KR102418303B1 - 물품 반송 설비 및 물품 반송 설비의 보수 작업 방법 - Google Patents

물품 반송 설비 및 물품 반송 설비의 보수 작업 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR102418303B1
KR102418303B1 KR1020160041661A KR20160041661A KR102418303B1 KR 102418303 B1 KR102418303 B1 KR 102418303B1 KR 1020160041661 A KR1020160041661 A KR 1020160041661A KR 20160041661 A KR20160041661 A KR 20160041661A KR 102418303 B1 KR102418303 B1 KR 102418303B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
transport
update
target position
control
article
Prior art date
Application number
KR1020160041661A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20160121421A (ko
Inventor
다다시 니시카와
Original Assignee
가부시키가이샤 다이후쿠
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 가부시키가이샤 다이후쿠 filed Critical 가부시키가이샤 다이후쿠
Publication of KR20160121421A publication Critical patent/KR20160121421A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102418303B1 publication Critical patent/KR102418303B1/ko

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02Storage devices
    • B65G1/04Storage devices mechanical
    • B65G1/137Storage devices mechanical with arrangements or automatic control means for selecting which articles are to be removed
    • B65G1/1373Storage devices mechanical with arrangements or automatic control means for selecting which articles are to be removed for fulfilling orders in warehouses
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773Conveying cassettes, containers or carriers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67733Overhead conveying
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B61RAILWAYS
    • B61BRAILWAY SYSTEMS; EQUIPMENT THEREFOR NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B61B13/00Other railway systems
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B61RAILWAYS
    • B61BRAILWAY SYSTEMS; EQUIPMENT THEREFOR NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B61B3/00Elevated railway systems with suspended vehicles
    • B61B3/02Elevated railway systems with suspended vehicles with self-propelled vehicles
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G35/00Mechanical conveyors not otherwise provided for
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G43/00Control devices, e.g. for safety, warning or fault-correcting
    • B65G43/08Control devices operated by article or material being fed, conveyed or discharged
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/061Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B15/00Systems controlled by a computer
    • G05B15/02Systems controlled by a computer electric
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67712Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations the substrate being handled substantially vertically
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67736Loading to or unloading from a conveyor
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L22/00Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
    • H01L22/30Structural arrangements specially adapted for testing or measuring during manufacture or treatment, or specially adapted for reliability measurements
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02Articles
    • B65G2201/0297Wafer cassette
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2203/00Indexing code relating to control or detection of the articles or the load carriers during conveying
    • B65G2203/02Control or detection
    • B65G2203/0208Control or detection relating to the transported articles
    • B65G2203/0233Position of the article
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2203/00Indexing code relating to control or detection of the articles or the load carriers during conveying
    • B65G2203/02Control or detection
    • B65G2203/0266Control or detection relating to the load carrier(s)
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2203/00Indexing code relating to control or detection of the articles or the load carriers during conveying
    • B65G2203/04Detection means
    • B65G2203/042Sensors
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2812/00Indexing codes relating to the kind or type of conveyors
    • B65G2812/99Conveyor systems not otherwise provided for

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Transportation (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)
  • Control Of Position, Course, Altitude, Or Attitude Of Moving Bodies (AREA)
  • Control Of Conveyors (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

물품 반송 장치(1)의 지지부(24)는, 피검출체(12)의 위치를 검출하기 위한 위치 검출 장치(29)를 지지한다. 제어 장치는, 설정 기간보다 긴 간격으로 행해지는 보수 작업에 있어서 작업자의 인위적인 조작에 의해 지령되는 갱신 지령에 기초하여 목표 위치 정보의 갱신을 행하는 갱신 제어를 실행하고, 또한 갱신 지령이 지령되고 나서의 경과 시간이 설정 기간보다 짧은 시간인 자동 갱신용 시간에 도달한 것을 조건으로 갱신 제어를 실행한다.

Description

물품 반송 설비 및 물품 반송 설비의 보수 작업 방법{ARTICLE TRANSPORT FACILITY AND MAINTENANCE OPERATION METHOD OF ARTICLE TRANSPORT FACILITY}
본 발명은, 물품 반송(搬送) 설비, 및 물품 반송 설비의 보수 작업 방법에 관한 것이다.
물품 반송 설비의 일례로서, 반송 대상 개소(箇所)로 물품을 반송하는 물품 반송 장치와, 물품 반송 장치의 작동을 제어하는 제어 장치를 구비하고, 물품 반송 장치가, 주행 경로를 따라 주행하는 주행부와, 주행부에 지지되고 또한 물품을 현수(懸垂)하여 지지하는 지지부와, 주행부가 정지한 상태에서 지지부를 주행부에 대하여 승강시키는 승강 구동부와, 주행부를 정지시키기 위한 위치 정보를 기억하는 기억부를 구비하고 있는 설비가 사용되고 있다.
이러한 물품 반송 설비 및 그 보수 작업 방법의 종래예가, 일본 공개특허 제2005―170544호 공보에 기재되어 있다. 이 물품 반송 설비에서는, 물품 반송 장치가 반송 대상 개소로 물품을 이송탑재(移載; transfer)하는 경우에 주행부를 정지시키는 반송용 목표 위치를 나타내는 반송용 목표 위치 정보가, 기억부에 기억되어 있다. 그리고, 물품 반송 장치의 제어를 행하는 제어 장치는, 반송 지령이 개시된 경우에, 반송용 목표 위치 정보에 기초하여 주행부를 반송용 목표 위치에 정지시키고, 물품을 반송 대상 개소에 이송탑재한다.
상기한 물품 반송 설비에서는, 피검출체를 구비한 보정 시트를 반송 대상 개소에 설치하고, 반송용 목표 위치 정보에 기초하여 주행부를 반송용 목표 위치에 정지시킨 상태에서, 지지부에 지지된 위치 검출 장치에 의해, 반송 대상 개소에 설치된 피검출부의 위치를 검출한다. 그리고, 제어 장치는, 위치 검출 장치의 검출 정보에 기초하여, 기억부에 기억된 반송용 목표 위치 정보를 갱신하도록 구성되어 있다.
이와 같은 반송용 목표 위치 정보의 갱신을 행하는 작업은, 정기적으로 행해지는 보수 작업에 있어서 실시되고 있고, 보수 작업에 있어서 작업자에 의해 행해지는 작업(위치 검출 장치의 방향의 조절이나 주행부에 구비되어 있는 주행 차륜의 교환 등의 인위적인 작업)과 함께 행해지고 있다.
그런데, 보수 작업이 행해지기 전이라도, 주행륜의 마모 등에 의해, 반송용 목표 위치 정보가 나타내는 반송용 목표 위치가 이상적(理想的)인 반송용 목표 위치로부터 어긋나는 경우가 있었다. 그리고, 물품 반송 장치의 시간 경과에 따른 열화에 수반하여 반송용 목표 위치 정보가 나타내는 반송용 목표 위치와 이상적인 반송용 목표 위치와의 어긋남이 서서히 커져, 물품 반송 장치가 반송 대상 개소에 물품을 적절하게 이송탑재할 수 없는 경우가 생길 우려가 있었다.
그러므로, 보수 작업이 행해지기 전이라도, 반송용 목표 위치 정보의 갱신을 행하는 것이 바람직하다. 그러나, 전술한 종래의 물품 반송 설비에서는, 반송용 목표 위치 정보의 갱신을 행할 때는, 상기 반송 대상 개소에 보정 시트를 설치할 필요가 있다. 따라서, 반송용 목표 위치 정보의 갱신을 행하는 작업을 행하고 있는 동안은, 상기 반송 대상 개소로 물품을 반송할 수 없어, 물품 반송 설비에서의 물품의 반송 효율이 저하된다. 또한, 보수 작업의 간격을 짧게 하면, 상기 보수 작업이 자주 행해지게 되어, 작업자의 부담이 커진다.
일본 공개특허 제2005―170544호 공보
그래서, 작업자의 작업 부담의 증가를 피하면서 반송용 목표 위치 정보의 갱신을 적절한 시기에 행하면서, 물품의 반송 효율의 저하를 억제할 수 있는 물품 반송 설비, 및 물품 반송 설비의 보수 작업 방법이 요구된다.
물품 반송 설비는, 반송 대상 개소로 물품을 반송하는 물품 반송 장치와, 상기 물품 반송 장치의 작동을 제어하는 제어 장치를 구비한다.
상기 물품 반송 장치가, 주행 경로를 따라 주행하는 주행부와, 상기 주행부에 지지되고 또한 물품을 현수하여 지지하는 지지부와, 상기 주행부가 정지한 상태에서 상기 지지부를 상기 주행부에 대하여 승강시키는 승강 구동부와, 상기 주행부를 정지시키기 위한 위치 정보를 기억하는 기억부를 구비하고 있다.
상기 물품 반송 설비는, 위치 갱신용 개소에 구비된 피검출체의 위치를 검출하기 위한 위치 검출 장치를 더 구비하고 있다.
상기 지지부가, 상기 위치 검출 장치를 지지 가능하게 구성되어 있다.
상기 기억부가, 상기 위치 정보로서, 상기 물품 반송 장치가 상기 반송 대상 개소로 물품을 이송탑재하는 경우에 상기 주행부를 정지시키는 목표 위치인 반송용 목표 위치를 나타내는 반송용 목표 위치 정보와, 상기 물품 반송 장치가 상기 위치 검출 장치에 의해 상기 피검출체를 검출하는 경우에 상기 주행부를 정지시키는 목표 위치인 갱신용 목표 위치를 나타내는 갱신용 목표 위치 정보를 기억하고 있다.
상기 제어 장치가, 반송 제어와 갱신 제어를 실행하도록 구성되어 있다.
상기 반송 제어는, 상기 반송 대상 개소로의 물품의 반송을 지령하는 반송 지령이 개시된 경우에, 상기 반송용 목표 위치 정보에 기초하여 상기 주행부를 상기 반송용 목표 위치에 정지시키고, 그 정지 상태에서 상기 지지부를 승강시켜 상기 반송 대상 개소로 물품을 이송탑재하는 제어이다.
상기 갱신 제어는, 상기 갱신용 목표 위치 정보에 기초하여 상기 주행부를 상기 갱신용 목표 위치에 정지시킨 상태에서, 상기 위치 검출 장치에 의해 상기 피검출체의 위치를 검출하고, 그 검출 정보에 기초하여, 상기 기억부에 기억된 상기 갱신용 목표 위치 정보 및 상기 반송용 목표 위치 정보의 갱신을 행하는 제어이다.
상기 제어 장치가, 미리 설정된 기간인 설정 기간보다 긴 간격으로 행해지는 보수 작업에 있어서 작업자의 인위적인 조작에 의해 지령되는 갱신 지령에 기초하여 상기 갱신 제어를 실행하고, 또한 상기 갱신 지령이 지령되고 나서의 경과 시간이 상기 설정 기간보다 짧은 시간인 자동 갱신용 시간에 도달한 것을 조건으로 상기 갱신 제어를 실행하도록 구성되어 있다.
물품 반송 설비의 보수 작업 방법은, 반송 대상 개소로 물품을 반송하는 물품 반송 장치와, 상기 물품 반송 장치의 작동을 제어하는 제어 장치를 구비한 물품 반송 설비의 보수 작업을 행하기 위한 방법이다.
상기 물품 반송 장치가, 주행 경로를 따라 주행하는 주행부와, 상기 주행부에 지지되고 또한 물품을 현수하여 지지하는 지지부와, 상기 주행부가 정지한 상태에서 상기 지지부를 상기 주행부에 대하여 승강시키는 승강 구동부와, 상기 주행부를 정지시키기 위한 위치 정보를 기억하는 기억부를 구비하고 있다.
상기 물품 반송 설비는, 위치 갱신용 개소에 구비된 피검출체의 위치를 검출하기 위한 위치 검출 장치를 더 구비하고 있다.
상기 지지부가, 상기 위치 검출 장치를 지지 가능하게 구성되어 있다.
상기 기억부가, 상기 위치 정보로서, 상기 물품 반송 장치가 상기 반송 대상 개소로 물품을 이송탑재하는 경우에 상기 주행부를 정지시키는 목표 위치인 반송용 목표 위치를 나타내는 반송용 목표 위치 정보와, 상기 물품 반송 장치가 상기 위치 검출 장치에 의해 상기 피검출체를 검출하는 경우에 상기 주행부를 정지시키는 목표 위치인 갱신용 목표 위치를 나타내는 갱신용 목표 위치 정보를 기억하고 있다.
상기 제어 장치가, 반송 제어와 갱신 제어를 실행하도록 구성되어 있다.
상기 반송 제어는, 상기 반송 대상 개소로의 물품의 반송을 지령하는 반송 지령이 개시된 경우에, 상기 반송용 목표 위치 정보에 기초하여 상기 주행부를 상기 반송용 목표 위치에 정지시키고, 그 정지 상태에서 상기 지지부를 승강시켜 상기 반송 대상 개소로 물품을 이송탑재하는 제어이다.
상기 갱신 제어는, 상기 갱신용 목표 위치 정보에 기초하여 상기 주행부를 상기 갱신용 목표 위치에 정지시킨 상태에서, 상기 위치 검출 장치에 의해 상기 피검출체의 위치를 검출하고, 그 검출 정보에 기초하여, 상기 기억부에 기억된 상기 갱신용 목표 위치 정보 및 상기 반송용 목표 위치 정보의 갱신을 행하는 제어이다.
상기 제어 장치가, 미리 설정된 기간인 설정 기간보다 긴 간격으로 행해지는 보수 작업에 있어서 작업자의 인위적인 조작에 의해 지령되는 갱신 지령에 기초하여 상기 갱신 제어를 실행하고, 또한 상기 갱신 지령이 지령되고 나서의 경과 시간이 상기 설정 기간보다 짧은 시간인 자동 갱신용 시간에 도달한 것을 조건으로 상기 갱신 제어를 실행한다.
이들의 구성에 의하면, 작업자의 작업 부담의 증가를 피하면서 반송용 목표 위치 정보의 갱신을 적절한 시기에 행하면서, 물품의 반송 효율의 저하를 억제할 수 있다.
본 발명의 새로운 특징과 장점은, 도면을 참조하여 기술(記述)하는 이하의 예시적이고 비한정적인 실시형태의 설명에 따라서 더욱 명백해 질 것이다.
도 1은 제1 실시형태에 관한 물품 반송 설비에서의 주행 경로를 나타낸 도면
도 2는 제1 실시형태에 관한 천정 반송차(搬送車) 및 지지대를 나타낸 측면도
도 3은 제1 실시형태에 관한 천정 반송차 및 지지대를 나타낸 측면도
도 4는 제1 실시형태에 관한 천정 반송차 및 검사 테이블을 나타낸 측면도
도 5는 제1 실시형태에 관한 천정 반송차의 측면도
도 6은 제1 실시형태에 관한 제어 블록도
도 7은 제1 실시형태에 관한 반송 제어부의 제어 동작을 나타낸 플로우차트
도 8은 제1 실시형태에 관한 반송 제어의 플로우차트
도 9는 제1 실시형태에 관한 자동 갱신 제어의 플로우차트
도 10은 제2 실시형태에 관한 천정 반송차와 검사 테이블을 나타낸 측면도
도 11은 제2 실시형태에 관한 천정 반송차와 검사 테이블을 나타낸 측면도
도 12는 제2 실시형태에 관한 제어 블록도
도 13은 제2 실시형태에 관한 자동 갱신 제어의 플로우차트
[제1 실시형태]
이하, 물품 반송 설비의 제1 실시형태를 도면을 참조하여 설명한다.
도 1∼도 4에 나타낸 바와 같이, 물품 반송 설비는, 천정 부근을 주행 경로(L)를 따라 주행하여 용기(W)를 반송하는 천정 반송차(1)와, 용기(W)에 수용되어 있는 기판에 대하여 처리를 행하는 처리 장치(2)와, 그 처리 장치(2)에 인접하는 상태로 바닥면 상에 설치된 지지대(3)와, 피검출체(12)를 가지는 검사 테이블(4)을 구비하고 있다. 본 실시형태의 물품 반송 설비는, 복수의 천정 반송차(1)와, 복수[천정 반송차(1)보다 많은 개수]의 처리 장치(2)와, 복수[처리 장치(2)와 같은 개수)의 지지대(3)와, 하나 이상[천정 반송차(1)보다 적은 개수로서, 예를 들면, 소정 영역마다 1개]의 검사 테이블(4)을 구비하고 있다.
그리고, 지지대(3)가 반송 대상 개소에 상당하고, 검사 테이블(4)이 위치 갱신용 개소에 상당한다. 또한, 천정 반송차(1)가, 반송 대상 개소로서의 지지대(3)에 용기(W)를 반송하는 물품 반송 장치에 상당한다. 본 실시형태에서는, 반도체 기판을 수용하는 FOUP(Front Opening Unified Pod)를 용기(W)(물품의 일례)로 하고 있다. 또한, 천정 반송차(1)가 주행하는 방향을 주행 방향이라고 하고, 그 주행 방향에 대하여 평면에서 볼 때 직교하는 방향을 가로 방향이라고 하여 설명한다.
[용기]
도 5에 나타낸 바와 같이, 용기(W)는, 용기(W)의 상단부에 구비되어 천정 반송차(1)의 지지 기구(機構)(24)에 지지되는 플랜지부(6)와, 플랜지부(6)보다 아래쪽에 위치하여 복수 개의 반도체 기판을 수용하는 수용부(5)와, 수용부(5)의 전면(前面)에 형성된 기판 출입용의 기판 출입구를 폐쇄하는 착탈 가능한 커버체(도시하지 않음)를 구비하고 있다. 천정 반송차(1)는, 플랜지부(6)를 현수 지지한 상태로 용기(W)를 반송하도록 구성되어 있다.
도 5에 나타낸 바와 같이, 수용부(5)의 바닥면[용기(W)의 바닥면]에는, 위쪽으로 오목하게 들어간 3개의 홈형의 바닥면 오목부(7)가 형성되어 있다. 이 3개의 바닥면 오목부(7)는, 바닥면 기준 위치를 중심에 바닥면 오목부(7)의 길이 방향이 방사형으로 되도록 형성되어 있다. 또한, 3개의 바닥면 오목부(7)의 각각은, 위쪽으로 갈수록 가는 끝이 좁은 형상으로 형성되어 있다. 그리고, 바닥면 오목부(7)의 내측면이 경사면으로 형성되어 있다.
바닥면 오목부(7)는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 용기(W)가 지지대(3)에 이송탑재될 때, 지지대(3)에 구비되어 있는 위치 결정 부재(9)가 아래쪽으로부터 걸어맞추어지는 위치에 설치되어 있다. 그리고, 플랜지부(6)를 지지한 지지 기구(24)가 하강 이동하여 용기(W)가 지지대(3)에 이송탑재될 때, 용기(W)가 지지대(3)의 적정 지지 위치에 대하여 수평 방향으로 어긋나 있는 경우에는, 위치 결정 부재(9)가 바닥면 오목부(7)의 내측면에 접촉하여 용기(W)가 수평 방향으로 이동한다. 이와 같이 하여, 용기(W)의 수평 방향에서의 위치가, 지지대(3)의 적정 지지 위치로 수정되도록 되어 있다.
도 5에 나타낸 바와 같이, 플랜지부(6)의 상면[용기(W)의 상면]에는, 아래쪽에 오목하게 들어간 원뿔형상의 상면 오목부(8)가 형성되어 있다. 이 상면 오목부(8)는, 아래쪽으로 갈수록 가는 끝이 좁은 형상으로 형성되어 있다. 그리고, 상면 오목부(8)의 내측면이 경사면으로 형성되어 있다.
상면 오목부(8)는, 도 3에 나타낸 바와 같이, 지지 기구(24)를 하강 이동시켰을 때, 지지 기구(24)의 압압부(押壓部)(24c)가 위쪽으로부터 걸어맞추어지도록 구성되어 있다. 그리고, 천정 반송차(1)가 지지 기구(24)를 하강 이동시켰을 때, 지지대(3)에 탑재 지지되어 있는 용기(W)에 대하여 지지 기구(24)가 수평 방향으로 어긋나 있는 경우에는, 압압부(24c)가 상면 오목부(8)의 내면에 접촉하여 안내된다. 이와 같이 하여, 지지 기구(24)의 수평 방향에서의 위치가, 용기(W)에 대하여 적합한 위치에 안내되도록 되어 있다.
[천정 반송차]
도 5에 나타낸 바와 같이, 천정 반송차(1)는, 지지대(3)보다 위쪽에 설정된 주행 경로(L)를 따라 주행 가능한 주행부(22)와, 주행 레일(21)의 아래쪽에 위치하도록 주행부(22)에 현수 지지되고, 또한 용기(W)를 지지하는 지지 기구(24)를 구비한 용기 지지부(23)를 구비하고 있다.
주행부(22)는, 주행 경로(L)를 따라 설치된 주행 레일(21) 상을 전동(轉動)하는 주행 차륜(22a)와, 그 주행 차륜(22a)을 회전 구동시키는 주행용 모터(22b)를 구비하고 있다. 주행부(22)는, 주행용 모터(22b)의 구동에 의해 주행 차륜(22a)을 회전 구동시킴으로써, 주행 경로(L)를 따라 주행하도록 구성되어 있다.
용기 지지부(23)는, 용기(W)를 현수하여 지지하는 지지 기구(24)와, 주행부(22)에 대하여 지지 기구(24)를 승강 이동시키는 승강 구동부(25)와, 주행부(22)에 대하여 지지 기구(24)를 가로 방향으로 슬라이딩 이동시키는 슬라이딩 구동부(26)와, 주행부(22)에 대하여 지지 기구(24)를 세로 축심 주위로 회전시키는 회전 구동부(27)와, 상승 설정 위치(도 2 등에 나타내는 위치)로 상승하고 있는 지지 기구(24)에 의해 지지된 용기(W)의 상방측 및 경로 전후측을 덮는 커버체(28)를 구비하고 있다.
슬라이딩 구동부(26)는, 주행부(22)에 대하여 가로 방향을 따라 슬라이딩 이동 가능하게 지지된 중계부(26a)와, 중계부(26a)를 가로 방향을 따라 슬라이딩 이동시키는 슬라이딩용 모터(26b)(도 6 참조)를 구비하고 있다. 슬라이딩 구동부(26)는, 슬라이딩용 모터(26b)의 구동에 의해 중계부(26a)를 가로 방향을 따라 슬라이딩 이동시킴으로써, 지지 기구(24) 및 승강 구동부(25)를 가로 방향을 따라 이동시키도록 구성되어 있다.
회전 구동부(27)는, 중계부(26a)에 대하여 세로 축심 주위로 회전 가능하게 지지된 회전부(27a)와, 회전부(27a)를 세로 축심 주위로 회전시키는 회전용 모터(27b)(도 6 참조)를 구비하고 있다. 회전 구동부(27)는, 회전용 모터(27b)의 구동에 의해 회전부(27a)를 회전시킴으로써, 지지 기구(24) 및 승강 구동부(25)를 세로 축심 주위를 따라 회전시키도록 구성되어 있다.
승강 구동부(25)는, 회전부(27a)에 지지된 권취체(25a)와, 권취체(25a)에 권취되어 선단부에 지지 기구(24)를 연결 지지한 권취 벨트(25b)와, 권취체(25a)를 회전 구동시키는 승강용 모터(25c)(도 6 참조)를 구비하고 있다. 승강 구동부(25)는, 승강용 모터(25c)에 의해 권취체(25a)를 플러스 방향 또는 역방향으로 회전 구동시켜, 권취 벨트(25b)를 권취 조작 및 송출 조작함으로써, 지지 기구(24) 및 그에 지지된 용기(W)를 승강 이동시키도록 구성되어 있다. 이와 같이, 승강 구동부(25)는, 지지 기구(24)를 주행부(22)에 대하여 승강시키도록 구성되어 있다.
지지 기구(24)는, 한 쌍의 파지(把持) 클로우(claw)(24a)와, 한 쌍의 파지 클로우(24a)의 각각을 수평 방향을 따라 서로 근접 이동 및 이격 이동시키는 파지용 모터(24b)(도 6 참조)를 구비하고 있다. 그리고, 지지 기구(24)는, 파지용 모터(24b)에 의해 한 쌍의 파지 클로우(24a)를 서로 근접 이동시킴으로써, 한 쌍의 파지 클로우(24a)가 용기(W)의 플랜지부(6)를 지지하는 지지 상태를 실현한다. 또한, 지지 기구(24)는, 파지용 모터(24b)에 의해 한 쌍의 파지 클로우(24a)를 서로 이격 이동시킴으로써, 한 쌍의 파지 클로우(24a)에 의한 용기(W)의 플랜지부(6)에 대한 지지를 해제하는 지지 해제 상태를 실현한다. 이와 같이, 지지 기구(24)는, 지지 상태와 지지 해제 상태로 전환 가능하게 구성되어 있다.
한 쌍의 파지 클로우(24a)의 각각은, 그 하단부에 의해 플랜지부(6)를 아래쪽으로부터 지지하도록 측면에서 볼 때로 L자형으로 형성되어 있다. 한 쌍의 파지 클로우(24a)가, 용기(W)를 아래쪽으로부터 지지하는 아래쪽 지지구에 상당한다. 이와 같이, 지지 기구(24)는, 주행부(22)에 승강 가능하게 지지되고, 또한 용기(W)를 현수하여 지지하도록 구성되어 있다. 지지 기구(24)가, 주행부(22)에 지지되고, 또한 용기(W)를 현수하여 지지하는 지지부에 상당한다.
도 6에 나타낸 바와 같이, 천정 반송차(1)에는, 상기 천정 반송차(1)에 구비되어 있는 각각의 구동부의 작동을 제어하여 천정 반송차(1)의 작동을 제어하는 반송 제어부(11)가 구비되어 있다. 반송 제어부(11)가 제어 장치에 상당한다.
또한, 도 5에 나타낸 바와 같이, 물품 반송 설비는, 검사 테이블(4)에 구비된 피검출체(12)의 위치를 검출하기 위한 위치 검출 센서(29)를 구비하고 있다. 본 실시형태에서는, 위치 검출 센서(29)가 위치 검출 장치에 상당한다. 천정 반송차(1)의 지지 기구(24)는, 위치 검출 센서(29)를 지지 가능하게 구성되어 있다. 위치 검출 센서(29)는, 지지 기구(24)에 의해 지지되어 있는 용기(W)와 간섭되지 않는 상태로, 지지 기구(24)에 지지되어 있다. 위치 검출 센서(29)는, 지지 기구(24)에 현수 지지된 용기(W)의 상단부를 이루는 플랜지부(6)보다 더 위쪽에 위치하는 상태로, 지지 기구(24)에 지지되어 있다. 그러므로, 천정 반송차(1)에 의해 용기(W)를 반송할 때도 위치 검출 센서(29)를 지지 기구(24)에 지지하게 할 수 있어, 위치 검출 센서(29)를 지지 기구(24)에 상시 지지하게 할 수 있도록 되어 있다.
피검출체(12)는 2차원 코드를 구비하고 있다. 위치 검출 센서(29)는 2차원 이미지 센서를 구비하고 있다. 반송 제어부(11)는, 위치 검출 센서(29)에 의해 촬상(撮像)된 피검출체(12)의 크기, 각도, 위치 등에 기초하여, 위치 검출 센서(29)에 대한 피검출체(12)의 상하 방향의 거리의 어긋남량이나, 주행 방향, 폭 방향, 및 상하 축심(軸心) 주위에서의 어긋남량을 판별한다.
복수의 지지대(3)의 각각에 대하여, 반송용 목표 위치와 반송용 이동 위치가 미리 설정되어 있다. 반송용 목표 위치는, 천정 반송차(1)가 지지대(3)와의 사이에서 용기(W)를 이송탑재하는 경우에 주행부(22)를 정지시키는 목표 위치이다. 반송용 이동 위치는, 천정 반송차(1)가 지지대(3)와의 사이에서 용기(W)를 이송탑재하는 경우에 주행부(22)에 대하여 지지 기구(24)를 이동(승강, 회전, 슬라이딩)시키는 목표 위치이다.
또한, 검사 테이블(4)에 대하여, 갱신용 목표 위치와 갱신용 이동 위치가 미리 설정되어 있다. 갱신용 목표 위치는, 천정 반송차(1)가 위치 검출 센서(29)에 의해 검사 테이블(4)의 피검출체(12)를 검출하는 경우에 주행부(22)를 정지시키는 목표 위치이다. 갱신용 이동 위치는, 천정 반송차(1)가 위치 검출 센서(29)에 의해 검사 테이블(4)의 피검출체(12)를 검출하는 경우에 주행부(22)에 대하여 지지 기구(24)를 이동(승강, 회전, 슬라이딩)시키는 목표 위치이다.
천정 반송차(1)는, 반송 제어부(11)에 기억부(11a)를 구비하고 있다. 기억부(11a)에는, 주행부(22)를 정지시키기 위한 위치 정보가 기억되어 있다. 기억부(11a)에는, 이와 같은 위치 정보로서, 반송용 목표 위치를 나타내는 반송용 목표 위치 정보, 반송용 이동 위치를 나타내는 반송용 이동 위치 정보, 갱신용 목표 위치를 나타내는 갱신용 목표 위치 정보, 및 갱신용 이동 위치를 나타내는 갱신용 이동 위치 정보가 기억되어 있다.
그리고, 반송용 이동 위치나 갱신용 이동 위치는, 주행부(22)에 대한 지지 기구(24)의 세로 축심 주위의 회전 위치를 규정하는 회전 설정 위치, 주행부(22)에 대한 지지 기구(24)의 가로 방향에서의 위치를 규정하는 가로 설정 위치, 및 주행부(22)에 대한 지지 기구(24)의 상하 방향에서의 위치를 규정하는 하강 설정 위치에 의해 정해져 있다.
주행부(22)가 주행할 때의 지지 기구(24)의 세로 축심 주위의 위치를 회전 기준 위치로 하고, 주행부(22)가 주행할 때의 지지 기구(24)의 가로 방향에서의 위치를 가로 기준 위치로 하고, 주행부(22)가 주행할 때의 지지 기구(24)의 상하 방향에서의 위치를 상승 설정 위치로 하고 있다.
그리고, 지지 기구(24)가 세로 축심 주위에서 회전 기준 위치에 위치하고, 또한 가로 방향으로 가로 기준 위치에 위치하고, 또한 상하 방향에서 상승 설정 위치에 위치하는 위치를, 지지 기구(24)의 주행용 위치로 하고 있다. 주행부(22)는, 지지 기구(24)가 주행용 위치에 위치하는 상태로 주행한다.
도 7에 나타낸 바와 같이, 반송 제어부(11)는, 지상 측에 설치되는 상위 컨트롤러(H)로부터의 퇴피(退避) 지령에 기초하여, 퇴피 제어를 실행하기 위해, 주행용 모터(22b)의 작동을 제어하도록 구성되어 있다.
퇴피 제어는, 검사 테이블(4)에 대한 갱신용 목표 위치 정보에 기초하여, 갱신용 목표 위치까지 주행부(22)를 주행시켜, 상기 주행부(22)를 갱신용 목표 위치에 정지시키기 위해 주행용 모터(22b)의 작동을 제어하는 제어이다. 반송 제어부(11)가 퇴피 제어를 실행함으로써, 주행부(22)는 검사 테이블(4)에 대한 갱신용 목표 위치에 정지한다.
갱신용 목표 위치는, 도 1에 나타낸 바와 같이, 반송 경로에서의 천정 반송차(1)가 용기(W)를 반송할 때 주행하는 경로로부터 벗어난 개소에 설정되어 있다. 갱신용 목표 위치는, 천정 반송차(1)가 갱신용 목표 위치에 정지하고 있어도, 다른 천정 반송차(1)에 의한 용기(W)의 반송의 방해가 되지 않는 위치로 설정되어 있다.
예를 들면, 보수 작업 등으로, 작업자의 입력부(18)에 대한 입력 조작에 의해 작업 대상의 천정 반송차(1)에 대한 퇴피 지령 조작이 행해지므로, 작업 대상의 천정 반송차(1)에 대하여 퇴피 지령이 지령된다. 보수 작업은, 물품 반송 설비의 보수를 목적으로, 미리 설정된 기간인 설정 기간(예를 들면, 10개월)보다 긴 간격(예를 들면, 1년)으로 정기적으로 행해지는 작업(정기 점검 작업)이다. 이 보수 작업에는, 위치 검출 센서(29)의 방향 조정이나 주행 차륜(22a)의 교환 등의, 작업자가 인위적으로 행하는 작업이 포함되어 있다.
상위 컨트롤러(H)는, 작업 대상으로서 지정된 천정 반송차(1)에 대해서는, 작업 대상으로부터 벗겨지기까지(후술하는 복귀 지령이 지령될 때까지)는, 반송 지령을 지령하지 않도록 구성되어 있다. 또한, 상위 컨트롤러(H)는, 작업자의 입력부(18)에 대한 입력 조작에 의해 작업 대상의 천정 반송차(1)에 대하여 퇴피 지령을 지령되었을 때, 그 지령 내용에 따라, 천정 반송차(1)를 검사 테이블(4)에 대한 갱신용 목표 위치 이외에, 천정 반송차(1)를 주행 레일(21)로부터 내려놓기 위해 설치된 리프터(도시하지 않음)에 대한 갱신용 목표 위치로 이동시키도록 해도 된다.
반송 제어부(11)는, 지상 측에 설치되는 상위 컨트롤러(H)로부터의 보수 갱신 지령에 기초하여, 보수 갱신 제어를 실행하기 위해, 주행용 모터(22b)의 작동을 제어하도록 구성되어 있다. 보수 갱신 지령이, 갱신 지령에 상당한다.
보수 갱신 제어는, 검사 테이블(4)에 대한 갱신용 이동 위치 정보에 기초하여, 검사 테이블(4)에 대한 갱신용 이동 위치에 지지 기구(24)를 이동시킨 후, 위치 검출 센서(29)를 작동시켜 피검출체(12)를 촬상하고, 그 후, 지지 기구(24)를 주행용 위치로 이동시키기 위해 천정 반송차(1)에 구비되어 있는 슬라이딩용 모터(26b) 등의 모터 종류나 위치 검출 센서(29)의 작동을 제어하는 제어이다. 반송 제어부(11)가 계측 처리를 실행함으로써, 위치 검출 센서(29)에 의해 피검출체(12)를 촬상한 후, 지지 기구(24)가 주행용 위치로 이동한다.
또한, 보수 갱신 제어에서는, 전술한 바와 같이 위치 검출 센서(29)에 의해 피검출체(12)를 촬상한 촬상 정보에 기초하여, 피검출체(12)에 대한 적정한 지지 기구(24)의 주행 방향, 폭 방향, 회전 방향, 및 상하 방향의 어긋남량이 계측된다. 그리고, 이 어긋남량에 기초하여, 상기 어긋남량이 작아지도록(바람직하게는 없어지도록), 반송용 목표 위치 정보, 반송용 이동 위치 정보, 갱신용 목표 위치 정보, 및 갱신용 이동 위치 정보가 갱신된다. 본 실시형태와 같이 물품 반송 설비가 복수의 천정 반송차(1)를 구비하고 있는 경우에는, 각각의 천정 반송차(1)마다, 반송용 목표 위치 정보, 반송용 이동 위치 정보, 갱신용 목표 위치 정보, 및 갱신용 이동 위치 정보가 갱신된다.
그리고, 각각의 지지대(3) 및 검사 테이블(4)의 각각에 대하여 주행 방향의 바로 앞쪽에는, 정지용(停止用)의 예비 마크(도시하지 않음)가, 천정 반송차(1)에 설치된 마크 검출 수단(도시하지 않음)으로부터 판독 가능한 상태로 설치되어 있다. 지지대(3)에 대한 반송용 목표 위치와, 검사 테이블(4)에 대한 갱신용 목표 위치는, 각각에 대응하는 예비 마크로부터의 상대(相對) 위치가 서로 같아지도록 설정되어 있다. 그러므로, 검사 테이블(4)에서의 어긋남량 계측에 기초하여 갱신용 목표 위치 정보를 갱신하고, 그 갱신용 목표 위치 정보의 갱신 내용에 대응시켜 반송용 목표 위치 정보를 갱신함으로써, 각각의 지지대(3)에서의 반송용 목표 위치를 적정 위치에 가까이 하는(바람직하게는 일치시키는) 것이 가능하다.
작업 대상의 천정 반송차(1)에 대한 보수 작업이 종료한 경우에는, 작업자가 입력부(18)에 의해, 작업 대상의 천정 반송차(1)에 대하여 보수 작업이 종료한 것을 나타낸 입력 조작을 함으로써, 상위 컨트롤러(H)는, 작업 대상인 천정 반송차(1)에 대하여 작업 대상으로서의 설정을 해제하게 되어 있다. 이 때, 상위 컨트롤러(H)는, 작업 대상인 천정 반송차(1)를 반송 제어로 복귀시키기 위한 복귀 지령을 지령한다. 복귀 지령이 지령되면, 자동 갱신 시간이 리셋된다.
반송 제어부(11)는, 상위 컨트롤러(H)로부터의 반송 지령에 기초하여, 반송 제어를 실행하기 위해, 천정 반송차(1)에 설치되어 있는 모터 종류의 작동을 제어하도록 구성되어 있다. 반송 지령은, 반송원(搬送元)의 지지대(3)로부터 반송처(搬送處)의 지지대(3)에 용기(W)를 반송하는 취지의 지령이다.
도 8에 나타낸 바와 같이, 반송 제어는, 반송 지령이 개시된 경우에, 반송원의 지지대(3)로부터 용기(W)를 수취하고, 그 용기(W)를 반송처의 지지대(3)에 용기(W)를 받아건넴으로써, 반송원의 지지대(3)로부터 반송처의 지지대(3)에 용기(W)를 반송하는 제어이다. 반송 제어에서는, 수취 주행 처리, 수취 승강 처리, 받아건넴 주행 처리, 및 받아건넴 승강 처리가 기재된 순차로 실행된다.
수취 주행 처리는, 반송 지령에 있어서 반송원으로서 지정된 반송원의 지지대(3)에 대한 반송용 목표 위치 정보에 기초하여, 반송원의 지지대(3)의 반송용 목표 위치까지 주행부(22)를 주행시켜, 상기 주행부(22)를 반송용 목표 위치에 정지시키기 위해 주행용 모터(22b)의 작동을 제어하는 처리이다. 반송 제어부(11)가 수취 주행 처리를 실행함으로써, 주행부(22)는 반송원의 지지대(3)에 대한 반송용 목표 위치에 정지한다.
수취 승강 처리는, 반송원의 지지대(3)에 대한 반송용 이동 위치 정보에 기초하여, 반송원의 지지대(3)의 반송용 이동 위치에 지지 기구(24)를 이동시킨 후, 파지 클로우(24a)를 근접 위치로 이동시키고, 그 후, 지지 기구(24)를 주행용 위치로 이동시키기 위해 천정 반송차(1)에 구비되어 있는 슬라이딩용 모터(26b) 등의 모터 종류의 작동을 제어하는 처리이다. 반송 제어부(11)가 수취 승강 처리를 실행함으로써, 반송원의 지지대(3)에 지지되어 있었던 용기(W)는, 지지 기구(24)에 지지되어 주행용 위치로 이동한다.
받아건넴 주행 처리는, 반송 지령에 있어서 반송처로서 지정된 반송처의 지지대(3)에 대한 반송용 목표 위치 정보에 기초하여, 반송처의 지지대(3)의 반송용 목표 위치까지 주행부(22)를 주행시켜, 상기 주행부(22)를 반송용 목표 위치에 정지시키기 위해 주행용 모터(22b)의 작동을 제어하는 처리이다. 반송 제어부(11)가 받아건넴 주행 처리를 실행함으로써, 주행부(22)는 반송처의 지지대(3)에 대한 반송용 목표 위치에 정지한다.
받아건넴 승강 처리는, 반송처의 지지대(3)에 대한 반송용 이동 위치 정보에 기초하여, 반송처의 지지대(3)의 반송용 이동 위치에 지지 기구(24)를 이동시킨 후, 파지 클로우(24a)를 이격 위치로 이동시키고, 그 후, 지지 기구(24)를 주행용 위치로 이동시키기 위해 천정 반송차(1)에 구비되어 있는 슬라이딩용 모터(26b) 등의 모터 종류의 작동을 제어하는 처리이다. 반송 제어부(11)가 받아건넴 승강 처리를 실행함으로써, 주행용 위치에 위치하는 지지 기구(24)에 지지되어 있었던 용기(W)는, 반송처의 지지대(3)에 이송탑재된다.
상위 컨트롤러(H)는, 천정 반송차(1)가 반송 제어를 실행 중인지의 여부에 관계없이, 상기 천정 반송차(1)에 대한 반송 지령을 적절히 지령하고 있다. 반송 제어부(11)는, 반송 제어가 종료되기 전에 다음의 반송 지령이 지령된 경우에는, 그 시점에서 실행 중의 반송 제어가 종료된 후, 다음의 반송 지령에 기초한 반송 제어가 실행된다.
본 실시형태의 반송 제어부(11)는, 설정 기간보다 긴 간격으로 정기적으로 행해지는 수동으로의 보수 작업에 따른 보수 갱신 제어와는 별개로, 상기 보수 갱신 제어보다 짧은 주기로, 자동 갱신 제어를 실행하도록 구성되어 있다. 이 자동 갱신 제어는, 보수 갱신 지령이 지령되고 나서의 경과 시간이 전술한 설정 기간(예를 들면, 10개월)보다 짧은 시간인 자동 갱신용 시간(예를 들면, 3개월)에 도달한 것을 개시 조건으로 하여 실행된다. 도 7에 나타낸 바와 같이, 반송 제어부(11)는, 반송 제어가 종료된 후, 다음의 반송 지령이 지령되어 있지 않고, 또한 바로 옆의 복귀 지령이 지령되고 나서의 경과 시간이 자동 갱신용 시간에 달하고 있는 경우에는, 자동 갱신 제어를 개시한다. 이와 같이, 반송 제어부(11)는, 반송 제어를 완료한 후, 다음의 반송 지령이 개시되기까지, 자동 갱신 제어를 개시하도록 구성되어 있다.
도 9에 나타낸 바와 같이, 자동 갱신 제어에서는, 갱신 주행 처리와 계측 처리가 실행된다. 갱신 주행 처리에서는, 작업 대상의 천정 반송차(1)에 있어서 실행되는 퇴피 제어와 마찬가지의 처리가 행해진다. 즉, 갱신 주행 처리에서는, 검사 테이블(4)에 대한 갱신용 목표 위치 정보에 기초하여, 갱신용 목표 위치까지 주행부(22)를 주행시켜, 상기 주행부(22)를 갱신용 목표 위치에 정지시키기 위해 주행용 모터(22b)의 작동이 제어된다. 반송 제어부(11)가 갱신 주행 처리를 실행함으로써, 주행부(22)는 검사 테이블(4)에 대한 갱신용 목표 위치에 정지한다.
계측 처리에서는, 작업 대상의 천정 반송차(1)에 있어서 실행되는 보수 갱신 제어와 마찬가지의 처리가 행해진다. 즉, 계측 처리에서는, 검사 테이블(4)에 대한 갱신용 이동 위치 정보에 기초하여, 검사 테이블(4)에 대한 갱신용 이동 위치에 지지 기구(24)를 이동시킨 후, 위치 검출 센서(29)를 작동시켜 피검출체(12)를 촬상하고, 그 후, 지지 기구(24)를 주행용 위치로 이동시키기 위해 천정 반송차(1)에 구비되어 있는 슬라이딩용 모터(26b) 등의 모터 종류나 위치 검출 센서(29)의 작동이 제어된다. 반송 제어부(11)가 계측 처리를 실행함으로써, 지지 기구(24)에 지지되어 있는 위치 검출 센서(29)에 의해 검사 테이블(4)에 구비되어 있는 피검출체(12)가 촬상되어, 반송용 목표 위치 정보, 반송용 이동 위치 정보, 갱신용 목표 위치 정보, 및 갱신용 이동 위치 정보가 갱신된다.
받아건넴 주행 처리와 받아건넴 승강 처리를 포함하는 반송 제어는, 반송 지령이 지령된 경우에, 반송용 목표 위치 정보에 기초하여 주행부(22)를 반송용 목표 위치에 정지시키고, 그 정지 상태에서 지지부를 승강시켜 반송 대상 개소에 용기(W)를 이송탑재하는 제어에 상당한다.
또한, 보수 갱신 제어, 및 자동 갱신 제어에서의 계측 처리가, 각각, 갱신용 목표 위치 정보에 기초하여 주행부(22)를 갱신용 목표 위치에 정지시킨 상태에서, 위치 검출 센서(29)에 의해 피검출체(12)의 위치를 검출하고, 그 검출 정보에 기초하여 기억부(11a)에 기억된 갱신용 목표 위치 정보 및 반송용 목표 위치 정보의 갱신을 행하는 갱신 제어에 상당한다.
그리고, 반송 제어부(11)는, 보수 작업에 있어서 작업자의 인위적인 조작에 의해 지령되는 갱신 지령(퇴피 지령 및 보수 갱신 지령)에 기초하여 갱신 제어(퇴피 제어 및 보수 갱신 제어)를 실행하고, 또한 보수 작업에 있어서 작업자의 인위적인 조작에 의해 지령되는 갱신 지령(복귀 지령)이 지령되고 나서 자동 갱신 시간이 경과한 것을 조건으로 갱신 제어(자동 갱신 제어)를 실행하도록 구성되어 있다.
[제2 실시형태]
다음에, 물품 반송 설비의 제2 실시형태를 도면을 참조하여 설명한다.
그리고, 제2 실시형태를 설명하는데 있어서, 제1 실시형태와 상위한 구성에 대하여 주로 설명하고, 제1 실시형태와 마찬가지의 구성에 대해서는 설명을 생략한다.
도 10 및 도 11에 나타낸 바와 같이, 천정 반송차(1)의 지지 기구(24)는, 용기(W) 대신에, 검사 유닛(J)을 지지 가능하게 구성되어 있다.
검사 유닛(J)은, 검사 유닛(J)의 상단부에 구비되어 천정 반송차(1)의 지지 기구(24)에 의해 지지되는 유닛 플랜지부(13)와, 유닛 플랜지부(13)보다 아래쪽에 위치하여 위치 검출 센서(29)를 지지하는 유닛 본체부(14)를 구비하고 있다. 천정 반송차(1)는, 유닛 플랜지부(13)를 현수 지지한 상태로 검사 유닛(J)을 반송하도록 구성되어 있다.
검사 유닛(J)은, 검사 테이블(4)에 탑재되어 있고, 인출 가능한 상태로 검사 테이블(4)에 지지되어 있다. 이와 같이, 본 실시형태에서는, 위치 갱신용 개소로서의 검사 테이블(4)이, 보관용 개소로 겸용되고 있다. 또한, 보관용 개소에 대한 목표 위치인 보관용 목표 위치는, 갱신용 목표 위치와 같은 위치로 설정되어 있다.
도 11에 나타낸 바와 같이, 천정 반송차(1)는, 주행부(22)가 갱신용 목표 위치에 정지한 상태에서 지지 기구(24)를 승강시킴으로써, 지지 기구(24)에 의해 검사 유닛(J)을 보관용 개소로부터 인출하도록(들어올리도록) 구성되어 있다.
유닛 본체부(14)의 바닥면[검사 유닛(J)의 바닥면]에는, 용기(W)와 마찬가지로, 위쪽으로 오목하게 들어간 3개의 홈형의 바닥면 오목부(도시하지 않음)가 형성되어 있다. 그러므로, 검사 유닛(J)이 지지대(3)에 이송탑재될 때, 검사 테이블(4)의 적정 지지 위치에 대하여 검사 유닛(J)이 수평 방향으로 어긋나 있는 경우에는, 위치 결정 부재(9)가 상기 바닥면 오목부의 내측면에 접촉하여 검사 유닛(J)이 수평 방향으로 이동한다. 이와 같이 하여, 검사 유닛(J)의 수평 방향에서의 위치가, 적정 지지 위치로 수정되도록 되어 있다.
또한, 유닛 플랜지부(13)의 상면[검사 유닛(J)의 상면]에는, 아래쪽으로 오목하게 들어간 원뿔형상의 상면 오목부(도시하지 않음)가 형성되어 있다. 그러므로, 천정 반송차(1)가 지지 기구(24)를 하강 이동시켰을 때, 검사 테이블(4)에 탑재 지지되어 있는 검사 유닛(J)에 대하여 지지 기구(24)가 수평 방향으로 어긋나 있는 경우에는, 압압부(24c)가 상기 상면 오목부의 내면에 접촉하여 안내된다. 이와 같이 하여, 지지 기구(24)의 수평 방향에서의 위치가, 검사 유닛(J)에 대하여 적합한 위치로 안내되도록 되어 있다.
도 12에 나타낸 바와 같이, 천정 반송차(1)는, 검사 유닛(J)의 유닛 통신부(16)와의 사이에서 무선 통신에 의해 각종 정보를 송수신하기 위한 반송 통신부(15)를 구비하고 있다. 또한, 검사 유닛(J)은, 검사 테이블(4)에 구비된 피검출체(12)의 위치를 검출하기 위한 위치 검출 센서(29)와, 천정 반송차(1)와의 사이에서 무선 통신에 의해 각종 정보를 송수신하기 위한 유닛 통신부(16)와, 위치 검출 센서(29)나 유닛 통신부(16)의 작동을 제어하는 유닛 제어부(17)를 구비하고 있다. 본 실시형태에서는, 위치 검출 센서(29)를 구비하는 검사 유닛(J)이, 위치 검출 장치에 상당한다.
반송 제어가 종료된 후, 복귀 지령이 지령되고 나서의 경과 시간이 자동 갱신용 시간에 달하고 있고, 또한 다음의 반송 지령이 지령되어 있지 않은 상태이면, 자동 갱신 제어를 실행한다.
도 13에 나타낸 바와 같이, 제2 실시형태에서는, 자동 갱신 제어에 있어서, 제1 실시형태에서 설명한 자동 갱신 제어의 계측 처리 대신에, 계측 준비 처리와 계측 종료 처리를 실행한다.
계측 준비 처리는, 검사 테이블(4)에 대한 갱신용 이동 위치 정보에 기초하여, 검사 테이블(4)에 대한 갱신용 이동 위치에 지지 기구(24)를 이동시킨 후, 파지 클로우(24a)를 근접 위치로 이동시키고, 그 후, 지지 기구(24)를 계측용 위치로 이동시키기 위해 천정 반송차(1)에 구비되어 있는 슬라이딩용 모터(26b) 등의 모터 종류의 작동을 제어하는 처리이다. 반송 제어부(11)가 계측 준비 처리를 실행함으로써, 검사 테이블(4)에 지지되어 있었던 검사 유닛(J)이, 지지 기구(24)에 의해 설정 높이까지 들어올려진다.
계측 준비 처리가 완료하여 전술한 바와 같이 검사 유닛(J)을 지지 기구(24)에 의해 들어올려 지지한 상태에서, 송신 처리가 실행되어, 천정 반송차(1)로부터 검사 유닛(J)을 향해 준비 완료 정보가 송신된다.
계측 종료 처리는, 반송 제어부(11)가 검사 유닛(J)으로부터의 계측 정보를 수신하면 실행된다. 이 계측 종료 처리는, 갱신용 이동 위치에 지지 기구(24)를 이동시킨 후, 파지 클로우(24a)를 이격 위치로 이동시키고, 그 후, 지지 기구(24)를 주행용 위치로 이동시키기 위해 천정 반송차(1)에 구비되어 있는 슬라이딩용 모터(26b) 등의 모터 종류의 작동을 제어하는 처리이다. 반송 제어부(11)가 계측 종료 처리를 실행함으로써, 검사 유닛(J)은 검사 테이블(4) 상에 이송탑재되어 지지 기구(24)는 주행용 위치로 이동한다.
또한, 계측 종료 처리에서는, 검사 유닛(J)으로부터 송신된 어긋남량 정보에 기초하여, 반송용 목표 위치 정보, 반송용 이동 위치 정보, 갱신용 목표 위치 정보, 및 갱신용 이동 위치 정보가 갱신된다.
계측 준비 처리가, 보관용 목표 위치 정보에 기초하여 주행부(22)를 갱신용 목표 위치(보관용 목표 위치)에 정지시켜, 지지 기구(24)에 의해 검사 유닛(J)을 인출하게 하는 검출 장치 취출 제어에 상당한다. 또한, 계측 준비 처리의 실행 후에 실행되는 송신 처리 및 계측 종료 처리가, 갱신 제어에 상당한다.
[다른 실시형태]
(1) 각각의 상기 실시형태에서는, 반송 제어부(11)가, 반송 제어가 종료된 후, 다음의 반송 지령이 지령되어 있지 않고, 또한 바로 옆의 갱신 지령이 지령되고 나서의 경과 시간이 자동 갱신용 시간에 달하고 있는 경우에, 갱신 제어를 개시하도록 구성하였다. 그러나, 그와 같은 구성에 한정되지 않고, 자동 갱신 제어를 개시하는 타이밍은, 적절히 변경해도 된다.
구체적으로는, 예를 들면, 갱신 지령이 지령되고 나서의 경과 시간이 자동 갱신용 시간에 도달한 경우에, 다음의 반송 지령보다 우선적으로 갱신 제어를 실행해도 된다. 또한, 자동 갱신 시간이 경과하는 동안에 물품 반송 장치가 주행하는 상정(想定) 거리로서 갱신용 주행 거리를 설정하고, 갱신 지령이 지령되고 나서의 물품 반송 장치의 주행 거리가 갱신용 주행 거리에 도달한 경우에, 갱신 제어를 개시하도록 구성해도 된다.
보수 작업의 간격이 설정 기간보다 길고, 자동 갱신용 시간이 설정 기간보다 짧으면 되고, 이들 설정 기간, 보수 작업의 간격, 및 자동 갱신용 시간은, 적절히 변경해도 된다.
(2) 각각의 상기 실시형태에 있어서, 퇴피 지령이나 보수 갱신 지령 등의 각종 지령을, 리모트 컨트롤러 등에 의해 천정 반송차(1)에 직접 지령하고, 그 정보를 상위 컨트롤러(H)에 송신하도록 해도 된다.
(3) 각각의 상기 실시형태에서는, 갱신 제어에 의해, 반송용 목표 위치 정보, 반송용 이동 위치 정보, 갱신용 목표 위치 정보, 및 갱신용 이동 위치 정보를 갱신하였다. 그러나, 갱신 제어에 의해, 적어도 반송용 목표 위치 정보와 갱신용 목표 위치 정보를 갱신하면 된다. 예를 들면, 반송용 이동 위치 정보 및 갱신용 이동 위치 정보의 각각에서의 회전 설정 위치, 가로 설정 위치, 및 하강 설정 위치를나타내는 정보 중, 일부만을 갱신해도 된다. 또한, 반송용 이동 위치 정보 및 갱신용 이동 위치 정보 중 적어도 한쪽을 갱신하지 않아도 된다.
(4) 상기 제2 실시형태에서는, 위치 갱신용 개소를, 보관용 개소에 겸용했다. 그러나, 그와 같은 구성에 한정되지 않고, 위치 갱신용 개소를, 보관용 개소와는 별개의 개소로 설정해도 된다.
(5) 전술한 각각의 실시형태(상기 실시형태 및 다른 실시형태를 포함함; 이하 마찬가지임)에서 개시되는 구성은, 모순이 생기지 않는 한, 다른 실시형태에서 개시되는 구성과 조합시켜 적용할 수도 있다. 그 외의 구성에 관해서도, 본 명세서에 있어서 개시된 실시형태는 모든 점에서 예시로서, 본 개시된 취지를 벗어나지 않는 범위 내에서 적절히 개변(改變)할 수 있다.
[실시형태의 개요]
본 실시형태의 물품 반송 설비는,
반송 대상 개소로 물품을 반송하는 물품 반송 장치와, 상기 물품 반송 장치의 작동을 제어하는 제어 장치를 구비하고,
상기 물품 반송 장치가, 주행 경로를 따라 주행하는 주행부와, 상기 주행부에 지지되고 또한 물품을 현수하여 지지하는 지지부와, 상기 주행부가 정지한 상태에서 상기 지지부를 상기 주행부에 대하여 승강시키는 승강 구동부와, 상기 주행부를 정지시키기 위한 위치 정보를 기억하는 기억부를 구비하고 있는 물품 반송 설비로서,
상기 물품 반송 설비는, 위치 갱신용 개소에 구비된 피검출체의 위치를 검출하기 위한 위치 검출 장치를 더 포함하고,
상기 지지부가, 상기 위치 검출 장치를 지지 가능하게 구성되며,
상기 기억부가, 상기 위치 정보로서, 상기 물품 반송 장치가 상기 반송 대상 개소로 물품을 이송탑재하는 경우에 상기 주행부를 정지시키는 목표 위치인 반송용 목표 위치를 나타내는 반송용 목표 위치 정보와, 상기 물품 반송 장치가 상기 위치 검출 장치에 의해 상기 피검출체를 검출하는 경우에 상기 주행부를 정지시키는 목표 위치인 갱신용 목표 위치를 나타내는 갱신용 목표 위치 정보를 기억하고,
상기 제어 장치가, 반송 제어와 갱신 제어를 실행하도록 구성되며,
상기 반송 제어는, 상기 반송 대상 개소로의 물품의 반송을 지령하는 반송 지령이 개시된 경우에, 상기 반송용 목표 위치 정보에 기초하여 상기 주행부를 상기 반송용 목표 위치에 정지시키고, 그 정지 상태에서 상기 지지부를 승강시켜 상기 반송 대상 개소로 물품을 이송탑재하는 제어이며,
상기 갱신 제어는, 상기 갱신용 목표 위치 정보에 기초하여 상기 주행부를 상기 갱신용 목표 위치에 정지시킨 상태에서, 상기 위치 검출 장치에 의해 상기 피검출체의 위치를 검출하고, 그 검출 정보에 기초하여, 상기 기억부에 기억된 상기 갱신용 목표 위치 정보 및 상기 반송용 목표 위치 정보의 갱신을 행하는 제어이며,
상기 제어 장치가, 미리 설정된 기간인 설정 기간보다 긴 간격으로 행해지는 보수 작업에 있어서 작업자의 인위적인 조작에 의해 지령되는 갱신 지령에 기초하여 상기 갱신 제어를 실행하고, 또한 상기 갱신 지령이 지령되고 나서의 경과 시간이 상기 설정 기간보다 짧은 시간인 자동 갱신용 시간에 도달한 것을 조건으로 상기 갱신 제어를 실행하도록 구성되어 있다.
이 구성에 의하면, 제어 장치에 의해, 갱신용 목표 위치 정보에 기초하여 주행부를 갱신용 목표 위치에 정지시킨 상태에서, 위치 검출 장치에 의해 피검출체의 위치를 검출하고, 그 검출 정보에 기초하여, 기억부에 기억된 갱신용 목표 위치 정보 및 반송용 목표 위치 정보의 갱신을 행하는 갱신 제어가 행해진다.
이와 같이, 반송 대상 개소와는 별도로 설정된 위치 갱신용 개소를 이용하여 반송용 목표 위치 정보를 갱신함으로써, 갱신 제어의 실행을 위해 반송 대상 개소에 피검출체를 설치할 필요가 없다. 따라서, 갱신 제어의 실행 중에도 반송 대상 개소로 물품을 반송할 수 있으므로, 물품의 반송 효율의 저하를 억제할 수 있다.
또한, 갱신 제어는, 설정 기간보다 긴 간격으로 행해지는 보수 작업에 있어서 작업자의 인위적인 조작에 의해 지령되는 갱신 지령에 기초하여 실행되는 것에 더하여, 갱신 지령이 지령되고 나서의 경과 시간이 설정 기간보다 짧은 자동 갱신용 시간에 도달한 것을 조건으로 실행된다. 보수 작업에 따른 갱신 제어가 실행되고 나서 다음의 보수 작업에 따른 갱신 제어가 실행될 때까지의 동안에도, 자동 갱신용 시간이 경과할 때마다 갱신 제어가 행해진다. 이와 같이, 보수 작업을 행하고 나서 다음의 보수 작업을 행할 때까지의 동안에도 갱신 처리를 실행함으로써, 보수 작업의 간격을 짧게 하지 않고, 물품 반송 장치가 반송 대상 개소로 물품을 이송탑재할 수 없게 될 때까지의 적절한 시기에 반송용 목표 위치 정보의 갱신을 행할 수 있다.
따라서, 작업자의 작업 부담의 증가를 피하면서 반송용 목표 위치 정보의 갱신을 적절한 시기에 행하면서, 물품의 반송 효율의 저하를 억제할 수 있다.
일 태양(態樣)에 있어서, 상기 위치 검출 장치가, 상기 지지부에 의해 지지되는 물품과 간섭되지 않는 상태로 상기 지지부에 지지되어 있는 것이 바람직하다.
이 구성에 의하면, 지지부가 물품을 지지하고 있지 않을 때만이 아니고, 지지부가 물품을 지지한 상태로 물품 반송 장치가 물품을 반송할 때도, 지지부에 위치 검출 장치를 지지할 수 있다. 그러므로, 지지부에 위치 검출 장치를 상시 지지하게 할 수 있다. 제어 장치가 갱신 제어를 실행하는 전후에 있어서, 지지부에 대하여 위치 검출 장치를 착탈하는 작업이 필요 없게 되기 때문에, 반송용 목표 위치 정보의 갱신을 효율적으로 행할 수 있다.
일 태양에 있어서, 상기 위치 검출 장치는, 인출 가능한 상태로 보관용 개소에 지지되고, 상기 물품 반송 장치는, 상기 주행부가 상기 보관용 개소에 대한 목표 위치인 보관용 목표 위치에 정지한 상태로 상기 지지부를 승강시킴으로써 상기 지지부에 의해 상기 위치 검출 장치를 상기 보관용 개소로부터 인출하도록 구성되며, 상기 기억부는, 상기 보관용 목표 위치를 나타내는 보관용 목표 위치 정보를 기억하고, 상기 제어 장치는, 상기 갱신 제어의 실행 전에, 상기 보관용 목표 위치 정보에 기초하여 상기 주행부를 상기 보관용 목표 위치에 정지시켜, 상기 지지부에 의해 상기 위치 검출 장치를 인출하게 하는 검출 장치 인출 제어를 실행하는 것이 바람직하다.
이 구성에 의하면, 위치 검출 장치가 보관용 개소에 인출 가능한 상태로 지지되어 있으므로, 물품 반송 장치가 복수 설치되어 있는 경우라도, 이들 복수의 물품 반송 장치가, 보관용 개소에 지지되어 있는 위치 검출 장치를 공용할 수 있다. 따라서, 물품 반송 장치를 복수 설치한 경우라도, 위치 검출 장치는 1개로 되기 때문에, 물품 반송 설비 전체로서의 비용을 억제할 수 있다.
일 태양에 있어서, 상기 위치 갱신용 개소가, 상기 보관용 개소에 겸용되고 있는 것이 바람직하다.
이 구성에 의하면, 위치 갱신용 개소와 보관용 개소가 겸용되고 있으므로, 위치 갱신용 개소와는 별도로 보관용 개소를 확보할 필요가 없다. 따라서, 물품 반송 설비의 공간 절약화를 도모할 수 있다. 또한, 위치 검출 장치는, 피검출체를 구비하는 위치 갱신용 개소에 지지되어 있으므로, 상기 위치 검출 장치에 의해 피검출체의 위치를 검출할 때, 위치 검출 장치의 이동량을 작게 할 수 있다. 따라서, 위치 검출 장치에 의해 피검출체의 위치를 효율적으로 검출할 수 있다.
일 태양에 있어서, 상기 제어 장치가, 상기 반송 제어를 완료한 후, 다음의 상기 반송 지령이 개시되기까지 상기 갱신 제어를 개시하는 것이 바람직하다.
이 구성에 의하면, 제어 장치는, 반송 제어가 완료된 후, 다음의 반송 지령에 기초하여 반송 제어를 실행할 때까지의 빈 시간을 이용하여 갱신 제어를 실행할 수 있다. 따라서, 갱신 제어를 효율적으로 실행할 수 있다.
본 실시형태의 물품 반송 설비의 보수 작업 방법은,
반송 대상 개소로 물품을 반송하는 물품 반송 장치와, 상기 물품 반송 장치의 작동을 제어하는 제어 장치를 구비하고,
상기 물품 반송 장치가, 주행 경로를 따라 주행하는 주행부와, 상기 주행부에 지지되고 또한 물품을 현수하여 지지하는 지지부와, 상기 주행부가 정지한 상태에서 상기 지지부를 상기 주행부에 대하여 승강시키는 승강 구동부와, 상기 주행부를 정지시키기 위한 위치 정보를 기억하는 기억부를 구비하고 있는 물품 반송 설비의 보수 작업 방법으로서,
상기 물품 반송 설비는, 위치 갱신용 개소에 구비된 피검출체의 위치를 검출하기 위한 위치 검출 장치를 더 포함하고,
상기 지지부가, 상기 위치 검출 장치를 지지 가능하게 구성되며,
상기 기억부가, 상기 위치 정보로서, 상기 물품 반송 장치가 상기 반송 대상 개소로 물품을 이송탑재하는 경우에 상기 주행부를 정지시키는 목표 위치인 반송용 목표 위치를 나타내는 반송용 목표 위치 정보와, 상기 물품 반송 장치가 상기 위치 검출 장치에 의해 상기 피검출체를 검출하는 경우에 상기 주행부를 정지시키는 목표 위치인 갱신용 목표 위치를 나타내는 갱신용 목표 위치 정보를 기억하고,
상기 제어 장치가, 반송 제어와 갱신 제어를 실행하도록 구성되며,
상기 반송 제어는, 상기 반송 대상 개소로의 물품의 반송을 지령하는 반송 지령이 개시된 경우에, 상기 반송용 목표 위치 정보에 기초하여 상기 주행부를 상기 반송용 목표 위치에 정지시키고, 그 정지 상태에서 상기 지지부를 승강시켜 상기 반송 대상 개소로 물품을 이송탑재하는 제어이며,
상기 갱신 제어는, 상기 갱신용 목표 위치 정보에 기초하여 상기 주행부를 상기 갱신용 목표 위치에 정지시킨 상태에서, 상기 위치 검출 장치에 의해 상기 피검출체의 위치를 검출하고, 그 검출 정보에 기초하여 상기 기억부가 기억하고 있는 상기 갱신용 목표 위치 정보 및 상기 반송용 목표 위치 정보의 갱신을 행하는 제어이며,
상기 제어 장치가, 미리 설정된 기간인 설정 기간보다 긴 간격으로 행해지는 보수 작업에 있어서 작업자의 인위적인 조작에 의해 지령되는 갱신 지령에 기초하여 상기 갱신 제어를 실행하고, 또한 상기 갱신 지령이 지령되고 나서의 경과 시간이 상기 설정 기간보다 짧은 시간인 자동 갱신용 시간에 도달한 것을 조건으로 상기 갱신 제어를 실행한다.
이 구성에 의하면, 제어 장치에 의해, 갱신용 목표 위치 정보에 기초하여 주행부를 갱신용 목표 위치에 정지시킨 상태에서, 위치 검출 장치에 의해 피검출체의 위치를 검출하고, 그 검출 정보에 기초하여, 기억부에 기억된 갱신용 목표 위치 정보 및 반송용 목표 위치 정보의 갱신을 행하는 갱신 제어가 행해진다.
이와 같이, 반송 대상 개소와는 별도로 설정된 위치 갱신용 개소를 이용하여 반송용 목표 위치 정보를 갱신함으로써, 갱신 제어의 실행을 위해 반송 대상 개소에 피검출체를 설치할 필요가 없다. 따라서, 갱신 제어의 실행 중에도 반송 대상 개소로 물품을 반송할 수 있으므로, 물품의 반송 효율의 저하를 억제할 수 있다.
또한, 갱신 제어는, 설정 기간보다 긴 간격으로 행해지는 보수 작업에 있어서 작업자의 인위적인 조작에 의해 지령되는 갱신 지령에 기초하여 실행되는 것에 더하여, 갱신 지령이 지령되고 나서의 경과 시간이 설정 기간보다 짧은 자동 갱신용 시간에 도달한 것을 조건으로 실행된다. 보수 작업에 따른 갱신 제어가 실행되고 나서 다음의 보수 작업에 따른 갱신 제어가 실행될 때까지의 동안에도, 자동 갱신용 시간이 경과할 때마다 갱신 제어가 행해진다. 이와 같이, 보수 작업을 행하고 나서 다음의 보수 작업을 행할 때까지의 동안에도 갱신 처리를 실행함으로써, 보수 작업의 간격을 짧게 하지 않고, 물품 반송 장치가 반송 대상 개소로 물품을 이송탑재할 수 없게 될 때까지의 적절한 시기에 반송용 목표 위치 정보의 갱신을 행할 수 있다.
따라서, 작업자의 작업 부담의 증가를 피하면서 반송용 목표 위치 정보의 갱신을 적절한 시기에 행하면서, 물품의 반송 효율의 저하를 억제할 수 있다.
그리고, 물품 반송 설비의 보수 작업 방법에 관해서도, 물품 반송 설비에 관하여 전술한 바람직한 구성을 적절히 내장할 수 있다.
1: 천정 반송차(물품 반송 장치)
3: 지지대(반송 대상 개소)
4: 검사 테이블(위치 갱신용 개소, 보관용 개소)
11: 반송 제어부(제어 장치)
11a: 기억부
12: 피검출체
22: 주행부
24: 지지 기구(지지부)
25: 승강 구동부
29: 위치 검출 센서(위치 검출 장치)
J: 검사 유닛(위치 검출 장치)
L: 주행 경로
W: 용기(물품)

Claims (6)

  1. 반송(搬送) 대상 개소(箇所)로 물품을 반송하는 물품 반송 장치와, 상기 물품 반송 장치의 작동을 제어하는 제어 장치를 포함하고,
    상기 물품 반송 장치가, 주행 경로를 따라 주행하는 주행부와, 상기 주행부에 지지되고 또한 물품을 현수(懸垂)하여 지지하는 지지부와, 상기 주행부가 정지한 상태에서 상기 지지부를 상기 주행부에 대하여 승강시키는 승강 구동부와, 상기 주행부를 정지시키기 위한 위치 정보를 기억하는 기억부를 포함하고 있는 물품 반송 설비로서,
    상기 물품 반송 설비는, 위치 갱신용 개소에 구비된 피(被)검출체의 위치를 검출하기 위한 위치 검출 장치를 더 포함하고,
    상기 지지부가, 상기 위치 검출 장치를 지지 가능하게 구성되며,
    상기 기억부가, 상기 위치 정보로서, 상기 물품 반송 장치가 상기 반송 대상 개소로 물품을 이송탑재(移載; transfer)하는 경우에 상기 주행부를 정지시키는 목표 위치인 반송용 목표 위치를 나타내는 반송용 목표 위치 정보와, 상기 물품 반송 장치가 상기 위치 검출 장치에 의해 상기 피검출체를 검출하는 경우에 상기 주행부를 정지시키는 목표 위치인 갱신용 목표 위치를 나타내는 갱신용 목표 위치 정보를 기억하고,
    상기 제어 장치가, 반송 제어와 갱신 제어를 실행하도록 구성되며,
    상기 반송 제어는, 상기 반송 대상 개소로의 물품의 반송을 지령하는 반송 지령이 개시된 경우에, 상기 반송용 목표 위치 정보에 기초하여 상기 주행부를 상기 반송용 목표 위치에 정지시키고, 그 정지 상태에서 상기 지지부를 승강시켜 상기 반송 대상 개소로 물품을 이송탑재하는 제어이며,
    상기 갱신 제어는, 상기 갱신용 목표 위치 정보에 기초하여 상기 주행부를 상기 갱신용 목표 위치에 정지시킨 상태에서, 상기 위치 검출 장치에 의해 상기 피검출체의 위치를 검출하고, 그 검출 정보에 기초하여, 상기 기억부에 기억된 상기 갱신용 목표 위치 정보 및 상기 반송용 목표 위치 정보의 갱신을 행하는 제어이며,
    상기 제어 장치가, 미리 설정된 기간인 설정 기간보다 긴 간격으로 행해지는 보수 작업에 있어서 작업자의 인위적인 조작에 의해 지령되는 갱신 지령에 기초하여 상기 갱신 제어를 실행하고, 또한 상기 갱신 지령이 지령되고 나서의 경과 시간이 상기 설정 기간보다 짧은 시간인 자동 갱신용 시간에 도달한 것을 조건으로 상기 갱신 제어를 실행하도록 구성되어 있는,
    물품 반송 설비.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 위치 검출 장치가, 상기 지지부에 의해 지지되는 물품과 간섭되지 않는 상태로 상기 지지부에 지지되어 있는, 물품 반송 설비.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 위치 검출 장치는, 인출 가능한 상태로 보관용 개소에 지지되고,
    상기 물품 반송 장치는, 상기 주행부가 상기 보관용 개소에 대한 목표 위치인 보관용 목표 위치에 정지한 상태로 상기 지지부를 승강시킴으로써 상기 지지부에 의해 상기 위치 검출 장치를 상기 보관용 개소로부터 인출하도록 구성되며,
    상기 기억부는, 상기 보관용 목표 위치를 나타내는 보관용 목표 위치 정보를 기억하고,
    상기 제어 장치는, 상기 갱신 제어의 실행 전에, 상기 보관용 목표 위치 정보에 기초하여 상기 주행부를 상기 보관용 목표 위치에 정지시켜, 상기 지지부에 의해 상기 위치 검출 장치를 인출하게 하는 검출 장치 인출 제어를 실행하는, 물품 반송 설비.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 위치 갱신용 개소가, 상기 보관용 개소에 겸용되고 있는, 물품 반송 설비.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제어 장치가, 상기 반송 제어를 완료한 후, 다음의 상기 반송 지령이 개시되기까지 상기 갱신 제어를 개시하는, 물품 반송 설비.
  6. 반송 대상 개소로 물품을 반송하는 물품 반송 장치와, 상기 물품 반송 장치의 작동을 제어하는 제어 장치를 포함하고,
    상기 물품 반송 장치가, 주행 경로를 따라 주행하는 주행부와, 상기 주행부에 지지되고 또한 물품을 현수하여 지지하는 지지부와, 상기 주행부가 정지한 상태에서 상기 지지부를 상기 주행부에 대하여 승강시키는 승강 구동부와, 상기 주행부를 정지시키기 위한 위치 정보를 기억하는 기억부를 구비하고 있는 물품 반송 설비의 보수 작업 방법으로서,
    상기 물품 반송 설비는, 위치 갱신용 개소에 구비된 피검출체의 위치를 검출하기 위한 위치 검출 장치를 더 포함하고,
    상기 지지부가, 상기 위치 검출 장치를 지지 가능하게 구성되며,
    상기 기억부가, 상기 위치 정보로서, 상기 물품 반송 장치가 상기 반송 대상 개소로 물품을 이송탑재하는 경우에 상기 주행부를 정지시키는 목표 위치인 반송용 목표 위치를 나타내는 반송용 목표 위치 정보와, 상기 물품 반송 장치가 상기 위치 검출 장치에 의해 상기 피검출체를 검출하는 경우에 상기 주행부를 정지시키는 목표 위치인 갱신용 목표 위치를 나타내는 갱신용 목표 위치 정보를 기억하고,
    상기 제어 장치가, 반송 제어와 갱신 제어를 실행하도록 구성되며,
    상기 반송 제어는, 상기 반송 대상 개소로의 물품의 반송을 지령하는 반송 지령이 개시된 경우에, 상기 반송용 목표 위치 정보에 기초하여 상기 주행부를 상기 반송용 목표 위치에 정지시키고, 그 정지 상태에서 상기 지지부를 승강시켜 상기 반송 대상 개소로 물품을 이송탑재하는 제어이며,
    상기 갱신 제어는, 상기 갱신용 목표 위치 정보에 기초하여 상기 주행부를 상기 갱신용 목표 위치에 정지시킨 상태에서, 상기 위치 검출 장치에 의해 상기 피검출체의 위치를 검출하고, 그 검출 정보에 기초하여, 상기 기억부에 기억된 상기 갱신용 목표 위치 정보 및 상기 반송용 목표 위치 정보의 갱신을 행하는 제어이며,
    상기 제어 장치가, 미리 설정된 기간인 설정 기간보다 긴 간격으로 행해지는 보수 작업에 있어서 작업자의 인위적인 조작에 의해 지령되는 갱신 지령에 기초하여 상기 갱신 제어를 실행하고, 또한 상기 갱신 지령이 지령되고 나서의 경과 시간이 상기 설정 기간보다 짧은 시간인 자동 갱신용 시간에 도달한 것을 조건으로 상기 갱신 제어를 실행하는,
    물품 반송 설비의 보수 작업 방법.
KR1020160041661A 2015-04-09 2016-04-05 물품 반송 설비 및 물품 반송 설비의 보수 작업 방법 KR102418303B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015080135A JP6330714B2 (ja) 2015-04-09 2015-04-09 物品搬送設備及び物品搬送設備の保守作業方法
JPJP-P-2015-080135 2015-04-09

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20160121421A KR20160121421A (ko) 2016-10-19
KR102418303B1 true KR102418303B1 (ko) 2022-07-06

Family

ID=57112485

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020160041661A KR102418303B1 (ko) 2015-04-09 2016-04-05 물품 반송 설비 및 물품 반송 설비의 보수 작업 방법

Country Status (5)

Country Link
US (1) US9589821B2 (ko)
JP (1) JP6330714B2 (ko)
KR (1) KR102418303B1 (ko)
CN (1) CN106044040B (ko)
TW (1) TWI666157B (ko)

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102062548B1 (ko) * 2015-12-08 2020-01-06 무라다기카이가부시끼가이샤 반송 시스템 및 반송 방법
JP6696454B2 (ja) * 2017-02-13 2020-05-20 株式会社ダイフク 検査システム
US10923370B2 (en) * 2017-05-11 2021-02-16 Murata Machinery, Ltd. Transport system and transport method
JP6849074B2 (ja) * 2017-08-16 2021-03-24 村田機械株式会社 搬送システム、及び天井搬送車の制御方法
JP6910597B2 (ja) * 2017-09-01 2021-07-28 村田機械株式会社 天井搬送車システム及び天井搬送車でのティーチング方法
JP6844715B2 (ja) * 2017-11-02 2021-03-17 村田機械株式会社 天井搬送車システム及び天井搬送車システムでの物品の一時保管方法
JP6888529B2 (ja) * 2017-11-27 2021-06-16 株式会社ダイフク 搬送車
JP7294224B2 (ja) * 2020-04-22 2023-06-20 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP7318589B2 (ja) * 2020-05-25 2023-08-01 株式会社ダイフク 物品搬送設備
CN112660771A (zh) * 2020-12-03 2021-04-16 盐城东紫光电科技有限公司 一种光疗设备生产加工用高效转运装置
JP7248003B2 (ja) * 2020-12-08 2023-03-29 株式会社ダイフク 車輪交換装置

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007126254A (ja) 2005-11-04 2007-05-24 Murata Mach Ltd 搬送装置
JP2009035403A (ja) 2007-08-03 2009-02-19 Asyst Technologies Japan Inc 搬送システム、及び該搬送システムにおける教示方法

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11349280A (ja) * 1998-06-05 1999-12-21 Shinko Electric Co Ltd 懸垂式搬送装置
JP4296914B2 (ja) 2003-12-08 2009-07-15 アシスト テクノロジーズ ジャパン株式会社 位置教示装置及びそれを備えた搬送システム
JP4203824B2 (ja) * 2005-06-15 2009-01-07 株式会社ダイフク 物品搬送装置
JP4632091B2 (ja) * 2005-08-30 2011-02-16 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP4756371B2 (ja) * 2006-09-05 2011-08-24 株式会社ダイフク 物品収納設備
EP2305594B1 (en) * 2008-07-23 2015-04-08 Daifuku Co., Ltd. Learning device and learning method in article conveyance facility
KR101489718B1 (ko) * 2008-09-05 2015-02-04 가부시키가이샤 다이후쿠 물품 수납 설비와 그 작동 방법
JP5170554B2 (ja) * 2008-09-29 2013-03-27 株式会社ダイフク 物品収納設備における学習装置
JP2010087358A (ja) * 2008-10-01 2010-04-15 Muratec Automation Co Ltd 搬送システム及びズレ検出用治具
JP5429570B2 (ja) * 2010-03-08 2014-02-26 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP5382470B2 (ja) * 2010-11-04 2014-01-08 村田機械株式会社 搬送システム及び搬送方法
JP5773200B2 (ja) * 2011-07-28 2015-09-02 株式会社ダイフク 処理設備
JP5590420B2 (ja) * 2011-12-21 2014-09-17 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP6007880B2 (ja) * 2013-10-10 2016-10-12 株式会社ダイフク 天井搬送車
US10332770B2 (en) * 2014-09-24 2019-06-25 Sandisk Technologies Llc Wafer transfer system
US9576834B2 (en) * 2015-03-16 2017-02-21 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Stocker and method for dispatching wafer carrier in stocker

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007126254A (ja) 2005-11-04 2007-05-24 Murata Mach Ltd 搬送装置
JP2009035403A (ja) 2007-08-03 2009-02-19 Asyst Technologies Japan Inc 搬送システム、及び該搬送システムにおける教示方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN106044040A (zh) 2016-10-26
US9589821B2 (en) 2017-03-07
TWI666157B (zh) 2019-07-21
JP6330714B2 (ja) 2018-05-30
JP2016199348A (ja) 2016-12-01
KR20160121421A (ko) 2016-10-19
CN106044040B (zh) 2019-08-23
US20160297613A1 (en) 2016-10-13
TW201641392A (zh) 2016-12-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102418303B1 (ko) 물품 반송 설비 및 물품 반송 설비의 보수 작업 방법
KR102424034B1 (ko) 물품 반송 설비 및 검사 유닛
KR102448422B1 (ko) 물품 반송 설비
JP2017154840A (ja) 物品搬送設備
CN106927206B (zh) 物品输送设备
KR101305265B1 (ko) 물품 반송 설비에 있어서의 학습 장치 및 학습 방법
TWI641549B (zh) Carrier handling system and handling method
TWI722208B (zh) 搬送系統
KR20030032882A (ko) 현수 반송설비와 그 학습장치
JP5884507B2 (ja) 物品保管設備の学習方法
JP6747516B2 (ja) 天井搬送車、及び天井搬送車の制御方法
JP2010064850A (ja) 物品収納設備における学習装置
JP2010024026A (ja) 物品搬送設備における学習装置
KR20210146219A (ko) 천장 반송차, 티칭 유닛, 및 천장 반송차에 있어서의 이재 위치 학습 방법
JP2010024025A (ja) 物品搬送設備における学習装置及び学習方法
JP2017081657A (ja) 移載システム及び自動倉庫

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant