TWI511912B

TWI511912B - 物品搬送裝置

Info

Publication number: TWI511912B
Application number: TW100134965A
Authority: TW
Inventors: Kiichi Uchino
Original assignee: Daifuku Kk
Priority date: 2010-10-04
Filing date: 2011-09-28
Publication date: 2015-12-11
Also published as: KR101900350B1; CN102529983A; CN102529983B; US20120080396A1; KR20120035128A; JP5765549B2; JP2012076898A; US8757401B2; TW201233608A

Description

物品搬送裝置

技術領域

本發明系有關於一種物品搬送裝置，係於可沿著頂面側之引導軌自由移動之移動體，設置可保持物品之物品保持部，且使該物品保持部可於接近前述移動體之上升位置與較該上升位置靠下方側之下降位置自由升降，前述移動體形成有用以將位於前述上升位置之前述物品保持部所保持之物品加以收容的收納空間，該收納空間之下端部區域形成有可使前述物品保持部在前述上升位置與前述下降位置間升降的開口部，且具有透過空氣淨化用過濾器使淨化空氣通風至前述收納空間內之淨化空氣通風機構。

背景技術

上述物品搬送裝置在由搬送起點之物品搬送處將物品搬送至搬送終點之物品搬送處時，首先，移動體移動至與搬送起點之物品搬送處對應的停止位置，並使物品保持部由上升位置下降至下降位置後，位於下降位置之物品保持部會由物品搬送處接受物品。接著，物品搬送裝置使物品保持部由下降位置上升至上升位置，一面以位於上升位置之物品保持部來保持物品，一面使移動體移動至與搬送終點之物品搬送處對應的停止位置，並使物品保持部由上升位置下降至下降位置後，使位於下降位置之物品保持部將物品交給搬送終點之物品搬送處。

如此，物品搬送裝置藉由進行移動體之移動與物品保持部之升降，在複數物品搬送處之間進行物品搬送。上述物品搬送裝置。上述物品搬送裝置係用於例如在清潔室內於複數物品搬送處間搬送物品，而物品搬送處將成為對物品進行各種處理之物品處理部。故，期望物品可在其搬送中亦維持清潔之狀態。

因此，習知物品搬送裝置中，係於移動體形成一包覆位於上升位置之物品保持部所保持之物品周圍的收納空間，並在該收納空間內設置透過空氣淨化用過濾器來通風淨化空氣之淨化空氣通風機構(參考例如專利文獻1)。藉此，使物品保持部位於上升位置來進行移動體之移動時，可對收納空間所收納之物品通風淨化空氣，將搬送中之物品保持於清潔之狀態。

上述專利文獻1所記載之裝置中，收納空間係形成矩形，並設置清潔單元來作為淨化空氣通風機構，該清潔單元具有送風風扇與使該送風風扇所產生之空氣流通過的空氣過濾器。且，清潔單元係配設成可讓通過空氣過濾器之清淨空氣，由收納空間之一側面(移動體之行走方向的前方側一側面)的大致全區域朝收納空間內吹出。又，為了對收納空間內之物品全體供給清淨之空氣流，在收納空間內與清潔單元相對側之面設置誘導清淨空氣流之整流板，且在收納空間中清潔單元側之面，於上下方向隔著間隔設置複數調整清淨空氣流之流動方向的翼部。

【專利文獻】

【專利文獻1】日本特許第3226017號公報

發明概要

上述物品搬送裝置係使物品保持部在上升位置與下降位置間升降，藉此在物品處理部等之物品搬送處與物品保持部間進行物品之授受(即交付接受)。故，收納空間之下端部形成有可在上升位置與下降位置間升降之開口部。因此，有時塵埃會由收納空間外部通過開口部侵入收納空間內，且該塵埃會附著於收納空間內所收納之物品。

故，上述專利文獻1所記載之裝置中，係形成以複數翼部調整清淨空氣流之流動方向來遮蔽開口部之氣窗，藉此防止塵埃由收納空間外部通過開口部而侵入收納空間內。惟，只形成氣窗很難防止塵埃通過開口部而侵入收納空間內。

又，舉例言之，假設搬送對象之物品為已收納半導體或液晶顯示面板等曝光用光盤(reticle)之光盤用卡匣時，氨或二氧化硫等物質會通過開口部侵入收納空間內，若該物質附著於光盤用卡匣，光盤會產生稱為霾(haze)之混濁(即光盤變成不透明)，而有對光盤品質造成不良影響之可能性。故，雖有要求防止氨或二氧化硫等物質附著於光盤用卡匣，但由於上述專利文獻1所記載之裝置只是形成氣窗，因此難以防止氨或二氧化硫等物質由開口部侵入收納空間內。

以下，說明氨或二氧化硫等物質附著於光盤用卡匣時產生霾(混濁)之情形。

作為搬送對象物品之光盤用卡匣由例如卡匣本體、可自由安裝於該卡匣本體且可由該卡匣本體自由拆卸之蓋體構成。且，例如將光盤支撐於蓋體之內面側，並將蓋體安裝於卡匣本體，藉此可將光盤收納於光盤用卡匣內所形成之密閉空間，將光盤保持於清潔之狀態。由於作為物品搬送處之物品處理部係以光盤來進行曝光等處理，因此會在下降至下降位置之物品保持部與物品處理部間進行光盤之授受。該光盤之授受並非是授受光盤單體，而是連支撐光盤之蓋體等光盤用卡匣之一部分一起授受。故，由於光盤用卡匣的一部份會搬送至物品處理部，因此若該光盤用卡匣的一部份附著了空氣中的氨或二氧化硫等，在進行曝光等處理時，會因施加光能使氨或二氧化硫引起化學反應，而產生二氧化氨等造成霾原因的物質。因此，若氨或二氧化硫等物質附著於光盤用卡匣，會產生霾。

本發明係著眼於此而完成者，其目的在於提供一種物品搬送裝置，係不僅可防止塵埃附著於搬送中之物品，且亦可防止氨或二氧化硫等物質附著於該物品。

為達成上述目的，本發明之物品搬送裝置係於可沿著頂面側之引導軌自由移動之移動體，設置可自由保持物品之物品保持部，且使該物品保持部可於接近前述移動體之上升位置與較該上升位置下方之下降位置自由升降，前述移動體形成有用以將位於前述上升位置之前述物品保持部所保持之物品加以收容的收納空間，該收納空間之下端部區域形成有可使前述上升位置與前述下降位置間之前述物品保持部升降的開口部，且具有透過空氣淨化用過濾器使淨化空氣通風至前述收納空間內之淨化空氣通風機構，前述物品搬送裝置包含有：開閉體，係可藉由繞水平軸心之擺動，在將前述開口部開口之開位置與將前述開口部封閉之閉位置自由變更位置者；及，開閉控制機構，係在使前述物品保持部在前述上升位置與前述下降位置間升降時，使前述開閉體位於前述開位置，當前述物品保持部在前述上升位置與前述下降位置間之升降結束時，則使前述開閉體由前述開位置改變位置到前述閉位置。

依據上述構成，使開閉體位於閉位置，可使收納空間成為密閉空間，並以淨化空氣通風機構使淨化空氣通風於該密閉空間之收納空間，而使淨化空氣充滿收納空間。如此一來，藉由使淨化空氣充滿收納空間，不僅可防止塵埃附著於收納空間所收納之物品，且亦可防止氨或二氧化硫等物質附著於該物品。

且，開閉控制機構在使物品保持部在上升位置與下降位置間升降時，係使開閉體位於開位置，當物品保持部之在上升位置與下降位置間之升降結束，便使開閉體由開位置改變位置到閉位置，因此可僅在使物品保持部升降時使開口部開口，此外則以閉塞體來封閉開口部。藉此，使物品保持部位於上升位置，在移動體進行之移動中等、使物品保持部升降以外之時，可使淨化空氣充滿收納空間，防止塵埃附著於物品，且防止氨或二氧化硫等物質附著於該物品。

又，由於開閉體在開位置與閉位置間之位置改變可藉由繞水平軸心之擺動來進行，因此相較於以例如伴隨滑動之滑行移動來進行者，不僅構成簡單，且可防止塵埃發生，適切地防止塵埃附著於搬送中之物品。

本發明之物品搬送裝置之實施形態中，前述開閉體宜具有第1開閉體與第2開閉體，該第1開閉體係構造成可繞著設置於前述開口部之一端部區域的擺動軸心擺動，而該第2開閉體係構造成可繞著設置於前述開口部之另一端部區域的擺動軸心擺動，又，前述開閉體係構造成前述第1開閉體與前述第2開閉體可朝彼此離開之側擺動而自由變更位置至前述開位置，且前述第1開閉體與前述第2開閉體可朝彼此接近之側擺動而自由變更位置至前述第1開閉體之前端與前述第2開閉體之前端抵接的前述閉位置。

為了以開閉體封閉開口部，當以1個開閉體封閉開口部時，必須使開閉體之大小變大，且設置用以使該大開閉體改變位置到開位置與閉位置之之構成，而有構造大型化及複雜化之虞。

故，本實施形態係以第1開閉體與第2開閉體等2個開閉體來構成開閉體，藉此簡化構成，且可確實地進行開口部之開閉。又，使第1開閉體與第2開閉體位於閉位置時，由於第1開閉體之前端會與第2開閉體之前端抵接，因此可利用第1開閉體與第2開閉體來適當地封閉開口部，使收納空間成為密閉空間。

本發明之物品搬送裝置之實施形態中，在前述第1開閉體之前端部宜設有開閉體間抵接部，其係在前述第1開閉體位於前述閉位置之狀態下，與位於前述閉位置之前述第2開閉體之前端部抵接。

依據上述構成，使第1開閉體及第2開閉體位於閉位置時，由於除了第1開閉體之前端與第2開閉體之前端相抵接外，設於第1開閉體之開閉體間抵接部與第2開閉體之間亦可相抵接，因此可確實地消除第1開閉體與第2開閉體間的間隙並封閉開口部，而可確實地使收納空間成為密閉空間。

本發明之物品搬送裝置之實施形態中，宜設有排氣機構，該排氣機構可將前述收納空間內之空氣自由排出前述收納空間之外部，且可自由調整其排出量。

依據上述構成，由於可將藉由淨化空氣通風機構朝收納空間內通風之部分淨化空氣以排氣機構排出至收納空間外部，因此可利用淨化空氣通風機構將收納空間內之部分空氣替換為新通風的淨化空氣，並以淨化空氣充滿收納空間內。且，藉由調整排氣機構之空氣排出量，可將收納空間內之部分空氣確實地替換為淨化空氣通風機構所新通風的淨化空氣，而可提高收納空間內之清潔化。

本發明之物品搬送裝置之實施形態中，前述開位置宜在前述收納空間內，且設定成較前述閉位置靠近上方側。

依據上述構成，若使開閉體位於開位置，開閉體會位於收納空間內且較封閉開口部之閉位置靠近上方側，而可將開閉體收納於收納空間內。故，即便使開閉體位於開位置時，開閉體也不會跑出到移動體外側，而不會產生與其他裝置干涉等問題，可有效活用有限之空間。

且，使開閉體由閉位置改變位置到開位置時，係使開閉體朝上方側擺動而收納於收納空間內。此時，由於收納空間內已藉由淨化空氣通風機構通風淨化空氣，因此收納空間內之壓力會變高，必須對抗該壓力來擺動開閉體。惟，由於可利用排氣機構將收納空間內之部分空氣排出至收納空間外部，因此可防止收納空間內之壓力過高。故，可防止使開閉體由閉位置擺動至開位置時所需的驅動力過大，而可謀求產生該驅動力之驅動機構的構成簡化及小型化。

本發明之物品搬送裝置之實施形態中，前述移動體宜設有與位於前述閉位置之前述開閉體抵接的移動體側抵接部。

依據上述構成，當開閉體位於閉位置時，由於設於移動體之移動體側抵接部會與開閉體抵接，因此可利用該抵接來消除移動體與開閉體間之空隙並封閉開口部，確實地使收納空間成為密閉空間。

本發明之物品搬送裝置之實施形態中，前述物品宜由可將光盤自由收納於其內部之密閉空間的光盤用卡匣所構成。

如發明欲解決之課題所述，當搬送對象物品為光盤用卡匣時，若氨或二氧化硫等物質附著於光盤用卡匣，有可能產生霾而對光盤品質造成不良影響。故，使開閉體位於閉位置來使淨化空氣充滿收納空間，便可適當地防止氨或二氧化硫等物質附著於收納空間所收納之光盤用卡匣。故，不會對光盤品質造成不良影響，而可一面維持光盤之品質一面適切地進行光盤搬送，成為有用之搬送裝置。

本發明之物品搬送裝置之實施形態中，前述移動體宜具有車體本體部，該車體本體部具有前端側部位、後端側部位、中間部位及一對連結體，前述前端側部位係朝上下方向與橫寬方向延伸，前述後端側部位係與前述前端側部位隔著一間隔地配置於後方，且沿著上下方向與橫寬方向延伸，前述中間部位係在前述前端側部位與後端側部位間沿著前後方向與橫寬方向延伸，而前述一對連結體則在前述前端側部位與後端側部位間沿著前後方向與上下方向延伸，前述收納空間至少由前述前端側部位、前述後端側部位、前述中間部位與前述一對連結體形成。

又，前述車體本體部宜具有由前述前端側部位之下緣、前述後端側部位之下緣、及前述一對連結體之各下緣延續之抵接部，前述第1開閉體之擺動軸心與前述第2開閉體之擺動軸心配置於前述抵接部，前述收納空間之下部可藉由前述抵接部與位於前述閉位置之前述第1及第2開閉體而封閉。

圖式簡單說明

第1圖係適用了本發明物品搬送裝置之物品搬送設備的概略圖。

第2圖係沿著物品搬送車之前後方向觀看之物品搬送車的正面圖。

第3圖係沿著物品搬送車之橫寬方向觀看之物品搬送車的側面圖。

第4(a)~(b)圖係顯示開閉體要部之圖。

用以實施發明之形態

根據圖式來說明適用了本發明物品搬送裝置之物品搬送設備的實施形態。

如第1～3圖所示，該物品搬送設置中，引導軌2係在經過複數物品處理部1之狀態下設置於頂面側，且設有可沿著引導軌2朝一方向自由移動之頂面搬送式物品搬送車3(本發明之物品搬送裝置)。引導軌2藉由引導軌用支架6設置於頂面部而呈固定狀態。物品處理部1構造成可進行各種處理，物品搬送車3構造成可在複數物品處理部1之間自由搬送物品(光盤(reticle)用卡匣5)。

在此，第1圖為物品搬送設備之概略圖，顯示物品搬送車3與物品處理部1之間的物品授受(即交付接受)。第1圖之其中一側顯示物品搬送車3由物品處理部1接受光盤用卡匣5的情形，第1圖之另一側則顯示物品搬送車3將光盤用卡匣5交給物品處理部1的情形。第2圖為沿著物品搬送車3前後方向(第1圖之X方向)觀看時的物品搬送車3之正面圖，第3圖為沿著物品搬送車3橫寬方向(第2圖之Y方向)觀看時的物品搬送車3之側面圖。

如第1～3圖所示，該物品搬送設備中，以物品搬送車3搬送之搬送對象物品係由可將光盤(reticle)4自由收納於其內部密閉空間的光盤用卡匣5構成。在此，光盤4係指物品處理部1用於半導體或液晶顯示面板等曝光用處理之物。光盤用卡匣5具有上方側封閉且下方側開口之筒狀卡匣本體5a、及可將該卡匣本體5a之下方側開口自由封閉之蓋體5b。且，藉由將蓋體5b安裝於卡匣本體5a，光盤用卡匣5內會形成密閉空間，而例如使蓋體5b之內面等支持光盤4來將光盤4收納於光盤用卡匣5內之密閉空間。

如第1圖所示，物品處理部1分別具有用以在物品處理部1與物品搬送車3之間授受光盤用卡匣5的物品移載用站17。站17由可自由載放光盤用卡匣5之載放部等構成。站17設有升降台18，該升降台18在可自由保持光盤用卡匣5的一部份(例如蓋體5b)且在已保持該光盤用卡匣5的一部份(例如蓋體5b)的狀態下，在站17與物品處理部1內部之間自由升降。

如第1圖其中一側所示，當由物品搬送車3將光盤用卡匣5移載至站17時，係以未圖示之蓋體安裝脫離裝置將支持有光盤4之蓋體5b由卡匣本體5a取下，並在保持所取下之蓋體5b的狀態下使升降台18下降。藉此，不僅光盤4單體，可連支持光盤4之光盤用卡匣5的一部份(例如蓋體5b)搬送至物品處理部1內。

又，如第1圖另一側所示，當例如物品處理部1之處理結束時，升降台18會在保持已支持光盤4之蓋體5b的狀態下，由物品處理部1內上升至站17，並以圖外之蓋體安裝脫離裝置將蓋體5b安裝於卡匣本體5a。

如第1～3圖所示，物品搬送車3具有車體本體部7(相當於移動體)、在引導軌2上行走之行走部8、及以懸吊狀態固定光盤用卡匣5之固定部9(相當於物品保持部)。行走部8係在物品搬送車3之前後方向，隔著間隔在相當於車體本體部7前端部之位置與相當於後端部之位置前後設置一對。固定部9設置成可相對車體本體部7自由升降。以下，「前」或「後」等用語係表示相對於物品搬送車3之行進方向的方向。

如第2圖及第3圖所示，前後一對行走部8分別具有行走輪11與引導輪12，行走輪11由電動式驅動馬達10旋轉驅動，而可在沿著左右一對引導軌2之水平方向延伸之上面轉動，引導輪12可與沿著左右一對引導軌2各自相對向之上下方向的側面抵接而自由轉動。行走輪11在物品搬送車3之橫寬方向(圖中Y方向，以下簡稱橫寬方向Y)的兩端部分別配置1個。引導輪12以排列於前後方向X之狀態，在橫寬方向Y之兩端部分別配置2個。行走部8藉由驅動馬達10繞著水平軸心地旋轉驅動行走輪11，且使可繞著上下軸心地自由旋轉之引導輪12與一對引導軌2抵接而在水平方向受引導，藉此受引導軌2引導而行走。

如第3圖所示，車體本體部7由從物品搬送車3前方側依序設置之前端側部位7a、中間部位7b、後端側部位7c所構成。中間部位7b形成朝前後方向X延伸之形狀，前端側部位7a形成由中間部位7b前端部朝下方側延伸之形狀，後端側部位7c形成由中間部位7b後端部朝下方側延伸之形狀。前端側部位7a與後端側部位7c之間配設有固定部9，中間部位7b收納有用以使固定部9升降之電動式升降用馬達13、及用以使固定部9繞上下軸心迴旋之電動式迴旋用馬達20。

升降用馬達13旋轉驅動已捲繞皮帶15之旋轉鼓16來捲繞或放出皮帶15，藉此使固定部9可在上升位置與下降位置自由升降。除了皮帶15外亦可利用例如繩索。如第1～3圖所示，上升位置為接近車體本體部7之位置，當物品搬送車3行走時，使固定部9位於上升位置。如第1圖所示，下降位置為用以在設置於地面側的物品處理部1與分別對應之物品移載用站17之間進行物品移載的位置。

如第3圖所示，固定部9藉由從車體本體部7上端部朝下方側延伸之迴旋軸19連結於車體本體部7而可繞上下軸心自由旋轉。且，迴旋用馬達20透過由滾輪？與皮帶構成之旋轉驅動力傳達部21將迴旋軸19繞上下軸心旋轉驅動，藉此使固定部9繞上下軸心自由迴旋。

如第2圖及第3圖所示，固定部9具有用以固定光盤用卡匣5之固定器22、及用以將固定器22在固定光盤用卡匣5之固定姿勢與解除該固定之固定解除姿勢間進行姿勢切換操作的電動式固定用馬達23。第2圖及第3圖中，顯示將固定器22切換至固定姿勢之狀態。

如第2圖所示，用以將驅動用電力供電至物品搬送車3之供電線31，係分別固定支持於左右一對引導軌2，且配設成沿著引導軌2延伸。物品搬送車3之車體本體部7設有由供電線31無接觸地供給驅動用電力之受電部22(受電線圈)。且，構造成對供電線31通電交流電流來產生磁場，並利用該磁場使驅動用電力產生於受電部，而在無接觸狀態下進行供電。藉此，由供電線31無接觸地對受電部32供電驅動用電力，以使物品搬送車3利用該驅動用電力來進行行走部8之行走及固定部9之升降。

作為本發明物品搬送裝置的物品搬送車3，係用於在清潔室內複數物品處理部1之間搬送光盤用卡匣5。故，即使是在利用物品搬送車3搬送光盤用卡匣5之過程中，亦可要求將光盤用卡匣5保持清潔。因此，本發明之物品搬送車3中，設有即使在搬送中亦可將光盤用卡匣5保持清潔之構成。

以下，說明本發明之物品搬送車3中用以將光盤用卡匣5保持清潔之構成。

物品搬送車3係在使固定部9位於上升位置之狀態下使行走部8行走，藉此在複數物品處理部1間進行行走。故，本發明之物品搬送車3，可將位於上升位置之固定部9所固定之光盤用卡匣5保持清潔。如第2圖及第3圖所示，物品搬送車3之車體本體部7形成有收納空間K，以收容位於上升位置之固定部9所固定之光盤用卡匣5。且，該收納空間K內設有透過空氣淨化用過濾器來通風淨化空氣之淨化空氣通風機構26，藉由將該淨化空氣通風機構26所通風之淨化空氣充滿收納空間K內，可將光盤用卡匣5保持清潔。

就收納空間K再加說明。

如上所述，如第3圖所示，車體本體部7由前端側部位7a、中間部位7b、後端側部位7c構成。前端側部位7a與後端側部位7c分別形成沿著橫寬方向與上下方向延伸之壁，而中間部位7b則形成沿著橫寬方向與前後方向延伸之壁。位於上升位置之固定部9及該固定部9所固定之光盤用卡匣5，係藉由前端側部位7a覆蓋前端側，藉由後端側部位7c覆蓋後端側，並藉由中間部位7b覆蓋上方側。為了針對位於上升位置之固定部9及該固定部9所固定之光盤用卡匣5來覆蓋橫寬方向Y之兩側，乃設有將前端側部位7a與後端側部位7c之橫寬方向Y的端部間加以連結的板狀連結體24。該連結體24形成沿著前後方向與上下方向延伸之壁。且，車體本體部7具有底部30，該底部30係與前端側部位7a之下緣、連結體24之下緣及後端側部位7c之下緣延續地朝水平方向延伸。該底部係由以下詳細說明之抵接部構成。如此，收納空間K會形成由前端側部位7a、中間部位7b、後端側部位7c、連結體24與底部30所包圍的直方體狀空間。

又，如第2圖及第3圖所示，收納空間K並非完全密閉之空間，收納空間K之下端部(即底部30)形成有開口部25，而可讓固定部9在收納空間K之上升位置與位於收納空間K外部之下降位置間進行升降。藉此，固定部9可透過開口部25在上升位置與下降位置間進行升降。

就淨化空氣通風機構26再加說明。

省略詳細圖式，淨化空氣通風機構26由一體地具有送風扇與空氣淨化用過濾器之風扇過濾器單元構成。空氣淨化用過濾器係使用例如可去除氨或二氧化硫等物質之化學過濾器(chemical filter)，可根據欲除去之物質來選擇要使用哪種過濾器。淨化空氣通風機構26於前端側部位7a與後端側部位7c各設置1個，可由物品搬送車3之前方側及後方側兩側對收納空間K進行通風淨化空氣。換言之，設於前方側部位7a之淨化空氣通風機構26由物品搬送車3之前方側朝後方側通風淨化空氣，設於後端側部位7c之淨化空氣通風機構26由物品搬送車3之後方側朝前方側通風淨化空氣。淨化空氣通風機構26在上下方向之配置位置如第3圖所示，將淨化空氣通風機構26配置於較位於上升位置之固定部9所固定之光盤用卡匣5的下端靠近下方側。換言之，配置淨化空氣通風機構26來使淨化空氣通風機構26之上端較位於上升位置之固定部9所固定之光盤用卡匣5的下端靠近下方。藉此，可使淨化空氣適當地對光盤用卡匣5之蓋體5b外表面(光盤用卡匣5外表面)通風，不僅可適當防止塵埃等附著於蓋體5b外表面，且可適當防止氨或二氧化硫等物質附著。

如上所述，收納空間K形成有用以使固定部9升降之開口部25，因此即使令淨化空氣由淨化空氣通風機構26通風至收納空間K，亦難以用淨化空氣充滿收納空間K。故，本發明之物品搬送車3中，當固定部9位於上升位置時，為了使收納空間K呈密閉空間，乃設有可在將開口部25開口之開位置與將開口部25封閉之閉位置間自由改變位置之開閉體27。

如第3圖所示，開閉體27由第1開閉體27a與第2開閉體27b構成，第1開閉體27a可在由前端側部位7a下緣朝後方延伸之底部30的部分上，繞著位於開口部25附近之第1擺動軸心28a自由擺動，而第2開閉體27b則可在由後端側部位7c下緣朝前方延伸之底部30的部分上，繞著位於開口部25附近之第2擺動軸心28b自由擺動。第1擺動軸心28a與第2擺動軸心28b分別朝橫寬方向延伸。

且，第1開閉體27a與第2開閉體27b可朝彼此離開之側擺動來改變位置到開位置(第3圖中虛線所示)，且可朝彼此接近之側擺動來改變位置到第1開閉體27a之前端與第2開閉體27b之前端抵接的閉位置(第3圖中實線所示)。第1擺動軸心28a與第2擺動軸心28b設置成可利用驅動馬達等圖外之驅動機構來旋轉驅動，藉由驅動機構來旋轉驅動第1擺動軸心28a與第2擺動軸心28b，擺動第1開閉體27a與第2開閉體27b。

當第1開閉體27a與第2開閉體27b位於閉位置時，第1開閉體27a與第2開閉體27b兩者呈沿著物品搬送車3之前後方向的水平姿勢而封閉開口部25。

當第1開閉體27a與第2開閉體27b位於開位置時，第1開閉體27a在與車體本體部7之前端側部位7a相對向之狀態下呈沿著上下方向之起立姿勢，且，第2開閉體27b在與車體本體部7之後端側部位7c相對向之狀態下呈沿著上下方向之起立姿勢，第1開閉體27a與第2開閉體27b係收納於收納空間K內而將開口部25開口。

如此，開閉體27由2個開閉體27a、27b構成，並使該等2個開閉體27a、27b繞著物品搬送車3之車體橫寬方向的橫軸心(水平軸心)擺動而可在開位置與閉位置間改變位置。且，第3圖中虛線所示之開閉體27的開位置設定於收納空間K中較第3圖中實線所示之閉位置靠近上方側。

第1開閉體27a與第2開閉體27b兩者形成板狀，位於閉位置之2個開閉體27a、27b之面積合計與開口部25之開口面積大致相同。藉此，當第1開閉體27a與第2開閉體27b位於閉位置時，第1開閉體27a之擺動側前端與第2開閉體27b之擺動側前端係以相對向之狀態抵接而封閉開口部25。

且，如第4圖所示，第1開閉體27a之擺動側前端部設有開閉體間抵接部29，該開閉體間抵接部29在第1開閉體27a位於閉位置之狀態下，會與位於閉位置之第2開閉體27b之擺動側前端部抵接。該開閉體間抵接部29係安裝在位於閉位置之第1開閉體27a之下面部，且以較第1開閉體27a之擺動側前端更朝前方側延伸之板狀體構成。

藉此，如第4(b)圖所示，第1開閉體27a與第2開閉體27b位於閉位置時，開閉體間抵接部29之上面部會在抵接於第2開閉體27b下面部之狀態下承受支持第2開閉體27b。故，當第1開閉體27a與第2開閉體27b位於閉位置時，不僅第1開閉體27a之前端與第2開閉體27b之前端抵接，設於第1開閉體27a之開閉體間抵接部29與第2開閉體27b間也會抵接，因此可確實地消除第1開閉體27a與第2開閉體27b之間隙並封閉開口部15，而可確實地使收納空間K成為密閉空間。

在此，由於第1開閉體27a之擺動側前端部設有開閉體間抵接部29，因此當使開閉體27由閉位置改變位置到開位置時，係先使第2開閉體27b開始由閉位置改變位置到開位置後，再使第1開閉體27a開始由閉位置改變位置到開位置。又，使開閉體27由開位置改變位置到閉位置時，則是先使第1開閉體27a開始由開位置改變位置到閉位置後，再使第2開閉體27b開始由開位置改變位置到閉位置。

又，如第2圖所示，為了消除車體本體部7與開閉體27間之間隙，底部30形成了與位於閉位置之開閉體27抵接之車體側抵接部30(相當於移動體側抵接部)。車體側抵接部30係以由連結體24下端部朝收納空間K延伸之板狀體構成，設置成在開口部25中跨越物品搬送車3之前後方向全長。

在物品搬送車3之橫寬方向兩側覆蓋收納空間K之連結體24，分別具有可將收納空間K內之空氣朝收納空間K外部排出且可自由調整其排出量的排氣機構H。排氣機構H以多孔體構成，該多孔體具有設置於連結體24所形成之開口部的多數孔部，藉由調整多數孔部形成之開口面積，可自由調整由收納空間K內朝收納空間K外部排出之空氣的排出量。

以下就多孔體之多數孔部形成的開口面積調整進行說明。

雖省略圖式，但可例如將2個多孔體在相互重疊之狀態下設置於物品搬送車3之前後方向而可自由滑動，使其中一多孔體之孔部與另一多孔體之孔部位於同一位置，藉此形成連通收納空間K之內部與外部的開口。且，可利用人為操作式之操作部滑動多孔體來使其中一多孔體之孔部位置與另一多孔體之孔部位置錯開，藉此調整多數孔部形成之開口位置。

藉此，可利用淨化空氣通風機構26以排氣機構H將已通風於收納空間K內之部分淨化空氣排出至收納空間K外部，因此可將收納空間K之部分空氣以淨化空氣通風機構26所新通風之淨化空氣加以替換，並以淨化空氣充滿收納空間K內。且，藉由調整排氣機構H之空氣排出量，可確實地將收納空間K內之部分空氣以淨化空氣通風機構26所新通風之淨化空氣加以替換，而可謀求提高收納空間K內之清淨化。

在此，針對排氣機構H之空氣排出量調整，可例如在淨化空氣通風機構26使用哪種化學過濾器來調整，而可依據化學過濾器之種類來調整適當之空氣排出量。且，一旦調整空氣排出量後，在交換化學過濾器之前可維持其排出量。

以下，說明本發明物品搬送車3之運轉。

物品搬送車3設有台車側控制部，可控制行走部8之行走動作、固定部9之升降動作或固定器22之姿勢切換動作等來控制物品搬送車3之運轉。且，當由管理物品搬送車3運行之設備管理用電腦收到指定搬送起點之站17及搬送終點之站17的搬送指令時，台車側控制部會進行搬送處理，將光盤用卡匣5從該搬送指令所指定之搬送起點之站17搬送至搬送終點之站17。本說明書所記載之各種控制部、控制機構、電腦或具有其他控制功能的構件係具有CPU、記憶體與通訊單元，且記憶體記憶有執行本說明書所記載之功能的算式。

台車側控制部根據用以檢測對應各站17之目標停止位置的感測器、或用以檢測物品搬送車3自基準點之行走距離的感測器等各種感測器之檢測資訊，控制行走部8之行走動作，以行走至到達指定之搬送終點之站17為止。接著，如第1圖之一側所示，台車側控制部控制固定部9之升降動作或固定器22之姿勢切換動作，以由搬送起點之站17接收光盤用卡匣3。當由搬送起點之站17接收光盤用卡匣5時，台車側控制部會根據各種感測器之檢測資訊，在控制行走部8之行走動作行走至所指定之搬送起點之站17後，如第1圖之另一側所示，控制固定部9之升降動作或固定器22之姿勢切換動作來將光盤用卡匣5交到搬送終點之站17。

台車側控制部不僅控制行走部8之行走動作、固定部9之升降動作或固定器22之姿勢切換動作，也控制開閉體27之開閉動作及淨化空氣通風機構26之動作。台車側控制部經常使淨化空氣通風機構26動作來將淨化空氣通風至收納空間K內。且，台車側控制部(相當於開閉控制機構)係控制開閉體27之控制動作，在要使固定部9在上升位置與下降位置間升降時，使開閉體27位於開位置，而當固定部9在上升位置與下降位置間之升降結束時，則使開閉體27由開位置改變位置到閉位置。在此，如上所述，在使開閉體27開閉時，第1開閉體27a與第2開閉體27b之間要使那個先開始動作是有順序的。在使開閉體27由閉位置改變位置到開位置時，是先使第2開閉體27b開始由閉位置改變位置到開位置後，再使第1開閉體27a開始由閉位置改變位置到開位置。在使開閉體27由開位置改變位置到閉位置時，是先使第1開閉體27a開始由開位置改變位置到閉位置後，再使第2開閉體27b開始由開位置改變位置到閉位置。

台車側控制部只有在使固定部9在上升位置與下降位置間升降時，係使開閉體27位於開位置，當固定部9之升降結束時，便使開閉體27由開位置改變位置到閉位置，在升降固定部9時以外，則使開閉體27位於閉位置。且，由於台車側控制部經常使淨化空氣通風機構26動作，因此不僅是朝搬送起點之站17行走時，由搬送起點之站17朝搬送終點之站17行走時，亦可使收納空間K成為密閉空間，並將該收納空間K內之部分空氣以淨化空氣通風機構26所新通風之淨化空氣加以替換，同時以淨化空氣充滿收納空間K內。藉此，可從實際上收納空間K內不存在光盤用卡匣5之時間點，亦即由搬送起點之站17接收光盤用卡匣5以前之時間點起，預先以淨化空氣充滿收納空間K內。且，即使是實際上收納空間K內存在光盤用卡匣5之途中，亦即由搬送起點之站17朝搬送終點之站17行走之途中，亦可以淨化空氣充滿收納空間K內。結果，可適切地防止塵埃及氨或二氧化硫等物質附著於要搬送至搬送終點之站17的光盤用卡匣5外表面。故，如第1圖所示，針對物品處理部1，不僅光盤4單體，即使是連支持光盤4之光盤用卡匣5的一部份(例如蓋體5b)一起搬送時，亦可適切地防止外表面附著了塵埃及氨或二氧化硫等物質之光盤用卡匣5的一部份(例如蓋體5b)搬送至物品處理部1內。結果，即使是以物品處理部1進行曝光等處理，亦可適切地防止生成會造成霾(混濁)之物質，而可一面維持光盤4之品質，一面適切地進行光盤4之搬送。

[其它實施形態]

(1)上述實施形態中，將第1開閉體27a與第2開閉體27b設置成可繞著沿物品搬送車3之橫寬方向的橫軸心(水平軸心)擺動。亦可將第1開閉體27a與第2開閉體27b設置成可繞著沿物品搬送車3之前後方向延伸的橫軸心(水平軸心)擺動來代替該構成。

又，關於開閉體27，不限於設置第1開閉體27a與第2開閉體27b之2個開閉體，舉例言之，亦可用1個開閉體來封閉開口部25。

(2)上述實施形態中，將淨化空氣通風機構26設置於物品搬送車3之前後方向兩側。舉例言之，亦可將淨化空氣通風機構26設置於物品搬送車3之橫寬方向兩側來代替該構成，可對淨化空氣通風機構26之配設位置進行適當變更。又，亦可將單一淨化空氣通風機構26設置於物品搬送車3。

(3)上述實施形態中，將排氣機構H設置於物品搬送車3之橫寬方向兩側。除了上述構成外(或代替該構成)，亦可於開閉體27設置排氣機構H，可對排氣機構H之配設位置或數量進行適當變更。

又，對於排氣機構H之空氣排出量調整，雖是以人為操作式操作部之操作來使開閉體移動，但舉例言之，亦可設置驅動機構而藉由該驅動機構之驅動力來使開閉體移動。

(4)上述實施形態中，將開閉體27之開位置設定於較收納空間K內之閉位置靠近上方側。舉例言之，可將開閉體27之開位置設定於較收納空間K外部之閉位置靠近下方側來代替上述構成。

1．．．物品處理部

2．．．引導軌

3．．．物品搬送車

4．．．光盤

5．．．光盤用卡匣

5a．．．卡匣本體

5b．．．蓋體

6．．．引導軌用支架

7．．．車體本體部

7a．．．前端側部位

7b．．．中間部位

7c．．．後端側部位

8‧‧‧行走部

9‧‧‧固定部

10‧‧‧驅動馬達

11‧‧‧行走輪

12‧‧‧引導輪

13‧‧‧升降用馬達

15‧‧‧皮帶

16‧‧‧旋轉鼓

17‧‧‧物品移載用站

18‧‧‧升降台

19‧‧‧迴旋軸

20‧‧‧迴旋用馬達

21‧‧‧驅動力傳達部

22‧‧‧固定器

23‧‧‧固定用馬達

24‧‧‧連結體

25‧‧‧開口部

26‧‧‧淨化空氣通風機構

27‧‧‧開閉體

27a‧‧‧第1開閉體

27b‧‧‧第2開閉體

28a‧‧‧第1擺動軸心

28b‧‧‧第2擺動軸心

29‧‧‧開閉體間抵接部

30‧‧‧底部(車體側抵接部)

31‧‧‧供電線

32‧‧‧受電部

K‧‧‧收納空間

H‧‧‧排氣機構

第4(a)~(b)圖係顯示開閉體要部之圖。

2．．．引導軌

4．．．光盤

5．．．光盤用卡匣

5a．．．卡匣本體

5b．．．蓋體

7．．．車體本體部

7a．．．前端側部位

7b．．．中間部位

7c．．．後端側部位

8．．．行走部

9．．．固定部

10．．．驅動馬達

11．．．行走輪

12．．．引導輪

13．．．升降用馬達

15．．．皮帶

19．．．迴旋軸

20．．．迴旋用馬達

21．．．驅動力傳達部

22．．．固定器

26．．．淨化空氣通風機構

25．．．開口部

27a．．．第1開閉體

27b．．．第2開閉體

28a．．．第1擺動軸心

28b．．．第2擺動軸心

29．．．開閉體間抵接部

30．．．底部(車體側抵接部)

31．．．供電線

32．．．受電部

K．．．收納空間

H．．．排氣機構

Claims

一種物品搬送裝置，係於可沿著頂面側之引導軌自由移動之移動體，具有可自由保持物品之物品保持部，且使該物品保持部可於接近前述移動體之上升位置與較該上升位置下方之下降位置自由升降，前述移動體形成有用以將位於前述上升位置之前述物品保持部所保持之物品加以收容的收納空間，該收納空間之下端部區域形成有可使前述物品保持部在前述上升位置與前述下降位置間升降的開口部，且具有透過空氣淨化用過濾器使淨化空氣通風至前述收納空間內之淨化空氣通風機構，前述物品搬送裝置包含有：開閉體，係可藉由繞水平軸心之擺動，在將前述開口部開口之開位置與將前述開口部封閉之閉位置自由變更位置者；及開閉控制機構，係在使前述物品保持部在前述上升位置與前述下降位置間升降時，使前述開閉體位於前述開位置，當前述物品保持部在前述上升位置與前述下降位置間之升降結束時，則使前述開閉體由前述開位置改變位置到前述閉位置，前述淨化空氣通風機構是在形成前述移動體之前述收納空間的部分以呈相對向之狀態設置有一對，前述一對之淨化空氣通風機構是在前述移動體之移動方向上相對於藉由前述上升位置之前述物品保持部所保持之物品位於前方側與後方側之兩側，具有一對呈相對向且可將前述收納空間內之空氣朝前述收納空間之外部自由排出的排出機構，前述一對之淨化空氣通風機構與前述一對之排出機構是以俯視下其並列方向交叉之型態被設置。
如申請專利範圍第1項之物品搬送裝置，其中前述開閉體具有第1開閉體與第2開閉體，該第1開閉體係構造成可繞著設置於前述開口部之一端部區域的擺動軸心擺動，而該第2開閉體係構造成可繞著設置於前述開口部之另一端部區域的擺動軸心擺動，又，前述開閉體係構造成前述第1開閉體與前述第2開閉體可朝彼此離開之側擺動而自由變更位置至前述開位置，且前述第1開閉體與前述第2開閉體可朝彼此接近之側擺動而自由變更位置至前述第1開閉體之前端與前述第2開閉體之前端抵接的前述閉位置。
如申請專利範圍第2項之物品搬送裝置，其中前述第1開閉體之前端部係設有開閉體間抵接部，該開閉體間抵接部係在前述第1開閉體位於前述閉位置之狀態下，與位於前述閉位置之前述第2開閉體之前端部抵接。
如申請專利範圍第1或2項之物品搬送裝置，其中前述一對之排氣機構是可自由調整將前述收納空間內之空氣排出前述收納空間之外部的排出量。
如申請專利範圍第1或2項之物品搬送裝置，其中前述開位置在前述收納空間內，且設定成較前述閉位置靠近上方側。
如申請專利範圍第1或2項之物品搬送裝置，其中前述物品係由可將光盤自由收納於其內部之密閉空間的光盤用卡匣所構成。
如申請專利範圍第6項之物品搬送裝置，其中前述淨化空氣通風機構是配置為：前述淨化空氣通風機構之上端是位於較保持在位於前述上升位置之前述物品保持部的光盤用卡匣之下端更下面之位置。
如申請專利範圍第1或2項之物品搬送裝置，其中前述移動體具有車體本體部，該車體本體部具有前端側部位、後端側部位、中間部位及一對連結體，前述前端側部位係朝上下方向與橫寬方向延伸，前述後端側部位係與前述前端側部位隔著一間隔地配置於後方，且沿著上下方向與橫寬方向延伸，前述中間部位係在前述前端側部位與後端側部位間沿著前後方向與橫寬方向延伸，而前述一對連結體則在前述前端側部位與後端側部位間沿著前後方向與上下方向延伸，前述收納空間至少由前述前端側部位、前述後端側部位、前述中間部位與前述一對連結體形成。
如申請專利範圍第2項之物品搬送裝置，其中，前述移動體具有車體本體部，該車體本體部具有前端側部位、後端側部位、中間部位及一對連結體，前述前端側部位係沿著上下方向與橫寬方向延伸，前述後端側部位係與前述前端側部位隔著一間隔配置於後方且沿著上下方向與橫寬方向延伸，前述中間部位係在前述前端側部位與後端側部位間沿著前後方向與橫寬方向延伸，而前述一對連結體則在前述前端側部位與後端側部位間沿著前後方向與上下方向延伸，前述收納空間至少由前述前端側部位、前述後端側部位、前述中間部位與前述一對連結體形成，前述車體本體部具有由前述前端側部位之下緣、前述後端側部位之下緣、及前述一對連結體之各下緣延續之抵接部，前述第1開閉體之擺動軸心與前述第2開閉體之擺動軸心配置於前述抵接部，前述收納空間之下部可藉由前述抵接部與位於前述閉位置之前述第1及第2開閉體而封閉。
如申請專利範圍第1或2項之物品搬送裝置，其中前述一對之淨化空氣通風機構是配設在較前述一對之排出機構更上方之位置。