JP2015012239A - 撮像素子および電子機器 - Google Patents
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Abstract
【課題】光電変換膜の劣化を抑制することの可能な撮像素子およびそれを備えた電子機器を提供する。
【解決手段】撮像素子1は、基板21上に、第1電極膜23、有機光電変換膜24および第2電極膜25をこの順に備えると共に、第2電極膜25と電気的に接続された金属配線膜26を備えており、金属配線膜26は、有機光電変換膜24の端部全体を被覆している。
【選択図】図2
【解決手段】撮像素子1は、基板21上に、第1電極膜23、有機光電変換膜24および第2電極膜25をこの順に備えると共に、第2電極膜25と電気的に接続された金属配線膜26を備えており、金属配線膜26は、有機光電変換膜24の端部全体を被覆している。
【選択図】図2
Description
本技術は、撮像素子およびそれを備えた電子機器に関する。
従来、CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)イメージセンサやCCD(Charge Coupled Device)などの撮像素子は、デジタルスチルカメラやデジタルビデオカメラなどに広く用いられている。この撮像素子は、例えば、画素ごとに、光電変換膜と、その光電変換膜で得られた光電変換信号を外部に読み出す信号読み出し回路とを含んで構成されている。上記の光電変換膜は、例えば、有機材料によって構成されている(例えば、特許文献1参照)。
光電変換膜が有機材料によって構成されている場合、有機材料が水分やガスによって劣化しやすいことから、水分やガスが光電変換膜に侵入するのを抑制することが必要となる。従来では、水分やガスが光電変換膜に侵入するのを抑制するために、窒化珪素等を主成分とする保護膜によって光電変換膜が覆われていた。しかし、光電変換膜を保護膜で覆うだけでは、水分やガスの、光電変換膜への浸入を十分に抑制することは難しい。それは、保護膜には、ピンホールや、段差部でのクラックが発生しやすく、そこから水分やガスが光電変換膜に浸入し、光電変換膜が劣化してしまうことがあるからである。また、光電変換膜は、製造過程におけるエッチングダメージによっても、光電変換膜が劣化してしまうことがある。このように、光電変換膜は様々な要因で劣化しやすいことから、光電変換膜の劣化を抑制することが必要となる。
本技術はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、光電変換膜の劣化を抑制することの可能な撮像素子およびそれを備えた電子機器を提供することにある。
本技術の撮像素子は、基板上に、第1電極膜、有機光電変換膜および第2電極膜をこの順に備えている。この撮像素子は、さらに、第2電極膜と電気的に接続された金属配線膜を備えている。金属配線膜は、有機光電変換膜の端部全体を被覆している。
本技術の電子機器は、上記の撮像素子と、上記の撮像素子から出力された画素信号に対して所定の処理を行う信号処理回路とを備えている。
本技術の撮像素子および電子機器では、第2電極膜と電気的に接続された金属配線膜が、有機光電変換膜の端部全体を被覆している。これにより、撮像素子の駆動に用いる金属配線膜によって、有機光電変換膜の端部から、有機光電変換膜の内部への、水分やガスの浸入が抑えられる。つまり、本技術では、金属配線膜は、第2電極膜への電圧供給経路だけでなく、有機光電変換膜の保護にも用いられる。
本技術の撮像素子および電子機器によれば、撮像素子の駆動に用いる金属配線膜によって、有機光電変換膜の端部から、有機光電変換膜の内部への、水分やガスが浸入するのを抑えるようにしたので、光電変換膜の劣化を抑制することができる。
また、本技術の撮像素子および電子機器において、有機光電変換膜および第2電極膜を被覆すると共に有機光電変換膜と金属配線膜との間に保護膜を設けた場合には、撮像素子の製造過程で、有機光電変換膜へのエッチングダメージを抑えるために保護膜を用いることができる。従って、この場合にも、光電変換膜の劣化を抑制することができる。
以下、発明を実施するための形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、説明は以下の順序で行う。
1.第1の実施の形態(撮像素子)
金属配線膜に1つの開口を設けた例
2.変形例(撮像素子)
第1変形例:金属配線層に画素ごとに1つの開口を設けた例
第2変形例:有機光電変換膜を画素ごとに分離した例
第3変形例:透明電極上に保護膜を設けた例
第4変形例:オプティカルブラック領域を設けた例
第5変形例:フレア防止膜を設けた例
第6変形例:パッシベーション膜を設けた例
3.第2の実施の形態(撮像モジュール)
4.第3の実施の形態(電子機器)
1.第1の実施の形態(撮像素子)
金属配線膜に1つの開口を設けた例
2.変形例(撮像素子)
第1変形例:金属配線層に画素ごとに1つの開口を設けた例
第2変形例:有機光電変換膜を画素ごとに分離した例
第3変形例:透明電極上に保護膜を設けた例
第4変形例:オプティカルブラック領域を設けた例
第5変形例:フレア防止膜を設けた例
第6変形例:パッシベーション膜を設けた例
3.第2の実施の形態(撮像モジュール)
4.第3の実施の形態(電子機器)
<1.第1の実施の形態>
[構成]
図1は、本技術の第1の実施の形態に係る撮像素子1の上面構成の一例を表したものである。図2は、図1のA−A矢視方向の断面構成の一例を表したものである。撮像素子1は、例えば、複数の画素12が行列状に配置された画素領域11を備えている。撮像素子1は、さらに、例えば、各画素12を駆動する駆動回路と、その駆動回路によって駆動された各画素12で生成された電荷を転送する転送回路とを備えている。撮像素子1は、さらに、例えば、上記転送回路から転送された電荷を一時的に蓄積し、蓄積された電荷のレベルに応じた電圧の画素信号を出力する読み出し回路を備えている。
[構成]
図1は、本技術の第1の実施の形態に係る撮像素子1の上面構成の一例を表したものである。図2は、図1のA−A矢視方向の断面構成の一例を表したものである。撮像素子1は、例えば、複数の画素12が行列状に配置された画素領域11を備えている。撮像素子1は、さらに、例えば、各画素12を駆動する駆動回路と、その駆動回路によって駆動された各画素12で生成された電荷を転送する転送回路とを備えている。撮像素子1は、さらに、例えば、上記転送回路から転送された電荷を一時的に蓄積し、蓄積された電荷のレベルに応じた電圧の画素信号を出力する読み出し回路を備えている。
撮像素子1は、例えば、基板21上に、絶縁膜22、下側電極膜23、有機光電変換膜24、上側電極膜25および金属配線膜26を備えている。下側電極膜23、有機光電変換膜24および上側電極膜25は、画素領域11内に配置されており、かつ、基板21上に、この順に積層されている。下側電極膜23、有機光電変換膜24および上側電極膜25のうち、下側電極膜23と対向する部分が画素12を構成している。各画素12において、有機光電変換膜24は、下側電極膜23と上側電極膜25とによって挟まれている。
基板21は、例えば、半導体基板、または、絶縁基板である。半導体基板としては、例えば、シリコン基板、SOI(Silicon on Insulator)基板が挙げられる。シリコン基板や、SOI基板の中に、フォトダイオード領域が設けられていてもよい。絶縁膜22は、各下側電極膜23を互いに絶縁分離している。絶縁膜22は、水分やガスが透過しにくい絶縁材料で構成されている。絶縁膜22は、例えば、シリコン窒化膜、シリコン酸窒化膜、酸化アルミニウム膜、または、これらのうち少なくとも2つを含む積層膜からなる。
各下側電極膜23は、基板21上に、絶縁膜22を介して配置されている。各下側電極膜23は、互いに離間して配置されており、絶縁膜22によって絶縁分離されている。各下側電極膜23は、画素12ごとに設けられたアイランド状膜であり、画素電極として機能する。各下側電極膜23は、有機光電変換膜24の下に配置されており、有機光電変換膜24と対向する領域から外れた領域には配置されていない。有機光電変換膜24は、所定の波長帯域の光を光電変換するものであり、有機材料を含んで構成されている。有機光電変換膜24は、全ての画素12に共通に設けられたシート状膜であり、画素領域11全体に形成されている。
上側電極膜25は、少なくとも、有機光電変換膜24上に配置されている。上側電極膜25は、全ての画素12に共通に設けられたシート状膜であり、画素領域11全体に形成されている。上側電極膜25が有機光電変換膜24上だけに形成されている場合、上側電極膜25の端部は、有機光電変換膜24上に配置されている。上側電極膜25が有機光電変換膜24を被覆するように形成されている場合、上側電極膜25の端部は、絶縁膜22上に配置されている。上側電極膜25と下側電極膜23とは絶縁膜22によって空間分離されている。
上側電極膜25は、光透過性の導電性材料によって構成されている。光透過性の導電性材料は、例えば、Mg、Ag、Al、CuおよびAuのうち少なくとも1つを含む金属もしくは合金である。光透過性の導電性材料は、上記金属もしくは上記合金に、CaおよびLiのうち少なくとも1つが含まれた材料であってもよい。光透過性の導電性材料は、例えば、ITOまたはIZOなどであってもよい。上記の光透過性の導電性材料は、有機光電変換膜24で光電変換され得る光の波長帯域を透過する材料であればよく、例えば、可視光、赤外光、紫外光、またはX線を透過する材料である。
金属配線膜26は、上側電極膜25に接しており、上側電極膜25と電気的に接続されている。金属配線膜26は、さらに、有機光電変換膜24および上側電極膜25の端部全体を被覆している。ここで、端部全体とは、有機光電変換膜24および上側電極膜25を基板21の法線方向から見たときに、これらの膜の外縁1週を切れ目なく覆っていることを意味している。本実施の形態では、金属配線膜26は、有機光電変換膜24および上側電極膜25の端面と対向する位置と、上側電極膜25の上面の外縁と対向する位置とに配置されている。金属配線膜26の外縁は、絶縁膜22上に形成されている。金属配線膜26と下側電極膜23とは絶縁膜22によって空間分離されている。
金属配線膜26は、画素領域11のうち、受光に用いる画素12と対向する領域を避けて形成されている。金属配線膜26は、例えば、図1、図2に示したように、受光に用いる全ての画素12と対向する領域に1つの開口26Aを有する環形状の膜である。つまり、開口26Aの底面には、受光に用いる全ての画素12が露出している。 金属配線膜26は、水分やガスが透過しにくい金属材料で構成されている。金属配線膜26は、例えば、W、Al、Ti、Mo、Ta、Cu、もしくはこれらのうち少なくとも1つを含む合金、または、これらのうち少なくとも1つを含む材料にSiを含有させたもので構成されている。
撮像素子1は、必要に応じて、上側電極膜25の上面を含む面全体に、パッシベーション膜を備えていてもよい。パッシベーション膜は、各画素12を保護するものであり、例えば、シリコン窒化膜、シリコン酸窒化膜、酸化アルミニウム膜、または、これらのうち少なくとも2つを含む積層膜からなる。撮像素子1は、パッシベーション膜の代わりに、または、パッシベーション膜とともに、カラーフィルタを備えていてもよい。カラーフィルタは、画素12と対向する位置に配置されており、外部から入射した光を所望の波長帯において選択的に透過するものである。なお、撮像素子1が、上側電極膜25の上面に、パッシベーション膜やカラーフィルタなどの保護膜を備えている場合、その保護膜は、例えば、金属配線膜26の一部が底面に露出する開口を有していてもよい。
[動作]
次に、撮像素子1の動作の一例について説明する。撮像素子1では、金属配線膜26などを介して、各画素12に所定の電圧が印加される。このとき、例えば、レンズなどの光学部品を介して、外部の光が画素領域11に入射すると、入射光の一部が、有機光電変換膜24で光電変換され、入射光の強度に応じた量の電荷が画素12ごとに蓄積される。蓄積された電荷は、画素12に印加された電圧によって発生した電界によって、下側電極膜23に収集される。下側電極膜23に蓄積された電荷のレベルに応じた電圧が所定のタイミングで読み出され、画素信号として出力される。外部の信号処理回路などによって、画素信号が処理されることにより、画像データが生成される。
次に、撮像素子1の動作の一例について説明する。撮像素子1では、金属配線膜26などを介して、各画素12に所定の電圧が印加される。このとき、例えば、レンズなどの光学部品を介して、外部の光が画素領域11に入射すると、入射光の一部が、有機光電変換膜24で光電変換され、入射光の強度に応じた量の電荷が画素12ごとに蓄積される。蓄積された電荷は、画素12に印加された電圧によって発生した電界によって、下側電極膜23に収集される。下側電極膜23に蓄積された電荷のレベルに応じた電圧が所定のタイミングで読み出され、画素信号として出力される。外部の信号処理回路などによって、画素信号が処理されることにより、画像データが生成される。
[効果]
次に、撮像素子1の効果について説明する。撮像素子1では、上側電極膜25と電気的に接続された金属配線膜26が、有機光電変換膜24の端部全体を被覆している。これにより、撮像素子1の駆動に用いる金属配線膜26によって、有機光電変換膜24の端部から、有機光電変換膜24の内部への、水分やガスの浸入が抑えられる。特に、有機光電変換膜24の端部近傍には、歪みが生じやすく、上側電極膜25の上面を含む表面全体にパッシベーション膜が設けられている場合に、このパッシベーション膜のうち有機光電変換膜24の端部近傍にクラックが生じやすい。しかし、本実施の形態では、このパッシベーション膜のうち有機光電変換膜24の端部近傍にクラックが生じたとしても、有機光電変換膜24の端部全体が金属配線膜26によって被覆されているので、クラックを介した水分やガスの侵入を防ぐことができる。その結果、有機光電変換膜24の劣化を抑制することができる。
次に、撮像素子1の効果について説明する。撮像素子1では、上側電極膜25と電気的に接続された金属配線膜26が、有機光電変換膜24の端部全体を被覆している。これにより、撮像素子1の駆動に用いる金属配線膜26によって、有機光電変換膜24の端部から、有機光電変換膜24の内部への、水分やガスの浸入が抑えられる。特に、有機光電変換膜24の端部近傍には、歪みが生じやすく、上側電極膜25の上面を含む表面全体にパッシベーション膜が設けられている場合に、このパッシベーション膜のうち有機光電変換膜24の端部近傍にクラックが生じやすい。しかし、本実施の形態では、このパッシベーション膜のうち有機光電変換膜24の端部近傍にクラックが生じたとしても、有機光電変換膜24の端部全体が金属配線膜26によって被覆されているので、クラックを介した水分やガスの侵入を防ぐことができる。その結果、有機光電変換膜24の劣化を抑制することができる。
また、撮像素子1では、金属配線膜26は、上側電極膜25への電圧供給経路だけでなく、有機光電変換膜24の保護にも用いられる。つまり、新たな工程や、部材を追加することなく、有機光電変換膜24を保護することができる。
<2.変形例>
次に、上記実施の形態の撮像素子1の変形例について説明する。
[第1変形例]
図3は、第1変形例に係る撮像素子1の上面構成の一例を表したものである。図4は、図3のA−A矢視方向の断面構成の一例を表したものである。上記実施の形態では、金属配線膜26は、1つの開口26Aを有する環形状となっていた。本変形例では、金属配線膜26は、例えば、図3、図4に示したように、開口26Aの代わりに、画素12ごとに開口26Bを有している。これにより、互いに隣接する2つの画素12の間隙の上に金属配線膜26が存在する。その結果、光入射窓を確保しつつ、有機光電変換膜24の上面から、有機光電変換膜24の内部への、水分やガスの浸入を低減することができる。さらに、金属配線膜26による遮光作用により、互いに隣接する2つの画素12間のクロストークを低減することができる。
次に、上記実施の形態の撮像素子1の変形例について説明する。
[第1変形例]
図3は、第1変形例に係る撮像素子1の上面構成の一例を表したものである。図4は、図3のA−A矢視方向の断面構成の一例を表したものである。上記実施の形態では、金属配線膜26は、1つの開口26Aを有する環形状となっていた。本変形例では、金属配線膜26は、例えば、図3、図4に示したように、開口26Aの代わりに、画素12ごとに開口26Bを有している。これにより、互いに隣接する2つの画素12の間隙の上に金属配線膜26が存在する。その結果、光入射窓を確保しつつ、有機光電変換膜24の上面から、有機光電変換膜24の内部への、水分やガスの浸入を低減することができる。さらに、金属配線膜26による遮光作用により、互いに隣接する2つの画素12間のクロストークを低減することができる。
[第2変形例]
図5は、第2変形例に係る撮像素子1の断面構成の一例を表したものである。図5には、図3のA−A線に対応する箇所の断面構成例が示されている。上記第1変形例では、有機光電変換膜24および上側電極膜25が、全ての画素12に共通に設けられたシート状膜であった。本変形例では、有機光電変換膜24および上側電極膜25が、例えば、図5に示したように、画素12ごとに分離されている。つまり、有機光電変換膜24および上側電極膜25は、画素12ごとに設けられた複数のアイランド状膜で構成されている。これにより、互いに隣接する2つの画素12が金属配線膜26によって分離されるので、有機光電変換膜24の端部側から、有機光電変換膜24の内部側への、水分やガスの浸入が抑えられる。さらに、金属配線膜26による遮光作用により、互いに隣接する2つの画素12間のクロストークをなくすことができる。
図5は、第2変形例に係る撮像素子1の断面構成の一例を表したものである。図5には、図3のA−A線に対応する箇所の断面構成例が示されている。上記第1変形例では、有機光電変換膜24および上側電極膜25が、全ての画素12に共通に設けられたシート状膜であった。本変形例では、有機光電変換膜24および上側電極膜25が、例えば、図5に示したように、画素12ごとに分離されている。つまり、有機光電変換膜24および上側電極膜25は、画素12ごとに設けられた複数のアイランド状膜で構成されている。これにより、互いに隣接する2つの画素12が金属配線膜26によって分離されるので、有機光電変換膜24の端部側から、有機光電変換膜24の内部側への、水分やガスの浸入が抑えられる。さらに、金属配線膜26による遮光作用により、互いに隣接する2つの画素12間のクロストークをなくすことができる。
[第3変形例]
図6〜図8は、第3変形例に係る撮像素子1の断面構成の一例を表したものである。図6は、上記実施の形態に係る撮像素子1の一変形例を表したものである。図7は、上記第1変形例に係る撮像素子1の一変形例を表したものである。図8は、上記第2変形例に係る撮像素子1の一変形例を表したものである。
図6〜図8は、第3変形例に係る撮像素子1の断面構成の一例を表したものである。図6は、上記実施の形態に係る撮像素子1の一変形例を表したものである。図7は、上記第1変形例に係る撮像素子1の一変形例を表したものである。図8は、上記第2変形例に係る撮像素子1の一変形例を表したものである。
本変形例では、撮像素子1は、有機光電変換膜24および上側電極膜25を被覆する保護膜27を備えている。保護膜27は、有機光電変換膜24および上側電極膜25と、金属配線膜26との間に形成されている。保護膜27は、例えば、図6〜図8に示したように、上側電極膜25の上面や、有機光電変換膜24および上側電極膜25の端部に沿って形成されている。図6、図7では、保護膜27は、全ての画素12に共通に設けられたシート状膜であり、画素領域11全体に形成されている。図8では、保護膜27は、画素領域11において、画素12ごとに設けられた複数のアイランド状膜で構成されており、画素領域11の周縁において、環形状の膜で構成されている。
保護膜27は、有機光電変換膜24の上面から、有機光電変換膜24の内部への、水分やガスの浸入を低減するものである。保護膜27は、例えば、シリコン窒化膜、シリコン酸窒化膜、酸化アルミニウム膜、または、これらのうち少なくとも2つを含む積層膜からなる。
図6〜図8のいずれにおいても、保護膜27は、上側電極膜25と対向する位置に1または複数の開口27Hを有している。各開口27Hは、上側電極膜25と金属配線膜26とを互いに接触させるための通路としての役割を有している。上側電極膜25の一部が、各開口27Hの内部に充填されており、金属配線膜26は、1または複数の開口27Hを介して上側電極膜25に接している。
(製造方法)
本変形例に係る撮像素子1は、例えば、以下に示した方法で製造することが可能である。なお、以下では、図6に示した撮像素子1の製造方法について説明するが、図7や図8に示した撮像素子1についても、同様の方法で製造可能である。
本変形例に係る撮像素子1は、例えば、以下に示した方法で製造することが可能である。なお、以下では、図6に示した撮像素子1の製造方法について説明するが、図7や図8に示した撮像素子1についても、同様の方法で製造可能である。
図9A、図9B、図10A、図10Bは、図6に示した撮像素子1の製造方法の一例を工程順に表したものである。まず、基板21上に、絶縁膜22、下側電極膜23、有機光電変換膜24および上側電極膜25を形成する。次に、上側電極膜25上の所定位置に、保護膜27Aを形成する(図9A)。この保護膜27Aは、後のエッチング工程でマスクとして機能するものである。例えば、後に画素領域11となる領域にだけ、保護膜27Aを形成する。保護膜27Aは、例えば、シリコン窒化膜、シリコン酸窒化膜、酸化アルミニウム膜、または、これらのうち少なくとも2つを含む積層膜からなる。次に、保護膜27Aをマスクとして、有機光電変換膜24および上側電極膜25を選択的にエッチングする(図9B)。これにより、例えば、後に画素領域11となる領域にだけ、有機光電変換膜24および上側電極膜25を形成する。
次に、保護膜27Aを残したまま、保護膜27Aを含む表面全体に保護膜27Bを形成する(図10A)。保護膜27Bは、例えば、シリコン窒化膜、シリコン酸窒化膜、酸化アルミニウム膜、または、これらのうち少なくとも2つを含む積層膜からなる。保護膜27Aおよび保護膜27Bからなる保護膜が、保護膜27の一具体例に相当する。つまり、保護膜27が、上側電極膜25の上面を被覆する保護膜27Aと、有機光電変換膜24および保護膜27Aを被覆する保護膜27Bとを含んで構成されている。
次に、保護膜27の所定位置に1または複数の開口27Hを形成したのち、各開口27Hを埋め込むとともに、有機光電変換膜24および上側電極膜25の端部全体を被覆する金属配線膜26を形成する(図10B)。その後、必要に応じて、上側電極膜25の上面を含む面全体にパッシベーション膜を形成する。このようにして、図6に示した撮像素子1が製造される。
図8に示した撮像素子1の製造工程においては、保護膜27に1または複数の開口27Hを形成するときに、互いに隣接する2つの下側電極膜23の間隙と対向する領域に、保護膜27、上側電極膜25および有機光電変換膜24を貫通する溝27Gを掘る。その後、各開口27Hと、溝27Gを埋め込むとともに、有機光電変換膜24および上側電極膜25の端部全体を被覆する金属配線膜26を形成する。その後、必要に応じて、上側電極膜25の上面を含む面全体にパッシベーション膜を形成する。このようにして、図8に示した撮像素子1が製造される。
なお、図6、図7、図8に示した撮像素子1の製造方法において、保護膜27Bの形成を省略してもよい。このようにした場合には、例えば、図12に示したように、上側電極膜25の上面だけに保護膜27Aを備え、有機光電変換膜24および上側電極膜25の端部が金属配線膜26に接する撮像素子1が得られる。
本変形例では、保護膜27または保護膜27Aによって有機光電変換膜24が保護されている。これにより、有機光電変換膜24の上面から、有機光電変換膜24の内部への、水分やガスの浸入を低減することができる。ここで、保護膜27Aは、有機光電変換膜24および上側電極膜25を選択的にエッチングする際のマスクとしても利用されるものである。つまり、保護膜27Aは、有機光電変換膜24へのエッチングダメージを抑える役割も持っている。従って、保護膜27Aによって、エッチングダメージによる有機光電変換膜24の劣化を抑制することができる。
また、本変形例では、エッチングマスクとして利用している保護膜27Aをあえて残して、有機光電変換膜24の保護膜として利用している。これにより、新たな工程を追加することなく、有機光電変換膜24の保護膜(保護膜27A)を設けることができる。
[第4変形例]
図13〜図20は、第4変形例に係る撮像素子1の一例を表したものである。図13、図15は、本変形例に係る撮像素子1の上面構成の一例を表したものである。図14は、図13のA−A矢視方向の断面構成の一例を表したものである。図16、図17は、図15のA−A矢視方向の断面構成の一例を表したものである。図18は、図13のA−A矢視方向の断面構成の一例を表したものである。図19、図20は、図15のA−A矢視方向の断面構成の一例を表したものである。
図13〜図20は、第4変形例に係る撮像素子1の一例を表したものである。図13、図15は、本変形例に係る撮像素子1の上面構成の一例を表したものである。図14は、図13のA−A矢視方向の断面構成の一例を表したものである。図16、図17は、図15のA−A矢視方向の断面構成の一例を表したものである。図18は、図13のA−A矢視方向の断面構成の一例を表したものである。図19、図20は、図15のA−A矢視方向の断面構成の一例を表したものである。
上記実施の形態、第1変形例、第2変形例および第3変形例では、金属配線膜26は、各画素12を避けて形成されていた。本変形例では、金属配線膜26が、一部の画素12を覆っている。金属配線膜26によって覆われた1または複数の画素12は、黒レベルの画素信号を得るために使われる。従って、金属配線膜26は、複数の画素12のうち、受光に用いる全ての画素12と対向する領域(イメージ領域11A)に1つの開口26A、または複数の開口26Bを有している。さらに、金属配線膜26は、複数の画素12のうち、黒レベルの画素信号を得るために用いる全ての画素12と対向する領域(オプティカルブラック領域11B)を被覆している。
本変形例では、金属配線膜26が、上側電極膜25への電圧供給経路および有機光電変換膜24の保護膜として利用されるだけでなく、黒レベルの画素信号を得るための遮光膜としても利用される。このように、金属配線膜26に3つの役割を同時に持たせることにより、撮像素子1の内部構成を複雑化することなく、撮像素子1を高性能化、高機能化することができる。
[第5変形例]
図21〜図23は、第5変形例に係る撮像素子1の一例を表したものである。図21〜図23は、本変形例に係る撮像素子1の断面構成の一例を表したものである。
図21〜図23は、第5変形例に係る撮像素子1の一例を表したものである。図21〜図23は、本変形例に係る撮像素子1の断面構成の一例を表したものである。
本変形例に係る撮像素子1は、上記実施の形態、第1変形例、第2変形例、第3変形例および第4変形例において、金属配線膜26の上面に、フレア防止膜28を備えたものである。フレア防止膜28は、入射光の、金属配線膜26の上面での反射を防止するものである。フレア防止膜28は、例えば、カラーフィルタ膜や、多重干渉効果を用いた積層膜などにより構成されている。本変形例では、金属配線膜26の上面にフレア防止膜28が設けられているので、金属配線膜26の上面で、入射光が反射することによりフレアが発生するのを抑制することができる。
[第6変形例]
上記実施の形態ならびに第1変形例〜第5変形例において、撮像素子1が、上側電極膜25または保護膜27の上面を含む面全体に、パッシベーション膜を備えていてもよい。パッシベーション膜は、各画素12を保護するものであり、例えば、シリコン窒化膜、シリコン酸窒化膜、酸化アルミニウム膜、または、これらのうち少なくとも2つを含む積層膜からなる。例えば、図24に示したように、撮像素子1が、上側電極膜25の上面および金属配線膜26の上面を含む面全体に、パッシベーション膜29を備えていてもよい。パッシベーション膜29の材料は、上記のパッシベーション膜の材料と同様である。
上記実施の形態ならびに第1変形例〜第5変形例において、撮像素子1が、上側電極膜25または保護膜27の上面を含む面全体に、パッシベーション膜を備えていてもよい。パッシベーション膜は、各画素12を保護するものであり、例えば、シリコン窒化膜、シリコン酸窒化膜、酸化アルミニウム膜、または、これらのうち少なくとも2つを含む積層膜からなる。例えば、図24に示したように、撮像素子1が、上側電極膜25の上面および金属配線膜26の上面を含む面全体に、パッシベーション膜29を備えていてもよい。パッシベーション膜29の材料は、上記のパッシベーション膜の材料と同様である。
撮像素子1は、パッシベーション膜の代わりに、または、パッシベーション膜とともに、カラーフィルタを備えていてもよい。カラーフィルタは、画素12と対向する位置に配置されており、外部から入射した光を所望の波長帯において選択的に透過するものである。なお、撮像素子1が、上側電極膜25または保護膜27の上面に、パッシベーション膜やカラーフィルタなどの保護膜を備えている場合、その保護膜は、例えば、金属配線膜26の一部が底面に露出する開口を有していてもよい。この開口の底面に露出した部分が、金属配線膜26と外部回路とを互いに電気的に接続するパッド電極としての役割を担う。
本変形例では、上側電極膜25の上面を含む面全体に、パッシベーション膜が設けられている。これにより、有機光電変換膜24の上面から、有機光電変換膜24の内部への、水分やガスの浸入が抑えられる。その結果、有機光電変換膜24の劣化を抑制することができる。
<2.第2の実施の形態>
図25は、本技術の第2の実施の形態に係る撮像モジュール2の概略構成を表したものである。撮像モジュール2は、上記実施の形態およびその変形例に係る撮像素子1と、撮像素子1から出力された画素信号に対して所定の処理を行う信号処理回路30とを備えている。撮像素子1および信号処理回路30は、例えば、1つの配線基板上に実装されている。信号処理回路30は、例えば、DSP(Digital Signal Processor)で構成されている。
図25は、本技術の第2の実施の形態に係る撮像モジュール2の概略構成を表したものである。撮像モジュール2は、上記実施の形態およびその変形例に係る撮像素子1と、撮像素子1から出力された画素信号に対して所定の処理を行う信号処理回路30とを備えている。撮像素子1および信号処理回路30は、例えば、1つの配線基板上に実装されている。信号処理回路30は、例えば、DSP(Digital Signal Processor)で構成されている。
本実施の形態では、上記実施の形態およびその変形例に係る撮像素子1が搭載されている。これにより、画質の経年劣化の少ない撮像モジュール2を提供することができる。
<3.第3の実施の形態>
図26は、本技術の第3の実施の形態に係る電子機器3の概略構成を表したものである。電子機器3は、上記第2の実施の形態に係る撮像モジュール2と、撮像モジュール2内の撮像素子1に外光を入射させるレンズ31と、撮像モジュール2の出力を映像として表示する表示装置32と、撮像モジュール2の出力を記憶する記憶装置33とを備えている。なお、電子機器3は、記憶装置33を備えていなくてもよい。この場合に、電子機器3は、外部記憶装置に情報を書き込む書き込み装置を備えていてもよい。
図26は、本技術の第3の実施の形態に係る電子機器3の概略構成を表したものである。電子機器3は、上記第2の実施の形態に係る撮像モジュール2と、撮像モジュール2内の撮像素子1に外光を入射させるレンズ31と、撮像モジュール2の出力を映像として表示する表示装置32と、撮像モジュール2の出力を記憶する記憶装置33とを備えている。なお、電子機器3は、記憶装置33を備えていなくてもよい。この場合に、電子機器3は、外部記憶装置に情報を書き込む書き込み装置を備えていてもよい。
本実施の形態では、上記第2の実施の形態に係る撮像モジュール2が搭載されている。これにより、画質の経年劣化の少ない電子機器3を提供することができる。
以上、実施の形態およびその変形例を挙げて本技術を説明したが、本技術は上記実施の形態等に限定されるものではなく、種々変形が可能である。
また、例えば、本技術は以下のような構成を取ることができる。
(1)
基板上に、第1電極膜、有機光電変換膜および第2電極膜をこの順に備えると共に、前記第2電極膜と電気的に接続された金属配線膜を備え、
前記金属配線膜は、前記有機光電変換膜の端部全体を被覆している
撮像素子。
(2)
前記金属配線膜は、W、Al、Ti、Mo、Ta、Cu、もしくはこれらのうち少なくとも1つを含む合金、または、これらのうち少なくとも1つを含む材料にSiを含有させたもので構成されている
(1)に記載の撮像素子。
(3)
前記有機光電変換膜および前記第2電極膜を被覆すると共に前記有機光電変換膜と前記金属配線膜との間に形成された保護膜をさらに備えた
(1)または(2)に記載の撮像素子。
(4)
前記保護膜は、シリコン窒化膜、シリコン酸窒化膜、酸化アルミニウム膜、または、これらのうち少なくとも2つを含む積層膜からなる
(3)に記載の撮像素子。
(5)
前記保護膜は、前記第2電極膜の上面を被覆する第1保護膜と、前記有機光電変換膜および前記第1保護膜を被覆する第2保護膜とを含んで構成される
(3)または(4)に記載の撮像素子。
(6)
前記保護膜は、前記第2電極膜と対向する位置に1または複数の開口を有し、
前記金属配線膜は、前記1または複数の開口を介して前記第2電極膜に接している
(3)ないし(5)のいずれか一項に記載の撮像素子。
(7)
前記第1電極膜は、画素ごとに設けられた複数の画素電極で構成され、
前記有機光電変換膜は、全画素共通に設けられたシート状膜で構成され、
前記金属配線膜は、前記シート状膜の端部全体を被覆している
(1)ないし(6)のいずれか一項に記載の撮像素子。
(8)
前記第1電極膜は、画素ごとに設けられた複数の画素電極で構成され、
前記有機光電変換膜は、前記画素ごとに設けられた複数のアイランド状膜で構成され、
前記金属配線膜は、各前記アイランド状膜の端部全体を被覆している
(1)ないし(6)のいずれか一項に記載の撮像素子。
(9)
撮像素子と、
前記撮像素子から出力された画素信号に対して所定の処理を行う信号処理回路と
を備え、
前記撮像素子は、
基板上に、第1電極膜、有機光電変換膜および第2電極膜をこの順に備えると共に、前記第2電極膜と電気的に接続された金属配線膜を有し、
前記金属配線膜は、前記有機光電変換膜の端部全体を被覆している
電子機器。
(1)
基板上に、第1電極膜、有機光電変換膜および第2電極膜をこの順に備えると共に、前記第2電極膜と電気的に接続された金属配線膜を備え、
前記金属配線膜は、前記有機光電変換膜の端部全体を被覆している
撮像素子。
(2)
前記金属配線膜は、W、Al、Ti、Mo、Ta、Cu、もしくはこれらのうち少なくとも1つを含む合金、または、これらのうち少なくとも1つを含む材料にSiを含有させたもので構成されている
(1)に記載の撮像素子。
(3)
前記有機光電変換膜および前記第2電極膜を被覆すると共に前記有機光電変換膜と前記金属配線膜との間に形成された保護膜をさらに備えた
(1)または(2)に記載の撮像素子。
(4)
前記保護膜は、シリコン窒化膜、シリコン酸窒化膜、酸化アルミニウム膜、または、これらのうち少なくとも2つを含む積層膜からなる
(3)に記載の撮像素子。
(5)
前記保護膜は、前記第2電極膜の上面を被覆する第1保護膜と、前記有機光電変換膜および前記第1保護膜を被覆する第2保護膜とを含んで構成される
(3)または(4)に記載の撮像素子。
(6)
前記保護膜は、前記第2電極膜と対向する位置に1または複数の開口を有し、
前記金属配線膜は、前記1または複数の開口を介して前記第2電極膜に接している
(3)ないし(5)のいずれか一項に記載の撮像素子。
(7)
前記第1電極膜は、画素ごとに設けられた複数の画素電極で構成され、
前記有機光電変換膜は、全画素共通に設けられたシート状膜で構成され、
前記金属配線膜は、前記シート状膜の端部全体を被覆している
(1)ないし(6)のいずれか一項に記載の撮像素子。
(8)
前記第1電極膜は、画素ごとに設けられた複数の画素電極で構成され、
前記有機光電変換膜は、前記画素ごとに設けられた複数のアイランド状膜で構成され、
前記金属配線膜は、各前記アイランド状膜の端部全体を被覆している
(1)ないし(6)のいずれか一項に記載の撮像素子。
(9)
撮像素子と、
前記撮像素子から出力された画素信号に対して所定の処理を行う信号処理回路と
を備え、
前記撮像素子は、
基板上に、第1電極膜、有機光電変換膜および第2電極膜をこの順に備えると共に、前記第2電極膜と電気的に接続された金属配線膜を有し、
前記金属配線膜は、前記有機光電変換膜の端部全体を被覆している
電子機器。
1…撮像素子、2…撮像モジュール、3…電子機器、11…画素領域、11A…イメージ領域、11B…オプティカルブラック領域、12…画素、21…基板、22…絶縁膜、23…下側電極膜、24…有機光電変換膜、25…上側電極膜、26…金属配線膜、26A,26B,27H,28A…開口、27,27A,27B…保護膜、27G…溝、28…フレア防止膜、29…パッシベーション膜、30…信号処理回路、31…レンズ、32…表示装置、33…記憶装置。
Claims (9)
- 基板上に、第1電極膜、有機光電変換膜および第2電極膜をこの順に備えると共に、前記第2電極膜と電気的に接続された金属配線膜を備え、
前記金属配線膜は、前記有機光電変換膜の端部全体を被覆している
撮像素子。 - 前記金属配線膜は、W、Al、Ti、Mo、Ta、Cu、もしくはこれらのうち少なくとも1つを含む合金、または、これらのうち少なくとも1つを含む材料にSiを含有させたもので構成されている
請求項1に記載の撮像素子。 - 前記有機光電変換膜および前記第2電極膜を被覆すると共に前記有機光電変換膜と前記金属配線膜との間に形成された保護膜をさらに備えた
請求項2に記載の撮像素子。 - 前記保護膜は、シリコン窒化膜、シリコン酸窒化膜、酸化アルミニウム膜、または、これらのうち少なくとも2つを含む積層膜からなる
請求項3に記載の撮像素子。 - 前記保護膜は、前記第2電極膜の上面を被覆する第1保護膜と、前記有機光電変換膜および前記第1保護膜を被覆する第2保護膜とを含んで構成される
請求項3に記載の撮像素子。 - 前記保護膜は、前記第2電極膜と対向する位置に1または複数の開口を有し、
前記金属配線膜は、前記1または複数の開口を介して前記第2電極膜に接している
請求項3に記載の撮像素子。 - 前記第1電極膜は、画素ごとに設けられた複数の画素電極で構成され、
前記有機光電変換膜は、全画素共通に設けられたシート状膜で構成され、
前記金属配線膜は、前記シート状膜の端部全体を被覆している
請求項3に記載の撮像素子。 - 前記第1電極膜は、画素ごとに設けられた複数の画素電極で構成され、
前記有機光電変換膜は、前記画素ごとに設けられた複数のアイランド状膜で構成され、
前記金属配線膜は、各前記アイランド状膜の端部全体を被覆している
請求項3に記載の撮像素子。 - 撮像素子と、
前記撮像素子から出力された画素信号に対して所定の処理を行う信号処理回路と
を備え、
前記撮像素子は、
基板上に、第1電極膜、有機光電変換膜および第2電極膜をこの順に備えると共に、前記第2電極膜と電気的に接続された金属配線膜を有し、
前記金属配線膜は、前記有機光電変換膜の端部全体を被覆している
電子機器。
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