WO2010061885A1

WO2010061885A1 - フィルム剥離装置および剥離方法

Info

Publication number: WO2010061885A1
Application number: PCT/JP2009/069947
Authority: WO
Inventors: 敦生山野; 正信古川; 瑛昌沢戸; 光伸 ▲吉▼田; 和彦有川
Original assignee: シャープ株式会社
Priority date: 2008-11-28
Filing date: 2009-11-26
Publication date: 2010-06-03
Also published as: JP2010150040A

Abstract

　本発明の保護フィルム剥離装置（１０）は、偏光板（４ｂ）から保護フィルム（５ｂ）方向に対して保護フィルム（５ｂ）表面の面内方向に傾斜した傾斜面を有する傾斜ヘッド（１２１）を備えており、傾斜ヘッド（１２１）の傾斜面が、保護フィルム（５ｂ）の表面と側面とが成す頂辺部、すなわち稜線部を押圧することによって、保護フィルム（５ｂ）の端部を剥離する。これにより、フィルムの初期剥離を容易に行うことができる。

Description

フィルム剥離装置および剥離方法

　本発明は、板状体である被保護部材の表面に貼着されたフィルムを剥離するためのフィルム剥離装置およびフィルム剥離方法に関する。

　近年、電子デバイスの生産工程または電気製品の組立工程においては、傷、ゴミ、埃、パーティクル等によって、デバイス不良または製品品位低下などを招く。このため、その対策として、電子デバイスまたは電気製品の表面または外装を保護するために、保護フィルムが広く利用されている。

　例えば、液晶パネルの最表面には、偏光板が設けられている。この偏光板の表面に傷がついた液晶パネル、および偏光板の表面がゴミ、埃、パーティクルなどで汚れた液晶パネルは、不良品として扱われる。このため、被保護部材となる偏光板の表面には、偏光板の製造途中から保護フィルムが貼付けられている。そして、保護フィルムが貼付けられた状態の偏光板が、液晶パネルに貼付けられる。

　しかし、最終製品の液晶テレビには、保護フィルムは不要なものであるため、液晶テレビの組立工程には、保護フィルムを剥離する工程が存在する。

　偏光板から保護フィルムを剥離するには、保護フィルムの端部を剥離する初期剥離と、初期剥離後に保護フィルム全体を剥離する全面剥離とを行う。全面剥離は、例えば、初期剥離によって剥離された保護フィルムを把持部によって把持して、把持部あるいは偏光板を相対的に移動させたり、初期剥離によって剥離された保護フィルムを巻き取ったりなどして保護フィルム全体を剥離する。

　初期剥離には、保護フィルムの表面に粘着テープ等を接着して保護フィルムを間接的に剥がす方法、あるいは、スクレイパーまたはニードル状の剥離部材によって保護フィルム自体を直接的に剥ぎ取る方法、が用いられている。

　しかし、昨今では、液晶テレビの価格が下落する中、コストダウンに対する要求も強まっており、最終製品である液晶テレビの価値向上に寄与しない部材の使用削減は必須となっている。ここで、保護フィルムを剥離するためだけに使用される粘着テープは、液晶テレビの価値向上に寄与しない部材である。このため、粘着テープ等を使用しない保護フィルムの剥離方法が求められる。

　しかも、粘着テープを用いた剥離方法では、粘着テープの粘着剤と保護フィルム表面との粘着力が、保護フィルムと偏光板との間の粘着力よりも十分大きい必要がある。しかし保護フィルムは、製造途中でロール状に巻かれる時に、自身の粘着剤によって粘着しないように、保護フィルムの表面には長鎖アルキル基やシリコン系の表面処理が施されている。このため、粘着テープの粘着剤に対しても粘着性が低下し、保護フィルムを偏光板から剥離するに十分な粘着力が得られない。

　このように、粘着テープ等を用いて間接的に保護フィルムを剥離する方法よりも、剥離部材によって保護フィルムを直接的に剥ぎ取る方法を用いることが好ましい。

　しかし、保護フィルムを直接的に剥ぎ取る方法では、剥離部材が偏光板に直接触れるため、偏光板を傷つける原因となり、また、偏光板の位置精度や保護フィルムの貼り付け精度によって剥離ミスの原因となる。

　そこで、特許文献１～３には、この問題を解決するフィルム剥離方法が開示されている。

　図２２は、従来の特許文献１の剥離方法の剥離動作を示す図である。具体的には、特許文献１では、図２２のように、まず、突当て部材３０３を矢印３０７のように保護フィルム３０１の上面に下降させ、保護フィルム３０１の端部に、突当て部材３０３の先端部を押し付ける。突当て部材３０３は、保護フィルム３０１を移動可能である。次に、突当て部材３０３の先端部を保護フィルム３０１に押し付けた状態で、保護フィルム３０１の内側（矢印３０８の方向）に、突当て部材３０３を移動させる。これにより、保護フィルム３０１の端部と被保護部材３０２との間に部分的に剥がれ３０６ａが形成される。次に、チャック３０４ａおよび３０４ｂを所定位置（剥がれ３０６ａが形成された部位）に配置し、被保護部材３０２の外側（横方向）から、エアノズル３０５でエアを吹き付ける。そして、チャック３０４ａおよび３０４ｂを矢印３０９のように下降させると共に、矢印３１０のようにチャック３０４ｂをチャック３０４ａに近づけるように移動させる。これにより、エアの吹き付けによって剥がれ３０６ａをチャック３０４ａおよび３０４ｂでチャックを行う。そして、チャック３０４ａおよび３０４ｂを引き上げる（矢印３１１）ことにより、保護フィルム３０１を引き剥がす。

　また、特許文献２では、表裏面に保護フィルムが貼り付けられた基板に対して保護フィルムの端部を予め検出し、保護フィルムの端縁を上下からバイブレータによって押圧したあと、エアジェットを吹き込むことで保護フィルムの初期剥離を行っている。

　また、特許文献３では、半導体チップ表面に貼り付けられたシートの側面に、クサビ状刃の先端を突き刺し、シートの端面を半導体チップから剥離している。

日本国公開特許公報「特開平９－３０９６６４号公報（１９９７年１２月２日公開）」日本国公開特許公報「特開平１０－７３１６号公報（１９９８年１月１３日公開）」日本国公開特許公報「特開２００３－３０９０８６号公報（２００３年１０月３１日公開）」

　しかしながら、特許文献１～３の剥離方法では、剥離対象となるフィルムの剥離が困難であるという問題がある。

　具体的には、特許文献１の剥離方法では、移動可能な突当て部材３０３を保護フィルム３０１の上から、その先端部を押し付ける際、押圧力は液晶装置表示面に悪影響を与えない大きさに設定され、且つ押し付けられる位置も表示面に悪影響を与えない位置が選択される。しかし、液晶装置表示面は保護フィルム３０１を介して、突当て部材３０３で押し付けられた状態で、保護フィルム３０１の内側に移動する。このため、液晶装置表示面に傷を付けずに保護フィルム３０１を剥離することが困難である。

　また、特許文献２の剥離方法では、液晶テレビの偏光板のように、被保護部材の厚さが薄い場合には、偏光板の端縁を保護フィルム側から押圧しても、偏光板の変形量が小さい。このため、保護フィルムと偏光板との間には隙間が生じにくく、保護フィルムの初期剥離が困難である。

　また、特許文献３の剥離方法は、剥離するシートにのみ、クサビ状の刃を当てることによって、シートを剥離している。しかし、剥離対象となるシートが薄い場合には、クサビ状の刃の位置合わせ（高さ調整）が、特に困難である。

　そこで、本発明は、上記従来の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、粘着テープを用いることなく、フィルム端部の剥離（フィルムの初期剥離）を容易に行うことのできるフィルム剥離装置および剥離方法を実現することにある。

　本発明のフィルム剥離装置は、上記の課題を解決するために、板状体に貼り付けられたフィルムの端部を、板状体から剥離するフィルム剥離装置であって、フィルム方向に傾斜した傾斜ヘッドを備え、上記傾斜ヘッドの傾斜面は、少なくとも上記フィルムの稜線部を押圧することによって、上記板状体から上記フィルムの端部を剥離することを特徴としている。

　本発明のフィルム剥離方法は、上記の課題を解決するために、板状体に貼り付けられたフィルムの端部を、板状体から剥離するフィルム剥離方法であって、フィルム方向に傾斜した傾斜ヘッドの傾斜面により、少なくとも上記フィルムの稜線部を押圧することによって、上記板状体から上記フィルムの端部を剥離することを特徴としている。

　上記の構成によれば、傾斜ヘッドの傾斜面が、フィルムの稜線部を押圧することによって、板状体からフィルム端部が剥離される。すなわち、フィルム方向に傾斜した傾斜ヘッドが剥離対象となるフィルムに近づくと、板状体の側面部よりも先に、剥離対象となるフィルムの側面部に当接し、フィルムの稜線部（フィルム表面と側面とが成す頂辺部）を押圧する。これにより、剥離対象となるフィルムが変形する。その結果、板状体とフィルムとの間に隙間が生じる。従って、フィルム端部の剥離（初期剥離）を容易に行うことができる。なお、本発明のフィルム剥離装置および剥離方法では、フィルムを剥離するために、粘着テープ等の副資材（最終製品には存在しない資材）を用いる必要がない。

　以上のように、本発明のフィルム剥離装置および剥離方法は、フィルム方向に傾斜した傾斜ヘッドの傾斜面により、少なくとも上記フィルムの稜線部を押圧することによって、板状体からフィルムの端部を剥離する構成である。それゆえ、フィルム端部の剥離（初期剥離）を容易に行うことができるという効果を奏する。

　本発明のさらに他の目的、特徴、および優れた点は、以下に示す記載によって十分わかるであろう。また、本発明の利益は、添付図面を参照した次の説明で明白になるであろう。

本発明のフィルム剥離装置の斜視図である。本発明のフィルム剥離装置で剥離される保護フィルムを備えた液晶パネルの断面図である。本発明のフィルム剥離装置を用いた液晶テレビの製造工程を示す上面図である。本発明のフィルム剥離装置の上面図である。図１のフィルム剥離装置の傾斜ヘッドの拡大図である。本発明の別のフィルム剥離装置の斜視図である。図６のフィルム剥離装置の上面図である。（ａ）および（ｂ）は、図２の液晶パネルの裏面図である。図６のフィルム剥離装置における傾斜ヘッドの拡大図である。図６のフィルム剥離装置における傾斜ヘッドの位置関係を示した図である。本発明のさらに別のフィルム剥離装置の斜視図である。本発明のフィルム剥離装置を用いた液晶テレビの製造工程を示す上面図である。本発明の傾斜ヘッドを示す断面図である。本発明の傾斜ヘッドを示す斜視図である。本発明のフィルム剥離装置を用いた保護フィルムの剥離工程を示す斜視図である。本発明のフィルム剥離装置を用いた保護フィルムの剥離工程を示す斜視図である。本発明のフィルム剥離装置を用いた保護フィルムの剥離工程を示す斜視図である。本発明のフィルム剥離装置を用いた保護フィルムの剥離工程を示す斜視図である。本発明のフィルム剥離装置を用いた保護フィルムの剥離工程を示す斜視図である。本発明のフィルム剥離装置を用いた保護フィルムの剥離工程を示す斜視図である。本発明のフィルム剥離装置を用いた保護フィルムの剥離工程を示す斜視図である。特許文献１の剥離方法の剥離動作を示す図である。

　〔実施の形態１〕
　以下、本発明の実施形態について、図１ないし図５に基づいて説明する。なお、図１および図５における座標系は、保護フィルム剥離装置１０を基準とし、Ｘ軸電動シリンダ１２５の動作方向をＸ軸、Ｙ軸電動シリンダ１２６の動作方向をＹ軸とし、このＸ－Ｙ平面に垂直な方向をＺ軸とする。

　本実施形態では、本発明のフィルム剥離装置の一例として、液晶パネルの表面に貼り付けられた保護フィルムを剥離する保護フィルム剥離装置について説明する。本実施形態の保護フィルム剥離装置は、液晶パネルの偏光板に貼り付けられた保護フィルムを剥離する。

　まず、本実施形態の保護フィルム剥離装置によって剥離される保護フィルムを備えた液晶パネルについて説明する。図２は、本実施形態の保護フィルム剥離装置で剥離される保護フィルムを備えた液晶パネルの断面図である。

　図２のように、液晶パネル１は、ＴＦＴ基板（基板）２とカラーフィルター基板（基板）３とが、貼り合わせられており、ＴＦＴ基板２とカラーフィルター基板３との間には、図示しない液晶材料が極少量注入されている。ＴＦＴ基板２の表面、および、カラーフィルター基板３の表面には、それぞれ、偏光板４ａ，４ｂが貼り付けられている。液晶パネル１は、図示していない駆動ＩＣや信号入力回路基板等を取り付けられている。

　偏光板４ａ，４ｂの面積は、液晶パネル１の表示エリア（映像表示領域）よりも大きく、ＴＦＴ基板２またはカラーフィルター基板３の表面積よりも小さい。偏光板４ａ，４ｂの各表面には、偏光板４ａ，４ｂの損傷・汚れ防止を目的にした保護フィルム５ａ，５ｂが粘着剤を介して貼り付けられている。

　この保護フィルム５ａ，５ｂは、偏光板４ａ，４ｂの製造途中で貼り付けられる。その後、所定のサイズよりも大きめにカットされ、所定のサイズまで端面を研磨して製作される。このため、偏光板４ａ，４ｂと保護フィルム５ａ，５ｂの大きさ（表面積）は、ほぼ同等である。つまり、本実施形態では、偏光板４ａ，４ｂの側面と、保護フィルム５ａ，５ｂの側面とが、互いに同一平面（面一）となっている。

　なお、偏光板４ａ，４ｂをＴＦＴ基板２またはカラーフィルター基板３に貼り付ける粘着剤は、各基板表面に形成されたガラス面との粘着性が良くなっている。このため、偏光板４ａ，４ｂと保護フィルム５ａ，５ｂとの間の粘着力と比較して、偏光板４ａ，４ｂとＴＦＴ基板２またはカラーフィルター基板３との間の粘着力の方がはるかに強い。

　次に、図３は、本実施形態の保護フィルム剥離装置を用いた液晶テレビの製造工程を示す上面図である。すなわち、図３は、図２の液晶パネル１の保護フィルム５ａ，５ｂを剥離する工程（フィルム剥離工程）を示している。以下では、図２の液晶パネル１の裏面に形成された保護フィルム５ｂの剥離について説明するが、保護フィルム５ａの剥離についても同様である。

　具体的には、図３のように、フィルム剥離工程では、保護フィルム剥離装置（フィルム剥離装置）１０によって、保護フィルム５ｂを剥離して、バックライトモジュール６に取り付ける。フィルム剥離工程には、保護フィルム剥離装置１０と、液晶パネル１が収納された収納ボックス２３が送られてくる供給ライン２０と、バックライトモジュール６を載せた組立パレット３３が前工程から送られてくる組立ライン３０とが用いられる。

　供給ライン２０は、液晶パネル１が収納された収納ボックス２３を搬送し、保護フィルム剥離装置１０への受渡し位置で停止させ、空となった収納ボックス２３を搬送する供給コンベア２１と、その受渡し位置で収納ボックス２３内の液晶パネル１の位置を検出する位置検出カメラ（図示せず）とから構成されている。

　組立ライン３０は、組立コンベア３１と、位置決め装置３２とから構成されている。組立コンベア３１は、バックライトモジュール６を載せた組立パレット３３を前工程から搬送する。組立コンベア３１は、組付け位置で組立パレット３３を停止させ、保護フィルム５ｂが剥離された液晶パネル１をバックライトモジュール６上に組付けた後、後工程へ搬送する。位置決め装置３２は、液晶パネル１をバックライトモジュール６上に組み付けるため、バックライトモジュール６の位置決めを行う。

　保護フィルム剥離装置１０は、搬送ユニット１１と、フィルム回収ボックス１４と、図示しない制御ユニットから構成されている。なお、図３には示されていないが、保護フィルム剥離装置１０は、後述する初期剥離ユニット１２と、把持ユニット１３とを備えている。

　搬送ユニット１１は、液晶パネル１を把持して、液晶パネル１を供給ライン２０から組立ライン３０へ搬送する。具体的には、搬送ユニット１１は、供給ライン２０の受渡し位置から液晶パネル１を受け取り、保護フィルム５ｂの剥離位置まで液晶パネル１を移動させる。また、搬送ユニット１１は、保護フィルム５ｂの剥離後、組立ライン３０の組付け位置（位置決め装置３２）へ液晶パネル１を移動させ、バックライトモジュール６上に液晶パネル１を組み付ける。

　より詳細には、保護フィルム剥離装置１０では、搬送ユニット１１は、６軸で構成される垂直多関節型の搬送ロボット１１１と、搬送ロボット１１１の先端に取り付けられ、液晶パネル１を吸着把持するパネル吸着ハンド１１２と、パネル吸着ハンド１１２の角部に設けられ、保護フィルム５ｂの初期剥離時に液晶パネル１が撓まないように抑える背面保持部（図示せず）で構成されている。

　フィルム回収ボックス１４は、剥離された保護フィルム５ｂを回収するものである。制御ユニットは、保護フィルム剥離装置１０の各部の動作を制御する。

　保護フィルム剥離装置１０は、さらに、初期剥離ユニット１２と、把持ユニット１３とを備えている。図１は、保護フィルム剥離装置１０の斜視図である。図１には、初期剥離ユニット１２および把持ユニット１３を正面からみた図が示されている。図４は、保護フィルム剥離装置１０における初期剥離ユニット１２と把持ユニット１３の上面図である。

　初期剥離ユニット１２は、液晶パネル１の裏側に形成された保護フィルム５ｂの端部を剥離する初期剥離を行う。具体的には、初期剥離ユニット１２は、搬送ユニット１１によって搬送された液晶パネル１における保護フィルム５ｂの角部に設置され、液晶パネル１の裏面の保護フィルム５ｂの初期剥離を行う。

　より詳細には、初期剥離ユニット１２は、傾斜ヘッド１２１と、Ｚ軸スライド機構１２２と、Ｙ軸スライド機構１２３と、Ｘ－Ｙテーブル１２４と、Ｘ軸電動シリンダ（Ｘ軸方向用エアシリンダ）１２５と、Ｙ軸電動シリンダ（Ｙ軸方向用エアシリンダ）１２６と、エアノズル１２７とから構成される。

　傾斜ヘッド１２１は、少なくとも保護フィルム５ｂの表面と側面とが成す頂辺部、すなわち保護フィルム５ｂの稜線部（以下、稜線部と記す）を押圧するようになっていればよい。本実施形態では、傾斜ヘッド１２１は、偏光板４ｂおよび保護フィルム５ｂの各側面部を押圧する。つまり、傾斜ヘッド１２１は、上記保護フィルム５ｂの稜線部を押圧する押圧部であり、本実施形態では、保護フィルム５ｂが貼り付けられた偏光板４ｂの側面および保護フィルム５ｂの側面を斜めに押圧する押圧部である。

　Ｚ軸スライド機構１２２は、傾斜ヘッド１２１をＺ軸方向（液晶パネル１に対する高さ方向）に弾性力を持ってスライド可能とする。Ｙ軸スライド機構１２３は、傾斜ヘッド１２１とＺ軸スライド機構１２２とをＹ軸方向に弾性力を持ってスライド可能とする。Ｘ－Ｙテーブル１２４は、傾斜ヘッド１２１、Ｚ軸スライド機構１２２、およびＹ軸スライド機構１２３を載せてＸ－Ｙ平面（保護フィルム５ｂ表面に平行な面）内で各部材を自在に移動可能とする。Ｘ軸電動シリンダ１２５は、Ｘ－Ｙテーブル１２４をＸ軸方向に移動させる。Ｙ軸電動シリンダ１２６は、Ｘ軸電動シリンダ１２５と、Ｘ－Ｙテーブル１２４とをＹ軸方向に移動させる。エアノズル１２７は、傾斜ヘッド１２１の押圧によって生じた保護フィルム５ｂと偏光板４ｂとの間の隙間に圧縮空気を吹き付ける。

　一方、把持ユニット１３は、初期剥離ユニット１２により初期剥離された保護フィルム５ｂを把持し、保護フィルム５ｂ全体を剥離する全面剥離を行う。具体的には、把持ユニット１３は、エアノズル１２７からの圧縮空気の吹付けによって剥離した保護フィルム５ｂが所定量以上に剥離されないように（所定量だけ剥離されるように）する剥離防止部１３１と、エアノズル１２７によって剥離防止部１３１まで剥離された保護フィルム５ｂを把持する把持部１３２と、把持部１３２を駆動するためのエアシリンダ１３３とから構成されている。

　次に、保護フィルム剥離装置１０による保護フィルム５ｂの剥離方法（剥離手順）について、図１および図３に基づき説明する。なお、以下の剥離動作は、保護フィルム剥離装置１０の制御ユニットによって制御される。

　まず、図３における供給ライン２０において、受渡し位置で停止している収納ボックス２３内の液晶パネル１を位置検出カメラ（図示せず）で撮像する。撮像した画像から収納ボックス２３内の液晶パネル１の位置と傾きを算出し、保護フィルム剥離装置１０に送信する。次に、送信結果に基づき、搬送ロボット１１１の各軸を駆動させ、パネル吸着ハンド１１２を送信された液晶パネル１の位置に移動させる。パネル吸着ハンド１１２には、液晶パネル１の大きさに合せて、液晶パネル１を吸着把持する複数個の吸着パッド（図示せず）が均等に配置されている。各吸着パッドには、パネル吸着用エア回路（図示せず）が接続されている。各吸着パッドの吸引力は、制御ユニットが、パネル吸着用エア回路を制御することによって調整される。これにより、各吸着パッドに個別に吸引力が導かれ、適度な吸引力によって液晶パネル１を吸着することができる。

　続いて、パネル吸着用エア回路の圧力が、所定値に達すると、搬送ロボット１１１の各軸を駆動させて、液晶パネル１を吸着把持したパネル吸着ハンド１１２を保護フィルム剥離位置へ移動させる。

　液晶パネル１を保護フィルム剥離位置に移動させると、図１のように、初期剥離ユニット１２の傾斜ヘッド１２１が、液晶パネル１をパネル背面保持部（図示せず）とで挟み込む形で、Ｚ軸マイナス方向にスライドする。この時、傾斜ヘッド１２１は、Ｚ軸スライド機構１２２の弾性力で液晶パネル１を押圧する。

　続いて、制御ユニットは、傾斜ヘッド１２１が、少なくとも保護フィルム５ｂの稜線部を押圧するように、Ｙ軸電動シリンダ１２６を駆動させる。本実施形態では、制御ユニットは、初期剥離ユニット１２の傾斜ヘッド１２１が液晶パネル１の偏光板４ｂおよび保護フィルム５ｂの側面部を押圧するようにＹ軸電動シリンダ１２６を駆動させて、Ｘ－Ｙテーブル１２４をＹ軸方向に移動させる。このとき、傾斜ヘッド１２１は、剥離対象となる保護フィルム５ｂの表面側、つまり図面下側から、保護フィルム５ｂに近づく。傾斜ヘッド１２１の先端は傾斜面となっている。本実施形態では、この傾斜面は、偏光板４ｂおよび保護フィルム５ｂの各側面部に当接する当接面である。つまり、この傾斜面は、傾斜ヘッド１２１が偏光板４ｂおよび保護フィルム５ｂに接触する面と言い換えることもできる。この傾斜面は、偏光板４ｂから保護フィルム５ｂ方向に対して保護フィルム５ｂ表面の面内方向に傾斜している。すなわち、保護フィルム５ｂの稜線部に対して傾斜しているため、傾斜ヘッド１２１が保護フィルム５ｂに近づくと、まず、保護フィルム５ｂの側面部に接触し、保護フィルム５ｂの稜線部を押圧する。その後、傾斜ヘッド１２１は、偏光板４ｂの側面部に接触する。傾斜ヘッド１２１は、保護フィルム５ｂおよび偏光板４ｂの側面に当った位置で停止するが、Ｘ－Ｙテーブル１２４はそれ以上動作する。このため、Ｙ軸スライド機構１２３の弾性力によって、傾斜ヘッド１２１の傾斜面が、保護フィルム５ｂおよび偏光板４ｂの各側面部を押圧する事となる。これにより、剥離対象となる保護フィルム５ｂが変形する。その結果、偏光板４ｂと保護フィルム５ｂとの間に隙間が生じる。この状態から、制御ユニットは、エアノズル１２７に接続された吹付けエア回路（図示せず）により圧縮空気を供給する。さらに、Ｘ軸電動シリンダ１２５を駆動させて、Ｘ－Ｙテーブル１２４をＸ軸方向に移動させ、傾斜ヘッド１２１によって押圧する位置を移動させる。吹き付けている圧縮空気は、押圧によって生じた偏光板４ｂと保護フィルム５ｂとの間の隙間に入り込む事で、隙間を大きくして保護フィルム５ｂを剥離する。なお、圧縮空気はＸ－Ｙテーブル１２４をＸ軸方向に移動させた後に吹き付け始めてもよい。また、剥離された保護フィルム５ｂは、圧縮空気の圧力によって、把持ユニット１３の剥離防止部１３１に押し付けられる。剥離防止部１３１には、複数の吸引穴（後述）が形成されている。これらの吸引穴に対しては、それぞれ不図示のフィルム吸着用エア回路が設けられており、各吸引穴に個別に吸引力が導かれ、適度な吸引力によって剥離した保護フィルム５を吸着することができる。制御ユニットは、エアノズル１２７へ圧縮空気を供給すると同時にフィルム吸着用エア回路を制御して剥離防止部１３１の各吸引穴に吸引力を供給する。このように、剥離防止部１３１は、エアノズル１２７による気体の噴出によって保護フィルム５ｂが剥離するのを一定量で抑える。

　エアノズル１２７からの圧縮空気の吹付けによって剥離された保護フィルム５ｂが剥離防止部１３１に押し付けられると、剥離防止部１３１の各吸引穴は剥離された保護フィルム５ｂによってふさがれる。フィルム吸着用エア回路の圧力が所定値に達すると、制御ユニットはエアノズル１２７への圧縮空気の供給を停止し、把持ユニット１３のエアシリンダ１３３を制御して把持部１３２と剥離防止部１３１によって、剥離された保護フィルム５ｂを把持する。また、制御ユニットは、Ｘ軸電動シリンダ１２５とＹ軸電動シリンダ１２６を制御して、傾斜ヘッド１２１を初期位置に戻す。以上までで保護フィルム５ｂの初期剥離が完了する。

　次に、保護フィルム５ｂの角部を把持ユニット１３で把持した状態で、制御ユニットは搬送ロボット１１１の各軸を動作して、図３の矢印Ａ方向に液晶パネル１を吸着把持したパネル吸着ハンド１１２を移動させる。図１のように、保護フィルム５ｂの角部を把持ユニット１３で把持しているため、パネル吸着ハンド１１２の移動に伴って、保護フィルム５ｂが偏光板４ｂから剥離される。パネル吸着ハンド１１２が剥離完了位置まで来ると、制御ユニットは、エアシリンダ１３３を制御して把持していた保護フィルム５ｂの角部を開放する。剥離された保護フィルム５ｂは直下のフィルム回収ボックス１４へ落下する。以上で、液晶パネル１の裏側の偏光板４から保護フィルム５ｂの剥離を完了する。

　その後、制御ユニットは、搬送ロボット１１１の各軸を駆動させて、液晶パネル１を吸着把持したパネル吸着ハンド１１２を組立ライン３０の組付け位置へ移動させる。この時、組立ライン３０の組付け位置では、バックライトモジュール６が載った組立パレット３３が停止しており、位置決め装置３２によって組立パレット３３上のバックライトモジュール６の位置決めを行う。制御ユニットは、搬送ロボット１１１の各軸を駆動させて、液晶パネル１を位置決めされたバックライトモジュール６上に組付け、パネル吸着用エア回路を制御して液晶パネル１の吸着把持を解除する。

　次に、制御ユニットは、搬送ロボット１１１の各軸を駆動させてパネル吸着ハンド１１２をバックライトモジュール６上から退避させる。パネル吸着ハンド１１２が退避すると、組立ライン３０は組立コンベア３１を動作させて、バックライトモジュール６を載せた組立パレット３３を後工程に搬送し、一連の動作を完了する。

　ここで、図５に基づいて、傾斜ヘッド１２１について詳細に説明する。図５は、傾斜ヘッドの拡大図である。図５のように、保護フィルム５ｂ方向に傾斜した傾斜ヘッド１２１の先端は、傾斜面となっている。保護フィルム剥離装置１０では、図１のように、この傾斜面は、保護フィルム５ｂの稜線部に対して凸形状（具体的には円弧状の曲面）となっている。この傾斜面は、少なくとも保護フィルム５ｂの稜線部を押圧する部分となる。本実施形態では、この傾斜面が、偏光板４ｂおよび保護フィルム５ｂの各側面部に接触し、押圧する部分となる。保護フィルム剥離装置１０では、傾斜ヘッド１２１の傾斜面が、偏光板４ｂから保護フィルム５ｂ方向に対して保護フィルム５ｂ表面の面内方向に傾斜している。また、傾斜ヘッド１２１の傾斜面は、剥離対象となる保護フィルム５ｂの表面に対して、偏光板４ｂの外側（液晶パネルの外部）に傾斜しているともいえる。このため、傾斜ヘッド１２１の傾斜面と、保護フィルム５ｂの側面（偏光板４ｂの側面）との成す角Ｘは、鋭角になる。また、ＴＦＴ基板２の裏面（偏光板４ｂ側の面）と、傾斜ヘッド１２１の傾斜面との成す角Ｙも、鋭角となる。このため、傾斜ヘッド１２１が剥離対象となる保護フィルム５ｂに近づくと、偏光板４ｂの側面部よりも先に、剥離対象となる保護フィルム５ｂの側面部に当接し、保護フィルム５ｂの稜線部を押圧する。その後、偏光板４ｂの側面部を押圧するまで傾斜ヘッド１２１が移動する。これにより、剥離対象となる保護フィルム５ｂが変形する。その結果、偏光板４ｂと保護フィルム５ｂとの間に隙間が生じる。従って、その隙間に、エアノズル１２７から圧縮空気を吹き付けることで、保護フィルム５ｂ端部の剥離（初期剥離）を容易に行うことができる。

　なお、傾斜ヘッド１２１の傾斜面と、保護フィルム５ｂの側面（偏光板４ｂの側面）との成す角Ｘの角度が９０°に近づくほど傾斜ヘッド１２１が保護フィルム５ｂに当接してから偏光板４ｂに当接するまでの移動距離が長くなるため、より大きく保護フィルム５ｂを変形することが可能となる。しかし、傾斜ヘッド１２１を保護フィルム５ｂに当接させた際に、傾斜ヘッド１２１を押し上げる方向の力がかかりやすくなるため、より強く力をかける必要がある。一方、角Ｘの角度が０°に近づくほど、傾斜ヘッド１２１が保護フィルム５ｂに当接してから偏光板４ｂに当接までの移動距離が短くなるため、より小さな力で保護フィルム５ｂを変形させることができるが、変形したことによって生じる隙間は小さくなる。よって、傾斜ヘッド１２１の傾斜面と、保護フィルム５ｂの側面（偏光板４ｂの側面）との成す角Ｘの最適な角度は、剥離の対象によって異なる。本実施形態では、偏光板４ｂから保護フィルム５ｂを剥離する際の角Ｘを４５°としている。角度Ｘを４５°とすることでＴＦＴ基板２ないしはカラーフィルター基板３にダメージを与えることなく保護フィルム５ｂのみを偏光板４ｂから剥離することができた。

　また、図５のように、剥離防止部１３１には、保護フィルム５を吸着する吸引穴１３１ａが形成されている。吸引穴１３１ａは、傾斜ヘッド１２１によって剥離された保護フィルム５ｂを吸着保持する吸着部である。このように、剥離防止部１３１に吸引穴１３１ａが形成されていると、保護フィルム５ｂを把持部１３２（図１）で把持するまでの間、保護フィルム５ｂを剥離防止部１３１に吸着しておくことができる。さらに、保護フィルム５ｂが剥離防止部１３１に当ったことがフィルム吸着用エア回路の圧力変化で検知できるため、圧縮空気の吹付けによる保護フィルム５ｂの剥離に時間差が有ったとしても確実に保護フィルム５ｂは把持することができる。

　このような傾斜ヘッド１２１を用いて液晶パネル１の裏側の偏光板４ｂに貼り付けられた保護フィルム５ｂを剥離すると、液晶パネル１の位置精度や偏光板４ｂの貼り付け精度や偏光板４ｂの厚みのばらつきなどを考慮する必要なく、保護フィルム５ｂを押圧することができる。従って、確実に偏光板４ｂと保護フィルム５ｂとの間に隙間を生じさせることができる。

　ここで、傾斜ヘッド１２１の傾斜面の形状は、偏光板４ｂから保護フィルム５ｂ方向に対して保護フィルム５ｂ表面の面内方向に傾斜していれば特に限定されるものではない。言い換えれば、傾斜面の形状は、剥離対象となる保護フィルム５ｂの側面部に当接後に、保護フィルム５ｂが貼り付けられた偏光板４ｂの側面部に当接し、保護フィルム５ｂの側面部（少なくとも保護フィルム５ｂの稜線部）を押圧できれば、特に限定されるものではない。しかし、特に傾斜面の形状が、保護フィルム５ｂの稜線部に対して凸形状（例えば、図１のように、円弧状の曲面）を有していることが好ましい。これにより、傾斜ヘッド１２１の傾斜面が押圧する保護フィルム５ｂの稜線部に、適度な押圧力を加えることができる。従って、傾斜ヘッド１２１により押圧した時に生じる偏光板４ｂのダメージを無くすことができ、簡便に保護フィルム５ｂを剥離することができる。

　また、本実施形態では、Ｙ軸方向とＺ軸方向に個別に弾性を有するスライド機構（Ｚ軸スライド機構１２２と、Ｙ軸スライド機構１２３）を設けることで、液晶パネル１の位置精度や偏光板４ｂの貼り付け精度によらず、一定範囲内の押圧力で保護フィルム５ｂおよび偏光板４ｂを押圧した状態を維持して、保護フィルム５ｂの稜線部に沿って、傾斜ヘッド１２１を移動させることができる。これにより、保護フィルム５ｂの初期剥離が素早く開始される。従って、保護フィルム５ｂの初期剥離時間を短縮することができる。さらに、押圧した際に傾斜ヘッド１２１が偏光板４ｂ上に乗り上げることなく偏光板４ｂの側面を押圧することができる。

　本実施形態では、傾斜ヘッド１２１の押圧方向はＹ軸方向を向いているが、保護フィルム５ｂの押圧が面内方向を向いており、保護フィルム５ｂを浮上らせる方向に押圧していれば、傾斜ヘッド１２１の押圧方向は特に限定されるものではない。

　なお、本手法では、傾斜ヘッド１２１がＹ軸方向に移動して保護フィルム５ｂを押圧することで、偏光板４ｂと保護フィルム５ｂに隙間を生じさせることができ、そこに圧縮空気を送り込むことで保護フィルム５ｂを剥離することができる。傾斜ヘッド１２１をＹ軸方向に押圧した状態でＸ軸方向に移動させることによって偏光板４ｂと保護フィルム５ｂの隙間が広がり、より高速な剥離が可能となるため、傾斜ヘッド１２１はＹ軸方向に移動して保護フィルム５ｂを押圧後にＸ軸方向に移動させることが好ましい。

　ここで、エアノズル１２７の角度について説明する。保護フィルム５ｂが剥がれていく際、保護フィルム５ｂが偏光板４ｂから離れ変形した部分と偏光板４ｂに張り付いている部分との境目を剥離線と定義する。保護フィルム５ｂに圧縮空気を吹き付けた場合、この剥離線が徐々に剥離防止部１３１に近づいていき、やがて剥離防止部１３１と保護フィルム５ｂが接触している部分に達する。なお、この剥離線の進行速度は、圧縮空気が直接当っているところが最も速く、圧縮空気の接触点から離れていくにつれて遅くなる。したがって、エアノズル１２７の向きは圧縮空気が剥離線の中心付近に当るようにすることが好ましい。

　なお、本実施形態では、偏光板４ａ，４ｂの側面と、保護フィルム５ａ，５ｂの側面とが、互いに同一平面（面一）である。これは、保護フィルム５ａ，５ｂを偏光板４ａ，４ｂに貼り付けた後、偏光板４ａ，４ｂおよび保護フィルム５ａ，５ｂを切断することによって、保護フィルム５ａ，５ｂの側面が形成されるためである。しかし、偏光板４ａ，４ｂの側面と、保護フィルム５ａ，５ｂの側面とが同一平面上にない構成、例えば、偏光板４ａ，４ｂの端部が、保護フィルム５ａ，５ｂから露出した構成であってもよい。この場合も、各側面が同一平面である場合と同様に、保護フィルム５ａ，５ｂを剥離することができる。

　本実施形態では、偏光板４ａ，４ｂに貼り付けられた保護フィルム５ａ，５ｂの剥離する保護フィルム剥離装置１０について説明した。しかし、本発明のフィルム剥離装置は、これに限られるものではなく、板状の被保護部材に貼着された種々のフィルムの剥離にも適用が可能である。つまり、剥離対象となるフィルムは、被保護部材の保護を目的とするフィルムに限定されるものではない。

　本実施形態の保護フィルム剥離装置１０については実際に実機を作製し、検証実験を行った。保護フィルム５ｂを被保護部材である偏光板４ｂから剥離する剥離領域としては、偏光板４ｂの角部から剥離防止部１３１までの距離を１５ｍｍとした。傾斜ヘッド１２１は、円筒状の部材を用い、図５に示すように傾斜ヘッド１２１の取り付け角度Ｘを４５°とした。また、保護フィルム５ｂに押し当てた後のＸ軸方向への移動距離は１３ｍｍとした。そして、エアノズル１２７は、内径が３ｍｍで、圧縮空気の圧力を０．５ＭＰａとし、エアノズル１２７の噴射口は傾斜ヘッド１２１がＸ軸方向に移動したときに傾斜ヘッド１２１が押圧し、偏光板４ｂから保護フィルム５ｂが浮上って変形する範囲に直接圧縮空気を吹き込めるように配置した。さらに、エアノズル１２７の向きは、圧縮空気を吹き付ける時に剥離防止部１３１の中心付近に向くように調整した。上記の条件で剥離動作を行ったところ、圧縮空気の噴射時間が０．５秒で剥離領域内の保護フィルム５ｂを剥離することができ、本手法の有効性が確認できた。

　〔実施の形態２〕
　以下、本発明の別の実施形態について、図６ないし図１０に基づいて説明する。また、適宜、実施の形態１の図面も参照する。なお、説明の便宜上、実施の形態１で説明した部材と同様の機能を有する部材には、基本的に同一の番号を付し、その説明を一部省略する。実施の形態１では、傾斜面が凸形状（例えば円弧状の曲面）である傾斜ヘッドを用いた保護フィルムの剥離について説明した。しかし、傾斜面の形状は、この凸形状（曲面）に限定されるものではない。そこで、実施の形態２では、傾斜面が平面である傾斜ヘッドを用いた保護フィルムの剥離について説明する。

　なお、図６における座標系は、保護フィルム剥離装置１０ａを基準とし、Ｘ軸電動シリンダ１２５の動作方向をＸ軸、Ｙ軸電動シリンダ１２６の動作方向をＹ軸、Ｘ－Ｙ平面に垂直な方向をＺ軸とする。本実施形態においては、保護フィルム剥離装置１０ａは、液晶テレビの製造工程における装置全体の座標系（図３）に対してＺ軸周りに傾きを持たせているため、図６におけるＸ，Ｙ軸の方向は、液晶テレビの製造工程の装置全体の座標系（図３）のＸ，Ｙ軸の方向とは異なった方向を向いている。また、図１０については、偏光板４ｂの各側面方向に、ｘ’軸，ｙ’軸を定義する。

　本実施形態でも、実施の形態１と同様に、本発明のフィルム剥離装置の一例として、液晶パネルの表面に貼り付けられた保護フィルムを剥離する保護フィルム剥離装置について説明する。本実施形態の保護フィルム剥離装置も、図２のような液晶パネルの偏光板に貼り付けられた保護フィルムを剥離する。また、本実施形態のフィルム剥離装置も、図３に示すような、液晶テレビを製造する際の液晶パネル１の保護フィルム５ａ，５ｂを剥離する工程（フィルム剥離工程）に用いられる。以下では、図２の液晶パネル１の裏面に形成された保護フィルム５ｂの剥離について説明するが、保護フィルム５ａの剥離についても同様である。

　図６は、本実施形態の保護フィルム剥離装置（フィルム剥離装置）１０ａの斜視図である。本実施形態の保護フィルム剥離装置１０ａの基本構成は、図１（実施の形態１）の保護フィルム剥離装置１０と略同様である。ただし、保護フィルム剥離装置１０ａでは、傾斜ヘッド１２１の傾斜面が平面である点が、保護フィルム剥離装置１０と異なる。具体的には、傾斜ヘッド１２１は、直方体状であり、傾斜面が平面となっている。

　保護フィルム剥離装置１０ａは、図３の保護フィルム剥離装置１０を置き換えることにより、図３に示すフィルム剥離工程において、保護フィルム５ｂを剥離して、バックライトモジュール６に取り付ける。保護フィルム剥離装置１０ａ以外の構成については、実施の形態１と同様であるため、説明を省略し、以下では、保護フィルム剥離装置１０ａを中心に説明する。

　具体的には、保護フィルム剥離装置１０ａも、保護フィルム剥離装置１０と同様、搬送ユニット１１（図３）、初期剥離ユニット１２（図６）、把持ユニット１３（図６）、フィルム回収ボックス１４（図３）、図示しない制御ユニットから構成されている。搬送ユニット１１，フィルム回収ボックス１４、および、制御ユニットの構成は、実施の形態１の保護フィルム剥離装置１０と同様であるため、説明を省略する。

　図６は、保護フィルム剥離装置１０ａを、初期剥離ユニット１２および把持ユニット１３を正面からみた図である。図７は、保護フィルム剥離装置１０ａにおける初期剥離ユニット１２と把持ユニット１３の上面図である。

　図６のように、初期剥離ユニット１２は、傾斜ヘッド１２１と、Ｚ軸スライド機構１２２と、Ｙ軸スライド機構１２３と、Ｘ－Ｙテーブル１２４と、Ｘ軸電動シリンダ１２５と、Ｙ軸電動シリンダ１２６と、エアノズル１２７とから構成される。

　傾斜ヘッド１２１は、少なくとも保護フィルム５ｂの角部を押圧する。つまり、傾斜ヘッド１２１は、少なくとも保護フィルム５ｂの角部を斜めに押圧する押圧部である。Ｚ軸スライド機構１２２は、傾斜ヘッド１２１をＺ軸方向（液晶パネル１に対する高さ方向）に弾性力を持ってスライド可能とする。Ｙ軸スライド機構１２３は、傾斜ヘッド１２１とＺ軸スライド機構１２２とをＹ軸方向に弾性力を持ってスライド可能とする。Ｘ－Ｙテーブル１２４は、傾斜ヘッド１２１、Ｚ軸スライド機構１２２、およびＹ軸スライド機構１２３を載せてＸ－Ｙ平面（保護フィルム５ｂ表面に平行な面）内で各部材を自在に移動可能とする。Ｘ軸電動シリンダ１２５は、Ｘ－Ｙテーブル１２４をＸ軸方向に移動させる。

　Ｙ軸電動シリンダ１２６は、Ｘ軸電動シリンダ１２５と、Ｘ－Ｙテーブル１２４とをＹ軸方向に移動させる。エアノズル１２７は、傾斜ヘッド１２１の押圧によって生じた保護フィルム５ｂと偏光板４ｂとの間の隙間に圧縮空気を吹き付ける。一方、把持ユニット１３は、初期剥離ユニット１２により初期剥離された保護フィルム５ｂを把持し、保護フィルム５ｂ全体を剥離する全面剥離を行う。具体的には、把持ユニット１３は、エアノズル１２７からの圧縮空気の吹付けによって剥離した保護フィルム５ｂが所定量以上に剥離されないように（所定量だけ剥離されるように）する剥離防止部１３１と、エアノズル１２７によって剥離防止部１３１まで保護フィルム５ｂを把持する把持部１３２と、把持部１３２を駆動するためのエアシリンダ１３３とから構成されている。

　次に、保護フィルム剥離装置１０ａによる保護フィルム５ｂの剥離方法（剥離手順）について、図３および図６に基づき説明する。なお、以下の剥離動作は、保護フィルム剥離装置１０の制御ユニットによって制御される。

　液晶パネル１を保護フィルム剥離位置に移動させると、図６のように、初期剥離ユニット１２の傾斜ヘッド１２１が、液晶パネル１をパネル背面保持部（図示せず）とで挟み込む形で、Ｚ軸マイナス方向にスライドする。この時、傾斜ヘッド１２１は、Ｚ軸スライド機構１２２の弾性力で液晶パネル１を押圧する。

　続いて、制御ユニットは、傾斜ヘッド１２１が、少なくとも保護フィルム５ｂの角部を押圧するように、Ｙ軸電動シリンダ１２６を駆動させる。本実施形態では、制御ユニットは、初期剥離ユニット１２の傾斜ヘッド１２１が液晶パネル１の偏光板４ｂおよび保護フィルム５ｂの角部を押圧するようにＹ軸電動シリンダ１２６を駆動させて、Ｘ－Ｙテーブル１２４をＹ軸方向に移動させる。このとき、傾斜ヘッド１２１は、剥離対象となる保護フィルム５ｂの表面側、つまり図面下側から、保護フィルム５ｂに近づく。傾斜ヘッド１２１の先端は傾斜面となっている。この傾斜面は、偏光板４ｂおよび保護フィルム５ｂの各角部に当接する当接面である。つまり、この傾斜面は、傾斜ヘッド１２１が偏光板４ｂおよび保護フィルム５ｂに接触する面と言い換えることもできる。この傾斜面は、偏光板４ｂから保護フィルム５ｂ方向に対して保護フィルム５ｂ表面の面内方向に傾斜している。すなわち、保護フィルム５ｂの稜線部に対して傾斜しているため、傾斜ヘッド１２１が保護フィルム５ｂに近づくと、まず、保護フィルム５ｂの角部に接触し、保護フィルム５ｂの稜線部を押圧する。その後、傾斜ヘッド１２１は、偏光板４ｂの角部に接触する。傾斜ヘッド１２１は、保護フィルム５ｂおよび偏光板４ｂの角部に当った位置で停止するが、Ｘ－Ｙテーブル１２４はそれ以上動作する。このため、Ｙ軸スライド機構１２３の弾性力によって、傾斜ヘッド１２１の傾斜面が保護フィルム５ｂおよび偏光板４ｂの各角部を押圧する事となる。これにより、剥離対象となる保護フィルム５ｂが変形する。その結果、偏光板４ｂと保護フィルム５ｂとの間に隙間が生じる。この状態から、制御ユニットは、エアノズル１２７に接続された吹付けエア回路（図示せず）により圧縮空気を供給する。さらに、Ｘ軸電動シリンダ１２５を駆動させて、Ｘ－Ｙテーブル１２４をＸ軸マイナス方向に移動させ、傾斜ヘッド１２１によって押圧する位置を移動させる。傾斜ヘッド１２１の移動により、傾斜ヘッド１２１の傾斜面が偏光板４ｂと保護フィルム５ｂの各角部に接触しなくなると、吹き付けている圧縮空気が押圧によって生じた偏光板４ｂと保護フィルム５ｂとの間の隙間に入り込み、隙間を大きくして保護フィルム５ｂを剥離する。また、剥離された保護フィルム５ｂは、圧縮空気の圧力によって、把持ユニット１３の剥離防止部１３１に押し付けられる。剥離防止部１３１には、複数の吸引穴（後述）が形成されている。これらの吸引穴に対しては、それぞれ不図示のフィルム吸着用エア回路が設けられており、各吸引穴に個別に吸引力が導かれ、適度な吸引力によって剥離した保護フィルム５を吸着することができる。制御ユニットは、エアノズル１２７へ圧縮空気を供給すると同時にフィルム吸着用エア回路を制御して剥離防止部１３１の各吸引穴に吸引力を供給する。このように、剥離防止部１３１は、エアノズル１２７による気体の噴出によって保護フィルム５ｂが剥離するのを一定量で抑える。

　次に、保護フィルム５ｂの角部を把持ユニット１３で把持した状態で、制御ユニットは搬送ロボット１１１の各軸を動作して、図３の矢印Ａ方向に液晶パネル１を吸着把持したパネル吸着ハンド１１２を移動させる。図６のように、保護フィルム５ｂの角部を把持ユニット１３で把持しているため、パネル吸着ハンド１１２の移動に伴って、保護フィルム５ｂが偏光板４ｂから剥離される。パネル吸着ハンド１１２が剥離完了位置まで来ると、制御ユニットは、エアシリンダ１３３を制御して把持していた保護フィルム５ｂの角部を開放する。剥離された保護フィルム５ｂは直下のフィルム回収ボックス１４へ落下する。以上で、液晶パネル１の裏側の偏光板４から保護フィルム５ｂの剥離を完了する。

　ここで、図９に基づいて、傾斜ヘッド１２１について詳細に説明する。図９は、図６の保護フィルム剥離装置１０ａにおける傾斜ヘッド１２１の拡大図である。図９のように、保護フィルム５ｂ方向に傾斜した傾斜ヘッド１２１の先端は、傾斜面となっている。この傾斜面が、少なくとも保護フィルム５ｂの角部を押圧する部分となる。本実施形態では、この傾斜面が、偏光板４ｂおよび保護フィルム５ｂの各角部に接触し、押圧する部分となる。保護フィルム剥離装置１０では、傾斜ヘッド１２１の傾斜面が、偏光板４ｂから保護フィルム５ｂ方向に対して保護フィルム５ｂ表面の面内方向に傾斜している。また、傾斜ヘッド１２１の傾斜面は、剥離対象となる保護フィルム５ｂの表面に対して、偏光板４ｂの外側（液晶パネルの外部）に傾斜しているともいえる。このため、傾斜ヘッド１２１の傾斜面と、保護フィルム５ｂの側面（偏光板４ｂの側面）との成す角Ｘは、鋭角になる。また、ＴＦＴ基板２の裏面（偏光板４ｂ側の面）と、傾斜ヘッド１２１の傾斜面との成す角Ｙも、鋭角となる。このため、傾斜ヘッド１２１が剥離対象となる保護フィルム５ｂに近づくと、偏光板４ｂの角部よりも先に、剥離対象となる保護フィルム５ｂの角部に当接し角部を押圧する。その後、偏光板４ｂの角部を押圧するまで傾斜ヘッド１２１が移動する。これにより、剥離対象となる保護フィルム５ｂが変形する。その結果、偏光板４ｂと保護フィルム５ｂとの間に隙間が生じる。従って、その隙間に、エアノズル１２７から圧縮空気を吹き付けることで、保護フィルム５ｂ端部の剥離（初期剥離）を容易に行うことができる。

　図９のように、剥離防止部１３１には、保護フィルム５を吸着する吸引穴１３１ａが形成されている。吸引穴１３１ａは、傾斜ヘッド１２１によって剥離された保護フィルム５ｂを吸着保持する吸着部である。このように、剥離防止部１３１に吸引穴１３１ａが形成されていると、保護フィルム５を把持部１３２（図６）で把持するまでの間、保護フィルム５ｂを剥離防止部１３１に吸着しておくことができる。さらに、保護フィルム５ｂが剥離防止部１３１に当ったことがフィルム吸着用エア回路の圧力変化で検知できるため、圧縮空気の吹付けによる保護フィルム５ｂの剥離に時間差が有ったとしても確実に保護フィルム５ｂは把持することができる。

　このような傾斜ヘッド１２１を用いて液晶パネル１の裏側の偏光板４ｂに貼り付けられた保護フィルム５ｂを剥離すると、液晶パネル１の位置精度や偏光板４ｂの貼り付け精度、偏光板４ｂの厚みのばらつきを考慮する必要なく、保護フィルム５ｂを押圧することができる。従って、確実に偏光板４ｂと保護フィルム５ｂとの間に隙間を生じさせることができる。

　次に、図７および図８に基づいて傾斜ヘッド１２１の向き（傾斜面の角度）について説明する。図８の（ａ）および図８の（ｂ）は、図２の液晶パネルの裏面図である。偏光板４ｂおよび保護フィルム５ｂの角部の形状は、図８の（ａ）に示すように、角が有るものと、図８の（ｂ）に示すような角部が面取りされているものとがある。上述のように、傾斜ヘッド１２１の傾斜面の形状（角度）は、偏光板４ｂから保護フィルム５ｂ方向に対して保護フィルム５ｂ表面の面内方向に傾斜していればよい。具体的には、図８の（ａ）のように偏光板４ｂおよび保護フィルム５ｂに角が有る場合には、図７に示す、傾斜ヘッド１２１の傾斜面と、偏光板４ｂ（保護フィルム５ｂ）の側面の成す角Ａが、０°より大きく９０°よりも小さければよい。一方、図８の（ｂ）のように、偏光板４ｂおよび保護フィルム５ｂに４５°の面取りがなされている場合には、図７に示す傾斜ヘッド１２１と偏光板の側面の成す角Ａが、０°より大きく９０°よりも小さく、かつ、角Ａが４５°以外の角度（面取りの角度以外の角度）をとなっていればよい。

　ここで、保護フィルム５ｂに対する、傾斜ヘッド１２１の配置誤差が大きいと、押圧部位となる保護フィルム５ｂの角部を押圧することができず、場合によっては、保護フィルム５ｂを剥離できない。

　しかし、保護フィルム剥離装置１０ａでは、少なくとも保護フィルム５ｂと接触する傾斜ヘッド１２１の傾斜面が、平面（平坦）である。これにより、実施の形態１のように、傾斜面が凸形状（例えば円弧状の曲面）の場合に比べて、保護フィルム５ｂの角部と接触できる部分が広くなる。つまり、傾斜ヘッド１２１の配置誤差（保護フィルム５ｂに対する位置ズレ）の許容範囲が、大きくなる。しかも、上述のように傾斜ヘッド１２１の傾斜面の角度が設定されているため、その傾斜面と、偏光板４ｂの側面とのなす角が鋭角になる。このため、保護フィルム５ｂの角部に確実に当接する。従って、たとえ、傾斜ヘッド１２１の配置誤差が生じたり、偏光板４ｂおよび保護フィルム５ｂの厚さに誤差が生じたりしていても、より確実に保護フィルム５ｂを押圧することができる。それゆえ、保護フィルム５ｂの剥離に失敗することなく、保護フィルム５ｂを確実に剥離することができる。

　ここで、本実施形態では、図２のように、偏光板４ａが貼り付けられているカラーフィルター基板３、および、偏光板４ｂが貼り付けられているＴＦＴ基板２は、いずれも、偏光板４ａおよび偏光板４ｂの外形よりもやや大きい。しかし、カラーフィルター基板３もＴＦＴ基板２も、実際には、偏光板４ａ，４ｂよりもせいぜい２ｍｍ程度しか大きくない。このため、傾斜ヘッド１２１の配置精度によっては、カラーフィルター基板３の面上（保護フィルム５ａが形成されていない部分）、または、ＴＦＴ基板２の面上（保護フィルム５ｂが形成されていない部分）に、傾斜ヘッド１２１を配置することができず、保護フィルム５ａ，５ｂを押圧できない場合がある。このように、偏光板４ａ，４ｂが、偏光板４ａ，４ｂよりも大きな、ＴＦＴ基板２上またはカラーフィルター基板３または上に貼り付けられている場合、保護フィルム剥離装置１０ａを用いるためには、傾斜ヘッド１２１の底部は、ＴＦＴ基板２上またはカラーフィルター基板３上に乗り上げかつ偏光板４ａ，４ｂに乗り上げないような位置に傾斜ヘッド１２１を下ろす必要がある。

　そこで、保護フィルム剥離装置１０ａでは、傾斜ヘッド１２１の傾斜面が、保護フィルム５ａまたは保護フィルム５ｂの角部に当接した位置で、傾斜ヘッド１２１の傾斜面が、ＴＦＴ基板２またはカラーフィルター基板３から、はみ出すようになっている。

　例えば、図１０は、図６の保護フィルム剥離装置１０ａにおける、偏光板４ｂ，保護フィルム５ｂ，カラーフィルター基板３，およびＴＦＴ基板２と傾斜ヘッド１２１との位置関係を示した図である。図１０のように、傾斜ヘッド１２１の押圧の中心となる点Ｐが、偏光板４ｂ（保護フィルム５ｂ）の角部に当接したとき、その当接位置で傾斜ヘッド１２１の傾斜面が、ＴＦＴ基板２からもカラーフィルター基板３からもはみ出している。また、上述のように傾斜ヘッド１２１の傾斜面は傾斜しているため、傾斜ヘッド１２１の傾斜面と、偏光板４ｂ（保護フィルム５ｂ）の側面とは、平行にならない。

　従って、保護フィルム剥離装置１０ａにおいては、傾斜ヘッド１２１の押圧の中心となる点Ｐが、少なくとも図１０の斜線部（Ｐ，Ｐｘ，Ｐｙ）の三角形内に納まる位置精度であれば、ＴＦＴ基板２上に傾斜ヘッド１２１の傾斜面を配置することができる。なお、点Ｐｘは、傾斜ヘッド１２１の傾斜面の中心となる点Ｐを、偏光板４ｂ（保護フィルム５ｂ）の角部に接触させた状態から、図１０におけるｘ’プラス方向（図中、偏光板４ｂの鉛直方向の辺の延長線上）に移動させ、傾斜面がＴＦＴ基板２の角部と重なったときの点Ｐの位置である。同様に、点Ｐｙは、傾斜ヘッド１２１を、点Ｐから、図１０におけるｙ’プラス方向（図中、水平方向の偏光板４ｂの辺の延長線上）に移動させたときの点Ｐの位置である。

　一方、実施の形態１のように、傾斜ヘッド１２１の傾斜面が凸形状（例えば円弧状の曲面）であり、偏光板４ｂの側面（ｘ’方向）から押圧を行う場合には、偏光板４ｂのｘ’方向のずれ量（傾斜ヘッド１２１の配置精度）は、Ｐ・Ｐｘ０の長さ以下にする必要がある。そうしなければ、傾斜ヘッド１２１が、ＴＦＴ基板２上に乗り上げることができないためである。一方、ｙ’方向のずれ量に関しては、傾斜ヘッド１２１が、保護フィルム５ｂの側面に接触できる範囲であれば剥離は可能である。しかし、傾斜ヘッド１２１による押圧位置は、偏光板４ｂ（保護フィルム５ｂ）の角部に近いほど剥離速度が速くなることが実験により確認されている。また、液晶パネルの移載（搬送）時の誤差、または、偏光板４ｂの位置精度のバラツキなどがあるため、偏光板４ｂの押圧位置の基準は、起こりうる誤差やバラツキを考慮する必要がある。つまり、偏光板４ｂの角部を押圧する場合には、起こりうる誤差やバラツキを考慮して、角部から離す必要がある。このため、ｙ’方向のずれ量は、保護フィルム５ｂの角部から何ｍｍの位置を基準として押圧を行うかによって必要な精度は変わる。しかし、偏光板４ｂの角部から基準が離れる分だけ、それだけ圧縮空気の吹付け時間も、剥離時間も長くなる。このため、現実的には、ｙ’方向のずれ量は、Ｐ・Ｐｙ０程度に抑えることになる。このように、傾斜ヘッド１２１の傾斜面が凸形状（例えば円弧状の曲面）である場合の、偏光板４ｂのｘ’，ｙ’方向に許容される位置ずれ量（傾斜ヘッド１２１の配置精度）は、それぞれ、Ｐ・Ｐｘ０，Ｐ・Ｐｙ０となる。なお、Ｐｘ０およびＰｙ０は、偏光板４ｂ（保護フィルム５ｂ）の辺の延長線と、ＴＦＴ基板２の辺が交わった点を示している。

　このように、傾斜ヘッド１２１の傾斜面を平面とすれば、凸形状（例えば円弧状の曲面）の場合よりも、偏光板４ｂとの位置ずれ量の許容範囲をゆるくすることができる。これにより、傾斜ヘッド１２１の配置誤差や偏光板４ｂおよび保護フィルム５ｂの配置誤差があっても、傾斜ヘッド１２１をＴＦＴ基板２上およびカラーフィルター基板３上に載せることができる。これにより、確実に偏光板４ｂおよび保護フィルム５ｂの角部を押圧できる。従って、傾斜ヘッド１２１，偏光板４ｂ，および保護フィルム５ｂの配置精度を厳格に管理せずに、より高速で確実な保護フィルム５ｂの剥離（初期剥離）が実現できる。

　なお、図１０においては、偏光板４ｂ，保護フィルム５ｂについて説明しているが、偏光板４ａ，保護フィルム５ａの場合も同様である。

　以上のように、保護フィルム剥離装置１０ａでは、傾斜ヘッド１２１の傾斜面が平面（平坦）である。このため、実施の形態１のように、傾斜面が凸形状（例えば円弧状の曲面）である場合よりも、保護フィルム５ｂおよび偏光板４ｂと接触できる部分が広くなる。このため、たとえ、保護フィルム５ｂ（偏光板４ｂ）と、傾斜ヘッド１２１との位置関係にズレが生じたとしても、より確実に保護フィルム５ｂの角部を押圧することができる。従って、保護フィルム５ｂの剥離に失敗することなく、短時間で保護フィルム５ｂを剥離することができる。

　また、保護フィルム剥離装置１０ａでは、Ｙ軸方向とＺ軸方向とに個別に弾性を有するスライド機構（Ｚ軸スライド機構１２２と、Ｙ軸スライド機構１２３）を設けることで、液晶パネル１の位置精度や偏光板４ｂの貼り付け精度によらず、一定範囲内の押圧力で保護フィルム５ｂおよび偏光板４ｂを押圧することができる。さらに、押圧した際に傾斜ヘッド１２１が偏光板４ｂ上に乗り上げることなく偏光板４ｂの角部を押圧することができる。

　例えば、図６では、Ｚ軸スライド機構１２２が、傾斜ヘッド１２１が連結されて一体となった連結部１２２ａが、バネ要素１２２ｂを介して、ベース１２２ｃに接続された構成となっている。この場合、連結部１２２ａと、ベース１２２ｃとの距離を測れるように、これら２つの間に距離センサ（リニアエンコーダまたはレーザー変位系など）を取り付ける。これにより、連結部１２２ａと、ベース１２２ｃとの距離（バネ要素１２２ｂの変位量）を測ることが可能となる。具体的には、傾斜ヘッド１２１を、偏光板４ｂ（保護フィルム５ｂ）の角部に押し付けた状態で、押圧面に対して垂直方向（図中矢印方向）に動かした場合、傾斜ヘッド１２１とベース１２２ｃとの距離は一定になる。しかし、傾斜ヘッド１２１が偏光板４ｂの側面に乗り上げた場合には、連結部１２２ａと、ベース１２２ｃの距離（傾斜ヘッド１２１とベース１２２ｃとの距離）は離れていく。従って、バネ要素１２２ｂの変位量を測定することにより、傾斜ヘッド１２１が偏光板４ｂの側面に乗り上げた（つまり押圧が終了した）ことが確認できる。

　さらに、本発明のフィルム剥離装置は、本実施形態の保護フィルム剥離装置１０ａに限らず、板状体に貼り付けられたフィルムを剥がす場合に、板状体およびフィルムの角部を、平面状の傾斜面を有する傾斜ヘッドで押圧し、フィルムの角部を浮かせる（隙間を形成する）手法を用いることで、より高速で確実なフィルムの剥離を実現することができる。

　また、実施の形態１および実施の形態２のように、保護フィルム５ａ，５ｂの稜線部や角部を傾斜ヘッド１２１で押圧すれば、保護フィルム５ａ，５ｂを短時間で剥離することができる。さらに、実施の形態１のように、傾斜ヘッド１２１の傾斜面が、凸形状（例えば円弧状の曲面）の場合、傾斜ヘッド１２１の押圧による偏光板４ａ，４ｂのダメージを低減することができる。一方、実施の形態２のように、傾斜ヘッド１２１の傾斜面が平面（平坦）である場合、保護フィルム５ａ，５ｂと接触できる面積が、凸形状（例えば円弧状の曲面）である場合よりも大きくなる。このため、傾斜ヘッド１２１の配置誤差の許容範囲が大きくなり、より確実に保護フィルム５ａ，５ｂを剥離することができる。

　従って、偏光板４ａ，４ｂへのダメージの軽減を重視すべき場合には、傾斜ヘッド１２１の傾斜面を凸形状（例えば円弧状の曲面）にすればよい。一方、保護フィルム５ａ，５ｂの確実な剥離を重視すべき場合には、傾斜ヘッド１２１の傾斜面を平面にすればよい。

　なお、本実施形態では、傾斜ヘッド１２１の押圧方向はＹ軸方向を向いているが、押圧が面内方向を向いており、保護フィルム５ｂを浮上らせる方向に押圧していれば、傾斜ヘッド１２１の押圧方向は特に限定されるものではない。

　本実施形態では、偏光板４ａ，４ｂに貼り付けられた保護フィルム５ａ，５ｂの剥離について説明した。しかし、本発明のフィルム剥離装置は、これに限られるものではなく、板状の被保護部材に貼着された種々のフィルムの剥離にも適用が可能である。つまり、剥離対象となるフィルムは、被保護部材の保護を目的とするフィルムに限定されるものではない。

　〔実施の形態３〕
　以下、本発明の別の実施形態について、図１１ないし図２１に基づいて説明する。また、適宜、上述の実施の形態の図面も参照する。なお、説明の便宜上、上述の実施の形態で説明した部材と同様の機能を有する部材には、基本的に同一の番号を付し、その説明を一部省略する。また、図１１および図１６における座標系は、保護フィルム剥離装置１０ｂを基準とし、Ｘ軸電動シリンダ１２５の動作方向をＸ軸、Ｙ軸電動シリンダ１２６の動作方向をＹ軸とし、このＸ－Ｙ平面に垂直な方向をＺ軸とする。図１５～図２１のＸ軸，Ｙ軸，Ｚ軸も同様である。

　本実施形態でも、実施の形態１および実施の形態２と同様に、本発明のフィルム剥離装置の一例として、液晶パネルの表面に貼り付けられた保護フィルムを剥離する保護フィルム剥離装置について説明する。本実施形態の保護フィルム剥離装置も、図２のような液晶パネルの偏光板に貼り付けられた保護フィルムを剥離する。

　図１２は、本実施形態の保護フィルム剥離装置を用いた液晶テレビの製造工程を示す上面図である。すなわち、図１２は、図２の液晶パネル１の保護フィルム５ａ，５ｂを剥離する工程（フィルム剥離工程）を示している。以下では、図２の液晶パネル１の裏面に形成された保護フィルム５ｂの剥離について説明するが、保護フィルム５ａの剥離についても同様である。

　具体的には、図１２のように、フィルム剥離工程では、保護フィルム剥離装置（フィルム剥離装置）１０ｂによって、保護フィルム５ｂを剥離して、バックライトモジュール６に取り付ける。フィルム剥離工程には、保護フィルム剥離装置１０ｂと、液晶パネル１が収納された収納ボックス２３が送られてくる供給ライン２０と、バックライトモジュール６を載せた組立パレット３３が前工程から送られてくる組立ライン３０とが用いられる。

　供給ライン２０は、液晶パネル１が収納された収納ボックス２３を搬送し、保護フィルム剥離装置１０ｂへの受渡し位置で停止させ、空となった収納ボックス２３を搬送する供給コンベア２１と、その受渡し位置で収納ボックス２３内の液晶パネル１の位置を検出する位置検出カメラ（図示せず）とから構成されている。

　保護フィルム剥離装置１０ｂは、搬送ユニット１１と、フィルム回収ボックス１４と、搬送テーブル３５と、図示しない制御ユニットから構成されている。なお、図１２には示されていないが、保護フィルム剥離装置１０ｂは、後述する初期剥離ユニット１２と、把持ユニット１３とを備えている。

　より詳細には、保護フィルム剥離装置１０ｂでは、搬送ユニット１１は、６軸で構成される垂直多関節型の搬送ロボット１１１と、搬送ロボット１１１の先端に取り付けられ、液晶パネル１を吸着把持するパネル吸着ハンド１１２と、パネル吸着ハンド１１２の角部に設けられ、保護フィルム５ｂの初期剥離時に液晶パネル１が撓まないように抑える背面保持部（図示せず）で構成されている。

　フィルム回収ボックス１４は、剥離された保護フィルム５ｂを回収するものである。搬送テーブル３５は、矢印３６で示すように、保護フィルム剥離装置１０ｂを搬送テーブル上で移動させると共に、液晶パネル１に対して垂直方向（Ｚ軸方向）に移動させるものである。制御ユニットは、保護フィルム剥離装置１０ｂの各部の動作を制御する。

　図１１は、本実施形態の保護フィルム剥離装置（フィルム剥離装置）１０ｂの斜視図である。本実施形態の保護フィルム剥離装置１０ｂの基本構成は、図１（実施の形態１）および図６（実施の形態２）の保護フィルム剥離装置１０，１０ａと略同様である。ただし、保護フィルム剥離装置１０ｂでは、傾斜ヘッド４１の構成が、保護フィルム剥離装置１０，１０ａとは異なる。以下では、保護フィルム剥離装置１０ｂについて、保護フィルム剥離装置１０，１０ａとの相違点を中心に説明する。

　具体的には、保護フィルム剥離装置１０ｂは、上述した搬送ユニット１１（図１２）、フィルム回収ボックス１４（図１２）、搬送テーブル３５（図１２）、および制御ユニット（図示せず）に加え、初期剥離ユニット１２（図１１）、把持ユニット１３（図１１）を備えている。図１１は、保護フィルム剥離装置１０ｂの斜視図である。

　図１１のように、本実施形態では、支持ベース７０上に、初期剥離ユニット１２および把持ユニット１３が設けられている。

　初期剥離ユニット１２は、傾斜ヘッド４１と、Ｘ軸方向用テーブル１２４ａと、Ｙ軸方向用テーブル１２４ｂと、Ｘ軸電動シリンダ１２５と、Ｙ軸電動シリンダ１２６と、押圧テーブル１２８と、Ｚ軸方向用ステージ１２９とを備えている。各部材は、支持ベース７０上に、Ｙ軸方向用テーブル１２４ｂ、Ｘ軸方向用テーブル１２４ａ、Ｘ軸電動シリンダ１２５およびＹ軸電動シリンダ１２６、押圧テーブル１２８、Ｚ軸方向用ステージ１２９、傾斜ヘッド４１の順に設けられている。

　傾斜ヘッド４１は、少なくとも保護フィルム５ｂの稜線部を押圧するようになっている。傾斜ヘッド４１は、後述のように、傾斜ヘッド４１の押圧によって生じた保護フィルム５ｂと偏光板４ｂとの間の隙間に圧縮空気を吹き付ける。このため、傾斜ヘッド４１は、コネクタ４７を介して、圧縮空気供給部（図示せず）につながっている配管４８に接続されている。傾斜ヘッド４１の具体的な構成は、後述する。

　Ｘ軸方向用テーブル１２４ａは、保護フィルム５ｂのＸ軸方向に移動する。一方、Ｙ軸方向用テーブル１２４ｂは、保護フィルム５ｂのＹ軸方向に移動する。つまり、Ｘ軸方向用テーブル１２４ａおよびＹ軸方向用テーブル１２４ｂは、傾斜ヘッド４１、押圧テーブル１２８、およびＺ軸方向用ステージ１２９を載せてＸ－Ｙ平面（保護フィルム５ｂ表面に平行な面）内で各部材を自在に移動可能とする。Ｘ軸電動シリンダ１２５は、Ｘ軸方向用テーブル１２４ａをＸ軸方向に移動させる。Ｙ軸電動シリンダ１２６は、Ｙ軸方向用テーブル１２４ｂをＹ軸方向に移動させる。押圧テーブル１２８は、Ｘ軸方向用テーブル１２４ａ上に設けられ、保護フィルム５ｂに対し、傾斜ヘッド４１を一定の押圧力で押し付けるためのものである。押圧テーブル１２８には、一定の押圧力を付与するための押圧バネ６８が設けられている。Ｚ軸方向用ステージ１２９は、押圧テーブル１２８上に設けられ、保護フィルム５ｂに対し、傾斜ヘッド４１を下方から一定の押圧力で押し付けるためのものである。Ｚ軸方向用ステージ１２９には、一定の押圧力を付与するためのバネ６７が設けられている。傾斜ヘッド４１は、Ｚ軸方向用ステージ１２９に固定されている。

　なお、初期剥離ユニット１２において、Ｘ軸方向用テーブル１２４ａ、Ｙ軸方向用テーブル１２４ｂ、Ｘ軸電動シリンダ１２５、Ｙ軸電動シリンダ１２６は、初期剥離ユニット１２における可動ユニットを構成する。可動ユニットは、傾斜ヘッド４１を保護フィルム５ｂの長辺方向（Ｙ軸方向）および短辺方向（Ｘ軸方向）と、上下方向（Ｚ軸方向）に移動させる。

　一方、把持ユニット１３は、初期剥離ユニット１２により初期剥離された保護フィルム５ｂの一部を把持すると共に、保護フィルム５ｂ全体を剥離する全面剥離を行う。具体的には、把持ユニット１３は、初期剥離された保護フィルム５ｂを把持する把持部１３２と、把持部１３２を駆動するためのエアシリンダ１３３とから構成されている。なお、把持ユニット１３には、上述の実施形態のように、初期剥離された保護フィルム５ｂが所定量以上に剥離されないように（所定量だけ剥離されるように）する剥離防止部を設けてもよい。

　このように、保護フィルム剥離装置１０ｂは、初期剥離ユニット１２と把持ユニット１３とが、支持ベース７０を介して一体化されている。

　ここで、本実施形態の保護フィルム剥離装置１０ｂの特徴部分である傾斜ヘッド４１について詳細に説明する。図１３は、傾斜ヘッド４１の断面図である。図１４は、傾斜ヘッド４１の斜視図である。図１４のように、傾斜ヘッド４１は、Ｚ軸方向用ステージ１２９に固定される本体部４０と、本体部４０に固定された押圧部材４４とから構成されている。押圧部材４４は、回転軸４２および回転部４３によって、本体部４０に対して回転自在に固定されている。

　具体的には、図１３のように、本体部４０は、切欠部が形成されており、この切欠部に、保護フィルム５ｂが貼り付けられた方向（フィルム方向）と反対側に傾斜した傾斜部４１ａを有する。この傾斜部４１ａは、フィルム方向に貫通しており、回転部材支持孔４１ｂおよび貫通孔４１ｃが形成されている。回転部材支持孔４１ｂには回転部４３が取り付けられ、回転部材支持孔４１ｂの中央部および貫通孔４１ｃには回転軸４２が挿入される。さらに、傾斜ヘッド４１には、保護フィルム５ｂに圧縮空気（気体）を吹き付ける吹き付け孔４１ｄ、吹き付け孔４１ｄとつながり配管４８に接続するための接続口４１ｅ、および、傾斜ヘッド４１を初期剥離ユニット１２（Ｚ軸方向用ステージ１２９）に固定するための固定用孔４１ｆも形成されている。圧縮空気供給部（図示せず）から供給される圧縮空気は、配管４８および接続口４１ｅを経て、押圧部材４４の後ろ側に形成された吹き付け孔４１ｄから吹き付けられる。回転部材支持孔４１ｂには、ベアリングなどの回転部４３が圧入される。回転部４３の中心部には貫通孔が形成されており、その貫通孔には、回転軸４２が挿入される。図１４のように、回転軸４２の一端には、押圧部材４４が取り付けられ、スクリューネジ４４ａにて回転軸４２と一体化される。一方、回転軸４２の他端は、固定用ナット４５によって、回転部４３を、押圧部材４４と固定用ナット４５で挟み込み、押圧部材４４が回転可能な状態で一体化される。

　一方、押圧部材４４は、少なくとも保護フィルム５ｂの稜線部を押圧する傾斜面４４ｂを有している。傾斜面４４ｂは、実施の形態１と同様、保護フィルム５ｂの稜線部に対して凸形状（具体的には円弧状の曲面）となっている。押圧部材４４は、この傾斜面４４ｂによって保護フィルム５ｂを押圧することによって、保護フィルム５ｂの端部を剥離（初期剥離）する。なお、押圧部材４４（少なくとも傾斜面４４ｂ）は、ナイロン等の比較的柔軟な樹脂から形成されていることが好ましい。

　次に、保護フィルム剥離装置１０ｂによる保護フィルム５ｂの剥離方法（剥離手順）について説明する。本実施の形態に係る保護フィルム剥離装置１０ｂを用いた保護フィルム剥離方法は、以下のステップＳ１ないしＳ６を備えている。以下では、各ステップに対応する図（図１１，図１２，図１５～図２１）を参照して、剥離方法を説明する。なお、以下の剥離動作は、保護フィルム剥離装置１０ｂの制御ユニットによって制御される。図１５～図２１は、保護フィルム剥離装置１０ｂを用いた保護フィルム５ｂの剥離工程を示す斜視図である。

　ステップＳ１（図１１，図１２，図１５，図１６）：
　ステップＳ１は、図１５のように、傾斜ヘッド４１を液晶パネル１の所定位置に搬送する工程である。具体的には、傾斜ヘッド４１を、剥離対象となる保護フィルム５ｂの端部（ここでは角部）に配置する。

　より具体的には、まず、図１２における供給ライン２０において、受渡し位置で停止している収納ボックス２３内の液晶パネル１を位置検出カメラ（図示せず）で撮像する。撮像した画像から収納ボックス２３内の液晶パネル１の位置と傾きを算出し、保護フィルム剥離装置１０ｂに送信する。次に、送信結果に基づき、搬送ロボット１１１の各軸を駆動させ、パネル吸着ハンド１１２を送信された液晶パネル１の位置に移動させる。パネル吸着ハンド１１２には、液晶パネル１の大きさに合せて、液晶パネル１を吸着把持する複数個の吸着パッド（図示せず）が均等に配置されている。各吸着パッドには、パネル吸着用エア回路（図示せず）が接続されている。各吸着パッドの吸引力は、制御ユニットが、パネル吸着用エア回路を制御することによって調整される。これにより、各吸着パッドに個別に吸引力が導かれ、適度な吸引力によって液晶パネル１を吸着することができる。

　そして、搬送テーブル３５（図１２）を用いて、保護フィルム剥離装置１０ｂを保護フィルム５ｂと平行な面内（Ｘ－Ｙ平面）の所定位置まで移動させる。次に、図１５のように、保護フィルム剥離装置１０ｂを矢印７１方向で示すように上昇させる。そして、図１６のように、押圧部材４４をＴＦＴ基板２の下面部２ａに接触させると共に、更に、例えば、約１～３ｍｍ押圧部材４４を押し付けるように、搬送テーブル３５で保護フィルム剥離装置１０ｂを上昇させる。これにより、押圧部材４４が取り付けられた傾斜ヘッド４１自体は、ＴＦＴ基板２の下面部２ａに当った位置で停止する。一方、保護フィルム剥離装置１０ｂ本体は、設定された約１～３ｍｍ上昇し、Ｚ軸方向用ステージ１２９に設けられたバネ６７によって、押圧部材４４が、ＴＦＴ基板２の下面部２ａを押圧することとなる。これにより、弾性力を持った状態で、保護フィルム剥離装置１０ｂ（傾斜ヘッド４１）の位置調整が行われる。

　ステップＳ２（図１１，図１６，図１７）：
　ステップＳ２は、図１６のように、押圧部材４４の傾斜面４４ｂを、保護フィルム５ｂの稜線部５ｃに押し付け、保護フィルム５ｂのＸ軸方向に所定の位置まで押圧する工程（第１押圧工程）である。

　具体的には、まず、制御ユニットは、Ｘ軸電動シリンダ１２５を駆動させ、Ｘ軸方向用テーブル１２４ａを移動させる。これにより、図１７のように、押圧部材４４がＸ軸方向（矢印７２方向）に移動し、図１６のように、保護フィルム５ｂの側面に形成された稜線部５ｃに押圧部材４４の傾斜面４４ｂが接触する。更に、例えば、約３ｍｍ押圧部材４４を押し付けるように、Ｘ軸電動シリンダ１２５を駆動させ、Ｘ軸方向用テーブル１２４ａを移動させる。傾斜面４４ｂは、保護フィルム５ｂの稜線部５ｃに対して保護フィルム５ｂの方向に傾斜しているため、傾斜ヘッド４１が保護フィルム５ｂに近づくと、まず、保護フィルム５ｂの側面部に接触し、保護フィルム５ｂの稜線部５ｃを押圧する。その後、傾斜ヘッド４１は、偏光板４ｂの側面部に接触する。その結果、傾斜ヘッド４１自体は、偏光板４ｂの側面に当った位置で停止するが、Ｘ軸方向用テーブル１２４ａは設定された約３ｍｍ移動する。このため、押圧テーブル１２８に設けた押圧バネ６８によって、押圧部材４４の傾斜面４４ｂが、保護フィルム５ｂの稜線部５ｃを押圧することとなる。これにより、剥離対象となる保護フィルム５ｂが変形する。その結果、偏光板４ｂと保護フィルム５ｂとの間に隙間が生じる。

　ステップＳ３（図１１，図１６，図１８）：
　ステップＳ３は、図１６および図１８のように、傾斜ヘッド４１に設けた吹付け用孔４１ｄから、保護フィルム５ｂの端部に向けて圧縮空気４６を吹き付ける吹き付け工程である。

　具体的には、まず、制御ユニットは、圧縮空気供給部から供給された圧縮空気４６を、傾斜ヘッド４１に設けた吹付け用孔４１ｄから、押圧部材４４の後ろから圧縮空気４６を吹き付ける。これにより、第１押圧工程によって生じた偏光板４ｂと保護フィルム５ｂとの間の隙間に、圧縮空気４６が入り込むことで、隙間を大きくして保護フィルム５ｂを剥離する。

　ステップＳ４（図１１、図１６、図１９）：
　ステップＳ４は、図１９のように、押圧部材４４の傾斜面４４ｂを保護フィルム５ｂの稜線部５ｃに押し付けると共に、圧縮空気４６を吹き付けた状態のまま、押圧部材４４を回転させながら、保護フィルム５ｂのＹ軸方向（矢印７３）の所定位置まで移動させる工程（第２押圧工程）である。

　具体的には、制御ユニットは、吹付け用孔４１ｄ（図１６）から保護フィルム５ｂの端部に圧縮空気４６を吹き付けた状態のまま、押圧部材４４の傾斜面４４ｂによって、保護フィルム５ｂの稜線部５ｃ（図１６）を押圧する。そして、この状態で、Ｙ軸電動シリンダ１２６（図１１）を駆動させ、Ｙ軸方向用テーブル１２４ｂを移動させる。例えば、傾斜ヘッド４１の押圧部材４４が、Ｙ軸方向（矢印７３方向）に約１４ｍｍ移動するように、Ｙ軸方向用テーブル１２４ｂを移動させる。

　図１９のように、押圧部材４４は、回転軸４２を介して回転部４３に取り付けられているため、本体部４０に対して回転可能となっている。このため、押圧部材４４をＹ軸方向に移動させると、保護フィルム５ｂと押圧部材４４の傾斜面４４ｂとの間に生じる摩擦抵抗に対して、押圧部材４４が、保護フィルム５ｂの稜線部５ｃを転がりながら移動する。これにより、傾斜面４４ｂによって押圧された保護フィルム５ｂの端部が変形し、偏光板４ｂと保護フィルム５ｂとの間に隙間を形成しながら移動することができる。従って、押圧部材４４を固定したまま（押圧部材４４を回転させずに）移動させた場合と比べて、摩擦抵抗によって保護フィルム５ｂが引き摺られながら剥離するのを防ぐことができる。それゆえ、保護フィルム５ｂ側に設けられた粘着剤が偏光板４ｂ表面に残ること無く、保護フィルム５ｂを綺麗に剥離することができる。

　なお、押圧部材４４をＹ軸方向に移動させる際、吹付け用孔４１ｄから、保護フィルム５ｂの端部に向けて圧縮空気４６を吹き付けなくてもよい。しかし、圧縮空気４６を吹き付けながら、押圧部材４４を保護フィルム５ｂの稜線部５ｃに沿って移動させることが好ましい。これにより、押圧部材４４の傾斜面４４ｂにより保護フィルム５ｂが押し付けられ変形した隙間に、圧縮空気４６を吹き付けることができる。従って、偏光板４ｂと保護フィルム５ｂとの隙間を大きくすることができる。

　ステップＳ５（図２０）：
　ステップＳ５は、ステップＳ１～Ｓ４によって液晶パネル１から剥離された保護フィルム５ｂの一部を、把持ユニット１３により把持する工程である。

　具体的には、制御ユニットは、圧縮空気４６の供給を停止し、把持ユニット１３のエアシリンダ１３３を制御して把持部１３２によって、剥離された保護フィルム５ｂを把持する。また、制御ユニットは、Ｘ軸電動シリンダ１２５とＹ軸電動シリンダ１２６とを制御して、傾斜ヘッド４１を初期位置に戻す。

　以上のステップＳ１～Ｓ５によって、保護フィルム５ｂの初期剥離が完了する。

　ステップＳ６（図１２、図２１）：
　ステップＳ６は、図２１のように、ステップＳ５によって保護フィルム５ｂを把持ユニット１３で把持した状態で、所定の位置まで剥離を行う保護フィルム剥離工程である。

　具体的には、保護フィルム５ｂの角部を把持ユニット１３で把持した状態で、制御ユニットは、搬送ロボット１１１の各軸を駆動させて、矢印５３方向（液晶パネル１から離れる方向）に、液晶パネル１を吸着把持したパネル吸着ハンド１１２を移動させる。図２１のように、保護フィルム５ｂの角部を把持ユニット１３で把持しているため、パネル吸着ハンド１１２の移動に伴って、保護フィルム５ｂが偏光板４ｂから剥離される。パネル吸着ハンド１１２が剥離完了位置まで来ると、制御ユニットは、エアシリンダ１３３を制御して把持していた保護フィルム５ｂの角部を開放する。剥離された保護フィルム５ｂは、図１２のように、直下のフィルム回収ボックス１４へ落下する。以上で、液晶パネル１の裏側の偏光板４ｂから保護フィルム５ｂの剥離を完了する。

　その後、制御ユニットは、搬送ロボット１１１の各軸を駆動させて、液晶パネル１を吸着把持したパネル吸着ハンド１１２を組立ライン２９の組付け位置へ移動させる。この時、組立ライン３０の組付け位置では、バックライトモジュール６が載った組立パレット３３が停止しており、位置決め装置３２によって、組立パレット３３上のバックライトモジュール６の位置決めを行う。制御ユニットは、搬送ロボット１１１の各軸を駆動させて、液晶パネル１を位置決めされたバックライトモジュール６上に組付け、パネル吸着用エア回路を制御して液晶パネル１の吸着把持を解除する。

　次に、制御ユニットは、搬送ロボット１１１の各軸を駆動させてパネル吸着ハンド１１２をバックライトモジュール６上から退避させる。パネル吸着ハンド１１２が退避すると、組立ライン２９は組立コンベア３１を動作させて、バックライトモジュール６を載せた組立ライン２９を後工程に搬送し、一連の動作を完了する。

　以上のように、本実施形態に係る保護フィルム剥離装置１０ｂは、液晶パネル１の表面に貼られた保護フィルム５ｂを剥離するため、保護フィルム５ｂが貼られた方向と反対側に傾斜した傾斜部４１ａを有する傾斜ヘッド４１と、傾斜ヘッド４１を保護フィルム２４ｂのＹ軸方向およびＸ軸方向とＺ軸方向に移動させるための可動ユニットと、剥離した保護フィルム５ｂの一部を把持するための把持ユニット１３とを備えている。また、本実施の形態に係る保護フィルム５ｂの剥離方法は、保護フィルム剥離装置１０ｂを用いるものである。この剥離方法は、傾斜ヘッド４１を液晶パネル１の所定位置に搬送する工程と、押圧部材４４の傾斜面４４ｂを保護フィルム５ｂの稜線部５ｃに押し付け、保護フィルム５ｂのＸ軸方向に所定の位置まで押圧する第１押圧工程と、傾斜ヘッド４１に設けた吹付け用孔４１ｄから、保護フィルム５ｂの端部に向けて圧縮空気４６を吹き付ける吹き付け工程と、吹付け用孔４１ｄから圧縮空気４６を吹き付けた状態のまま、押圧部材４４を、保護フィルム５ｂのＹ軸方向に、所定の位置まで回転しながら移動させる第２押圧工程と、把持ユニット１３で、液晶パネル１から剥離した保護フィルム２４ｂの一部を把持し、所定の位置まで剥離を行う工程とを備えている。

　このような構成により、粘着テープを用いることなく、フィルム端部の剥離（フィルムの初期剥離）を容易に行うことのできるフィルム剥離装置および剥離方法を実現することができるという効果を奏する。

　なお、本発明は、以下のように表現することもできる。
〔１〕剥離されるべきフィルム（例えば保護フィルム）が貼り付けられた被保護部材から、そのフィルムを剥離する装置において、上記フィルムが貼り付けられた被保護部材の側面を押圧する押圧手段と、押圧手段による押圧によって生じた上記フィルムと被保護部材との隙間に気体を吹き付ける吹き付け手段と、吹き付け手段による気体の吹き付けによる上記フィルムの剥離を一定量で抑える剥離防止手段と、剥離防止手段との間でフィルムを把持する把持手段を備え、押圧手段は、被保護部材の側面に対して傾きを有するように、被保護部材の側面を押圧することを特徴とするフィルム剥離装置。

　本発明のフィルム剥離装置は、剥離されるべきフィルムが貼り付けられた被保護部材からフィルムを剥離する。上記の構成によれば、フィルム剥離装置が、フィルムが貼り付けられた被保護部材の側面を押圧する押圧手段（傾斜ヘッド）と、押圧手段の押圧によって生じたフィルムと被保護部材との隙間に気体を吹き付ける吹き付け手段と、吹き付け手段による気体の吹き付けによるフィルムの剥離を一定量で抑える剥離防止手段と、剥離防止手段との間でフィルムを把持する把持手段とを備えている。そして、押圧手段が、被保護部材の側面に対して傾きを有するように、被保護部材の側面を押圧する。これにより、被保護部材の位置精度や厚さのばらつきを考慮する必要なく、フィルムを押圧することができ、確実にフィルムと被保護部材との間の隙間を生じさせることができる。

　このように、上記の構成によれば、保護フィルムを被保護部材から剥離する際に、粘着テープのような副資材を使用せずに、保護フィルムを容易に剥離することができる。

　〔２〕上記〔１〕に記載のフィルム剥離装置において、被保護部材の側面を押圧する押圧手段の、被保護部材の側面と接触する部分の形状が、円弧状であることを特徴とするフィルム剥離装置。

　上記の構成によれば、被保護部材の側面を押圧する押圧手段の、被保護部材の側面と接触する部分の形状が円弧状である。これにより、押圧手段が被保護部材を押圧する時に生じるダメージを無くすことができる。

　〔３〕上記〔１〕に記載のフィルム剥離装置において、被保護部材の側面を押圧する押圧手段は、被保護部材を押圧する方向とフィルム貼り付け面方向に対して、個別に弾性を有するスライド手段を備えることを特徴とするフィルム剥離装置。

　上記の構成によれば、押圧手段が、被保護部材を押圧する方向と、フィルム貼り付け面方向とに対して、個別に弾性を有するスライド手段を備えている。これにより、被保護部材の位置がずれた場合でも、被保護部材の側面を所定の押圧力以内で押圧することができる。

　〔４〕上記〔１〕に記載のフィルム剥離装置において、剥離防止手段が、吹き付け手段による気体の吹き付けによって剥離されたフィルムを、圧力差で吸着する吸着手段を備えることを特徴とするフィルム剥離装置。

　上記の構成によれば、剥離防止手段に設けられた吸着手段が、吹き付け手段による気体の吹き付けによって剥離されたフィルムを圧力差で吸着する。これにより、フィルムが剥離されたことを圧力差から検知できる。従って、フィルムの剥離完了に時間差があっても、吸着手段によって確実にフィルムを把持することができる。

　〔５〕上記〔１〕～〔４〕のいずれかのフィルム剥離装置において、被保護部材の側面を押圧する押圧手段が、被保護部材の側面を押圧した状態で、押圧手段を被保護部材の側面に沿って移動させる移動手段を備えることを特徴とするフィルムの剥離装置。

　上記の構成によれば、移動手段が、押圧手段が被保護部材の側面を押圧した状態で、押圧手段を被保護部材の側面に沿って移動させる。これにより、フィルムと被保護部材との間に生じる隙間を広げると、吹き付け手段が気体を吹き付けたときのフィルムの剥離が素早く始まるため。従って、フィルムの剥離に要する時間を短縮することができる。

　〔６〕板状体に貼り付けられたフィルムの端部を押圧部材により押圧することでフィルムの端部を剥離するフィルム剥離装置であって、上記板状体からフィルム方向に対してフィルムの面内方向に傾斜した傾斜面を有する傾斜ヘッドを備え、上記傾斜ヘッドの傾斜面を上記フィルムの角部に押し当てることを特徴とするフィルム剥離装置。

　上記の構成によれば、傾斜ヘッドの傾斜面が板状体およびフィルムの各角部を押圧することによって、フィルム端部が剥離される。従って、最も高速（短時間）でのフィルム剥離が可能となる。

　また、傾斜ヘッドの傾斜面は、板状体からフィルム方向に対してフィルム表面の面内方向に傾斜している。このため、押圧部材が剥離対象となるフィルムに近づくと、板状体の角部よりも先に、剥離対象となるフィルムの角部を押圧する。これにより、剥離対象となるフィルムが変形する。その結果、板状体とフィルムとの間に隙間が生じる。従って、フィルム端部の剥離（初期剥離）を容易に行うことができる。

　しかも、傾斜ヘッドは、板状体およびフィルムの各角部を押圧するため、フィルムおよび板状体の厚さに関係なく、フィルム端部の剥離を容易に行うことができる。

　なお、本発明のフィルム剥離装置および剥離方法では、フィルムを剥離するために、粘着テープ等の副資材（最終製品には存在しない資材）を用いる必要がない。

　〔７〕上記傾斜ヘッドが上記板状体と接触する傾斜面が平面であることを特徴とする上記〔６〕に記載のフィルム剥離装置。

　上記の構成によれば、板状体およびフィルムの角部に接触する、傾斜ヘッドの傾斜面が平面（平坦）である。このため、板状体の位置精度によらず、その角部を押圧しやすくなる。また、傾斜ヘッドと板状体の側面との成す角が鋭角になるため、板状体に貼り付けられているフィルムの角部を確実に押圧し、フィルムを剥がすことができる。従って、板状体および保護フィルムの厚さによる誤差や、板状体の位置ずれが生じた場合にも、確実にフィルム角部を押圧し、短時間でフィルムを剥離することができる。

　〔８〕上記傾斜ヘッドを移動させることスライド部を有し、上記傾斜ヘッドが上記板状体と接触する面に沿って、上記傾斜ヘッドを移動させることを特徴とする上記〔６〕または〔７〕に記載のフィルム剥離装置。

　上記の構成によれば、スライド部が傾斜ヘッドを移動させることによって、傾斜ヘッドによる初期剥離を行う。これにより、初期剥離を簡便に行うことができる。また、上記の構成によれば、スライド部は、傾斜ヘッドが板状体およびフィルムの各側面を押圧した状態を維持して、板状体およびフィルムの各側面に沿って移動させる。これにより、フィルムの初期剥離が素早く開始される。従って、フィルムの初期剥離時間を短縮することができる。

　〔９〕上記板状体は板状体外形より少し大きい基板に貼り付けられ、上記傾斜ヘッドの傾斜面がフィルム角部と当接した位置で、上記傾斜ヘッドの傾斜面が基板の外形面からはみ出す大きさを有することを特徴とする上記〔６〕～〔８〕のいずれかに記載のフィルム剥離装置。

　上記の構成によれば、吹付け部が、傾斜ヘッドの押圧により生じた板状体とフィルムとの隙間に気体を吹き付ける。これにより、板状体とフィルムとの隙間を大きくすることができる。従って、フィルムの初期剥離を確実に行うことができる。また、剥離防止部を備えるため、所定量以上にフィルムが剥離されるのを防止することができる。さらに、把持部が、傾斜ヘッドによって初期剥離されたフィルムを把持する。このため、初期剥離後の全面剥離を容易に行うことができる。

　〔１０〕上記傾斜ヘッドによる押圧によって生じた板状体とフィルムとの隙間に気体を吹き付ける吹付け部と、上記吹付け部の気体の吹付けによるフィルムの剥離量を一定量に抑える剥離防止部と、上記剥離防止部との間に、剥離されたフィルムを把持する把持部とを備えることを特徴とする上記〔６〕～〔９〕のいずれかに記載のフィルム剥離装置。

　〔１１〕上記〔６〕～〔１０〕のいずれかに記載のフィルム装置を用い、上記傾斜ヘッドを上記板状体およびフィルムの角部に押し当てることを特徴とするフィルム剥離方法。上記の方法によれば、上記〔６〕による効果と同様に、傾斜ヘッドの傾斜面が板状体およびフィルムの各角部を押圧することによって、フィルム端部が剥離される。従って、最も高速（短時間）でのフィルム剥離が可能となる。

　〔１２〕フィルムが貼られた方向と反対側に傾斜した傾斜部を有する傾斜ヘッドと、前記傾斜ヘッドを前記フィルムの長辺方向および短辺方向と厚み方向に移動させるための可動ユニットと、剥離した前記フィルムの一部を把持するための把持ユニットとを備えたフィルム剥離装置で、前記傾斜ヘッドは、前記フィルムの端部に対して、前記フィルムの稜線部を押圧する傾斜面を有する押付部材（押圧部材）と、前記押付部材を回転させるための回転軸および回転部で構成され、更に、前記フィルムの端部に向けて、気体を吹き付ける吹付け用孔が設けられていることを特徴とするフィルム剥離装置。

　上記の構成によれば、前記可動ユニット部に取り付けられた前記傾斜ヘッドを前記フィルムの端部に向けて移動させた際、前記傾斜ヘッドに設けられた前記押付部材の傾斜部が、前記フィルムの稜線部（フィルム表面と側面とが成す頂辺部）を押圧する。これにより、前記フィルムが変形し、その変形した部分に、前記吹付け用孔から気体が吹き付け、矩形の板状体と前記フィルムとの間に隙間を生じさせる。従って、フィルムを剥離するための粘着テープ等を用いること無く、容易にフィルム端部の剥離を行うことができる。

　〔１３〕前記傾斜ヘッドは、前記フィルムの稜線部に前記押付部材の傾斜部を押圧したままの状態で、前記フィルムの長辺方向または短辺方向に移動させる際に生じる摩擦抵抗に対して、前記押付部材が前記回転軸および前記回転部によって、前記フィルムの稜線部を転がりながら移動することを特徴とする上記〔１２〕に記載のフィルム剥離装置。

　上記の構成によれば、前記傾斜ヘッドを長辺方向または短辺方向に移動させる際、前記押付部材は前記フィルムとの摩擦抵抗に対して、前記押付部材が転がりながら移動する。これにより、前記フィルムの押し付けられた部分が変形し、矩形の板状体と前記フィルムとの間に隙間を形成しながら移動することができる。従って、前記押付部材を固定したまま移動した場合と比べて、摩擦抵抗によって前記フィルムが引き摺られながら剥離するのを防ぐことが可能となる。それゆえ、前記フィルム側に設けられた粘着剤が板状体表面に残ること無く、綺麗に剥離することができる。

　〔１４〕前記傾斜ヘッドは、前記フィルムの稜線部に前記押付部材の傾斜部を押圧したままの状態で、前記フィルムの長辺方向または短辺方向に移動させる際、前記吹付け用孔から、前記フィルムの端部に向けて気体を吹き付けながら、前記フィルムの稜線部を移動する上記〔１２〕に記載のフィルム剥離装置。

　上記の構成によれば、前記傾斜ヘッドを長辺方向または短辺方向に移動させる際、前記吹付け用孔から気体を吹き付けながら移動することにより、押し付けられ変形した隙間に気体が吹き付けられる。これにより、矩形の板状体と前記フィルムとの隙間を大きくすることができる。更に、エアノズルを別途設けること無く、前記傾斜ヘッドと一体化することで、エアノズルを設置する部材や、押し付けられ変形した隙間に気体を吹き付けるための前記エアノズルの位置調整や、他の部材との干渉問題などについての対応が不要となる。

　〔１５〕前記押付部材は、円筒状の形をしており、ナイロンなどの樹脂でできていることを特徴とする上記〔１２〕～〔１４〕のいずれか１つに記載のフィルム剥離装置。

　上記の構成によれば、前記傾斜ヘッドを長辺方向または短辺方向に移動させる際、円筒状した前記押付部材が、前記回転軸および前記回転部によって転がり易くなり、ナイロンなどの樹脂を用いることで、矩形の板状体に傷を付けること無く押し付けることができる。しかも、前記押付部材が回転することにより、回転なしで移動させた時と比べて、前記押付部材の磨耗が少なくなる。従って、前記押付部材の交換頻度を減らすことで、消耗部品の一つである前記押付部材の部品コストを下げることができる。

　〔１６〕矩形の板状体の表面に貼られたフィルムを剥離するため、前記フィルムが貼られた方向と反対側に傾斜した傾斜面を有する傾斜ヘッドと、前記傾斜ヘッドを前記フィルムの長辺方向および短辺方向と厚み方向に移動させるための可動ユニット部と、剥離したフィルムの一部を把持するための把持ユニット部とを備えたフィルム剥離装置を用いたフィルム剥離方法であって、前記傾斜ヘッドを矩形の板状体の所定位置に持って行く工程と、前記傾斜ヘッドの傾斜面に取り付けられた押付部材の傾斜部を前記フィルムの稜線部に押し付け、前記フィルムの長辺方向または短辺方向に所定の位置まで押圧する第１押圧工程と、前記傾斜ヘッドに設けた吹付け用孔から、前記フィルムの端部に向けて気体を吹き付ける吹き付け工程と、前記吹付け用孔から気体を吹き付けた状態のまま、前記押付部材を、前記フィルムの長辺方向または短辺方向に、前記可動ユニット部により、所定の位置まで転がりながら移動させる第２押圧工程と、前記把持ユニット部で、矩形の板状体から剥離した前記保護フィルムの一部を把持し、所定の位置まで剥離を行うフィルム初期剥離工程を備えることを特徴とするフィルム剥離方法。

　上記の発明によれば、粘着テープを用いることなく、フィルム端部の剥離（フィルムの初期剥離）を容易に行うことのできるフィルム剥離装置および剥離方法を実現することができる。

　なお、本発明のフィルム剥離方法は、板状体に貼り付けられたフィルムの端部を板状体から剥離するフィルム剥離方法であって、剥離対象となるフィルムの側面部を押圧した後、板状体の側面部を押圧することによって、フィルムの端部を剥離する方法であるともいえる。

　本発明のフィルム剥離装置では、上記傾斜ヘッドの傾斜面は、押圧する上記フィルムの稜線部に対して、凸形状を有してなることが好ましい。

　上記の構成によれば、傾斜ヘッドの傾斜面が押圧するフィルムの稜線部に、適度な押圧力を加えることができる。従って、板状体を傷つけることなく、簡便にフィルムを剥離することができる。さらに傾斜ヘッドの傾斜面は、上記フィルムの角部を押圧することが好ましい。この場合、傾斜ヘッドの傾斜面が、フィルムの角部に当接して押圧することによって、フィルムの角部から剥離される。すなわち、傾斜ヘッドが剥離対象となるフィルムに近づくと、板状体よりも先に、剥離対象となるフィルムの角部を押圧する。これにより、剥離対象となるフィルムが変形する。その結果、板状体とフィルムとの間に隙間が生じる。従って、フィルムの角部の剥離を容易に行うことができる。

　本発明のフィルム剥離装置では、上記傾斜ヘッドの傾斜面は、平面であることが好ましい。

　フィルムに対する、傾斜ヘッドの配置誤差が大きいと、目的とする部位を押圧することができず、場合によっては、フィルムを剥離できない。特に、フィルムの角部を押圧する場合、傾斜ヘッドの配置誤差が大きいと、フィルムの剥離に失敗しやすい。

　上記の構成によれば、フィルムと接触する傾斜ヘッドの傾斜面が、平面（平坦）である。これにより、傾斜面が曲面の場合に比べて、フィルムの稜線部と接触できる部分が広くなる。つまり、傾斜ヘッドの配置誤差（フィルムに対する位置ズレ）の許容範囲が、大きくなる。しかも、傾斜ヘッドの傾斜面は傾斜しているため、その傾斜面と、板状体の側面とのなす角が鋭角になる。このため、フィルムの側面部（特に、角部）に確実に当接する。

　従って、たとえ、傾斜ヘッドの配置誤差が生じたり、板状体およびフィルムの厚さに誤差が生じたりしていても、より確実にフィルムを押圧することができる。それゆえ、フィルムの剥離に失敗することなく、フィルムを確実に剥離することができる。

　本発明のフィルム剥離装置では、上記板状体は、上記板状体の外形よりも大きい基板上に設けられており、上記傾斜ヘッドの傾斜面が上記フィルムの角部に当接したとき、上記傾斜ヘッドの傾斜面が、上記基板の外形からはみ出す部分を有することが好ましい。

　ここで、上記板状体が、上記板状体よりも大きな基板上に貼り付けられている場合、本発明のフィルム剥離装置を用いるためには、上記傾斜ヘッドの底部は、基板上に乗り上げかつ板状体に乗り上げないような位置に上記傾斜ヘッドを下ろす必要がある。

　上記の構成によれば、傾斜ヘッドの傾斜面が、フィルムの角部に当接した位置にあるとき、傾斜ヘッドの傾斜面の一部が、板状体よりも大きい基板からはみ出るようになっている。これにより、傾斜ヘッドの配置誤差や板状体およびフィルムの配置誤差があっても、傾斜ヘッドを上記基板上に載せることができる。よって、傾斜ヘッドや板状体およびフィルムの配置精度を厳格に管理せずに、フィルム端部の剥離（初期剥離）が可能となる。

　本発明のフィルム剥離装置では、上記傾斜ヘッドによる押圧によって生じた板状体とフィルムとの隙間に気体を吹き付ける吹付け部と、上記吹付け部の気体の吹付けによるフィルムの剥離量を一定量に抑える剥離防止部と、上記吹付け部によって上記剥離防止部まで剥離されたフィルムを把持する把持部とを備える構成であってもよい。

　上記の構成によれば、吹付け部が、傾斜ヘッドによる押圧により生じた板状体とフィルムとの隙間に気体を吹き付ける。これにより、板状体とフィルムとの隙間を大きくすることができる。従って、フィルムの初期剥離を確実に行うことができる。また、剥離防止部を備えるため、所定量以上にフィルムが剥離されるのを防止することができる。さらに、把持部が、傾斜ヘッドによって初期剥離されたフィルムを把持する。このため、初期剥離後の全面剥離を容易に行うことができる。

　本発明のフィルム剥離装置では、上記傾斜ヘッドを移動させるためのスライド部を備える構成であってもよい。

　上記の構成によれば、スライド部が傾斜ヘッドを移動させることによって、傾斜ヘッドによる初期剥離を行う。これにより、初期剥離を簡便に行うことができる。

　本発明のフィルム剥離装置では、上記スライド部は、上記傾斜ヘッドが、少なくとも上記フィルムの稜線部を押圧した状態で、上記稜線部に沿って、上記傾斜ヘッドを移動させてもよい。

　上記の構成によれば、スライド部は、傾斜ヘッドがフィルムの稜線部を押圧した状態を維持して、フィルムの稜線部に沿って移動させる。これにより、フィルムの初期剥離が素早く開始される。従って、フィルムの初期剥離時間を短縮することができる。

　本発明のフィルム剥離装置では、上記剥離防止部が、上記傾斜ヘッドによって剥離されたフィルムを吸着保持する吸着部を備えてもよい。

　上記の構成によれば、剥離防止部に設けられた吸着部が、傾斜ヘッドにより剥離されたフィルムを保持する。従って、フィルムの剥離完了に時間差があっても、吸着部によって確実にフィルムを把持することができる。

　本発明のフィルム剥離装置では、上記傾斜ヘッドは、上記フィルムの稜線部を押圧する傾斜面を有する押圧部材と、上記押圧部材を回転自在に保持するための回転軸および回転部とを備えていてもよい。

　上記の構成によれば、傾斜ヘッドは、フィルムの稜線部を押圧する押圧部材を備えており、この押圧部材が、回転自在に保持されている。これにより、傾斜ヘッドがフィルムを押圧した状態でフィルムの稜線部に沿って移動すると、フィルムとの摩擦抵抗に対し押圧部材が回転する。このため、押圧部材が回転しない場合に比べて、摩擦抵抗によってフィルムが引き摺られながら剥離するのを防ぐことが可能となる。従って、板状体に接着するためにフィルム側に設けられた粘着剤が板状体表面に残ること無く、フィルムを綺麗に剥離することができる。

　本発明のフィルム剥離装置では、上記傾斜ヘッドによる押圧によって生じた板状体とフィルムとの隙間に気体を吹き付ける吹付け部を備え、上記吹付け部は、上記スライド部による傾斜ヘッドの移動時に、気体を吹き付けてもよい。

　上記の構成によれば、傾斜ヘッドがフィルムを押圧した状態でフィルムの稜線部に沿って移動する際、板状体とフィルムとの間に形成された隙間に対し、吹付け部から気体が吹き付けられる。これにより、板状体とフィルムとの隙間を大きくすることができる。従って、フィルムの初期剥離を確実に行うことができる。

　なお、傾斜ヘッドと吹付け部（例えばエアノズル）を一体化すれば、吹付け部を設置する部材や、吹付け部材の位置調整や、他の部材との干渉問題などについての対応が不要となる。

　本発明のフィルム剥離装置では、上記押圧部材が、樹脂から形成されていることが好ましい。

　上記の構成によれば、押圧部材が、比較的柔軟な樹脂から形成されている。これにより、傾斜ヘッドがフィルムを押圧した状態でフィルムの稜線部に沿って移動する際に、傾斜ヘッドの回転軸および回転部が回転しやすくなる。従って、フィルムをより綺麗に剥離することができる。また、押圧部材の磨耗が少なくなるため、押付部材の交換頻度を減らすことで、消耗部品の一つである押付部材の部品コストを下げることができる。

　また、上述のように、傾斜ヘッドの傾斜面（押圧部材に形成された傾斜面）は、押圧する上記フィルムの稜線部に対して、凸形状（例えば、円筒状）を有してなっている。このため、フィルムの稜線部に適度な押圧力を加えることもできる。従って、板状体を傷つけることなく、フィルムを剥離することができる。

　なお、押圧部材の材料となる樹脂は、例えば、ナイロン等を挙げることができる。

　なお、本発明のフィルム剥離装置は、傾斜ヘッドの傾斜面が、上記板状体およびフィルムの各側面部を押圧することによって、フィルムの端部を剥離するものであってもよい。

　また、本発明のフィルム剥離方法は、傾斜ヘッドの傾斜面により、上記板状体およびフィルムの各側面部を押圧することによって、フィルムの端部を剥離するものであってもよい。

　上記の構成によれば、傾斜ヘッドの傾斜面が板状体およびフィルムの各側面を押圧することによって、フィルム端部が剥離される。傾斜ヘッドの傾斜面は、板状体からフィルム方向に対してフィルム表面の面内方向に傾斜している。このため、傾斜ヘッドが剥離対象となるフィルムに近づくと、板状体の側面部よりも先に、剥離対象となるフィルムの側面部を押圧する。これにより、剥離対象となるフィルムが変形する。その結果、板状体とフィルムとの間に隙間が生じる。従って、フィルム端部の剥離（初期剥離）を容易に行うことができる。

　しかも、傾斜ヘッドは、板状体およびフィルムの各側面部を押圧するため、フィルムおよび板状体の厚さに関係なく、フィルム端部の剥離を容易に行うことができる。

　本発明のフィルム剥離装置では、上記板状体の側面とフィルムの側面とが、同一平面上にあってもよい。

　上記の構成によれば、板状体およびフィルムの各側面が、面一になっているため、傾斜ヘッドが剥離対象となるフィルムを確実に押圧しやすくなる。従って、フィルムの剥離が容易になる。

　本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能である。すなわち、請求項に示した範囲で適宜変更した技術的手段を組み合せて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。

　本発明は、例えば、液晶テレビなどの電気製品の組立工程において、傷などを防ぐために用いられた保護フィルムを剥離する装置および方法に好適に利用できる。

　　１　　液晶パネル
　　２　　ＴＦＴ基板（基板）
　　３　　カラーフィルター基板（基板）
　　４　　偏光板（板状体）
　　５　　保護フィルム（フィルム）
　５ｃ　　稜線部
　１０，１０ａ，１０ｂ　保護フィルム剥離装置（フィルム剥離装置）
　１３　　把持ユニット（把持部）
　４１　　傾斜ヘッド
　４１ａ　傾斜面
１２１　　傾斜ヘッド
１２２　　Ｚ軸スライド機構（スライド部）
１２３　　Ｙ軸スライド機構（スライド部）
１２７　　エアノズル（吹付け部）
１３１　　剥離防止部
１３１ａ　吸引穴（吸着部）

Claims

　板状体に貼り付けられたフィルムの端部を、板状体から剥離するフィルム剥離装置であって、
　フィルム方向に傾斜した傾斜ヘッドを備え、
　上記傾斜ヘッドの傾斜面は、少なくとも上記フィルムの稜線部を押圧することによって、上記板状体から上記フィルムの端部を剥離することを特徴とするフィルム剥離装置。
　上記傾斜ヘッドの傾斜面は、押圧する上記フィルムの稜線部に対して、凸形状を有してなることを特徴とする請求項１に記載のフィルム剥離装置。
　上記傾斜ヘッドの傾斜面は、平面であることを特徴とする請求項１に記載のフィルム剥離装置。
　上記板状体は、上記板状体の外形よりも大きい基板上に設けられており、
　上記傾斜ヘッドの傾斜面が上記フィルムの角部に当接したとき、上記傾斜ヘッドの傾斜面が、上記基板の外形からはみ出す部分を有することを特徴とする請求項３に記載のフィルム剥離装置。
　上記傾斜ヘッドによる押圧によって生じた板状体とフィルムとの隙間に気体を吹き付ける吹付け部と、
　上記吹付け部の気体の吹付けによるフィルムの剥離量を一定量に抑える剥離防止部と、
　上記吹付け部によって上記剥離防止部まで剥離されたフィルムを把持する把持部とを備えることを特徴とする請求項１～４のいずれか１項に記載のフィルム剥離装置。
　上記傾斜ヘッドを移動させるためのスライド部を備えることを特徴とする請求項２に記載のフィルム剥離装置。
　上記スライド部は、上記傾斜ヘッドが、少なくとも上記フィルムの稜線部を押圧した状態で、上記稜線部に沿って、上記傾斜ヘッドを移動させることを特徴とする請求項６に記載のフィルム剥離装置。
　上記剥離防止部は、上記傾斜ヘッドによって剥離されたフィルムを吸着保持する吸着部を備えることを特徴とする請求項５に記載のフィルム剥離装置。
　上記傾斜ヘッドは、上記フィルムの稜線部を押圧する傾斜面を有する押圧部材と、上記押圧部材を回転自在に保持するための回転軸および回転部とを備えることを特徴とする請求項７に記載のフィルム剥離装置。
　上記傾斜ヘッドによる押圧によって生じた板状体とフィルムとの隙間に気体を吹き付ける吹付け部を備え、
　上記吹付け部は、上記スライド部による傾斜ヘッドの移動時に、気体を吹き付けることを特徴とする請求項９に記載のフィルム剥離装置。
　上記押圧部材が、樹脂から形成されていることを特徴とする請求項９または１０に記載のフィルム剥離装置。
　板状体に貼り付けられたフィルムの端部を、板状体から剥離するフィルム剥離方法であって、
　フィルム方向に傾斜した傾斜ヘッドの傾斜面により、少なくとも上記フィルムの稜線部を押圧することによって、上記板状体から上記フィルムの端部を剥離することを特徴とするフィルム剥離方法。