TWI770317B - 主軸裝置及機床 - Google Patents

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秋山貴信
槻田豊
伊谷慎也
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日商東芝機械股份有限公司
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Abstract

本發明的主軸裝置，具備：主軸；可以非接觸地旋轉支撐主軸的非接觸軸承；驅動部；及設置在主軸的一端部，可拆卸地保持工具或接觸式感測器的工具保持部。非接觸軸承構成為在接觸式感測器的裝設時，可切換成以接觸狀態支撐主軸來抑制主軸移動的測量狀態。

Description

主軸裝置及機床
本發明是有關主軸裝置及機床，尤其是有關具備取代工具可裝設用於測量工件之感測器的主軸的主軸裝置及機床。
以往，具備取代工具可裝設用於測量工件之感測器的主軸的主軸裝置已為人知。如此的主軸裝置是例如揭示於日本專利特開2006-326804號公報。
上述日本專利特開2006-326804號公報中，揭示有主軸裝置，具備：主軸；旋轉支撐主軸的軸承；旋轉驅動主軸的馬達；及設置在主軸前端部的工具夾持機構。在主軸的前端部，可藉著工具夾持機構，進行工件加工的工具，及測量工件的加工處的直徑用的測頭的其中任一方的更換、拆卸。
在上述日本專利特開2006-326804號公報中雖未明記，但主軸的軸承可為接觸式的滾珠軸承。
在此，對於主軸裝置的軸承，除了滾珠軸承等的接觸式的滾動軸承之外，也有採用靜壓流體軸承等的非接觸軸承的場合。非接觸軸承與接觸式的軸承比較，具有除了軸 承磨擦係數小且發熱小之外，軸承剛性低，並容易藉著外力使主軸僅移動與軸承的間隙量的特徵。因此，在採用非接觸軸承的主軸裝置中，測頭在主軸裝設接觸式感測器進行工件的測量的場合，由於來自工件的接觸反向力使得主軸偏位，會有正確測量變得困難的問題點。為此，採用非接觸軸承的主軸裝置中，在將接觸式感測器裝設於主軸進行工件測量的場合，以可提升測量精度為佳。
本發明是為解決如上述的課題所研創而成，本發明之一目的是提供一種採用非接觸軸承的主軸裝置中，將接觸式感測器裝設於主軸進行工件的測量的場合，可提升測量精度的主軸裝置及機床。
本發明之第1局面的主軸裝置，具備：主軸；可以非接觸支撐使主軸圍繞中心軸線旋轉的非接觸軸承；旋轉驅動主軸的驅動部；及設置在主軸的一端部，可拆卸地保持進行工件加工的工具或進行工件測量的接觸式感測器的工具保持部，非接觸軸承構成為在接觸式感測器的裝設時，可切換成以接觸狀態支撐主軸來抑制主軸移動的測量狀態。
該主軸裝置是如上述構成非接觸軸承，藉此在將接觸式感測器裝設於工具保持部進行工件測量的場合，將非接觸軸承切換成測量狀態，可藉著非接觸軸承以接觸狀態來支撐主軸。因此，接觸式感測器的接觸反向力作用於主軸 的場合，與保持著非接觸狀態的主軸的場合比較，可抑制因接觸反向力之主軸的偏位。偏位的抑制手法雖根據非接觸軸承與主軸的接觸方向及接觸反向力的作用方向的關係而有所不同，但具有以軸承面直接支撐接觸反向力的移動限制；伴隨接觸之磨擦阻力的增大；及軸承面與主軸側之相對面的面接觸的密接力的產生等。
亦即，在朝著接觸反向力的作用方向使主軸接觸於非接觸軸承的場合，由於支撐在非接觸軸承的軸承面的主軸不再進一步地移動，因此可有效抑制因接觸反向力的主軸的偏位。在朝著接觸反向力交叉的方向使主軸接觸於非接觸軸承的場合，藉著接觸處的摩擦力的增大可抑制主軸的移動。在朝著與接觸反向力的相反方向使主軸接觸於非接觸軸承的場合，可藉著軸承面與主軸側的相對面之密接力的產生來支撐主軸。亦即，一般是軸承面及主軸側的相對面藉著精研磨加工等形成為平滑，因此軸承面及相對面一旦成面接觸時即強力地密接，可抑制主軸的移動。該等的結果，藉著將非接觸軸承切換成測量狀態進行測量，在採用非接觸軸承的主軸裝置中，即使將接觸式感測器裝設於主軸進行工件測量的場合，仍可提升測量精度。
根據上述第1局面的主軸裝置中，較理想為非接觸軸承，包括：從軸向的兩側軸向支撐主軸的軸向軸承部，及在半徑方向支撐主軸的徑向軸承部，在測量狀態下，構成使軸向軸承部的軸向軸承面與主軸的軸向相對面形成軸向接觸。如以上構成時，可以使軸向軸承面與主軸的軸向相 對面在軸向形成面接觸。其結果，藉著面彼此的密接，即使對於來在接觸式感測器之軸向的接觸反向力，或徑向的接觸反向力，仍可有效地抑制主軸的偏位。並且，主軸的軸向位置是定位在非接觸軸承與軸向軸承面的接觸位置，因此可提升主軸的軸向的位置精度。其結果，可更高精度進行工件的測量。
此時，較理想為，軸向軸承部，包括：從一端側支撐主軸的一方側軸向軸承面，及從一端側相反的另一端側支撐主軸的另一方側軸向軸承面，非接觸軸承是在測量狀態下，構成使一方側軸向軸承面從主軸分開，並使另一方側軸向軸承面與主軸的軸向相對面接觸。如以上構成時，可以使另一方側軸向軸承面從另一端側與主軸的軸向相對面接觸，因此即使來自接觸式感測器的軸向的接觸反向力朝著壓入主軸的方向(朝主軸之另一端側的方向)作用的場合，仍可確實防止主軸移動。並且，可以將主軸的軸向位置定位在與另一方側之軸向軸承面的接觸位置。其結果，可實現接觸反向力之偏位的防止，及測量狀態的主軸的軸向位置精度之雙方的提升。
在上述非接觸軸承包括軸向軸承部與徑向軸承部的構成中，較理想是非接觸軸承為靜壓流體軸承，進一步具備控制對靜壓流體軸承之供應壓力的流體迴路，流體迴路是構成在軸向軸承部的一端側及另一端側之中，使其中任一單方的供應壓力比另一單方弱或將其阻斷，藉以使軸向軸承面與軸向相對面接觸。如以上構成時，只需調節(減弱 或阻斷)對靜壓流體軸承的供應壓力，即可容易使軸向軸承面與軸向相對面接觸。並且，僅需使用藉靜壓流體軸承以非接觸支撐主軸用的流體迴路，因此即使在軸向軸承面與軸向相對面接觸的場合，也不致使裝置構成複雜化。
此時，較理想是靜壓流體軸承為靜壓空氣軸承，流體迴路包括切換閥，該切換閥是切換相對於軸向軸承部的其中任一單方之空氣壓的供應與阻斷。如以上構成時，可以僅設置切換閥的簡單的構成，容易地切換使軸向軸承面與軸向相對面接觸的測量狀態。
根據上述第1局面的主軸裝置中，較理想是進一步具備彈推部，在測量狀態下，藉著將主軸朝軸向彈推，使主軸與非接觸軸承接觸。如以上構成時，可藉彈推部，容易切換測量狀態。又，為使主軸與非接觸軸承接觸而設置專用的彈推部的場合，對應來自接觸式感測器之接觸反向力的大小設定彈推力，可藉此充分抑制主軸的偏位。
上述第1局面的主軸裝置中，較理想是進一步具備：判別部，判別將接觸式感測器從工具更換裝置裝設於工具保持部，及控制部，在將接觸式感測器裝設於工具保持部的場合，進行將非接觸軸承切換成測量狀態的控制。如以上構成時，即使在藉工具進行加工開始前的測量，或在加工途中的測量，在判別接觸式感測器已裝設於工具保持部的場合皆可切換成測量狀態。其結果，使用者沒有切換成測量狀態的必要，確實地可在接觸式感測器的測量時將非接觸軸承切換成測量狀態。
根據上述第1局面的主軸裝置中，較理想為工具保持部具有可直接保持直柄型的工具及接觸式感測器的筒夾構件。如以上構成時，與拆卸附帶筒夾工具(接觸式感測器)的場合不同，沒有在各個工具(接觸式感測器)設置筒夾夾頭的必要，可刪減零組件數使工具小型化。因此，即使在工具更換裝置設置接觸式感測器的場合，也不致使裝置構成大型化。
根據上述第1局面的主軸裝置中，較理想為驅動部包括感應馬達，非接觸軸承在測量狀態下，構成可藉著與主軸的接觸停止主軸的旋轉。在此，採用感應馬達的場合不驅動主軸時，主軸成空轉。因此，在將接觸式感測器裝設於工具保持部的場合，主軸的中心軸與接觸式的中心軸如未能嚴密地一致時，會使得接觸式感測器的前端擺振，因接觸位置不均一而成為測量精度降低的要因。為此，根據上述構成時，可以在測量狀態確實地停止主軸的旋轉的狀態，藉接觸式感測器進行工件的測量，因此在採用感應馬達的構成中，無須進行特別的馬達控制即可容易提升測量精度。
根據本發明第2局面的機床，具備：上述第1局面的其中之一的主軸裝置；使主軸裝置與工件相對移動的移動機構；及保持使工具及接觸式感測器可相對於主軸裝置的主軸拆卸的工具更換裝置。
此機床是藉如上述構成，與上述第1局面的主軸裝置同樣地，在將接觸式感測器裝設於工具保持部進行工件的 測量的場合，將非接觸軸承切換成測量狀態，可以接觸狀態支撐主軸，因此在接觸式感測器的接觸反向力作用於主軸的場合，與在非接觸狀態保持主軸的場合比較，可抑制接觸反向力之主軸的偏位。其結果，在具備採用非接觸軸承的主軸裝置的機床中，即使將接觸式感測器裝設於主軸進行工件測量的場合，仍可提升測量精度。
2:接觸式感測器
10:主軸
11:突緣部
11a:軸向相對面
12:軸部
12a:徑向相對面
20:非接觸軸承
21:軸向軸承部
21a:一方側軸向軸承面
21b:另一方側軸向軸承面
22:徑向軸承部
22a:徑向軸承面
30:驅動部
31:定子
32:轉子
33:平衡環
40:工具保持部
50:殼體
51:通路部
60:空壓源
70:流體迴路
80:切換機構
81:致動器
82:推桿
100:主軸裝置
CL:間隙
P1:加工狀態
第1圖是表示具備第1實施形態之主軸裝置的機床的整體構成的模式圖。
第2圖是表示第1實施形態之主軸裝置的模式縱剖面圖。
第3圖是說明工具保持部的構成及工具更換用之工具保持部的模式放大剖面圖。
第4圖是說明加工狀態用的主軸裝置的模式圖。
第5圖是說明測量狀態用的主軸裝置的模式圖。
第6圖是說明使用接觸式感測器之測量處理的流程用的流程圖。
第7(A)圖是表示標準量規的測量的圖(A)及第7(B)圖是表示工件的測量的圖。
第8圖是表示第2實施形態之主軸裝置的模式縱剖面圖。
第9圖是說明第2實施形態的測量狀態用之主軸裝置的模式圖。
第10圖是表示工具保持部之第1變形例的模式圖。
第11圖是表示工具保持部之第2變形例的把持狀態(A)及解除狀態(B)的模式圖。
第12圖是表示第5圖所示測量狀態之變形例的模式圖。
[較佳實施形態的說明]
以下，根據圖示說明本發明的實施形態。
[第1實施形態]
參閱第1圖~第5圖，針對第1實施形態的主軸裝置100及具備主軸裝置100的機床200說明。
(主軸裝置及機床的概要)
如第1圖表示，主軸裝置100是在主軸10(參閱第2圖)中心軸周圍旋轉驅動，藉此使裝設在主軸10的一端部的工具1旋轉，進行被加工物的工件3之加工用的裝置。將主軸裝置100組裝於機床200，藉機床200具備的移動機構110，相對於工件3相對移動。機床200為數值控制(NC)機床，藉數值資訊控制工具1與工件3的相對運動(位置及速度)，藉程式132執行加工相關的一連續動作。具體而言，機床200為具備主軸裝置100與工具更換裝置120的加工中心機，藉相對於主軸裝置100之工具1的換裝，進行鑽孔、鏜孔、銑 削等的各種加工。
第1實施形態中，其中一例有工件3為光學透鏡用的模具，針對藉機床200進行模具之精密加工的例說明。第1實施形態的主軸裝置100及機床200由於可藉接觸式感測器2進行工件3的高精度測量，因此尤其適合要求模具的製作等的高精度之精密加工的場合。
機床200，具備：主軸裝置100、移動機構110及工具更換裝置120。並且，機床200(主軸裝置200)具備控制該等的各部的控制部130。
移動機構110是構成使主軸裝置100與工件3相對移動。機床200是使主軸裝置100與工件3至少在與上下方向，及在水平面內正交的2方向的正交3軸方向相對移動。主軸裝置100與工件3的相對移動也可以僅主軸裝置100及工件3的一方移動，也可以是主軸裝置100及工件3的雙方移動。第1圖的例中，移動機構110是將主軸裝置100朝著上下方向的Z方向與水平面內的Y方向(第1圖的左右方向)移動，使工件3在水平面內朝著與Y方向正交的X方向(與第1圖的紙面垂直的跟前側及縱深方向)移動。
第1圖是表示機床200為門式加工中心機的例。機床200，具備：設置有工件3的機台140，可使機台140朝X方向移動的機座141。機床200，具備：配置在機座141的Y方向兩側的一對柱子142，及掛設在一對柱子142的上端部的交叉桿143。交叉桿143是朝Y方向延伸地跨於機台140及機座141的上方。交叉桿143是支撐座架144可在Y方向移動。 座架144是支撐設有主軸裝置100的機頭145可在Z方向移動。
移動機構110，具備：使機頭145朝Z方向移動的Z軸移動機構111；使座架144朝Y方向移動的Y軸移動機構112；及使機台140朝X方向移動的X軸移動機構113。Z軸移動機構111、Y軸移動機構112及X軸移動機構113分別例如包括：內置位置檢測器的伺服馬達114，及藉伺服馬達114驅動的直動式機構(未圖示)。並且，移動機構110也可以具備比3軸多的移動軸。例如，移動機構110，也可具備使機頭145在X方向的軸中心轉動(使主軸裝置100的工具1相對於水平面傾斜)的轉動軸，或使機台140在Z軸中心旋轉(使工件3在水平面內旋轉)的轉軸。
工具更換裝置120具有可拆裝地保持複數種的工具1，更換裝設於主軸裝置100的主軸10之工具1的功能。第1實施形態中，工具更換裝置120除工具1之外，並可取出地保持接觸式感測器2。亦即，工具更換裝置120是構成相對於主軸裝置100的主軸10可拆卸地保持工具1及接觸式感測器2。
第1圖表示的工具更換裝置120，包括：保持工具1及接觸式感測器2的倉匣121，及驅動倉匣121的馬達122。倉匣121是形成圓盤狀，在外圍部沿著周圍方向具有複數的保持孔(未圖示)。倉匣121是以將工具1或接觸式感測器2向上方抽除的狀態保持於各保持孔。馬達122是構成使倉匣121可在中心的轉軸周圍旋轉。
藉倉匣121的旋轉，可以將倉匣121的預定的保持孔相對於主軸裝置100定位於工具更換位置。藉此，機床200使主軸裝置100朝著倉匣121的上方的工具更換位置移動，可進行：卸下裝設在主軸裝置100的工具1或接觸式感測器2並設定於工具更換位置的保持孔，及將保持在朝工具更換位置移動之保持孔的工具1或接觸式感測器2裝設於主軸裝置100。
控制部130是構成可進行機床200的整體的動作控制。控制部130是藉CPU等的處理機所構成。控制部130具備記憶有控制包括工件3的加工程式之機床200用的各種程式132的記憶部131。處理機執行記憶於記憶部131的程式，藉以使處理機作為機床200的控制部130動作。藉此，控制部130進行：主軸裝置100的動作控制、移動機構110的動作控制、工具更換裝置120的動作控制。控制部130是例如設置於機床200的控制盤，與控制盤的顯示部(未圖示)或輸入部(未圖示)連接。
(主軸裝置)
如第2圖表示，主軸裝置100，具備：主軸10、非接觸軸承20、驅動部30及工具保持部40。將主軸裝置100封裝化成為該等的各部收容在殼體50內的組裝。
主軸10是概略在圓筒狀的殼體50的中心，向上下延伸設置的軸構件。主軸10雖是實心的軸構件，但是第2圖的例是具有中空(參閱第3圖)的圓筒形狀。主軸10是藉著驅 動部30在中心軸周圍旋轉驅動，使裝設在設置於主軸10的一端部(主軸端)的工具保持部40的工具1旋轉。以下是為方便起見，設配置有主軸10之工具保持部40的一側為一端側(Z1方向)，設與主軸10之工具保持部40的相反側為另一端側(Z2方向)。
主軸10在外圍面設有朝徑向外側突出的突緣部11。突緣部11具有一定的厚度，形成為圓板狀。突緣部11中，在軸向的一端側(Z1方向側)及另一端側(Z2方向側)的各表面，形成有與非接觸軸承20軸向相對的軸向相對面11a。在主軸10設有外徑一定的軸部12。在軸部12設有與非接觸軸承20徑向相對的徑向相對面12a。並且，突緣部11的位置尤其不加以限定，突緣部11也可相對於軸部12配置在一端側(Z1方向側)。
工具保持部40是設置在主軸10的一端部，構成可拆卸地保持進行工件3的加工的工具1或進行工件3的測量的接觸式感測器2。工具保持部40是在中空的主軸10的一端部，藉著與***的工具1或接觸式感測器2的卡合，保持工具1或接觸式感測器2。針對工具保持部40的詳細如後述。
非接觸軸承20是構成以非接觸支撐主軸10可在中心軸線周圍旋轉。非接觸軸承20是至少在主軸10的旋轉驅動時，構成以非接觸支撐主軸10可在中心軸線周圍旋轉。換言之，非接觸軸承20在工具1的裝設時，構成為可以非接觸狀態旋轉支撐主軸10的加工狀態P1(參閱第4圖)。並且，第1實施形態中，非接觸軸承20在接觸式感測器2的裝 設時，構成以接觸狀態支撐主軸10藉此可切換成抑制主軸10移動的測量狀態P2(參閱第5圖)。作為非接觸軸承20可採用以油或空氣作為工作流體的靜壓流體軸承，或磁性軸承。第1實施形態中，非接觸軸承20為靜壓流體軸承，尤其是以靜壓空氣軸承所構成。靜壓空氣軸承是將加壓後的氣體導入軸承與主軸的間隙CL，藉氣體壓力的平衡以非接觸支撐作用於主軸10的負荷(自重及接觸反向力)的軸承。
非接觸軸承20，包括：從軸向的兩側支撐主軸10的軸向軸承部21，及在半徑方向支撐主軸10的徑向軸承部22。
軸向軸承部21具有相對於主軸10的突緣部11配置在軸向兩側的一對的軸向軸承面。亦即，軸向軸承部21，包括：從一端側支撐主軸10的一方側軸向軸承面21a，及從另一端側支撐主軸10的另一方側軸向軸承面21b。並且，一方側軸向軸承面21a及另一方側軸向軸承面21b皆是申請專利範圍之「軸向軸承面」的一例。一方側軸向軸承面21a及另一方側軸向軸承面21b是分別從軸向看去形成為圓環狀，從突緣部11的軸向相對面11a隔著微小的間隙CL設置成軸向相對。在軸向軸承部21從空壓源(正壓源)60透過後述的流體迴路70及殼體50的通路部51，供應壓縮空氣。在一方側軸向軸承面21a與另一方側軸向軸承面21b，分別設有朝著與軸向相對面11a的間隙CL放出壓縮空氣的未圖示的節流孔。藉此，軸向軸承部21可藉著從一方側軸向軸承面21a及另一方側軸向軸承面21b分別供應至突緣部11的 軸向兩側的工作流體(空氣)之壓力的平衡，以非接觸進行主軸10之軸向(軸向方向)的支撐。
徑向軸承部22具有相對於主軸10的軸部12形成同心圓狀的徑向軸承面22a。徑向軸承面22a是從主軸10的徑向相對面12a隔著微小的間隙CL設置成相對。對徑向軸承部22透過通路部51供應壓縮空氣。在徑向軸承面22a設有朝著與徑向相對面12a的間隙CL放出壓縮空氣之未圖示的節流孔。藉此，徑向軸承部22可藉著從徑向軸承面22a供應至與徑向相對面12a之間的間隙CL的工作流體(空氣)的壓力的平衡，以非接觸進行主軸10之徑向(徑向方向)的支撐。
並且，徑向軸承部22是在沿主軸10的軸向分開的位置設置有兩個。藉此，防止主軸10的傾倒。軸向另一端側的徑向軸承部22是設置在與軸向軸承部21共同的剖面L字形狀的軸承主體。
由於抑制主軸10之旋轉驅動時的壓力變動與不均勻，因此該等的軸承面(一方側軸向軸承面21a、另一方側軸向軸承面21b、徑向軸承面22a)與主軸10的相對面(軸向相對面11a、徑向相對面12a)是由精研磨面所構成。亦即，該等的軸承面及相對面是分別以極小的表面粗糙度，並且以高的尺寸精度所形成。軸向軸承部21及徑向軸承部22的與主軸10的間隙CL的大小是例如8μm以上20μm以下左右。軸向軸承部21與主軸10的間隙CL的大小及向徑軸承部22與主軸10的間隙CL的大小也可以不同。
並且，主軸裝置100具備對靜壓流體軸承的非接觸軸 承20控制壓力供應的流體迴路70。流體迴路70是與非接觸軸承20連通，並透過壓力調整閥71(參閱第4圖)與外部的空壓源60連接。藉此，透過流體迴路70朝非接觸軸承20供應預定之壓力的壓縮空氣。所供應的空氣壓是例如約0.3MPa以上、約0.7MPa以下。
驅動部30構成為可旋轉驅動主軸10。驅動部30是構成與主軸10的另一端部連結，直接在中心軸線周圍旋轉驅動主軸10。驅動部30是可以60000rpm左右高度旋轉的電動馬達，組裝於殼體50的內部的內裝馬達。馬達雖可採用同步馬達或感應馬達，但第1實施形態中，驅動部30是以感應馬達所構成。感應馬達是藉定子31產生的旋轉磁場使轉子32產生感應電流，藉著感應電流產生的磁場與定子31的旋轉磁場的相互作用使轉子32旋轉。轉子32是固定於主軸10。定子31是固定於殼體50以圍繞轉子32的徑向外側。
並且，第2圖的例中，主軸裝置100具備切換工具保持部40之工具1的夾持(把持)與鬆脫(解除把持)用的切換機構80。切換機構80，包括：相對於主軸10設置在另一端側(Z2方向側)的致動器81，及***中空主軸10的內部，從另一端側延伸至工具保持部40附近的推桿82。致動器81是例如由空壓式或油壓式的活塞，或電動的螺線管等所構成，使推桿82朝著軸向進退。
(工具的更換)
第3圖表示之第1實施形態的構成例中，工具保持部40 是構成可直接把持工具1或接觸式感測器2的直柄部1a(2a)，保持工具1或接觸式感測器2。亦即，工具保持部40具有可直接保持直柄型的工具1及接觸式感測器2的筒夾構件41。
具體而言，工具保持部40，包括：筒夾構件41；固定在主軸10的一端部的中空筒狀的套筒42；盤簧43；及筒夾螺帽44。套筒42的一端側是形成隨著朝另一端側(Z2方向側)內徑變小而形成斜錐狀的夾孔，***筒夾構件41。筒夾構件41在內周圍側具有可保持柄部1a(2a)的筒形狀，從套筒42的一端側(Z1方向側)***套筒42內。筒夾構件41的一端側部分是對應套筒42的夾孔，外徑隨著朝向另一端部變小而形成斜錐狀。
在筒夾構件41從中間位置跨一端部形成有軸向延伸的缺口41a。筒夾構件41是貫穿套筒42內朝另一端側延伸，在筒夾構件41的另一端部設有筒夾螺帽44。並且，藉著設置在套筒42與筒夾螺帽44之間的盤簧43，使筒夾構件41朝向另一端部側(Z2方向側)彈推。藉著盤簧43將筒夾構件41朝套筒42之斜錐狀的夾孔的縱深側(Z2方向側)彈推的結果，筒夾構件41的一端部(形成有缺口41a的部分)在徑向內側被壓縮變形使得內徑縮小。在***筒夾構件41的一端部內的工具1或接觸式感測器2的柄部1a(2a)，藉著徑向的壓縮力作用，把持(夾持)工具1或接觸式感測器2。
藉切換機構80的致動器81使推桿82朝工具保持部40側前進時，推桿82的前端與筒夾構件41的另一端部接觸，將 筒夾構件41朝向一端側(Z1方向側)推壓。藉著切換機構80賦予較盤簧43的彈推力大的推壓力，將盤簧43壓縮使得筒夾構件41僅以預定量朝一端側推壓。筒夾構件41僅以從斜錐狀夾孔推出的量使得徑向的壓縮力減弱，因而使工具1或接觸式感測器2的柄部1a(2a)的把持力變弱。其結果，可藉著致動器81的動作，解除(鬆開)工具1或接觸式感測器2的保持。
工具1及接觸式感測器2是在工具更換裝置120的倉匣121，以使得柄部1a(2a)朝上方(Z1方向)的姿勢保持。在工具更換時，機床200是藉控制部130的控制，將主軸裝置100移動至工具更換位置的保持孔上方，以使得推桿82前進的狀態將柄部1a(2a)***筒夾構件41的內部。並且，機床200藉著使推桿82後退，將工具1或機床2的柄部1a(2a)把持在筒夾構件41。藉此，在工具保持部40保持著工具1或接觸式感測器2。工具1或接觸式感測器2回到工具更換裝置120的場合，機床200在工具更換位置，以工具1或接觸式感測器2配置在原來的保持孔的狀態，使推桿82前進來解除工具保持部40的把持。
工具1是在一端部(Z1方向側)形成有工件3的加工用的刀刃部1b，在另一端部(Z2方向側)設有柄部1a。接觸式感測器2是在一端部具有接觸式探頭2b，在接觸式感測器2的另一端部設有柄部2a。接觸式感測器2是檢測與接觸式探頭2b之被測量物的接觸。接觸式感測器2是例如內置應變儀，根據藉著接觸式探頭2b與被測量物的接觸產生的應力 所導致的應變來檢測接觸。接觸式感測器2是內置無線通訊部，對配置在機床200內的預定位置之未圖示的收訊部，輸出檢測訊號。根據接觸式感測器2的輸出，可精密地測量接觸式探頭2b與被測量物的接觸位置。
(加工狀態及測量狀態)
接著，針對在主軸裝置100裝設工具1進行加工時的加工狀態，及在主軸裝置100裝設接觸式感測器2進行工具3的測量的測量狀態說明。
如上述，第1實施形態中，非接觸軸承20在工具1的裝設時，形成以非接觸狀態可旋轉地支撐主軸10的加工狀態P1(參閱第4圖)，在接觸式感測器2的裝設時，藉著以接觸狀態支撐主軸10構成可切換成抑制主軸10的移動的測量狀態P2(參閱第5圖)。
(加工狀態)
首先，加工狀態P1是如第4圖表示，藉著流體迴路70，將來自空壓源60的壓縮空氣供應至軸向軸承部21的一方側軸向軸承面21a與另一方側軸向軸承面21b的雙方。藉此，相對於軸向軸承部21以非接觸狀態軸向支撐主軸10。又，加工狀態P1是將來自空壓源60的壓縮空氣供應至兩個徑向軸承部22的各徑向軸承面22a。藉此，相對於徑向軸承部22以非接觸狀態徑向支撐主軸10。該等的結果，主軸10是藉著供應至與非接觸軸承20的間隙CL的空氣壓，以 非接觸限制軸向(Z方向)及徑向(XY方向)的移動的狀態，可旋轉地支撐於中心軸周圍。
在此狀態，藉驅動部30旋轉驅動主軸10使裝設於主軸10的工具1高速旋轉。並且，藉著移動機構110具備的Z軸移動機構111；Y軸移動機構112；及X軸移動機構113使主軸裝置100與工件3相對移動。藉著使工具1與工件3接觸，進行切削加工。
(測量狀態)
另一方面，如第5圖表示，非接觸軸承20是在測量狀態P2中，構成使軸向軸承部21的軸向軸承面(另一方側軸向軸承面12b)與主軸10的軸向相對面11a形成軸向接觸。
亦即，調節對非接觸軸承20的供應壓力以使得主軸10與非接觸軸承20接觸。流體迴路70是構成在測量狀態P2中，軸向軸承部21的一端側(Z1方向側)及另一端側(Z2方向側)之中，使其中任一單方的供應壓力較另一單方弱或阻斷，藉以使軸向軸承面與軸向相對面11a接觸。
更具體而言，第1實施形態中，流體迴路70包括切換閥72，切換相對於軸向軸承部21的其中任一單方之空氣壓的供應(ON)與阻斷(OFF)。亦即，測量狀態P2是藉切換閥72阻斷對軸向軸承部21的其中任一單方之空氣壓的供應，藉以使主軸10在阻斷的一側移動，使得軸向軸承面與軸向相對面11a接觸。
在流體迴路70分別設有與一方側軸向軸承面21a的節 流孔連通的流路73，及與另一方側軸向軸承面21b的節流孔連通的流路74。切換閥72是配置在與另一方側軸向軸承面21b的節流孔連通的流路74上。因此，藉著切換閥72，對一方側軸向軸承面21a持續供應壓縮空氣的狀態，並對另一方側軸向軸承面21b進行壓縮空氣的供應及阻斷。藉阻斷對另一方側軸向軸承面21b之壓縮空氣的供應，使得僅與一方側軸向軸承面21a之間的間隙CL的部分成為高壓，使主軸10朝另一方側軸向軸承面21b側移動。
藉如以上構成，第5圖表示的第1實施形態中，非接觸軸承20是構成在測量狀態P2中，一方側軸向軸承面21a從主軸10分開，另一方側軸向軸承面21b與主軸10的軸向相對面11a接觸。主軸10僅以另一方側軸向軸承面21b與軸向相對面11a之間的間隙CL大小的量(約8μm~20μm左右)朝軸向另一端側(Z2方向)移動。其結果，另一方側軸向軸承面21b與軸向相對面11a形成面接觸。
測量狀態P2是使主軸10的軸向相對面11a與另一方側軸向軸承面21b接觸，因此將主軸10的軸向(Z方向)位置更正確地定位在另一方側軸向軸承面21b與軸向相對面11a的接觸位置。並且，藉軸向軸承部21支撐朝向主軸10的軸向另一端側(Z2方向)的外力，限制主軸10的移動以使得主軸10不再朝向另一端側移動。
在此，感應馬達與在轉子設置永久磁鐵的同步馬達不同，由於僅設有導體，可使轉子32(主軸10)在馬達的非驅動時成為自由旋轉的狀態。相對於此，如上述，非接觸軸 承20的軸承面與主軸10的相對面是分別以精研磨加工形成為平滑，在面接觸狀態，使另一方側軸向軸承面21b與軸向相對面11a強力地密接。因此，在測量狀態P2，停止主軸10的旋轉。如上述，非接觸軸承20構成為在測量狀態P2，藉著與主軸10的接觸停止主軸10的旋轉。同樣地，在測量狀態P2，藉另一方側軸向軸承面21b與軸向相對面11a的密接，抑制主軸10朝軸向的移動。
在此狀態，藉移動機構110使主軸裝置100與工件3相對移動，將接觸式感測器2接觸於工件3等的被測量物，藉此進行被測量物的尺寸，或移動機構110的座標系之接觸位置的精密測量。
藉接觸式感測器2進行的測量是例如進行工件3(參閱第7圖)的外型形狀或位置的測量及被加工面的形狀測量。例如長方體形的工件3的外型形狀是藉著相對於水平方向的4側面之水平方向(主軸10的徑向)的接觸與相對於上面之上下方向(主軸10的軸向)的接觸來測量。例如形成於工件3的上面的被加工面的形狀是相對於被加工面的面內的複數測量點進行上下方向(主軸10的軸向)的接觸，使所獲得之複數測量點的三維位置的分布近似，藉獲得被加工面的形狀來測量。
因此，尤其在將接觸式感測器2從被測量物的上方與軸向(Z方向)接觸的場合，有起因於接觸式感測器2與被測量物的接觸而朝軸向另一端側(Z2方向)的接觸反向力FR(參閱第5圖)作用於主軸10。接觸式感測器2的構造上， 相對於被測量物的推壓力相對於水平方向是以約0.1N~1N左右，在軸向是增大為約1N~7N左右。第1實施形態是在測量狀態P2使另一方側軸向軸承面21b與軸向相對面11a接觸，藉此支撐軸向的接觸反向力FR防止主軸10的偏位。並且，水平方向的測量由於推壓力小，因此藉著另一方側軸向軸承面21b與軸向相對面11a的密接，充分防止軸向方向的偏位。
在切換成測量狀態P2之後，回到加工狀態P1的場合，如第4圖表示，進行切換閥72切換以將壓縮空氣供應至另一方側軸向軸承面21b，藉此可解除另一方側軸向軸承面21b與軸向相對面11a的接觸，切換成加工狀態P1。
加工狀態P1與測量狀態P2的切換是對應裝設在主軸10的裝設物是工具1或接觸式感測器2，藉控制部130進行控制。亦即，第1實施形態中，主軸裝置100具備判別部133，判別將接觸式感測器2從工具更換裝置120裝設於工具保持部40。並且，控制部130是構成將接觸式感測器2裝設於工具保持部40的場合，進行將非接觸軸承20切換成測量狀態P2的控制。
在控制部130根據機床200之規定加工動作的程式132控制執行一連續的加工動作時，進行判別部133裝設於工具1或裝設於接觸式感測器2的判別。判別部133判別裝設有接觸式感測器2時，控制部130控制流體迴路70的切換閥72，阻斷朝另一方側軸向軸承面21b的壓縮空氣。判別部133判別裝設有工具1時，控制部130控制流體迴路70的切 換閥72，朝另一方側軸向軸承面21b供應壓縮空氣。
第1實施形態中，判別部133是構成為控制部130執行控制程式的功能塊的其中之一，藉軟體來實現。也可與控制部130設置不同的處理機，藉硬體構成判別部133。
(測量動作控制)
接著，參閱第6圖，使用接觸式感測器2針對測量動作控制說明。在此，針對在機床200進行工件3的加工時進行工件3的位置及形狀的測量的例說明。
步驟S1中，控制部130是依據程式132將接觸式感測器2裝設於工具保持部40。
步驟S2中，判別部133判別是否在主軸10的工具保持部40裝設有接觸式感測器2。未裝設有接觸式感測器2的場合，不會開始測量動作。
裝設有接觸式感測器2的場合，控制部130前進至步驟S3，將非接觸軸承20切換成測量狀態P2。亦即，進行切換閥72切換，阻斷另一方側軸向軸承面21b朝節流孔之壓縮空氣的供應。其結果，使非接觸軸承20與主軸10接觸抑制主軸10的移動。
接著，在步驟S4及S5中，控制部130使用接觸式感測器2測量基準儀4，藉此執行調零(標準化)。
如第1圖表示，基準儀4是例如配置在配置有工件3的機台140上。第1圖中，為圖示的方便上，表示將基準儀4相對於工件3排列於Y方向的位置，但例如也可以將基準儀 4相對於工件3排列於X方向的位置。
如第7(A)圖表示的基準儀4是藉陶瓷等預先以高的尺寸精度所製作的支架，例如具有圓環形狀。控制部130是在測量狀態P2控制移動機構110，將接觸式感測器2的接觸式探頭2b接觸於基準儀4內周圍面的複數處，取得水平面內(XY面內)的基準位置座標。又，控制部130是將接觸式感測器2的接觸式探頭2b接觸於基準儀4的上面，取得Z方向的基準位置座標。
步驟S5中，控制部130是根據取得後之基準儀4的基準位置座標，設定水平方向(XY方向)及上下方向(Z方向)的零點。此零點是成為工件3的位置及形狀測量的基準位置。
步驟S6中，控制部130是使用接觸式感測器2測量工件3的位置及形狀。控制部130是在測量狀態P2，控制移動機構110，如第7(B)圖表示，將接觸式感測器2的接觸式探頭2b接觸於工件3的各外面側(四側面)，測量各側面的工件3的水平方向的位置。又，控制部130是將接觸式感測器2的接觸式探頭2b接觸於工件3的上面，測量工件3的上面的高度位置(Z方向位置)。又，控制部130是將接觸式感測器2的接觸式探頭2b接觸於設定在工件3之被加工面的複數測量點，測量被加工面的形狀。藉此，以基準儀4所測量的零點為基準，精密地測量工件3的位置及形狀。
測量完成後，控制部130在步驟S7中，判斷是否進行修正加工。例如第7(B)圖中，根據測量結果確認加工後的 工件3已形成為預定形狀的場合，由於不需要修正加工，控制部130結束測量處理。工件3如未形成預定的形狀的場合，控制部130前進至步驟S8。
步驟S8中，控制部130是將工具1從工具更換裝置120裝設於工具保持部40來取代接觸式感測器2。步驟S9中，判別部133是判別工具1是否已裝設於主軸10的工具保持部40。在未裝設工具1的場合，不會開始加工動作。
已裝設工具1的場合，控制部130在步驟S10中，將非接觸軸承20從測量狀態P2切換成加工狀態P1。亦即，進行切換閥72切換，將壓縮空氣供應至另一方側軸向軸承面21b的節流孔。其結果，使得非接觸軸承20與主軸10分開而可以非接觸狀態地旋轉支撐主軸10。
隨後，控制部130根據控制程式，執行加工控制動作。亦即，控制部130是藉著驅動部30使主軸10高速旋轉，並根據藉測量所獲得的位置資訊及形狀資訊，實施工件3的加工。
並且，工件3的測量是可以加工中的預定時機來實施。以哪一時機實施工件3的測量是可根據規定加工動作的程式132來決定。因此，在加工中為進行工件3的測量而將接觸式感測器2裝設(步驟S1)於主軸10時，實施上述步驟S2~S6，藉此測量工件3。又，在工件3的加工前進行未加工之工件3的位置及形狀的測量的場合，進行步驟S1~S6測量工件3的位置及形狀，在進行步驟S8~S10更換工具之後，根據測量結果開始工具3的加工。
(第1實施形態的效果)
第1實施形態可獲得如以下的效果。
第1實施形態是如上述，在接觸式感測器2的裝設時，藉著以接觸狀態支撐主軸10構成使非接觸軸承20可切換成抑制主軸10移動的測量狀態P2，藉此在接觸式感測器2裝設於工具保持部40進行工件3的測量的場合，將非接觸軸承20切換成測量狀態P2，可藉著非接觸軸承20以接觸狀態支撐主軸10。因此，在接觸式感測器2的接觸反向力FR作用於主軸10的場合，與以持續非接觸狀態保持主軸10的場合比較，可抑制因接觸反向力FR之主軸10的偏位。
具體而言，例如主軸進行轉數60000rpm左右之高速旋轉的主軸裝置100中，通常靜壓空氣軸承的剛性在軸向(軸方向)是約10N/μm~約20N/μm左右。另一方面，在相對於被測量物朝軸向推壓接觸式探頭2b的場合，推壓力是如上述約1N~約7N左右。剛性為10N/μm、推壓力為7N的場合，主軸10形成有0.7μm位移，在模具所要求之精度的精密測量變得困難。相對於此，根據上述第1實施形態的構成，由於朝接觸反向力FR的作用方向使主軸10機械地接觸於非接觸軸承20，因此有效地抑制主軸10的偏位。其結果，以將非接觸軸承20切換成測量狀態P2的狀態進行測量，藉此在採用非接觸軸承20的主軸裝置100中，即使將接觸式感測器2裝設於主軸10進行工件3測量的場合，仍可提升測量精度。
又，第1實施形態是如上述，在測量狀態P2中，由於以使得軸向軸承部21的軸向軸承面(另一方側軸向軸承面21b)與主軸10的軸向軸承面11a軸向接觸的方式構成非接觸軸承20，因此可以使軸向軸承面(另一方側軸向軸承面21b)與主軸10的軸向相對面11a在軸向形成面接觸。其結果，藉著面彼此的密接，即使相對於來自接觸式感測器2之軸向的接觸反向力FR，或相對於徑向的接觸反向力，仍可有效抑制主軸10的偏位。並且，由於主軸10的軸向位置被定位在與非接觸軸承20的軸向軸承面的接觸位置，因此可提升主軸10之軸向的位置精度。其結果，可更高精度地進行工件3的測量。
又，第1實施形態是如上述，在測量狀態P2中，以一方側軸向軸承面21a從主軸10分開，另一方側軸向軸承面21b與主軸10的軸向相對面11a接觸的方式構成非接觸軸承20。藉此，將另一端側(Z2方向側)的另一方側軸向軸承面21b與主軸10的軸向相對面11a接觸，因此即使來自接觸式感測器2的軸向的接觸反向力FR(參閱第5圖)朝向壓入主軸10的方向(Z2方向)作用的場合，仍可確實地防止主軸10移動。並且，可以將主軸10的軸向位置定位在與另一方側軸向軸承面21b的接觸位置。其結果，可實現因接觸反向力FR之偏位的防止，及測量狀態P2的主軸10的軸向之位置精度的提升的雙方。
又，第1實施形態是如上述，藉阻斷軸向軸承部21的一方側及另一方側之中，其中任一單方(另一方側)的供應 壓力，使軸向軸承面(另一方側軸向軸承面21b)與軸向相對面11a接觸的方式構成流體迴路70。藉此，只需調節(阻斷)對靜壓流體軸承的供應壓力，即可容易使軸向軸承面與軸向相對面11a接觸。並且，僅需使用藉靜壓流體軸承以非接觸支撐主軸10用的流體迴路70，因此即使在軸向軸承面與軸向相對面11a接觸的場合，也不致使裝置構成複雜化。並且，也可僅使得對另一方側的供應壓力比對一方側的供應壓力更為減弱來取代阻斷對另一方側的供應壓力。只要使得對另一方側的供應壓力充分小於對一方側的供應壓力，即可以藉壓力差，使軸向軸承面與軸向相對面11a接觸。因此，只要使軸向軸承面與軸向相對面11a接觸，則沒有完全阻斷對另一方側之供應壓力的必要。
又，第1實施形態是如上述，在流體迴路70設置切換相對於軸向軸承部21之其中任一單方之空氣壓的供應與阻斷的切換閥72。藉此，僅以設置切換閥72的簡單的構成，即可容易地切換成使軸向軸承面與軸向相對面11a接觸的測量狀態P2。
又，第1實施形態是如上述，設置：判別將接觸式感測器2從工具更換裝置120裝設於工具保持部40的判別部133，及將接觸式感測器2裝設於工具保持部40的場合，進行將非接觸軸承20切換成測量狀態P2的控制的控制部130。藉此，在藉工具1之加工開始前的測量，或在加工途中的測量，判別出接觸式感測器2已裝設於工具保持部40的場合仍可切換成測量狀態P2。其結果，使用者沒有切換 成測量狀態P2的必要，即可確實在接觸式感測器2的測量時將非接觸軸承20切換成測量狀態P2。
又，第1實施形態是如上述，在工具保持部40設置可直接保持直柄型的工具1及接觸式感測器2的筒夾構件41。藉此，與在拆卸附帶筒夾的工具1(接觸式感測器2)的場合不同，沒有在各個工具1(接觸式感測器2)設置筒夾夾頭的必要，可刪減零組件數使工具1小型化。因此，即使在工具1更換裝置設置接觸式感測器2的場合，也不致使裝置構成大型化。
又，第1實施形態是如上述，藉感應馬達構成驅動部30，構成使非接觸軸承20在測量狀態P2中，藉著與主軸10的接觸來停止主軸10的旋轉。如上述，採用感應馬達的場合未驅動主軸10時，會使主軸10空轉。因此，在工具保持部40裝設接觸式感測器2的場合，主軸10的中心軸與接觸式感測器2的中心軸未能嚴密地一致時，會使得接觸式感測器2的前端擺振，因工件3或基準儀4的接觸位置不均一而成為測量精度降低的要因。為此，藉由上述構成，可以在測量狀態P2確實停止主軸10的旋轉的狀態，藉接觸式感測器2進行工件3的測量，因此在採用感應馬達的構成中，無須進行特別的馬達控制即可容易提升測量精度。
又，第1實施形態中，構成具備如以上所構成之主軸裝置100的機床200，藉此即使在具備採用非接觸軸承20之主軸裝置100的機床200中，將接觸式感測器2裝設於主軸10進行工件3的測量的場合，仍可提升測量精度。
[第2實施形態]
接著，參閱第8圖及第9圖，針對第2實施形態的主軸裝置101說明。第2實施形態是與藉著對軸向軸承部21之另一方側軸向軸承面21b的壓力供應來切換成測量狀態P2的構成的第1實施形態不同，針對設置軸向彈推主軸10之彈推部210的構成說明。並且，第2實施形態中，主軸裝置101以外的構成是與上述第1實施形態相同，因此省略說明。又，第2實施形態中，針對與上述第1實施形態相同的構成，賦予相同的符號並省略說明。
如第8圖表示，第2實施形態的主軸裝置101是在測量狀態P2(參閱第9圖)中，將主軸10朝軸向(Z方向)彈推，藉此設置使主軸10與非接觸軸承20接觸的彈推部210。
彈推部210是賦予主軸10外力朝向非接觸軸承20推壓。藉此，在測量狀態P2(參閱第9圖)，使得主軸10與非接觸軸承20接觸。藉主軸10與非接觸軸承20的接觸，即使有接觸式探頭2b的接觸反向力FR作用於主軸10，仍可抑制主軸10的移動。
彈推部210只要是可賦予主軸10外力的構成尤其不加以限定。第8圖的例中，彈推部210是相對於驅動部30配置在軸向的另一端側(Z2方向側)，構成藉空氣壓彈推主軸10。亦即，在彈推部210是透過流體迴路70供應壓縮空氣。彈推部210具有與設置在轉子32的軸向另一端部的平衡環33相對，且內側插穿有推桿82的環狀的供應面211。 彈推部210是構成為從設置在供應面211的未圖示的節流孔對平衡環33吐出壓縮空氣。
如第9圖表示，流體迴路70是可藉切換閥220切換對彈推部210的壓力供應與阻斷。其結果，在切換閥220的開啟(供應)狀態，藉著從彈推部210所供應的空氣壓，將平衡環33、轉子32及與該等連結的主軸10朝著軸向一端側(Z1方向)彈推。藉此，非接觸軸承20構成為一旦將切換閥220切換成開啟狀態時，切換成以接觸狀態支撐主軸10來抑制主軸10移動的測量狀態P2。
在切換閥220的關閉(阻斷)狀態，藉阻斷壓縮空氣的供應來解除彈推，使主軸10以非接觸狀態為非接觸軸承20所旋轉支撐。藉此，非接觸軸承20構成為一旦將切換閥220切換成關閉狀態時，如第8圖表示，切換成可以非接觸狀態旋轉支撐主軸10的加工狀態P1。
如上述，第9圖的例中，彈推部210是構成藉著將主軸10朝一端側(Z1方向)彈推，使一方側軸向軸承面21a與軸向相對面11a接觸。
為此，第2實施形態的場合，在測量狀態P2中，相對於主軸10的突緣部11，軸向的接觸反向力FR的作用方向的另一端側(Z2方向側)，在與另一方側軸向軸承面21b之間有間隙產生。因此，接觸反向力FR比彈推部210的彈推力FF大的場合，具有主軸10在另一端側位移的可能性。
此時，伴隨著另一方側軸向軸承面21b與軸向相對面11a的間隙CL的減少使軸向軸承部21的另一端側的壓力上 升，因此有與主軸10的自重、彈推力FF及另一端側之壓力FP的合力，及接觸反向力FR在平衡的位置使主軸10的位移停止的可能。如以上的案例中，在一方側軸向軸承面21a與軸向相對面11a的接觸位置將主軸10軸向定位的狀態，由於預定之接觸反向力FR的位移產生，因此相同大小的接觸反向力FR作用時，位移量也會相同。
因此，在基準儀4的測量時(參閱第7(A圖))，及工件3的測量時(參閱第7(B)圖)，接觸式探頭2b的推壓力相等的場合，接觸反向力FR也相等，主軸10的位移量也相等。亦即，在基準儀4的測量時，藉接觸反向力FR以將主軸10朝軸向僅位移預定量的狀態進行調零，接著在工件3的測量時，也可藉相同的接觸反向力FR僅以預定量位移的狀態進行測量，因此其結果不受到主軸10之軸向位移的影響可進行工件3的測量。
因此，第2實施形態中，控制部130在基準儀4的測量時及工件3的測量時，控制移動機構110(參閱第1圖)以相同的推壓力藉接觸式感測器2進行測量。
並且，第2實施形態中，控制部130是在測量狀態P2中，減弱或阻斷軸向軸承部21之中，朝一方側軸向軸承面21a之節流孔的供應壓力。藉以使一方側軸向軸承面21a與軸向相對面11a密接，可以在兩者之間產生密接力，因此可有效抑制因接觸反向力FR之主軸10的移動。
又，較理想為彈推部210是構成以較接觸式感測器2進行工件3測量時之相對於工件3的軸向推壓力大的彈推力FF 彈推。藉此，即使有接觸式探頭2b的接觸反向力FR作用於主軸10時，仍可確實抑制主軸10的移動。
第2實施形態的其他構成是與上述第1實施形態相同。
(第2實施形態的效果)
第2實施形態可獲得如以下的效果。
第2實施形態是與上述第1實施形態同樣，將非接觸軸承20構成為在接觸式感測器2的裝設時，可藉著以接觸狀態支撐主軸10切換成抑制主軸10的移動的測量狀態P2，藉此在接觸式感測器2裝設於工具保持具40進行工件3的測量的場合，將非接觸軸承20切換成測量狀態P2，可藉著非接觸軸承20以接觸狀態支撐主軸10。因此，在接觸式感測器2的接觸反向力FR作用於主軸10的場合，與在非接觸狀態保持主軸10的場合比較，可抑制因接觸反向力FR之主軸10的偏位。
又，第2實施形態是如上述，在測量狀態P2中，將主軸10軸向彈推，設置使主軸10與非接觸軸承20接觸的彈推部210。藉此，可利用彈推部210容易切換成測量狀態P2。並且，在使主軸10與非接觸軸承20接觸而設置專用的彈推部210的場合，對應來自接觸式感測器2的接觸反向力FR的大小設定彈推力FF，可藉此充分抑制主軸10的偏位。
第2實施形態的其他效果是與上述第1實施形態相同。
(變形例)
並且，此次所揭示的實施形態是所有的點皆為例示而不應加以限制。本發明的範圍並非上述實施形態之說明而係藉由申請專利範圍所揭示，並且包括與申請專利範圍均等的意思及範圍內所有的變更(變形例)。
例如，上述第1及第2實施形態中，雖表示工具保持具40具有可直接保持工具1及接觸式感測器2之直柄型(柄部1a(2a))的筒夾構件41的例，但本發明不限於此。本發明中，工具保持部40也可不具有筒夾構件41。例如，主軸裝置中，筒夾構件並非工具保持部而是設置在工具側的構成已為人知。
第10圖中，工具保持部40具有***固定安裝有工具1之工具保持筒夾310的保持孔，將旋轉式的外筒320螺絲安裝固定於主軸10，藉此保持工具保持筒夾310所構成。
第11圖中，工具保持部40具有***固定地安裝著工具1之工具保持筒夾330的保持孔，藉著設置在主軸10內部的拉桿340的進退，構成可切換工具保持筒夾330的把持及把持的解除。工具保持筒夾330具有斜錐形狀的柄部331，在***工具保持部40的內部時藉著斜錐面抵接限制軸心位置及軸心的方向。拉桿340是設置取代第2圖表示的推桿82。如第11(A)圖表示，使拉桿340後退時，設置在拉桿340的閉鎖塊341將夾持爪350朝徑向外側推壓，在外圍側的柄部331卡合夾持爪350來把持(夾持)工具1。如第11(B)圖表示，使拉桿340前進時，藉著解除閉鎖塊341之夾持爪350的推壓，解除(鬆開)柄部331與夾持爪350的卡合。
本發明也可具備上述的第10圖或第11圖的構成的工具保持部40。但是，工具保持部40具有可持直接保持工具1及接觸式感測器2的直柄(柄部1a(2a))的筒夾構件41的構成是以具有在各個工具1或接觸式感測器2可不分別設置一個工具保持筒夾的點，及在正確定位的狀態下從安裝於主軸10的筒夾構件41直接把持工具1或接觸式感測器2，抑制軸心位置及軸心的方向的偏移，可高精度固定的點為佳。
又，上述第1及第2實施形態雖表示使主軸10相對於非接觸軸承20軸向(軸向方向)接觸的例(接觸於軸向軸承部的例)，但本發明不限於此。本發明也可以使主軸10相對於非接觸軸承20徑向(徑向方向)接觸。亦即，在徑向軸承部22跨全周圍以等角度間隔設有複數的節流孔，藉著從各個節流孔所吐出之壓縮空氣的靜壓的平衡來徑向非接觸地支撐主軸10。為此，阻斷徑向軸承部22的複數節流孔之中，相對於其中之一或複數的壓力供應，可藉以使主軸10的徑向相對面12a接觸於徑向軸承部22的徑向軸承面22a。此時，藉徑向相對面12a與徑向軸承面22a的接觸處之磨擦力的增大可抑制主軸10的移動。並且，也可與第1或第2實施形態表示的構成組合，使主軸10與軸向軸承部21及徑向軸承部22的雙方接觸。
又，上述第1實施形態雖是表示阻斷對另一方側軸向軸承面21b之節流孔的壓力供應，藉以使主軸10的軸向相對面11a與另一方側軸向軸承面21b接觸的例，但本發明不限於此。如第12圖表示，也可以阻斷對一方側軸向軸承面 21a之節流孔的壓力供應，藉以使主軸10的軸向相對面11a與一方側軸向軸承面21a接觸。
又，上述第2實施形態雖是表示藉著彈推部210將主軸10朝一端側(Z1方向)彈推，使一方側軸向軸承面21a與軸向相對面11a接觸的例，但本發明不限於此。上述第2實施形態中，相反地，也可構成藉著彈推部210將主軸10朝另一端側(Z2方向)彈推，使主軸10的軸向相對面11a接觸於另一方側軸向軸承面21b。此時，主軸10與非接觸軸承20是成為與上述第1實施形態相同的接觸狀態(參閱第5圖)。
又，上述第2實施形態雖表示彈推部210是藉空氣壓以非接觸彈推主軸10所構成的例，但本發明不限於此。彈推部210例如也可構成為藉空壓式或油壓式的活塞，或電動的螺線管等，與主軸10直接接觸彈推主軸10。
又，上述第1及第2實施形態雖表示在測量狀態P2，軸向軸承部21的一方側及另一方側之中，使其中之一單方的供應壓力比另一單方弱或將其阻斷的例，但本發明不限於此。本發明也可例如在空壓源60中與正壓源另外設置負壓源，對軸向軸承部21的一方側及另一方側之中，其中任一單方供應負壓，而對另一單方供應正壓。藉此，也可以使主軸10接觸於非接觸軸承20。
又，上述第1及第2實施形態雖表示門式加工中心機的例，但本發明的機床也可以是不具有門式構造的豎立式加工中心機，或主軸10為設置在水平方向的臥式加工中心機。
2:接觸式感測器
10:主軸
11:突緣部
11a:軸向相對面
12:軸部
12a:徑向相對面
20:非接觸軸承
21:軸向軸承部
21a:一方側軸向軸承面
21b:另一方側軸向軸承面
22:徑向軸承部
22a:徑向軸承面
30:驅動部
31:定子
32:轉子
33:平衡環
40:工具保持部
50:殼體
51:通路部
60:空壓源
70:流體迴路
80:切換機構
81:致動器
82:推桿
100:主軸裝置
CL:間隙
P1:加工狀態

Claims (10)

  1. 一種主軸裝置，具備：主軸；非接觸軸承，可以非接觸支撐使上述主軸圍繞中心軸線旋轉；驅動部，旋轉驅動上述主軸；及工具保持部，設置在上述主軸的一端部，可拆卸地保持進行工件加工的工具或進行工件測量的接觸式感測器，上述非接觸軸承構成為在上述接觸式感測器的裝設時，可切換成以接觸狀態支撐上述主軸來抑制上述主軸移動的測量狀態。
  2. 如請求項1記載的主軸裝置，其中，上述非接觸軸承，包括：從軸向的兩側軸向支撐上述主軸的軸向軸承部，及在半徑方向支撐上述主軸的徑向軸承部，在上述測量狀態下，構成使上述軸向軸承部的軸向軸承面與上述主軸的軸向相對面形成軸向接觸。
  3. 如請求項2記載的主軸裝置，其中，上述軸向軸承部，包括：從一端側支撐上述主軸的一方側軸向軸承面，及從一端側相反的另一端側支撐上述主軸的另一方側軸向軸承面，上述非接觸軸承是在上述測量狀態下，構成使上述一方側軸向軸承面從上述主軸分開，並使上述另一方側軸向軸承面與上述主軸的軸向相對面接觸。
  4. 如請求項2記載的主軸裝置，其中，上述非接觸軸承為靜壓流體軸承，進一步具備控制對上述靜壓流體軸承之供應壓力的流體迴路，上述流體迴路是構成在上述軸向軸承部的一端側及另一端側之中，使其中任一單方的供應壓力比另一單方弱或將其阻斷，藉以使上述軸向軸承面與上述軸向相對面接觸。
  5. 如請求項4記載的主軸裝置，其中，上述靜壓流體軸承為靜壓空氣軸承，上述流體迴路包括切換閥，該切換閥是切換相對於上述軸向軸承部的其中任一單方之空氣壓的供應與阻斷。
  6. 如請求項1記載的主軸裝置，其中，進一步具備彈推部，在上述測量狀態下，藉著將上述主軸朝軸向彈推，使上述主軸與上述非接觸軸承接觸。
  7. 如請求項1記載的主軸裝置，其中，進一步具備：判別部，判別將上述接觸式感測器從工具更換裝置裝設於上述工具保持部，及控制部，在將上述接觸式感測器裝設於上述工具保持部時，進行將上述非接觸軸承切換成上述測量狀態的控制。
  8. 如請求項1記載的主軸裝置，其中，上述工具保持部具有可直接保持直柄型的上述工具及 上述接觸式感測器的筒夾構件。
  9. 如請求項1記載的主軸裝置，其中，上述驅動部包括感應馬達，上述非接觸軸承在上述測量狀態下，構成可藉著與上述主軸的接觸停止上述主軸的旋轉。
  10. 一種機床，具備：請求項1~9中任一項記載的主軸裝置；移動機構，使上述主軸裝置與工件相對移動；及工具更換裝置，保持上述工具及上述接觸式感測器可相對於上述主軸裝置的上述主軸拆卸。
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