TWI698383B - 物品搬送設備 - Google Patents
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- 238000004891 communication Methods 0.000 claims abstract description 84
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims abstract description 21
- 230000032258 transport Effects 0.000 claims description 312
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 66
- 238000012806 monitoring device Methods 0.000 claims description 19
- 230000009471 action Effects 0.000 claims description 15
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 9
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 claims description 5
- 230000004044 response Effects 0.000 abstract description 4
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 98
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 57
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 40
- 238000000034 method Methods 0.000 description 20
- 230000008569 process Effects 0.000 description 18
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 description 17
- 230000008093 supporting effect Effects 0.000 description 17
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 17
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 6
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 6
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 5
- 230000008520 organization Effects 0.000 description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 3
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 3
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 2
- 241000406668 Loxodonta cyclotis Species 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000006399 behavior Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 1
- 238000005755 formation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000007726 management method Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
- B65G1/02—Storage devices
- B65G1/04—Storage devices mechanical
- B65G1/0457—Storage devices mechanical with suspended load carriers
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Programme-control systems
- G05B19/02—Programme-control systems electric
- G05B19/418—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM]
- G05B19/4189—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM] characterised by the transport system
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67724—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations by means of a cart or a vehicule
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B61—RAILWAYS
- B61B—RAILWAY SYSTEMS; EQUIPMENT THEREFOR NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B61B3/00—Elevated railway systems with suspended vehicles
- B61B3/02—Elevated railway systems with suspended vehicles with self-propelled vehicles
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
- B65G1/02—Storage devices
- B65G1/04—Storage devices mechanical
- B65G1/137—Storage devices mechanical with arrangements or automatic control means for selecting which articles are to be removed
- B65G1/1373—Storage devices mechanical with arrangements or automatic control means for selecting which articles are to be removed for fulfilling orders in warehouses
- B65G1/1375—Storage devices mechanical with arrangements or automatic control means for selecting which articles are to be removed for fulfilling orders in warehouses the orders being assembled on a commissioning stacker-crane or truck
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G43/00—Control devices, e.g. for safety, warning or fault-correcting
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G43/00—Control devices, e.g. for safety, warning or fault-correcting
- B65G43/08—Control devices operated by article or material being fed, conveyed or discharged
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
- B65G49/061—Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67712—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations the substrate being handled substantially vertically
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
- B65G2201/02—Articles
- B65G2201/0297—Wafer cassette
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- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/31—From computer integrated manufacturing till monitoring
- G05B2219/31273—Buffer conveyor along main conveyor
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/50—Machine tool, machine tool null till machine tool work handling
- G05B2219/50392—Overhead conveyor
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Control Of Position, Course, Altitude, Or Attitude Of Moving Bodies (AREA)
- Leg Units, Guards, And Driving Tracks Of Cranes (AREA)
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Abstract
物品搬送設備具備在搬送物品的第1區域中控制物品搬送車之第1控制裝置、與在進行物品搬送車的調整之第2區域中控制物品搬送車之第2控制裝置。根據來自第1控制裝置的脫離指令,需要調整的物品搬送車之作動控制部會使物品搬送車進入第2區域,而可與第1控制裝置及第2控制裝置排他性地進行無線通訊之通訊控制部,會將通訊對象目標變更為第2控制裝置。作動控制部會回應來自第2控制裝置的調整指令而利用調整用裝置進行調整作動,並且更新設定檔儲存部的搬送用設定檔資訊,且在更新後,通訊控制部會將通訊對象目標變更為第1控制裝置。
Description
發明領域
本發明是關於物品搬送設備,其具備設置在地上側的複數個載置台、及被設置在天花板的行走軌道懸吊支持而行走,且將物品從成為搬送起點的載置台搬送到成為搬送目的地的載置台的物品搬送車。
發明背景
利用懸吊於設置在天花板的軌道的物品搬送車,以自動地搬運物品之物品搬送設備目前已經實用化。為了以高精度移載物品,具體而言,為了在搬送起點上將物品精度良好地保持、搬送,並精度良好地載置到搬送目的地之預定位置,較佳是精度良好地調整物品搬送車的停止位置或支持物品的支持部進行支持動作的位置。在日本專利特開2005-170544號公報(專利文獻1)中,揭示有補正該類停止位置及動作位置的技術。
在專利文獻1中,所使用的是:與搬送對象的物品同形狀且內部具備有相機及影像處理裝置之位置補正器、與載置在供物品載置的載置台上之補正片。保持有
位置補正器的物品搬送車於相對於載置有補正片的載置台移載該位置補正器時,可藉由於位置補正器上所具備的相機拍攝補正片。攝影結果會經過圖像處理裝置的處理而被提供至物品搬送車。物品搬送車儲存有成為基準的圖像資訊,並將由位置補正器提供的補正片之攝影資訊與成為基準之圖像資訊的差異作為位置偏離量來檢測。檢測到的位置偏離量是作為補正資料而儲存。在之後的搬送時,會變得可利用此補正資料,補正停止位置,而精度良好地搬送、移載物品(專利文獻1:[0022]~[0045]等)。
在專利文獻1中,記載有作業者使位置補正器下降,並固定到基準架台的正規位置上之類的情形,作業者必須參與調整作業([0039]等)。一般來說,藉由人工進行的調整作業會有前置時間(lead time)變長的傾向。由於在調整中會使由調整對象之物品搬送車進行的物品的搬送變得無法進行,故物品搬送設備的利用率會降低。又,當單純地將調整做成自動化時,會成為例如,在專利文獻1中控制系統全體的系統控制器(參照專利文獻1:
[0027]、圖4等)也要控制調整對象之物品搬送車之情形,而造成系統控制器的負荷增大且也有與設備利用率之降低有關的疑慮。
發明概要
有鑑於上述背景,所期望的是提供一種技術,其可抑
制物品搬送設備全體的設備利用率的降低,並且有效率地進行物品搬送車的調整。
作為1個態樣,有鑑於上述之物品搬送設備,為具備有行走軌道、複數個載置台與物品搬送車之物品搬送設備,該行走軌道是設置在天花板,該等載置台是沿著前述行走軌道而設置在地上側,該物品搬送車被前述行走軌道懸吊支持而沿著由前述行走軌道形成的行走路徑行走,並將物品從成為搬送起點的前述載置台搬送到成為搬送目的地的前述載置台,該物品搬送設備具備:第1區域,為藉由前述物品搬送車搬送前述物品之區域;第2區域,為設置在與前述第1區域不同的區域,且進行前述物品搬送車的調整之區域;調整用裝置,設置在前述第2區域;第1控制裝置,控制前述第1區域中的前述物品搬送車的作動;及第2控制裝置,控制前述第2區域中的前述物品搬送車的作動,其中,前述行走路徑包含第1路徑及第2路徑,該第1路徑是設置在前述第1區域,該第2路徑是相對於前述第1路徑分歧及匯合,並且設置在前述第2區域,前述物品搬送車具備:通訊控制部,至少可與前述第1控制裝置及前述第2控
制裝置排他性地進行無線通訊;作動控制部,根據來自前述第1控制裝置及前述第2控制裝置的指令,使前述物品搬送車藉由自主控制而作動;及設定檔(profile)儲存部,儲存搬送用設定檔資訊,該搬送用設定檔資訊至少包含用於在各載置台移載前述物品之位置資訊,前述第1控制裝置會將用於使前述物品搬送車作動的作動指令發送給前述物品搬送車,於前述作動指令中至少包含用於使其搬送前述物品之物品搬送指令、與使前述物品搬送車從前述第1區域脫離到前述第2區域之脫離指令,根據前述脫離指令,作為需要調整的前述物品搬送車之調整對象車的前述作動控制部會根據前述脫離指令使該物品搬送車進入前述第2路徑,且前述調整對象車的前述通訊控制部會將通訊對象目標從前述第1控制裝置變更為前述第2控制裝置,前述調整對象車的前述作動控制部會回應來自前述第2控制裝置的調整指令而利用前述調整用裝置進行調整作動,並且更新前述搬送用設定檔資訊,前述調整對象車的前述通訊控制部會在前述搬送用設定檔資訊更新後,將通訊對象目標從前述第2控制裝置變更為前述第1控制裝置。
根據此構成,可將物品搬送設備的區域分割
為搬送物品的第1區域、以及進行物品搬送車的調整之第2區域,而且在各自的區域中將控制物品搬送車的第1控制裝置及第2控制裝置獨立而設置。藉此,即不會對物品的搬送造成影響,而可以獨立地且有效率地進行物品搬送車的調整。又,由於在第1控制裝置與物品搬送車之間、以及在第2控制裝置與物品搬送車之間,是進行無線通訊,所以可以在不考慮通訊配線等的連接的情形下在2個區域中控制物品搬送車的作動。又,由於物品搬送車是與第1控制裝置及第2控制裝置排他性地進行無線通訊,因此即便沒有複數個通訊手段或通訊頻道,仍然可以抑制訊號干擾。
又,由於在已接收脫離指令後,將調整對象車的通訊對象目標從第1控制裝置切換為第2控制裝置,所以也不會有妨礙在第1區域的物品之搬送的情形。再者,通訊控制部也可以只根據脫離指令切換通訊對象目標,也可以在作動控制部使調整對象車進入第2路徑後,切換通訊對象目標。在後者的情況下,已經不是第1控制裝置的控制對象之物品搬送車不會停留在第1區域。因此,可以更確實地抑制對在第1區域的物品的搬送造成妨礙之情形。在第2區域中,調整對象車會依照第2控制裝置的調整指令進行調整作動,並更新搬送用設定檔資訊。由於作業者不需參與調整作業,故可將調整的前置時間縮短,也可減少作業者的勞動。當已完成調整的調整對象車於將通訊對象目標從第2控制裝置變更為第1控制裝置時,該調整對
象車即可以作為常規的物品搬送車並依照第1控制裝置的控制而迅速地返回到第1區域,以搬送物品。如此,根據本構成,變得可抑制物品搬送設備全體的設備利用率之降低,並且有效率地進行物品搬送車的調整。
物品搬送設備的進一步的特徵及優點,透過以下之參照圖式來說明的實施形態之記載將變得明確。
1:天花板搬送車(物品搬送車)
1R:基準搬送車
2:處理裝置
3:支持台(載置台)
4:檢查台(調整用載置台)
4a:第1檢查台(調整用載置台)
4b:第2檢查台(調整用載置台)
4c:第3檢查台(調整用載置台)
4d:第4檢查台(調整用載置台)
4n:第n檢查台(調整用載置台)
5:收容部
6:凸緣部
7:底面凹部
7b:單元底面凹部
8:上表面凹部
9:定位構件
10:通訊控制部
11:作動控制部
12:設定檔儲存部
13:單元凸緣部
14:單元本體部
15:調整用通訊部
16:單元通訊部
17:單元控制部
18:距離感測器
19:影像感測器
22:行走部
22a:行走車輪
22b:引導輥
22m:行走用馬達
22s:引導輥螺線管
23:容器支持部
24:支持機構(支持部)
24a:把持爪
24c:按壓部
24m:把持用馬達
25:升降驅動部
25a:捲繞體
25b:捲取帶
25m:升降用馬達
26:滑動驅動部
26a:中繼部
26m:滑動用馬達
27:旋轉驅動部
27a:旋轉部
27m:旋轉用馬達
28:罩體
29:位置檢測感測器
BG:樑部
C:調整用單元(調整用裝置)
D:調整用分開距離
E1:第1區域
E2:第2區域
FS:設備監視裝置
G:引導軌道
GL:分歧側引導軌道
GR:直進側引導軌道
H1:第1控制裝置
H2:第2控制裝置
J1:分歧部
J2:匯合部
L:行走路徑
L1:第1路徑
L2:第2路徑
L3:入場路徑
L4:退場路徑
Lp:主路徑
Ls:副路徑
M:被檢測體
P:調整用載置面
P1:第1調整用載置面(調整用載置面)
P2:第2調整用載置面(調整用載置面)
P3:第3調整用載置面(調整用載置面)
P4:第4調整用載置面(調整用載置面)
R:行走軌道
S:載置部
W:容器(物品)
X:橫方向
XL:左方向
XR:右方向
Y:行走方向
圖1是示意地顯示物品搬送設備的構成之圖。
圖2是分歧部之放大圖。
圖3是天花板搬送車的側面圖。
圖4是示意地顯示物品搬送設備及天花板搬送車之系統構成的方塊圖。
圖5是顯示天花板搬送車及支持台的側面圖。
圖6是顯示天花板搬送車及支持台的側面圖。
圖7是示意地顯示物品搬送設備的系統構成之說明圖。
圖8是顯示檢查台的配置例之側面圖。
圖9是顯示載置於檢查台的調整用單元與天花板搬送車之關係的側面圖。
圖10是顯示被懸吊支持的調整用單元與支持台的關係之側面圖。
圖11是顯示調整實施時的調整用載置面與調整用單元之位置關係的放大圖。
圖12是搬送用設定檔的生成及更新之示意的狀態變遷圖。
圖13是顯示檢查台的其他例子之側面圖。
較佳實施例之詳細說明
以下,根據圖式來說明物品搬送設備之實施形態。如圖1所示,在本實施形態中,是以在對半導體基板進行薄膜形成、光蝕刻、蝕刻等的各種處理的複數個半導體處理裝置(以下,稱為處理裝置2)之間,沿著行走路徑L搬送物品之物品搬送設備為例來進行說明。如圖1所示,行走路徑L不是只以1條連續的路徑來形成,而是將複數條路徑並列地連接而形成。因此,在行走路徑L上,具有路徑分歧之分歧部J1及路徑匯合的匯合部J2。圖2是顯示行走路徑L分歧的分歧部J1之放大圖。行走路徑L是藉由設置於天花板的行走軌道R(參照圖2及圖3)而形成。在本實施形態中,如圖3所示,是將懸吊支持在行走軌道R的天花板搬送車1作為物品搬送車來例示說明。圖3是顯示天花板搬送車1的側面圖(從正交於行走方向Y的方向所見的圖)。以下,將天花板搬送車1行走的方向設為行走方向Y,且將在平面視角下相對於該行走方向Y正交的方向(在水平面上與行走方向Y正交的方向)稱為橫方向X來進行說明。
在本實施形態中,作為藉由天花板搬送車1搬送的物品而例示說明的是稱為FOUP(Front Opening Unified Pod(前開式晶圓傳送盒))的收容半導體基板之容
器W(參照圖3)。處理裝置2是相對於收容於容器W的基板(半導體基板)進行如上述之各種的處理。為了在各處理裝置2之間搬送容器W,在各處理裝置2上會以相鄰於各自的處理裝置2的狀態在地面上設置有支持台3(載置台)。這些支持台3是天花板搬送車1的容器W之搬送對象位置(搬送起點及搬送目的地)。
也就是說,物品搬送設備具備有設置於天花板之行走軌道R、複數個沿著行走軌道R(行走路徑L)而設置於地上側的支持台3、與天花板搬送車1。天花板搬送車1被行走軌道R懸吊支持,且沿著由行走軌道R形成的行走路徑L行走,而將容器W從成為搬送起點的支持台3搬送到成為搬送目的地的支持台3。在常規操作中,天花板搬送車1是沿著行走路徑L(後述的第1路徑L1)行走,將物品(容器W)從成為搬送起點的支持台3搬送到成為搬送目的地的支持台3。再者,在後述的調整動作中,天花板搬送車1是沿著行走路徑L(後述的第2路徑L2)行走,而將物品(後述的調整用單元C(參照圖9等))從成為搬送起點的檢查台4(調整用載置台)搬送到成為搬送目的地的檢查台4。再者,檢查台4及調整用單元C是構成為可以用和將容器W載置在支持台3上的形態相同的形態,將調整用單元C載置在檢查台4上。
如圖1所示,於物品搬送設備上設置有至少2個不同屬性的區域(第1區域E1及第2區域E2)。行走路徑L包含設置在第1區域E1的第1路徑L1、與相對於第1路徑L1
分歧及匯合並且設置在第2區域E2的第2路徑L2。第1區域E1為具備有上述之處理裝置2,並在各處理裝置2(支持台3)之間藉由天花板搬送車1搬送容器W的區域。第2區域E2為設置在與第1區域E1不同的區域,且利用後述的調整用單元C來進行天花板搬送車1的調整之區域。在第2區域E2中,是將作為具備有後述之被檢測體M(參照圖9)的檢查對象位置之檢查台4(調整用載置台)設置在地面上。在本實施形態中,所例示說明的是將4個檢查台4設置在第2區域E2的形態(參照圖1、圖8)。
第1路徑L1包含於圖1中顯示於中央部之相對較大的環狀的主路徑Lp、與顯示於主路徑Lp的外側之相對較小的環狀之副路徑Ls。從主路徑Lp到副路徑Ls的分歧部分之分歧部J1上,如圖2所示,設置有引導軌道G。分歧部J1也存在於從第1路徑L1到第2路徑L2的分歧部分上,且同樣地設置有引導軌道G。又,雖然省略圖示及詳細的說明,但從副路徑Ls到主路徑Lp的匯合部分之匯合部J2上也設置有同樣的引導軌道G。針對其他的分歧部分及匯合部分(例如,在圖1之上部相對於主路徑Lp而連接的外部連接路徑(入場路徑L3及退場路徑L4)與主路徑Lp的分歧部分及匯合部分),也是同樣。
如圖3所示,天花板搬送車1具備有沿著行走路徑L行走的行走部22、被行走部22懸吊支持成位於行走軌道R的下方的容器支持部23。容器支持部23具備有支持容器W的支持機構24。於行走部22上具備有在沿著行走路
徑L設置的行走軌道R上滾動的行走車輪22a、使該行走車輪22a旋轉的行走用馬達22m。行走部22是藉由以行走用馬達22m的驅動來使行走車輪22a旋轉,而沿著行走路徑L行走。
如圖2及圖3所示,於行走部22上也具備有被設置在行走路徑L的分歧部J1及匯合部J2之引導軌道G引導的引導輥22b。引導輥22b是構成為從沿著行走部22的行走方向Y之方向來看可以在左右方向(橫方向X)上進行姿勢變更。引導輥22b的姿勢變更是藉由引導輥螺線管22s(參照圖2、圖4)來進行。引導輥螺線管22s會將引導輥22b的位置切換為朝向行走方向Y為右側(右方向XR側)的第1位置及左側(左方向XL側)的第2位置,而且將引導輥22b保持在該位置上。引導輥22b在位於第1位置時,從沿著行走方向Y的方向來看是抵接於引導軌道G的右側面,而沿著未分歧側之引導軌道(在此是相對地朝向行走方向Y而延伸於右側的引導軌道(直進側引導軌道GR))來引導行走部22。又,引導輥22b在位於第2位置時,從沿著行走方向Y的方向來看是抵接於引導軌道G的左側面,而沿著延伸於左側的引導軌道(分歧側引導軌道GL)來引導行走部22。
如圖3所示,容器W具有凸緣部6及收容部5。凸緣部6是設置在容器W的上端部,且被天花板搬送車1的支持機構24所支持的部分。收容部5位於比凸緣部6更下方,且收容複數片半導體基板。再者,收容部5的前面
形成有基板出入用的基板出入口。於容器W上具備有蓋體(圖中未示),該蓋體可封閉此基板出入口,且可裝卸。天花板搬送車1是在藉由支持機構24懸吊支持凸緣部6的狀態下搬送容器W。
如圖3所示,於收容部5的底面(容器W的底面)設置有朝向上方凹陷的3個溝狀之底面凹部7。此3個底面凹部7是形成為以底面基準位置為中心使底面凹部7之長邊方向放射狀地延伸。又,3個底面凹部7的每一個是形成為愈往上方愈細的頭細形狀,且形成為使底面凹部7的內側面成為傾斜面。針對這些底面凹部7的功能將在後面描述。又,如圖3所示,凸緣部6的上表面(容器W的上表面)形成有朝向下方凹陷為圓錐形狀的上表面凹部8。此上表面凹部8是形成為愈往下方愈細之頭細形狀,且形成為使上表面凹部8之內側面成為傾斜面。針對上表面凹部8的功能也將在後面描述。
天花板搬送車1的容器支持部23具備有支持機構24(支持部)、升降驅動部25、滑動驅動部26、旋轉驅動部27及罩體28。支持機構24是懸吊支持容器W的機構。升降驅動部25是使支持機構24相對於行走部22升降移動的驅動部。滑動驅動部26是使支持機構24相對於行走部22在橫方向X上滑動移動的驅動部。旋轉驅動部27是使支持機構24相對於行走部22繞著未圖示的縱軸心(垂直方向的軸心)旋轉的驅動部。如圖3所示,罩體28是在支持有容器W的支持機構24上升到後述之上升設定位置的狀態下,覆
蓋容器W的上方側及路徑前後側的構件。再者,所謂上升設定位置是指在支持有容器W等物品的狀態下使天花板搬送車1沿著行走軌道R行走之時,作為支持機構24所在的上下方向(垂直方向)的位置而預先規定的位置。
圖4的方塊圖是示意地顯示物品搬送設備及天花板搬送車1的系統構成。第1控制裝置H1是成為物品搬送設備的核心之系統控制器。第1控制裝置H1是對於天花板搬送車1的上位控制器,且主要是成為用於控制第1區域E1中的天花板搬送車1之作動,而搬送容器W之搬送控制的核心之控制裝置。第2控制裝置H2是成為進行天花板搬送車1的調整之調整控制核心的上位控制器,且是控制第2區域E2中的天花板搬送車1之作動的控制裝置。天花板搬送車1會與第1控制裝置H1及第2控制裝置H2排他性地進行無線通訊,並根據來自任意一個控制裝置的指令藉由自主控制而作動,以保持並搬送物品(容器W或調整用單元C)。
如圖4所示,天花板搬送車1具備有通訊控制部10、作動控制部11、設定檔儲存部12及調整用通訊部15。通訊控制部10是藉由例如對應於無線LAN等的天線及通訊控制電路等所構成,且至少與第1控制裝置H1及第2控制裝置H2排他性地進行無線通訊。作動控制部11是藉由微電腦等所構成,並根據來自第1控制裝置H1及第2控制裝置H2的指令,藉由自主控制來使天花板搬送車1作動。
設定檔儲存部12是藉由記憶體等的儲存媒
體所構成,並儲存搬送用設定檔資訊,該搬送用設定檔資訊至少包含用於在各支持台3上移載容器W的位置資訊。於位置資訊中包含用於在各支持台3上搬送及移載容器W的搬送用停止目標位置資訊及搬送用移動目標位置資訊。雖然詳細內容會在之後描述,但搬送用停止目標位置資訊是顯示在行走軌道R(行走路徑L,特別是指第1路徑L1)上使行走部22停止的目標位置(搬送用停止目標位置)之資訊。又,搬送用移動目標位置資訊是顯示在行走軌道R(行走路徑L,特別是指第1路徑L1)上停止的狀態下,使支持機構24相對於行走部22移動(升降、旋轉、滑動;詳細內容會在之後描述)的目標位置(搬送用移動目標位置)之資訊。
調整用通訊部15是例如,以對應於近距離無線通訊規格的天線及通訊控制電路所構成。雖然詳細內容會在之後描述,但調整用通訊部15會與調整用單元C的單元通訊部16進行無線通訊,並接收已更新的搬送用設定檔資訊、或更新用的設定檔資訊(例如差分資訊)。
於構成容器支持部23的支持機構24上具備有一對把持爪24a(參照圖3)、及把持用馬達24m(參照圖4)。如圖3所示,一對把持爪24a的每一個從側面來看(從X方向來看)是形成為L字形,以藉由各把持爪24a的下端部從下方支持凸緣部6。一對把持爪24a是構成為沿著水平方向而相互接近及遠離。把持用馬達24m是藉由其驅動力來使一對把持爪24a相互接近或遠離。把持用馬達24m可分
別相對於各把持爪24a而設置,在具備有使一對把持爪24a連動的連動機構的情況下,設置1個驅動該連動機構的把持用馬達24m亦可。
在此,是設成藉由1個把持用馬達24m使一對把持爪24a連動之構成。例如,可以藉由把持用馬達24m,使一對把持爪24a相互接近,而使一對把持爪24a支持容器W的凸緣部6。或者,也可以是如下構造:藉由共通的支軸(圖未示)將把持爪24a軸支撐,並藉由把持用馬達24m使一對把持爪24a的前端部擺動並接近來使其支持凸緣部6。此時,支持機構24會成為支持狀態。又,可以藉由把持用馬達24m,使一對把持爪24a相互遠離,以解除一對把持爪24a對容器W的凸緣部6之支持。此時,支持機構24會成為支持解除狀態。也就是說,支持機構24是構成為可切換成支持狀態及支持解除狀態。
如圖3所示,懸吊支持容器W的支持機構24,是藉由和支持機構24相同地構成容器支持部23的升降驅動部25,而可相對於行走部22升降地被支持。於升降驅動部25上具備有捲繞體25a、捲取帶25b及升降用馬達25m(參照圖4)。捲繞體25a是被後述的旋轉部27a所支持。捲取帶25b是捲繞在捲繞體25a上,並於前端部連結支持有支持機構24。升降用馬達25m會給予用於使捲繞體25a旋轉的動力。升降驅動部25是藉由以升降用馬達25m使捲繞體25a朝正向或逆向旋轉,以將捲取帶25b捲取、或送出。藉此,可將支持機構24及被支持機構24支持的容器W升降
移動。再者,於升降驅動部25上還具有藉由脈衝數測量捲繞體25a的送出量之編碼器(圖未示)。作動控制部11是根據此脈衝數控制支持機構24的升降高度。
於同樣地構成容器支持部23的滑動驅動部26上,具備有中繼部26a(參照圖3)及滑動用馬達26m(參照圖4)。中繼部26a會被行走部22支持成可相對於行走部22沿著橫方向X滑動移動。滑動用馬達26m會給予用於使中繼部26a沿著橫方向X滑動移動的動力。滑動驅動部26是藉由滑動用馬達26m的驅動使中繼部26a沿著橫方向X滑動移動,藉此使支持機構24及升降驅動部25沿著橫方向X移動。
於同樣地構成容器支持部23的旋轉驅動部27上,具備有旋轉部27a(參照圖3)及旋轉用馬達27m(參照圖4)。旋轉部27a是可繞著縱軸心旋轉地相對於中繼部26a被支持。旋轉用馬達27m會給予用於使旋轉部27a繞著縱軸心旋轉的動力。旋轉驅動部27是藉由旋轉用馬達27m的驅動而使旋轉部27a旋轉,藉此使支持機構24及升降驅動部25沿著縱軸心周圍旋轉。
如上所述,於設定檔儲存部12中儲存有用於在各載置台(支持台3)上移載物品(容器W)的位置資訊(搬送用停止目標位置資訊、搬送用移動目標位置資訊)。搬送用停止目標位置是在與複數個支持台3的每一個之間,於天花板搬送車1移載容器W的情況(接收或移交容器W的情況)下,在行走軌道R(行走路徑L)上使天花板搬送車1(行
走部22)停止的目標位置。搬送用停止目標位置資訊是顯示此搬送用停止目標位置的資訊。搬送用移動目標位置是使在搬送用停止目標位置上停止的天花板搬送車1在容器支持部23與支持台3之間移載容器W的情況(接收或移交容器W的情況)下,使支持機構24相對於行走部22移動(升降、旋轉、滑動)的目標位置。搬送用移動目標位置資訊是顯示搬送用移動目標位置的資訊。
另外,搬送用移動目標位置是依據下列而決定:規定支持機構24相對於行走部22的縱軸心周圍之旋轉位置的旋轉設定位置、規定支持機構24相對於行走部22之在横方向X上之位置的横設定位置、及規定支持機構24相對於行走部22之在上下方向上之位置的下降設定位置。在此情況下,較佳是將行走部22於行走軌道R行走時之支持機構24的縱軸心周圍的位置設為旋轉基準位置,將行走部22行走時之支持機構24的橫方向X上的位置設為橫基準位置,將行走部22行走時的支持機構24之上下方向上的位置設為上升設定位置。也就是說,使支持機構24在縱軸心周圍位於旋轉基準位置,而且在橫方向X上位於橫基準位置,且在上下方向上位於上升設定位置之位置為支持機構24的行走用位置。天花板搬送車1是在支持機構24位於行走用位置的狀態下沿著行走軌道R行走。
然而,如參照圖1且上所述地,於物品搬送設備上設置有至少2個不同屬性的區域(第1區域E1及第2區域E2)。天花板搬送車1會在第1區域E1中,在複數個支
持台3之間搬送容器W。第2區域E2是進行天花板搬送車1的調整之區域,作為檢查對象位置的檢查台4(調整用載置台)是設置在地面上。於儲存在設定檔儲存部12中的位置資訊中,除了用於在各支持台3中搬送及移載容器W的搬送用停止目標位置資訊及搬送用移動目標位置資訊之外,也包含後述之調整用停止目標位置資訊及調整用移動目標位置資訊。也就是說,於位置資訊中也包含用於相對於檢查台4(檢查台4為複數的情況下則為各檢查台4)而搬送及移載作為物品之調整用單元C的調整用停止目標位置資訊及調整用移動目標位置資訊。也就是說,於設定檔儲存部12中儲存有搬送用設定檔資訊,該搬送用設定檔資訊至少包含用於在包含調整用載置台的各載置台(支持台3、檢查台4)上移載物品(容器W、調整用單元C)的位置資訊。
雖然詳細內容會在之後描述,但調整用停止目標位置資訊是顯示在行走軌道R(行走路徑L,特別是指第2路徑L2)上使行走部22停止的目標位置(調整用停止目標位置)之資訊。雖然詳細內容會在之後描述,但天花板搬送車1的調整是藉由以下方式來進行:藉由內置於天花板搬送車1所支持的調整用單元C中的位置檢測感測器29,來檢測配置於檢查台4的被檢測體M(參照圖9、圖10)。調整用單元C是載置在檢查台4上,調整用停止目標位置是為了至少從檢查台4接收調整用單元C,而用於使行走部22相對於該檢查台4停止的目標位置。又,調整用移動目標位置資訊是顯示在行走軌道R(行走路徑L,特別是第2路徑L2)
上使天花板搬送車1停止的狀態下,使支持機構24相對於行走部22移動(升降、旋轉、滑動)的目標位置(調整用移動目標位置)之資訊。
作動控制部11會根據來自作為上位控制器之第1控制裝置H1及第2控制裝置H2的搬送指令,而執行搬送控制及調整控制。作動控制部11會在搬送控制及調整控制的執行之時,將設置在天花板搬送車1中的各種致動器驅動控制。首先,針對搬送控制進行說明。搬送控制是藉由從搬送起點之支持台3接收容器W,並將該容器W移交至搬送目的地之支持台3,來將容器W從搬送起點之支持台3搬送到搬送目的地之支持台3的控制。回應於將容器W從搬送起點之支持台3搬送到搬送目的地之支持台3的搬送指令,而依接收搬送處理、接收升降處理、移交行走處理、移交升降處理的順序執行處理。
在接收搬送處理中,作動控制部11是根據針對作為搬送起點而被指定之支持台3的搬送用停止目標位置資訊,使行走部22行走到搬送起點之支持台3的搬送用停止目標位置,並使行走部22停止在該搬送用停止目標位置。作動控制部11會控制行走用馬達22m,而使行走部22停止在該搬送用停止目標位置。
在接收升降處理中,作動控制部11是根據針對搬送起點之支持台3的搬送用移動目標位置資訊,使支持機構24移動到該搬送用移動目標位置後,使把持爪24a移動到接近位置,之後,使支持機構24移動到行走用位
置。作動控制部11會控制升降用馬達25m、滑動用馬達26m、旋轉用馬達27m等。藉此,可將原本被搬送起點的支持台3所支持的容器W支持於位於行走用位置的支持機構24。
在移交行走處理中,作動控制部11是根據針對作為搬送目的地而被指定之支持台3的搬送用停止目標位置資訊,使行走部22行走到該搬送用停止目標位置。作動控制部11會控制行走用馬達22m,而在懸吊有容器W的狀態下使行走部22行走,並停止在該搬送用停止目標位置。
在移交升降處理中,作動控制部11是根據針對搬送目的地之支持台3的搬送用移動目標位置資訊,使支持機構24移動到該搬送用移動目標位置後,使把持爪24a移動到遠離位置。作動控制部11會控制升降用馬達25m、滑動用馬達26m、旋轉用馬達27m等。藉此,可將原本被支持機構24支持的容器W載置到搬送目的地之支持台3。之後,作動控制部11會控制升降用馬達25m、滑動用馬達26m、旋轉用馬達27m等,並使支持機構24移動到行走用位置。
另外,如圖3所示,於凸緣部6的上表面(容器W的上表面)形成有上表面凹部8。上表面凹部8是構成為在使支持機構24如圖5所示地下降移動時,使支持機構24所具備的按壓部24c從上方卡合。例如,在接收升降處理中,在天花板搬送車1使支持機構24下降移動時,會有支
持機構24相對於被載置支持在支持台3上的容器W在水平方向上偏離的情況。即便是在此情況下,仍可藉由按壓部24c接觸於上表面凹部8的內表面而被引導,而將支持機構24的水平方向上的位置相對於容器W引導到合適的位置。
又,如圖3所示,於容器W的底面具備有3個溝狀的底面凹部7。如圖6所示,底面凹部7是設置在於將容器W載置到搬送目的地之支持台3時,使支持台3所具備的定位構件9從下方卡合的位置。例如,在移交升降處理中,於支持機構24下降移動而將容器W移載到支持台3時,會有容器W相對於支持台3的適當支持位置而在水平方向上偏離的情況。即便是在此情況下,仍可藉由定位構件9接觸於底面凹部7的內側面並使容器W在水平方向上移動,而將容器W的水平方向上的位置修正到支持台3的適當支持位置。
如此,在接收升降處理及移交升降處理中的若干的誤差,可以藉由支持機構24及支持台3之機械性的構造來使其減低。但是,當因天花板搬送車1的長期變化及耗損等而使誤差變大時,藉由該種機械性的構造的對應會無法緩和誤差,而有變得無法適當地移載容器W等物品的情況。會有例如,因行走車輪22a的磨耗等,而使搬送用停止目標位置資訊所表示的搬送用停止目標位置從理想的搬送用停止目標位置偏離之情況。又,也有下述情況:伴隨著升降驅動部25的長期劣化及消耗,而使搬送用移動目標位置資訊所表示的搬送用移動目標位置與理想的搬送
用移動目標位置的偏離逐漸地變大。一般來說,會規定期間並進行定期檢查等,且在該期間時實施調整。但是,也有因各天花板搬送車1的設備利用率之差異、以及個體差異等,而使誤差比定期檢查更早變大的情況。因此,所期望的是在因應各個天花板搬送車1之適當的時期進行適當的調整。
在大多數的情況下,此種調整是例如對於已使其從第1區域E1退避到第2區域E2的天花板搬送車1,在第2區域E2中藉由作業者的人工作業來實施。因此,也成為於調整上需要花費時間,而使天花板搬送車1的設備利用率降低的主要原因之一。在本實施形態中,是藉由將調整自動化而縮短於調整上所需要的時間。又,由於對於物品搬送設備,即使是在追加新的天花板搬送車1的情況(增加車輛的情況)下,仍然可以縮短調整時間,所以也可以迅速地提高設備的搬送能力。
圖7是示意地顯示物品搬送設備的系統構成之說明圖。圖7所顯示的是用於監控各天花板搬送車1的運轉狀況之系統構成。如上所述,第1控制裝置H1會指定天花板搬送車1並藉由無線通訊來發送用於使天花板搬送車1作動的作動指令(使其搬送容器W(物品)的容器搬送指令(物品搬送指令))。天花板搬送車1會相對於所發送的作動指令,將確認回應(acknowledgement)回傳至第1控制裝置H1,並根據作動指令開始搬送控制。
已開始搬送控制的天花板搬送車1會將作動
資訊(行走中/停止中、移載的成功/失敗、到移載成功為止的嘗試次數、錯誤資訊等),和特定各天花板搬送車1的資訊(屬性資訊)一起,在不特定接收目標的情況下進行傳送。也就是說,作動資訊可為來自天花板搬送車1之側的單方的傳送(也就是所謂的隨意送出)。在物品搬送設備中,複數個天花板搬送車1分別藉由自主控制而同時進行搬送控制。第1控制裝置H1是藉由輪詢(polling)處理等,而逐次取得從複數個天花板搬送車1所傳送來的作動資訊。
當從天花板搬送車1傳送來的作動資訊是像這樣單方的傳送時,第1控制裝置H1以外的裝置也可以接收、蓄積該資訊。在本實施形態中,具備有設備監視裝置FS,並使此設備監視裝置FS取得並累積作動資訊。在作動資訊中也包含特定各天花板搬送車1的屬性。因此,設備監視裝置FS是藉由蓄積作動資訊,而可以將按每台天花板搬送車1的過去的作動狀況作為運轉資訊來蓄積。
藉由取得包含於各作動資訊的資訊、以及有關於相同的天花板搬送車1的複數個作動資訊,而成為設備監視裝置FS可逐次取得至少包含各天花板搬送車1的搬送次數及行走時間的作動狀況的資訊。設備監視裝置FS會將逐次取得的作動狀況之資訊作為運轉資訊而蓄積。此外,設備監視裝置FS會根據該運轉資訊,將需要調整的天花板搬送車1選定作為調整對象車。設備監視裝置FS是根據例如天花板搬送車1的工作時間、離上次的調整的經過
時間、預定的最近的調整需要與否判定期間中的移載的重試率等,來選定需要調整的天花板搬送車1。另外,所謂重試率,是指將1次的移載的機會之時移載失敗後重做並使其成功的次數設為分子,並將調整需要與否判定期間中的移載的全部的機會的次數設為分母之比例。
設備監視裝置FS會將此選定結果通知到第1控制裝置H1。由於設備監視裝置FS及第1控制裝置H1是設置在地上側的固定裝置,因此,在圖7中所例示的是藉由有線配線將資訊從設備監視裝置FS傳達到第1控制裝置H1的形態。但是,將該資訊的傳達藉由無線通訊來進行也無妨。
接受由設備監視裝置FS提供調整對象車的選定結果之第1控制裝置H1,是根據該選定結果來對天花板搬送車1(調整對象車)發送脫離指令。脫離指令是使天花板搬送車1(調整對象車)從第1區域E1脫離到第2區域E2的指令。也就是說,於第1控制裝置H1之作動指令中至少包含搬送指令(物品搬送指令)與脫離指令。
被指定為調整對象車的天花板搬送車1之作動控制部11是根據來自第1控制裝置H1的脫離指令,使該天花板搬送車1從第1區域E1脫離到第2區域E2。也就是說,調整對象車的作動控制部11是根據脫離指令使天花板搬送車1(調整對象車)進入到第2路徑L2。具體而言,是在分歧部J1中驅動引導輥螺線管22s,以使引導輥22b進行姿勢變更(在本實施形態中是往左側的第2位置之變更。)。藉
此,天花板搬送車1(調整對象車)會脫離第1路徑L1,並進入第2路徑L2。
行走路徑L上的天花板搬送車1的位置是由自主行走的天花板搬送車1所掌握著。又,亦可如上所述地作為作動資訊而傳達到第1控制裝置H1。天花板搬送車1(調整對象車)的作動控制部11會判定車輛本身是否已進入第2路徑L2。在例如,行走路徑L上配置有座標標記,且天花板搬送車1上搭載有檢測座標標記的感測器之形式的情況下,可以根據比起分歧部J1更靠向第2路徑L2側的座標標記之檢測結果來判定為已進入第2路徑L2。當作動控制部11判定為已完成往第2路徑L2的進入時,即對通訊控制部10傳達該判定結果。通訊控制部10會根據此判定結果,將通訊對象目標從第1控制裝置H1變更為第2控制裝置H2。
第2控制裝置H2在與天花板搬送車1(調整對象車)的通訊建立時,即對該天花板搬送車1(調整對象車)傳送調整指令。該天花板搬送車1(調整對象車)的作動控制部11是根據儲存在設定檔儲存部12的相對於檢查台4(調整用載置台)之調整用停止目標位置資訊,使天花板搬送車1行走到調整用停止目標位置並使其停止。
天花板搬送車1(調整對象車)的作動控制部11會回應來自第2控制裝置H2的調整指令,而如後所述,進行利用了調整用單元C(調整用裝置)的調整作動。作動控制部11更根據藉由此調整作動而得到的結果,更新儲存
在設定檔儲存部12的搬送用設定檔資訊。天花板搬送車1(調整對象車)的通訊控制部10會在搬送用設定檔資訊已更新後,將通訊對象目標從第2控制裝置H2變更為第1控制裝置H1。
第1控制裝置H1是根據來自生產管理裝置等的更加上位的控制器的搬送要求,指定派遣天花板搬送車1(調整對象車)的支持台3(載置台),並將搬送指令傳送至該天花板搬送車1。天花板搬送車1的作動控制部11會使天花板搬送車1(調整對象車)從第2區域E2匯合至第1區域E1,並根據搬送指令進行容器W的搬送。
以下,例示說明具體的調整控制。在本實施形態中,是使天花板搬送車1從檢查台4(調整用載置台)取代容器W而接收調整用單元C(調整用裝置),且移交到其他的檢查台4,藉此進行調整。也就是說,天花板搬送車1會在第2區域E2中,藉由支持機構24來懸吊支持調整用單元C。調整用單元C(調整用裝置)是藉由天花板搬送車1(調整對象車)的升降驅動部25於升降時取得調整用資料,並演算對應於調整對象車的搬送用設定檔資訊(更新用的設定檔資訊),而將該搬送用設定檔資訊作為更新用資料傳達給調整對象車。再者,更新用資料並不限於搬送用設定檔資訊,也可以是與原本的搬送用設定檔資訊之差分資訊。
於第2區域E2具備有檢查台4(調整用載置台),該檢查台4具有可用與在支持台3上載置容器W之形態相同的形態載置調整用單元C的調整用載置面P。配置在第
1區域E1的支持台3也是從地上起算的高度為不同之高度。因此,較理想的是,在第2區域中實施的調整控制中,調整用單元C是載置在至少2個不同高度的調整用載置面P(P1、P2、…)上,且從該調整用載置面P(P1、P2、…)的每一個於升降時取得調整用資料。在本實施形態中,如圖8所示,設置有4個分別具有不同高度的調整用載置面P(P1、P2、P3、P4)的載置台(檢查台4)。調整用載置面P之從地上起算的高度,較佳是對應於支持台3之從地上起算的高度。若調整用載置面之從地上起算的高度,對應於實際上載置物品的載置台之從地上起算的高度時,即可以在以實際的使用形態為準之形態下進行調整。其結果,使適合於實際的運用之適當的調整變得可行。
調整用單元C是從載置於不同高度之狀態,藉由升降驅動部25而升降,且根據從各自的高度的升降時所取得之調整用資料,演算搬送用設定檔資訊。如圖1及圖8所示,在本實施形態中,是將對不同高度的調整用載置面P各自設置了調整用單元C的4個檢查台4,沿著第2路徑L2而配置,且調整對象車是沿著第2路徑L2移動,並且在不同的檢查台4之間移載調整用單元C。調整用單元C是按複數個檢查台4逐個地取得調整用資料。
在圖8中,所例示的是依從地上起算的高度為由高到低的順序,而配置有第1檢查台4a、第2檢查台4b、第3檢查台4c及第4檢查台4d之4台檢查台4的形態。第1檢查台4a具有第1調整用載置面P1,第2檢查台4b具有第
2調整用載置面P2,第3檢查台4c具有第3調整用載置面P3,第4檢查台4d具有第4調整用載置面P4。在本實施形態中,調整用單元C是將第1檢查台4a作為保管場所而被載置在第1檢查台4a上。作為調整對象車的天花板搬送車1,首先,是進行對載置在第1檢查台4a的調整用單元C的接收搬送處理及接收升降處理,且對第2檢查台4b進行移交行走處理及移交升降處理。調整用單元C會在每逢各個處理時取得調整用資料,並演算對應於調整對象車的搬送用設定檔資訊。
接著,進行對載置在第2檢查台4b的調整用單元C的接收升降處理,且對第3檢查台4c進行移交行走處理及移交升降處理。調整用單元C同樣地會在每逢各個處理時取得調整用資料,並演算對應於調整對象車的搬送用設定檔資訊。接著,進行對載置在第3檢查台4c的調整用單元C的接收升降處理,且對第4檢查台4d進行移交行走處理及移交升降處理。調整用單元C同樣地會在每逢各個處理時取得調整用資料,並演算對應於調整對象車的搬送用設定檔資訊。最後,進行對載置在第4檢查台4d的調整用單元C的接收升降處理,且經由設置於第2區域E2之中的學習用路徑Lt(參照圖1),對第1檢查台4a進行移交行走處理及移交升降處理。調整用單元C同樣地會在每逢各個處理時取得調整用資料,並演算對應於調整對象車的搬送用設定檔資訊。
將這一連串的移載處理及演算設為1個迴路
(loop),將同樣的移載處理及演算重複複數次。例如,考慮測定誤差等而將該移載處理及演算重複3個迴路,以利用平均或標準偏差來決定更新用的搬送用設定檔資訊。當然,只要可得到充分的精度,以1個迴路來使其結束亦可。
圖9及圖10所例示的是天花板搬送車1從檢查台4取代容器W而接收調整用單元C之時的舉動。如上所述,天花板搬送車1是取代容器W而支持調整用單元C,且和搬送容器W的方式同樣地搬送調整用單元C是可能的。與容器W同樣地,調整用單元C的上端部也設置有單元凸緣部13,並可將此單元凸緣部13以天花板搬送車1的支持機構24懸吊支持。比單元凸緣部13更下方,且對應於容器W的收容部5的部位設置有單元本體部14。於單元本體部14上支持有距離感測器18及影像感測器19。
於單元本體部14的底面(調整用單元C的底面),與容器W同樣地,具備有朝上方凹陷的3個溝狀之底面凹部(單元底面凹部7b)(參照圖10)。又,於檢查台4的上表面,與支持台3同樣地,在從調整用單元C下方卡合的位置上具備有定位構件9。因此,將調整用單元C移載到檢查台4時,即使調整用單元C相對於支持台3的適當支持位置在水平方向上偏離,仍可藉由定位構件9接觸於單元底面凹部7b的內側面來使調整用單元C在水平方向上移動,以將調整用單元C的水平方向上的位置修正到適當支持位置。藉此,在相對於任意的檢查台4之調整用單元C的移交行走處理及移交升降處理中即使有誤差,也可以始終使調
整用單元C載置於規定的位置。因此,可以適當地進行相對於該檢查台4之如下的接收搬送處理及接收升降處理。
又,於單元凸緣部13的上表面(調整用單元C的上表面),與容器W同樣地形成有朝下方凹陷的圓錐形狀之單元上表面凹部(圖中未示)。單元上表面凹部是構成為在使支持機構24如圖9所示地下降移動時,使支持機構24所具備的按壓部24c從上方卡合。例如,在接收升降處理中,在天花板搬送車1使支持機構24下降移動時,會有支持機構24相對於被載置支持在檢查台4上的調整用單元C在水平方向上偏離的情況。即使是在此情況下,藉由使按壓部24c接觸於單元上表面凹部的內表面而被引導,而將支持機構24的水平方向上的位置相對於調整用單元C引導到適合的位置。
如圖4所示,於天花板搬送車1具備有用於藉由無線通訊而在與調整用單元C的單元通訊部16之間傳送接收各種資訊的調整用通訊部15。又,於調整用單元C上具備有距離感測器18、影像感測器19、單元通訊部16及單元控制部17。參照圖11且如後所述,距離感測器18是例如雷射測距儀,並測量調整用載置面P與調整用單元C的底部之距離。影像感測器19是例如二次元影像感測器,且是用於拍攝檢查台4(較佳是調整用載置面P)所具備的被檢測體M之感測器。單元通訊部16具備天線及通訊控制電路,並藉由近距離無線通訊而在與天花板搬送車1之間傳送接收各種資訊。單元控制部17是以微電腦等為核心所構成,控
制距離感測器18、影像感測器19及單元通訊部16的作動,並且對由影像感測器19形成的被檢測體M之攝影圖像進行圖像辨識,並根據該結果演算更新用之搬送用設定檔資訊等之更新用資料。
如圖9所示,朝向調整用載置面P使調整用單元C下降的情況下,首先,到調整用單元C坐落於調整用載置面P為止(被載置為止),天花板搬送車1會驅動升降用馬達25m而將捲取帶25b送出。如上所述,捲取帶25b的送出量是藉由編碼器而設成脈衝數來計數。調整用單元C是否已坐落於調整用載置面P是例如由升降驅動部25或作動控制部11藉由施加在捲取帶25b的張力之變化來判定。在判定為調整用單元C已坐落於調整用載置面P後,天花板搬送車1會驅動升降用馬達25m並以低速開始進行捲取帶25b的捲取。
如圖11所示,藉由捲取帶25b的捲取,調整用單元C會從調整用載置面P上浮。藉由距離感測器18,以測量調整用載置面P與調整用單元C的底部之距離,且將該測量結果傳達至天花板搬送車1。當該距離進入預先規定之相對於調整用分開距離D的容許範圍內時,捲取帶25b的捲取即停止。藉此,調整用單元C會相對於調整用載置面P,在僅相距調整用分開距離D的狀態下,成為被支持機構24懸吊支持的狀態。將對捲取帶25b施加有張力之狀態下的脈衝數設為捲取帶25b的送出量而取得,且傳達至調整用單元C。再者,調整用分開距離D是例如5~10[mm]
左右,且在正負兩方向上可容許2.5~3[mm]左右的誤差。例如,調整用分開距離D為5[mm]且容許誤差為±2.5[mm]的情況下,調整用單元C是以調整用載置面P與調整用單元C的底部之距離為2.5~7.5[mm]的範圍內之狀態,成為被支持機構24懸吊支持的狀態。在此狀態下,影像感測器19會對被檢測體M攝影。
例如,被檢測體M是具備有二維條碼而構成。調整用單元C(單元控制部17)是根據以影像感測器19所拍攝到的被檢測體M的大小、角度、位置等,判別被檢測體M相對於影像感測器19在行走方向、寬度方向及在縱軸心周圍上的偏離量。由於影像感測器19的位置是被固定在調整用單元C之中,故可判別被檢測體M相對於調整用單元C在行走方向、寬度方向及上下軸心周圍上的偏離量。再者,也可以不具備距離感測器18,而由單元控制部17從藉由影像感測器19所拍攝到的被檢測體M的大小,來演算調整用載置面P與調整用單元C之底部的距離亦可。又,即使是在具備距離感測器18的情況下,由於在該距離上可如上所述地容許有誤差,因此根據以影像感測器19所拍攝到的被檢測體M之大小來補正該距離,且進一步補正捲取帶25b的送出量亦可。
圖12所顯示的是搬送用設定檔的生成及更新之示意的狀態變遷圖。在新建構物品搬送設備的情況下,對於在該物品搬送設備的全部的天花板搬送車1之中成為基準的天花板搬送車1(基準搬送車1R),整備搬送用
設定檔資訊。此搬送用設定檔資訊是該物品搬送設備之相對於其他的全部的天花板搬送車1成為基準的設定檔資訊,且稱為基準設定檔資訊。基準設定檔資訊是藉由對於包含調整用載置台的全部的載置台(亦即第1區域E1的全部的支持台3、以及第2區域E2的全部的檢查台4)實際地搬送及移載物品(容器W及調整用單元C、或取代這些的基準物品)而生成(基準設定檔整備階段#1)。
在對該物品搬送設備追加基準搬送車1R以外的天花板搬送車1的情況下,會在追加對象的天花板搬送車1之設定檔儲存部12中寫入基準設定檔資訊。接著,將該天花板搬送車1送至第2區域E2,並進行如上述的調整。由於調整時的接收搬送處理、接收升降處理、移交行走處理、移交升降處理是根據基準設定檔資訊而執行,因此會將基準搬送車1R與追加對象的天花板搬送車1之個體差異作為差分資料而提取出來。根據基準設定檔資訊與差分資料,可生成對該天花板搬送車1固有的搬送用設定檔資訊,並寫入到設定檔儲存部12(搬送用設定檔初始設定階段#3)。已設定固有的搬送用設定檔資訊之天花板搬送車1會被投入到第1區域E1。
物品搬送設備運轉後,如上所述,可根據來自設備監視裝置FS的資訊,將需要調整的天花板搬送車1選定作為調整對象車。調整對象車會從第1區域E1脫離到第2區域E2,並如上所述地進行調整。當調整完成時,會將新的搬送用設定檔資訊儲存到調整對象車的設定檔儲存
部12(搬送用設定檔調整階段#5)。已調整完成的天花板搬送車1會再次被投入到第1區域E1中。
[其他的實施形態]
以下,針對其他的實施形態進行說明。再者,以下說明的各實施形態之構成,並不限於以各自單獨的方式被應用之構成,只要沒有發生矛盾,也可與其他實施形態之構成組合來應用。
(1)在上述內容中,所例示的是設置有各自不同高度的4個調整用載置台(檢查台4)之形態。但是,檢查台4的數量並不限定為4個。作為1個態樣,只要設置不同高度的2個以上之檢查台4即可,可以少於4個也可以是5個以上。也就是說,只要可在第2區域E2中,將調整用單元C(調整用裝置)載置於至少2個不同高度之調整用載置面P,並根據從調整用載置面P的每一個於升降時所取得的調整用資料來演算搬送用設定檔資訊者即可。較佳的是,將可使調整用單元C(調整用裝置)載置在不同高度的至少2個調整用載置台(檢查台4)沿著第2路徑L2而配置,且調整對象車是沿著第2路徑L2移動,並且將調整用單元C(調整用裝置)移載到不同的調整用載置台(檢查台4)上。
另外,在上述中,說明了將在複數個檢查台4之間的調整用單元C之移載處理及演算設為1個迴路,並將同樣的處理及演算重複複數次之情形。在上述中,雖然例示了設置有4個檢查台4的形態,但在檢查台4的數量為4個以外的情況下,在例如將n設為自然數而設置n個檢查台
4,且沿著第2路徑L2的最後之檢查台4為第n檢查台4n(參照圖8)的情況下,可針對1個迴路來將同樣的移載處理及演算實施到第n個檢查台4為止。
(2)在上述中,例示了將例如4個調整用載置台(檢查台4),以從地上起算的高度較高的順序或較低的順序,沿著第2路徑L2而配置的形態。但是,不管從地上起算的高度的順序如何而配置不同高度的檢查台4之構成亦無妨。在例如,具備有不同高度的3個以上之檢查台4的情況下,不管從地上起算的高度之順序如何而配置檢查台4亦可。
(3)在上述中,例示了設置有不同高度的2個以上之檢查台4的形態。也就是說,在上述內容中,例示了天花板搬送車1從複數個檢查台4之內的1個取代容器W而將調整用單元C接收並移交到其他的檢查台4,藉此進行調整之形態。也就是說,例示了以下形態:具備可將調整用單元C載置於不同高度的至少2個檢查台4,並從至少2個以上的不同高度的檢查台4藉由升降驅動部25而升降調整用單元C,且根據從至少2個位置以上的高度之升降時取得的調整用資料,來演算搬送用設定檔資訊。但是,如圖13所示地利用1台檢查台4來進行調整亦可。也就是說,也可以是具有可用與將容器W載置於支持台3的形態相同的形態載置調整用單元C的調整用載置面P,並且可以將調整用單元C載置到至少2個不同高度的調整用載置面P上之檢查台4,只要調整用單元C可以從調整用載置面P的每一個
於升降時取得調整用資料即可,檢查台4也可以為1個。
作為1個態樣,也可以是以下形態:使天花板搬送車1從已將調整用載置面P設定為某個高度的檢查台4(例如,已設定第1調整用載置面P1的檢查台4)接收調整用單元C,且使天花板搬送車1將調整用單元C再度移交到已將調整用載置面P再設定為不同高度之相同的檢查台4(例如,已設定第2調整用載置面P2或第3調整用載置面P3之相同的檢查台4),藉此來進行調整。也就是說,如圖13所示,若檢查台4上的調整用載置面P之從地上起算的高度為可變的話,就可以藉由1個檢查台4,伴隨著相對於複數個高度的移載來調整天花板搬送車1。
也就是說,也可以是以下形態:物品搬送設備具備可變更載置調整用單元C的載置部S之高度的檢查台4,以讓將調整用單元C載置到至少2個不同高度的調整用載置面P之作法可行,且使調整用單元C從已設定為至少2個不同高度的載置部S的每一個於升降時取得調整用資料。較理想的是例如,將被架設在樑部BG的載置部S,以藉由圖中未示的致動器來擺動,而構成為可在調整用載置面P沿著垂直方向(上下方向)的狀態、以及調整用載置面P沿著水平方向的狀態之間變更姿勢。又,較理想的是,此致動器是被第2控制裝置H2所控制。
(4)在上述中,例示了以下形態:設備監視裝置FS將需要調整的天花板搬送車1作為調整對象車而選定,並使已被通知該選定結果的第1控制裝置H1對該調整
對象車發送脫離指令。但是,也可以不具備設備監視裝置FS,而是第1控制裝置H1選定調整對象車。在此情況下,第1控制裝置H1可以蓄積運轉資訊並根據該運轉資訊來進行選定,也可以因應單純的運轉時間,或從上次的調整以來的經過時間來進行選定。又,也可以根據最近的重試率等來進行選定。
(5)在上述中,例示了以下形態:於調整對象車接收到脫離指令後,且進一步使該調整對象車進入到第2路徑L2後,將通訊對象目標從第1控制裝置H1切換到第2控制裝置H2。在此形態下,由於已經不是第1控制裝置H1的控制對象之天花板搬送車1不會停留在第1區域E1,因此可以幾乎確實地抑制對第1區域E1中的容器W之搬送造成妨礙之情形。但是,由於天花板搬送車1的行走位置等,是作為作動資訊而從天花板搬送車1傳送,因此第1控制裝置H1是可以知道已指定為調整對象車的天花板搬送車1之行走位置的。因此,在已掌握到調整對象車於分歧到第2路徑L2之前在第1路徑L1行走之情形的前提下,對其他的天花板搬送車1傳送搬送指令也是可行的。因此,調整對象車的通訊控制部10亦可在該調整對象車進入第2路徑L2之前切換通訊對象目標。例如,通訊控制部10亦可將已接收到脫離指令作為條件來切換通訊對象目標,亦可將作動控制部11已開始進行往第2路徑L2的前進方向變更作為條件來切換通訊對象目標。
(6)在上述中,例示了以下形態:使調整用單
元C以單體形式構成調整用裝置,且使調整用單元C的單元控制部17演算搬送用設定檔。但是,配置在第2區域E2的調整用裝置,也可以將調整用單元C、與固定地設置在地上側的調整用控制裝置(圖中未示)組合而構成。再者,在此情況下,調整用單元C與調整用控制裝置較佳是進行無線通訊。
(7)再者,在上述之各實施形態所揭示的構成,只要沒有發生矛盾,也可與其他的實施形態所揭示的構成組合而應用。關於其他的構成,在本說明書中所揭示的實施形態在全部之點上均只不過是例示。因此,在不脫離本發明的主旨之範圍內,可進行適當的、各種的改變。
[上述實施形態的概要]
以下,針對在上述所說明之物品搬送設備的概要進行說明。
作為1個態樣,有鑑於上述之物品搬送設備,為具備有行走軌道、複數個載置台與物品搬送車之物品搬送設備,該行走軌道是設置在天花板,該等載置台是沿著前述行走軌道而設置在地上側,該物品搬送車被前述行走軌道懸吊支持而沿著由前述行走軌道所形成的行走路徑行走,並將物品從成為搬送起點的前述載置台搬送到成為搬送目的地的前述載置台,該物品搬送設備具備:第1區域,為藉由前述物品搬送車搬送前述物品之區域;
第2區域,為設置在與前述第1區域不同的區域,且進行前述物品搬送車的調整之區域;調整用裝置,設置在前述第2區域;第1控制裝置,控制前述第1區域中的前述物品搬送車的作動;及第2控制裝置,控制前述第2區域中的前述物品搬送車的作動,其中,前述行走路徑包含第1路徑及第2路徑,該第1路徑是設置在前述第1區域,該第2路徑是相對於前述第1路徑分歧及匯合,並且設置在前述第2區域,前述物品搬送車具備:通訊控制部,至少可與前述第1控制裝置及前述第2控制裝置排他性地進行無線通訊;作動控制部,根據來自前述第1控制裝置及前述第2控制裝置的指令,使前述物品搬送車藉由自主控制而作動;及設定檔儲存部,儲存搬送用設定檔資訊,該搬送用設定檔資訊至少包含用於在各載置台移載前述物品之位置資訊,前述第1控制裝置會將用於使前述物品搬送車作動的作動指令發送給前述物品搬送車,於前述作動指令中至少包含用於使其搬送前述物品之物品搬送指令、與使前述物品搬送車從前述第1區域脫離到前述第2區域之脫離指令,
根據前述脫離指令,作為需要調整的前述物品搬送車之調整對象車的前述作動控制部會根據前述脫離指令使該物品搬送車進入前述第2路徑,且前述調整對象車的前述通訊控制部會將通訊對象目標從前述第1控制裝置變更為前述第2控制裝置,前述調整對象車的前述作動控制部會回應來自前述第2控制裝置的調整指令而利用前述調整用裝置進行調整作動,並且更新前述搬送用設定檔資訊,前述調整對象車的前述通訊控制部會在前述搬送用設定檔資訊更新後,將通訊對象目標從前述第2控制裝置變更為前述第1控制裝置。
根據此構成,可將物品搬送設備的區域分割為搬送物品的第1區域、以及進行物品搬送車的調整之第2區域,而且在各自的區域中將控制物品搬送車的第1控制裝置及第2控制裝置獨立而設置。藉此,即不會對物品的搬送造成影響,而可以獨立地且有效率地進行物品搬送車的調整。又,由於在第1控制裝置與物品搬送車之間、以及在第2控制裝置與物品搬送車之間,是進行無線通訊,所以可以在不考慮通訊配線等的連接的情形下在2個區域中控制物品搬送車的作動。又,由於物品搬送車是與第1控制裝置及第2控制裝置排他性地進行無線通訊,因此即便沒有複數個通訊手段或通訊頻道,仍然可以抑制訊號干擾。
又,由於在已接收脫離指令後,將調整對象
車的通訊對象目標從第1控制裝置切換為第2控制裝置,所以也不會有妨礙在第1區域的物品之搬送的情形。再者,通訊控制部也可以只根據脫離指令切換通訊對象目標,也可以在作動控制部使調整對象車進入第2路徑後,切換通訊對象目標。在後者的情況下,已經不是第1控制裝置的控制對象之物品搬送車不會停留在第1區域。因此,可以更確實地抑制對在第1區域的物品的搬送造成妨礙之情形。在第2區域中,調整對象車會依照第2控制裝置的調整指令,進行調整作動,並更新搬送用設定檔資訊。由於作業者不需參與調整作業,故可將調整的前置時間縮短,也可減少作業者的勞動。當已完成調整的調整對象車將通訊對象目標從第2控制裝置變更為第1控制裝置時,該調整對象車即可以作為常規的物品搬送車而依照第1控制裝置的控制,迅速地返回到第1區域以搬送物品。如此,根據本構成,變得可抑制物品搬送設備全體的設備利用率之降低,並且有效率地進行物品搬送車的調整。
在此,作為1個態樣,較理想的是,物品搬送設備更具備將各個物品搬送車的過去的作動狀況作為運轉資訊而蓄積的設備監視裝置,前述設備監視裝置逐次取得至少包含各物品搬送車的搬送次數及行走時間的作動狀況之資訊,且根據前述運轉資訊將需要調整的前述物品搬送車作為前述調整對象車而選定,並且將此選定結果發送到前述第1控制裝置,使前述第1控制裝置根據該選定結果,對前述調整對象車發送前述脫離指令。
物品搬送車的調整也可以在例如規定期間而實施的定期檢查等之時實施。但是,也有因各物品搬送車的設備利用率之差異、或個體差異等,而變得必須比定期檢查更早調整的情況。但是,當縮短定期檢查的週期時,會使物品搬送設備的設備利用率降低。根據上述構成,可以在適當的時期對適當的物品搬送車實施調整。
作為1個態樣,較理想的是,前述物品搬送車具備沿著前述行走路徑行走的行走部、被前述行走部支持且懸吊支持前述物品的支持部、及在前述行走部已停止的狀態下使前述支持部相對於前述行走部升降的升降驅動部,前述支持部是在前述第2區域中,替代前述物品而懸吊支持前述調整用裝置,前述調整用裝置會在藉由前述升降驅動部升降時取得調整用資料,並演算對應於前述調整對象車的前述搬送用設定檔資訊,且將該搬送用設定檔資訊傳達至前述調整對象車。
使物品搬送車與對搬送對象的物品同樣,以支持部支持調整用裝置,並以升降驅動部使支持有調整用裝置的支持部升降,藉此可以重現與實際上移載物品之時同樣的狀況。可以藉由使調整用裝置取得與實際的運用一致的調整用資料,以演算高精度的搬送用設定檔資訊。
在此,較理想的是,進一步使前述第2區域具備調整用載置台,該調整用載置台具有可用與於前述載置台上載置前述物品的形態相同之形態載置前述調整用裝置的調整用載置面,且在前述第2區域中,是將前述調整
用裝置載置在至少2個不同高度的前述調整用載置面上,而從前述調整用載置面的每一個於升降時取得前述調整用資料。
不僅是物品搬送車的行走路徑上之停止位置,支持部的上下方向之位置也有按每台物品搬送車之產生個體差異或長期變化的情況。載置物品的載置台之從地上起算的高度並不一定是固定的。藉由在不同高度的調整用載置面載置調整用裝置,調整用裝置可以取得使支持部相對於複數個高度升降時的調整用資料。因此,更加使適合於實際運用的調整變得可行。
又,較理想的是,將分別具備有不同高度的前述調整用載置面之至少2個前述調整用載置台沿著前述第2路徑配置,且前述調整對象車是沿著前述第2路徑移動,並且在不同的前述調整用載置台之間移載前述調整用裝置,前述調整用裝置會按複數個前述調整用載置台逐個地取得前述調整用資料。
根據此構成,可以藉由一邊在行走路徑上移動一邊依序進行將替代物品的調整用裝置移載的動作,而在有效率地滿足不同條件的移載、以及搬送條件時,使調整用裝置取得調整用資料。也就是說,根據此構成,可以有效率地實施對應於複數個條件的調整。
再者,較理想的是,將前述調整用載置台依從地上起算的高度為較高的順序、或較低的順序,來沿著前述第2路徑配置。
一般來說,當相對於1個調整用載置台的調整用裝置之移載已完成時,藉由升降驅動部升降的支持部一般而言會返回到基準位置。但是,也可在不使支持部返回到基準位置的情形下,連續進行對不同的調整用載置台的移載。在此情況下,當調整用載置台是依從地上起算的高度之順序排列時,可以將藉由升降驅動部而升降的支持部朝上下方向移動的移動量抑制,而可以縮短調整時間。也就是說,根據此構成,可以在更加有效率地滿足不同條件的移載、以及搬送條件時,使調整用裝置取得調整用資料。
又,前述調整用載置面之從地上起算的高度,宜為對應於前述載置台之從地上起算的高度之高度。
當調整用載置面之從地上起算的高度為對應於實際上載置物品的載置台之從地上起算的高度時,即可以在以實際的使用形態為準之形態下進行調整。其結果,使適合於實際的運用之適當的調整變得可行。
1:天花板搬送車(物品搬送車)
10:通訊控制部
11:作動控制部
12:設定檔儲存部
15:調整用通訊部
16:單元通訊部
17:單元控制部
18:距離感測器
19:影像感測器
22:行走部
22m:行走用馬達
22s:引導輥螺線管
24:支持機構(支持部)
24m:把持用馬達
25:升降驅動部
25m:升降用馬達
26:滑動驅動部
26m:滑動用馬達
27:旋轉驅動部
27m:旋轉用馬達
C:調整用單元(調整用裝置)
H1:第1控制裝置
H2:第2控制裝置
Claims (7)
- 一種物品搬送設備,具備以下:行走軌道,設置在天花板;複數個載置台,沿著前述行走軌道而設置在地上側;及物品搬送車,被前述行走軌道懸吊支持而沿著由前述行走軌道形成的行走路徑行走,並將物品從成為搬送起點的前述載置台搬送到成為搬送目的地的前述載置台,前述物品搬送設備具有以下的特徵:第1區域,為藉由前述物品搬送車搬送前述物品之區域;第2區域,為設置在與前述第1區域不同的區域,且進行前述物品搬送車的調整之區域;調整用裝置,設置在前述第2區域;第1控制裝置,控制前述第1區域中的前述物品搬送車的作動;及第2控制裝置,控制前述第2區域中的前述物品搬送車的作動,其中,前述行走路徑包含第1路徑及第2路徑,該第1路徑是設置在前述第1區域,該第2路徑是相對於前述第1路徑分歧及匯合,並且設置在前述第2區域,前述物品搬送車具備:通訊控制部,至少可與前述第1控制裝置及前述第2控制裝置排他性地進行無線通訊; 作動控制部,根據來自前述第1控制裝置及前述第2控制裝置的指令,使前述物品搬送車藉由自主控制而作動;及設定檔儲存部,儲存搬送用設定檔資訊,該搬送用設定檔資訊至少包含用於在各載置台移載前述物品之位置資訊,前述第1控制裝置會將用於使前述物品搬送車作動的作動指令發送給前述物品搬送車,於前述作動指令中至少包含用於使其搬送前述物品之物品搬送指令、與使前述物品搬送車從前述第1區域脫離到前述第2區域之脫離指令,作為需要調整的前述物品搬送車之調整對象車的前述作動控制部會根據前述脫離指令使該物品搬送車進入前述第2路徑,且前述調整對象車的前述通訊控制部會根據前述脫離指令,將通訊對象目標從前述第1控制裝置變更為前述第2控制裝置,前述調整對象車的前述作動控制部會回應來自前述第2控制裝置的調整指令而利用前述調整用裝置進行調整作動,並且更新前述搬送用設定檔資訊,前述調整對象車的前述通訊控制部會在前述搬送用設定檔資訊更新後,將通訊對象目標從前述第2控制裝置變更為前述第1控制裝置。
- 如請求項1之物品搬送設備,其更具備將各個物品搬送車的過去的作動狀況作為運轉資訊而蓄積的 設備監視裝置,前述設備監視裝置逐次取得至少包含各物品搬送車的搬送次數及行走時間的作動狀況之資訊,且根據前述運轉資訊將需要調整的前述物品搬送車作為前述調整對象車而選定,並且將此選定結果發送到前述第1控制裝置,前述第1控制裝置會根據該選定結果,對前述調整對象車發送前述脫離指令。
- 如請求項1或2之物品搬送設備,其中,前述物品搬送車具備沿著前述行走路徑行走的行走部、被前述行走部支持且懸吊支持前述物品的支持部、及在前述行走部已停止的狀態下使前述支持部相對於前述行走部升降的升降驅動部,前述支持部是在前述第2區域中,替代前述物品而懸吊支持前述調整用裝置,前述調整用裝置會在藉由前述升降驅動部升降時取得調整用資料,並演算對應於前述調整對象車的前述搬送用設定檔資訊,且將該搬送用設定檔資訊傳達至前述調整對象車。
- 如請求項3之物品搬送設備,其中,前述第2區域具備調整用載置台,該調整用載置台具有可用與於前述載置台上載置前述物品的形態相同之形態載置前述調整用裝置的調整用載置面,在前述第2區域中,是將前述調整用裝置載置在至少2個不同高度的前述調整用載置面上,而從前述調整用載置 面的每一個於升降時取得前述調整用資料。
- 如請求項4之物品搬送設備,其中,將分別具備有不同高度的前述調整用載置面之至少2個前述調整用載置台沿著前述第2路徑配置,且前述調整對象車是沿著前述第2路徑移動,並且在不同的前述調整用載置台之間移載前述調整用裝置,前述調整用裝置會按複數個前述調整用載置台逐個地取得前述調整用資料。
- 如請求項5之物品搬送設備,其中,前述調整用載置台是依從地上起算的高度較高的順序、或較低的順序,沿著前述第2路徑而配置。
- 如請求項4之物品搬送設備,其中,前述調整用載置面之從地上起算的高度是對應於前述載置台之從地上起算的高度之高度。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015-240458 | 2015-12-09 | ||
JP2015240458A JP6531638B2 (ja) | 2015-12-09 | 2015-12-09 | 物品搬送設備 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TW201726521A TW201726521A (zh) | 2017-08-01 |
TWI698383B true TWI698383B (zh) | 2020-07-11 |
Family
ID=58778449
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
TW105140392A TWI698383B (zh) | 2015-12-09 | 2016-12-07 | 物品搬送設備 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9670004B1 (zh) |
JP (1) | JP6531638B2 (zh) |
KR (1) | KR102448422B1 (zh) |
CN (1) | CN106865086B (zh) |
SG (1) | SG10201610270TA (zh) |
TW (1) | TWI698383B (zh) |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6844715B2 (ja) * | 2017-11-02 | 2021-03-17 | 村田機械株式会社 | 天井搬送車システム及び天井搬送車システムでの物品の一時保管方法 |
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JP7052611B2 (ja) * | 2018-07-13 | 2022-04-12 | 株式会社ダイフク | 物品仕分け設備 |
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2015
- 2015-12-09 JP JP2015240458A patent/JP6531638B2/ja active Active
-
2016
- 2016-12-07 SG SG10201610270TA patent/SG10201610270TA/en unknown
- 2016-12-07 TW TW105140392A patent/TWI698383B/zh active
- 2016-12-08 KR KR1020160166613A patent/KR102448422B1/ko active IP Right Grant
- 2016-12-08 US US15/373,042 patent/US9670004B1/en active Active
- 2016-12-09 CN CN201611129091.4A patent/CN106865086B/zh active Active
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---|---|
CN106865086B (zh) | 2020-07-28 |
JP6531638B2 (ja) | 2019-06-19 |
SG10201610270TA (en) | 2017-07-28 |
KR102448422B1 (ko) | 2022-09-27 |
US20170166406A1 (en) | 2017-06-15 |
JP2017105586A (ja) | 2017-06-15 |
US9670004B1 (en) | 2017-06-06 |
TW201726521A (zh) | 2017-08-01 |
KR20170068395A (ko) | 2017-06-19 |
CN106865086A (zh) | 2017-06-20 |
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