WO2003087856A1

WO2003087856A1 - Analyseur de reseau, procede d'analyse de reseau, correcteur automatique, procede de correction, programme, et support d'enregistrement

Info

Publication number: WO2003087856A1
Application number: PCT/JP2003/004892
Authority: WO
Inventors: Yoshikazu Nakayama; Masato Haruta
Original assignee: Advantest Corporation
Priority date: 2002-04-17
Filing date: 2003-04-17
Publication date: 2003-10-23
Also published as: US20060005065A1; JP5087533B2; JPWO2003087856A1; US7652482B2; JP2009103707A; JP4255017B2

Description

JP03/04892

ネットワークアナライザ、ネットワーク解析方法、自動校正器、校正方法、プログラムおよび記録媒体

技術分野

本発明は、被測定物の回路パラメ一夕を演算計測するネットワークアナライザに関する。明

細 1 背景技術

従来より、被測定物（ D U T ： Device Under Test) の回路パラメ一夕（例えば、 Sパラメ一夕）を測定することが行われている。従来技術にかかる被測定物（D U T ) の回路パラメ一夕の測定法を図 2 0を参照して説明する。信号源 1 1 0から周波数; f 1の信号を DUT 2 0 0を介して受信部 1 2 0に送信する。この信号は受信部 1 2 0により受信される。受信部 1 2 0により受信された信号の周波数を： f 2とする。受信部 1 2 0 により受信された信号を測定することにより DUT 2 0 0の Sパラメ一夕や周波数特性を取得することができる。

このとき、信号源 1 1 0等の測定系と DUT 2 0 0との不整合などにより測定に測定系誤差が生ずる。この測定系誤差は、例えば E d ：ブリッジの方向性に起因する誤差、 E r ：周波数トラッキングに起因する誤差、 E s ：ソースマッチングに起因する誤差、である。周波数 f 1 = f 2の場合の信号源 1 1 0に関するシグナルフロ一グラフを図 2 1に示す。 F IN は、信号源 1 1 0から DUT2 0 0等に入力する信号、 S 1 l mは DUT2 0 0等から反射されてきた信号から求められた DU 2 0 0等の Sパラメ一夕、 S 1 1 aは測定系誤差の無い真の DUT

2 0 0等の Sパラメ一夕である。周波数 l = f 2の場合は、例えば特開平 1 1— 3 8 0 5 4号に記載のようにして誤差を補正することができる。このような補正をキヤリブレ一シヨンという。キャリブレーションについて概説する。信号源 1 1 0に校正キヅトを接続し、オープン（開放）、ショート（短絡）、口一ド（標準負荷 Z0) の三種類の状態を実現する。このときの校正キットから反射された信号をプリッジにより取得して三種類の状態に対応した三種類の Sパラメ一夕（S l i m) を求める。三種類の Sパラメータから三種類の変数 E d、 E r、 E sを求める。しかしながら、周波数 1が周波数: f 2と等しくない場合がある。例えば、 DUT2 0 0がミキサ等の周波数変換機能を有するデバイスである場合である。このような場合は、上記のようなキヤリブレ一ションでは誤差を補正できない。周波数 1が周波数： 2と等しくない場合の信号源 1 1 0に関するシグナルフロ一グラフを図 2 2に示す。 E d、 E sは周波数 f 1が周波数: f 2と等しい場合と同様であるが、 E rは E r 1および E r 2に分かれてしまう。上記のようなキヤリブレ —シヨンでは三種類の Sパラメ一夕（ S l i m) しか求めないため、 E d、 E s、 E r 1 · E r 2しか求めることができない。よって、 E r 1および E r 2を求めることができない。さらに、周波数 1が周波数 f 2と等しくない場合は、受信部 1 2 0による測定系誤差も無視できない。信号源 1 1 0と受信部 1 2 0とを直結した場合のシグナルフローグラフを図 2 3に示す。 S 2 1 mは、受信部 1 2 0が受信した信号から求められた DUT 2 0 0等の Sパラメ一夕である。図 2 3に示すように、 E t、 E Lという受信部 1 2 0 による測定系誤差が生ずる。これについても、上記のようなキヤリブレーションでは求めることができない。よって、周波数 1が周波数 f 2と等しくない場合は、測定系誤差を求めることができず、誤差を含んだおよその値を測定することになるそこで、本発明は、被測定物の入力信号の周波数と出力信号の周波数とが異なる場合であっても測定系の誤差を補正することができるようにすることを課題とする。発明の開示

請求項 1に記載の発明は、入力信号に関する所定のパラメ一夕を、測定系誤差要因の生ずる前に測定する入力信号測定手段と、入力信号が反射された反射信号に関する所定のパラメ一夕を測定する反射信号測定手段と、入力信号に関する所定のパラメ一夕を、測定系誤差要因の生じた後に取得する信号出力取得手段と、入力信号測定手段、反射信号測定手段および信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する測定系誤差要因取得手段とを備えるように構成される信号出力取得手段は、入力信号に関する所定のパラメ一夕を測定系誤差要因の生じた後に取得する。これにより、周波数トラッキングに起因する誤差などを向きに応じて分離することができる。被測定物の入力信号の周波数と出力信号の周波数とが異なる場合は、周波数トラッキングに起因する誤差などが向きによって異なる。よつて、向きに応じて測定系誤差要因を分離することにより、測定系の誤差の補正が可能となる。請求項 2に記載の発明は、請求項 1に記載の発明であって、反射信号測定手段は、ネットワークアナライザに接続された校正用具から入力信号が反射された反射信号に関する所定のパラメ一夕を測定し、校正用具は、開放、短絡および標準負荷の三種類の状態を実現するものであるように構成される。請求項 3に記載の発明は、請求項 1または 2に記載の発明であって、入力信号が出力された後に入力信号を受信信号として受信する受信手段を備え、受信手段は、受信信号に関する所定のパラメ一夕を測定する受信信号測定手段を有し、測定系誤差要因取得手段は、入力信号測定手段、反射信号測定手段、信号出力取得手段および受信信号測定手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得するように構成される。受信信号測定手段が、受信信号に関する所定のパラメ一夕（例えば Sパラメ一夕）を測定するため、受信手段における測定系誤差要因を取得できる。被測定物の入力信号の周波数と出力信号の周波数とが異なる場合は、受信手段における測定系誤差要因を無視できない。よって、受信手段における測定系誤差要因を取得することにより、測定系の誤差の補正が可能となる。請求項 4に記載の発明は、請求項 3に記載の発明であって、反射信号測定手段は、入力信号が被測定物から反射された反射信号に関する所定のパラメ一夕を測定し、受信手段は、入力信号が出力された後に被測定物を介して入力信号を受信信号として受信し、入力信号測定手段、反射信号測定手段ならびに受信信号測定手段の被測定物に関する測定結果および測定系誤差要因に基づき被測定物に関する所定のパラメ一夕を測定するパラメ一夕測定手段を備えたように構成される。向きに応じて測定系誤差要因を分離し、しかも受信手段における測定系誤差要因を取得したので、入力信号測定手段、反射信号測定手段および受信信号測定手段の被測定物に関する測定結果と組み合わせれば、被測定物に関する所定のパラメ一夕（例えば Sパラメ一夕）を誤差を補正しながら測定できる。請求項 5に記載の発明は、請求項 3に記載の発明であって、受信手段は、入力信号に関する所定のパラメ一夕を、測定系誤差要因の生ずる前に測定する受信側入力信号測定手段と、入力信号が受信手段から出力されて反射された受信側反射信号に関する所定のパラメ一夕を測定する受信側反射信号測定手段と、入力信号に関する所定のパラメ一夕を、測定系誤差要因の生じた後に取得する受信側信号出力取得手段と、受信側入力信号測定手段、受信側反射信号測定手段および受信側信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する受信側測定系誤差要因取得手段とを備えるように構成される。受信側信号出力取得手段は、入力信号に関する所定のパラメ一夕（例えば Sパラメ一夕）を測定系誤差要因の生じた後に取得する。これにより、受信側において周波数トラッキングに起因する誤差などを向きに応じて分離することができる。被測定物の入力信号の周波数と出力信号の周波数とが異なる場合は、受信側においても周波数トラッキングに起因する誤差などが向きによつて異なる。よって、向きに応じて受信側においても測定系誤差要因を分離することにより、測定系の誤差の補正が可能となる。請求項 6に記載の発明は、請求項 5に記載の発明であって、受信側反射信号測定手段は受信信号測定手段であるように構成される。請求項 7に記載の発明は、請求項 5または 6に記載の発明であって、受信側反射信号測定手段は、ネットワークアナライザに接続された校正用具から入力信号が反射された反射信号に関する所定のパラメ一夕を測定し、校正用具は、開放、短絡および標準負荷の三種類の状態を実現するものであるように構成される。請求項 8に記載の発明は、請求項 5ないし 7のいずれか一項に記載の発明であって、反射信号測定手段は入力信号が受信手段から出力された後に受信して所定のパラメ一夕を測定し、受信側測定系誤差要因取得手段は、受信側入力信号測定手段、受信側反射信号測定手段、受信側信号出力取得手段および反射信号測定手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得するように構成される。反射信号測定手段が、入力信号が受信手段から出力された後に受信して所定のパラメ一夕（例えば Sパラメ一夕）を測定するため、信号出力手段側において信号を受信した場合の測定系誤差要因を取得できる ο 被測定物の入力信号の周波数と出力信号の周波数とが異なる場合は、信号出力手段側において信号を受信した場合の測定系誤差要因を無視できない。よって、信号出力手段側において信号を受信した場合の測定系誤差要因を取得することにより、測定系の誤差の補正が可能となる。請求項 9に記載の発明は、請求項 8に記載の発明であって、入力信号が直接に被測定物に与えられる時に、反射信号測定手段は、入力信号が被測定物から反射された反射信号に関する所定のパラメ一夕を測定し、受信手段は、入力信号が出力された後に被測定物を介して入力信号を受信信号として受信し、入力信号が受信手段を介して被測定物に与えられる時に、受信側反射信号測定手段は、入力信号が被測定物から反射された受信側反射信号に関する所定のパラメ一夕を測定し、反射信号測定手段は、入力信号が受信手段から出力された後に被測定物を介して入力信号を受信して所定のパラメ一夕を測定し、入力信号が直接に被測定物に与えられる時の入力信号測定手段、反射信号測定手段ならびに受信信号測定手段の被測定物に関する測定結果と、入力信号が受信手段を介して被測定物に与えられる時の受信側入力信号測定手段、受信側反射信号測定手段ならびに反射信号測定手段の被測定物に関する測定結果と、測定系誤差要因とに基づき被測定物に関する所定のパラメ一夕を測定するパラメ一夕測定手段を備えるように構成される。入力信号が信号出力手段から直接に被測定物に与えられる時は、向きに応じて測定系誤差要因を分離し、しかも受信手段における測定系誤差要因を取得する。さらに、入力信号が受信手段を介して被測定物に与えられる時は、受信側においても測定系誤差要因を分離し、しかも信号出力手段側において信号を受信した場合の測定系誤差要因を取得する。よって、被測定物に関する測定結果と組み合わせれば、被測定物に関する所定のパラメ一夕（例えば Sパラメ一夕）を誤差を補正しながら測定できる。請求項 1 0に記載の発明は、請求項 9に記載の発明であって、入力信号を直接に被測定物に与えるか、あるいは受信手段を介して被測定物に与えるかを選択する選択手段を備えるように構成される。請求項 1 1に記載の発明は、請求項 4、 9および 1 0のいずれか一項に記載の発明であって、被測定物の入力周波数と出力周波数とが異なるように構成される。請求項 1 2に記載の発明は、請求項 1 1に記載の発明であって、被測定物がミキサであるように構成される。請求項 1 3に記載の発明は、請求項 1ないし 1 2のいずれか一項に記載の発明であって、所定のパラメ一夕は Sパラメ一夕あるいはパヮ —であるように構成される。請求項 1 4に記載の発明は、入力信号に関する所定のパラメ一夕を、測定系誤差要因の生ずる前に測定する入力信号測定工程と、入力信号が反射された反射信号に関する所定のパラメ一夕を測定する反射信号測定工程と、入力信号に関する所定のパラメ一夕を、測定系誤差要因の生じた後に取得する信号出力取得工程と、入力信号測定工程、反射信号測定工程および信号出力取得工程の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する測定系誤差要因取得工程とを備えるように構成される。請求項 1 5に記載の発明は、入力信号が出力された後に入力信号を受信信号として受信する受信手段を有するネットワークアナライザによってネットワーク解析を行う請求項 1 4に記載の発明であって、受信手段において受信信号に関する.所定のパラメ一夕を測定する受信信号測定工程を有し、測定系誤差要因取得工程は、入力信号測定工程、反射信号測定工程、信号出力取得工程および受信信号測定工程の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得するように構成される。請求項 1 6に記載の発明は、請求項 1 5に記載の発明であって、反射信号測定工程は、入力信号が被測定物から反射された反射信号に関する所定のパラメ一夕を測定し、受信手段は、入力信号が出力された後に被測定物を介して入力信号を受信信号として受信し、入力信号測定工程、反射信号測定工程ならびに受信信号測定工程の被測定物に関する測定結果および測定系誤差要因に基づき被測定物に関する所定のパラメ一夕を測定するパラメ一夕測定工程を備えたように構成される < PC蘭編 ₈₉₂

10 請求項 1 7に記載の発明は、請求項 1 5に記載の発明であって、受信手段において、入力信号に関する戸定のパラメ一夕を、測定系誤差要因の生ずる前に測定する受信側入力信号測定工程と、入力信号が受信手段から出力されて反射された受信側反射信号に関する所定のパラメ一夕を測定する受信側反射信号測定工程と、入力信号に関する所定のパラメ一夕を、測定系誤差要因の生じた後に取得する受信側信号出力取得工程と、受信側入力信号測定工程、受信側反射信号測定工程および受信側信号出力取得工程の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する受信側測定系誤差要因取得工程とを備えるように構成される ( 請求項 1 8に記載の発明は、請求項 1 7に記載の発明であって、反射信号測定工程は入力信号が受信手段から出力された後に受信して所定のパラメ一夕を測定し、受信側測定系誤差要因取得工程は、受信側入力信号測定工程、受信側反射信号測定工程、受信側信号出力取得ェ程および反射信号測定工程の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得するように構成される。請求項 1 9に記載の発明は、請求項 1 8に記載の発明であって、入力信号が直接に被測定物に与えられる時に、反射信号測定工程は、入力信号が被測定物から反射された反射信号に関する所定のパラメ一夕を測定し、受信手段は、入力信号が出力された後に被測定物を介して入力信号を受信信号として受信し、入力信号が受信手段を介して被測定物に与えられる時に、受信側反射信号測定工程は、入力信号が被測定物から反射された受信側反射信号に関する所定のパラメ一夕を測定し、反射信号測定工程は、入力信号が受信工程から出力された後に被測定物を介して入力信号を受信して所定のパラメ一夕を測定し、入力信号が直接に被測定物に与えられる時の入力信号測定工程、反射信号測定工程ならびに受信信号測定工程の被測定物に関する測定結果と、入力信号が受信手段を介して被測定物に与えられる時の受信側入力信号測定工程、受信側反射信号測定工程ならびに反射信号測定工程の被測定物に関する測定結果と、測定系誤差要因とに基づき被測定物に関する所定のパラメ一夕を測定するパラメ一夕測定工程を備えるように構成される。請求項 2 0に記載の発明は、入力信号に関する所定のパラメ一夕を、測定系誤差要因の生ずる前に測定する入力信号測定手段と、入力信号が反射された反射信号に関する所定のパラメ一夕を測定する反射信号測定手段と、入力信号に関する所定のパラメ一夕を、測定系誤差要因の生じた後に取得する信号出力取得手段とを有するネヅトワークアナライザにおけるネヅトワーク解析処理をコンビユー夕に実行させるためのプログラムであって、入力信号測定手段、反射信号測定手段および信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する測定系誤差要因取得処理をコンピュータに実行させるためのプログラムである。請求項 2 1に記載の発明は、請求項 2 0に記載の発明であって、ネットワークアナライザは、入力信号が出力された後に入力信号を受信信号として受信する受信手段を備え、受信手段は、受信信号に関する所定のパラメ一夕を測定する受信信号測定手段を有し、測定系誤差要因取得処理は、入力信号測定手段、反射信号測定手段、信号出力取得手段および受信信号測定手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得するプログラムである。

き盲請求項 2 2に記載の発明は、請求項 2 1に記載の発明であって、反射信号測定手段は、入力信号が被測定物から反射された反射信号に関する所定のパラメ一夕を測定し、受信手段は、入力信号が出力された後に被測定物を介して入力信号を受信信号として受信し、入力信号測定手段、反射信号測定手段ならびに受信信号測定手段の被測定物に関する測定結果および測定系誤差要因に基づき被測定物に関する所定のパラメ一夕を測定するパラメ一夕測定処理をコンピュー夕に実行させるためのプログラムである。請求項 2 3に記載の発明は、請求項 2 1に記載の発明であって、受信手段は、入力信号に関する所定のパラメ一夕を、測定系誤差要因の生ずる前に測定する受信側入力信号測定手段と、入力信号が受信手段から出力されて反射された受信側反射信号に関する所定のパラメ一夕を測定する受信側反射信号測定手段と、入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生じた後に取得する受信側信号出力取得手段とを有し、受信側入力信号測定手段、受信側反射信号測定手段および受信側信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する受信側測定系誤差要因取得処理をコンピュータに実行させるためのプログラムである。求項 2 4に記載の発明は、請求項 2 3に記載の発明であって、反射信号測定手段は入力信号が受信手段から出力された後に受信して所定のパラメ一夕を測定し、受信側測定系誤差要因取得処理は、受信側入力信号測定手段、受信側反射信号測定手段、受信側信号出力取得手段および反射信号測定手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得するプログラムである。請求項 2 5に記載の発明は、請求項 2 4に記載の発明であって、入力信号が直接に被測定物に与えられる時に、反射信号測定手段は、入力信号が被測定物から反射された反射信号に関する所定のパラメ一夕を測定し、受信手段は、入力信号が出力された後に被測定物を介して入力信号を受信信号として受信し、入力信号が受信手段を介して被測定物に与えられる時に、受信側反射信号測定手段は、入力信号が被測定物から反射された受信側反射信号に関する所定のパラメ一夕を測定し、反射信号測定手段は、入力信号が受信手段から出力された後に被測定物を介して入力信号を受信して所定のパラメ一夕を測定し、入力信号が直接に被測定物に与えられる時の入力信号測定手段、反射信号測定手段ならびに受信信号測定手段の被測定物に関する測定結果と、入力信号が受信手段を介して被測定物に与えられる時の受信側入力信号測定手段、受信側反射信号測定手段ならびに反射信号測定手段の被測定物に関する測定結果と、測定系誤差要因とに基づき被測定物に関する所定のパラメ一夕を測定するパラメ一夕測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムである。請求項 2 6に記載の発明は、入力信号に関する所定のパラメ一夕を、測定系誤差要因の生ずる前に測定する入力信号測定手段と、入力信号が反射された反射信号に関する所定のパラメ一夕を測定する反射信号測定手段と、入力信号に関する所定のパラメ一夕を、測定系誤差要因の生じた後に取得する信号出力取得手段とを有するネットワークアナライザにおけるネットワーク解析処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、入力信号測定手段、反射信号測定手段および信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する測定系誤差要因取得処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体である。請求項 2 7に記載の発明は、請求項 2 6に記載の発明であって、ネットワークアナライザは、入力信号が出力された後に入力信号を受信信号として受信する受信手段を備え、受信手段は、受信信号に関する所定のパラメ一夕を測定する受信信号測定手段を有し、測定系誤差要因取得処理は、入力信号測定手段、反射信号測定手段、信号出力取得手段および受信信号測定手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得するプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体である。請求項 2 8に記載の発明は、請求項 2 7に記載の発明であって、反射信号測定手段は、入力信号が被測定物から反射された反射信号に関する所定のパラメ一夕を測定し、受信手段は、入力信号が出力された後に被測定物を介して入力信号を受信信号として受信し、入力信号測定手段、反射信号測定手段ならびに受信信号測定手段の被測定物に関する測定結果および測定系誤差要因に基づき被測定物に関する所定のパラメ一夕を測定するパラメ一夕測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによつて読み取り可能な記録媒体である。請求項 2 9に記載の発明は、請求項 2 7に記載の発明であって、受信手段は、入力信号に関する所定のパラメ一夕を、測定系誤差要因の生ずる前に測定する受信側入力信号測定手段と、入力信号が受信手段から出力されて反射された受信側反射信号に関する所定のパラメ一夕を測定する受信側反射信号測定手段と、入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生じた後に取得する受信側信号出力取得手段とを有し、受信側入力信号測定手段、受信側反射信号測定手段および受信側信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する受信側測定系誤差要因取得処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体である。請求項 3 0に記載の発明は、請求項 2 9に記載の発明であって、反射信号測定手段は入力信号が受信手段から出力された後に受信して所定のパラメ一夕を測定し、受信側測定系誤差要因取得処理は、受信側入力信号測定手段、.受信側反射信号測定手段、受信側信号出力取得手段および反射信号測定手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する、プログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体である。請求項 3 1に記載の発明は、請求項 3 0に記載の発明であって、入力信号が直接に被測定物に与えられる時に、反射信号測定手段は、入力信号が被測定物から反射された反射信号に関する所定のパラメ一夕を測定し、受信手段は、入力信号が出力された後に被測定物を介して入力信号を受信信号として受信し、入力信号が受信手段を介して被測定物に与えられる時に、受信側反射信号測定手段は、入力信号が被測定物から反射された受信側反射信号に関する所定のパラメ一夕を測定し、反射信号測定手段は、入力信号が受信手段から出力された後に被測定物を介して入力信号を受信して所定のパラメ一夕を測定し、入力信号が直接に被測定物に与えられる時の入力信号測定手段、反射信号測定手段ならびに受信信号測定手段の被測定物に関する測定結果と、入力信号が受信手段を介して被測定物に与えられる時の受信側入力信号測定手段、受信側反射信号測定手段なびに反射信号測定手段の被測定物に関する測定結果と、測定系誤差要因とに基づき被測定物に関する所定のパラメ一夕を測定するパラメ一夕測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンビュ一夕によって読み取り可能な記録媒体である。請求項 3 2に記載の発明は、（a )入力信号に関する所定のパラメ一夕を、測定系誤差要因の生ずる前に測定する入力信号測定手段と、 ( b ) 入力信号が反射された反射信号に関する所定のパラメ一夕を測定する反射信号測定手段と、（ c )入力信号に関する所定のパラメ一夕を、測定系誤差要因の生じた後に取得する信号出力取得手段と、（d ) 入力信号測定手段、反射信号測定手段および信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する測定系誤差要因取得手段と、 ( e ) 入力信号が出力された後に入力信号を受信信号として受信する受信手段と、を備えたネットワークアナライザに接続する自動校正器であって、それそれが異なる状態を実現する複数の校正用具と、校正用具のいずれか一つあるいは受信手段を自動的に選択して入力信号を供給する入力信号供給手段とを備えるように構成される。請求項 3 3に記載の発明は請求項 3 2に記載の発明であって、入力信号供給手段は、校正用具のいずれか一つ、受信手段あるいは信号出力取得手段を自動的に選択して入力信号を供給するように構成される c 請求項 3 4に記載の発明は請求項 3 3に記載の発明であって、入力信号供給手段が信号出力取得手段に入力信号を供給する際は、パワーメ一夕を介して入力信号を供給するように構成される。請求項 3 5に記載の発明は請求項 3 3に記載の発明であって、入力信号供給手段が信号出力取得手段に入力信号を供給する際は、パワーセンサおよびパヮ一メ一夕本体を介して入力信号を供給し、パワーセンサは自動校正器に内蔵され、パワーメ一夕本体はネットワークアナライザに内蔵されているように構成される。請求項 3 6に記載の発明は（a ) 入力信号に関する所定のパラメ一夕を、測定系誤差要因の生ずる前に測定する入力信号測定手段と、 ( b ) 入力信号が反射された反射信号に関する所定のパラメ一夕を測定する反射信号測定手段と、（ c )入力信号に関する所定のパラメ一夕を、測定系誤差要因の生じた後に取得する信号出力取得手段と、（d ) 入力信号測定手段、反射信号測定手段および信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する測定系誤差要因取得手段と、を有する信号源と、入力信号が出力された後に入力信号を受信信号として受信する受信手段と、を備え、受信手段は、（e— 1 )入力信号に関する所定のパラメ一夕を、測定系誤差要因の生ずる前に測定する受信側入力信号測定手段と、（ e— 2 )入力信号が受信手段から出力されて反射された受信側反射信号に関する所定のパラメ一夕を測定する受信側反射信号測定手段と、（e— 3 )入力信号に関する所定のパラメ一夕を、測定系誤差要因の生じた後に取得する受信側信号出力取得手段と、（ e — 4 )受信側入力信号測定手段、受信側反射信号測定手段および受信側信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する受信側測定系誤差要因取得手段と、を有するネットワークアナライザに接続する自動校正器であって、入力信号の信号源についてそれそれが異なる状態を実現する複数の第一校正用具と、受信手段についてそれそれが異なる状態を実現する複数の第二校正用具と、第一校正用具のいずれか一つあるいは受信手段を自動的に選択して信号源からの入力信号を供給する第一入力信号供給手段と、第二校正用具のいずれか一つあるいは信号源を自動的に選択して、受信手段を経由した入力信号を供給する第二入力信号供給手段とを備えるように構成される。請求項 3 7に記載の発明は請求項 3 6に記載の発明であって、第一入力信号供給手段は、第一校正用具のいずれか一つ、受信手段あるいは信号出力取得手段を自動的に選択して入力信号を供給し、第二入力信号供給手段は、第二校正用具のいずれか一つ、信号源あるいは受信側信号出力取得手段を自動的に選択して、受信手段を経由した入力信号を供給するように構成される。請求項 3 8に記載の発明は請求項 3 7に記載の発明であって、第一入力信号供給手段が信号出力取得手段に入力信号を供給する際は、第 —パワーメータを介して入力信号を供給し、第二入力信号供給手段が受信側信号出力取得手段に入力信号を供給する際は、第二パワーメ一夕を介して入力信号を供給するように構成される。請求項 3 9に記載の発明は請求項 3 7に記載の発明であって、第一入力信号供給手段が信号出力取得手段に入力信号を供給する際は、第一パヮ一センサおよび第一パヮ一メータ本体を介して入力信号を供給し、第二入力信号供給手段が受信側信号出力取得手段に入力信号を供給する際は、第二パワーセンサおよび第二パワーメータ本体を介して入力信号を供給する、第一および第二パワーセンサは自動校正器に内蔵され、第一および第二パワーメ一夕本体はネットワークアナライザに内蔵されているように構成される。請求項 4 0に記載の発明は（a ) 入力信号に関する所定のパラメ一夕を、測定系誤差要因の生ずる前に測定する入力信号測定手段と、 ( b ) 入力信号が反射された反射信号に関する所定のパラメ一夕を測定する反射信号測定手段と、（ c )入力信号に関する所定のパラメ一夕を、測定系誤差要因の生じた後に取得する信号出力取得手段と、（d ) 入力信号測定手段、反射信号測定手段および信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する測定系誤差要因取得手段と、 ( e ) 入力信号が出力された後に入力信号を受信信号として受信する受信手段と、を備えたネットワークアナライザに接続する、それそれが異なる状態を実現する複数の校正用具を備えた自動校正器における校正方法であって、校正用具のいずれか一つあるいは受信手段を自動的に選択して入力信号を供給する入力信号供給工程を備えるように構成される。請求項 4 1に記載の発明は（a ) 入力信号に関する所定のパラメ一夕を、測定系誤差要因の生ずる前に測定する入力信号測定手段と、 ( b ) 入力信号が反射された反射信号に関する所定のパラメ一夕を測定する反射信号測定手段と、（ c )入力信号に関する所定のパラメ一夕を、測定系誤差要因の生じた後に取得する信号出力取得手段と、（d ) 入力信号測定手段、反射信号測定手段および信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する測定系誤差要因取得手段と、を有する信号源と、入力信号が出力された後に入力信号を受信信号として受信する受信手段と、を備え、受信手段は、（ e— 1 )入力信号に関する所定のパラメ一夕を、測定系誤差要因の生ずる前に測定する受信側入力信号測定手段と、（ e— 2 )入力信号が受信手段から出力されて反射された受信側反射信号に関する所定のパラメ一夕を測定する受信側反射信号測定手段と、（e— 3 )入力信号に関する所定のパラメ一夕を、測定系誤差要因の生じた後に取得する受信側信号出力取得手段と、（ e— 4 )受信側入力信号測定手段、受信側反射信号測定手段および受信側信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する受信側測定系誤差要因取得手段と、を有するネットワークアナライザに接続する、入力信号の信号源についてそれそれが異なる状態を実現する.複数の第一校正用具と、受信手段についてそれそれが異なる状態を実現する複数の第二校正用具とを備えた自動校正器における校正方法であって、第一校正用具のいずれか一つあるいは受信手段を自動的に選択して信号源からの入力信号を供給する第一入力信号供給工程と、第二校正用具のいずれか一つあるいは信号源を自動的に選択して、受信手段を経由した入力信号を供給する第二入力信号供給工程と、を備えるように構成される。請求項 4 2に記載の発明は（a ) 入力信号に関する所定のパラメ一夕を、測定系誤差要因の生ずる前に測定する入力信号測定手段と、 ( b ) 入力信号が反射された反射信号に関する所定のパラメ一夕を測定する反射信号測定手段と、（ c )入力信号に関する所定のパラメ一夕 PC蘭薦 ₉₂

21

を、測定系誤差要因の生じた後に取得する信号出力取得手段と、（d ) 入力信号測定手段、反射信号測定手段および信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する測定系誤差要因取得手段と、 ( e ) 入力信号が出力された後に入力信号を受信信号として受信する受信手段と、を備えたネットワークアナライザに接続する、それぞれが異なる状態を実現する複数の校正用具を備えた自動校正器における校正処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、校正用具のいずれか一つあるいは受信手段を自動的に選択して入力信号を供給する入力信号供給処理をコンピュータに実行させるためのプログラムである。

請求項 4 3に記載の発明は（a ) 入力信号に関する所定のパラメ一夕を、測定系誤差要因の生ずる前に測定する入力信号測定手段と、 ( b ) 入力信号が反射された反射信号に関する所定のパラメ一夕を測定する反射信号測定手段と、（ c )入力信号に関する所定のパラメ一夕を、測定系誤差要因の生じた後に取得する信号出力取得手段と、（d ) 入力信号測定手段、反射信号測定手段および信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する測定系誤差要因取得手段と、を有する信号源と、入力信号が出力された後に入力信号を受信信号として受信する受信手段と、を備え、受信手段は、（e— 1 )入力信号に関する所定のパラメ一夕を、定系誤差要因の生ずる前に測定する受信側入力信号測定手段と、（ e— 2 )入力信号が受信手段から出力されて反射された受信側反射信号に関する所定のパラメ一夕を測定する受信側反射信号測定手段と、（e— 3 )入力信号に関する所定のパラメ一夕を、測定系誤差要因の生じた後に取得する受信側信号出力取得手段と、（ e— 4 )受信側入力信号測定手段、受信側反射信号測定手段および受信側信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する受信側測定系誤差要因取得手段と、を有するネットワークアナライザに接続する、入力信号の信号源についてそれそれが異なる状態を実現する複数の第一校正用具と、受信手段についてそれそれが異なる状態を実現する複数の第二校正用具とを備えた自動校正器における校正処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、第一校正用具のいずれか一つあるいは受信手段を自動的に選択して信号源からの入力信号を供給する第一入力信号供給処理と、第二校正用具のいずれか一つあるいは信号源を自動的に選択して、受信手段を経由した入力信号を供給する第二入力信号供給処理とをコンピュータに実行させるためのプログラムである。請求項 4 4に記載の発明は（a ) 入力信号に関する所定のパラメ一夕を、測定系誤差要因の生ずる前に測定する入力信号測定手段と、 ( b ) 入力信号が反射された反射信号に関する所定のパラメ一夕を測定する反射信号測定手段と、（ c；)入力信号に関する所定のパラメ一夕を、測定系誤差要因の生じた後に取得する信号出力取得手段と、（d ) 入力信号測定手段、反射信号測定手段および信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する測定系誤差要因取得手段と、 ( θ ) 入力信号が出力された後に入力信号を受信信号として受信する受信手段と、を備えたネットワークアナライザに接続する、それそれが異なる状態を実現する複数の校正用具を備えた自動校正器における校正処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュー夕によって読み取り可能な記録媒体であって、校正用具のいずれか一つあるいは受信手段を自動的に選択して入力信号を供給する入力信号供給処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによつて読み取り可能な記録媒体である。請求項 4 5に記載の発明は（a ) 入力信号に関する所定のパラメ一夕を、測定系誤差要因の生ずる前に測定する入力信号測定手段と、 ( b ) 入力信号が反射された反射信号に関する所定のパラメ一夕を測定する反射信号測定手段と、（ c )入力信号に関する所定のパラメ一夕を、測定系誤差要因の生じた後に取得する信号出力取得手段と、（d ) 入力信号測定手段、反射信号測定手段および信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する測定系誤差要因取得手段と、を有する信号源と、入力信号が出力された後に入力信号を受信信号として受信する受信手段と、を備え、受信手段は、（ e— 1 )入力信号に関する所定のパラメ一夕を、測定系誤差要因の生ずる前に測定する受信側入力信号測定手段と、（e— 2 )入力信号が受信手段から出力されて反射された受信側反射信号に関する所定のパラメ一夕を測定する受信側反射信号測定手段と、（ e— 3 )入力信号に関する所定のパラメ一夕を、測定系誤差要因の生じた後に取得する受信側信号出力取得手段と、（ e— 4 )受信側入力信号測定手段、受信側反射信号測定手段および受信側信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する受信側測定系誤差要因取得手段と、を有するネットワークアナライザに接続する、入力信号の信号源についてそれそれが異なる状態を実現する複数の第一校正用具と、受信手段についてそれぞれが異なる状態を実現する複数の第二校正用具とを備えた自動校正器における校正処理をコンビュ一夕に実行させるためのプログラムを記録したコンピュ一夕によって読み取り可能な記録媒体であって、第一校正用具のいずれか一つあるいは受信手段を自動的に選択して信号源からの入力信号を供給する第一入力信号供給処理と、第二校正用具のいずれか T JP03/04892

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一つあるいは信号源を自動的に選択して、受信手段を経由した入力信号を供給する第二入力信号供給処理と、をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンビュ一夕によって読み取り可能な記録媒体である。図面の簡単な説明

第 1図は、第一の実施の形態に係るネヅトワークアナライザ 1の構成を示したブロヅク図である。

第 2図は、図 1に示す状態をシグナルフロ一グラフで表現した図である。

第 3図は、測定系誤差要因取得部 5 0の構成を示すブロック図である。

第 4図は、信号源 1 0に校正用具 4が接続されている状態を示すブロック図（図 4 ( a ) )、校正用具 4の外観を示す図（図 4 ( b )〜（e ) ) である。

第 5図は、信号源 1 0に校正用具 4が接続されている状態をシグナルフ口一グラフで表現した図である。

第 6図は、信号源 1 0およびパワーメータ用端子 6 0にパワーメ一夕 6が接続されている状態を示す図である。

第 7図は、信号源 1 0およびパワーメータ用端子 6 0にパワーメ一夕 6が接続されている状態をシグナルフロ一グラフで表現した図である o

第 8図は、信号源 1 0に受信手段 2 0が接続されている状態を示す図である。

第 9図は、信号源 1 0に受信手段 2 0が接続されている状態をシグナルフ口一グラフで表現した図である。第 10図は、第一の実施形態の動作を示すフローチャートである。第 1 1図は、測定系誤差要因の測定の際の動作を示すフローチヤ一トである。

第 12図は、第二の実施の形態に係るネットワークアナライザ 1の構成を示したブロック図である。

第 13図は、図 1 2に示す状態をシグナルフローグラフで表現した図であり、入力信号を直接に DUT 2に与える状態（図 13 (a))、入力信号を受信手段 20を介して DUT 2に与える状態（図 13(b)) を示す図である。

第 14図は、受信側測定系誤差要因取得部 70の構成を示すプロック図である。

第 15図は、第二の実施形態の動作を示すフローチャートである。第 16図は、測定系誤差要因の測定の際の動作を示すフローチヤ一トである。

第 17図は、測定系誤差要因の測定の際の動作を示すフローチヤ一トである。

第 18図は、スイッチ 1 3をブリッジ 14 aとブリッジ 14 bとの間に配置した場合の構成を示すプロック図である。

第 19図は、 DUT 2としてミキサを用いた場合の DUT 2の構成を示す図である。

第 20図は、従来技術にかかる被測定物（DUT) の回路パラメ一夕の測定法を説明する図である。

第 2 1図は、従来技術にかかる周波数: f 1 =f 2の場合の信号源 1 10に関するシグナルフローグラフである。

第 22図は、従来技術にかかる周波数 f 1が周波数: 2と等しくない場合の信号源 1 10に関するシグナルフローグラフである。第 2 3図は、従来技術にかかる信号源 1 1 0と受信部 1 2 0とを直結した場合のシグナルフロ一グラフである。

第 2 4図は、第一の実施形態の変形例（その 1 ) におけるキヤリブレーシヨンキヅト 8 0を、信号源 1 0および受信手段 2 0に接続した状態を示す図である。

第 2 5図は、第一の実施形態の変形例（その 2 ) におけるキヤリブレ一シヨンキヅト 8 0を、信号源 1 0および受信手段 2 0に接続した状態を示す図である。

第 2 6図は、第一の実施形態の変形例（その 3 ) におけるキヤリブレ一ションキット 8 0を、信号源 1 0および受信手段 2 0に接続した状態を示す図である。

第 2 7図は、第二の実施形態の変形例（その 1 ) におけるキヤリブレーシヨンキット 8 0を、信号源 1 0および受信手段 2 0に接続した状態を示す図である。

第 2 8図は、第二の実施形態の変形例（その 2 ) におけるキヤリブレ一ションキット 8 0を、信号源 1 0および受信手段 2 0に接続した状態を示す図である。

第 2 9図は、第二の実施形態の変形例（その 3 ) におけるキヤリブレ一シヨンキット 8 0を、信号源 1 0および受信手段 2 0に接続した状態を示す図である。発明を実施するための最良の形態

以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。第一の実施形態

図 1は、第一の実施の形態に係るネットワークアナライザ 1の構成を示したブロック図である。ネットワークアナライザ 1には、 DUT (Device Under Test：被測定物） 2が接続されている。ネットワークアナライザ 1は、 D U T 2の回路パラメ一夕、例えば Sパラメ一夕を測定する。 011丁 2は入カ端子2 &、出力端子 2 bを有する。入力端子 2 aにおける信号の周波数: f 1と、出力端子 2 bにおける信号の周波数 f 2とは異なっていてもよい。例えば、 DUT 2が周波数変化機能を有するもの（例、ミキサ）であれば f 1≠ f 2である。ネットワークアナライザ 1は、信号源 10、受信手段 20、測定系誤差要因記録部 30、回路パラメ一夕測定部 40、測定系誤差要因取得部 50、パワーメータ用端子 60、信号出力取得部 62を備える。信号源 10は、 DUT 2に信号を供給する。信号源 10は、信号出力部 12、ブリッジ 14 a、 14 b、レシーバ（ R S ) 16 a (入力信号測定手段）、レシーバ（T S) 1 6 b (反射信号測定手段）、出力端子 18を有する。信号出力部 1 2は、所定の周波数 f 1の入力信号を出力する。なお、所定の周波数は変更可能である。プリッジ 14 aは、信号出力部 12から出力された信号をレシーバ (R S) 1 6 aに供給する。プリッジ 14 aが供給する信号は、信号源 10による測定系誤差要因の影響を受けていない信号といえる。ブリッジ 14bは、入力信号が出力端子 1 8から出力され、さらに反射して戻ってきた反射信号をレシーバ（T S) 16 bに供給する。なお、プリヅジ 14 a、 14 bはパワースプリヅ夕でもよい。以後において説明する、その他のプリヅジについてもパワースプリヅ夕で代用可能である。レシーバ（R S) 1 6 a (入力信号測定手段）は、ブリッジ 14 a を介して受けた信号の Sパラメ一夕を測定する。よって、レシーバ（R S) 1 6 aは、信号源 1 0による測定系誤差要因の影響の生ずる前に、入力信号に関する Sパラメ一夕を測定する。レシーバ（ T S ) 1 6 b (反射信号測定手段）は、プリッジ 14 b を介して受けた信号の Sパラメ一夕を測定する。よって、レシーバ（T S) 1 6 bは、反射信号に関する Sパラメ一夕を測定する。出力端子 1 8は、入力信号を出力するための端子である。受信手段 2 0は、入力信号が出力端子 1 8から出力された後に、入力信号を受信信号として受信する。図 1の例では DUT 2を介して入力信号を受信信号として受信する。受信手段 2 0は、プリッジ 24 a、レシーバ（TR) 2 6 a、入力端子 2 8を有する。プリヅジ 24 aは、入力端子 2 8から入力された信号をレシーバ（T R) 2 6 aに供給する。レシーバ（TR) 2 6 a (受信信号測定手段）は、受信信号の Sパラメ一夕を測定する。入力端子 2 8は、受信手段 2 0が信号を受けるための端子である。図 1に示すような場合は、入力端子 2 8は、 DUT 2を介して入力信号を受ける。測定系誤差要因記録部 3 0は、ネットワークアナライザ 1の測定系誤差要因を記録する。測定系誤差要因は、 E d (ブリッジの方向性に起因する誤差）、 E r 1、E r 2 (周波数トラッキングに起因する誤差）、 E s (ソースマッチングに起因する誤差）、 E tがある。図 1に示す状態をシグナルフローグラフで表現しだものを図 2に示す。 S 1 1 a、 S 21 a、 S 12 a、 S 22 aは DUT 2の真の（鄉定系誤差要因の影響を排除した） Sパラメ一夕であり、 E Lはさらなる測定系誤差要因である。ただし、 S 12 a、 S 22 a、 E Lは第一の実施形態においては無視する。回路パラメ一夕測定部 40は、レシーバ（RS) 1 6 a (入力信号測定手段）、レシーバ（T S) 16 b (反射信号測定手段）、レシーバ (TR) 26 a (受信信号測定手段）の DUT 2に関する測定データ (Sパラメ一夕）と、測定系誤差要因記録部 30の記録する測定系誤差要因とに基づき、 DUT 2の真の（測定系誤差要因の影響を排除した） Sパラメ一夕（S 1 1 a、 S 2 1 a) を測定する。ただし、レシ —バ（RS) 16 a (入力信号測定手段）の DUT 2に関する測定デ —夕は R、レシーバ（T S) 16 b (反射信号測定手段）の DUT 2 に関する測定デ一夕は S 1 1 m、レシ一バ（TR) 2 6 a (受信信号測定手段）の DUT 2に関する測定デ一夕は S 2 lmである（図 2参照）。なお、レシーバ（RS) 16 a等の DUT 2に関する測定データとは、ネットワークアナライザ 1に D U T 2が接続された時の、レシ一ノ、' （RS) 16 a等により測定されるデ一夕を意味する。レシ一バ（RS) 16 aの: DUT 2に関する測定データは、ネヅトワークアナライザ 1に DUT 2が接続された時の、レシーバ（RS) 16 aにより測定されるデ一夕である。レシ一バ（T S) 1 613の0 UT 2に関する測定デ一夕は、

ネヅトワークアナライザ 1に DUT 2が接続された時の、入力信号が DUT 2から反射された反射信号をレシーバ (T S) 16 bが測定したデ一夕である。また、入力信号が出力端子 18から出力された後に、 D U T 2を介して入力信号を受信信号として受信手段 20が受信する < この受信信号に関するレシーバ (TR) 26 aによる測定データが、レシーバ（TR) 26 &の011丁 2に関する測定デ一夕である。回路パラメ一夕測定部 40は、下記の数式にのっとって S 1 1 a、 S 2 1 aを測定する。

【数 1】

ErXErl R

m -

Sl n-Ed-R+ EsErWrl-R

^ EsErlErl-R \ Slim

S21a = 1—

Slim - Ed'R + EsErlEr2,R ErlEt-R

測定系誤差要因取得部 50は、レシーバ（RS) 1 6 a (入力信号測定手段）、レシーバ (T S) 16 b (反射信号測定手段）、レシ一バ (TR) 26 a (受信信号測定手段）および信号出ガ取得部 62の測定結果に基づき測定系誤差要因（E d、 E r l、 E r 2、 E s、 E t ) を取得する。測定系誤差要因の取得にあたっては、信号源 10に校正用具 4、パワーメ一夕 6、受信手段 20を順々に接続していく。測定系誤差要因取得部 50の構成を図 3に示す。測定系誤差要因取得部 50は、切替器 52、第一測定系誤差要因取得部 54、第二測定系誤差要因取得部 56、第三測定系誤差要因取得部 58を有する。切替器 52は、レシ一バ（RS) 1 6 a (入力信号測定手段）およびレシーバ（T S) 16 b (反射信号測定手段）から測定デ一夕（例えば Sパラメ一夕）を受け、信号源 10に接続されるものの種類に応じ、これらの信号を、第一測定系誤差要因取得部 54、第二測定系誤差要因取得部 56および第三測定系誤差要因取得部 5 8のいずれか一つに出力する。すなわち、切替器 52は、信号源 1 0に校正用具 4が接続されている時は第一測定系誤差要因取得部 54に、信号源 10にパワーメータ 6が接続されている時は第二測定系誤差要因取得部 5 6に、信号源 1 0に受信手段 20が接続されている時は第三測定系誤差要因取得部 5 8に、レシーバ（RS) 16 aおよびレシーバ（T S) 16 bから受けた測定デ一夕（例えば Sパラメ一夕）を出力する。ただし、第二測定系誤差要因取得部 56および第三測定系誤差要因取得部 58にはレシ一バ（T S) 1 6 bから受けた測定データを出力しなくてもよい。第一測定系誤差要因取得部 54は、信号源 10に校正用具 4が接続されている時に、レシ一バ（； S) 1 6 aおよびレシーバ（ T S ) 1 6 bの測定デ一夕を受け、 Ed、 E s、 E r 1 · E r 2 (E r lと E r 2との積）を取得する。信号源 1 0に校正用具 4が接続されている状態を図 4 ( a) に示す。校正用具 4の端子 4 aと信号源 1 0の出力端子 1 8とが接続されている。なお、ネットワークアナライザ 1の信号源 1 0以外の部分は図 4 (a) においては省略している。校正用具 4は、特開平 1 1— 3 8 0 5 4号に記載のようにオープン（開放）、シ. ョート（短絡）、ロード（標準負荷 zo) の三種類の状態を実現する周知のものである。校正用具 4の外観は図 4 (b) に示すようなものであり、校正用具 4は、コネクタ 4 a、本体 4 bを有する。図 4 ( c) はオープン素子で端末 4 cは開放されているが浮遊容量 Cが存在する。図 4 (d) はショート素子で端末 4 dは短絡されている。図 4 ( e ) はロード素子で端末 4 eは標準負荷（インピーダンス） Z0で終端されている。信号源 1 0に校正用具 4が接続されている状態をシグナルフローグラフで表現したものを図 5に示す。ここで、レシ一バ（R S) 1 6 a の測定デ一夕は R、レシ一バ（T S) 1 6 bの測定デ一夕は Tである。 Rと Tとの関係は、下記の数式の通りである【数 2】

T 〜 Er Er1 X

R

ここで、校正用具 4が三種類接続されるため、 Rと Tとの組み合わせは三種類求められる。よって、求められる変数も E d、 E s、 E r 1 · E r 2という三種類の変数である。第二測定系誤差要因取得部 5 6は、信号源 1 0およびパワーメ一夕用端子 6 0にパワーメ一夕 6が接続されている時に、レシーバ（； R S ) 1 6 aの測定デ一夕、 E d、 E s、 E r 1 · E r 2 (第一測定系誤差要因取得部 5 4の取得した測定系誤差要因）、および信号出力取得部 6 2の出力（パワー P ) を受け、 E r l、 E r 2を取得する。信号源 1 0およびパヮ一メータ用端子 6 0にパワーメータ 6が接続されている状態を図 6に示す。なお、ネットワークアナライザ 1の信号源 1 0およびパワーメータ用端子 6 0以外の部分は図 6においては省略している。パワーメータ 6の端子 6 aは信号源 1 0の出力端子 1 8に接続されている。パワーメ一夕 6の端子 6 bはパワーメ一夕用端子 6 0に接続されている。パワーメ一夕 6は、端子 6 aを介して受けた信号のパワーを測定する。信号出力取得部 6 2はパワーメータ用端子 6 0および端子 6 bを介して、パワー Pを取得し、第二測定系誤差要因取得部 5 6に出力する。信号源 1 0およびパワーメータ用端子 6 0にパヮ一メータ 6が接続されている状態をシグナルフローグラフで表現したものを図 7に示す ₍ ここで、レシ一バ（R S ) 1 6 aの測定デ一夕は R、パワーメータ 6 の測定デ一夕は Pである。図 7から明らかなように、 Pは入力信号に関するパラメ一夕であり、測定系誤差要因が生じた後に取得されたものである。 Rと Pとの関係は、下記の数式の通りである

【数 3】

R 1— EsEr?

ここで、 E sは既知、 E pは測定可能なので、 E r lを求めることができる。 E r 1 · E r 2は既知なので、 E r 2もまた求めることができる。このように、 E r 1 · E r 2から、シグナルフローグラフ（図 7参照）においては互いに逆向きの E r 1、 E r 2を求めることができる。いわば、 E r 1 · E r 2において一体となっていた E r 1および E r 2を分離できる。第一測定系誤差要因取得部 54は、レシーバ（RS) 16 a (入力信号測定手段）およびレシーバ（T S) 1 6 b (反射信号測定手段）の測定デ一夕を受け、 Ed、 E s、 E r l ' E r 2を取得する。第二測定系誤差要因取得部 56は、レシーバ（RS) 16 a (入力信号測定手段）および信号出力取得部 62の測定データを受け、； E r l、 Ε r 2を取得する。よって、第一測定系誤差要因取得部 54および第二測定系誤差要因取得部 56は、レシーバ（RS) 1 6 a (入力信号測定手段）、レシーバ（T S) 16 b (反射信号測定手段）および信号出力取得部 62の測定データに基づき測定系誤差要因（Ed、 E s、 E r 1、 Ε r 2 ) を取得する。 . 第三測定系誤差要因取得部 58は、信号源 10に受信手段 20が接続されている時に、レシ一バ（R S ) 16 aの測定デ一夕、 E d、 E s、 E r I s E r 2 (第二測定系誤差要因取得部 56の取得した測定系誤差要因）、およびレシーバ（TR) 26 aの測定デ一夕を受け、 E tを取得する。信号源 10に受信手段 20が接続されている状態を図 8に示す。信号源 10の出力端子 18と、受信手段 20の入力端子 28とが接続されている。なお、ネットワークアナライザ 1の信号源 10および受信手段 20以外の部分は図 8においては省略している。信号源 10に受信手段 20が接続されている状態をシグナルフロ一グラフで表現したものを図 9に示す。ここで、レシーバ（R S) 1 6 aの測定データは R、レシーバ (TR) 26 a (受信信号測定手段）の測定デ一夕は TR/Sである。 Rと TRZSとの関係は、下記の数式の通りである

【数 4】

ここで、 E r lは既知なので、 E tを求めることができる。第三測定系誤差要因取得部 5 8は、 E d、 E s、 E r 1 , E r 2、 E tを測定系誤差要因記録部 3 0に出力する。パワーメータ用端子 6 0は、パワーメータ 6の端子 6 bに接続される。信号出力取得部 6 2は、パワーメータ用端子 6 0および端子 6 b を介して、パワー Pを取得し、第二測定系誤差要因取得部 5 6に出力する。次に、第一の実施形態の動作を説明する。図 1 0は、第一の実施形態の動作を示すフローチヤ一トである。まず、ネヅトワークアナライザ 1は、測定系誤差要因（E d、 E s、 E r 1、 E r 2、 E t ) を測定する（ S 1 0 )。測定された測定系誤差要因は、測定系誤差要因記録部 3 0に記録される。測定系誤差要因の測定の際の動作を図 1 1のフローチヤ一トを参照して説明する。まず、信号源 10に三種類の校正用具 4を接続する。信号出力部 1 2は入力信号を出力する。このときの入力信号をレシーバ（RS) 1 6 aが測定する。入力信号は、出力端子 18を介して校正用具 4に入力される。そして、校正用具 4から反射された反射信号をレシーバ（T S) 1 6 bが測定する。第一測定系誤差要因取得部 54はレシーバ（R S) 1 6 aおよびレシーバ（T S) 16 bの測定デ一夕を受け、 E d、 E s、 E r 1 · E r 2 (E r lと E r 2との積）を取得する（S 10 2 )。次に、信号源 10およびパワーメ一夕用端子 60にパヮ一メータ 6 を接続する。信号出力部 1 2は入力信号を出力する。このときの入力信号をレシーバ（RS) 1 6 aが測定する。入力信号は、出力端子 1 8および端子 6 aを介してパワーメ一夕 6に入力される。パヮ一メー夕 6は、この入力信号のパワー Pを測定する。そして、信号出力取得部 62はパワーメータ用端子 60および端子 6 bを介して、パワー P を取得し、第二測定系誤差要因取得部 5 6に出力する。第二測定系誤差要因取得部 56は、レシーバ（RS) 16 aの測定デ一夕、 Ed、 E s、 E r 1 · E r 2 (第一測定系誤差要因取得部 54の取得した測定系誤差要因）、および信号出力取得部 62の出力（パワー P)を受け、 E r K E r 2を取得する（ S 1 04 )。最後に、信号源 10に受信手段 20を接続する。信号出力部 12は入力信号を出力する。このときの入力信号をレシーバ（R S) 16 a が測定する。入力信号は、出力端子 18および入力端子 28を介して、受信手段 20に受信信号として受信される。レシーバ（TR) 26 a は、この受信信号を測定する。そして、第三測定系誤差要因取得部 5 8は、レシーバ（RS) 1 6 aの測定デ一夕、 E d、 E s、 E r l、 E r 2 (第二測定系誤差要因取得部 5 6の取得した測定系誤差要因）、およびレシーバ（TR) 2 6 aの測定デ一夕を受け、 E tを取得する ( S 106 )。ここで、図 10に戻り、ネットワークアナライザ 1には D U T 2が接続され（図 1参照）、 DUT 2の Sパラメ一夕等（R、 S l im, S 2 1 m)が実測される（ S 20 )。すなわち、信号出力部 12は入力信号を出力する。このときの入力信号をレシーバ（R S) 16 aが測定する。この測定により得られたデ一夕が Rである。入力信号は、出力端子 18を介して DUT 2に入力される。そして、 DUT 2から反射された反射信号をレシーバ（TS) 1 6 bが測定する。この測定により得られたデ一夕が S 1 lmである。入力信号が出力端子 18から出力された後に、 DU T 2を介して入力信号を受信信号として受信手段 20が受信する。この受信信号をレシーバ（TR) 26 aが測定する。この測定により得られたデータが S 2 lmである。これらの実測されたデ一夕は、回路パラメ一夕測定部 40に送られる。最後に、回路パラメ一夕測定部 40が、レシーバ（RS) 16 a、レシーバ（T S) 1 6 b、レシーバ（TR) 26 &の011丁 2に関する Sパラメ一夕と、測定系誤差要因記録部 30の記録する測定系誤差要因とに基づき、 D U T 2の真の Sパラメ一夕（S l l a、 S 2 1 a) を測定する（S 30)。第一の実施形態によれば、信号出力取得部 62は、入力信号に関するパワー Pを測定系誤差要因の生じた後に取得する。これにより、周波数トラヅキングに起因する誤差 E r 1. E r 2などを（シグナルフ口一グラフにおける）向きに応じて分離することができる。 DUT 2 の入力信号の周波数; 1と出力信号の周波数: f 2とが異なる場合は、周波数トラッキングに起因する誤差 E r 1、 Er 2などが向きによつて異なる。よって、向きに応じて測定系誤差要因を分離することにより、測定系の誤差の補正が可能となる。また、レシ一パ（TR) 26 aが、受信信号に関する Sパラメ一夕を測定するため、受信手段 20における測定系誤差要因 E tを取得できる。 DUT 2の入力信号の周波数 f 1と出力信号の周波数 f 2とが異なる場合は、受信手段 20における測定系誤差要因 E tを無視できない。よって、受信手段 20における測定系誤差要因 E tを取得することにより、測定系の誤差の補正が可能となる。このように、向きに応じて測定系誤差要因 E r l、E r 2を分離し、しかも受信手段 20における測定系誤差要因 E tを取得したので、レシ一バ（RS) 16 a、レシーバ（T S) 16 bおよびレシーバ（T R) 26 aの DUT 2に関する測定結果と組み合わせれば、 DUT 2 に関する Sパラメ一夕を誤差を補正しながら測定できる。第二の実施形態

第二の実施形態は、第一の実施形態において無視した DUT 2の真の（測定系誤差要因の影響を排除した） Sパラメ一夕 S 12 a、 S 2 2 aをも測定可能とした点が第一の実施形態と異なる。図 1 2は、第二の実施の形態に係るネヅトワークアナライザ 1の構成を示したブロック図である。ネットワークアナライザ 1は、信号源 1 0、受信手段 2 0、測定系誤差要因記録部 3 0、回路パラメ一夕測定部 4 0、測定系誤差要因取得部 5 0、パワーメ一夕用端子 6 0、信号出力取得部 6 2、受信側測定系誤差要因記録部 7 0を備える。以下、第一の実施形態と同様な部分は同一の番号を付して説明を省略する。信号源 1 0は、信号出力部 1 2、スィッチ 1 3、ブリッジ 1 4 a、 1 4 b、レシーバ（R S ) 1 6 a (入力信号測定手段）、レシーバ（T S) 1 6 b (反射信号測定手段）、出力端子 1 8を有する。スィッチ 1 3以外は、第一の実施形態と同様である。スィツチ 1 3は、信号出力部 1 2の出力する入力信号を直接に D U T 2に与えるか、受信手段 2 0を介して DUT 2に与えるかを選択するためのスィッチである。スイッチ 1 3は、端子 1 3 a、 1 3 b, 1 3 cを有する。端子 1 3 aは出力端子 1 8に、端子 1 3 bは受信手段 2 0に、端子 1 3 cは信号出力部 1 2に接続されている。端子 1 3 a と端子 1 3 cとを接続する、すなわちスィツチ 1 3を端子 1 3 aの側にすれば入力信号を直接に DUT 2に与えることになる。このとき、信号生成部 1 2は周波数 f 1の信号を出力する。端子 1 3 aと端子 1 3 bとを接続する、すなわちスィツチ 1 3を端子 1 3 bの側にすれば入力信号を受信手段 2 0を介して DUT 2に与えることになる。このとき、信号生成部 1 2は周波数： f 2の信号を出力する。なお、入力信号を受信手段 2 0を介して DUT 2に与える場合は、出力端子 1 8から信号が信号源 1 0に入力されることになる。ここで、ブリッジ 14bは、この信号をレシーバ（T S) 16 bに供給する。受信手段 20は、ブリッジ 24 a、 24 b、レシ一バ (T R) 26 a、レシーバ（RR) 26 b、入力端子 28を有する。入力端子 28 は、第一の実施形態と同様である。なお、ブリッジ 24 a、レシ一バ (TR) 26 aは、入力信号を直接に DUT 2に与える場合は、第一の実施形態と同様の機能を果たす。しかし、プリヅジ 24 a、レシ一ノ' (TR) 26 aは、入力信号を受信手段 20を介して; DUT 2に与える場合は、第一の実施形態とは異なった機能を果たす。これについては後述する。スィッチ 1 3を端子 1 3 bの側にすれば、信号出力部 12の出力する入力信号がスィツチ 13を介して受信手段 20に送られる。プリヅジ 24bは、この入力信号をレシーバ（RR) 26 bに供給する。ブリッジ 24 bが供給する信号は、受信手段 20における測定系誤差要因の影響を受けていない信号といえる。ブリッジ 24 aは、入力信号が入力端子 28から出力されさらに反射して戻ってきた受信側反射信号をレシ一バ（TR) 26 aに供給する。レシーバ (TR) 26 a (受信側反射信号測定手段）は、ブリッジ 24 aを介して受けた受信側反射信号の Sパラメ一夕を測定する。レシ一バ（TR) 26 aは、受信信号測定手段と受信側反射信号測定手段との機能を果たす。レシーバ（RR) 26 b (受信側入力信号測定手段）は、プリヅジ 24bを介して受けた入力信号の Sパラメ一夕を測定する。よって、レシーバ (RR) 2 6 bは、受信手段 20における測定系誤差要因の影響の生ずる前に、入力信号に関する Sパラメ一夕を測定する。測定系誤差要因記録部 30は、ネットワークアナライザ 1の測定系誤差要因を記録する。測定系誤差要因は、 Ed、 E r l、 E r 2、 E s、 E t、 ELがある。ただし、入力信号を直接に D UT 2に与える場合と、入力信号を受信手段 20を介して DUT 2に与える場合とがあり、前者の場合を： (forward), 後者の場合を r (reverse) という添字を付して区別する。すなわち、測定系誤差要因は、 E df、 E r l f Έ τ 2 f E s f、 E t f、 EL fおよび Ed r、 E r 1 r , E r 2 r , E s r、 E t r、 EL rがある。図 12に示す状態をシグナルフローグラフで表現したものを図 13 に示す。図 13 (a) は入力信号を直接に DUT 2に与える状態を示し、図 13 (b) は入力信号を受信手段 20を介して DUT 2に与える状態を示す。回路パラメ一夕測定部 40は、

( 1 ) 入力信号を直接に DUT 2に与える場合のレシーバ (R S) 1 6 a (入力信号測定手段）、レシーバ（T S) 1 6 b (反射信号測定手段）、レシーバ（TR) 26 a (受信信号測定手段）の DUT 2に関する測定デ一夕（Sパラメ一夕）、

( 2 ) 入力信号を受信手段 20を介して DUT 2に与える場合のレシ —バ（RR) 26 b (受信側入力信号測定手段）、レシーバ（TR) 2 6 a (受信側反射信号測定手段）、レシーバ（TS) 16 b (反射信号測定手段）の DUT 2に関する測定デ一夕（Sパラメ一夕）、 (3) 測定系誤差要因記録部 30の記録する測定系誤差要因、とに基づき、 DUT 2の真の（測定系誤差要因の影響を排除した） S パラメ一夕（S l l a、 S 2 1 a、 S 12 a、 S 22 a)を測定する。ただし、入力信号を直接に DUT 2に与える場合の、レシーバ（R S) 16 a (入力信号測定手段）の DUT 2に関する測定データは R、レシーバ（T S) 1 6 b (反射信号測定手段）の DUT 2に関する測定デ一夕は S l lm、レシ一バ（TR) 2 6 a (受信信号測定手段）の DUT 2に関する測定デ一夕は S 2 1 mである（図 13 (a)参照）。また、入力信号を受信手段 20を介して DUT 2に与える場合の、レシーバ (R ) 26 b (受信側入力信号測定手段）に関する測定デ —夕は R、レシーバ（TR) 26 a (受信側反射信号測定手段）の D UT 2に関する測定データは S 22m、レシーバ（T S) 1 6 b (反射信号測定手段）の DUT 2に関する測定データは S 12mである（図 13 (b) 参照）。なお、レシーバ（RS) 16 a等の D U T 2に関する測定デ一夕とは、ネットワークアナライザ 1に DUT 2が接続された時の、レシ一ノ S (R S) 16 a等により測定されるデータを意味する。レシーバ（RS) 16 aの DUT 2に関する測定データは、ネットワークアナライザ 1に DUT 2が接続された時の、レシーバ（RS) 16 aにより測定されるデ一夕である。レシーバ（T S) 1 6ゎの0 UT 2に関する測定データは、

ネヅトワークアナライザ 1に DUT 2が接続された時の、入力信号が DUT 2から反射された反射信号をレシーバ（T S) 16 bが測定したデータである。また、入力信号が出力端子 18から出力された後に、 DUT 2を介して入力信号を受信信号として受信手段 20が受信する < この受信信号に関するレシーバ（TR) 26 aによる測定デ一夕が、レシーバ（TR) 2 6 aの DUT 2に関する測定デ一夕である。これらは、信号出力部 12の出力する入力信号を直接に DUT 2に与える場合のことである。レシ一バ（RR) 26 bの DUT 2に関する測定デ一夕は、ネットワークアナライザ 1に DUT 2が接続された時の、レシーバ（RR) 26 bにより測定されるデータである。レシ一バ（TR) 26 &の0 UT 2に関する測定デ一夕は、

ネットワークアナライザ 1に DUT 2が接続された時の、入力信号が DUT 2から反射された反射信号をレシーバ（TR) 26 aが測定したデ一夕である。また、入力信号が入力端子 28から出力された後に、 DUT 2を介して入力信号を信号源 10が受信する。この信号に関するレシーバ（T S) 1 6 bによる測定デ一夕が、レシーバ（T S) 1 6 bの DUT 2に関する測定デ一夕である。これらは、信号出力部 1 2の出力する入力信号を受信手段 20を介して DUT 2に与える場合のことである。回路パラメ一夕測定部 40は、下記の数式にのっとって S 1 1 a、 S 2 1 a S 12 a、 S 22 aを測定する。【数 5】 SXlm一 Edf し S22m-Edr ( Slim Slim

1+ Esr\- ELf

D EAf-Er2f Erlr -Er2r Etf Etr

£

ただし、

測定系誤差要因取得部 5 0は、レシーバ（R S) 1 6 a (入力信号測定手段）、レシーバ（T S) 1 6 b (反射信号測定手段）、レシーバ (TR) 2 6 a (受信信号測定手段）および信号出力取得部 6 2の測定結果に基づき測定系誤差要因（E d f 、 E r 1 f E r 2 f E s f E t f, E L f ) を取得する。測定系誤差要因の取得にあたっては、信号源 1 0に校正用具 4、パワーメータ 6、受信手段 2 0を順々に接続していく。測定系誤差要因取得部 5 0の構成は第一の実施形態と同様である (図 3参照）。ただし、切替器 52は、第三測定系誤差要因取得部 5 8 にはレシーバ (T S) 16 bから受けた測定デ一夕をも出力する。また、第三測定系誤差要因取得部 58は、 E t f のみならず EL f をも求める。信号源 10に受信手段 20が接続されている状態をシグナルフロ一グラフで表現したものを図 9に示した通りである。ここで、レシ一バ (R S) 16 aの測定データは R、レシーバ（TR) 26 a (受信信号測定手段）の測定データは TR/S、レシーバ（T S) 1 6 b (反射信号測定手段）の測定デ一夕は T SZRである。： Rと TRZSとの関係および Rと T S/Rとの関係は、下記の数式の通りである。ただし、添字 fは省略してある。

【数 6】

TS IR ErlEr2EL

R 1― t^sEL

TR/S ErlEt

1一 EsEL

Rと T SZRとの関係から E L f が求められ、： Rと TR/Sとの関係に E L f を代入すれば E t f が求められる。パワーメ一夕用端子 60は、パワーメ一夕 6の端子 6 bに接続される。信号出力取得部 62 (受信側信号出力手段）は、パワーメータ用端子 60および端子 6 bを介して、パワー Pを取得し、第二測定系誤差要因取得部 56および後述する第二受信側測定系誤差要因取得部 7 6に出力する。受信側測定系誤差要因取得部 70は、レシーバ (RR) 26 b (受信側入力信号測定手段）、レシ一バ（TR) 26 a (受信側反射信号測定手段）、レシーバ（T S) 16 b (反射信号測定手段）および信号出力取得部 62の測定結果に基づき測定系誤差要因（E d r_sE r 1 r_N E r 2 r s E s r、 Et r、 E L r ) を取得する。測定系誤差要因の取得にあたっては、受信手段 20の入力端子 28に校正用具 4、パヮーメ一夕 6、信号源 10を順々に接続していく。受信側測定系誤差要因.取得部 70の構成を図 14に示す。受信側測定系誤差要因取得部 70は、切替器 72、第一受信側測定系誤差要因取得部 74、第二受信側測定系誤差要因取得部 76、第三受信側測定系誤差要因取得部 78を有する。切替器 72は、レシーバ（RR) 26 b (受信側入力信号測定手段）およびレシーバ (TR) 26 a (受信側反射信号測定手段）から測定データ（例えば Sパラメ一夕）を受け、受信手段 20に接続されるものの種類に応じ、これらの信号を、第一受信側測定系誤差要因取得部 74、第二受信側測定系誤差要因取得部 76および第三受信側測定系誤差要因取得部 78のいずれか一つに出力する。すなわち、切替器 72は、受信手段 20に校正用具 4が接続されている時は第一受信側測定系誤差要因取得部 74に、受信手段 20にパヮ一メータ 6が接続されている時は第二受信側測定系誤差要因取得部 76に、受信手段 20に信号源 10が接続されている時は第三受信側測定系誤差要因取得部 78に、レシーバ (RR) 26 bおよびレシ一ノ (TR) 2 6 aから受けた測定デ一夕（例えば Sパラメ一夕）を出力する。ただし、第二受信側測定系誤差要因取得部 76にはレシーバ (TR) 2 6 aから受けた測定デ一夕を出力しなくてもよい。第一受信側測定系誤差要因取得部 7 は、受信手段 20に校正用具 JP03/04892

49

4が接続されている時に、レシ一バ（RR) 26 bおよびレシーバ（T R) 26 aの測定デ一夕を受け、 Ed r、 E s r、 E r l r · E r 2 r (E r l rと Er 2 rとの積）を取得する。 E d r、 E s r、 E r 1 r · E r 2 rの取得法は第一の実施形態における第一測定系誤差要因取得部 54と同様である。第二受信側測定系誤差要因取得部 76は、受信手段 20およびパヮ —メータ用端子 60にパヮ一メータ 6が接続されている時に、レシ一ノ、' （RR) 26 bの測定データ、 E d r、 E s r、 E r l r · E r 2 r (第一受信側測定系誤差要因取得部 74の取得した測定系誤差要因）、および信号出力取得部 62の出力（パワー P) を受け、 E r l r、 E r 2 rを取得する。 E r l r、 E r 2 rの取得法は第一の実施形態における第二測定系誤差要因取得部 56と同様である。第一受信側測定系誤差要因取得部 74は、レシーバ（RH) 26 b (受信側入力信号測定手段）およびレシーバ (TR) 26 a (受信側反射信号測定手段）の測定デ一夕を受け、 Edr、 E s r、 E r l :r ' E r 2 rを取得する。第二受信側測定系誤差要因取得部 76は、レシ —バ (RR) 26 b (受信側入力信号測定手段）および信号出力取得部 62の測定デ一夕を受け、 E r 1 r、 E r 2 rを取得する。よって、第一受信側測定系誤差要因取得部 74および第二受信側測定系誤差要因取得部 76は、レシーバ（RR) 26 b (受信側入力信号測定手段）、レシーバ (TR) 26 a (受信側反射信号測定手段）および信号出力取得部 62 (受信側信号出力取得手段）の測定デ一夕に基づき受信側の測定系誤差要因（Edr、 E s r、 E r l r, E r 2 r ) を取得する。 4892

50 第三受信側測定系誤差要因取得部 78は、受信手段 20に信号源 1 0が接続されている時に、レシ一バ（RR) 2.6 bおよびレシーバ（T R) 26 aの測定デ一夕、 Edr、 E s r、 E r 1 r _s E r 2 r (第二受信側測定系誤差要因取得部 76の取得した測定系誤差要因）、およびレシ一バ（TS) 16 bの測定データを受け、 E t r、 ELrを取得する。 E t r、 ELrの取得法は、第二の実施形態における第三測定系誤差要因取得部 58と同様である。第三受信側測定系誤差要因取得部 78は、 Ed :r、 E s r、 E r 1 r、 E r 2 r、 E t r、 E L rを測定系誤差要因記録部 30に出力する。次に、第二の実施形態の動作を説明する。図 1 5は、第二の実施形態の動作を示すフローチャートである。まず、ネヅトワークアナライザ 1は、測定系誤差要因（E df、 E s f、 E r l f、 E r 2 f、 E t f、 ELf ) を測定する（ S 10 )。測定された測定系誤差要因は、測定系誤差要因記録部 30に記録される。測定系誤差要因の測定の際の動作を図 16のフローチャートを参照して説明する。 ' まず、スィヅチ 13を端子 13 aの側にする（ S 1 01 )。そして、信号源 10に三種類の校正用具 4を接続する。信号出力部 12は入力信号を出力する。このときの入力信号をレシーバ（R S) 16 aが測定する。入力信号は、出力端子 18を介して校正用具 4に入力される。 TJP03/04892

51

そして、校正用具 4から反射された反射信号をレシーバ（T S) 1 6 bが測定する。第一測定系誤差要因取得部 54はレシーバ（RS) 1 6 aおよびレシーバ（T S) 16 bの測定データを受け、 E d f、 E s f、 E r 1 f ■ E r 2 f (E r l f と E r 2 f との積）を取得する ( S 102 )。

次に、信号源 10およびパワーメ一夕用端子 60にパワーメータ 6 を接続する。信号出力部 1 2は入力信号を出力する。このときの入力信号をレシーバ（RS) 1 6 aが測定する。入力信号は、出力端子 1 8および端子 6 aを介してパワーメータ 6に入力される。パワーメ一夕 6は、この入力信号のパヮ一 Pを測定する。そして、信号出力取得部 62はパワーメ一夕用端子 60および端子 6 bを介して、パワー P を取得し、第二測定系誤差要因取得部 56に出力する。第二測定系誤差要因取得部 56は、レシ一バ（R S) 1 6 aの測定デ一夕、 E d f、 E s f, E r l f - E r 2 f (第一測定系誤差要因取得部 54の取得した測定系誤差要因）、および信号出力取得部 62の出力（パワー P) を受け、 E r l f、 E r 2 f を取得する（S 104)。

最後に、信号源 10に受信手段 20を接続する。信号出力部 12は入力信号を出力する。このときの入力信号をレシーバ（RS) 1 6 a が測定する。入力信号は、出力端子 18および入力端子 28を介して、受信手段 20に受信信号として受信される。レシーバ（TR) 26 a は、この受信信号を測定する。また、入力信号が受信手段 20から反射された反射信号をレシーバ（T S) 1 6 bが測定する。そして、第三測定系誤差要因取得部 58は、レシーバ（RS) 1 6 aの測定デ一夕、 Ed f、 E s f s E r 1 f s E r 2 f (第二測定系誤差要因取得部 56の取得した測定系誤差要因）、レシ一バ（TS) 1 6 bおよびレシ一バ（TR) 26 aの測定データを受け、 E t f、 E L f を取得する（ S 107 )。次に、ネットワークアナライザ 1は、測定系誤差要因（E d r、 E s r、 E r l r、 Ε Γ 2 r E t r、 E L r ) を測定する（ S 12 )。測定された測定系誤差要因は、測定系誤差要因記録部 30に記録される。測定系誤差要因の測定の際の動作を図 17のフローチャートを参照して説明する。まず、スイッチ 13を端子 13 bの側にする（ S 1 2 1 )。そして、受信手段 20に S種類の校正用具 4を接続する。信号出力部 12は入力信号を出力する。このときの入力信号をレシーバ（RR) 26 bが測定する。入力信号は、入力端子 28を介して校正用具 4に入力される。そして、校正用具 4から反射された反射信号をレシーバ（TR) 26 aが測定する。第一受信側測定系誤差要因取得部 74はレシーバ (R ) 26 bおよびレシ一バ（TR) 26 aの測定データを受け、 Edr、 E s r、 E r l r - E r 2 r (E r l rと E r 2 rとの積）を取得する（S 122)。次に、受信手段 20およびパワーメ一夕用端子 60にパワーメータ 6を接続する。信号出力部 12は入力信号を出力する。このときの入力信号をレシーバ (RR) 26 bが測定する。入力信号は、入力端子 28および端子 6 aを介してパワーメータ 6に入力される。パワーメ一夕 6は、この入力信号のパワー Pを測定する。そして、信号出力取得部 62はパワーメータ用端子 60および端子 6 bを介して、パワー TJP03/04892

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Pを取得し、第二受信側測定系誤差要因取得部 76に出力する。第二受信側測定系誤差要因取得部 76は、レシーバ（RR) 26 bの測定デ一夕、 Ed r、 E s r、 E r 1 r · E r 2 r (第一受信側測定系誤差要因取得部 74の取得した測定系誤差要因）、および信号出力取得部 62の出力（パワー P) を受け、 E r l r、 E r 2 rを取得する（ S 124)。最後に、信号源 10に受信手段 20を接続する。信号出力部 1 2は入力信号を出力する。このときの入力信号をレシーバ（RR) 2 6 b が測定する。入力信号は、入力端子 28および出力端子 18を介して、信号源 10が受信する。レシーバ（T S) 1 6 bは、この信号を測定する。そして、信号源 10から反射された反射信号をレシーバ（TR) 26 aが測定する。そして、第三測定系誤差要因取得部 58は、レシ —Λ (RR) 26 bの測定デ一夕、 E d r、 E s r、 E r l r、 E r 2 r (第二受信側測定系誤差要因取得部 76の取得した測定系誤差要因）、レシーバ（TR) 26 aおよびレシーバ（T S) 1 6bの測定デ一夕を受け、 E t r、 EL rを取得する（S 127)。ここで、図 1 5に戻り、ネットワークアナライザ 1には D U T 2が接続され（図 1参照）、 DUT 2の Sパラメ一夕等（R、 S l lm、 S 2 1 m、 S 12 m、 S 22 m) が実測される（ S 20 )。すなわち、スィッチ 13を端子 13 aの側にする。このとき、信号出力部 12は入力信号を出力する。このときの入力信号をレシーバ（R S) 16 aが測定する。この測定により得られたデータが Rである。入力信号は、出力端子 18を介して DUT 2に入力される。そして、 DUT 2から反射された反射信号をレシーバ（T S) 16 bが測定する。この測定により得られたデ一夕が S 1 lmである。入力信号が出力端子 18から出力された後に、 DUT 2を介して入力信号を受信信号として受信手段 20が受信する。この受信信号をレシーバ（TR) 26 aが測定する。この測定により得られたデ一夕が S 2 1 mである (図 13 (a) 参照）。また、スイッチ 13を端子 13 bの側にする。このとき、信号出力部 12は入力信号を出力し、受信手段 20に供給する。このときの入力信号をレシーバ（RR) 26 bが測定する。この測定により得られたデータが Rである。入力信号は、入力端子 28を介して DUT 2に入力される。そして、 DUT 2から反射された反射信号をレシーバ（T R) 26 aが測定する。この測定により得られたデ一夕が S 22 mである。入力信号が入力端子 28から出力された後に、 DUT 2を介して信号源 1 0が受信する。この信号をレシーバ（T S) 1 6 bが測定する。この測定により得られたデ一夕が S 12 mである（図 13 (b) 参照）。これらの実測されたデータは、回路パラメ一夕測定部 40に送られる。最後に、回路パラメ一夕測定部 40が、入力信号を直接に DUT 2 に与える場合のレシ一バ（R S) 1 6 a、レシーバ（TS) 16 b、レシーバ（TR) 2 6 &の01112に関する3パラメ一夕と、入力信号を受信手段 20を介して DUT 2に与える場合のレシーバ（RR) 26 b、レシーバ（TR) 26 a、レシーバ（T S) 16 bの DUT 2に関する Sパラメ一夕と、測定系誤差要因記録部 30の記録する測定系誤差要因とに基づき、 DUT 2の真の Sパラメ一夕（S 1 1 a、 S 2 1 a、 S 12 a S 22 a) を測定する（ S 30 )。第二の実施形態によれば、信号出力取得部 62は、入力信号に関するパワー Pを受信側の測定系誤差要因の生じた後に取得する。これにより、周波数トラヅキングに起因する誤差 E r l r、 E r 2 r (E r 1 f、 E r 2 f ) を（シグナルフロ一グラフにおける）向きに応じて分離することができる。 DUT 2の入力信号の周波数 f 1と出力信号の周波数： f 2とが異なる場合は、周波数トラッキングに起因する誤差 E r l、 Ε r 2などが向きによって異なる。よって、向きに応じて受信側の測定系誤差要因を分離することにより、測定系の誤差の補正が可能となる。また、レシーバ（TS) 16 bが、信号源 10が受信した信号に関する Sパラメ一夕を測定するため、信号源 10における測定系誤差要因 E t r、 EL rを取得できる。 D U T 2の入力信号の周波数 f 1と出力信号の周波数： f 2とが異なる場合は、信号源 10における測定系誤差要因 E t r、 ELrを無視できない。よって、信号源 10における測定系誤差要因 E t r、 EL rを取得することにより、測定系の誤差の補正が可能となる。なお、レシーバ (TR) 26 aが受信信号関する Sパラメ一夕を測定するため、受信手段 20における測定系誤差要因 E t f、 E L f も取得できる。このように、向きに応じて測定系誤差要因 E r 1 r、 E r 2 r (E r l f、 E r 2 f ) を分離し、しかも信号源 10における測定系誤差 P T/JP03/04892

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要因 E t r、 E L rおよび受信手段 20における測定系誤差要因 E t f、 ELf を取得したので、入力信号を直接に DUT 2に与える場合のレシーバ（RS) 16 a, レシーバ（T S) 1 6 bおよびレシーバ (TR) 26 aの DUT 2に関する測定結果と、入力信号を受信手段 20を介して DUT 2に与える場合のレシ一バ（RR) 26 b, レシ —バ（T R) 26 a、レシ一バ（ T S ) 16 bの D U T 2に関する測定結果と組み合わせれば、 DUT 2に関する Sパラメ一夕を誤差を補正しながら測定できる。，

なお、図 12においては、スイッチ 13をブリッジ 14 aと信号出力部 12との間に配置してある。しかし、スイッチ 13をブリッジ 1 4 aとプリヅジ 14 bとの間に配置することも可能である。スイッチ 13をブリッジ 14 aとブリッジ 14 bとの間に配置した場合の構成を図 18に示す。端子 13 cはプリッジ 14 aを介して信号出力部 1 2に接続されている。

また、 D U T 2としては図 19に示すようなミキサを用いることができる。 DUT 2は、入力端子 2 a、出力端子 2 b、ローカル信号発生器 2 c、乗算器 2 dを有する。入力端子' 2 aおよび出力端子 2 bは上述の通りである。ローカル信号発生器 2 cは周波数： f L o (可変）のローカル信号を乗算器 2 dに供給する。乗算器 2 dは、入力端子 2 aから供給される信号（周波数 1) とローカル信号（周波数 L o) とを乗算して出力端子 2 bに供給する。このような場合は、 f 2 = f 1士 f L oとなるため、 f l≠f 2となる。このような場合にも上記の実施形態は適合する。 P T/JP03/04892

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なお、上記の実施形態において、 C P U、ハードディスク、メディァ（フロッピ一ディスク、 C D—： R O Mなど）読み取り装置を備えたコンピュータのメディァ読み取り装置に、上記の各部分を実現するプログラムを記録したメディァを読み取らせて、ハードディスクにインストールする。このような方法でも、ネットワークアナライザを実現できる。

また、第一の実施形態においては、信号源 1 0に校正用具 4、パヮ —メ一夕 6、受信手段 2 0を順々に接続していくこととしている。しかし、校正用具 4等を順々に接続していくことは多大な労力を要する。そこで、以下のように、第一の実施形態について、様々な変形例が考えられる。

第一の実施形態の変形例（その 1 )

図 2 4は、直結（信号源 1 0と受信手段 2 0 )、オープン（開放）、ショート（短絡）、ロード（標準負荷 Z0) の四種類の状態を実現できるキヤリブレーションキヅト 8 0を、信号源 1 0および受信手段 2 0 に接続した状態を示す図である。なお、図 2 4においては、信号源 1 0の構成要素は、出力端子 1 8を除いて、図示省略している。また、受信手段 2 0の構成要素は、入力端子 2 8を除いて、図示省略している。

キヤリブレーションキット 8 0は、第一切替器（第一入力信号供給手段） 8 2、直結部 8 4 a、第一オープン部 8 4 b、第一ショート部 8 4 c、第一ロード部 8 4 dを有する。第一切替器（第一入力信号供給手段） 8 2は、直結部 8 4 a、第一オープン部 8 4 b、第一ショート部 8 4 cおよび第一ロード部 8 4 d のいずれか一つと、信号源 1 0の出力端子 1 8とを接続する。出力端子 1 8と接続するものは切り替えることができる。この切替は、自動的に行うようにすることが好ましい。ここでいう、「自動的」とは、利用者が手動で切替動作を行わなくても切替が行われることを意味する < 直結部 8 4 aは、受信手段 2 0の入力端子 2 8と、第一切替器 8 2 とを直結する。第一オープン部 8 4 bは、校正用具 4のうち、ォ一プン（開放）を実現するためのものである。第一ショート部 8 4 cは、校正用具 4のうち、ショート（短絡）を実現するためのものである。第一ロード部 8 4 dは、校正用具 4のうち、ロード（標準負荷 Z0) を実現するためのものである。第一切替器 8 2が出力端子 1 8と直結部 8 4 aとを接続すれば、信号源 1 0と受信手段 2 0とが直結される。第一切替器 8 2が出力端子 1 8と第一オープン部 8 4 bとを接続し、次に出力端子 1 8と第一ショ一ト部 8 4 cとを接続し、さらに出力端子 1 8と第一口一ド部 8 .4 dとを接続すれば、三種類の校正用具 4が信号源 1. 0と接続されることになる。第一切替器 8 2は、出力端子 1 8と接続するものを切り替えると、切替器 5 2に、出力端子 1 8と何を接続しているかを示す情報を送るようにするとよい。これにより、切替器 5 2は、第一切替器 8 2による出力端子 1 8と接続するものの切り替えに応じて動作できる。 JP03/04892

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このようにすれば、信号源 1 0に校正用具 4および受信手段 2 0を接続していくことが自動化できる。

第一の実施形態の変形例（その 2 )

図 2 5は、図 2 4に示したキャリブレーションキット 8 0に（第一）パワーメ一夕 6を常に接続したままとしたものを信号源 1 0および受信手段 2 0に接続した状態を示す図である。以下、図 2 4に示したものと同様な部分は、同一の番号を付して説明を省略する。

第一切替器 8 2は、直結部 8 4 a、第一オープン部 8 4 b、第一ショ一ト部 8 4 c、第一口一ド部 8 4 dおよびパワーメ一夕 6のいずれか一つと、信号源 1 0の出力端子 1 8とを接続する。出力端子 1 8と接続するものは切り替えることができる。この切替は、自動的に行うようにすることが好ましい。

なお、（第一）パヮ一メータ 6の端子 6 aは第一切替器 8 2に、パヮ —メ一夕 6の端子 6 bはパワーメ一夕用端子 6 0に接続されている。第一切替器 8 2が出力端子 1 8と端子 6 aとを接続すれば、信号源 1 0とパヮ一メ一夕 6とが接続される。

このようにすれば、信号源 1 0に校正用具 4、（第一）パワーメ一夕 6および受信手段 2 0を接続していくことが自動化できる。

第一の実施形態の変形例（その 3 )

図 2 6は、図 2 4に示したキャリブレーションキット 8 0に第一パヮ一センサ 6 dを含めたものを信号源 1 0および受信手段 2 0に接続 03 04892

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した状態を示す図である。以下、図 2 4および図 2 5に示したものと同様な部分は、同一の番号を付して説明を省略する。

第一切替器 8 2は、直結部 8 4 a、第一オープン部 8 4 b、第一ショート部 8 4 c、第一ロード部 8 4 dおよび第一パワーセンサ 6 のいずれか一つと、信号源 1 0の出力端子 1 8とを接続する。出力端子 1 8と接続するものは切り替えることができる。この切替は、自動的に行うようにすることが好ましい。

なお、第一パワーセンサ 6 dは、受けた信号のパワーを所定の物理量（例えば、電圧など）に変換するためのものである。第一パワーセンサ 6 dの出力は第一パワーメ一夕本体 6 eにより処理され、第一パヮ一センサ 6 dが受けた信号のパワーが測定される。これは、第一パヮ一センサ 6 dおよび第一パヮ一メ一夕本体 6 eが、（第一）パヮ一メ一夕 6の機能を果たすことを意味する。

キヤリブレーシヨンキヅト 8 0に内蔵された第一パワーセンサ 6 d はパワーメータ用端子 6 0を介して第一パワーメ一夕本体 6 Θに接続されている。第一パワーメ一夕本体 6 eは、ネットワークアナライザ 1の内部に設けられ、信号出力取得部 6 2に接続されている。

第一切替器 8 2が出力端子 1 8と第一パワーセンサ 6 dとを接続すれば、信号源 1 0と、第一パワーセンサ 6 dおよび第一パワーメータ本体 6 e (パワーメ一夕 6の機能を果たす）とが接続される。

このようにすれば、信号源 1 0に校正用具 4、（第一）パワーメータ P T/JP03/04892

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6および受信手段 2 0を接続していくことが自動化できる。しかも、 (第一）パワーメ一夕 6そのものをキャリブレーションキット 8 0に接続し続ける必要もない。

また、第二の実施形態においては、信号源 1 0に校正用具 4、パヮ一メータ 6、受信手段 2 0を順々に接続していくことに加え、受信手段 2 0に校正用具 4、パワーメ一夕 6、信号源 1 0を順々に接続していくこととしている。しかし、校正用具 4等を順々に接続していくことは多大な労力を要する。そこで、以下のように、第二の実施形態について、様々な変形例が考えられる。

第二の実施形態の変形例（その 1 )

図 2 7は、直結（信号源 1 0と受信手段 2 0 ) と、信号源 1 0および受信手段 2 0についてオープン（開放）、ショート（短絡）、ロード (標準負荷 Z0)の状態を実現できるキヤリブレーシヨンキット 8 0を、信号源 1 0および受信手段 2 0に接続した状態を示す図である。なお、図 2 7においては、信号源 1 0の構成要素は、出力端子 1 8を除いて、図示省略している。また、受信手段 2 0の構成要素は、入力端子 2 8 を除いて、図示省略している。

キヤリブレーシヨンキヅト 8 0は、第一切替器 8 2、第二切替器 8 8、直結部 8 4 a、第一オープン部 8 4 b、第二オープン部 8 6 b、第一ショート部 8 4 c、第二ショート部 8 6 c、第一ロード部 8 4 d、第二ロード部 8 6 dを有する。

第一切替器 8 2、直結部 8 4 a、第一オープン部 8 4 b、第一ショ —ト部 8 4 c、第一口一ド部 8 4 dは図 2 4に示したものと同様であり説明を省略する。ただし、直結部 8 4 aは、第一切替器 8 2と第二切替器 8 8とを直結する。第二オープン部 8 6 bは、校正用具 4のうち、オープン（開放）を実現するためのものである。第二ショート部 8 6 cは、校正用具 4のうち、ショート（短絡）を実現するためのものである。第二ロード部 8 6 dは、校正用具 4のうち、ロード（標準負荷 Z0) を実現するためのものである。切替器 8 8は、直結部 8 4 a、第二オープン部 8 6 b、第二ショート部 8 6 cおよび第二ロード部 8 6 dのいずれか一つと、受信手段 2 0の入力端子 2 8とを接続する。入力端子 2 8と接続するものは切り替えることができる。この切替は、自動的に行うようにすることが好ましい。また、切替器 8 2が出力端子 1 8と直結部 8 4 aとを接続したときは、切替器 8 8もまた入力端子 2 8と直結部 8 4 aとを接続するようにする。切替器 8 2が出力端子 1 8と直結部 8 4 aとを接続すれば、切替器 8 8も入力端子 2 8と直結部 8 4 aとを接続するため、信号源 1 0と受信手段 2 0とが直結される。切替器 8 2が出力端子 1 8と第一ォ一プン部 8 4 bとを接続し、次に出力端子 1 8と第一ショート部 8 4 c とを接続し、さらに出力端子 1 8と第一ロード部 8 4 dとを接続すれば、三種類の校正用具 4が信号源 1 0と接続されることになる。切替器 8 2は、出力端子 1 8と接続するものを切り替えると、切替器 5 2に、出力端子 1 8と何を接続しているかを示す情報を送るようにするとよい。これにより、切替器 5 2は、切替器 8 2による出力端子 1 8と接続するものの切り替えに応じて動作できる。このようにすれば、信号源 1 0に校正用具 4および受信手段 2 0を接続していくことが自動化できる。切替器 8 8が入力端子 2 8と第二オープン部 8 6 bとを接続し、次に入力端子 2 8と第二ショート部 8 6 cとを接続し、さらに入力端子 2 8と第二口一ド部 8 6 dとを接続すれば、三種類の校正用具 4が受信手段 2 0と接続されることになる。切替器 8 8は、に入力端子 2 8と接続するものを切り替えると、切替器 7 に、入力端子 2 8と何を接続しているかを示す情報を送るようにするとよい。これにより、切替器 7 2は、切替器 8 8による入力端子 2 8と接続するものの切り替えに応じて動作できる。このようにすれば、受信手段 2 0に校正用具 4および信号源 1 0を接続していくことが自動化できる。第二の実施形態の変形例（その 2 )

図 2 8は、図 2 7に示したキャリブレーションキヅト 8 0に第一パヮ―メ—夕 6、第二パヮ—メ一夕 6 ' を常に接続したままとしたものを信号源 1 0および受信手段 2 0に接続した状態を示す図である。以下、図 2 7に示したものと同様な部分は、同一の番号を付して説明を省略する。 03 04892

64 切替器 8 2は、直結部 8 4 a、第一オープン部 8 4 b、第一ショ一ト部 8 4 c、第一口一ド部 8 4 dおよび第一パワーメ一夕 6のいずれか一つと、信号源 1 0の出力端子 1 8とを接続する。出力端子 1 8と接続するものは切り替えることができる。この切替は、自動的に行うようにすることが好ましい。なお、第一パヮ一メ一夕 6の端子 6 aは切替器 8 2に、第一パヮ一メ一夕 6の端子 6 bはパヮ一メ一夕用端子 6 0 aに接続されている。切替器 8 8は、直結部 8 4 a、第二オープン部 8 6 b、第二ショート部 8 6 c、第二ロード部 8 6 dおよび第二パワーメ一夕 6 ' のいずれか一つと、受信手段 2 0の入力端子 2 8とを接続する。入力端子 2 8と接続するものは切り替えることができる。この切替は、自動的に行うようにすることが好ましい。また、切替器 8 2が出力端子 1 8と直結部 8 4 aとを接続したときは、切替器 8 8もまた入力端子 2 8と直結部 8 4 aとを接続するようにする。なお、第二パワーメ一夕 6 ' の端子 6 a，は切替器 8 8に、第二パヮ一メ一夕 6，の端子 6 b ' はパワーメータ用端子 6 0 bに接続されている。なお、端子 6 a，、 6 b，の機能は端子 6 a、 6 bの機能と同様である。また、パワーメータ用端子 6 0 a、 bは、信号出力取得部 6 2に接続されている。 P T/JP03/04892

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切替器 8 2が出力端子 1 8と端子 6 aとを接続すれば、信号源 1 0 とパワーメ一夕 6とが接続される。切替器 8 8が入力端子 2 8と端子 6 a ' とを接続すれば、受信手段 2 0と第二パワーメ一夕 6 ' とが接続される。

このようにすれば、信号源 1 0に校正用具 4、パヮ一メータ 6および受信手段 2 0を接続していくことが自動化できる。さらに、受信手段 2 0に校正用具 4、パヮ一メータ 6および信号源 1 0を接続していくことが自動化できる。

第二の実施形態の変形例（その 3 )

図 2 9は、図 2 7に示したキヤリブレーションキット 8 0にパワーセンサ 6 d、 6 d ⁵ を含めたものを信号源 1 0および受信手段 2 0に接続した状態を示す図である。以下、図 2 7および図 2 8に示した'ものと同様な部分は、同一の番号を付して説明を省略する。

切替器 8 8は、直結部 8 4 a、第二オープン部 8 6 b、第二ショート部 8 6 c、第二ロード部 8 6 dおよび第二パヮ一センサ 6 d ' のいずれか一つと、受信手段 2 0の入力端子 2 8とを接続する。入力端子 2 8と接続するものは切り替えることができる。この切替は、自動的に行うようにすることが好ましい。

なお、第二パワーセンサ 6 d，は、受けた信号のパワーを所定の物理量（例えば、電圧など）に変換するためのものである。第二パワーセンサ 6 d，の出力は第二パワーメータ本体 6 e ' により処理され、第二パワーセンサ 6 d 'が受けた信号のパワーが測定される。これは、 2

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第二パヮ一センサ 6 d ' および第二パワーメ一夕本体 6 e ' が、パヮ —メータ 6の機能を果たすことを意味する。

キャリブレーションキヅト 8 0に内蔵された第二パヮ一センサ 6 d，はパワーメ一夕用端子 6 0 bを介して第二パワーメータ本体 6 e，に接続されている。第二パヮ一メータ本体 6 e ' は、ネットワークァナライザ 1の内部に設けられ、信号出力取得部 6 2に接続されている。

なお、パワーセンサ 6 dはパヮ一メ一夕用端子 6 0 aを介してパヮ一メータ本体 6 eに接続されている。パワーメ一夕本体 6 eは、ネヅトワークアナライザ 1の内部に設けられ、信号出力取得部 6 2に接続されている。

切替器 8 2が出力端子 1 8とパヮ一センサ 6 dとを接続すれば、信号源 1 0と、パワーセンサ 6 dおよびパワーメ一夕本体 6 e (パワーメ一夕 6の機能を果たす）とが接続される。

このようにすれば、信号源 1 0に校正用具 4、パヮ一メ一夕 6および受信手段 2 0を接続していくことが自動化できる。しかも、パワーメ一夕 6そのものをキャリブレーションキット 8 0に接続し続ける必要もない。

切替器 8 8が入力端子 2 8と第二パワーセンサ 6 d ' とを接続すれば、受信手段 2 0と、第二パワーセンサ 6 d，および第二パワーメ一夕本体 6 e，（パワーメータ 6の機能を果たす）とが接続される。このようにすれば、受信手段 2 0に校正用具 4、パワーメ一夕 6および信号源 1 0を接続していくことが自動化できる。しかも、パワーメ一夕 6そのものをキャリブレーションキヅト 8 0に接続し続ける必要もない。本発明によれば、向きに応じて測定系誤差要因を分離し、しかも受信手段における測定系誤差要因を取得したので、入力信号測定手段、反射信号測定手段および受信信号測定手段の被測定物に関する測定結果と組み合わせれば、被測定物に関する所定のパラメ一夕（例えば S パラメ一夕）を誤差を補正しながら測定できる。

Claims

請求の範囲

1 . 入力信号に関する所定のパラメ一夕を、測定系誤差要因の生ずる前に測定する入力信号測定手段と、

前記入力信号が反射された反射信号に関する所定のパラメ一夕を測定する反射信号測定手段と、

前記入力信号に関する所定のパラメ一夕を、測定系誤差要因の生じた後に取得する信号出力取得手段と、

前記入力信号測定手段、前記反射信号測定手段および前記信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する測定系誤差要因取得手段と、

を備えたネットワークアナライザ。

2 . 請求項 1に記載のネヅトワークアナライザであって、

前記反射信号測定手段は、前記ネットワークアナライザに接続された校正用具から前記入力信号が反射された前記反射信号に関する所定のパラメ一夕を測定し、

前記校正用具は、開放、短絡および標準負荷の三種類の状態を実現するものであるネットワークアナライザ。

3 . 請求項 1または 2に記載のネットワークアナライザであって、前記入力信号が出力された後に前記入力信号を受信信号として受信する受信手段を備え、

前記受信手段は、前記受信信号に関する所定のパラメ一夕を測定する受信信号測定手段を有し、

前記測定系誤差要因取得手段は、前記入力信号測定手段、前記反射信号測定手段、前記信号出力取得手段および前記受信信号測定手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する、

ネットワークアナライザ。

4 . 請求項 3に記載のネットワークアナライザであって、

前記反射信号測定手段は、前記入力信号が被測定物から反射された反射信号に関する所定のパラメ一夕を測定し、

前記受信手段は、前記入力信号が出力された後に前記被測定物を介して前記入力信号を前記受信信号として受信し、

前記入力信号測定手段、前記反射信号測定手段ならびに前記受信信号測定手段の前記被測定物に関する測定結果および前記測定系誤差要因に基づき前記被測定物に関する所定のパラメ一夕を測定するパラメ一夕測定.手段を備えたネットワークアナライザ。

5 . 請求項 3に記載のネットワークアナライザであって、

前記受信手段は、

前記入力信号に関する所定のパラメ一夕を、測定系誤差要因の生ずる前に測定する受信側入力信号測定手段と、

前記入力信号が前記受信手段から出力されて反射された受信側反射信号に関する所定のパラメ一夕を測定する受信側反射信号測定手段と、前記入力信号に関する所定のパラメ一夕を、測定系誤差要因の生じた後に取得する受信側信号出力取得手段と、

前記受信側入力信号測定手段、前記受信側反射信号測定手段および前記受信側信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する受信側測定系誤差要因取得手段と、

を備えたネットワークアナライザ。

6 . 請求項 5に記載のネヅトワークアナライザであって、

前記受信側反射信号測定手段は前記受信信号測定手段であるネットワークアナライザ。

7 . 請求項 5または 6に記載のネットワークアナライザであって、前記受信側反射信号測定手段は、前記ネツトワークアナライザに接続された校正用具から前記入力信号が反射された前記反射信号に関する所定のパラメ一夕を測定し、

8 . 請求項 5ないし 7のいずれか一項に記載のネヅトワークアナラィザであって、

前記反射信号測定手段は前記入力信号が前記受信手段から出力された後に受信して所定のパラメ一夕を測定し、

前記受信側測定系誤差要因取得手段は、前記受信側入力信号測定手段、前記受信側反射信号測定手段、前記受信側信号出力取得手段および前記反射信号測定手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する、

ネットワークアナライザ。

9 . 請求項 8に記載のネットワークアナライザであって、

前記入力信号が直接に被測定物に与えられる時に、

前記反射信号測定手段は、前記入力信号が前記被測定物から反射された反射信号に関する所定のパラメ一夕を測定し、

前記入力信号が前記受信手段を介して前記被測定物に与えられる時に、

前記受信側反射信号測定手段は、前記入力信号が前記被測定物から反射された受信側反射信号に関する所定のパラメ一夕を測定し、前記反射信号測定手段は、前記入力信号が前記受信手段から出力された後に前記被測定物を介して前記入力信号を受信して所定のパラメ —夕を測定し、

前記入力信号が直接に前記被測定物に与えられる時の前記入力信号測定手段、前記反射信号測定手段ならびに前記受信信号測定手段の前記被測定物に関する測定結果と、前記入力信号が前記受信手段を介して前記被測定物に与えられる時の前記受信側入力信号測定手段、前記受信側反射信号測定手段ならびに前記反射信号測定手段の前記被測定物に関する測定結果と、前記測定系誤差要因とに基づき前記被測定物に関する所定のパラメ一夕を測定するパラメ一夕測定手段を備えたネットワークアナライザ。

1 0 . 請求項 9に記載のネヅトワークアナライザであって、

前記入力信号を直接に前記被測定物に与えるか、あるいは前記受信手段を介して前記被測定物に与えるかを選択する選択手段を備えたネットワークアナライザ。

1 1 . 請求項 4、 9および 1 0のいずれか一項に記載のネットヮークアナライザであって、

前記被測定物の入力周波数と出力周波数とが異なるネットワークァ

1 2 . 請求項 1 1に記載のネヅトワークアナライザであって、前記被測定物がミキサであるネットワークアナライザ。

1 3 . 請求項 1ないし 1 2のいずれか一項に記載のネヅトワークァナライザであって、

前記所定のパラメ一夕は Sパラメ一夕あるいはパワーであるネヅトワークアナライザ。

1 4 . 入力信号に関する所定のパラメ一夕を、測定系誤差要因の生ずる前に測定する入力信号測定工程と、

前記入力信号が反射された反射信号に関する所定のパラメ一夕を測定する反射信号測定工程と、

前記入力信号に関する所定のパラメ一夕を、測定系誤差要因の生じた後に取得する信号出力取得工程と、

前記入力信号測定工程、前記反射信号測定工程および前記信号出力取得工程の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する測定系誤差要因取得工程と、

を備えたネットワーク解析方法。

1 5 . 前記入力信号が出力された後に前記入力信号を受信信号として受信する受信手段を有するネットワークアナライザによってネットワーク解析を行う請求項 1 4に記載のネットワーク解析方法であって、前記受信手段において前記受信信号に関する所定のパラメ一夕を測定する受信信号測定工程を有し、

前記測定系誤差要因取得工程は、前記入力信号測定工程、前記反射信号測定工程、前記信号出力取得工程および前記受信信号測定工程の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する、

ネットワーク解析方法。

1 6 . 請求項 1 5に記載のネットワーク解析方法であって、

前記反射信号測定工程は、前記入力信号が被測定物から反射された反射信号に関する所定のパラメ一夕を測定し、

前記入力信号測定工程、前記反射信号測定工程ならびに前記受信信号測定工程の前記被測定物に関する測定結果および前記測定系誤差要因に基づき前記被測定物に関する所定のパラメ一夕を測定するパラメ一夕測定工程を備えたネットワーク解析方法。

1 7 . 請求項 1 5に記載のネットワーク解析方法であって、

前記受信手段において、

前記入力信号に関する所定のパラメ一夕を、測定系誤差要因の生ずる前に測定する受信側入力信号測定工程と、

前記入力信号が前記受信手段から出力されて反射された受信側反射信号に関する所定のパラメ一夕を測定する受信側反射信号測定工程と、前記入力信号に関する所定のパラメ一夕を、測定系誤差要因の生じた後に取得する受信側信号出力取得工程と、，前記受信側入力信号測定工程、前記受信側反射信号測定工程および前記受信側信号出力取得工程の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する受信側測定系誤差要因取得工程と、

を備えたネットワーク解析方法。

1 8 . 請求項 1 7に記載のネットワーク解析方法であって、前記反射信号測定工程は前記入力信号が前記受信手段から出力された後に受信して所定のパラメ一夕を測定し、

前記受信側測定系誤差要因取得工程は、前記受信側入力信号測定ェ程、前記受信側反射信号測定工程、前記受信側信号出力取得工程および前記反射信号測定工程の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する、

ネットワーク解析方法。

1 9 . 請求項 1 8に記載のネットワーク解析方法であって、前記入力信号が直接に被測定物に与えられる時に、

前記反射信号測定工程は、前記入力信号が前記被測定物から反射された反射信号に関する所定のパラメ一夕を測定し、

前記受信側反射信号測定工程は、前記入力信号が前記被測定物から反射された受信側反射信号に関する所定のパラメ一夕を測定し、前記反射信号測定工程は、前記入力信号が前記受信工程から出力された後に前記被測定物を介して前記入力信号を受信して所定のパラメ —夕を測定し、

前記入力信号が直接に前記被測定物に与えられる時の前記入力信号測定工程、前記反射信号測定工程ならびに前記受信信号測定工程の前記被測定物に関する測定結果と、前記入力信号が前記受信手段を介して前記被測定物に与えられる時の前記受信側入力信号測定工程、前記受信側反射信号測定工程ならびに前記反射信号測定工程の前記被測定物に関する測定結果と、前記測定系誤差要因とに基づき前記被測定物に関する所定のパラメ一夕を測定するパラメ一夕測定工程を備えたネットワーク解析方法。

2 0 . 入力信号に関する所定のパラメ一夕を、測定系誤差要因の生ずる前に測定する入力信号測定手段と、前記入力信号が反射された反射信号に関する所定のパラメ一夕を測定する反射信号測定手段と、前記入力信号に関する所定のパラメ一夕を、測定系誤差要因の生じた後に取得する信号出力取得手段とを有するネットワークアナライザにおけるネットワーク解析処理をコンピュー夕に実行させるためのプログラムであって、

前記入力信号測定手段、前記反射信号測定手段および前記信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する測定系誤差要因取得処理をコンピュータに実行させるためのプログラム。

2 1 . 請求項 2 0に記載のプログラムであって、

前記ネットワークアナライザは、

前記入力信号が出力された後に前記入力信号を受信信号として受信する受信手段を備え、

前記測定系誤差要因取得処理は、前記入力信号測定手段、前記反射信号測定手段、前記信号出力取得手段および前記受信信号測定手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する、

プログラム。

2 2 . 請求項 2 1に記載のプログラムであって、

前記入力信号測定手段、前記反射信号測定手段ならびに前記受信信号測定手段の前記被測定物に関する測定結果および前記測定系誤差要因に基づき前記被測定物に関する所定のパラメ一夕を測定するパラメ一夕測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラム。

2 3 . 請求項 2 1に記載のプログラムであって、

前記受信手段は、

を有し、

前記受信側入力信号測定手段、前記受信側反射信号測定手段および前記受信側信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する受信側測定系誤差要因取得処理をコンピュータに実行させるためのプログラム。

2 4 . 請求項 2 3に記載のプログラムであって、

前記受信側測定系誤差要因取得処理は、前記受信側入力信号測定手段、前記受信側反射信号測定手段、前記受信側信号出力取得手段および前記反射信号測定手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する、

プログラム。

2 5 . 請求項 2 4に記載のプログラムであって、

前記入力信号が直接に被測定物に与えられる時に、

前記受信側反射信号測定手段は、前記入力信号が前記被測定物から反射された受信側反射信号に関する所定のパラメ一夕を測定し、前記反射信号測定手段は、前記入力信号が前記受信手段から出力された後に前記被測定物を介して前記入力信号を受信して所定のパラメ一夕を測定し、

前記入力信号が直接に前記被測定物に与えられる時の前記入力信号測定手段、前記反射信号測定手段ならびに前記受信信号測定手段の前記被測定物に関する測定結果と、前記入力信号が前記受信手段を介して前記被測定物に与えられる時の前記受信側入力信号測定手段、前記受信側反射信号測定手段ならびに前記反射信号測定手段の前記被測定物に関する測定結果と、前記測定系誤差要因とに基づき前記被測定物に関する所定のパラメ一夕を測定するパラメ一夕測定処理をコンビュ一夕に実行させるためのプログラム。

2 6 . 入力信号に関する所定のパラメ一夕を、測定系誤差要因の生ずる前に測定する入力信号測定手段と、前記入力信号が反射された反射信号に関する所定のパラメ一夕を測定する反射信号測定手段と、前記入力信号に関する所定のパラメ一夕を、測定系誤差要因の生じた後に取得する信号出力取得手段とを有するネットワークアナライザにおけるネヅトワーク解析処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であつて、

前記入力信号測定手段、前記反射信号測定手段および前記信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する測定系誤差要因取得処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体。

2 7 . 請求項 2 6に記載のプログラムを記録したコンピュータによつて読み取り可能な記録媒体であって、

前記ネットヮ一クアナライザは、

前記測定系誤差要因取得処理は、前記入力信号測定手段、前記反射信号測定手段、前記信号出力取得手段および前記受信信号測定手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する、プログラムを記録したコンピュ一夕によつて読み取り可能な記録媒体。

2 8 . 請求項 2 7に記載のプログラムを記録したコンピュータによつて読み取り可能な記録媒体であって、

前記入力信号測定手段、前記反射信号測定手段ならびに前記受信信号測定手段の前記被測定物に関する測定結果および前記測定系誤差要因に基づき前記被測定物に関する所定のパラメ一夕を測定するパラメ —夕測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体。

2 9 . 請求項 2 7に記載のプログラムを記録したコンピュータによつて読み取り可能な記録媒体であって、

前記受信手段は、

を有し、

前記受信側入力信号測定手段、前記受信側反射信号測定手段および前記受信側信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する受信側測定系誤差要因取得処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体。

3 0 . 請求項 2 9に記載のプログラムを記録したコンピュー夕によつて読み取り可能な記録媒体であって、

前記反射信号測定手段は前記入力信号が前記受信手段から出力された後に受信して所定のパラメータを測定し、

プログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体。

3 1 . 請求項 3 0に記載のプログラムを記録したコンピュータによつて読み取り可能な記録媒体であって、

.前記入力信号が直接に被測定物に与えられる時に、

前記入力信号が直接に前記被測定物に与えられる時の前記入力信号測定手段、前記反射信号測定手段ならびに前記受信信号測定手段の前記被測定物に関する測定結果と、前記入力信号が前記受信手段を介して前記被測定物に与えられる時の前記受信側入力信号測定手段、前記受信側反射信号測定手段ならびに前記反射信号測定手段の前記被測定物に関する測定結果と、前記測定系誤差要因とに基づき前記被測定物に関する所定のパラメ一夕を測定するパラメ一夕測定処理をコンビュ —夕に実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体。

3 2 . ( a ) 入力信号に関する所定のパラメ一夕を、測定系誤差要因の生ずる前に測定する入力信号測定手段と、（b )前記入力信号が反射された反射信号に関する所定のパラメ一夕を測定する反射信号測定手段と、（ c )前記入力信号に関する所定のパラメ一夕を、測定系誤差要因の生じた後に取得する信号出力取得手段と、（d )前記入力信号測定手段、前記反射信号測定手段および前記信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する測定系誤差要因取得手段と、 ( e ) 前記入力信号が出力された後に前記入力信号を受信信号として受信する受信手段と、を備えたネットワークアナライザに接続する自動校正器であって、

それそれが異なる状態を実現する複数の校正用具と、

前記校正用具のいずれか一つあるいは前記受信手段を自動的に選択して前記入力信号を供給する入力信号供給手段と、を備えた自動校正器。

3 3 . 請求項 3 2に記載の自動校正器であって、

前記入力信号供給手段は、前記校正用具のいずれか一つ、前記受信手段あるいは前記信号出力取得手段を自動的に選択して前記入力信号を供給する、

自動校正器。

3 4 . 請求項 3 3に記載の自動校正器であって、

前記入力信号供給手段が前記信号出力取得手段に前記入力信号を供給する際は、パワーメータを介して前記入力信号を供給する、

自動校正器。

3 5 . 請求項 3 3に記載の自動校正器であって、

前記入力信号供給手段が前記信号出力取得手段に前記入力信号を供給する際は、パワーセンサおよびパワーメ一夕本体を介して前記入力信号を供給し、

前記パヮ一センサは前記自動校正器に内蔵され、

前記パワーメ一夕本体は前記ネヅトワークアナライザに内蔵されている、

自動校正器。

3 6 . ( a ) 入力信号に関する所定のパラメ一夕を、測定系誤差要因の生ずる前に測定する入力信号測定手段と、（b )前記入力信号が反射された反射信号に関する所定のパラメ一夕を測定する反射信号測定手段と、（ c )前記入力信号に関する所定のパラメ一夕を、測定系誤差要因の生じた後に取得する信号出力取得手段と、（d )前記入力信号測定手段、前記反射信号測定手段および前記信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する測定系誤差要因取得手段と、を有する信号源と、前記入力信号が出力された後に前記入力信号を受信信号として受信する受信手段と、を備え、前記受信手段は、（e— 1 ) 前記入力信号に関する所定のパラメ一夕を、測定系誤差要因の生ずる前に測定する受信側入力信号測定手段と、（e— 2 )前記入力信号が前記受信手段から出力されて反射された受信側反射信号に関する所定のパラメ一夕を測定する受信側反射信号測定手段と、（ e— 3 )前記入力信号に関する所定のパラメ一夕を、測定系誤差要因の生じた後に取得する受信側信号出力取得手段と、（ e— 4 )前記受信側入力信号測定手段、前記受信側反射信号測定手段および前記受信側信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する受信側測定系誤差要因取得手段と、を有するネットワークアナライザに接続する自動校正器であって、

前記入力信号の信号源についてそれそれが異なる状態を実現する複数の第一校正用具と、

前記受信手段についてそれぞれが異なる状態を実現する複数の第二校正用具と、

前記第一校正用具のいずれか一つあるいは前記受信手段を自動的に選択して前記信号源からの前記入力信号を供給する第一入力信号供給手段と、

前記第二校正用具のいずれか一つあるいは前記信号源を自動的に選択して、前記受信手段を経由した前記入力信号を供給する第二入力信号供給手段と、を備えた自動校正器。

3 7 . 請求項 3 6に記載の自動校正器であって、

前記第一入力信号供給手段は、前記第一校正用具のいずれか一つ、前記受信手段あるいは前記信号出力取得手段を自動的に選択して前記入力信号を供給し、

前記第二入力信号供給手段は、前記第二校正用具のいずれか一つ、前記信号源あるいは前記受信側信号出力取得手段を自動的に選択して、前記受信手段を経由した前記入力信号を供給する、

自動校正器。

3 8 . 請求項 3 7に記載の自動校正器であって、

前記第一入力信号供給手段が前記信号出力取得手段に前記入力信号を供給する際は、第一パワーメ一夕を介して前記入力信号を供給し、前記第二入力信号供給手段が前記受信側信号出力取得手段に前記入力信号を供給する際は、第二パワーメ一夕を介して前記入力信号を供給する、

自動校正器。

3 9 . 請求項 3 7に記載の自動校正器であって、

前記第一入力信号供給手段が前記信号出力取得手段に前記入力信号を供給する際は、第一パワーセンサおよび第一パワーメ一夕本体を介して前記入力信号を供給し、

前記第二入力信号供給手段が前記受信側信号出力取得手段に前記入力信号を供給する際は、第二パヮ一センサおよび第二パヮ一メ一夕本体を介して前記入力信号を供給する、前記第一および第二パワーセンサは前記自動校正器に内蔵され、前記第一および第二パワーメータ本体は前記ネットワークアナライザに内蔵されている、

自動校正器。

4 0 . ( a ) 入力信号に関する所定のパラメ一夕を、測定系誤差要因の生ずる前に測定する入力信号測定手段と、（b )前記入力信号が反射された反射信号に関する所定のパラメ一夕を測定する反射信号測定手段と、（ c )前記入力信号に関する所定のパラメ一夕を、測定系誤差要因の生じた後に取得する信号出力取得手段と、（d )前記入力信号測定手段、前記反射信号測定手段および前記信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する測定系誤差要因取得手段と、 ( e ) 前記入力信号が出力された後に前記入力信号を受信信号として受信する受信手段と、を備えたネットワークアナライザに接続する、それそれが異なる状態を実現する複数の校正用具を備えた自動校正器における校正方法であって、

前記校正用具のいずれか一つあるいは前記受信手段を自動的に選択して前記入力信号を供給する入力信号供給工程、

を備えた校正方法。

4 1 . ( a ) 入力信号に関する所定のパラメ一夕を、測定系誤差要因の生ずる前に測定する入力信号測定手段と、（b )前記入力信号が反射された反射信号に関する所定のパラメ一夕を測定する反射信号測定手段と、（ c )前記入力信号に関する所定のパラメ一夕を、測定系誤差要因の生じた後に取得する信号出力取得手段と、（d )前記入力信号測定手段、前記反射信号測定手段および前記信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する測定系誤差要因取得手段と、を有する信号源と、前記入力信号が出力された後に前記入力信号を受信信号として受信する受信手段と、を備え、前記受信手段は、！: e— 1 ) 前記入力信号に関する所定のパラメ一夕を、測定系誤差要因の生ずる前に測定する受信側入力信号測定手段と、（ e — 2 )前記入力信号が前記受信手段から出力されて反射された受信側反射信号に関する所定のパラメ一夕を測定する受信側反射信号測定手段と、（ e— 3 )前記入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生じた後に取得する受信側信号出力取得手段と、（e - 4 )前記受信側入力信号測定手段、前記受信側反射信号測定手段および前記受信側信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する受信側測定系誤差要因取得手段と、を有するネットワークアナライザに接続する、前記入力信号の信号源についてそれそれが異なる状態を実現する複数の第一校正用具と、前記受信手段についてそれそれが異なる状態を実現する複数の第二校正用具とを備えた自動校正器における校正方法であって、前記第一校正用具のいずれか一つあるいは前記受信手段を自動的に選択して前記信号源からの前記入力信号.を供給する第一入力信号供給工程と、

前記第二校正用具のいずれか一つあるいは前記信号源を自動的に選択して、前記受信手段を経由した前記入力信号を供給する第二入力信号供給工程と、

を備えた校正方法。

4 2 . ( a ) 入力信号に関する所定のパラメ一夕を、測定系誤差要因の生ずる前に測定する入力信号測定手段と、（b )前記入力信号が反射された反射信号に関する所定のパラメ一夕を測定する反射信号測定手段と、（ c )前記入力信号に関する所定のパラメ一夕を、測定系誤差要因の生じた後に取得する信号出力取得手段と、（d )前記入力信号測定手段、前記反射信号測定手段および前記信号出力取得手段の測定結罘に基づき、測定系誤差要因を取得する測定系誤差要因取得手段と、 ( Θ ) 前記入力信号が出力された後に前記入力信号を受信信号として受信する受信手段と、を備えたネットワークアナライザに接続する、それそれが異なる状態を実現する複数の校正用具を備えた自動校正器における校正処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであつて、

前記校正用具のいずれか一つあるいは前記受信手段を自動的に選択して前記入力信号を供給する入力信号供給処理、

をコンビユー夕に実行させるためのプログラム。

4 3 . ( a ) 入力信号に関する所定のパラメ一夕を、測定系誤差要因の生ずる前に測定する入力信号測定手段と、（b )前記入力信号が反射された反射信号に関する所定のパラメ一夕を測定する反射信号測定手段と、（ c )前記入力信号に関する所定のパラメ一夕を、測定系誤差要因の生じた後に取得する信号出力取得手段と、（d )前記入力信号測定手段、前記反射信号測定手段および前記信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する測定系誤差要因取得手段と、を有する信号源と、前記入力信号が出力された後に前記入力信号を受信信号として受信する受信手段と、を備え、前記受信手段は、（ e— 1 ) 前記入力信号に関する所定のパラメ一夕を、測定系誤差要因の生ずる前に測定する受信側入力信号測定手段と、（e— 2 )前記入力信号が前記受信手段から出力されて反射された受信側反射信号に関する所定のパラメ一夕を測定する受信側反射信号測定手段と、（ e— 3 )前記入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生じた後に取得する受信側信号出力取得手段と、（e— 4 )前記受信側入力信号測定手段、前記受信側反射信号測定手段および前記受信側信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する受信側測定系誤差要因取得手段と、を有するネットワークアナライザに接続する、前記入力信号の信号源についてそれそれが異なる状態を実現する複数の第一校正用具と、前記受信手段についてそれそれが異なる状態を実現する複数の第二校正用具とを備えた自動校正器における校正処理をコンビュ一夕に実行させるためのプログラムであって、

前記第一校正用具のいずれか一つあるいは前記受信手段を自動的に選択して前記信号源からの前記入力信号を供給する第一入力信号供給処理と、

前記第二校正用具のいずれか一つあるいは前記信号源を自動的に選択して、前記受信手段を経由した前記入力信号を供給する第二入力信号供給処理と、

をコンピュータに実行させるためのプログラム。

4 4 . ( a ) 入力信号に関する所定のパラメ一夕を、測定系誤差要因の生ずる前に測定する入力信号測定手段と、（b )前記入力信号が反射された反射信号に関する所定のパラメ一夕を測定する反射信号測定手段と、（ c )前記入力信号に関する所定のパラメ一夕を、測定系誤差要因の生じた後に取得する信号出力取得手段と、（d )前記入力信号測定手段、前記反射信号測定手段および前記信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する測定系誤差要因取得手段と、 ( e ) 前記入力信号が出力された後に前記入力信号を受信信号として受信する受信手段と、を備えたネットワークアナライザに接続する、それそれが異なる状態を実現する複数の校正用具を備えた自動校正器における校正処理をコンビュ一夕に実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、前記校正用具のいずれか一つあるいは前記受信手段を自動的に選択して前記入力信号を供給する入力信号供給処理、

をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンビュ —夕によって読み取り可能な記録媒体。

• 4 5 . ( a ) 入力信号に関する所定のパラメ一夕を、測定系誤差要因の生ずる前に測定する入力信号測定手段と、（b )前記入力信号が反射された反射信号に関する所定のパラメ一夕を測定する反射信号測定手段と、（ c )前記入力信号に関する所定のパラメ一夕を、測定系誤差要因の生じた後に取得する信号出力取得手段と、（d )前記入力信号測定手段、前記反射信号測定手段および前記信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する測定系誤差要因取得手段と、を有する信号源と、前記入力信号が出力された後に前記入力信号を受信信号として受信する受信手段と、を備え、前記受信手段は、（e— 1 ) 前記入力信号に関する所定のパラメ一夕を、測定系誤差要因の生ずる前に測定する受信側入力信号測定手段と、（ e— 2 )前記入力信号が前記受信手段から出力されて反射された受信側反射信号に関する所定のパラメ一夕を測定する受信側反射信号測定手段と、（ e— 3 )前記入力信号に関する所定のパラメ一夕を、測定系誤差要因の生じた後に取得する受信側信号出力取得手段と、（e— 4 )前記受信側入力信号測定手段、前記受信側反射信号測定手段および前記受信側信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する受信側測定系誤差要因取得手段と、を有するネットワークアナライザに接続する、前記入力信号の信号源についてそれそれが異なる状態を実現する複数の第一校正用具と、前記受信手段についてそれそれが異なる状態を実現する複数の第二校正用具とを備えた自動校正器における校正処理をコンビユー夕に実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによつて読み取り可能な記録媒体であって、

をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンビュ一夕によって読み取り可能な記録媒体。