WO2013088975A1 - 固体撮像装置およびその製造方法 - Google Patents
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Definitions
- the present disclosure relates to a solid-state imaging device using an organic film as a photoelectric conversion film and a manufacturing method thereof.
- a solid-state imaging device has been proposed in which a photoelectric conversion film made of an organic film is sandwiched between a transparent pixel electrode and a transparent counter electrode.
- a protective layer made of an inorganic material is provided on the transparent counter electrode in order to block moisture, gas, and the like (see, for example, JP-A-2006-245045 (Patent Document 1)).
- a solid-state imaging device includes a functional area provided with an organic film and a guard ring surrounding the functional area.
- the functional area having the organic film is surrounded by a guard ring. Therefore, moisture and gas that have entered from the lateral direction such as the chip end face and the side face of the opening on the bonding pad are blocked by the guard ring.
- a manufacturing method of a first solid-state imaging device includes the following (A) to (C).
- (A) Form a functional region provided with an organic film on the main surface side of the semiconductor substrate.
- (B) Form a guard ring surrounding the functional region by laminating one or more metal layers around the functional region.
- a manufacturing method of a second solid-state imaging device includes the following (A) to (C).
- a functional region provided with an organic film is formed on the main surface side of the semiconductor substrate, and an insulating film is formed around the functional region.
- a groove is provided in the insulating film, and a metal is formed inside the groove. Forming a guard ring that surrounds the functional area by forming a buried layer of film or silicon nitride film
- the manufacturing method of the 3rd solid-state imaging device by one embodiment of this indication contains the following (A) and (B).
- the functional region having the organic film is surrounded by the guard ring. Therefore, it is possible to suppress the ingress of moisture and gas from the lateral direction such as the chip end face and the side face of the opening on the bonding pad.
- First Embodiment Example in which a first guard ring is provided in a region surrounding a functional region and not including an opening. An example in which a guard ring is formed by laminating one or more metal layers around a functional region.
- Second Embodiment Example in which a guard ring is formed by providing a groove in an insulating film around a functional region and forming a buried layer made of a metal film or a silicon nitride film inside the groove
- Third Embodiment Example in which a guard ring is formed by providing a groove in an insulating film around a functional region and depositing a passivation film inside the groove
- Fourth Embodiment Example in which a second guard ring surrounding an opening and a third guard ring along the outer periphery of the chip are provided
- Fifth embodiment example in which all of the first guard ring, the second guard ring, and the third guard ring are used together
- Sixth embodiment (example in which the second guard ring is provided across a plurality of openings) 7).
- Seventh Embodiment Example of connection configuration between lower transparent electrode and bonding pad) 8). Modified example
- FIG. 1 illustrates a planar configuration of one chip of the solid-state imaging device according to the first embodiment of the present disclosure.
- FIG. 2 shows an example of a cross-sectional configuration taken along line II-II in FIG.
- the solid-state imaging device 1 is used for an electronic device such as a camera, and has a functional region (photoelectric conversion region) 11 that performs photoelectric conversion at the center of a rectangular chip 10.
- the functional region 11 is provided with an organic film 11A which is a photoelectric conversion film, and a plurality of pixels made of a solid-state imaging device having the organic film 11A are arranged in a matrix (matrix).
- a plurality of bonding pads 13 are disposed so as to surround the functional region 11.
- An opening 14 is provided on each of the bonding pads 13.
- the organic film 11A is composed of an organic photoelectric conversion film.
- the organic photoelectric conversion film that performs photoelectric conversion with green wavelength light is composed of, for example, an organic photoelectric conversion material containing a rhodamine dye, a melocyanine dye, quinacridone, or the like.
- the organic photoelectric conversion film that performs photoelectric conversion with red wavelength light is made of, for example, an organic photoelectric conversion material containing a phthalocyanine dye.
- the organic photoelectric conversion film that performs photoelectric conversion with blue wavelength light is composed of an organic photoelectric conversion material containing, for example, a coumarin dye, tris-8-hydroxyquinoline aluminum (Alq 3 ), a melocyanine dye, and the like.
- the organic film 11A is sandwiched between a lower transparent electrode (pixel electrode) 11B and an upper transparent electrode (counter electrode) 11C.
- the lower transparent electrode 11 ⁇ / b> B is divided with respect to each of the plurality of pixels in the functional region 11.
- the lower transparent electrode 11B of three pixels is shown, but it goes without saying that the number of pixels can be arbitrarily set as required.
- the lower transparent electrode 11B is connected to the bonding pad 13 via a wiring (not shown). The connection between the lower transparent electrode 11B and the bonding pad 13 will be described with an example in the seventh embodiment.
- the upper transparent electrode 11 ⁇ / b> C is a common electrode for all the pixels in the functional region 11.
- the lower transparent electrode 11B and the upper transparent electrode 11C are made of a transparent conductive material such as ITO (Indium Tin Oxide).
- the functional region 11 is provided on the main surface (light incident surface) side of a semiconductor substrate 21 such as a silicon (Si) substrate.
- Insulating films 22A, 22B, and 22C (hereinafter collectively referred to as insulating film 22) made of silicon oxide film (SiO 2 ) or the like are provided around the functional region 11 (side and below).
- the lower transparent electrode 11B made of the above-described material is formed on the insulating film 22B.
- the insulating film 22C made of the above-described material is formed in the gap and the periphery of the lower transparent electrode 11B.
- any of the first, second, and third embodiments can be adopted.
- FIG. 6 illustrates a planar configuration of a solid-state imaging device according to the fifth embodiment of the present disclosure.
- This solid-state imaging device 1D is a combination of the first and fourth embodiments with respect to the planar shape of the guard ring 40. That is, the guard ring 40 surrounds the functional region 11 and includes the first guard ring 41 provided in the region not including the opening 14, the second guard ring 42 surrounding the opening 14, and the outer periphery of the chip 10. And a third guard ring 43.
- the intrusion path of moisture and gas from the end surface 10A of the chip 10 and the side surface of the opening 14 on the bonding pad 13 to the functional region 11 is the second guard ring 42 and the third guard. It is blocked in two stages by the ring 43 and the first guard ring 41, and the reliability of the solid-state imaging device 1D can be further improved.
- any of the first, second, and third embodiments can be adopted.
- the guard ring 40 surrounds the functional region 11 and includes a first guard ring 41 provided in a region not including the opening 14, a second guard ring 42 surrounding the opening 14, and the outer periphery of the chip 10. 3rd guard ring 43 along. Therefore, moisture and gas that have entered the lateral direction from the end face 10 ⁇ / b> A of the chip 10 are blocked in two stages by the third guard ring 43 and the first guard ring 41. Moisture and gas that have entered from the side of the opening 14 on the bonding pad 13 from the lateral direction are blocked by the second guard ring 42 and the first guard ring 41 in two stages. Therefore, the characteristic deterioration of the organic film 11A can be further reliably suppressed.
- the solid-state imaging device 1E can be manufactured in the same manner as the first, second, or third embodiment according to the cross-sectional configuration of the guard ring 40.
- the guard ring 40 can further include a first guard ring 41 provided in a region surrounding the functional region 11 and not including the opening 14.
- FIG. 8 illustrates a cross-sectional configuration of a solid-state imaging device according to the seventh embodiment of the present disclosure.
- the present embodiment relates to an example of a connection configuration between the lower transparent electrode 11B and the bonding pad 13 when the guard ring 40 is provided, and can be applied to all the first to sixth embodiments. .
- the guard ring 40 has the same planar shape as that of the first embodiment (see FIG. 1) and the same cross-sectional configuration as that of the second embodiment (see FIG. 3). Represents the case.
- the planar shape of the guard ring 40 can be the same as that of the fourth to sixth embodiments, and the cross-sectional configuration of the guard ring 40 is the same as that of the first or third embodiment. It is also possible to make it.
- the solid-state imaging device 1 ⁇ / b> F has a charge transfer unit (charge transfer unit) 51 in the semiconductor substrate 21 and a multilayer wiring 52 on the opposite surface side of the semiconductor substrate 21.
- the charge transfer unit 50 is provided so as to penetrate from the main surface of the semiconductor substrate 21 to the opposite surface, and a signal charge photoelectrically converted by the organic film 11A or a potential corresponding to the signal charge is bonded to the bonding pad via the multilayer wiring 52. 13 is transmitted.
- the bonding pad 13 is provided on the side opposite to the main surface (light incident surface) of the semiconductor substrate 21, but the bonding pad 13 is formed on the main surface of the semiconductor substrate 21. It may be formed on the side.
- a signal charge or signal voltage is once transmitted to the metal wiring disposed on the opposite surface side of the semiconductor substrate 21 and then a charge transfer portion penetrating the semiconductor substrate 21 provided under the bonding pad 13; Or it can also be set as the structure connected to the bonding pad 13 formed in the main surface of the semiconductor substrate 21 by a voltage transfer part.
- the configuration of the solid-state imaging devices 1 and 1A to 1F has been specifically described. However, it is not necessary to include all the components, and further include other components. It may be.
- this technique can also take the following structures.
- a functional area provided with an organic film A solid-state imaging device comprising: a guard ring surrounding the functional area.
- Bonding pads provided in a peripheral region around the functional region; The solid-state imaging device according to (1), further comprising: an opening provided at a position facing the bonding pad.
- the guard ring is A second guard ring surrounding the opening;
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Abstract
Description
(A)半導体基板の主面側に、有機膜が設けられた機能領域を形成すること
(B)機能領域の周囲に一層以上の金属層を積層することにより、機能領域を囲うガードリングを形成すること
(A)半導体基板の主面側に、有機膜が設けられた機能領域を形成すると共に、機能領域の周囲に絶縁膜を形成すること
(B)絶縁膜に溝を設け、溝の内部に金属膜またはシリコン窒化膜よりなる埋込み層を形成することにより、機能領域を囲うガードリングを形成すること
(A)半導体基板の主面側に、有機膜が設けられた機能領域を形成すると共に、機能領域の周囲に絶縁膜を形成すること
(B)絶縁膜に溝を設け、溝の内部にパッシベーション膜を被着することにより、機能領域を囲うガードリングを形成すること
1.第1の実施の形態(機能領域を囲い、かつ開口部を含まない領域に第1ガードリングを設ける例。機能領域の周囲に一層以上の金属層を積層することによりガードリングを形成する例。)
2.第2の実施の形態(機能領域の周囲の絶縁膜に溝を設け、溝の内部に金属膜またはシリコン窒化膜よりなる埋込み層を形成することによりガードリングを形成する例)
3.第3の実施の形態(機能領域の周囲の絶縁膜に溝を設け、溝の内部にパッシベーション膜を被着することによりガードリングを形成する例)
4.第4の実施の形態(開口部を囲う第2ガードリング、およびチップ外周に沿った第3ガードリングを設ける例)
5.第5の実施の形態(第1ガードリング,第2ガードリングおよび第3ガードリングの全部を併用する例)
6.第6の実施の形態(第2ガードリングを複数の開口部にまたがって設ける例)
7.第7の実施の形態(下部透明電極とボンディングパッドとの接続構成の例)
8.変形例
図1は、本開示の第1の実施の形態に係る固体撮像装置の一つのチップの平面構成を表したものである。図2は、図1のII-II線における断面構成の一例を表したものである。この固体撮像装置1は、カメラ等の電子機器に用いられるものであり、矩形のチップ10の中央部に、光電変換を行う機能領域(光電変換領域)11を有している。機能領域11には、光電変換膜である有機膜11Aが設けられていると共に、この有機膜11Aを有する固体撮像素子よりなる画素が複数個マトリクス状(行列状)に配置されている。機能領域11の周囲の周辺領域12には、複数のボンディングパッド13が機能領域11を取り囲んで配置されている。これらのボンディングパッド13上には、各々開口部14が設けられている。
図3は、本開示の第2の実施の形態に係る固体撮像装置の断面構成を表したものである。この固体撮像装置1Aは、ガードリング40の断面構成において第1の実施の形態と異なるものである。すなわち、ガードリング40は、絶縁膜22に設けられた溝23の内部に埋め込まれた埋込み層40Eにより構成されている。このようにガードリング40専用の埋込み層40Eを設けることにより、埋込み層40Eの材料や厚みを自由に設定することが可能となる。特に、水分やガスの透過を抑制する機能を有さないITOなどの透明電極層のみで配線層を形成している場合に好適である。
図4は、本開示の第3の実施の形態に係る固体撮像装置の断面構成を表したものである。この固体撮像装置1Bは、ガードリング40の断面構成において第1の実施の形態と異なるものである。すなわち、ガードリング40は、絶縁膜22に設けられた溝23の内部に被着されたパッシベーション膜30により構成されている。このようにパッシベーション膜30がガードリング40を兼ねるようにすることにより、ガードリング40形成用の金属膜を用いる必要がなくなり、ガードリング40を更に容易に形成することが可能となる。
図5は、本開示の第4の実施の形態に係る固体撮像装置の平面構成を表したものである。この固体撮像装置1Cは、ガードリング40の平面形状において第1の実施の形態と異なるものである。すなわち、ガードリング40は、開口部14を囲う第2ガードリング42と、チップ10の外周に沿った第3ガードリング43とを含んでいる。具体的には、第2ガードリング42は開口部14の外形線に沿って設けられ、一つの第2ガードリング42が一つの開口部14を囲んでいる。第3ガードリング43は、チップ10の外形線に沿って、機能領域11および開口部14の全体を囲んでいる。これにより、本実施の形態では、ガードリング40が機能領域11から離れた箇所に配置され、機能領域11の周囲にレイアウトの制約なしに周辺回路部を配置することが可能となり、信号伝達の遅延などを抑制した最適な周辺回路のレイアウトを実現することが可能となる。
図6は、本開示の第5の実施の形態に係る固体撮像装置の平面構成を表したものである。この固体撮像装置1Dは、ガードリング40の平面形状に関して、第1および第4の実施の形態を組み合わせたものである。すなわち、ガードリング40は、機能領域11を囲い、かつ開口部14を含まない領域に設けられた第1ガードリング41と、開口部14を囲う第2ガードリング42と、チップ10の外周に沿った第3ガードリング43とを含んでいる。これにより、本実施の形態では、チップ10の端面10Aや、ボンディングパッド13上の開口部14の側面などから機能領域11に至る水分やガスの浸入経路が、第2ガードリング42および第3ガードリング43と、第1ガードリング41とによって二段階で遮断され、固体撮像装置1Dの信頼性を更に高めることが可能となる。
図7は、本開示の第6の実施の形態に係る固体撮像装置の平面構成を表したものである。この固体撮像装置1Eは、ガードリング40の平面形状において第1の実施の形態と異なるものである。すなわち、ガードリング40は、第4の実施の形態と同様に、開口部14を囲う第2ガードリング42と、チップ10の外周に沿った第3ガードリング43とを含んでいる。第2ガードリング42は、複数の開口部14にまたがって設けられている。これにより、本実施の形態では、ボンディングパッド13間の距離(パッドピッチ)の縮小が、ガードリング40によって妨げられるおそれが小さくなる。よって、パッドピッチを狭くして、チップ10全体のサイズを小さくすることが可能となり、小型化およびコスト削減に有利となる。
図8は、本開示の第7の実施の形態に係る固体撮像装置の断面構成を表したものである。本実施の形態は、ガードリング40を設けた場合における下部透明電極11Bとボンディングパッド13との接続構成の一例に関するものであり、上記第1ないし第6のすべての実施の形態に適用可能である。なお、図8では、ガードリング40が第1の実施の形態と同様の平面形状(図1参照。)および第2の実施の形態と同様の断面構成(図3参照。)を有している場合を表している。しかしながら、ガードリング40の平面形状は、第4ないし第6の実施の形態と同様とすることも可能であり、また、ガードリング40の断面構成は、第1または第3の実施の形態と同様にすることも可能である。
(1)
有機膜が設けられた機能領域と、
前記機能領域を囲うガードリングと
を備えた固体撮像装置。
(2)
前記機能領域の周囲の周辺領域に設けられたボンディングパッドと、
前記ボンディングパッドに対向する位置に設けられた開口部と
を備えた前記(1)記載の固体撮像装置。
(3)
前記ガードリングは、前記機能領域を囲い、かつ前記開口部を含まない領域に設けられた第1ガードリングを含む
前記(2)記載の固体撮像装置。
(4)
前記ガードリングは、
前記開口部を囲う第2ガードリングと、
チップ外周に沿った第3ガードリングと
を含む前記(2)または(3)記載の固体撮像装置。
(5)
前記第2ガードリングは複数の開口部にまたがって設けられている
前記(4)記載の固体撮像装置。
(6)
前記ガードリングは、水分および酸素を透過しない材料膜により構成されている
前記(1)ないし(5)のいずれか1項に記載の固体撮像装置。
(7)
前記ガードリングは、前記機能領域の周囲に一層以上の金属層を積層した構成を有する
前記(1)ないし(6)のいずれか1項に記載の固体撮像装置。
(8)
前記金属層は、アルミニウム,タングステン,チタン,モリブデン,タンタル,銅、あるいはアルミニウム,タングステン,チタン,モリブデン,タンタル,銅の合金膜、または、アルミニウム,タングステン,チタン,モリブデン,タンタル,銅の金属膜にシリコンあるいは酸素を含有させた膜により構成されている
前記(7)記載の固体撮像装置。
(9)
パッシベーション膜を備え、
前記パッシベーション膜は、前記ガードリングを構成する最上層の金属層の直上に直接被着されている
前記(7)または(8)記載の固体撮像装置。
(10)
前記機能領域の周囲に絶縁膜を備え、
前記ガードリングは、前記絶縁膜に設けられた溝の内部に埋め込まれた埋込み層により構成されている
前記(1)ないし(6)のいずれか1項に記載の固体撮像装置。
(11)
前記埋込み層は、金属膜またはシリコン窒化膜により構成されている
前記(10)記載の固体撮像装置。
(12)
前記金属膜は、アルミニウム,タングステン,チタン,モリブデン,タンタル,銅、あるいはアルミニウム,タングステン,チタン,モリブデン,タンタル,銅の合金膜、または、アルミニウム,タングステン,チタン,モリブデン,タンタル,銅の金属膜にシリコンあるいは酸素を含有させた膜により構成されている
前記(11)記載の固体撮像装置。
(13)
前記機能領域の上面および前記絶縁膜の上面を覆うパッシベーション膜を備え、
前記パッシベーション膜は、前記埋込み層の直上に直接被着されている
前記(10)ないし(12)のいずれか1項に記載の固体撮像装置。
(14)
前記機能領域の周囲に設けられた絶縁膜と、
前記機能領域の上面および前記絶縁膜の上面を覆うパッシベーション膜と
を備え、
前記ガードリングは、前記絶縁膜に設けられた溝の内部に被着されたパッシベーション膜により構成されている
前記(1)ないし(6)のいずれか1項に記載の固体撮像装置。
(15)
前記パッシベーション膜は、水分および酸素を透過しない材料膜により構成されている
前記(9),(13)および(14)のいずれか1項に記載の固体撮像装置。
(16)
前記パッシベーション膜は、シリコン窒化膜,シリコン酸窒化膜あるいは酸化アルミニウム膜、またはシリコン窒化膜,シリコン酸窒化膜あるいは酸化アルミニウムの積層膜により構成されている
前記(15)記載の固体撮像装置。
(17)
前記機能領域が主面側に設けられた半導体基板と、
前記半導体基板内に設けられた電荷伝送部と、
前記半導体基板の前記主面とは反対面側に設けられ、前記ボンディングパッドに接続された多層配線と
を備え、
前記電荷伝送部は、前記有機膜で光電変換された信号電荷、あるいは信号電荷に対応した電位を、前記多層配線を介して前記ボンディングパッドに伝送する
前記(1)ないし(16)のいずれか1項に記載の固体撮像装置。
(18)
半導体基板の主面側に、有機膜が設けられた機能領域を形成することと、
前記機能領域の周囲に一層以上の金属層を積層することにより、前記機能領域を囲うガードリングを形成することと
を含む固体撮像装置の製造方法。
(19)
半導体基板の主面側に、有機膜が設けられた機能領域を形成すると共に、前記機能領域の周囲に絶縁膜を形成することと、
前記絶縁膜に溝を設け、前記溝の内部に金属膜またはシリコン窒化膜よりなる埋込み層を形成することにより、前記機能領域を囲うガードリングを形成することと
を含む固体撮像装置の製造方法。
(20)
半導体基板の主面側に、有機膜が設けられた機能領域を形成すると共に、前記機能領域の周囲に絶縁膜を形成することと、
前記絶縁膜に溝を設け、前記溝の内部にパッシベーション膜を被着することにより、前記機能領域を囲うガードリングを形成することと
を含む固体撮像装置の製造方法。
Claims (20)
- 有機膜が設けられた機能領域と、
前記機能領域を囲うガードリングと
を備えた固体撮像装置。 - 前記機能領域の周囲の周辺領域に設けられたボンディングパッドと、
前記ボンディングパッドに対向する位置に設けられた開口部と
を備えた請求項1記載の固体撮像装置。 - 前記ガードリングは、前記機能領域を囲い、かつ前記開口部を含まない領域に設けられた第1ガードリングを含む
請求項2記載の固体撮像装置。 - 前記ガードリングは、
前記開口部を囲う第2ガードリングと、
チップ外周に沿った第3ガードリングと
を含む請求項2記載の固体撮像装置。 - 前記第2ガードリングは複数の開口部にまたがって設けられている
請求項4記載の固体撮像装置。 - 前記ガードリングは、水分および酸素を透過しない材料膜により構成されている
請求項1記載の固体撮像装置。 - 前記ガードリングは、前記機能領域の周囲に一層以上の金属層を積層した構成を有する
請求項1記載の固体撮像装置。 - 前記金属層は、アルミニウム,タングステン,チタン,モリブデン,タンタル,銅、あるいはアルミニウム,タングステン,チタン,モリブデン,タンタル,銅の合金膜、または、アルミニウム,タングステン,チタン,モリブデン,タンタル,銅の金属膜にシリコンあるいは酸素を含有させた膜により構成されている
請求項7記載の固体撮像装置。 - パッシベーション膜を備え、
前記パッシベーション膜は、前記ガードリングを構成する最上層の金属層の直上に直接被着されている
請求項7記載の固体撮像装置。 - 前記機能領域の周囲に絶縁膜を備え、
前記ガードリングは、前記絶縁膜に設けられた溝の内部に埋め込まれた埋込み層により構成されている
請求項1記載の固体撮像装置。 - 前記埋込み層は、金属膜またはシリコン窒化膜により構成されている
請求項10記載の固体撮像装置。 - 前記金属膜は、アルミニウム,タングステン,チタン,モリブデン,タンタル,銅、あるいはアルミニウム,タングステン,チタン,モリブデン,タンタル,銅の合金膜、または、アルミニウム,タングステン,チタン,モリブデン,タンタル,銅の金属膜にシリコンあるいは酸素を含有させた膜により構成されている
請求項11記載の固体撮像装置。 - 前記機能領域の上面および前記絶縁膜の上面を覆うパッシベーション膜を備え、
前記パッシベーション膜は、前記埋込み層の直上に直接被着されている
請求項10記載の固体撮像装置。 - 前記機能領域の周囲に設けられた絶縁膜と、
前記機能領域の上面および前記絶縁膜の上面を覆うパッシベーション膜と
を備え、
前記ガードリングは、前記絶縁膜に設けられた溝の内部に被着されたパッシベーション膜により構成されている
請求項1記載の固体撮像装置。 - 前記パッシベーション膜は、水分および酸素を透過しない材料膜により構成されている
請求項9記載の固体撮像装置。 - 前記パッシベーション膜は、シリコン窒化膜,シリコン酸窒化膜あるいは酸化アルミニウム膜、またはシリコン窒化膜,シリコン酸窒化膜あるいは酸化アルミニウムの積層膜により構成されている
請求項15記載の固体撮像装置。 - 前記機能領域が主面側に設けられた半導体基板と、
前記半導体基板内に設けられた電荷伝送部と、
前記半導体基板の前記主面とは反対面側に設けられ、前記ボンディングパッドに接続された多層配線と
を備え、
前記電荷伝送部は、前記有機膜で光電変換された信号電荷、あるいは信号電荷に対応した電位を、前記多層配線を介して前記ボンディングパッドに伝送する
請求項1記載の固体撮像装置。 - 半導体基板の主面側に、有機膜が設けられた機能領域を形成することと、
前記機能領域の周囲に一層以上の金属層を積層することにより、前記機能領域を囲うガードリングを形成することと
を含む固体撮像装置の製造方法。 - 半導体基板の主面側に、有機膜が設けられた機能領域を形成すると共に、前記機能領域の周囲に絶縁膜を形成することと、
前記絶縁膜に溝を設け、前記溝の内部に金属膜またはシリコン窒化膜よりなる埋込み層を形成することにより、前記機能領域を囲うガードリングを形成することと
を含む固体撮像装置の製造方法。 - 半導体基板の主面側に、有機膜が設けられた機能領域を形成すると共に、前記機能領域の周囲に絶縁膜を形成することと、
前記絶縁膜に溝を設け、前記溝の内部にパッシベーション膜を被着することにより、前記機能領域を囲うガードリングを形成することと
を含む固体撮像装置の製造方法。
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