WO2008038778A1

WO2008038778A1 - Élément de commande de la lumière

Info

Publication number: WO2008038778A1
Application number: PCT/JP2007/068999
Authority: WO
Inventors: Yuhki Kinpara; Junichiro Ichikawa; Satoshi Oikawa
Original assignee: Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd.
Priority date: 2006-09-30
Filing date: 2007-09-28
Publication date: 2008-04-03
Also published as: CN101512416A; JP4110182B2; JP2008089936A; EP2071388B1; US7873244B2; EP2071388A4; US20090324156A1; EP2071388A1; CN101512416B

Description

明細書

光制御素子

技術分野

[0001] 本発明は、光制御素子に関し、特に、電気光学効果を有し、厚みが lO ^ m以下の薄板と、該薄板に形成された光導波路と、該光導波路を通過する光を制御するための制御電極とを有する光制御素子であり、制御電極中の信号電極が形成する信号線路の少なくとも一部が 70 Ω以上のハイ'インピーダンスとなる光制御素子に関する

〇

背景技術

[0002] 従来、光通信分野や光測定分野において、電気光学効果を有する基板上に光導波路や制御電極を形成した導波路型光変調器や導波路型光スィッチなどの各種の光制御素子が多用されている。

現在利用されている光制御素子の多くの形態は、図 1 (a)に示すような、厚さ 0. 5〜 lmm程度の電気光学結晶基板 1に、光導波路 2や信号電極 4及び接地電極 5を形成したものである。なお、図 1 (a)は Zカット型基板を用いた光変調器の例であり、符号 3は SiO膜などのバッファ層を示している。

2

[0003] 特に、導波路型光変調器にお!/、ては、光導波路内を伝搬する光波を変調制御するため、マイクロ波信号が制御電極に印加されている。このため、マイクロ波が効率的に制御電極を伝搬するためには、マイクロ波を光変調器に導入する同軸ケーブルなどの信号線路と光変調器内の制御電極とのインピーダンス整合を図る必要がある。このため、図 1 (a)に示すように、ストリップライン状の信号電極 4を接地電極 5で挟み込む形状、 V、わゆるコプレーナ型の制御電極が利用されて!/、る。

[0004] しかしながら、コプレーナ型制御電極の場合には、基板 1の電気光学効果の効率が高い方向（図 1 (a)の Zカット型基板の場合には、上下方向が該当する）に、効率的に外部電界が作用しないため、必要な光変調度を得るために、より大きな電圧が必要となる。具体的には、 LiNbO (以下、「LN」という）基板を利用し、光導波路に沿つ

3

た電極長が lcmの場合には、約 10〜； 15V程度の半波長電圧が必要となる。 [0005] また、図 1 (b)に示すように、特許文献 1には、光導波路の光波の閉じ込めを改善し、制御電極が生成する電界をより効率良く光導波路に印加するために、光導波路をリッジ型導波路 20とし、信号電極 4及び 41に対して、接地電極 5, 51 , 52をより近接配置する構成が提案されている。この構成により、ある程度の駆動電圧の低減は実現できるが、特に、高周波帯域における高速変調を実現するには、より一層の駆動電圧の低減が不可欠である。

特許文献 1 :米国特許明細書第 6, 580, 843号

[0006] また、特許文献 2には、図 1 (c)に示すように、基板を制御電極で挟み込み、電気光学効果の効率が高い方向（図 1 (c)の Zカット型基板の場合には、上下方向が該当する）に電界を印加することが提案されている。し力、も、図 1 (c)の光変調器は、電気光学効果を有する基板を分極反転し、自発分極の方向（図中の矢印方向）が異なる基板領域 10及び 11を形成すると共に、各基板領域には光導波路 2が形成されており、共通の信号電極 42と接地電極 53で各光導波路に電界を印加した場合には、各光導波路を伝搬する光波には逆向きの位相変化を発生させることが可能となる。このような差動駆動により、駆動電圧をより一層低下させることが可能となる。

特許文献 2：特許第 3638300号公報

[0007] しかしな力、図 1 (c)のような電極構造では、マイクロ波の屈折率が高くなり、光導波路を伝搬する光波と変調信号であるマイクロ波との速度整合を取ることが困難となる。しかも、インピーダンスは逆に低くなるため、マイクロ波の信号線路とのインピーダンス整合を取ることも難しくなるという欠点がある。

[0008] また、分極反転を用いた光制御素子として、特許文献 3に示すように、制御電極を構成する信号電極を途中で 2つ以上に分岐させ、同一の信号電界を複数の光導波路に印加するものが提案されて!/、る。

特許文献 3：特開 2003— 202530号公報

[0009] 特許文献 3では、図 2 (a)に示すように Zカット型基板の一部を分極反転させ、該基板上にマッハツェンダー型の光導波路（100, 101 , 102)を形成し、さらに、信号電極 103, 104, 105や接地電極 106, 107, 108を配置している。信号電極は、途中で 2つに分岐し、 2つの分岐信号線路（信号電極 104, 105)を形成している。また、図 2 (b)は、図 2 (a)の一点鎖泉 Aにおける断面図であり、各分岐導波路 101 , 102は、 Zカット型基板の異なる分極領域（110, 111)に、各々配置されている。

[0010] このように、信号線路を途中で複数に分岐する場合では、信号線路のインピーダンスは、例えば、信号電極 103の信号線路においては 50 Ω、分岐信号電極 104, 105 の分岐信号線路においては 100 Ωに設定するなど、同一の光制御素子内の信号泉路であるにも拘らず、異なるインピーダンスに設定する必要がある上、分岐信号線路にお!/、ては 70 Ω以上の極めて高!/、インピーダンスを有するように調整することが求められる。

このため、このようなインピーダンス調整を行いながら、駆動電圧の低減やマイクロ波と光波との速度整合を図ることは、極めて困難な問題となってレ、る。

[0011] 他方、以下の特許文献 4又は 5においては、 30 m以下の厚みを有する極めて薄い薄板に、光導波路並びに変調電極を組み込み、該薄板より誘電率の低い他の基板を接合し、マイクロ波に対する実効屈折率を下げ、マイクロ波と光波との速度整合を図ることが行われている。

特許文献 4：特開昭 64— 18121号公報

特許文献 5 :特開 2003— 215519号公報

[0012] しかしながら、このような薄板を用いた光変調器に対して、図 1 (a)乃至（c)のような構造の制御電極を形成した場合であっても、依然として、上述した問題は、根本的に解消されていない。図 1 (c)のような制御電極で基板を挟み込む場合には、基板の厚みを薄くした場合、マイクロ波屈折率は下がる傾向にある力光波とマイクロ波との速度整合を実現するのは困難である。電極の幅にも依存するが、例えば、 LNの薄板を用いた場合で、実効屈折率が約 5程度であり、最適値である 2. 14には及ばない。他方、インピーダンスは、基板が薄くなるに従い下がる傾向となり、インピーダンス不整合が拡大する原因となる。

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0013] 本発明が解決しょうとする課題は、上述したような問題を解決し、 70 Ω以上のハイ' インピーダンスを有する信号線路を必要とする場合であっても、マイクロ波と光波との速度整合やマイクロ波のインピーダンス整合が実現でき、しかも、駆動電圧の低減が可能な光制御素子を提供することである。

また、駆動電圧の低減により、光制御素子の温度上昇を抑制でき安定動作が可能な光制御素子を提供することであり、さらには、コストのより安い低駆動電圧型駆動装置を利用できる光制御素子を提供することである。

課題を解決するための手段

[0014] 上記課題を解決するため、請求項 1に係る発明では、電気光学効果を有し、厚み力 S lO ^ m以下の薄板と、該薄板に形成された光導波路と、該光導波路を通過する光を制御するための制御電極とを有する光制御素子にお!/、て、該制御電極は、該薄板を挟むように配置された第 1電極と第 2電極とからなり、該第 1電極は、少なくとも信号電極と接地電極とからなるコプレーナ型の電極構造を有し、該第 2電極は、少なくとも接地電極を有すると共に、第 1電極の信号電極と協働して該光導波路に電界を印加するように構成され、かつ該第 1電極の信号電極は、少なくとも 1つの信号線路が途中で 2つ以上に分岐される分岐信号線路を有していることを特徴とする。

本発明における「コプレーナ型の電極」とは、ストリップライン状の信号電極を接地電極で挟んだものを意味し、例えば、信号電極を複数のストリップラインで形成し、これら複数のストリップラインを接地電極で挟むものや、さらに、複数のストリップラインの間に接地電極を追加配置するものなども含むものである。

[0015] 請求項 2に係る発明では、請求項 1に記載の光制御素子において、該分岐信号泉路による電界が該薄板に作用する作用領域の少なくとも一部は、該薄板が分極反転されていることを特徴とする。

[0016] 請求項 3に係る発明では、請求項 1又は 2に記載の光制御素子において、該光導波路はリッジ型光導波路であることを特徴とする。

[0017] 請求項 4に係る発明では、請求項 1乃至 3のいずれかに記載の光制御素子において、該薄板と、該第 1電極又は該第 2電極との間にはバッファ層が形成されていることを特徴とする。

[0018] 請求項 5に係る発明では、請求項 1乃至 4のいずれかに記載の光制御素子において、該信号電極又は該接地電極は、透明電極又は薄板側に透明電極を配置した電極の!/、ずれかで構成されて!/、ることを特徴とする。

[0019] 請求項 6に係る発明は、請求項 3乃至 5のいずれかに記載の光制御素子において、少なくとも該リッジ型導波路の両側に配置された溝には、低誘電率膜が充填されていることを特徴とする。

[0020] 請求項 7に係る発明では、請求項 6に記載の光制御素子において、該信号電極に給電する信号線は、該第 1電極の接地電極を跨ぐあるいは潜るように配置され、該信号線と該接地電極との間には該低誘電率膜が配置されていることを特徴とする。

[0021] 請求項 8に係る発明では、請求項 1乃至 7のいずれかに記載の光制御素子において、該第 2電極は、該光導波路の形状に対応した形状を有するパターン状電極であることを特徴とする。

[0022] 請求項 9に係る発明では、請求項 1乃至 8のいずれかに記載の光制御素子において、該第 1電極の接地電極と該第 2電極の接地電極とは電気的に接続されていることを特徴とする。

[0023] 請求項 10に係る発明では、請求項 9に記載の光制御素子において、該第 1電極の接地電極と該第 2電極の接地電極との電気的接続は、該薄板に設けられたスルーホールを介して行われて!/、ることを特徴とする。

[0024] 請求項 11に係る発明では、請求項 1乃至 10のいずれかに記載の光制御素子において、該薄板は該第 1電極又は該第 2電極を挟むように接着層を介して支持基板に接着されてレ、ることを特徴とする。

[0025] 請求項 12に係る発明では、請求項 1乃至 10のいずれかに記載の光制御素子において、該薄板を補強する支持基板を有し、該第 1電極又は該第 2電極は該支持基板上に配置されて!/、ることを特徴とする。

[0026] 請求項 13に係る発明では、請求項 1乃至 12のいずれかに記載の光制御素子にお

V、て、該分岐信号線路のインピーダンスは 70 Ω以上であることを特徴とする。

[0027] 請求項 14に係る発明では、請求項 13に記載の光制御素子において、少なくとも該分岐信号線路の信号電極の幅 W、高さ T 、該信号電極と接地電極との間隔 G、及

EL

び光導波路がリッジ型光導波路である場合にはリッジの深さ Dは、該分岐信号線路における半波長電圧 Vpaiが 12V'cm以下、インピーダンス Zが 70 Ω以上 130 Ω以下、及び光とマイクロ波との屈折率差 Δ ηと該分岐信号線路の電界が光導波路に作用する作用部分の長さ Lとの積が 1. 3cm以下となるように設定されていることを特徴とする。

発明の効果

[0028] 請求項 1に係る発明により、電気光学効果を有し、厚みが 10 m以下の薄板と、該薄板に形成された光導波路と、該光導波路を通過する光を制御するための制御電極とを有する光制御素子において、該制御電極は、該薄板を挟むように配置された第 1電極と第 2電極とからなり、該第 1電極は、少なくとも信号電極と接地電極とからなるコプレーナ型の電極構造を有し、該第 2電極は、少なくとも接地電極を有すると共に、第 1電極の信号電極と協働して該光導波路に電界を印加するように構成され、かっ該第 1電極の信号電極は、少なくとも 1つの信号線路が途中で 2つ以上に分岐される分岐信号線路を有しているため、ハイ'インピーダンスな分岐信号線路を有する光制御素子に対しても、マイクロ波と光波との速度整合やマイクロ波のインピーダンス整合が実現でき、高速動作が可能な光制御素子を提供することができる。しかも、駆動電圧の低減が可能なため、既存の廉価な駆動装置を用いて高速駆動が可能となり、駆動装置に係るコストも削減できる。

[0029] 請求項 2に係る発明により、該分岐信号線路による電界が該薄板に作用する作用領域の少なくとも一部は、該薄板が分極反転されているため、各分岐信号線路が同一方向の電界を印加した場合でも薄板に形成された光導波路に異なる光変調を付与すること力 Sでき、光制御素子の差動駆動が、簡便な制御電極や駆動回路で容易に実現できる上、駆動電圧を低減することも可能となる。

[0030] 請求項 3に係る発明により、光導波路はリッジ型光導波路であるため、光波の閉じ込め効率が高ぐまた、制御電極が形成する電界を光導波路に集中させることが可能となり、より低駆動電圧の光制御素子を実現することができる。

[0031] 請求項 4に係る発明により、薄板と、第 1電極又は第 2電極との間にはバッファ層が形成されているため、光導波路を伝搬する光波の伝搬損失を抑制しながら、制御電極を光導波路のより近傍に配置することが可能となる。

[0032] 請求項 5に係る発明により、信号電極又は接地電極は、透明電極又は薄板側に透明電極を配置した電極のいずれかで構成されているため、バッファ層が無い場合でも、光導波路を伝搬する光波の伝搬損失を抑制しながら、制御電極を光導波路のより近傍に配置することが可能となる。

[0033] 請求項 6に係る発明により、少なくともリッジ型導波路の両側に配置された溝には、低誘電率膜が充填されてレ、るため、制御電極におけるマイクロ波屈折率やインピーダンスの調整が可能となり、より適切なマイクロ波屈折率やインピーダンスを得ることができる。

[0034] 請求項 7に係る発明により、信号電極に給電する信号線は、第 1電極の接地電極を跨ぐあるいは潜るように配置され、該信号線と該接地電極との間には該低誘電率膜が配置されているため、制御電極の配線の自由度が増し、光集積回路などの複雑な配線も可能となる。また、配線を立体化することができ、より適切なマイクロ波の屈折率やインピーダンスを得ることも可能となる。

[0035] 請求項 8に係る発明により、第 2電極は、光導波路の形状に対応した形状を有するパターン状電極であるため、光導波路に印加される電界を、より集中させること力 Sでき、駆動電圧をより一層低減させることが可能なる。

[0036] 請求項 9に係る発明により、第 1電極の接地電極と第 2電極の接地電極とは電気的に接続されているため、第 1電極の接地電極と第 2電極の接地電極とに発生する浮遊電荷のズレを抑制でき、より適切な電界を光導波路に印加させることが可能となる

[0037] 請求項 10に係る発明により、第 1電極の接地電極と第 2電極の接地電極との電気的接続は、該薄板に設けられたスルーホールを介して行われているため、上述したように適切な電界を光導波路に印加することが可能となると共に、光制御素子に係る電気配線を簡略化することも可能となる。

[0038] 請求項 11に係る発明により、薄板は第 1電極又は第 2電極を挟むように接着層を介して支持基板に接着されているため、薄板の機械的強度を補強でき、信頼性の高い光制御素子を提供することが可能となる。

[0039] 請求項 12に係る発明により、薄板を補強する支持基板を有し、第 1電極又は第 2電極は支持基板上に配置されているため、制御電極に係る配置の自由度が増し、光集積回路などの複雑な配線も可能となる。さらに、薄板に配置される制御電極の数が減少でき、薄板に加わる熱応力などにより薄板が破損する危険性を減少させることも可能となる。

[0040] 請求項 13に係る発明により、分岐信号線路のインピーダンスは 70 Ω以上であるため、ハイ'インピーダンスの信号線路を有する光制御素子に対しても、マイクロ波と光波との速度整合やマイクロ波のインピーダンス整合が実現でき、高速動作が可能な光制御素子を提供することができる。しかも、駆動電圧の低減が可能なため、既存の廉価な駆動装置を用いて高速駆動が可能となり、駆動装置に係るコストも削減できる

[0041] 請求項 14に係る発明により、少なくとも分岐信号線路の信号電極の幅 W、高さ T

EL

、該信号電極と接地電極との間隔 G、及び光導波路がリッジ型光導波路である場合にはリッジの深さ Dは、該分岐信号線路における半波長電圧 Vpaiが 12V'cm以下、インピーダンス Zが 70 Ω以上 130 Ω以下、及び光とマイクロ波との屈折率差 Δ nと該分岐信号線路の電界が光導波路に作用する作用部分の長さ Lとの積が 1. 3cm以下となるように設定されているため、信号電極の幅や高さ、また、信号電極と接地電極との間隔やリッジの深さなどを調整するだけで、極めて容易に、ハイ'インピーダンスの信号線路を有する光制御素子に対しても、マイクロ波と光波との速度整合やマイクロ波のインピーダンス整合が実現でき、高速動作が可能な光制御素子を提供すること力できる。しかも、駆動電圧の低減が可能なため、既存の廉価な駆動装置を用いて高速駆動が可能となり、駆動装置に係るコストも削減できる。

図面の簡単な説明

[0042] [図 1]従来の光制御素子の例を示す図である。

[図 2]分岐した信号線路を用いた光制御素子の例を示す図である。

[図 3]本発明の光制御素子の実施例を示す図である。

[図 4]リッジ型導波路を有する光制御素子の例を示す図である。

[図 5]低誘電率膜を有する光制御素子の例を示す図である。

[図 6]薄板の裏面側に光導波路を形成した光制御素子の例を示す図である。

[図 7]透明電極を利用した光制御素子の例を示す図である。園 8]第 2電極にパターン状電極を用いた光制御素子の例を示す図である。園 9]スルーホールを利用した光制御素子の例を示す図である。

[図 10]シミュレーションのモデルを説明する図である。

[図 11]シミュレーション結果（t = 2 m, D/t = 0.2)を示す表である。

[図 12]シミュレーション結果（t = 2 m, D/t = 0.4)を示す表である。

[図 13]シミュレーション結果（t = 2 m, D/t = 0.6)を示す表である。

[図 14]シミュレーション結果（t = 2 m, D/t = 0.8)を示す表である。

[図 15]シミュレーション結果（t = 411 m, D/t = 0.2)を示す表である。

[図 16]シミュレーション結果（t = 411 m, D/t = 0.4)を示す表である。

[図 17]シミュレーション結果（t = 411 m, D/t = 0.6)を示す表である。

[図 18]シミュレーション結果（t = 411 m, D/t = 0.8)を示す表である。

[図 19]シミュレーション結果（t = 10 m, D/t = 0.2)を示す表である。

[図 20]シミュレーション結果（t = 10 m, D/t = 0.4)を示す表である。

[図 21]シミュレーション結果（t = 10 m, D/t = 0.6)を示す表である。

[図 22]シミュレーション結果（t = 10 m, D/t = 0.8)を示す表である。符号の説明

1 zカット型結晶基板

2 光導波路

3, 31 バッファ層

4, 41 , 42 信号電極

5, 51 , 52, 53, 54 接地電極

6 接着層

7 支持基板

8, 81 低誘電率膜

9, 91 , 92, 93, 94 透明電極

11 Xカット型結晶基板

20 リッジ型導波路（リッジ部）

200 スルーホールに形成された接続線路発明を実施するための最良の形態

[0044] 以下、本発明を好適例を用いて詳細に説明する。

本発明に係る光制御素子の基本的な構成は、電気光学効果を有し、厚みが 10 m以下の薄板と、該薄板に形成された光導波路と、該光導波路を通過する光を制御するための制御電極とを有する光制御素子において、該制御電極は、該薄板を挟むように配置された第 1電極と第 2電極とからなり、該第 1電極は、少なくとも信号電極と接地電極とからなるコプレーナ型の電極構造を有し、該第 2電極は、少なくとも接地電極を有すると共に、第 1電極の信号電極と協働して該光導波路に電界を印加するように構成され、かつ該第 1電極の信号電極は、少なくとも 1つの信号線路が途中で 2つ以上に分岐される分岐信号線路を有していることを特徴とする。

[0045] 図 3は、本発明の光制御素子に係る実施例を示す断面図であり、特に、図 2のように信号線路を途中で 2つ以上に分岐した分岐信号線路の一部を抽出して示したものである。なお、図 3は Zカット型基板（薄板） 1を利用した場合を示している力必要に応じて Xカット型の基板を利用した光制御素子に対しても、分岐信号線路などのようなハイ'インピーダンス線路が存在する場合には、本発明の技術が同様に適用できることは言うまでもない。

本発明の光制御素子においては、薄板の厚みは 10 in以下が好ましい。図 3では、薄板 1に光導波路 2が形成され、該薄板 1を挟むように制御電極が配置されている。制御電極としては、薄板 1の上側に配置された第 1電極と、薄板、下側に配置された第 2電極とがある。第 1電極には、信号電極 4と接地電極 5 (51)が設けられ、また、第 2電極には接地電極 54が設けられている。第 1電極及び第 2電極には、図示した電極以外に DC電極など、必要な電極を適宜付加できることは言うまでもない。

[0046] 図 3の光制御素子の特徴は、光導波路 2に対して信号電極 4と接地電極 5 (51)による電界以外に、信号電極 4と接地電極 54とによる電界が印加されることである。これにより、光導波路 2をおける図の縦方向の電界を強くすることができ、駆動電圧を低減させることが可能となる。

しかも、制御電極におけるマイクロ波の屈折率及びインピーダンスは、信号電極 4と接地電極 5 (51)及び 54により決定されるため、例えば、最適値であるマイクロ波屈折率 2. 14を実現しながら、インピーダンス値を 70 Ω以上に設定することも可能となる。

[0047] 各電極は、薄板との間に SiO膜などのバッファ層 3又は 31を介して配置されている

2

。ノ^ファ層には、光導波路を伝搬する光波が、制御電極により吸収又は散乱されることを防止する効果を有している。また、バッファ層の構成としては、必要に応じ、薄板 1の焦電効果を緩和するため、 Si膜などを組み込むことも可能である。

なお、接地電極 5 (51)又は 54と薄板 1との間に存在するバッファ層は、省略することも可能であるが、薄板 1の光導波路と接地電極 54との間にあるバッファ層については、薄板の厚みが薄くなるに従い、光導波路を伝搬する光波のモード径は薄板の厚みとほぼ等しくなることから、接地電極 54による光波の吸収又は散乱も発生するため、この部分のバッファ層は残しておくことが好ましい。

[0048] また、光制御素子の基板は薄板であるため、薄板 1に対する第 1電極と第 2電極との配置を、逆にした場合でも、図 3のものと同様に、光制御素子を動作させることが可能である。

[0049] 薄板 1は、第 2電極が形成された後に、接着層 6を介して支持基板 7に接合される。

これにより、薄板 1が 10 πι以下の場合でも、光制御素子として十分な機械的強度を確保することが可能となる。

また、図 3では、第 2電極（第 1電極と第 2電極との配置を逆にした場合には、第 1電極）は、薄板 1側に接して配置されている力支持基板 7上に第 2電極（又は第 1電極 )を形成し、接着層を介して薄板 1に接合することも可能である。

[0050] 薄板に使用される電気光学効果を有する結晶性基板としては、例えば、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム、 PLZT (ジルコン酸チタン酸鉛ランタン）、及び石英系の材料及びこれらの組み合わせが利用可能である。特に、電気光学効果の高いニオブ酸リチウム（LN)やタンタル酸リチウム（LT)結晶が好適に利用される。

[0051] 光導波路の形成方法としては、 Tiなどを熱拡散法やプロトン交換法などで基板表面に拡散させることにより形成すること力 Sできる。また、特許文献 6のように薄板 1の表面に光導波路の形状に合わせてリッジを形成し、光導波路を構成することも可能であ信号電極や接地電極などの制御電極は、 Ti'Auの電極パターンの形成及び金メッキ方法などにより形成することが可能である。また、後述する透明電極については、 I TOや赤外透明導電膜である Inと Tiの複合酸化物膜などが利用可能であり、フォトリソグラフィ一法により電極パターンを形成しリフトオフ法によって形成する方法や、所定の電極パターンが残るようにマスク材を形成し、ドライエッチング、あるいはウエットエッチングにて形成する方法などが使用可能である。

特許文献 6 :特開平 6— 289341号公報

[0052] 光制御素子を含む薄板 1の製造方法は、数百 mの厚さを有する基板に上述した光導波路を形成し、基板の裏面を研磨して、 10 πι以下の厚みを有する薄板を作成する。その後薄板の表面に制御電極を作り込む。また、光導波路や制御電極などの作り込みを行った後に、基板の裏面を研磨することも可能である。なお、光導波路形成時の熱的衝撃や各種処理時の薄膜の取り扱いによる機械的衝撃などが加わると、薄板が破損する危険性もあるため、これらの熱的又は機械的衝撃が加わり易い工程は、基板を研磨して薄板化する前に行うことが好まし!/、。

[0053] 支持基板 7に使用される材料としては、種々のものが利用可能であり、例えば、薄板と同様の材料を使用する他に、石英、ガラス、アルミナなどのように薄板より低誘電率の材料を使用したり、薄板と異なる結晶方位を有する材料を使用することも可能である。ただし、線膨張係数が薄板と同等である材料を選定することが、温度変化に対する光制御素子の変調特性を安定させる上で好ましい。仮に、同等の材料の選定が困難である場合には、薄板と支持基板とを接合する接着剤に、薄板と同等な線膨張係数を有する材料を選定する。

[0054] 薄板 1と支持基板 7との接合には、接着層 6として、エポキシ系接着剤、熱硬化性接着剤、紫外線硬化性接着剤、半田ガラス、熱硬化性、光硬化性あるいは光増粘性の樹脂接着剤シートなど、種々の接着材料を使用することが可能である。

[0055] 以下に、本発明に係る光制御素子の応用例について説明する。なお、以下の図面には、前出した部材と同じ部材を用いる場合には、可能な限り同じ符号を用い、さらに、構成の特徴を明確にするため、必要に応じ接着層や支持基板を省略して記載している。 (リッジ ¾j 波をする W卸）

図 4は、本発明の光制御素子に係る応用例であり、光導波路をリッジ型導波路で形成した例を示す。光導波路をリッジ型光導波路で形成することにより、光波の閉じ込め効率が高くなり、また、制御電極が形成する電界を光導波路に集中させることが可能となるため、より低駆動電圧の光制御素子を実現することができる。

[0056] 図 4 (a)は、図 3の光制御素子の光導波路をリッジ型導波路 20としたものであり、リツジ部 20に伝搬する光波を閉じ込めている。リッジ部 20には、信号電極 4と接地電極 5 (51 )とが形成する電界と、信号電極 4と接地電極 54とが形成する電界とが集中的に印加されるため、光制御素子の駆動電圧を低減させることにも寄与する。

[0057] 図 4 (b)は、図 2 (b)に示したような、分岐した 2つの分岐信号線路を有する光制御素子に対して、本発明に係る図 4 (a)の構造を適用した場合の断面図である。

図 4 (b)は、 2つの光導波路 2をリッジ型導波路 20とすると共に、 2つの光導波路間に、接地電極 51に対応したリッジ部を形成したものである。リッジ型導波路 20に対応して信号電極 4及び 41が配置され、信号電極には同一の信号が印加されている。ただし、各光導波路においては互いに基板（10, 11)の分極方向が異なるため、光導波路を伝搬する光波の位相変化が逆の状態となり、結果として、差動駆動と同様の ¾]果を得ること力できる。

また、左側のリッジ部 20についてみると、信号電極 4と接地電極 5とが形成する電界と、信号電極 4と接地電極 54とが形成する電界と、さらには信号電極 4と接地電極 51 とが形成する電界とが集中的に印加される。

[0058] (低刺尊をする制御子)

図 5は、本発明の光制御素子に係る応用例であり、リッジ型導波路を形成する溝や、第 1電極を構成する信号電極 4と接地電極 5 (51)との間に低誘電率膜を配置した例を示す。このような低誘電率膜の配置により、制御電極におけるマイクロ波屈折率やインピーダンスの調整が可能となり、また、制御電極の配線の自由度を増加させることが可能となる。

低誘電率膜の材料としては、ベンゾシクロブテン (BCB)などが使用でき、低誘電率膜の製造方法として、塗付法などが利用できる。 [0059] 図 5 (a)に示すように、リッジ型導波路 20の両側に形成される溝や、信号電極 4と接地電極 5 (51)との間、あるいは第 1電極を覆うように低誘電率膜 8を形成することができる。

また、図 5 (b)に示すように、接地電極 5を跨ぐように信号電極 4の給電部 43を配置し、接地電極 4と給電部 43との間には低誘電率膜 8が配置される。これにより、制御電極の立体的な配線が可能となり、制御電極に係る配線設計の自由度が増加する。さらに、接地電極を信号電極の上方（薄板から離れる位置）を通過させることも可能である。

[0060] の佃 Iに波を开成,した l!lW卸 )

図 6は、本発明の光制御素子に係る応用例であり、光導波路 2 (リッジ型導波路 20) を薄板 1の裏面（図の下側）に形成した例を示す。

厚みが 10 πι以下の薄板を使用する場合には、図 6のように、光導波路 2を薄板 1 の裏面に形成し、第 1電極である信号電極 4及び接地電極 5 (51)を薄板の表面に、また、第 2電極である接地電極 54を薄板 1の裏面に形成しても、特に信号電極 4と接地電極 54とが形成する電界により、リッジ部 20に電界を印加させることが可能となるなお、リッジ部 20を形成する溝には、必要に応じて低誘電率膜 81が形成されてい

[0061] 図 4のような光制御素子の場合には、リッジ型導波路のリッジ部の頂上に信号電極 4や 41を正確に配置することが必要である力図 6のような光制御素子の場合には、信号電極 4や 41の幅をリッジ型導波路の幅以上に設定するだけで、両者間に若干の位置ズレが発生しても、効率よくリッジ部に電界を印加することができるという利点を有している。

[0062] (诱明電極を利用した光制御素子)

図 7は、本発明の光制御素子に係る応用例であり、透明電極（9及び 91至 94)を電極に使用した例を示す。信号電極又は接地電極に、透明電極又は薄板側に透明電極を配置した電極のいずれかを用いることにより、ノッファ層が無い場合でも、光導波路を伝搬する光波の伝搬損失を抑制しながら、制御電極を光導波路のより近傍に配置することが可能となり、駆動電圧を低減させることができる。

[0063] 図 7 (a)は、第 2電極の接地電極に透明電極 9を使用する例であり、図 7 (b)は第 1 電極に透明電極 91 , 92を使用する例である。これらの場合には、図 4 (a)で示したバッファ層 31や 3が不要となり、電極を光導波路に近接して配置することが可能となる。なお、図 7 (b)の第 1電極を構成する接地電極 (透明電極 91)は、電極の近傍に光導波路が無!/、ため、通常の金属電極で形成しても良レ、。

[0064] 図 7 (c)は、制御電極の一部（薄板 1に接する側）に、透明電極を使用する例を示すものである。透明電極は、一般的に Auなどの金属電極と比較して電気抵抗率が高いため、電極の電気抵抗を下げる目的で、透明電極 9や 93乃至 94に接触して金属電極 140, 150, 151 , 152を酉己置することカできる。

また、透明電極は、 93に示したようにリッジ型導波路の近傍又はリッジ型光導波路の側面に配置することも可能であり、極めて効果的に電界を導波路に作用させることが可能となる。

[0065] (第 2雷極にパターン状雷極を用いた光制御素子)

図 8は、本発明の光制御素子に係る応用例であり、第 2電極を形成する接地電極をパターン状電極で構成した例を示す。第 2電極を、光導波路の形状に対応した形状を有するパターン状電極とすることにより、光導波路に印加される電界を、より適切な形状に調整でき、駆動電圧をより一層低減させることが可能となる。

[0066] 図 8は、接地電極 57を光導波路 2に沿ったストリップ状の電極とし、信号電極 4と接地電極 57とが形成する電界を、より光導波路 2に集中するように構成している。

[0067] (スルーホールを利用した光制御素子）

図 9は、本発明の光制御素子に係る応用例であり、第 1電極の接地電極と第 2電極の接地電極との電気的接続に、スルーホールを利用した例である。第 1電極の接地電極と第 2電極の接地電極とを、薄板に設けられたスルーホールを介して電気的に接続することにより、光制御素子に係る電気配線を簡略化できると共に、第 1電極の接地電極と第 2電極の接地電極とに発生する浮遊電荷のズレを抑制でき、より適切な電界を光導波路に印加させることが可能となる。

[0068] 図 9は、 Zカット型の薄板 1を利用した例であり、第 1電極の接地電極 5 (51)と第 2電極の接地電極 54と力 S、薄板 1のスルーホール内に配置された接続線路 200により導通状態に維持されている。

図 3乃至図 8に例示した第 1電極の接地電極と第 2電極の接地電極とは、薄板の周囲又は外部で電気的に導通されている力制御電極に印加される変調信号が高周波になるに従い、接地電極に誘起される浮遊電荷にタイミングのズレが生じ易くなる。このため、図 9のように、光導波路に近い場所で両者を導通することで、このタイミングのズレを抑制することが可能となる。

実施例

[0069] 本発明の光制御素子の構成のように、制御電極は、該薄板を挟むように配置された第 1電極と第 2電極とからなり、該第 1電極は、少なくとも信号電極と接地電極とからなるコプレーナ型の電極構造を有し、該第 2電極は、少なくとも接地電極を有すると共に、第 1電極の信号電極と協働して該光導波路に電界を印加するように構成した場合に、少なくとも信号電極の幅 W、高さ T 、信号電極と接地電極との間隔 G、及

EL

び光導波路カ^ッジ型光導波路である場合にはリッジの深さ Dを調整することで、ハイ •インピーダンス線路に必要となる以下の条件を満足した光制御素子が設計できることを、シミュレーションを用いて確認した。

[0070] (ハイ.インピーダンス線路の条件）

(1)信号線路における半波長電圧 Vpaiが 12V'cm以下

(2)インピーダンス Zが 70 Ω以上 130 Ω以下

(3)光とマイクロ波との屈折率差 Δ ηと信号線路の電界が光導波路に作用する作用部分の長さ（作用長） Lとの積が 1. 3cm以下

なお、 A n X L^ l . 3cmの場合には、光制御素子の光帯域を 10GHz以上とすることが可能となる。

[0071] シミュレーションのモデルとしては、図 10に示すようなリッジ型光導波路を仮定し、信号電極 4の幅を W、信号電極 4と接地電極 5 (51)との間隔を G、信号電極 4や接地電極 5 (51)の高さを T 、リッジ型光導波路 20のリッジの深さを D、そして基板 1の厚

EL

さを tとした。

[0072] 基板の厚み tが、 2 ^ 111, 4 ^ 111, 10 mの 3つの場合について、シミュレーションを行い、各パラメータについては、以下の範囲で離散的に条件となる数値を設定した。 (信号電極の幅 W)

信号電極の幅 Wは、基板の厚さ tで規格化した値を用い、 W/tが 0.2, 0.5, 0.8, 1. 1, 1.4, 1.7, 2.0となるように設定した。

[0073] (リッジの深さ D)

リッジの深さ Dは、基板の厚さ tで規格化した値を用い、 D/tが 0.2, 0.4, 0.6, 0.8となるように設定した。

(電極の高さ T )

EL

電極の高さ T は、 0.5, 1.0, 1.5, 2.0, 2.5, 3.0 m)となるように設定した。

EL

[0074] (電極の間隔 G)

電極の間隔 Gは、基板の厚さ tで規格化した値を用い、 G/t (以下の図では「Gap

/t」と表記）が 1.0, 2.25, 3.5, 4.75, 6.0となるように設定した。

[0075] 各パラメータに設定された数値から、半波長電圧 Vpai (以下の図では「Vpi」と表記

)、インピーダンス Z (以下の図では「ZO」と表記）、マイクロ波屈折率 NMを算出し、次の条件を満足する結果にっレ、ては「〇」を、同条件を満足しな!/、結果につ!/、ては「 X

」を付与した。

(評価条件）

(1) Vpai≤12 (V-cm)

(2) 70 Ω≤Ζ≤130 Ω

(3) 1. 5≤ΝΜ≤2. 8

ただし、マイクロ波屈折率 ΝΜの範囲については、作用長 Lが 2cm≤L≤6cmである場合には、 A n X Lは 1. 3以下となる。

[0076] 上記評価条件で評価した結果を、図 11乃至 22に示す。

t = 2 mの場合の結果は、図 11 (D/tが 0.2) ,図 12 (同 0.4) ,図 13 (同 0.6) ,及び図 14 (同 0.8)に示す。

1=4 111の場合の結果は、図 15 (D/tが 0.2) ,図 16 (同 0.4) ,図 17 (同 0.6) ,及び図 18 (同 0.8)に示す。

t= 10 mの場合の結果は、図 19 (D/tが 0.2) ,図 20 (同 0.4) ,図 21 (同 0.6) ,及び図 22 (同 0.8)に示す。

[0077] また、上記評価条件の（1)乃至（3)の全ての条件を満足している部分に、網掛けを施している。

図 11乃至 22から、本発明の光制御素子において、上述したハイ'インピーダンス線路の条件を満足する光制御素子を、信号電極の幅 W、信号電極と接地電極との間隔0、信号電極や接地電極の高さを T 、リッジ型光導波路のリッジの深さ D、そして

EL

基板の厚さ tを調整することで、容易に実現であることが理解される。

[0078] さらに、図 11乃至 22の結果から、各パラメータについては、以下のことも理解できる

(信号電極幅 Wの範囲）

基板の厚み tが 2, 4, 10 mのいずれにおいても、上記評価条件を満足する部分は、 W/t≤2の範囲に存在する。

Wの上限値は、 Zが上記評価条件を外れることにより規定されている。

また、 Wの下限値は、 Vpaiが上記評価条件を外れることにより規定される可能性がある。ただし、 Wは小さいほど良い結果となる可能性もあり、その場合には、電極の製造限界によって規定されることとなる。

[0079] (リッジの深さ Dの範囲）

t = 2や 4 111のデータを見ると、 Dの上限値は、 Wの上限付近又は下限付近で、制限される条件が異なって!/、る。

具体的には、 Wの下限の境界付近では、 Vpaiが上記評価条件を外れることにより、 Dの上限値が規定され、 Wの上限の境界付近では、 Zが上記評価条件を外れることにより規定されている。

また、 Dの下限ィ直は、データを見る限りでは、一般的に小さいほど良いということになる力 S、製造上 D/t = 0はありえないため、基板が壊れない範囲でリッジを深く形成することが好ましいといえる。

[0080] (電極間隔 Gの範囲）

t = 2や 4 111のデータを見ると、 Gの下限値は、 Z又は NMが上記評価条件を外れることにより規定される。また、 Gの上限値については、データの設定範囲からは判断できないが、電極間隔が大きくなると電界が弱くなるため、 Vpaiの増加により制限される可能性が高い。

[0081] (電極高さ T の範囲）

EL

t = 2や 4 mのデータを見ると、 T の上限値は、 Wの下限の境界付近では、 NM

EL

が上記評価条件を外れることにより規定され、 Wの上限の境界付近では、 Zが上記評価条件を外れることにより規定される。

T の下限値については、データの設定範囲から判断できないが、電極が薄くなり

EL

過ぎると電気抵抗が増大するため、 Vpaiの増加により制限される可能性が高い。産業上の利用可能性

[0082] 本発明に係る光制御素子によれば、 70 Ω以上のハイ'インピーダンスを有する信号線路を必要とする場合であっても、マイクロ波と光波との速度整合やマイクロ波のインピーダンス整合が実現でき、しかも、駆動電圧の低減が可能な光制御素子を提供すること力 S可倉となる。

また、駆動電圧の低減により、光制御素子の温度上昇を抑制でき安定動作が可能な光制御素子を提供でき、さらには、コストのより安い低駆動電圧型駆動装置を利用できる光制御素子を提供することが可能となる。

Claims

請求の範囲

[1] 電気光学効果を有し、厚みが 10 m以下の薄板と、該薄板に形成された光導波路と、該光導波路を通過する光を制御するための制御電極とを有する光制御素子において、

該制御電極は、該薄板を挟むように配置された第 1電極と第 2電極とからなり、該第 1電極は、少なくとも信号電極と接地電極とからなるコプレーナ型の電極構造を有し、

該第 2電極は、少なくとも接地電極を有すると共に、第 1電極の信号電極と協働して該光導波路に電界を印加するように構成され、

かつ該第 1電極の信号電極は、少なくとも 1つの信号線路が途中で 2つ以上に分岐される分岐信号線路を有していることを特徴とする光制御素子。

[2] 請求項 1に記載の光制御素子において、該分岐信号線路による電界が該薄板に作用する作用領域の少なくとも一部は、該薄板が分極反転されてレ、ることを特徴とする光制御素子。

[3] 請求項 1又は 2に記載の光制御素子において、該光導波路はリッジ型光導波路であることを特徴とする光制御素子。

[4] 請求項 1乃至 3のいずれかに記載の光制御素子において、該薄板と、該第 1電極又は該第 2電極との間にはバッファ層が形成されていることを特徴とする光制御素子

[5] 請求項 1乃至 4のいずれかに記載の光制御素子において、該信号電極又は該接地電極は、透明電極又は薄板側に透明電極を配置した電極の!/、ずれかで構成されて!/、ることを特徴とする光制御素子。

[6] 請求項 3乃至 5のいずれかに記載の光制御素子において、少なくとも該リッジ型導波路の両側に配置された溝には、低誘電率膜が充填されていることを特徴とする光制御素子。

[7] 請求項 6に記載の光制御素子において、該信号電極に給電する信号泉は、該第 1 電極の接地電極を跨ぐある!/、は潜るように配置され、該信号線と該接地電極との間には該低誘電率膜が配置されていることを特徴とする光制御素子。

[8] 請求項 1乃至 7のいずれかに記載の光制御素子において、該第 2電極は、該光導波路の形状に対応した形状を有するパターン状電極であることを特徴とする光制御素子。

[9] 請求項 1乃至 8のいずれかに記載の光制御素子において、該第 1電極の接地電極と該第 2電極の接地電極とは電気的に接続されていることを特徴とする光制御素子。

[10] 請求項 9に記載の光制御素子において、該第 1電極の接地電極と該第 2電極の接地電極との電気的接続は、該薄板に設けられたスルーホールを介して行われて!/、ることを特徴とする光制御素子。

[11] 請求項 1乃至 10のいずれかに記載の光制御素子において、該薄板は該第 1電極又は該第 2電極を挟むように接着層を介して支持基板に接着されていることを特徴とする光制御素子。

[12] 請求項 1乃至 10のいずれかに記載の光制御素子において、該薄板を補強する支持基板を有し、該第 1電極又は該第 2電極は該支持基板上に配置されていることを特徴とする光制御素子。

[13] 請求項 1乃至 12のいずれかに記載の光制御素子において、該分岐信号線路のィンピーダンスは 70 Ω以上であることを特徴とする光制御素子。

[14] 請求項 13に記載の光制御素子において、少なくとも該分岐信号線路の信号電極の幅 W、高さ T 、該信号電極と接地電極との間隔 G、及び光導波路がリッジ型光導

EL

波路である場合にはリッジの深さ Dは、該分岐信号線路における半波長電圧 Vpaiが 12V'cm以下、インピーダンス Zが 70 Ω以上 130 Ω以下、及び光とマイクロ波との屈折率差 Δ ηと該分岐信号線路の電界が光導波路に作用する作用部分の長さしとの積が 1. 3cm以下となるように設定されていることを特徴とする光制御素子。