JP6531638B2 - 物品搬送設備 - Google Patents

Description

本発明は、地上側に設けられた複数の載置台と天井に設置された走行レールに吊下げ支持されて走行し、搬送元となる前記載置台から搬送先となる前記載置台へ物品を搬送する物品搬送車とを備えた物品搬送設備に関する。

天井に設けられたレールに吊り下げられた物品搬送車を利用して、物品を自動的に運搬する物品搬送設備が実用化されている。物品を高い精度で移載するため、具体的には、搬送元において物品を精度良く保持し、搬送して、搬送先の所定の位置に精度良く載置するためには、物品搬送車の停止位置や物品を支持する支持部が支持動作をする位置が精度良く調整されていることが好ましい。特開２００５−１７０５４４号公報（特許文献１）には、そのような停止位置や動作位置を補正する技術が開示されている。

特許文献１では、搬送対象の物品と同形状で内部にカメラ及び画像処理装置を備えた位置補正器と、物品が載置される載置台に載置される補正シートとが用いられる。位置補正器を保持した物品搬送車が、補正シートが載置された載置台に対して、当該位置補正器を移載する際に、位置補正器に備えられたカメラによって補正シートが撮影される。撮影結果は、画像処理装置による処理を経て、物品搬送車に提供される。物品搬送車は、基準となる画像情報を記憶しており、位置補正器から提供された補正シートの撮影情報との差異を位置ズレ量として検出する。検出された位置ズレ量は補正データとして記憶される。以降の搬送時には、この補正データを用いて、停止位置が補正され、精度良く物品を搬送し、移載することが可能となる（特許文献１：［００２２］〜［００４５］等）。

特許文献１には、作業者が位置補正器を降下させて、基準架台の正規位置に固定するようなことが記載されており、作業者が調整作業に携わる必要がある（［００３９］等）。一般的に人手による調整作業は、リードタイムが長くなる傾向がある。調整中は調整対象の物品搬送車による物品の搬送ができなくなるから物品搬送設備の稼働率は低下する。また、単純に調整を自動化すると、例えば、特許文献１においてシステム全体を制御するシステムコントローラ（特許文献１：［００２７］、図４等参照）が調整対象の物品搬送車も制御することになり、システムコントローラの負荷が増大して稼働率の低下につながる虞もある。

特開２００５−１７０５４４号公報

上記背景に鑑みて、物品搬送設備全体の稼働率の低下を抑制しつつ、効率的に物品搬送車の調整が可能な技術の提供が望まれる。

１つの態様として、上記に鑑みた物品搬送設備は、
天井に設置された走行レールと、前記走行レールに沿って地上側に設けられた複数の載置台と、前記走行レールに吊下げ支持されて前記走行レールによって形成された走行経路に沿って走行し、搬送元となる前記載置台から搬送先となる前記載置台へ物品を搬送する物品搬送車と、を備えた物品搬送設備であって、
前記物品搬送車によって前記物品が搬送される第１エリアと、
前記第１エリアとは別の領域に設けられ、前記物品搬送車の調整が行われる第２エリアと、
前記第２エリアに設置された調整用装置と、
前記第１エリアにおける前記物品搬送車の作動を制御する第１制御装置と、
前記第２エリアにおける前記物品搬送車の作動を制御する第２制御装置と、を備え、
前記走行経路は、前記第１エリアに設けられた第１経路と、前記第１経路に対して分岐及び合流すると共に前記第２エリアに設けられた第２経路とを含み、
前記物品搬送車は、少なくとも前記第１制御装置及び前記第２制御装置と排他的にワイヤレス通信が可能な通信制御部と、前記第１制御装置及び前記第２制御装置からの指令に基づいて前記物品搬送車を自律制御により作動させる作動制御部と、各載置台において前記物品を移載するための位置情報を少なくとも含む搬送用プロファイル情報を記憶するプロファイル記憶部と、を備え、
前記第１制御装置は、前記物品搬送車を作動させるための作動指令を前記物品搬送車に与えるものであり、
前記作動指令には、前記物品を搬送させる物品搬送指令と、前記物品搬送車を前記第１エリアから前記第２エリアに離脱させる離脱指令とを少なくとも含み、
調整が必要な前記物品搬送車である調整対象車の前記作動制御部は、前記離脱指令に基づいて当該物品搬送車を前記第２経路へ進入させ、
前記調整対象車の前記通信制御部は、前記離脱指令に基づいて、通信対象先を前記第１制御装置から前記第２制御装置に変更し、
前記調整対象車の前記作動制御部は、前記第２制御装置からの調整指令に応答して前記調整用装置を用いて調整作動を行うと共に前記搬送用プロファイル情報を更新し、
前記調整対象車の前記通信制御部は、前記搬送用プロファイル情報が更新された後、通信対象先を前記第２制御装置から前記第１制御装置に変更する。

この構成によれば、物品が搬送される第１エリアと、物品搬送車の調整が行われる第２エリアとに物品搬送設備の領域が分割され、且つそれぞれのエリアにおいて物品搬送車を制御する第１制御装置と第２制御装置とが独立して設けられている。これにより、物品の搬送に影響を与えること無く、独立して効率的に物品搬送車の調整を行うことができる。また、第１制御装置と物品搬送車との間、及び第２制御装置と物品搬送車との間では、ワイヤレス通信が行われるので、通信配線等の接続を考慮することなく、２つのエリアにおいて物品搬送車の作動を制御することができる。また、物品搬送車は、第１制御装置及び第２制御装置と排他的にワイヤレス通信を行うので、複数の通信手段や通信チャンネルを有していなくとも、混信が抑制される。

また、離脱指令を受けた後に、調整対象車の通信対象先が第１制御装置から第２制御装置に切換えられるので、第１エリアでの物品の搬送を妨げることもない。尚、通信制御部は、離脱指令のみに基づいて通信対象先を切換えてもよいし、作動制御部が調整対象車を第２経路に進入させた後に、通信対象先を切換えてもよい。後者の場合、第１制御装置による制御対象ではなくなった物品搬送車が第１エリアに留まることはない。従って、より確実に第１エリアでの物品の搬送を妨げることが抑制される。第２エリアにおいて、調整対象車は、第２制御装置の調整指令に従って、調整作動を行い、搬送用プロファイル情報を更新する。作業者が調整作業に携わらないので、調整のリードタイムが短縮され、作業者の手間も削減される。調整が完了した調整対象車が、通信対象先を第２制御装置から第１制御装置に変更すると、当該調整対象車は通常の物品搬送車として第１制御装置による制御に従って、迅速に第１エリアに復帰し、物品を搬送することができる。このように、本構成によれば、物品搬送設備全体の稼働率の低下を抑制しつつ、効率的に物品搬送車の調整が可能となる。

ここで、１つの態様として、物品搬送設備が、各物品搬送車の過去の作動状況を稼働情報として蓄積する設備監視装置をさらに備え、前記設備監視装置が、各物品搬送車の搬送回数及び走行時間を少なくとも含む作動状況の情報を逐次取得し、前記稼働情報に基づいて調整が必要な前記物品搬送車を前記調整対象車として選定すると共に、この選定結果を前記第１制御装置に与え、前記第１制御装置が、当該選定結果に基づいて、前記調整対象車に前記離脱指令を与えると好適である。

物品搬送車の調整は、例えば、期間を定めて実施される定期点検等の際に実施することもできる。しかし、各物品搬送車の稼働率の差や、個体差等によって、定期点検よりも早く調整が必要となることもある。しかし、定期点検の周期を短くすると、物品搬送設備の稼働率が低下する。上記構成によれば、適切な時期に適切な物品搬送車に対して調整を実施することができる。

１つの態様として、前記物品搬送車は、前記走行経路に沿って走行する走行部と、前記走行部に支持され且つ前記物品を吊り下げ支持する支持部と、前記走行部が停止した状態で前記支持部を前記走行部に対して昇降させる昇降駆動部と、を備え、前記支持部は、前記第２エリアにおいて、前記物品に代えて前記調整用装置を吊り下げ支持し、前記調整用装置は、前記昇降駆動部によって昇降される際に調整用データを取得し、前記調整対象車に対応する前記搬送用プロファイル情報を演算し、当該搬送用プロファイル情報を前記調整対象車に伝達すると好適である。

物品搬送車が搬送対象の物品と同様に、支持部によって調整用装置を支持し、昇降駆動部によって調整用装置を支持した支持部を昇降させることで、実際に物品を移載する際と同様の状況を再現することができる。調整用装置が、実際の運用に合った調整用データを取得することによって、精度のよい搬送用プロファイル情報を演算することができる。

ここで、さらに、前記第２エリアは、前記載置台に前記物品を載置する形態と同じ形態で前記調整用装置を載置可能な調整用載置面を有する調整用載置台を備え、前記第２エリアにおいて、前記調整用装置は、少なくとも２つの異なる高さの前記調整用載置面に載置され、前記調整用載置面のそれぞれから昇降される際に前記調整用データを取得すると好適である。

物品搬送車の走行経路上の停止位置に限らず、支持部の上下方向の位置も物品搬送車ごとの個体差や経年変化が生じる場合がある。物品が載置される載置台の地上からの高さは、一定とは限らない。異なる高さの調整用載置面に調整用装置が載置されることによって、調整用装置は、複数の高さに対して支持部が昇降する際の調整用データを取得することができる。従って、さらに、実際の運用に適合した調整が可能となる。

また、異なる高さの前記調整用載置面をそれぞれ備えた少なくとも２つの前記調整用載置台が、前記第２経路に沿って配置され、前記調整対象車は、前記第２経路に沿って移動すると共に、異なる前記調整用載置台の間で前記調整用装置を移載し、前記調整用装置は、複数の前記調整用載置台ごとに前記調整用データを取得すると好適である。

この構成によれば、物品に代わる調整用装置を移載する動作を、走行経路を移動しながら順次行うことによって、効率良く、異なる条件の移載、及び搬送条件を満たしつつ、調整用装置が調整用データを取得することができる。即ち、この構成によれば、複数の条件に対応した調整を効率的に実施することができる。

さらに、前記調整用載置台が、地上からの高さが高い順に、或いは低い順に、前記第２経路に沿って配置されていると好適である。

一般的には、１つの調整用載置台に対する調整用装置の移載が完了すると、昇降駆動部は一般的に基準位置に復帰する。しかし、昇降駆動部を基準位置に復帰させずに、連続して異なる調整用載置台への移載を行うことも可能である。このような場合、調整用載置台が地上からの高さの順に並んでいると、昇降駆動部が上下方向に移動する移動量を抑制することができ、調整時間を短縮することができる。即ち、この構成によれば、さらに効率的に、異なる条件の移載、及び搬送条件を満たしつつ、調整用装置が調整用データを取得することができる。

また、前記調整用載置面の地上からの高さは、前記載置台の地上からの高さに対応する高さであると好適である。

調整用載置面の地上からの高さが、実際に物品が載置される載置台の地上からの高さに対応していると、実際の使用形態に準じた形態で調整を行うことができる。その結果、実際の運用に適合した適切な調整が可能となる。

物品搬送設備のさらなる特徴と利点は、図面を参照して説明する実施形態についての以下の記載から明確となる。

物品搬送設備の構成を模式的に示す図 分岐部の拡大図 天井搬送車の側面図 物品搬送設備及び天井搬送車のシステム構成を模式的に示すブロック図 天井搬送車及び支持台を示す側面図 天井搬送車及び支持台を示す側面図 物品搬送設備のシステム構成を模式的に示す説明図 検査台の配置例を示す側面図 検査台に載置された調整用ユニットと天井搬送車との関係を示す側面図 吊り下げ支持された調整用ユニットと支持台との関係を示す側面図 調整実施時の調整用載置面と調整用ユニットとの位置関係を示す拡大図 搬送用プロファイルの生成及び更新の模式的な状態遷移図 検査台の他の例を示す側面図

以下、物品搬送設備の実施形態を図面に基づいて説明する。図１に示すように、本実施形態では、半導体基板に対して、薄膜形成、フォトリソグラフィー、エッチングなどの種々の処理を行う複数の半導体処理装置（以下、処理装置２と称する）の間で、走行経路Ｌに沿って物品を搬送する物品搬送設備を例として説明する。図１に示すように、走行経路Ｌは１本の連続した経路のみで形成されているのではなく、複数の経路が並列に接続されて形成されている。このため、走行経路Ｌには、経路が分岐する分岐部Ｊ１及び経路が合流する合流部Ｊ２を有している。図２は、走行経路Ｌが分岐する分岐部Ｊ１の拡大図を示している。走行経路Ｌは、天井に設置された走行レールＲ（図２及び図３参照）によって形成されている。本実施形態では、図３に示すように、走行レールＲに吊り下げ支持された天井搬送車１を物品搬送車として例示する。図３は、天井搬送車１の側面図（走行方向Ｙに直交する方向に見た図）を示している。以下、天井搬送車１が走行する方向を走行方向Ｙとし、その走行方向Ｙに対して平面視で直交する方向（水平面上で走行方向Ｙに直交する方向）を横方向Ｘと称して説明する。

本実施形態では、天井搬送車１によって搬送される物品として、ＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）と称される半導体基板を収容する容器Ｗを例示する（図３参照）。処理装置２は、容器Ｗに収容されている基板（半導体基板）に対して上述したような種々の処理を行う。容器Ｗを各処理装置２の間で搬送するため、各処理装置２には、それぞれの処理装置２に隣接する状態で、床面上に支持台３（載置台）が設置されている。これらの支持台３は、天井搬送車１による容器Ｗの搬送対象箇所（搬送元及び搬送先）である。

即ち、物品搬送設備は、天井に設置された走行レールＲと、走行レールＲ（走行経路Ｌ）に沿って地上側に設けられた複数の支持台３と、天井搬送車１とを備えている。天井搬送車１は、走行レールＲに吊下げ支持されて、走行レールＲによって形成された走行経路Ｌに沿って走行し、搬送元となる支持台３から搬送先となる支持台３へ容器Ｗを搬送する。通常動作においては、天井搬送車１は、走行経路Ｌ（後述する第１経路Ｌ１）に沿って走行し、搬送元となる支持台３から搬送先となる支持台３へ物品（容器Ｗ）を搬送する。尚、後述する調整動作においては、天井搬送車１は、走行経路Ｌ（後述する第２経路Ｌ２）に沿って走行し、搬送元となる検査台４（調整用載置台）から搬送先となる検査台４へ物品（後述する調整用ユニットＣ（図９等参照））を搬送する。尚、検査台４及び調整用ユニットＣは、支持台３に容器Ｗを載置する形態と同じ形態で、検査台４に調整用ユニットＣを載置できるように構成されている。

図１に示すように、物品搬送設備には、少なくとも２つの異なる属性の領域（第１エリアＥ１及び第２エリアＥ２）が設けられている。走行経路Ｌは、第１エリアＥ１に設けられた第１経路Ｌ１と、第１経路Ｌ１に対して分岐及び合流すると共に第２エリアＥ２に設けられた第２経路Ｌ２とを含む。第１エリアＥ１は、上述した処理装置２が備えられて、各処理装置２（支持台３）の間を、天井搬送車１によって容器Ｗが搬送される領域である。第２エリアＥ２は、第１エリアＥ１とは別の領域に設けられ、後述する調整用ユニットＣを用いて天井搬送車１の調整が行われる領域である。第２エリアＥ２には、後述する被検出体Ｍ（図９参照）が備えられた検査対象箇所としての検査台４（調整用載置台）が床面上に設置されている。本実施形態では、４つの検査台４が第２エリアＥ２に設置されている形態を例示している（図１、図８参照）。

第１経路Ｌ１は、図１において中央部に示された、相対的に大きな環状の主経路Ｌｐと、主経路Ｌｐの外側に示された、相対的に小さな環状の副経路Ｌｓとを含む。主経路Ｌｐから副経路Ｌｓへの分岐部分である分岐部Ｊ１には、図２に示すように、案内レールＧが設けられている。分岐部Ｊ１は、第１経路Ｌ１から第２経路Ｌ２への分岐部分にも存在し、同様に案内レールＧが設けられている。また、図示及び詳細な説明は省略するが、副経路Ｌｓから主経路Ｌｐへの合流部分である合流部Ｊ２にも同様の案内レールＧが設けられている。その他の分岐部分及び合流部分（例えば、図１の上部において主経路Ｌｐに対して接続されている外部接続経路（入場経路Ｌ３及び退場経路Ｌ４）と主経路Ｌｐとの分岐部分及び合流部分）についても同様である。

図３に示すように、天井搬送車１は、走行経路Ｌに沿って走行する走行部２２と、走行レールＲの下方に位置するように走行部２２に吊り下げ支持され且つ容器Ｗを支持する支持機構２４を備えた容器支持部２３とを備えている。走行部２２には、走行経路Ｌに沿って設置された走行レールＲ上を転がる走行車輪２２ａと、その走行車輪２２ａを回転させる走行用モータ２２ｍとが備えられている。走行部２２は、走行用モータ２２ｍの駆動により走行車輪２２ａを回転させることによって、走行経路Ｌに沿って走行する。

図２及び図３に示すように、走行部２２には、走行経路Ｌの分岐部Ｊ１及び合流部Ｊ２に設けられた案内レールＧに案内される案内ローラ２２ｂも備えられている。案内ローラ２２ｂは、走行部２２の走行方向Ｙに沿った方向に見て左右方向（横方向Ｘ）に姿勢変更できるように構成されている。案内ローラ２２ｂの姿勢変更は、案内ローラソレノイド２２ｓ（図２、図４参照）によって行われる。案内ローラソレノイド２２ｓは、案内ローラ２２ｂの位置を、走行方向Ｙに向かって右側（右方向ＸＲ側）の第１位置と左側（左方向ＸＬ側）の第２位置とに切換え、且つ案内ローラ２２ｂをその位置に保持する。案内ローラ２２ｂは、第１位置に位置するときには、走行方向Ｙに沿った方向に見て案内レールＧの右側面に当接し、分岐しない側の案内レール（ここでは相対的に走行方向Ｙに向かって右側に延伸する案内レール（直進側案内レールＧＲ））に沿って走行部２２を案内する。また、案内ローラ２２ｂは、第２位置に位置するときには、走行方向Ｙに沿った方向に見て案内レールＧの左側面に当接し、左側に延伸する案内レール（分岐側案内レールＧＬ）に沿って走行部２２を案内する。

図３に示すように、容器Ｗは、フランジ部６と、収容部５とを有している。フランジ部６は、容器Ｗの上端部に設けられており、天井搬送車１の支持機構２４によって支持される部分である。収容部５は、フランジ部６よりも下方に位置しており、複数枚の半導体基板を収容する。尚、収容部５の前面には、基板出し入れ用の基板出入口が形成されている。容器Ｗには、この基板出入口を閉じることが可能で、着脱可能な蓋体（図示せず）備えられている。天井搬送車１は、支持機構２４によってフランジ部６を吊り下げ支持した状態で容器Ｗを搬送する。

図３に示すように、収容部５の底面（容器Ｗの底面）には、上方に向かって凹んだ３つの溝状の底面凹部７が設けられている。この３つの底面凹部７は、底面基準位置を中心に底面凹部７の長手方向が放射状に延びるように形成されている。また、３つの底面凹部７のそれぞれは、上方ほど細い先細り形状に形成されており、底面凹部７の内側面が傾斜面となるように形成されている。これら底面凹部７の機能については後述する。また、図３に示すように、フランジ部６の上面（容器Ｗの上面）には、下方に向かって円錐形状に凹んだ上面凹部８が形成されている。この上面凹部８は、下方ほど細い先細り形状に形成されており、上面凹部８の内側面が傾斜面となるように形成されている。上面凹部８の機能についても後述する。

天井搬送車１の容器支持部２３は、支持機構２４（支持部）と、昇降駆動部２５と、スライド駆動部２６と、回転駆動部２７と、カバー体２８とを備えている。支持機構２４は、容器Ｗを吊り下げ支持する機構である。昇降駆動部２５は、支持機構２４を走行部２２に対して昇降移動させる駆動部である。スライド駆動部２６は、支持機構２４を走行部２２に対して横方向Ｘにスライド移動させる駆動部である。回転駆動部２７は、支持機構２４を走行部２２に対して不図示の縦軸心（垂直方向の軸心）周りに回転させる駆動部である。カバー体２８は、図３に示すように、容器Ｗを支持した支持機構２４が、後述する上昇設定位置まで上昇している状態で、容器Ｗの上方側及び経路前後側を覆う部材である。尚、上昇設定位置とは、容器Ｗ等の物品を支持した状態で天井搬送車１が走行レールＲに沿って走行する際に、支持機構２４が位置する上下方向（垂直方向）の位置として予め規定された位置である。

図４のブロック図は、物品搬送設備及び天井搬送車１のシステム構成を模式的に示している。第１制御装置Ｈ１は、物品搬送設備の中核となるシステムコントローラである。第１制御装置Ｈ１は、天井搬送車１に対する上位コントローラであり、主として第１エリアＥ１における天井搬送車１の作動を制御して、容器Ｗを搬送するための搬送制御の中核となる制御装置である。第２制御装置Ｈ２は、天井搬送車１の調整を行う調整制御の中核となる上位コントローラであり、第２エリアＥ２における天井搬送車１の作動を制御する制御装置である。天井搬送車１は、第１制御装置Ｈ１及び第２制御装置Ｈ２と、排他的にワイヤレス通信を行い、何れかの制御装置からの指令に基づいて自律制御により作動し、物品（容器Ｗ又は調整用ユニットＣ）を保持して搬送する。

図４に示すように、天井搬送車１は、通信制御部１０と、作動制御部１１と、プロファイル記憶部１２と、調整用通信部１５とを備えている。通信制御部１０は、例えば無線ＬＡＮ等に対応したアンテナ及び通信制御回路等によって構成され、少なくとも第１制御装置Ｈ１及び第２制御装置Ｈ２と排他的にワイヤレス通信を行う。作動制御部１１は、マイクロコンピュータ等によって構成され、第１制御装置Ｈ１及び第２制御装置Ｈ２からの指令に基づいて天井搬送車１を自律制御により作動させる。

プロファイル記憶部１２は、メモリ等の記憶媒体により構成され、各支持台３において容器Ｗを移載するための位置情報を少なくとも含む搬送用プロファイル情報を記憶する。位置情報には、各支持台３において容器Ｗを搬送及び移載するための搬送用停止目標位置情報及び搬送用移動目標位置情報を含む。詳細は後述するが、搬送用停止目標位置情報は、走行レールＲ（走行経路Ｌ、特に第１経路Ｌ１）上において走行部２２を停止させる目標位置（搬送用停止目標位置）を示す情報である。また、搬送用移動目標位置情報は、走行レールＲ（走行経路Ｌ、特に第１経路Ｌ１）上で停止している状態で、走行部２２に対して支持機構２４を移動（昇降、回転、スライド；詳細は後述する）させる目標位置（搬送用移動目標位置）を示す情報である。

調整用通信部１５は、例えば、近距離ワイヤレス通信規格に対応したアンテナ及び通信制御回路によって構成されている。詳細は後述するが、調整用通信部１５は、調整用ユニットＣのユニット通信部１６とワイヤレス通信を行い、更新された搬送用プロファイル情報、或いは更新用のプロファイル情報（例えば差分情報）を受信する。

容器支持部２３を構成する支持機構２４には、一対の把持爪２４ａ（図３参照）と、把持用モータ２４ｍ（図４参照）とが備えられている。図３に示すように、一対の把持爪２４ａのそれぞれは、各把持爪２４ａの下端部にてフランジ部６を下方から支持するように、側面から見て（Ｘ方向に見て）Ｌ字状に形成されている。一対の把持爪２４ａは、水平方向に沿って、互いに接近及び離間するように構成されている。把持用モータ２４ｍは、その駆動力によって、一対の把持爪２４ａを互いに接近又は離間させる。把持用モータ２４ｍは、各把持爪２４ａに対してそれぞれ設けられていても良いし、一対の把持爪２４ａを連動させる連動機構が備えられている場合には、当該連動機構を駆動する把持用モータ２４ｍが１つ設けられていてもよい。

ここでは、１つの把持用モータ２４ｍによって一対の把持爪２４ａが連動するものとする。例えば、把持用モータ２４ｍによって、一対の把持爪２４ａを互いに接近させることで一対の把持爪２４ａに容器Ｗのフランジ部６を支持させることができる。或いは、把持爪２４ａが共通の支軸（不図示）によって軸支されており、把持用モータ２４ｍによって、一対の把持爪２４ａの先端部が揺動して接近することでフランジ部６を支持させる構造であってもよい。このとき、支持機構２４は、支持状態となる。また、把持用モータ２４ｍによって、一対の把持爪２４ａを互いに離間させることで、一対の把持爪２４ａによる容器Ｗのフランジ部６に対する支持を解除することができる。このとき、支持機構２４は、支持解除状態となる。つまり、支持機構２４は、支持状態と支持解除状態とに切換可能に構成されている。

図３に示すように、容器Ｗを吊り下げ支持する支持機構２４は、支持機構２４と同じく容器支持部２３を構成する昇降駆動部２５により走行部２２に対して昇降可能に支持されている。昇降駆動部２５には、巻回体２５ａと、巻き取りベルト２５ｂと、昇降用モータ２５ｍ（図４参照）とが備えられている。巻回体２５ａは、後述する回転部２７ａに支持されている。巻き取りベルト２５ｂは、巻回体２５ａに巻回されており、先端部には支持機構２４が連結支持されている。昇降用モータ２５ｍは、巻回体２５ａを回転させるための動力を与える。昇降駆動部２５は、昇降用モータ２５ｍにて巻回体２５ａを正方向又は逆方向に回転させることによって、巻き取りベルト２５ｂを巻き取る、或いは繰り出す。これによって、支持機構２４及び支持機構２４に支持された容器Ｗが昇降移動される。尚、昇降駆動部２５には、巻回体２５ａの繰り出し量をパルス数により計測するエンコーダ（不図示）も有している。作動制御部１１は、このパルス数に基づいて支持機構２４の昇降高さを制御する。

同じく容器支持部２３を構成するスライド駆動部２６には、中継部２６ａ（図３参照）と、スライド用モータ２６ｍ（図４参照）とが備えられている。中継部２６ａは、走行部２２に対して横方向Ｘに沿ってスライド移動可能なように、走行部２２に支持されている。スライド用モータ２６ｍは、中継部２６ａを横方向Ｘに沿ってスライド移動させるための動力を与える。スライド駆動部２６は、スライド用モータ２６ｍの駆動により中継部２６ａを横方向Ｘに沿ってスライド移動させることで、支持機構２４及び昇降駆動部２５を横方向Ｘに沿って移動させる。

同じく容器支持部２３を構成する回転駆動部２７には、回転部２７ａ（図３参照）と、回転用モータ２７ｍ（図４参照）とが備えられている。回転部２７ａは、縦軸心周りに回転可能に、中継部２６ａに対して支持されている。回転用モータ２７ｍは、回転部２７ａを縦軸心周りに回転させるための動力を与える。回転駆動部２７は、回転用モータ２７ｍの駆動により回転部２７ａを回転させることで、支持機構２４及び昇降駆動部２５を縦軸心周りに沿って回転させる。

上述したように、プロファイル記憶部１２には、各載置台（支持台３）において物品（容器Ｗ）を移載するための位置情報（搬送用停止目標位置情報、搬送用移動目標位置情報）が記憶されている。搬送用停止目標位置は、複数の支持台３のそれぞれとの間で、天井搬送車１が容器Ｗを移載する場合（容器Ｗを受け取る或いは受け渡す場合）に、走行レールＲ（走行経路Ｌ）上で天井搬送車１（走行部２２）を停止させる目標位置である。搬送用停止目標位置情報は、この搬送用停止目標位置を示す情報である。搬送用移動目標位置は、搬送用停止目標位置で停止した天井搬送車１が、容器支持部２３と支持台３との間で容器Ｗを移載する場合（容器Ｗを受け取る或いは受け渡す場合）に、走行部２２に対して支持機構２４を移動（昇降、回転、スライド）させる目標位置である。搬送用移動目標位置情報は、搬送用移動目標位置を示す情報である。

例えば、搬送用移動目標位置は、走行部２２に対する支持機構２４の縦軸心周りの回転位置を規定する回転設定位置、走行部２２に対する支持機構２４の横方向Ｘでの位置を規定する横設定位置、及び、走行部２２に対する支持機構２４の上下方向での位置を規定する下降設定位置により定められている。この場合、走行部２２が走行レールＲを走行する際の支持機構２４の縦軸心周りの位置を回転基準位置とし、走行部２２が走行する際の支持機構２４の横方向Ｘでの位置を横基準位置とし、走行部２２が走行する際の支持機構２４の上下方向での位置を上昇設定位置とすると好適である。即ち、支持機構２４が縦軸心周りで回転基準位置に位置し、且つ横方向Ｘで横基準位置に位置し、且つ上下方向で上昇設定位置に位置する位置が支持機構２４の走行用位置である。天井搬送車１は、支持機構２４が走行用位置に位置する状態で走行レールＲに沿って走行する。

ところで、図１を参照して上述したように、物品搬送設備には、少なくとも２つの異なる属性の領域（第１エリアＥ１及び第２エリアＥ２）が設けられている。天井搬送車１は、第１エリアＥ１において、複数の支持台３の間で容器Ｗを搬送する。第２エリアＥ２は、天井搬送車１の調整が行われる領域であり、検査対象箇所としての検査台４（調整用載置台）が床面上に設置されている。プロファイル記憶部１２に記憶されている位置情報には、各支持台３において容器Ｗを搬送及び移載するための搬送用停止目標位置情報及び搬送用移動目標位置情報に加え、後述する調整用停止目標位置情報及び調整用移動目標位置情報も含まれる。つまり、位置情報には、検査台４（検査台４が複数ある場合には各検査台４）に対して、物品としての調整用ユニットＣを搬送及び移載するための調整用停止目標位置情報及び調整用移動目標位置情報も含まれる。即ち、プロファイル記憶部１２には、調整用載置台を含む各載置台（支持台３、検査台４）において物品（容器Ｗ、調整用ユニットＣ）を移載するための位置情報を少なくとも含む搬送用プロファイル情報が記憶されている。

詳細は後述するが、調整用停止目標位置情報は、走行レールＲ（走行経路Ｌ、特に第２経路Ｌ２）上において走行部２２を停止させる目標位置（調整用停止目標位置）を示す情報である。後述するように、天井搬送車１の調整は、天井搬送車１が支持した調整用ユニットＣに内蔵された位置検出センサ２９により、検査台４に配置された被検出体Ｍ（図９、図１０参照）を検出することによって行われる。調整用ユニットＣは、検査台４の上に載置されており、調整用停止目標位置は、少なくとも調整用ユニットＣを検査台４から受け取るために、当該検査台４に対して走行部２２を停止させるための目標位置である。また、調整用移動目標位置情報は、走行レールＲ（走行経路Ｌ、特に第２経路Ｌ２）上で天井搬送車１が停止している状態で、走行部２２に対して支持機構２４を移動（昇降、回転、スライド）させる目標位置（調整用移動目標位置）を示す情報である。

作動制御部１１は、上位コントローラである第１制御装置Ｈ１及び第２制御装置Ｈ２からの搬送指令に基づいて、搬送制御及び調整制御を実行する。作動制御部１１は、搬送制御及び調整制御の実行に際して、天井搬送車１に設けられている各種アクチュエータを駆動制御する。まず、搬送制御について説明する。搬送制御は、搬送元の支持台３から容器Ｗを受け取り、搬送先の支持台３にその容器Ｗを受け渡すことで、搬送元の支持台３から搬送先の支持台３に容器Ｗを搬送する制御である。搬送元の支持台３から搬送先の支持台３に容器Ｗを搬送する搬送指令に応答して、受取搬送処理、受取昇降処理、受渡走行処理、受渡昇降処理の順に処理が実行される。

受取搬送処理では、作動制御部１１は、搬送元として指定された支持台３についての搬送用停止目標位置情報に基づいて、走行部２２を搬送元の支持台３の搬送用停止目標位置まで走行させて、走行部２２を当該搬送用停止目標位置に停止させる。作動制御部１１は、走行用モータ２２ｍを制御し、走行部２２を当該搬送用停止目標位置に停止させる。

受取昇降処理では、作動制御部１１は、搬送元の支持台３についての搬送用移動目標位置情報に基づいて、支持機構２４を当該搬送用移動目標位置に移動させた後、把持爪２４ａを接近位置に移動させ、その後、支持機構２４を走行用位置に移動させる。作動制御部１１は、昇降用モータ２５ｍ、スライド用モータ２６ｍ、回転用モータ２７ｍ等を制御する。これにより、搬送元の支持台３に支持されていた容器Ｗは、走行用位置に位置する支持機構２４に支持される。

受渡搬送処理では、作動制御部１１は、搬送先として指定された支持台３についての搬送用停止目標位置情報に基づいて、走行部２２を当該搬送用停止目標位置まで走行させる。作動制御部１１は、走行用モータ２２ｍを制御し、容器Ｗを吊り下げた状態で走行部２２を走行させ、当該搬送用停止目標位置にて停止させる。

受渡昇降処理では、作動制御部１１は、搬送先の支持台３についての搬送用移動目標位置情報に基づいて、支持機構２４を当該搬送用移動目標位置に移動させた後、把持爪２４ａを離間位置に移動させる。作動制御部１１は、昇降用モータ２５ｍ、スライド用モータ２６ｍ、回転用モータ２７ｍ等を制御する。これにより、支持機構２４に支持されていた容器Ｗは、搬送先の支持台３に載置される。その後、作動制御部１１は、昇降用モータ２５ｍ、スライド用モータ２６ｍ、回転用モータ２７ｍ等を制御して、支持機構２４を走行用位置に移動させる。

ところで、フランジ部６の上面（容器Ｗの上面）には、図３に示すように、上面凹部８が形成されている。上面凹部８は、支持機構２４を図５に示すように下降移動させたときに、支持機構２４に備えられている押圧部２４ｃが上方から係合するように構成されている。例えば、受取昇降処理において、天井搬送車１が支持機構２４を下降移動させた際に、支持台３に載置支持されている容器Ｗに対して支持機構２４が水平方向にずれている場合がある。この場合でも、押圧部２４ｃが上面凹部８の内面に接触して案内されることで、支持機構２４の水平方向での位置が、容器Ｗに対して適した位置に案内される。

また、容器Ｗの底面には、図３に示すように、３つの溝状の底面凹部７が備えられている。図６に示すように、底面凹部７は、図６に示すように、容器Ｗが搬送先の支持台３に載置されるときに、支持台３に備えられている位置決め部材９が下方から係合する位置に備えられている。例えば、受渡昇降処理において、支持機構２４が下降移動して容器Ｗが支持台３に移載される際に、容器Ｗが支持台３の適正支持位置に対して水平方向にずれている場合がある。この場合でも、位置決め部材９が底面凹部７の内側面に接触して容器Ｗが水平方向に移動されることで、容器Ｗの水平方向での位置が支持台３の適正支持位置に修正される。

このように、受取昇降処理や受渡昇降処理における多少の誤差は、支持機構２４や支持台３の機械的な構造によって低減させることができる。しかし、天井搬送車１の経年変化や消耗等によって、誤差が大きくなると、そのような機械的な構造による対応では誤差を緩和することができず、容器Ｗなどの物品が適正に移載できなくなる場合がある。例えば、走行車輪２２ａの摩耗等により、搬送用停止目標位置情報が表す搬送用停止目標位置が、理想的な搬送用停止目標位置からずれる場合がある。また、昇降駆動部２５の経年劣化や消耗に伴って搬送用停止目標位置情報が表す搬送用停止目標位置と理想的な搬送用停止目標位置とのずれが徐々に大きくなる場合もある。一般的には、期間を定めて定期点検等が行われ、その際に調整が実施される。しかし、各天井搬送車１の稼働率の差や、個体差等によって、定期点検よりも早く誤差が大きくなることもある。従って、個々の天井搬送車１に応じた適切な時期に適切な調整が行われることが望ましい。

多くの場合、このような調整は、例えば第１エリアＥ１から第２エリアＥ２に退避させた天井搬送車１に対して、第２エリアＥ２において作業者による手作業によって実施されている。このため、調整に時間を要し、天井搬送車１の稼働率を低下させる要因の１つともなっている。本実施形態では、調整を自動化することによって調整に要する時間を短縮する。また、物品搬送設備に対して、新規の天井搬送車１を追加する場合（増車する場合）にも、調整時間が短縮できるので、迅速に設備の搬送能力を向上させることもできる。

図７は、物品搬送設備のシステム構成を模式的に示す説明図である。図７は、各天井搬送車１の稼働状況をモニタリングするためのシステム構成を示している。上述したように、第１制御装置Ｈ１は、天井搬送車１を作動させるための作動指令（容器Ｗ（物品）を搬送させる容器搬送指令（物品搬送指令））を、天井搬送車１を指定してワイヤレス通信によって与える。天井搬送車１は、与えられた作動指令に対して、第１制御装置Ｈ１に確認応答（acknowledgement）を返し、作動指令に基づいて搬送制御を開始する。

搬送制御を開始した天井搬送車１は、作動情報（走行中／停止中、移載の成功／失敗、移載成功までの試行回数、エラー情報等）を、各天井搬送車１を特定する情報（属性情報）と共に、受信先を特定せずに送信する。つまり、作動情報は、天井搬送車１の側からの一方的な送信（いわゆる垂れ流し）でよい。物品搬送設備においては、複数の天井搬送車１がそれぞれ自律制御によって同時に搬送制御を行っている。第１制御装置Ｈ１は、複数の天井搬送車１から送信される作動情報をポーリング処理等によって逐次取得する。

天井搬送車１から送信される作動情報がこのように一方的な送信であると、第１制御装置Ｈ１以外の装置も、当該情報を受信し、蓄積することができる。本実施形態では、設備監視装置ＦＳが備えられており、この設備監視装置ＦＳが作動情報を取得して蓄積する。作動情報には、各天井搬送車１を特定する属性も含まれている。従って、設備監視装置ＦＳは、作動情報を蓄積することによって、天井搬送車１ごとの過去の作動状況を稼働情報として蓄積することができる。

各作動情報に含まれる情報、及び同じ天井搬送車１に関する複数の作動情報を取得することにより、設備監視装置ＦＳは、各天井搬送車１の搬送回数及び走行時間を少なくとも含む作動状況の情報を逐次取得することになる。設備監視装置ＦＳは、逐次取得した作動状況の情報を稼働情報として蓄積する。さらに、設備監視装置ＦＳは、その稼働情報に基づいて、調整が必要な天井搬送車１を調整対象車として選定する。設備監視装置ＦＳは、例えば天井搬送車１の稼働時間や、前回の調整からの経過時間、予め定められた直近の調整要否判定期間における移載のリトライ率等に基づいて調整が必要な天井搬送車１を選定する。尚、リトライ率とは、１回の移載の機会に際して移載を失敗した後にやり直して成功させた回数を分子とし、調整要否判定期間における移載の全ての機会の回数を分母とした割合である。

設備監視装置ＦＳは、この選定結果を第１制御装置Ｈ１に通知する。設備監視装置ＦＳ及び第１制御装置Ｈ１は、地上側に設置された固定装置であるから、図７では、設備監視装置ＦＳから第１制御装置Ｈ１へ有線配線によって情報が伝達される形態を例示している。しかし、当該情報の伝達がワイヤレス通信によって行われることを妨げるものではない。

設備監視装置ＦＳから調整対象車の選定結果を提供された第１制御装置Ｈ１は、当該選定結果に基づいて天井搬送車１（調整対象車）に離脱指令を与える。離脱指令は、天井搬送車１（調整対象車）を第１エリアＥ１から第２エリアＥ２に離脱させる指令である。つまり、第１制御装置Ｈ１による作動指令には、搬送指令（物品搬送指令）と離脱指令とが少なくとも含まれる。

調整対象車に指定された天井搬送車１の作動制御部１１は、第１制御装置Ｈ１からの離脱指令に基づいて、当該天井搬送車１を第１エリアＥ１から第２エリアＥ２へ離脱させる。つまり、調整対象車の作動制御部１１は、離脱指令に基づいて天井搬送車１（調整対象車）を第２経路Ｌ２へ進入させる。具体的には、分岐部Ｊ１において案内ローラソレノイド２２ｓを駆動して、案内ローラ２２ｂを姿勢変更させる（本実施形態では左側の第２位置への変更。）。これにより、天井搬送車１（調整対象車）は、第１経路Ｌ１を離脱して、第２経路Ｌ２に進入する。

走行経路Ｌ上の天井搬送車１の位置は、自律走行する天井搬送車１が把握している。また、上述したように作動情報として第１制御装置Ｈ１にも伝達されている。天井搬送車１（調整対象車）の作動制御部１１は、自車が第２経路Ｌ２へ進入したか否かを判定する。例えば、走行経路Ｌに座標マーカが配置されており、天井搬送車１に座標マーカを検出するセンサが搭載されているような場合には、分岐部Ｊ１よりも第２経路Ｌ２側の座標マーカの検出結果に基づいて第２経路Ｌ２へ進入したと判定することができる。作動制御部１１は、第２経路Ｌ２への進入が完了したと判定すると、通信制御部１０に対して当該判定結果を伝達する。通信制御部１０は、この判定結果に基づいて、通信対象先を第１制御装置Ｈ１から第２制御装置Ｈ２に変更する。

第２制御装置Ｈ２は、天井搬送車１（調整対象車）との通信が確立すると、当該天井搬送車１（調整対象車）に対して、調整指令を送信する。当該天井搬送車１（調整対象車）の作動制御部１１は、プロファイル記憶部１２に記憶された検査台４（調整用載置台）に対する調整用停止目標位置情報に基づいて、天井搬送車１を調整用停止目標位置まで走行させて停止させる。

天井搬送車１（調整対象車）の作動制御部１１は、第２制御装置Ｈ２からの調整指令に応答して、後述するように、調整用ユニットＣ（調整用装置）を用いた調整作動を行う。作動制御部１１は、さらに、この調整作動によって得られた結果に基づいて、プロファイル記憶部１２に記憶されている搬送用プロファイル情報を更新する。天井搬送車１（調整対象車）の通信制御部１０は、搬送用プロファイル情報が更新された後、通信対象先を第２制御装置Ｈ２から第１制御装置Ｈ１に変更する。

第１制御装置Ｈ１は、生産管理装置などのさらに上位のコントローラからの搬送要求に基づいて、天井搬送車１（調整対象車）を派遣する支持台３（載置台）を指定して、当該天井搬送車１に搬送指令を送信する。天井搬送車１の作動制御部１１は、天井搬送車１（調整対象車）を第２エリアＥ２から第１エリアＥ１へ合流させ、搬送指令に基づいて容器Ｗの搬送を行う。

以下、具体的な調整制御について例示する。本実施形態では、天井搬送車１が、容器Ｗに代えて調整用ユニットＣ（調整用装置）を検査台４（調整用載置台）から受け取り、別の検査台４に受け渡すことによって調整が行われる。即ち、天井搬送車１は、第２エリアＥ２では、支持機構２４によって調整用ユニットＣを吊り下げ支持する。調整用ユニットＣ（調整用装置）は、天井搬送車１（調整対象車）の昇降駆動部２５によって昇降される際に調整用データを取得し、調整対象車に対応する搬送用プロファイル情報（更新用のプロファイル情報）を演算し、当該搬送用プロファイル情報を更新用データとして調整対象車に伝達する。尚、更新用データは、搬送用プロファイル情報に限らず、元の搬送用プロファイル情報との差分情報であってもよい。

第２エリアＥ２には、支持台３に容器Ｗを載置する形態と同じ形態で調整用ユニットＣを載置可能な調整用載置面Ｐを有する検査台４（調整用載置台）が備えられている。第１エリアＥ１に配置された支持台３には、地上からの高さが異なるものもある。従って、第２エリアにおいて実施される調整制御では、調整用ユニットＣは、少なくとも２つの異なる高さの調整用載置面Ｐ（Ｐ１，Ｐ２、・・・）に載置され、当該調整用載置面Ｐ（Ｐ１，Ｐ２，・・・）のそれぞれから昇降される際に調整用データを取得すると好適である。本実施形態では、図８に示すように、それぞれ異なる高さの調整用載置面Ｐ（Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４）を有する４つの載置台（検査台４）が設けられている。調整用載置面Ｐの地上からの高さは、支持台３の地上からの高さに対応する高さであると好適である。調整用載置面の地上からの高さが、実際に物品が載置される載置台の地上からの高さに対応していると、実際の使用形態に準じた形態で調整を行うことができる。その結果、実際の運用に適合した適切な調整が可能となる。

調整用ユニットＣは、異なる高さに載置された状態から、昇降駆動部２５によって昇降され、それぞれの高さからの昇降時に取得した調整用データに基づいて搬送用プロファイル情報を演算する。図１及び図８に示すように、本実施形態では、調整用ユニットＣを異なる高さの調整用載置面Ｐをそれぞれ備えた４つの検査台４が、第２経路Ｌ２に沿って配置され、調整対象車は、第２経路Ｌ２に沿って移動すると共に、異なる検査台４の間で調整用ユニットＣを移載する。調整用ユニットＣは、複数の検査台４ごとに調整用データを取得する。

図８には、地上からの高さが高い順に、第１検査台４ａ、第２検査台４ｂ、第３検査台４ｃ、第４検査台４ｄの４台の検査台４が配置されている形態を例示している。第１検査台４ａは第１調整用載置面Ｐ１を有し、第２検査台４ｂは第２調整用載置面Ｐ２を有し、第３検査台４ｃは第３調整用載置面Ｐ３を有し、第４検査台４ｄは第４調整用載置面Ｐ４を有している。本実施形態では、調整用ユニットＣは、第１検査台４ａを保管場所として、第１検査台４ａに載置されている。調整対象車としての天井搬送車１は、はじめに、第１検査台４ａに載置されている調整用ユニットＣに対する受取搬送処理及び受取昇降処理を行い、第２検査台４ｂに対して受渡走行処理及び受渡昇降処理を行う。調整用ユニットＣは、各処理の都度、調整用データを取得し、調整対象車に対応する搬送用プロファイル情報を演算する。

次に、第２検査台４ｂに載置されている調整用ユニットＣに対する受取昇降処理を行い、第３検査台４ｃに対して受渡走行処理及び受渡昇降処理を行う。調整用ユニットＣは、同様に、各処理の都度、調整用データを取得し、調整対象車に対応する搬送用プロファイル情報を演算する。次に、第３検査台４ｃに載置されている調整用ユニットＣに対する受取昇降処理を行い、第４検査台４ｄに対して受渡走行処理及び受渡昇降処理を行う。調整用ユニットＣは、同様に、各処理の都度、調整用データを取得し、調整対象車に対応する搬送用プロファイル情報を演算する。最後に、第４検査台４ｄに載置されている調整用ユニットＣに対する受取昇降処理を行い、第２エリアＥ２の中に設けられた学習用経路Ｌｔ（図１参照）を経由して、第１検査台４ａに対して受渡走行処理及び受渡昇降処理を行う。調整用ユニットＣは、同様に、各処理の都度、調整用データを取得し、調整対象車に対応する搬送用プロファイル情報を演算する。

この一連の移載処理及び演算を１ループとして、同様の移載処理及び演算が複数回繰り返される。例えば、測定誤差等を考慮して当該移載処理及び演算を３ループ繰り返して、平均や標準偏差を用いて更新用の搬送用プロファイル情報が決定される。当然ながら、充分な精度が得られるのであれば、１ループで収束させてもよい。

図９及び図１０は、天井搬送車１が、容器Ｗに代えて調整用ユニットＣを検査台４から受け取る際の挙動を例示している。上述したように、天井搬送車１は、容器Ｗに代えて調整用ユニットＣを支持し、容器Ｗを搬送するのと同様に、調整用ユニットＣを搬送することが可能である。容器Ｗと同様に、調整用ユニットＣの上端部にもユニットフランジ部１３が設けられており、このユニットフランジ部１３が天井搬送車１の支持機構２４にて吊り下げ支持される。ユニットフランジ部１３よりも下方、容器Ｗの収容部５に対応する場所には、ユニット本体部１４が設けられている。ユニット本体部１４には、距離センサ１８及びイメージセンサ１９が支持されている。

ユニット本体部１４の底面（調整用ユニットＣの底面）には、容器Ｗと同様に、上方に凹んだ３つの溝状の底面凹部（ユニット底面凹部７ｂ）が備えられている（図１０参照）。また、検査台４の上面には、支持台３と同様に、調整用ユニットＣの下方から係合する位置に位置決め部材９が備えられている。そのため、調整用ユニットＣが検査台４に移載される際に、調整用ユニットＣが支持台３の適正支持位置に対して水平方向にずれていても、位置決め部材９がユニット底面凹部７ｂの内側面に接触して調整用ユニットＣが水平方向に移動されることで、調整用ユニットＣの水平方向での位置が適正支持位置に修正される。これにより、任意の検査台４に対する調整用ユニットＣの受渡走行処理及び受渡昇降処理において誤差があっても、常に調整用ユニットＣを規定の位置に載置させることができる。従って、当該検査台４に対する次の受取搬送処理及び受取昇降処理を適切に行うことができる。

また、ユニットフランジ部１３の上面（調整用ユニットＣの上面）には、容器Ｗと同様に、下方に凹んだ円錐形状のユニット上面凹部（図示せず）が形成されている。ユニット上面凹部は、支持機構２４を図９に示すように下降移動させたときに、支持機構２４に備えられている押圧部２４ｃが上方から係合するように構成されている。例えば、受取昇降処理において、天井搬送車１が支持機構２４を下降移動させた際に、検査台４に載置支持されている調整用ユニットＣに対して支持機構２４が水平方向にずれている場合がある。この場合でも、押圧部２４ｃがユニット上面凹部の内面に接触して案内されることで、支持機構２４の水平方向での位置が、調整用ユニットＣに対して適した位置に案内される。

図４に示すように、天井搬送車１には、調整用ユニットＣのユニット通信部１６との間で無線通信により各種情報を送受信するための調整用通信部１５が備えられている。また、調整用ユニットＣには、距離センサ１８と、イメージセンサ１９と、ユニット通信部１６と、ユニット制御部１７とが備えられている。距離センサ１８は、例えばレーザー距離計であり、図１１を参照して後述するように、調整用載置面Ｐと調整用ユニットＣの底部との距離を計測する。イメージセンサ１９は、例えば二次元イメージセンサであり、検査台４（好ましくは調整用載置面Ｐ）に備えられた被検出体Ｍを撮影するためのセンサである。ユニット通信部１６は、アンテナ及び通信制御回路を備え、天井搬送車１との間で近距離ワイヤレス通信により各種情報を送受信する。ユニット制御部１７は、マイクロコンピュータ等を中核として構成され、距離センサ１８やイメージセンサ１９やユニット通信部１６の作動を制御すると共に、イメージセンサ１９による被検出体Ｍの撮影画像を画像認識し、その結果に基づいて更新用の搬送用プロファイル情報などの更新用データを演算する。

図９に示すように、調整用載置面Ｐに向かって調整用ユニットＣを下降させる場合、まず、調整用載置面Ｐに調整用ユニットＣが着座するまで（載置されるまで）、天井搬送車１は、昇降用モータ２５ｍを駆動して巻き取りベルト２５ｂを繰り出す。上述したように、巻き取りベルト２５ｂの繰り出し量は、エンコーダによってパルス数として計数されている。調整用載置面Ｐに調整用ユニットＣが着座したか否かは、例えば、巻き取りベルト２５ｂに係る張力の変化によって昇降駆動部２５或いは作動制御部１１が判定する。調整用載置面Ｐに調整用ユニットＣが着座したと判定された後、天井搬送車１は、昇降用モータ２５ｍを駆動して巻き取りベルト２５ｂの巻き取りを低速で開始する。

図１１に示すように、巻き取りベルト２５ｂの巻き取りにより、調整用ユニットＣは、調整用載置面Ｐから浮き上がる。距離センサ１８により、調整用載置面Ｐと調整用ユニットＣの底部との距離が計測され、その計測結果が天井搬送車１に伝達される。当該距離が予め規定された調整用離間距離Ｄに対する許容範囲内に入ると、巻き取りベルト２５ｂの巻き取りが停止される。これにより、調整用ユニットＣは、調整用載置面Ｐに対して、調整用離間距離Ｄだけ離れた状態で、支持機構２４により吊り下げ支持された状態となる。巻き取りベルト２５ｂに張力が掛かった状態でのパルス数が、巻き取りベルト２５ｂの繰り出し量として取得され、調整用ユニットＣに伝達される。尚、調整用離間距離Ｄは、例えば、５〜１０［ｍｍ］程度であり、正負両方向に２．５〜３［ｍｍ］程度の誤差が許容される。例えば、調整用離間距離Ｄが５［ｍｍ］で許容誤差が±２．５［ｍｍ］の場合、調整用載置面Ｐと調整用ユニットＣの底部との距離が２．５〜７．５［ｍｍ］の範囲内にある状態で、調整用ユニットＣは、支持機構２４により吊り下げ支持された状態となる。この状態で、イメージセンサ１９は、被検出体Ｍを撮影する。

例えば、被検出体Ｍは、２次元コードを備えて構成されている。調整用ユニットＣ（ユニット制御部１７）は、イメージセンサ１９にて撮像された被検出体Ｍの大きさ、角度、位置等に基づいて、イメージセンサ１９に対する被検出体Ｍの走行方向、幅方向及び縦軸心周りでのズレ量を判別する。イメージセンサ１９の位置は、調整用ユニットＣの中で固定されているため、調整用ユニットＣに対する被検出体Ｍの走行方向、幅方向及び上下軸心周りでのズレ量が判別される。尚、距離センサ１８を備えず、イメージセンサ１９にて撮像された被検出体Ｍの大きさから、ユニット制御部１７が、調整用載置面Ｐと調整用ユニットＣの底部との距離を演算してもよい。また、距離センサ１８を備える場合であっても、当該距離には上述したように誤差が許容されているので、イメージセンサ１９にて撮像された被検出体Ｍの大きさに基づいて当該距離を補正し、さらに巻き取りベルト２５ｂの繰り出し量を補正してもよい。

図１２は、搬送用プロファイルの生成及び更新の模式的な状態遷移図を示している。物品搬送設備が新たに構築される場合、当該物品搬送設備の全ての天井搬送車１の中で基準となる天井搬送車１（基準搬送車１Ｒ）に対して、搬送用プロファイル情報が整備される。この搬送用プロファイル情報は、当該物品搬送設備の他の全ての天井搬送車１に対して基準となるプロファイル情報であり、基準プロファイル情報と称される。基準プロファイル情報は、調整用載置台を含む全ての載置台、つまり、第１エリアＥ１の全ての支持台３、及び第２エリアＥ２の全ての検査台４に対して実際に物品（容器Ｗ及び調整用ユニットＣ、或いはこれらに代わる基準物品）を搬送及び移載することによって生成される（基準プロファイル整備フェーズ＃１）。

当該物品搬送設備に、基準搬送車１Ｒ以外の天井搬送車１を追加する場合、追加対象の天井搬送車１のプロファイル記憶部１２に、基準プロファイル情報が書き込まれる。次に、当該天井搬送車１を第２エリアＥ２に送り、上述したような調整を行う。調整の際の受取搬送処理、受取昇降処理、受渡走行処理、受渡昇降処理は、基準プロファイル情報に基づいて実行されるので、基準搬送車１Ｒと追加対象の天井搬送車１との個体差が差分データとして抽出される。基準プロファイル情報と差分データとに基づいて、当該天井搬送車１に固有の搬送用プロファイル情報が生成され、プロファイル記憶部１２に書き込まれる（搬送用プロファイル初期設定フェーズ＃３）。固有の搬送用プロファイル情報が設定された天井搬送車１は、第１エリアＥ１に投入される。

物品搬送設備が稼働した後、上述したように、設備監視装置ＦＳからの情報に基づき、調整が必要な天井搬送車１が調整対象車として選定される。調整対象車は、第１エリアＥ１から第２エリアＥ２に離脱し、上述したように調整が行われる。調整が完了すると、新しい搬送用プロファイル情報が、調整対象車のプロファイル記憶部１２に記憶される（搬送用プロファイル調整フェーズ＃５）。調整が完了した天井搬送車１は、再度第１エリアＥ１に投入される。

〔その他の実施形態〕
以下、その他の実施形態について説明する。尚、以下に説明する各実施形態の構成は、それぞれ単独で適用されるものに限られず、矛盾が生じない限り、他の実施形態の構成と組み合わせて適用することも可能である。

（１）上記においては、それぞれ異なる高さの４つの調整用載置台（検査台４）が設けられている形態を例示した。しかし、検査台４の数は４つに限定されるものではない。１つの態様として、異なる高さの２つ以上の検査台４が設けられていれば、４つ未満でも５つ以上であってもよい。即ち、第２エリアＥ２において、調整用ユニットＣ（調整用装置）は、少なくとも２つの異なる高さの調整用載置面Ｐに載置され、調整用載置面Ｐのそれぞれから昇降される際に取得した調整用データに基づいて搬送用プロファイル情報を演算するものであればよい。好適には、調整用ユニットＣ（調整用装置）を異なる高さに載置可能な少なくとも２つの調整用載置台（検査台４）が、第２経路Ｌ２に沿って配置され、調整対象車は、第２経路Ｌ２に沿って移動すると共に、異なる調整用載置台（検査台４）に、調整用ユニットＣ（調整用装置）を移載する。

ところで、上記においては、複数の検査台４の間での調整用ユニットＣの移載処理及び演算を１ループとして、同様の処理及び演算が複数回繰り返されることを説明した。上記においては、４つの検査台４が設けられている形態を例示したが、検査台４の数が４つ以外の場合、例えばｎを自然数としてｎ個の検査台４が設けられ、第２経路Ｌ２に沿った最後の検査台４が第ｎ検査台４ｎ（図８参照）であった場合には、１つのループについてｎ番目の検査台４まで同様の移載処理及び演算が実施される。

（２）上記においては、例えば４つの調整用載置台（検査台４）が、地上からの高さが高い順或いは低い順に、第２経路Ｌ２に沿って配置されている形態を例示した。しかし、地上からの高さの順に拘わらずに、異なる高さの検査台４が配置されている構成を妨げるものではない。例えば、異なる高さの３つ以上の検査台４が備えられている場合に、地上からの高さの順に拘わらずに、検査台４が配置されていてもよい。

（３）上記においては、異なる高さの２つ以上の検査台４が設けられている形態を例示した。つまり、上記においては、天井搬送車１が、容器Ｗに代えて調整用ユニットＣを複数の検査台４の内の１つから受け取り、別の検査台４に受け渡すことによって調整が行われる形態を例示した。即ち、調整用ユニットＣを異なる高さに載置可能な少なくとも２つの検査台４を備え、調整用ユニットＣが、少なくとも２つ以上の異なる高さの検査台４から、昇降駆動部２５によって昇降され、少なくとも２箇所以上の高さからの昇降時に取得した調整用データに基づいて搬送用プロファイル情報を演算する形態を例示した。しかし、図１３に示すように１台の検査台４を利用して、調整が行われてもよい。つまり、支持台３に容器Ｗを載置する形態と同じ形態で調整用ユニットＣを載置可能な調整用載置面Ｐを有すると共に、調整用ユニットＣを少なくとも２つの異なる高さの調整用載置面Ｐに載置することができる検査台４であり、調整用ユニットＣが、調整用載置面Ｐのそれぞれから昇降される際に調整用データを取得することができれば、検査台４は１つであってもよい。

１つの態様として、調整用載置面Ｐがある高さに設定された検査台４（例えば、第１調整用載置面Ｐ１が設定された検査台４）から天井搬送車１が調整用ユニットＣを受け取り、調整用載置面Ｐが異なる高さに再設定された同じ検査台４（例えば、第２調整用載置面Ｐ２又は第３調整用載置面Ｐ３が設定された同じ検査台４）に天井搬送車１が調整用ユニットＣを再度受け渡すことによって調整が行われる形態であってもよい。つまり、図１３に示すように、検査台４における調整用載置面Ｐの地上からの高さが可変であれば、１つの検査台４によって、複数の高さに対する移載を伴って天井搬送車１を調整することができる。

即ち、物品搬送設備は、調整用ユニットＣを少なくとも２つの異なる高さの調整用載置面Ｐに載置することが可能なように、調整用ユニットＣを載置する載置部Ｓの高さを変更可能な検査台４を備え、調整用ユニットＣが、少なくとも２つの異なる高さに設定された載置部Ｓのそれぞれから昇降される際に調整用データを取得する形態であってもよい。例えば、桁部ＢＧに架け渡された載置部Ｓは、不図示のアクチュエータによる揺動により、調整用載置面Ｐが垂直方向（上下方向）に沿う状態と、調整用載置面Ｐが水平方向に沿う状態との間で姿勢変更可能に構成されると好適である。また、このアクチュエータは、第２制御装置Ｈ２によって制御されると好適である。

（４）上記においては、調整が必要な天井搬送車１を、設備監視装置ＦＳが調整対象車として選定し、当該選定結果を通知された第１制御装置Ｈ１が当該調整対象車に対して離脱指令を与える形態を例示した。しかし、設備監視装置ＦＳを備えることなく、第１制御装置Ｈ１が調整対象車を選定してもよい。この場合、第１制御装置Ｈ１が、稼働情報を蓄積してその稼働情報に基づいて選定してもよいし、単純な稼働時間や、前回の調整からの経過時間に応じて選定してもよい。また、直近のリトライ率等に基づいて選定してもよい。

（５）上記においては、調整対象車が離脱指令を受信した後、さらに、当該調整対象車が第２経路Ｌ２に進入した後に、通信対象先が第１制御装置Ｈ１から第２制御装置Ｈ２に切換えられる形態を例示した。この形態では、第１制御装置Ｈ１による制御対象ではなくなった天井搬送車１が第１エリアＥ１に留まることはないから、ほぼ確実に第１エリアＥ１での容器Ｗの搬送を妨げることを抑制できる。しかし、天井搬送車１の走行位置等は、作動情報として天井搬送車１から送信されているから、第１制御装置Ｈ１は、調整対象車に指定した天井搬送車１の走行位置を知ることができる。従って、第２経路Ｌ２へ分岐する前に第１経路Ｌ１を調整対象車が走行していることを把握した上で、他の天井搬送車１に搬送指令を送信することも可能である。従って、調整対象車の通信制御部１０は、当該調整対象車が第２経路Ｌ２に進入する前に、通信対象先を切換えてもよい。例えば、通信制御部１０は、離脱指令を受信したことを条件として通信対象先を切換えてもよいし、作動制御部１１が第２経路Ｌ２への進路変更を開始したことを条件として通信対象先を切換えてもよい。

（６）上記においては、調整用ユニットＣが単体で調整用装置を構成し、調整用ユニットＣのユニット制御部１７が搬送用プロファイルを演算する形態を例示した。しかし、第２エリアＥ２に配置される調整用装置は、調整用ユニットＣと、地上側に固定的に設置された調整用制御装置（不図示）とを組み合わせて構成されていてもよい。尚、この場合、調整用ユニットＣと調整用制御装置とはワイヤレス通信すると好適である。

（７）なお、上述した各実施形態で開示された構成は、矛盾が生じない限り、他の実施形態で開示された構成と組み合わせて適用することも可能である。その他の構成に関しても、本明細書において開示された実施形態は全ての点で単なる例示に過ぎない。従って、本開示の趣旨を逸脱しない範囲内で、適宜、種々の改変を行うことが可能である。

１ ：天井搬送車（物品搬送車）
２ ：処理装置
３ ：支持台（載置台）
４ ：検査台（調整用載置台）
４ａ ：第１検査台（調整用載置台）
４ｂ ：第２検査台（調整用載置台）
４ｃ ：第３検査台（調整用載置台）
４ｄ ：第４検査台（調整用載置台）
４ｎ ：第ｎ検査台（調整用載置台）
１０ ：通信制御部
１１ ：作動制御部
１２ ：プロファイル記憶部
２２ ：走行部
２４ ：支持機構（支持部）
２５ ：昇降駆動部
Ｃ ：調整用ユニット（調整用装置）
Ｅ１ ：第１エリア
Ｅ２ ：第２エリア
ＦＳ ：設備監視装置
Ｈ１ ：第１制御装置
Ｈ２ ：第２制御装置
Ｌ ：走行経路
Ｌ１ ：第１経路
Ｌ２ ：第２経路
Ｐ ：調整用載置面
Ｐ１ ：第１調整用載置面（調整用載置面）
Ｐ２ ：第２調整用載置面（調整用載置面）
Ｐ３ ：第３調整用載置面（調整用載置面）
Ｐ４ ：第４調整用載置面（調整用載置面）
Ｒ ：走行レール
Ｗ ：容器（物品）

Claims (7)

1. 天井に設置された走行レールと、前記走行レールに沿って地上側に設けられた複数の載置台と、前記走行レールに吊下げ支持されて前記走行レールによって形成された走行経路に沿って走行し、搬送元となる前記載置台から搬送先となる前記載置台へ物品を搬送する物品搬送車と、を備えた物品搬送設備であって、
   前記物品搬送車によって前記物品が搬送される第１エリアと、
   前記第１エリアとは別の領域に設けられ、前記物品搬送車の調整が行われる第２エリアと、
   前記第２エリアに設置された調整用装置と、
   前記第１エリアにおける前記物品搬送車の作動を制御する第１制御装置と、
   前記第２エリアにおける前記物品搬送車の作動を制御する第２制御装置と、を備え、
   前記走行経路は、前記第１エリアに設けられた第１経路と、前記第１経路に対して分岐及び合流すると共に前記第２エリアに設けられた第２経路とを含み、
   前記物品搬送車は、少なくとも前記第１制御装置及び前記第２制御装置と排他的にワイヤレス通信が可能な通信制御部と、前記第１制御装置及び前記第２制御装置からの指令に基づいて前記物品搬送車を自律制御により作動させる作動制御部と、各載置台において前記物品を移載するための位置情報を少なくとも含む搬送用プロファイル情報を記憶するプロファイル記憶部と、を備え、
   前記第１制御装置は、前記物品搬送車を作動させるための作動指令を前記物品搬送車に与えるものであり、
   前記作動指令には、前記物品を搬送させる物品搬送指令と、前記物品搬送車を前記第１エリアから前記第２エリアに離脱させる離脱指令とを少なくとも含み、
   調整が必要な前記物品搬送車である調整対象車の前記作動制御部は、前記離脱指令に基づいて当該物品搬送車を前記第２経路へ進入させ、
   前記調整対象車の前記通信制御部は、前記離脱指令に基づいて、通信対象先を前記第１制御装置から前記第２制御装置に変更し、
   前記調整対象車の前記作動制御部は、前記第２制御装置からの調整指令に応答して前記調整用装置を用いて調整作動を行うと共に前記搬送用プロファイル情報を更新し、
   前記調整対象車の前記通信制御部は、前記搬送用プロファイル情報が更新された後、通信対象先を前記第２制御装置から前記第１制御装置に変更する、物品搬送設備。
2. 各物品搬送車の過去の作動状況を稼働情報として蓄積する設備監視装置をさらに備え、
   前記設備監視装置は、各物品搬送車の搬送回数及び走行時間を少なくとも含む作動状況の情報を逐次取得し、前記稼働情報に基づいて調整が必要な前記物品搬送車を前記調整対象車として選定すると共に、この選定結果を前記第１制御装置に与え、
   前記第１制御装置は、当該選定結果に基づいて、前記調整対象車に前記離脱指令を与える請求項１に記載の物品搬送設備。
3. 前記物品搬送車は、前記走行経路に沿って走行する走行部と、前記走行部に支持され且つ前記物品を吊り下げ支持する支持部と、前記走行部が停止した状態で前記支持部を前記走行部に対して昇降させる昇降駆動部と、を備え、
   前記支持部は、前記第２エリアにおいて、前記物品に代えて前記調整用装置を吊り下げ支持し、
   前記調整用装置は、前記昇降駆動部によって昇降される際に調整用データを取得し、前記調整対象車に対応する前記搬送用プロファイル情報を演算し、当該搬送用プロファイル情報を前記調整対象車に伝達する請求項１又は２に記載の物品搬送設備。
4. 前記第２エリアは、前記載置台に前記物品を載置する形態と同じ形態で前記調整用装置を載置可能な調整用載置面を有する調整用載置台を備え、
   前記第２エリアにおいて、前記調整用装置は、少なくとも２つの異なる高さの前記調整用載置面に載置され、前記調整用載置面のそれぞれから昇降される際に前記調整用データを取得する請求項３に記載の物品搬送設備。
5. 異なる高さの前記調整用載置面をそれぞれ備えた少なくとも２つの前記調整用載置台が、前記第２経路に沿って配置され、前記調整対象車は、前記第２経路に沿って移動すると共に、異なる前記調整用載置台の間で前記調整用装置を移載し、
   前記調整用装置は、複数の前記調整用載置台ごとに前記調整用データを取得する請求項４に記載の物品搬送設備。
6. 前記調整用載置台は、地上からの高さが高い順に、或いは低い順に、前記第２経路に沿って配置されている請求項５に記載の物品搬送設備。
7. 前記調整用載置面の地上からの高さは、前記載置台の地上からの高さに対応する高さである請求項４から６の何れか一項に記載の物品搬送設備。

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