TWM466191U

TWM466191U - 接頭

Info

Publication number: TWM466191U
Application number: TW102208413U
Authority: TW
Inventors: Susumu Karasawa
Original assignee: Ihara Science Corp
Priority date: 2012-05-08
Filing date: 2013-05-07
Publication date: 2013-11-21
Also published as: CN203273078U; US9512946B2; KR102057553B1; US20130299726A1; JP3177094U; KR20130125317A

Description

接頭

本創作係關於一種接頭，例如係關於一種內設有膜片閥等配管功能部之接頭。

於半導體製造裝置中，作為控制各種氣體之供給之閥，多使用膜片閥。

膜片閥係以於進行流路之開閉之閥門部分與使其活動之驅動部分之間介隔有隔離其等之膜片之構造，發揮藉由膜片防止流通於流路之流體流入至驅動部分，並且防止驅動部分之金屬粉等混入至流體的作用。

例如，文獻1(日本特開平9-14470號公報)、文獻2(日本實開平7-19673號公報)中揭示有如下膜片閥，其具備：閥門本體；形成於閥門本體之入口側流路、出口側流路及形成於其等間之閥座；膜片，其相對於閥座接觸或分離而開閉入口側流路及出口側流路間；閥桿，其夾持膜片而螺合於與閥座為相反側之閥門本體，伴隨向軸方向之移動而使膜片相對於閥座接觸或分離；及把手，其一體地形成於該閥桿。

又，文獻3(日本特開2000-179744號公報)中雖未揭示膜片閥，但揭示有於閥桿(主軸)刻設有3條螺紋之波紋管閥。於該波紋管閥中，藉由使設置於閥桿之把手旋轉，以3條螺紋螺合於閥桿之方管移動，藉由與方管為一體之閥體而進行開閉。根據該波紋管閥，藉由採用3條螺紋，可使閥體相對於把手之旋轉更大幅度地移動，可以較少之操作量進行開閉操作。與膜片閥相比，閥體之衝程明顯較大之波紋管閥中，較為有效的是使用此種多條螺紋提高操作性。

然而，文獻1、2所示之膜片閥係具有方塊狀之閥箱，經由安裝於該閥箱之適當之支撐構件而支撐於與管路不同之部位。於閥箱螺旋緊固有支撐構件，因此必需用於設置螺孔之充分之壁厚。因此，此種閥箱不僅大小較大，且重量亦變大，阻礙作為膜片閥之小型化及輕量化。

又，文獻1、2之膜片閥中，除閥桿之長度較長以外，具備閥桿所螺合之外殼、該外殼所螺合之管螺母、管螺母所螺合之閥箱、進而防止管螺母與外殼之鬆弛之鎖定螺母等，構成零件較多，該情況亦成為阻礙膜片閥之小型化及輕量化之主要原因。

進而，於如用於半導體製造裝置之膜片閥般處理相對較少流量之反應氣體之膜片閥之情形時，所連接之管路之管徑並非那麼大，剛性亦較小。因此，於文獻1、2之膜片閥中，雖然於左右之接頭部分設置有螺紋部，但即便藉由螺合於該等螺紋部之連接具而欲將膜片閥支撐於管路之端部間，亦無法獲得充分之支撐強度。因此，如上所述，必需於膜片閥設置較大閥箱並經由螺旋緊固於閥箱之支撐構件而支撐膜片閥，由於具有支撐構件而導致支撐構造變得複雜。

以上情況並不限定於膜片閥，對於應對小流量之止回閥、分支閥、釋放閥、球閥、波紋管閥、波紋管等各種閥、過濾器等配管功能零件之全體均相同。

即，該等配管功能零件中，除存在阻礙小型化及輕量化之較大閥箱或多個構成零件以外，經由複雜之支撐構造而支撐於與管路不同之部位。因此，配管系統中，在基於將此種配管功能零件個別地配設於特定部位之想法下，相對於管路而相對變大之配管功能零件明顯地存在，作為配管系統，存在無法消除繁雜感之問題。

再者，文獻3所示之波紋管閥可減少把手之操作量而可使操作性良好，但並不可減小閥桿或方管。

波紋管閥一般用於與膜片閥相比處理大流量之流體之情形，於接頭部分之兩端具有凸緣。於處理大流量之流體之情形時，管路之管徑較大而變得大規模，剛性亦較大，因此即便於管路側之凸緣固定波紋管閥側之凸緣而支撐整體，亦可確保充分之支撐強度。

即，大流量用之配管功能零件通常並非成為以小型化或輕量化作為目的之構成，即便將此種配管功能零件配設於配管系統內，亦埋沒於大規模之管路中，作為配管系統並不那麼感覺到繁雜感。

本創作之目的在於提供一種接頭，其摒棄將配管功能零件個別地配設於配管系統內之特定部位等想法，而僅使用連接配管系統之管路等之接頭便可發揮配管功能部之功能，使處理相對較少流量之流體之情形時之配管系統變得簡單。

本創作之接頭係連接管路與管路、或管路與流體控制機器、或一對流體控制機器者，其特徵在於內設有配管功能部。

此處，作為配管功能部，有膜片閥、止回閥、分支閥、釋放弁、球閥、波紋管閥等各種閥或過濾器等。

根據本創作，作為接頭係內設有配管功能部之構造，因此取代如先前般將配管功能零件個別地配設於配管系統內，而僅於配管系統內配設通常多用之接頭即可，可使內設於接頭之配管功能部發揮功能而實現所期望之流體控制等。因此，作為配管系統，不存在突兀之配管功能零件，因此可消除繁雜感，可使其變得簡單。

本創作之接頭中，上述配管功能部較佳為具備如下部件之膜片閥：本體；形成於上述本體之入口側流路、出口側流路及形成於其等間之閥座；膜片，其相對於上述閥座接觸或分離而開閉上述入口側流路及出口側流路間；及閥桿，其夾持上述膜片而螺合於與上述閥座為相反側之上述本體，伴隨向軸方向之移動而使上述膜片相對於上述閥座接觸或分離。

根據該創作，用作配管功能部之膜片閥之開閉操作時之閥桿之衝程可於構造上較小，因此作為配管功能部亦可變得小型，作為接頭可使配管功能部之存在不突兀。

本創作之接頭中，較佳為，於上述本體之與上述入口側流路之端部對應之外周面及與上述出口側流路之端部對應之外周面，設置有相對於上述管路或上述流體控制機器經由連接具而連接之一對連接部，上述本體之相當於上述一對連接部之間之部分之下表面及上述閥座設置於未較上述連接部之外周向外方伸出之位置。

根據該創作，藉由將本體之下表面設置於未自連接部之外周向外方伸出之位置，可使存在於先前之膜片閥之較大之方塊狀閥箱成為細長之本體而設置。又，藉由將閥座設置於未自連接部之外周伸出之位置，而可靠近本體內之流路，可使本體更小型化。根據該等情況，可進一步促進接頭整體之小型化及輕量化，可將接頭直接支撐於管路等。

因此，無需使用支撐構件而使接頭支撐於配管系統之其他部位，可無需繁雜之支撐構造，使配管系統更簡單，且由於無需支撐構件而可實現成本削減。

本創作之接頭中，較佳為，於形成於上述本體之母螺紋螺合形成於筒狀之立起蓋部之公螺紋，於形成於上述立起蓋部之母螺紋螺合形成於上述閥桿之公螺紋，上述本體及上述立起蓋部之螺合部分與上述立起蓋部及上述閥桿之螺合部分設置於同軸上且於直徑方向上相互重疊。

此處，所謂「於直徑方向上相互重疊」係指作為各者之螺合部分，存在設置於軸方向之相同位置之部分。

根據該創作，立起蓋部相當於構成先前之膜片閥之外殼。然而，本創作中，該立起蓋部直接螺合於本體之內部，因此可無需如先前之管螺母、進而防止管螺母與外殼之鬆弛之鎖定螺母。並且，本體及立起蓋部之螺合部分與立起蓋部及閥桿之螺合部分於直徑方向上重疊，可使閥桿之端部於相對於本體較近之位置螺合於立起蓋部，可使其接近膜片。

因此，由於無需管螺母或鎖定螺母以及閥桿之端部靠近膜片而存在，故而可大幅縮短閥桿之長度，可使膜片閥明顯地小型化。而且，由於無需先前必要之零件，故而可進一步促進成本削減。

本創作之接頭中，較佳為，形成於上述立起蓋部之母螺紋及形成於上述閥桿之公螺紋藉由相互螺合之多條螺紋而形成。

根據該創作，於膜片閥中，形成於立起蓋部之母螺紋及形成於閥桿之公螺紋藉由多條螺紋而形成，因此，即便減小轉動閥桿之角度，亦可確保閥桿之移動量較大，可使膜片相對於閥座接觸或分離。

因此，可縮短流路之開閉所需要之時間，因此可迅速地進行開閉操作。並且，由於可縮小閥桿之旋轉角，故而亦可容易地進行閥桿之旋轉操作。

本創作之接頭中，較佳為，形成於上述立起蓋部之母螺紋及形成於上述閥桿之公螺紋設為2條螺紋，於上述膜片閥完全打開時，以上述閥座與上述膜片閥之間隙之約4倍設定上述2條螺紋之導程。

於先前之構造之情形時，於關閉流路時，作業者轉動把手，根據以某種程度之力緊固時無法轉動把手時之感覺判別流路被關閉，因此緊固力因人而異，容易損傷閥座或閥桿。

相對於此，根據該創作，形成於立起蓋部之母螺紋及形成於閥桿之公螺紋設為2條螺紋，2條螺紋之導程於膜片閥完全打開時設定為閥座與膜片之間隙之約4倍，因此若使閥桿旋轉約90°，則閥桿僅移動相當於閥座與膜片之間隙之距離。

因此，僅使閥桿旋轉90°便可使膜片相對於閥座接觸或分離而開閉流路，因此亦可使閥桿之旋轉操作變得極其容易。並且，若於閥桿之軸端面預先標附箭頭，則可自該箭頭之方向從視覺上確認開閉狀態，因此可減輕閥座或閥桿之損傷。

本創作之接頭中，較佳為，上述閥桿之頭部形成為剖面多邊形之軸部或者雲形線狀或鋸齒之軸部，於上述軸部可卡合且可卸除地設置有把手。

根據該創作，將閥桿之頭部形成為剖面多邊形之軸部或者雲形線狀或鋸齒之軸部，因此僅藉由預先將把手之卡合孔亦形成為與其卡合之形狀，便可將把手構成為相對於閥桿之頭部可卡合且可卸除。因此，若根據需要而安裝把手，則無需使用工具等，藉由手動操作便可使閥桿旋轉。

本創作之膜片閥中，較佳為於上述本體可裝卸地設置有用於將該本體固定於支撐板之托架。

根據該創作，於本體可裝卸地設置有用於固定於支撐板之托架，因此若根據需要而經由托架將本體固定於支撐板，則可抑制伴隨流體之流通而產生之本體之振動等。

1‧‧‧接頭

2‧‧‧膜片閥

3‧‧‧袋形螺帽

3A‧‧‧卡合部

4、17、24、47‧‧‧母螺紋

5‧‧‧墊片

10‧‧‧接頭本體

11‧‧‧接頭本體部

11A‧‧‧下表面

12‧‧‧立起部

13‧‧‧入口側流路

14‧‧‧出口側流路

15‧‧‧閥座

16‧‧‧密封圈

18、19、22、41‧‧‧公螺紋

19A、D‧‧‧突起

21‧‧‧立起蓋部

23‧‧‧六角部

25‧‧‧孔部

26‧‧‧防脫落構件

30‧‧‧膜片

31‧‧‧膜片固定件

32‧‧‧開口

40‧‧‧閥桿

42‧‧‧螺紋部

43‧‧‧前端按壓部

44‧‧‧軸部

45‧‧‧按壓子

46‧‧‧頭部

48‧‧‧密封圈

50、50A‧‧‧把手

51‧‧‧周面壁

52‧‧‧凹部

53‧‧‧上表面壁

54‧‧‧卡合孔

55‧‧‧箭頭

56‧‧‧固定螺絲

57‧‧‧圓筒部

58‧‧‧凸緣部

60‧‧‧托架

61‧‧‧安裝板

62‧‧‧安裝片

63、104‧‧‧螺釘

64、66‧‧‧螺釘插通孔

101‧‧‧氣體組分模組

102‧‧‧支撐軌道

103‧‧‧收納槽

110‧‧‧平板

120‧‧‧流體控制機器

120A‧‧‧過濾器

120B‧‧‧壓力調節器

120C‧‧‧壓力計

120D、120E‧‧‧氣閥

121‧‧‧控制機器本體

122、123‧‧‧連接配管

130‧‧‧管接頭

150‧‧‧固定手段

160、170‧‧‧袋形螺帽

C‧‧‧地線

圖1係表示本創作之第1實施形態之接頭之一部分剖面之前視圖。

圖2係第1實施形態之立體圖。

圖3係第1實施形態之分解立體圖。

圖4係第1實施形態之剖面圖。

圖5係於第1實施形態之接頭中使把手旋轉90°之狀態之立體圖。

圖6係表示本創作之第2實施形態之氣體組分模組積體裝置的平面圖。

圖7係表示第2實施形態之前視圖。

圖8係表示本創作之變形例之剖面圖。

圖9係表示同上變形例之平面圖。

圖10係表示同上變形例之把手之部分切除立體圖。

[第1實施形態]

根據圖式說明本創作之第1實施形態之接頭1。

<接頭之構造>

圖1係將本實施形態之接頭1部分剖開而表示之前視圖，圖2係該接頭1之立體圖，圖3係該接頭1之分解立體圖，圖4係該接頭1之剖面圖。

圖1中，接頭1係連接設置於圖中之左右方向之作為管路之第1連接配管A及第2連接配管B的零件。該等第1、第2連接配管A、B並無特別限定，本實施形態中，用作對半導體製造裝置供給反應氣體之配管系統之管。作為反應氣體之流量，由於並不那麼大，故而第1、第2連接配管A、B之管徑或剛性亦較小。因此，作為配設於此種第1、第2連接配管A、B間之接頭1，亦根據第1、第2連接配管A、B之規格而充分謀求小型化及輕量化。

接頭1與第1、第2連接配管A、B分別經由作為連接具之袋形螺帽3而連接。若將第2連接配管B側作為代表進行說明，則於袋形螺帽3設置有小徑之卡合部3A，於第2連接配管B之端部設置有與袋形螺帽3之卡合部3A卡合之大徑之底部C。藉由使卡合於底部C之袋形螺帽3旋轉，刻設於袋形螺帽3之母螺紋4螺合於刻設於接頭1之兩端之公螺紋19，接頭1與第2連接配管B相互連接。

此時，於接頭1與第2連接配管B相互對向之面，設置有環狀且剖面山形之突起19A、D，於突起19A、D之間介裝有金屬製且環狀之墊片5。藉由袋形螺帽3之緊固，突起19A、D自墊片5之兩面側壓接，賦予密封功能。

如圖2至圖4所示，接頭1係於內部內設有作為配管功能部之膜片閥2(圖4)之構造，且具備：作為本體之接頭本體10；形成於該接頭本體10之入口側流路13、出口側流路14及形成於其等間之閥座15；膜片30，其可移位地設置於接頭本體10，相對於閥座15接觸或分離而開閉入口側流路13及出口側流路14間；閥桿40，其夾持膜片30而螺合於與閥座15為相反側之接頭本體10，伴隨向軸方向之移動而使膜片30相對於閥座15接觸或分離；把手50，其可裝卸地卡合於該閥桿40；及托架60，其用於將接頭本體10固定於省略圖示之支撐板。

接頭本體10具備接頭本體部11，該接頭本體部11設為特定長度之整體管狀且於中途具有朝向外方立起之圓筒狀之立起部12。

於接頭本體部11之內部，入口側流路13自一端朝向立起部12沿中心軸上形成，出口側流路14自立起部12朝向另一端沿中心軸上形成。於立起部12之中心形成有入口側流路13之周圍立起而形成之閥座15，於該閥座15之上端面，樹脂製之密封圈16以突出一部分之狀態埋設。又，於立起部12之內周壁面形成有母螺紋17，於該母螺紋17螺合有立起蓋部21。

於立起蓋部21之外周形成有螺合於接頭本體部11之母螺紋17之公螺紋22與六角部23。又，於立起蓋部21之內部形成有母螺紋24，並且形成有大於該母螺紋24之內徑之孔部25。於孔部25壓入用於防脫落閥桿40之環狀之防脫落構件26。

再者，於與入口側流路13之端部對應之接頭本體部11之一端側外周面，形成有作為連接部之公螺紋18，又，於與出口側流路14之端部對應之接頭本體部11之另一端側外周面，形成有作為連接部之公螺紋 19。於公螺紋18螺合用於將第1連接配管A(圖1)連接於接頭本體10之袋形螺帽3。於公螺紋19螺合用於將第2連接配管B(圖1)連接於接頭本體10之袋形螺帽3。作為公螺紋18、19，可採用錐形螺紋、平行螺紋或其等組合而成之螺紋。

又，接頭本體部11(接頭本體10)之相當於公螺紋18、19之間之部分之下表面11A設為平坦，且形成於較兩端之公螺紋18、19之下部位置更向上方凹陷之位置、即未較公螺紋18、19之外周向外方伸出之位置。因此，設置有此種接頭本體部11之接頭本體10未形成如先前之方塊狀之較大閥箱。而且，本實施形態中，於接頭本體10之內部，閥座15亦設置於未較公螺紋18、19之外周向外方伸出之位置。

膜片30係藉由金屬(例如不鏽鋼)形成為較薄之圓盤狀，以中心部位於閥座15之正上方之方式配置，並且周圍固定於立起部12之內底部。即，膜片30之周圍經由膜片固定件31而固定於立起部12之內底部與立起蓋部21之間，藉此，構成為膜片30之中心部分向相對於閥座15接近、隔離之方向移位。再者，於膜片固定件31之中心形成有開口32。

閥桿40具備：螺紋部42，其具有螺合於形成在立起蓋部21之內部之母螺紋24之公螺紋41；前端按壓部43，其形成於螺紋部42之前端；及軸部44，其較螺紋部42之外徑更細。

此處，形成於立起蓋部21之母螺紋24及形成於閥桿40之公螺紋41藉由多條螺紋而形成。本實施形態中，由2條螺紋形成。2條螺紋之導程係於膜片閥2完全打開時設定為閥座15(詳細而言為密封圈16之上端面)與膜片30之間隙C之約4倍。因此，構成為若使閥桿40旋轉90 度，則膜片30相對於閥座15接觸或分離。

又，立起蓋部21之母螺紋24及閥桿40之公螺紋41之螺合部分與立起部12之母螺紋17及立起蓋部21之公螺紋22之螺合部分設置於同軸上且沿直徑方向相互重疊。即，立起蓋部21之公螺紋22及母螺紋24一併自立起蓋部21之下端刻設，於立起部12及立起蓋部21之螺合部分之正內側螺合有閥桿40及立起蓋部21。因此，閥桿40於靠近接頭本體10之位置與立起蓋部21螺合，閥桿40之長度較短。

於前端按壓部43被嵌有自開口32突出之剖面U字狀之按壓子45。

於軸部44形成有外周面為剖面四邊形之頭部46，並且於頭部46中心形成有母螺紋47。再者，於頭部46與螺紋部42之間之軸部44之外周面設置有堵塞與防脫落構件26之內周面之間之間隙的密封圈48。該密封圈48除作為防止異物侵入之防塵封件發揮功能以外，亦藉由在與軸部44之間產生摩擦力，而於把手50之操作時，賦予具有特定之阻抗力之良好之操作感。

把手50形成為具有周面壁51及上表面壁53之圓筒狀(蓋狀)。

於周面壁51之特定角度位置形成有以手抓持時成為卡持部之凹部52。於上表面壁53之中心部形成有與軸部44之頭部46卡合之剖面四邊形之卡合孔54，並且於周圍刻設有表示流體之流動方向之箭頭55。把手50係於卡合孔54與軸部44之頭部46卡合之狀態下，藉由螺合於母螺紋47之固定螺絲56而固定。箭頭55係於閥打開之狀態(圖4之狀態)時，以箭頭自入口側流路13朝向出口側流路14之方式顯示，且表面以螢光色著色，即便於夜間亦可視認。

但，把手50視需要使用即可，並非作為接頭1所必需之構成。即，把手50雖可始終安裝於接頭1，但僅於進行內設之膜片閥2之開閉操作之情形時使用即可，故而於將膜片閥2維持為關閉之狀態或打開之狀態之情形時，可保持自接頭1卸除之狀態。

托架60係對1片板材進行彎曲加工而製造者，具有大致四邊形狀之安裝板61、及將該安裝板61之對向邊中位於對角之角片相互平行地相對於安裝板61呈直角彎曲之安裝片62。

於安裝片62之前端，形成有用於將托架60以螺釘63固定於接頭本體10之螺釘插通孔64。於安裝板61之對角位置，形成有用於將托架60以螺釘固定於支撐板(省略圖示)之螺釘插通孔66。

關於該托架60，亦並非作為接頭1所必需之構成。托架60係用於使接頭1支撐於其他部位。謀求小型化及輕量化之本實施形態之接頭1本來可藉由將其兩端連接於第1、第2連接配管A、B而充分地支撐，因此除如要求制振性之特殊情形以外，可無需托架60。

再者，雖於本實施形態之接頭1中未設置，但亦可無論始終安裝有把手50或僅於開閉操作時安裝，均設置鎖定膜片閥2之開閉狀態之把手鎖定機構。作為把手鎖定機構，可採用上述文獻1、2之把手鎖定機構等。即，雖省略詳細圖示及說明，但可採用如下構造等：於對應於膜片之開閉之把手之關閉位置及打開位置，經由銷及將其***之缺口等使把手與外殼相互卡合而鎖定，一面按壓把手一面使其旋動等而解開其等之卡合，從而解除鎖定狀態。

<內設之膜片閥之作用>

於打開膜片閥2之狀態(圖4之狀態)下，若將流體自第1連接配管A(圖1)流出，則流體通過入口側流路13、閥座15、出口側流路14而流入至第2連接配管B(圖1)。

自該狀態起，使把手50旋轉90°。即，如圖5所示，使把手50旋轉至標記於把手50之上表面壁53之箭頭55相對於接頭本體10成為直角之位置為止。

此時，閥桿40之公螺紋41及立起蓋部21之母螺紋24之導程係於膜片閥2完全打開時設定為閥座15與膜片30之間隙C之約4倍，因此若使閥桿40旋轉約90°，則閥桿40移動閥座15與膜片30之間隙C之距離之量。其結果為，膜片30接觸於閥座15，因此入口側流路13及出口側流路14間被關閉。

<實施形態之效果>

本實施形態係如下構造：於第1連接配管A與第2連接配管B之間未配設如先前之較大之膜片閥而僅配設有接頭1，且於該接頭1內設有經小型化之膜片閥2。因此，作為配管系統，不存在突兀之膜片閥，可消除繁雜感，可使其變得簡單。

又，膜片閥2本來於開閉操作時之閥桿之衝程在構造上較小，故而作為內設有膜片閥2之接頭本體10亦可變得小型，作為接頭1，可使膜片閥之存在不突兀。

進而，接頭1經由袋形螺帽3而直接支撐於第1連接配管A 及第2連接配管B，因此可無需托架60或用於安裝該托架60之部位，可實現成本削減。

而且，本實施形態之接頭1中，立起部12及立起蓋部21之螺合部分與立起蓋部21及閥桿40之螺合部分於直徑方向上重疊，閥桿40之端部接近膜片30，因此可大幅縮短閥桿40之長度，可使接頭1明顯地小型化。又，因無需先前必要之管螺母或鎖定螺母，而可進一步促進成本削減。

而且，於內設於接頭1之膜片閥2中，僅使閥桿40旋轉90°便可將閥關閉，因此亦可極其迅速且容易地進行閥桿40之旋轉操作。

又，於把手50之上表面壁53設置有箭頭55，因此可自該箭頭55之方向從視覺上確認開閉狀態。因此，作業者無需根據手之感覺判別閥關閉之情況，因此可減輕閥座15或閥桿40之破損或損傷。

又，閥桿40之頭部46形成為剖面四邊形之軸部，於該頭部46可卡合且可卸除地設置有把手50之卡合孔54，因此構成為可將把手50相對於閥桿40之頭部46可卡合且可卸除。若安裝把手50，則無需使用工具等便可以手動操作使閥桿40旋轉。

又，於接頭本體10可裝卸地設置有用於固定於支撐板(省略圖示)之托架60，因此若視需要而經由托架60將接頭本體10固定於支撐板，則可抑制伴隨流體之流通產生之接頭本體10之振動等。

[第2實施形態]

以下，根據圖6、圖7說明本創作之第2實施形態。

圖6、圖7中，作為本創作之第2實施形態，揭示有將上述第1實施形態中所說明之接頭1安裝於氣體組分模組101之積體化裝置100之例。

本實施形態之積體化裝置100如圖6所示，係用於將複數種反應氣體供給至半導體製造裝置等之裝置，且具備：複數個氣體組分模組101；支撐軌道102，其係於將該等複數個氣體組分模組101以特定間隔相互平行地並排設置之狀態下，相對於該等氣體組分模組101正交配置，且支撐各氣體組分模組101之至少兩端側；及作為固定手段之螺釘104，其將各氣體組分模組101固定於該支撐軌道102。

再者，於支撐軌道102之上表面，每隔固定間隔形成有收納氣體組分模組101之收納槽103，於氣體組分模組101之端部定位於該收納槽103之狀態下，藉由螺釘104而固定。

氣體組分模組101亦如圖7所示般具備：固定寬度之帶板狀之平板110；複數個流體控制機器120，其等於該平板110上排列成一行而控制反應氣體；管接頭130，其連結該等鄰接排列之流體控制機器120；及固定手段150，其將由該管接頭130連結之複數個流體控制機器120中位於一端側之流體控制機器120(過濾器120A)與位於另一端側之流體控制機器120(氣閥120E)固定於平板110。

自流體供給源之第1連接配管A與位於一端側之流體控制機器120(過濾器120A)之連接配管123經由上述第1實施形態中所說明之膜片閥2內設之接頭1及作為連接具之袋形螺帽160而連接。位於另一端側之流體控制機器120(氣閥120E)之連接配管122與對半導體製造設備等之第2連接配管B經由袋形螺帽170而連接。

再者，作為流體控制機器120，於本實施形態之情形時為過濾器120A、壓力調節器120B、壓力計120C、氣閥120D及氣閥120E，但並不限定於該等。

流體控制機器120係包含於內部內設有閥機構或過濾器機構等控制機器之功能元件之控制機器本體121、及自該控制機器本體121向流體控制機器120之排列前後方向(圖6、7中為左右方向)突出之連接配管122、123而構成。

控制機器本體121之底面係以密接於平板110之上表面且相對於平板110之上表面平行之方式形成。即，以控制機器本體121之底面密接於平板110之上表面且控制機器本體121之底面與平板110之上表面相互平行之方式形成。

連接配管122、123中來自鄰接排列之流體控制機器120之連接配管122、123相互對向而配置。因此，連接配管122、123係沿流體控制機器120之排列方向直線配置。

於相互對向之連接配管122、123之前端、即向排列方向前方(圖6及圖7中為右側方)突出之連接配管122之前端及向排列方向後方(圖6及圖7中為左側方)突出之連接配管123之前端，形成有相互對向之未圖示之凸緣。此種凸緣係藉由管接頭130而連接。

此處，作為管接頭130，雖省略詳細之圖示，但可較佳地使用日本特開2007-147011號公報中所記載之管接頭。即，經連接之連接配管之各凸緣具有隨著朝向外方而前端變細之傾斜面，使各凸緣接近對向時之剖面形狀為梯形形狀。

管接頭係藉由連結複數個區段而成為環狀之構造，設置於各區段之槽部以沿著連接配管之周向覆蓋各凸緣之方式嵌入。此時，管接頭側之槽部亦為剖面梯形形狀。

因此，若以適當之緊固手段進行緊固操作而使各區段之間隔變得狹小，則在各槽部形成之環狀之內徑部分之直徑尺寸縮小，於剖面形狀均設為梯形形狀之兩凸緣與槽部之間產生楔效應，凸緣彼此藉由該楔效應而相互壓接。

於安裝於以上所說明之氣體組分模組101之反應氣體之入口側之接頭1中，內設於其內部之膜片閥2(圖4)先前係作為氣體組分模組101之一個流體控制機器120而構成。即，此種膜片閥2(圖4)作為手動操作式之膜片閥而與其他流體控制機器120一起並排設置，於最上游側固定於平板110。

相對於此，根據本實施形態，膜片閥2等配管功能部作為接頭1之一部分而配設於過濾器120A之更上游側。而且，該接頭1亦經由袋形螺帽3將一端支撐於第1連接配管A，另一端支撐於過濾器120A之連接配管123，未固定於平板110。

因此，內設有膜片閥2之接頭1並非作為構成氣體組分模組101之流體控制機器120看待，而成為構成配管系統之一部分之規格，因此具有能夠促進作為氣體組分模組101之小型化及輕量化之效果。

本創作並不限定於上述之各實施形態，可達成本創作之目的之範圍內之變形、改良等包含於本創作中。

上述第1實施形態中，把手50使用具有周面壁51及上表面壁53之袋形狀者，但並不限定於此。

例如，如圖8、圖9及圖10所示之例中，把手50A並非蓋狀，而是具有圓筒部57與自該圓筒部57之外周180度位置以放射狀突出之2個凸緣部58之形狀。於2個凸緣部58中之1個凸緣部58之上表面設置有箭頭55。又，閥桿40之頭部46形成為三角齒鋸齒軸部，另一方面，把手50A之卡合孔54亦形成為卡合於閥桿40之頭部46之三角齒鋸齒孔部。

於此種構成中，亦可期待與上述第1實施形態同樣之效果。

又，關於閥桿40之頭部46之形狀及把手50、50A之卡合孔54之形狀，並不限定於上述第1實施形態或上述例中所列舉之剖面四邊形、三角齒鋸齒，亦可為雲形線狀軸及與其卡合之雲形線狀孔之構成。

上述第1實施形態中，將閥桿40之公螺紋41及立起蓋部21之母螺紋24設為2條螺紋，亦可為3條以上之多條螺紋。

又，只要為可藉由使把手50旋動90°而開閉膜片閥，使特定流量之反應氣體流通之構成，則未必需要使用多條螺紋。

上述第1實施形態中，對內設有膜片閥2之接頭1進行了說明，但作為內設於本創作之接頭之配管功能部，並不限定於膜片閥，亦可為止回閥、分支閥、釋放閥、球閥、波紋管閥等各種閥或過濾器等。

進而，於氣體組分模組中，亦可將過濾器或氣閥等膜片閥以外之流體控制機器作為配管功能部內設於本創作之接頭。

而且，於上述第2實施形態中，對藉由將位於氣體組分模組101之端部之膜片閥作為配管功能部內設於接頭1，而將此種膜片閥作為配管系統之零件而非氣體組分模組101之零件看待之情形進行了說明。然而，亦有根據內設於本創作之接頭之配管功能部之種類，將此種接頭於氣體組分模組內配置於一對流體控制機器之間的情況。於此種情形時，接頭之兩端支撐於流體控制機器之連接配管，接頭作為構成氣體組分模組之一個零件看待。

又，於此種情形時，就小型化之觀點而言較佳為，於接頭之兩端與流體控制機器之連接時，不使用袋形螺帽而使用上述第2實施形態中所使用之管接頭130等連接具。