TWI522546B - 致動器 - Google Patents

致動器 Download PDF

Info

Publication number
TWI522546B
TWI522546B TW099136905A TW99136905A TWI522546B TW I522546 B TWI522546 B TW I522546B TW 099136905 A TW099136905 A TW 099136905A TW 99136905 A TW99136905 A TW 99136905A TW I522546 B TWI522546 B TW I522546B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
actuator
guiding
displaceable
guide
piston rod
Prior art date
Application number
TW099136905A
Other languages
English (en)
Other versions
TW201126076A (en
Inventor
Yoshihiro Fukano
Toru Sugiyama
Masaki Miyahara
Original Assignee
Smc Kk
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Smc Kk filed Critical Smc Kk
Publication of TW201126076A publication Critical patent/TW201126076A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI522546B publication Critical patent/TWI522546B/zh

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K7/00—Arrangements for handling mechanical energy structurally associated with dynamo-electric machines, e.g. structural association with mechanical driving motors or auxiliary dynamo-electric machines
    • H02K7/10—Structural association with clutches, brakes, gears, pulleys or mechanical starters
    • H02K7/116—Structural association with clutches, brakes, gears, pulleys or mechanical starters with gears
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B60—VEHICLES IN GENERAL
    • B60L—PROPULSION OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; SUPPLYING ELECTRIC POWER FOR AUXILIARY EQUIPMENT OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; ELECTRODYNAMIC BRAKE SYSTEMS FOR VEHICLES IN GENERAL; MAGNETIC SUSPENSION OR LEVITATION FOR VEHICLES; MONITORING OPERATING VARIABLES OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; ELECTRIC SAFETY DEVICES FOR ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES
    • B60L50/00—Electric propulsion with power supplied within the vehicle
    • B60L50/50—Electric propulsion with power supplied within the vehicle using propulsion power supplied by batteries or fuel cells
    • E—FIXED CONSTRUCTIONS
    • E05—LOCKS; KEYS; WINDOW OR DOOR FITTINGS; SAFES
    • E05C—BOLTS OR FASTENING DEVICES FOR WINGS, SPECIALLY FOR DOORS OR WINDOWS
    • E05C17/00—Devices for holding wings open; Devices for limiting opening of wings or for holding wings open by a movable member extending between frame and wing; Braking devices, stops or buffers, combined therewith
    • E05C17/02—Devices for holding wings open; Devices for limiting opening of wings or for holding wings open by a movable member extending between frame and wing; Braking devices, stops or buffers, combined therewith by mechanical means
    • E05C17/04—Devices for holding wings open; Devices for limiting opening of wings or for holding wings open by a movable member extending between frame and wing; Braking devices, stops or buffers, combined therewith by mechanical means with a movable bar or equivalent member extending between frame and wing
    • E05C17/30—Devices for holding wings open; Devices for limiting opening of wings or for holding wings open by a movable member extending between frame and wing; Braking devices, stops or buffers, combined therewith by mechanical means with a movable bar or equivalent member extending between frame and wing of extensible, e.g. telescopic, construction
    • E05C17/305—Devices for holding wings open; Devices for limiting opening of wings or for holding wings open by a movable member extending between frame and wing; Braking devices, stops or buffers, combined therewith by mechanical means with a movable bar or equivalent member extending between frame and wing of extensible, e.g. telescopic, construction with hydraulic locks
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16H—GEARING
    • F16H1/00—Toothed gearings for conveying rotary motion
    • F16H1/02—Toothed gearings for conveying rotary motion without gears having orbital motion
    • F16H1/04—Toothed gearings for conveying rotary motion without gears having orbital motion involving only two intermeshing members
    • F16H1/06—Toothed gearings for conveying rotary motion without gears having orbital motion involving only two intermeshing members with parallel axes
    • F16H1/10—Toothed gearings for conveying rotary motion without gears having orbital motion involving only two intermeshing members with parallel axes one of the members being internally toothed
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K7/00—Arrangements for handling mechanical energy structurally associated with dynamo-electric machines, e.g. structural association with mechanical driving motors or auxiliary dynamo-electric machines
    • H02K7/06—Means for converting reciprocating motion into rotary motion or vice versa
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K7/00—Arrangements for handling mechanical energy structurally associated with dynamo-electric machines, e.g. structural association with mechanical driving motors or auxiliary dynamo-electric machines
    • H02K7/10—Structural association with clutches, brakes, gears, pulleys or mechanical starters
    • H02K7/118—Structural association with clutches, brakes, gears, pulleys or mechanical starters with starting devices
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16H—GEARING
    • F16H25/00—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms
    • F16H25/18—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms for conveying or interconverting oscillating or reciprocating motions
    • F16H25/20—Screw mechanisms
    • F16H2025/204—Axial sliding means, i.e. for rotary support and axial guiding of nut or screw shaft
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16H—GEARING
    • F16H25/00—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms
    • F16H25/18—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms for conveying or interconverting oscillating or reciprocating motions
    • F16H25/20—Screw mechanisms
    • F16H2025/2062—Arrangements for driving the actuator
    • F16H2025/2096—Arrangements for driving the actuator using endless flexible members
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16H—GEARING
    • F16H25/00—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms
    • F16H25/18—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms for conveying or interconverting oscillating or reciprocating motions
    • F16H25/20—Screw mechanisms
    • F16H25/24—Elements essential to such mechanisms, e.g. screws, nuts
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02T—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO TRANSPORTATION
    • Y02T10/00—Road transport of goods or passengers
    • Y02T10/60—Other road transportation technologies with climate change mitigation effect
    • Y02T10/70—Energy storage systems for electromobility, e.g. batteries
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T74/00—Machine element or mechanism
    • Y10T74/18—Mechanical movements
    • Y10T74/18568—Reciprocating or oscillating to or from alternating rotary
    • Y10T74/18576—Reciprocating or oscillating to or from alternating rotary including screw and nut

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Sustainable Development (AREA)
  • Sustainable Energy (AREA)
  • Transportation (AREA)
  • Actuator (AREA)
  • Transmission Devices (AREA)

Description

致動器 ACTUATOR
本發明係關於致動器，於該致動器中藉由從驅動部將驅動力傳送至可移位體而移位該可移位體通過給定的行程。
迄今，作為用來輸送工件等之手段，例如，已經廣範使用致動器，於此致動器中進給螺桿藉由譬如馬達等之旋轉驅動源之旋轉驅動力而被旋轉驅動，藉此造成滑動器移位以便輸送工件。
如揭示於日本公開專利公報第2007-089275號者，本專利受讓人已經提出一種致動器，該致動器裝備有：譬如馬達等之驅動源；傳送機構，配置在連接到該驅動源之主體外殼內，並且藉由其從驅動源傳送驅動力；以及移位機構，該移位機構連接至外殼，來自傳送機構之驅動力傳送至該移位機構以移位該移位機構通過給定的行程。
本發明之主要目的係要提供一種制動器，該致動器能夠藉由以可拆卸方式配置導引機構以穩定地沿著軸方向移位可移位體，該可拆卸方式使得導引機構能夠被選擇，而以對應於要求負載之大小被最佳化。再者，依照此種結構，能夠改善致動器之強度和剛性。
本發明之特徵在於：主體；具有可移位體之移位機構，該可移位體配置於該主體內用來沿著該主體之軸方向移位；以及導引機構，具有：主體部分，附接至該主體；導桿，實質上與該可移位體平行配置，並且沿著該軸方向以可移位方式被支撐於該主體部分；以及連接構件，其互連接該導桿與該可移位體，其中該導引機構以可相對於該主體被拆卸之方式配置。
依照本發明，包含該主體部分、沿著軸方向以可移位方式被支撐於該主體部分之導桿、和互連接該導桿與該可移位體之連接構件之導引機構係以可相對於裝備了該移位機構之該主體被拆卸之方式配置。此外，當組成該移位機構之可移位體沿著該主體之軸方向移位時，該可移位體連同經由該連接構件連接至其之該導桿一齊移位，由此該可移位體被沿著該軸方向導引。
因此，藉由安裝於該主體之導引機構，能夠以穩定的方式於構成該導引機構之該導桿之導引行動下沿著該軸方向移位可移位體。以及連同於此，對於施加於該可移位體於垂直於軸方向之方向之負載，能夠獲得充分的剛性。
由下列之說明，當結合其中藉由例示實例之方式顯示本發明之較佳實施例之伴隨的圖式，本發明之上述和其他目的、特徵、和優點將變得更清楚。
如第1至4圖中所示，依照本發明之第一個實施例之線性致動器10包含：具有延伸於軸方向(於箭號A和B之方向)之縱向尺寸之缸體(主體)12；連接至該缸體12之一端之蓋單元14；藉由電訊號以旋轉方式驅動並且實質上與缸體12平行配置之驅動部16；配置在該缸體12之內部之移位機構20，該移位機構20具有移位螺母18能夠藉由來自驅動部16之驅動力移位通過給定的行程；驅動單元24，裝備有驅動力傳送機構(傳送機構)22，將驅動力從驅動部16傳送至移位機構20；以及導引單元(導引機構)26，附接於組構該驅動單元24之缸體12之末端，並且該導引單元26沿著軸方向導引該移位機構20。
詳言之，上述之驅動單元24形成電制動器，該電制動器於電能被供應至驅動部16時能夠移位該移位機構20。
於缸體12中，實質上開口成圓形剖面之孔28穿透缸體12於軸方向(於箭號A和B之方向)。於缸體12之一端，外殼30被用螺絲接合，並且連同蓋單元14之轉接器32設置在一起，該轉接器32透過外殼30互連接缸體12與驅動部16。於外殼30之內部，一對第一軸承34平行配置，該第一軸承34藉由軸承座54而保持於定位。
另一方面，於缸體12之另一端，圓柱形的桿蓋36容裝在孔28之內部。該桿蓋36藉由止動環38而以與孔28之階部接合之狀態被鎖住和保持在軸方向(於箭號A和B之方向)位置。桿襯墊42和襯套44配置在桿蓋36之內周圍表面，後文提及的活塞桿(可移位體)40能夠相對於該桿襯墊42和襯套44滑動接觸。與之一起，於桿蓋36之端表面，安裝由彈性材料(例如，橡膠、聚氨酯)製成之阻尼器，以便面朝向缸體12之一端側。
再者，於缸體12之另一端，當後來說明的導引單元26被附接於其上時供定位銷46***於其中之一對銷孔48、和二對螺絲孔50a、50b被各自形成在缸體12之底壁上，該二對螺絲孔50a、50b於主體的縱方向以銷孔48為中心分離預定的距離。螺絲孔50a、50b用來與後文中說明之附接螺栓52a、52b螺旋接合。
另一方面，於孔28之內周圍表面上形成凹槽56(參看第6圖)，該凹槽56沿著軸方向(於箭號A和B之方向)延伸，並且於徑向向外方向凹入。配置在後文中說明之移位機構20之活塞58上之停止旋轉構件60被***於凹槽56中。
蓋單元14連接至缸體12之一端和連接至驅動部16之末端部分，並且進一步包含轉接器32以及皮帶輪罩62，於該轉接器32的內部容裝了驅動力傳送機構22，而皮帶輪罩62裝配至並且封閉轉接器32之開口區域。詳言之，缸體12和驅動部16透過蓋單元14實質平行地互相連接在一起。
驅動部16由旋轉驅動源64(譬如，例如DC馬達、步進馬達、等等)組合成，該旋轉驅動源64藉由來自未顯示之電源流經電源電纜供應之電流而被旋轉地驅動。驅動部16透過形成在該驅動部16之末端之轉接器32連接至缸體12之一端，而驅動力傳送機構22之驅動皮帶輪68安裝在旋轉驅動源64之驅動軸66上。
移位機構20包含容裝於缸體12之內部之螺旋軸70、與該螺旋軸(screw shaft)70螺旋接合之移位螺母18、安裝於該移位螺母18之外周圍側之活塞58、連接至該活塞58之末端之活塞桿40、和裝配入並且封閉活塞桿40之末端之插座72。
螺旋軸70在其外周圍側具有螺紋刻劃於其中，該螺紋縱向沿著螺旋軸70之軸方向(於箭號A和B之方向)形成。螺旋軸70之一端配置於缸體12之一端側(於箭號A之方向)，而連接器74連接至螺旋軸70之一端。
連接器74之外周圍表面藉由第一和第二軸承34、76而可旋轉地保持住。再者，組構為驅動力傳送機構22之一部分之受驅動皮帶輪78被螺旋接合並且連接至連接器74之末端。詳言之，螺旋軸70之一端藉由該第一和第二軸承34、76透過連接器74而保持在可旋轉之狀態。
另一方面，螺旋軸70之另一端側(於箭號B之方向)被***於活塞桿40之內部，而環形支撐環82透過保持器80配置在螺旋軸70之另一端。
移位螺母18形成在圓柱形中，並且於其中央部分沿著軸方向具有螺絲孔(未顯示)。螺旋軸70相對於未顯示之螺絲孔螺旋接合。此外，於螺旋軸70之旋轉動作下，缸體12之內部沿著軸方向(於箭號A和B之方向)被移位。
活塞58形成圓柱形，具有移位螺母18容裝並且連接於其內部，且活塞58之一端連接於活塞桿40。再者，磁鐵84透過活塞58之外周圍側上之環形凹槽被安裝。藉由安裝在該缸體12之外側之偵測位置感測器(未顯示)檢測來自磁鐵84之磁力，由此確認於致動器10中活塞58之位置。
停止旋轉構件60具有突出部分(未顯示)，該突出部分從其外周圍側徑向向外方向突出。藉由將停止旋轉構件60連同活塞58***缸體12之內部，該等突出部分被分別***於凹槽56中。因此，包含停止旋轉構件60之活塞58和移位螺母18被防止於缸體12內朝旋轉之方向移位。
活塞桿40形成圓柱管形狀並具有預定的長度。其一端與活塞58螺旋接合，而插座72裝配入另一端以封閉該活塞桿40。再者，螺旋軸70容裝於活塞桿40之內部，而使得支撐環82可滑動的與內周圍表面接觸，而桿襯墊42和襯套44與活塞桿40之外周圍表面可滑動的接觸。
此外，配置活塞桿40使得於活塞58之移位動作情況下，活塞桿40連同活塞58被移位於軸方向，以便能夠從缸體12之另一端側突出至外部(於箭號B之方向)。
如第1、3、和5圖中所示，驅動力傳送機構22包含：驅動皮帶輪68，該驅動皮帶輪68容裝於轉接器32和皮帶輪罩62之內部，並且連接至旋轉驅動源64之驅動軸66；受驅動皮帶輪78，於該受驅動皮帶輪78中安裝有連接至螺旋軸70之連接器74；以及時規皮帶90，該時規皮帶90串繞並且延伸過驅動皮帶輪68和受驅動皮帶輪78二者。
再者，驅動皮帶輪68藉由從外周圍側面向中央方向之螺旋接合螺栓銷92而被固定為被限制成無法相對於驅動軸66移位之狀態；而同樣情況，受驅動皮帶輪78藉由從外周圍側面向中央方向之螺旋接合螺栓銷92而被固定為被限制成無法相對於驅動軸66移位之狀態。
此外，複數個齒輪齒設置在驅動皮帶輪68和受驅動皮帶輪78之外周圍側，該複數個齒輪齒係被設置在時規皮帶90之內周圍表面上之齒輪齒卡合。由於上述原因，驅動部16之導致螺旋軸70旋轉之旋轉驅動力經由時規皮帶90而從驅動皮帶輪68傳送至受驅動皮帶輪78，連帶著，與螺旋軸70螺旋接合之移位螺母18能夠沿著軸方向(於箭號A和B之方向)移位。
導引單元26包含形成具有U形剖面之導引主體(主體部分)94、插穿於設置在該導引主體94中之一對桿孔(支撐孔)96a、96b之一對導桿(導引軸)98a、98b、以及互連接該導桿98a、98b和活塞桿40之連接板(連接構件)100。
導引主體94由基底部分102和一對導引部分104a、104b組成。該基底部分102例如用譬如鋁合金等之金屬材料製成，且構成該驅動單元24之缸體12安置於該導引主體94中，而該對導引部分104a、104b從基底部分102之相對側朝垂直方向立起。
基底部分102形成具有固定厚度之平板狀，並且進一步形成具有沿著缸體12之軸方向(於箭號A和B之方向)之預定的長度，且於寬度方向形成相對於缸體12之寬度尺寸稍為較大。此外，一對定位銷46大略地安裝於沿著基底部分102之縱向方向(於箭號A和B之方向)的中央位置，該定位銷46從基底部分102之上表面突出預定的高度。再者，從定位銷46分離預定距離之二對螺栓孔106a、106b形成在該基底部分102上。用來互連接導引單元26與缸體12之附接螺栓52a、52b被分別***穿過螺栓孔106a、106b。再者，螺栓孔106a、106b相對於定位銷46分別形成在基底部分102之一個末端側(於箭號A方向)和另一個末端側(於箭號B方向)，且進一步於基底部分102之寬度方向形成平行。
導引部分104a、104b被連接到基底部分102之相對端側，並且相對於基底部分102形成預定的高度。此外，當將缸體12安裝至基底部分102時，導引部分104a、104b之內部側壁面朝向缸體12並且被形成為相對於缸體12之側表面被稍微間隔開。
再者，於導引部分104a、104b中，桿孔96a、96b分別沿著導引主體94之縱向方向(詳言之，沿著缸體12之軸方向)貫穿過導引部分104a、104b，並且伴隨於此，當將缸體12安裝於基底部分102上時，導引部分104a、104b配置在與活塞桿40之高度實質上相同高度之位置。
再者，於導引部分104a、104b上，形成二對貫穿孔108以便垂直於桿孔96a、96b，並且分別從導引部分104a、104b之上表面貫穿於向下方向。
如第6圖中所示，貫穿孔108分別形成在一個導引部分104a和另一個導引部分104b中，且基底部分102置於其間。螺紋部分108a形成在其下側之內周圍表面上。此外，例如，將導引單元26配置於平板狀之另一材料P上，並且藉由***並且螺旋接合緊固螺栓(緊固構件)109於貫穿孔108中，而以該另一材料P插置於其間，藉此使該導引單元26相對於該其他材料P被牢固。
此外，亦可以藉由從上方相對於貫穿孔108***緊固螺栓109，並且藉由螺旋接合緊固螺栓109於形成於另一材料P中之螺絲孔中而將導引單元26固定於另一材料P。
一對桿襯套110a、110b分別配置在桿孔96a、96b中於其開口之相對向末端部分之附近，而環形襯墊(packing)112安裝在一個末端側上，該末端側形成其稍後說明之連接板100。此外，當導桿98a、98b被***於桿孔96a、96b之內部時，該導桿98a、98b由該對桿襯套110a、110b所支撐以沿著軸方向(於箭號A和B之方向)移位，並且，由於襯墊112可滑動地與導桿98a、98b之外周圍表面接觸之結果，可消除塵埃和碎片等黏著於此種外周圍表面。桿襯套110a、110b可例如由滑動軸承、球襯套軸承等形成。
再者，在桿孔96a、96b之軸方向長度為短的情況，不須設置該對桿襯套110a、110b，於此情況，可以僅設置單一桿襯套。
導桿98a、98b由具有固定的半徑之軸製成，而使得當導桿98a、98b***穿過桿孔96a、96b時，其二個末端側被配置成從桿孔96a、96b向外突出。
設定導桿98a、98b之縱向尺寸至一長度而使得當活塞桿40沿著軸方向移位時，導桿98a、98b能夠於所有時間被該對桿襯套110a、110b所支撐。此外，連接板100透過連接螺栓114連接至導桿98a、98b之末端。
連接板100形成為具有矩形剖面，該連接板100之縱向尺寸被水平地定向。藉由被實質上***穿過其中央之連接螺栓114，將安裝於活塞桿40上之插座72連接至連接板100。另一方面，於連接板100之相對向末端部分之附近，二個導桿98a、98b以活塞桿40為中心分離相等的距離，並且藉由連接螺栓114分別連接至連接板100。而且，該對導桿98a、98b和活塞桿40經由連接板100被配置成沿著實質水平方向的直線。
由於上述情況，二個導桿98a、98b係經由連接板100而與活塞桿40一體且一致地移位。
依照本發明之第一個實施例之制動器基本上被組構成如上述說明。其次，將說明安裝導引單元26於缸體12的一種情形。
首先，舉例而言，導引單元26之導引主體94放置在地板表面等而使得其導引部分104a、104b向上定向，而該驅動單元24從上方被移動入鄰近導引單元26處，並且被放置在基底部分102上同時被***於其中一個導引部分104a與另一個導引部分104b之間。具有銷孔48之缸體12之底壁側相對於基底部分102被向下定位，或者詳言之，使得缸體12之底壁側面朝向導引單元26之側。
此外，藉由將分別設置在基底部分102上之定位銷46***於缸體12之銷孔48中，令該驅動單元24和導引單元26相於彼此定位，而其後，藉由從下方***附接螺栓52a、52b穿過螺栓孔106a、106b，和藉由將其分別螺旋接合進入螺絲孔50a、50b中，而將該導引單元26相對於驅動單元24連接於適合的定位狀態(參看第3圖)。
此時，設置在導引單元26上之該對導桿98a、98b和設置在缸體12之活塞桿40被配置成使得其於高度方向之位置實質上彼此一致，並且執行安裝而使得缸體12之末端與導引主體94之末端之位置實質上彼此一致。
其次，連接板100經由連接螺栓114連接於設在活塞桿40之末端之插座72，並且伴隨於此，該對導桿98a、98b之各自末端藉由連接螺栓114連接於連接板100之相對末端部分之附近(參看第7圖)。由於上述情況，活塞桿40和導桿98a、98b藉由連接板100而整體連接，並且他們的末端部分之位置被連接以便與缸體12之軸方向匹配。結果，導引單元26整體安裝在缸體12之另一端側(於箭號B之方向)。
以此種方式，於藉由該對定位銷46將導引單元26定位於驅動單元24之底側之後，***穿過基底部分102之二對附接螺栓52a、52b分別被螺旋接合於缸體12，由此該導引單元26能夠容易安裝於驅動單元24之缸體12，並且連同此情況，該致動器10之構成導引單元26之該對導桿98a、98b以及和活塞桿40能夠藉由該連接板100而容易地連接。
詳言之，當需要時，所希望之導引單元26能夠容易附接於沒有導引機構之致動器。因此，當驅動致動器10時，其活塞桿40之移位行程藉由導引單元26而被導引，使得能夠以平滑和穩定方式執行此種移位，以及連同於此，能夠藉由導桿98a、98b和連接到活塞桿40之連接板100機構提升強度和剛性。
接著，將說明關於安裝了上述導引單元26之致動器10之操作和有利的效果。如第2圖中所示，此說明係以活塞桿40容裝於主體的內部之狀態做為其初始位置。
於此種初始位置，藉由從未顯示之電源供應電流於驅動部16，而經由旋轉驅動源64之驅動軸66可旋轉地驅動驅動皮帶輪68，而其旋轉的驅動力透過時規皮帶90傳送至受驅動皮帶輪78。
此外，使連接至受驅動皮帶輪78之螺旋軸70旋轉，由此活塞58連同移位螺母18移位朝向缸體12之另一末端側(於箭號B之方向)。
再者，因為安裝於活塞58之停止旋轉構件60透過其突出部***於缸體12之凹槽56中，因此限制了活塞58與移位螺母18之旋轉移位，而使得活塞58與移位螺母18能夠僅沿著軸方向移位。
由於上述情況，活塞桿40連同活塞58移位，而活塞桿40之另一末端(於箭號B之方向)漸漸突出，以便從缸體12之另一端變成暴露至外部。連同此情況，連接至活塞桿40之連接板100與亦連接到連接板100之該對導桿98a、98b被整體地並且一致地朝箭號B方向移位。
於此時，因為活塞桿40藉由平行配置在水平方向之該對導桿98a、98b之機構而被導引於直線(於箭號B之方向)，因此能夠以高準確度執行移位，同時活塞桿40維持於穩定狀態。再者，同時，因為活塞桿40與導桿98a、98b經由連接板100相互連接，因此能夠增強其強度和剛性，並且能夠以較大的穩定度執行移位。此外，舉例而言，當藉由活塞桿40之移位力執行具有大重量之工件等之移動之移動或停止時，因為增強了剛性，因此能夠避免活塞桿40之彎曲或或扭曲，以及工件能夠移位於所希望之方向，或者能夠停止此種移位。
此外，於活塞58已移位到缸體12之另一端側之移位末端位置，藉由活塞58之末端表面鄰接緊靠阻尼器，而能夠吸收和緩衝施加於活塞58之震動。
另一方面，於活塞桿40移位至缸體12之一端側(於箭號A之方向)之情況，構成該驅動部16之旋轉驅動源64被旋轉地驅動於相反方向，並且驅動皮帶輪68和受驅動皮帶輪78經由時規皮帶90旋轉於相反方向，藉此使螺旋軸70旋轉時，移位螺母18和活塞58被移位至缸體12之該一端側(於箭號A之方向)，同時活塞桿40以相同方式移位朝向缸體12之該一端側(於箭號A之方向)。
同樣地，在這種情況下，因為活塞桿40經由連接板100連接至該對導桿98a、98b，因此該導桿98a、98b沿著桿孔96a、96b移位，由此該活塞桿40能夠以穩定的方式沿著軸方向移位。此外，當活塞桿40變成漸漸容裝於缸體12之內部時，移位螺母18和活塞58被移位至缸體12之該一端側，並且被恢復至其初始位置(參看第3圖)。
於前述方式，在該第一個實施例之情形，裝備了該對導桿98a、98b之導引單元26以可拆卸方式配置於致動器10中之該驅動單元24配置，並且藉由將已被導桿98a、98b連接之連接板100連接至組成驅動單元24之活塞桿40之末端，該導桿98a、98b能夠連同活塞桿40被移位。結果，包含活塞桿40之驅動單元24能夠穩定地移位經過給定的行程，此外，對於在垂直於活塞桿40之軸的方向(側面方向)施加於活塞桿40之負載，能夠獲得足夠的強度和剛性。
再者，因為導引單元26能夠容易地從驅動單元24拆卸，因此，例如當由致動器10傳送或停止之工件之大小(所需之負載)改變時，藉由將導引單元26更換為對應於工件之大小之另一個導引單元26，能夠可靠和容易地獲得反應於該工件之大小之導引能力和停止能力。
換言之，於依照習知技術之致動器中，於被傳送或停止之工件大小改變之情況，其必須準備具有對應於工件之大小的導引能力和停止能力之不同的致動器。然而，用本發明，能夠使用相同的致動器10而不須準備個別的致動器，僅僅更換致動器10所附接之導引單元26即足夠。
結果，藉由交換和轉換為對應於所需負載(傳送能力和停止能力)之導引單元26，因為致動器對於各情況能夠總是最佳的被使用，因此相較於準備個別的致動器之情況能夠減少裝備成本。再者，藉由使用具有最佳導引能力之 導引單元26，能夠避免導引單元26之尺寸之非必要增加，使得能夠促進致動器10之縮小尺寸和輕量之狀況。
再者，因為包含活塞58和活塞桿40之驅動單元24，和用來導引活塞桿40之行程位移之導引單元26被分離地組構，因此構成該導引單元26之導引主體94之縱向尺寸能夠設定成對應於需要用以導引導桿98a、98b之桿孔96a、96b之長度的長度。由於上述情況，相較於其中包含導桿之導引機構與驅動單元整體而形成之致動器，導引單元26之縱向尺寸能夠製得較小。結果，伴隨著導引單元26之此種最小化大小和重量，致動器10作為一個整體其大小能夠製得較小和重量較輕，同時能夠減少致動器10之製造成本。
又再者，藉由切換至不同的導引單元26，而能夠調整藉由導引單元26所為之活塞桿40之導引能力，其中，該導引單元26裝備有桿孔96a、96b(其縱向尺寸被改變)，和導桿98a、98b(其縱向尺寸對應於桿孔96a、96b)。詳言之，藉由增加桿孔96a、96b和導桿98a、98b之縱向尺寸，當構成該驅動單元24之活塞桿40移位時，能夠在較寬的範圍內執行導引，同時活塞桿40能夠沿著軸方向更穩定的移位。
又再者，因為二對貫穿孔108形成垂直於桿孔96a、96b之延伸方向，且螺紋部分108a形成於其中而位在貫穿孔108之較低部分，於該導引單元26安裝在另一種材料P之狀態，連接螺栓109被緊固入該貫穿孔108之螺紋部分108a，並且被緊靠著另一材料P，因此該導引單元26能夠可靠和堅固地相對於另一材料P被牢固。
詳言之，因為導引單元26被直接固定至另一材料P，因此負載和震動僅施於該導引單元26，並且能夠避免直接施加此種負載和震動至該驅動單元24。此外，於對導引單元26造成損害之情況，此種損害可僅藉由只替換導引單元26來處理。
再者，於其中導引單元26被固定至另一材料P之狀態，僅僅驅動單元24能夠被更換。
其次，依照本發明之第二個實施例之制動器150顯示於第8至10圖中。制動器150之結構元件與依照上述第一個實施例之制動器10之結構元件相同者，將指定為相同的元件符號，並且省略其詳細說明。
依照第二個實施例之制動器150不同於依照第一個實施例之制動器10在於：本實施例使用流體壓力缸作為驅動單元156，於驅動單元156中壓力流體供應至缸體(主體)162，並且藉由壓力流體之壓力移位活塞(可移位體)152和活塞桿(可移位體)154，以取代驅動單元24，在該驅動單元24中活塞58和活塞桿40藉由驅動部16之驅動力而移位，該驅動部16藉由所供應之電力而被驅動。
如第8至10圖中所示，制動器150裝設有驅動單元156，該驅動單元156由具有第一和第二埠口(埠口)158、160之缸體162組成，壓力流體經由該等埠口而被供應或釋放；頭蓋164，該頭蓋164關閉並密封缸體162之一端；以及桿蓋166，配置於缸體162之另一端，並且以可移動之方式支撐活塞桿154。於構成驅動單元156之缸體162之另一端，設置導引單元(導引機構)168，該導引單元168使得包含活塞桿154之移位機構167能夠被沿著軸方向(於箭號A和B之方向)導引。
於缸體162之外周圍表面，第一埠口158形成在缸體162之一端側，而第二埠口160形成在缸體162之另一端側，該第一和第二埠口158、160分別與形成在缸體162之內部之缸室170連接。該第一和第二埠口158、160經由未顯示之管子連接至方向控制閥和壓力流體供應源。
頭蓋164藉由止動環38固定至缸體162之一端，藉此阻隔缸室170之末端。同樣狀況藉由止動環38將桿蓋166固定至缸體162之另一端。而且，桿襯墊42安裝在桿蓋166之內周圍表面上，而使得藉由與活塞桿154之外周圍表面滑動接觸，能夠維持於缸室170之內部密閉狀況。
被活塞桿154之一端所連接之活塞152可滑動地配置在缸室170中。活塞密封172c和磁鐵84經由環狀凹槽安裝在活塞152之外周圍表面。藉由活塞密封172於缸室170之內周圍表面之滑動接觸，以保持缸室170之內部密閉。
組成導引單元168之導引主體94透過一對定位銷46和二對附接螺栓52a、52b安裝在缸體162之另一端。再者，連接板100連接至從缸體162向外突出之活塞桿154之末端，而組成導引單元168之該對導桿98a、98b分別連接至連接板100之相對向端側。
此外，舉例而言，藉由從壓力流體供應源供應壓力流體至第一埠口158，該壓力流體被引入到缸室170之內部，而活塞152被壓朝向缸體162之另一端側(於箭號B之方向)。由於上述情況，活塞桿154連同活塞152被沿著缸體162移位指定的行程於軸方向。此時，因為活塞桿154藉由平行配置於水平方向之該對導桿98a、98b被導引於直線，因此能夠以高準確性執行移位，同時維持活塞桿154於穩定狀況。再者，於此同時，因為活塞桿154與導桿98a、98b經由連接板100相互連接，因此能夠增強其強度和剛性，並且能夠以較大的穩定度執行移位。
本發明不限制於上述之實施例，不言而喻的各實施例中可以採用各種修改或添加結構而不會偏離如提出於申請專利範圍中之本發明之本質和要點。
10、150．．．致動器
12、162．．．缸體(主體)
14．．．蓋單元
16．．．驅動部
18．．．移位螺母
20、167．．．移位機構
22．．．驅動力傳送機構(傳送機構)
24、156．．．驅動單元
26、168．．．導引單元(導引機構)
28．．．孔
30．．．外殼
32．．．轉接器
34．．．第一軸承
36．．．桿蓋
38．．．止動環
40、154．．．活塞桿(可移位體)
42．．．桿襯墊
44．．．襯套
46．．．定位銷
48．．．銷孔
50a、50b．．．螺絲孔
52a、52b．．．附接螺栓
54．．．軸承座
56．．．凹槽
58、152．．．活塞(可移位體)
60．．．停止旋轉構件
62．．．皮帶輪罩
64．．．旋轉驅動源
66．．．驅動軸
68．．．驅動皮帶輪
70．．．螺旋軸
72．．．插座
74．．．連接器
76．．．第二軸承
78．．．受驅動皮帶輪
80．．．保持器
82．．．環形支撐環
84．．．磁鐵
90．．．時規皮帶
92．．．螺旋接合螺栓銷
94．．．導引主體(主體部分)
96a、96b．．．桿孔(支撐孔)
98a、98b．．．導桿(導引軸)
100．．．連接板(連接構件)
102．．．基底部分
104a、104b．．．導引部分
106a、106b．．．螺栓孔
108．．．貫穿孔
108a．．．螺紋部分
109．．．緊固螺栓(緊固構件)
110a、110b．．．桿襯套
112．．．環形襯墊
114．．．連接螺栓
158．．．第一埠口
160．．．第二埠口
164．．．頭蓋
166．．．桿蓋
170．．．缸室
172．．．活塞襯墊
第1圖為顯示依照本發明之第一個實施例制動器之外觀透視圖；
第2圖為顯示導引單元從第1圖之致動器拆卸和分離狀況之分解透視圖；
第3圖為第1圖中所示制動器之全部垂直剖面圖；
第4圖為制動器之前視圖；
第5圖為沿著第3圖之線V-V之剖面圖；
第6圖為沿著第3圖之線VI-VI之剖面圖；
第7圖為沿著第4圖之線VII-VII之剖面圖；
第8圖為顯示依照本發明之第二個實施例制動器之外觀透視圖；
第9圖為顯示導引單元從第8圖之致動器拆卸和分離狀況之分解透視圖；以及
第10圖為第8圖中所示制動器之全部垂直剖面圖。
10．．．致動器
12．．．缸體(主體)
14．．．蓋單元
16．．．驅動部
22．．．驅動力傳送機構(傳送機構)
24．．．驅動單元
26．．．導引單元(導引機構)
32．．．轉接器
40．．．活塞桿(可移位體)
62．．．皮帶輪罩
64．．．旋轉驅動源
72．．．插座
94．．．導引主體(主體部分)
96a、96b．．．桿孔(支撐孔)
98a、98b．．．導桿(導引軸)
100．．．連接板(連接構件)
104a、104b．．．導引部分
108．．．貫穿孔
114．．．連接螺栓

Claims (7)

  1. 一種致動器，包括：主體(12、162)；具有可移位體(40、152、154)之移位機構(20)，該可移位體(40、152、154)配置於該主體(12、162)內用來沿著該主體(12、162)之軸方向移位；以及導引機構(26、168)，具有：主體部分(94)，附接至該主體(12、162)；導引軸(98a、98b)，實質上與該可移位體(40、152、154)平行配置，並且該導引軸(98a、98b)沿著該軸方向以可移位方式被支撐於該主體部分(94)；以及連接構件(100)，係互連接該導引軸(98a、98b)與該可移位體(40、152、154)，其中該導引機構(26、168)以可相對於該主體(12、162)被拆卸之方式配置，其中，該導引機構(26、168)之該主體部分(94)包含凹處，該主體(12、162)安置於該凹處中，以及其中，該導引機構(26、168)的該主體部分(94)包括至少一定位銷，該定位銷係突出至該凹處以與該主體的至少一個孔口分別卡合，以進行該主體部分(94)相對於該主體(12、162)之定位。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之致動器，其中，該導引軸(98a、98b)包括一對導引軸(98a、98b)，該對導引軸(98a、98b)以該可移位體(40、152、154)為中心而分離相等的距離。
  3. 如申請專利範圍第1項所述之致動器，其中，當該主體係定位至該導引機構的該凹處之內，且該可移位體(40、152、154)和該導引軸(98a、98b)被沿著水平方向平行配置於實質相同的高度。
  4. 如申請專利範圍第1項所述之致動器，其中，該主體部分(94)包括貫穿孔(108)，該貫穿孔(108)貫穿於垂直於該導引軸(98a、98b)之軸的方向，且其中用來螺旋接合緊固構件(109)之螺紋部分(108a)形成在該貫穿孔(108)中。
  5. 如申請專利範圍第1項所述之致動器，其中，該主體部分(94)包括支撐孔(96a、96b)，該支撐孔(96a、96b)以實質上與該可移位體(40、152、154)平行之方式貫穿，該支撐孔(96a、96b)沿著軸方向可移位地導引該導引軸(98a、98b)。
  6. 如申請專利範圍第1項所述之致動器，其中，該致動器(10)包括：配置在該主體(12)上之驅動部(16)，該驅動部(16)依據所供應之電力而被驅動；以及傳送機構(22)，用來傳送該驅動部(16)之驅動力至該可移位體(40)，該可移位體(40)被該驅動力所移位。
  7. 如申請專利範圍第1項所述之致動器，其中，該致動器(150)包括：形成在該主體(162)中之埠口(158、160)，壓力流體通過該埠口(158、160)被供應和釋放；以及該可移位體(152、154)，該可移位體(152、154)配置於該主體(162)之內部，其中該可移位體 (152、154)藉由供應該壓力流體至該主體(162)之該內部而被移位。
TW099136905A 2009-11-13 2010-10-28 致動器 TWI522546B (zh)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009259439A JP5417588B2 (ja) 2009-11-13 2009-11-13 アクチュエータ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW201126076A TW201126076A (en) 2011-08-01
TWI522546B true TWI522546B (zh) 2016-02-21

Family

ID=43877854

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW099136905A TWI522546B (zh) 2009-11-13 2010-10-28 致動器

Country Status (6)

Country Link
US (1) US8720318B2 (zh)
JP (1) JP5417588B2 (zh)
KR (1) KR101802899B1 (zh)
CN (1) CN102062130B (zh)
DE (1) DE102010051061A1 (zh)
TW (1) TWI522546B (zh)

Families Citing this family (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8272284B2 (en) * 2006-10-10 2012-09-25 Ntn Corporation Electronically driven linear actuator
JP5286861B2 (ja) * 2008-03-19 2013-09-11 アイシン精機株式会社 運動変換駆動装置及びその運動変換駆動装置を備えた車両用シート装置
MX2013003201A (es) * 2010-09-24 2013-07-03 Danaher Corp Accionador lineal.
US9278441B2 (en) * 2011-01-31 2016-03-08 Lokring Technology, Llc Installation tool for pipe fittings
CA2837109A1 (en) * 2011-05-26 2012-11-29 Failsafe Metering International Ltd. Predictive and adaptable precision metering device, system and method
TWI458902B (zh) * 2012-05-02 2014-11-01 Academia Sinica 線性致動模組
US20130334919A1 (en) * 2012-06-19 2013-12-19 Dewertokin Gmbh Linear actuator
CN102882346A (zh) * 2012-09-29 2013-01-16 比克希线束电子（苏州）有限公司 一种微型线性执行***
JP6154648B2 (ja) * 2013-04-04 2017-06-28 株式会社アイエイアイ アクチュエータ、アクチュエータの製造方法、及び振れ止め部材
CN103939424A (zh) * 2014-04-11 2014-07-23 太仓万冠涂装设备有限公司 一种滚涂装置的驱动结构
JP6372213B2 (ja) * 2014-07-15 2018-08-15 Smc株式会社 アクチュエータのガイドユニット
DE102014017976B3 (de) * 2014-12-04 2016-03-31 Festo Ag & Co. Kg Führungssystem
CN104895864A (zh) * 2015-06-03 2015-09-09 姜超 一种数控切割机静力竖向位移马达
KR101650398B1 (ko) 2015-09-11 2016-08-24 (주)코맷 계측기용 웨이퍼 센터링 디바이스
ITUA20162490A1 (it) * 2016-04-11 2017-10-11 Fondazione St Italiano Tecnologia Attuatore per esoscheletro
DE102016107390A1 (de) * 2016-04-21 2017-10-26 Festo Ag & Co. Kg Linearaktuator
DE102016218225A1 (de) * 2016-09-22 2018-03-22 Stabilus Gmbh Spindelantriebseinrichtung
RU176396U1 (ru) * 2017-09-21 2018-01-17 Федеральное Государственное Унитарное Предприятие "Научно-Производственное Объединение "Техномаш" Устройство для преобразования вращательного движения в возвратно-поступательное
JP7072443B2 (ja) * 2018-05-31 2022-05-20 日本電産サンキョー株式会社 直線駆動装置
CN109252782B (zh) * 2018-11-07 2024-04-12 广东东箭汽车科技股份有限公司 螺母丝杠式自动门开闭机构、汽车自动门和汽车
US11925996B2 (en) * 2018-11-27 2024-03-12 Tolomatic, Inc. Integrated guide linear actuator system
WO2020107255A1 (zh) * 2018-11-28 2020-06-04 炼马机电（东莞）有限公司 直线驱动器、驱动器装置及其装配方法
JP7209344B2 (ja) * 2019-02-01 2023-01-20 スピードファム株式会社 両面研磨機用のドレッシング装置
CN110356545A (zh) * 2019-08-21 2019-10-22 成都弗格森液压机电有限公司 一种无人机起落架收放用锁紧机构
US11754157B2 (en) 2020-05-20 2023-09-12 Tolomatic, Inc. Integrated motor linear actuator
TWI766449B (zh) * 2020-11-25 2022-06-01 國立臺灣科技大學 主動慣質阻尼器
KR102485896B1 (ko) * 2020-12-22 2023-01-09 디와이파워 주식회사 스크루 샤프트의 베어링 커버 조립 구조가 개선된 전동 실린더 장치
KR102530048B1 (ko) 2021-06-09 2023-05-09 (주)모션다이나믹스 수중 운동체의 수중 구동 제어를 위한 구동 제어 시스템

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE8505017U1 (de) * 1985-02-22 1985-05-15 Festo KG, 7300 Esslingen Hydraulischer oder pneumatischer arbeitszylinder
DE4111202C2 (de) * 1991-04-06 1995-06-08 Bosch Gmbh Robert Druckmittelbetätigte Lineareinheit
JPH07110005A (ja) * 1993-10-12 1995-04-25 Smc Corp サーボシリンダにおける位置決め制御方法
JPH07110009A (ja) * 1993-10-12 1995-04-25 Smc Corp サーボシリンダ
US5560281A (en) * 1995-03-31 1996-10-01 Numation, Inc. Linear slide apparatus and method of combining two or more linear slides
DE60133147T2 (de) * 2000-03-01 2009-02-19 Smc K.K. Zylinder
JP4217087B2 (ja) * 2003-03-14 2009-01-28 株式会社コガネイ 電動アクチュエータユニット
CN100424378C (zh) * 2004-11-18 2008-10-08 Smc株式会社 致动器控制***
JP2006242341A (ja) * 2005-03-04 2006-09-14 Smc Corp 位置検出機構付きアクチュエータ
JP4918234B2 (ja) * 2005-07-22 2012-04-18 オリエンタルモーター株式会社 リニアアクチュエータおよびリニアアクチュエータ装置
JP2007089275A (ja) 2005-09-21 2007-04-05 Smc Corp 電動シリンダ
JP4852113B2 (ja) * 2009-02-13 2012-01-11 オリエンタルモーター株式会社 リニアアクチュエータ

Also Published As

Publication number Publication date
US20110113955A1 (en) 2011-05-19
TW201126076A (en) 2011-08-01
US8720318B2 (en) 2014-05-13
KR101802899B1 (ko) 2017-11-29
DE102010051061A1 (de) 2011-05-19
CN102062130A (zh) 2011-05-18
JP2011106489A (ja) 2011-06-02
CN102062130B (zh) 2015-01-07
JP5417588B2 (ja) 2014-02-19
KR20110053197A (ko) 2011-05-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI522546B (zh) 致動器
US7159482B2 (en) Electric actuator
US6655225B1 (en) Motor-driven actuator
EP1721086B1 (en) Motion control apparatus
JP4465524B2 (ja) 電動アクチュエータ
JP5418997B2 (ja) クランプ装置
US6338476B1 (en) Clamp apparatus
KR950013507B1 (ko) 액츄에이터 및 액츄에이터 배열구조
KR101643374B1 (ko) 클램프 장치
JP2009107076A (ja) クランプ装置
EP1088623A2 (en) Electric clamp apparatus
JP3347844B2 (ja) バランサ
KR101867975B1 (ko) 용접 건
JPH11108141A (ja) アクチュエータ
JP3644882B2 (ja) クランプ装置
JP3729420B2 (ja) アクチュエータ
TWI429836B (zh) 具有至少一個驅動單元的工作裝置
JP3267641B2 (ja) アクチュエータ
KR200463349Y1 (ko) 정밀 위치결정 이송장치
KR20220112194A (ko) 척 장치
JP3618263B2 (ja) クランプ装置
WO2018235809A1 (ja) アクチュエータ及びアクチュエータユニット
JP2002301628A (ja) ワーク姿勢調整ユニット
JP2003301808A (ja) 負荷の位置決め装置
JPH10245121A (ja) アクチュエータ