JPH11262237A - 永久磁石可動形リニア直流モータ - Google Patents

永久磁石可動形リニア直流モータ

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JPH11262237A
JPH11262237A JP10080553A JP8055398A JPH11262237A JP H11262237 A JPH11262237 A JP H11262237A JP 10080553 A JP10080553 A JP 10080553A JP 8055398 A JP8055398 A JP 8055398A JP H11262237 A JPH11262237 A JP H11262237A
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JP
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permanent magnet
mover
stator
winding
yoke
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JP10080553A
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English (en)
Inventor
Yuichi Moriki
優一 森木
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EFUTEMU KK
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EFUTEMU KK
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 可動子の移動に伴い順次出力される位置検出
信号に基づいて、少なくとも二つの巻線に電流を流すこ
とで、ロング・ストローク化、推力変動の減少、大推力
化、小型軽量化および低価格化を共に可能とする。 【構成】 永久磁石より成る可動子と、ヨークおよび同
一の巻線仕様を有する巻線3a〜巻線3zより成る固定
子と、巻線3a〜巻線3zに固定された磁電変換素子2
1a〜磁電変換素子21zより成る位置センサ20と、
駆動回路31、巻線選択回路32および電流制御33よ
り成る制御回路とを具備し、位置センサ20からの位置
信号に基づき巻線3a〜巻線3zの少なくとも二つ巻線
に電流が供給され、可動子は、移動方向設定入力に基づ
いた方向に、電流値設定入力に基づいた推力で移動す
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、各種OA機器、各種F
A機器、各種光学機器および各種測定機器等において、
振動および推力変動を嫌う各種移動部のロング・ストロ
ークの駆動の用に供され、脈動のない推力の発生、ロン
グ・ストローク化、推力変動の減少、大推力化、小型軽
量化および低価格化を共に可能とする永久磁石可動形リ
ニア直流モータに関するものである。
【0002】
【従来の技術】一般に、リニア直流モータは、巻線を主
に構成される可動子を有するコイル可動形リニア直流モ
ータと、永久磁石を主に構成される可動子を有する永久
磁石可動形リニア直流モータとに分類され、脈動のない
推力を発生し得る唯一のリニア・モータであり、各種リ
ニア位置検出センサーを装着してサーボ制御することに
より、推力および速度の広範囲の制御と、停止位置の高
精度の制御とを可能とし、振動を嫌う負荷、推力変動を
嫌う負荷および広範囲の速度での運転を必要とする負荷
に対応し得るリニア・アクチュエータである。
【0003】従来の永久磁石可動形リニア直流モータ
は、給電線の移動を必要とせず、脈動のない推力を発生
し、優れた応答性を有する反面、ロング・ストローク
化、推力変動の減少および大推力化を困難とするもので
あった。
【0004】図14は、円筒状に構成された従来の永久
磁石可動形リニア直流モータの固定子1および可動子1
6の構造説明図であり、固定子1は、円筒状を成す第1
のヨーク4および可動子16の移動範囲に対応する範囲
に巻装された巻線3により構成され、可動子16は、N
極の極性を有する磁極面が所定の間隙を隔て固定子1の
外側円筒面に相対するように同軸円筒状に配置された円
筒状を成す永久磁石17により構成される。
【0005】可動子16は、巻線3に図示の方向に所定
の電流を流すことにより、所定の推力をもって矢印B方
向に移動し、巻線3に図示と異なる方向に所定の電流を
流すことにより、所定の推力をもて矢印A方向に移動す
る。
【0006】図15は、図14に示す従来の永久磁石可
動形リニア直流モータの制御回路のブロック図であり、
制御回路は、駆動回路31と電流制御回路33により構
成され、電流制御回路33に入力される移動方向設定入
力と電流値設定入力(推力設定入力)に基づいた所定の
方向および所定の大きさを有する電流が巻線3に供給さ
れ、可動子16は矢印A方向あるいは矢印B方向に、可
動子16の質量および可動子16に作用する推力により
定まる所定の加速度を持って移動する。
【0007】図16は、図14に示す従来の永久磁石可
動形リニア直流モータの制御回路をサーボ制御回路によ
り構成した際のブロック図である。
【0008】位置指令入力とリニア位置検出センサ22
からの位置フィードバック信号は、演算器41で偏差値
が計算され位置偏差信号として出力され、位置制御回路
35で増幅および補償処理され位置制御信号として出力
される。リニア位置検出センサ22からの位置フィード
バック信号は、微分回路36で計算され速度フィードバ
ック信号として出力される。位置制御信号と速度フィー
ドバック信号は、演算器42で偏差値が計算され速度偏
差信号として出力され、速度制御回路34で増幅および
補償処理され速度制御信号として出力される。速度制御
信号と電流センサ25からの電流フィードバック信号
は、演算器43で偏差値が計算され電流偏差信号として
出力され、電流制御回路33で増幅および補償処理され
電流制御信号として出力される。電流制御信号は、駆動
回路31で増幅および補償処理され所定の値を有する電
流として出力される。
【0009】即ち、永久磁石可動形リニア直流モータの
可動子16は、電流制御回路33で設定された推力(電
流)および速度制御回路34で設定された速度で、位置
指令入力で設定された位置に移動し、電流制御回路33
で設定された推力(電流)をもって保持される。
【0010】従来の永久磁石可動形リニア直流モータ
は、可動子16の移動に伴い推力が減少し、200[m
m]を越えるロング・ストローク化に際しては、全スト
ロークに対応する推力の発生が困難と成る欠点があり、
更に、電流の増加に伴い推力変動が増大し、電流の増加
による全ストロークに対する大推力化が困難と成る問題
点があった。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】解決しようとする問題
点は、永久磁石可動形リニア直流モータのロング・スト
ローク化、推力変動の減少、大推力化、小型軽量化およ
び低価格化を共に実現することが困難な点である。
【0012】
【課題を解決するための手段】固定子を構成する巻線
を、同一の巻線仕様を有する少なくとも三つの巻線によ
り構成し、可動子に相対する巻線を検出する位置検出セ
ンサと、位置検出センサの出力に基づいて、可動子に相
対する巻線を含めた少なくとも二つの巻線に同一の電流
を供給し、設定された推力に応じた電流を制御する制御
回路とを具備することを最も主要な特徴とし、永久磁石
可動形リニア直流モータのロング・ストローク化、推力
変動の減少、大推力化、小型軽量化および低価格化を共
に実現するという目的を可能にした。
【0013】
【実施例】図1ないし図13示す実施例に基づいて、本
発明の永久磁石可動形リニア直流モータの構造および動
作を説明する。
【0014】図1ないし図4は、本発明の永久磁石可動
形リニア直流モータの第1の実施例である。
【0015】図1は、本発明の永久磁石可動形リニア直
流モータの固定子1、第1の可動子10および位置検出
センサ20の構造説明図である。固定子1を構成する第
1の固定子構成部材2は、平板状を成す第1のヨーク4
および第1のヨーク4の第1の可動子10の移動範囲に
対応する範囲に列設して巻装され、それぞれ同一の巻線
仕様を有する巻線3aないし巻線3zにより構成され、
第1の可動子10は、N極の極性を有する磁極面が所定
の間隙を隔て固定子1に相対するように平行に配置され
た第1の永久磁石11を主に構成され、位置検出センサ
20は、第1の可動子10に所定の間隙を隔て、固定子
1に対して所定の距離を隔て固定された磁電変換素子2
1aないし磁電変換素子21zにより構成される。
【0016】巻線3aないし巻線3zの長さLcと永久
磁石11の長さLmは、等しく構成され、磁電変換素子
21aないし磁電変換素子21zは、巻線3aないし巻
線3zのそれぞれの中央部(Lm/2)の延長上に、固
定子1に対して所定の距離を隔て固定される。
【0017】図2は、位置検出センサ20を構成する磁
電変換素子21aないし磁電変換素子21zの出力に基
づいて、第1の可動子10に相対する巻線を含めた少な
くとも二つの巻線を選択し、選択された巻線にそれぞれ
同一の電流を流し、設定された推力に応じた電流を制御
する制御回路のブロック図である。
【0018】制御回路は、駆動回路31、巻線選択回路
32および電流制御回路33により構成される。移動方
向設定入力と位置検出センサ20を構成する磁電変換素
子21aないし磁電変換素子21zから出力される位置
信号は、巻線選択回路32で増幅および演算処理され、
通電すべき少なくとも二つの巻線を選択する巻線選択信
号を出力する。移動方向設定入力と電流値設定入力(推
力設定入力)は、電流制御回路33で増幅および演算処
理され、設定された推力に応じた電流を制御する電流制
御信号を出力する。巻線選択信号および電流制御信号に
より、通電すべき少なくとも二つの巻線に、それぞれ同
一の電流が駆動回路31より供給され、第1の可動子1
0は、移動方向設定入力に基づいた方向に、第1の可動
子10の質量および第1の可動子10に作用する推力に
より定まる所定の加速度を持って移動する。
【0019】図3は、位置検出センサ20を構成する磁
電変換素子21aないし磁電変換素子21zの出力に基
づいて、第1の可動子10に相対する巻線を含めた少な
くとも二つの巻線を選択し、選択された巻線を並列ある
いは直列に接続し、それぞれの巻線に同一の電流を流
し、設定された推力に応じた電流を制御する制御回路の
ブロック図である。
【0020】制御回路は、駆動回路31、巻線選択回路
32および電流制御回路33により構成される。移動方
向設定入力と磁電変換素子21aないし磁電変換素子2
1zから出力される位置信号は、巻線選択回路32で増
幅および演算処理され、巻線選択回路32を構成するス
イッチング回路により少なくとも二つの巻線を並列ある
いは直列に接続する。移動方向設定入力と電流値設定入
力(推力設定入力)は、電流制御回路33で増幅および
演算処理され、設定された推力に応じた電流を制御する
電流制御信号を出力する。電流制御信号により駆動回路
31が動作し、巻線選択回路32で並列に接続された少
なくとも二つの巻線に電流が供給され、第1の可動子1
0は、移動方向設定入力に基づいた方向に、第1の可動
子10の質量および第1の可動子10に作用する推力に
より定まる所定の加速度を持って移動する。
【0021】巻線選択回路32で並列あるいは直列に接
続される少なくとも二つの巻線は、接続される巻線の長
さ(Lc×n)、接続される巻線の起磁力、第1の永久
磁石の長さLmあるいは第1の永久磁石11の起磁力等
の条件により、それらの値が大きく、推力変動の増加が
顕著な際には、推力変動の減少を目的として巻線は並列
に接続され、推力変動を起こさない範囲の値を有する際
には、巻線は直列に接続される。更に、接続される巻線
の電気抵抗値および巻線に電力を供給する電源等の状況
により、個々の巻線に流れる電流の値が同一である条件
に基づき、巻線は自由に接続される。
【0022】図4は、図2に示す制御回路を構成する駆
動回路31により三つの巻線に電流を供給する際、ある
いは図3に示す制御回路を構成する巻線選択回路32に
より三つの巻線を並列あるいは直列に接続し、駆動回路
31より電流を供給する際の動作説明図である。
【0023】第1の永久磁石11が位置Aに位置した
際、即ち、第1の可動子10が矢印A方向の端部に位置
した際、磁電変換素子21aからの位置信号と移動方向
設定入力とに基づいて、巻線3a、巻線3bおよび巻線
3cに図示の方向に電流が供給され第1の永久磁石11
は所定の推力で矢印の方向に移動する。第1の永久磁石
11が位置Bに移動した際、磁電変換素子21bからの
位置信号に基づいて、巻線3b、巻線3cおよび巻線3
dに図示の方向に電流が供給され第1の永久磁石11は
所定の推力で矢印の方向に移動する。
【0024】同様に、第1の永久磁石11の移動に伴い
磁電変換素子21cないし磁電変換素子21xから順次
出力される位置信号に基づいて、常に三つの巻線に図示
の方向に電流が供給され、第1の永久磁石11は所定の
推力で矢印の方向に移動し、磁電変換素子21zからの
位置信号に基づいて全ストロークの移動を終了する。磁
電変換素子21aないし磁電変換素子21zから順次出
力される位置信号に基づいて、常に三つの巻線に図示と
異なる方向に電流を供給することにより、第1の永久磁
石11は所定の推力で矢印と異なる方向に移動し、磁電
変換素子21aからの位置信号に基づいて全ストローク
の移動を終了する。
【0025】図1に示す実施例において、固定子1を構
成する巻線を、それぞれ同一の巻線仕様を有する三つの
巻線(巻線3a、巻線3bおよび巻線3c)により構成
し、磁電変換素子21a、磁電変換素子21bおよび磁
電変換素子21cにより構成される位置検出センサ20
の出力に基づいて、二つの巻線に同一の電流を流した際
の第1の可動子10の動作を図4に示す動作説明図に基
づき説明する。
【0026】第1の永久磁石11が位置Aに位置した
際、即ち、第1の可動子10が矢印A方向の端部に位置
した際、磁電変換素子21aからの位置信号と移動方向
設定入力とに基づいて、巻線3aおよび巻線3bに図示
の方向に電流が供給され第1の永久磁石11は所定の推
力で矢印の方向に移動する。第1の永久磁石11が位置
Bに移動した際、磁電変換素子21bからの位置信号に
基づいて、巻線3bおよび巻線3cに図示の方向に電流
が供給され第1の永久磁石11は所定の推力で矢印の方
向に移動する。磁電変換素子21cからの位置信号に基
づいて全ストロークの移動を終了する。第1の永久磁石
11が位置Cに位置した際、磁電変換素子21cからの
位置信号と移動方向設定入力とに基づいて、巻線3bお
よび巻線3cに図示と異なる方向に電流が供給され第1
の永久磁石11は所定の推力で矢印と異なる方向に移動
し、磁電変換素子21aからの位置信号に基づいて全ス
トロークの移動を終了する。
【0027】巻線3aおよび巻線3bに流れる電流を、
巻線3bおよび巻線3cに流す際、あるいは巻線3bお
よび巻線3cに流れる電流を、巻線3aおよび巻線3b
に流す際、推力変動を無くす目的をもって、第1の永久
磁石11の可動子の移動方向の長さLmは、巻線3aな
いし巻線3cの可動子の移動方向の長さLcより短く構
成される。
【0028】図5ないし図6は、本発明の永久磁石可動
形リニア直流モータの第2の実施例である。
【0029】図5は、本発明の永久磁石可動形リニア直
流モータの固定子1、第1の可動子10およびリニア位
置検出センサ22の構造説明図である。固定子1を構成
する第1の固定子構成部材2は、円筒状を成す第1のヨ
ーク4および第1のヨーク4の第1の可動子10の移動
範囲に対応する範囲に列設して巻装され、それぞれ同一
の巻線仕様を有する巻線3aないし巻線3zにより構成
され、第1の可動子10は、所定の極性を有する磁極面
が所定の間隙を隔て固定子1に相対するように同軸円筒
状に配置された円筒状を成す第1の永久磁石11と、第
1の永久磁石11の他の極性を有する磁極面に同軸円筒
状に固着された円筒状を成す第3のヨーク12とを主に
構成され、第1の永久磁石11の可動子の移動方向の長
さLmは、巻線3aないし巻線3zの可動子の移動方向
の長さLcより長く構成される。リニア位置検出センサ
22は、第1の可動子10に所定の間隙を隔て、固定子
1に対して所定の距離を隔て固定されたスケール部材2
3と、第1の可動子10に固定された検出部材24とに
より構成される。
【0030】リニア位置検出センサ22は、抵抗体を主
に構成されたスケール部材23に、刷子により構成され
た検出部材24を摺動させ、検出部の位置の変化を連続
した抵抗値あるいは電圧値の変化として出力するリニア
・ポッテンショメータにより構成される。
【0031】図6は、リニア位置検出センサ22からの
出力に基づいて、第1の可動子10に相対する巻線を含
めた少なくとも二つの巻線を選択し、選択された巻線に
同一の電流を流し、リニア位置検出センサ22からの位
置フィードバック信号と電流センサ25からの電流フィ
ードバック信号に応じた電流を制御するサーボ制御回路
のブロック図である。
【0032】位置指令入力とリニア位置検出センサ22
からの位置フィードバック信号は、演算器41で偏差値
が計算され位置偏差信号として出力され、位置制御回路
35で増幅および補償処理され位置制御信号として出力
される。リニア位置検出センサ22からの位置フィード
バック信号は、微分回路36で計算され速度フィードバ
ック信号として出力される。位置制御信号と速度フィー
ドバック信号は、演算器42で偏差値が計算され速度偏
差信号として出力され、速度制御回路34で増幅および
補償処理され速度制御信号として出力される。速度制御
信号と電流センサ25からの電流フィードバック信号
は、演算器43で偏差値が計算され電流偏差信号として
出力され、電流制御回路33で増幅および補償処理され
電流制御信号として出力される。リニア位置検出センサ
22からの位置フィードバック信号は、巻線選択回路3
2により増幅および演算処理され、通電すべき少なくと
も二つの巻線を選択する巻線選択信号としてを出力され
る。
【0033】巻線選択信号と電流制御信号により、通電
すべき少なくとも二つの巻線に、それぞれ同一の電流が
駆動回路31より供給され、第1の可動子10は、位置
指令入力に基づいた方向に、電流制御回路33で設定さ
れた推力(電流)および速度制御回路34で設定された
速度でもって、位置指令入力で設定された位置に移動
し、電流制御回路33で設定された推力(電流)をもっ
て保持される。
【0034】図7は、本発明の永久磁石可動形リニア直
流モータの第3の実施例であり、固定子1および第1の
可動子10の構造説明図である。固定子1を構成する第
1の固定子構成部材2は、円筒状を成す第1のヨーク4
および第1のヨーク4の第1の可動子10の移動範囲に
対応する範囲に列設して巻装され、それぞれ同一の巻線
仕様を有する巻線31 ないし巻線3nにより構成され
る。第1の可動子10は、所定の極性を有する磁極面が
所定の間隙を隔て固定子1に相対するように、同軸円筒
状に配置された円筒状を成す第1の永久磁石11により
構成される。
【0035】図8は、本発明の永久磁石可動形リニア直
流モータの第4の実施例であり、固定子1および第1の
可動子10の構造説明図である。固定子1を構成する第
1の固定子構成部材2は、平板状を成す第1のヨーク4
および第1のヨーク4の第1の可動子10の移動範囲に
対応する範囲に列設して巻装され、それぞれ同一の巻線
仕様を有する巻線31 ないし巻線3nにより構成され
る。第1の可動子10は、所定の極性を有する磁極面が
所定の間隙を隔て固定子1に相対するように、平行に配
置された第1の永久磁石11と、第1の永久磁石11の
他の極性を有する磁極面に装着された平板状を成す第3
のヨーク12とにより構成される。
【0036】図9は、本発明の永久磁石可動形リニア直
流モータの第5の実施例であり、固定子1および第1の
可動子10の構造説明図である。固定子1を構成する第
1の固定子構成部材2は、平板状を成す第1のヨーク4
および第1のヨーク4の第1の可動子10の移動範囲に
対応する範囲に列設して巻装され、それぞれ同一の巻線
仕様を有する巻線31 ないし巻線3nにより構成され
る。第1の可動子10は、それぞれ同一の極性を有する
磁極面が所定の間隙を隔て固定子1に相対するように、
平行に配置された永久磁石11aおよび永久磁石11b
と、第1の永久磁石11aおよび第1の永久磁石11b
の他の極性を有する磁極面にそれぞれ装着された平板状
を成す第3のヨーク12aおよび第3のヨーク12bと
により構成される。
【0037】図10は、本発明の永久磁石可動形リニア
直流モータの第6の実施例であり、固定子1および第1
の可動子10の構造説明図である。固定子1は、第1の
固定子構成部材2および第2の固定子構成部材5により
構成され、第1の固定子構成部材2は、円筒状を成す第
1のヨーク4および第1のヨーク4の第1の可動子10
の移動範囲に対応する範囲に列設して巻装され、それぞ
れ同一の巻線仕様を有する巻線31 ないし巻線3nによ
り構成され、第2の固定子構成部材5は、第1の固定子
構成部材2に対して所定の距離を隔て同軸円筒状に配置
された円筒状を成す第2のヨーク7により構成される。
第1の可動子10は、所定の極性を有する磁極面が所定
の間隙を隔て第1の固定子構成部材2に相対し、他の極
性を有する磁極面が所定の間隙を隔て第2の固定子構成
部材5に相対するように、第1の固定子構成部材2の外
側円筒面と第2の固定子構成部材5の内側円筒面とが構
成する空間内に同軸円筒状に配置された円筒状を成す第
1の永久磁石11により構成される。
【0038】図11は、本発明の永久磁石可動形リニア
直流モータの第7の実施例であり、固定子1および第1
の可動子10の構造説明図である。固定子1は、第1の
固定子構成部材2および第2の固定子構成部材5により
構成され、第1の固定子構成部材2は、平板状を成す第
1のヨーク4および第1のヨーク4の第1の可動子10
の移動範囲に対応する範囲に列設して巻装され、それぞ
れ同一の巻線仕様を有する巻線31 ないし巻線3nによ
り構成され、第2の固定子構成部材5は、第1の固定子
構成部材2に対して所定の距離を隔て配置された平板状
を成す第2のヨーク7により構成される。第1の可動子
10は、所定の極性を有する磁極面が所定の間隙を隔て
第1の固定子構成部材2に相対し、他の極性を有する磁
極面が所定の間隙を隔て第2の固定子構成部材5に相対
するように、第1の固定子構成部材2および第2の固定
子構成部材5の、それぞれの相対面が構成する空間内に
配置された平板状を成す第1の永久磁石11により構成
される。
【0039】図12は、本発明の永久磁石可動形リニア
直流モータの第8の実施例であり、固定子1および第1
の可動子10の構造説明図である。固定子1は、第1の
固定子構成部材2および第2の固定子構成部材5により
構成され、第1の固定子構成部材2は、平板状を成す第
1のヨーク4および第1のヨーク4の第1の可動子10
の移動範囲に対応する範囲に列設して巻装され、それぞ
れ同一の巻線仕様を有する巻線31 ないし巻線3nによ
り構成され、第2の固定子構成部材5は、第1の固定子
構成部材2に対して所定の距離を隔て配置された平板状
を成す第2のヨーク7および第2のヨーク7の第1の可
動子10の移動範囲に対応する範囲に列設して巻装さ
れ、それぞれ巻線31 ないし巻線3nと同一の巻線仕様
を有する巻線61 ないし巻線6nによりにより構成され
る。第1の可動子10は、所定の極性を有する磁極面が
所定の間隙を隔て第1の固定子構成部材2に相対し、他
の極性を有する磁極面が所定の間隙を隔て第2の固定子
構成部材5に相対するように、第1の固定子構成部材2
および第2の固定子構成部材5の、それぞれの相対面が
構成する空間内に配置された平板状を成す第1の永久磁
石11により構成される。
【0040】図13は、本発明の永久磁石可動形リニア
直流モータの第9の実施例であり、固定子1、第1の可
動子10および第2の可動子13の構造説明図である。
固定子1を構成する第1の固定子構成部材2は、円筒状
を成す第1のヨーク4と、第1のヨーク4の第1の可動
子10および第2の可動子13の移動範囲に対応する範
囲に列設して巻装され、それぞれ同一の巻線仕様を有す
る巻線31 ないし巻線3nとにより構成される。第1の
可動子10は、所定の極性を有する磁極面が所定の間隙
を隔て固定子1に相対するように、同軸円筒状に配置さ
れた円筒状を成す第1の永久磁石11と、第1の永久磁
石11の他の極性を有する磁極面に同軸円筒状に固着さ
れた円筒状を成す第3のヨーク12とにより構成され、
第1永久磁石11の可動子の移動方向の長さLmaは、
巻線31 ないし巻線3nの可動子11の移動方向の長さ
Lcより長く構成される。第2の可動子13は、所定の
極性を有する磁極面が所定の間隙を隔て固定子1に相対
するように、同軸円筒状に配置された円筒状を成す第2
の永久磁石14と、第2の永久磁石14の他の極性を有
する磁極面に同軸円筒状に固着された円筒状を成す第3
のヨーク15とにより構成され、第2の永久磁石14の
可動子の移動方向の長さLmbは、巻線31ないし巻線
3nの可動子11の移動方向の長さLcと同一に構成さ
れる。
【0041】一般に、本発明の永久磁石可動形リニア直
流モータは、使用状況に応じた数の可動子の装着が可能
であり、可動子の移動方向の長さは、それぞれの可動子
の必要とする推力に応じた長さに設定され、それぞれの
可動子は、個々に設けられた制御回路あるいはサーボ制
御回路により任意に制御することが可能である。
【0042】図1、図8、図9、図11および図12に
示す平板状に構成された本発明の永久磁石可動形リニア
直流モータの実施例は、固定子の薄型化を目的としたも
のであり、図8および図9に示す実施例は、固定子の小
型軽量化を可能とし、図1、図11および図12に示す
実施例は、可動子の小型軽量化および応答性の向上を可
能とする。
【0043】図5、図7および図10に示す円筒状を成
す本発明の永久磁石可動形リニア直流モータの実施例
は、固定子と可動子との間に作用する吸引力の減少、可
動子を保持する軸受機構の簡略化、組立の簡略化および
低価格化を目的としたものであり、図7および図10に
示す実施例は、可動子の小型軽量化および応答性の向上
を可能とし、図5に示す実施例は、固定子の小型軽量化
を可能とする。
【0044】図8に示す実施例は、図1に示す実施例の
ロング・ストローク化、大推力化および漏洩磁束の減少
を可能とし、図9に示す実施例は、図8に示す実施例の
2倍の推力の発生、固定子と可動子との間に作用する吸
引力の減少、可動子を保持する軸受機構の簡略化、組立
の簡略化および低価格化を可能とし、図11に示す実施
例は、図8に示す実施例のロング・ストローク化、大推
力化および漏洩磁束の減少を可能とし、図12に示す実
施例は、図11に示す実施例の2倍の推力の発生および
小型軽量化を可能とする。
【0045】図5に示す実施例は、図7に示す実施例の
ロング・ストローク化、大推力化および漏洩磁束の減少
を可能とし、図10に示す実施例は、図7に示す実施例
の2倍の推力の発生および図5に示す実施例のロング・
ストローク化、大推力化および漏洩磁束の減少を可能と
する。
【0046】前述のように、従来の永久磁石可動形リニ
ア直流モータは、脈動の無い推力を発生し得る唯一のリ
ニア・モータであり、推力変動の少ない推力の発生、可
動子の小型軽量化および低価格化を可能とし、優れた応
答性および簡単な構造を有し、各種リニア位置検出セン
サーを装着してサーボ制御することにより、推力および
速度の広範囲の制御と停止位置の高精度の制御を可能と
する反面、ロング・ストローク化、大推力化および推力
変動の減少を困難とするものであった。
【0047】本発明の永久磁石可動形リニア直流モータ
によれば、ロング・ストローク化、大推力化および推力
変動の減少が可能と成り、広範囲の速度制御および高精
度の停止制御を目的としたX−YステージおよびX−Y
−Zステージへの搭載、解像度の向上および大用紙サイ
ズ化を目的とした各種印刷装置、各種スキャナ装置等へ
の搭載、画質の向上、高速化および大原稿化を目的とし
た各種複写機への搭載が可能と成る。更に、振動を伴わ
ない推力の発生に伴い、光学系の測定器、各種液体の定
量送り装置、半導体製造装置等の直線運動を必要とする
用途にも適用が可能である。
【0048】本発明の永久磁石可動形リニア直流モータ
のロング・ストローク化および大推力化は、固定子の機
械的強度、固定子組立、可動子組立および価格等の制約
が許される範囲で可能と成る。
【0049】本発明の永久磁石可動形リニア直流モータ
の第1の可動子10を構成する第1の永久磁石および第
2の可動子13を構成する第2の永久磁石14は、所定
の体積を越えた際に、永久磁石の製造および着磁の簡略
化と、永久磁石可動形リニア直流モータの組立の簡略化
とを目的として、複数の永久磁石を積層あるいは列設し
て構成され、必要に応じて磁性材料を介在させ構成され
る。
【0050】本発明の永久磁石可動形リニア直流モータ
において、第1のヨーク4、第2のヨーク7および第3
のヨーク12、15は、電磁軟鉄、構造用圧延鋼あるい
は炭素鋼等の優れた磁気特性を有する金属により構成さ
れ、使用目的によっては、熱処理により磁気特性の向上
が図られる。巻線3aないし巻線3z、巻線31 ないし
巻線3nおよび巻線61 ないし巻線6nは、巻枠にに所
定の径を有する素線を所定数巻いて構成されるが、低価
格化および小型軽量化を図る際には自己融着線により構
成され巻枠が不要と成る。
【0051】
【発明の効果】以上説明したように本発明の永久磁石可
動形リニア直流モータは、従来の永久磁石可動形リニア
直流モータの推力変動の減少、大推力化およびロング・
ストローク化を可能とするものであり、推力変動の減少
および大推力化に伴い、小型軽量化および低価格化を可
能とするものである。即ち、推力変動の減少、大推力
化、ロング・ストローク化、小型軽量化および低価格化
を共に可能とするものであり、更に、推力のリニア領域
(推力変動の無い領域)の拡大を可能とするものであ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例の構造説明図である。
【図2】本発明の制御回路のブロック図である。
【図3】本発明の制御回路のブロック図である。
【図4】本発明の動作説明図である。
【図5】本発明の第2の実施例の構造説明図である。
【図6】本発明のサーボ制御回路のブロック図である。
【図7】本発明の第3の実施例の構造説明図である。
【図8】本発明の第4の実施例の構造説明図である。
【図9】本発明の第5の実施例の構造説明図である。
【図10】本発明の第6の実施例の構造説明図である。
【図11】本発明の第7の実施例の構造説明図である。
【図12】本発明の第8の実施例の構造説明図である。
【図13】本発明の第9の実施例の構造説明図である。
【図14】従来の永久磁石可動形リニア直流モータの構
造説明図である。
【図15】従来の永久磁石可動形リニア直流モータの制
御回路のブロック図である。
【図16】従来の永久磁石可動形リニア直流モータのサ
ーボ制御回路のブロック図である。
【符号の説明】
1 固定子 2 第1の固定子構成部材 3 巻線 3a〜3z 巻線 31 〜3n 巻線 4 第1のヨーク 5 第2の固定子構成部材 61 〜6n 巻線 7 第2のヨーク 10 第1の可動子 11 第1の永久磁石 11a〜11b 第1の永久磁石 12 第3のヨーク 12a〜12b 第3のヨーク 13 第2の可動子 14 第2の永久磁石 15 第3のヨーク 16 可動子 17 永久磁石 20 位置検出センサ 21a〜21z 磁電変換素子 22 リニア位置検出センサ 23 スケール部材 24 検出部材 25 電流センサ 31 駆動回路 32 巻線選択回路 33 電流制御回路 34 速度制御回路 35 位置制御回路 36 微分回路 41 演算回路 42 演算回路 43 演算回路

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 第1のヨークおよび第1のヨークの可動
    子の移動範囲に対応する範囲に列設して巻装され、それ
    ぞれ同一の巻線仕様を有する少なくとも三つの巻線より
    成る第1の固定子構成部材を主に構成される固定子と、 所定の極性を有する磁極面が所定の間隙を隔て固定子に
    相対するように配置された永久磁石を主に構成される可
    動子と、 固定子を構成する少なくとも三つの巻線に対して、それ
    ぞれ固定された磁電変換素子により構成される位置検出
    センサと、 位置検出センサの出力に基づいて、可動子に相対する巻
    線を含めた少なくとも二つの巻線を選択し、選択された
    巻線に同一の電流を流し、設定された推力に応じた電流
    を制御する制御回路とを具備することを特徴とする永久
    磁石可動形リニア直流モータ。
  2. 【請求項2】 請求項1の位置検出センサを、可動子の
    移動範囲に対応した検出範囲を有し、固定子に対して固
    定されたスケール部材と、可動子に装着された検出部材
    より成るリニア位置検出センサとにより構成し、 請求項1の制御回路を、サーボ制御回路により構成する
    ことを特徴とする請求項1の永久磁石可動形リニア直流
    モータ。
  3. 【請求項3】 請求項1あるいは請求項2の可動子を複
    数具備することを特徴とする請求項1あるいは請求項2
    の永久磁石可動形リニア直流モータ。
  4. 【請求項4】 請求項1、請求項2あるいは請求項3の
    可動子を構成する永久磁石の固定子に相対する磁極面と
    異なる極性を有する磁極面に、第3のヨークを固着する
    ことを特徴とする請求項1、請求項2あるいは請求項3
    の永久磁石可動形リニア直流モータ。
  5. 【請求項5】 請求項1、請求項2あるいは請求項3の
    固定子を、第1のヨークおよび第1のヨークの可動子の
    移動範囲に対応する範囲に列設して巻装され、それぞれ
    同一の巻線仕様を有する少なくとも三つの巻線より成る
    第1の固定子構成部材と、 第1の固定子構成部材に所定の距離を隔て平行に配置さ
    れた第2のヨークより成る第2の固定子構成部材とによ
    り構成することを特徴とする請求項1、請求項2あるい
    は請求項3の永久磁石可動形リニア直流モータ。
  6. 【請求項6】 請求項1、請求項2あるいは請求項3の
    固定子を、第1のヨークおよび第1のヨークの可動子の
    移動範囲に対応する範囲に列設して巻装され、それぞれ
    同一の巻線仕様を有する少なくとも三つの巻線より成る
    第1の固定子構成部材と、 第1の固定子構成部材に所定の距離を隔て平行に配置さ
    れた第2のヨークおよび第2のヨークの可動子の移動範
    囲に対応する範囲に列設して巻装され、それぞれ第1の
    構成部材を構成する巻線と同一の巻線仕様を有する少な
    くとも三つの巻線より成る第2の固定子構成部材とによ
    り構成することを特徴とする請求項1、請求項2あるい
    は請求項3の永久磁石可動形リニア直流モータ。
  7. 【請求項7】 請求項1、請求項2、請求項3、請求項
    4あるいは請求項5の第1の固定子構成部材を構成する
    巻線のそれぞれの長さ(可動子の移動方向の長さ)を、
    可動子を構成する永久磁石の長さ(可動子の移動方向の
    長さ)と等しく構成することを特徴とする請求項1、請
    求項2、請求項3、請求項4あるいは請求項5の永久磁
    石可動形リニア直流モータ。
  8. 【請求項8】 請求項6の第1の固定子構成部材を構成
    する巻線のそれぞれの長さ(可動子の移動方向の長さ)
    と、請求項6の第2の固定子構成部材を構成する巻線の
    それぞれの長さ(可動子の移動方向の長さ)とを、可動
    子を構成する永久磁石の長さ(可動子の移動方向の長
    さ)と等しく構成することを特徴とする請求項6の永久
    磁石可動形リニア直流モータ。
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