TWM519320U - 乾膜壓合裝置 - Google Patents

Description

乾膜壓合裝置

本創作係有關於乾膜壓合裝置，尤指一種氣壓式乾膜壓合裝置。

基材貼膜裝置用於將具有特定功能的乾膜貼附在晶圓基材上，為了使乾膜能夠有效地發揮其功效，因此乾膜與基材之間必需完全密合貼附。現有的基材貼膜裝置採用充氣的矽膠氣囊對乾膜加壓而將乾膜貼附在基材上，氣囊為彈性材質所製成因此在重覆充氣使用後會因材料疲乏而影響貼膜的精確性，故氣囊為必需視消耗程度而更換的耗材，其增加了製程的成本。

有鑑於此，本創作人遂針對上述現有技術，特潛心研究並配合學理的運用，盡力解決上述之問題點，即成為本創作人改良之目標。

本創作提供一種氣壓式乾膜壓合裝置。

本創作提供一種乾膜壓合裝置，係用於將具有特定功能性的一乾膜貼附至一基材，其包含一載台、一壓台及一供料輪。載台用於承載基材。壓台與載台相對配置且能夠相對於載台移動，壓台具有一吹嘴且吹嘴朝向載台配置用以直接對乾膜吹氣。供料輪能夠旋轉而將述乾膜供應至載台與壓台之間。

較佳地，乾膜壓合裝置更包含一第一收料輪，與供料輪相對配置在載台的二側，乾膜跨越載台且乾膜的二端分別捲撓在供料輪及第一收料輪。 乾膜上貼附有一離形膜，乾膜壓合裝置更包含供離形膜捲撓的一第二收料輪，離形膜的二端分別捲撓在供料輪及第二收料輪，且第二收料輪與供料輪配置在載台的同一側。

較佳地，乾膜壓合裝置更包含一分膜導輪，分膜導輪配置在供料輪、第一收料輪及第二收料輪之間。分膜導輪與第一收料輪相對配置在載台的二側。

較佳地，乾膜壓合裝置更包含一定位機構，定位機構包含用以導引乾膜的一脫膜導輪，且脫膜導輪連接一組升降致動器而且配置在該供料輪、該第一收料輪及該第二收料輪之間。脫膜導輪連接一水平位移致動器且能夠被水平位移致動器帶動。分膜導輪連接另一組升降致動器上而且配置在供料輪、第一收料輪及第二收料輪之間。當乾膜跨設在脫膜導輪以及分膜導輪之間時，脫膜導輪以及分膜導輪分別接觸乾膜的不同面。

較佳地，乾膜壓合裝置更包含對應載台配置的一裁刀。

本創作的乾膜壓合裝置藉由氣流將乾膜貼附於基材而能夠使乾膜與基材之間完全密合貼附。

10‧‧‧乾膜

11‧‧‧離形膜

20‧‧‧基材

100‧‧‧載台

101‧‧‧定位槽

102‧‧‧氣密膠條

200‧‧‧壓台

210‧‧‧吹嘴

300‧‧‧供料輪

410‧‧‧第一收料輪

420‧‧‧第二收料輪

500‧‧‧定位機構

510‧‧‧脫膜導輪

520‧‧‧分膜導輪

530‧‧‧升降致動器

540‧‧‧水平位移致動器

600‧‧‧裁刀

圖1係本創作較佳實施例之乾膜壓合裝置之示意圖。

圖2係圖1中本創作較佳實施例之乾膜壓合裝置之局部放大圖。

圖3係本創作較佳實施例之乾膜壓合裝置之一作動示意圖。

圖4係圖3中本創作較佳實施例之乾膜壓合裝置之局部放大圖。

圖5係本創作較佳實施例之乾膜壓合裝置之壓合作動示意圖。

圖6係圖5中本創作較佳實施例之乾膜壓合裝置之局部放大圖。

圖7係本創作較佳實施例之乾膜壓合裝置之一貼膜作動示意圖。

圖8係本創作較佳實施例之乾膜壓合裝置之另一貼膜作動示意圖。

圖9係本創作較佳實施例之乾膜壓合裝置之裁切作動示意圖。

圖10係圖9中本創作較佳實施例之乾膜壓合裝置之局部放大圖。

參閱圖1及圖2，本創作之較佳實施例提供一種乾膜壓合裝置，係用於將具有特定功能的一乾膜10貼附至一基材20，於本實施例中，乾膜10具有光阻之特性，基材20較佳地為一晶圓，但基材20也可以是玻璃或是其他材料製成，本創作不以此為限。於本實施例中，乾膜10較佳地呈帶狀，且其至少在用於貼附基材20的一面上貼覆有一離形膜11藉此避免沾黏塵粒。本創作的乾膜壓合裝置包含有一載台100、一壓台200、一供料輸300、一第一收料輪410、一第二收料輪420、一定位機構500及一裁刀600。

於本實施例中，載台100較佳地呈水平配置，其用於水平承載基材20，且載台100上較佳地設有一定位槽101，定位槽101供基材20置入其中而能夠定位於載台100上，且定位槽101的外緣較佳地設置有氣密膠條102。壓台200與載台100相對配置且能夠相對於載台100移動，壓台200具有一吹嘴210且吹嘴210下向配置而朝向載台100，再者吹嘴210對應定位槽101的中心配置。供料輪300用於供乾膜10捲撓於其上，供料輪300能夠旋轉而將述乾膜10供應至載台100與壓台200之間。第一收料輪410與供料輪300相對配置在載台100的二側，乾膜10跨越載台100且帶狀的乾膜10的二端分別捲撓在供料輪300及第一收料輪410。第二收料 輪420供離形膜11捲撓，於本實施例中離形膜11的二端分別捲撓在供料輪300及第二收料輪420。於本實施例中，第二收料輪420與供料輪300配置在載台100的同一側。定位機構500包含用以導引乾膜10的一脫膜導輪510、一分膜導輪520以及至少一組升降致動器530，於本實施例中，脫膜導輪510及分膜導輪520設置在不同的的升降致動器530上而能夠分別被各組升降致動器530帶動升降。再者，脫膜導輪510可以直接或間接連接一水平位移致動器540，脫膜導輪510能夠被水平位移致動器540帶動而在水平方向上相對於分膜導輪520移動，且脫膜導輪510配置在供料輪300、第一收料輪410及第二收料輪420之間。分膜導輪520與第一收料輪410相對配置在載台100的二側，且分膜導輪520配置在供料輪300、第一收料輪410及第二收料輪420之間。裁刀600對應載台100配置。

本創作的乾膜壓合裝置其使用時作動如後述。參閱圖1及圖2，乾膜10的一部分跨設在脫膜導輪510及分膜導輪520之間。分膜導520輪接觸離形膜11，當乾膜10通過分膜導520時，分膜導520引導離形膜11轉向至第二收料輪420而與乾膜10分離。由於乾膜10用以貼附基材的一面可具有黏性，因此脫膜導輪510則接觸乾膜10的另一面藉此避免脫膜導輪510沾黏乾膜10。藉由升降致動器530抬升脫膜導輪510及分膜導輪520而使得乾膜10懸於載台100上方，且乾膜10與載台100之間具有足夠的空間以供將基材20置於載台100上。於本實施例中帶狀的乾膜10經由供料輪300捲動而連續輸送至基材20上方。但乾膜10也可以預先裁切為獨立的條狀或片狀，經由人工放置方式或供料輪300推動之方式依序置於基材20上方，且能夠遮蔽氣密膠條102。藉由供料輪300及第一收料輪410配合旋轉而能夠將乾膜10自供料輪300越過載台100而輸送至第一收料輪410。乾膜10貼有離形膜11的一面朝向載台100，且藉由分膜導輪520能夠在乾膜10上待貼附的部分輸送 至載台100之前預先將離形膜11自乾膜10上剝離，被剝離的離形膜11則被第二收料輪420捲收。待基材20安置於載台100上之後，再藉由前述之機構作動將待貼附的乾膜10移除離形膜11後再輸送至基材20上方。

參閱圖3及圖4，藉由升降致動器530將脫膜導輪510及分膜導輪520朝向載台100降下而使待貼附的乾膜10靠近基材20，且乾膜10與基材20之間具有間隙。

參閱圖5及圖6，將壓台200向下移向載台100至接觸乾膜10，其較佳地將乾膜10壓制固定於載台100上。且壓台200抵壓氣密膠條102而使乾膜10與定位槽內101之間呈氣密狀態，並且將定位槽內101抽氣呈負壓。

參閱圖7，壓台200藉由其吹嘴210直接向乾膜10吹氣以提供正壓氣源，藉由氣壓差將乾膜10推向定位槽內101的負壓區，而且氣流推擠乾膜10而使乾膜10先接觸基材20的中心。

參閱圖8，當吹嘴210繼續向乾膜10吹氣時，其氣流沿基材20的中心輻射擴散而使乾膜10自基材20的中心向外呈放射狀逐漸覆蓋基材20直至基材20的邊緣。

參閱圖9及圖10，將壓台200向上移離載台100，並且將裁刀600置入載台100與壓台200之間，藉由裁刀600將乾膜10覆蓋基材20的部分裁下將脫膜導輪510沿水平方向朝向分膜導輪520移動以利於將剩餘的乾膜10餘料與載台100分離。因此，乾膜10餘料能夠繼續輸送至第一收料輪410。

本創作的乾膜壓合裝置藉由氣流將乾膜10貼附於基材20，其貼附時能夠自基材20的中心向外呈放射狀逐漸覆蓋基材20。因此能夠使乾膜10與基材20之間完全密合貼附，而且不採用氣囊耗材而能夠降低貼膜製程的成本。

以上所述僅為本創作之較佳實施例，非用以限定本創作之專利範圍，其他運用本創作之專利精神之等效變化，均應俱屬本創作之專利範圍。

10‧‧‧乾膜

11‧‧‧離形膜

20‧‧‧基材

100‧‧‧載台

200‧‧‧壓台

210‧‧‧吹嘴

300‧‧‧供料輪

410‧‧‧第一收料輪

420‧‧‧第二收料輪

500‧‧‧定位機構

510‧‧‧脫膜導輪

520‧‧‧分膜導輪

530‧‧‧升降致動器

540‧‧‧水平位移致動器

600‧‧‧裁刀

Claims (10)

1. 一種乾膜壓合裝置，係用於將一乾膜貼附至一基材，該乾膜壓合裝置包含：用於承載所述基材的一載台；一壓台，與該載台相對配置且能夠相對於該載台移動，該壓台具有用以直接對所述乾膜吹氣的一吹嘴且該吹嘴朝向該載台配置；及一供料輪，該供料輪能夠旋轉而將述乾膜供應至該載台與該壓台之間。
2. 如請求項1所述的乾膜壓合裝置，更包含一第一收料輪，與該供料輪相對配置在該載台的二側，所述乾膜跨越該載台且所述乾膜的二端分別捲撓在該供料輪及該第一收料輪。
3. 如請求項2所述的乾膜壓合裝置，其中所述乾膜上貼附有一離形膜，該乾膜壓合裝置更包含供所述離形膜捲撓的一第二收料輪，所述離形膜的二端分別捲撓在該供料輪及該第二收料輪，且該第二收料輪與該供料輪配置在該載台的同一側。
4. 如請求項3所述的乾膜壓合裝置，更包含一分膜導輪，該分膜導輪配置在該供料輪、該第一收料輪及該第二收料輪之間。
5. 如請求項4所述的乾膜壓合裝置，其中分膜導輪與第一收料輪相對配置在該載台的二側。
6. 如請求項3所述的乾膜壓合裝置，更包含用以導引所述乾膜的一脫膜導輪，該脫膜導輪連接一組升降致動器而且配置在該供料輪、該第一收料輪及該第二收料輪之間。
7. 如請求項6所述的乾膜壓合裝置，其中該脫膜導輪連接一水平位移致動器且能夠被該水平位移致動器帶動。
8. 如請求項6所述的乾膜壓合裝置，更包含一分膜導輪，該分膜導輪連接另一組升降致動器而且配置在該供料輪、該第一收料輪及該第二收料輪之間。
9. 如請求項8所述的乾膜壓合裝置，其中當所述乾膜跨設在該脫膜導輪以及該分膜導輪之間時，該脫膜導輪以及該分膜導輪分別接觸所述乾膜的不同面。
10. 如請求項1所述的乾膜壓合裝置，更包含對應該載台配置的一裁刀。