TWI501512B - 具有芯部的多頭線性馬達 - Google Patents
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Description
在此中所討論之實施例係針對具有芯部的多頭線性馬達。
多頭線性馬達已被開發當作用於譬如安裝在半導體製造設備、電子組件安裝設備、或機械工具的工作台上之進料器的線性馬達,其可藉由在單一定子上方配置具有相同尺寸的移動子來個別地驅動複數移動子。此等多頭線性馬達有關日本專利特許公開申請案第2001-211630號中所揭示之技術。
於此等多頭線性馬達中,構成電樞的移動子包含移動子基底及共同地纏繞著電樞芯部及呈三相連接之複數電樞線圈。在另一方面,構成一場域之定子被配置,以便經過磁氣隙面向該電樞,且係由磁軛及設在該磁軛的縱向中之複數永久磁鐵所構成,亦即於該所謂之線性方向中,以便交互地具有不同磁極。設有芯部之多頭線性馬達可移動被安裝在該等移動子上之個別工作件,該等芯部具有此一使具有相同造型之複數移動子被配置在單一定子上方的結構。
用於具有芯部之多頭線性馬達的移動子之結構係在下面詳細地敘述。譬如,一結構被開發當作一組,其中根本上以永久磁場的磁極數目P及電樞線圈數目M所決定之關係為P=2及M=3之組合。於此案例中,具有相同之組合的移動子之長度能被決定,以便藉由以由小推力移動子所組成的一組及由大推力移動子所組成的二組構成該等移動子,對應於要求不同需要之推力的工作件,該大推力移動子之長度對應於兩個小推力移動子的長度。如此,於該多頭線性馬達中,磁極數目及線圈數目之最小單元的組合被決定為一組,且該等移動子之組數係視用於每一移動子所需要之推力而定改變,以處理該等工作件。
然而,當用於該等移動子所需要之推力為彼此大幅不同時,譬如,該大推力移動子具有1000牛頓及該小推力移動子具有100牛頓時,馬達造型可被以傳統線性馬達之移動子的配置不需要地放大。
該實施例的一模式之目的為提供設有芯部的多頭線性馬達,且甚至當用於安裝在該等線性馬達移動子上之複數工作件的需要推力彼此大幅不同時,能夠減縮該馬達造型之尺寸。
根據該實施例之態樣,設有芯部的多頭線性馬達包含永久磁場及電樞。該永久磁場包含排列在線性方向中之P片永久磁鐵,以便交互地具有不同磁極。該電樞被配置,以便經過磁性氣隙面向該永久磁場,且其包含共同地纏繞著電樞芯部及為三相連接之M片電樞線圈。該電樞及該永久磁場之任一者構成移動子,另一者構成定子,且該移動子係多數對齊地配置在單一片定子之上,且該等移動子係相對該定子個別地驅動,及該等移動子之每一者包含大推力移動子及小推力移動子,它們每一者具有以該等永久磁鐵之磁極數目P及該等電樞線圈的數目M相對該定子所決定之不同關係。
根據該實施例的一態樣,其係可能提供有著芯部之多頭線性馬達,且甚至當用於安裝在該等線性馬達移動子上之複數工作件的需要推力彼此大幅不同時,能夠減縮該馬達造型之尺寸。
第一實施例將在下面被敘述。
圖1A係具有根據第一實施例的芯部之多頭線性馬達的側視圖。圖1B係具有圖1A所說明之芯部的多頭線性馬達之正視圖。
於圖1A及1B中,1標示移動子,1c標示大推力移動子,1d標示小推力移動子,2標示電樞芯部,2c標示大推力芯部,2d標示小推力芯部,3標示電樞線圈,3c標示大推力線圈,3d標示小推力線圈,4標示定子,5標示磁軛,及6標示永久磁鐵。
於根據該第一實施例之線性馬達中,該移動子1構成一包含複數電樞線圈3之電樞,該等電樞線圈共同地纏繞著該電樞芯部2及呈三相連接。在另一方面,該定子4被安排,以便經過磁性氣隙面向該電樞,且其構成包含複數
永久磁鐵6之永久磁場,該等永久磁鐵於該磁軛5之縱向中、亦即於所謂之線性方向中交互地具有不同磁極。特別地是,此一結構之特徵為其中由超過一個此等大推力移動子1c及小推力移動子1d所構成之移動子1被配置在單一片定子4上,該等移動子之每一者具有以構成該定子4的永久磁場之磁極數目P及構成該移動子1之電樞的線圈數目M所決定之不同關係(組合)。
明確地是,於圖1A及1B中,該大推力移動子1c具有該永久磁場之磁極數目P=8及該電樞線圈數目M=9的組合,且當極距係藉由τ
p所指示時,該移動子之長度係8τ
pxN(N:1,2,3,...等等)。於對比下,該小推力移動子1d具有該永久磁場之磁極數目P=5及該電樞線圈數目M=6的組合,且該移動子之長度係5τ
pxN(N:1,2,3,...等等)。
在該第一實施例中,用於線性滑動裝置之大推力移動子及小推力移動子所需要推力的概念係在下面基於圖7所敘述,其移動子造型係彼此不同。圖7係每一移動子之馬達特徵的比較表,本實施例所共用之工作件將安裝在移動子上,且基於該等特徵計算所要求之需要的推力。
大致上,當待安裝在移動子上之工作件(負載)之尺寸係彼此不同時,視該線性滑動裝置之應用而定,在用於該等移動子所要求之需要的推力中發生差異,該等工作件將被安裝在該等移動子上。
換句話說,於該第一實施例中,待安裝在圖1A及1B
所說明之該大推力移動子1c及該小推力移動子1d上的工作件之間所需要的推力不同。於此案例中,在該第一實施例中,配置在單一定子上方之大推力移動子1c及小推力移動子1d的永久磁場之磁極數目P及電樞線圈數目M間之關係為分別在P:M=8:9及P:M=5:6所決定。於該第一實施例中,該大推力移動子1c及該小推力移動子1d之長度被分別改變至8τ
pxN(N係等於或大於1之整數)及5τ
pxN(N係等於或大於1之整數)。此結果是,每一相位之線圈數目(該比為100%/67%)、該繞組因數(該比為100%/99%)、該間隙磁通量密度(該比為100%/100%)、及繞組之圈數(該比為100%/92%)係不同的,所有該等者為每一移動子之電樞線圈。據此,該感應電壓常數(該推力常數之比為100%/61%)係不同的。隨後,每一移動子之電樞線圈的繞組空間係不同的。因此,該繞組阻抗(該比為100%/61%)係不同的,且當每一移動子之感應電壓常數及繞組阻抗為不同時,該馬達常數(該比為100%/78%)係不同的。因此,用於該兩者之需要的推力(該比為100%/61%)能藉由計算該等移動子之推力的比並使用每一移動子之馬達常數的二乘比所獲得。其結果是,具有該大推力移動子及該小推力移動子之造型的移動子之長度可視待安裝在每一移動子上之工作件(負載)的尺寸(用於每一移動子所要求之需要的推力間之差異)而定被適當地設計至最佳尺寸。
據此,於該第一實施例中,如上面所述,具有磁極數
目及線圈數目之不同組合的複數大推力移動子及小推力移動子被配置在單一定子上方,且因此,甚至當在用於複數工作件所需之推力中有大差異時,該馬達造型可被最大地減縮尺寸。
第二實施例將在下面被敘述。
圖2A係具有根據第二實施例的芯部之多頭線性馬達的側視圖。圖2B係具有圖2A所說明之芯部的多頭線性馬達之正視圖。
於圖2A及2B中,1e標示大推力移動子,1f標示小推力移動子,2e標示大推力芯部,2f標示小推力芯部,3e標示大推力線圈,及3f標示小推力線圈。
該第二實施例及該第一實施例間之差異係其中如圖2A及2B所說明,該大推力移動子1e具有該永久磁場之磁極數目P=8及該電樞線圈數目M=9的組合,且當極距係藉由τ
p所指示時,該移動子之長度係8τ
pxN(N:1,2,3,...等等)。於對比下,該小推力移動子1f具有該永久磁場之磁極數目P=4及該電樞線圈數目M=3的組合,且該移動子之長度係4τ
pxN(N:1,2,3,...等等)。
於該第二實施例中,用於線性滑動裝置之大推力移動子及小推力移動子所需要推力的概念係在下面基於圖7所敘述,其移動子造型係彼此不同。
換句話說,於該第二實施例中,待安裝在圖2A及2B中所說明之該大推力移動子1e及該小推力移動子1f上的工作件之間所需要的推力不同。於此案例中,在該第二實施例中,配置在單一定子上方之大推力移動子1e及小推力移動子1f的永久磁場之磁極數目P及電樞線圈數目M間之關係為分別在P:M=8:9及P:M=4:3所決定。於該第二實施例中,該大推力移動子1e及該小推力移動子1f之長度被分別改變至8τ pxN(N係等於或大於1之整數)及4τ pxN(N係等於或大於1之整數)。此結果是,每一相位之線圈數目(該比為100%/33%)、該繞組因數(該比為100%/92%)、該間隙磁通量密度(該比為100%/98%)、及繞組之圈數(該比為100%/159%)係不同的,所有該等者為每一移動子之電樞線圈。據此,該感應電壓常數(該推力常數之比為100%/48%)係不同的。隨後,每一移動子之電樞線圈的繞組空間係不同的。因此,該繞組阻抗(該比為100%/57%)係不同的,且當每一移動子之感應電壓常數及繞組阻抗為不同時,該馬達常數(該比為100%/63%)係不同的。因此,用於該兩者之需要的推力(該比為100%/39%)能藉由計算該等移動子之推力的比並使用每一移動子之馬達常數的二乘比所獲得。其結果是,具有該大推力移動子及該小推力移動子之造型的移動子之長度可視待安裝在每一移動子上之工作件(負載)的尺寸(用於每一移動子所要求之需要的推力間之差異)而定被適當地設計至最佳尺寸。
據此,於該第二實施例中,如上面所述,具有磁極數目及線圈數目之不同組合的複數大推力移動子及小推力移動子被配置在單一定子上方,且因此,甚至當在用於複數工作件所需之推力中有大差異時,該馬達造型可被最大地減縮尺寸。
第三實施例將在下面被敘述。
圖3A係具有根據第三實施例的芯部之多頭線性馬達的側視圖。圖3B係具有圖3A所說明之芯部的多頭線性馬達之正視圖。
於圖3A及3B中,1g標示大推力移動子,1h標示小推力移動子,2g標示大推力芯部,2h標示小推力芯部,3g標示大推力線圈,及3h標示小推力線圈。
該第三實施例及該第二實施例間之差異係其中如圖3A及3B所說明,該大推力移動子1g具有該永久磁場之磁極數目P=8及該電樞線圈數目M=9的組合,且當極距係藉由τ p所指示時,該移動子之長度係8τ pxN(N:1,2,3,...等等)。於對比下,該小推力移動子1h具有該永久磁場之磁極數目P=2及該電樞線圈數目M=3的組合,且該移動子之長度係2τ pxN(N:1,2,3,...等等)。
於該第三實施例中,用於線性滑動裝置之大推力移動子及小推力移動子所需要推力的概念係在下面基於圖7所敘述,其移動子造型係彼此不同。
換句話說,於該第三實施例中,待安裝在圖3A及3B中所說明之該大推力移動子1g及該小推力移動子1h上的工作件之間所需要的推力不同。於此案例中,在該第三實施例中,配置在單一定子上方之大推力移動子1g及小推力移動子1h的永久磁場之磁極數目P及電樞線圈數目M間之關係為分別在P:M=8:9及P:M=2:3所決定。於該第三實施例中,該大推力移動子1g及該小推力移動子1h之長度被分別改變至8τ
pxN(N係等於或大於1之整數)及2τ
pxN(N係等於或大於1之整數)。此結果是,每一相位之線圈數目(該比為100%/33%)、該繞組因數(該比為100%/92%)、該間隙磁通量密度(該比為100%/102%)、及繞組之圈數(該比為100%/64%)係不同的,所有該等者為每一移動子之電樞線圈。據此,該感應電壓常數(該推力常數之比為100%/20%)係不同的。每一移動子之電樞線圈的繞組空間係不同的,且因此,該繞組阻抗(該比為100%/20%)係不同的。再者,當每一移動子之感應電壓常數及繞組阻抗為不同時,該馬達常數(該比為100%/44%)係不同的。因此,用於該兩者之需要的推力(該比為100%/20%)能藉由計算該等移動子之推力的比並使用每一移動子之馬達常數的二乘比所獲得。其結果是,具有該大推力移動子及該小推力移動子之造型的移動子之長度可視待安裝在每一移動子上之工作件(負載)的尺寸(用於每一移動子所要求之需要的推力間之差異)而定被適當地設計至最佳尺寸。
據此,於該第三實施例中,如上面所述,具有磁極數目及線圈數目之不同組合的複數大推力移動子及小推力移動子被配置在單一定子上方,且因此,甚至當在用於複數工作件所需之推力中有大差異時,該馬達造型可被最大地減縮尺寸。
第四實施例將在下面被敘述。
圖4A係具有根據第四實施例的芯部之多頭線性馬達的側視圖。圖4B係具有圖4A所說明之芯部的多頭線性馬達之正視圖。
於圖4A及4B中,1i標示大推力移動子,1j標示小推力移動子,2i標示大推力芯部,2j標示小推力芯部,3i標示大推力線圈,及3j標示小推力線圈。
該第四實施例及該第三實施例間之差異係其中如圖4A及4B所說明,該大推力移動子1i具有該永久磁場之磁極數目P=5及該電樞線圈數目M=6的組合,且當極距係藉由τ
p所指示時,該移動子之長度係5τ
pxN(N:1,2,3,...等等)。於對比下,該小推力移動子1j具有該永久磁場之磁極數目P=4及該電樞線圈數目M=3的組合,且該移動子之長度係4τ
pxN(N:1,2,3,...等等)。
於該第四實施例中,用於線性滑動裝置之大推力移動子及小推力移動子所需要推力的概念係在下面基於圖7所敘述,其移動子造型係彼此不同。
換句話說,於該第四實施例中,待安裝在圖4A及4B中所說明之該大推力移動子1i及該小推力移動子1j上的工作件之間所需要的推力大幅不同。於此案例中,在該第四實施例中,配置在單一定子上方之大推力移動子1i及小推力移動子1j的永久磁場之磁極數目P及電樞線圈數目M間之關係為分別在P:M=5:6及P:M=4:3所決定。於該第四實施例中,該大推力移動子1i及該小推力移動子
1j之長度被分別改變至5τ
pxN(N係等於或大於1之整數)及4τ
pxN(N係等於或大於1之整數)。此結果是,每一相位之線圈數目(該比為100%/50%)、該繞組因數(該比為100%/93%)、該間隙磁通量密度(該比為100%/98%)、及繞組之圈數(該比為100%/172%)係不同的,所有該等者為每一移動子之電樞線圈。據此,該感應電壓常數(該推力常數之比為100%/78%)係不同的。隨後,每一移動子之電樞線圈的繞組空間係不同的。因此,該繞組阻抗(該比為100%/94%)係不同的,且當每一移動子之感應電壓常數及繞組阻抗為不同時,該馬達常數(該比為100%/80%)係不同的。因此,用於該兩者之需要的推力(該比為100%/64%)能藉由計算該等移動子之推力的比並使用每一移動子之馬達常數的二乘比所獲得。其結果是,具有該大推力移動子及該小推力移動子之造型的移動子之長度可視待安裝在每一移動子上之工作件(負載)的尺寸(用於每一移動子所要求之需要的推力間之差異)而定被適當地設計至最佳尺寸。
據此,於該第四實施例中,如上面所述,具有磁極數目及線圈數目之不同組合的複數大推力移動子及小推力移動子被配置在單一定子上方,且因此,甚至當在用於複數工作件所需之推力中有大差異時,該馬達造型可被最大地減縮尺寸。
第五實施例將在下面被敘述。
圖5A係具有根據第五實施例的芯部之多頭線性馬達
的側視圖。圖5B係具有圖5A所說明之芯部的多頭線性馬達之正視圖。
於圖5A及5B中,1k標示大推力移動子,1l標示小推力移動子,2k標示大推力芯部,2l標示小推力芯部,3k標示大推力線圈,及3l標示小推力線圈。
該第五實施例及該第四實施例間之差異係其中如圖5A及5B所說明,該大推力移動子1k具有該永久磁場之磁極數目P=5及該電樞線圈數目M=6的組合,且當極距係藉由τ
p所指示時,該移動子之長度係5τ
pxN(N:1,2,3,...等等)。於對比下,該小推力移動子1l具有該永久磁場之磁極數目P=2及該電樞線圈數目M=3的組合,且該移動子之長度係2τ
pxN(N:1,2,3,...等等)。
於該第五實施例中,用於線性滑動裝置之大推力移動子及小推力移動子所需要推力的概念係在下面基於圖7所敘述,其移動子造型係彼此不同。
換句話說,於該第五實施例中,待安裝在圖5A及5B中所說明之該大推力移動子1k及該小推力移動子1l上的工作件之間所需要的推力大幅不同。於此案例中,在該第五實施例中,配置在單一定子上方之大推力移動子1k及小推力移動子1l的永久磁場之磁極數目P及電樞線圈數目M間之關係為分別在P:M=5:6及P:M=2:3所決定。於該第五實施例中,該大推力移動子1k及該小推力移動子1l之長度被分別改變至5τ
pxN(N係等於或大於1之整數)及2τ
pxN(N係等於或大於1之整數)。此結果是,每一相位之線圈數目(該比為100%/50%)、該繞組因數(該比為100%/93%)、該間隙磁通量密度(該比為100%/102%)、及繞組之圈數(該比為100%/70%)係不同的,所有該等者為每一移動子之電樞線圈。據此,該感應電壓常數(該推力常數之比為100%/33%)係不同的。每一移動子之電樞線圈的繞組空間係不同的,且因此,該繞組阻抗(該比為100%/33%)係不同的。再者,當每一移動子之感應電壓常數及繞組阻抗為不同時,該馬達常數(該比為100%/57%)係不同的。因此,用於該兩者之需要的推力(該比為100%/32%)能藉由計算該等移動子之推力的比並使用每一移動子之馬達常數的二乘比所獲得。其結果是,具有該大推力移動子及該小推力移動子之造型的移動子之長度可視待安裝在每一移動子上之工作件(負載)的尺寸(用於每一移動子所要求之需要的推力間之差異)而定被適當地設計至最佳尺寸。
據此,於該第五實施例中,如上面所述,具有磁極數目及線圈數目之不同組合的複數大推力移動子及小推力移動子被配置在單一定子上方,且因此,甚至當在用於複數工作件所需之推力中有大差異時,該馬達造型可被最大地減縮尺寸。
第六實施例將在下面被敘述。
圖6A係具有根據第六實施例的芯部之多頭線性馬達的側視圖。圖6B係具有圖6A所說明之芯部的多頭線性馬達之正視圖。
於圖6A及6B中,1m標示大推力移動子,1n標示小推力移動子,2m標示大推力芯部,2n標示小推力芯部,3m標示大推力線圈,及3n標示小推力線圈。
該第六實施例及該第五實施例間之差異係其中如圖6A及6B所說明,該大推力移動子1m具有該永久磁場之磁極數目P=4及該電樞線圈數目M=3的組合,且當極距係藉由τ p所指示時,該移動子之長度係4τ pxN(N:1,2,3,...等等)。於對比下,該小推力移動子1n具有該永久磁場之磁極數目P=2及該電樞線圈數目M=3的組合,且該移動子之長度係2τ pxN(N:1,2,3,...等等)。
於該第六實施例中,用於線性滑動裝置之大推力移動子及小推力移動子所需要推力的概念係在下面基於圖7所敘述,其移動子造型係彼此不同。
換句話說,於該第六實施例中,待安裝在圖6A及6B中所說明之該大推力移動子1m及該小推力移動子1n上的工作件之間所需要的推力大幅不同。於此案例中,在該第六實施例中,配置在單一定子上方之大推力移動子1m及小推力移動子1n的永久磁場之磁極數目P及電樞線圈數目M間之關係為分別在P:M=4:3及P:M=2:3所決定。於該第六實施例中,該大推力移動子1m及該小推力移動子1n之長度被分別改變至4τ pxN(N係等於或大於1之整數)及2τ pxN(N係等於或大於1之整數)。此結果是,每一相位之線圈數目(該比為100%/100%)、該繞組因數(該比為100%/100%)、該間隙磁通量密度(該比為100%/104%)、及繞組之圈數(該比為100%/41%)係不同的,所有該等者為每一移動子之電樞線圈。據此,該感應電壓常數(該推力常數之比為100%/42%)係不同的。每一移動子之電樞線圈的繞組空間係不同的,且因此,該繞組阻抗(該比為100%/35%)係不同的。再者,當每一移動子之感應電壓常數及繞組阻抗為不同時,該馬達常數(該比為100%/71%)係不同的。因此,用於該兩者之需要的推力(該比為100%/50%)能藉由計算該等移動子之推力的比並使用每一移動子之馬達常數的二乘比所獲得。其結果是,具有該大推力移動子及該小推力移動子之造型的移動子之長度可視待安裝在每一移動子上之工作件(負載)的尺寸(用於每一移動子所要求之需要的推力間之差異)而定被適當地設計至最佳尺寸。
據此,於該第六實施例中,如上面所述,具有磁極數目及線圈數目之不同組合的複數大推力移動子及小推力移動子被配置在單一定子上方,且因此,甚至當在用於複數工作件所需之推力中有大差異時,該馬達造型可被最大地減縮尺寸。
對於每一工作件為適當的馬達造型係甚至可適用於每一者藉由配置在單一定子上方要求不同需要之推力的複數工作件、具有該永久磁場之磁極數目及該電樞線圈數目的不同組合之複數移動子。因此,具有上述實施例之芯部的多頭線性馬達係可適用於寬廣變化性之應用,譬如液晶製造設備,其中該大推力移動子承載諸如玻璃基板之主要工作件,且該小推力移動子承載諸如纜線之小工作件。
1...移動子
1c...大推力移動子
1d...小推力移動子
1e...大推力移動子
1f...小推力移動子
1g...大推力移動子
1h...小推力移動子
1i...大推力移動子
1j...小推力移動子
1k...大推力移動子
1l...小推力移動子
1m...大推力移動子
1n...小推力移動子
2...電樞芯部
2c...大推力芯部
2d...小推力芯部
2e...大推力芯部
2f...小推力芯部
2g...大推力芯部
2h...小推力芯部
2i...大推力芯部
2j...小推力芯部
2k...大推力芯部
2l...小推力芯部
2m...大推力芯部
2n...小推力芯部
3...電樞線圈
3c...大推力線圈
3d...小推力線圈
3e...大推力線圈
3f...小推力線圈
3g...大推力線圈
3h...小推力線圈
3i...大推力線圈
3j...小推力線圈
3k...大推力線圈
3l...小推力線圈
3m...大推力線圈
3n...小推力線圈
4...定子
5...磁軛
6...永久磁鐵
當本發明藉由參考以下之詳細敘述而變得更好了解時,當連同所附圖示考慮時,本發明之更完全理解與其所附之許多優點將被輕易地獲得,其中:
圖1A係具有根據第一實施例的芯部之多頭線性馬達的側視圖;
圖1B係具有圖1A所說明之芯部的多頭線性馬達之正視圖;
圖2A係具有根據第二實施例的芯部之多頭線性馬達的側視圖;
圖2B係具有圖2A所說明之芯部的多頭線性馬達之正視圖;
圖3A係具有根據第三實施例的芯部之多頭線性馬達的側視圖;
圖3B係具有圖3A所說明之芯部的多頭線性馬達之正視圖;
圖4A係具有根據第四實施例的芯部之多頭線性馬達的側視圖;
圖4B係具有圖4A所說明之芯部的多頭線性馬達之正視圖;
圖5A係具有根據第五實施例的芯部之多頭線性馬達的側視圖;
圖5B係具有圖5A所說明之芯部的多頭線性馬達之正視圖;
圖6A係具有根據第六實施例的芯部之多頭線性馬達的側視圖;
圖6B係具有圖6A所說明之芯部的多頭線性馬達之正視圖;及
圖7係每一移動子之馬達特徵的比較表,該第一實施例至該第六實施例所共用之工作件將安裝在移動子上,且基於該等特徵計算所要求之需要的推力。
1c...大推力移動子
1d...小推力移動子
2...電樞芯部
2c...大推力芯部
2d...小推力芯部
3...電樞線圈
3c...大推力線圈
3d...小推力線圈
5...磁軛
6...永久磁鐵
Claims (7)
- 一種具有芯部的多頭線性馬達,包括:永久磁場,包含排列在線性方向中之P片永久磁鐵,以便交互地具有不同磁極;及電樞,其被配置,以便經過磁性氣隙面向該永久磁場,且其包含共同地纏繞著電樞芯部及為三相連接之M片電樞線圈,其中該電樞及該永久磁場之任一者構成移動子,另一者構成定子,該移動子係多數對齊地配置在單一片定子之上,且該等移動子係相對該定子個別地驅動,及該等移動子之每一者包含大推力移動子及小推力移動子,它們每一者具有不同的比,該不同的比係相關於該定子之該等永久磁鐵之磁極數目P及該等電樞線圈的數目M。
- 如申請專利範圍第1項具有芯部的多頭線性馬達,其中該大推力移動子於該永久磁鐵之磁極數目P及該電樞線圈的數目M之間具有8N:9N(在此N係等於或大於1之整數)的比,且當極距係藉由τp所指示時,該大推力移動子之長度係8τpxN(N係等於或大於1之整數),及該小推力移動子於該永久磁鐵之磁極數目P及該電樞線圈的數目M之間具有5N:6N(在此N係等於或大於1之整數)的比,且該小推力移動子之長度係5τpxN(N係 等於或大於1之整數)。
- 如申請專利範圍第1項具有芯部的多頭線性馬達,其中該大推力移動子於該永久磁鐵之磁極數目P及該電樞線圈的數目M之間具有8N:9N(在此N係等於或大於1之整數)的比,且當極距係藉由τp所指示時,該大推力移動子之長度係8τpxN(N係等於或大於1之整數),及該小推力移動子於該永久磁鐵之磁極數目P及該電樞線圈的數目M之間具有4N:3N(在此N係等於或大於1之整數)的比,且該小推力移動子之長度係4τpxN(N係等於或大於1之整數)。
- 如申請專利範圍第1項具有芯部的多頭線性馬達,其中該大推力移動子於該永久磁鐵之磁極數目P及該電樞線圈的數目M之間具有8N:9N(在此N係等於或大於1之整數)的比,且當極距係藉由τp所指示時,該大推力移動子之長度係8τpxN(N係等於或大於1之整數),及該小推力移動子於該永久磁鐵之磁極數目P及該電樞線圈的數目M之間具有2N:3N(在此N係等於或大於1之整數)的比,且該小推力移動子之長度係2τpxN(N係等於或大於1之整數)。
- 如申請專利範圍第1項具有芯部的多頭線性馬達,其中該大推力移動子於該永久磁鐵之磁極數目P及該電樞 線圈的數目M之間具有5N:6N(在此N係等於或大於1之整數)的比,且當極距係藉由τp所指示時,該大推力移動子之長度係5τpxN(N係等於或大於1之整數),及該小推力移動子於該永久磁鐵之磁極數目P及該電樞線圈的數目M之間具有4N:3N(在此N係等於或大於1之整數)的比,且該小推力移動子之長度係4τpxN(N係等於或大於1之整數)。
- 如申請專利範圍第1項具有芯部的多頭線性馬達,其中該大推力移動子於該永久磁鐵之磁極數目P及該電樞線圈的數目M之間具有5N:6N(在此N係等於或大於1之整數)的比,且當極距係藉由τp所指示時,該大推力移動子之長度係5τpxN(N係等於或大於1之整數),及該小推力移動子於該永久磁鐵之磁極數目P及該電樞線圈的數目M之間具有2N:3N(在此N係等於或大於1之整數)的比,且該小推力移動子之長度係2τpxN(N係等於或大於1之整數)。
- 如申請專利範圍第1項具有芯部的多頭線性馬達,其中該大推力移動子於該永久磁鐵之磁極數目P及該電樞線圈的數目M之間具有4N:3N(在此N係等於或大於1之整數)的比,且當極距係藉由τp所指示時,該大推力移動子之長度係4τpxN(N係等於或大於1之整數),及該小推力移動子於該永久磁鐵之磁極數目P及該電樞 線圈的數目M之間具有2N:3N(在此N係等於或大於1之整數)的比,且該小推力移動子之長度係2τpxN(N係等於或大於1之整數)。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010204266A JP5018945B2 (ja) | 2010-09-13 | 2010-09-13 | マルチヘッド形コア付きリニアモータ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TW201230623A TW201230623A (en) | 2012-07-16 |
TWI501512B true TWI501512B (zh) | 2015-09-21 |
Family
ID=45805956
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
TW100130282A TWI501512B (zh) | 2010-09-13 | 2011-08-24 | 具有芯部的多頭線性馬達 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8674561B2 (zh) |
JP (1) | JP5018945B2 (zh) |
KR (1) | KR101473049B1 (zh) |
CN (1) | CN102403871B (zh) |
TW (1) | TWI501512B (zh) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101289094B1 (ko) * | 2011-07-29 | 2013-07-23 | 삼성전기주식회사 | 선형 모터 |
CN105743290B (zh) * | 2015-12-16 | 2019-04-09 | 北京兴华机械厂 | 一种串联分布式永磁同步电机组装配方法 |
US11303175B2 (en) | 2016-02-12 | 2022-04-12 | Asml Netherlands B.V. | Multiphase linear motor, multiphase planar motor, stage, lithographic apparatus and device manufacturing method |
CN108604853B (zh) * | 2016-02-12 | 2020-12-11 | Asml荷兰有限公司 | 多相线性电动机、多相平面电动机、平台、光刻设备和器件制造方法 |
DE102017129748A1 (de) * | 2017-12-13 | 2019-06-13 | Eurolaser Gmbh | Positionierungssystem und Materialbearbeitungsmaschine |
CN108880183B (zh) * | 2018-08-14 | 2020-03-24 | 南京航空航天大学 | 一种两段式无槽圆筒型永磁直线电机 |
EP3661033A1 (de) | 2018-11-27 | 2020-06-03 | B&R Industrial Automation GmbH | Transporteinrichtung in form eines langstatorlinearmotors |
KR20210054730A (ko) * | 2019-11-06 | 2021-05-14 | 주식회사 코베리 | 선형 전동기 및 선형 전동기를 이용한 반송 시스템 |
CN113315337B (zh) * | 2021-04-29 | 2022-08-12 | 天津中德应用技术大学 | 一种选配式双动子永磁直线电机*** |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11262237A (ja) * | 1998-03-13 | 1999-09-24 | Efutemu:Kk | 永久磁石可動形リニア直流モータ |
JP2001211630A (ja) * | 2000-01-20 | 2001-08-03 | Yaskawa Electric Corp | リニアスライダ |
US20040212255A1 (en) * | 2003-04-25 | 2004-10-28 | Chuo Yung-Tsai | Energy transform device for linear motion |
JP2008161019A (ja) * | 2006-12-26 | 2008-07-10 | Nikon Corp | リニアモ−タ装置及びこれを用いた露光装置 |
JP2009050965A (ja) * | 2007-08-27 | 2009-03-12 | Yamaha Motor Co Ltd | ロボット |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS534202B2 (zh) * | 1972-03-08 | 1978-02-15 | ||
JPS6331465A (ja) * | 1986-07-25 | 1988-02-10 | Asahi Chem Ind Co Ltd | リニア直流モ−タ |
JPH03222669A (ja) * | 1990-01-26 | 1991-10-01 | Shicoh Eng Co Ltd | 2つの可動子を持つ可動マグネット型リニアdcブラシレスモータ |
JP2976809B2 (ja) * | 1994-04-26 | 1999-11-10 | トヨタ車体株式会社 | 磁石可動型直流リニアモータ |
JP2000023449A (ja) * | 1998-07-02 | 2000-01-21 | Fukui Kikai Kk | リニアモータ |
JP4009403B2 (ja) * | 2000-03-29 | 2007-11-14 | 株式会社ソディック | モジュール化したコイル側リニアモータ |
JP2004297977A (ja) * | 2003-03-28 | 2004-10-21 | Mitsubishi Electric Corp | リニアモータ |
JP5018910B2 (ja) * | 2009-08-18 | 2012-09-05 | 株式会社安川電機 | マルチヘッド形コアレスリニアモータ |
-
2010
- 2010-09-13 JP JP2010204266A patent/JP5018945B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2011
- 2011-08-24 TW TW100130282A patent/TWI501512B/zh not_active IP Right Cessation
- 2011-09-08 KR KR1020110091408A patent/KR101473049B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2011-09-09 CN CN201110267274.3A patent/CN102403871B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2011-09-13 US US13/230,991 patent/US8674561B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11262237A (ja) * | 1998-03-13 | 1999-09-24 | Efutemu:Kk | 永久磁石可動形リニア直流モータ |
JP2001211630A (ja) * | 2000-01-20 | 2001-08-03 | Yaskawa Electric Corp | リニアスライダ |
US20040212255A1 (en) * | 2003-04-25 | 2004-10-28 | Chuo Yung-Tsai | Energy transform device for linear motion |
JP2008161019A (ja) * | 2006-12-26 | 2008-07-10 | Nikon Corp | リニアモ−タ装置及びこれを用いた露光装置 |
JP2009050965A (ja) * | 2007-08-27 | 2009-03-12 | Yamaha Motor Co Ltd | ロボット |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20120028251A (ko) | 2012-03-22 |
TW201230623A (en) | 2012-07-16 |
US8674561B2 (en) | 2014-03-18 |
JP5018945B2 (ja) | 2012-09-05 |
CN102403871A (zh) | 2012-04-04 |
KR101473049B1 (ko) | 2014-12-15 |
US20120062046A1 (en) | 2012-03-15 |
CN102403871B (zh) | 2016-04-13 |
JP2012060852A (ja) | 2012-03-22 |
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