WO2011092909A1 - 金属部材の製造方法および金属部材 - Google Patents

金属部材の製造方法および金属部材 Download PDF

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秀実 加藤
武 和田
邦夫 湯葢
井上　明久
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国立大学法人東北大学
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    • Y10T428/12479—Porous [e.g., foamed, spongy, cracked, etc.]

Definitions

  • the present invention relates to a method for producing a metal member having micropores on the entire surface or the metal member.
  • Porous metals are extremely wide, such as ultralight materials, high specific rigidity materials, energy absorbing materials, vibration absorbing materials, soundproof materials, heat insulating materials, electrode materials, filter materials, biomedical materials, heat exchanger materials and oil-bearing bearing materials.
  • Application development is expected, and it has high potential as a powerful material for the environment, energy, and aging.
  • porous metal materials having pore sizes smaller than 1 ⁇ m and micropores with nanometer dimensions have a remarkably large specific surface area compared to bulk metal bodies, so that catalyst characteristics, electrode characteristics, gas storage In terms of characteristics and sensing characteristics, it is highly expected to exhibit high functionality that cannot be obtained with conventional materials.
  • Conventional techniques for producing a porous metal include a foaming and melting method, a gas expansion method, a precursor method, a combustion synthesis method, a coating method, a spacer method, and the like. It has the above size, and it cannot be easily made smaller. Therefore, porous metals having pores controlled to a nanometer size have been produced mainly by the following decomponent corrosion method.
  • a phase mainly composed of a base metal is selected from an alloy or a compound having a composite phase mainly composed of base and noble metals whose standard electrode potentials are negative and positive, respectively.
  • This is a method for producing a porous body having a phase mainly composed of a remaining noble metal by eluting and removing it only in an acid or alkaline aqueous solution at room temperature (see, for example, Patent Document 1).
  • the metal material is excellent in various properties such as moldability, superelasticity, and shape memory, and is excellent in strength and toughness as compared with ceramics and polymers. For this reason, about 80% of implantable devices that cannot be replaced by ceramics or polymers have been developed using metallic materials. For example, austenitic stainless steel SUS316L stainless steel, Ti-6Al-4V ELI, Co-Cr alloy, Ti-6Al-4Nb, nickel-free stainless steel, and nitinol (48.5 to 51.5 atomic percent nickel) Ti—Ni-based shape memory alloys) are now widely recognized and used as typical medical device metal materials.
  • Metal materials as medical devices have high effectiveness from the viewpoint of strength and toughness, but at the same time have drawbacks to be overcome.
  • high corrosion resistance is essential.
  • Nickel, mercury, cobalt, palladium, chromium, and the like are listed as typical metal elements that cause allergies, and nickel allergies are particularly serious.
  • Nickel is also attracting attention as a carcinogenic substance, and measures are being strengthened by setting elution standards in each country.
  • new metal alloys are being developed for medical metal material devices based on the premise of alloy designs that do not contain nickel.
  • this component limitation has become a major obstacle to alloy development. The current situation is.
  • a method for producing a metal member according to the present invention simultaneously contains a second component and a third component having positive and negative mixing heats with respect to the first component, respectively, and A metal material comprising a compound, alloy or non-equilibrium alloy having a melting point higher than the freezing point of the metal bath comprising the first component, the third component being reduced from the metal material, and the second component being The third component is selectively eluted in the metal bath by dipping in the metal bath controlled to a temperature lower than the minimum value of the liquidus temperature within the range of composition fluctuations until the minute. It is characterized by obtaining a metal member having a gap.
  • the third component is made from the metal material depending on the heat of mixing with the metal bath component by immersing the metal material composed of a compound, alloy or non-equilibrium alloy in the metal bath.
  • a metalurgical technique that focuses on the property of being selected and eluted into a metal bath and the remaining components thickening while forming a self-organized minute gap.
  • a metal member having nanometer-sized micropores can be removed even in various base metal materials by removing substances adhering to the formed minute gaps. It can be manufactured easily.
  • the metal component includes a metalloid element such as tin, carbon, silicon, boron and germanium.
  • the first, second, and third components are not limited to single-type pure elements, and may be configured of multiple types of elements.
  • a metal material made of a compound, alloy, or non-equilibrium alloy containing the second component and the third component simultaneously is prepared.
  • a first component having positive and negative heats of mixing with the second component and the third component, respectively, and having a melting point lower than that of the metal material and the second component is selected.
  • the first component is heated to a temperature lower than the minimum value of the liquidus temperature within the composition variation range up to the melting point and the third component is decreased from the metal material and reaches the second component. Make a bath.
  • a metal material containing the second component and the third component is immersed in a metal bath composed of the first component.
  • the third component in the metal material has a negative heat of mixing with the first component, it elutes into the metal bath.
  • the second component has a positive heat of mixing with the first component, it does not elute in the metal bath and remains on the surface of the metal material and similarly binds to the remaining second component.
  • the method for producing a metal member according to the present invention includes the first component and the third component adhered to the periphery or the inside of the minute gap by an acid or alkaline aqueous solution after being pulled out from the metal bath. It is preferable to selectively elute and remove only the admixture. In this case, by using an acid or alkaline aqueous solution that can selectively elute only the adhering admixture without eluting the second component, the adhering admixture was removed with the second component as the main component. A metal member having nanopores having nanometer dimensions can be manufactured. The adhering admixture to be removed adheres to the periphery of the metal member to be manufactured, partially adheres to the inside of the minute gap, or is filled into the inside of the minute gap, for example.
  • the first component comprises Mg, Ca, Bi, a rare earth metal element, or an admixture that is an alloy or compound mainly containing any one of these
  • the second component is composed of an admixture solid which is an alloy or compound containing any one of Ti, Zr, Nb, Ta, Cr, Mo, W, Fe, Sn, or a plurality thereof
  • the third component Is preferably composed of a mixed solid containing one or more of Cu, Ni, Co, Fe, and Ca.
  • the third component is selectively eluted into the metal bath from the surface layer of the metal material by immersing the metal material in the metal bath, and a minute gap is formed.
  • the third component may be made of Ni, and the metal material may be made of a Ni-containing alloy.
  • nickel (Ni) is eluted in the metal bath, and a nickel-free metal member having micropores formed by concentrating the remaining second component can be manufactured.
  • nickel-free means that the nickel atomic% concentration in the material is 1.0% or less.
  • a nickel alloy member having a nickel-free surface modification layer can be produced.
  • micropores are formed only in the nickel-free surface modified layer, and the nickel-containing alloy having excellent mechanical properties and functional characteristics remains inside the surface modified layer.
  • the obtained metal member can suppress elution of nickel ions from the surface layer without impairing the mechanical properties of the entire material, and is excellent in biocompatibility.
  • the metal material contains Ni and an alloy mainly containing Ti, stainless steel containing Ni, or an alloy containing Ni and mainly containing Co and Cr. It may consist of In this case, the metal material is, for example, Nitinol (Ti—Ni-based shape memory alloy), stainless steel including nickel such as SUS316L stainless steel of austenitic stainless steel, Co—Cr including nickel such as ASTM-F90, F562, and F1058. Made of an alloy.
  • the metal member according to the present invention is manufactured by the metal member manufacturing method according to the present invention.
  • the metal member according to the present invention has micropores with nanometer dimensions. In the case of a nickel-containing alloy in which nickel is eluted from only the surface layer of the metal material, elution of nickel ions can be suppressed without impairing the mechanical properties of the entire material, and the biocompatibility is excellent.
  • a metal member manufacturing method and a metal member capable of easily manufacturing a base metal material porous body having nanometer-sized micropores.
  • a metal member manufacturing method and a metal member capable of obtaining a metal member with excellent biocompatibility that can suppress elution of nickel ions without impairing the mechanical properties of the entire material are provided. You can also.
  • FIG. 1A is a side view showing a step of immersing a metal material in a metal molten bath
  • FIG. 1B is an enlarged side view of a part of the method for manufacturing a metal member according to the first embodiment of the present invention
  • FIG. It is a side view which shows the metal material pulled up from the metal molten bath
  • (d) The side view which shows the process of immersing a metal material in an acid or alkali aqueous solution
  • (e) The side view which shows the manufactured metal member. 2 is a photomicrograph of a titanium-zirconium porous molded metal member produced by the method for producing a metal member according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 3 is a graph showing the relationship between the copper atomic ratio contained in the metal material and the porosity of the manufactured metal member of the titanium-zirconium porous molded metal member shown in FIG.
  • A A side view showing a step of immersing a metal material in a metal melting bath, (b) a side view enlarging a part thereof, (c) of a method for producing a metal member according to a second embodiment of the present invention.
  • a side view showing a metal material pulled out from a metal molten bath (d) a side view showing a step of immersing the metal material in an acid or alkaline aqueous solution, (e) a side view showing a manufactured metal member, and (f) manufactured.
  • FIG. 1 to 3 show a metal member manufacturing method and a metal member according to the first embodiment of the present invention.
  • an embodiment of the present invention will be described by taking an example of manufacturing a titanium member having micropores using magnesium as a first component, titanium as a second component, and copper as a third component. To do.
  • the Miedema model there are 16 kJ / mol, ⁇ 9 kJ / mol, and ⁇ 3 kJ / mol between magnesium and titanium, between titanium and copper, and between magnesium and copper, respectively.
  • Mixing heat is generated (Refer to the Journal of the Japan Institute of Metals: Volume 46, 2818, 2005). Therefore, it can be seen from the sign of the sign that magnesium and titanium are phase-separated, while titanium and copper, and magnesium and copper have a property of forming an admixture formed by a compound or alloy.
  • a metal material 1 containing titanium and copper as components is produced.
  • the copper is reduced from the metal material 1 to a temperature lower than the minimum value of the liquidus temperature in the composition fluctuation range until reaching the titanium component. It is immersed in a metal melting bath (metal bath) 3 containing adjusted magnesium as a component.
  • metal melting bath metal bath 3 containing adjusted magnesium as a component.
  • the copper component in the metal material 1 starts to elute in the metal molten bath 3, but the titanium component remains on the surface of the metal material 1 and repeats bonding with other remaining titanium components while FIG.
  • the nanometer-sized granular material 4 is self-organized.
  • the micro granular materials 4 are partially bonded to each other, and a nanometer-size gap is formed between them. The gap is filled with a magnesium component from which a copper component is eluted.
  • the metal material 1 subjected to the above treatment is pulled up from the metal melting bath 3 and cooled to room temperature.
  • an adhering admixture 5 of copper and magnesium is attached inside and around the portion of the metal material 1 that has been immersed in the metal melting bath 3.
  • the adhering admixture 5 portion of the metal material 1 is immersed in an acid or alkaline aqueous solution 7 in a container 6, so that only the adhering admixture 5 is contained in the acid or alkaline aqueous solution 7. Elute to remove.
  • a titanium molded metal member 8 having nanometer-sized micropores can be produced.
  • the copper element in the round bar-shaped metal material 1 is eluted in the magnesium metal molten bath 3, and the remaining titanium and zirconium are repeatedly bonded to form an alloy microparticle 4 having a particle size of about 500 nm,
  • the adhering admixture 5 made of a magnesium component from which copper is eluted is filled in a gap generated by partial bonding of these.
  • the adhering admixture 5 portion in the round bar-shaped metal material 1 cooled by being pulled up from the magnesium metal melting bath 3 is placed in a nitric acid aqueous solution 7 adjusted to a 0.1 molar concentration in a beaker vessel 30 at room temperature for 30 minutes. After treating and eluting and removing the adhering admixture 5 with magnesium and copper components, it was pulled up into the atmosphere and dried.
  • a Ti 50 Zr 50 molded metal member 8 having micropores having a nanometer dimension was manufactured.
  • the porosity is about 40%
  • the specific surface area defined by the ratio of the titanium-zirconium phase surface area to the titanium-zirconium phase volume is about 2.4 ⁇ 10 7 m 2 / m 3 . It was calculated.
  • the porosity and specific surface area of the produced titanium-zirconium porous molded metal member 8 can be controlled.
  • the relationship of the porosity of the manufactured titanium-zirconium porous molded metal member 8 to the copper atomic ratio of the metal material 1 is shown in FIG.
  • the copper and silver elements in the round bar-like metal material 1 are eluted into the magnesium metal molten bath 3, and the remaining titanium repeats bonding to form a fine granular material 4 having a particle size of about 400 nm.
  • the adhering admixture 5 made of the magnesium component from which copper and silver are eluted is filled in the gap generated by the partial bonding of.
  • the metal material 1 that has been pulled up from the magnesium metal molten bath 3 and cooled is then placed in a nitric acid aqueous solution 7 adjusted to a 0.1 molar concentration for 30 minutes at room temperature to treat the adhering admixture 5 composed of magnesium, copper, and silver components. After removing it by elution, it was lifted into the atmosphere and dried.
  • a titanium molded metal member 8 having micropores having nanometer dimensions was manufactured. From the image analysis of the cut surface, it was calculated that the porosity was about 43% and the specific surface area defined by the ratio of the titanium phase surface area to the titanium phase volume was about 2.1 ⁇ 10 7 m 2 / m 3. It was.
  • molten bath 3 was prepared. This temperature must be adjusted to a temperature lower than the minimum value 868 ° C. of the liquidus temperature within the composition variation range from the Cu 70 Ti 30 alloy in which the copper component decreases and reaches the titanium component.
  • the round bar-shaped metal material 1 was suspended using a molybdenum wire, immersed in the magnesium metal molten bath 3 for about 1 second, and then pulled up into argon gas and cooled.
  • the copper element in the round bar-like metal material 1 is eluted into the magnesium metal molten bath 3, and the remaining titanium repeats bonding to form a fine granular material 4 having a particle size of about 400 nm.
  • the adhering admixture 5 made of the magnesium component from which copper is eluted is filled in the gap generated by mechanical bonding.
  • the adhering admixture 5 portion in the round bar-shaped metal material 1 cooled by being pulled up from the magnesium metal melting bath 3 is placed in a nitric acid aqueous solution 7 adjusted to a 0.1 molar concentration in a beaker vessel 30 at room temperature for 30 minutes. After treating and eluting and removing the adhering admixture 5 composed of magnesium and copper components, it was pulled up into the atmosphere and dried.
  • a titanium molded metal member 8 having micropores having nanometer dimensions was manufactured. From the image analysis of the cut surface, it was calculated that the porosity was about 47% and the specific surface area defined by the ratio of the titanium phase surface area to the titanium phase volume was about 2.4 ⁇ 10 7 m 2 / m 3. It was.
  • the round bar-shaped metal material 1 was suspended using a molybdenum wire, immersed in the cerium metal molten bath 3 for about 1 second, and then pulled up into argon gas and cooled. During this time, the cobalt element in the round bar-like metal material 1 is eluted into the cerium metal molten bath 3, and the remaining chromium is repeatedly bonded to form a fine granular material 4 having a particle size of about 700 nm. Adhesive admixture 5 made of cerium component from which cobalt is eluted is filled in the gap generated by the partial bonding of product 4.
  • the adhering admixture 5 in the round bar-shaped metal material 1 cooled by being pulled up from the cerium metal melting bath 3 is placed in a nitric acid aqueous solution 7 adjusted to a 0.1 molar concentration in a beaker vessel 30 for 30 minutes at room temperature. After the treatment, the adhering admixture 5 composed of cerium and cobalt components was eluted and removed, and then it was lifted into the atmosphere and dried.
  • a chrome porous molded metal member 8 having micropores having nanometer dimensions was manufactured. From the image analysis of the cut surface, it was calculated that the porosity was about 35% and the specific surface area defined by the ratio of the chromium phase surface area to the chromium phase volume was about 2.0 ⁇ 10 7 m 2 / m 3. It was.
  • Zr 30 Cu 70 having a composition with a Zr: Cu atomic ratio of 3: 7 was prepared by arc melting in a pure argon gas atmosphere. After this mother alloy is mechanically crushed, about 5 g is inserted into a quartz nozzle having an inner diameter of 7 mm and a length of 70 mm, and a round mold having a diameter of about 1 mm and a length of about 50 mm is used in a pure argon gas atmosphere using a copper mold casting method. A rod-shaped metal material 1 was produced.
  • a graphite crucible 2 having an inner diameter of 30 mm and a depth of 50 mm, dissolved in high frequency in a pure argon gas atmosphere, and the output is adjusted so that the liquid temperature is maintained at 830 ° C.
  • a molten bath 3 was prepared. This temperature must be adjusted to a temperature lower than the minimum value of 891 ° C. of the liquidus temperature within the composition variation range from the Zr 30 Cu 70 alloy in which the copper component decreases and reaches the zirconium component.
  • the metal material 1 was suspended using a molybdenum wire, immersed in the cerium metal molten bath 3 for about 1 second, and then pulled up into argon gas and cooled.
  • the copper element in the round bar-like metal material 1 elutes into the cerium metal molten bath 3, and the remaining zirconium repeats bonding to form a fine granular material 4 having a particle size of about 600 nm.
  • Adhesive admixture 5 made of cerium component from which copper is eluted is filled in gaps generated by partial bonding of the objects 4.
  • the adhering admixture 5 in the round bar-shaped metal material 1 cooled by being pulled up from the cerium metal melting bath 3 is placed in a nitric acid aqueous solution 7 adjusted to a 0.1 molar concentration in a beaker vessel 30 for 30 minutes at room temperature. After the treatment, the adhering admixture 5 composed of cerium and copper components was eluted and removed, and then it was lifted into the atmosphere and dried.
  • a zirconium porous molded metal member 8 having micropores having nanometer dimensions was manufactured. From the image analysis of the cut surface, it was calculated that the porosity was about 36% and the specific surface area defined by the ratio of the zirconium phase surface area to the zirconium phase volume was about 2.0 ⁇ 10 7 m 2 / m 3. It was.
  • the nickel element in the metal material 1 is eluted into the cerium metal melting bath 3, and the remaining molybdenum is repeatedly bonded to form a fine particle 4 having a particle size of about 700 nm.
  • the adhering admixture 5 made of the cerium component from which nickel has eluted is filled in the gap generated by the partial bonding of.
  • the adhering admixture 5 in the round bar-shaped metal material 1 cooled by being pulled up from the cerium metal melting bath 3 is placed in a nitric acid aqueous solution 7 adjusted to a 0.1 molar concentration in a beaker vessel 30 for 30 minutes at room temperature. After the treatment, the adhering admixture 5 composed of cerium and nickel components was eluted and removed, and then it was pulled up into the atmosphere and dried.
  • a molybdenum porous molded metal member 8 having micropores having nanometer dimensions was manufactured.
  • the porosity was 40% and the specific surface area defined by the ratio of the molybdenum phase surface area to the molybdenum phase volume was about 1.9 ⁇ 10 7 m 2 / m 3 . .
  • Ni 70 W 30 having a composition with a W: Ni atomic ratio of 30:70 was produced by an electron beam melting method in a pure argon gas atmosphere. From this mother alloy, a round bar-shaped metal material 1 having a diameter of about 1.5 mm and a length of about 30 mm was produced in a pure argon gas atmosphere using an arc melting type inclined copper mold casting method.
  • the nickel element in the round bar-like metal material 1 is eluted into the cerium metal molten bath 3, and the remaining tungsten is repeatedly bonded to form a fine granular material 4 having a particle size of about 700 nm.
  • Adhesive admixtures 5 made of cerium components from which nickel has eluted are filled in gaps generated by partial bonding of the objects 4.
  • a tungsten porous molded metal member 8 having micropores having nanometer dimensions was manufactured.
  • Image analysis of the cut surface calculated that the porosity is about 30% and the specific surface area defined by the ratio of the tungsten phase surface area to the tungsten phase volume is about 2.1 ⁇ 10 7 m 2 / m 3. It was.
  • Ta 36 Ni 64 having a composition with a Ta: Ni atomic ratio of 36:64 was produced by an electron beam melting method.
  • a quartz nozzle having an inner diameter of 7 mm and a length of 70 mm, and a round mold having a diameter of about 1 mm and a length of about 50 mm is used in a pure argon gas atmosphere using a copper mold casting method.
  • a rod-shaped metal material 1 was produced.
  • the nickel element in the round bar-like metal material 1 is eluted into the cerium metal molten bath 3, and the remaining tantalum is repeatedly bonded to form a fine granular material 4 having a particle size of about 700 nm.
  • Adhesive admixtures 5 made of cerium components from which nickel has eluted are filled in gaps generated by partial bonding of the objects 4.
  • the adhering admixture 5 in the round bar-shaped metal material 1 cooled by being pulled up from the cerium metal melting bath 3 is placed in a nitric acid aqueous solution 7 adjusted to a 0.1 molar concentration in a beaker vessel 30 for 30 minutes at room temperature. After the treatment, the adhering admixture 5 composed of cerium and nickel components was eluted and removed, and then it was pulled up into the atmosphere and dried.
  • a tantalum porous molded metal member 8 having micropores having nanometer dimensions was manufactured. From the image analysis of the cut surface, it was calculated that the porosity was about 29% and the specific surface area defined by the ratio of the tantalum phase surface area to the tantalum phase volume was about 1.8 ⁇ 10 7 m 2 / m 3. It was.
  • the round bar-shaped metal material 1 was suspended using a molybdenum wire, immersed in the samarium metal melting bath 3 for about 1 second, and then pulled up into argon gas and cooled. During this time, the iron element in the round bar-shaped metal material 1 is eluted into the samarium metal molten bath 3, and the remaining titanium is repeatedly bonded to form a fine granular material 4 having a particle size of about 400 nm. Adhesive admixtures 5 made of samarium components from which iron is eluted are filled in gaps generated by partial bonding of the objects 4.
  • the adhering admixture 5 in the round bar-shaped metal material 1 cooled by being pulled up from the samarium metal melting bath 3 is placed in a nitric acid aqueous solution 7 adjusted to a 0.1 molar concentration in a beaker vessel 30 at room temperature for 30 minutes. After the treatment and elution, the adhering admixture 5 composed of samarium and iron components was removed, and then it was lifted into the atmosphere and dried.
  • a titanium porous molded metal member 8 having micropores having nanometer dimensions was manufactured. From the image analysis of the cut surface, it was calculated that the porosity was about 31% and the specific surface area defined by the ratio of the titanium phase surface area to the titanium phase volume was about 2.2 ⁇ 10 7 m 2 / m 3. It was.
  • the copper element in the round bar-like metal material 1 is eluted in the magnesium metal molten bath 3, and the remaining titanium, zirconium, and chromium are repeatedly bonded together to form a fine granular material 4 having a particle size of about 500 nm.
  • the adhering admixture 5 made of the magnesium component from which the copper is eluted is filled in the gap generated by the partial bonding of the particulates 4.
  • the adhering admixture 5 portion in the round bar-shaped metal material 1 cooled by being pulled up from the magnesium metal melting bath 3 is placed in a nitric acid aqueous solution 7 adjusted to a 0.1 molar concentration in a beaker vessel 30 at room temperature for 30 minutes. After treating and eluting and removing the adhering admixture 5 composed of magnesium and copper components, it was pulled up into the atmosphere and dried.
  • Ni 70 Fe 23.4 Cr 6.6 having a composition with an Ni: Fe: Cr atomic ratio of 70: 23.4: 6.6 was prepared by an arc melting method in a pure argon gas atmosphere. After this mother alloy is mechanically crushed, about 5 g is inserted into a quartz nozzle having an inner diameter of 7 mm and a length of 70 mm, and a round mold having a diameter of about 1 mm and a length of about 50 mm is used in a pure argon gas atmosphere using a copper mold casting method. A rod-shaped metal material 1 was produced.
  • the nickel element in the round bar-shaped metal material 1 is eluted in the magnesium metal molten bath 3, and the remaining iron and chromium are repeatedly bonded together to form a fine granular material 4 having a particle size of about 800 nm.
  • the adhering admixture 5 made of the magnesium component from which nickel is eluted is filled in the gap generated by the partial bonding of the particulates 4.
  • the adhering admixture 5 portion in the round bar-shaped metal material 1 cooled by being pulled up from the magnesium metal melting bath 3 is placed in a nitric acid aqueous solution 7 adjusted to a 0.1 molar concentration in a beaker vessel 30 at room temperature for 30 minutes. After treating and eluting and removing the adhering admixture 5 of magnesium and nickel components, the mixture was pulled up into the atmosphere and dried.
  • an Fe 78 Cr 22 alloy porous molded metal member 8 having micropores having nanometer dimensions was manufactured.
  • the porosity is about 31%
  • the specific surface area defined by the ratio of the iron-chromium phase surface area to the iron-chromium phase volume is about 2.2 ⁇ 10 7 m 2 / m 3 . It was calculated.
  • Nitinol Ti—Ni shape memory alloy of 48.5 to 51.5 atomic% nickel
  • cerium the first component
  • titanium the second component
  • nickel is used to elute and remove nickel from the surface layer and to manufacture a nitinol member having a surface modified layer having micropores due to residual titanium. Will be described.
  • the metal material 1 made of nitinol is lower than the minimum value of the liquidus temperature in the composition fluctuation range in which the nickel decreases from nitinol and reaches the titanium component in the titanium crucible 2. It is immersed in a metal molten bath (metal bath) 3 containing cerium adjusted to the temperature as a component. At this time, the nickel component on the surface of the metal material 1 starts to elute in the metal melting bath 3, but the titanium component remains on the surface of the metal material 1 and repeats the bonding with the other remaining titanium components.
  • the nano- to micrometer-sized granular material 4 is self-organized. The microparticulates 4 are partially bonded to each other, and a nano to micrometer size gap is formed between them. A cerium-adhering admixture 5 in which the nickel component is eluted and mixed is filled in the gap.
  • the metal material 1 subjected to the above surface treatment is pulled up from the metal melting bath 3 and cooled to room temperature.
  • the adhering admixture 5 portion adhering or filling the surface and gap of the metal material 1 immersed in the metal melting bath 3 is shown in FIG. 4 (d).
  • an acid or alkali aqueous solution 7 By dipping in an acid or alkali aqueous solution 7 in a container 6 made of a glass beaker, only the adhering admixture 5 is eluted and removed in the acid or alkali aqueous solution 7. Thereafter, this is pulled up from the acid or alkali aqueous solution 7 and dried in the atmosphere, thereby, as shown in FIGS. 4 (e) and (f), a titanium surface modified layer 9 having nano to micrometer-sized micropores. Nitinol metal member 8 having the above can be manufactured.
  • a wire of nitinol (Ti—Ni-based shape memory alloy in which 51 atomic% is nickel) having a diameter of 330 ⁇ m and a length of 50 mm is prepared.
  • nitinol Ti—Ni-based shape memory alloy in which 51 atomic% is nickel
  • a titanium crucible 2 having an inner diameter of 50 mm and a depth of 15 mm, melted at high frequency in a pure argon gas atmosphere, and the output is adjusted so that the liquid temperature is maintained at 850 ° C. to melt the metal.
  • Bath 3 was made. This temperature must be adjusted to be lower than the minimum liquidus temperature of about 942 ° C. within the composition variation range from Nitinol to Nickel reduction to the Titanium component.
  • the metal material 1 made of nitinol wire was immersed in a cerium metal melting bath 3 for about 240 seconds, and then pulled up into an argon gas atmosphere and cooled. During this time, nickel in the surface layer of the metal material 1 is eluted into the cerium metal melting bath 3, and the remaining titanium repeats bonding to form titanium fine particles 4 having a particle size of about 1 ⁇ m. The gap generated by the partial bonding is filled with the adhering admixture 5 of cerium component from which nickel has eluted.
  • the adhering admixture 5 formed on the surface layer of the metal material 1 cooled from the cerium metal melting bath 3 is cooled in a nitric acid aqueous solution 7 adjusted to 30% in a beaker vessel 6 at room temperature for 30 minutes. Then, the adhering admixture 5 composed of cerium and nickel components was eluted and removed, and then pulled up into the atmosphere and dried.
  • a Nitinol wire metal member 8 provided with a porous titanium surface modification layer 9 having a gap of about 1 ⁇ m across the thickness of 5 ⁇ m from the surface was manufactured.
  • EDS energy dispersive X-ray spectroscopy
  • the thickness of the surface modification layer 9 can be controlled.
  • FIG. 6 shows the relationship between the thickness of the manufactured titanium surface modification layer 9 and the ytterbium atomic ratio of the metal molten bath 3.
  • the temperature of the metal molten bath 3 was 850 ° C.
  • the immersion time of nitinol was set to a constant condition of about 240 seconds.
  • a SUS316L plate having a width of 10 mm, a length of 30 mm, and a thickness of 1 mm is prepared.
  • SUS316L is a typical steel type of austenitic stainless steel, and is characterized by excellent corrosion resistance, magnetism, ductility, workability, and weldability, and particularly excellent pitting corrosion resistance and intergranular corrosion resistance.
  • about 10 g of pure magnesium is inserted into a graphite crucible 2 having an inner diameter of 30 mm and a depth of 50 mm, and is melted by high frequency in a pure argon gas atmosphere, and the output is adjusted so as to maintain the liquid temperature at 800 ° C.
  • a metal molten bath 3 was prepared.
  • This temperature is adjusted to a temperature lower than the minimum value of about 1450 ° C. of the liquidus temperature within the composition fluctuation range from the decrease in nickel component from SUS316L to the remaining component excluding the elution component such as nickel from SUS316L. There must be.
  • the metal material 1 composed of a SUS316L plate was suspended using a molybdenum wire, immersed in the magnesium metal molten bath 3 for about 60 seconds, and then pulled up into an argon gas atmosphere and cooled. During this time, the nickel in the surface layer of the metal material 1 is eluted into the magnesium metal melting bath 3, and the remaining components are repeatedly bonded to form a dimple-like minute gap having a diameter of about 3 ⁇ m. The adhering admixture 5 due to the eluted magnesium component adheres.
  • the SUS316L metal member 8 having the surface modified layer 9 provided with micropores having a gap of about 3 ⁇ m across the thickness of 8 ⁇ m from the surface was manufactured. It was confirmed by the element amount analysis using energy dispersive X-ray spectroscopy (EDS) that the nickel concentration in the surface modified layer 9 was reduced to 0.8 atomic%.
  • EDS energy dispersive X-ray spectroscopy
  • an ASTM-F90 plate having a width of 10 mm, a length of 30 mm and a thickness of 1 mm is prepared.
  • the ASTM-F90 alloy is mainly composed of cobalt, chromium is 19.0 to 21.0% by weight, tungsten is 14.0 to 16.0% by weight, nickel is 9.0 to 11.0% by weight, An alloy containing 0.05 to 0.15% by weight of carbon, 1.0 to 2.0% by weight of manganese, 3% by weight of iron and 0.4% by weight of silicon and having excellent plastic workability. It is characterized by.
  • the metal material 1 made of ASTM-F90 plate was suspended using a molybdenum wire, immersed in the magnesium metal molten bath 3 for about 300 seconds, and then pulled up into an argon gas atmosphere to be cooled. During this time, nickel in the surface layer of the metal material 1 is eluted into the magnesium metal molten bath 3, and the remaining nickel-free components are repeatedly bonded to each other to form a surface modification layer 9 by dimple-like micro gaps having a diameter of about 1.5 ⁇ m. The nickel adhering admixture 5 due to the magnesium component eluted from the nickel adheres to the surface.
  • a nickel-free ASTM-F90 metal member 8 having a surface modification layer 9 having a dimple-like micropore having a dimension of about 1.5 ⁇ m over a thickness of 3 ⁇ m from the surface was manufactured. It was confirmed by elemental analysis using energy dispersive X-ray spectroscopy (EDS) that the nickel concentration in the porous surface modified layer 9 was reduced to 0.7 atomic%.
  • EDS energy dispersive X-ray spectroscopy
  • an ASTM-F562 plate having a width of 10 mm, a length of 30 mm and a thickness of 1 mm is prepared.
  • the ASTM-F562 alloy has chromium of 19.0 to 21.0% by weight, molybdenum of 9.0 to 10.5% by weight, nickel of 33.0 to 37.0% by weight, and carbon of up to 0.025%.
  • the metal material 1 composed of the ASTM-F562 plate was suspended using a molybdenum wire, immersed in the magnesium metal molten bath 3 for about 300 seconds, and then pulled up into an argon gas atmosphere and cooled. During this time, nickel in the surface layer of the metal material 1 is eluted into the magnesium metal molten bath 3, and the remaining nickel-free components are repeatedly bonded to form a surface modified layer 9 by dimple-like micro gaps having a diameter of about 3 ⁇ m. Then, the nickel adhering admixture 5 due to the magnesium component eluted from nickel adheres to the surface.
  • a nickel-free ASTM-F562 metal member 8 having a surface modification layer 9 having dimple-like micropores having a dimension of about 3 ⁇ m over a thickness of 5 ⁇ m from the surface was manufactured.
  • EDS energy dispersive X-ray spectroscopy
  • an ASTM-F1058 grade 1 plate having a width of 10 mm, a length of 30 mm and a thickness of 1 mm is prepared.
  • the ASTM-F1058 grade 1 alloy has a chromium content of 19.0 to 21.0% by weight, molybdenum of 6.0 to 8.0% by weight, nickel of 14.0 to 16.0% by weight, and carbon of up to 0.0%.
  • An iron alloy containing 025% by weight, manganese 1.5-2.5% by weight, silicon up to 1.20% by weight, beryllium up to 0.1% by weight and cobalt 39.0-41.0% by weight In particular, it is characterized by excellent workability.
  • the metal material 1 made of ASTM-F1058 grade 1 plate was suspended using a molybdenum wire, immersed in the magnesium metal molten bath 3 for about 300 seconds, and then pulled up into an argon gas atmosphere and cooled. During this time, nickel in the surface layer of the metal material 1 is eluted into the magnesium metal molten bath 3, and the remaining nickel-free components are repeatedly bonded to each other to form a surface modified layer 9 with dimple-like micro gaps having a diameter of about 3 ⁇ m. Then, the nickel adhering admixture 5 due to the magnesium component eluted from nickel adheres to the surface.
  • a nickel-free ASTM-F1058 grade 1 metal member 8 having a surface modification layer 9 having dimple-like micropores having a size of about 3 ⁇ m over a thickness of 5 ⁇ m from the surface was produced. It was confirmed by the element amount analysis using energy dispersive X-ray spectroscopy (EDS) that the nickel concentration in the surface modified layer 9 was reduced to 0.8 atomic%.
  • EDS energy dispersive X-ray spectroscopy

Abstract

【課題】ナノメートル寸法の微小気孔を有する卑な金属材料の多孔質体を容易に製造することができる金属部材の製造方法および金属部材を提供する。 【解決手段】第１の成分に対してそれぞれ正および負の混合熱を有する第２の成分および第３の成分を同時に含有し、かつ、第１の成分からなる金属浴の凝固点よりも高い融点を有する化合物、合金または非平衡合金から成る金属材料１を、この金属材料１から第３の成分が減少し、第２の成分に至るまでの組成変動範囲内における液相線温度の最小値より低い温度に制御された第１の成分からなる金属溶融浴３に浸すことにより、第３の成分を選択的に金属溶融浴３内に溶出させる。金属溶融浴３から引き上げた後、周囲に付着した第１の成分および第３の成分の付着混和体５のみを選択的に溶出可能な酸またはアルカリ水溶液７により、付着混和体５を除去する。

Description

金属部材の製造方法および金属部材
　本発明は、表面または全体に微小気孔を有する金属部材の製造方法および金属部材に関する。
　多孔質化による金属材料の高付加価値化の試みが、半世紀以上前から行われている。多孔質金属は、超軽量材料、高比剛性材料、エネルギー吸収材料、振動吸収材料、防音材料、断熱材料、電極材料、フィルター材料、生体医療材料、熱交換器材料および含油軸受け材料など、極めて広い応用展開が期待され、環境・エネルギー・高齢化への有力対応材料としてのポテンシャルも高い。
　この中で、気孔サイズが１μｍより小さく、ナノメートル寸法の微小気孔を有する多孔質金属材料は、バルク金属体に比較して桁違いに大きな比表面積を有するため、触媒特性、電極特性、ガス貯蔵特性、センシング特性において、従来材料では得られない高機能性を発揮することが大いに期待されている。多孔質金属を作製する従来技術には、発泡溶融法、ガス膨張法、プリカーサ法、燃焼合成法、塗布法やスペーサー法などが挙げられるが、これらの方法によって作製される気孔は、数十μｍ以上のサイズを有し、これより微小化することは容易には出来ない。従って、ナノメートル寸法に制御された気孔を有する多孔質金属は、主に、次に示す脱成分腐食法によって作製されてきた。
　脱成分腐食法は、標準電極電位がそれぞれ負および正である卑および貴な金属を主成分とした複合相を有することを特徴とする合金または化合物内から、卑な金属を主成分とする相のみを、常温において酸またはアルカリ水溶液内に溶出して除去し、残存した貴な金属を主成分とする相の多孔質体を製造する方法である（例えば、特許文献１参照）。
　また、近年、生体医療材料としての金属材料も注目されている。医療分野では、医療技術の発達による益々の超高年齢社会化とは裏腹に、老化に伴う諸器官機能低下や損失による生活障害が今後ますます深刻化し、これらの機能再建が極めて重要な課題となっている。この有力な解決手段として、セラミックス、高分子や金属材料を用いた医療用デバイスの開発が行われてきた。これは、例えば、人工関節や骨固定材などの整形外科用デバイス、埋め込み型人工心臓や血管内ステントなどの循環器外科・内科用デバイス、人工内耳や中耳などの耳鼻科用デバイス、インプラントや矯正ワイヤーなどの歯科用デバイス、カテーテルや手術用器具などの一般外科用デバイスに大別される。
　金属材料は、成形加工性、超弾性、形状記憶性などの諸特性において優れており、また、セラミックスや高分子と比して、強度および靭性に優れている。このため、セラミックスや高分子で代替することができない体内埋込型デバイスの約８０％は、金属材料を用いて開発されている。例えば、オーステナイト系ステンレスのＳＵＳ３１６Ｌステンレス鋼、Ｔｉ－６Ａｌ－４Ｖ　ＥＬＩ、Ｃｏ－Ｃｒ合金、Ｔｉ－６Ａｌ－４Ｎｂ、ニッケルフリーステンレス鋼、および、ニチノール（４８．５～５１．５原子％をニッケルとしたＴｉ－Ｎｉ系形状記憶合金）などが、その代表的医療デバイス用金属材料として現在、広く認知され使用されている。
　医療用デバイスとしての金属材料は、強度や靭性の観点から高い有効性を持つが、同時に克服すべき欠点を有している。一般に、金属材料は、生体組織と接触したとき、腐食によってイオン化して溶出し、毒性を示す危険性があるため、医療用デバイスとして使用する場合には、高い耐食性が必須となる。アレルギーの原因（アレルゲン）となる代表的な金属元素として、ニッケル、水銀、コバルト、パラジウム、クロムなどが挙げられ、特にニッケルによるアレルギーは深刻である。また、ニッケルは、発がん性物質としても注目されており、各国で溶出基準を定めて対策を強化している。これを受けて、医療用金属材料デバイスには、ニッケルを含まない合金設計を大前提として新たな合金開発が行われているが、この成分上の制約は合金開発にとって大きな障害となって立ちはだかっているのが現状である。
　この問題を解決する方法として、種々の電解水溶液を用いて、ニッケル含有合金の表面からニッケルを溶出させることにより、ニッケル濃度を低減させたチタン酸化物を主成分とする被膜を形成し、生体中へのニッケルイオン溶出を抑制する表面改質方法がある（特許文献２または３参照）。
特表２００８－５０９７４２号公報 国際公開第２００７／０１８１８９号 特開２００７－６９４１号公報
　特許文献１に記載の脱成分腐食法では、金や白金などの貴な金属材料のナノスケール多孔質化に成功例が報告されているものの、卑な金属材料のナノスケール多孔質化を行うことは原理上不可能であり、従ってその成功例は報告されていない。このため、優れた機械的性質や機能特性を有するＴｉ、Ｚｒ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗ等は、標準電極電位が負であるために、脱成分腐食法によってはナノメートル寸法の気孔を有する多孔質体に製造することができないという課題があった。
　また、特許文献２および３に記載の表面改質方法では、表面から数百ナノメートルの厚さにおけるニッケル濃度の低減には成功しているものの、同時に形成された表面酸化皮膜のチタン酸化物は一般に脆く、かつ、その弾性限ひずみが基部である金属材料と比較して小さくなっている。このため、基部の変形に伴って表面酸化被膜が裂損し、露出した基部からアレルゲンとなるニッケルイオンが溶出する危険性があり、生体親和性に難があるという課題があった。
　本発明は、このような課題に着目してなされたもので、ナノメートル寸法の微小気孔を有する卑な金属材料の多孔質体を容易に製造することができる金属部材の製造方法および金属部材を提供することを目的としている。また、材料全体としての機械的特性を損なうことなく、ニッケルイオンの溶出を抑制可能な生体親和性に優れた金属部材を得ることができる金属部材の製造方法および金属部材を提供することも目的としている。
　上記目的を達成するために、本発明に係る金属部材の製造方法は、第１の成分に対してそれぞれ正および負の混合熱を有する第２の成分および第３の成分を同時に含有し、かつ、前記第１の成分からなる金属浴の凝固点よりも高い融点を有する化合物、合金または非平衡合金から成る金属材料を、この金属材料から前記第３の成分が減少し、前記第２の成分に至るまでの組成変動範囲内における液相線温度の最小値よりも低い温度に制御された前記金属浴に浸すことにより、前記第３の成分を選択的に前記金属浴内に溶出させて、微小間隙を有する金属部材を得ることを、特徴とする。
　本発明に係る金属部材の製造方法は、化合物、合金または非平衡合金から成る金属材料を金属浴に浸すことにより、金属浴成分との混合熱に依存して、金属材料から第３の成分が選択されて金属浴へ溶出し、かつ、残存する成分が微小間隙を自己組織形成しながら濃化する性質に注目した冶金学的手法によるものである。このため、本発明に係る金属部材の製造方法によれば、形成された微小間隙に付着した物質を除去することにより、ナノメートル寸法の微小気孔を有する金属部材を、卑なる諸金属材料においても容易に製造することができる。なお、本発明では、金属成分として、錫、炭素、珪素、ホウ素、ゲルマニウムなどの半金属元素をも含むものとする。また、第１、第２および第３の成分は、それぞれ単種純元素によるとは限らず、複数種元素によって構成されていてもよい。
　本発明に係る金属部材の製造方法では、まず、第２の成分および第３の成分を同時に含有する化合物、合金または非平衡合金から成る金属材料を作製する。次に、第２の成分および第３の成分とそれぞれ正および負の混合熱を有し、かつ、金属材料および第２の成分よりも融点が低い第１の成分を選択する。第１の成分を、その融点以上かつ金属材料から第３の成分が減少し、第２の成分に至るまでの組成変動範囲内における液相線温度の最小値より低い温度まで加熱して、金属浴を作製する。
　その第１の成分から成る金属浴に、第２の成分および第３の成分を含む金属材料を浸す。この過程において、金属材料中の第３の成分は、第１の成分と負の混合熱を有するため、金属浴に溶出する。これと同時に、第２の成分は、第１の成分と正の混合熱を有するため、金属浴には溶出せずに金属材料表面に残存し、同様に残存した他の第２の成分と結合を繰り返して、ナノメートル寸法を有する粒子を形成する。これらの粒子が部分的に結合することによってナノメートル寸法の間隙を自己組織形成する。また、この過程における金属浴の温度や、金属材料の浸漬時間を変化させることによって、製造される多孔質組織の間隙サイズや間隙率を変化させることができる。
　本発明に係る金属部材の製造方法は、前記金属浴から引き上げた後、酸またはアルカリ水溶液により、周囲または前記微小間隙の内部に付着した、前記第１の成分および前記第３の成分を含む付着混和体のみを選択的に溶出して除去することが好ましい。この場合、第２の成分を溶出させず付着混和体のみを選択的に溶出することのできる酸またはアルカリ水溶液を使用することにより、第２の成分を主成分とし、付着混和体が除去された、ナノメートル寸法の微小気孔を備えた金属部材を製造することができる。なお、除去される付着混和体は、例えば、製造される金属部材の周囲に付着したり、微小間隙の内部に一部付着したり、微小間隙の内部に充填されたりしている。
　本発明に係る金属部材の製造方法で、前記第１の成分がＭｇ、Ｃａ、Ｂｉ、希土類金属元素、もしくは、これらのいずれか一つを主成分とする合金または化合物である混和体から成り、前記第２の成分がＴｉ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｆｅ、Ｓｎのいずれか一つ、もしくは、その複数を含む合金または化合物である混和固体から成り、前記第３の成分がＣｕ、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｆｅ、Ｃａのいずれか一つ、もしくは、その複数を含む混和固体から成ることが好ましい。
　本発明に係る金属部材の製造方法は、前記金属材料を前記金属浴に浸すことにより、前記金属材料の表層から前記第３の成分を選択的に前記金属浴内に溶出させて、微小間隙を有する表面改質層を備えた金属部材を得てもよい。この場合、表面改質層のみにナノメートル寸法の微小気孔を有する金属部材を製造することができる。
　本発明に係る金属部材の製造方法で、前記第３の成分がＮｉから成り、前記金属材料がＮｉ含有合金から成ってもよい。この場合、金属浴にニッケル（Ｎｉ）が溶出し、残存した第２の成分が濃化して形成された微小気孔を備えたニッケルフリーの金属部材を製造することができる。ここで、ニッケルフリーとは、材料中のニッケル原子％濃度が１．０％以下のことをいう。金属材料の表層のみからニッケルを溶出させる場合には、ニッケルフリーの表面改質層を有するニッケル合金部材を製造することができる。また、この場合、ニッケルフリーの表面改質層にのみ微小気孔が形成され、表面改質層より内部には機械的性質や機能特性に優れたニッケル含有合金がそのまま残る。このため、得られた金属部材は、材料全体としての機械的特性を損なうことなく、表層からのニッケルイオンの溶出を抑制することができ、生体親和性に優れる。なお、ニッケル含有合金を金属浴に浸漬する時間は、表面改質層の厚さが拡大して材料全体としての機械的性質上の利点が損なわれないように調節する必要がある。
　本発明に係る金属部材の製造方法で、前記金属材料が、Ｎｉを含有しＴｉを主成分とする合金、Ｎｉを含有するステンレス鋼、または、Ｎｉを含有しＣｏおよびＣｒを主成分とする合金から成ってもよい。この場合、金属材料は、例えば、ニチノール（Ｔｉ－Ｎｉ系形状記憶合金）、オーステナイト系ステンレスのＳＵＳ３１６Ｌステンレス鋼等のニッケルを含むステンレス合金、ＡＳＴＭ－Ｆ９０、Ｆ５６２、Ｆ１０５８等のニッケルを含むＣｏ－Ｃｒ系合金から成る。
　本発明に係る金属部材は、本発明に係る金属部材の製造方法により製造されることを、特徴とする。
　本発明に係る金属部材は、ナノメートル寸法の微小気孔を有する。金属材料の表層のみからニッケルを溶出させたニッケル含有合金から成る場合、材料全体としての機械的性質上の利点を損なうことなく、ニッケルイオンの溶出を抑制することができ、生体親和性に優れる。
　本発明によれば、ナノメートル寸法の微小気孔を有する卑な金属材料の多孔質体を容易に製造することができる金属部材の製造方法および金属部材を提供することができる。また、材料全体としての機械的性質上の利点を損なうことなく、ニッケルイオンの溶出を抑制可能な生体親和性に優れた金属部材を得ることができる金属部材の製造方法および金属部材を提供することもできる。
本発明の第１の実施の形態の金属部材の製造方法の、（ａ）金属溶融浴中に金属材料を浸す工程を示す側面図、（ｂ）その一部を拡大した側面図、（ｃ）金属溶融浴から引き上げた金属材料を示す側面図、（ｄ）酸またはアルカリ水溶液に金属材料を浸す工程を示す側面図、（ｅ）製造された金属部材を示す側面図である。 本発明の第１の実施の形態の金属部材の製造方法により製造されたチタン－ジルコニウム多孔質成形金属部材の顕微鏡写真である。 図２に示すチタン－ジルコニウム多孔質成形金属部材の、金属材料に含有された銅原子比と製造された金属部材の気孔率との関係を示すグラフである。 本発明の第２の実施の形態の金属部材の製造方法の、（ａ）金属溶融浴中に金属材料を浸す工程を示す側面図、（ｂ）その一部を拡大した側面図、（ｃ）金属溶融浴から引き上げた金属材料を示す側面図、（ｄ）酸またはアルカリ水溶液に金属材料を浸す工程を示す側面図、（ｅ）製造された金属部材を示す側面図、（ｆ）製造された金属部材を示す（ｅ）中の破線位置での拡大断面図である。 本発明の第２の実施の形態の金属部材の製造方法により製造された、チタン表面改質層を備えたニチノールワイヤー金属部材の切断面の顕微鏡写真である。 金属溶融浴としてＭｇ－Ｙｂ合金成分を用いた場合の、本発明の第２の実施の形態の金属部材の製造方法により製造されたチタン表面改質層を有するニチノール金属部材の、金属溶融浴に含有されるイッテルビウム原子比とチタン表面改質層の厚さとの関係を示すグラフである。
　以下、図面に基づき、本発明の実施の形態について説明する。
　図１乃至図３は、本発明の第１の実施の形態の金属部材の製造方法および金属部材を示している。
　まず、第１の成分としてマグネシウム、第２の成分としてチタン、および第３の成分として銅を用いて、微小気孔を備えるチタン部材を製造することを例にして、本発明の実施の形態について説明する。この場合、Ｍｉｅｄｅｍａのモデルを用いた計算により、マグネシウムとチタン間、チタンと銅間、および、マグネシウムと銅の間には、それぞれ、１６ｋＪ／ｍｏｌ、－９ｋＪ／ｍｏｌ、および、－３ｋＪ／ｍｏｌの混合熱が発生する（日本金属学会欧文誌：２００５年４６巻２８１８項参照）。従って、その符号の正負から、マグネシウムとチタンは相分離する一方で、チタンと銅、および、マグネシウムと銅は化合物や合金によって形成される混和体を形成する性質を有することがわかる。
　はじめに、チタンと銅とを成分とする金属材料１を作製する。これを、図１（ａ）に示すように、坩堝２内において、金属材料１から銅が減少し、チタン成分に至るまでの組成変動範囲内における液相線温度の最小値よりも低い温度に調整されたマグネシウムを成分とする金属溶融浴（金属浴）３の中に浸す。このとき、金属材料１内の銅成分は、金属溶融浴３内に溶出を始めるが、チタン成分は、金属材料１の表面に残存して、他の残存チタン成分と結合を繰り返しながら、図１（ｂ）に示すように、ナノメートル寸法の粒状物４を自己組織形成する。この微小粒状物４同士が部分的に結合し合い、これらの間にナノメートル寸法の間隙を形成し、この間隙に銅成分が溶出したマグネシウム成分が充填される。
　上記の処理を行った金属材料１を金属溶融浴３から引き上げて室温まで冷却する。図１（ｃ）に示すように、金属溶融浴３に浸されていた部分の金属材料１の内部、および、周囲には、銅とマグネシウムの付着混和体５が付着している。この金属材料１の付着混和体５部分を、図１（ｄ）に示すように、容器６の中の酸またはアルカリ水溶液７に浸すことによって、付着混和体５のみを酸またはアルカリ水溶液７の中に溶出させて除去する。その後、これを酸またはアルカリ水溶液７から引き上げて大気中で乾燥させることにより、図１（ｅ）に示すように、ナノメートル寸法の微小気孔を備えるチタン成形金属部材８を製造することができる。
　次に、本発明の第１の実施の形態の実施例を示す。
　純アルゴンガス雰囲気中、アーク溶解法により、Ｃｕ：Ｔｉ：Ｚｒ原子比が７０：１５：１５となる組成を有するＣｕ７０Ｔｉ１５Ｚｒ１５約３０ｇを作製した。この母合金を機械的に粉砕した後、内径７ｍｍ、長さ７０ｍｍの石英製ノズルに５ｇ程度挿入し、純アルゴンガス雰囲気中、銅鋳型鋳造法を用いて、直径１ｍｍ、長さ５０ｍｍ程度の丸棒状金属材料１を作製した。
　次に、純マグネシウム１０ｇを内径３０ｍｍ、深さ５０ｍｍの黒鉛製坩堝２に挿入し、純アルゴンガス雰囲気中で高周波溶解し、液温を７００℃に保持するように出力を調整して金属溶融浴３を作製する。この温度は、Ｃｕ７０Ｔｉ１５Ｚｒ１５合金から銅成分が減少し、Ｔｉ５０Ｚｒ５０成分に至るまでの組成変動範囲内における液相線温度の最小値９００℃より低い温度に調節されなければならない。丸棒状金属材料１を、モリブデン製ワイヤーを用いて吊り下げ、マグネシウム金属溶融浴３に１秒程度浸したのちに、アルゴンガス中に引き上げて冷却した。この間、丸棒状金属材料１の中の銅元素は、マグネシウム金属溶融浴３の中に溶出し、残存したチタンとジルコニウム同士が結合を繰り返して粒径約５００ｎｍの合金微小粒状物４を形成し、これらが部分的に結合することによって発生する間隙に、銅の溶出したマグネシウム成分による付着混和体５が充填される。
　マグネシウム金属溶融浴３より引き上げて冷却した丸棒状金属材料１内の付着混和体５部分を、ビーカー容器６の中の０．１モル濃度に調節した硝酸水溶液７の中に室温で３０分入れて処理し、マグネシウム、銅成分による付着混和体５を溶出させて除去した後、大気中に引き上げて乾燥を施した。
　この結果、図２に示すように、ナノメートル寸法を有する微小気孔を備えたＴｉ５０Ｚｒ５０成形金属部材８が製造された。切断面の画像解析により、気孔率が約４０％であり、チタン－ジルコニウム相表面積のチタン－ジルコニウム相体積に対する比で定義される比表面積が約２．４×１０７ｍ2／ｍ3であることが算出された。
　金属材料１におけるチタン、ジルコニウム、および、銅の原子比を変化させることによって、製造されるチタン－ジルコニウム多孔質成形金属部材８の気孔率と比表面積とを制御することができる。金属材料１の銅原子比に対する製造チタン－ジルコニウム多孔質成形金属部材８の気孔率の関係を、図３に示す。
　図３に示すように、マグネシウム金属溶融浴３の中に溶出することになる銅原子比が大きい程、製造される多孔質成形金属部材８の気孔率が大きくなることがわかる。
　純アルゴンガス雰囲気中、アーク溶解法によりＣｕ：Ｔｉ：Ａｇ原子比が５０：３０：２０となる組成を有するＣｕ５０Ｔｉ３０Ａｇ２０約３０ｇを作製した。この母合金を機械的に粉砕した後、内径７ｍｍ、長さ７０ｍｍの石英製ノズルに５ｇ程度挿入し、純アルゴンガス雰囲気中、銅鋳型鋳造法を用いて、直径１ｍｍ、長さ５０ｍｍ程度の丸棒状金属材料１を作製した。
　次に、純マグネシウム１０ｇを内径３０ｍｍ、深さ５０ｍｍの黒鉛製坩堝２に挿入し、純アルゴンガス雰囲気中で高周波溶解し、液温を７００℃に保持するように出力を調整してマグネシウム金属溶融浴３を作製した。この温度は、Ｃｕ５０Ｔｉ３０Ａｇ２０から銅および銀成分が減少し、チタン成分に至るまでの組成変動範囲内における液相線温度の最小値約９５０℃よりも低い温度に調節されなければならない。丸棒状金属材料１を、モリブデン製ワイヤーを用いて吊り下げ、マグネシウム金属溶融浴３に１秒程度浸したのちに、アルゴンガス中に引き上げて冷却した。この間、丸棒状金属材料１の中の銅および銀元素は、マグネシウム金属溶融浴３の中に溶出し、残存したチタン同士が結合を繰り返して粒径約４００ｎｍの微小粒状物４を形成し、これらが部分的に結合することによって発生する間隙に、銅および銀の溶出したマグネシウム成分による付着混和体５が充填される。
　マグネシウム金属溶融浴３より引き上げて冷却した金属材料１を、０．１モル濃度に調節した硝酸水溶液７の中に室温で３０分入れて処理し、マグネシウム、銅、銀成分による付着混和体５を溶出させて除去した後、大気中に引き上げて乾燥を施した。
　この結果、ナノメートル寸法を有する微小気孔を備えたチタン成形金属部材８が製造された。切断面の画像解析により、気孔率が約４３％であり、チタン相表面積のチタン相体積に対する比で定義される比表面積が約２．１×１０７ｍ2／ｍ3であることが算出された。
　純アルゴンガス雰囲気中、アーク溶解法によりＣｕ：Ｔｉ原子比が７：３となる組成を有するＣｕ７０Ｔｉ３０約３０ｇを作製した。この母合金を機械的に粉砕した後、内径７ｍｍ、長さ７０ｍｍの石英製ノズルに５ｇ程度挿入し、純アルゴンガス雰囲気中、銅鋳型鋳造法を用いて、直径１ｍｍ、長さ５０ｍｍ程度の丸棒状金属材料１を作製した。
　次に、純マグネシウム約１０ｇを内径３０ｍｍ、深さ５０ｍｍの黒鉛製坩堝２に挿入し、純アルゴンガス雰囲気中で高周波溶解し、液温を７００℃に保持するように出力を調整してマグネシウム金属溶融浴３を作製した。この温度は、Ｃｕ７０Ｔｉ３０合金から銅成分が減少し、チタン成分に至るまでの組成変動範囲内における液相線温度の最小値８６８℃より低い温度に調節されなければならない。丸棒状金属材料１を、モリブデン製ワイヤーを用いて吊り下げ、マグネシウム金属溶融浴３に１秒程度浸したのちに、アルゴンガス中に引き上げて冷却した。この間、丸棒状金属材料１の中の銅元素は、マグネシウム金属溶融浴３の中に溶出し、残存したチタン同士が結合を繰り返して粒径約４００ｎｍの微小粒状物４を形成し、これらが部分的に結合することによって発生する間隙に、銅の溶出したマグネシウム成分による付着混和体５が充填される。
　マグネシウム金属溶融浴３より引き上げて冷却した丸棒状金属材料１内の付着混和体５部分を、ビーカー容器６の中の０．１モル濃度に調節した硝酸水溶液７の中に室温で３０分入れて処理し、マグネシウムと銅成分による付着混和体５を溶出させて除去した後、大気中に引き上げて乾燥を施した。
　この結果、ナノメートル寸法を有する微小気孔を備えたチタン成型金属部材８が製造された。切断面の画像解析により、気孔率が約４７％であり、チタン相表面積のチタン相体積に対する比で定義される比表面積が約２．４×１０７ｍ2／ｍ3であることが算出された。
　純アルゴンガス雰囲気中、アーク溶解法によりＣｒ：Ｃｏ原子比が３：７となる組成を有するＣｒ３０Ｃｏ７０約３０ｇを作製した。この母合金を機械的に粉砕した後、内径７ｍｍ、長さ７０ｍｍの石英製ノズルに６ｇ程度挿入し、純アルゴンガス雰囲気中、銅鋳型鋳造法を用いて、直径１ｍｍ、長さ５０ｍｍ程度の丸棒状金属材料１を作製した。
　次に、純セリウム１５ｇを内径３０ｍｍ、深さ５０ｍｍの黒鉛製坩堝２に挿入し、純アルゴンガス雰囲気中で高周波溶解し、液温を９００℃に保持するように出力を調整してセリウム金属溶融浴３を作製した。この温度は、Ｃｒ３０Ｃｏ７０合金からコバルト成分が減少し、クロム成分に至るまでの組成変動範囲内における液相線温度の最小値１３９５℃より低い温度に調節されなければならない。丸棒状金属材料１を、モリブデン製ワイヤーを用いて吊り下げ、セリウム金属溶融浴３に１秒程度浸したのちに、アルゴンガス中に引き上げて冷却した。この間、丸棒状金属材料１の中のコバルト元素は、セリウム金属溶融浴３の中に溶出し、残存したクロム同士が結合を繰り返して粒径約７００ｎｍの微小粒状物４を形成し、これらの粒状物４が部分結合することによって発生する間隙に、コバルトの溶出したセリウム成分による付着混和体５が充填される。
　セリウム金属溶融浴３より引き上げて冷却した丸棒状金属材料１内の付着混和体５部分を、ビーカー容器６の中の０．１モル濃度に調節した硝酸水溶液７の中に室温で３０分入れて処理し、セリウムとコバルト成分による付着混和体５を溶出させて除去した後、大気中に引き上げて乾燥を施した。
　この結果、ナノメートル寸法を有する微小気孔を備えたクロム多孔質成形金属部材８が製造された。切断面の画像解析により、気孔率が約３５％であり、クロム相表面積のクロム相体積に対する比で定義される比表面積が約２．０×１０７ｍ2／ｍ3であることが算出された。
　純アルゴンガス雰囲気中、アーク溶解法によりＺｒ：Ｃｕ原子比が３：７となる組成を有するＺｒ３０Ｃｕ７０約３０ｇを作製した。この母合金を機械的に粉砕した後、内径７ｍｍ、長さ７０ｍｍの石英製ノズルに５ｇ程度挿入し、純アルゴンガス雰囲気中、銅鋳型鋳造法を用いて、直径１ｍｍ、長さ５０ｍｍ程度の丸棒状金属材料１を作製した。
　次に、純セリウム約１５ｇを内径３０ｍｍ、深さ５０ｍｍの黒鉛製坩堝２に挿入し、純アルゴンガス雰囲気中で高周波溶解し、液温を８３０℃に保持するように出力を調整してセリウム金属溶融浴３を作製した。この温度は、Ｚｒ３０Ｃｕ７０合金から銅成分が減少し、ジルコニウム成分に至るまでの組成変動範囲内における液相線温度の最小値８９１℃より低い温度に調節されなければならない。金属材料１を、モリブデン製ワイヤーを用いて吊り下げ、セリウム金属溶融浴３に１秒程度浸したのちに、アルゴンガス中に引き上げて冷却した。この間、丸棒状金属材料１の中の銅元素は、セリウム金属溶融浴３の中に溶出し、残存したジルコニウム同士が結合を繰り返して粒径約６００ｎｍの微小粒状物４を形成し、これらの粒状物４が部分結合することによって発生する間隙に、銅の溶出したセリウム成分による付着混和体５が充填される。
　セリウム金属溶融浴３より引き上げて冷却した丸棒状金属材料１内の付着混和体５部分を、ビーカー容器６の中の０．１モル濃度に調節した硝酸水溶液７の中に室温で３０分入れて処理し、セリウムと銅成分による付着混和体５を溶出させて除去した後、大気中に引き上げて乾燥を施した。
　この結果、ナノメートル寸法を有する微小気孔を備えたジルコニウム多孔質成形金属部材８が製造された。切断面の画像解析により、気孔率が約３６％であり、ジルコニウム相表面積のジルコニウム相体積に対する比で定義される比表面積が約２．０×１０７ｍ2／ｍ3であることが算出された。
　純アルゴンガス雰囲気中、アーク溶解法によりＭｏ：Ｎｉ原子比が３０：７０となる組成を有するＭｏ３０Ｎｉ７０約３０ｇを作製した。この母合金から、純アルゴンガス雰囲気中、銅鋳型鋳造法を用いて、直径１ｍｍ、長さ５０ｍｍ程度の丸棒状金属材料１を作製した。
　次に、純セリウム１５ｇを内径３０ｍｍ、深さ５０ｍｍの黒鉛製坩堝２に挿入し、純アルゴンガス雰囲気中で高周波溶解し、液温を１１００℃に保持するように出力を調整してセリウム金属溶融浴３を作製した。この温度は、Ｍｏ３０Ｎｉ７０合金からニッケル成分が減少し、モリブデン成分に至るまでの組成変動範囲内における液相線温度の最小値１３１２℃より低い温度に調節されなければならない。丸棒状金属材料１を、モリブデン製ワイヤーを用いて吊り下げ、セリウム金属溶融浴３に１秒程度浸したのちに、アルゴンガス中に引き上げて冷却した。この間、金属材料１の中のニッケル元素は、セリウム金属溶融浴３の中に溶出し、残存したモリブデン同士が結合を繰り返して粒径約７００ｎｍの微小粒状物４を形成し、これらの粒状物４が部分結合することによって発生する間隙に、ニッケルの溶出したセリウム成分による付着混和体５が充填される。
　セリウム金属溶融浴３より引き上げて冷却した丸棒状金属材料１内の付着混和体５部分を、ビーカー容器６の中の０．１モル濃度に調節した硝酸水溶液７の中に室温で３０分入れて処理し、セリウムとニッケル成分による付着混和体５を溶出させて除去した後、大気中に引き上げて乾燥を施した。
　この結果、ナノメートル寸法を有する微小気孔を備えたモリブデン多孔質成形金属部材８が製造された。切断面の画像解析により、気孔率が４０％であり、モリブデン相表面積のモリブデン相体積に対する比で定義される比表面積が約１．９×１０７ｍ2／ｍ3であることが算出された。
　純アルゴンガス雰囲気中、電子ビーム溶解法によりＷ：Ｎｉ原子比が３０：７０となる組成を有するＮｉ７０Ｗ３０約３０ｇを作製した。この母合金から、純アルゴンガス雰囲気中、アーク溶解式傾角型銅鋳型鋳造法を用いて、直径１．５ｍｍ、長さ３０ｍｍ程度の丸棒状金属材料１を作製した。
　次に、純セリウム１５ｇを内径３０ｍｍ、深さ５０ｍｍの黒鉛製坩堝２に挿入し、純アルゴンガス雰囲気中で高周波溶解し、液温を１６００℃に保持するように出力を調整してセリウム金属溶融浴３を作製した。この温度は、Ｗ３０Ｎｉ７０合金からニッケル成分が減少し、タングステン成分に至るまでの組成変動範囲内における液相線温度の最小値約１８５０℃より低い温度に調節されなければならない。丸棒状金属材料１を、モリブデン製ワイヤーを用いて吊り下げ、セリウム金属溶融浴３に１秒程度浸したのちに、アルゴンガス中に引き上げて冷却した。この間、丸棒状金属材料１の中のニッケル元素は、セリウム金属溶融浴３の中に溶出し、残存したタングステン同士が結合を繰り返して粒径約７００ｎｍの微小粒状物４を形成し、これらの粒状物４が部分結合することによって発生する間隙に、ニッケルの溶出したセリウム成分による付着混和体５が充填される。
　セリウム金属溶融浴３より引き上げて冷却した金属材料１の付着混和体５部分を、ビーカー容器６の中の０．１モル濃度に調節した硝酸水溶液７の中に室温で３０分入れて処理し、セリウムとニッケル成分による付着混和体５を溶出させて除去した後、大気中に引き上げて乾燥を施した。
　この結果、ナノメートル寸法を有する微小気孔を備えたタングステン多孔質成形金属部材８が製造された。切断面の画像解析により、気孔率が約３０％であり、タングステン相表面積のタングステン相体積に対する比で定義される比表面積が約２．１×１０７ｍ2／ｍ3であることが算出された。
　純アルゴンガス雰囲気中、電子ビーム溶解法によりＴａ：Ｎｉ原子比が３６：６４となる組成を有するＴａ３６Ｎｉ６４約３０ｇを作製した。この母合金を機械的に粉砕した後、内径７ｍｍ、長さ７０ｍｍの石英製ノズルに７ｇ程度挿入し、純アルゴンガス雰囲気中、銅鋳型鋳造法を用いて、直径１ｍｍ、長さ５０ｍｍ程度の丸棒状金属材料１を作製した。
　次に、純セリウム１５ｇを内径３０ｍｍ、深さ５０ｍｍの黒鉛製坩堝２に挿入し、純アルゴンガス雰囲気中で高周波溶解し、液温を９００℃に保持するように出力を調整してセリウム金属溶融浴３を作製した。この温度は、Ｔａ３６Ｎｉ６４合金からニッケルが減少し、タンタル成分に至るまでの組成変動範囲内における液相線温度の最小値１３９５℃より低い温度に調節されなければならない。丸棒状金属材料１を、モリブデン製ワイヤーを用いて吊り下げ、セリウム金属溶融浴３に１秒程度浸したのちに、アルゴンガス中に引き上げて冷却した。この間、丸棒状金属材料１の中のニッケル元素は、セリウム金属溶融浴３の中に溶出し、残存したタンタル同士が結合を繰り返して粒径約７００ｎｍの微小粒状物４を形成し、これらの粒状物４が部分結合することによって発生する間隙に、ニッケルの溶出したセリウム成分による付着混和体５が充填される。
　セリウム金属溶融浴３より引き上げて冷却した丸棒状金属材料１内の付着混和体５部分を、ビーカー容器６の中の０．１モル濃度に調節した硝酸水溶液７の中に室温で３０分入れて処理し、セリウムとニッケル成分による付着混和体５を溶出させて除去した後、大気中に引き上げて乾燥を施した。
　この結果、ナノメートル寸法を有する微小気孔を備えたタンタル多孔質成形金属部材８が製造された。切断面の画像解析により、気孔率が約２９％であり、タンタル相表面積のタンタル相体積に対する比で定義される比表面積が約１．８×１０７ｍ2／ｍ3であることが算出された。
　純アルゴンガス雰囲気中、アーク溶解法によりＦｅ：Ｔｉ原子比が５０：５０となる組成を有するＦｅ５０Ｔｉ５０約３０ｇを作製した。この母合金を機械的に粉砕した後、内径７ｍｍ、長さ７０ｍｍの石英製ノズルに７ｇ程度挿入し、純アルゴンガス雰囲気中、銅鋳型鋳造法を用いて、直径１ｍｍ、長さ５０ｍｍ程度の丸棒状金属材料１を作製した。
　次に、純サマリウム１５ｇを内径３０ｍｍ、深さ５０ｍｍの黒鉛製坩堝２に挿入し、純アルゴンガス雰囲気中で高周波溶解し、液温を１０８０℃に保持するように出力を調整してサマリウム金属溶融浴３を作製した。この温度は、Ｆｅ５０Ｔｉ５０合金から鉄成分が減少し、チタン成分に至るまでの組成変動範囲内における液相線温度の最小値約１０８５℃より低い温度に調節されなければならない。丸棒状金属材料１を、モリブデン製ワイヤーを用いて吊り下げ、サマリウム金属溶融浴３に１秒程度浸したのちに、アルゴンガス中に引き上げて冷却した。この間、丸棒状金属材料１の中の鉄元素は、サマリウム金属溶融浴３の中に溶出し、残存したチタン同士が結合を繰り返して粒径約４００ｎｍの微小粒状物４を形成し、これらの粒状物４が部分結合することによって発生する間隙に、鉄の溶出したサマリウム成分による付着混和体５が充填される。
　サマリウム金属溶融浴３より引き上げて冷却した丸棒状金属材料１内の付着混和体５部分を、ビーカー容器６の中の０．１モル濃度に調節した硝酸水溶液７の中に室温で３０分入れて処理し、サマリウムと鉄成分による付着混和体５を溶出させて除去した後、大気中に引き上げて乾燥を施した。
　この結果、ナノメートル寸法を有する微小気孔を備えたチタン多孔質成形金属部材８が製造された。切断面の画像解析により、気孔率が約３１％であり、チタン相表面積のチタン相体積に対する比で定義される比表面積が約２．２×１０７ｍ2／ｍ3であることが算出された。
　純アルゴンガス雰囲気中、アーク溶解法によりＣｕ：Ｔｉ：Ｚｒ：Ｃｒ原子比が７０：２５．４：１．７：２．９となる組成を有するＣｕ７０Ｔｉ２５．４Ｚｒ１．７Ｃｒ２．９約３０ｇを作製した。この母合金を機械的に粉砕した後、内径７ｍｍ、長さ７０ｍｍの石英製ノズルに５ｇ程度挿入し、純アルゴンガス雰囲気中、銅鋳型鋳造法を用いて、直径１ｍｍ、長さ５０ｍｍ程度の丸棒状金属材料１を作製した。
　次に、純マグネシウム１０ｇを内径３０ｍｍ、深さ５０ｍｍの黒鉛製坩堝２に挿入し、純アルゴンガス雰囲気中で高周波溶解し、液温を８００℃に保持するように出力を調整してマグネシウム金属溶融浴３を作製した。この温度は、Ｃｕ７０Ｔｉ２５．４Ｚｒ１．７Ｃｒ２．９合金から銅成分が減少し、Ｔｉ８４．７Ｚｒ５．６Ｃｒ９．７成分に至るまでの組成変動範囲内における液相線温度の最小値約８６８℃より低い温度に調節されなければならない。丸棒状金属材料１を、モリブデン製ワイヤーを用いて吊り下げ、マグネシウム金属溶融浴３に６０秒程度浸したのちに、アルゴンガス中に引き上げて冷却した。この間、丸棒状金属材料１の中の銅元素は、マグネシウム金属溶融浴３の中に溶出し、残存したチタン、ジルコニウム、クロム同士が結合を繰り返して粒径約５００ｎｍの微小粒状物４を形成し、これらの粒状物４が部分結合することによって発生する間隙に、銅の溶出したマグネシウム成分による付着混和体５が充填される。
　マグネシウム金属溶融浴３より引き上げて冷却した丸棒状金属材料１内の付着混和体５部分を、ビーカー容器６の中の０．１モル濃度に調節した硝酸水溶液７の中に室温で３０分入れて処理し、マグネシウムと銅成分による付着混和体５を溶出させて除去した後、大気中に引き上げて乾燥を施した。
　この結果、ナノメートル寸法を有する微小気孔を備えたＴｉ８４．７Ｚｒ５．６Ｃｒ９．７合金多孔質成形金属部材８が製造された。エックス線回折法（ＸＲＤ）を用いた構造分析により、多孔質表面改質層９の結晶構造は体心立方（ｂｃｃ）構造を有していることが確認された。切断面の画像解析により、気孔率が約３１％であり、チタン－ジルコニウム－クロム相表面積のチタン－ジルコニウム－クロム相体積に対する比で定義される比表面積が約２．２×１０７ｍ2／ｍ3であることが算出された。
　純アルゴンガス雰囲気中、アーク溶解法によりＮｉ：Ｆｅ：Ｃｒ原子比が７０：２３．４：６．６となる組成を有するＮｉ７０Ｆｅ２３．４Ｃｒ６．６約３０ｇを作製した。この母合金を機械的に粉砕した後、内径７ｍｍ、長さ７０ｍｍの石英製ノズルに５ｇ程度挿入し、純アルゴンガス雰囲気中、銅鋳型鋳造法を用いて、直径１ｍｍ、長さ５０ｍｍ程度の丸棒状金属材料１を作製した。
　次に、純マグネシウム１０ｇを内径３０ｍｍ、深さ５０ｍｍの黒鉛製坩堝２に挿入し、純アルゴンガス雰囲気中で高周波溶解し、液温を９００℃に保持するように出力を調整してマグネシウム金属溶融浴３を作製した。この温度は、Ｎｉ７０Ｆｅ２３．４Ｃｒ６．６合金からニッケル成分が減少し、Ｆｅ７８Ｃｒ２２成分に至るまでの組成変動範囲内における液相線温度の最小値約１４３０℃より低い温度に調節されなければならない。丸棒状金属材料１を、モリブデン製ワイヤーを用いて吊り下げ、マグネシウム金属溶融浴３に６０秒程度浸したのちに、アルゴンガス中に引き上げて冷却した。この間、丸棒状金属材料１の中のニッケル元素は、マグネシウム金属溶融浴３の中に溶出し、残存した鉄、クロム同士が結合を繰り返して粒径約８００ｎｍの微小粒状物４を形成し、これらの粒状物４が部分結合することによって発生する間隙に、ニッケルの溶出したマグネシウム成分による付着混和体５が充填される。
　マグネシウム金属溶融浴３より引き上げて冷却した丸棒状金属材料１内の付着混和体５部分を、ビーカー容器６の中の０．１モル濃度に調節した硝酸水溶液７の中に室温で３０分入れて処理し、マグネシウムとニッケル成分による付着混和体５を溶出させて除去した後、大気中に引き上げて乾燥を施した。
　この結果、ナノメートル寸法を有する微小気孔を備えたＦｅ７８Ｃｒ２２合金多孔質成形金属部材８が製造された。切断面の画像解析により、気孔率が約３１％であり、鉄－クロム相表面積の鉄－クロム相体積に対する比で定義される比表面積が約２．２×１０７ｍ2／ｍ3であることが算出された。
　図４乃至図６は、本発明の第２の実施の形態の金属部材の製造方法および金属部材を示している。
　まず、金属材料として、ニチノール（４８．５～５１．５原子％ニッケルのＴｉ－Ｎｉ系形状記憶合金）を使用し、第１の成分としてセリウム、第２の成分としてチタン、および第３の成分としてニッケルを用いて、表面層よりニッケルを溶出して除去し、かつ、残存チタンによる微小気孔を備える表面改質層を有するニチノール部材を製造することを例にして、本発明の第２の実施の形態について説明する。
　ニチノールを用いる場合、Ｍｉｅｄｅｍａのモデルを用いた計算により、セリウム－チタン間、チタン－ニッケル間、および、セリウム－ニッケル間には、それぞれ、＋１８ｋＪ／ｍｏｌ、－３５ｋＪ／ｍｏｌ、および、－２８ｋＪ／ｍｏｌの混合熱が発生する（日本金属学会欧文誌：２００５年４６巻２８１８－２８１９項参照）。従って、この符号の正負から、セリウムとチタンは相分離する一方で、チタンとニッケル、および、セリウムとニッケルは化合物や合金などの混和体を形成する性質を有することがわかる。
　図４（ａ）に示すように、ニチノールから成る金属材料１を、チタン製坩堝２内において、ニチノールからニッケルが減少し、チタン成分に至る組成変動範囲内における液相線温度の最小値より低い温度に調節されたセリウムを成分とする金属溶融浴（金属浴）３の中に浸す。このとき、金属材料１の表面のニッケル成分は金属溶融浴３内に溶出を始めるが、チタン成分は、金属材料１の表面に残存して、他の残存チタン成分と結合を繰り返しながら、図４（ｂ）に示すように、ナノからマイクロメートル寸法の粒状物４を自己組織形成する。この微小粒状物４同士が部分的に結合し合い、これらの間にナノからマイクロメートル寸法の間隙を形成し、この間隙にニッケル成分が溶出して混和したセリウム付着混和体５が充填される。
　上記の表面処理を行った金属材料１を金属溶融浴３から引き上げて室温まで冷却する。図４（ｃ）に示すように、金属溶融浴３に浸されていた金属材料１の表面および間隙に付着または充填している付着混和体５部分を、図４（ｄ）に示すように、ガラス製ビーカーから成る容器６の中の酸またはアルカリ水溶液７に浸すことによって、付着混和体５のみを酸またはアルカリ水溶液７の中に溶出させて除去する。その後、これを酸またはアルカリ水溶液７から引き上げて大気中で乾燥させることにより、図４（ｅ）および（ｆ）に示すように、ナノからマイクロメートル寸法の微小気孔を備えるチタン表面改質層９を有するニチノール金属部材８を製造することができる。
　次に、本発明の第２の実施の形態の実施例を示す。
　金属材料１として、直径３３０μｍ、長さ５０ｍｍのニチノール（５１原子％をニッケルとしたＴｉ－Ｎｉ系形状記憶合金）のワイヤーを準備する。次に、セリウム約５０ｇを、内径５０ｍｍ、深さ１５ｍｍのチタン製坩堝２に挿入し、純アルゴンガス雰囲気中で高周波溶解し、液温を８５０℃に保持するように出力を調整して金属溶融浴３を作製した。この温度は、ニチノールからニッケルが減少し、チタン成分に至るまでの組成変動範囲内における液相線温度の最小値約９４２℃よりも低い温度に調節されなければならない。
　ニチノールワイヤーから成る金属材料１を、セリウムの金属溶融浴３に２４０秒程度浸した後に、アルゴンガス雰囲気中に引き上げて冷却した。この間、金属材料１の表面層中のニッケルは、セリウムの金属溶融浴３の中に溶出し、残存したチタン同士が結合を繰り返して粒径約１μｍのチタン微小粒状物４を形成し、これらが部分的に結合することによって発生する間隙に、ニッケルの溶出した、セリウム成分による付着混和体５が充填される。
　セリウムの金属溶融浴３より引き上げて冷却した金属材料１の表面層に形成された付着混和体５部分を、ビーカー容器６の中の３０％濃度に調節した硝酸水溶液７の中に室温で３０分入れて処理し、セリウムおよびニッケル成分による付着混和体５を溶出させて除去した後、大気中に引き上げて乾燥を施した。
　この結果、図５に示すように、表面から５μｍの厚さに渡り、約１μｍ寸法の間隙を有する多孔質チタン表面改質層９を備えたニチノールワイヤー金属部材８が製造された。エネルギー分散型Ｘ線分光法（ＥＤＳ）を用いた元素分析により、チタン表面改質層９内では、チタンが９９原子％まで濃化されている一方で、ニッケルは０．９原子％まで低減していることが確認された。
　金属溶融浴３を、セリウムと同じ希土類元素であるイッテルビウムと、その脱ニッケル成分速度がイッテリビウムよりも小さいマグネシウムとの合金成分とし、そのイッテルビウム原子比を変化させることによって、ニチノール表面に製造されるチタン表面改質層９の厚さを制御することができる。金属溶融浴３のイッテルビウム原子比に対する製造チタン表面改質層９の厚さの関係を、図６に示す。ただし、金属溶融浴３の温度は８５０℃であり、ニチノールの浸漬時間は２４０秒程度の一定の条件とした。
　図６に示すように、金属溶融浴３において、マグネシウムと比較して脱ニッケル速度の速いイッテルビウム原子比が大きくなる程、製造されるチタン表面改質層９が厚くなることがわかる。
　金属材料１として、幅１０ｍｍ、長さ３０ｍｍおよび厚さ１ｍｍのＳＵＳ３１６Ｌ板を準備する。なお、ＳＵＳ３１６Ｌは、オーステナイト系ステンレスの代表的な鋼種で、耐食性、磁性、延性、加工性、溶接性に優れ、特に耐孔食・耐粒界腐食性に優れることを特徴としている。次に、約１０ｇの純マグネシウムを、内径３０ｍｍ、深さ５０ｍｍの黒鉛製坩堝２に挿入し、純アルゴンガス雰囲気中で高周波溶解し、液温を８００℃に保持するように出力を調整して金属溶融浴３を作製した。この温度は、ＳＵＳ３１６Ｌからニッケル成分が減少し、ＳＵＳ３１６Ｌからニッケルなどの溶出成分を除いた残存成分に至るまでの組成変動範囲内における液相線温度の最小値約１４５０℃よりも低い温度に調節されなければならない。
　ＳＵＳ３１６Ｌ板から成る金属材料１を、モリブデン製ワイヤーを用いて吊り下げ、マグネシウム金属溶融浴３に６０秒程度浸した後に、アルゴンガス雰囲気中に引き上げて冷却した。この間、金属材料１の表面層中のニッケルは、マグネシウム金属溶融浴３の中に溶出し、残存した成分同士が結合を繰り返して直径約３μｍのディンプル状微小間隙が形成され、その表面にニッケルの溶出したマグネシウム成分による付着混和体５が付着する。
　マグネシウム金属溶融浴３より引き上げて冷却した金属材料１の表面層に形成された付着混和体５部分を、ビーカー容器６の中の３０％濃度に調節した硝酸水溶液７の中に室温で３０分入れて処理し、マグネシウム、ニッケル成分による付着混和体５を溶出させて除去した後、大気中に引き上げて乾燥を施した。
　この結果、表面から８μｍの厚さに渡り、約３μｍ寸法の間隙を有する微小気孔を備えた表面改質層９を有するＳＵＳ３１６Ｌ金属部材８が製造された。エネルギー分散型Ｘ線分光法（ＥＤＳ）を用いた元素量分析により、表面改質層９の中のニッケル濃度は０．８原子％まで低減していることが確認された。
　金属材料１として幅１０ｍｍ、長さ３０ｍｍおよび厚さ１ｍｍのＡＳＴＭ－Ｆ９０板を準備する。なお、ＡＳＴＭ－Ｆ９０合金は、コバルトを主成分とし、クロムを１９．０～２１．０重量％、タングステンを１４．０～１６．０重量％、ニッケルを９．０～１１．０重量％、炭素を０．０５～０．１５重量％、マンガンを１．０～２．０重量％、鉄を最大３重量％、珪素を最大０．４重量％含む合金であり、塑性加工性に優れることを特徴としている。次に、約１０ｇの純マグネシウムを、内径３０ｍｍ、深さ５０ｍｍの黒鉛製坩堝２に挿入し、純アルゴンガス雰囲気中で高周波溶解し、液温を９５０℃に保持するように出力を調整して金属溶融浴３を作製した。この温度は、ＡＳＴＭ－Ｆ９０からニッケル成分が減少し、ＡＳＴＭ-Ｆ９０からニッケルなどの溶出成分を除いた残存成分に至るまでの組成変動範囲内における液相線温度の最小値約１４１０℃よりも低い温度に調節されなければならない。
　ＡＳＴＭ－Ｆ９０板から成る金属材料１を、モリブデン製ワイヤーを用いて吊り下げ、マグネシウム金属溶融浴３に３００秒程度浸した後に、アルゴンガス雰囲気中に引き上げて冷却した。この間、金属材料１の表面層中のニッケルは、マグネシウム金属溶融浴３の中に溶出し、残存ニッケルフリー成分同士が結合を繰り返して直径約１．５μｍのディンプル状微小間隙による表面改質層９を形成し、その表面にニッケルの溶出したマグネシウム成分によるニッケル付着混和体５が付着する。
　マグネシウム金属溶融浴３より引き上げて冷却した金属材料１の表面層に形成された付着混和体５部分を、ビーカー容器６の中の３０％濃度に調節した塩酸水溶液７の中に室温で３０分入れて処理し、マグネシウムおよびニッケル成分による付着混和体５を溶出させて除去した後、大気中に引き上げて乾燥を施した。
　この結果、表面から３μｍ厚に渡り、約１．５μｍ寸法のディンプル状微小気孔を有する表面改質層９を備えたニッケルフリーＡＳＴＭ－Ｆ９０金属部材８が製造された。エネルギー分散型Ｘ線分光法（ＥＤＳ）を用いた元素量分析により、多孔質表面改質層９の中のニッケル濃度は０．７原子％まで低減していることが確認された。
　金属材料１として、幅１０ｍｍ、長さ３０ｍｍおよび厚さ１ｍｍのＡＳＴＭ－Ｆ５６２板を準備する。なお、ＡＳＴＭ－Ｆ５６２合金は、クロムを１９．０～２１．０重量％、モリブデンを９．０～１０．５重量％、ニッケルを３３．０～３７．０重量％、炭素を最大０．０２５重量％、マンガンを０．１５重量％、鉄を最大１．０重量％、シリコンを最大０．１５重量％、チタンを最大１．０重量％含むコバルト合金であり、強度、延性、および耐食性に優れることを特徴としている。次に、約１０ｇの純マグネシウムを、内径３０ｍｍ、深さ５０ｍｍの黒鉛製坩堝２に挿入し、純アルゴンガス雰囲気中で高周波溶解し、液温を８５０℃に保持するように出力を調整して金属溶融浴３を作製した。この温度は、ＡＳＴＭ－Ｆ５６２からニッケル成分が減少し、ＡＳＴＭ－５６２からニッケルなどの溶出する成分を除いた残存成分に至るまでの組成変動範囲内における液相線温度の最小値約１４４０℃よりも低い温度に調節されなければならない。
　ＡＳＴＭ－Ｆ５６２板から成る金属材料１を、モリブデン製ワイヤーを用いて吊り下げ、マグネシウム金属溶融浴３に３００秒程度浸した後に、アルゴンガス雰囲気中に引き上げて冷却した。この間、金属材料１の表面層中のニッケルは、マグネシウム金属溶融浴３の中に溶出し、残存ニッケルフリー成分同士が結合を繰り返して直径約３μｍのディンプル状微小間隙による表面改質層９を形成し、その表面にニッケルの溶出したマグネシウム成分によるニッケル付着混和体５が付着する。
　マグネシウム金属溶融浴３より引き上げて冷却した金属材料１の表面層に形成された付着混和体５部分を、ビーカー容器６の中の３０％濃度に調節した塩酸水溶液７の中に室温で３０分入れて処理し、マグネシウムおよびニッケル成分による付着混和体５を溶出させて除去した後、大気中に引き上げて乾燥を施した。
　この結果、表面から５μｍ厚に渡り、約３μｍ寸法のディンプル状微小気孔を有する表面改質層９を備えたニッケルフリーＡＳＴＭ－Ｆ５６２金属部材８が製造された。エネルギー分散型Ｘ線分光法（ＥＤＳ）を用いた元素量分析により、多孔質表面改質層９の中のニッケル濃度は０．９原子％まで低減していることが確認された。
　金属材料１として、幅１０ｍｍ、長さ３０ｍｍおよび厚さ１ｍｍのＡＳＴＭ－Ｆ１０５８　ｇｒａｄｅ１板を準備する。なお、ＡＳＴＭ－Ｆ１０５８　ｇｒａｄｅ１合金は、クロムを１９．０～２１．０重量％、モリブデンを６．０～８．０重量％、ニッケルを１４．０～１６．０重量％、炭素を最大０．０２５重量％、マンガンを１．５～２．５重量％、シリコンを最大１．２０重量％、ベリリウムを最大０．１重量％、コバルトを３９．０～４１．０重量％含む鉄合金であり、特に加工性に優れることを特徴としている。次に、約１０ｇの純マグネシウムを、内径３０ｍｍ、深さ５０ｍｍの黒鉛製坩堝２に挿入し、純アルゴンガス雰囲気中で高周波溶解し、液温を９００℃に保持するように出力を調整して金属溶融浴３を作製した。この温度は、ＡＳＴＭ－Ｆ１０５８　ｇｒａｄｅ１からニッケル成分が減少し、ＡＳＴＭ－Ｆ１０５８　ｇｒａｄｅ１からニッケルなどの溶出成分を除いた残存成分に至るまでの組成変動範囲内の液相線温度の最小値約１４６０℃よりも低い温度に調節されなければならない。
　ＡＳＴＭ－Ｆ１０５８　ｇｒａｄｅ１板から成る金属材料１を、モリブデン製ワイヤーを用いて吊り下げ、マグネシウム金属溶融浴３に３００秒程度浸した後に、アルゴンガス雰囲気中に引き上げて冷却した。この間、金属材料１の表面層中のニッケルは、マグネシウム金属溶融浴３の中に溶出し、残存ニッケルフリー成分同士が結合を繰り返して直径約３μｍのディンプル状微小間隙による表面改質層９を構築し、その表面にニッケルの溶出したマグネシウム成分によるニッケル付着混和体５が付着する。
　マグネシウム金属溶融浴３より引き上げて冷却した金属材料１の表面層に形成された付着混和体５部分を、ビーカー容器６の中の３０％濃度に調節した塩酸水溶液７の中に室温で３０分入れて処理し、マグネシウムおよびニッケル成分による付着混和体５を溶出させて除去した後、大気中に引き上げて乾燥を施した。
　この結果、表面から５μｍ厚に渡り、約３μｍ寸法のディンプル状微小気孔を有する表面改質層９を備えたニッケルフリーＡＳＴＭ－Ｆ１０５８　ｇｒａｄｅ１金属部材８が製造された。エネルギー分散型Ｘ線分光法（ＥＤＳ）を用いた元素量分析により、表面改質層９の中のニッケル濃度は０．８原子％まで低減していることが確認された。
　　１　金属材料
　　２　坩堝
　　３　金属溶融浴
　　４　粒状物
　　５　付着混和体
　　６　容器
　　７　（酸またはアルカリ）水溶液
　　８　金属部材
　　９　表面改質層
 

Claims (7)

  1. 　第１の成分に対してそれぞれ正および負の混合熱を有する第２の成分および第３の成分を同時に含有し、かつ、前記第１の成分からなる金属浴の凝固点よりも高い融点を有する化合物、合金または非平衡合金から成る金属材料を、この金属材料から前記第３の成分が減少し、前記第２の成分に至るまでの組成変動範囲内における液相線温度の最小値よりも低い温度に制御された前記金属浴に浸すことにより、前記第３の成分を選択的に前記金属浴内に溶出させて、微小間隙を有する金属部材を得ることを、特徴とする金属部材の製造方法。
  2. 　前記金属浴から引き上げた後、酸またはアルカリ水溶液により、周囲または前記微小間隙の内部に付着した、前記第１の成分および前記第３の成分を含む付着混和体のみを選択的に溶出して除去することを、特徴とする請求項１記載の金属部材の製造方法。
  3. 　前記第１の成分がＭｇ、Ｃａ、Ｂｉ、希土類金属元素、もしくは、これらのいずれか一つを主成分とする合金または化合物である混和体から成り、
    　前記第２の成分がＴｉ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｆｅ、Ｓｎのいずれか一つ、もしくは、その複数を含む合金または化合物である混和固体から成り、
    　前記第３の成分がＣｕ、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｆｅ、Ｃａのいずれか一つ、もしくは、その複数を含む混和固体から成ることを、
    　特徴とする請求項１または２記載の金属部材の製造方法。
  4. 　前記金属材料を前記金属浴に浸すことにより、前記金属材料の表層から前記第３の成分を選択的に前記金属浴内に溶出させて、微小間隙を有する表面改質層を備えた金属部材を得ることを、特徴とする請求項１、２または３記載の金属部材の製造方法。
  5. 　前記第３の成分がＮｉから成り、前記金属材料がＮｉ含有合金から成ることを、特徴とする請求項１、２、３または４記載の金属部材の製造方法。
  6. 　前記金属材料が、Ｎｉを含有しＴｉを主成分とする合金、Ｎｉを含有するステンレス鋼、または、Ｎｉを含有しＣｏおよびＣｒを主成分とする合金から成ることを、特徴とする請求項５記載の金属部材の製造方法。
  7. 　請求項１乃至６のいずれか１項に記載の金属部材の製造方法により製造されることを、特徴とする金属部材。
     
     
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Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2013128797A1 (ja) * 2012-02-29 2013-09-06 新日鉄住金化学株式会社 多孔質金属シートからなる色素増感太陽電池用集電体の製造方法および多孔質金属シートからなる色素増感太陽電池用集電体ならびに色素増感太陽電池
JP2014113487A (ja) * 2012-12-05 2014-06-26 Biedermann Technologies Gmbh & Co Kg 動的骨アンカーおよび動的骨アンカーを製造する方法
KR20170048254A (ko) 2014-09-09 2017-05-08 가부시키가이샤 토호쿠 테크노 아치 다공질 흑연의 제조 방법 및 다공질 흑연
WO2017141599A1 (ja) 2016-02-16 2017-08-24 株式会社東北テクノアーチ ナノ複合金属部材の製造方法および相分離系金属固体同士の接合方法
WO2017141598A1 (ja) 2016-02-16 2017-08-24 株式会社東北テクノアーチ ポーラス部材の製造方法
WO2017149886A1 (ja) 2016-03-04 2017-09-08 株式会社東北テクノアーチ 多孔質炭素材料の製造方法および球状の多孔質炭素材料
US10010361B2 (en) 2012-06-18 2018-07-03 Biedermann Technologies Gmbh & Co. Kg Bone anchor
JP2019023989A (ja) * 2017-07-25 2019-02-14 日本電信電話株式会社 リチウム空気二次電池
CN110835695A (zh) * 2019-11-27 2020-02-25 国科镁业科技(河南)有限公司 一种基于镍基滤材的气相镁纯化的方法与装置
WO2024053418A1 (ja) * 2022-09-05 2024-03-14 国立大学法人東北大学 金属部材の製造方法および金属部材

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103834984B (zh) * 2014-03-05 2016-05-25 吴水林 一种具有分级纳米结构形状记忆合金的制备方法
KR101855587B1 (ko) * 2016-08-26 2018-06-08 서울대학교산학협력단 수용해성 합금 용탕 치환 공정 및 이를 통해 제조된 다공성 금속

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62120403A (ja) * 1985-11-20 1987-06-01 Permelec Electrode Ltd 表面多孔質体チタン複合体の製造方法
JPH0394032A (ja) * 1989-04-14 1991-04-18 Karl Sieradzki マイクロ及びナノポーラス金属構造物
JP2004244715A (ja) * 2003-02-17 2004-09-02 Toho Titanium Co Ltd 金属チタンの製造方法

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6836955B2 (en) * 2000-03-21 2005-01-04 Composite Materials Technology, Inc. Constrained filament niobium-based superconductor composite and process of fabrication
EP1786363B1 (en) 2004-08-13 2010-04-14 Setagon, Inc. Methods for making medical devices having nanoporous layers
JP4913370B2 (ja) 2005-06-28 2012-04-11 株式会社アクトメント 医療材料及びその製造方法
EP1930480A1 (en) 2005-08-10 2008-06-11 National Universiy Corporation Tokyo Medical and Dental University Titanium-nickel alloy, method for modifying titanium-nickel alloy surface, biocompatible material
JP5034047B2 (ja) 2007-01-31 2012-09-26 国立大学法人東北大学 ナノ多孔質金属及びその製造方法

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62120403A (ja) * 1985-11-20 1987-06-01 Permelec Electrode Ltd 表面多孔質体チタン複合体の製造方法
JPH0394032A (ja) * 1989-04-14 1991-04-18 Karl Sieradzki マイクロ及びナノポーラス金属構造物
JP2004244715A (ja) * 2003-02-17 2004-09-02 Toho Titanium Co Ltd 金属チタンの製造方法

Cited By (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2013128797A1 (ja) * 2012-02-29 2013-09-06 新日鉄住金化学株式会社 多孔質金属シートからなる色素増感太陽電池用集電体の製造方法および多孔質金属シートからなる色素増感太陽電池用集電体ならびに色素増感太陽電池
US10010361B2 (en) 2012-06-18 2018-07-03 Biedermann Technologies Gmbh & Co. Kg Bone anchor
US11896275B2 (en) 2012-12-05 2024-02-13 Biedermann Technologies Gmbh & Co. Kg Dynamic bone anchor and method of manufacturing a dynamic bone anchor
JP2014113487A (ja) * 2012-12-05 2014-06-26 Biedermann Technologies Gmbh & Co Kg 動的骨アンカーおよび動的骨アンカーを製造する方法
US11045237B2 (en) 2012-12-05 2021-06-29 Biedermann Technologies Gmbh & Co. Kg Dynamic bone anchor and method of manufacturing a dynamic bone anchor
KR20170048254A (ko) 2014-09-09 2017-05-08 가부시키가이샤 토호쿠 테크노 아치 다공질 흑연의 제조 방법 및 다공질 흑연
US10763511B2 (en) 2014-09-09 2020-09-01 Tohoku Techno Arch Co., Ltd. Method for producing porous graphite, and porous graphite
US10403900B2 (en) 2014-09-09 2019-09-03 Tohoku Techno Arch Co., Ltd. Method for producing porous graphite, and porous graphite
WO2017141599A1 (ja) 2016-02-16 2017-08-24 株式会社東北テクノアーチ ナノ複合金属部材の製造方法および相分離系金属固体同士の接合方法
JPWO2017141598A1 (ja) * 2016-02-16 2018-12-06 株式会社 東北テクノアーチ ポーラス部材の製造方法
JPWO2017141599A1 (ja) * 2016-02-16 2018-12-06 株式会社 東北テクノアーチ ナノ複合金属部材の製造方法および相分離系金属固体同士の接合方法
CN108474062A (zh) * 2016-02-16 2018-08-31 东北泰克诺亚奇股份有限公司 多孔部件的制造方法
US11180857B2 (en) 2016-02-16 2021-11-23 Tohoku Techno Arch Co., Ltd. Method for producing porous member
WO2017141598A1 (ja) 2016-02-16 2017-08-24 株式会社東北テクノアーチ ポーラス部材の製造方法
CN108474062B (zh) * 2016-02-16 2021-03-19 东北泰克诺亚奇股份有限公司 多孔部件的制造方法
WO2017149886A1 (ja) 2016-03-04 2017-09-08 株式会社東北テクノアーチ 多孔質炭素材料の製造方法および球状の多孔質炭素材料
US11180374B2 (en) 2016-03-04 2021-11-23 Tohoku Techno Arch Co., Ltd. Method for producing porous carbon material and spherical porous carbon material
US11377358B2 (en) 2016-03-04 2022-07-05 Tohoku Techno Arch Co., Ltd. Method for producing porous carbon material
JP2019023989A (ja) * 2017-07-25 2019-02-14 日本電信電話株式会社 リチウム空気二次電池
CN110835695A (zh) * 2019-11-27 2020-02-25 国科镁业科技(河南)有限公司 一种基于镍基滤材的气相镁纯化的方法与装置
WO2024053418A1 (ja) * 2022-09-05 2024-03-14 国立大学法人東北大学 金属部材の製造方法および金属部材

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