TWI460111B - 防塵薄膜組件收納方法 - Google Patents

防塵薄膜組件收納方法 Download PDF

Info

Publication number
TWI460111B
TWI460111B TW101110675A TW101110675A TWI460111B TW I460111 B TWI460111 B TW I460111B TW 101110675 A TW101110675 A TW 101110675A TW 101110675 A TW101110675 A TW 101110675A TW I460111 B TWI460111 B TW I460111B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
bag
pellicle
container
antistatic
clean room
Prior art date
Application number
TW101110675A
Other languages
English (en)
Other versions
TW201309565A (zh
Inventor
Yoshihiko Nagata
Original Assignee
Shinetsu Chemical Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shinetsu Chemical Co filed Critical Shinetsu Chemical Co
Publication of TW201309565A publication Critical patent/TW201309565A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI460111B publication Critical patent/TWI460111B/zh

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
    • G03F1/62—Pellicles, e.g. pellicle assemblies, e.g. having membrane on support frame; Preparation thereof
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
    • G03F1/66—Containers specially adapted for masks, mask blanks or pellicles; Preparation thereof

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Packaging Frangible Articles (AREA)
  • Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)

Description

防塵薄膜組件收納方法
本發明是有關於一種對無塵室內所製造的產品(特別是防塵薄膜組件)進行收納的防塵薄膜組件收納方法。
在無塵室內製造的光微影(lithography)用防塵薄膜組件是在專用的容器中被收納後，再收納在樹脂製的袋中。為了防止防塵薄膜組件容器(箱)或防塵薄膜組件帶有靜電，一般該袋使用抗靜電類型的袋。
於抗靜電類型的袋的情形時，為了讓袋具有導電性，要將抗靜電劑摻入，或在表面上蒸鍍金屬薄膜，這些都成為灰塵發生的原因，防塵薄膜組件容器的輸送狀態或環境使袋中所收納的防塵薄膜組件容器被污染，或者，將防塵薄膜組件容器從袋中拿出且打開蓋時，防塵薄膜組件容器的蓋等上所附著的抗靜電劑等，會使在袋內部收納的防塵薄膜組件被污染。
鑒於以上的情況，本發明的課題是提供一種即使在保管、輸送及開封時，也灰塵發生少且在袋中收納的產品，特別是提供一種不污染在防塵薄膜組件容器的內部所收納的防塵薄膜組件的防塵薄膜組件收納方法。
本發明是用以解決這樣的課題的發明，本發明的防塵薄膜組件收納方法的特徵在於：將收納防塵薄膜組件的容器放入清潔規格的第一袋中，且將其開口密封，接著將其 放入具有抗靜電功能的第二袋，且將其開口密封，進一步放入具有抗靜電功能的第三袋，且進行密封。
上述第一袋是在至少清潔度1000以下的無塵室內製造且進行清潔度管理的產品，上述第二袋及上述第三袋至少具有9.9×1011 Ω/cm2 以下的表面電阻，從而具有抗靜電特性。並且，上述密封的操作為在清潔度為1以上的無塵室內進行。
根據本發明，最內側的第一袋使用清潔袋，第二袋、第三袋使用抗靜電類型的袋，藉此，可以防止收納產品(防塵薄膜組件)的容器以及產品上附著異物，並且可以將靜電保持為最小限度至將容器從袋中取出為止，從而防止產品的污染。
本發明是有關於在無塵室內，將收納防塵薄膜組件的防塵薄膜組件容器收納於袋中的防塵薄膜組件收納方法，其基本在於：其是將收納防塵薄膜組件的防塵薄膜組件容器，從內側算起，以非抗靜電的清潔袋、抗靜電袋以及抗靜電袋的順序進行3重收納、包裝。藉由使防塵薄膜組件容器不與加入抗靜電劑的袋直接接觸，從而防止防塵薄膜組件容器以及內部所收納的防塵薄膜組件的污染，同時藉由最內側的清潔袋來防止由於袋的靜電而產生的靜電危害。
以下，使用圖對本發明來進行進一步詳細說明。
圖1中，將防塵薄膜組件1收納於其內部的防塵薄膜 組件容器2，收納於清潔規格的第一袋3，接著收納於其外側具有抗靜電功能的第二袋4，進一步收納於其外側具有抗靜電功能的第三袋5。
關於本發明中使用的袋的尺寸，只要為可以收納防塵薄膜組件的收納容器(箱)，並且外側的袋可以收納內部所收納的袋的尺寸，則沒有特別的限制。關於厚度，對各袋的開口進行密封時，例如，由熱封進行密封時，較佳的是要不軟化過度而破損以及斷裂的某種程度的厚度。相反地，若具有難以熔融的程度的厚度，則密封無法充分進行，所以，厚度較佳的是50μm~200μm。
袋的材質沒有特別限制，最內側的與防塵薄膜組件容器接觸的袋(第一袋)，較佳的是使用僅包含聚乙烯、尼龍、聚丙烯、聚酯等的樹脂，或者使用將該些樹脂適當地積層而成者。第一袋直接與收納產品的容器相接觸，因此必須使用清潔規格的袋，需要在清潔度1000以下的無塵室內製造且進行清潔度管理者。
該第一袋被第二袋收納。關於該第二袋，與第一袋同樣地包含聚乙烯、尼龍、聚丙烯、聚酯等的樹脂，可以列舉於這些樹脂上進行金屬薄膜蒸鍍而成者，或添加抗靜電劑而成者，進一步可以列舉於積層有上述樹脂而成者上賦予抗靜電功能之物而成者等。作為抗靜電性能，具有一般使用的程度的抗靜電性能即可，但是理想的是具有作為抗靜電袋一般的性能的至少9.9×1011 Ω/cm2 以下的表面電阻。
裝入該第二袋的防塵薄膜組件容器，進一步在第三袋 進行收納。該第三袋，是與外部直接接觸，所以在快要運入無塵室內時才開封，這是為了不讓外部的髒污被帶入無塵室內。
因此，根據所運入的無塵室的清潔度，該第三袋也可以裝入第四袋，再裝入第五袋等，可以進一步增加收納袋。
第三袋的材質與第二袋同樣地包含聚乙烯、尼龍、聚丙烯、聚酯等的樹脂，可以列舉於這些樹脂上進行蒸鍍金屬薄膜而成者或添加抗靜電劑而成者，進一步可以列舉於積層有上述樹脂而成者上賦予抗靜電功能而成者等。
第四袋以上的袋亦相同。
〔實例〕
以下，對實例進行描述。另外，以下的實例、參考例以及比較例中使用的清潔規格的袋為在清潔度1000以下的無塵室內製造洗浄而成的聚乙烯製的袋，抗靜電袋為使用於聚乙烯中添加抗靜電劑而具有抗靜電功能(至少為9.9×1011 Ω/cm2 以下的表面電阻的抗靜電特性)的聚乙烯製的袋。
〔實例1〕
首先，在厚度為70μm的清潔規格的第一袋，將收納有防塵薄膜組件的防塵薄膜組件容器放入袋的最底部，將袋的口用熱封進行密封。接著，將收納有防塵薄膜組件容器的第一袋放入厚度70μm的抗靜電袋的第二袋中，將袋的口用熱封進行密封。
最後，將該第二袋放入厚度為100μm的抗靜電袋的 第三袋，將袋的口用熱封進行密封。再將第三袋放入具有緩衝材料的瓦楞紙箱中，密封而置於振動試驗機，以10Hz、上下方向為1G的加速度進行24小時的振動。
接著，將進行了上述步驟之物運入無塵室內開封，結果第二袋、第三袋的表面漏出有白色而被認為是抗靜電劑之物。該物亦附著於第一袋表面上，但是在其中的容器表面是清潔的，在無塵室內的暗室，用30萬勒克司的集光燈進行檢査，沒有發現附著異物等。
另外，將收納容器打開，對產品(防塵薄膜組件)用上述方法進行了檢査，產品表面也沒有附著物。
〔參考例1、參考例2〕
參考例1中，第一袋、第二袋使用厚度為70μm的清潔規格的袋，第三袋使用厚度為100μm的抗靜電袋。參考例2中，第一袋、第二袋、第三袋均使用厚度為70μm的清潔規格的袋。除此以外，與實施例1同樣地將袋的口熱封，進行24小時的振動試驗後，在無塵室內開封，打開收納容器，將產品(防塵薄膜組件)取出，在無塵室內的暗室用30萬勒克司的集光燈進行檢査，結果於各個產品上均發現異物的増加。將該結果與實施例1的結果一起匯整於表1。
〔參考例3~參考例5〕
第一袋使用厚度為70μm的抗靜電袋，第二袋、第三袋除了將抗靜電袋或清潔袋進行適宜地組合而使用以外，以與實例1相同的構成進行試驗(參照表1)。將進行了試 驗之物運入無塵室內開封，結果第一袋、第二袋、第三袋的各表面均漏出有白色而被認為是抗靜電劑之物。
進一步，在容器表面確認到有白色粉狀物附著。在無塵室內的暗室用30萬勒克司的集光燈進行檢査，容器表面具有白色的粉狀的附著物。另外，打開收納容器，將產品用上述方法檢査，具有附著異物，藉由顯微IR分光分析而確認到該附著物與第一袋含有的抗靜電劑為相同的成分。將該結果匯整示於表1。
〔比較例1〕
此為僅使用往常所用的抗靜電袋的例子，將收納防塵薄膜組件的防塵薄膜組件容器放入厚度為100μm的抗靜電袋，將袋的口用熱封進行密封後，與實例1同樣地進行24小時的振動試驗後，在無塵室內開封，打開收納容器，將產品(防塵薄膜組件)取出，在無塵室內的暗室用30萬勒克司的集光燈進行檢査，結果確認到產品上異物的増加。將該結果與上述實例、參考例的結果一起示於表1。
1‧‧‧防塵薄膜組件
2‧‧‧防塵薄膜組件容器
3‧‧‧第一袋
4‧‧‧第二袋
5‧‧‧第三袋
圖1是表示本發明的防塵薄膜組件的收納方法的模式的實施方式的概略說明圖。
1‧‧‧防塵薄膜組件
2‧‧‧防塵薄膜組件容器
3‧‧‧第一袋
4‧‧‧第二袋
5‧‧‧第三袋

Claims (4)

  1. 一種防塵薄膜組件收納方法，具有：將收納防塵薄膜組件的容器放入清潔規格的第一袋，且將其開口密封的第一步驟；接著將其放入具有抗靜電功能的第二袋，且將其開口密封的第二步驟，其特徵在於：所述第二步驟至少進行兩次，最後將最外層的袋進行密封。
  2. 如申請專利範圍第1項所述的防塵薄膜組件收納方法，其中所述第一袋是在至少清潔度1000以下的無塵室內製造且進行清潔度管理。
  3. 如申請專利範圍第1項所述的防塵薄膜組件收納方法，其中所述第二袋及所述第三袋至少有9.9×1011 Ω/cm2 以下的表面電阻，從而具有抗靜電特性。
  4. 如申請專利範圍第1項所述的防塵薄膜組件收納方法，其中所述密封的操作為在清潔度為1以上的無塵室內進行。
TW101110675A 2011-03-29 2012-03-28 防塵薄膜組件收納方法 TWI460111B (zh)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011071582A JP5349519B2 (ja) 2011-03-29 2011-03-29 ペリクル収納方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW201309565A TW201309565A (zh) 2013-03-01
TWI460111B true TWI460111B (zh) 2014-11-11

Family

ID=46925417

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW101110675A TWI460111B (zh) 2011-03-29 2012-03-28 防塵薄膜組件收納方法

Country Status (5)

Country Link
US (1) US20120247069A1 (zh)
JP (1) JP5349519B2 (zh)
KR (1) KR20120112002A (zh)
CN (1) CN102736403A (zh)
TW (1) TWI460111B (zh)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR3025450B1 (fr) * 2014-09-08 2016-12-23 Thales Sa Unite de reparation pour nacelle
JP6494111B2 (ja) * 2015-11-09 2019-04-03 信越化学工業株式会社 ペリクル収納容器の包装構造体及びその包装方法
JP2020019520A (ja) * 2018-07-31 2020-02-06 住友電気工業株式会社 炭化珪素基板の包装構造

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW464792B (en) * 2000-09-29 2001-11-21 United Microelectronics Corp A structure of optical mask

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01149646A (ja) * 1987-12-07 1989-06-12 Nec Corp レベル変動補正機能付検波回路
JP2630040B2 (ja) * 1990-08-29 1997-07-16 富士通株式会社 梱包方法
JP3143337B2 (ja) * 1994-10-12 2001-03-07 信越ポリマー株式会社 ペリクル収納容器
US5863496A (en) * 1996-11-25 1999-01-26 Prepared Media Laboratory, Inc. Sterile packaging
KR100360404B1 (ko) * 2000-07-11 2002-11-13 삼성전자 주식회사 표면 열화를 방지하는 웨이퍼 패킹 방법
TWI231376B (en) * 2004-01-06 2005-04-21 Optimax Tech Corp Package for a optical sheet and a packing method for the same
JP2005298037A (ja) * 2004-04-15 2005-10-27 Toppan Printing Co Ltd 包装袋およびそれを用いた電子部品包装体
JP2006096851A (ja) * 2004-09-29 2006-04-13 Toppan Printing Co Ltd クリーンフィルムおよびそれを用いた包装袋
JP4856371B2 (ja) * 2004-11-10 2012-01-18 昭和電工パッケージング株式会社 包装用積層体及びこれを用いた包装用袋体と電子材料製品包装用袋体
JP2008090206A (ja) * 2006-10-05 2008-04-17 Hoya Corp マスクブランクの管理システム
JP5052106B2 (ja) * 2006-11-22 2012-10-17 旭化成イーマテリアルズ株式会社 ペリクルの収納方法
JP5051840B2 (ja) * 2007-11-22 2012-10-17 信越化学工業株式会社 ペリクル収納容器内にペリクルを保管する方法
JP5198043B2 (ja) * 2007-11-30 2013-05-15 アイセロ化学株式会社 クリーン包装用二重袋
JP5133229B2 (ja) * 2008-12-05 2013-01-30 信越ポリマー株式会社 ペリクル収納容器
JP2011007827A (ja) * 2009-06-23 2011-01-13 Shin Etsu Polymer Co Ltd 大型精密部材収納容器
JP2011030727A (ja) * 2009-07-31 2011-02-17 Manii Kk 医療用品の包装袋、医療用品を収容した包装袋および医療用品の包装方法

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW464792B (en) * 2000-09-29 2001-11-21 United Microelectronics Corp A structure of optical mask

Also Published As

Publication number Publication date
TW201309565A (zh) 2013-03-01
CN102736403A (zh) 2012-10-17
JP2012208158A (ja) 2012-10-25
JP5349519B2 (ja) 2013-11-20
KR20120112002A (ko) 2012-10-11
US20120247069A1 (en) 2012-10-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5507640B2 (ja) 臭気吸着材、臭気検知キット、その使用方法
TWI460111B (zh) 防塵薄膜組件收納方法
JP5640565B2 (ja) 防湿容器
TWI673837B (zh) 半導體晶圓容器
TWI498257B (zh) 防塵薄膜組件之氣密袋的密閉式封閉方法
JP2004210421A (ja) 製造システム、並びに処理装置の操作方法
JP4617850B2 (ja) 真空パックを用いたガラス基板の梱包方法及びその包装体
US20130292295A1 (en) Zipper Type Liquid Crystal Module Packaging Bag and Method for Packaging Liquid Crystal Module with Same
JP2000243824A (ja) ウエハーケース
JP6414381B2 (ja) 断熱材、断熱材の製造方法、及び物品と断熱材の組合体
JP2007065583A (ja) ペリクルのペリクル容器への収納方法、ペリクルのペリクル容器からの取り出し方法、ペリクルの輸送方法および保管方法、ペリクルを収納したペリクル容器の梱包方法ならびにペリクルを収納したペリクル容器の開封方法
TWI608969B (zh) Dust film assembly storage container packaging structure and its packaging method
JPH06293364A (ja) 無塵容器
JP2014172623A (ja) 電子機器用包装体
JP3506208B2 (ja) ウェーハケース
JP6566617B2 (ja) 組み合わせ容器包装体、内容器包装体および内容器
WO2023286465A1 (ja) クリーンルーム間の搬送物梱包用の梱包材、梱包方法及び搬送方法
WO2013125997A1 (en) Shipping container for batteries and method for packing batteries for transport thereof
JP2012027343A (ja) フォトマスク用合成石英ガラス基板またはフォトマスクブランクの保管ケースの製造方法
JP2011121596A (ja) ペリクル梱包用緩衝材
JP2004179312A (ja) 密閉容器の取り扱い方法及びクリーン手袋
CN205708066U (zh) 一种防镜片损伤的真空保护装置
JP2008007127A (ja) マスクケースの梱包材及びこれを用いたマスクケースの梱包方法
JP3155490U (ja) ディスプレイ用フィルターの梱包体
JP2020019520A (ja) 炭化珪素基板の包装構造