JP7157459B2 - バルブ装置 - Google Patents
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Description
一つの手段として、電源のための配線を外部からバルブ装置に導き入れることが考えられるが、多数のバルブが設置される流体制御装置において配線が煩雑になるのみならず、防爆性の問題で配線の設計と配設に細心の注意を払う必要がある。
また、一つの手段として、電源として電池を用いれば、配線の問題は解消されるが、バルブ装置の寿命に見合うだけの大容量の一次電池を用いたり、定期的な電池交換作業が必要となったりする。
特許文献3の電磁弁に対する高周波重畳送電は、エア駆動式のバルブ装置においては適用しえない。
半導体製造装置に用いられるバルブ装置は、たとえば、真空ポンプ等の振動源の近くに設置される。このため、半導体製造装置が稼働中には、バルブ装置は常時外部からの環境振動を受ける。バルブ装置が環境振動を受けると、弁体も振動を受けるため、環境振動が流量に影響を与える可能性がある。より高精密な流量制御を可能にするためには、環境振動の影響を無視できない。
前記可動部を前記駆動流体の駆動力に抗する方向に付勢するばね部材と、
圧電素子の圧電効果を利用した、前記アクチュエータの作動により生じる振動系の振動を電力に変換する発電機能と装置に加わる振動を抑制する制振機能とを有する発電制振ユニットと、を有するバルブ装置であって、
前記発電制振ユニットの振動系は、一端側が前記筐体部に固定され他端側が自由端となった片持ち梁状の弾性変形部と、前記変形部の他端側に設けられた質量部と、を有し、
前記弾性変形部はその変形量と電力を相互に変換する圧電素子を有する。
図1A~図1Cは、本発明の一実施形態に係るバルブ装置の構成を示す図であって、図1Aは外観斜視図、図1Bは縦断面を含む斜視図、図1Cは縦断面図である。なお、図中において、矢印A1,A2は上下方向を示しており、A1が上方向、A2が下方向を示している。
アクチュエータキャップ10は、下端部が円環状に形成されたばね受け部材8に固定されており、内部空間に回路収容部40が設けられている。図1B,1Cにおいて、回路収容部40の断面にはハッチングが施されているが、実際には、回路収容部40は電気回路や二次電池等の電気的要素を収容する空洞となっている。配管5は、アクチュエータキャップ10を通じてアクチュエータ部7の内部に導入される。
アクチュエータボディ12は、図1Cに示すように、その下側にダイヤフラム押え15を上下方向A1,A2にガイドするガイド孔12aを有し、ガイド孔12aの上側に連通して貫通孔12bが形成されている。アクチュエータボディ12の上側には、OリングORを介してピストン部材13のフランジ部13bを摺動自在に上下方向A1,A2に案内するシリンダ室12cが形成されている。
ダイヤフラム押え15はアクチュエータボディ12のガイド孔12aにより上下方向A1,A2に可動となっている。
バルブシート16は、バルブボディ20の流路21の周囲に設けられている。バルブシート16は、PFA、PTFE等の樹脂で弾性変形可能に形成されている。
ここで、図2、図3Aおよび図3Bに発電制振ユニット100の構造を示す。
発電制振ユニット100は、コイルばね30の外周とアクチュエータケース11の内周面との間の空間に収まるように円弧状に形成された圧電バイモルフ102と、圧電バイモルフ102の基端部102bをフランジ部13b上で支持する支持部材110と、圧電バイモルフ102の先端部102aに設けられた質量部120とを有する。圧電バイモルフ102の基端部102bは、取付孔102hが形成され、ねじ部材により支持部材110の上面に固定されており、圧電バイモルフ102の先端部102aは自由端となっており、圧電バイモルフ102は片持ち梁状の弾性変形部を構成している。
圧電バイモルフ102は、機械強度を保つための薄い金属板104と、金属板104の表裏に設けられたシート状の圧電素子103A,103Bとを有する。圧電素子103A,103Bは、後述する負荷回路600に電気的に接続される。圧電バイモルフ102がたわむことにより圧電素子103A,103Bが圧縮又は伸長しその変形量に応じた起電力が生じる。後述する負荷回路600により圧電素子103A,103Bから差動的に電力を取り出すことができる。
発電制振ユニット100は、上記のような構造により、ピストン部材13の上下動作により衝撃が加わると減衰振動を続けてしばらく発電が続く振動系を成している。具体的には、駆動流体である圧縮エアの供給によりピストン部材13が上方向A1に上昇し、所定の位置で移動が規制される際に衝撃が発生する。また、圧縮エアを解放すると、コイルばね30の復元力により、ダイヤフラム押え15がダイヤフラム17を介してバルブシート16に衝突する際に衝撃が発生する。また、中間開状態で使用するためにピストン部材13が全開と全閉の間で停止する際や、開閉動作のためにピストン部材13が動き始める時にも小さいながら衝撃が発生する。これらの衝撃により、発電制振ユニット100に振動が生じる。このように、ピストン部材13の動作方向の振動を吸収するために、圧電バイモルフ102の面がピストン部材13の軸に対して略垂直になるように取り付けられている。
負荷回路600は、整流回路601、電源IC602、マイクロコントローラ603、圧力センサ、温度センサ、加速度センサなどの各種センサ604や、各種センサ604で検出したデータを外部に送信することができる無線部605、二次電池606、回路制御部607およびこの回路制御部607により制御される調整部608を有する。
電源IC602は、発電制振ユニット100からの電力の電圧を変換して二次電池606に蓄えつつ、マイクロコントローラ603、各種センサ604、無線部605等の電力供給先へ送る電力を調節する電力管理ICとしての機能を兼ねている。電源IC602として、例えば、エナジーハーベスティング用として一般的に流通しているものを採用できる。
二次電池606は、電源IC602から供給される直流電力を蓄える。容量の比較的大きいキャパシタを代用することも可能である。
回路制御部607は、調整部608を制御する制御信号を出力する。
調整部608は、回路制御部607からの制御信号に応じて、発電制振ユニット100の発電機能と制振機能とを選択的に切り換える。
各種センサ以外は、回路収容部40に収容され、各種センサは圧力や温度や振動を検出すべく、バルブ装置1の流路近辺等に配置され、電源IC602やマイクロコントローラ603と配線によって電気的に接続される。
上述したように、発電制振ユニット100は、圧電素子103A,103Bの変形により電圧を生じさせて差動的に電圧を取り出すことができる。すなわち、発電機能を有する。
これに加えて、発電制振ユニット100は、圧電素子103A,103Bに適宜電圧を印可すると、圧電バイモルフ102に曲げ力を作用させることができる。すなわち、圧電素子103A,103Bは、アクチュエータであり、調整部608を通じて電圧を圧電素子103A,103Bに印可して圧電バイモルフ102の振動をコントロールすることができる。
図5に他の負荷回路600Aの例を機能ブロック図として示す。なお、図5において、図4と同湯の構成部分には同様の符号を使用している。
図5に示すように、発電制振ユニット100により発電される交流電力を電源IC602で測定しながら、直流電圧調整部105により圧電素子103Bに印加する直流電圧を変化させて、圧電素子103Aにより発電される交流電力の最も大きくなる直流電圧に保持することができる。環境振動のうち影響の大きな周波数に対し発電制振ユニット100を共振させて、振動のエネルギーを電力に変換することにより、発電および制振の効率を高めることができる。
また、例えば、バルブ装置1に外部からの環境振動が印可されている場合に、センサ604の中の加速度センサでこの環境振動を検出し、この環境振動を消去するように圧電素子103A,103Bをフィードバック制御(アクティブダンピング)することができる。発電制振ユニット100に制振機能を発揮させれば、必要な低振動環境を形成することができる。
このような発電機能と制振機能をもつ発電制振ユニット100をバルブ装置1に内蔵させることで、バルブ装置1の高機能化ができる。なお、制振機能をどのタイミングで発揮させるかは任意であり、上記のような環境振動の印可時に限定されるわけではない。ピストン作動時に制振制御を作動させて衝撃を大幅に緩和し、バルブ解放時に印可される外部からの環境振動を用いて発電することも可能である。また、制振制御の具体的方法は、公知のものを適宜採用できることは言うまでもない。さらに、発電制振ユニット100の発電機能のみ、又は、制振機能のみを使用する構成でもよい。
5 配管
7 アクチュエータ部(アクチュエータ)
10 アクチュエータキャップ(筐体部)
11 アクチュエータケース(筐体部)
12 アクチュエータボディ(筐体部)
13 ピストン部材(可動部)
15 ダイヤフラム押え
16 バルブシート
17 ダイヤフラム(弁体)
18 押えアダプタ
20 バルブボディ(筐体部)
30 コイルばね(ばね部材)
100 発電制振ユニット
102 圧電バイモルフ(弾性変形部)
102a 先端部
102b 基端部
102h 取付け孔
103A,103B 圧電素子
104 金属板
105 直流電圧調整部
110 支持部材
120 質量部
600,600A 負荷回路
Claims (4)
- 筐体部と、駆動流体により駆動されて弁体を閉方向又は開方向に移動させる前記筐体部に収容された可動部とを有するアクチュエータと、
前記可動部を前記駆動流体の駆動力に抗する方向に付勢するばね部材と、
圧電素子の圧電効果を利用した、前記アクチュエータの作動により生じる振動系の振動を電力に変換する発電機能と装置に加わる振動を抑制する制振機能とを備える発電制振ユニットと、を有するバルブ装置であって、
前記発電制振ユニットの振動系は、
一端側が前記筐体部に固定され他端側が自由端となった片持ち梁状の弾性変形部と、
前記変形部の他端側に設けられた質量部と、
を有し、
前記弾性変形部はその変形量と電力を相互に変換する圧電素子を有する、
バルブ装置。 - 装置の外部から印可される振動に応じて前記振動系の動特性を制御可能に形成されている調整回路をさらに有する、請求項1に記載のバルブ装置。
- 前記調整回路は、前記圧電素子に印加する直流電圧を調整する直流電圧調整部を持つ、請求項2に記載のバルブ装置。
- 前記発電制振ユニットは前記アクチュエータの内部にあって、
前記弾性変形部は、前記可動部の外輪郭に沿って円環状又は円弧状に形成されている、請求項1に記載のバルブ装置。
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CN111322415B (zh) * | 2020-02-28 | 2021-02-09 | 山东大学 | 一种能够自供电的控制阀***及方法 |
DE102020007279B4 (de) * | 2020-11-28 | 2022-10-06 | Netzsch - Gerätebau Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Messgerät mit Vibrationsdämpfer und Verfahren zum Abschirmen eines Messgeräts gegenüber Vibrationen |
CN117588385A (zh) * | 2023-11-21 | 2024-02-23 | 中国人民解放军海军工程大学 | 一种基于能量收集的空气压缩机智能气阀 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001157433A (ja) | 1999-11-26 | 2001-06-08 | Fujitsu Ltd | 流体による振動発電装置 |
JP3177094U (ja) | 2012-05-08 | 2012-07-19 | イハラサイエンス株式会社 | ダイヤフラム弁 |
JP2016011744A (ja) | 2014-06-30 | 2016-01-21 | 株式会社フジキン | ダイヤフラム弁、流体制御装置、半導体製造装置および半導体製造方法 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1202014A (zh) * | 1997-06-10 | 1998-12-16 | 大宇电子株式会社 | 具有连到振动源的压电元件的压电发生器及其制造方法 |
CN1328836C (zh) * | 2004-11-22 | 2007-07-25 | 西安交通大学 | 轨道车辆振动能量压电发电方法及其*** |
CN100336281C (zh) * | 2004-11-22 | 2007-09-05 | 西安交通大学 | 车辆轨道振动能量压电发电方法及其*** |
US8036837B2 (en) | 2008-02-29 | 2011-10-11 | Fisher Controls International Llc | Diagnostic method for detecting control valve component failure |
US8653718B2 (en) * | 2011-05-06 | 2014-02-18 | Seiko Epson Corporation | Power generation unit, electronic apparatus, transportation unit, battery, method of controlling power generation unit |
EP2959197B8 (en) | 2013-02-25 | 2022-02-09 | Bruker Nano, Inc. | Smart valve |
GB2516806A (en) * | 2013-04-29 | 2015-02-11 | F X K Patents Ltd | An electro-pneumatic generator |
JP6588207B2 (ja) * | 2014-12-26 | 2019-10-09 | 株式会社フジキン | バルブ |
JP2017020530A (ja) | 2015-07-08 | 2017-01-26 | 東京パーツ工業株式会社 | 比例電磁弁 |
-
2018
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001157433A (ja) | 1999-11-26 | 2001-06-08 | Fujitsu Ltd | 流体による振動発電装置 |
JP3177094U (ja) | 2012-05-08 | 2012-07-19 | イハラサイエンス株式会社 | ダイヤフラム弁 |
JP2016011744A (ja) | 2014-06-30 | 2016-01-21 | 株式会社フジキン | ダイヤフラム弁、流体制御装置、半導体製造装置および半導体製造方法 |
Also Published As
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