JP5087533B2 - ネットワークアナライザ、ネットワーク解析方法、自動校正器、校正方法、プログラムおよび記録媒体 - Google Patents
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Description
Under Test)の回路パラメータ(例えば、Sパラメータ)を測定することが行われている。従来技術にかかる被測定物(DUT)の回路パラメータの測定法を図20を参照して説明する。
図1は、第一の実施の形態に係るネットワークアナライザ1の構成を示したブロック図である。ネットワークアナライザ1には、DUT(Device Under Test:被測定物)2が接続されている。ネットワークアナライザ1は、DUT2の回路パラメータ、例えばSパラメータを測定する。DUT2は入力端子2a、出力端子2bを有する。入力端子2aにおける信号の周波数f1と、出力端子2bにおける信号の周波数f2とは異なっていてもよい。例えば、DUT2が周波数変化機能を有するもの(例、ミキサ)であればf1≠f2である。
ネットワークアナライザ1にDUT2が接続された時の、入力信号がDUT2から反射された反射信号をレシーバ(TS)16bが測定したデータである。また、入力信号が出力端子18から出力された後に、DUT2を介して入力信号を受信信号として受信手段20が受信する。この受信信号に関するレシーバ(TR)26aによる測定データが、レシーバ(TR)26aのDUT2に関する測定データである。
測定系誤差要因取得部50は、レシーバ(RS)16a(入力信号測定手段)、レシーバ(TS)16b(反射信号測定手段)、レシーバ(TR)26a(受信信号測定手段)および信号出力取得部62の測定結果に基づき測定系誤差要因(Ed、Er1、Er2、Es、Et)を取得する。測定系誤差要因の取得にあたっては、信号源10に校正用具4、パワーメータ6、受信手段20を順々に接続していく。
ここで、Esは既知、Epは測定可能なので、Er1を求めることができる。Er1・Er2は既知なので、Er2もまた求めることができる。このように、Er1・Er2から、シグナルフローグラフ(図7参照)においては互いに逆向きのEr1、Er2を求めることができる。いわば、Er1・Er2において一体となっていたEr1およびEr2を分離できる。
第二の実施形態は、第一の実施形態において無視したDUT2の真の(測定系誤差要因の影響を排除した)SパラメータS12a、S22aをも測定可能とした点が第一の実施形態と異なる。
(1)入力信号を直接にDUT2に与える場合のレシーバ(RS)16a(入力信号測定手段)、レシーバ(TS)16b(反射信号測定手段)、レシーバ(TR)26a(受信信号測定手段)のDUT2に関する測定データ(Sパラメータ)、
(2)入力信号を受信手段20を介してDUT2に与える場合のレシーバ(RR)26b(受信側入力信号測定手段)、レシーバ(TR)26a(受信側反射信号測定手段)、レシーバ(TS)16b(反射信号測定手段)のDUT2に関する測定データ(Sパラメータ)、
(3)測定系誤差要因記録部30の記録する測定系誤差要因、
とに基づき、DUT2の真の(測定系誤差要因の影響を排除した)Sパラメータ(S11a、S21a、S12a、S22a)を測定する。
ネットワークアナライザ1にDUT2が接続された時の、入力信号がDUT2から反射された反射信号をレシーバ(TS)16bが測定したデータである。また、入力信号が出力端子18から出力された後に、DUT2を介して入力信号を受信信号として受信手段20が受信する。この受信信号に関するレシーバ(TR)26aによる測定データが、レシーバ(TR)26aのDUT2に関する測定データである。これらは、信号出力部12の出力する入力信号を直接にDUT2に与える場合のことである。
ネットワークアナライザ1にDUT2が接続された時の、入力信号がDUT2から反射された反射信号をレシーバ(TR)26aが測定したデータである。また、入力信号が入力端子28から出力された後に、DUT2を介して入力信号を信号源10が受信する。この信号に関するレシーバ(TS)16bによる測定データが、レシーバ(TS)16bのDUT2に関する測定データである。これらは、信号出力部12の出力する入力信号を受信手段20を介してDUT2に与える場合のことである。
測定系誤差要因取得部50は、レシーバ(RS)16a(入力信号測定手段)、レシーバ(TS)16b(反射信号測定手段)、レシーバ(TR)26a(受信信号測定手段)および信号出力取得部62の測定結果に基づき測定系誤差要因(Edf、Er1f、Er2f、Esf、Etf、ELf)を取得する。測定系誤差要因の取得にあたっては、信号源10に校正用具4、パワーメータ6、受信手段20を順々に接続していく。
図24は、直結(信号源10と受信手段20)、オープン(開放)、ショート(短絡)、ロード(標準負荷Z0)の四種類の状態を実現できるキャリブレーションキット80を、信号源10および受信手段20に接続した状態を示す図である。なお、図24においては、信号源10の構成要素は、出力端子18を除いて、図示省略している。また、受信手段20の構成要素は、入力端子28を除いて、図示省略している。
図25は、図24に示したキャリブレーションキット80に(第一)パワーメータ6を常に接続したままとしたものを信号源10および受信手段20に接続した状態を示す図である。以下、図24に示したものと同様な部分は、同一の番号を付して説明を省略する。
図26は、図24に示したキャリブレーションキット80に第一パワーセンサ6dを含めたものを信号源10および受信手段20に接続した状態を示す図である。以下、図24および図25に示したものと同様な部分は、同一の番号を付して説明を省略する。
図27は、直結(信号源10と受信手段20)と、信号源10および受信手段20についてオープン(開放)、ショート(短絡)、ロード(標準負荷Z0)の状態を実現できるキャリブレーションキット80を、信号源10および受信手段20に接続した状態を示す図である。なお、図27においては、信号源10の構成要素は、出力端子18を除いて、図示省略している。また、受信手段20の構成要素は、入力端子28を除いて、図示省略している。
図28は、図27に示したキャリブレーションキット80に第一パワーメータ6、第二パワーメータ6’を常に接続したままとしたものを信号源10および受信手段20に接続した状態を示す図である。以下、図27に示したものと同様な部分は、同一の番号を付して説明を省略する。
図29は、図27に示したキャリブレーションキット80にパワーセンサ6d、6d’を含めたものを信号源10および受信手段20に接続した状態を示す図である。以下、図27および図28に示したものと同様な部分は、同一の番号を付して説明を省略する。
2 DUT
10 信号源
12 信号出力部
13 スイッチ
14a、14b ブリッジ
16a レシーバ(RS)(入力信号測定手段)
16b レシーバ(TS)(反射信号測定手段)
18 出力端子
20 受信手段
24a、24b ブリッジ
26a レシーバ(TR)
26b レシーバ(RR)
28 入力端子
30 測定系誤差要因記録部
40 回路パラメータ測定部
50 測定系誤差要因取得部
52 切替器
54 第一測定系誤差要因取得部
56 第二測定系誤差要因取得部
58 第三測定系誤差要因取得部
60 パワーメータ用端子
62 信号出力取得部
70 受信側測定系誤差要因記録部
72 切替器
74 第一受信側測定系誤差要因取得部
76 第二受信側測定系誤差要因取得部
78 第三受信側測定系誤差要因取得部
Claims (35)
- 入力信号を出力する出力端子と、
前記入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生ずる前に測定する入力信号測定手段と、
前記入力信号が反射された反射信号に関する所定のパラメータを測定する反射信号測定手段と、
前記出力端子に直接に接続されたパワーメータから、前記入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生じた後に取得する信号出力取得手段と、
前記入力信号測定手段、前記反射信号測定手段および前記信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する測定系誤差要因取得手段と、
を備えたネットワークアナライザ。 - 請求項1に記載のネットワークアナライザであって、
前記反射信号測定手段は、前記ネットワークアナライザに接続された校正用具から前記入力信号が反射された前記反射信号に関する所定のパラメータを測定し、
前記校正用具は、開放、短絡および標準負荷の三種類の状態を実現するものであるネットワークアナライザ。 - 請求項1または2に記載のネットワークアナライザであって、
前記入力信号が出力された後に前記入力信号を受信信号として受信する受信手段を備え、
前記受信手段は、前記受信信号に関する所定のパラメータを測定する受信信号測定手段を有し、
前記測定系誤差要因取得手段は、前記入力信号測定手段、前記反射信号測定手段、前記信号出力取得手段および前記受信信号測定手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する、
ネットワークアナライザ。 - 請求項3に記載のネットワークアナライザであって、
前記反射信号測定手段は、前記入力信号が被測定物から反射された反射信号に関する所定のパラメータを測定し、
前記受信手段は、前記入力信号が出力された後に前記被測定物を介して前記入力信号を前記受信信号として受信し、
前記入力信号測定手段、前記反射信号測定手段ならびに前記受信信号測定手段の前記被測定物に関する測定結果および前記測定系誤差要因に基づき前記被測定物に関する所定のパラメータを測定するパラメータ測定手段を備えたネットワークアナライザ。 - 請求項3に記載のネットワークアナライザであって、
前記受信手段は、
前記入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生ずる前に測定する受信側入力信号測定手段と、
前記入力信号が前記受信手段から出力されて反射された受信側反射信号に関する所定のパラメータを測定する受信側反射信号測定手段と、
前記入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生じた後に取得する受信側信号出力取得手段と、
前記受信側入力信号測定手段、前記受信側反射信号測定手段および前記受信側信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する受信側測定系誤差要因取得手段と、
を備えたネットワークアナライザ。 - 請求項5に記載のネットワークアナライザであって、
前記受信側反射信号測定手段は前記受信信号測定手段であるネットワークアナライザ。 - 請求項5または6に記載のネットワークアナライザであって、
前記受信側反射信号測定手段は、前記ネットワークアナライザに接続された校正用具から前記入力信号が反射された前記反射信号に関する所定のパラメータを測定し、
前記校正用具は、開放、短絡および標準負荷の三種類の状態を実現するものであるネットワークアナライザ。 - 請求項5ないし7のいずれか一項に記載のネットワークアナライザであって、
前記反射信号測定手段は前記入力信号が前記受信手段から出力された後に受信して所定のパラメータを測定し、
前記受信側測定系誤差要因取得手段は、前記受信側入力信号測定手段、前記受信側反射信号測定手段、前記受信側信号出力取得手段および前記反射信号測定手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する、
ネットワークアナライザ。 - 請求項8に記載のネットワークアナライザであって、
前記入力信号が直接に被測定物に与えられる時に、
前記反射信号測定手段は、前記入力信号が前記被測定物から反射された反射信号に関する所定のパラメータを測定し、
前記受信手段は、前記入力信号が出力された後に前記被測定物を介して前記入力信号を前記受信信号として受信し、
前記入力信号が前記受信手段を介して前記被測定物に与えられる時に、
前記受信側反射信号測定手段は、前記入力信号が前記被測定物から反射された受信側反射信号に関する所定のパラメータを測定し、
前記反射信号測定手段は、前記入力信号が前記受信手段から出力された後に前記被測定物を介して前記入力信号を受信して所定のパラメータを測定し、
前記入力信号が直接に前記被測定物に与えられる時の前記入力信号測定手段、前記反射信号測定手段ならびに前記受信信号測定手段の前記被測定物に関する測定結果と、前記入力信号が前記受信手段を介して前記被測定物に与えられる時の前記受信側入力信号測定手段、前記受信側反射信号測定手段ならびに前記反射信号測定手段の前記被測定物に関する測定結果と、前記測定系誤差要因とに基づき前記被測定物に関する所定のパラメータを測定するパラメータ測定手段を備えたネットワークアナライザ。 - 請求項9に記載のネットワークアナライザであって、
前記入力信号を直接に前記被測定物に与えるか、あるいは前記受信手段を介して前記被測定物に与えるかを選択する選択手段を備えたネットワークアナライザ。 - 請求項4、9および10のいずれか一項に記載のネットワークアナライザであって、
前記被測定物の入力周波数と出力周波数とが異なるネットワークアナライザ。 - 請求項11に記載のネットワークアナライザであって、
前記被測定物がミキサであるネットワークアナライザ。 - 請求項1ないし12のいずれか一項に記載のネットワークアナライザであって、
前記所定のパラメータはSパラメータあるいはパワーであるネットワークアナライザ。 - 入力信号を出力する出力端子を備えたネットワークアナライザにおけるネットワーク解析方法であって、
前記入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生ずる前に測定する入力信号測定工程と、
前記入力信号が反射された反射信号に関する所定のパラメータを測定する反射信号測定工程と、
前記出力端子に直接に接続されたパワーメータから、前記入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生じた後に取得する信号出力取得工程と、
前記入力信号測定工程、前記反射信号測定工程および前記信号出力取得工程の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する測定系誤差要因取得工程と、
を備えたネットワーク解析方法。 - 前記入力信号が出力された後に前記入力信号を受信信号として受信する受信手段を有するネットワークアナライザによってネットワーク解析を行う請求項14に記載のネットワーク解析方法であって、
前記受信手段において前記受信信号に関する所定のパラメータを測定する受信信号測定工程を有し、
前記測定系誤差要因取得工程は、前記入力信号測定工程、前記反射信号測定工程、前記信号出力取得工程および前記受信信号測定工程の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する、
ネットワーク解析方法。 - 請求項15に記載のネットワーク解析方法であって、
前記反射信号測定工程は、前記入力信号が被測定物から反射された反射信号に関する所定のパラメータを測定し、
前記受信手段は、前記入力信号が出力された後に前記被測定物を介して前記入力信号を前記受信信号として受信し、
前記入力信号測定工程、前記反射信号測定工程ならびに前記受信信号測定工程の前記被測定物に関する測定結果および前記測定系誤差要因に基づき前記被測定物に関する所定のパラメータを測定するパラメータ測定工程を備えたネットワーク解析方法。 - 請求項15に記載のネットワーク解析方法であって、
前記受信手段において、
前記入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生ずる前に測定する受信側入力信号測定工程と、
前記入力信号が前記受信手段から出力されて反射された受信側反射信号に関する所定のパラメータを測定する受信側反射信号測定工程と、
前記入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生じた後に取得する受信側信号出力取得工程と、
前記受信側入力信号測定工程、前記受信側反射信号測定工程および前記受信側信号出力取得工程の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する受信側測定系誤差要因取得工程と、
を備えたネットワーク解析方法。 - 請求項17に記載のネットワーク解析方法であって、
前記反射信号測定工程は前記入力信号が前記受信手段から出力された後に受信して所定のパラメータを測定し、
前記受信側測定系誤差要因取得工程は、前記受信側入力信号測定工程、前記受信側反射信号測定工程、前記受信側信号出力取得工程および前記反射信号測定工程の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する、
ネットワーク解析方法。 - 請求項18に記載のネットワーク解析方法であって、
前記入力信号が直接に被測定物に与えられる時に、
前記反射信号測定工程は、前記入力信号が前記被測定物から反射された反射信号に関する所定のパラメータを測定し、
前記受信手段は、前記入力信号が出力された後に前記被測定物を介して前記入力信号を前記受信信号として受信し、
前記入力信号が前記受信手段を介して前記被測定物に与えられる時に、
前記受信側反射信号測定工程は、前記入力信号が前記被測定物から反射された受信側反射信号に関する所定のパラメータを測定し、
前記反射信号測定工程は、前記入力信号が前記受信工程から出力された後に前記被測定物を介して前記入力信号を受信して所定のパラメータを測定し、
前記入力信号が直接に前記被測定物に与えられる時の前記入力信号測定工程、前記反射信号測定工程ならびに前記受信信号測定工程の前記被測定物に関する測定結果と、前記入力信号が前記受信手段を介して前記被測定物に与えられる時の前記受信側入力信号測定工程、前記受信側反射信号測定工程ならびに前記反射信号測定工程の前記被測定物に関する測定結果と、前記測定系誤差要因とに基づき前記被測定物に関する所定のパラメータを測定するパラメータ測定工程を備えたネットワーク解析方法。 - 入力信号を出力する出力端子と、前記入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生ずる前に測定する入力信号測定手段と、前記入力信号が反射された反射信号に関する所定のパラメータを測定する反射信号測定手段と、前記出力端子に直接に接続されたパワーメータから、前記入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生じた後に取得する信号出力取得手段とを有するネットワークアナライザにおけるネットワーク解析処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、
前記入力信号測定手段、前記反射信号測定手段および前記信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する測定系誤差要因取得処理をコンピュータに実行させるためのプログラム。 - 請求項20に記載のプログラムであって、
前記ネットワークアナライザは、
前記入力信号が出力された後に前記入力信号を受信信号として受信する受信手段を備え、
前記受信手段は、前記受信信号に関する所定のパラメータを測定する受信信号測定手段を有し、
前記測定系誤差要因取得処理は、前記入力信号測定手段、前記反射信号測定手段、前記信号出力取得手段および前記受信信号測定手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する、
プログラム。 - 請求項21に記載のプログラムであって、
前記反射信号測定手段は、前記入力信号が被測定物から反射された反射信号に関する所定のパラメータを測定し、
前記受信手段は、前記入力信号が出力された後に前記被測定物を介して前記入力信号を前記受信信号として受信し、
前記入力信号測定手段、前記反射信号測定手段ならびに前記受信信号測定手段の前記被測定物に関する測定結果および前記測定系誤差要因に基づき前記被測定物に関する所定のパラメータを測定するパラメータ測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラム。 - 請求項21に記載のプログラムであって、
前記受信手段は、
前記入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生ずる前に測定する受信側入力信号測定手段と、
前記入力信号が前記受信手段から出力されて反射された受信側反射信号に関する所定のパラメータを測定する受信側反射信号測定手段と、
前記入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生じた後に取得する受信側信号出力取得手段と、
を有し、
前記受信側入力信号測定手段、前記受信側反射信号測定手段および前記受信側信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する受信側測定系誤差要因取得処理をコンピュータに実行させるためのプログラム。 - 請求項23に記載のプログラムであって、
前記反射信号測定手段は前記入力信号が前記受信手段から出力された後に受信して所定のパラメータを測定し、
前記受信側測定系誤差要因取得処理は、前記受信側入力信号測定手段、前記受信側反射信号測定手段、前記受信側信号出力取得手段および前記反射信号測定手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する、
プログラム。 - 請求項24に記載のプログラムであって、
前記入力信号が直接に被測定物に与えられる時に、
前記反射信号測定手段は、前記入力信号が前記被測定物から反射された反射信号に関する所定のパラメータを測定し、
前記受信手段は、前記入力信号が出力された後に前記被測定物を介して前記入力信号を前記受信信号として受信し、
前記入力信号が前記受信手段を介して前記被測定物に与えられる時に、
前記受信側反射信号測定手段は、前記入力信号が前記被測定物から反射された受信側反射信号に関する所定のパラメータを測定し、
前記反射信号測定手段は、前記入力信号が前記受信手段から出力された後に前記被測定物を介して前記入力信号を受信して所定のパラメータを測定し、
前記入力信号が直接に前記被測定物に与えられる時の前記入力信号測定手段、前記反射信号測定手段ならびに前記受信信号測定手段の前記被測定物に関する測定結果と、前記入力信号が前記受信手段を介して前記被測定物に与えられる時の前記受信側入力信号測定手段、前記受信側反射信号測定手段ならびに前記反射信号測定手段の前記被測定物に関する測定結果と、前記測定系誤差要因とに基づき前記被測定物に関する所定のパラメータを測定するパラメータ測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラム。 - 入力信号を出力する出力端子と、前記入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生ずる前に測定する入力信号測定手段と、前記入力信号が反射された反射信号に関する所定のパラメータを測定する反射信号測定手段と、前記出力端子に直接に接続されたパワーメータから、前記入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生じた後に取得する信号出力取得手段とを有するネットワークアナライザにおけるネットワーク解析処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、
前記入力信号測定手段、前記反射信号測定手段および前記信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する測定系誤差要因取得処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体。 - 請求項26に記載のプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、
前記ネットワークアナライザは、
前記入力信号が出力された後に前記入力信号を受信信号として受信する受信手段を備え、
前記受信手段は、前記受信信号に関する所定のパラメータを測定する受信信号測定手段を有し、
前記測定系誤差要因取得処理は、前記入力信号測定手段、前記反射信号測定手段、前記信号出力取得手段および前記受信信号測定手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する、
プログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体。 - 請求項27に記載のプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、
前記反射信号測定手段は、前記入力信号が被測定物から反射された反射信号に関する所定のパラメータを測定し、
前記受信手段は、前記入力信号が出力された後に前記被測定物を介して前記入力信号を前記受信信号として受信し、
前記入力信号測定手段、前記反射信号測定手段ならびに前記受信信号測定手段の前記被測定物に関する測定結果および前記測定系誤差要因に基づき前記被測定物に関する所定のパラメータを測定するパラメータ測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体。 - 請求項27に記載のプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、
前記受信手段は、
前記入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生ずる前に測定する受信側入力信号測定手段と、
前記入力信号が前記受信手段から出力されて反射された受信側反射信号に関する所定のパラメータを測定する受信側反射信号測定手段と、
前記入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生じた後に取得する受信側信号出力取得手段と、
を有し、
前記受信側入力信号測定手段、前記受信側反射信号測定手段および前記受信側信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する受信側測定系誤差要因取得処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体。 - 請求項29に記載のプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、
前記反射信号測定手段は前記入力信号が前記受信手段から出力された後に受信して所定のパラメータを測定し、
前記受信側測定系誤差要因取得処理は、前記受信側入力信号測定手段、前記受信側反射信号測定手段、前記受信側信号出力取得手段および前記反射信号測定手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する、
プログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体。 - 請求項30に記載のプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、
前記入力信号が直接に被測定物に与えられる時に、
前記反射信号測定手段は、前記入力信号が前記被測定物から反射された反射信号に関する所定のパラメータを測定し、
前記受信手段は、前記入力信号が出力された後に前記被測定物を介して前記入力信号を前記受信信号として受信し、
前記入力信号が前記受信手段を介して前記被測定物に与えられる時に、
前記受信側反射信号測定手段は、前記入力信号が前記被測定物から反射された受信側反射信号に関する所定のパラメータを測定し、
前記反射信号測定手段は、前記入力信号が前記受信手段から出力された後に前記被測定物を介して前記入力信号を受信して所定のパラメータを測定し、
前記入力信号が直接に前記被測定物に与えられる時の前記入力信号測定手段、前記反射信号測定手段ならびに前記受信信号測定手段の前記被測定物に関する測定結果と、前記入力信号が前記受信手段を介して前記被測定物に与えられる時の前記受信側入力信号測定手段、前記受信側反射信号測定手段ならびに前記反射信号測定手段の前記被測定物に関する測定結果と、前記測定系誤差要因とに基づき前記被測定物に関する所定のパラメータを測定するパラメータ測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体。 - 入力信号を出力する出力端子と、(a)前記入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生ずる前に測定する入力信号測定手段と、(b)前記入力信号が反射された反射信号に関する所定のパラメータを測定する反射信号測定手段と、(c)前記出力端子に直接に接続されたパワーメータから、前記入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生じた後に取得する信号出力取得手段と、(d)前記入力信号測定手段、前記反射信号測定手段および前記信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する測定系誤差要因取得手段と、(e)前記入力信号が出力された後に前記入力信号を受信信号として受信する受信手段と、を備えたネットワークアナライザに接続する自動校正器であって、
それぞれが異なる状態を実現する複数の校正用具と、
前記校正用具のいずれか一つあるいは前記受信手段を自動的に選択して前記入力信号を供給する入力信号供給手段と、
を備え、
前記入力信号供給手段は、前記校正用具のいずれか一つ、前記受信手段あるいは前記信号出力取得手段を自動的に選択して前記入力信号を供給する、
自動校正器。 - 入力信号を出力する出力端子と、(a)前記入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生ずる前に測定する入力信号測定手段と、(b)前記入力信号が反射された反射信号に関する所定のパラメータを測定する反射信号測定手段と、(c)前記出力端子に直接に接続されたパワーメータから、前記入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生じた後に取得する信号出力取得手段と、(d)前記入力信号測定手段、前記反射信号測定手段および前記信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する測定系誤差要因取得手段と、(e)前記入力信号が出力された後に前記入力信号を受信信号として受信する受信手段と、を備えたネットワークアナライザに接続する、それぞれが異なる状態を実現する複数の校正用具を備えた自動校正器における校正方法であって、
前記校正用具のいずれか一つあるいは前記受信手段を自動的に選択して前記入力信号を供給する入力信号供給工程、
を備えた校正方法。 - 入力信号を出力する出力端子と、(a)前記入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生ずる前に測定する入力信号測定手段と、(b)前記入力信号が反射された反射信号に関する所定のパラメータを測定する反射信号測定手段と、(c)前記出力端子に直接に接続されたパワーメータから、前記入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生じた後に取得する信号出力取得手段と、(d)前記入力信号測定手段、前記反射信号測定手段および前記信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する測定系誤差要因取得手段と、(e)前記入力信号が出力された後に前記入力信号を受信信号として受信する受信手段と、を備えたネットワークアナライザに接続する、それぞれが異なる状態を実現する複数の校正用具を備えた自動校正器における校正処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、
前記校正用具のいずれか一つあるいは前記受信手段を自動的に選択して前記入力信号を供給する入力信号供給処理、
をコンピュータに実行させるためのプログラム。 - 入力信号を出力する出力端子と、(a)前記入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生ずる前に測定する入力信号測定手段と、(b)前記入力信号が反射された反射信号に関する所定のパラメータを測定する反射信号測定手段と、(c)前記出力端子に直接に接続されたパワーメータから、前記入力信号に関する所定のパラメータを、測定系誤差要因の生じた後に取得する信号出力取得手段と、(d)前記入力信号測定手段、前記反射信号測定手段および前記信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する測定系誤差要因取得手段と、(e)前記入力信号が出力された後に前記入力信号を受信信号として受信する受信手段と、を備えたネットワークアナライザに接続する、それぞれが異なる状態を実現する複数の校正用具を備えた自動校正器における校正処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、
前記校正用具のいずれか一つあるいは前記受信手段を自動的に選択して前記入力信号を供給する入力信号供給処理、
をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体。
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