前に、昇降軸７８に対する吸着ノズル７６の座りを改善させる座り改善処理を実行する。

　上記した吸着ノズル７６の座り改善処理は、その吸着ノズル７６が装着された昇降軸７８に対するその吸着ノズル７６の座りを改善させるべく、昇降軸７８に水平方向を含む所定方向へ力を加えるものである。この制御装置７３による座り改善処理は、ＸＹロボット７１のＸ軸サーボモータ７１ｘ及びＹ軸サーボモータ７１ｙにより、昇降軸７８に対する吸着ノズル７６の座りの改善のためにその昇降軸７８を移動動させることにより実現される。尚、上記の所定方向は、水平方向を少なくとも含めばよく、上下方向を含んでもよいが、この水平方向成分の力は支配的に大きいことが好ましい。この所定方向として上下方向が含まれる場合は、更に第１昇降装置７９の第１リニアモータ７９ａをも用いて昇降軸７８が移動動作される。

　上記した座り改善のための昇降軸７８の座り改善移動動作は、吸着ノズル７６の先端に突上げピン５２で突き上げられたダイ４４を吸着するために昇降軸７８を通常移動動作させることとは別に実施されるものである。尚、この座り改善移動動作は、通常移動動作が開始される前に実施されることが好ましいが、通常移動動作が終了した後、ダイ４４を吸着する前に実施されてもよい。

　昇降軸７８の座り改善移動動作は、昇降軸７８に水平方向を含む所定方向へ力が加わるように加減速を伴う移動動作であり、例えば、２点間を往復移動すること、水平方向３６０°に万遍なく力が加わるように複数点間を順次移動すること、径方向の向きを変えることなく円運動或いは螺旋運動することなどである。尚、座り改善効果を向上させるうえでは、座り改善移動動作は複数回繰り返し実行されることが好ましい。例えば、２点間の往復移動のときは一往復を一回としてその往復移動を複数回繰り返すことすなわち振動することが好ましい。また、円運動のときは一周を一回としてその円運動を複数回繰り返すことすなわち回転することが好ましい。また、座り改善移動動作が上記の如く複数回繰り返し実行されるときは、その繰り返し回数は多いほど好ましい。また、座り改善移動動作は、例えば、上記の如く一往復を一回とすることに代えて、所定複数回の往復を一回としてもよく、また、上記の如く一周を一回とすることに代えて、所定複数周を一回としてもよい。

　制御装置７３による座り改善処理によりＸＹロボット７１のＸ軸サーボモータ７１ｘ及びＹ軸サーボモータ７１ｙが駆動されると、昇降軸７８が加減速を伴った座り改善移動動作を行うことで、その昇降軸７８に水平方向を含む所定方向へ力が加わる。昇降軸７８に水平方向を含む所定方向へ力が加わると、その昇降軸７８に加わる力の作用によって、その昇降軸７８とその昇降軸７８に装着されている吸着ノズル７６とが相対移動し得るものとなるので、昇降軸７８のＪスロット９７と吸着ノズル７６の係止ピン９６との係合状態が両者の特に水平方向の位置関係が安定する状態に改善される。例えば、吸着ノズル７６が昇降軸７８に対して所望位置から角度ズレやオフセットズレして装着されていた場合でも、その角度ズレやオフセットズレが解消される。また、上記した力の加わる回数が多い或いは上記した力の加わる時間が長いほど、その改善が促進される。

　このように、本実施形態の部品装着機１によれば、ポット保持部６０に装着される突上げポット５０の交換が行われた場合、その交換後、その突上げポット５０の突上げピン５２がダイシングシート４３上のダイ４４を突き上げてダイ４４を保持する前に、駆動装置３５による座り改善移動動作によりポット保持部６０に対する突上げポット５０の特に水平方向の座りを安定化させることができる。また、装着ヘッド７２の昇降軸７８に装着される吸着ノズル７６の交換が行われた場合、その交換後、その吸着ノズル７６のノズル部８５がダイ４４を吸着して保持する前に、ＸＹロボット７１による座り改善移動動作により昇降軸７８に対する吸着ノズル７６の特に水平方向の座りを安定化させることができる。

　このため、交換後の突上げポット５０や吸着ノズル７６の位置決め精度を向上させることができ、これにより、突上げポット５０の突上げピン５２の先端や吸着ノズル７６のノズル部８５の先端が通常移動動作後にダイ４４を保持（具体的には、突き上げ若しくは吸着）する際の位置ズレを抑えることができ、交換後の突上げポット５０や吸着ノズル７６にダイ４４を精度良い位置に保持させることができる。

　尚、上記の実施形態においては、部品装着機１の本体部１０が請求の範囲に記載した「部品装着機本体」に、ポット保持部６０又は昇降軸７８が請求の範囲に記載した「装着台」に、ダイ４４が請求の範囲に記載した「部品」に、突上げポット５０又は吸着ノズル７６が請求の範囲に記載した「着脱ツール」に、駆動装置３５の第１及び第２のＺ軸モータ３５ｚ１，３５ｚ２に係る部分又はノズル昇降機構７７が請求の範囲に記載した「ツール移動機構」に、駆動装置３５のＸ軸モータ３５ｘ及びＹ軸モータ３５ｙに係る部分又はＸＹロボット７１が請求の範囲に記載した「装着台移動機構」に、制御装置３６，７３が請求の範囲に記載した「制御装置」に、それぞれ相当している。

　３．変形形態
　３－１．第１変形形態
　ところで、上記の実施形態においては、突上げポット５０や吸着ノズル７６の座り改善処理におけるポット保持部６０や昇降軸７８の座り改善移動動作が一回以上実行される。しかし、その座り改善移動動作が複数回繰り返し実行される構成では、その複数回が過大な値に設定されていると、突上げポット５０や吸着ノズル７６の座りが十分に安定した後にも、その座り改善移動動作が無駄に継続して実行されるおそれがある。一方、その複数回が過小な値に設定されていると、突上げポット５０や吸着ノズル７６の座りが十分に安定する前に、その座り改善移動動作が終了するおそれがある。従って、ポット保持部６０や昇降軸７８の座り改善移動動作を無駄に継続させることなく、突上げポット５０や吸着ノズル７６の座りを十分に安定化させることが望まれる。

　そこで、部品装着機１の制御装置３６，７３はそれぞれ、ポット保持部６０又は昇降軸７８の座り改善移動動作を予め定めた所定複数回繰り返し実行させるものとしたうえで、その座り改善移動動作を一回実行するごとにその実行前後で、ポット保持部６０又は昇降軸７８に対する突上げポット５０又は吸着ノズル７６の装着位置が収束したか否かの判別材料となる画像をカメラＫ２，Ｋ３を用いて取得する。そして、それらの撮像結果に基づいて座りが安定するか否かの座り改善移動動作の回数を選別して、次回に用いられる座り改善移動動作を繰り返し実行させる所定複数回を変更することとしてもよい。

　具体的には、制御装置３６，７３はそれぞれ、部品装着機１の電源ＯＮや作業者による手作業が行われる扉開時などのリセット起動後、突上げポット５０又は吸着ノズル７６の交換が行われた場合に、図１１に示す制御ルーチンを実行する。以下、突上げポット５０及び吸着ノズル７６を纏めて着脱ツール５０，７６と称すことがあり、また、ポット保持部６０及び昇降軸７８を纏めて装着台６０，７８と称すことがある。

　制御装置３６，７３は、装着台６０，７８に対する着脱ツール５０，７６の交換が行われた場合、その交換された着脱ツール５０，７６が初めて座り改善処理を実行する着脱ツールであるか否かを判別する（ステップＳ１００）。尚、座り改善処理が初めて行われるか否かの判別は、着脱ツール５０，７６の個体ごとに実施されるものであってよい。すなわち、この判別結果は、同じ種類の着脱ツール５０，７６であっても個体ごとに異なっていてよい。

　そして、制御装置３６，７３は、上記ステップＳ１００の処理により上記の着脱ツール５０，７６が初めて座り改善処理を実行する着脱ツールであると判別した場合は、まず、その交換後、カメラＫ２，Ｋ３を用いてポット保持部６０又は昇降軸７８に対する突上げポット５０又は吸着ノズル７６の装着位置を撮像する（ステップＳ１０１）。そして次に、駆動装置３５のＸ軸モータ３５ｘ及びＹ軸モータ３５ｙにより、又は、ＸＹロボット７１のＸ軸サーボモータ７１ｘ及びＹ軸サーボモータ７１ｙにより、ポット保持部６０又は昇降軸７８の座り改善移動動作を一回実行させる（ステップＳ１０２）。そして、その座り改善移動動作が一回完了した後、カメラＫ２，Ｋ３を用いてポット保持部６０又は昇降軸７８に対する突上げポット５０又は吸着ノズル７６の装着位置を撮像する（ステップＳ１０３）。

　次に、制御装置３６，７３は、今回の座り改善処理の開始後、ポット保持部６０又は昇降軸７８の座り改善移動動作を実行した回数Ｎが初期回数Ｎ０に達したか否かを判別する（ステップＳ１０４）。この初期回数Ｎ０は、座り改善移動動作の回数として突上げポット５０又は吸着ノズル７６の座りを安定化できるとして予め試験結果などにより定められた初期値であって、“２”回以上に設定されてメモリに記憶されている。尚、この初期回数Ｎ０は、突上げポット５０又は吸着ノズル７６の座りを確実に安定化できるとして多めの回数に設定されているのがよい。また、この初期回数Ｎ０は、着脱ツール５０，７６の種類ごとに設定されていてよい。

　そして、制御装置３６，７３は、上記ステップＳ１０４の処理によりＮ＝Ｎ０の関係が成立しないすなわちＮ＜Ｎ０の関係が成立すると判別した場合は、上記ステップＳ１０２の処理を繰り返し実行し、再度、座り改善移動動作を実行させる。一方、上記ステップＳ１０４の処理によりＮ＝Ｎ０の関係が成立すると判別した場合は、次に、その着脱ツール５０，７６の次回（具体的には、２回目）の座り改善処理の実行時にポット保持部６０又は昇降軸７８の座り改善移動動作を実行させる所定複数回数Ｎ１を決定する（ステップＳ１０５）。この決定された所定複数回数Ｎ１は、制御装置３６，７３のメモリに記憶される。制御装置３６，７３は、所定複数回数Ｎ１の決定を行った後、今回のルーチンを終了する。

　この所定複数回数Ｎ１の決定は、上記ステップＳ１０１，Ｓ１０３の処理により得られた着脱ツール５０，７６の装着位置の撮像結果に基づいて以下に示す如く行われる。すなわち、制御装置３６，７３は、まず、上記ステップＳ１０１の処理により得られた撮像結果（以下、初期撮像結果と称す。）と一回目の座り改善移動動作後に上記ステップＳ１０３の処理により得られた撮像結果（以下、一回目撮像結果と称す。）とに基づいて、一回目の座り改善移動動作の実行前後での着脱ツール５０，７６の装着位置の変化量Ｐ１を算出する。また、その一回目撮像結果と二回目の座り改善移動動作後に上記ステップＳ１０３の処理により得られた撮像結果とに基づいて、二回目の座り改善移動動作の実行前後での着脱ツール５０，７６の装着位置の変化量Ｐ２を算出する。そして、座り改善移動動作が実行された初期回数Ｎ０だけ着脱ツール５０，７６の装着位置の変化量Ｐ１，・・・，ＰＮ０を算出する。

　そして、制御装置３６，７３は、上記の如く算出した着脱ツール５０，７６の装着位置の変化量Ｐ１，・・・，ＰＮ０に基づいて、その装着位置が収束したか否かを示す座り改善移動動作の回数（境界回数）を選別して、その装着位置が収束したと判定される回数を所定複数回数Ｎ１として決定する。例えば、上記の変化量Ｐ１，・・・，ＰＮ０のうちダイ４４を保持するうえで十分に許容できる略ゼロを示した変化量が得られた回数のうち最も小さい最小回数或いはマージンを考慮してその最小回数よりも大きい回数を所定複数回数Ｎ１として決定する。

　制御装置３６，７３は、上記ステップＳ１０５の処理後は、同じ着脱ツール５０，７６が交換により装着された場合、上記ステップＳ１００において上記の着脱ツール５０，７６が初めて座り改善処理を実行する着脱ツールでないと判別される。この判別がなされた場合、その交換後、カメラＫ２，Ｋ３を用いて装着台６０，７８に対する着脱ツール５０，７６の装着位置を撮像する（ステップＳ１１１）。そして次に、駆動装置３５のＸ軸モータ３５ｘ及びＹ軸モータ３５ｙにより、又は、ＸＹロボット７１のＸ軸サーボモータ７１ｘ及びＹ軸サーボモータ７１ｙにより、装着台６０，７８の座り改善移動動作を一回実行させる（ステップＳ１１２）。そして、その座り改善移動動作が一回完了した後、カメラＫ２，Ｋ３を用いて装着台６０，７８に対する着脱ツール５０，７６の装着位置を撮像する（ステップＳ１１３）。

　次に、制御装置３６，７３は、今回の座り改善処理の開始後、装着台６０，７８の座り改善移動動作を実行した回数Ｎが、上記ステップＳ１０５においてその着脱ツール５０，７６の個体に対して設定された所定複数回数Ｎ１に達したか否かを判別する（ステップＳ１１４）。そして、Ｎ＝Ｎ１の関係が成立しないすなわちＮ＜Ｎ１の関係が成立すると判別した場合は、上記ステップＳ１１２の処理を繰り返し実行し、再度、座り改善移動動作を実行させる。一方、Ｎ＝Ｎ１の関係が成立すると判別した場合は、次に、その所定複数回数Ｎ１で着脱ツール５０，７６の座りが十分に安定化したか否かに基づいて、着脱ツール５０，７６の次回の座り改善処理の実行時に装着台６０，７８の座り改善移動動作を実行させる所定複数回数Ｎ１を変更させる必要があるか否かを判別する（ステップＳ１１５）。この所定複数回数Ｎ１の変更要の判別は、上記ステップＳ１１１，Ｓ１１３の処理により得られた着脱ツール５０，７６の装着位置の撮像結果に基づいて以下に示す如く行われる。

　例えば、制御装置３６，７３は、所定複数回数Ｎ１の座り改善移動動作のうち最後の座り改善移動動作の実行前後での着脱ツール５０，７６の装着位置の変化量ＰＮ１がダイ４４を保持するうえで十分に許容できる略ゼロであるか否かに基づいて、所定複数回数Ｎ１を変更（具体的には、増加）させる必要があるか否かの判別を行う。そして、その変化量ＰＮ１が略ゼロであるときは、所定複数回数Ｎ１を変更（具体的には、増加）させる必要はないと判別する。一方、その変化量ＰＮ１が略ゼロでないときは、所定複数回数Ｎ１を変更（具体的には、増加）させる必要があると判別する。

　又は、制御装置３６，７３は、所定複数回数Ｎ１目よりも前の回数目の座り改善移動動作の実行前後での着脱ツール５０，７６の装着位置の変化量ＰＮ１がダイ４４を保持するうえで十分に許容できる略ゼロであるか否かに基づいて、所定複数回数Ｎ１を変更（具体的には、減少）させる必要があるか否かの判別を行う。そして、その変化量ＰＮ１が略ゼロであるときは、所定複数回数Ｎ１を変更（具体的には、減少）させる必要があると判別する。一方、その変化量ＰＮ１が略ゼロでないときは、所定複数回数Ｎ１を変更（具体的には、減少）させる必要はないと判別する。

　制御装置３６，７３は、上記ステップＳ１１５において所定複数回数Ｎ１を変更させる必要がないと判別した場合は、今回のルーチンを終了する。一方、制御装置３６，７３は、所定複数回数Ｎ１を変更させる必要があると判別した場合は、次に、その所定複数回数Ｎ１を更新する（ステップＳ１１６）。この所定複数回数Ｎ１の更新は、例えば、その時点の所定複数回数Ｎ１よりも大きい回数Ｎ１´、又は、上記の変化量Ｐ１，・・・，ＰＮ１のうちダイ４４を保持するうえで十分に許容できる略ゼロを示した変化量が得られた回数のうち最も小さい最小回数或いはマージンを考慮してその最小回数よりも大きい回数Ｎ１´を所定複数回数Ｎ１とするものである。この更新された所定複数回数Ｎ１は、制御装置３６，７３のメモリに記憶される。制御装置３６，７３は、所定複数回数Ｎ１の更新を行った後、今回のルーチンを終了する。

　このように、第１変形形態の部品装着機１においては、突上げポット５０や吸着ノズル７６の座り改善処理におけるポット保持部６０や昇降軸７８の座り改善移動動作が複数回繰り返し実行されるとき、その実行される回数Ｎ１を、前回処理時に複数回数Ｎ０又はＮ１だけ行われた座り改善移動動作の結果（装着位置の収束有無）に基づいて設定することができる。具体的には、前回処理時に複数回数Ｎ０又はＮ１だけ行われた各座り改善移動動作の実行前後における装着台６０，７８に対する着脱ツール５０，７６の装着位置の変化それぞれを求め、それらの変化の傾向に基づいて次回処理時の座り改善移動動作の実行回数Ｎ１を設定することができる。例えば、前回処理時に複数回数Ｎ０又はＮ１だけ座り改善移動動作が行われても、その装着位置が収束しないときは、所定複数回数Ｎ１を増加させることができる。また、前回処理時に複数回数Ｎ０又はＮ１だけ座り改善移動動作が行われた場合において、その装着位置が最後の座り改善移動動作の実行前に収束していたときは、所定複数回数Ｎ１をその装着位置が収束した座り改善移動動作の回数に減少させることができる。そして、これらの処理を着脱ツール５０，７６の種類ごとかつ個体ごとに実行することができる。

　このため、装着台６０，７８に対する着脱ツール５０，７６の座りを十分に安定化させつつ、その着脱ツール５０，７６の座りを改善させる装着台６０，７８の座り改善移動動作を実行する回数を適正値に変更することができるので、その座り改善移動動作の実行回数が座りの収束に必要な回数に満たないのを回避しつつ、その座り改善移動動作が無駄に多数回実行されるのを回避することができる。また、着脱ツール５０，７６に種類の違いや個体差があっても、その着脱ツール５０，７６に合わせて装着台６０，７８の座り改善移動動作を座りの収束に必要十分な回数だけ実行することができ、確実にその着脱ツール５０，７６の座りを十分に安定化させることができる。

　３－２．第２変形形態
　また、制御装置３６，７３は、上記第１変形形態に示す処理に代えて第２変形形態に示す処理を実行することとしてもよい。すなわち、制御装置３６，７３はそれぞれ、装着台６０，７８の座り改善移動動作を予め定めた所定上限回数繰り返し実行させるものとしたうえで、その座り改善移動動作を一回実行するごとにその実行前後で、装着台６０，７８に対する着脱ツール５０，７６の装着位置が収束したか否かの判別材料となる画像をカメラＫ２，Ｋ３を用いて取得する。そして、その座り改善移動動作の一実行ごとにそれらの撮像結果に基づいて座りが安定するか否かすなわち装着台６０，７８に対する着脱ツール５０，７６の装着位置の収束有無を判別する。その結果、収束有りの場合は、その座り改善移動動作の繰り返し実行を終了する。一方、座り改善移動動作が上記の所定上限回数だけ行われても何れも収束なしの場合は、その装着台６０，７８に対する着脱ツール５０，７６の脱着を再実施させることとしてもよい。

　具体的には、制御装置３６，７３はそれぞれ、部品装着機１の電源ＯＮや作業者による手作業が行われる扉開時などのリセット起動後、突上げポット５０又は吸着ノズル７６の交換が行われた場合に、図１２に示す制御ルーチンを実行する。

　制御装置３６，７３は、着脱ツール５０，７６の交換後、カメラＫ２，Ｋ３を用いて装着台６０，７８に対する着脱ツール５０，７６の装着位置を撮像する（ステップＳ２００）。そして次に、駆動装置３５のＸ軸モータ３５ｘ及びＹ軸モータ３５ｙにより、又は、ＸＹロボット７１のＸ軸サーボモータ７１ｘ及びＹ軸サーボモータ７１ｙにより、装着台６０，７８の座り改善移動動作を一回実行させる（ステップＳ２０１）。そして、その座り改善移動動作が一回完了した後、カメラＫ２，Ｋ３を用いて装着台６０，７８に対する着脱ツール５０，７６の装着位置を撮像する（ステップＳ２０２）。

　次に、制御装置３６，７３は、直前の座り改善移動動作の実行前後で上記ステップＳ２００，Ｓ２０２の処理により得られた着脱ツール５０，７６の装着位置の撮像結果に基づいて、装着台６０，７８に対する着脱ツール５０，７６の装着位置が収束するか否かを判別する（ステップＳ２０３）。この装着位置の収束有無は、その座り改善移動動作の実行前後での着脱ツール５０，７６の装着位置の変化量がダイ４４を保持するうえで十分に許容できる略ゼロであるか否かに基づいて判別されてよい。その結果、制御装置３６，７３は、着脱ツール５０，７６の装着位置が収束すると判別した場合は、着脱ツール５０，７６の座り改善処理としての装着台６０，７８の座り改善移動動作の繰り返し実行を終了し（ステップＳ２０４）、今回のルーチンを終了する。

　一方、制御装置３６，７３は、着脱ツール５０，７６の装着位置が収束しないと判別した場合は、次に、今回の座り改善処理の開始後、装着台６０，７８の座り改善移動動作を実行した回数Ｎが所定上限回数Ｎｍａｘに達したか否かを判別する（ステップＳ２０５）。この所定上限回数Ｎｍａｘは、着脱ツール５０，７６の座りを改善する座り改善処理として装着台６０，７８の座り改善移動動作の実行を許容できる最大の回数であって、“２”以上の値に設定されてメモリに記憶されている。尚、この所定上限回数Ｎｍａｘは、着脱ツール５０，７６の種類ごとに設定されていてよい。

　そして、制御装置３６，７３は、上記ステップＳ２０５の処理によりＮ＝Ｎｍａｘの関係が成立しないすなわちＮ＜Ｎｍａｘの関係が成立すると判別した場合は、上記ステップＳ２０１の処理を繰り返し実行し、再度、座り改善移動動作を実行させる。一方、上記ステップＳ２０５の処理によりＮ＝Ｎｍａｘの関係が成立すると判別した場合は、次に、その装着台６０，７８に対するその着脱ツール５０，７６の脱着を再実施させる（ステップＳ２０６）。すなわち、その装着台６０，７８からその着脱ツール５０，７６を一旦取り外してステーション３７，７４に戻し、その後に再度その着脱ツール５０，７６をその装着台６０，７８に取り付けて装着する処理を行う。この着脱ツール５０，７６の脱着が再実施された後は、今回のルーチンを終了すると共に、再度、上記図１１に示すルーチンを開始する。

　このように、第２変形形態の部品装着機１においては、突上げポット５０や吸着ノズル７６の座り改善処理におけるポット保持部６０や昇降軸７８の座り改善移動動作を、その装着台６０，７８に対するその着脱ツール５０，７６の装着位置が収束するまで複数回繰り返し実行することができる。このため、座り改善移動動作により装着台６０，７８に対する着脱ツール５０，７６の座りを十分に安定化させつつ、その座り改善移動動作が無駄に多数回実行されるのを回避することができる。

　また、装着台６０，７８の座り改善移動動作の繰り返し実行が所定上限回数Ｎｍａｘに達しても、装着台６０，７８に対する着脱ツール５０，７６の装着位置が収束しない場合は、その装着台６０，７８に対するその着脱ツール５０，７６の脱着が再実施されるので、その再実施によりその装着台６０，７８とその着脱ツール５０，７６との装着位置関係をやり直して安定した状態に導くことが可能となる。

　３－３．その他の変形形態
　上記の実施形態においては、ポット保持部６０に対する突上げポット５０の装着は、突上げポット５０の引掛片５６がポット保持部６０の位置決め部材６２に係合し、突上げポット５０の係合部材５７がポット保持部６０の嵌合凹部６４に嵌合し、係合部材５７のロックピン５８がロック部材６５に係合することにより実現される。しかし、本発明はこれに限定されるものではない。ポット保持部６０に対する突上げポット５０の装着は、図１３に示す如く、突上げポット５０が有するテーパ部５０ａとポット保持部６０が有するテーパ部６０ａとがテーパクランプされることにより実現されるものであってもよい。このようなテーパクランプで突上げポット５０とポット保持部６０との間で軸ズレが生じているときにも、ポット保持部６０の座り改善移動動作を行うことで、そのポット保持部６０に対する突上げポット５０の装着位置を収束させてその座りを安定化させることができる。

　また、上記の実施形態においては、装着ヘッド７２の吸着ノズル７６が、昇降軸７８に対して着脱可能に装着され、突上げポット５０の突上げピン５２が突き上げたダイ４４を吸着することとしている。しかし、本発明はこれに限定されるものではない。吸着ノズルが吸着する対象は、突上げピン５２の突き上げたダイ４４に代えて、テープフィーダなどで供給された部品であってよい。

　また、上記の実施形態においては、ポット保持部６０に対する突上げポット５０の装着位置、及び、昇降軸７８に対する吸着ノズル７６の装着位置の双方について、その座りを安定化させることとしている。しかし、本発明はこれに限定されるものではない。ポット保持部６０に対する突上げポット５０の装着位置、及び、昇降軸７８に対する吸着ノズル７６の装着位置の少なくとも一方について、その座りを安定化させるものに適用することとすればよい。

　尚、本発明は、上述した実施形態や変形例に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更を施すことが可能である。

　１：部品装着機、１０：本体部、２０：基板搬送装置、３０：部品供給装置、３１：ダイ供給装置、３４：突上げユニット、３５：駆動装置、３６：制御装置、３７：ポットステーション、４３：ダイシングシート、４４：ダイ、５０：突上げポット、５１：ポット本体、５２：突上げピン、５５：フランジ部、５６：引掛片、５７：係合部材、５８：ロックピン、５９：スプリング、６０：ポット保持部、６１：位置決めブロック、６２：位置決め部材、６３：被係合ブロック、６４：嵌合凹部、７０：部品移載装置、７１：ＸＹロボット、７２：装着ヘッド、７３：制御装置、７４：ノズルステーション、７５：ヘッド本体、７６：吸着ノズル、７７：ノズル昇降機構、７８：昇降軸、７９：第１昇降装置、８０：第２昇降装置、８１：回転装置、９６：係止ピン、９７：Ｊスロット、９８：係止環、９９：コイルスプリング。

Claims (6)

1. 　部品装着機本体に少なくとも水平方向に移動可能に設けられた装着台と、
   　前記装着台に着脱可能に装着され、部品を保持した状態で上下方向に移動し得る着脱ツールと、
   　前記着脱ツールを上下方向に移動させるツール移動機構と、
   　前記装着台を少なくとも水平方向に移動させる装着台移動機構と、
   　前記着脱ツールが前記装着台に装着された後、前記着脱ツールが前記部品を保持する前に、前記装着台移動機構における前記着脱ツールに前記部品を保持させるための移動動作とは別の移動動作により、前記着脱ツールが装着された前記装着台に水平方向を含む所定方向へ力を加える座り改善処理を実行する制御装置と、
   　を備える、部品装着機。
2. 　前記制御装置は、前記着脱ツールが前記装着台に装着された後、前記着脱ツールが前記部品を保持する前に、前記座り改善処理として、前記装着台移動機構における前記別の移動動作を複数回繰り返し実行させる、請求項１に記載の部品装着機。
3. 　前記制御装置は、前記着脱ツールが前記装着台に装着された後、前記着脱ツールが前記部品を保持する前に、前記座り改善処理として、前記装着台移動機構を用いて前記装着台を前記所定方向に振動させる、請求項２に記載の部品装着機。
4. 　前記制御装置は、前記装着台移動機構における前記別の移動動作を所定複数回繰り返し実行させ、
   　前記部品装着機は、前記別の移動動作ごとに前記装着台に対する前記着脱ツールの装着位置を撮像するカメラを備え、
   　前記制御装置は、前記カメラによる前記所定複数回における前記装着位置の撮像結果に基づいて、次回の前記座り改善処理として前記別の移動動作を繰り返し実行させる前記所定複数回を変更する回数変更部を有する、請求項２又は３に記載の部品装着機。
5. 　前記制御装置は、前記装着台移動機構における前記別の移動動作を所定上限回数繰り返し実行させることが可能であり、
   　前記部品装着機は、前記別の移動動作ごとに前記装着台に対する前記着脱ツールの装着位置を撮像するカメラを備え、
   　前記制御装置は、前記カメラにより撮像された前記装着位置が収束した場合に、前記別の移動動作の繰り返し実行を終了する、請求項２又は３に記載の部品装着機。
6. 　前記制御装置は、また、前記別の移動動作が前記所定上限回数繰り返し実行されても前記カメラにより撮像された前記装着位置が収束しない場合に、前記装着台に対する前記着脱ツールの脱着を再実施させる、請求項５に記載の部品装着機。

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