JP2007311570A - 貼替装置および貼替方法 - Google Patents
貼替装置および貼替方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007311570A JP2007311570A JP2006139405A JP2006139405A JP2007311570A JP 2007311570 A JP2007311570 A JP 2007311570A JP 2006139405 A JP2006139405 A JP 2006139405A JP 2006139405 A JP2006139405 A JP 2006139405A JP 2007311570 A JP2007311570 A JP 2007311570A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- support
- plate
- wafer
- expanded state
- chip
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 16
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 22
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 2
- 238000004804 winding Methods 0.000 abstract 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 42
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 42
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 13
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 description 8
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 4
- 230000001965 increasing effect Effects 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 2
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 2
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000012840 feeding operation Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 230000002195 synergetic effect Effects 0.000 description 1
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Dicing (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
【解決手段】熱収縮可能な第1の支持体1にチップ状のウエハWを支持し、エキスパンド状態とした後、前記ウエハWに第2の支持体2を貼り合わせ、その後、第1の支持体1に加熱手段29によって加熱を行い、その熱によって第1の支持体1が収縮を伴いながらエキスパンド状態から開放されるようにする。
【選択図】図1
Description
2 第2の支持体
4 エキスパンド手段
23 プレスシリンダ(貼合手段)
29 加熱手段
30 温風送風装置
C チップ
M 貼替装置
M3 第2の支持体供給部(供給手段)
M4 分離部(剥離手段)
W ウエハ(板状部材)
Claims (6)
- 熱収縮可能な第1の支持体に支持され、チップ化された板状部材を第2の支持体に貼り替える貼替装置において、
前記第1の支持体を引き伸ばしてエキスパンド状態とすることにより前記板状部材のチップ間隔を広げるエキスパンド手段と、
前記第2の支持体を供給する供給手段と、
前記板状部材のチップ間隔を広げた状態で前記第2の支持体を当該板状部材に貼り合わせる貼合手段と、
前記第2の支持体の貼り合わせ後、前記第1の支持体を剥離する剥離手段と、
前記第1の支持体を加熱するための加熱手段とを有し、
前記第1の支持体が前記加熱手段の熱によって収縮を伴いながらエキスパンド状態から開放されること
を特徴とする貼替装置。 - 前記加熱手段は温風送風装置からなることを特徴とする請求項1に記載の貼替装置。
- 前記温風送風装置は、吹き出る温風が所定方向へ傾くことによって回転し、回転する温風で前記第1の支持体を均等に加熱することを特徴とする請求項2に記載の貼替装置。
- 熱収縮可能な第1の支持体に支持され、チップ化された板状部材を第2の支持体に貼り替える貼替方法において、
前記第1の支持体を引き伸ばしてエキスパンド状態とすることにより前記板状部材のチップ間隔を広げ、この状態で第2の支持体を前記板状部材に貼り合わせ、その後、前記第1の支持体が加熱手段の熱によって収縮を伴いながらエキスパンド状態から開放され、次に、前記第1の支持体を前記板状部材から剥離すること
を特徴とするシート貼替方法。 - 前記加熱手段は温風送風装置からなることを特徴とする請求項4に記載の貼替方法。
- 前記温風送風装置は、吹き出る温風が所定方向へ傾くことによって回転し、回転する温風で前記第1の支持体を均等に加熱することを特徴とする請求項5に記載の貼替方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006139405A JP4632313B2 (ja) | 2006-05-18 | 2006-05-18 | 貼替装置および貼替方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006139405A JP4632313B2 (ja) | 2006-05-18 | 2006-05-18 | 貼替装置および貼替方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007311570A true JP2007311570A (ja) | 2007-11-29 |
JP4632313B2 JP4632313B2 (ja) | 2011-02-16 |
Family
ID=38844148
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006139405A Expired - Fee Related JP4632313B2 (ja) | 2006-05-18 | 2006-05-18 | 貼替装置および貼替方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4632313B2 (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009147087A (ja) * | 2007-12-13 | 2009-07-02 | Hitachi Chem Co Ltd | 接着フィルムの貼付装置及び接着フィルムの貼付方法 |
WO2012026275A1 (ja) * | 2010-08-26 | 2012-03-01 | リンテック株式会社 | シート貼付装置および貼付方法 |
CN103358410A (zh) * | 2012-04-09 | 2013-10-23 | 三菱电机株式会社 | 半导体装置的制造方法 |
JP2013229515A (ja) * | 2012-04-26 | 2013-11-07 | Nec Engineering Ltd | シート貼付システム及びシート貼付方法 |
JP2014027170A (ja) * | 2012-07-27 | 2014-02-06 | Lintec Corp | シート貼付装置およびシート貼付方法 |
JP2015216324A (ja) * | 2014-05-13 | 2015-12-03 | 株式会社ディスコ | 切削装置のチャックテーブル |
CN108054253A (zh) * | 2017-12-29 | 2018-05-18 | 佛山市南海区联合广东新光源产业创新中心 | 一种高效的led扩晶机 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11251407A (ja) * | 1998-03-03 | 1999-09-17 | Citizen Watch Co Ltd | ペレットボンダのエキスパンド装置及びエキスパンド方法 |
JP2002334852A (ja) * | 2001-05-10 | 2002-11-22 | Disco Abrasive Syst Ltd | 被加工物の分割処理方法および分割処理方法に用いるチップ間隔拡張装置 |
JP2004221187A (ja) * | 2003-01-10 | 2004-08-05 | Toshiba Corp | 半導体装置の製造装置及びその製造方法 |
JP2004288690A (ja) * | 2003-03-19 | 2004-10-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品供給方法および電子部品の保持治具 |
WO2005114714A1 (ja) * | 2004-05-24 | 2005-12-01 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | ウェハエキスパンド装置、部品供給装置、及びウェハシートのエキスパンド方法 |
JP2005332931A (ja) * | 2004-05-19 | 2005-12-02 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ウェーハマウンタ |
-
2006
- 2006-05-18 JP JP2006139405A patent/JP4632313B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11251407A (ja) * | 1998-03-03 | 1999-09-17 | Citizen Watch Co Ltd | ペレットボンダのエキスパンド装置及びエキスパンド方法 |
JP2002334852A (ja) * | 2001-05-10 | 2002-11-22 | Disco Abrasive Syst Ltd | 被加工物の分割処理方法および分割処理方法に用いるチップ間隔拡張装置 |
JP2004221187A (ja) * | 2003-01-10 | 2004-08-05 | Toshiba Corp | 半導体装置の製造装置及びその製造方法 |
JP2004288690A (ja) * | 2003-03-19 | 2004-10-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品供給方法および電子部品の保持治具 |
JP2005332931A (ja) * | 2004-05-19 | 2005-12-02 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ウェーハマウンタ |
WO2005114714A1 (ja) * | 2004-05-24 | 2005-12-01 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | ウェハエキスパンド装置、部品供給装置、及びウェハシートのエキスパンド方法 |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009147087A (ja) * | 2007-12-13 | 2009-07-02 | Hitachi Chem Co Ltd | 接着フィルムの貼付装置及び接着フィルムの貼付方法 |
WO2012026275A1 (ja) * | 2010-08-26 | 2012-03-01 | リンテック株式会社 | シート貼付装置および貼付方法 |
JP2012049319A (ja) * | 2010-08-26 | 2012-03-08 | Lintec Corp | シート貼付装置および貼付方法 |
CN103069562A (zh) * | 2010-08-26 | 2013-04-24 | 琳得科株式会社 | 片材粘附装置及粘附方法 |
CN103069562B (zh) * | 2010-08-26 | 2016-05-04 | 琳得科株式会社 | 片材粘附装置及粘附方法 |
KR101744371B1 (ko) | 2010-08-26 | 2017-06-07 | 린텍 가부시키가이샤 | 시트 부착 장치 및 부착 방법 |
EP2610902B1 (en) * | 2010-08-26 | 2020-01-01 | LINTEC Corporation | Sheet adhering device and adhering method |
CN103358410A (zh) * | 2012-04-09 | 2013-10-23 | 三菱电机株式会社 | 半导体装置的制造方法 |
JP2013229515A (ja) * | 2012-04-26 | 2013-11-07 | Nec Engineering Ltd | シート貼付システム及びシート貼付方法 |
JP2014027170A (ja) * | 2012-07-27 | 2014-02-06 | Lintec Corp | シート貼付装置およびシート貼付方法 |
JP2015216324A (ja) * | 2014-05-13 | 2015-12-03 | 株式会社ディスコ | 切削装置のチャックテーブル |
CN108054253A (zh) * | 2017-12-29 | 2018-05-18 | 佛山市南海区联合广东新光源产业创新中心 | 一种高效的led扩晶机 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4632313B2 (ja) | 2011-02-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4632313B2 (ja) | 貼替装置および貼替方法 | |
JP4643514B2 (ja) | 貼替装置および貼替方法 | |
JP2006316078A (ja) | 接着テープの剥離方法及び剥離装置 | |
JP5253996B2 (ja) | ワーク分割方法およびテープ拡張装置 | |
JP2006303012A (ja) | 支持板分離装置およびこれを用いた支持板分離方法 | |
WO1997008745A1 (fr) | Procede et appareil de decollage de la bande de protection adhesive d'une tranche de semi-conducteurs | |
JP2002367931A (ja) | ダイボンディングシート貼着装置およびダイボンディングシートの貼着方法 | |
JP6247075B2 (ja) | 保護テープ剥離方法および保護テープ剥離装置 | |
JP2017191810A (ja) | 保護テープの剥離方法 | |
JP2008028131A (ja) | シート剥離装置およびシート剥離方法 | |
JP2009032853A (ja) | シート貼付装置及び貼付方法 | |
JP2010062270A (ja) | 基板への接着テープ貼付装置 | |
JP2010062270A5 (ja) | ||
JP2009239107A (ja) | ウェーハ処理装置 | |
JP3916553B2 (ja) | 熱接着フィルム貼付方法およびその装置 | |
JP3210743U (ja) | シート貼付装置 | |
WO2020084967A1 (ja) | 被着体処理方法 | |
JP2005317882A (ja) | 貼付テーブル | |
JP6628689B2 (ja) | シート貼付装置および貼付方法 | |
JP5203895B2 (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP2007088038A (ja) | 貼替装置及び貼替方法 | |
JP7149065B2 (ja) | シート剥離装置および剥離方法 | |
JPH02231740A (ja) | ウエハーシートの延伸装置,ウエハーシートの延伸方法,半導体ペレット取出し方法,半導体ペレット取出し装置,インナーリードボンディング装置,インナーリードボンディング方法 | |
JP2001223186A (ja) | 転写テープマウント装置および転写テープマウント方法 | |
JP2020057744A (ja) | 不要シート除去装置および不要シート除去方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090213 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100827 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100831 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101022 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20101110 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101111 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4632313 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131126 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |