WO1995012486A1

WO1995012486A1 - Dispositif et procede de moulage par pression

Info

Publication number: WO1995012486A1
Application number: PCT/JP1994/001748
Authority: WO
Inventors: Kenzo Kaminaga; Kouichi Imai; Takaaki Watabe; Hisao Matsuno; Masaaki Suzuki; Akira Nishioka; Yusi Sakurada; Teruo Kagawa
Original assignee: Nikkiso Company Limited
Priority date: 1993-11-04
Filing date: 1994-10-18
Publication date: 1995-05-11
Also published as: CN1058223C; US5772946A; KR100334027B1; EP0684127B1; EP0684127A1; EP0684127A4; DE69428431T2; KR960700144A; DE69428431D1; CN1115974A

Description

曰月糸田 β

加圧成形装置および加圧成形方法技術分野

この発明はセ^ミツクス製のグリーンシ一卜、補強繊維に熱可塑性樹脂等を含浸してなるプリプレグ等の成形前駆体を加圧成形する加圧成形装置およびそのような成形前駆体を加圧成形する加圧成形方法に関する。背景技術

従来、セラミックス積層体の一例として積層コンデンサが知られている。この積層コンデンサはセラミックュニッ卜の内部に複数層の内部電極が形成され、その両端部に内部電極と電気的に接続された外部電極を有してなる。

このような積層コンデンサを製造する方法として、従来では、先ずセラミックグリ一ンシー卜上に長方形の電極を複数形成しておく。このような複数の電極を有するグリーンシートを複数枚積層した後に、これを機械プレスで圧着する方法が知られている。この圧着工程は、積層したグリーンシートを金型の下型内へ入れ、上型を加圧することにより、各グリーンシート同士を隙間なく圧着する。圧着後は、グリーンシートを直方体に切断してチップにし、これを焼成した後に両側に外部電極を形成している。

機械プレスで圧着する方法では、内部電極の形成された部分と形成されていない部分とでシートの厚みに差力生じるので、内部電極の形成されていない部分の成形密度が上がらず、この部分で層剥れが生じ易いという問題がある。

特に、グリーンシ一卜の積層枚数が増える程、圧着時における密度差が顕著となるので、その影響が大きい。このために、多層の積層コンデンサを製造する場合は、圧着不良に起因して、不良品が生じ易く、歩留り力悪くなるという問題がある。

また、機械プレスによる圧着方法は、加圧した時に金型に歪みを生じるので、上型と下型との作用位置によつて力の加わり方が異なり、加圧力の不均一を生じ易くなり、これも層剥れの原因になっている。

さらに、機械ブレスで圧着すると、焼成後のチップがほぼ完全な直方体になり、これに外部電極を形成すると外部電極の厚み分だけ直方体から突出し、あるいは***するようになるので、基板への実装性が低下するという問題もある。この発明は前記事情に基づいて完成された。

すなわち、この発明の目的は、前記問題点を解決し、成形前駆体、例えば積層されたセラミックのグリーンシートを均一に圧着することにより、層剥れを生じることなく、しかもセラミックス積層体を損傷することなく、歩留り良く加圧成形体例えばセラミックス積層体を製造することのできる装置および製造方法を提供することにある。

この発明の目的は、装置トラブルを生じることなく積層体の製造を迅速に、しかも繰り返して行うことのできる加圧成形装置を提供することにある。

この発明の目的は、圧力容器本体における凹陥部に蓋部材の突出部を装着し、あるいは脱着する際にトラブルを生じることがなく、前記開口部への蓋部材の装着および脱着を容易かつ円滑に行うことのできる加圧成形装置を提供することにある。

この発明の目的は、圧力容器本体における凹陥部に蓋部材を装着し、あるいは脱着する際にトラブルなどを生じることがなく、前記凹陥部への蓋部材の装着および脱着を容易かつ円滑に行うことができ、しかも加圧成形時に発生するガスを除去することができ、これによつてボイドゃ亀裂などの傷のない積層体を歩留り良く製造することのできる加圧成形装置を提供することにある。

この発明の目的は、凹陥部内に張設された弾性部材と凹陥部の内面とで形成される圧力流体収容空間内に圧力流体を圧入することにより、前記弾性部材と凹陥部の内面と凹陥部に密嵌された蓋部材における突出部（なお、この突出部は前記凹陥部内に挿入されるので挿入部とも称することがある。）とで形成される被加圧物収容空間内に収容された積層シートを加圧して積層体を製造するに当たり、装置トラブルとして、圧力容器本体における凹陥部に蓋部材を装着し、あるいは脱着する際のトラブル、および蓋部材を装着および脱着することにより弾性部材が歪みを受けて破損するというトラブルを生じることがなく、しかもボイドゃ亀裂などの傷のない積層体の製造を迅速、かつ繰り返して行うことのできる加圧成形装置を提供することにある。この発明の目的は、圧力流体収容空間を液密に構成することにより、積層体を効率良く加圧成形することのできる加圧成形装置を提供することにある。

この発明の他の目的は、構造が簡単で容易に製造することのできる加圧成形装置を提供することにある。

この発明の目的は、前記被加圧物収容空間内に蓋部材の突出部を装着するに当たり、あるいは被加圧物収容空間内に蓋部材の突出部を装着してから、被加圧物収容空間内を円滑に減圧状態にすることのできる加圧成形装置を提供することにある。

この発明の目的は、被加圧物収容空間内に蓋部材の突出部を装着してから被加圧物収容空間内を減圧状態にしても、被加圧物収容空間内に設けられた弾性部材の破損を生じることなく、しかもボイドゃ気泡などの傷のない積層体を製造することのできる加圧成形装置を提供することにある。

この発明の目的は、加圧成形により得られた成形体を破損することなく完全な形で取り出すことができ、歩留良く成形体を製造することのできる加圧成形装置を提供することにある。発明の開示 ―

この発明は、一端に開口部を有し、かつその開口部に対応する内部端面を有する凹陥部を備えてなる圧力容器本体と、前記凹陥部の開口部を閉鎖する蓋体と、圧力容器本体の開口部に蓋体を装着してなる圧力容器内に収容されたところの、成形前駆体を加圧成形する際に、前記蓋体と圧力容器本体とが分離不可能に、前記蓋体と圧力容器本体とを固定する固定部材と、前記凹陥部内を加熱する加熱手段とを有し、

前記圧力容器本体は、前記成形前駆体を収容する被加圧物収容空間と圧力流体を収容する圧力流体収容空間とに隔絶するように凹陥部内に液密に張設された第

1弾性部材と、前記圧力流体収容空間内に圧力流体を圧入し、圧力流体収容空間内に圧入された圧力流体を排出する第 1圧力流体導出入手段と、前記被加圧物収容空間内に気体を導入し、また排出する気体導入排出手段とを備え、

前記固定部材は、加圧成形の際には、圧力容器本体の開口部に蓋体を装着してなる圧力容器の上下端面を規制する水平部材を備えてなるところの、圧力容器を収容可能な空間を中央部に備えた枠体であり、非加圧成形の際には、圧力容器本体から離れた位置に移動可能に構成されてなることを特徴とする加圧成形装置である。

前記圧力容器本体は、前記成形前駆体を収容する被加圧物収容空間と圧力流体を収容する圧力流体収容空間とに隔絶するように凹陥部内に液密に張設された第 1弾性部材と、前記圧力流体収容空間内に圧力流体を圧入し、圧力流体収容空間内に圧入された圧力流体を排出する第 1圧力流体導出入手段と、前記被加圧物収容空間内に気体を導入し、また排出する気体導入排出手段とを備え、

前記蓋体は、前記凹陥部の開口部を液密に覆蓋する第 2弾性部材と、第 2弾性部材により覆蓋されたところの、圧力流体を収容する加圧空間と、この加圧空間内に圧力流体を圧入する第 2圧力流体供給'手段とを備え、

前記蓋体は、前記凹陥部の開口部を液密に覆蓋する第 2弾性部材と、第 2弾性部材により覆蓋されたところの、圧力流体を収容する加圧空間と、この加圧空間内に圧力流体を封入してなる圧力流体層とを備え、

前記固定部材は、加圧成形の際には、圧力容器本体の開口部に蓋体を装着してなる圧力容器の上下端面を規制する水平部材を備えてなるところの、圧力容器を収容可能な空間を中央部に備えた枠体であり、非加圧成形の際には、圧力容器本体から離れた位置に退避可能に構成されてなることを特徴とする加圧成形装置である。

この発明は、一端に開口部を有し、かつその開口部に対応する内部端面を有する凹陥部を備えてなる圧力容器本体と、前記凹陥部の開口部を閉鎖する蓋体と、圧力容器本体の開口部に蓋体を装着してなる圧力容器内に収容されたところの、成形前駆体を加圧成形する際に、前記蓋体と圧力容器本体とが分離不可能に、前記蓋体と圧力容器本体とを固定する固定部材と、前記凹陥部内を加熱する加熱手段とを有し、 '

前記圧力容器本体は、前記成形前駆体を収容する被加圧物収容空間と圧力流体を収容する圧力流体収容空間とに隔絶するように凹陥部内に液密に張設された第 1弾性部材と、前記圧力流体収容空間内に圧力流体を圧入し、圧力流体収容空間内に圧入された圧力流体を排出する第 1圧力流体導出入手段とを備え、

前記蓋体は、前記凹陥部の開口部内に嵌挿されてこれを閉鎖する突出部と、凹陥部内の被加圧物収容空間内に気体を導入し、また被加圧物収容空間内から気体を排出する気体導出入手段とを備えてなることを特徴とする加圧成形装置である。

この発明は、一端に開口部を有し、かつその開口部に対応する内部端面を有する凹陥部を有し、前記凹陥部内に張設された弾性部材を備えてなる圧力容器本体と、前記凹陥部における前記内部端面、凹陥部の内周面および前記弾性部材により形成される第 1圧力流体収容空間内に、圧力流体を圧入し、また排出する圧力流体導入排出手段と、前記凹陥部内に挿入される挿入本体と、圧力容器本体の凹陥部内に挿入本体を装着してなる圧力容器内に収容されたところの、成形前駆体を加圧成形する際に、前記挿入本体と圧力容器本体とが分離不可能に、前記挿入本体と圧力容器本体とを固定する固定部材と、前記成形前駆体を加熱する加熱手段とを有し、

前記挿入本体が、シリンダーとピストンとを備え、

前記シリンダーは、前記凹陥部の内周面に摺接する外周面と、ピストンの先端外周面に摺接する内周面と、前記ビス卜ンの先端面と前記内周面とで形成されるところ'の、前記成形前駆体を収容する被加圧物収容空間と、ピストンを駆動するビス卜ン駆動手段とを備えることを特徴とする加圧成形装置である。

この発明は、前記いずれかに記載の加圧成形装置を使用し、凹陥部における被加圧物収容空間内に成形前駆体を収容し、成形前駆体を収容する凹陥部の開口部に蓋体を装着してなる圧力容器を固定部材の中央部に配置し、その後に、第 1圧力流体供給手段により凹陥部内の内部端面と第 1弾性部材との間に圧力流体を圧入すること、および加熱手段により凹陥部内を加熱しつつ気体導入排出手段により被加圧物収容空間内を排気することにより、成形体に成形し、その後に気体導入排出手段により気体を導入することにより被加圧物収容空間内を常圧に戻すと共に第 1圧力流体供給手段により圧力流体 iR容空間内の圧力流体を排出し、固定部材を圧力容器から退避させ、次いで、圧力容器本体から蓋体を除去してから第 1圧力流体供給手段により圧力流体収容空間内に圧力流体を圧入することにより、成形体を被加圧物収容空間から押し出すことを特徴とする成形体の製造方法である。図面の簡単な説明

図 1は、この発明の一例であるセラミックス積層体の製造装置を示す概略断面図である。

図 2は、この発明の加圧成形装置の一例であるセラミックス積層体の製造装置における圧力容器本体（以下において、説明の便宜上、これは基体とも称される。）の下面を示す概略平面図である。

図 3は、この発明の一例であるセラミックス積層体の製造装置における基体の一部の断面を示す概略断面図である。図 4は、この発明の一例であるセラミックス積層体の製造装置における基体の変形例を示す概略断面図である。

図 5は、この発明の一例であるセラミックス積層体の製造装置を示す概略側面図である。

図 6は、成形前駆体であるところのセラミックス製のグリーンシ一卜を積み重ねてなる積層物の概略断面図である。

図 7は、この発明の一例であるセラミックス積層体の製造装置の他の例を示す概略断面図である。

図 8は、この発明の一例であるセラミツス積層体の製造装置の他の例であつて、離型性部材を凹陥部に装着した状態を示す概略断面図である。

図 9は、この発明の一例であるセラミックス積層体の製造装置の他の例であつて、圧力流体層を有する装置を示す概略断面図である。

図 1 0は、この発明の一例であるセラミックス積層体の製造装置の他の例を示す部分概略断面図である。

図 1 1は、この発明の一例であるセラミックス積層体の製造装置の他の例を示す部分概略断面図である。図 1 2は、この発明の加圧成形装置の一実施例である加圧成形体製造装置を示す概略断面説明図である。

図 1 3は、この発明の一実施例である加圧成形体製造装置における第 1本体と第 2本体との重ね合わせ部分を示す部分断面説明図である。

図 1 4は、この発明の一実施例である加圧成形体製造装置における圧力媒体供給排出装置の一例を示す説明図である。

図 1 5は、この発明の一実施例である加圧成形体製造装置におけるスぺーサを示す平面説明図である。

図 1 6は、この発明の一実施例である加圧成形体製造装置における他のスぺーサを示す平面説明図である。

図 1 7は、この発明の一実施例である加圧成形体製造装置における蓋部材とこの蓋部材を支持し、上下動を可能にする機構とを合わせ示す概略正面図である。図 1 8は、この発明の一実施例である加圧成形体製造装置を示す概略平面図である。

図 1 9は、この発明の他の実施例である加圧成形体製造装置を示す概略断面説明図である。

図 2 0は、この発明の他の実施例である加圧成形体製造装置における蓋部材とこの蓋部材を支持し、上下動を可能にする機構とを合わせ示す概略正面図である。

図 2'Ίは、この発明の他の実施例である加圧成形体製造装置の作用を示す概略断面説明図である。

図 2 2は、この発明の一実施例である加圧成形体製造装置における圧力媒体供給排出装置の他の例を示す説明図である。図 2 3は、この発明の加圧成形装置の一実施例である加圧成形体製造装置を示す概略断面説明図である。

図 2 4は、この発明の一実施例である加圧成形体製造装置における第 1本体と第 2本体との重ね合わせ部分を示す部分断面説明図である。

図 2 5は、弾性部材を装着した状態をす一部断面説明図である。

図 2 6は、上表面に溝を刻設してなる弾性部材の一部を示す斜視図である。図 2 7は、この発明の他の実施例である加圧成形体製造装置を示す概略断面説明図である。

図 2 8は、この発明の他の実施例である加圧成形体製造装置の作用を示す概略断面説明図である。

図 2 9は、この発明の他の実施例であり、溝を有するスぺーサを使用した加圧成形体製造装置を示す断面説明図である。

図 3 0は、溝を有するスぺーサを示す一部斜視図である。

図 3 1は、スぺーザに設けられた溝の形態を示す断面説明図である。

図 3 2は、この発明の他の実施例であり、他の形態のスぺーサを使用した加圧成形体製造装置を示す断面説明図である。

図 3 3は、溝を有する内側スぺ一サと外側スぺ一ザとからなる 2枚一組のスぺーサを使用した加圧成形体製造装置を示す断面説明図である。図 3 4は、前記 2枚一組のスぺーサを示す斜視部分図である。

図 3 5は、溝を有する外側スぺ一ザと網部材を有する内側スぺ一サとからなるスぺーサを示す斜視部分図である。図 3 6は、この発明の加圧成形装置の一実施例である成形体製造装置を示す説明図であり、圧力容器本体の凹陥部内に挿入本体が装着され、ヨーク力 ^s'圧力容器本体の上面を規制し、かつ挿入本体の底面を規制している状態を示している。図 3' 7は、この発明の一実施例である成形体製造装置におけるシリンダ一本体の上面を示す上面図である。

図 3 8は、この発明の一実施例である成形体製造装置における挿入本体の構造を示す断面説明図である。

図 3 9は、この発明の一実施例である成形体製造装置におけるシリンダ一本体の内周面とビストン本体の外周面との間にわずかのクリァランスがあることを示すために、図 3 8における破線の円で示した部分を拡大して示した断面説明図である。

図 4 0は、この発明の一実施例である成形体製造装置における圧力容器本体と挿入本体とを分離した状態を示す断面説明図である。

図 4 1は、この発明の一実施例である成形体製造装置におけるシリンダ一本体における素材収容空間から、ピストンで成形体を押し出した状態を示す断面説明図である。図 4 2は、この発明の方法に使用される一例としての成形型を示す一部切欠斜視図である。

図 4 3は、この発明の方法に使用される一例としての成形型を示す断面図である。

図 4 4は、この発明の方法に使用される一例としての加圧成形装置を示す説明図である。発明を実施するための最良の形態

この発明の加圧成形装置に供される被加圧物としての素材は、成形前駆体と称される。

この成形前駆体は、この加圧成形装置に装填されることができ、加圧流体で加圧することにより成形体に形成されることのできる素材である限り特にその種類について制限がない。

この成形前駆体の好適例としては、補強繊維と半硬化した（Bステージと称されることがある。）熱硬化性樹脂と場合により使用される溶剤とからなるブリブレグ、補強繊維と熱可塑性樹脂と場合により使用される溶剤とからなるプリブレグ、補強繊維、セラミックス粒子、未硬化樹脂、硬化剤および溶剤などからなるプリブレグ、セラミックを主成分とする粉末、ならびにセラミックグリーンシ一トなどを挙げることができる。

前記プリプレグにおける補強繊維としては、 P A N系炭素繊維、ピッチ系炭素繊維などの炭素繊維、セラミツク繊維、気相成長炭素繊維などを挙げることができる。

前記熱硬化性樹脂の好適例としては、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル樹月旨、ビニルエステル樹脂、フヱノール樹脂等を挙げることができる。前記熱可塑性樹脂としては、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスチレン、ナイロン、ポリブチレンテレフタレート、 ABS樹脂、ポリスルホン樹脂、ポリフエ二レンスルフィド樹脂、ポリエ一テルスルホン、ポリエーテルエーテルケトン、熱可塑性ポリイミド等を挙げることができる。

. 前記熱硬化性樹脂を使用する場合、硬化剤を併用するのが望ましい。

前記プリプレグは、その形態に特に制限がなく、シート状であっても良い。前記セラミックとしては、 A l ₂ 0₃ 、 A l ₂ 〇₃ —T i C (T i N) 、

B eO、 MgO、チタンジルコン酸鉛（PZT) 、 Mn— Znフェライト、 Y₃

F e₅ 0₁₂、 Zr _z 、 S i _{3 4} 、ジルコニァ、ムライト、 S i 0₂ 、窒化ァルミ二ゥム等を挙げることができる。

前記セラミックを主成分とする粉末中には、必要に応じて溶剤、結合剤など公知の添加剤を含有していても良い。

前記セラミックグリーンシートとしては、たとえば、セラミック粉末および/ またはセラミックを生成する原料に、有機高分子または焼成によってセラミックに変化する無機高分子をバインダ一として加え、更に要すれば溶剤を添加して柔軟性を有するシ一ト状ないしフィルム状に形成してなるシートを挙げることができる。またセラミックグリーンシートとして、前記バインダーあるいは溶剤を使用せずに、セラミック粉末およびまたはセラミックを生成する原料を用いて形成されたところの、柔軟性の小さなシートを挙げることができる。セラミックグリーンシートは、セラミツク繊維などの補強剤を含有していても良い。

こめ加圧成形装置を用いて得られる成形体としては、例えばセラミックコンデンサ、航空機用大型レーダ一ドーム、その他の航空機部品、潜水艦用レーダード

—ム、潜水艦用ソナードーム、 I Cパッケージ、バルブ弁体、ポンプインペラ、タービンブレード、ジェットエンジン排気口プラグ、炉の材料などを挙げることができる。また公知の F R P成形体もこの発明の方法により成形することができる。

もっとも、この加圧成形装置は、前記のセラミック製のグリーンシートを用いてセラミックコンデンサ等を製造するのに好適である。

そこで、以下においては、セラミック製のグリーンシートを用いる加圧成形装置について詳述する。

A . 加圧成形装置

(例 1 )

この例に示す加圧成形装置は、その内容を具体的に示すのに好都合なように、セラミックス積層体の製造装置と称することもできる。

このセラミックス積層体の製造装置は、この出願の基礎となった日本特許出願である平成 6年特許願第 1 3 4 6 5 1号に添付された明細書に、実施例 1として記載されている。

図 1に示すように、この発明の一実施例であるセラミックス積層体の製造装置 1は、圧力容器本体（この例においては、基体と称することもある。） 3と、第 1弾性部材 4と、第 2弾性部材 5と、蓋体 6と、固定部材であるヨーク 8とを有する。

基体 3は、その外形が円柱状である。もっとも、この基体 3は、その外形が円柱状である必要は特になく、設計上四角柱状であっても良い。

図 2および図 3に示すように、基体 3の下面には、方形の開口部 3 aを有する 4個の凹陥部 3 bが設けられる。この開口部 3 aの大きさは、得ようとするセラミックス積層体の上平面の大きさにほぼ等しくなるように設定される。この基体 3の内部に各凹陥部 3 bの天井面が形成されている。

図 1に示されるように、この各凹陥部 3 bの天井面には、この凹陥部 3 bの周面に対して液密になるように第 1弾性部材 4が配置される。なお、図 1においては、凹陥部 3 bの天井面と第 1弾性部材 4との間に圧力流体が圧入され、これによって第 1弾性部材 4が凹陥部 3 bの天井面から下方に膨れた状態が、示されている。

第 1弾性部材 4としては、弾性を有し、耐圧性を有するのであればその材質に特に制限がないのであるが、通常はゴム製である。第 1弾性部材 4を凹陥部 3 b の天井面に配置するには、たとえば、図 3に示すように、凹陥部 3 bの天井面近傍における内周面に設けた間隙 3 cに第' 1弾性部材 4の端辺部 4 aを緊密に装着する手法を採用しても良いし、また、図 4に示すように、基体 3を、方形の開口部 3 aを有する 4個の連通孔を有する円柱状の第 1基体 3 dと、前記第 1基体 3 dと同じ直径を有し、前記 4個の連通孔ど同じ形状の方形の 4個の浅い窪み 3 e を有する円盤状の第 2基体 3 f とで形成し、前記第 1基体 3 dの上面と第 2基体 3 fの下面との間に、この第 1基体 3 dの上面および第 2基体 3 fの下面と同じ平面積を有するたとえばゴム製の第 1弾性部材 4を介装させる手法を採用しても良い。

図 1に示すように、この基体 3には、前記凹陥部 3 bの天井面に開口する第 1 開口部 3 gと基体 3の外周面に開口する第 2開口部 3 hとを連絡する第 1圧力流体導排出路 3 iを有し、基体 3の外部に設置された、たとえば圧力流体貯留槽（図示せず。）、圧力流体貯留槽から第 2開口部 3 hへ圧力流体を導入する配管 3 j、およびこの配管 3 jの途中に設けられ、圧力流体を前記第 1圧力流体導排出路 3 iに圧送するポンプ（図示せず。）からなる第 1圧力流体供給手段（図示せず。 ) により、凹陥部 3 bの天井面と第 1弾性部材 4との間に圧力流体が圧入されるようになつている。この実施例においては、第 1圧力流体導入機構が、前記第 1圧力流体導排出路 3 iおよび第 1圧力流体供給手段を有して構成されている。

この基体 3には、前記凹陥部 3 bの内周面であって前記第 1弾性部材 4および第 2弾性部材 5により被覆されていない内周面に開口する第 3開口部 3 kと基体 3の外周面に開口する第 4開口部 3 mとを連絡する気体導排出路 3 nが設けられ、この気体導排出路 3 nには、前記第 4開口部 3 mに接続された配管 3 p、その配管 3 pの一端に接続された気体排出ポンプ（図示せず。）および、前記配管 3 pの途中に設けられた気体リーク用バルブ（図示せず。）を備えた気体排気装置（図示せず。）が結合されている。この実施例では、気体導入排出手段が、前記気体導排出路 3 ηおよび気体排気装置を有して構成されている。

第 2弾性部材 5は、たとえばゴムなどの弾性体により形成され、前記基体 3の上面に開口する 4個の凹陥部 3 aの開口部を全て覆うことのできる大きさを有するように形成されたシートである。

蓋体 6は、前記基体 3の下面と実質的に同じ形状および面積を有する上面を有し、その上面には、基体 3の下面に設けられた 4個の凹陥部 3 bの開口部を全て覆蓋することができるに十分な面積の凹部 7を有している。この凹部 7には前記第 2弾性部材 5が、第 2弾性部材 5の周端面とこの凹部 7の周壁とが液密になるように、装着されている。したがって、ごの凹部 7の開口形状は前記第 2弾性部材 5の平面形状とは実質的に同じであるように、あるいは第 2弾性部材 5の平面形状が前記凹部 7の開口形状よりわずかに大きくなるように、第 2弾性部材 5および凹部 7が設計される。

この蓋体 6には、その凹部 7の底部における適宜の位置に開口する第 5開口部 6 aとこの蓋体 6の外周面に開口する第 6開口部 6 bとを連絡する第 2圧力流体導排出路 6 cが設けられ、基体 3の外部に設置された、たとえば圧力流体貯留槽 (図示せず。）、圧力流体貯留槽から第 6開口部 6 bへ圧力流体を導入する配管 6 d、およびこの配管 6 dの途中に設けられ、圧力流体を前記第 2圧力流体導排出路 6 cに圧送するポンプ（図示せず。）からなる第 2圧力流体供給手段（図示せず。）により、蓋体 6の底部と第 2弾性部材 5との間に圧力流体力 s圧入されるようになつてい.る。この実施例では、第 2圧力流体導入機構が、前記第 2圧力流体導排出路 6 cおよび第 2圧力流体供給手段を有して構成される。

この蓋体 6は、図示しない適宜の駆動手段により、基体 3の開口部 3 aの下方の適宜位置と基体 3への蓋体装着位置との間で、上下移動可能に形成されている。

図 1および図 5に示すように、前記ヨーク 8は、垂直に立設された一対の垂直部 8 bと、その垂直部 8 bの上部および下部で水平に架け渡すように平行に設けられた上部水平部 8 cおよび下部水平部 8 dとを有する。この上部水平部 8 cおよび下部水平部 8 dと一対の垂直部 8 bで形成される開口部 8 aは、蓋体 6を装着した基体 3を収容するに十分な大きさを有し、蓋体 6を装着した基体 3をこの開口部 8 a内に収容した場合に、上部水平部 8 cの下面が基体 3の上面よりわずかに高い位置にあり、下部水平部 8 dの上面が蓋体 6の下面に位置し、一対の垂直部 8 bの相互の間隔が前記基体 3の直径よりも十分に大きな長さになるように設計される。なお、基体 3は、適宜の手段例えばフレーム（図示せず。）などによって支持される。なお、この開口部 8 aは、基体 3とこれに装着した蓋体 6とを有する圧力容器を収容することのできる空間であるとも、言い得る。

このヨーク 8には加熱手段が設けられていて、加圧成形の際に基体 3内の凹陥部 3 b内を加熱することができるようになつている。

図 5に示されるように、このヨーク 8は、たとえばレール 9上を転動する車輪 1 0を備えることなどによって水平移動自在に構成される。そして、基体 3の凹陥部 3 b内にセラミックス製の複数のグリーンシ一卜を収容しているときには、基体 3から蓋体 6を取り外す必要から、この基体 3から退避した位置に待機し、加圧成形をするときにはこのヨーク 8の開口部 8 aに、蓋体 6を装着した基体 3 を収容するように移動する。

以上構成のセラミックス積層体の製造装置によるセラミックス積層体の製造について以下に説明する。

まず、初期状態としてヨーク 8は基体 3から離れた位置に待機し、蓋体 6が基体 3の下方に位置している。

蓋体 6に装着された第 2弾性部材 5の上に積層物 1 1を配置する。

この積層物 1 1としては、セラミックス製の薄いシートを積み重ね、必要に応じて軽く押圧することによりシート相互を接着させてなり、あるいは必要に応じて軽く焼成することによりシート相互を結着させてなり、あるいはシー卜の形成に使用されたバインダ一によってシー卜相互が軽く接着されてなる積層物等を挙げることができる。

また、このセラミックス積層体の製造方法により製造されるセラミックス積層体が、たとえば積層コンデンサに加工されるのであれば、図 6に示すように、前記積層物 1 1は、セラミックス製の一枚のグリーンシート 1 2に複数の内部電極 1 3を形成し、同様に複数の内部電極 1 3を形成したグリーンシート 1 2を相互に積層して形成されることができる。

図 6においては、積層物 1 1として、内部電極 1 3を三層にし、グリーンシ一ト 1 2を四層にした場合を示している。もっとも、このグリーンシート 1 2の積層枚数は 4枚に限らず、また電極も三層に限らず、任意の枚数が適宜に選択される。

第 2弾性部材 5の上面に前記積層物 1 1を配置した後に、この蓋体 3を上昇させて、積層物 1 1を凹陥部 3 b内に収容する。なお、設計変更事項ではあるが、蓋体 3を移動させずに、基体 3を下降させることにより、積層物 1 1を凹陥部 3 b内に収容するようにしても良い。

凹陥部 3 b内に積層物 1 1を収容した後に、ヨーク 8を移動させて、ヨーク 8 の開口部 8 aに、蓋体 6を装着した基体 3を配置する。この配置状態では、ョーク 8における上部水平部 8 cの下面が基体 3の上面に殆ど接する位に近接した状態にあり、またヨーク 8の下部水平部 8 dの上面は蓋体 6の下面に殆ど接する位に近接した状態にある。

この状態で次のようにして、セラミックス製の複数枚のグリーンシート 1 2を積み重ねた積層物 1 1の加圧成形を行う。

加圧成形の方法として以下の二方法を挙げることができる。

まず、第 1の方法は、気体導入排出手段により、凹陥部 3 b内の気体を排気する。気体の排出を行いつつ、あるいは気体の排出により凹陥部 3 b内を高度の減圧度にしてから、第 1圧力流体供給手段におけるポンプを駆動して圧力流体貯留槽から配管および第 1圧力流体導排出路 3 iを介して凹陥部 3 bの天井面と第 1 弾性部材 4との間に圧力流体を圧入し、かつ第 2圧力流体供給手段におけるポンプを駆動して圧力流体貯留槽から配管および第 2圧力流体導排出路 6 cを介して蓋体 6の下面と第 2弾性部材 5との間に圧力流体 P ₂ を圧入する。第 2弾性部材 5と蓋体 6の底部との間に圧入された圧力流体 P ₂ によって、蓋体 6を下方に向かって押し下げようとし、力つ第 2弾性部材 5を凹陥部 3 b内の上方に押し上げようとする圧力が発生する。ところ力蓋体 6の下面にはヨーク 8の下部水平部 8 dが位置しているので蓋体 6の下方への移動が阻止されてしまい、結局、第 2弾性部材 5と蓋体 6の底部との間に圧入された加圧流体 P ₂ によって、第 2 弓単性部材 5を介して積層物 1 1を上方に押圧する大きな加圧力が発生する。一方、基体 3の凹陥部 3 bと第 1弾性部材 4との間に圧入された加圧流体によって、基体 3を押し押し上げると共に第 1弾性部材 4を押し下げる圧力が発生する。'ところ力基体 3はもともと固定されている上に、基体 3の上面にはョ一ク 8の上方水平部 8 c力 s基体 3の上方移動を阻止しているので、圧力流体 P i の圧入によって、第 1弾性部材 4を介して積層物 1 1を下方に圧縮する大きな圧力が発生する。

凹陥部 3 b内に収容された積層物 1 1に対して第 1弾性部材 4による下方に向カ大きな圧力と第 2弾性部材 5による上方に向かう大きな圧力とにより、積層物 1 1は加圧され、各セラミックス製のグリーンシート 1 2は相互に固着して一体化し、セラミックス積層体が形成される。

第 1弾性部材 4および第 2弾性部材 5を介して積層物 1 1の加圧を所定時間継続するのが好ましい。この加圧においてば、圧力流体を使用しているので、第 1 弾性部材 4および第 2弾性部材 5を介してグリ一ンシ一卜 1 2の全面に均一に圧力が印加される。したがって、積み重ねられたグリーンシート 1 2に圧力が不均一に印加されることによる成形不良がない。

所定時間の加圧の後に、配管 3 pおよび配管 6 dそれぞれに設けられた圧カリ —ク弁（図示せず。）を解放することにより、第 1弾性部材 4と凹陥部 3 bの天井面との間に充填されている圧力流体 P■ と第 2弾性部材 5と凹部 7との間に圧入されている圧力流体 P ₂ を排出する。圧力流体、 P ₂ を排出することにより第 1弾性部材 4および第 2弾性部材 5を介した加圧力が低下する。

前記加圧力が小さくなり、あるいは加圧力が消失することにより、基体 3の上面を規制していたヨーク 8の上部水平部 8 cと基体 3の上面とにクリアランスを生じ、また、蓋体 6の下面を規制していたヨーク 8の下部水平部 8 dと蓋体 6の下面とにクリアランスを生じる。そこで、ヨーク 8を元の退避位置に水平移動させる。蓋体 6を下降させて、基体 3の下面から蓋体 6および第 2弾性部材 5を分離する。次いで、第 1圧力流体供給手段におけるポンプを更に駆動して第 1弾性部材 4と凹陥部 3 bの天井面との間に再び圧力流体を圧入することにより、第 1弾性部材 4を介してセラミックス積層体に圧力を印加する。この圧力の印加によりセラミツクス積層体が凹陥部 3 bから下方に押し出される。押し出されたセラミックス積層体を抜き取ることにより、凹陥部 3 bからのセラミックス積層体の取り出しを完了する。

なお、上記の説明では、セラミックス積層体の取り出し方法として、蓋体 6および第 2弾性部材 5を基体 3の下面から分離し、凹陥部 3 b内に取り残されているセラミックス積層体を、第 1弾性部材 4を介して圧力を印加することにより、凹陥部 3 b内からセラミックス積層体を取り出す手順を採用している力以下の手順によりセラミックス積層体を取り出すようにしても良い。

すなわち、蓋体 6の下降動作と連動して、第 1圧力流体供給手段におけるボンプを更に駆動して第 1弾性部材 4と凹陥部 3 bの天井面との間に再び圧力流体を圧入することにより、第 1弾性部材 4を介してセラミックス積層体に圧力を印加する。そうすると、蓋体 6の下降と共に基体 3の凹陥部 3 bからセラミックス積層体が押し出されるので、第 2弾性部材の上にセラミックス積層体を載置した状態で蓋体 6が基体 3から分離される。このような手順で蓋体 6を基体 3から分離すると、分離された蓋体 6の第 2弾性部材 5上にセラミックス積層体が載置されているから、セラミックス積層体を直ちに取り出し、次の新しい積層物を第 2 弾性部材 5上に安置することができる。つまり、作業を迅速に行うことができるようになるという訳である。

加圧成形の第 2の方法は、簡単に言うと、積層体の加圧成形に必要な加圧力は、第 2弾性部材 5を介して伝達し、加圧成形の終了後に凹陥部 3 bよりセラミックス積層体を取り出すときには第 1弾性部材 4を介して伝達される圧力を利用する、ということを内容とする。すなわち、気体導入排出手段により、凹陥部 3 b内の気体を排気する。気体の排出を行いつつ、あるいは気体の排出により凹陥部 3 b内を高度の減圧度にしてから、第 2圧力流体供給手段におけるポンプを駆動して圧力流体貯留槽から配管 6 dおよび第 2圧力流体導排出路 6 cを介して蓋体 6における凹部 7の底面と第 2弾性部材 5との間に圧力流体 P ₂ を圧入する。蓋体 6の前記底面と第 2弾性部材 5との間に圧入された加圧流体 P 2 によつて、蓋体 6を押し下げると共に第 2弾性部材 5を押し上げる圧力力 ^発生する。ところ力蓋体 6の下面にはヨーク 8の下方水平部 8 dが蓋体 6の下方移動を阻止しているので、圧力流体の圧入によって、第 2弾性部材 5を介して積層物 1 1を上方に圧縮する大きな圧力が発生する。

凹陥部 3 b内に装入された積層物 1 1に対して第 2弾性部材 5による上方に向力大きな圧縮力により、積層物 1 1は加圧され、各セラミックス製のグリーンシード '1 2は相互に固着して一体化し、セラミックス積層体が形成される。第 2弾性部材 5を介して積層物 1 1の加圧を所定時間継続するのが好ましい。この加圧においては、圧力流体を使用しているので、第 2弾性部材 5を介してグリーンシート 1 2の全面に均一に圧力が印加される。したがって、積み重ねられたグリーンシート 1 2に圧力が不均一に印加されることによる成形不良がない。また、第 1弾性部材 4を介して圧縮力を受けるセラミックス製の積層物 1 1は凹陥部 3 bの天井面に対して第 1弾性部材 4を介して押しつけられるので、第 1弾性部材 4が緩衝部材の作用を示す。

所定時間の加圧の後に、第 2圧力流体供給手段におけるポンプを駆動することにより第 2弾性部材 5と蓋体 6の下面との間に圧入されている圧力流体 P ₂ を排出する。圧力流体 P ₂ を排出することにより第 2弾性部材 5を介した加圧力が低下する。

前記加圧力が小さくなり、あるいは加圧力が消失することにより、蓋体 6の下面を規制していたヨーク 8の下部水平部 8 dと蓋体 6の下面とにクリアランスを生じる。そこで、ヨーク 8を元の退避位置に水平移動させる。

蓋体 6を第 2弾性部材 5と共に下方に移動させて、基体 3から基体 6を分離する。分離した状態では、凹陥部 3 bの内部にセラミックス積層体が収容されたままとなつている。

そこで、第 1圧力流体供給手段におけるポンプを駆動して第 1弾性部材 4と凹陥部 3 bの天井面との間に更に圧力流体 P , を圧入することにより、第 1弾性部材 4を介してセラミックス積層体に圧力を印加する。この圧力の印加によりセラミックス積層体が凹陥部 3 bから押し出される。押し出されたセラミツクス積層体を抜き取ることにより、凹陥部 3 bからのセラミックス積層体の取り出しを完了する。

なお、この第 2の方法においても、前記第 1の方法において説明したように、蓋体 6の下方移動と共に圧力流体 P！の圧入によりセラミックス積層体を凹陥部 3 bから押し出すようにすることによって、蓋体 6における第 2弾性部材 5上にセラミックス積層体を載置した状態で蓋体 6を基体 3から分離するようにしても良い。

(例 2")

次に、セラミックス積層体の製造装置の他の一例について図面を参照しながら説明する。なお、以下の図面において、上記例 1におけるのと同様の部材については図 1〜6において示された番号を用いる。

この例 2に係るセラミックス積層体の製造装置は、この出願の基礎この出願の基礎となった日本特許出願である平成 6年特許願第 1 3 4 6 5 1号に添付された明細書に、実施例 2として記載されている。

図 7に示すように、この発明の一実施例であるセラミックス積層体の製造装置 3 0は、圧力容器本体である基体 3と、第 1弾性部材 4と、蓋体 3 1と、固定部材であるヨーク 8とを有する。

基体 3、第 1弾性部材 4およびヨーク 8については、前記実施例 1において説明したのと実質的に同様である。

蓋体 3 1は、前記基体 3の下面と実質的に同じ形状および面積の上面を有する円柱体である。 '

この蓋体 3 1はその下面に、前記実施例におけるような凹部（図 1において 7 で示されている。）が設けられてはいない。

この蓋体 3 1には、図 1に示されるような、その凹部 7の底面において開口する第 5開口部 6 aとこの蓋体 3 1の外周面に開口する第 6開口部 6 bとを連絡する第 2圧力流体導排出路 6 c力'設けられていない。したがって、このセラミックス積層体の製造装置 3 0においては、図 1に示されるような、基体 3 0の外部に設置された、たとえば圧力流体貯留槽、圧力流体貯留槽から第 6開口部 6 bへ圧力流体を導入する配管 6 d、およびこの配管 6 dの途中に設けられ、圧力流体を前記第 2圧力流体導排出路 6 cに圧送するポンプからなる第 2圧力流体供給手段を有していない。結局、このセラミックス積層体の製造装置は、第 2圧力流体導入機構を備えていない。

また、ヨーク 8には加熱手段が設けられていて、加圧成形の際に基体 3内の凹陥部 3 b内を加熱することができるようになつている。

以上構成のセラミックス積層体の製造装置 3 0によるセラミックス積層体の製造について以下に説明する。

まず、初期状態としてヨーク 8は基体 3および蓋体 6から退避した位置に待機し、 '蓋体 3 1は基体 3の下面から分離して基体 3の下方位置にて待機している。

蓋体 3 1の上面であって、前記基体 3の下面に開口する開口部に対応する位置に、セラミックス製の複数枚のグリーンシートからなる積層物 1 1を、配置する。

蓋体 3 1を上方に移動させて蓋体 3 1の上面を基体 3の下面に装着する。これによって蓋体 3 1の上面に安置されていた積層物 1 1が凹陥部 3 b内に収容される。

なお、この実施例においては、基体 3を固定しておいて蓋体 3 1を上下動可能にしている力蓋体 3 1を固定しておい T基体 3を上下動可能にしても良いし、また、蓋体 3 1と基体 3とを共に上下動可能にしても良い。要するに、蓋体 3 1 と基体 3とを分離した状態で、蓋体 3 1の上面に積層物 1 1を配置し、その後に蓋体 3 1上の積層物 1 1を凹陥部 3 b内に収容することができるようになつている限り、蓋体 3 1および基体 3の移動はどのようであっても良く、操作の簡便 -性、利便性あるいは工業的操作性等の各種の要素を考慮して適宜に決定すれば良いのである。

凹陥部 3 b内に積層物 1 1を収容した後にヨーク 8を移動させて、ヨーク 8の開口部 8 aに、蓋体 3 1を装着した基体 3を配置する。この配置状態では、ヨ一ウ 8における上部水平部 8 cの下面が基体 3の上面に殆ど接する位に近接した状態にあり、またヨーク 8の下部水平部 8 dの上面は蓋体 3 1の下面に殆ど接する位に近接した状態にある。

この状態で次のようにして、たとえば図 6に示すような、セラミックス製の複数枚のグリーンシート 1 2を積み重ねた積層物 1 1の加圧成形を行う。すなわち、気体排気手段により、凹陥部 3 b内の気体を排出する。気体の排出を行いつつ、あるいは気体の排出を行って凹陥部 3 b内を高度の減圧度にしてから、第 1圧力流体供給手段におけるポンプを駆動して圧力流体貯留槽から配管および第 1圧力流体導排出路 3 iを介して凹陥部 3 bの天井と第 1弾性部材 4との間に圧力流体を圧入する。第 1弾性部材 4と凹陥部 3 bの天井面との間に圧入された圧力流体によって、基体 3を上方に向かって押し上げようとし、かつ第 1弾性部材 4を凹陥部 3 b内の下方に押し下げようとする圧力が発生する。ところが、基体 3の上面にはョ一ク 8の上部水平部 8 c力^ (立置しているので基体 3の上方への移動が阻止されてしまい、結局、第 1弾性部材 4と凹陥部 3 bの天井面との間に圧入された加圧流体によって、第 1弾性部材 4を介して積層物 1 1を下方に押圧する大きな加圧力が発生する。

この大きな加圧力は、積層物 1 1を介して蓋体 3 1に印加され、蓋体 3 1を筒状体 7の下方開口部から押し下げるように蓋体 3 1に作用する。ヒころが、蓋体 3 1の下面にはヨーク 8の下方水平部 8 dが蓋体 3 1の下方移動を阻止しているので、積層物 1 1には第 1弾性部材 4と蓋体 1 1とにより高圧の圧縮力を受けることになる。圧縮力を受けた積層物 1 1においては、各セラミックス製のグリーンシ一卜 1 2が相互に固着して一体化し、—セラミックス積層体が形成される。第 1弾性部材 4を介して積層物 1 1の加圧を所定時間継続するのが好ましい。この加圧においては、圧力流体 P , を使用しているので、第 1弾性部材 4を介してグリーンシート 1 2の全面に均一に圧力が印加される。した力 sつて、積み重ねられたグリ一ンシート 1 2に圧力が不均一に印加されることによる成形不良がない。

所定時間の加圧の後に、配管 3 pの適宜の箇所に設けられた圧力リーク弁（図示せず。）を解放することにより、第 1弾性部材 5と蓋体 3 1の下面との間に圧入されている圧力流体を排出する。圧力流体を排出することにより第 1 弾性部材 5を介した加圧力が低下する。

前記加圧力が小さくなり、あるいは加圧力が消失することにより、蓋体 3 1の上面を規制していたヨーク 8の上部水平部 8 cと基体 3の上面とにクリアランスを生じ、また下部水平部 8 dと蓋体 3 1の下面とにクリアランスを生じる。そこで、ヨーク 8を元の退避位置に水平移動させる。基体 3の下面から蓋体 3 1を下方に移動してこれを取り除く。蓋体 3 1を基体 3から分離した状態においては、凹陥部 3 b内にセラミックス積層体が収容されたままとなつていることがある。

そのような場合には、第 1圧力流体供給手段におけるポンプを更に駆動して第 1弾性部材 4と凹陥部 3 bの天井面との間に再び圧力流体 P , を圧入することにより、第 1弾性部材 4を介してセラミックス積層体に圧力を印加する。この圧力の印加によりセラミックス積層体が凹陥部 3 bから押し出される。押し出されたセラミックス積層体を抜き取ることにより、凹陥部 3 bからのセラミックス積層体の取り出しを完了する。

なお、この実施例においては、基体 3から蓋体 3 1を分離し、その後に基体 3 の凹陥部 3 b内に収容されているセラミックス積層体を圧力流体の圧入により押し出すようにしている力、基体 3から蓋体 3 1を分離するのと同時にあるいは連動して圧力媒体 P！の圧入によりセラミックス積層体を凹陥部 3 bカら押し出し、基体 3から蓋体 3 1を分離し終わったときには、蓋体 3 1の上面にセラミックス積層体が載置されている状態であるようにしても良い。そうすれば、基体 3から蓋体 3 1を分離し終わった時点で直ちにセラミックス積層体を取り出し、次の積層物を蓋体 3 1の上面に配置ずることができ、操作性、製造効率等が格段に向上する。

この実施例においては、蓋体 3 1の上面に、凹陥部 3 b内に収容されるべき積層物 1 1が直接に接触する態様になっているが、図 8に示されるように、前記蓋体 3 1の凹陥部 3 bに臨む面に離型性部材 3 aを介装させるの力 s好ましい。離型性部材としては、セラミックス製のグリーンシートに対して離型性を有する部材たとえばテフロンで、凹陥部 3 bの開口部と実質的に同じ直径を有する円盤状に形成することができる。もっとも、この離型性部材の形状は、凹陥部 3 b の開口部と実質的に同じ直径を有する円盤状にする必然性はなく、要するに、圧力流体で積層物 1 1を加圧しているときに積層物 1 1の上面と蓋体 3 1の下面とを離隔することのできる形状に設計されていればよいのである。

凹陥部 3 bの開口部にこの離型性部材 3 aを装着し、蓋体 3 1の下面に積層物 1 1の上面が直接に接触しないようにしておくことにより、積層物 1 1を加圧成形した後に、蓋体 3 1とセラミックス積層体の下面とが固着するのを防止することができる。 (例 3 )

次に、この発明に係る加圧成形装置であるセラミックス積層体の製造装置の他の一例について図面を参照しながら説明する。なお、以下の図面において、例 1 に示されたセラミックス積層体の製造装置におけるのと同様の部材については図 1〜6において示された番号を用いる。

こ例 3に係るセラミックス積層体の製造装置は、この出願の基礎となった日本特許出願である平成 6年特許願第 1 3 4 6 5 1号に添付された明細書に、実施例 3として記載されている。

図 9に示すように、この発明の一実施例であるセラミックス積層体の製造装置 4〇は、基体 3と、第 1弾性部材 4と、蓋体 4 1と、固定部材であるョ一ク 8とを有する。

基体 3、第 1弾性部材 4、およびヨーク 8については、前記実施例 1において説明したのと実質的に同様である。

蓋体 4 1は、前記基体 3の下面と実質的に同じ形状および面積の上面を有する円柱体である。この円柱体である蓋体 4 の上面には、この蓋体 4 1を基体 3の下面に装着したときに基体 3における 4個の凹陥部 3 bの開口部を覆蓋するに十分な大きさの開口面積を有する凹部 4 2力形成される。この凹部 4 2内には、流体 Fを収容し、耐圧性の部材で形成された袋状物 4 3力 s収容される。この実施例においては、流体を封入したこの袋状物 4 3力圧力流体層を形成する。もっとも、この実施例においては、圧力流体層として前記袋状物 4 3が用いられているのであるが、この圧力流体層は、積層物 1 1を加圧する際のクッシヨンとして作用することのできる構造であればよいのであって、その構造に特別の制限があるわけではなく、例えば、蓋体 4 1の下面に設けられた凹部 4 2の開口部に液密に張設された弾性シー卜とこの弾性シートで凹部 4 2内に封じられた流体とで形成することもできる。

この蓋体 4 1には、図 1に示されるような、その下面に開口する第 5開口部 6 aとこの蓋体 4 1の外周面に開口する第 6開口部 6 bとを連絡する第 2圧力流体導排出路 6 cが設けられていない。したがって、このセラミックス積層体の製造装置 3 0においては、図 1に示されるような、基体 3 0の外部に設置された、たとえば圧力流体貯留槽、圧力流体貯留槽から第 6開口部 6 bへ圧力流体を導入する配管 6 d、およびこの配管 6 dの途中に設けられ、圧力流体を前記第 2圧力流体導排出路 6 cに圧送するポンプからなる第 2圧力流体供給手段を有していなレ、。結局、このセラミックス積層体の製造装置 4 0は、第 2圧力流体導入機構を備えていない。

以上構成のセラミックス積層体の製造装置 4 0によるセラミックス積層体の製造にづいて以下に説明する。

まず、初期状態としてヨーク 8は基体 3から退避した位置に待機し、蓋体 4 1 が基体 3の下方位置にて待機している。

蓋体 4 1の凹部 4 2に設けられた袋状物 4 3の上面であって、前記基体 3の下面に開口する開口部に対応する位置に、セラミックス製の複数枚のグリーンシートからなる積層物 1 1を、配置する。なお、袋状物 4 3の上に直接に積層物 1 1 を配置すると、袋状物 4 3の材質によって、積層物 1 1力袋状物 4 3にめり込むことがあったりしてその載置状態が不安定であると危惧されるときには、袋状物 4 3に支持部材を重ねて配置するのが好ましい。

蓋体 4 1を上方に移動させて蓋体 4 1の上面を基体 3の下面に装着する。これによって蓋体 4 1の上面に配置されていた積層物 1 1が凹陥部 3 b内に収容される。

なお、この実施例においては、基体 3を固定しておいて蓋体 4 1を上下動可能にしている力蓋体 4 1を固定しておいて基体 3を上下動可能にしても良いし、また、蓋体 4 1と基体 3とを共に上下動可能にしても良い。要するに、蓋体 4 1 と基体 3とを分離した状態で、蓋体 4 1の上面に積層物 1 1を配置し、その後に蓋体 4 1上の積層物 1 1を凹陥部 3 b内に収容することができるようになつている限り、蓋体 4 1および基体 3の移動運動はどのようであっても良く、操作の簡便性、利便性あるいは工業的操作性等の各種の要素を考慮して適宜に決定すれば良いのである。

凹陥部 3 b内に積層物 1 1を収容した後に、ヨーク 8を移動させて、ヨーク 8 の開口部 8 aに、蓋体 4 1を装着した基体 3を配置する。この配置状態では、ヨーク 8における上部水平部 8 cの下面が基体 3の上面に殆ど接する位に近接した状態にあり、またヨーク 8の下部水平部 8 dの上面は蓋体 4 1の下面に殆ど接する位に近接した状 ¾1にある。

この状態で次のようにして、たとえば図 6に示すような、セラミックス製の複数枚のグリーンシート 1 2を積み重ねた積層物 1 1の加圧成形を行う。

すなわち、気体排気手段により、凹陥部 3 b内の気体を排出する。気体の排出を行いつつ、あるいは気体の排出を行って凹陥部 3 b内を高度の減圧度にしてから、第 1圧力流体供給手段におけるポンプを駆動して圧力流体貯留槽から配管および第 Ί圧力流体導排出路 3 iを介して凹陥部 3 bの天井面と第 1弾性部材 4との間に圧力流体を圧入する。第 1弾性部材 4と凹陥部 3 bの底面との間に圧入された圧力流体 P i によって、基体 3を上方に向かって押し上げようとし、かつ第 1弾性部材 4を凹陥部 3 b内の下方に押し下げようとする圧力が発生する。ところ力基体 3の上面にはヨーク 8の上部水平部 8 c力立置しているので基体 3の上方への移動が阻止されてしまい、結局、第 1弾性部材 4と凹陥部 3 bの天井面との間に圧入された加圧流体によって、第 1弾性部材 4を介して積層物 1 1 を下方に押圧する大きな加圧力が発生する。

この大きな加圧力は、積層物 1 1を介して蓋体 4 1に印加され、蓋体 4 1力 s基体 3の下面から分離するように蓋体 4 1に作用する。ところ力、蓋体 4 1の下面にはヨーク 8の下方水平部 8 d力蓋体 4 1の下方移動を阻止しているので、積層物 1 1には第 1弾性部材 4と蓋体 4 1とにより高圧の圧縮力を受けることになる。圧縮力を受けた積層物 1 1においては、各セラミックス製のグリーンシート 1 2カ湘互に固着して一体化し、セラミックス積層体が形成される。

. この加圧成形においては、圧力流体層としての袋状物 4 3を設けているので、この袋状物 4 3から第 1弾性部材 4に向かうべク卜ル方向での反力力 s生じ、この反力によつて複数枚のグリーンシートには、互いに向き合う方向の加圧力が作用し、グリーンシート相互の固着が達成されてセラミックス積層体が形成される。

第 1弾性部材 4を介して積層物 1 1の加圧を所定時間継続するのが好ましい。この加圧においては、圧力流体を使用しているので、第 1弾性部材 4を介してグリーンシート 1 2の全面に均一に圧力が印加される。した力 sつて、積み重ねられたグリーンシ一ト 1 2に圧力が不均一に印加されることによる成形不良がない。

所定時間の加圧の後に、配管 3 pの途中に適宜に設けられた圧力リーク弁（図示せず。）を解放することにより第 1弾性部材 4と基体 3の天井面との間に圧入されている圧力流体を排出する。圧力流体を排出することにより第 1弾性部材 4 を介した加圧力が低下する。

前記加圧力が小さくなり、あるいは加圧力が消失することにより、蓋体 4 1の下面を規制していたヨーク 8の下部水平部 8 dと蓋体 4 1の上面とにクリアランスを生じ、また基体 3の上面を規制していたヨーク 8の上部水平部 8 cと基体 3 の上面とにクリアランスを生じる。そこで、ヨーク 8を元の退避位置に水平移動させる。

基体 3の下面から蓋体 4 1を下方に移動させて蓋体 4 1を基体 3から分離する。蓋体 4 1を分離した状態においては、凹陥部 3 bの内部にセラミックス積層体が収容されたままとなつていることがある。

そのような場合、第 1圧力流体供給手段におけるポンプを更に駆動して第 1弾性部材 4と凹陥部 3 bの天井面との間に再び圧力流体を圧入することにより、第 1弾性部材 4を介してセラミックス積層体に圧力を印加する。この圧力の印加によりセラミックス積層体が凹陥部 3 bから'押し出される。押し出されたセラミツクス積層体を抜き取ることにより、凹陥部 3 bからのセラミックス積層体の取り出しを完了する。

なお、この実施例においては、基体 3から蓋体 4 1を分離し、その後に基体 3 の凹陥部 3 b内に収容されているセラミックス積層体を圧力流体 P！の圧入により押し出すようにしている力基体 3から蓋体 4 1を分離するのと同時にあるいは連動して圧力媒体 P 1 の圧入によりセラミックス積層体を凹陥部 3 bから押し出し、基^^ 3から蓋体 4 1を分離し終わったときには、蓋体 4 1の上面にセラミックス積層体が載置されている状態であるようにしても良い。そうすれば、基体 3から蓋体 4 1を分離し終わった時点で直ちにセラミックス積層体を取り出し、次の積層物を蓋体 4 1の上面に配置することができ、操作性、製造効率等が格段に向上する。

(例 4 )

この発明に係る加圧成形装置特にセラミックス積層体の製造装置は、この発明の要旨の範囲内で様々の設計変更を行うことができる。

(1) 図 1 0に示されるように、前記例 1〜3において、第 1弾性部材 4の下面に第 1硬質板材 5 0を重ねて配置するのが好ましい。第 1弾性部材 4と凹陥部 3 bの底面との間に圧力流体を圧入してセラミックス製の積層物 1 1を加圧成形する場合に、第 1弾性部材 4の下面に直接に前記積層物 1 1が載置されているときは、第 1弾性部材 4の表面が波打っていたりすると、第 1弾性部材 4を介して伝達される加圧力によって積層物 1 1の下面も波打った状態に押圧され、変形したセラミ'ックス積層体の形成されることがあるところ、第 1弾性部材 4の下面に第 1硬質板材 5 0を配置することにより、たとえば第 1弾性部材 4の下面が波打つた状態に変形していても、セラミックス製の積層物 1 1の上面には平らな状態で加圧成形され、変形のないセラミックス積層体が製造される。

この第 1硬質板材は、凹陥部の天井面と同じ形状を有し、通常、耐圧性の部材で形成されている。

(2) 図 1 0に示されるように、前記例 1〜3において、第 2弾性部材 5の上面に、第 2硬質板材 5 1を重ねて配置するのが好ましい。セラミックス製の積層物

1 1を加圧成形する場合に、第 2弾性部材 5の上面に直接に前記積層物 1 1の下面力 s '接触しているときには、第 2弾性部材 5の上面が波打っていたりすると、圧力媒体の圧入による加圧力によつて積層物 1 1の下面も波打つた状態に押圧され、変形したセラミックス積層体の形成されることがあるところ、第 2弾性部材

5の上面に第 2硬質板材 5 1を配置することにより、たとえば第 2弾性部材 5の下面が波打った状態に変形していても、セラミックス製の積層物 1 1の下面には平らな状態で加圧成形され、変形のないセラミックス積層体が製造される。この第 2硬質板材 5 1は、凹陥部の開口部と同じ形状を有し、通常、耐圧性の部材で形成されている。

(3) 前記例 1〜3におけるセラミックス積層体の製造装置においては、基体に凹陥部が 4基設けられたように図示されているが、基体に設ける凹陥部の数には特に限定がなく、この発明の目的を阻害しない範囲で任意の数の凹陥部を設けることができる。

また、凹陥部の形状は水平断面形状力方形であるに限られず、水平断面形状が円形であるような凹陥部の形状を選択することができる。凹陥部の水平断面形状は、この凹陥部内にセラミックス積層物を収容することのできる十分な大きさを有する限り、どのような形状であっても良いのである。

(4) 図 1 1に示されるように、基体 3に設けられた凹陥部 3 bの開口部縁辺に傾斜面 6 0を設けるのも良い。

凹陥部 3 bの開口部縁辺に傾斜面 6 0を設けておくと、成形されたセラミックス積層体を開口部縁辺により損傷を与えることなく取り出すことができるので、製品の歩留を更に向上させることができる。

(5) '前記例 1〜3においては固定部材がヨークであつたが、この発明においては、この固定部材は、圧力流体を所定の部位に圧入することにより発生する圧力により、蓋体が基体から外れないように、蓋体の下方移動を阻止することができるようになっている限りその構造に特に制限がない。固定部材として前記ヨークの代わりに、基体と蓋体とを固定的に結合する適宜の手段であっても良い。また、固定部材が、基体とこの基体を収容する筒状体とを固定するたとえばピン、あるいはボルトと、筒状体と基体上の蓋体とを固定するたとえばピン、あるいはボル卜との組み合わせであっても良い。

もっとも、固定部材としてはヨークがより好適であると言える。ヨークを固定部材として採用する場合、ヨークの移動を-行うだけで、圧力容器本体およびこれに装着した蓋体を簡単に規制することができ、ピンの挿入操作あるいはボルトの締め付け操作などがないので操作も簡単である。

(6) 上記の例 1〜3においては、圧力容器本体の下面に蓋体が装着される構成であるが、圧力容器本体の上面に凹陥部が形成され、その凹陥部が覆蓋されるように蓋体が装着される構成を採用することもできる。

この例は、端的に言うと図 1、図 3、図 4、図 7、図 8、図 9、図 1 0および図 1 1の天地を逆にして表示される。これらの図の天地を逆にして表示されるセラミックス積層体の製造装置は、例 1〜3に示される製造装置の説明に関し、凹陥部の「天井面」を「底面」と読み替え、「下部」を「上部」に読み替え、「上部」を「下部」に読み変えることにより容易に理解される。

この例は、この出願の基礎となった日本特許出願である平成 5年特許願第 8 6 5 4 9号に添付された明細書に、開示されているので、その開示内容をこの明細書の内容として組み込むことができる。以下にこの発明の更に好適な態様を列挙する。

第 1の態様は、セラミックス製の複数のグリーンシ一卜を収容することのできる凹陥部を形成してなる基体と、前記凹陥部の天井面に配置され、その天井面を液密に覆蓋する第 1弾性部材と、前記凹陥部の下部開口部を液密に覆蓋する第 2 弾性部材と、前記第 2弾性部材を介して前記凹陥部の前記下部開口部を閉鎖する蓋体と、前記基体に設けられ、前記凹陥部の天井面と第 1弾性部材との間に圧力流体を導入する第 1圧力流体導入機構と、前記第 2弾性部材に圧力を印加する圧力流体を導入する第 2圧力流体導入機構と、グリ一ンシー卜の加圧成形時に前記蓋体および基体を固定する固定部材と、前記凹陥部内の第 1弾性部材と第 2弾性部材とに挟まれた空間内の気体を排出する気体導排出手段と、前記凹陥部内を加熱する加熱手段とを有することを特徴とするセラミックス積層体の製造装置である。

第 2の態様は、セラミックス製の複数のグリーンシートを収容することのできる凹陥部を形成してなる基体と、前記凹陥部の天井面に配置され、その天井面を液密に覆蓋する第 1弾性部材と、前記凹陥部の下部開口部を液密に覆蓋する蓋体と、前記凹陥部の天井面と前記第 1弾性部材との間に圧力流体を導入する第 1圧力流体導入機構と、グリーンシートの加圧成形時に前記蓋体および基体を固定する固定部材と、前記凹陥部内の第 1弾性部材と蓋体とに挟まれた空間内の気体を排出する気体導排出手段と、前記凹陥部内を加熱する加熱手段とを有することを特徴とするセラミックス積層体の製造装置である。

第 3の態様は、前記蓋体の凹陥部に臨む面に離型性部材が介装されてなる前記第 2の態様のセラミックス積層体の製造装置である。

第 4の態様は、セラミックス製の複数のグリーンシートを収容することのできる凹陥部を形成してなる基体と、前記凹陥部の天井面に配置され、その天井面を液密に覆蓋する第 1弾性部材と、前記凹陥部の下部開口部を液密に覆蓋する第 2 弾性部材と、前記基体に設けられ、前記凹陥部の天井面と前記第 1弾性部材との間に圧力流体を導入する第 1圧力流体導入機構と、前記第 2弾性部材を介して前記凹陥部の下部開口部を覆蓋する蓋体と、前記第 2弾性部材と蓋体との間に封入された圧力流体層と、グリーンシー卜の加圧成形時に前記蓋体および基体を固定する固定部材と、前記凹陥部内の第 1弾性部材と第 2弾性部材とに挟まれた空間内の気体を排出する気体導排出手段と、前記凹陥部内を加熱する加熱手段とを有することを特徴とするセラミックス積層体の製造装置である。

第 5の態様は、前記第 2弾性部材に第 1硬質板材が重ねて配置されてなる前記第 1〜4の態様のいずれかであるセラミックス積層体の製造装置。

第 6の態様は、前記第 2弾性部材に第 2硬質板材が重ねて配置されてなる前記第 1、第 4および第 5の態様のいずれかであるセラミツクス積層体の製造装置である。 '- 第 7の態様は、前記凹陥部が複数個設けられてなる前記第 1 ~ 6の態様のいずれかであるセラミックス積層体の製造装置である。

第 8の態様は、前記凹陥部の下部開口部縁辺に傾斜部が設けられてなる前記第 1〜7の態様のいずれかであるセラミックス積層体の製造装置である。

第 9の態様は、前記第 1弾性部材の縁辺が凹陥部の壁面に設けられた間隙に装入されてなる前記第 1〜 8の態様のいずれかであるセラミックス積層体の製造装置である。

第 1◦の態様は、前記第 1〜9態様であるセラミックス積層体の製造装置において、「天井面」を「底面」と、「下部開 D部」を「上部開口部」と読み替えることにより理解されることのできるセラミックス積層体の製造装置である。第 1 1の態様は、前記第 1の態様であるセラミックス積層体の製造装置を使用し、凹陥部内で前記第 2弾性部材上にセラミックス製の複数のグリーンシートを積み重ねた状態に配置し、第 1圧力流体導入機構により凹陥部の天井面と第 1弾性部材との間に圧力流体を圧入し、かつ、第 2圧力流体導入機構により圧力流体を圧入することにより、第 1弾性部材ぉよび第 2弾性部材を介して複数のグリ一ンシートを加圧成形し、加圧成形後に、第 2圧力流体導入機構による加圧力を除き、セラミックス積層体を第 1圧力流体導入機構による加圧力により凹陥部から取り出すことを特徴とするセラミツクス積層体の製造方法である。

第 1 2の態様は、前記第 1の態様のセラミックス積層体の製造装置を使用し、凹陥部内で前記第 2弾性部材上にセラミックス製の複数のグリーンシートを積み重ねた状態に配置し、第 2圧力流体導入機構により第 2弾性部材を加圧することによりセラミックス製の複数のグリ一ンシートを加圧成形し、第 2圧力流体導入機構による加圧を停止してから、第 1圧力流体導入機構により第 1弾性部材と凹陥部の天井面との間に圧力流体を導入することにより、凹陥部からセラミックス積層体を取り出すことを特徴とするセラミックス積層体の製造方法である。

(1) この発明によると、層剥れを生じることなく、しかも歩留り良くセラミツクス積層体を製造することのできるセラミックス積層体の製造装置を提供することができる。

(2) 'この発明によると、加圧成形によってセラミックス積層体の下面が蓋体の上面に固着し、固着したセラミックス積層体を蓋体の上面から引き剥す際にヮレや欠けが発生するという不都合を解消することができ、セラミックス積層体を一層歩留良く製造することができる。

(3) この発明によると、セラミックス積層体の上面に第 1弾性部材の上面形状を写し取らず、第 1弾性部材による変形を生じることのないセラミックス積層体を製造することができる。これによつて、製品の歩留を向上させることができる。

(4) この発明によると、セラミックス積層体の下面に第 2弾性部材の上面形状を写し取らず、第 2弾性部材による変形を生じることのないセラミックス積層体を製造することができる。これによつて、製品の歩留を向上させることができる。

(5) この発明によると、複数個の凹陥部を設けた基体を使用するので、一回の加圧成形操作によって複数のセラミックス積層体を一度に製造することができる。これによつて、製品の歩留を向上させることができる。

(6) この発明によると、凹陥部の開口部縁辺に斜面を設けているので、成形後にセラミックス積層体を凹陥部から取り出す際に、凹陥部の開口部緣辺による傷がっかず、した力 Sつて、無傷のセラミックス積層体を製造することができる。これによって、製品の歩留を向上させることができる。

(7) この発明によると、第 1弾性部材の縁辺が凹陥部の壁面に設けられた間隙に挿入されているので、第 1弾性部材が確実に液密に装着されることになり、第 1弾性部材と凹陥部の天井面とに圧入される圧力流体のリークがなく効率的にセラミックス製のグリーンシートの加圧成形を行うことができる。これによつて、セラミックス成形体の製造効率を高めることができる。

(8) この発明によると、層剥れを生じることなく、成形されたセラミックス積層体を凹陥部から容易に取り出すことができ、しかも歩留り良くセラミックス積層体を製造することのできる。

(例 5 )

この例 5に示す加圧成形体製造装置は、この発明の加圧成形装置の一例である。この加圧成形体製造装置は、この出願の基礎になっている日本特許出願である平成' 6年特許願第 1 3 0 6 8 8号に係る明細書に、実施例 1として記載されている。

図 1 2に示すように、加圧成形体製造装置は、圧力容器本体 1 0 1と、蓋部材 1〇 2と、弾性部材 1 0 3と、スぺーサ 1 0 4と、固定部材であるヨーク 1 0 5 とを有する。

圧力容器本体 1 0 1の外径は、その高さに比してはるかに大きく、全体として円盤状である。もっとも、この圧力容器本体 1 0 1は円盤状である必要は特になく、設計上四角盤状であっても良い。

圧力容器本体 1 0 1は、第 1本体 1 0 6を第 2本体 1 0 7の上に重ね合わせて構成され、内部に凹陥部を有する。

図 1 3に示すように、第 1本体 1 0 6は内部に円盤状空間 1 0 8を備え、上端および下端に開口部を有する。

図 1 3に示すように、第 2本体 1 0 7は、第 1本体 1 0 6を積み重ねることができるように形成され、しかも前記第 1本体 1 0 6の円盤状空間 1 0 8と同じ直怪を有する開口部を備えた凹部 1 0 9を有する。換言すると、第 1本体 1 0 6 は、蓋部材が挿入される開口部およびその開口部に相対向して開口する対向開口部を備えてなる筒状体である。

この第 2本体 1 0 7に第 1本体 1 0 6を積み重ねたときに第 1本体 1 0 6の下端面に接触する第 2本体 1 0 7の上端面には、図 1 3に示すように、凹部 1 0 9 側に向かって傾斜し、凹部 1 0 9を囲繞するように環状に形成された環状テーパ面 1 1◦と、その環状テーパ面 1 1 0の下端から水平に前記凹部 1 0 9に連続するように環状に形成された環状水平面 1 1 1とが設けられている。この第 2本体 1 0 7の上端に第 1本体 1 0 6の下端を乗せるように第 2本体 1 0 7に第 1本体 1〇 6を積み重ねると、図 1 3に示すように、その縦断面において、第 1本体 1 0 6の下端面とその下端面に対して平行になっている環状水平面 1 1 1、および環状テーパ面 1 1 0とで間隙が形成される。第 1本体 1 0 6の下端面と第 2本体

1 0 7の上端に形成された前記環状テーパ面 1 1 0とで、縦断面がくさび型になったバックアップリング装着部 1 1 2力 s形成され、第 1本体 1 0 6の下端面と第 2本体 1 0 7の上端に形成された前記環状水平面 1 1 1とで弾性部材装着部 1

1 3が形成される。

前記-バックアップリング装着部 1 1 2には断面くさび型のバックアップリング 1 1 4が装着される。このくさび型のバックアップリング 1 1 4は、加圧成形時に塑性変形可能な、あるいは弾性変形可能な材質で形成されていれば特にその材質に制限があるわけではない。断面くさび型のバックアップリング 1 1 4の材質として、各種の熱可塑性樹脂、各種の金属、各種のゴムなどを挙げることができ、加圧力に応じてその材質が適宜に選択される。この実施例においては、金属製のバックァ、ソプリングが使用される

前記弾性部材装着部 1 1 3には弾性部材 1 1 5の周縁部が装着される。弾性部材 1 1 5としては、弾性を有し、耐圧性を有するのであればその材質に特に制限がないのである力通常はゴム製である

この弾性部材 1 1 5は、その平面形状が円形であり、その周縁部が裏側に折り返されてなる。そしてその弾性部材 1 1 5の折り返し部分に、円盤状の支持部材

1 1 6の緣カ装着されることにより、弾性部材 1 1 5と支持部材 1 1 6とが一体になっている。この支持部材 1 1 6は、多数の開口部 1 1 7を有する。この支持部材 1 1 6は、弾性部材 1 1 5を圧力容器本体 1 0 1内の凹陥部に張設したときにその中央部が下方に垂れ下がり、あるいは下方に湾曲するのを防止し、圧力媒体収容空間 1 1 8 (圧力流体収容空間とも称される。）に圧入された圧力媒体

1 1 9 (圧力流体とも称される。）の圧力を前記開口部 1 1 7を介して弾性部材

1 1 5に伝達するために設けられる。

支持部材 1 1 6を一体に有するこの弾性部材 1 1 5はその周縁部を前記弾性部材装着部 1 1 3に装着することにより、圧力容器本体 1 0 1内に張設される。弾性部材 1 1 5を張設することにより、第 1本体 1 0 6と第 2本体 1 0 7とで形成される圧力容器本体 1 0 1における凹陥部が二分され、第 2本体 1 0 7の凹部 1 0 9と弾性部材 1 1 5とで圧力媒体収容空間 1 1 8が形成され、第 1本体 1 0 6の円盤状空間 1 0 8と弾性部材 1 1 5とで素材収容空間 2 0が形成される。

上述したことからも理解されるように、多数の開口部 1 1 7を備えた支持部材 1 1 6と前記弾性部材 1 1 5とは、素材収容空間 1 2 0 (被加圧物収容空間とも称される。）と圧力媒体収容空間 1 1 8とを仕切る隔壁としての機能を有し、一方、この圧力媒体収容空間 1 1 8内に圧入された圧力媒体 1 1 9による圧力を素材に伝達する圧力伝達機能をも有する。

図 1 2に示すように、この圧力容器本体 1 0 1には前記圧力媒体収容空間 1 1 8 (図 1 3参照）に向かって開口する圧力媒体導入排出路 1 2 1が設けられる。

更に詳述すると、図 1 2および図 1 3に示すように、圧力容器本体 1 0 1を構成する第 2本体 1 0 7には、その底面に開口する第 1開口部 1 2 2と第 2本体 1◦ 7の外周面に開口する第 2開口部 1 2 3とを連絡する圧力媒体導入排出路 1 2 1と、図 1 4に示すように、圧力容器本体 1 0 1の外部に設置された、たとえば圧力媒体貯留槽 1 2 1 Aと、圧力媒体貯留槽 1 2 1 A力ら第 2開口部 1 2 3 へ圧力媒体を導入する配管 P、およびこの配管 Pの途中に設けられ、圧力媒体 1 1 9を前記圧力媒体導入排出路 1 2 1に圧送し、および強制排出する第 1ボンプ 1 2 1 Bと、前記配管 Pの途中で分岐し、前記圧力媒体貯留槽 1 2 1 Aに連絡する第 2配管 P ₂ と、この第 2配管 P ₂ の途中に設けられたバルブ Vと第 2ボンプ 1 2 1 Cとを備えた圧力媒体供給手段 1 2 1 Eにより、圧力媒体収容空間 1 1 8内に圧力媒体 1 1 9が圧入されるようになっている。

第 1本体 1 0 6と弾性部材 1 1 5とで形成される素材収容空間 1 2 0 (図 1 3 参照）には、スぺ一サ 1 0 4 (図 1 2参照）力配置される。このスぺーサ 1 0 4 は、素材収容空間 1 2 0内に配置される積層シー卜 1 2 4の横方向へのズレゃガタっきを防止し、また、加圧成形時における弾性部材 1 1 5の過度のふくれ上りを防止して弾性部材 1 1 5を保護する機能を有する。したがって、このスぺーサ 1 0 4の材質としては、耐圧性を有し、しかも前記機能を発揮することのできる限り特に制限がない。とはいえ、加工性や製造が容易であるかなどの実際的な見地よりすると、このスぺ一サ 1 0 4は鋼、ステンレスなどの金属で形成される。

このスぺーサ 1 0 4は、図 1 5に示すように、平面形状が円盤状であり、その中央部に積層シー卜 1 2 4を嵌め込むための例えば方形の開口部（以下において方形開口部 1 2 5と称する。）が設けられる。また、このスぺーサ 1 0 4の上面には、環状に形成された溝（以下において、環状溝 1 2 6と称する。）およびその環状溝 1 2 6から前記方形開口部 1 2 5へと連続する 4本の直線状の溝（以下において、直線溝 1 2 7と称する。）力 s形成されている。

こめ—、スぺ一サ 1 0 4の厚みは、弾性部材 1 1 5上にスぺ一サ 1 0 4を配置し、圧力容器本体 1◦ 1の凹陥部内に蓋部材 1 0 2における突出部 1 2 8を装着した場合に、突出部 1 2 8の下面がスぺーサ 1 0 4の上面に接触することができるように、設計される。またスぺ一サ 1 0 4の直径は、第 1本体 1 0 6の円盤状空間 1 0 8内にガタつきなく装着することができるように設計される。スぺーサ 1 0 4に設けられている方形開口部 1 2 5の寸法は、積層シ一卜 1 2 4の形状に合わせて、積層シート 1 2 4がガタつくことなく装着することができるように、設計される。 .

なお、この実施例においては、スぺーサ 1 0 4には 1個の方形開口部 1 2 5が設けられているが、一度に複数の積層体製造することを目的とするのであれば、図 1 6に示すように複数個例えば 4個の方形開口部 1 2 5を有するスぺーサ 1 0 4を使用しても良い。なお、図 1 6に示されるスぺーサ 1 0 4には環状溝

1 2 6および直線溝 1 2 7が設けられてはいない。後述するように、気体導入排出路の開口部がスぺ一サ 1 0 4の方形開口部 1 2 5内に開口するように設計されるのであれば、特に環状溝 1 2 6および直線溝 1 2 7はその必要性がないのである。

蓋部材 1 0 2は、図 1 2および図 1 7に示すように、蓋部材本体 1 2 9と突出部 1 2 8とを有する。

蓋部材本体 1 2 9は、平面が円盤状である。蓋部材本体 1 2 9の上面における所定周縁部で、蓋部材本体 1 2 9は支持体 1 3 0に結合される。この支持体

1 3 0は、更に垂直に立設する支持棒体 1 3 1に、ベアリング 1 3 2を介して回動可能に保持される。この支持棒体 1 3 1は、これを支持する基礎部材 1 3 3に立設する。この基礎部材 1 3 3は、シリンダー 1 3 4に装着されたプランジャー 1 3 5に結合され、プランジャー 1 3 5の垂直昇降により上下動可能になっている。また、この基礎部材 1 3 3は、垂直に立設するレール（以下において垂直レール 1 3 6と称する。）に跨座するガイド 1 3 7を有する。

このような構造により、前記プランジャー 1 3 5力 s上昇あるいは下降すると、ガイド 1 3 7に案内されて基礎部材 1 3 3が昇降し、基礎部材 1 3 3の昇降により蓋部材本体 1 2 9が昇降するようになっている。蓋部材本体 1 2 9は、手動操作により、水平面内で支持棒体 1 3 1を中心にして回動することができるようにもな όている。なお、この蓋部材本体 1 2 9は手動により水平面内で回動することができるのであるが、モータなどの駆動手段を設けることにより、自動的かつ電動的に回動させることができるようにしても良い。

蓋部材本体 1 2 9の上面は平らに形成されている。蓋部材本体 1 2 9の上面が平らであると、後述するヨーク 1 0 5で蓋部材 1 0 2を固定するめに都合が良い。

突出部 1 2 8は、蓋部材本体 1 2 9の下面に設けられ、円盤状をなす。突出部 1 2 8の直径、厚み等の寸法は、突出部 1 2 8を圧力容器本体 1 0 1の凹陥部に挿入したときに、突出部 1 2 8の下面、凹陥部の内周面および弾性部材 1 1 5により形成される素材収容空間 1 2 0が気密構造になるように、し力も、突出部 1 2 8の下面が、弾性部材 1 1 5上に配置された積層シ一卜 1 2 4の上面に接するように、他の部材の寸法等を考慮して、適宜に設計される。

この実施例においては、突出部 1 2 8の外周面に〇—リング 1 3 8 (図 1 2参照）が装着されていて、突出部 1 2 8を圧力容器本体 1 0 1の凹陥部に挿入したときにおける、突出部 1 2 8の下面、凹陥部の内周面および弾性部材 1 1 5により形成される素材収容空間 1 2 0の気密性が確保されている。

突出部 1 2 8には、前記素材収容空間 1 2 0に向けて開口する第 3開口部 1 3 9と蓋部材本体 1 2 9の外周面に開口する第 4開口部 1 4 0とを連絡する気体導入排出路 1 4 1が設けられ、この気体導入排出路 1 4 1には、前記第 4開口部 1 4 0に接続された配管 Ρ、その配管 Ρの一端に接続されたところの、気体を送り出し、また気体を排出することのできる気体ポンプ（図示せず。）を備えた気体供給排出装置（図示せず。）が結合されている。この実施例では、気体導入排出手段が気体導入排出路 1 4 1をもって形成される。前記第 3開口部 1 3 9は、突出部 1 2 8が素材収容空間 1 2 0内に挿入されたときに、素材収容空間 1 2 0内に装着したスぺーサ 1 0 4における環状溝 1 2 6 に臨むように開設される。

図 1 2および図 1 8に示すように、前記ヨーク 1 0 5は、垂直に立設された一対の垂直部 1 4 2と、その垂直部 1 4 2の上部および下部で水平に架け渡すように平行に設けられた上部水平部 1 4 3および下部水平部 1 4 4とを有し、これら一対の垂直部 1 4 2、上部水平部 1 4 3および下部水平部 1 4 4は一体になつている。'この上部水平部 1 4 3および下部水平部 1 4 4と一対の垂直部 1 4 2で形成される開口部（以下においてこの開口部を作用開口部 1 4 5と称する。）は、蓋部材 1 0 2を装着した圧力容器本体 1 0 1を収容するに必要な大きさを有する。換言すると、蓋部材 1 0 2を装着した圧力容器本体 1 0 1をこの作用開口部 1 4 5内に収容した場合に、上部水平部 1 4 3の下面が蓋部材 1 0 2の上面よりわずかのクリアランスをもって高い位置にあり、下部水平部 1 4 4の上面が圧力容器本体 1 0 1の下面に位置し、一対の垂直部 1 4 2の相互の間隔が前記圧力容器本体 1 0 1の直径よりも十分に大きな長さになるように設計される。なお、圧力容器本体 1 0 1は、適宜の手段例えばフレーム（図示せず。）などによって支持される。 '

このヨーク 1 0 5は、図 1 8に示すように、たとえば水平に配置された一対のレール（以下において水平レール 1 4 6と称する。）上を跨座して摺動するガイド 1 4 7を備えることなどによって水平移動自在に構成される。そして、圧力容器本体 1 0 1の素材収容空間 1 2 0内に積層シート 1 2 4を酉己置するときには、圧力容器本体 1 0 1から蓋部材 1 0 2を取り外す必要から、この圧力容器本体 1 0 1から退避した位置にヨーク 1 0 5が待機し、加圧成形をするときにはこのヨーク 1 0 5の作用開口部 1 4 5 (図 1 2参照）に、蓋部材 1 0 2を装着した圧力容器本体 1 0 1を収容するようにヨーク 1 0 5が移動する。このヨーク 1 0 5の駆動源としては、特に制限がないのであるが、この実施例においては、シリンダー 1 4 8が使用される。このヨーク 1 0 5の駆動源として、電動モータを使用しても差し支えない。

このヨーク 1 0 5には、加熱手段が設けられる。加熱手段としては、圧力容器本体 1 0 1内に収容された積層シ一ト 1 2 4を加圧操作中にこの積層シート 1 2 4を加熱することができるように構成される限りその構造には特に制限がない。この実施例においては、ヨーク 1 0 5における一対の垂直部 1 4 2、上部水平部 1 4 3および下部水平部 1 4 4に電熱ヒータ（図示せず。）を設けることにより加熱手段が構成される。

なお、図 1 8において、 1 4 9は装置全体を支持し、固定するための基礎フレームであり、 1 5 0は装置全体の動作を制御し、また動作制御を支持するため操作ボックスである。

以上構成の加圧成形体製造装置を用いた積層体の製造について以下に説明する。

まず、初期状態としてヨーク 1 0 5は圧力容器本体 1 0 1から退避した位置に待機している。

図 1 8に示すように、圧力容器本体 1 0 1の上面から蓋部材 1 0 2を取り外しておくことにより、圧力容器本体 1 0 1の凹陥部を開口し、露出させておく。次いで、圧力容器本体 1 0 1の素材収容空間 1 2 0内にスぺーサ 1 0 4を安置する。具体的には、素材収容空間 1 2 0における弾性部材 1 1 5上にスぺーサ

1 0 4を載置する。このとき、弾性部材 1 1 5は、円盤状の支持部材 1 1 6と一体になっているので、弾'！"生部材 1 1 5上にスぺ一サ 1 0 4を安置しても弾性部材

1 1 5が下方に下がることもなく、確固として弾性部材 1 1 5上に配置される。次いで、スぺーサ 1 0 4の開口部内に積層シート 1 2 4を挿入する。

ここで、積層シート 1 2 4は、表面に導電性層を設けたセラミック製のグリーンシートを所定枚数重ねてなり、多くの場合、複数枚のグリーンシ一トを圧着す -るなどして、各グリーンシートが分離しないように処理されている。もっとも、複数のグリーンシートを分離しないように仮圧着をせずに、それぞれ分離して存在するグリーンシートを一枚一枚スぺーサ 1 0 4の開口部内に収容しても良い。

このグリーンシートは、通常セラミックスとバインダ一とを有する坏土を所定の厚みに成形してから所定の大きさに切り出すなどして得られた所定形状の（多くの場合は、方形あるいは長方形である。）セラミックスシートの表面に、導電性塗料などで導電性層を形成してなる。

また別の態様の積層シート 1 2 4として、セラミックス製の薄いシートを積み重ね、必要に応じて軽く押圧することによりシート相互を接着させてなり、あるいは必要に応じて軽く焼成することによりシ一ト相互を結着させてなり、あるいはシートの形成に使用されたバインダ一によってシート相互力軽く接着されてなる積層物を挙げることができる。

スぺーサ 1 0 4の開口部 1 2 5内に積層シート 1 2 4を収容した後に、蓋部材 1 0 2を回動して蓋部材 1 0 2を圧力容器本体 1 0 1の上方に位置させる。シリンダーを駆動することによりプランジャー 1 3 5を下降させ、これによつて蓋部材 1 0 2を下降させる。このとき、気体供給排出手段を駆動することにより、気体導入排出路 1 4 1を通じて、気体を吸引排気する。突出部 1 2 8材の下端部が圧力容器本体 1 0 1の凹陥部に嵌め込まれると、突出部 1 2 8の下端面、第 1本体 1 0 6の内周面および弾性部材 1 1 5で形成される素材収容空間 1 2 0 内の気体が、気体導入排出路 1 4 1を通じて排気される。素材収容空間 1 2〇内の気体が排気されると、素材収容空間 1 2 0内が減圧になるので、蓋部材 1 0 2 が大気圧に押圧されて、直ちに突出部 1 2 8が圧力容器本体 1 0 1の凹陥部内に引き込まれ、突出部 1 2 8の凹陥部内への装着が直ちに完了する。

突出部 1 2 8の凹陥部内への装着が完了した後においても、気体導入排出路 1 4 1を通じて素材収容空間 1 2 0内の気体を排気し続ける。

ヨーク 1 0 5を移動させて、ヨーク 1 0 5の作用開口部 1 4 5に、蓋部材 1 0 2を装着した圧力容器本体 1 0 1を配置する。この配置状態では、ヨーク 1 0 5における上部水平部 1 4 3の下面が蓋部材 1 0 2の上面に殆ど接する位に近接した状態にあり、またヨーク 1 0 5の下部水平部 1 4 4の上面は圧力容器本体 1 0 1の下面に殆ど接する位に近接した状態にある。

この状態で次のようにして、積層シー卜 1 2 4の加圧成形を行う。

圧力媒体供給手段により圧力媒体導入排出路 1 2 1を介して圧力媒体収容空間 1 1 8内に圧力媒体 1 1 9を圧入する。圧力媒体収容空間 1 1 8内の圧力が所定圧力に到達すると、圧力媒体供給手段による圧力媒体収容空間 1 1 8内への圧力媒体 1 1 9の圧入を停止する。圧力媒体 1 1 9の所定圧力は、支持部材 1 1 6における開口部 1 1 7を通して弾性部材 i 1 5に印加される。圧力媒体 1 1 9の所定圧力は、弾性部材 1 1 5及び積層シート 1 2 4を介して蓋部材 1 0 2を押し上げるように作用するが、蓋部材 1 0 2は、ヨーク 1 0 5に規制されているので上昇することができない。したがって、圧力媒体 1 1 9の所定圧力により、積層シート 1 2 4は、弾性部材 1 1 5と蓋部材 1 0 2、特に突出部 1 2 8の下端面とで加圧されることになる。この加圧中において、前述したように、加熱されたヨーク 1 0 5の熱が、蓋部材 1 0 2及び圧力容器本体 1 0 1に伝導し、これによって積層シー卜 1 2 4が加熱される。積層シート 1 2 4の加熱により、積層シート 1 2 4中からガスが発生することがある。前述したように、気体供給排出装置により素材収容空間 1 2 0内の気体を排気しているので、発生したガスは、直線溝 1 2 7、環状溝 1 2 6、および気体導入排出路 1 4 1を通じて系外に排出される。したがって、加熱加圧中に積層シ一卜 1 2 4内で発生するガスが残留することによりボイドゃ亀裂などを有する積層体の不良品発生が防止される。このような加圧加熱処理をすることにより、積層シート 1 2 4が一体に圧着して積層体が形成される。

所定時間の加圧加熱処理が終了すると、シリンダー 1 4 8を再び駆動することにより、ヨーク 1 0 5を退避させる。ヨーク 1 0 5の退避により蓋部材 1 0 2の上面の規制がなくなる。

次いで、圧力媒体供給装置を駆動することにより、圧力媒体導入排出路 1 2 1 を通じて圧力媒体収容空間 1 1 8内に圧 λされている圧力媒体 1 1 9を、圧力媒体収容空間 1 1 8内の圧力が常圧に戻るまで、排出する。この圧力媒体 1 1 9の排出と共に、あるいは圧力媒体収容空間 1 1 8内の圧力が常圧に戻ってから、気体供給排出装置を駆動することにより、素材収容空間 1 2 0内に気体を圧入する。詳述すると、気体供給排出装置により供給される気体が、気体導入排出路 1 4 1、環状溝 1 2 6および直線溝 1 2 7を通じて、積層体の収容されているスぺーサ 1 0 4の開口部 1 2 5内に導入される。

この気体の導入により、素材収容空間 1 2 0側に浮き上がつていた弾性部材 1 1 5が押し戻され、もとの平坦な上平面を有するように、元に戻る。

また、シリンダー 1 3 4を駆動することにより蓋部材 1 0 2を上方に持ち上げるようにすると、素材収容空間 1 2 0内が気体により加圧状態になっているので、極めて簡単に突出部 1 2 8が凹陥部内から抜け出て、蓋部材 1 0 2の脱着が短時間の内に完了する。この突出部 1 2 8が凹陥部内から抜け出る際に、凹陥部内には気体が圧入されているので、突出部 1 2 8が抜け出るときに弾性部材 1 1 5が凹陥部側に引っ張られることもないので、弾性部材 1 1 5の亀裂を生じることもない。

蓋部材 1 0 2を取り外すと、スぺーサ 1 0 4および積層体が露出するので、これらを取り出す。

スぺーサ 1 0 4および積層体を凹陥部内から取り出した状態においては、弾性部材 1 1 5の凹陥部側平面が膨れ上がっていず、平らな平面状態になっており、また亀裂等の損傷もないので、直ちに次の積層体の製造工程が開始される。以上に説明したように、この積層体の製造装置には、

(1) 蓋部材を圧力容器本体に装着するのが容易であり、短時間の内に（瞬時と言つても良い。）突出部を凹陥部内に挿入することができ、

(2) 突出部を凹陥部内に挿入する際、片持ちの蓋部材によりわずかに蓋部材が傾斜していても、凹陥部の内周面を傷つけることがなく、

(3) 加圧成形の際に加熱により発生するガスが除去されるので、ボイドゃ気泡のない積層体を製造することができ、

(4) 加圧操作の後に蓋部材を容易に脱着することができ、 .

(5) 蓋部材における突出部を凹陥部から引き抜くときに、弾性部材を引っ張ることにより弾性部材を破損すると言う不都がなく、

(6) 加圧操作の終了後には、弾性部材の加圧操作による膨れが解消しているので、弾性部材を交換することなく次の積層シートの加圧成形操作を開始することができ、したがって、多数の積層シートを次々に加圧処理をして多数の積層体を迅速に製造することができるなどの数々の優れたメリッ卜がある。

(例 6 )

この例 6に示す加圧成形体製造装置は、この発明の加圧成形装置の一例である。この加圧成形体製造装置は、この出願の基礎になっている日本特許出願である平成 6年特許願第 1 3 0 6 8 8号に係る明細書に、実施例 2として記載されている。

この実施例に係る加圧成形体製造装置は、前記例 5に係る装置とは異なり、蓋部材が下方に、圧力容器本体が上方に位置する態様を有する。

図 1 9に示すように、加圧成形体製造装置は、圧力容器本体 1 0 1と、蓋部材 1 0 2と、弾性部材 1 0 3と、固定部材であるヨーク 1 0 5とを有する。

圧力容器本体 1 0 1の形状は前記例 5に係る加圧成形体製造装置における圧力容器本体 1 0 1と同様である。ただし、この実施例においては、圧力容器本体における凹陥部の開口部は下方に向かって開口していることが前記例 5におけるのと大きく異なる。この圧力容器本体 1 0 1は、前記例 5におけるのと同様の第 1 本体 1 0 6に第 2本体 1 0 7が積み重ねられた構成となっている。

第 1本体 1 0 6および第 2本体 1 0 7の構成は、前記例 5におけるのと同様である。'また、第 2本体 1 0 7に設けられた環状テーパ面および環状水平面、ならびにバックアツプリング装着部 1 1 2および弾性部材装着部 1 1 3についても前記例 5におけるのと同様である。前記バックアップリング装着部 1 1 2に設けられる断面くさび型のバックアツプリング 1 1 4についても前記例 5におけるのと同様である。

ただし、この例 6における弾性部材においては、弾性部材 1 0 3には支持部材 1 1 6がー体に設けられていず、薄い単板の弾性部材 1 0 3の周縁部が弾性部材装着部 1 1 3に装着されること力前記例 5における弾性部材と相違する。この実施例において支持部材を必要としないのは、積層シー卜力蓋部材における突出部の上面に載置されるのであって、前記例 5におけるように弾性部材上に積層シートを載置しないから、積層シ一卜の載置可能に特に弾性部材を支持する必要がなくなるからである。もっとも、場合によっては、この例 6における弾性部材にっき、前記例 5におけるのと同様に支持部材がー体に設けられていても良い。圧力媒体収容空間に収容される圧力媒体の自重に前記弾性部材が耐えることのできない場合には、支持部材と弾性部材とを一体にしておくのが好ましい。

前記弾性部材の材質等に関しては、前記例 5におけるのと同様である。

この弾性部材 1 1 5が圧力容器本体内の凹陥部内に張設されることにより、第 1本体 1 0 6と第 2本体 1 0 7とで形成される圧力容器本体 1◦ 1における凹陥部が二分され、第 2本体 1 0 7の凹部 1 0 9と弾性部材 1 1 5とで圧力媒体収容空間 1 1 8が形成され、第 1本体 1 0 6の円盤状空間 1 0 8と弾性部材 1 1 5とで素材収容空間 1 2 0が形成される。

蓋部材 1 0 2は、図 1 9および図 2 0に示すように、蓋部材本体 1 2 9と突出部 1 2 8とを有し、蓋部材本体 1 2 9の上面に突出部 1 2 8が突出形成されていること力前記例 5における蓋部材と相違する。

その余の点に関し、この蓋部材 1 0 2は前記例 5におけるのと同様である。この実施例における加圧成形体製造装置において、前記例 5におけるのと相違するところは、スぺーザが使用されないことである。

ヨーク 1 0 5は、前記例 5におけるのと同様の構成を有する。

簡単に言うと、この実施例に係る加圧成形体製造装置は、蓋部材が、蓋部材本体とその上面に突出形成された突出部とを備え、圧力容器本体が、その凹陥部の開口部力 '下に向けて開口するように設置固定されてなり、また、素材収容空間内にはスぺ一ザが装着されていないことである。

図 1 9、図 2 0および図 2 1において、前記例 5における各部と同様の部材については前記例 5におけるのと同じ番号を付してある。

以上構成の加圧成形体製造装置の作用を以下に説明する。

圧力容器本体 1 0 1の下面から蓋部材 1 0 2を取り外しておき、蓋部材 1 0 2 を圧力容器本体 1 0 1の下方から退避した位置に回動しておくことにより、圧力容器本体 1 0 1の凹陥部を開口し、露出きせておく。次いで、突出部 1 2 8の上面に積層シート 1 2 4を安置する。この突出部 1 2 8の上面に積層シート 1 2 4 を配置する操作は、前記例 5における積層シート 1 2 4の配置操作に比べて非常に容易である。

突出部 1 2 8を水平に回動して、圧力容器本体 1 0 1の真下に位置させる。シリンダーを,駆動することによりブランジャー 1 3 5を上昇させ、これによつて蓋部材 1 0 2を上昇させる。このとき、気体供給排出手段を駆動することにより、気体導入排出路 1 4 1を通じて、気体を吸引排気する。突出部 1 2 8の下端部が圧力容器本体 1 0 1の凹陥部に嵌め込まれると、突出部 1 2 8の下端面、第 1本体 1 0 6の内周面および弾性部材 1 1 5で形成される素材収容空間 1 2 0内の気体が、気体導入排出路 1 4 1を通じて排気される。素材収容空間 1 2 0内の気体が排気されると、素材収容空間 1 2 0内が減圧になるので、蓋部材 1 0 2が大気圧に押圧されて、直ちに突出部 1 2 8が圧力容器本体 1 0 1の凹陥部内に引き込まれ、突出部 1 2 8の凹陥部内への装着が直ちに完了する。突出部 1 2 8の凹陥部内への装着が完了した後においても、気体導入排出路 1 4 1を通じて素材収容空間 1 2 0内の気体を排気し続ける。

ヨーク 1 0 5を移動させて、ヨーク 1 0 5の作用開口部 4 5に、蓋部材 1 0 2 を装着した圧力容器本体 1 0 1を配置する。この配置状態では、ヨーク 1 0 5における下部水平部 1 4 4の上面が蓋部材 1◦ 2の下面に殆ど接する位に近接した状態にあり、またヨーク 1 0 5の上部水平部 1 4 3の下面は圧力容器本体 1 0 1 の上面に殆ど接する位に近接した状態にある。

こめ状態で次のようにして、積層シート 1 2 4の加圧成形を行う。

圧力媒体供給手段により圧力媒体導入排出路 1 2 1を介して圧力媒体収容空間 1 1 8内に圧力媒体 1 1 9を圧入する。圧力媒体収容空間 1 1 8内の圧力が所定圧力に到達すると、圧力媒体供給手段による圧力媒体収容空間 1 1 8内への圧力媒体 1 1 9の圧入を停止する。圧力媒体 1 1 9の所定圧力は、弾性部材 1 1 5に印加される。弾性部材 1 1 5は、図 2 0に示すように、スぺーザの存在しない部位では、弾性部材 1 1 5は圧力媒体 1 1 9により突出部 1 2 8に向かって膨張し、突出部 1 2 8と密着する。圧力媒体 1 1 9の所定圧力は、弾性部材 1 1 5及び積層シー卜 1 2 4を介して蓋部材 1 0 2を押し下げるように作用する力蓋部材 1 0 2は、ヨーク 1 0 5に規制されているので下降することができない。したがって、圧力媒体 1 1 9の所定圧力により、積層シート 1 2 4は、弾性部材 1 1 5と蓋部材 1 0 2、特に突出部 1 2 8の上面とで加圧されることになる。この加圧中において、前述したように、加熱されたヨーク 1 0 5の熱が、蓋部材 1 0 2及び圧力容器本体 1 0 1に伝導し、これによつて積層シート 1 2 4カ^ロ熱される。積層シ一ト 1 2 4の加熱により、積層シ一卜 1 2 4中からガスが発生することがある。前述したように、気体供給排出装置により素材収容空間 1 2 0 内の気体を排気しているので、発生したガスは、直線溝 1 2 7、環状溝 1 2 6、および気体導入排出路 1 4 1を通じて系外に排出される。したがって、加熱加圧中に積層シート 1 2 4内で発生するガス力 s残留することによりボイドゃ亀裂などを有する積層体の不良品発生が防止される。

このような加圧加熱処理をすることにより、積層シート 1 2 4がー体に圧着して積層体が形成される。

次いで、圧力媒体供給装置を駆動することにより、圧力媒体導入排出路 1 2 1 を通じて圧力媒体収容空間 1 1 8内に圧入されている圧力媒体 1 1 9を、圧力媒体収容空間 1 1 8内の圧力が常圧に戻るまで、排出する。この圧力媒体 1 1 9の排出と共に、あるいは圧力媒体収容空間 1 1 8内の圧力力常圧に戻ってから、気体供給排出装置を駆動することにより、素材収容空間 1 2 0内に気体を圧入する。詳述すると、気体供給排出装置により供給される気体が、気体導入排出路 1 4 1、環状溝 1 2 6および直線溝 1 2 7を通じて、積層体の収容されているスぺーサ 1 0 4の開口部 1 2 5内に導入される。

この気体の導入により、弾性部材 1 1 5における突出部 1 2 8の上面に密着していた部分力甲し戻され、もとの平坦な状態になり、元に戻る。

また、シリンダー 1 3 4を駆動することにより蓋部材 1 0 2を下方に下げるようにすると、素材収容空間 1 2 0内が気体により加圧状態になっているので、極めて簡単に突出部 1 2 8が凹陥部内から抜け出て、蓋蓋部材 1 0 2の脱着が短時間の内に完了する。この突出部 1 2 8が凹陥部内から抜け出る際に、凹陥部内には気体が圧入されているので、突出部 1 2' 8力 s抜け出るときに弾性部材 1 1 5が素材収容空間 1 2 0側に引っ張られることもないので、弾性部材 1 1 5の亀裂を生じることもない。

蓋部材 1 0 2を下降させて圧力容器本体 1 0 1から取り外すと、積層体が露出するので、これらを取り出す。

積層体を凹陥部内から取り出した状態においては、弾性部材 1 1 5の凹陥部側平面が膨れ上がっていず、平らな平面状態になっており、また亀裂等の損傷もないので、直ちに次の積層体の製造工程が開始される。

以上に説明したように、この加圧成形体製造装置には、

(4) 加圧操作の後に蓋部材を容易に脱着することができ、

(5) 蓋部材における突出部を凹陥部から引き抜くときに、弾性部材を引っ張ることにより弾性部材を破損すると言う不都合がなく、

(6) 加圧操作の終了後には、弾性部材の加圧操作による膨れが解消しているので、弾性部材を交換することなく次の積層シートの加圧成形操作を開始することができ、したがって、多数の積層シートを次々に加圧処理をして多数の積層体を迅速製造することができ、

(7) 蓋部材における突出部の上面に、被加圧処理物である積層シートを載置する方式を採用しているので、前記例 5におけるような凹陥部内に積層シートを嵌め込む方式に比べて、操作が容易であり、例えば自動搬送装置により搬送されてきた積層シートを、自動ハンドリング装置により把持して突出部の上面に載置し、積層シートの加圧成形処理により得られた積層体を、突出部の上面から自動ハンドリング装置により他の搬送装置に移送するようにすると、全自動の積層体製造装置を組み上げることができる。つまり、突出部の上面に積層シートを載置して加圧成形処理をするこの実施例装置は、全自動化を容易に達成することができる。 '

(例 7 )

この例 7に示す加圧成形体製造装置は、この発明の加圧成形装置の一例である。この加圧成形体製造装置は、この出願の基礎になっている日本特許出願である平成 6年特許願第 1 3 0 6 8 8号に係る明細書に、実施例 3として記載されている。

この実施例は、加圧成形体製造装置における気体導入排出手段に関する。前記例 5および例 6においては、気体導入排出手段における第 3開口部 1 3 9は、蓋部材における突出部の素材収容空間に向かう面において開口していた。

しかしながら、この第 3開口部は、要するに素材収容空間内の気体を排気する開口部としての機能を有する限り、その開口位置について制限がない。

とはいっても、気体導入排出手段における第 3開口部の開口位置は、例えば、弾性部材と蓋部材における突出部とで挟まれる空間に、どのような材質のスぺーサを配置するか、あるいはスぺーサを配置しないのかなどの要素により、慎重に決定することが望ましい。例えば、弾性部材と蓋部材における突出部とで挟まれる空間に、素材を囲繞するスぺーサを配置しない場合、素材を囲繞するスぺ一サであつて非金属材料例えば硬質ゴム（弾性部材程の大きな弾性を有してはいない、圧力媒体による高圧に対しては弾性を示す。）製のものを配置する場合等においては、気体導入排出手段における第 3開口部、すなわち、素材収容空間内の気体を排気し、あるいは素材収容空間内に気体を導入する開口部としての機能を有する第 3開口部は、蓋部材における突出部の周側面に開口するようにその開口位置を決定するのが望ましい。蓋部材における突出部を圧力容器本体に装着した場合に、圧力容器本体の内周面と突出部の外周面とは嵌合状態にはなっている、実際にはごくわずかのクリァランス力圧力容器本体の内周面と突出部の外周面との間に存在する。したがって、突出部の外周面に第 3開口部を設けても、弾性部材と突出部と圧力容器本体の内周面とで形成される素材収容空間内の気体を、有効に、支障なく排気することができる。しかも、素材収容空間内を減圧にすることにより弾性部材カ s膨満して突出部の表面に接着することがあったとしても、膨満する弾性部材により第 3開口部が閉塞されることもない。

(例 8 ) '

この例 8に示す加圧成形体製造装置は、この発明の加圧成形装置の一例である。この加圧成形体製造装置は、この出願の基礎になっている日本特許出願である平成 6年特許願第 1 3 0 6 8 8号に係る明細書に、実施例 4として記載されている。

この例 8に係る加圧成形体製造装置が前記例 5における加圧成形体製造装置と異なるところは、例 5における加圧成形体製造装置における圧力媒体供給手段 1 2 1 Eが 2基のポンプ 1 2 1 B， 1 2 1 Cを使用するに対し、この例 8に係る加圧成形体製造装置における圧力媒体供給手段 1 2 1 Fは 1基のポンプを使用するという点である。

図 2 2に示すようにこの実施例に係る加圧成形体製造装置における圧力媒体供給手段 1 2 1 Fは、第 2開口部 1 2 3に接続されて圧力媒体貯留槽 1 2 1 Aに至る配管 Pの途中に第 1ポンプ 1 2 1 Bを介装し、その第 1ポンプ 1 2 1 Bと前記第 2開口部 1 2 3との間の配管 Pに第 1バルブ V を介装し、その第 1ポンプ 1 2 1 Bと圧力媒体貯留槽 1 2 1 Aとの間の配管に第 2バルブ V ₂ を介装し、'第

1バルブ V , と第 2開口部 1 2 3との間の配管 Pに、第 3バルブ V ₃ を介装する迂回管 P ₃ の一端を接続し、その迂回管 P ₃ の他端は、第 1ポンプ 1 2 1 Bと第

2バルブ V ₂ との間の配管 Pに接続し、第 1ポンプ 1 2 1 Bと第 1バルブ V , との間の配管 Pには、先端を圧力媒体貯留槽 1 2 1 Aに引き込み、かつ途中に第 4 バルブ V ₄ を介装する支管 P ₄ を結合してなる。

このような圧力媒体供給手段 1 2 1 Aにおいては、圧力媒体収容空間 1 1 8内に圧力媒体 1 1 9を圧入するときには、第 1バルブ V , および第 2バルブ V ₂ を開放状態にし、その余のバルブ V ₃ ， V ₄ を閉鎖状態にする。そして、第 1ボンプ 1 2 1 Bを駆動すると、配管 Pを介して圧力媒体収容空間 1 1 8内に圧力媒体 1 1 9が圧入される。圧力媒体収容空間 1 1 8内に圧入されている圧力媒体

1 1 9を排出するには、第 1バルブ V：および第 2バルブ V ₂ を閉鎖状態にし、その余のバルブ V ₃ および V ₄ を開放状態にする。そうすると、圧力媒体 1 1 9 は迂回管 P ₃ 、第 1ポンプ 1 2 1 Bおよび支管 P ₄ を通って圧力媒体貯留槽

1 2 1 Aに排出される。

この実施例に示されるような圧力媒体供給手段を採用すると、ポンプの数を 1 基にすることができるので、装置構成の簡単化および装置の小型化を達成することができる。

上記構成の圧力媒体供給手段は、この明細書で開示される他の例である加圧成形装置にも適用されることができる。

なお、以上の実施例においては、素材として積層シートを取り上げて説明したが、この発明の加圧成形体製造装置は、粉体の成形にも適する。前記例 5〜8に基づいて帰結することのできるこの発明の態様を以下に列挙する。

第 1の態様は、素材収容空間を形成する凹陥部を有する圧力容器本体と、前記凹陥部の挿入する突出部を有する蓋部材とを備え、前記蓋部材は、凹陥部内の気体を導入し、また凹陥部内から気体を排出する気体導入排出手段を備えることを特徴とする加圧成形体製造装置である。

第 2の態様は、凹陥部を有する圧力容器本体と、前記凹陥部の挿入する突出部を有する蓋部材と、素材収容空間内に収容された成形素材を加圧成形する際の加圧力に対して蓋部材ぉよび圧力容器本体を規制する固定手段と、加圧成形の際に前記凹陥部内を加熱する加熱手段とを備え、前記蓋部材は、凹陥部内の気体を導入し、また凹陥部内に気体を排出する気体導入排出手段を備え、前記圧力容器本体の凹陥部は、素材収容空間と圧力媒体収容空間とに隔絶するように張設された弾性部材を備え、前記圧力容器本体は、前記圧力媒体収容空間内に向けて開口する第 2開口部を備えたところの、圧力媒体収容空間内に圧力媒体を導入し、また圧力媒体収容空間から圧力媒体を排出する圧力媒体導入排出手段を備えてなることを特徴とする加圧成形体製造装置である。

第 3の態様は、前記凹陥部が上方に開口してなる前記第 1の態様および第 2の態様のいずれかである加圧成形体製造装置である。

第 4の態様は、前記凹陥部力下方に開口してなる前記第 1の態様および第 2の態様のいずれかである加圧成形体製造装置である。

第 5の態様は、前記圧力容器本体が内面円筒の第 1本体と前記第 1本体と積み重ね可能に形成され、力つ凹部を備えてなる第 2本体とを備え、前記第 1本体と第 2本体との積み重ね部分に、弾性部材を挟み込む弾性部材挟み込み部と前記挟み込み部の外側であって、断面くさび型の'バックアツプリングを装着する断面くさび型のバックアツプリング装着部を備えてなることを特徴とする前記第 2〜 4 の態様のいずれかである加圧成形体製造装置である。

第 6の態様は、前記圧力容器本体は、蓋部材の装着される開口部およびその開口部とは反対側に開口する対向開口部を備えてなる筒状体と、その対向開口部に装着される閉鎖部材とを有してなる前記第 1〜 5の態様のレヽずれかである加圧成形体製造装置である。

第 7の態様は、前記圧力媒体供給排出手段が、圧力媒体を吸引吐出するポンプと、前記ポンプにより圧力媒体貯留槽から圧力媒体収容空間に圧力媒体を圧送する供給配管系と前記ポンブにより圧力媒体収容空間から圧力媒体貯留槽に圧力媒体を排出する排出配管系とに配管系を切り替える切り替え手段とを備えてなる前記第 1〜6の態様のいずれかである加圧成形体製造装置。前記例 5〜8により支持されるところの、この発明に係る加圧成形体製造装置によると、蓋部材が、突出部の凹陥部内に向けて開口する第 1開口部を備えたところの、凹陥部内の気体を導入し、また凹陥部内から気体を排出する気体導入排出手段を備えているので、

(2) 突出部を凹陥部内に挿入する際、わずかに蓋部材が傾斜していても、凹陥部の内周面を傷つけることがなく、蓋部材の突出部を圧力容器本体の凹陥部内に挿入させることができ、

(3) 加圧成形の際に発生するガスが除去されるので、ボイドゃ気泡のない積層体を製造することができる。

前記例 5 ~ 8により支持されるところの、この発明に係る加圧成形体製造装置によると、

( 1 ) 蓋部材を圧力容器本体に装着するのが容易であり、短時間の内に（瞬時と言っても良い。）突出部を凹陥部内に挿入することができ、

(3) 加圧成形の際に発生するガスが除去されるので、ボイドゃ気泡のない積層体を製造することができ、

(4) 加圧操作中に圧力媒体の加圧力を受けた弾性部材が破損することがなく、

(5) 加圧操作の後に蓋部材を容易に脱着することができ、

(6) 蓋部材における突出部を凹陥部から引き抜くときに、凹陥部内の負圧により弾性部材が強制的に引っ張られることにより弾性部材が破損されることがなく、

(7) 加圧操作の終了後には、弾性部材の加圧操作による膨れが解消される。したがって、弾性部材を交換することなく次の積層シートの加圧成形操作を迅速に開始することができ、多数の積層シートを次々に加圧処理して多数の積層体を迅速に製造することができる。

前記例 5〜8により支持されるところの、この発明に係る加圧成形体製造装置は、圧力容器本体の凹陥部力 ^s上方に開口するように配置されていると、固定された圧力容器本体に上方から蓋部材を装着する態様になるので、操作性が良好になる。

前記例 5〜 8により支持されるところの、この発明に係る加圧成形体製造装置は、圧力容器本体の凹陥部力方に開口するように配置されていると、蓋部材の突出部は上方に向かって存在することになり、突出部に積層シートを配置する態様で積層体を製造することになる。突出部の上面に積層シー卜を配置する作業は、搬送されてきた積層シートをハンドリングロボッ卜などにより搬送面から突出部の上面へと移送する作業に連動させることができるので、積層シートの製造、積層シートの搬送、積層シートから積層体を製造することおよび製造された積層シートを突出部の上面から他の搬送部に移送することなどの一連の工程を自動化するのに好都合である。換言すると、圧力容器本体の凹陥部の開口部を下方に開口する加圧成形体製造装置は、積層体の製造を全自動化するのに好都合である。

前記例 5〜8により支持されるところの、この発明に係る加圧成形体製造装置は、圧力容器本体を構成する第 1本体と第 2本体との重ね合わせ部分あるいは積み重ね部分に弾性部材挟み込み部ないし弾性部材装着部および断面くさび形のバックアツプリング装着部を備えているので、前記した種々の技術的効果の外に、圧力媒体収容空間内の液密性を確保することができ、圧力損失のない効率的な加圧成形加工を行うことができる。

(例 9 )

この例 9に示す加圧成形体製造装置は、この発明の加圧成形装置の一例である。この加圧成形体製造装置は、この出願の基礎になっている日本特許出願である平成 6年特許願第 1 3 0 4 0 9号に係る明細書に、実施例 1として記載されている。 ·

図 2 3に示すように、加圧成形体製造装置は、圧力容器本体 1 0 1と、蓋部材 2〇 2と、前述した例におけるのと同様の弾性部材 1 0 3と、固定部材であるョーク 1 0 5とを有する。

圧力容器本体.1 0 1の構造については、前記例 5における圧力容器本体 1 0 1 の構造と同様であるからその詳細な説明を省略する。圧力容器本体 1 0 1に関する各部について、図 1 2、図 1 3および図 1 4に示される部材と同じ部材には同じ番号を付してある。

この加圧成形体製造装置が例 5に示される加圧成形体製造装置と異なる第 1の点は、素材収容空間 1 2 0には、図 1 2に示されるようなスぺーサ 1 0 4が配置されていないことである。

蓋部材 2 0 2は、基本的には、図 1 2および図 1 7に示される蓋部材 1 0 2と同様の構成を有するのであるが、蓋部材 2 0 2は、蓋部材 1 0 2における第 3開口部 1 3 9に相当する第 3開口部 2 3 9力^ 突出部 1 2 8の底面に開口しているのでばなく、突出部 1 2 8の周側面に開口している点において、蓋部材 1 0 2と相違する。

その他の点については蓋部材 2 0 2の構造は図 1 2および図 1 7に示されるのと同じであるから、その詳細な説明を省略する。蓋部材 2 0 2の詳細な構造は、例 5における蓋部材 1 0 2についての詳細な説明を参照することにより容易に理解されることができる。

この加圧成形体製造装置が例 5に示される加圧成形体製造装置と異なる他の点は、支持部材 1 1 6におけるシ一ル部材 1 1 5の表面に弾性部材 2 1 5 Aが装着されていることである。

図 2 4に示されるように、このシール部材 1 1 5の上面には、更に弾性部材 2 1 5 Aが載置される。この弾性部材 2 1 5 Aは、弾性および耐圧性を有し、加圧媒体の圧力を伝達することのできる限りその材質に特に制限がなく、例えばゴムで形成することができる。

弾性部材 2 1 5 Aは、図 2 5および図 2 6にも示すように、円盤状をなし、その上面に、すなわち後述する突出部 1 2 8に向かう面に、この円盤状の弾性部材 2 1 5 Aの中心点から放射状に配列された溝 2 1 5 Bを有する。この溝 2 1 5 B は、円盤状の弾性部材 2 1 5 Aの周縁部からの所定の長さ Lを有する。換言すると、この弾性部材 2 1 5 Aの上面に、加圧成形する素材である積層シート 1 2 4 を載置する領域以外の領域に形成されるように前記長さ Lが決定されている。なお、この発明においては、図 2 4に示すように、前記支持部材 1 1 6、シ一ル部材 1 1 5および弾性部材 2 1 5 Aにより圧力伝達手段が形成されているが、場合によっては、前記弾性部材 2 1 5 Aを省略して、前記支持部材 1 1 6およびシール部材 1 1 5とで圧力伝達手段が形成されることもある。この場合、前記シール部材 1 1 5がこの発明における圧力伝達手段における弾性部材となる。圧力伝達手段である支持部材 1 1 6、シール部材 1 1 5および弾性部材 2 1 5 Aを設けることにより、第 1本体 1 0 6と第 2本体 1 0 7とで形成される圧力容器本体 1 0 1における凹陥部が二分され、第 2本体 1 0 7の凹部 1 0 9と弾性部材 2 1 5 Aとで圧力媒体収容空間 1 1 8が形成され、第 1本体 1 0 6の円盤状空間 1 0 8と弾性部材 2 1 5 Aとで素材収容空間 1 2 0力 S形成される。

ヨーク 1 0 5の構造は、例 5におけるヨーク 1 0 5の構造と同様であるからその詳細な説明を省略する。

この例の加圧成形体製造装置を用いた積層体の製造について以下に説明する。

まず、初期状態としてョ一ク 1 0 5は圧力容器本体 1 0 1から退避した位置に待機している。

図 1 8に示すように、圧力容器本体 1 0 1の上面から蓋部材 2 0 2 (図 1 8では蓋部材 1 0 2として表示されている。）を取り外しておくことにより、圧力容器本体 1 0 1の凹陥部を開口し、露出させておく。次いで、圧力容器本体 1 0 1 の素材収容空間 1 2 0におけるシール部材 1 1 5上の弾性部材 2 1 5 A上に安置する。このとき、シール部材 1 1 5は、円盤状の支持部材 1 1 6と一体になっているので、シール部材 1 1 5上に弾性部材 2 1 5 Aを配置しても、シール部材 1 1 5が下方に下がることもなく、確固としてシール部材 1 1 5上に配置される。次いで、弾性部材 2 1 5 A上に積層シ一卜 1 2 4を揷入する。

ここで、積層シート 1 2 4は、前記例 1〜8において使用される積層シートと周様である。よってその詳細な説明を省略する。

積層シ一卜 1 2 4を収容した後に、蓋部材 2 0 2を回動して蓋部材 2 0 2を圧力容器本体 1 0 1の上方に位置させる。

シリンダーを駆動することによりプランジャー 1 3 5を下降させ、これによつて蓋部材 2 0 2を下降させる。このとき、気体供給排出手段を駆動することにより、気体導入排出路 1 4 1を通じて、気体を吸引排気する。突出部 1 2 8の下端部が圧力容器本体 1 0 1の凹陥部に嵌め込まれると、突出部 1 2 8の下端面、第 1本体 1 0 6の内周面および環状部材 1 5 Aで形成される素材収容空間 1 2 0内の気体が、気体導入排出路 1 4 1を通じて排気される。素材収容空間 1 2 0内の気体が排気されると、素材収容空間 1 2 0内が減圧になるので、蓋部材 2 0 2が大気圧に押圧されて、直ちに突出部 1 2 8が圧力容器本体 1 0 1の凹陥部内に引き込まれ、突出部 1 2 8の凹陥部内への装着が直ちに完了する。

またこのとき、素材収容空間 1 0 8内が減圧になることにより弾性部材 2 1 5 A力突出部 1 2 8に向かって膨満し、場合によっては弾性部材 2 1 5 Aの上表面が突出部 1 2 8の下面に接着することすらある。その場合、弾性部材 2 1 5 A の上面には溝 2 1 5 B力 s形成されているから、例えば弾性部材 2 1 5 Aの上表面が突出部 1 2 8の下面に接着することがあっても、この溝 2 1 5 Bを通じて素材収容空間 1 0 8内全体にわたって気体が円滑に支障なく排気される。

さらに、気体導入排出路 1 4 1の第 3開口部 1 3 9が突出部 1 2 8の外周面に開口しているので、膨満する弾性部材 2 1 5 Aが突出部 1 2 8の下面に接着することがあったとしても、素材収容空間内を有効に排気することができる。換言すると、第 3開口部 1 3 9が突出部 1 2 8の下面に開口しているとすれば、膨満する弾性部材 2 1 5 Aが第 3開口部 1 3 9を閉塞したであろう不都合が、突出部

1 2 8の周面に第 3開口部 1 3 9を開口することにより解消される。

突出部 1 2 8の凹陥部内への装着が完了した後においても、気体導入排出路

1 4 1を通じて素材収容空間 1 2 0内の気体を排気し続ける。

気体を排気し続ける場合、前述したように、弾性部材 2 1 5 Aの上表面が突出部 1 2 8の下面に接着していたとしても、弾性部材 2 1 5 Aの上面に形成してなる溝 2 1 5 Bにより、素材収容空間 1 0 8内の気体が円滑に排気される。

次に、ヨーク 1◦ 5を移動させて、ヨーク 1 0 5の作用開口部 1 4 5に、蓋部材 2 0 2を装着した圧力容器本体 1 0 1を配置する。この配置状態では、ヨーク

1 0 5における上部水平部 1 4 3の下面が蓋部材 2 0 2の上面に殆ど接する位に近接した状態にあり、またヨーク 1 0 5の下部水平部 1 4 4の上面は圧力容器本体 1◦ 1の下面に殆ど接する位に近接した状態にある。この状態で次のようにして、積層シート 1 2 4の加圧成形を行う。

圧力媒体供給手段により圧力媒体導入排出路 1 2 1を介して圧力媒体収容空間 1 1 8内に圧力媒体 1 1 9を圧入する。圧力媒体収容空間 1 1 8内の圧力が所定圧力に到達すると、圧力媒体供給手段による圧力媒体収容空間 1 1 8内への圧力媒体 1 1 9の圧入を停止する。圧力媒体 1 1 9の所定圧力は、支持部材 1 1 6における開口部 1 1 7を通して弾性部材 2 1 5 Aに印加される。圧力媒体 1 1 9の所定圧力は、弾性部材 2 1 5 A及び積層シー卜 1 2 4を介して蓋部材 2 0 2を押し上げるように作用する力蓋部材 2 0 2は、ヨーク 1 0 5に規制されているので上昇することができない。したがって、圧力媒体 1 1 9の所定圧力により、積層シート 1 2 4は、弾性部材 2 1 5 Aと蓋部材 2 0 2、特に突出部 1 2 8の下端面とで加圧されることになる。この加圧中において、前述したように、加熱されたヨーク 1 0 5の熱が、蓋部材 2 0 2及び圧力容器本体 1 0 1に伝導し、これによって積層シート 1 2 4が加熱される。

積層シート 1 2 4の加熱により、積層シート 1 2 4中からガスが発生することがある。前述したように、気体供給排出装置により素材収容空間 1 2 0内の気体を排気しているので、発生したガスは、弾†生部材 2 1 5 Aの上表面に形成された溝 2 1 5 Bおよび気体導入排出路 1 4 1を通じて系外に排出される。したがつて、加熱加圧中に積層シート 1 2 4内で発生するガスが残留することによりボイドや亀裂などを有する積層体の不良品発生が防止される。

所定時間の加圧加熱処理が終了すると、シリンダー 1 4 8を再び駆動することにより、ヨーク 1 0 5を退避させる。ヨーク 1 0 5の退避により蓋部材 2 0 2の上面の規制がなくなる。

次いで、圧力媒体供給装置を駆動することにより、圧力媒体導入排出路 1 2 1 を通じて圧力媒体収容空間 1 1 8内に圧入されている圧力媒体 1 1 9を、圧力媒体収容空間 1 1 8内の圧力が常圧に戻るまで、排出する。この圧力媒体 1 1 9の排出と共に、あるいは圧力媒体収容空間 1 1 8内の圧力力常圧に戻ってから、気体供給排出装置を駆動することにより、素材収容空間 1 2 0内に気体を圧入する。詳述すると、気体供給排出装置により供給される気体が、気体導入排出路 1 4 1、溝 2 1 5 Bを通じて、積層体の収容されている空間に導入される。この気体の導入により、素材収容空間 1 2 0側に膨満していた弾性部材 2 1 5 Aが支持部材 1 1 6側に押し戻され、もとの平坦な上平面を有するように、元に戻る。またシリンダ一 1 3 4を駆動することにより蓋部材 1 0 2を上方に持ち上げるようにすると、素材収容空間 1 2 0内が気体により加圧状態になっているので、極めて簡単に突出部 1 2 8が凹陥部内から抜け出て、蓋部材 1 0 2の脱着力 s短時間の内に完了する。この突出部 1 2 8が凹陥部内から抜け出る際に、凹陥部内には気体が圧入されているので、突出部 1 2 8が抜け出るときに弾性部材 2 1 5 A が凹陥部側に引っ張られることもないので、弾性部材 2 1 5 Aの亀裂を生じることもない。

蓋部材 1 0 2を取り外すと、積層体が露出するので、これらを取り出す。積層体を凹陥部内から取り出した状態においては、弾性部材 2 1 5 Aの凹陥部側平面が膨れ上がっていず、平らな平面状態になっており、また亀裂等の損傷もないので、直ちに次の積層体の製造工程が開始される。

以上に説明したように、上記実施例の加圧成形体製造装置には、

(1) 蓋部材を圧力容器本体に装着するのが容易であり、短時間の内に（瞬時と言つても良い。）突出部を凹陥部内に揷入することができ、

(3) 弾性部材の上表面に溝を設けているので、素材収容空間内を減圧にすることにより弾性部材が膨満して弾性部材の上表面が蓋部材における突出部の下面に接着するようなことがあったとしても、素材を収容した空間を有効に所定の減圧度にすることができ、

(4) 加圧成形の際に加熱により発生するガスが、弾性部材に設けた溝を通じて除去されるので、ボイドゃ気泡のない積層体を製造することができ、

(5) 加圧操作の後に蓋部材を容易に脱着することができ、

(6) 蓋部材における突出部を凹陥部から引き抜くときに、弾性部材を引っ張ることにより弾性部材を破損すると言う不都合がなく、

(7) 加圧操作の終了後には、弾性部材の加圧操作による膨れが解消しているので、弾性部材を交換することなく次の積層シートの加圧成形操作を開始することができ、したがって、多数の積層シートを次々に加圧処理をして多数の積層体を迅速に製造することができるなどの数々の優れたメリットがある。 (例 1 o )

この例 1 0に示す加圧成形体製造装置は、この発明の加圧成形装置の一例である。この加圧成形体製造装置は、この出願の基礎になっている日本特許出願である平成 6年特許願第 1 3 0 4 0 9号に係る明細書に、実施例 2として記載されている。

この実施例に係る加圧成形体製造装置は、前記例 9に係る装置とは異なり、蓋部材が下方に、圧力容器本体が上方に位置する態様を有する。

図 2 7に示すように、加圧成形体製造装置は、圧力容器本体 1 0 1と、蓋部材 2 0 2と、弾性部材 1 0 3と、固定部材であるヨーク 1 0 5とを有する。

圧力容器本体 1 0 1の形状は前記例 9に係る加圧成形体製造装置における圧力容器本体 1 0 1と同様である。ただし、この実施例においては、圧力容器本体における凹陥部の開口部は下方に向かって開口していることが前記例 9におけるのと異なる。この圧力容器本体 1 0 1は、前記例 9におけるのと同様の第 1本体 1 0 6に第 2本体 1 0 7力積み重ねられた構成となっている。

第 1本体 1 0 6および第 2本体 1 0 7の構成は、前記例 9におけるのと同様である。また、第 2本体 1 0 7に設けられた環状テーパ面および環状水平面、ならびにバックアツプリング装着部および弾性部材装着部についても前記例 9におけるのと同様である。前記バックアツプリング装着部に設けられる断面くさび型のリングについても前記例 9におけるのと同様である。

ただし、この例 1 0における圧力伝達手段も、前記例 9におけるのと同様に、支持部材、シール部材および弾性部材にて構成される。その構成は、前記例 9におけるのと同様である。もっとも、シール部材の端緣部に形成されたシール部材装着部に支持部材の端緣部カ '装着されることにより、シール部材が支持部材の下面に張りつけられ、シール部材の下面に弾性部材カ s装着されている。これを更に簡単に言うと、前記例 9における圧力伝達手段は、支持部材の上面にシール部材が張設され、シール部材の上面に弾性部材カ設けられてなる構造を有する力例 1 0における圧力伝達手段は、支持部材の下面にシール部材が張設され、シール部材の下面に弾性部材が設けられてなる構造を有するのである。また、前記例 9 においては、通気確保手段である溝が弾性部材の上表面に形成されているが、この例 9においては、弾性部材の下表面に溝が形成されている。なお、図 2 7においては圧力伝達手段を具体的に描いていないけれど、図 2 4 および図 2 5を参照することにより、支持部材 1 1 6およびシール部材 1 1 5よりなる圧力伝達手段の構造を容易に理解することができる。

前記弾性部材 2 1 5 A (図 2 8を参照）の材質等に関しては、前記例 9におけるのと同様である。

この弾性部材が圧力容器本体内の凹陥部内に張設されることにより、第 1本体 1 0 6と第 2本体 1 0 7とで形成される圧力容器本体 1 0 1における凹陥部が二分され、第 2本体 1 0 7の凹部 1◦ 9と弾性部材 2 1 5 Aとで圧力媒体収容空間 1 1 8が形成され、第 1本体 1 0 6の円盤状空間 1 0 8と弾性部材 2 1 5 Aとで素材収容空間 1 2 0が形成される。

蓋部材 2 0 2は、図 2 7に示すように、あるいは図 2 0を参考にすると理解されるように、蓋部材本体 1 2 9と突出部 1 2 8とを有し、蓋部材本体 1 2 9の上面に突出部 1 2 8が突出形成されていること力前記例 9における蓋部材と相違する。

その余の点に関し、この蓋部材 2 0 2は前記例 9におけるのと同様である。ヨーク 1 0 5は、前記例 9におけるのと同様の構成を有する。

簡単に言うと、この例 1 0に係る加圧成形体製造装置が例 9に係る加圧成形体製造装置と大きく異なるところは、蓋部材が、蓋部材本体とその上面に突出形成された突出部とを備え、圧力容器本体が、その凹陥部の開口部が下に向けて開口するように設置固定されてなことである。

図 2 7において、前記例 9における各部と同様の部材については前記例 9におけるのと同じ番号を付してある。なお、この例では蓋部材は、 2 0 2で表示されていることに注意されるべきである。

以上構成の加圧成形体製造装置の作用を以下に説明する。

まず、初期状態としてヨーク 1 0 5は圧力容器本体 1 0 1力ら退避した位置に待機している。

圧力容器本体 1 0 1の下面から蓋部材 2 0 2を取り外しておき、蓋部材 2 0 2 を圧力容器本体 1 0 1の下方から退避した位置に回動しておくことにより、圧力容器本体 1 0 1の凹陥部を開口し、露出させておく。次いで、突出部 1 2 8の上面に積層シー卜 1 2 4を安置する。この突出部 1 2 8の上面に積層シ一ト 1 2 4 を配置する操作は、前記例 9における積層シート 1 2 4の配置操作に比べて非常に容易である。窪んだ場所に複数枚の積層シ一卜 1 2 4を揃えてこれらを配置する場合と、平らなオープンの状態になった所に複数枚の積層シート 1 2 4を配置する場合とを想起するとその理由を容易に理解することができる。

突出部 1 2 8を水平に回動して、圧力容器本体 1 0 1の真下に位置させる。シリンダ一を駆動することによりブランジャー 1 3 5を上昇させ、これによつて蓋部材 2 0 2を上昇させる。このとき、気体供給排出手段を駆動することにより、気体導入排出路 1 4 1 (図 2 7参照）を通じて、気体を吸引排気する。突出部 1 2 8の下端部が圧力容器本体 1 0 1の凹陥部に嵌め込まれると、突出部 1 2 8の下端面、第 1本体 1 0 6の内周面および弾性部材 2 1 5 Aで形成される素材収容空間 1 2 0内の気体が、気体導入排出路 1 4 1を通じて排気される。素材収容空間 1 2 0内の気体が排気されると、素材収容空間 1 2 0内が減圧になるので、蓋部材 2 0 2が大気圧に押圧されて、直ちに突出部 1 2 8が圧力容器本体 1 0 1の凹陥部内に引き込まれ、突出部 1 2 8の凹陥部内への装着が直ちに完了する。

突出部 1 2 8が凹陥部内に挿入された状態においては、突出部 1 2 8と、第 1 本体 1 0 6の内周面と、弾性部材 2 1 5 Aを有する圧力伝達手段とで形成される空間が減圧になっているので、図 2 8に示すように、膨満した弾性部材 2 1 5 A の下面が突出部 1 2 8の上面に接着することがある。弾性部材 2 1 5 Aの下面が突出部 1 2 8の上面に接着したとしても、弾性部材 2 1 5 Aの下面に溝 2 1 5 B

(図 2 6参照）力 s形成されているので、この溝 2 1 5 Bを通じて素材収容空間内の気体が有効に排気される。

また、第 3開口部 1 3 9力突出部 1 2 8の周側面に開口しているので、前記弾性部材 2 1 5 Aの下面が突出部 1 2 8の上面に接着するとしても、素材収容空間内の排気になんらの支障も生じない。

突出部 1 2 8の凹陥部内への装着が完了した後においても、気体導入排出路 1 4 1を通じて素材収容空間 1 2 0内の気体を排気し続ける。このとき、弾性部材 2 1 5 Aの下面に溝が設けられているので、素材収容空間 1 2 0内の排気を支障なく継続することができる。

ヨーク 1 0 5を移動させて、ヨーク 1 0 5の作用開口部 1 4 5に、蓋部材 2 0 2を装着した圧力容器本体 1 0 1を配置する。この配置状態では、ヨーク 1 0 5における下部水平部 1 4 4の上面が蓋部材 2◦ 2の下面に殆ど接する位に近接した状態にあり、またヨーク 1 0 5の上部水平部 1 4 3の下面は圧力容器本体 1 0 1の上面に殆ど接する位に近接した状態にある。

この状態で次のようにして、積層シート 1 2 4の加圧成形を行う。

圧力媒体供給手段により圧力媒体導入排出路 1 2 1を介して圧力媒体収容空間 1 1 8内に圧力媒体 1 1 9を圧入する。圧力媒体収容空間 1 1 8内の圧力が所定圧力に到達すると、圧力媒体供給手段による圧力媒体収容空間 1 1 8内への圧力媒体 1 1 &の圧入を停止する。圧力媒体 1 1 9の所定圧力は、弾性部材 2 1 5 A に印加される。図 2 8に示すように、スぺーザの存在しない部位では、弾性部材 2 1 5 Aは圧力媒体 1 1 9により突出部 1 2 8に向力 >つて膨張し、突出部 1 2 8 と密着する。圧力媒体 1 1 9の所定圧力は、弾性部材 2 1 5 A及び積層シート 1 2 4を介して蓋部材 2 0 2を押し下げるように作用する力蓋部材 2 0 2は、ヨーク 1 0 5に規制されているので下降することができない。した力 sつて、圧力媒体 1 1 9の所定圧力により、積層シート 1 2 4は、弾性部材 2 1 5 Aと蓋部材 2 0 2、特に突出部 1 2 8の上面とで加圧されることになる。この加圧中において、前述したように、加熱されたヨーク 1'0 5の熱が、蓋部材 2 0 2及び圧力容器本体 1 0 1に伝導し、これによつて積層シート 1 2 4力⁵加熱される。 ' 積層シート 1 2 4の加熱により、積層シート 1 2 4中からガスが発生することがある。前述したように、気体供給排出装置により素材収容空間 1 2 0内の気体を排気しているので、また、弾性部材 2 1 5 Aの下面に溝を形成しているので、発生したガスは、溝 2 1 5 Bおよび気体導入排出路 1 4 1を通じて系外に排出される。したがって、加熱加圧中に積層シート 1 2 4内で発生するガスが残留することによりボイドゃ亀裂などを有する積層体の不良品発生が防止される。

このような加圧加熱処理をすることにより、積層シート 1 2 4が一体に圧着して積層体が形成される。

所定時間の加圧加熱処理が終了すると、シリンダー 1 4 8 (図 1 8参照）を再び駆動することにより、ヨーク 1 0 5を退避させる。ヨーク 1 0 5の退避により蓋部材 2 0 2の上面の規制がなくなる。

次いで、圧力媒体供給装置を駆動することにより、圧力媒体導入排出路 1 2 1 (図 2 7参照）を通じて圧力媒体収容空間 1 1 8内に圧入されている圧力媒体 1 1 9を、圧力媒体収容空間 1 1 8内の圧力が常圧に戻るまで、排出する。圧力媒体収容空間 1 1 8内の圧力が常圧に戻ってから、好ましくはこの圧力媒体 1 1 9の排出と共に、気体供給排出装置を駆動することにより、素材収容空間 1 2 0内に気体を圧入する。詳述すると、気体供給排出装置により供給される気体力気体導入排出路 1 4 1および溝 2 1 5 Bを通じて、積層体の収容されている素材収容空間 1 2 0内に導入される。

こ気体の導入により、弾性部材 2 1 5 Aにおける突出部 1 2 8の上面に密着していた部分が支持部材 1 1 6側に押し戻され、もとの平坦な状態になり、元にまた、シリンダー 1 3 4 (図 1 7参照）を駆動することにより蓋部材 2 0 2を下方に下げるようにすると、素材収容空間 1 2 0内が気体により加圧状態になつているので、極めて簡単に突出部 1 2 8が凹陥部内から抜け出て、蓋部材 2 0 2 の脱着が短時間の内に完了する。この突出部 1 2 8が凹陥部内から抜け出る際に、凹陥部内には気体力 ^s圧入されているので、突出部 1 2 8が抜け出るときに弾性部材 2 1 5 Aが素材収容空間 1 2 0側に引っ張られることもないので、弾性部材 2 1 5 Aの亀裂を生じることもない。 '

蓋部材 2 0 2を下降させて圧力容器本体 1 0 1カら取りタすと、積層体が露出するので、これらを取り出す。

積層体を凹陥部内から取り出した状態においては、弾性部材 2 1 5 Aの凹陥部側平面が膨れ上がっていず、平らな平面状態になっており、また亀裂等の損傷もないので、直ちに次の積層体の製造工程が開始される。

以上に説明したように、この加圧成形体製造装置には、

(1) 蓋部材を圧力容器本体に装着するのが容易であり、短時間の内に（瞬時と言っても良い。）突出部を凹陥部内に挿入することができ、

(2) 突出部を凹陥部内に揷入する際、片持ちの蓋部材によりわずかに蓋部材カ ^傾斜していても、凹陥部の内周面を傷つけることがなく、

(3) 弾性部材の下面に溝を設けているので、素材収容空間内を減圧に排気する際、弾性部材の膨満により排気が阻害されることがなく、

(4) 加圧成形の際に加熱により発生するガスが前記溝を通じて除去されるので、ボイドゃ気泡のない積層体を製造することができ、

(5) 加圧操作の後に蓋部材を容易に脱着することができ、

(7) 加圧操作の終了後には、弾性部材の加圧操作による膨れが解消しているので、弾性部材を交換することなく次の積層シ一トの加圧成形操作を開始することができ、したがって、多数の積層シートを次々に加圧処理をして多数の積層体を迅速に製造することができ、

(8) 蓋部材における突出部の上面に、被加圧処理物である積層シートを載置する方式を採用しているので、前記例 9におけるような凹陥部内に積層シー卜を嵌め込む方式に比べて、操作が容易であり、例えば自動搬送装置により搬送されてきた積層シートを、自動ハンドリング装置により把持して突出部の上面に載置し、積層シー卜の加圧成形処理により得られた積層体を、突出部の上面から自動ハンドリング装置により他の搬送装置に移送するようにすると、全自動の積層体製造装置を組み上げることができる。つまり、突出部の上面に積層シートを載置して加圧成形処理をするこの実施例装置は、全自動化を容易に達成することができる。

(例 1 1 )

この例 1 1に示す加圧成形体製造装置は、この発明の加圧成形装置の一例である。この加圧成形体製造装置は、この出願の基礎になっている日本特許出願である平成 6年特許願第 1 3 0 4 0 9号に係る明細書に、実施例 3として記載されている。

この実施例は、スぺーサを有する加圧成形体製造装置に関する。

図 2 9に示されるように、この例 1 1に係る加圧成形体製造装置は、弾性部材 2 1 5 Aの突出部 1 2 8に向かう面に溝力 S形成されていないこと、突出部 1 2 8 を素材収容空間内に挿入あるいは装着した場合に、弾性部材 2 1 5 Aの上面と突出部 1 2 8とに挟まれた空間内の、積層シ一卜 1 2 4が占めていない領域に、スぺーサ 2 0 4が介装されていること、および、図 3 0に示されるように、このスぺ一サ 2 0 4の突出部 1 2 8に向かう面に溝 2 0 4 Aが設けられていることが、前記例 9に係る加圧成形体製造装置の構成と異なるところである。

このスぺ一サ 2 0 4は、図 2 9および図 3◦にも示すように、環状の板状体であり、その表面に断面 V字形の溝 2 0 4 Aを有する。そして、このスぺ一サ 2 0 4は、積層シ一卜 1 2 4の平面形状よりも大きな平面形状たとえば方形あるいは円形（この実施例では円形である。）の収容開口部 2 0 4 Bを備えてなる。このスぺ一サ 2 0 4の材質としては硬質ゴムなどを挙げることができる。また、溝 2 0 4 Aは、素材を収容する空間、換言すると収容開口部 2 0 4 Bから気体を有効に排除することのできる機能を有する限り、どのような断面形状を有していよう力スぺ一サ 2 0 4の表面に何本形成されようがそれは問題にならない。例えばスぺーサ 2 0 4の表面に、内側から外側に向かって放射状に複数本の溝が形成されていても良く、また、溝 2 0 4 Aの断面は、図 3 1に示すように方形であっても半円形であっても良い。

このようにスぺーサ 2 0 4を設けておくと、前記例 9におけるように、素材収容空間内を減圧にし、加圧成形時に加圧媒体収容空間内に加圧媒体を圧入することにより、弾性部材 2 1 5 Aが膨満し、膨満した弾性部材 2 1 5 Aが突出部 1 2 8の下面に接着する程の過度の変形を受けること力防止される。スぺ一サ 2 0 4を介装することにより、弾性部材 2' 1 5 Aが過度の変形あるいは歪みを生じないので、弾性部材 2 1 5 Aの破損をそれだけ少なくすることができる。スぺーサ 2 0 4の上面には溝 2 0 4 Aが設けられているので、素材収容空間内を減圧にすることにより、スぺ一サ 2 0 4の上面と突出部 1 2 8の下面とが密着するとしても、溝 2 0 4 Aを通じて、積層シ一卜 1 2 4の存在する領域の気体を有効に排出することができる。これによつて、加熱加圧成形時に、積層シート 1 2 4から発生するガスを有効に系外に排出することができ、ボイドゃ亀裂のない積層体を容易に製造することができる。

(例 1 2 )

この例 1 2に示す加圧成形体製造装置は、この発明の加圧成形装置の一例である。この加圧成形体製造装置は、この出願の基礎になっている日本特許出願である平成 6年特許願第 1 3 0 4 0 9号に係る明細書に、実施例 4として記載されている。図 3 2に示すように、この実施例に係る加圧成形体製造装置は、積層シート 1 2 4の平面形状と実質的に同じ平面形状の収容空間 2 0 4 Bを有するスぺ一サ 2 0 4を使用することの外は、前記例 1 1に係る加圧成形体製造装置と、実質的に同じ構成を有する。

この実施例装置においても、スぺーサ 2 0 4に溝 2 0 4 Aを設けているので、前記例 1 1におけるのと実質的に同様の作用効果が奏される。

この実施例装置において特筆する作用効果は、弾性部材 2 1 5 Aと突出部 1 2 8"とにより挟まれた空間全体が実質的に積層シート 1 2 4とスぺーサ 2 0 4 とで占められているので、加圧成形時あるいは、非加圧成形時における減圧操作時に、弾性部材 2 1 5 Aの膨満力極力抑制されるから、弾性部材 2 1 5 Aの変形疲労による破損が極力少なくなる。換言すると、この実施例装置においては、弾性部材の破損が極めて少なく、弾性部材 2 1 5 Aを長持ちさせることができる。

(例 1 3 )

この例 1 3に示す加圧成形体製造装置は、この発明の加圧成形装置の一例である。この加圧成形体製造装置は、この出願の基礎になっている日本特許出願である平成 6年特許願第 1 3 0 4 0 9号に係る'明細書に、実施例 5として記載されている。

図 3 3および図 3 4に示すように、この実施例に係る加圧成形体製造装置は、積層シ一卜 1 2 4の平面形状と実質的に同じ平面形状の収容空間 2 0 4 Bを有するスぺーサ 2 0 4として、外側スぺ一サ 2 0 4 Cと内側スぺーサ 2 0 4 Dとの二枚一組からなる。そして、内側スぺーサ 2 0 4 Dは、積層シート 1 2 4の平面形状と実質的に同じ平面形状を有する収容空間 2 0 4 Bを有し、円形盤状体である。この内側スぺーサ 2 0 4 Dの上面に複数の溝 2 0 4 a力 ⁵刻設されてなる。一方、外側スぺ一サ 2 0 4 Cは、前記内側スぺーサ 2 0 4 Dの平面形状と実質的に同じ円形の開口部を有する環状盤体である。この外側スぺーサ 2 0 4 Cにおいてもその上面に複数の溝 2◦ 4 Aが刻設されてなる。そして、この溝 2 0 4 aおよび溝 2 0 4 Aは、外側スぺーサ 2 0 4 Cの開口部に内側スぺーサ 2 0 4 Dを嵌め込んだときに、一連の溝となるように、設けられている。

この二枚一組のスぺーサ 2 0 4の利点は、次のとおりである。収容空間 2 0 4 Bの異なる複数種の内側スぺ一サ 2 0 4 Dを多数用意しておくと、外側スぺ一サ 2 0 4 Cの開口部に適宜に選択した内側スぺ一サ 2 0 4 Dを取り替えるだけで、同じ加圧成形体製造装置を使用して大きさの異なる積層体を製造することができる。

(例 1 4 )

この例 1 4に示す加圧成形体製造装置は、この発明の加圧成形装置の一例である。こ'め加圧成形体製造装置は、この出願の基礎になっている日本特許出願である平成 6年特許願第 1 3 0 4 0 9号に係る明細書に、実施例 6として記載されている。

この実施例が前記例 1 3に係る加圧成形体製造装置と異なるところは、図 3 5 に示すように、溝を備えた内側スぺーサを使用する代わりに、溝を設けていない内側スぺーサ 2 0 4 Fを使用し、その内側スぺ一サ 2 0 4 Fの、突出部 1 2 8に向かう面に網部材 2 0 4 G例えば金網を配置したことである。

この網部材 2 0 4 Gおよび外側スぺ一サ 2 0 4 Cにおける溝 2 0 4 Aは通気確保手段を構成する。

この網部材 2 0 4 Gの利点は、溝を設た内側スぺ一ザと溝を設けた外側スぺ一ザとを使用するときには、溝の位置合わせが必要であるが、網部材 2 0 4 G を設けることによりそのような位置合わせが不溶になることである。前記例 9〜例 1 4により結論付けることのできるこの発明の好適な態様を以下に列挙する。

第 1の態様は、素材収容空間と圧力媒体収容空間とを備えてなり、かつ前記素材収容空間と圧力媒体収容空間とを隔絶し、圧力媒体収容空間内に圧入された圧力媒体の圧力を素材収容空間内に配置された素材に伝達する弾性部材を有する圧力伝達手段を備えてなる圧力容器本体と、

前記圧力容器本体内を加熱する加熱手段と、

前記素材収容空間に挿入される突出部、および前記素材収容空間内に圧入気体を導入し、かつ排出する気体導入排出手段を備えてなる蓋部材と、

前記素材収容空間内を気体導入排出手段により減圧にするときに、素材収容空間内の気体を前記気体導入排出手段により排出可能にする通気確保手段と、素材の加圧成形時に圧力容器本体に装着された蓋部材を、前記素材収容空間内から突出部が突出不可能に、固定する固定手段とを備えてなることを特徴とする加圧成形体製造装置である

第 2の態様は、前記第 1の態様において、圧力伝達手段が、前記素材収容空間と圧力媒体収容空間とを隔てて配設され、力つ多数の貫通穴を備えてなる支持部材と、前記支持部材の素材収容空間側の表面に配設されたシール部材と、前記シー部材の表面に配設された弾性部材とを備えてなる加圧成形体製造装置である。

第 3の態様は、前記第 1の態様または前記第 2の態様において、前記通気確保手段が、前記圧力伝達手段の前記素材収容空に向かう面に形成された溝である加圧成形体製造装置である。

第 4の態様は、前記第 1〜3のいずれかの態様において、前記通気確保手段が、前記圧力伝達手段の前記素材収容空間に向かう面であって、素材の載置される領域以外の領域に形成された溝である加圧成形体製造装置である。

第 5の態様は、前記第 1の態様または第 2の態様において、前記通気確保手段が、素材を収容可能とした開口空間部を備'えて前記素材収容空間内で前記圧力伝達手段の上面に配置可能に形成されたスぺーザの蓋部材に向かう面に形成された溝である加圧成形体製造装置である。

第 6の態様は、前記第 1の態様または第 2の態様において、前記通気確保手段力素材を収容可能とした開口空間部を備えて前記素材収容空間内で前記圧力伝 -達手段の上面に配置可能に形成されたスぺーザの蓋部材に向かう面に設けられた網部材である加圧成形体製造装置である。前記第 1〜 6の態様により支持されるところの、この発明に係る加圧成形体製造装置によると、

(1) 蓋部材の圧力容器本体への装着あるいは脱着が容易であり、短時間の内に（瞬時と言っても良い。）突出部を凹陥部内に挿入し、あるいは挿入された突出部を取り出すことができ、

(2) 突出部を凹陥部内に挿入する際、わずかに蓋部材が傾斜していても、凹陥部の内周面を傷つけることがなく、蓋部材の突出部を圧力容器本体の凹陥部内に揷入させることができ、逆に、凹陥部から突出部を引き抜くときにおいても凹陥部の内周面を傷付けることがなく、

(3) 蓋装着の際あるいは加圧成形の際に素材収容空間内を支障なく減圧にし、あるいは減圧状態を支障なく維持することができ、

(4) 加圧成形の際に発生するガスが除去されるので、ボイドゃ気泡のない積層体を製造することができる。

一

(例 1 5 )

この例 1 5に示す加圧成形体製造装置は、この発明の加圧成形装置の一例である。この加圧成形体製造装置は、この出願の基礎になっている日本特許出願である平成 6年特許願第 1 6 4 4 2 7号に係る明細書に、実施例として記載されている。

図 3 6に示すように、この発明の一実施例である加圧成形体製造装置 3 0 1 は、圧力容器本体 3 0 2と、挿入本体 3 0 3と、固定手段であるヨーク 3 0 4とを有する。 .

圧力容器本体 3 0 2は、上端面と円周外面と下端面とを有する略円筒状体をなす。この圧力容器本体 3 0 2の下端面には、その下端面において開口する開口部とその開口部に向かう内部端面とを有する略円形の凹陥部 3 0 5が設けられている。

この凹陥部 3 0 5の内部には、この凹陥部 3 0 5を前記開口部側の空間と内部端面側の空間とに二分するように、弾性部材 3 0 6が張設されている。

この弾性部材 3 0 6と前記内部端面と凹陥部 3 0 5の内周面とで、圧力媒体収容空間 3 0 7が形成される。この圧力媒体収容空間 3 0 7には、圧力媒体たとえば加圧液が圧入される。圧力媒体収容空間 3 0 7内に圧力媒体が液密に充填されねばならないので、この弾性部材 3 0 6は液密に凹陥部 3 0 5内に張設されている。

この実施例においては、後述するように挿入本体 3 0 3を凹陥部 3 0 5内に揷入した場合に、素材収容空間内に収容された成形素材に直接に接触する形態になっている。この弾性部材 3 0 6は適度の弾性を有するので、成形素材に直接に接触したとしても、成形素材あるいはそれを加圧成形して得られる成形体に悪影響を与えることはないのである力成形体を破損することなく、より一層確実に成形体を得るには、この弾性部材 3 0 6の、前記開口部に向かう表面に、弾性を有する保護部材を貼着しておくのが好ましい。

この圧力容器本体 3 0 2には、圧力媒体供給路 3 0 8が設けられていて、圧力媒体供給路 3 0 8の開口部が、圧力媒体収容空間 3 0 7を形成する内部端面および凹陥部 3 0 5の内周面のいずれか適宜の位置に開口する。圧力容器本体 3 0 2 に形成された圧力媒体供給路 3 0 8は、図示しない配管を通じて圧力媒体供給手段に接続される。この圧力媒体供給手段は、圧力媒体を吸引吐出するポンプ、このポンプと前記圧力媒体供給路 3 0 8とを接続する配管および必要に応じて設けられる開閉弁等を有して形成される。

挿入本体 3 0 3は、シリンダ一 3 0 9とピストン 3 1 0とを有してなる。図 3 6に示すように、シリンダ一 3 0 9は、シリンダ一本体 3 1 1とシリンダ一底体 3 1 2とを有し、シリンダー底体 3 1 2にシリンダー本体 3 1 1を積み重ねてなる。

図 3 7に示すように、シリンダー本体 3 1 1は、挿入本体 3 0 3を前記凹陥部 3 0 5内に挿入するときに凹陥部 3 0 5の'内周面に摺接する外周面 3 1 3と、シリンダー 3 0 9の上面から見て長方形の水平断面形状をなす第 1内部空間 3 1 4 第 1内部空間 3 1 4とを有する略円筒状体をなす。この第 1内部空間 3 1 4は、シリンダー本体 3 1 1の端面から他方の端面へと貫通する貫通状態に形成される。このシリンダー本体 3 1 1の外周面には、図 3 6には示されてはいないが、通常、〇ーリングがシリンダ一本体 3 1 1の外周面を一巡するように装着されていて、後述する素材収容空間内のエアーを排気したときに、この凹陥部 3 0 5の内周面とシリンダー本体 3 1 1の外周面との間隙から外気が素材収容空間内に漏入しないようになっている。

シリンダ一底体 3 1 2は、前記シリンダ一本体 3 1 1 と同じ直径を有する有底の筒状体であり、このシリンダー底体 3 1 2に前記シリンダー本体 3 1 1を積み重ねた場合に、シリンダ一本体 3 1 1の外周面 3 1 3と面一になるように形成された外周面 3 1 5と、前記シリンダー本体 3 1 1に形成された第 1内部空間 3 1 4の水平断面形状である長方形の対角線の長さよりも大きな直径を有する円柱状の第 2内部空間 3 1 6とを有する。

この実施例においては、シリンダー底体 3 1 2には、その内周面に開口する第 1気体導出入路 3 1 7が設けられ、この第 1気体導出入路 3 1 7は、図示しない第 1エアー供給排出手段に結合されている。

ここで、この第 1エアー供給排出手段は、前記第 1気体導出入路 3 1 7を介して、シリンダー 3 0 9内にエアーを供給し、またシリンダー 3 0 9内のエアーを排気することのできる機能を有するように形成され、例えば前記第 1気体導出入路 3 Γ7に結合された配管、エアーを吸引吐出するポンプ、必要に応じて介装される弁装置等を備えて形成される。

このシリンダー底体 3 1 2は、第 2内部空間 3 1 6における底面に開口する第 2気体導出入路 3 1 8力 s設けられ、この第 2気体導出入路 3 1 8は、図示しない第 2エアー供紿排出手段に結合されている。この第 2気体導出入路 3 1 8を介して、第 2内部空間 3 1 6内にエアー力 s導入され、第 2内部空間 3 1 6内のエア一が吸引排気されるようになつている。

ここで、この第 2供給排出手段は、前記第 2気体導出入路 3 1 8を介して、第 2内部空間 3 1 6内にエア一を供給し、また第 2内部空間 3 1 6内のエア一を排気することのできる機能を有するように形成され、例えば前記第 2気体導出入路 3 1 8に結合された配管、エアーを吸引吐出するポンプ、必要に応じて介装される弁装置等を備えて形成される。

また、このシリンダー底体 3 1 2の上にシリンダ一本体 3 1 1を積み重ねたときに、このシリンダ一底体 3 1 2の上端面とシリンダ一本体 3 1 1の下端面との間が気密になるように、例えば図 3 8に示すように、シリンダー底体 3 1 2の上面とシリンダー本体 3 1 1の下端面との間に 0リング 3 1 9が介装されている。 ·

前記ビストン 3 1 0は、ビストン本体 3 2 0とフランジ部 3 2 1 とを有する。

前記ピストン本体 3 2◦は、前記シリンダー本体 3 1 1の内周面を摺動可能とする外周面を備えてなる四角柱体をなし、ビス卜ン本体 3 2 0の下端にフランジ部 3 2 1が設けられている。図 3 8に示すように、このピストン本体 3 2 0の外周面には、前記フランジ部 3 2 1からピストン本体 3 2 0の先端面近傍まで連続する溝 3 2 2が適宜の数だけ設けられている。

フランジ部 3 2 1は、前記シリンダー底体 3 1 2の第 2内部空間 3 1 6の内部直径にほぼ同じ直径を有する円盤状をなす。このフランジ部 3 2 1の周面には、 0 —リング 3 2 3力この周面を一巡するように装着されていて、前記シリンダー底体 3 1 2における第 2内部空間 3 1 6をなす内周壁とこのフランジ部 3 2 1の周面との間隙が気密に閉塞され、しカも、このフランジ部 3 2 1が前記シリンダー底体 3 1 2内を上下に移動するのに支障がないようにされている。この 'ピストン 3 1 0におけるフランジ部 3 2 1がシリンダー底体 3 1 2の第 2 内部空間 3 1 6における底面に接地しているときに、ピストン本体 3 2 0の先端面は、シリンダー本体 3 1 1の先端面よりも更に下方の位置になるように、また、ピストン 3 1 0が移動してフランジ部 3 2 1がシリンダー本体 3 1 1の下端面に当接したときにはピストン本体 3 2 0の先端面がシリンダー本体 3 1 1の先端面に少なくとも一致するように（場合によっては、ピストン本体 3 2 0の先端面がシリンダー本体 3 1 1の先端面より突出してもよい。）、ピストン 3 1 0およびシリンダ一 3 0 9の各部寸法が決定される。

このように設計することにより、ピストン 3 1 0におけるフランジ部 3 2 1力 s シリンダ一底体 3 1 2の第 2内部空間 3 Γ6における底面に接地するように、シリンダー 3 0 9内にビストン 3 1 0を配置すると、ピストン本体 3 2 0の上端面とシリンダ一本体 3 1 1の内周面とで、水平断面が四角形の素材収容空間 3 2 4 が形成される。

固定手段であるヨーク 3 0 4は、これまでの例において説明されたヨーク 1 0 4と基本的には同じ構成、作用を有するので、その詳細な説明を省略する。なお、図 3 6において、 3 2 5は垂直部であり、 3 2 6は上部水平部であり、 3 2 7は下部水平部であり、 3 2 8はこの上部水平部 3 2 6および下部水平部 3 2 7と一対の垂直部 3 2 5 形成される開口部（以下においてこの開口部を作用開口部 3 2 8と称する。）である。

再び簡略に説明すると、挿入本体 3 0 3を装着した圧力容器本体 3◦ 2をこの作用開口部 3 2 8内に収容した場合に、上部水平部 3 2 6の下面が挿入本体 3 0 3の上面よりわずかのクリアランスをもつて高い位置にあり、下部水平部 3 2 7 の上面が圧力容器本体 3 0 2の下面に位置し、一対の垂直部 3 2 5の相互の間隔が前記圧力容器本体 3 0 2の直径よりも十分に大きな長さになるように設計される。なお、圧力容器本体 3 0 2は、適宜の手段例えばフレーム（図示せず。）などによって支持される。

このヨーク 3 0 4は、たとえば水平に配置された一対のレール（以下において水平レールと称する。）上を跨座して摺動するガイドを備えることなどによって水平移動自在に構成される。この構成は、図 5および図 1 8を参照することにより容易に理解することができる。そして、素材収容空間 3 2 4内に成形素材たとえば積'層シートを配置するときには、圧力容器本体 3 0 2から挿入本体 3 0 3を取り外す必要から、この圧力容器本体 3 0 2から退避した位置にヨーク 3 0 4が待機し、加圧成形をするときにはこのヨーク 3 0 4の作用開口部 3 2 8に、挿入本体 3 0 3を装着した圧力容器本体 3 0 2を収容するようにヨーク 3 0 4が移動する。このヨーク 3 0 4の駆動源としては、特に制限がないのであるが、この実施例においては、エア一シリンダー（図示せず。）が使用される。このヨーク 3 0 4の駆動源として、電動モータを使用しても差し支えない。

このヨーク 3 0 4には、加熱手段が設けられる。加熱手段としては、素材収容空間 3 2 4内に収容された積層シートを加圧操作中にこの積層シートを加熱することができるように構成される限りその構^には特に制限がない。この実施例においては、ヨーク 3 0 4における一対の垂直部 3 2 5、上部水平部 3 2 6および下部水平部 3 2 7に電熱ヒータ（図示せず。）を設けることにより加熱手段が構成される。

次に上記構成の成形体製造装置の作用について以下に説明する。

先ず、初期状態として、ヨーク 3 0 4が例えば水平移動することにより、圧力容器本体 3 0 2および揷入本体 3 0 3から退避した位置に大気している。そして、図 4 0に示すように、挿入本体 3 0 3力 s圧力容器本体 3 0 2の凹陥部 5から脱着した状態、つまり挿入本体 3 0 3が圧力容器本体 3 0 2から分離した状態になっている。挿入本体 3 0 3の初期状態としては、成形素材を素材収容空間 3 2 4内に収容する便宜から、揷入本体 3 0 3が圧力容器本体 3 0 2の下面から十分に離れた位置に挿入本体 3 0 3が待機していても良いし、また、挿入本体 3 0 3の上面と圧力容器本体 3 0 2の下面との高さ寸法はそれほど大きくはないけれども、挿入本体 3 0 3力圧力容器本体 3 0 2の直下から水平移動して退避した位置に待機していても良い。

いずれにしても、挿入本体 3 0 3における素材収容空間 3 2 4内に成形素材を挿入する。

ここで、成形素材としては、粉体そのものであっても良いが、この発明の成形体製造装置の機能を良く発揮することのできるものとして、表面に導電性層を設けてなるセラミツク製のグリーンシート、および複数枚のこのグリーンシートを圧着するなどして、各グリーンシ一卜が分離しないように処理されてなる積層物を挙げることができる。

このグリーンシートは、通常セラミックスとバインダ一とを有する坏土を所定の厚みに成形してから所定の大きさに切り出すなどして得られた所定形状の（多くの場合は、方形あるいは長方形である。なお、この実施例では長方形である。 ) セラミックスシートの表面に、導電性塗料などで導電性層を形成してなる。また別の態様としての成形素材として、セラミツクス製の薄いシートを積み重ね、必要に応じて軽く押圧することによりシート相互を接着させてなり、あるいは必要に応じて軽く焼成することによりシート相互を結着させてなり、あるいはシートの形成に使用されたバインダ一によってシ一ト相互が軽く接着されてなる積層物を挙げることができる。 ―

図 4◦に示すように、素材収容空間 3 2 4内に前記成形素材 Pを収容する場合、素材収容空間 3 2 4内のピストン本体 3 2 0の先端面に剥離シート 3 2 9を載置しておくのが好ましい。剥離シー卜 3 2 9をピストン本体 3 2 0の先端面に設けておくと、ビストン本体 3 2 0の先端面に成形体が結着することを防止し、ビストン本体 3 2 0の先端面から成形体を容易に分離することができる。

成形素材として前記グリーンシートや積層物を使用する場合、通常それらは非常に厚みが小さい。した力 sつて、所定枚数のグリーンシートや積層物を前記素材収容空間 3 2 4内に収容しても、収容されたグリーンシートや積層物の上面と、シリンダー本体 3 1 1の先端面との間に余剰空間力 s生じることがある。そのような場合には、その余剰空間内にスぺーサとしての柔軟部材を介装させておくのが良い。

このスぺーザの配置の態様として、スぺ一サをビス卜ン本体 3 2 0の先端面に直接に載置し、そのスぺーザの上に剥離シ一卜 3 2 9を載置し、更にその剥離シート 3 2 9の上に成形素材を配置し、その成形素材の上面に更に剥離シート 3 2 9を載置し、成形素材の上面に配置された剥離シー卜 3 2 9の上面がシリンダー本体 3 1 1の先端面とほぼ同一面となるようにする態様、また、ピストン本体 3 2 0の先端面に剥離シ一卜 3 2 9を載置し、その剥離シート 3 2 9の上に成形素材を載置し、その成形素材の上面に更に剥離シート 3 2 9を載置し、その剥離シー卜 3 2 9の上面にスぺーサを載置して、そのスぺーザの上面とシリンダ一本体 3 1 1の先端面とがほぼ同一面になるようにする態様を挙げることができ、いずれの態様であっても良い。

図 3 6に示すように、このようにして素材収容空間 3 2 4内に成形素材を装填した後に、挿入本体 3 0 3を圧力容器本体 3 0 2の凹陥部 5内に挿入する。この挿入時に、第 1エアー供給排出手段を駆動することにより、素材収容空間 3 2 4内のエアーを排気する。この場合、図 3 9に示すように、シリンダー本体 3 1 1の内周面とビストン本体 3 2 0の外周面とには微細な間隙があるので、この微細な間隙を通じて素材収容空間 3 2 4内のエアーが排気される。また、ビストン本体 3 2 0の周面には、溝 3 2 2力 s設けられているので、前記間隙を通過するエアーの通過抵抗が小さく、迅速に素材収容空間 3 2 4内を減圧にすることができる。 '

この素材収容空間 3 2 4内を減圧にすると、挿入本体 3 0 3は大気圧に押圧されて迅速に凹陥部 3 0 5内に装填される。挿入本体 3 0 3が完全に凹陥部 3 0 5 内に装填された状態では、素材収容空間 3 2 4内に収容された最上部の部材たとえばスぺーサあるいは剥離シート 3 2 9が弾性部材 3 0 6に接触した状態になつている。また、弾性部材 3 0 6における挿入本体 3 0 3側の表面に保護部材が設けられているときには、素材収容空間 3 2 4内に収容された最上部の部材たとえばスぺ一サあるいは剥離シート 3 2 9が保護部材に接触した状態になっている。

第 1エアー供給排出手段の駆動を継続し、素材収容空間 3 2 4内を減圧状態にしておく。

次いで、ヨーク 3 0 4を移動させて、ヨーク 3 0 4の上部水平部 3 2 6を圧力容器本体 3 0 2の上面に位置させ、同時に、ヨーク 3 0 4の下部水平部 3 2 7を挿入本体 3 0 3の下面、この実施例では、シリンダ一底体 3 1 2の下面に位置させる。

この状態で、圧力媒体収容空間 7内に圧力媒体を圧入する。圧力媒体の圧入により、圧力媒体による加圧力が、素材収容空間 3 2 4内の成形素材に印加される。同時にこの圧力媒体による加圧力は、シリンダー 3 0 9及びピストン 3 1 0 を凹陥部 3 0 5内から外に押し出すような方向の力となってシリンダー 3 0 9およびビス卜ン 3 1 0に印加される力挿入本体 3 0 3におけるシリンダ一底体 3 1 2の下面にはヨーク 3 0 4の下部水平部 3 2 7が配置されていて、シリンダー底体 3 1 2が移動不可能に前記下部水平部 3 2 7が挿入本体 3 0 3を固定している。また同時に、圧力媒体による加圧力は、圧力容器本体 3 0 2が上方に移動させる方向に、圧力容器本体 3 0 2に印加されるのであるが、圧力容器本体 3 0 2の上面がヨーク 3 0 4の上部水平部 3 2 6により移動不可能に固定されている。したがって、圧力媒体による加圧力は、 ^¾形素材に集中し、成形素材が加圧成形される。

また、このヨーク 3 0 4に設けられた加熱手段により前記素材収容空間 3 2 4 内が加熱されるのであれば、前記圧力媒体による加圧力と加熱手段による加熱とで、加熱加圧成形が行われる。

加圧成形あるいは加熱加圧成形を行って'いるときに、第 1エアー供給排出手段により素材収容空間 3 2 4内のエアーを排気し続けているので、成形素材中に存在する気体あるいは加熱により成形素材中の成分が分解して発生する分解ガスが、素材収容空間 3 2 4内から排出される。その結果、成形素材中に残留する気体あるいは加熱により発生する分解ガスが残留することにより発生するであろうところの、成形体中のボイドの発生を有効に防止することができる。

圧力媒体の圧入による素材収容空間 3 2 4内の成形素材の加圧を所定時間継続してから、圧力媒体の圧入を停止し、圧力媒体収容空間 3 0 7内の圧力媒体を除去する。

ヨーク 3 0 4を初期状態の位置に退避させる。

圧力容器本体 3 0 2の凹陥部 3 0 5から挿入本体 3 0 3を脱着する。この場合、第 1エアー供給排出手段を駆動して素材収容空間 3 2 4内にエアーを圧入して、素材収容空間 3 2 4内を大気圧以上の圧力にする。素材収容空間 3 2 4内にエアーを圧入すると、第 1ァー供給手段を駆動して素材収容空間 3 2 4内を減圧にした際に、成形素材の粉体がシリンダー本体 3 1 1の内周面とピストン本体 3 2 0の外周面との間隙に落ち込んでいることがあるのであるが、第 1エアー供給排出手段を駆動して素材収容空間 3 2 4内にエアーを圧入すると、前記間隙に落ち込んだ粉体が、素材収容空間 3 2 4側に吹き出される。したがって、シリンダー本体 3 1 1の内周面とビストン本体 3 2 0の外周面との間隙に粉体が侵入することによる、ピストン 3 1 0の摺動阻害力防止される。

また、第 1エアー供給排出手段を駆動して素材収容空間 3 2 4内を大気圧以上の圧力にすると、挿入本体 3 0 3が凹陥部 3 0 5から迅速に押し出される。凹陥部 3 0 5から挿入本体 3 0 3力お押し出され、圧力容器本体 3 0 2と挿入本体 3 0 3とが分離した後に、第 2エアー供給排出手段を駆動して、第 2気体導出入路 3 1 8を介して、ビストン 3 1 0におけるフランジ部 3 2 1の底面とシリンダー底体 3 1 2の上面との間にエア一を圧入する。フランジ部 3 2 1の周面には 0—リングが介装されているので、フランジ部 3 2 1の底面と、シリンダ一底体 3 1 2の上面と、シリンダ一底体 3 1 2の内周面とで、気密空間が形成されている。したがって、図 4 1に示されるように、この気密空間にエアーを圧入することにより、ピストン本体 3 2 0力 S上昇し、素材収容空間 3 2 4内に形成されている成形体が、ピストン本体 3 2 0の先端面により、素材収容空間 3 2 4内から押し出される。

このとき、成形体の緣片部がシリンダー本体 3 1 1の内周面に強固に固結していることがあったとしても、ビス卜ン本体 3 2 0の先端面における縁辺部がシリンダ一本体 3 1 1の内周面を摺動していくので、成形体の縁辺部を破損することなく、成形体を素材収容空間 3 2 4内から押し出していく。

以上のようにして成形体を加圧成形し、加圧成形により得られた成形体を、縁辺部の破損なく、素材収容空間 3 2 4から取り出すことができる。

上記実施例においては、シリンダ一底体 3 1 2の底面がビス卜ン規制手段になつている。

この発明においては、圧力媒体による加圧時に、その圧力媒体の加圧力がビストン 3 1 0に印加されることによりピストン 3 1 0力 s退避しょうとするのを阻止する機能を有するのがピストン規制手段である。したがって、この発明においては、前記機能を有する限り種々のビストン規制手段を当業者の設計変更事項として案出することができる。

前記実施例においては、ピストン駆動手段が、フランジ部とシリンダー底体の底面とで形成される気密空間と、その気密空間に圧入され、あるいは強制排気されるエアーとで、ピストンを上下動可能に形成されているが、ピストンを上下動させる機能を有する限り前記実施例に示される機構に限定されるものではない。上記例 1 5により支持されるこの発明の態様を以下に列挙する。

第 1 'の態様は、圧力容器本体と挿入本体と固定手段とを備え、

前記圧力容器本体は、圧力容器本体の端面において開口する開口部とその開口部に向かう内部端面とを有する凹陥部、およびその凹陥部に張設された弾性部材を介して凹陥部内を加圧する加圧手段を備え、

前記挿入本体は、シリンダーとピストンとを備え、

前記シリンダーは、前記凹陥部の内周面に摺接する外周面と、ピストンの先端外周面に摺接し、被加圧素材を収容する被加圧素材収容空間をビストンの先端面とで形成する内周面と、ピストンを駆動するピストン駆動手段と、加圧成形時にビストンに印加される加圧力によるビストンの動きを規制するビストン規制手段とを備え、 ―

前記固定手段は、加圧成形時には圧力容器本体および凹陥部に挿入された挿入本体を固定する規制部材を備えてなることを特徴とする成形体製造装置である。第 2の態様は、前記第 1の態様において、前記シリンダーには、前記被加圧素材収容空間内のエアーを排気し、また、被加圧素材収容空間内にエアーを導入するエアー導出入手段を備えてなる成形体製造装置である。

第 3の態様は、前記第 1の態様または第 2の態様において、被加圧素材収容空間内を加熱する素材加熱手段を有してなる成形体製造装置である。

第 4の態様は、前記第 1〜3の態様のいずれかにおいて、被加圧素材を加圧するときにこの被加圧素材を加熱する加熱手段を設けてなる成形体製造装置である。上記例 1 5により支持されるところの、この発明によると、成形体の縁辺部を破損することなく、歩留良く成形体を製造することのできる成形体製造装置を提供することができる。

この発明によると、挿入本体を圧力容器本体の凹陥部内に迅速に装填することができて、操作性の良好な成形体製造装置を提供することができる。

この発明によると、粉体を焼成し、かつ加圧成形することのできる成形体製造装置を提供することができる。

この発明によると、挿入本体を圧力容器本体の凹陥部内に迅速に装填することができ'、加圧成形、および加熱加圧成形を行うことができ、しかも成形体をその縁辺部を破損することなく容易に取り出すことができ、歩留良く成形体を製造することのできる成形体製造装置を提供することができる。

B . 加圧成形方法

この発明に係る加圧成形方法の第 1の態様は、非通気性の柔軟性膜および排気口を備えてなる成形型内に成形前駆体を収容し、前記成形型内を減圧下に維持し、圧力変動を有する加圧流体で前記柔軟性膜を介して前記成形前駆体を加圧することを特徴とする成形前駆体の加圧成形方法である。

第 2の態様は、前記第 1の態様において-、前記加圧流体における圧力変動の最低圧力値が大気圧以下であることを特徴とする成形前駆体の加圧成形方法である。

第 3の態様は、前記第 1の態様または第 2の態様において、前記加圧流体が液体であることを特徴とする成形前駆体の加圧成形方法である。

第 4の態様は、前記第 1〜3の態様のいずれかにおいて、前記成形前駆体がセラミックグリーンシ一卜であることを特徴とする成形前駆体の加圧成形方法である。

この発明に係る加圧成形方法について詳述する。

-成形前駆体 - 成形前駆体は、この発明の加圧成形装置に適用される成形前駆体と同様であるのでその詳細な説明を省略する。

-成形型一

この加圧成形方法に使用される成形型は、その内部に被成形物を収容することができ、内部の気体を除去するための排気口を備え、加圧流体の圧力を成形型内の成形前駆体に伝達することのできる非通気性の柔軟性膜を有して形成されている限り特に制限がない。

この発明の方法に使用することのできる成形型としては、たとえば、特公平 3 - 5 8 5 2 4号公報および特公平 3 - 5 8 5 2 5号公報に記載された成形型を使用することができる。

また、これらの公報に記載された成形型に基づいて案出されたところの、図 4 2に'示すような成形型も使闬することができる。図 4 2に示す成形型 4 0 1 は、表から裏へと貫通した長方形の開口部 4 0 2を有する板状枠体 4 0 3と、この板状枠体 4 0 3を収納することができる柔軟性部材で形成された袋体 4 0 4とを備え、前記板状枠体 4 0 3の短手辺には外表面から前記開口部内に貫通する貫通穴 4 0 5が設けられ、前記袋体 4◦ 4には前記貫通穴 4 0 5に対応する排気口 4 0 6力 s設けられ、また前記板状枠体 4 0 3とを入れるための大開口部（図示せず。）が設けられている。

この成形型 4 0 1には、次のようにして成形前駆体が収納される。すなわち、前記袋体 4 0 4から取り出されている板状枠体 4 0 3の下面にこの板状枠体 4 0 3と同じ平面積を有するたとえば薄板（図'示せず。）を差し込む。この薄板を板状枠体 4 0 3の下面に差し込むことによって、開口部 4 0 2に底面が形成される。底面を有する開口部 4 0 2内にセラミックグリーンシート 7を一枚一枚と重ねて収容して行く。開口部 4 0 2内に所定枚数のセラミックグリーンシート 7が収容された後に、薄板ごとこの板状枠体 4 0 3を前記袋体 4 0 4の大開口部（図示せず。）から袋体 4 0 4内に挿入する。この挿入に際して、板状枠体 4 0 3に設けられている貫通穴 4 0 5が袋体 4 0 4における排気口 4 0 6に向かうように、板状枠体 4 0 3の揷入位置決めをするのが肝要である。次いで、必要により前記薄板を袋体 4 0 4内から引き出し、袋体 4 0 4内には、開口部 4 0 2にセラミックグリーンシ一卜 7を収容している板状枠体 4 0 3が残るようにする。袋体 4 0 4の大開口部を適宜の手段によって気密に閉鎖する。

以上により、板状枠体 4 0 3と袋体 4 0 4とからなり、板状枠体 4 0 3における開口部 4 0 2にセラミックグリーンシート 7が積層収容された密封体が形成される。以上の説明から明らかなように、シート状の成形前駆体を収容するのに十分な空間を備えた板状枠体とこの板状枠体を気密に収容することができ、しかも内部を高度に排気することのできる構造を有する袋体とを備えてなる成形型は、たとえばグリーンシートなどのシート状の成形前駆体を加圧成形するのに好適である。この成形型においては、加圧成形時の圧力は、板状枠体における開口部を覆蓋する袋体部分が柔軟性膜となって、この柔軟性膜を介して圧力が内部のセラミックグリーンシートに印加されることになる。

この'発明に使用することのできる成形型の他の態様を図 4 3に示す。

図 4 3に示すように、他の態様である成形型は、図 4 2に示したような、表から裏へと貫通した長方形の長方形の開口部 4 1 2を有する板状枠体 4 1 3とその開口部 4 1 2を閉鎖するように板状枠体 4 1 3の裏側面を覆蓋する第 1の柔軟性膜 4 1 4 aおよび表側面を覆蓋する第 2の柔軟性膜 4 1 4 bとからなり、前記板状枠体 4 1 3には前記開口部 4 1 2および第 1および第 2の柔軟性膜 4 1 4 a , 4 1 4 bとで形成される空間内を排気するための排気口 1 6を備え、前記第 1および第 2の柔軟性膜 4 1 4 a , 4 1 4 bは前記板状枠体 4 1. 3の辺に気密に貼着されてなる。

図 4 3に示すような構造を有する成形 Mに次のように成形前駆体が装着される。

すなわち、図 4 3に示すように、成形型 4 1 1における板状枠体 4 1 3の裏側面に第 1の柔軟性膜 4 1 4 aを、第 1の柔軟性膜 4 1 4 aと板状枠体 4 1 3との貼着面に隙間が生じないように、完全に貼着する。その結果、板状枠体 4 1 3 における開口部 4 1 2には第 1の柔軟性膜 4 1 4 aによる底面が形成される。次いで、板状枠体 4 1 3における開口部 4 1 2内にシート状の成形前駆体 4 1 7 を、開口部 4 1 2—杯に装填する。板状枠体 4 1 3の上側面に第 2の柔軟性膜 4 1 4 bを、板状枠体 4 1 3と第 2の柔軟性膜 4 1 4 bとの貼着面に隙間が生じないように、完全に貼着する。その結果、開口部 4 1 2内に成形前駆体 4 1 7が気密に封止される。封止は第 1および第 2の柔軟性膜 4 1 4 a , 4 1 4 bを外側から押さえ具（図示せず。）で押さえつけることにより行われる。またその外側を薄いフィルムにより排気口 4 1 6を残して気密に包装して行うこともできる。この成形型 4 1 1においても、加圧成形時の圧力は、板状枠体 4 1 3における開口部 4 1 2を覆蓋する第 1および第 2の柔軟性膜 4 1 4 a , 4 1 4 bを介して圧力が内部の成形前駆体 4 1 7に印加されることになる。

この発明に使用することのできる成形型の他の態様として、これまで説明してきたところの例 1〜1 5に示される、圧力容器本体と蓋体あるいは蓋部材を有する成形型を挙げることができる。

例えば図 4 4に示す加圧成形装置は例 1にて詳述された加圧成形装置の天地を逆にしてなる装置である。更に簡単に言うと、図 4 4に示される加圧成形装置は、例' 1の加圧成形装置を示す図 1の天地を逆にした構成を有する。

図 4 4に示される成形型 4 2 1は、複数枚のシー卜状の成形前駆体 4 2 2を収容することのできる凹陥部 4 2 3を形成してなる基体 4 2 4と、前記凹陥部 4 2 3の底面に配置され、その底面を液密に覆蓋する第 1の柔軟性膜 4 2 5と、前記凹陥部 4 2 3の上部開口部を液密に覆蓋する第 2の柔軟性膜 4 2 6と、前記第 2 の柔軟性膜 4 2 6を介して前記凹陥部 4 2 3の上部開口部を覆蓋する蓋体 4 2 7 と、前記基体 4 2 4に設けられ、前記凹陥部 4 2 3の底面と第 1の柔軟性膜 4 2 5との間に圧力流体を導入する第 1圧力流体導入流路 4 2 8と、前記第 2の柔軟性膜 4 2 6に圧力を印加する圧力流体を導入する第 2圧力流体導入流路 4 2 9と、前記凹陥部 4 2 3内の第 1の柔-軟性膜 4 2 5と蓋体 4 2 7との間にある凹陥部 4 2 3の内壁面に開口する開口部 4 3 0から凹陥部 4 2 3内のエアーを排気する気体排気流路 4 3 1とを備えてなる。

この成形型を使用する加圧成形方法については後述する。

この発明に使用することのできる成形型の他の態様として、『強化ブラスチック技術協会編、「強化プラスチックハンドブック」、第 2 0 1頁第 1行から第 1 3行、および図 6 · 6 4、日刊工業新聞社発行』に記載された成形型を挙げることができる。

この成形型は、石膏、 F R Pあるいは板金などで形成された雌雄いずれかの型と、その型の表面を覆蓋する柔軟性膜と、この柔軟性膜と前記型との間の空間を排気する排気口とを有する。

この成形型には、次のようにして成形前駆体力 s装着される。すなわち、前記雌雄いずれかの型の表面に成形前駆体が配置され、成形前駆体よりも大きな面積を有する軟性膜で成形前駆体を覆蓋し、柔軟性膜の端部を気密にクランプし、次いで排気口から排気する。

この発明に使用することのできる成形型の他の態様として、『林毅編、「複合材料工学」、第 3 1 1頁における図 6 . 4 1、第 3 1 2頁第 2行から第 8行、日科技連出版社発行、 1 9 7 9年 4月 2 0日第 7刷発行』に記載された成形型を挙げることができる。

この成形型は、所定の形状に整えられた成形前駆体を配置する凹部を有する金型と、その凹部に嵌め込む柔軟部材たとえばシリコーンゴム製の押さえ板と、前記金型全体を収容する柔軟性膜の袋体とを有する。

この成形型には、次のようにして成形前駆体が装着される。すなわち、前記金型の凹部に所定形状の成形前駆体を所定枚数ないし予定個数配置し、その上に押さえ板を配置し、押さえ板を装着してなる金型全体を柔軟性膜の袋体内に収容する。

以上に説明した成形型は、主としてシート状ないしフィルム状の成形前駆体を加圧成形するのに好適であり、成形前駆体が粉体、粒状体等であるときには次に説明する成形型が好適である。

粉体等を成形するのに好適な一例としての成形型は、耐圧製の圧力容器の円筒形内部空間に配置されたところの、金属円筒状金網体もしくは周面に多数の貫通孔を備えた金属円筒体の上下に配置された蓋体と、前記金属円筒状金網体もしくは前記金属円筒体の内側に配置された円筒状の柔軟性膜とを備え、前記上下一対の蓋体の内いずれかまたは両方の蓋体には排気口が設けられ、前記圧力容器には、円筒形内部空間内に圧力媒体を圧入する圧力媒体導入手段が設けられている。

この成形型においては、前記蓋体と前記柔軟性膜とで形成される円筒状空間内に粉状体もしくは粒状体の成形前駆体が装填される。

-加圧成形方法 - この加圧成形方法は、前述した成形型を用いて行うことができるのであるが、より一層好ましいのは、例 1 ~ 1 5に示される加圧成形装置を使用することである。

この発明の加圧成形方法においては、非通気性の柔軟性膜および排気口を備えてなる成形型内に成形前駆体を収容し、前記成形型内を減圧下に維持し、圧力変動を有する加圧流体で前記柔軟性膜を介して前記成形前駆体を加圧する。

この発明において、重要なことは前述のように、成形型内を減圧下に維持しつつ、前記柔軟性膜を介して前記成形前駆体に圧力変動を有する加圧流体で加圧することである。圧力変動なしに一方的に加圧すると、成形型内に連通する排気口や排気配管が閉塞されることがあるのに対し、柔軟性膜に印加される加圧力に変動を生じさせると、低圧時には閉塞が解除され、継続的に閉塞されることがなくなり、成形前駆体の加圧成型によりたとえば気体が発生したとしても成形型に設けられ'ている排気口が閉塞されるのが防止され、前記気体が完全に排気されて、ボイドゃ割れ、気泡のない成形体を得ることができる。

加圧成形時には、成形前駆体を加熱するのが好ましい。その加熱温度としては成型前駆体の種類に応じて相違しており、たとえばセラミックグリ一ンシートについては通常 7 0〜1 4 0 °C、好ましくは 8 0〜9 0 °Cであり、通常のエポキシ系プリプレグについては通常 1 2 0〜1 8 0 °Cであり、室温硬化型プリプレグについては通常 2 0〜8 0 °Cであり、未硬化樹脂含有のセラミック補強セラミツクプリブレグすなわち補強繊維、セラミックス粒子、未硬化樹脂、硬化剤および溶剤などからなるプリプレグについては通常 1 5 0〜2 2 0 °Cであり、セラミック粉体については室温から 1 4 0 °Cであり、 -熱可塑性樹脂プリブレグについては樹脂の流動温度以上である。このような加熱温度範囲は、これまでの例 1〜1 5において加熱手段で加熱される温度範囲にも適用される。

加熱時間としては、成形前駆体がプリブレグである場合に、加圧下で Bステージの樹脂を硬化させるために 3 0分以上の加熱時間を要することがある。また、成形前駆体が熱可塑性樹脂のプリブレグであるときには、 3 0分よりも更に短い加熱時間であっても良いことがある。

前述した例 1〜1 5に示される加圧成形装置を使用するところの、加圧成形時の成形型内の排気減圧度としては、減圧度の高い程好ましく、セラミックグリーンシートやセラミック粉体では 1 T o r r以下、好ましくは 0 . Ι Τ Ο Γ Γ以下であるが、流動性の高いプリプレグではそれほど高真空にする必要はなく、少なくとも 2 0 Τ Ο Γ· Γ以下、好ましくは 5 Τ o r r以下である。

成形時の流体圧力は未硬化樹脂を含むプリプレグでは 1 ~ 5気圧、通常 1 . 5 〜3気圧であり、セラミックグリーンシートでは 2 0 0〜2， 0 0 0気圧、好ましくは 3 5 0〜4 0 0気圧であり、セラミック粉体では 5 0 0〜5， 0 0 0気圧、好ましくは 1 ， 0 0 0〜4， 2 0◦気圧である。熱可塑性樹脂プリプレグでは温度によって異なり、高温ではさほど高圧を要しないが、流動温度に近い程高圧が必要になる。しかし 1 0気圧までで十分である。

未硬化樹脂を含むプリプレグでは硬化するまで 3 0分以上の加熱と加圧とを継続するのが通常である。その外では 3〜3 0分の範囲内であり、通常、セラミツク粉体では約 1 0分、グリーンシートでは約 2 0分である。

加圧成形時の圧力変動としては、成形型内の圧力が所定の減圧度に達し、かつ成形型に印加する圧力力 S所定の圧力に達してから、所定期間毎に所定の降圧を行い、所定の加圧と所定の降圧とを所定回数繰り返すことを挙げることができる。また、柔軟性膜に印加する圧力力所定の高圧力に到達してから所定時間その圧力に維持し、次いでその印加圧力を所定の圧力に降圧し、降圧した圧力のまま所定時間保持するようにしても良い。

降圧時の流体圧力としては成形型内圧力以上であってそれよりも高い 2気圧以下の圧力であり、好ましくは成形型内圧力以上であってそれよりも高い 1気圧以下の圧力である。もっとも、通常は降圧時の流体圧力を常圧に戻している。また、成形型内圧力と同じかそれ以下にする ©は避けるべきである。シール効果が破壊されることがあるからである。

加圧成形時の圧力低減時間としては、通常 1〜2分である。

成形型に印加する圧力は、通常、加圧流体により行われる。

次に加圧成形の種々の態様について説明する。

たとえば図 4 2に示す構造の成形型を用いるときには、静水圧プレス装置を用いて加圧成形をするのが好ましい。図 4 2に示すように、複数枚のセラミックグリーンシートを積層状態で開口部に収容してなる成形型を静水圧プレス装置における加圧室内に収容する。ここで、この静水圧プレス装置は、たとえば耐圧容器内に設けられた加圧室と、この加圧室内に収容された成形型における排気口に連絡して成形型内を減圧にする減圧手段と、この加圧室内に圧力媒体を導入するところの、たとえば、加圧室内に開口する圧力媒体導入口、その圧力媒体導入口に連続する圧力媒体導入路、その圧力媒体導入路内に圧力媒体を供給する圧力媒体供給ポンプなどからなる圧力媒体導入手段とを備える。このような静水圧プレス装置における加圧室内に前記成形型を収容し、成形型における排気口を前記減圧手段に接続する。そして、加圧室内の成形型における開口部内を前記排気手段により減圧にすると共に、圧力媒体導入手段により前記加圧室内に圧力媒体を導入する。加圧室内を所定の高圧力に到達させ、また成形型内を所定の減圧に到達させてから、所定時間の経過後に、前記圧力を硬化させ、圧力を硬化させた状態でさらに元の降圧に戻し、このような圧力降下を所定回数繰り返す。この加圧成形時に、必要があれば、セラミックグリーンシートを所定の温度に加熱するのも良レ、。カロ'圧成形時には、柔軟性膜で形成された袋体を介して加圧流体による高圧力がセラミックグリーンシートに印加され、成形体が形成される。この加圧成形時にセラミックグリ一ンシー卜内でガスが発生したとしても、前記圧力降下を繰り返すことにより、その発生ガスがお気口から排気される。

所定時間の経過後に加圧室内の圧力媒体を排出し、成形体内の減圧を常圧に戻すことによって、加圧成形操作を終了する。

図 4 3に示す成形型についても前記静水圧プレス装置を使用して加圧成形を行うことができる。この場合、図 4 3に示す成形型においては、第 1の柔軟性膜および第 2の柔軟性膜を介して成形前駆体に加圧力が印加される。

図 4 4に示す成形型においては、基体 4'2 4における凹陥部 4 2 3内の第 1の柔軟性膜 4 2 5上にシ一卜状の複数枚の成形前駆体 4 2 2を重ねて配置する。多数の成形前駆体 4 2 2を収容した凹陥部 4 2 3の上方開口部を第 2の柔軟性膜 4 2 6で覆蓋する。第 2の柔軟性膜 4 2 6で覆蓋された凹陥部 4 2 3における上部開口部を、さらに蓋体 4 2 7で覆蓋する。この蓋体 4 2 7を固定部材 3 2で固定する。この固定部材 3 2による固定は、成形前駆体 4 2 2たとえばグリーンシートの加圧成形時に蓋体 4 2 7が上部開口部から突出するのを阻止するように、固定部材 3 2で蓋体 4 2 7を基体に固定する、あるいは蓋体 4 2 7の上端面に固定部材 3 2を配置するなどにより、実現することができる。

次いで、述排気流路 4 3 1から凹陥部 4 2 3内のエアーを排気して、凹陥部 4 2 3内を高度の減圧状態にする。このエアーの排気と同時に、あるいはエアーの排気を完了してから、次のようにして成形前駆体 4 2 2の加圧成形を行う。すなわち、第 1圧力流体導入流路 4 2 8により第 1の柔軟性膜 4 2 5と凹陥部 4 2 3の底面との間に圧力流体を圧入し、第 2圧力流体導入流路 4 2 9により第 2の柔軟性膜 4 2 6と蓋体 4 2 7との間に圧力流体を圧入する。これによつて、第 1の柔軟性膜 4 2 5および第 2の柔軟性膜 4 2 6を介して、導入された圧力流体による加圧力が、積層された複数枚の成形前駆体 4 2 2に印加され、複数枚の成形前駆体 4 2 2が一体化する。このとき、積み重ねられた複数枚の成形前駆体 4 2 2には、固定部材 3 2により蓋体 4 2 7が固定されているので、第 1の柔軟性膜 4 2 5と第 2の柔軟性膜 4 2 6とによって互いに向き合うべクトル方向の加圧力が作用する。

圧力'流体による加圧成形に際し、所定間隔毎に降圧を繰り返して圧力流体による加圧変動を生じさせる。所定時間の加圧成形力 '終了してから、蓋体 4 2 7と第 2の柔軟性膜 4 2 6との間の加圧流体による圧力を常圧に戻すのと同時に、基体における凹陥部 4 2 3の底面と第 1の柔軟性膜 4 2 5との加圧流体による圧力を常圧に戻す。固定部材 3 2による蓋体 4 2 7の固定を解除し、蓋体 4 2 7を凹陥部 4 2 3の上部開口部から取り外す。第 1圧力流体導入流路 4 2 8により、第 1 の柔軟性膜 4 2 5と凹陥部 4 2 3の底面との間に圧力流体を圧入することにより、成形体であるセラミックス積層体を凹陥部 4 2 3から押し出す。押し出されたセラミックス積層体を凹陥部 4 2 3力取り出す。

粉体等の成形前駆体を加圧成形する場合においても、本質的には、成形型内を所定の減圧にすると共に柔軟性膜を介して成形型内の成形前駆体に圧力を印加し、その印加している圧力に変動を与えることにより、この発明の方法の加圧成形を行うことができる。

この発明の加圧成形方法は、例 1〜1 5で示された加圧成形装置あるいは加圧成形体製造装置を使用して実施することもできる。

例えば図 1 9に示す加圧成形装置を使用する場合、初期状態としては、ヨーク 1 0 5力⁵'圧力容器本体 1 0 1力ら退避した位置に待機している。また蓋部材本体 1 2 9力筒状体である第 1本体 1 0 6の下方開口部から退避した位置に、待機している。

この状態で突出部 1 2 8の上面に、成形前駆体である積層シー卜 1 2 4を配置する。蓋部材本体 1 2 9を水平に回動し、突出部 1 2 8が第 1本体 1 0 6の下方開口部の真下に位置すると、蓋部材本体 1 2 9を上昇させて、突出部 1 2 8を第 1本体 1 0 6の下方開口部内に嵌合させる。この突出部 1 2 8を下方開口部内に嵌合する際に、前記気体導入排出路 1 4 1 気体導入排出路 1 4 1を介して素材収容空間内を減圧にすると、突出部 i 2 8の下方開口部内への嵌合が迅速に行われる（瞬時に嵌合が行われると言っても良し、。 ) 。突出部 1 2 8が下方開口部内に嵌合した後、ヨーク 1 0 5が水平移動して、その作用開口部 1 4 5内に圧力容器本体 1 0 1を収容する。

次いで、圧力媒体導入排出路 1 2 1から圧力媒体収容空間 1 1 8内に圧力媒体が圧入される。圧力媒体の圧入により弾性部材 1 0 3を介して圧力力 ^積層シート 1 2 4'に印加される。圧力媒体による圧力は、前記蓋部材本体 1 2 9を下方に押し下げる力となって蓋部材本体 1 2 9に作用するが、蓋部材本体 1 2 9はヨーク 1 0 5における下部水平部 1 4 4により規制されているので蓋部材本体 1 2 9は下方に下降することができず、一方蓋部材本体 1 2 9が下降不可能であるから、圧力媒体による圧力は、覆蓋部材である第 2本体 1 0 7を上昇させる力となって作用するが、第 2本体 1 0 7は上昇不可能にヨーク 1 0 5の上部水平部 1 4 3に規制されているので第 2本体 1◦ 7は上昇することができない。その結果、弾性部材 1 0 3と突出部 1 2 8の上面とで積層シー卜 1 2 4は高圧に加圧される。また、前記気体導入排出路 1 4 1を介して素材収容空間内の気体を排気することにより、素材収容空間内を高減圧にする。

そして、前記圧力媒体収容空間内に圧入されている圧力媒体を圧力媒体導入排出路 1 2 1から排出したりあるいは圧入したりすることにより、圧力媒体による圧力を変動させる。この圧力変動の態様としては既に述べたとおりである。所定時間をかけて圧力媒体による加圧と素材収容空間内の減圧とを維持した後に、気体導入排出路 1 4 1を介して素材収容空間内に気体を導入して常圧に戻すと共に、圧力媒体収容空間 1 1 8内に圧入されている圧力媒体を圧力媒体導入排出路 1 2 1を介して排出して加圧力を除去する。

これによつて圧力媒体による加圧力が実質的に 0となつた状態で、前記ヨーク 1 0 5を水平移動させて作用空間 6 3から圧力容器本体 1 0 1を退避させる。気体導入排出路 1 4 1を通じて素材収容空間内に気体を圧入しつつ、図示しない駆動手段を駆動することにより、蓋部材本体 1 2 9を下降させて突出部 1 2 8 を下方開口部から引き抜く。このとき素材収容空間内に気体を圧入するので、突出部 1 2 8の下方開口部からの引き抜きが非常に円滑かつ迅速に行われる。また、好ましくは、突出部 1 2 8を下方開口部から引き抜く際に、素材収容空間内に気体を圧入すると共に、圧力媒体収容空間 1 1 8内の圧力媒体を圧力媒体導入排出路 1 2 1を介して吸引除去する。つまり素材収容空間内を加圧状態にすると共に圧力媒体収容空間 1 1 8内を減圧にする。この加圧状態と減圧状態とで、加圧成形時に素材収容空間側に膨満していた弾性部材 1 0 3が元の状態に押し戻される。その結果、弾性部材 1 0 3が元の平らな状態に戻るので、次の加圧成形にそのまま着手することができる。し力 >も、突出部 1 2 8が第 1本体 1 0 6 の下方開口部から引き抜かれる際に、弾性部材 1 0 3が引張力により破損することもない。

図 1 9に示す加圧成形装置は、蓋部材本体 1 2 9が第 1本体 1 0 6の下方開口部に装着され、第 1本体 1 0 6の上方開口部に第 2本体 1 0 7が結合されているが、図 1 9に示す加圧成形装置の変形例として、第 1本体 1 0 6の上方開口部に蓋部材本体 1 2 9が装着され、第 1本体 1 0 6の下方開口部に第 2本体 1 0 7が結合されてなる構造の加圧成形装置を挙げることができる。つまり、図 1 9に示す加圧成形装置の天地を逆転した状態である加圧成形装置を、変形例として挙げることができる。この変形例は例えば図 1 2などで示される。この変形例としての加圧成形装置は、図 4 4に示す加圧成形'装置の作用効果と同じ作用効果を奏することができる。

また加圧成形装置としては前記静水圧プレス装置の外に、たとえば『「粉体成形ハンドブック」、日本粉体工業技術研究会編』に記載されたラバ一プレス装置などを使用することができる。

上記の説明においては、簡単のために型の周囲が平面のもののみを示したが、曲面であつても本発明を有効に適用することができ、欠陥のない球状成形体、ドーム状成形体、格子状成形体、パイプ状成形体、ネジレ面状成形体などを成形することができる。

-成形体 - この発明の方法によると、成形型の構造により様々の成形体が製造される。この発明の方法により製造される成形体としては、セラミックコンデンサ、航空機用大型レーダードーム、その他の航空機部品、潜水艦用レーダードーム、潜水艦用ソナードーム、 I Cパッケージ、バルブ弁体、ポンプインペラ、タービンブレード、ジェットェンジン排気口ブラグ、炉の材料などを挙げることができる。また公知の F R P成形体もこの発明の方法により成形することができる。

(例 1 6 )

その表面の一部に内部電極を形成してなるセラミックグリーンシート（1 4 0 m m x 1 4 0 mm X 2 mm) すなわち成形前駆体 4 2 2を 1 0 0枚積層してなる積層体を、図 4 4に示す構造を有する成形型 4 2 1における凹陥部 4 2 3に装填した。 'なお、この実施例においては、図 4 4における凹陥部 4 2 3はその水平断面が 1 4 O mm x 1 4 O mmの正方形をなし、その深さは 1 0 mmであり、このような 1個の凹陥部 4 2 3が基体 4 2 4に設けられている。

前記凹陥部 4 2 3に前記積層体を装填した後、第 2の柔軟性膜 4 2 6で凹陥部 4 2 3の開口部を閉鎖し、蓋体 4 2 7を基体開口部に装着した。基体 4 2 4および蓋体 4 2 7からなるプレス装置本体をフレームヨークすなわち固定部材 3 2の開口部に位置させた。

次いで、気体排気流路 4 3 1から凹陥部 4 2 3内が 0 . 1 T o r rになるまで排気し、その後排気操作を停止したが凹陥部 4 2 3内が前記減圧度に維持されるようにした。このような状態下で、第 1圧力流体導入流路 4 2 8および第 2圧力流体導入流路 4 2 9を介して 8 0 °Cの圧力流体を圧入して第 1の柔軟性膜 4 2 5 および第 2の柔軟性膜 4 2 6に 3 0 0気圧の圧力を印加した。圧力媒体による圧力を 3 0 0気圧に 1 5分間維持し、その後に加圧を解除して加圧成形品（以下、 1サイクル加圧成形品と称する。）を得た。このときの加圧と減圧とのサイクルとしては 1サイクルである。

また別に、上記と全く同様にして加圧と減圧を 2サイクル繰り返して、加圧成形品（以下、 2サイクル加圧成形品と称する。）を取り出し、又別個に、上記と全く同様にして加圧と減圧を 3サイクル繰り返して、加圧成形品（以下、 3サイクル加圧成形品と称する。）を取り出した。

前記のようにして 2個の 1サイクル加圧成形品、 2個の 2サイクル加圧成形品および 2個の 3サイクル加圧成形品それぞれを約 5 m m口の製品に切り分けて 1 0 0個のサンプルを取り、焼成炉で 4 5 0 °Cに 3日間焼成し、その後に 1， 3 0 0 °Cで 4時間焼成した。各サンプルの積層断面を光学顕微鏡で層間の亀裂の有無を調べた。亀裂が 1箇所でもあればその積層物は不良品であると評価した。

1サイクル加圧成形品についてはサンプル 1 0 0個中1 9個の不良品があり、 2サイクル加圧成形品についてはサンプル 1 0 0個中 7個の不良品があり、 3サィクル加圧成形品についてはサンプル 1 0 0個中 2個の不良品があった。これらの結果から、成形前駆体を加圧成形する際に加圧と減圧とを繰り返すことにより、つまり加圧成形に際して圧力変動を起こさせると不良品発生を防止して歩留り良ぐ製品を製造することができたことが理解される。

Claims

言青求の範0

1 . 一端に開口部を有し、かつその開口部に対応する内部端面を有する凹陥部を備えてなる圧力容器本体と、前記凹陥部の開口部を閉鎖する蓋体と、圧力容器本体の開口部に蓋体を装着してなる圧力容器内に収容されたところの、成形前駆体を加圧成形する際に、前記蓋体と圧力容器本体とが分離不可能に、前記蓋体と圧力容器本体とを固定する固定部材と、前記凹陥部内を加熱する加熱手段とを有し、

前記固定部材は、加圧成形の際には、圧力容器本体の開口部に蓋体を装着してなる圧力容器の上下端面を規制する水平部材を備えてなるところの、圧力容器を収容可能な空間を中央部に備えた枠体であり、非加圧成形の際には、圧力容器本体から離れた位置に退避可能に構成されてなることを特徴とする加圧成形装

2 . 一端に開口部を有し、かつその開口部に対応する内部端面を有する凹陥部を備えてなる圧力容器本体と、前記凹陥部の開口部を閉鎖する蓋体と、圧力容器本体の開口部に蓋体を装着してなる圧力容器内に収容されたところの、成形前駆体を加圧成形する際に、前記蓋体と圧力容器本体とが分離不可能に、前記蓋体と圧力容器本体とを固定する固定部材と、前記凹陥部内を加熱する加熱手段とを有し、

前記蓋体は、前記凹陥部の開口部を液密に覆蓋する第 2弾性部材と、第 2弾性部材により覆蓋されたところの、圧力流体を収容する加圧空間と、この加圧空間内に圧力流体を圧入する第 2圧力流体供給手段とを備え、

3 . 一端に開口部を有し、力つその開口部に対応する内部端面を有する凹陥部を備えてなる圧力容器本体と、前記凹陥部の開口部を閉鎖する蓋体と、圧力容器本体の開口部に蓋体を装着してなる圧力容器内に収容されたところの、成形前駆体を加圧成形する際に、前記蓋体と圧力容器本体とが分離不可能に、前記蓋体と圧力容器本体とを固定する固定部材と、前記凹陥部内を加熱する加熱手段とを有し、

前記圧力容器本体は、前記成形前駆体 ¾収容する被加圧物収容空間と圧力流体を収容する圧力流体収容空間とに隔絶するように凹陥部内に液密に張設された第 1弾性部材と、前記圧力流体収容空間内に圧力流体を圧入し、圧力流体収容空間内に圧入された圧力流体を排出する第 1圧力流体導出入手段と、前記被加圧物収容空間内に気体を導入し、また排出する気体導入排出手段とを備え、

. 前記蓋体は、前記凹陥部の開口部を液密に覆蓋する第 2弾性部材と、第 2弾性部材により覆蓋されたところの、圧力流体を収容する加圧空間と、この加圧空間内に圧力流体を封入してなる圧力流体層とを備え、

4 . 一端に開口部を有し、力つその開口部に対応する内部端面を有する凹陥部を備えてなる圧力容器本体と、前記凹陥部の開口部を閉鎖する蓋体と、圧力容器本体の開口部に蓋体を装着してなる圧力容器内に収容されたところの、成形前駆体を加圧成形する際に、前記蓋体と圧力容器本体とが分離不可能に、前記蓋体と圧力容器本体とを固定する固定部材と、前記凹陥部内を加熱する加熱手段とを有し、

前記蓋体は、前記凹陥部の開口部内に嵌挿されてこれを閉鎖する突出部と、凹陥部内の被加圧物収容空間内に気体を導入し、また被加圧物収容空間内から気体を排出する気体導出入手段とを備えてなることを特徴とする加圧成形装置。

5 . 前記成形前駆体がセラミックス製のグリーンシー卜である前記請求項 1〜 4のいずれかに記載の加圧成形装置。

6 . 前記圧力容器本体が内面円筒の第 1本体と前記第 1本体と積み重ね可能に形成され、力つ前記圧力容器本体における内面円筒と同怪の内面円筒状の凹部を備えてなる第 2本体とを備え、前記第 1本体と第 2本体との積み重ね部分に、第 1弾性部材を挟み込む弾性部材挟み込み部と前記弾性部材挟み込み部の外側であつて、断面くさび型のバックアツプリングを装着する断面くさび型のバックアツプリング装着部を備えてなることを特徴とする前記請求項 1〜4のいずれかに記載の加圧成形装置。

7 . 前記圧力容器本体は、蓋部材の装着される開口部およびその開口部とは反対側に開口する対向開口部を備えてなる筒状体と、その対向開口部に装着される閉鎖部材とを有してなる前記請求項 1〜 4のいずれかに記載の加圧成形装置。

8 . 前記第 1圧力流体導出入手段が、圧力媒体を吸引吐出するポンプと、前記ポンプにより圧力媒体貯留槽から圧力媒体収容空間に圧力媒体を圧送する供給配管系と前記ポンプにより圧力媒体収容空間から圧力媒体貯留槽に圧力媒体を排出する排出配管系とに配管系を切り替える切り替え手段とを備えてなる前記請求項 1〜4のいずれかに記載の加圧成形装置。

9 . 前記蓋体の凹陥部に臨む面に离型性部材が介装されてなる前記請求項 1〜 4のいずれかに記載の加圧成形装置。

1〇 . 前記第 2弾性部材は前記凹陥部に臨む面に第 1硬質板材が重ねて配置されてなる前記請求項 2〜 4のいずれかに記載の加圧成形装置。

1 1 . 前記凹陥部が複数個設けられてなる前記請求項 1〜4のいずれかに記載の加圧成形装置。

1 2 . 前記凹陥部の開口部縁辺に傾斜部が設けられてなる前記請求項 1〜4のレ、ずれかに記載の加圧成形装置。

1 3 . 前記第 1弾性部材の縁辺が凹陥部の内壁面に設けられた間隙に装入されてなる前記請求項 1〜4のいずれ力に記載の加圧成形装置。

1 4 . 前記請求項 1〜4のいずれかに記載の加圧成形装置において、前記素材収容空間内を気体導入排出手段により減圧にするときに、素材収容空間内の気体を前記気体導入排出手段により排出可能にする通気確保手段を有してなることを特徴とする加圧成形装置。

1 5 . 前記第 1弾性部材が、被加圧物収容空間と圧力流体収容空間とを隔てて配設され、力つ多数の貫通穴を備えてなる支持部材における、被加圧物収容空間側の表面に配設されたシール部材の表面に配設されてなることを特徴とする前記請求項 1〜4のいずれかに記載の加圧成形装置。

1 6 . 前記通気確保手段が、前記第 1弾性部材の被加圧物収容空間に向かう表面に形成されてなる溝である前記請求項 1 4に記載の加圧成形装置。

1 7 . 前記通気確保手段が、前記第 1弾性部材の被加圧物収容空間に向かう表面であって、成形前駆体の載置される領域以外の領域に形成された溝である前記請求項 1 4に記載の加圧成形装置。

1 8 . ' 前記通気確保手段が、成形前駆体を収容可能とした開口空間部を備えて前記被加圧物収容空間内に配置されるスぺーザの蓋体に向かう面に形成された溝である前記請求項 1 4に記載の加圧成形装置。

1 9 . 前記通気確保手段が、成形前駆体を収容可能とした開口空間部を備えて前記被加圧物収容空間内に配置されるスぺーザの蓋体に向かう面に設けられた網部材である前記請求項 1 4に記載の加圧成形装置。

2 0 . 一端に開口部を有し、かつその開口部に対応する内部端面を有する凹陥部を有し、前記凹陥部内に張設された弾性部材を備えてなる圧力容器本体と、前記凹陥部における前記内部端面、凹陥部の内周面および前記弾性部材により形成される第 1圧力流体収容空間内に、圧力流体を圧入し、また排出する圧力流体導入排出手段と、前記凹陥部内に挿入される挿入本体と、圧力容器本体の凹陥部内に挿入本体を装着してなる圧力容器内に収容されたところの、成形前駆体を加圧成形する際に、前記挿入本体と圧力容器本体とが分離不可能に、前記挿入本体と圧力容器本体とを固定する固定部材と、前記成形前駆体を加熱する加熱手段とを有し、

前記挿入本体が、シリンダーとピストンとを備え、

前記シリンダーは、前記凹陥部の内周面に摺接する外周面と、ピストンの先端外周面に摺接する内周面と、前記ピストンの先端面と前記内周面とで形成されるところの、前記成形前駆体を収容する被加圧物収容空間と、ピストンを駆動するビストン駆動手段とを備えることを特徴とする加圧成形装置。

2 1 . 前記成形前駆体がセラミックス製のグリーンシートである前記請求項 2 0に記載の加圧成形装置。

2 2 . 前記シリンダーは、前記被加圧物収容空間内の気体を排気し、また、被加圧物収容空間内に気体を導入する気体導出入手段を備えてなる前記請求項 2 0 に記載の加圧成形装置。

2 3 . " 一端に開口部を有し、かつその開口部に対応する内部端面を有する凹陥部を備えてなる圧力容器本体と、前記凹陥部の開口部内に嵌挿されてこれを閉鎖する突出部を有する蓋体とを備え、

前記蓋体は、凹陥部内の気体を導入し、また凹陥部内から気体を排出する気体導出入手段を備えてなることを特徴とするセラミックス積層体の製造装置。

2 4 . 前記請求項 1〜4のいずれかに記載の加圧成形装置を使用し、凹陥部における被加圧物収容空間内に成形前駆体を収容し、成形前駆体を収容する凹陥部の開口部に蓋体を装着してなる圧力容器を固定部材の中央部に配置し、その後に、第 1圧力流体供給手段により凹陥部内の内部端面と第 1弾性部材との間に圧力流体を圧入すること、および加熱手段により凹陥部内を加熱しつつ気体導入排出手段により被加圧物収容空間内を排気することにより、成形体に成形し、その後に気体導入排出手段により気体を導入することにより被加圧物収容空間内を常圧に戻すと共に第 1圧力流体供給手段により圧力流体収容空間内の圧力流体を排出し、固定部材を圧力容器から退避させ、次いで、圧力容器本体から蓋体を除去してから第 1圧力流体供給手段により圧力流体収容空間内に圧力流体を圧入することにより、成形体を被加圧物収容空間から押し出すことを特徴とする成形体の製造方法。

2 5 . 被加圧物収容空間内の成形前駆体を圧力流体で加圧する際に、前記圧力流体による加圧力を変動させることを特徴とする前記請求項 2 4に記載の成形体の製造方法。

2 6 . 前記加圧流体における圧力変動の最低圧力値が大気圧以下である前記請求項 2 5に記載の成形体の製造方法。

2 7 . 前記加圧流体が液体である前記請求項 2 5に記載の成形前駆体の加圧成形方法。

2 8 . 前記成形前駆体がセラミックグリーンシー卜である前記請求項 2 5に記載の成形前駆体の加圧成形方法。

2 9 . 非通気性の柔軟性膜および排気口を備えてなる成形型内に成形前駆体を収容し、前記成形型内を減圧下に維持し、圧力変動を有する加圧流体で前記柔軟性膜を介して前記成形前駆体を加圧することを特徴とする成形前駆体の加圧成形方法。

3 0 . 前記加圧流体における圧力変動の最低圧力値が大気圧以下である前記請求項 2 9に記載の成形前駆体の加圧成形方法。

3 1 . 前記加圧流体が液体である前記請求項 2 9または 3 0に記載の成形前駆体の加圧成形方法。

3 2 . 前記成形前駆体がセラミックグリーンシートである前記請求項 2 9〜 3 1のいずれかに記載の成形前駆体の加圧成形方法。